JP2528703B2 - 液用ガラスヒ―タの破損検知方法 - Google Patents
液用ガラスヒ―タの破損検知方法Info
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- JP2528703B2 JP2528703B2 JP64000720A JP72089A JP2528703B2 JP 2528703 B2 JP2528703 B2 JP 2528703B2 JP 64000720 A JP64000720 A JP 64000720A JP 72089 A JP72089 A JP 72089A JP 2528703 B2 JP2528703 B2 JP 2528703B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は半導体ウエハなどのウエット処理に使用され
る液用ガラスヒータの破損検知方法に関するものであ
る。
る液用ガラスヒータの破損検知方法に関するものであ
る。
（従来技術と解決すべき問題点） 半導体ウエハのウエット処理においては処理を早める
ため処理液を加熱することが行われる。この場合加熱用
ヒータとして第１図のように槽（１）の側面に沿って曲
げられたガラス管例えば石英ガラス製保護管（2a）内に
タングステンやニッケルなどで作られた発熱体（2b）を
収容したガラスヒータ（２）を処理液（３）中に浸漬し
て行う。
ため処理液を加熱することが行われる。この場合加熱用
ヒータとして第１図のように槽（１）の側面に沿って曲
げられたガラス管例えば石英ガラス製保護管（2a）内に
タングステンやニッケルなどで作られた発熱体（2b）を
収容したガラスヒータ（２）を処理液（３）中に浸漬し
て行う。
ところでこの場合保護管（2a）はガラスであるため外
力によって破損し易いばかりでなく、処理液として例え
ばアンモニアや燐酸液などが用いられる場合には、使用
するうちに小さい穴やひび割れを生ずるのを防ぎ得な
い。このため処理液が保護管（2a）内に侵入して、タン
グステンなどにより作られた発熱体（2b）を溶かし、こ
れにより生じた金属イオンが処理液中に流出して汚染す
る。従って特に視認によっては発見が困難な小さな穴
や、ひび割れの発生を知らないまま処理を行ったときに
は半導体ウエハの汚染を招き、これにより作られたIC,L
SIなどの集積回路装置は出荷後動作不良となるなどの重
大な事故に発展する。また処理液の汚染があった場合に
は槽（１）やこれに付随する各種配管などの汚染を伴う
ことから、処理作業を停止して面倒な清掃作業を実施し
なければならない。従って小さい穴やひび割れなどを早
期に発見して対策を施す必要がある。
力によって破損し易いばかりでなく、処理液として例え
ばアンモニアや燐酸液などが用いられる場合には、使用
するうちに小さい穴やひび割れを生ずるのを防ぎ得な
い。このため処理液が保護管（2a）内に侵入して、タン
グステンなどにより作られた発熱体（2b）を溶かし、こ
れにより生じた金属イオンが処理液中に流出して汚染す
る。従って特に視認によっては発見が困難な小さな穴
や、ひび割れの発生を知らないまま処理を行ったときに
は半導体ウエハの汚染を招き、これにより作られたIC,L
SIなどの集積回路装置は出荷後動作不良となるなどの重
大な事故に発展する。また処理液の汚染があった場合に
は槽（１）やこれに付随する各種配管などの汚染を伴う
ことから、処理作業を停止して面倒な清掃作業を実施し
なければならない。従って小さい穴やひび割れなどを早
期に発見して対策を施す必要がある。
そこで従来においては第１図のように保護管（2a）内
に発熱体（2b）と間隔をおいて電極（４）を設けて、こ
れと保護管（2a）間に例えば電流検出器（５）を介して
直流電源（６）を接続しておき、小さな穴などから保護
管（2a）内に侵入した処理液による発熱体（2b）と電極
（４）間の導通を検出器（５）により検出し感知する手
段がとられている。なお、第１図において、（2e）は電
源、（2c）（2d）は電源接続線である。
に発熱体（2b）と間隔をおいて電極（４）を設けて、こ
れと保護管（2a）間に例えば電流検出器（５）を介して
直流電源（６）を接続しておき、小さな穴などから保護
管（2a）内に侵入した処理液による発熱体（2b）と電極
（４）間の導通を検出器（５）により検出し感知する手
段がとられている。なお、第１図において、（2e）は電
源、（2c）（2d）は電源接続線である。
しかしこの方法では処理液（３）が保護管（2a）内に
或る量以上入らないと働かないため、感知をしたときに
は既に発熱体（2b）の溶出金属イオンが処理液（３）内
に拡散している。従って半導体ウエハの汚染を防ぐこと
ができない。また処理液がトリクロロエチレンのような
有機溶剤の場合には、発熱体（2b）と電極（４）間の抵
抗値の変化が少ないため検知が不可能な場合がある。
或る量以上入らないと働かないため、感知をしたときに
は既に発熱体（2b）の溶出金属イオンが処理液（３）内
に拡散している。従って半導体ウエハの汚染を防ぐこと
ができない。また処理液がトリクロロエチレンのような
有機溶剤の場合には、発熱体（2b）と電極（４）間の抵
抗値の変化が少ないため検知が不可能な場合がある。
また処理液中に浸漬されない保護管（2a）の部分に発
生したひび割れなどは将来処理液中の部分に発展するお
それが大きい。従ってこの段階での検知が望ましいが、
この方法では電極（４）と保護管（2a）間には処理液
（３）が入ることがないため検知が不可能である。
生したひび割れなどは将来処理液中の部分に発展するお
それが大きい。従ってこの段階での検知が望ましいが、
この方法では電極（４）と保護管（2a）間には処理液
（３）が入ることがないため検知が不可能である。
（発明の目的） 最近の圧力検出センサは微妙な圧力変化にも応動して
信頼性高く動作する。本発明は処理液が侵入し得ないよ
うな小さな穴、ひび割れであっても検知できるばかりで
なく、ひび割れなどが保護管の何れの位置に発生しても
検知して処理液浸漬部分への発展を未然に防ぎうる検知
方法を提供し、溶出金属イオンの処理液中の拡散によに
る半導体ウエハなどのウエット処理対象物の汚染を防止
しうるようにしたものである。
信頼性高く動作する。本発明は処理液が侵入し得ないよ
うな小さな穴、ひび割れであっても検知できるばかりで
なく、ひび割れなどが保護管の何れの位置に発生しても
検知して処理液浸漬部分への発展を未然に防ぎうる検知
方法を提供し、溶出金属イオンの処理液中の拡散によに
る半導体ウエハなどのウエット処理対象物の汚染を防止
しうるようにしたものである。
（問題点を解決するための本発明の手段） 本発明は保護管をその両端において密封してその内部
に送気系により、一定圧となるように気体を送入してお
き、ひび割れなどが発生したとき生ずる気体の逃散によ
る保護管内の圧力変化を送気系において検出して感知す
るようにしたものである。次に実施例により本発明を詳
細に説明する。
に送気系により、一定圧となるように気体を送入してお
き、ひび割れなどが発生したとき生ずる気体の逃散によ
る保護管内の圧力変化を送気系において検出して感知す
るようにしたものである。次に実施例により本発明を詳
細に説明する。
（実施例） 第２図は本発明の一実施例図（第１図と同一符号は同
等部分を示す）である。
等部分を示す）である。
図において（１）は槽、（３）は処理液、（２）はガ
ラスヒータ、（2a）は石英ガラス製保護管、（2b）はタ
ングステン製発熱体、（2c）（2d）はその電源接続線、
（2e）は電源、（７）はN2、空気などの気体送入管例え
ば耐蝕性のテフロンチューブであって、ガラス製保護管
（2a）の両端は電源接続線（2c）（2d）および気体送入
管（７）を通した状態のもとにシール材（８）、例えば
シリコンコンパウンド材により密封される。（９）はN2
ガスなどのボンベ、（10）（11）は第1,第２のレギュレ
ータを示し、付属された圧力計（10a）（11a）により圧
力を調整する。（12）は塵埃除去フィルタで例えば粒径
0.1μの塵埃の除去能力をもつ。（13）は圧力検知器で
あって、圧力変化検知用センサ（13a）とこれによって
動作するスイッチ（13b）とこれにより動作する警報器
（13c）および所要圧以上の圧力上昇を生じたとき気体
を放出逃散させる圧力調節弁（13d）とを備え、前記ガ
ラス製保護管（2a）内への気体送入管（７）に接続され
る。次にその動作について説明する。
ラスヒータ、（2a）は石英ガラス製保護管、（2b）はタ
ングステン製発熱体、（2c）（2d）はその電源接続線、
（2e）は電源、（７）はN2、空気などの気体送入管例え
ば耐蝕性のテフロンチューブであって、ガラス製保護管
（2a）の両端は電源接続線（2c）（2d）および気体送入
管（７）を通した状態のもとにシール材（８）、例えば
シリコンコンパウンド材により密封される。（９）はN2
ガスなどのボンベ、（10）（11）は第1,第２のレギュレ
ータを示し、付属された圧力計（10a）（11a）により圧
力を調整する。（12）は塵埃除去フィルタで例えば粒径
0.1μの塵埃の除去能力をもつ。（13）は圧力検知器で
あって、圧力変化検知用センサ（13a）とこれによって
動作するスイッチ（13b）とこれにより動作する警報器
（13c）および所要圧以上の圧力上昇を生じたとき気体
を放出逃散させる圧力調節弁（13d）とを備え、前記ガ
ラス製保護管（2a）内への気体送入管（７）に接続され
る。次にその動作について説明する。
ガスボンベ（９）からの気体は第１レギュレータ（1
0）によって或る圧力−調節され、第２レギュレータ（1
1）により更に所要圧力よりやや高い圧力に調節され
て、フィルタ（12）と圧力検知器（13）を介して気体送
入管（７）によりガラスヒータ（２）内に送入される。
一方圧力検知器の圧力調節弁（13d）は気体圧力が所要
の一定圧より上昇すると弁を開いて気体を放出して一定
して送気圧を一定に保持し、また発熱体（2b）による加
熱による気体の膨張により、ガラス製保護管（2a）内の
圧力が上昇して気体送入管（７）内の送気圧が上昇する
と、気体を放出して所要の一定圧に調節して保護管（2
a）の破裂などを防いで安全を保つ。
0）によって或る圧力−調節され、第２レギュレータ（1
1）により更に所要圧力よりやや高い圧力に調節され
て、フィルタ（12）と圧力検知器（13）を介して気体送
入管（７）によりガラスヒータ（２）内に送入される。
一方圧力検知器の圧力調節弁（13d）は気体圧力が所要
の一定圧より上昇すると弁を開いて気体を放出して一定
して送気圧を一定に保持し、また発熱体（2b）による加
熱による気体の膨張により、ガラス製保護管（2a）内の
圧力が上昇して気体送入管（７）内の送気圧が上昇する
と、気体を放出して所要の一定圧に調節して保護管（2
a）の破裂などを防いで安全を保つ。
そこで今この状態で保護管（2a）に小穴やひび割れを
生ずると、送入気体はこのひび割れなどと介して外部に
逃散するため、保護管（2a）内の気圧は低下する。この
ため圧力検出器（13）の圧力変化検出用センサ（13a）
が動作してスイッチ（13b）と警報器（13c）によりひび
割れなどの発生を報知する。
生ずると、送入気体はこのひび割れなどと介して外部に
逃散するため、保護管（2a）内の気圧は低下する。この
ため圧力検出器（13）の圧力変化検出用センサ（13a）
が動作してスイッチ（13b）と警報器（13c）によりひび
割れなどの発生を報知する。
即ち本発明においては微少な圧力低下を検知できるセ
ンサ（13a）を用いれば処理液が侵入できないような微
少な穴やひび割れなどを検知することができる。従って
処理液が侵入して発熱体の溶出を招く以前に検知するこ
とができ、半導体ウエハなどの処理対象の汚染を確実に
防ぎうる。またひび割れなどによる圧力変化が少なく、
圧力変化検知用センサ（13a）が動作しなくとも、送入
気体による保護管（2a）の内圧により処理液の侵入を確
実に防ぐ。従って半導体ウエハなどの被処理対象物の汚
染を確実に防いで品質の向上を図りうる。
ンサ（13a）を用いれば処理液が侵入できないような微
少な穴やひび割れなどを検知することができる。従って
処理液が侵入して発熱体の溶出を招く以前に検知するこ
とができ、半導体ウエハなどの処理対象の汚染を確実に
防ぎうる。またひび割れなどによる圧力変化が少なく、
圧力変化検知用センサ（13a）が動作しなくとも、送入
気体による保護管（2a）の内圧により処理液の侵入を確
実に防ぐ。従って半導体ウエハなどの被処理対象物の汚
染を確実に防いで品質の向上を図りうる。
また本発明では処理液中に浸漬されない保護管部分の
ひび割れなどを検知できるので、浸漬部分のひび割れな
どへの発展を事前に知ることができる。
ひび割れなどを検知できるので、浸漬部分のひび割れな
どへの発展を事前に知ることができる。
なお、直径16mm、長さ500mmの石英ガラス製保護管内
にタングステン製発熱体を収入したガラスヒータを用い
た実験によれば、処理液の侵入を許さない直径0.1mmの
穴に相当するひび割れを確実に検知できることが判っ
た。なおこの実験においては第２図中に示すように5kg/
cm3のN2ガスを第１レギュレータ（10）により1kgまで圧
力低下させ、更に第２レギュレータ（11）により0.2kg
までに低下させてガラス保護管（2a）内に送入した。
にタングステン製発熱体を収入したガラスヒータを用い
た実験によれば、処理液の侵入を許さない直径0.1mmの
穴に相当するひび割れを確実に検知できることが判っ
た。なおこの実験においては第２図中に示すように5kg/
cm3のN2ガスを第１レギュレータ（10）により1kgまで圧
力低下させ、更に第２レギュレータ（11）により0.2kg
までに低下させてガラス保護管（2a）内に送入した。
（発明の効果） 以上のように本発明によればガラスヒータ内への処理
液の侵入以前にガラス製保護管に生じたひび割れなどを
検知できるので、発熱体からの溶出金属イオンによる処
理液の汚染を確実に防ぎうる。従って半導体ウエハなど
のウエット処理対象物の汚染を阻止して製品の品質向上
を図りうる大なる効果が得られる。
液の侵入以前にガラス製保護管に生じたひび割れなどを
検知できるので、発熱体からの溶出金属イオンによる処
理液の汚染を確実に防ぎうる。従って半導体ウエハなど
のウエット処理対象物の汚染を阻止して製品の品質向上
を図りうる大なる効果が得られる。
第１図は従来方法の説明図、第２図は本発明の一実施例
の説明図である。 （１）……槽、（２）ガラスヒータ、（2a）……ガラス
製保護管、（2b）……発熱体、（2c）（2d）……電源接
続線、（2e）……電源、（３）……処理液、（４）……
電源、（５）……電流検出器、（６）……直流電源、
（７）……気体送入管、（８）……密封部、（９）……
ガスボンベ、（10）（11）……レギュレータ、（10a）
（11a）……圧力計、（12）……フィルタ、（13）……
圧力検知器、（13a）……圧力変化検知用センサ、（13
b）……スイッチ、（13c）……警報器、（13）……圧力
調節弁。
の説明図である。 （１）……槽、（２）ガラスヒータ、（2a）……ガラス
製保護管、（2b）……発熱体、（2c）（2d）……電源接
続線、（2e）……電源、（３）……処理液、（４）……
電源、（５）……電流検出器、（６）……直流電源、
（７）……気体送入管、（８）……密封部、（９）……
ガスボンベ、（10）（11）……レギュレータ、（10a）
（11a）……圧力計、（12）……フィルタ、（13）……
圧力検知器、（13a）……圧力変化検知用センサ、（13
b）……スイッチ、（13c）……警報器、（13）……圧力
調節弁。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体ウエハ等のウエット処理などをする
処理液を加熱するためのガラス製保護管内に発熱体を収
容した液用ガラスヒータを、前記処理液内に浸漬して該
処理液を加熱している状態で前記ガラス製保護管の破損
を検知する方法において、 前記液用ガラスヒータの両端を密封して、該液用ガラ
スヒータの内部に一定圧力の気体を送入し、その内部気
体圧力が一定値を超える場合に前記気体送入系に設けら
れた圧力調整手段により気体を放出して内部気体圧力を
調整し、前記内部気体圧力が所定値より低下した場合に
前記気体送入系に設けられた圧力変化検知用センサによ
りこれを検知し、その破損発生を報知手段により報知す
るようにしたことを特徴とする液用ガラスヒータ破損検
知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000720A JP2528703B2 (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | 液用ガラスヒ―タの破損検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000720A JP2528703B2 (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | 液用ガラスヒ―タの破損検知方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02181625A JPH02181625A (ja) | 1990-07-16 |
| JP2528703B2 true JP2528703B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=11481587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP64000720A Expired - Fee Related JP2528703B2 (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | 液用ガラスヒ―タの破損検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2528703B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6259839B2 (ja) * | 1982-02-23 | 1987-12-12 | Fukuoka Seisakusho Kk |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6259839U (ja) * | 1985-10-03 | 1987-04-14 |
-
1989
- 1989-01-05 JP JP64000720A patent/JP2528703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6259839B2 (ja) * | 1982-02-23 | 1987-12-12 | Fukuoka Seisakusho Kk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02181625A (ja) | 1990-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |