JP2526475Y2 - 真空チャンバ - Google Patents

真空チャンバ

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JP2526475Y2
JP2526475Y2 JP1989042310U JP4231089U JP2526475Y2 JP 2526475 Y2 JP2526475 Y2 JP 2526475Y2 JP 1989042310 U JP1989042310 U JP 1989042310U JP 4231089 U JP4231089 U JP 4231089U JP 2526475 Y2 JP2526475 Y2 JP 2526475Y2
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JP
Japan
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door
hinge
fulcrum shaft
vacuum chamber
chamber
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Application number
JP1989042310U
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JPH02134178U (ja
Inventor
光男 内藤
Original Assignee
セイコー電子工業株式会社
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Publication date
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  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は各種真空チャンバにおけるドアヒンジに関す
るものである。
〔従来の技術〕
従来、真空チャンバのドア等の開閉部においては、一
般的な支点位置が固定されたヒンジを用いてチャンバ本
体とドアを連結していた。
〔考案が解決しようとする課題〕
従来の方法においてはいくつかの欠点があった。
まず、支点位置が固定されているため、ドアを閉めた
状態において、チャンバ本体とドアのシール面を均一に
接触させるために、各部品の機械加工精度を高くする必
要があった。また、特に開口面積が大きい場合は、ドア
を閉めた状態においてチャンバ本体とドアのシール面が
均一に接触しにくいため、チャンバ内を真空に排気する
際には、スプリング式の錠前装置等を用いてチャンバ本
体とドアを強制的に接触させ、固定する必要があった。
本考案は、上記問題点を解決するために提案されるも
のであって、チャンバ本体のシール面に対して垂直に微
動可能な支点軸を有するヒンジを用いることによって、
チャンバ本体とドアとのシール面が常に均一な接触状態
を得られるようにした真空チャンバ用ドアヒンジを提供
することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
本考案の前記目的は、第１図および第２にその構成が
示された真空チャンバ用ドアヒンジにより達成される。
その機構は、チャンバ本体とその一部を開閉するための
ドアおよびヒンジからなる真空チャンバにおいて、ヒン
ジの支点軸が、チャンバ本体のシール面に対して垂直に
微動可動とし、チャンバ本体およびドアのシール面が常
に均一な接触状態を得られるように構成した真空チャン
バ用ドアヒンジである。
〔作用〕
ヒンジの支点軸が、チャンバ本体のシール面に対して
垂直に微動できるため、チャンバ内が大気圧の場合はも
ちろん、チャンバ内を真空に排気する過程において、チ
ャンバ本体とドアとの隙間がシール面全周にわたって均
一となり、すなわち均一な接触状態となる。
〔実施例〕
以下図面と共に本考案による真空チャンバ用ドアヒン
ジの実施例について説明する。
第１図において、１はドアで、ヒンジ２によりチャン
バ本体３に連結されている。チャンバ本体３にはＯリン
グ４が取付けられており、ドア１を閉めた後、図示しな
い真空ポンプ等によってその内部を真空に排気すること
ができる。
第２図は本考案による真空チャンバ用ドアヒンジの詳
細図である。2aはヒンジ支点軸であり、ドア１に対して
固定されている。2bはヒンジ支点軸2aの取付穴で、チャ
ンバ本体３に対して固定されている。この穴は第１図の
ように、チャンバ本体３のＯリング面に対して垂直方向
に長穴形状となっており、ヒンジ支点軸2aは長穴2bの中
を上下に動くことができるが、可動範囲は長穴2bの上下
に設けられた止めねじ５とプランジャ６によって制限さ
れている。なおこのプランジャ６は、そのストロークが
Ｏリング４のつぶししろ寸法よりも大きなものを採用し
ている。
第１図のようにドア１を閉めた状態で、Ｏリング４が
ドア１と均一に接触するように、ヒンジ支点軸2aの高さ
を調整し、ヒンジ支点軸2aは上方向には止めねじ５によ
り動かず、下方向にはプランジャ６のストローク分だけ
動くことができるように、止めねじ５、プランジャ６の
位置を決める。
このとき、ドア１の自重により、Ｏリング４はドア１
に均一に接触しているので、特にドア１とチャンバ本体
３とを強制的に固定しなくても、このままチャンバ内の
真空排気を開始することができる。さらに排気すると、
Ｏリング４がつぶれていくのと同時に、ヒンジ支点軸2a
がプランジャ６を押しながら下がるため、ドア全体がチ
ャンバ本体３のＯリング面に垂直に吸い寄せられるの
で、常に均一な接触状態を保ったまま、所定の真空状態
に到達する。
また、チャンバ内部の真空状態を解除すれば、Ｏリン
グ４およびプランジャ６の反発力で初めの状態に戻る。
〔考案の効果〕
以上述べた通り本考案によれば、真空に排気する過程
で常に均一にシール面の接触状態を保持することが可能
な真空チャンバを容易に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案によるドアヒンジを備えた真空チャンバ
の側断面図、第２図は本考案による真空チャンバ用ドア
ヒンジの詳細図である。 １……ドア、２……ヒンジ 2a……ヒンジ支点軸、2b……長穴 ３……チャンバ本体、４……Ｏリング ５……止めねじ、６……プランジャ

Claims (2)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】真空チャンバ本体と、前記真空チャンバ上
    部に設けられるドアと、前記真空チャンバ本体と前記ド
    アの接触面に設けられるシールと、前記ドアに設けられ
    るヒンジ支点軸と、前記チャンバ本体に設けられ、前記
    ヒンジ支点軸が取り付けられる前記接触面に垂直方向の
    長穴を有するヒンジ支点軸取り付け部材と、前記ヒンジ
    支点軸取り付け部材の前記ヒンジ支点軸下部に設けられ
    るプランジャとからなることを特徴とする真空チャン
    バ。
  2. 【請求項２】前記ヒンジ支点軸上部にはヒンジ支点軸の
    高さを調整すると共に上方向への可動範囲を制限するた
    めの止めねじが設けられていることを特徴とする請求項
    １記載の真空チャンバ。
JP1989042310U 1989-04-11 1989-04-11 真空チャンバ Expired - Lifetime JP2526475Y2 (ja)

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JPH02134178U JPH02134178U (ja) 1990-11-07
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