JP2532920Y2 - 電子制御装置内蔵バルブ制御装置 - Google Patents

電子制御装置内蔵バルブ制御装置

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JP2532920Y2
JP2532920Y2 JP1987051661U JP5166187U JP2532920Y2 JP 2532920 Y2 JP2532920 Y2 JP 2532920Y2 JP 1987051661 U JP1987051661 U JP 1987051661U JP 5166187 U JP5166187 U JP 5166187U JP 2532920 Y2 JP2532920 Y2 JP 2532920Y2
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紘一 清水
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、浄水場、排水処理システム、温調システ
ム、連続式浸炭炉制御システム等のシステムにおける液
体の流れを制御するバルブのためのバルブ駆動用電動ア
クユエータ、特に、内部に演算回路を有し、制御系の一
部を負担可能とするバルブ駆動用電動アクチュエータに
適用した電子制御装置内蔵バルブ制御装置に関する。
〔従来の技術〕
浄水場、排水処理場等においては、複雑な配管路を一
つのシステムとして維持、管理する必要があることか
ら、該システムはコンピュータを用いた中央情報システ
ム化へ向いつつある。配管路制御の基本となるファクタ
は、管路中に設けられている種々のバルブのバルブ開度
であり、それらのバルブのバルブ開度を制御するための
駆動手段として、多くの形式のバルブ駆動用電動アクチ
ュエータが開発されている。
上記のシステムの一例を、第6図を参照して概説す
る。第6図において、51は従来のバルブ駆動用電動アク
チュエータを示しており、外部からのアナログ制御信号
Aが開度コントロール部52に入力される。開度コントロ
ール部52は複数個の電磁リレー5Rに所定の信号を出力
し、該出力に応じてモータ53が回転し、減速機54を介し
て管路57に設置されたバルブ55の開度を制御する。その
間、減速機54の状態を示す信号は、ポテンシオメータ56
を介して開度コントロール部52にフィードバックされ、
所定のバルブ開度が得られた時点でモータ53の作動は停
止するように設定されている。
バルブ開度を指示するアナログ制御信号Aは、制御ボ
ード(図示省略)から送信される。前記制御ボードから
の信号がデジタル信号の場合には、途中にD/Aコンバー
タを介在させ、アナログ信号に変換した後、開度コント
ロール部52に入力される。
また、従来の液体流量制御装置については、通常、流
量計からの瞬間流量であるフィードバック信号のみで制
御している。また、より厳密な制御を行う場合は、受水
タンクの水位計測等を加味した大掛かりな装置を使用し
ていた。このような液体流量制御装置としての一般的な
流量制御系の例を、第7図及び第8図を参照して説明す
る。
一般的な流量制御系の例を、流量制御系統図である第
7図を参照して説明する。流量を制御するため、水路で
ある管路40には、ボールバルブ、バタフライバルブ等の
一般的なバルブ45が設けられている。バルブ45はモータ
式操作部43によってバルブ45の開口度即ちバルブ開度が
制御される。また、バルブ45の上流には、管路取付形の
電磁流量計44が設置されている。モータ式操作部43の作
動は、コントローラ42からの指令即ち信号によって行わ
れる。コントローラ42は、流量指令器41からの流量指令
信号を受け、しかも電磁流量計44からの信号に応答して
モータ式操作部43に指令を発する。
次に、上記流量制御系を、具体的に示したブロック図
である第8図を参照して説明する。流量指令器41からの
流量指令信号と管路取付形の電磁流量計44からの流量指
令信号とを、比較器46によって比較し、その差即ち指令
値と電磁流量計44からの信号即ち流量フィードバック信
号である実流値との間の誤差を誤差アンプ47によって増
幅し、その増幅された信号をモータドライバ48に送り込
んで該モータドライバ48を制御し、モータ式操作部43を
作動している。
〔考案が解決しようとする課題〕
しかしながら、第7図及び第8図に示した液体流量制
御装置としての一般的な流量制御系については、流量指
令器41からの指令値と電磁流量計44の実流値との間に
は、通常僅かな誤差が発生している。この誤差を少なく
するには、誤差アンプ47のゲインを高くすると共に、モ
ータ、メカニカル部分、バルブ本体等を高精度に製作し
なければならず、実用的限度があった。
一般的に、短時間中における実際に流れる流量即ち実
流値が、目標値即ち指令値からわずかにずれて誤差が発
生し、その状態を長時間放置すると、実総積算液体流量
と目標総積算液体流量との間のずれは大きなものにな
る。即ち、第9図のグラフに示すように、バルブとして
の制御限界があり、該制御限界を小さくすることについ
ては、技術的に困難があり、コストアップを伴うもので
ある。
それ故に、液体流量の指令値と実流値とにわずかな誤
差が発生すると、第10図のグラフに示すように、所定時
間経過後には実総積算液体流量と目標総積算液体流量と
の間の総液体流量の誤差即ち総容量誤差については、瞬
間が僅かな誤差であってもこれらを時間の経過と共に累
積すると大きなものとなる。即ち、実容積が指令値に対
する理想容積から掛け離れたものとなり、累積容積誤差
が大きなものとなる。
そこで、この考案の目的は、上記のような問題点を解
決するものであり、流量を高精度に制御するという要求
が瞬間流量の制御よりも一定時間経過後の液体の総流量
を目標値の液体総流量に維持するという制御であること
に着目し、一定時間毎の指令値積算液体流量と実積算液
体流量とを比較して誤差を補正すること、次いで、該誤
差に応答して補正した補正量に応じた値を次のクロック
時に前記バルブ開度補正指令値に加算して修正バルブ開
度補正指令値とし、該修正バルブ開度補正指令値に基づ
いてバルブ開度を制御する電子制御装置内蔵バルブ制御
装置を提供することである。
更に、この電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、一般
的に使用されている機外に設ける別置式の大掛かりな制
御盤を不要にし、例えば、水道弁に機械的に連結した電
子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータ内で制
御ができ、制御部を小型に集積すると共に、所定時間経
過後の実総液体流量を目標総液体流量に一層近づけるこ
とができるものである。
〔課題を解決するための手段〕 この考案は、上記の目的を達成するために、次のよう
に構成されている。即ち、この考案は、流量指令器から
の流量指令値に基づいて指令値積算器で得られた一定時
間毎の指令値積算液体流量と管路に設けられた流量計か
らの流量値に基づいて実流量積算器で得られた前記一定
時間毎の実積算液体流量とを比較器で比較して得られた
誤差を、前記一定時間毎に誤差累積保持器で積算誤差量
として保持し、前記積算誤差量に応じた誤差値を前記流
量指令器からの前記流量指令値に加算補正して得られた
値を新たな補正された流量指令値とし、前記補正された
流量指令値と前記流量計からの実流量とを比較してモー
タを駆動してバルブ開度を制御し、しかも、前記一定時
間を周期とするクロック時毎に、前記流量指令器を前回
のクロック時で得られた前記積算誤差量に応じて繰り返
し補正し、補正して得られた補正された流量指令値に応
じて前記バルブ開度を制御し、所定時間経過後の実総液
体流量を目標総液体流量に近づけるように前記バルブ開
度を制御することを特徴とする電子制御装置内蔵バルブ
制御装置に関する。
また、この電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、バル
ブ開度制御系の一部を負担する演算回路を一体的に組み
込み且つソリッドステートリレーを用いた電子制御装置
内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータに適用したもので
ある。
更に、この電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、中央
制御装置やコンピュータの上位の制御系とシリアルデー
タ通信方式によってデータ交換が可能な装置に適用した
ものである。
〔作用〕
この考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、
上記のように構成されており、次のように作用する。即
ち、この電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、電子制御
装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータに適用できる
ものであるが、該電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動ア
クチュエータは、液体流量の目標値即ち指令値と実績値
即ち実流値とを一定周期のクロック時毎に積算液体流量
として比較検討してバルブ開度を制御し、特に、一定周
期のクロック時毎の積算誤差量を用い、その積算誤差量
に応じた誤差値を次のクロック時に前記バルブ開度補正
指令値(流量指令値)に加算補正して得られた新たな修
正バルブ開度補正指令値即ち新たな補正された流量指令
値とし、該補正された流量指令値に応じてバルブ開度を
制御するものであり、従って、長時間経過した後であっ
たとしても実総液体流量は目標総液体流量に極めて近く
なる高精度の制御を可能にすることができる。
従って、この考案による電子制御装置内蔵バルブ制御
装置は、従来のような積算しないで瞬間流量を比較する
もの(例えば、特開昭60−69376号公報参照)に比べ
て、実総液体流量は目標総液体流量に一層近くなり高精
度を得ることができる。
〔実施例〕
以下、図面を参照して、この考案による電子制御装置
内蔵バルブ制御装置の一実施例を詳述する。
第1図において、この考案による電子制御装置内蔵バ
ルブ制御装置についての流量制御系ブロック図が示され
ている。ここに示されている液体流量制御系の機器は後
述の電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータ
内に組み込まれているものである。水路である管路10を
流れる液体流量を制御するため、管路10には、ボールバ
ルブ、バタフライバルブ等のバルブ5が設けられてい
る。バルブ5は、電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動ア
クチュエータ内に組み込まれているモータ式操作部3に
よってバルブ5のバルブ開度が制御される。バルブ5の
上流には、管路取付形の電磁流量計4が設置されてい
る。モータ式操作部3の作動は、コントローラからの液
体流量指令即ち液体流量信号によって行われる。
コントローラは、液体流量指令器1からの液体流量指
令の信号を受け、しかも電磁流量計4からの信号に応答
してモータ式操作部3に指令を発するように構成されて
いる。
詳しくは、液体流量指令器1からの液体流量指令の信
号を補正値加算アンプ13に入力すると共に、指令値積算
器9に入力する。また、管路取付形の電磁流量計4から
の信号を誤差アンプ7に入力すると共に、実流量積算器
6に入力する。次いで、指令値積算器9で得た目標積算
液体流量値の信号と実流量積算器6で得た実積算液体流
量値の信号とを、比較器11に入力して比較し、目標積算
液体流量即ち指令積算液体流量と実積算液体流量との
差、言い換えれば、指令値と電磁流量計4からの信号
(即ち、流量フィードバック信号)である実流値との間
の誤差を測定する。その誤差を誤差累積保持器12で一旦
保持し、その積算誤差量に応答した誤差値即ち補正指令
値を液体流量指令器1からの液体流量指令値に加算して
補正値加算アンプ13に入力し、補正値加算アンプ13で適
当なレベルまで増幅する。
補正値加算アンプ13の出力は、流量指令器1からの指
令値に対して積算流量誤差に応じて補正された新たな瞬
間流量の目標値となる。補正値加算アンプ13の出力は、
加算器7′に入力され、逆極性っで入力されている電磁
流量計4からの信号と加算され、補正された流量指令値
と実流値との誤差分が誤差アンプ7で増幅される。
誤差アンプ7の出力は、モータ3に伝達され、バルブ
5を駆動する。モータ3の回転方向と誤差アンプ7の出
力の関係は、流量指令値の方が上回っていれば、バルブ
5を開く方向に回り、また、実流量が上回っていれば、
バルブ5を閉じる方向に回るように構成されており、所
定時間経過後には、所定流量になって停止する。
第2図(A)及び第2図(B)において、この電子制
御装置内蔵バルブ制御装置の動作タイムチャートが示さ
れている。この動作タイムチャートにおいては、任意に
設定した正確な時間間隔即ち各時間区間T1,T2,T3
T4,T5毎に、クロックからパルスを発生させる。これら
の各時間区間T1,T2,T3,T4,T5のパルス毎に、指令値
積算器9で指令値積算即ち指令値積分を行うと共に、実
流量積算器6で実流値積算即ち実流値積分を行う。
指令値積分値と実流値積分値とを比較器11によって比
較して誤差量を測定し、該誤差量に応じた誤差信号を次
のクロック時に追加誤差補正として誤差累積保持器12に
取り込む。誤差累積保持器12では、前回のクロック時に
おける誤差量を積算して新たな累積誤差量として取り込
み、新たな累積誤差量即ち積算誤差量とする。その積算
誤差量を新たな出力として流量指令値に加算する。誤差
信号値と指令値とを加算した値を補正後の追加即ち修正
バルブ開度補正指令の新たな流量指令値として、その時
の流量計からのフィードバック信号と比較し、その差信
号を値としてモータドライバ8に入力してバルブ開度を
制御する。
即ち、実積算液体流量と目標積算液体流量即ち指令積
算液体流量を任意に設定したクロック毎に比較し、その
誤差量に応じた値をバルブ開度補正指令値として、次の
クロック時に指令値に加算して補正後の修正バルブ開度
補正指令値とし、その修正バルブ開度補正指令値に応じ
てバルブ開度を制御する。
それ故に、常に一定時間毎に積算された液体流量の目
標値と実績値とを比較検討し、その都度補正することが
できるので、第2図(B)における実容積Q即ち送水総
量と時間との関係を示すグラフのように、長時間経過後
であっても実総液体流量は目標総液体流量とほとんど変
わることがなく、実容積は指令値に対する理想容積とな
る。従って、所定時間経過後の実総液体流量を目標総液
体流量に一層近づけるようにバルブ開度を制御すること
が可能となる。
なお、上記のような流量制御系については、電子制御
装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータ内に組み込ん
で、即ちマイクロコンピュータを用いてバルブ開度の制
御を達成しているが、この流量制御系を従来例として概
説したハードウエアによってバルブ開度の制御を達成す
ることもできる。
第3図において、21はこの考案による電子制御装置内
蔵バルブ制御装置に使用されている電子制御装置内蔵バ
ルブ駆動用電動アクチュエータの全体図を示している。
図示しないホストコンピュータ(中央制御装置)からの
シリアルデータ信号は外部データ受信部であるシリアル
インターフェイス部22に入力し、演算コントロール部23
で所定のデータ処理が行われる。
演算コントロール部23からの出力信号はソリッドステ
ートリレー2Rに送られ、該信号に応じ、モータ24が所要
の回動を行い減速機25を介して管路28に設置されたバル
ブ26の開度を制御できる。バルブ26の駆動によるバルブ
開度即ち移動量は減速機25に設けたポテンシオメータ27
を介して演算コントロール部23へフィードバックされ
る。
ここにおいて、モータ24、減速機25、バルブ26等のメ
カニカルな部分は、公知のバルブ駆動用電動アクチュエ
ータに用いられているものと同様のものであるので、特
にその説明は行わない。第3図に示すものにおいては、
管路28には流量計29が設けられており、流量計29からの
信号はA/Dコンバータを介して演算コントロール部23へ
フィードバックしている。
ここにおいて、モータ24、減速機25、バルブ26等のメ
カニカルな部分は、公知のバルブ駆動用電動アクチュエ
ータに用いられているものと同様のものであるので、特
にその説明は行わない。第3図に示すものにおいては、
管路28には流量計29が設けられており、流量計29からの
信号はA/Dコンバータを介して演算コントロール部23へ
フィードバックしている。
第4図は、第3図におけるシリアルインターフェイス
部22及び演算コントロール部23のブロック図を示してい
る。中央制御装置CPU34からの信号がシリアルI/Oポート
30に入力する。また、アクチュエータ21側近傍の諸情報
はA/Dコンバータ31に入力している(第3図に示す例に
あっては流量計29からの信号)。それらの信号はRAM32
に蓄積されると共に、ROM33内の所定のプログラムに対
応して中央制御装置CPU34にて所要の演算が行われ、そ
の結果はRAM32の値を変えつつ、出力ポート35からソリ
ッドステートリレー2Rへ出力される。
第5図は、この考案による電子制御装置内蔵バルブ制
御装置に適用された電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動
アクチュエータの作動を示すブロック図である。第4図
及び第5図に基づき、上記電子制御装置内蔵バルブ駆動
用電動アクチュエータ21の作動の一例を説明する。
今、ホストコンピュータから流量Q1/secの指令が発信
されると、その指令はシリアル信号データとしてシリア
ルI/Oポート30に入力される。A/Dコンバータ31には、現
在の流量情報Q2/sec、バルブ26の戦後の1次圧P1、2次
圧P2等の情報が入力されている。ROM33には、一例とし
て、圧力Pと流量Q及びバルブ開度Kに基づくチャート
が用意されており、Q2,P1,P2のデータとROM33上の値
に基づき所定の演算が中央制御装置CPU34上で行われ、
その結果によりRAM32中のデータを書き換えると共に、I
/Oポート35から信号を出力し、可逆モータ24、減速機25
を介してバルブ26のバルブ開度を調節する。
バルブ26のバルブ開度は刻々ポテンシオメータ27を経
て演算コントロール部23へフィードバックされる。流量
計29での流量信号Q2/secが設定値Q1/secとなった時点で
モータ24の作動は停止し、一定流量Q1/secが維持され
る。1次圧P1又は2次圧P2に変動が生じた場合には、そ
の信号はホストコンピュータに送られることなく、アク
チュエータ側の中央制御装置CPU34により所定の演算が
行われ、流量Q1/secに変動が生じないようにバルブ26を
開閉するための信号を出力する。
なお。上記においては、電動アクチュエータ21側の環
境に基づくデータとして流量、圧力等を示したが、その
ような外部データとしては、それに限らず、水温、気
温、液位等いかなるものも適用可能である。例えば、バ
ルブ26の出口側に設けた負荷装置が水温20℃±3℃を要
求するものである場合、それ以外の水温を検知した時に
はバルブ26を閉じてしまうようなプログラムをROM33中
に組み込むことも可能である。
更に、この考案は、次のようなものに適用できる。即
ち、電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータ
を用いたこの電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、例え
ば、浄水場において、複数の井戸等からポンプによって
着水井等へ水を送り込む流路に設け且つ温度、付帯状況
等によって制御されるコントロールバルブ、着水井等か
ら配水池等へ水を送り込む流路に設け且つ温度、付帯状
況等によって制御されるコントロールバルブ等のバルブ
駆動用電動アクチュエータのバルブ制御装置として適用
できる。
また。排水処理工程において、排水を排水槽に溜め、
次いで粗調整槽、微細調整槽及び滞留槽から成る処理槽
へ排水槽から排水を送り込み、最後に放流しているが、
前記処理槽へ酸、アルカリ等の流体を投入しており、こ
の流体の投入量を温度、付帯状況等によってコントロー
ルバルブで制御して決定しており、この考案による電子
制御装置内蔵バルブ制御装置はこのコントロールバルブ
を制御するバルブ駆動用電動アクチュエータのバルブ制
御装置としても適用できる。
更に、この考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装
置は、高温流体の流路と低温流体の流路とからの流量を
調整することによって所定の温度流体を得るような温調
システムにおいて、高温流体の流路と低温流体の流路と
に設けられたそれぞれのコントロールバルブのバルブ駆
動用電動アクチュエータのバルブ制御装置としても適用
できる。
また、この考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装
置は、前洗浄槽、加熱ゾーン、浸炭ゾーン、油槽、後洗
浄槽等から成る連続式浸炭炉制御システムにおいて、加
熱ゾーン、浸炭ゾーン、油槽等に添加ガス等をコントロ
ールバルブを介して温度、付帯状況等によって制御して
添加しているコントロールバルブのバルブ駆動用電動ア
クチュエータのバルブ制御装置としても適用できる。
更に、この考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装
置において用いられている電子制御装置内蔵バルブ駆動
用電動アクチュエータは、ホストコンピュータと共に用
いるのに加えて、従来形のアナログ制御盤と共に用いる
ことも勿論可能であり、その場合には、アナログ制御盤
側にA/Dコンバータを介在させ、諸制御信号と共にシア
ルデータ信号に変換するコンバータを設置すればよいこ
とは明らかである。
また、この電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチ
ュエータは、アクチュエータ側にシリアルインターフェ
イス機能を持たせていることから、制御数が多くなって
も回線としては1本でよいことも先に記した通りであ
る。更に、この電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アク
チュエータは、いわゆる分散制御を可能としたので、ホ
ストコンピュータ側の負担を軽減できると共に、各アク
チュエータのメンテナンス時等に、ホスト側を止めるこ
となく、各アクチュエータ側で独自に行い得ることも実
用上の大きな機能である。
〔考案の効果〕
この考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、
上記のように構成したので、次のような効果を有する。
即ち、この電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、一定時
間毎に積算された流体流量の目標値即ち指令値と実績値
即ち実流値とを比較検討し、その都度、バルブ開度を補
正することができ、特に、一定周期のクロック時毎の積
算誤差量に応答して補正した補正量に応じた値を次のク
ロック時に前記バルブ開度補正指令値に加算して次の修
正バルブ開度補正指令値としてバルブ開度を制御するの
で、たとえ長時間経過した後であったとしても実総液体
流量は目標総液体流量に極めて近くなり、高精度のバル
ブ開度の制御を行うことができる。
しかも、この電子制御装置内蔵バルブ制御装置は、電
子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータに組み
込むことができ、コンピュータを用いた中央情報処理シ
ステム下にある種々の管路制御システムに用いられるバ
ルブ駆動用電動アクチュエータとして有効に用いること
ができ、情報の集中化、制御の分散化等に特に適したも
のである。また、一般的に使用されている機外に設ける
別置式の大掛かりな制御盤を不要にし、例えば、水道バ
ルブに機械的に連結した電子制御装置内蔵バルブ駆動用
電動アクチュエータ内に電子制御装置内蔵バルブ制御装
置を組み込んでバルブ開度を制御することができ、制御
部を小型に集積した電子制御装置内蔵バルブ制御装置を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装
置の流量制御系のブロック図、第2図(A)及び第2図
(B)はこの考案による電子制御装置内蔵バルブ制御装
置の動作タイムチャートを示すグラフ、第3図はこの考
案による電子制御装置内蔵バルブ制御装置に適用された
電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータの概
要説明図、第4図は第3図の電子制御装置内蔵バルブ駆
動用電動アクチュエータに用いられる制御部のブロック
図、第5図は第3図の電子制御装置内蔵バルブ駆動用電
動アクチュエータの作動状態を示すブロック図、第6図
は従来のバルブ駆動用電動アクチュエータの概要説明
図、第7図は従来の液体流量制御を説明する制御系統
図、第8図は第7図の液体流量制御を説明する制御系統
図のブロック図、第9図は従来のバルブ制御装置におけ
る実流値と指令値との関係を示すブラフ、及び第10図は
第9図に示す実流値と指令値との誤差の総誤差流量を示
すグラフである。 1……流量指令器、4……電磁流量計、5,26……バル
ブ、6……実流量積算器、9……指令値積算器、10……
管路、11……比較器、12……誤差累積保持器、21……電
子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータ、22…
…シリアルインターフェイス部、23……演算コントロー
ル部、2R……ソリッドステートリレー。

Claims (3)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】流量指令器からの流量指令値に基づいて指
    令値積算器で得られた一定時間毎の指令値積算液体流量
    と管路に設けられた流量計からの流量値に基づいて実流
    量積算器で得られた前記一定時間毎の実積算液体流量と
    を比較器で比較して得られた誤差を、前記一定時間毎に
    誤差累積保持器で積算誤差量として保持し、前記積算誤
    差量に応じた誤差値を前記流量指令器からの前記流量指
    令値に加算補正して得られた値を新たな補正された流量
    指令値とし、前記補正された流量指令値と前記流量計か
    らの実流量とを比較してモータを駆動してバルブ開度を
    制御し、しかも、前記一定時間を周期とするクロック時
    毎に、前記流量指令器を前回のクロック時で得られた前
    記積算誤差量に応じて繰り返し補正し、補正して得られ
    た補正された流量指令値に応じて前記バルブ開度を制御
    し、所定時間経過後の実総液体流量を目標総液体流量に
    近づけるように前記バルブ開度を制御することを特徴と
    する電子制御装置内蔵バルブ制御装置。
  2. 【請求項2】バルブ開度制御系の一部を負担する演算回
    路を一体的に組み込み且つソリッドステートリレーを用
    いた電子制御装置内蔵バルブ駆動用電動アクチュエータ
    に適用したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    1項に記載の電子制御装置内蔵バルブ制御装置。
  3. 【請求項3】中央制御装置やコンピュータの上位の制御
    系とシリアルデータ通信方式によってデータ交換が可能
    な装置に適用したことを特徴とする実用新案登録請求の
    範囲第1項に記載の電子制御装置内蔵バルブ制御装置。
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