JP2523287Y2 - 導電性真空パッド - Google Patents
導電性真空パッドInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、導電性を備えた真空パ
ッドに関し、特に流体圧作動機器などに連動され、シー
ル性の低下防止および吸着される被吸着物の汚染防止が
可能とされる導電性真空パッドに適用して有効な技術に
関する。
ッドに関し、特に流体圧作動機器などに連動され、シー
ル性の低下防止および吸着される被吸着物の汚染防止が
可能とされる導電性真空パッドに適用して有効な技術に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体素子などの被吸着物を吸着
する真空パッドとしては、たとえば被吸着物への損傷を
防止するために接触面がゴムなどの弾性材料によって形
成されるものがある。
する真空パッドとしては、たとえば被吸着物への損傷を
防止するために接触面がゴムなどの弾性材料によって形
成されるものがある。
【０００３】ところが、被吸着物自体または被吸着物が
取り付けられる機器が帯電している場合には、静電気に
よって被吸着物およびオペレータに悪影響を与えるとい
う問題がある。
取り付けられる機器が帯電している場合には、静電気に
よって被吸着物およびオペレータに悪影響を与えるとい
う問題がある。
【０００４】そこで、たとえば真空パッドを導電材の混
入された導電性ゴムで形成し、静電気を真空パッドから
真空パッドを作動させる作動機器などを経由させ、接地
線を通じて大地に除電することによって悪影響を防止す
ることができる真空パッドが用いられている。
入された導電性ゴムで形成し、静電気を真空パッドから
真空パッドを作動させる作動機器などを経由させ、接地
線を通じて大地に除電することによって悪影響を防止す
ることができる真空パッドが用いられている。
【０００５】その上、除電効果を向上させるために、導
電性ゴムに含有される導電材の比率を高め、すなわち表
面抵抗率（以下、単に抵抗率という）を小さくすること
によって一層導電性を向上させる導電性真空パッドが形
成されている。
電性ゴムに含有される導電材の比率を高め、すなわち表
面抵抗率（以下、単に抵抗率という）を小さくすること
によって一層導電性を向上させる導電性真空パッドが形
成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術においては、真空パッドの長い間の使用によ
って混入されたカーボン粉などの導電材が析出され、被
吸着物に汚れを付けたり、また真空パッドの耐久性およ
びシール性が低下するという問題がある。
な従来技術においては、真空パッドの長い間の使用によ
って混入されたカーボン粉などの導電材が析出され、被
吸着物に汚れを付けたり、また真空パッドの耐久性およ
びシール性が低下するという問題がある。
【０００７】また、導電性が高いと静電気を早く除電で
きるものの、あまり早い除電は、被吸着物内部に放電が
発生するために、被吸着物を破壊させてしまうという問
題もある。
きるものの、あまり早い除電は、被吸着物内部に放電が
発生するために、被吸着物を破壊させてしまうという問
題もある。
【０００８】従って、従来の真空パッドによれば、静電
気の影響を受け易い半導体素子などの被吸着物について
は良好に適用できないという問題がある。
気の影響を受け易い半導体素子などの被吸着物について
は良好に適用できないという問題がある。
【０００９】そこで、本考案の目的は、真空パッドのシ
ール性および耐久性の低下を防止し、同時に吸着される
被吸着物の汚染および破壊を防止することができる導電
性真空パッドを提供することにある。
ール性および耐久性の低下を防止し、同時に吸着される
被吸着物の汚染および破壊を防止することができる導電
性真空パッドを提供することにある。
【００１０】本考案の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１２】すなわち、本考案の導電性真空パッドは、
静電気が帯電した被吸着物を真空吸着し、同時に被吸着
物の静電気を除電する導電性真空パッドであって、真空
パッドを導電材の混入された抵抗率の異なる導電性部材
で２層構造にコーティング、２段成形または接着により
形成し、被吸着物との接触側を非接触側に比べて大きい
抵抗率の静電気防止部材とするものである。
静電気が帯電した被吸着物を真空吸着し、同時に被吸着
物の静電気を除電する導電性真空パッドであって、真空
パッドを導電材の混入された抵抗率の異なる導電性部材
で２層構造にコーティング、２段成形または接着により
形成し、被吸着物との接触側を非接触側に比べて大きい
抵抗率の静電気防止部材とするものである。
【００１３】また、真空パッドを導電材の混入された抵
抗率の不均一な導電性部材で一体構造に形成し、被吸着
物との接触側を非接触側に比べて大きい抵抗率の静電気
防止部材とするものである。
抗率の不均一な導電性部材で一体構造に形成し、被吸着
物との接触側を非接触側に比べて大きい抵抗率の静電気
防止部材とするものである。
【００１４】さらに、真空パッドの接触側に、被吸着物
との非接触側に比べて小さい抵抗率の導電性部材を装着
するようにするものである。
との非接触側に比べて小さい抵抗率の導電性部材を装着
するようにするものである。
【００１５】この場合に、静電気防止部材として非移行
性ゴムを使用するものである。
性ゴムを使用するものである。
【００１６】
【作用】前記した導電性真空パッドによれば、被吸着物
との接触側が非接触側に比べて大きい抵抗率の導電性部
材で２層構造、または一体構造に形成されることによ
り、帯電している被吸着物または被吸着物の搭載部材の
静電気を強制的かつ効果的に除電することができる。
との接触側が非接触側に比べて大きい抵抗率の導電性部
材で２層構造、または一体構造に形成されることによ
り、帯電している被吸着物または被吸着物の搭載部材の
静電気を強制的かつ効果的に除電することができる。
【００１７】同時に、導電材の混入が少なくなることに
よって被吸着物との接触側からの導電材の析出が低減さ
れるので、被吸着物の汚れを防止することができ、かつ
真空パッドの耐久性およびシール性の低下を防止するこ
とができる。
よって被吸着物との接触側からの導電材の析出が低減さ
れるので、被吸着物の汚れを防止することができ、かつ
真空パッドの耐久性およびシール性の低下を防止するこ
とができる。
【００１８】さらに、必要により非移行性ゴムなどを薄
くコーティングすることで、ゴムによる汚れを防止で
き、また２種のゴムを組合せることで急激な放電による
被吸着物の破壊を防止することもできる。
くコーティングすることで、ゴムによる汚れを防止で
き、また２種のゴムを組合せることで急激な放電による
被吸着物の破壊を防止することもできる。
【００１９】また、真空パッドが、被吸着物との接触側
に別体構造の導電性部材が装着されて形成されることに
より、被吸着物に対応した形状の導電性部材を標準部品
に組み合わせることができるので、被吸着物に対する汎
用性の向上が可能となる。
に別体構造の導電性部材が装着されて形成されることに
より、被吸着物に対応した形状の導電性部材を標準部品
に組み合わせることができるので、被吸着物に対する汎
用性の向上が可能となる。
【００２０】
【実施例１】図１は本考案の一実施例である導電性真空
パッドを示す断面図、図２は本実施例の導電性真空パッ
ドの使用例としての被吸着物を吸着している状態を示す
説明図である。
パッドを示す断面図、図２は本実施例の導電性真空パッ
ドの使用例としての被吸着物を吸着している状態を示す
説明図である。
【００２１】まず、図１により本実施例の導電性真空パ
ッドの構成を説明する。
ッドの構成を説明する。
【００２２】本実施例の真空パッドは、たとえば図２に
示すように流体圧作動機器に連動される真空パッドとさ
れ、中心部がくぼんだ皿状に形成された吸着部１と、こ
の吸着部１の中心を貫通して固定される吸引部２とから
構成されている。
示すように流体圧作動機器に連動される真空パッドとさ
れ、中心部がくぼんだ皿状に形成された吸着部１と、こ
の吸着部１の中心を貫通して固定される吸引部２とから
構成されている。
【００２３】吸着部１は、たとえばカーボンなどの導電
材が混入され、抵抗率が約１０5 Ωの導電性部材の導電
性ゴム３と、抵抗率が約１０10Ωの静電気防止部材の静
電気防止ゴム４とから構成され、導電性ゴム３のくぼみ
部分に静電気防止ゴム４がコーティングされて２層構造
に形成されている。そして、真空吸着時には、被吸着物
に対して静電気防止ゴム４のみが接触される構造となっ
ている。
材が混入され、抵抗率が約１０5 Ωの導電性部材の導電
性ゴム３と、抵抗率が約１０10Ωの静電気防止部材の静
電気防止ゴム４とから構成され、導電性ゴム３のくぼみ
部分に静電気防止ゴム４がコーティングされて２層構造
に形成されている。そして、真空吸着時には、被吸着物
に対して静電気防止ゴム４のみが接触される構造となっ
ている。
【００２４】吸引部２は、中心部に吸引用の吸引孔５が
形成され、吸着部１のくぼみ部分の空気を吸引して真空
状態にするものである。
形成され、吸着部１のくぼみ部分の空気を吸引して真空
状態にするものである。
【００２５】次に、本実施例の作用について説明する。
【００２６】以上のように構成される真空パッドは、た
とえば図２に示すように流体圧作動機器であるシリンダ
装置６などのピストンロッド７に固定され、シリンダ装
置６に連動させて真空パッドを上下方向に動作させ、ま
た真空パッドに接続される真空ポンプなどの作動によっ
て被吸着物を吸着および離脱させることができる。
とえば図２に示すように流体圧作動機器であるシリンダ
装置６などのピストンロッド７に固定され、シリンダ装
置６に連動させて真空パッドを上下方向に動作させ、ま
た真空パッドに接続される真空ポンプなどの作動によっ
て被吸着物を吸着および離脱させることができる。
【００２７】この場合に、たとえば被吸着物である半導
体素子８が正極性に帯電している搭載部材９に搭載され
ている時は、静電気が搭載部材９から半導体素子８、半
導体素子８に接触される真空パッドの静電気防止ゴム４
および導電性ゴム３、さらにシリンダ装置６からシリン
ダ装置６の取付部材１０を介し、接地線を通じて大地に
静電気を逃がすことができる。
体素子８が正極性に帯電している搭載部材９に搭載され
ている時は、静電気が搭載部材９から半導体素子８、半
導体素子８に接触される真空パッドの静電気防止ゴム４
および導電性ゴム３、さらにシリンダ装置６からシリン
ダ装置６の取付部材１０を介し、接地線を通じて大地に
静電気を逃がすことができる。
【００２８】従って、本実施例の真空パッドによれば、
吸着部１が導電材が混入された導電性ゴム３および静電
気防止ゴム４で形成されることにより、半導体素子８に
接触される搭載部材９、または半導体素子８自体が帯電
している場合においても、静電気防止ゴム４、導電性ゴ
ム３を通じて静電気を強制的に除電させることができ
る。
吸着部１が導電材が混入された導電性ゴム３および静電
気防止ゴム４で形成されることにより、半導体素子８に
接触される搭載部材９、または半導体素子８自体が帯電
している場合においても、静電気防止ゴム４、導電性ゴ
ム３を通じて静電気を強制的に除電させることができ
る。
【００２９】また、長期間の使用に伴って、実際に半導
体素子８に接触される静電気防止ゴム４から析出される
導電材が低減されることにより、半導体素子８への汚れ
を防止でき、同時に真空パッドの耐久性およびシール性
の低下を防止することができる。
体素子８に接触される静電気防止ゴム４から析出される
導電材が低減されることにより、半導体素子８への汚れ
を防止でき、同時に真空パッドの耐久性およびシール性
の低下を防止することができる。
【００３０】
【実施例２】図３は本考案の他の実施例である導電性真
空パッドを示す断面図である。
空パッドを示す断面図である。
【００３１】本実施例の真空パッドは、実施例１と同様
に中心部がくぼんだ皿状に形成された吸着部１ａと、こ
の吸着部１ａの中心を貫通して固定される吸引部２ａと
から構成され、実施例１との相違点は吸着部１ａの構造
が異なる点である。
に中心部がくぼんだ皿状に形成された吸着部１ａと、こ
の吸着部１ａの中心を貫通して固定される吸引部２ａと
から構成され、実施例１との相違点は吸着部１ａの構造
が異なる点である。
【００３２】すなわち、本実施例の吸着部１ａは、たと
えば図３に示すように半導体素子８との非接触側である
内部が約１０5 Ωの抵抗率の導電性ゴム３ａとされ、ま
た半導体素子８との接触側である外部が約１０10Ωの抵
抗率の静電気防止ゴム４ａとされ、抵抗率の不均一な導
電性のゴムで一体構造に形成されている。
えば図３に示すように半導体素子８との非接触側である
内部が約１０5 Ωの抵抗率の導電性ゴム３ａとされ、ま
た半導体素子８との接触側である外部が約１０10Ωの抵
抗率の静電気防止ゴム４ａとされ、抵抗率の不均一な導
電性のゴムで一体構造に形成されている。
【００３３】従って、本実施例の真空パッドによれば、
実施例１と同様に半導体素子８またはその搭載部材９が
帯電している場合においても、静電気防止ゴム４ａ、導
電性ゴム３ａを通じて静電気を強制的かつ効果的に除電
させることができ、同時に使用に伴う導電材の析出が低
減されるので、半導体素子８への汚れを防止でき、その
上真空パッドの耐久性およびシール性の低下を防止する
ことができる。
実施例１と同様に半導体素子８またはその搭載部材９が
帯電している場合においても、静電気防止ゴム４ａ、導
電性ゴム３ａを通じて静電気を強制的かつ効果的に除電
させることができ、同時に使用に伴う導電材の析出が低
減されるので、半導体素子８への汚れを防止でき、その
上真空パッドの耐久性およびシール性の低下を防止する
ことができる。
【００３４】
【実施例３】図４は本考案のさらに他の実施例である導
電性真空パッドを示す断面図、図５は本実施例の真空パ
ッドに装着される静電気防止部材を示す平面図である。
電性真空パッドを示す断面図、図５は本実施例の真空パ
ッドに装着される静電気防止部材を示す平面図である。
【００３５】本実施例の真空パッドは、実施例１および
２と同様に中心部がくぼんだ皿状に形成された吸着部１
ｂと、この吸着部１ｂの中心を貫通して固定される吸引
部２ｂとから構成され、実施例１および２との相違点は
吸着部１ｂの構造が異なり、くぼみ部分への装着部材の
材質が異なる点である。
２と同様に中心部がくぼんだ皿状に形成された吸着部１
ｂと、この吸着部１ｂの中心を貫通して固定される吸引
部２ｂとから構成され、実施例１および２との相違点は
吸着部１ｂの構造が異なり、くぼみ部分への装着部材の
材質が異なる点である。
【００３６】すなわち、本実施例の吸着部１ｂは、たと
えば図４に示すように抵抗率が約１０10Ωの静電気防止
ゴム４ｂのくぼみ部分に、たとえば図５のように十字状
に形成され、樹脂などにカーボンなどの導電材が混入さ
れた抵抗率が約１０5 Ωの導電性樹脂３ｂが装着されて
いる。
えば図４に示すように抵抗率が約１０10Ωの静電気防止
ゴム４ｂのくぼみ部分に、たとえば図５のように十字状
に形成され、樹脂などにカーボンなどの導電材が混入さ
れた抵抗率が約１０5 Ωの導電性樹脂３ｂが装着されて
いる。
【００３７】従って、本実施例の真空パッドによれば、
実施例１および２と同様に半導体素子８またはその搭載
部材９が帯電している場合においても、導電性樹脂３
ｂ、吸引部２ｂを通じて静電気を強制的に除電させるこ
とができ、同時に半導体素子８への汚れ防止と、真空パ
ッドの耐久性およびシール性の低下防止とを可能とする
ことができる。
実施例１および２と同様に半導体素子８またはその搭載
部材９が帯電している場合においても、導電性樹脂３
ｂ、吸引部２ｂを通じて静電気を強制的に除電させるこ
とができ、同時に半導体素子８への汚れ防止と、真空パ
ッドの耐久性およびシール性の低下防止とを可能とする
ことができる。
【００３８】また、導電性樹脂３ｂが別体構造に形成さ
れるので、半導体素子８に対応した形状に形成したり、
形状の異なる導電性樹脂３ｂを組み合わせたり、標準パ
ッドに静電気防止が必要な場合のみ取付けることによっ
て汎用性の向上を図ることができる。
れるので、半導体素子８に対応した形状に形成したり、
形状の異なる導電性樹脂３ｂを組み合わせたり、標準パ
ッドに静電気防止が必要な場合のみ取付けることによっ
て汎用性の向上を図ることができる。
【００３９】以上、本考案者によってなされた考案を実
施例１〜３に基づき具体的に説明したが、本考案は前記
各実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例１〜３に基づき具体的に説明したが、本考案は前記
各実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４０】たとえば、前記各実施例の真空パッドにつ
いては、カーボンなどの導電材が混入された導電性ゴム
３，３ａ、静電気防止ゴム４，４ａ，４ｂ、さらに樹脂
材料にカーボンが混入された導電性樹脂３ｂによって形
成される場合について説明したが、本考案は前記各実施
例に限定されるものではなく、たとえばアルミニウム、
銅、鉄など金属粉が混入されるゴム製または樹脂製によ
り形成する場合、また導電性樹脂３ｂについては薄い鉄
板などについても広く適用可能である。
いては、カーボンなどの導電材が混入された導電性ゴム
３，３ａ、静電気防止ゴム４，４ａ，４ｂ、さらに樹脂
材料にカーボンが混入された導電性樹脂３ｂによって形
成される場合について説明したが、本考案は前記各実施
例に限定されるものではなく、たとえばアルミニウム、
銅、鉄など金属粉が混入されるゴム製または樹脂製によ
り形成する場合、また導電性樹脂３ｂについては薄い鉄
板などについても広く適用可能である。
【００４１】また、前記各実施例の真空パッドの形状に
ついては、図１〜図５に示すような形状に限られるもの
ではなく、種々の形状に変形可能である。特に、実施例
３の導電性樹脂３ｂの形状については、被吸着物に対応
させた形状に形成することが望ましい。
ついては、図１〜図５に示すような形状に限られるもの
ではなく、種々の形状に変形可能である。特に、実施例
３の導電性樹脂３ｂの形状については、被吸着物に対応
させた形状に形成することが望ましい。
【００４２】さらに、導電性ゴム３，３ａ，導電性樹脂
３ｂを抵抗率が約１０5 Ωの導電性部材で形成し、静電
気防止ゴム４，４ａ，４ｂを抵抗率が約１０10Ωの静電
気防止部材で形成する場合について説明したが、たとえ
ば導電性部材については１０5 以下の抵抗率、静電気防
止部材は１０9 Ω〜１０14Ωの抵抗率範囲などに変更可
能である。
３ｂを抵抗率が約１０5 Ωの導電性部材で形成し、静電
気防止ゴム４，４ａ，４ｂを抵抗率が約１０10Ωの静電
気防止部材で形成する場合について説明したが、たとえ
ば導電性部材については１０5 以下の抵抗率、静電気防
止部材は１０9 Ω〜１０14Ωの抵抗率範囲などに変更可
能である。
【００４３】また、実施例１の真空パッドについては、
コーティングによって２層構造に形成される場合に限定
されるものではなく、たとえば２段成形または接着によ
り形成する場合についても適用可能である。
コーティングによって２層構造に形成される場合に限定
されるものではなく、たとえば２段成形または接着によ
り形成する場合についても適用可能である。
【００４４】同時に、被吸着物へのゴムの付着を防止す
るため、静電気防止ゴムの材質を非移行性ゴムとするこ
とも効果的である。
るため、静電気防止ゴムの材質を非移行性ゴムとするこ
とも効果的である。
【００４５】以上の説明では、主として本考案者によっ
てなされた考案を、特にその利用分野である流体圧作動
機器に連動される真空パッドに適用した場合について説
明したが、これに限定されるものではなく、たとえばロ
ボット機器など他の装置などに連動される真空パッドに
ついても広く適用可能である。
てなされた考案を、特にその利用分野である流体圧作動
機器に連動される真空パッドに適用した場合について説
明したが、これに限定されるものではなく、たとえばロ
ボット機器など他の装置などに連動される真空パッドに
ついても広く適用可能である。
【００４６】
【考案の効果】本願において開示される考案のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００４７】(1).真空パッドが導電材の混入された抵抗
率の異なる導電性部材で２層構造または一体構造に形成
され、被吸着物との接触側が非接触側に比べて大きい抵
抗率の静電気防止部材とされることにより、帯電してい
る被吸着物または被吸着物の搭載部材の静電気を、急激
な放電により被吸着物を破壊することなく、強制的かつ
効果的に除電することができる。
率の異なる導電性部材で２層構造または一体構造に形成
され、被吸着物との接触側が非接触側に比べて大きい抵
抗率の静電気防止部材とされることにより、帯電してい
る被吸着物または被吸着物の搭載部材の静電気を、急激
な放電により被吸着物を破壊することなく、強制的かつ
効果的に除電することができる。
【００４８】(2).真空パッドの接触側に、被吸着物との
非接触側に比べて小さい抵抗率の導電性部材が装着され
ることにより、別体構造の導電性部材を被吸着物に対応
した形状に形成したり、または種々の形状の導電性部材
を標準品に組み合わせることができるので、被吸着物に
対する汎用性の向上が可能となる。
非接触側に比べて小さい抵抗率の導電性部材が装着され
ることにより、別体構造の導電性部材を被吸着物に対応
した形状に形成したり、または種々の形状の導電性部材
を標準品に組み合わせることができるので、被吸着物に
対する汎用性の向上が可能となる。
【００４９】(3).前記(1) により、非移行性ゴムの使用
などによって被吸着物との接触側からの導電材の析出が
低減されるので、被吸着物の汚れを防止することができ
る。
などによって被吸着物との接触側からの導電材の析出が
低減されるので、被吸着物の汚れを防止することができ
る。
【００５０】(4).前記(3) により、析出される導電材の
低減によって真空パッドの耐久性およびシール性の低下
を防止することができる。
低減によって真空パッドの耐久性およびシール性の低下
を防止することができる。
【図１】本考案の実施例１である導電性真空パッドを示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】実施例１の導電性真空パッドの使用例としての
被吸着物を吸着している状態を示す説明図である。
被吸着物を吸着している状態を示す説明図である。
【図３】本考案の実施例２である導電性真空パッドを示
す断面図である。
す断面図である。
【図４】本考案の実施例３である導電性真空パッドを示
す断面図である。
す断面図である。
【図５】実施例３の真空パッドに装着される静電気防止
部材を示す平面図である。
部材を示す平面図である。
１ 吸着部 １ａ 吸着部 １ｂ 吸着部 ２ 吸引部 ２ａ 吸引部 ２ｂ 吸引部 ３ 導電性ゴム（導電性部材） ３ａ 導電性ゴム（導電性部材） ３ｂ 導電性樹脂（導電性部材） ４ 静電気防止ゴム（静電気防止部材） ４ａ 静電気防止ゴム（静電気防止部材） ４ｂ 静電気防止ゴム（静電気防止部材） ５ 吸引孔 ６ シリンダ装置（流体圧作動機器） ７ ピストンロッド ８ 半導体素子（被吸着物） ９ 搭載部材 １０ 取付部材
Claims (4)
- 【請求項１】 静電気が帯電した被吸着物を真空吸着
し、同時に該被吸着物の静電気を除電する導電性真空パ
ッドであって、前記真空パッドが導電材の混入された抵
抗率の異なる導電性部材で２層構造にコーティング、２
段成形または接着により形成され、前記被吸着物との接
触側が非接触側に比べて大きい抵抗率の静電気防止部材
とされることを特徴とする導電性真空パッド。 - 【請求項２】 前記真空パッドが導電材の混入された抵
抗率の不均一な導電性部材で一体構造に形成され、前記
被吸着物との接触側が非接触側に比べて大きい抵抗率の
静電気防止部材とされることを特徴とする請求項１記載
の導電性真空パッド。 - 【請求項３】 前記真空パッドの接触側に、前記被吸着
物との非接触側に比べて小さい抵抗率の導電性部材が装
着されることを特徴とする請求項１記載の導電性真空パ
ッド。 - 【請求項４】 前記静電気防止部材として非移行性ゴム
を使用することを特徴とする請求項１、２または３記載
の導電性真空パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48391U JP2523287Y2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 導電性真空パッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48391U JP2523287Y2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 導電性真空パッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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