JPH0577185A - 吸着ヘツド - Google Patents
吸着ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0577185A JPH0577185A JP23811791A JP23811791A JPH0577185A JP H0577185 A JPH0577185 A JP H0577185A JP 23811791 A JP23811791 A JP 23811791A JP 23811791 A JP23811791 A JP 23811791A JP H0577185 A JPH0577185 A JP H0577185A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- suction head
- semiconductor package
- electrification
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体パッケ−ジなどのような、静電気に対し
て弱いもの、帯電しやすいものを吸着搬送する際に、帯
電させにくくし、静電破壊などから保護する、搬送装置
の吸着ヘッドを提供する。 【構成】半導体パッケ−ジ１２を、吸着パッド１１によ
り吸い上げ、上下移動用シリンダ−１４、及び上下移動
用ガイド１７と、前後移動用シリンダ−１３、及び前後
移動用ガイド１６により移載する。吸着パッド１１は、
真空用配管１５につながれ、半導体パッケ−ジ１２を吸
い上げる。吸着ヘッドは導電性材質（金属）の吸着パッ
ド１１を、２枚の金属性板バネ１８で、スペ−サ−１９
を挟み込んで固定することにより、平行リンクを構成す
る。 【効果】吸着ヘッドをとりつけるだけで、吸着物と取付
面との間で、電気的導通がとれ、静電破壊や帯電をおこ
さないで、吸着搬送することが出来る。
て弱いもの、帯電しやすいものを吸着搬送する際に、帯
電させにくくし、静電破壊などから保護する、搬送装置
の吸着ヘッドを提供する。 【構成】半導体パッケ−ジ１２を、吸着パッド１１によ
り吸い上げ、上下移動用シリンダ−１４、及び上下移動
用ガイド１７と、前後移動用シリンダ−１３、及び前後
移動用ガイド１６により移載する。吸着パッド１１は、
真空用配管１５につながれ、半導体パッケ−ジ１２を吸
い上げる。吸着ヘッドは導電性材質（金属）の吸着パッ
ド１１を、２枚の金属性板バネ１８で、スペ−サ−１９
を挟み込んで固定することにより、平行リンクを構成す
る。 【効果】吸着ヘッドをとりつけるだけで、吸着物と取付
面との間で、電気的導通がとれ、静電破壊や帯電をおこ
さないで、吸着搬送することが出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケ−ジなど
のような、静電気に対して弱いもの、帯電しやすいもの
を、搬送する装置に関するものである。
のような、静電気に対して弱いもの、帯電しやすいもの
を、搬送する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の搬送装置に於いて、吸着によっ
て、精度良く搬送する場合、使用されている吸着ヘッド
は、図２のように吸着パッド２４、スライドシャフト２
３、スライドベアリング２１、スプリング２３から構成
されている。
て、精度良く搬送する場合、使用されている吸着ヘッド
は、図２のように吸着パッド２４、スライドシャフト２
３、スライドベアリング２１、スプリング２３から構成
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術には、以下に述べるような課題がある。即ち、前記吸
着ヘッドで、半導体パッケ−ジなどのような、静電気に
対して弱いもの、帯電しやすいものを、吸着搬送する場
合、前記吸着パッドを導電性の材質のものにしても、前
記スライドベアリングと前記スライドシャフトの間で、
電気的導通がとれず、搬送中に帯電してしまい、搬送さ
れた場所によっては、前記半導体パッケ−ジが接地さ
れ、静電破壊を起こしてしまう。そのため前記吸着パッ
ドを装置の接地がとれている場所まで、接地用配線をし
なければならなかった。またその配線が、可動部への配
線となるため、配線抵抗による動作不良や断線などの問
題が生じていた。
術には、以下に述べるような課題がある。即ち、前記吸
着ヘッドで、半導体パッケ−ジなどのような、静電気に
対して弱いもの、帯電しやすいものを、吸着搬送する場
合、前記吸着パッドを導電性の材質のものにしても、前
記スライドベアリングと前記スライドシャフトの間で、
電気的導通がとれず、搬送中に帯電してしまい、搬送さ
れた場所によっては、前記半導体パッケ−ジが接地さ
れ、静電破壊を起こしてしまう。そのため前記吸着パッ
ドを装置の接地がとれている場所まで、接地用配線をし
なければならなかった。またその配線が、可動部への配
線となるため、配線抵抗による動作不良や断線などの問
題が生じていた。
【０００４】本発明では、以上のような問題点を解決す
るものであり、その目的とするところは、前記吸着ヘッ
ドを、接地することにより、半導体パッケ−ジなどのよ
うな、静電気に対して弱いもの、帯電しやすいものを吸
着搬送する際に、帯電させにくくし、静電破壊などから
保護することを特徴とする、搬送装置を確立することで
ある。
るものであり、その目的とするところは、前記吸着ヘッ
ドを、接地することにより、半導体パッケ−ジなどのよ
うな、静電気に対して弱いもの、帯電しやすいものを吸
着搬送する際に、帯電させにくくし、静電破壊などから
保護することを特徴とする、搬送装置を確立することで
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の吸着ヘッドで
は、２枚の金属製の板バネを組合せ、平行リンクを構成
させたものにし、前記スライドベアリングなどの、グリ
ースなどの油膜で、電気的に導通がとれないものを排除
し、吸着ヘッドの電気的導通をとり、前記接地用配線を
排除することを特徴とする。
は、２枚の金属製の板バネを組合せ、平行リンクを構成
させたものにし、前記スライドベアリングなどの、グリ
ースなどの油膜で、電気的に導通がとれないものを排除
し、吸着ヘッドの電気的導通をとり、前記接地用配線を
排除することを特徴とする。
【０００６】
【実施例】以下実施例に基づいて、本発明を説明する。
【０００７】図１（ａ）は、本発明の吸着ヘッドを利用
した、移載装置の正面図である。半導体パッケ−ジ１２
を、吸着パッド１１により吸い上げ、上下移動用シリン
ダ−１４、及び上下移動用ガイド１７と、前後移動用シ
リンダ−１３、及び前後移動用ガイド１６により移載す
る装置である。吸着パッド１１は、真空用配管１５につ
ながれ、半導体パッケ−ジ１２を吸い上げる。
した、移載装置の正面図である。半導体パッケ−ジ１２
を、吸着パッド１１により吸い上げ、上下移動用シリン
ダ−１４、及び上下移動用ガイド１７と、前後移動用シ
リンダ−１３、及び前後移動用ガイド１６により移載す
る装置である。吸着パッド１１は、真空用配管１５につ
ながれ、半導体パッケ−ジ１２を吸い上げる。
【０００８】また図１（ｂ）は、本発明の吸着ヘッド詳
細図である。導電性材質（金属）の吸着パッド１１を、
２枚の金属性板バネ１８で、スペ−サ−１９を挟み込ん
で固定することにより、平行リンクを構成した吸着ヘッ
ドの実施例である。
細図である。導電性材質（金属）の吸着パッド１１を、
２枚の金属性板バネ１８で、スペ−サ−１９を挟み込ん
で固定することにより、平行リンクを構成した吸着ヘッ
ドの実施例である。
【０００９】取付面に対し、金属性板バネ１８によって
接触しているため、導電性材質の吸着パッド１１との間
が、すなわち半導体パッケ−ジ１２と取付面との間に、
電気的導通がとれ、従来の吸着ヘッド図２のように、接
地用配線２５を設置することなく、半導体パッケ−ジな
どのような、静電気に対して弱いもの、帯電しやすいも
のを、静電破壊や帯電をおこさないで、吸着搬送するこ
とが出来る。。
接触しているため、導電性材質の吸着パッド１１との間
が、すなわち半導体パッケ−ジ１２と取付面との間に、
電気的導通がとれ、従来の吸着ヘッド図２のように、接
地用配線２５を設置することなく、半導体パッケ−ジな
どのような、静電気に対して弱いもの、帯電しやすいも
のを、静電破壊や帯電をおこさないで、吸着搬送するこ
とが出来る。。
【００１０】さらに、２枚の金属性板バネ１８で固定し
ているため、回転方向の廻り止め機能をつけなくても、
吸着物である半導体パッケ−ジ１２の、位置精度および
搬送途中の姿勢の維持が可能となる。
ているため、回転方向の廻り止め機能をつけなくても、
吸着物である半導体パッケ−ジ１２の、位置精度および
搬送途中の姿勢の維持が可能となる。
【００１１】また、吸着パッド１１が、２枚の金属性板
バネ１８で固定しているため、スライドするときに、摺
動箇所がなく、発塵を嫌う半導体製造工程には有効な、
吸着ヘッドとなる。
バネ１８で固定しているため、スライドするときに、摺
動箇所がなく、発塵を嫌う半導体製造工程には有効な、
吸着ヘッドとなる。
【００１２】図３は、金属性吸着パッドのかわりに、導
電性シリコンゴムや導電性ニトリルゴムでできた、吸着
ゴムパッド３１を設置した吸着ヘッドの実施例である。
電性シリコンゴムや導電性ニトリルゴムでできた、吸着
ゴムパッド３１を設置した吸着ヘッドの実施例である。
【００１３】この実施例の場合、数箇所で同時に吸着す
る場合や、吸着面の粗いものに対して有利である。
る場合や、吸着面の粗いものに対して有利である。
【００１４】
【発明の効果】本発明の吸着ヘッドは、以上説明したよ
うに、吸着ヘッドをとりつけるだけで、電気的導通がと
れ、半導体パッケ−ジなどのような、静電気に対して弱
いもの、帯電しやすいものを、静電破壊や帯電をおこさ
ないで、吸着搬送することが出来る。
うに、吸着ヘッドをとりつけるだけで、電気的導通がと
れ、半導体パッケ−ジなどのような、静電気に対して弱
いもの、帯電しやすいものを、静電破壊や帯電をおこさ
ないで、吸着搬送することが出来る。
【図１】（ａ）本発明の吸着ヘッドを利用した移載装置
の正面図。 （ｂ）本発明の吸着ヘッドの詳細図。
の正面図。 （ｂ）本発明の吸着ヘッドの詳細図。
【図２】従来例での吸着ヘッドの正面図。
【図３】本発明の別の実施例での吸着ヘッドの正面図。
１１・・・・・ 吸着パッド １２・・・・・ 半導体パッケ−ジ １３・・・・・ 前後移動用シリンダ− １４・・・・・ 上下移動用シリンダ− １５・・・・・ 真空用配管 １６・・・・・ 前後移動用ガイド １７・・・・・ 上下移動用ガイド １８・・・・・ 金属性板バネ １９・・・・・ スペ−サ− ２１・・・・・ スライドベアリング ２２・・・・・ スライドシャフト ２３・・・・・ スプリング ２４・・・・・ 吸着パッド ２５・・・・・ 接地用配線 ３１・・・・・ 導電性ゴムパッド
Claims (1)
- 【請求項１】半導体パッケ−ジなどのような、静電気に
対して弱いもの、帯電しやすいものを、搬送する際に於
いて、接地対策が施せることを特徴とする吸着ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811791A JPH0577185A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 吸着ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811791A JPH0577185A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 吸着ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0577185A true JPH0577185A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17025436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23811791A Pending JPH0577185A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 吸着ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0577185A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249772A (ja) * | 1997-03-12 | 1998-09-22 | Fujitsu Ltd | 吸着装置 |
| CN107877483A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-06 | 倪立秧 | 一种全自动呼吸内科医疗玻璃器具吸取装置 |
| US20220013844A1 (en) * | 2020-07-13 | 2022-01-13 | Sk Innovation Co., Ltd. | Taping apparatus and method for secondary battery |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP23811791A patent/JPH0577185A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249772A (ja) * | 1997-03-12 | 1998-09-22 | Fujitsu Ltd | 吸着装置 |
| CN107877483A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-06 | 倪立秧 | 一种全自动呼吸内科医疗玻璃器具吸取装置 |
| US20220013844A1 (en) * | 2020-07-13 | 2022-01-13 | Sk Innovation Co., Ltd. | Taping apparatus and method for secondary battery |
| US11909060B2 (en) * | 2020-07-13 | 2024-02-20 | Sk On Co., Ltd. | Taping apparatus and method for secondary battery |
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