JP2526987B2 - 振動式トランスデュ―サ - Google Patents
振動式トランスデュ―サInfo
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- JP2526987B2 JP2526987B2 JP63120208A JP12020888A JP2526987B2 JP 2526987 B2 JP2526987 B2 JP 2526987B2 JP 63120208 A JP63120208 A JP 63120208A JP 12020888 A JP12020888 A JP 12020888A JP 2526987 B2 JP2526987 B2 JP 2526987B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、シリコン基板に形成された振動梁の固有周
波数が力あるいは環境の変化に対応して変化することを
利用して圧力或いは差圧などを検出する振動式トランス
デューサに係り、特にその回路構成を改良した振動式ト
ランスデューサに関する。
波数が力あるいは環境の変化に対応して変化することを
利用して圧力或いは差圧などを検出する振動式トランス
デューサに係り、特にその回路構成を改良した振動式ト
ランスデューサに関する。
第６図は米国特許第4495818に開示されている従来の
振動式トランスデューサの振動子本体の構成を示す。
振動式トランスデューサの振動子本体の構成を示す。
上部には円板状の金属製の底部10を有しここから下方
に円筒状に伸びる薄肉の金属製の円筒部11が一体に形成
され更に下方にはこの円筒部11と一体に円筒部11より直
径の大きな段差部12をもって円筒状の厚肉部13が形成さ
れている。この厚肉部13にはその半径方向に有底孔が開
けられてここに駆動手段としての一対の圧電素子14A、1
4Bが形成されている。
に円筒状に伸びる薄肉の金属製の円筒部11が一体に形成
され更に下方にはこの円筒部11と一体に円筒部11より直
径の大きな段差部12をもって円筒状の厚肉部13が形成さ
れている。この厚肉部13にはその半径方向に有底孔が開
けられてここに駆動手段としての一対の圧電素子14A、1
4Bが形成されている。
この段差部13の上には円筒部11とは所定の間隔を以て
部屋15を形成してカバー16が配置されており、その上部
は底部10と溶接され底部は段差部13と溶接されている。
更に、その側面には導入孔17が形成されこれを介して部
屋15に測定圧力P0が導入されている。
部屋15を形成してカバー16が配置されており、その上部
は底部10と溶接され底部は段差部13と溶接されている。
更に、その側面には導入孔17が形成されこれを介して部
屋15に測定圧力P0が導入されている。
また、肉厚部13の底部は円板状の蓋18でＯリングを介
してボルト19により押圧シールされている。この蓋18に
は測定圧力Piを導入する導入孔20を介して円筒部11の内
部21と連通している。
してボルト19により押圧シールされている。この蓋18に
は測定圧力Piを導入する導入孔20を介して円筒部11の内
部21と連通している。
円筒部11、圧電素子14A、14B、底部10などで円筒振動
子22を形成している。
子22を形成している。
第７図は第６図に示す円筒振動子に接続される増幅器
の構成を示す回路図である。
の構成を示す回路図である。
増幅器23は、増幅器AMS1、バンドパスフイルタBPF、
リミッタLM、ローパスフイルタLPFをなどで構成されて
いる。
リミッタLM、ローパスフイルタLPFをなどで構成されて
いる。
その初段の増幅器AMS1を構成する演算増幅器U1の非反
転入力端（＋）は圧電素子14Aに接続され、その出力端
はバンドパスフイルタBPFに、この出力端はリミッタLM
に、更にこの出力端はローパスフイルタLPFに、その出
力端は圧電素子14Bにそれぞれ接続されている。
転入力端（＋）は圧電素子14Aに接続され、その出力端
はバンドパスフイルタBPFに、この出力端はリミッタLM
に、更にこの出力端はローパスフイルタLPFに、その出
力端は圧電素子14Bにそれぞれ接続されている。
以上のように構成された振動式トランスデューサは、
増幅器23を含む回路のループゲインが１以上であると円
筒振動子22のもつ固有振動数で回路全体が自励発振を起
こす。そして、この自励発振の発振振幅はリミッタLMの
D1、D2で示されるゼナーダイオードのゼナー電圧に制限
された発振をする。この場合に円筒振動子22に導入され
る測定圧力PoとPjに依存して円筒部11に歪みが加わり、
固有振動数が変化する。
増幅器23を含む回路のループゲインが１以上であると円
筒振動子22のもつ固有振動数で回路全体が自励発振を起
こす。そして、この自励発振の発振振幅はリミッタLMの
D1、D2で示されるゼナーダイオードのゼナー電圧に制限
された発振をする。この場合に円筒振動子22に導入され
る測定圧力PoとPjに依存して円筒部11に歪みが加わり、
固有振動数が変化する。
従って、この固有振動数の変化から測定圧力の差圧
（Po−Pi）を知ることができる。
（Po−Pi）を知ることができる。
以上の構成では、ゼナーダイオードにより発振振幅を
一定に保持したが、従来技術としてこれ等のほかに駆動
電圧を一定に保持するように自動利得回路が動作して発
振振幅を一定に保持する構成としたものもある。
一定に保持したが、従来技術としてこれ等のほかに駆動
電圧を一定に保持するように自動利得回路が動作して発
振振幅を一定に保持する構成としたものもある。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、このような従来の振動式トランスデュ
ーサは、振動子が非線形領域で発振をする構成であるの
で、ゼナーダイオードで発振振幅を制限すると発振周波
数が変化するという問題があり、また駆動電圧を一定に
制御する構成では他の共振系との結合や測定流体との接
合状態などの境界条件により振動子の振幅が変化するこ
とがしばしば生じる。従って、駆動力一定の回路でも振
動子の共振周波数がずれて発振することになり、正確な
共振周波数を発生することができない、という問題があ
る。
ーサは、振動子が非線形領域で発振をする構成であるの
で、ゼナーダイオードで発振振幅を制限すると発振周波
数が変化するという問題があり、また駆動電圧を一定に
制御する構成では他の共振系との結合や測定流体との接
合状態などの境界条件により振動子の振幅が変化するこ
とがしばしば生じる。従って、駆動力一定の回路でも振
動子の共振周波数がずれて発振することになり、正確な
共振周波数を発生することができない、という問題があ
る。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、以上の課題を解決するために、ダイアフラ
ムに形成された振動子を有する振動子本体の出力端子と
入力端子との間に増幅器の入力端子と出力端子とが接続
され先の振動子の持つ固有振動数で自励発振させこの固
有振動数の変化から先のダイアフラムに印加される物理
量を検出する振動式トランスデューサにおいて、先の振
動子本体の出力端子で得られた信号が入力され利得を連
続的に調節して先の振動子本体の入力端子に出力する利
得調節手段と、先の振動子本体の出力端子から出力され
た信号の振幅と実質的に等価な信号と発振振幅を常に一
定にする基準値とを比較しその差信号を出力する比較手
段とを具備し、この差信号により先の利得調節手段を連
続的に制御して先の自励発振の発振振幅を一定にするよ
うにしたものである。
ムに形成された振動子を有する振動子本体の出力端子と
入力端子との間に増幅器の入力端子と出力端子とが接続
され先の振動子の持つ固有振動数で自励発振させこの固
有振動数の変化から先のダイアフラムに印加される物理
量を検出する振動式トランスデューサにおいて、先の振
動子本体の出力端子で得られた信号が入力され利得を連
続的に調節して先の振動子本体の入力端子に出力する利
得調節手段と、先の振動子本体の出力端子から出力され
た信号の振幅と実質的に等価な信号と発振振幅を常に一
定にする基準値とを比較しその差信号を出力する比較手
段とを具備し、この差信号により先の利得調節手段を連
続的に制御して先の自励発振の発振振幅を一定にするよ
うにしたものである。
＜作 用＞ 自励発振の発振振幅は増幅器の途中から検出され、こ
の検出された発振振幅は予め設定した基準電圧と比較さ
れてこの基準電圧になるようにその後段に設けられた利
得調節手段を調整するようにして振幅を一定に保持す
る。このため発振振幅は外部条件に左右されずに常に一
定に保持され自励発振の発振周波数の変動を来たすこと
はない。
の検出された発振振幅は予め設定した基準電圧と比較さ
れてこの基準電圧になるようにその後段に設けられた利
得調節手段を調整するようにして振幅を一定に保持す
る。このため発振振幅は外部条件に左右されずに常に一
定に保持され自励発振の発振周波数の変動を来たすこと
はない。
＜実施例＞ 以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図は本発明の要部である増幅部の構成を示す回
路図、第２図はこの増幅部に接続される振動子本体を含
む全体構成を示す。第３図は第２図に示す振動子本体の
要部の構成を示し、第３図（Ａ）はその上面図、第３図
（Ｂ）は第３図（Ａ）のＡ−Ａ′断面を示している。
る。第１図は本発明の要部である増幅部の構成を示す回
路図、第２図はこの増幅部に接続される振動子本体を含
む全体構成を示す。第３図は第２図に示す振動子本体の
要部の構成を示し、第３図（Ａ）はその上面図、第３図
（Ｂ）は第３図（Ａ）のＡ−Ａ′断面を示している。
まず、第２図に示す全体構成について第３図を含めて
その概要を説明する。
その概要を説明する。
振動子本体24は、ダイアフラム25、第１振動子26A、2
6Bと第２振動子27で構成されるＨ形の振動子、磁石28、
入力トランス29、出力トランス30などで構成されてい
る。
6Bと第２振動子27で構成されるＨ形の振動子、磁石28、
入力トランス29、出力トランス30などで構成されてい
る。
ダイアフラム25は、周囲に厚肉部（図示せず）を有す
るｐ形のシリコン基板の下面の中央部をエッチングして
薄肉として形成されており、測定圧力がこの面に印加さ
れることによって全体として変位する。このダイアフラ
ム25の上面の結晶面（100）の一部にはエッチングによ
り凹部31が形成されている。
るｐ形のシリコン基板の下面の中央部をエッチングして
薄肉として形成されており、測定圧力がこの面に印加さ
れることによって全体として変位する。このダイアフラ
ム25の上面の結晶面（100）の一部にはエッチングによ
り凹部31が形成されている。
この凹部31を跨ぐようにして、梁状の第１振動子26
A、26Bがそれぞれ結晶軸＜001＞に平行にダイアフラム2
5と一体にｐ形で形成され、これ等の中央部をこれ等の
振動子に直角にｐ形の梁状の第２振動子27で結合してＨ
形の振動子が形成されている。この第１振動子26Aの両
端には電極32と33が、更に第１振動子26Bの両端には電
極34と35が形成されている。
A、26Bがそれぞれ結晶軸＜001＞に平行にダイアフラム2
5と一体にｐ形で形成され、これ等の中央部をこれ等の
振動子に直角にｐ形の梁状の第２振動子27で結合してＨ
形の振動子が形成されている。この第１振動子26Aの両
端には電極32と33が、更に第１振動子26Bの両端には電
極34と35が形成されている。
第２振動子27の上部にはこれと平行に磁石36が配置さ
れ、第１振動子26A、27Bに直角に磁場を発生させてい
る。
れ、第１振動子26A、27Bに直角に磁場を発生させてい
る。
入力トランス29の出力端子は電極32、33に、その入力
端子の一端は振動子本体24の入力端子36に、他端は共通
電位点にそれぞれ接続されている。
端子の一端は振動子本体24の入力端子36に、他端は共通
電位点にそれぞれ接続されている。
出力トランス30の入力端子は電極34、35に接続され、
その出力端子は振動子本体24の出力端子37、38を介して
増幅器39の入力端にそれぞれ接続されている。更に、増
幅器39の出力端子40は振動子本体24の入力端子36に接続
されている。
その出力端子は振動子本体24の出力端子37、38を介して
増幅器39の入力端にそれぞれ接続されている。更に、増
幅器39の出力端子40は振動子本体24の入力端子36に接続
されている。
なお、図示されてはいないが、ダイアフラム25の上部
は第１振動子26A、26B、および第２振動子27の周囲に空
間を保ってエピタキシャル成長などの半導体技術で覆わ
れ、この空間の内部は真空に保持されて振動子の振動に
対して高いＱフアクタを維持している。
は第１振動子26A、26B、および第２振動子27の周囲に空
間を保ってエピタキシャル成長などの半導体技術で覆わ
れ、この空間の内部は真空に保持されて振動子の振動に
対して高いＱフアクタを維持している。
次に、増幅器39の詳細な構成は第２図に示してある
が、これについて説明する。
が、これについて説明する。
AMC1は増幅回路であり、その入力端（＋）、（−）は
振動子本体24の出力端37、38に接続されている。その出
力端は結合コンデンサC5を介して更に増幅回路AMC2に入
力されその出力電圧は結合点Ｊに出力される。その出力
は位相調整回路PHCを介して利得調整回路GACに出力され
る。利得調整回路GACは、その初段で増幅した後、その
増幅出力が抵抗R10、電界効果トランジスタQ1、トラン
スＴの直列回路に印加され、このトランスＴの２次側巻
線から出力端子40にその大きさが制御された出力電圧を
出力する。
振動子本体24の出力端37、38に接続されている。その出
力端は結合コンデンサC5を介して更に増幅回路AMC2に入
力されその出力電圧は結合点Ｊに出力される。その出力
は位相調整回路PHCを介して利得調整回路GACに出力され
る。利得調整回路GACは、その初段で増幅した後、その
増幅出力が抵抗R10、電界効果トランジスタQ1、トラン
スＴの直列回路に印加され、このトランスＴの２次側巻
線から出力端子40にその大きさが制御された出力電圧を
出力する。
一方、結合点Ｊの電圧Vjは半波整流回路HWRに入力さ
れ、ここでこの電圧Vjの大きさに対応した直流電圧Ejに
変換され、比較器CMPの反転入力端（−）に入力され
る。比較器CMPの非反転入力端（＋）には振幅設定回路A
SCから基準電圧VRが印加されており、比較器CMPはこれ
等の直流電圧Ejと基準電圧Ejとの偏差を増幅してその出
力端から電界効果トランジスタQ1のゲートにこの差電圧
を印加してそのドレイン／ゲート間の抵抗を調節してト
ランスＴに流れる電流を調節する。
れ、ここでこの電圧Vjの大きさに対応した直流電圧Ejに
変換され、比較器CMPの反転入力端（−）に入力され
る。比較器CMPの非反転入力端（＋）には振幅設定回路A
SCから基準電圧VRが印加されており、比較器CMPはこれ
等の直流電圧Ejと基準電圧Ejとの偏差を増幅してその出
力端から電界効果トランジスタQ1のゲートにこの差電圧
を印加してそのドレイン／ゲート間の抵抗を調節してト
ランスＴに流れる電流を調節する。
なお、これ等の回路において、コンデンサC6と抵抗R
17で位相調整し、抵抗R26で出力端40に現れる電圧の振
幅を設定する。
17で位相調整し、抵抗R26で出力端40に現れる電圧の振
幅を設定する。
以上の構成において、増幅器39から入力トランス29に
電圧が印加されるとその出力から第１振動子26Aに電流
ｉが流れ、磁石28による磁場との間で電磁力が作用して
第１振動子26Aが振動する。この振動は第２振動子27を
介して第１振動子26Bを振動させるが、第１振動子26Bに
は磁石から磁場が印加されているので、第１振動子26B
には電圧ｅが発生し出力トランス30を介して増幅器39に
入力される。増幅器39はこの電圧を増幅してその出力端
子40に増幅した電圧を発生させる。
電圧が印加されるとその出力から第１振動子26Aに電流
ｉが流れ、磁石28による磁場との間で電磁力が作用して
第１振動子26Aが振動する。この振動は第２振動子27を
介して第１振動子26Bを振動させるが、第１振動子26Bに
は磁石から磁場が印加されているので、第１振動子26B
には電圧ｅが発生し出力トランス30を介して増幅器39に
入力される。増幅器39はこの電圧を増幅してその出力端
子40に増幅した電圧を発生させる。
この増幅された電圧は再度入力トランス29に印加さ
れ、第１振動子26Aに更に大きな電圧として印加され
る。
れ、第１振動子26Aに更に大きな電圧として印加され
る。
以上を繰り返して増幅器39と振動子本体24とを結合す
るループは自励発振をする。そして、このループのルー
プゲインを１以上に設定しておくことにより、この自励
発振は持続する。
るループは自励発振をする。そして、このループのルー
プゲインを１以上に設定しておくことにより、この自励
発振は持続する。
この場合に、この自励発振の電圧の振幅は基準電圧VR
に対して一定の誤差の中に入るように制御される。
に対して一定の誤差の中に入るように制御される。
すなわち、結合点の電圧Vjに対応する直流電圧Ejが基
準電圧VRに対して大きいときはこれらの偏差に応じて比
較器CMPの出力で電界効果トランジスタQ1の内部抵抗を
増加させてトランスＴに流れる電流を小さくして出力端
子40に現れる電圧を小さくする。この結果、振動子本体
24に印加される電圧が小さくなり、増幅器39に入力され
る電圧が小さくなる。
準電圧VRに対して大きいときはこれらの偏差に応じて比
較器CMPの出力で電界効果トランジスタQ1の内部抵抗を
増加させてトランスＴに流れる電流を小さくして出力端
子40に現れる電圧を小さくする。この結果、振動子本体
24に印加される電圧が小さくなり、増幅器39に入力され
る電圧が小さくなる。
逆に、結合点の電圧Vjに対応する直流電圧Ejが基準電
圧VRに対して小さいときはこの逆に動作する。
圧VRに対して小さいときはこの逆に動作する。
このようにして常に発振振幅は基準電圧VRに一定の誤
差の範囲内で一致するように動作する。この誤差は比較
器CMPの（出力電圧／比較器CMPのゲイン）で決定され
る。従って、比較器CMPのゲインが大きければ誤差は無
視できる値となり、常に振動子の振幅は基準電圧VRに等
しくなるように動作する。
差の範囲内で一致するように動作する。この誤差は比較
器CMPの（出力電圧／比較器CMPのゲイン）で決定され
る。従って、比較器CMPのゲインが大きければ誤差は無
視できる値となり、常に振動子の振幅は基準電圧VRに等
しくなるように動作する。
次に、第４図と第５図を用いて第１図に示す回路構成
をとったときの効果について説明する。
をとったときの効果について説明する。
第４図は第１図に示す回路構成を採用したときの効果
を示しており、第５図は第１図に示す電界効果トランジ
スタQ1を除去して短絡し駆動力を一定（一定の電源電圧
による駆動）にしたときの回路構成をとったときの効果
を示している。いずれも、スパンは1kg/cm2であり、横
軸は圧力、縦軸は指示値をそれぞれ示している。
を示しており、第５図は第１図に示す電界効果トランジ
スタQ1を除去して短絡し駆動力を一定（一定の電源電圧
による駆動）にしたときの回路構成をとったときの効果
を示している。いずれも、スパンは1kg/cm2であり、横
軸は圧力、縦軸は指示値をそれぞれ示している。
これ等の結果から判るように、第４図に示す場合は±
0.005％程度の変動に対して第５図に示す場合は最大±
0.025程度の変動を示しており、約５倍程度の改善が図
られている。
0.005％程度の変動に対して第５図に示す場合は最大±
0.025程度の変動を示しており、約５倍程度の改善が図
られている。
＜発明の効果＞ 以上、実施例と共に具体的に説明したように本発明
は、自励発振の発振振幅は増幅器の途中から検出し、こ
の検出した発振振幅を予め設定した基準電圧と比較して
この基準電圧になるようにその後段に設けられた利得調
節手段を調整するようにして振幅を一定に保持したの
で、発振振幅は外部条件に左右されずに常に一定に保持
され自励発振の発振周波数の変動を来たすことはなく、
高精度の振動式トランスデューサを実現することができ
る。
は、自励発振の発振振幅は増幅器の途中から検出し、こ
の検出した発振振幅を予め設定した基準電圧と比較して
この基準電圧になるようにその後段に設けられた利得調
節手段を調整するようにして振幅を一定に保持したの
で、発振振幅は外部条件に左右されずに常に一定に保持
され自励発振の発振周波数の変動を来たすことはなく、
高精度の振動式トランスデューサを実現することができ
る。
第１図は本発明の要部を示す増幅部の構成図、第２図は
第１図に示す増幅部を含む全体構成を示す構成図、第３
図は第２図に示す振動検出部の要部の構成を示す構成
図、第４図は第２図に示す全体構成の効果を説明する特
性図、第５図は駆動力を一定にしたときの従来の効果を
説明する特性図、第６図は従来の振動式トランスデュー
サの振動子本体の構成を示す縦断面図、第７図は第６図
に示す円筒振動子に接続される増幅器の構成を示す回路
図である。 10……底部、11……円筒部、14A、14B……圧電素子、16
……カバー、17、20……導入孔、22……円筒振動子、23
……増幅器、24……振動子本体、25……ダイアフラム、
26SA、26B……第１振動子、27……第２振動子、28……
磁石、31……凹部、36……入力端子、37、38……出力端
子、39……増幅器、GAC……利得調整回路、ASC……振幅
設定回路、CMP……比較器、Q1……電界効果トランジス
タ。
第１図に示す増幅部を含む全体構成を示す構成図、第３
図は第２図に示す振動検出部の要部の構成を示す構成
図、第４図は第２図に示す全体構成の効果を説明する特
性図、第５図は駆動力を一定にしたときの従来の効果を
説明する特性図、第６図は従来の振動式トランスデュー
サの振動子本体の構成を示す縦断面図、第７図は第６図
に示す円筒振動子に接続される増幅器の構成を示す回路
図である。 10……底部、11……円筒部、14A、14B……圧電素子、16
……カバー、17、20……導入孔、22……円筒振動子、23
……増幅器、24……振動子本体、25……ダイアフラム、
26SA、26B……第１振動子、27……第２振動子、28……
磁石、31……凹部、36……入力端子、37、38……出力端
子、39……増幅器、GAC……利得調整回路、ASC……振幅
設定回路、CMP……比較器、Q1……電界効果トランジス
タ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 隆 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 (72)発明者 渡辺 哲也 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 (72)発明者 西川 直 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 (72)発明者 吉田 隆司 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−288542（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−161432（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−85951（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭55−24722（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】ダイアフラムに形成された振動子を有する
振動子本体の出力端子と入力端子との間に増幅器の入力
端子と出力端子とが接続され前記振動子の持つ固有振動
数で自励発振させこの固有振動数の変化から前記ダイア
フラムに印加される物理量を検出する振動式トランスデ
ューサにおいて、 前記振動子本体の出力端子で得られた信号が入力され利
得を連続的に調節して前記振動子本体の入力端子に出力
する利得調節手段と、前記振動子本体の出力端子から出
力された信号の振幅と実質的に等価な信号と発振振幅を
常に一定にする基準値とを比較しその差信号を出力する
比較手段とを具備し、この差信号により前記利得調節手
段を連続的に制御して前記自励発振の発振振幅を一定に
するようにしたことを特徴とする振動式トランスデュー
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120208A JP2526987B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 振動式トランスデュ―サ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120208A JP2526987B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 振動式トランスデュ―サ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01291137A JPH01291137A (ja) | 1989-11-22 |
| JP2526987B2 true JP2526987B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=14780578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63120208A Expired - Lifetime JP2526987B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 振動式トランスデュ―サ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526987B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4985951U (ja) * | 1972-11-16 | 1974-07-25 | ||
| JPS5524722A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-22 | Nippon Steel Corp | Continuous casting machine |
| JPS61161432A (ja) * | 1985-01-10 | 1986-07-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 水晶式気体圧力計 |
| JPS62288542A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-15 | Yokogawa Electric Corp | 振動式半導体トランスジユ−サ |
-
1988
- 1988-05-17 JP JP63120208A patent/JP2526987B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01291137A (ja) | 1989-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |