JP2508373B2 - Dielectric ceramic composition and method for producing dielectric ceramic - Google Patents

Dielectric ceramic composition and method for producing dielectric ceramic

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JP2508373B2
JP2508373B2 JP2183414A JP18341490A JP2508373B2 JP 2508373 B2 JP2508373 B2 JP 2508373B2 JP 2183414 A JP2183414 A JP 2183414A JP 18341490 A JP18341490 A JP 18341490A JP 2508373 B2 JP2508373 B2 JP 2508373B2
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【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は誘電体磁器組成物および誘電体磁器の製造
方法に関し、特にチタン酸バリウムを主体とし、たとえ
ばセラミックコンデンサなどに用いられる誘電体磁器組
成物および誘電体磁器の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric ceramic composition and a method for manufacturing a dielectric ceramic, and particularly to a dielectric ceramic composition mainly containing barium titanate and used for a ceramic capacitor or the like. The present invention relates to a method of manufacturing an object and a dielectric ceramic.

(従来技術) 従来より、磁器コンデンサに用いられる誘電体磁器組
成物として、チタン酸バリウムを主体とするものが数多
く知られている。チタン酸バリウムは、120℃付近にキ
ュリー点を持ち、10000近い誘電率を示すが、それだけ
では常温で高誘電率とはなり得ない。そこで、シフター
材とよばれるものを加え、キュリー点を常温に移動させ
て常温で高誘電率を持たせている。このシフター材とし
ては、錫酸化物,ジルコニア酸化物,稀土類元素などが
知られている。
(Prior Art) As a dielectric ceramic composition used for a ceramic capacitor, there have been known many conventional dielectric ceramic compositions mainly containing barium titanate. Barium titanate has a Curie point near 120 ° C. and a dielectric constant of close to 10,000, but that alone cannot provide a high dielectric constant at room temperature. Therefore, a material called a shifter material is added, and the Curie point is moved to room temperature to have a high dielectric constant at room temperature. As the shifter material, tin oxide, zirconia oxide, rare earth element, etc. are known.

このようなシフター材を利用したチタン酸バリウムを
主体とする磁器コンデンサとしては、単板型リード線付
タイプのものが製造されてきた。ところが、近年積層化
技術が進歩し、また30〜80μm程度の誘電体グリーンシ
ートが容易に得られるようになった。そして、内部電極
で誘電体薄膜を挟持する形で複数層積層したいわゆる積
層セラミックコンデンサがエレクトロニクス業界に進出
し、従来の誘電体磁器組成物もこのような積層セラミッ
クコンデンサの材料として利用されるようになった。
As a ceramic capacitor mainly composed of barium titanate using such a shifter material, a single plate type lead wire type capacitor has been manufactured. However, in recent years, the lamination technology has advanced, and it has become easy to obtain a dielectric green sheet of about 30 to 80 μm. Then, so-called multilayer ceramic capacitors in which a plurality of layers are laminated by sandwiching a dielectric thin film between internal electrodes have entered the electronics industry, and conventional dielectric ceramic compositions are also used as materials for such multilayer ceramic capacitors. became.

一方、最近の磁器コンデンサは小型化の傾向があり、
特に積層コンデンサにおいては、磁器誘電体層の厚みが
10〜20μmというように薄層化する傾向にある。この場
合、100〜10000μmの厚みを持つ単板型コンデンサに比
べて、10倍以上の電界強度を受ける。したがって、単板
型コンデンサに比べて電圧依存性の小さい組成物が要求
されている。
On the other hand, recent porcelain capacitors tend to be smaller,
Especially in multilayer capacitors, the thickness of the porcelain dielectric layer is
There is a tendency for the layer to become thinner, such as 10 to 20 μm. In this case, as compared with a single plate type capacitor having a thickness of 100 to 10,000 μm, it receives electric field strength ten times or more. Therefore, there is a demand for a composition having a smaller voltage dependency than a single plate capacitor.

また、誘電体層が薄くなるに従って、セラミックの構
造的な欠陥が特性に反映されやすくなるので、結晶粒子
の大きさ(グレインサイズ)が均一でかつ微細であるこ
とと、空孔が少なくかつ小さいことが望まれる。
Further, as the dielectric layer becomes thinner, structural defects of ceramics are more likely to be reflected in the characteristics, so that the crystal grain size (grain size) is uniform and fine, and the number of pores is small and small. Is desired.

グレインサイズの小さいチタン酸バリウムを主体とし
た誘導体磁器が、たとえば特願昭56−18059号,特願昭5
7−16809号,特願昭57−105919号,特願昭57−196469号
などに開示されている。これらのチタン酸バリウムを主
体とする誘電体磁器は、チタン酸バリウムに、酸化セリ
ウムを加え、あるいは酸化セリウムとジルコン酸バリウ
ムを加え、あるいは酸化ネオジウムを添加し、空気が流
通する雰囲気下で焼成することによって、グレインサイ
ズを小さくしたものである。
Derivative porcelain mainly composed of barium titanate having a small grain size is disclosed, for example, in Japanese Patent Application Nos. 56-18059 and Sho.
No. 7-16809, Japanese Patent Application No. 57-105919, Japanese Patent Application No. 57-196469 and the like. These dielectric porcelains mainly composed of barium titanate are added with cerium oxide, barium titanate, cerium oxide and barium zirconate, or neodymium oxide, and fired in an atmosphere in which air flows. This reduces the grain size.

(発明が解決しようとする課題) グレインサイズの小さいこれらの誘電体磁器では、誘
電率が常温で最大10000前後と小さく、グレインサイズ
の大きいものに比べると誘電率が小さいため、積層コン
デンサを小型にした場合、大きい静電容量を得ることが
困難であった。さらに、誘電率の温度変化曲線が急峻で
あることも問題であった。
(Problems to be solved by the invention) In these dielectric porcelains having a small grain size, the dielectric constant is as small as around 10,000 at maximum at room temperature, and the dielectric constant is smaller than that of a large grain size. In that case, it was difficult to obtain a large capacitance. Another problem is that the temperature change curve of the dielectric constant is steep.

それゆえに、この発明の主たる目的は、グレインサイ
ズが小さく、大きい誘電率を有し、温度変化に対する誘
電率の変化が少なく、かつ電圧依存性の小さい誘電体磁
器を得ることができる誘電体磁器組成物を提供すること
である。
Therefore, a main object of the present invention is to provide a dielectric ceramic composition having a small grain size, a large dielectric constant, a small change in the dielectric constant with respect to temperature changes, and a small voltage dependence. It is to provide things.

この発明の他の目的は、グレインサイズが小さいにも
かかわらず、さらに大きい誘電率を有する誘電体磁器を
得ることができる誘電体磁器の製造方法を提供すること
である。
Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a dielectric ceramic which can obtain a dielectric ceramic having a larger dielectric constant despite having a smaller grain size.

本発明者は、誘電体磁器のグレインサイズが1〜3μ
mと小さいときに誘電率が10000に満たない原因を種々
検討した結果、主原料であるチタン酸バリウムの不純物
の種類とその含有量とが多い場合、その誘電率が大きく
ならないことを見出した。
The present inventor has found that the grain size of the dielectric ceramic is 1 to 3 μm.
As a result of various studies on the cause that the dielectric constant is less than 10,000 when m is small, it has been found that the dielectric constant does not increase when the type and content of impurities of barium titanate, which is the main raw material, are large.

さらに、アルカリ金属酸化物の含有量が少ないチタン
酸バリウムにおいて、これに酸化ランタン,酸化セリウ
ム,酸化ネオジウム,酸化プラセオジウムおよび酸化サ
マリウムの中から選ばれる少なくとも1種類を加えるこ
とによって、グレインサイズが小さくなりしかも大きい
誘電率を示すことを見出した。
Furthermore, in barium titanate containing a small amount of alkali metal oxides, the grain size can be reduced by adding at least one selected from lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, praseodymium oxide and samarium oxide. Moreover, they have found that they have a large dielectric constant.

また、酸化錫を加えかつ必要に応じて酸化ジルコニウ
ムおよび酸化チタンのうち少なくとも一方を加えること
によって、誘電率の温度変化が小さく電圧依存性の小さ
い誘電体磁器が得られることを見出した。
It was also found that by adding tin oxide and, if necessary, at least one of zirconium oxide and titanium oxide, it is possible to obtain a dielectric porcelain having a small change in dielectric constant with temperature and a small voltage dependence.

(課題を解決するための手段) この発明にかかる誘電体磁器組成物は、不純物として
のアルカリ金属酸化物の含有量が0.03重量%以下のチタ
ン酸バリウム100モル%に対して、酸化ランタン,酸化
セリウム,酸化ネオジウム、酸化プラセオジウム,酸化
サマリウムの中から選ばれる少なくとも1種を2.5〜5.0
モル%、および酸化ジルコニウム,酸化錫,酸化チタン
を(Zr1-a-bSnaTib)O2(ただし、a>0,b≧0,0<a+
b≦1.0)に換算して0.5〜8.5モル%含有した、誘電体
磁器組成物である。
(Means for Solving the Problems) The dielectric ceramic composition according to the present invention is based on 100% by mol of barium titanate containing 0.03% by weight or less of an alkali metal oxide as an impurity, and lanthanum oxide or oxide is used. 2.5 to 5.0 of at least one selected from cerium, neodymium oxide, praseodymium oxide, and samarium oxide
Mol% and zirconium oxide, tin oxide, titanium oxide (Zr 1-ab Sn a Ti b ) O 2 (where a> 0, b ≧ 0,0 <a +
It is a dielectric ceramic composition containing 0.5 to 8.5 mol% in terms of b ≦ 1.0).

この発明にかかる誘電体磁器の製造方法は、チタン酸
バリウム100モル%に対して、酸化ランタン,酸化セリ
ウム,酸化ネオジウム,酸化プラセオジウム,酸化サマ
リウムの中から選ばれる少なくとも1種以上の酸化物を
2.5〜5.0モル%、および酸化ジルコニウム,酸化錫,酸
化チタンを(Zr1-a-bSnaTib)O2(ただし、a>0,b≧0,
0<a+b≦1.0)に換算して0.5〜8.5モル%含有してな
る誘電体磁器の製造方法であって、チタン酸バリウム原
料に対して、ランタン化合物,セリウム化合物,ネオジ
ウム化合物,プラセオジウム化合物,サマリウム化合物
の中から選ばれる少なくとも1種類、およびジルコニウ
ム化合物,錫化合物,チタン化合物を添加した組成物か
らなる成形体を、酸素濃度60%以上の雰囲気で焼成す
る、誘電体磁器の製造方法である。
The method for manufacturing a dielectric ceramic according to the present invention is based on 100 mol% of barium titanate and at least one oxide selected from lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, praseodymium oxide, and samarium oxide.
2.5 to 5.0 mol%, and zirconium oxide, tin oxide, and titanium oxide (Zr 1-ab Sn a Ti b ) O 2 (where a> 0, b ≧ 0,
A method for producing a dielectric ceramic containing 0.5 to 8.5 mol% as converted to 0 <a + b ≦ 1.0, wherein a lanthanum compound, a cerium compound, a neodymium compound, a praseodymium compound, and samarium are added to a barium titanate raw material. This is a method for producing a dielectric ceramic in which a molded body made of a composition to which at least one selected from compounds and a zirconium compound, a tin compound and a titanium compound is added is fired in an atmosphere having an oxygen concentration of 60% or more.

次に、この発明にかかる誘電体磁器組成物の組成範囲
を限定した理由について説明する。
Next, the reason for limiting the composition range of the dielectric ceramic composition according to the present invention will be described.

従来、工業的に大量に用いられるチタン酸バリウムは
98.5〜99.5%程度の純度であり、不純物としてSrO,CaO,
MgOなどのアルカリ土類金属、Na2O,K2Oなどのアルカリ
金属酸化物およびAl2O3,SiO2などの粉砕混合操作に伴う
混入物を含有するのが一般的である。
Conventionally, barium titanate, which is industrially used in large quantities,
It has a purity of about 98.5-99.5% and contains impurities such as SrO, CaO, and
It is common to contain alkaline earth metals such as MgO, alkali metal oxides such as Na 2 O and K 2 O, and contaminants such as Al 2 O 3 and SiO 2 that accompany the grinding and mixing operation.

この発明は、これらチタン酸バリウム中の不純物のう
ち、特にNa2O,K2Oなどのアルカリ金属酸化物の含有量が
一定限度を超えると、特性が劣化することを見出したこ
とによって考え出されたものである。
The present invention was conceived by discovering that, of the impurities in barium titanate, the characteristics deteriorate particularly when the content of alkali metal oxides such as Na 2 O and K 2 O exceeds a certain limit. It was done.

すなわち、この発明にかかる誘電体磁器組成物では、
チタン酸バリウム中の不純物のうちアルカリ金属酸化物
の含有量が0.03重量%以下にされる。なぜなら、その含
有量が0.03重量%を超えると、誘電率が10000以下と小
さくなるためである。
That is, in the dielectric ceramic composition according to the present invention,
Of the impurities in barium titanate, the content of alkali metal oxides is set to 0.03% by weight or less. This is because when the content exceeds 0.03% by weight, the dielectric constant becomes as low as 10,000 or less.

また、この発明にかかる誘電体磁器組成物では、アル
カリ金属酸化物の不純物としての含有量を0.03重量%以
下にしたチタン酸バリウム100モル%に対して、酸化ラ
ンタン,酸化セリウム,酸化ネオジウム,酸化プラセオ
ジウム,酸化サマリウムの中から選ばれる少なくとも1
種類が2.5〜5.0モル%含有される。これらの含有量が2.
5モル%未満では、得られた磁器のグレインサイズが十
分に小さくならない。一方、これらの含有量が5.0モル
%を超えると、キュリー点が常温より低温に移動し、常
温での誘電率が小さくなるか、あるいは焼結性が悪くな
る。
Further, in the dielectric ceramic composition according to the present invention, lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, and oxide are mixed with 100 mol% of barium titanate in which the content of alkali metal oxides as impurities is 0.03% by weight or less. At least 1 selected from praseodymium and samarium oxide
Contains 2.5 to 5.0 mol% of types. The content of these is 2.
If it is less than 5 mol%, the grain size of the obtained porcelain will not be sufficiently small. On the other hand, if the content of these exceeds 5.0 mol%, the Curie point moves to a temperature lower than room temperature, and the dielectric constant at room temperature decreases or the sinterability deteriorates.

このように、不純物としてのアルカリ金属酸化物の含
有量が0.03重量%以下のチタン酸バリウム100モル%に
対して、酸化ランタン,酸化セリウム,酸化ネオジウ
ム,酸化プラセオジウム,酸化サマリウムの中から選ば
れる少なくとも1種類を2.5〜5.0モル%含有すれば、グ
レインサイズが小さく、しかも誘電率が11000以上と大
きい誘電体磁器を得ることができる。
Thus, with respect to 100 mol% of barium titanate having an alkali metal oxide content of 0.03% by weight or less, at least one selected from lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, praseodymium oxide, and samarium oxide is selected. If one type is contained in an amount of 2.5 to 5.0 mol%, it is possible to obtain a dielectric porcelain having a small grain size and a large dielectric constant of 11,000 or more.

しかしながら、このような組成物では、温度変化に対
する誘電率の変化が大きくなり、JIS規格のF特性など
が満足されない。さらに、電圧依存性も大きくなり、積
層セラミックコンデンサにおいて、磁器誘電体層の薄層
化にとって好ましくない。
However, in such a composition, the change of the dielectric constant with respect to the temperature change becomes large, and the JIS standard F characteristics and the like are not satisfied. Further, the voltage dependency becomes large, which is not preferable for thinning the ceramic dielectric layer in the laminated ceramic capacitor.

このような問題を解決するために、酸化ジルコニウ
ム,酸化錫,酸化チタンが(Zr1-a-bSnaTib)O3(ただ
し、a>0,b≧0,0<a+b≦1.0)に換算して0.5〜8.5
モル%の範囲で加えられる。酸化ジルコニウム,酸化
錫,酸化チタンの含有量が0.5モル%未満では、誘電率
の温度特性が向上せず、電圧依存性も大きい。一方、酸
化ジルコニウム,酸化錫,酸化チタンの含有量が8.5モ
ル%を超えると、誘電率の温度特性は向上するが、誘電
率が低下する。
In order to solve such a problem, zirconium oxide, tin oxide, and titanium oxide are converted into (Zr 1-ab Sn a Ti b ) O 3 (where a> 0, b ≧ 0,0 <a + b ≦ 1.0) Then 0.5 to 8.5
It is added in the range of mol%. When the content of zirconium oxide, tin oxide or titanium oxide is less than 0.5 mol%, the temperature characteristics of the dielectric constant are not improved and the voltage dependence is large. On the other hand, when the content of zirconium oxide, tin oxide or titanium oxide exceeds 8.5 mol%, the temperature characteristic of the dielectric constant is improved, but the dielectric constant is lowered.

なお,この発明にかかる誘電体磁器組成物から誘電体
磁器を得るにあたって、還元防止剤として微量のMnCO3,
Fe2O3などを添加しても、得られる磁器の特性を損なう
ことがない。
In obtaining a dielectric ceramic from the dielectric ceramic composition according to the present invention, a small amount of MnCO 3 ,
The addition of Fe 2 O 3 or the like does not impair the characteristics of the obtained porcelain.

(発明の効果) この発明によれば、グレインサイズが小さく、大きい
誘電率を有し、温度変化に対する誘電率の変化が少な
く、かつ電圧依存性の小さい誘電体磁器を得ることがで
きる。
(Effect of the Invention) According to the present invention, it is possible to obtain a dielectric porcelain having a small grain size, a large dielectric constant, a small change in the dielectric constant with respect to a temperature change, and a small voltage dependence.

さらに、この発明によれば、グレインサイズが小さい
にもかかわらず、さらに大きい誘電率を有する誘電体磁
器を得ることができる。
Further, according to the present invention, it is possible to obtain a dielectric porcelain having a larger permittivity even though the grain size is small.

この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利
点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.

(実施例) 実施例1 原料として種々の純度のBaCO3とTiO2とを用いて、こ
れらをBaCO3とTiO2とのモル比が1.000となるように秤量
し、ジルコニア玉石を用いたボールミルによって16時間
湿式混合を行って、混合物を得た。
(Example) Example 1 BaCO 3 and TiO 2 of various purities were used as raw materials, these were weighed so that the molar ratio of BaCO 3 and TiO 2 was 1.000, and a ball mill using zirconia cobblestone was used. Wet mixing was performed for 16 hours to obtain a mixture.

得られた混合物中の水分を蒸発した後、1150℃で2時
間保持して仮焼し、再びボールミルで平均粒径が2μm
以下になるまで粉砕した。このようにして、表1のA,B,
CおよびDに示す純度の異なる4種類のチタン酸バリウ
ムを得た。
After evaporating the water content in the obtained mixture, the mixture was kept at 1150 ° C. for 2 hours for calcination, and the average particle size was 2 μm again with a ball mill.
Grind until the following: In this way, A, B, and
Four types of barium titanate having different purities shown in C and D were obtained.

そして、このチタン酸バリウム100モル%に対して、
表2に示すように、酸化ランタン(La2O3),酸化セリ
ウム(CeO2),酸化ネオジウム(Nd2O3),酸化プロセ
オジウム(Pr6O11),酸化サマリウム(Sm2O3),酸化
ジルコニウム(ZrO2),酸化錫(SnO2),酸化チタン
(TiO2)などを秤量し、酢酸ビニルバインダを加えて16
時間湿式混合して混合物を得た。この混合物を乾燥,造
粒後2000kg/cm2の圧力で直径10mm,厚さ0.5mmの円板に成
形した。この円板を、表3に示す温度で2時間焼成し、
円板状の磁器を得た。
And, for this barium titanate 100 mol%,
As shown in Table 2, lanthanum oxide (La 2 O 3 ), cerium oxide (CeO 2 ), neodymium oxide (Nd 2 O 3 ), protheodium oxide (Pr 6 O 11 ), samarium oxide (Sm 2 O 3 ), Zirconium oxide (ZrO 2 ), tin oxide (SnO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), etc. are weighed and added with vinyl acetate binder.
The mixture was wet-mixed for an hour to obtain a mixture. After this mixture was dried and granulated, it was molded into a disk having a diameter of 10 mm and a thickness of 0.5 mm at a pressure of 2000 kg / cm 2 . The disc was fired at the temperature shown in Table 3 for 2 hours,
A disk-shaped porcelain was obtained.

この磁器表面を電子顕微鏡を用いて2000倍で観察し、
グレインサイズを測定した。
Observe this porcelain surface at 2000 times using an electron microscope,
The grain size was measured.

得られた磁器の両主面に銀電極を焼き付けて測定試料
(コンデンサ)とし、その室温での誘電率ε,誘電損失
tanδ(%)および温度変化に対する静電容量の変化率
を測定した。また、100V/mm,1kHzの交流電圧を印加し、
誘電損失tanδ(%)を測定した。
A silver electrode is baked on both main surfaces of the obtained porcelain to make a measurement sample (capacitor), and its dielectric constant ε and dielectric loss at room temperature are measured.
The change rate of capacitance with respect to tan δ (%) and temperature change was measured. In addition, applying an AC voltage of 100V / mm, 1kHz,
The dielectric loss tan δ (%) was measured.

なお、誘電率εおよび誘電損失tanδは、温度25℃,
周波数1kHzで測定した。また、温度変化に対する静電容
量の変化率については、20℃での静電容量を基準とした
−25℃および85℃での静電容量の変化率(ΔC/C20)を
示した。
The dielectric constant ε and the dielectric loss tan δ are as follows:
It was measured at a frequency of 1 kHz. Regarding the rate of change of capacitance with respect to temperature change, the rate of change (ΔC / C 20 ) of capacitance at −25 ° C. and 85 ° C. based on the capacitance at 20 ° C. was shown.

これらの測定結果を表3に示した。 The results of these measurements are shown in Table 3.

次に、表1,表2および表3に示す結果に基づいて、こ
の発明にかかる誘電体磁器組成物の組成範囲を限定した
理由について説明する。
Next, the reason for limiting the composition range of the dielectric ceramic composition according to the present invention will be described based on the results shown in Table 1, Table 2 and Table 3.

試料番号1および2のように、酸化ランタン,酸化セ
リウム,酸化ネオジウム,酸化プラセオジウム,酸化サ
マリウムなどの含有量が2.5モル%より少ない場合、誘
電率が小さくなるかまたはグレインサイズが3μmより
大きくなってしまう。一方、試料番号13および14のよう
に、これらの含有量が5モル%より多い場合、誘電率が
小さくなったり、焼成温度が高くなる。
When the content of lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, praseodymium oxide, samarium oxide, etc. is less than 2.5 mol% as in Sample Nos. 1 and 2, the dielectric constant becomes smaller or the grain size becomes larger than 3 μm. I will end up. On the other hand, when the content of these is more than 5 mol% as in Sample Nos. 13 and 14, the dielectric constant becomes small and the firing temperature becomes high.

試料番号15のように、酸化ジルコニウム,酸化錫およ
び酸化チタンの含有量が0.5モル%より少ない場合、静
電容量の変化率が−80%を超えてしまい好ましくない。
一方、試料番号16のように、酸化ジルコニウム,酸化錫
および酸化チタンの含有量が8.5モル%より多い場合、
静電容量の変化率は小さいが、誘電率が大幅に減少して
しまう。また、試料番号17のように、酸化ジルコニウ
ム,酸化錫および酸化チタンの含有量が0.5〜8.5モル%
の範囲にあっても、酸化錫および酸化チタンが全く含ま
れない場合、すなわちa+b=0の場合では、100V/mm
の交流電圧を印加したときの誘電損失が大きくなって好
ましくない。
When the content of zirconium oxide, tin oxide and titanium oxide is less than 0.5 mol% as in Sample No. 15, the rate of change in capacitance exceeds -80%, which is not preferable.
On the other hand, when the content of zirconium oxide, tin oxide and titanium oxide is more than 8.5 mol% as in Sample No. 16,
The rate of change in capacitance is small, but the dielectric constant is greatly reduced. In addition, as in Sample No. 17, the content of zirconium oxide, tin oxide and titanium oxide is 0.5 to 8.5 mol%.
100 V / mm when tin oxide and titanium oxide are not contained at all, that is, when a + b = 0
When the AC voltage is applied, the dielectric loss increases, which is not preferable.

試料番号18および19のように、アルカリ金属酸化物の
含有量が多いチタン酸バリウム原料C,Dを用いた場合、
誘電率が小さくなる。
When using barium titanate raw materials C and D having a large content of alkali metal oxides as in sample numbers 18 and 19,
Dielectric constant decreases.

それに対して、この発明の範囲内の誘電体磁器組成物
を用いた試料(試料番号3〜12参照)では、いずれも、
磁器の焼結体のグレインサイズが1〜3μmと小さく、
誘電率が11000以上と大きく、また100V/mmの交流電圧を
印加したときの誘電損失が3.0%以内と小さい。しか
も、20℃を基準にした−25℃および85℃での静電容量の
変化率が−80%以内であり、JIS規格のF特性を満足す
る。
On the other hand, in the samples using the dielectric ceramic composition within the scope of the present invention (see Sample Nos. 3 to 12),
The grain size of the sintered porcelain is as small as 1-3 μm,
It has a large dielectric constant of 11,000 or more and a small dielectric loss of 3.0% or less when an AC voltage of 100 V / mm is applied. Moreover, the rate of change in capacitance at −25 ° C. and 85 ° C. based on 20 ° C. is within −80%, which satisfies the JIS standard F characteristics.

実施例2 表2の試料番号8の組成となるように秤量した原料
に、有機バインダ,分散剤,消泡剤の混合水溶液を15重
量%添加し、50重量%の水とともにボールミルで粉砕,
混合して原料スラリを得た。この原料スラリを用いて、
ドクターブレード法によって22μmのセラミックグリー
ンシートを作製した。このセラミックグリーンシート上
に、スクリーン印刷法によって内部電極用のパラジウム
ペーストを印刷した。印刷したパラジウムペーストが互
いに対向するように、複数のセラミックグリーンシート
を積層し、熱圧着して積層体を得た。
Example 2 15% by weight of a mixed aqueous solution of an organic binder, a dispersant and an antifoaming agent was added to a raw material which was weighed so as to have the composition of sample No. 8 in Table 2, and pulverized with a ball mill together with 50% by weight of water,
A raw material slurry was obtained by mixing. Using this raw material slurry,
A 22 μm ceramic green sheet was produced by the doctor blade method. A palladium paste for internal electrodes was printed on this ceramic green sheet by a screen printing method. A plurality of ceramic green sheets were laminated so that the printed palladium paste faces each other, and thermocompression bonded to obtain a laminated body.

得られた積層体を1320℃で2時間焼成して焼結体を得
た。得られた焼結体の両端面に銀ペーストを塗布し、空
気中において800℃で焼き付け、内部電極と電気的に接
続された外部電極を形成した。このようにして、積層セ
ラミックコンデンサを得た。この積層セラミックコンデ
ンサの寸法は、次に示す通りである。
The obtained laminate was fired at 1320 ° C. for 2 hours to obtain a sintered body. Silver paste was applied to both end surfaces of the obtained sintered body and baked in air at 800 ° C. to form external electrodes electrically connected to the internal electrodes. Thus, a monolithic ceramic capacitor was obtained. The dimensions of this laminated ceramic capacitor are as follows.

外形寸法 幅:1.6mm 長さ:3.2mm 厚さ:1.2mm セラミック厚さ:13μm 有効誘電体層数:19 1層あたりの対向電極面積:2.0mm2 得られた積層セラミックコンデンサの試料について、
温度25℃における1kHz,1Vrmsでの静電容量C(nF)およ
び誘電損失tanδ(%)を測定した。また、25Vの直流電
圧を2分間印加して、絶縁抵抗IR(Ω)を測定した。ま
た、20℃での静電容量を基準とした−25℃および85℃で
の静電容量変化率ΔC/C20(%)を測定した。さらに、
直流破壊電圧値BDV(V)と抗折強度とを測定した。
External dimensions Width: 1.6 mm Length: 3.2 mm Thickness: 1.2 mm Ceramic thickness: 13 μm Number of effective dielectric layers: 19 Counter electrode area per layer: 2.0 mm 2 About the obtained multilayer ceramic capacitor sample,
The capacitance C (nF) and dielectric loss tan δ (%) at 1 kHz and 1 V rms at a temperature of 25 ° C were measured. Further, a DC voltage of 25 V was applied for 2 minutes, and the insulation resistance IR (Ω) was measured. In addition, the rate of change in capacitance ΔC / C 20 (%) at −25 ° C. and 85 ° C. with reference to the capacitance at 20 ° C. was measured. further,
The DC breakdown voltage value BDV (V) and the bending strength were measured.

なお、抗折強度は、第1図に示す抗折強度測定装置10
を用いて測定した。第1図において、12は試料である被
試験積層セラミックコンデンサであり、14は試料保持台
である。試料保持台14上に置かれたコンデンサ12は、加
圧ピン16によって加圧される。そして、加圧された圧力
が、置き針付テンションゲージ18によって表示される。
この試験に際して、試料保持台14の治具のスパンは2mm
とした。
The bending strength is the bending strength measuring device 10 shown in FIG.
It measured using. In FIG. 1, reference numeral 12 is a sample multilayer ceramic capacitor to be tested, and 14 is a sample holder. The capacitor 12 placed on the sample holder 14 is pressurized by the pressure pin 16. Then, the applied pressure is displayed by the tension gauge 18 with a stationary needle.
During this test, the jig span of the sample holder 14 is 2 mm.
And

比較例として、BaTiO3100モル%に対して、BaZrO318.
5モル%,CaZrO38.9モル%を添加し、上述と同様の方法
によって積層セラミックコンデンサを作製した。そし
て、この比較例について、上述の各特性を測定した。
As a comparative example, with respect to BaTiO 3 100 mol%, BaZrO 3 18.
5 mol% and CaZrO 3 8.9 mol% were added, and a multilayer ceramic capacitor was manufactured by the same method as described above. Then, the above-mentioned respective characteristics were measured for this comparative example.

また、それぞれの積層セラミックコンデンサの表面を
電子顕微鏡で2000倍で観察し、グレインサイズを測定し
た。以上の結果を表4に示した。
The surface of each monolithic ceramic capacitor was observed with an electron microscope at a magnification of 2000 to measure the grain size. The above results are shown in Table 4.

表4からわかるように、この発明の組成を有する材料
で作製した積層セラミックコンデンサは、比較例に比べ
てグレインサイズが小さく、誘電損失が小さい。また、
この発明の材料で作製した積層セラミックコンデンサ
は、比較例に比べて、2倍程度の絶縁破壊電圧および抗
折強度を有する。
As can be seen from Table 4, the monolithic ceramic capacitor made of the material having the composition of the present invention has a smaller grain size and a smaller dielectric loss than the comparative example. Also,
The monolithic ceramic capacitor made of the material of the present invention has about twice the dielectric breakdown voltage and bending strength as compared with the comparative example.

実施例3 まず、炭酸バリウムと酸化チタンとをそのモル比が1:
1となるように秤量し、ジルコニア玉石を用いたボール
ミルにて16時間湿式混合を行い混合物を得た。そして、
この得られた混合物中の水分を蒸発した後、1150℃で2
時間保持して仮焼し、再びボールミルにて平均粒径が2
μm以下になるまで粉砕してチタン酸バリウムの微小粉
末を得た。
Example 3 First, barium carbonate and titanium oxide were mixed at a molar ratio of 1:
The mixture was weighed to be 1 and wet-mixed for 16 hours in a ball mill using zirconia boulders to obtain a mixture. And
After evaporating the water in the resulting mixture,
Hold for a time to calcinate, then use a ball mill again to obtain an average particle size of 2
The powder was pulverized to a size of not more than μm to obtain barium titanate fine powder.

次に、得られたチタン酸バリウムの微小粉末に対し
て、表5に示すような割合で酸化ランタン,酸化セリウ
ム,酸化プラセオジウム,酸化ネオジウム,酸化サマリ
ウム,酸化ジルコニウム,酸化錫,酸化チタンを選択的
に秤量して添加し、酢酸ビニルバインダを加え16時間湿
式混合した。
Next, lanthanum oxide, cerium oxide, praseodymium oxide, neodymium oxide, samarium oxide, zirconium oxide, tin oxide, and titanium oxide were selectively added to the obtained fine powder of barium titanate in the proportions shown in Table 5. Was weighed and added to, and vinyl acetate binder was added and wet mixed for 16 hours.

次に、これを乾燥後造粒した後、2000kg/cm2の圧力で
プレス成形し、直径10mm,厚さ0.5mmの円板状の成形体を
得た。そして、得られた成形体を表5に示す焼成条件で
焼成し、誘電体磁器を得た。なお、焼成条件の焼成パタ
ーンA,BおよびCは、次の通りである。
Next, this was dried and granulated, and then press-molded at a pressure of 2000 kg / cm 2 to obtain a disk-shaped molded body having a diameter of 10 mm and a thickness of 0.5 mm. Then, the obtained molded body was fired under the firing conditions shown in Table 5 to obtain a dielectric ceramic. The firing patterns A, B and C under the firing conditions are as follows.

焼成パターンAは、第2図(A)に示すように、大気
中で表5に示した焼成温度まで200℃/1時間の割合で昇
温し、その焼成温度で2時間保持した後、室温まで200
℃/1時間の割合で冷却するものである。
As shown in FIG. 2 (A), the firing pattern A was heated to the firing temperature shown in Table 5 at a rate of 200 ° C./1 hour in the air, and kept at the firing temperature for 2 hours, and then at room temperature. Up to 200
It is cooled at a rate of ℃ / 1 hour.

焼成パターンBは、第2図(B)に示すように、表5
に示した酸素濃度の酸素雰囲気下で、表5に示した焼成
温度まで200℃/1時間の割合で昇温し、その焼成温度で
2時間保持した後、室温まで200℃/1時間の割合で冷却
するものである。
The firing pattern B is shown in Table 5 as shown in FIG.
In an oxygen atmosphere with the oxygen concentration shown in Table 5, the temperature was raised to the firing temperature shown in Table 5 at a rate of 200 ° C / 1 hour, held at that firing temperature for 2 hours, and then kept at room temperature at a rate of 200 ° C / 1 hour. It is what is cooled in.

焼成パターンCは、第2図(C)に示すように、大気
中で800℃まで200℃/1時間の割合で昇温し、さらに焼成
雰囲気を大気中から表5に示した酸素濃度の酸素雰囲気
下に変えて、800℃から表5に示した焼成温度まで同じ
割合で昇温する。そして、酸素雰囲気下のままその焼成
温度で2時間保持した後、800℃まで200℃/1時間の割合
で冷却し、再び焼成雰囲気を大気中に戻して室温まで同
じ割合で冷却するものである。
The firing pattern C is, as shown in FIG. 2 (C), heated to 800 ° C. in the atmosphere at a rate of 200 ° C./hour, and further changed the firing atmosphere from the atmosphere to the oxygen concentration of oxygen shown in Table 5. The atmosphere is changed, and the temperature is raised from 800 ° C. to the firing temperature shown in Table 5 at the same rate. Then, after keeping the firing temperature for 2 hours in an oxygen atmosphere, it is cooled to 800 ° C. at a rate of 200 ° C./hour, the firing atmosphere is returned to the atmosphere again, and it is cooled to room temperature at the same rate. .

このようにして得られた磁器表面を電子顕微鏡を用い
て2000倍で観察し、グレインサイズを測定した。
The surface of the porcelain thus obtained was observed with an electron microscope at a magnification of 2000 to measure the grain size.

次に、磁器の両主面に銀電極を焼き付けて測定試料
(コンデンサ)とし、その室温での誘電率ε,誘電損失
tanδ(%)および温度変化に対する静電容量の変化率
を測定した。また、100V/mm,1kHzの交流電圧を印加し、
誘電損失tanδ(%)を測定した。
Next, silver electrodes were baked on both main surfaces of the porcelain to make a measurement sample (capacitor), and its dielectric constant ε and dielectric loss at room temperature were measured.
The change rate of capacitance with respect to tan δ (%) and temperature change was measured. In addition, applying an AC voltage of 100V / mm, 1kHz,
The dielectric loss tan δ (%) was measured.

なお、誘電率εおよび誘電損失tanδは、温度25℃,
周波数1kHzで測定した。また、温度変化に対する静電容
量の変化率については、20℃での静電容量を基準とした
−25℃および85℃での変化率ΔC/C20(%)を示した。
The dielectric constant ε and the dielectric loss tan δ are as follows:
It was measured at a frequency of 1 kHz. As for the rate of change of capacitance with respect to temperature change, the rate of change ΔC / C 20 (%) at −25 ° C. and 85 ° C. based on the capacitance at 20 ° C. was shown.

以上の測定結果を表6に示した。 Table 6 shows the above measurement results.

表5および表6から明らかなように、この発明の誘電
体磁器の製造方法によって作製された試料(試料番号24
〜33参照)では、焼結体のグレインサイズが1〜3μm
と小さく、しかも13000以上の高誘電率を示した。ま
た、85℃での静電容量の温度変化率は−80%以内であ
り、JIS規格の温度特性であるF特性(20℃における静
電容量を基準として、−25℃〜+85℃における静電容量
の変化率が−80%〜+30%の範囲内である。)を満足し
た。
As is clear from Table 5 and Table 6, the sample (Sample No. 24) manufactured by the method for manufacturing a dielectric ceramic of the present invention.
~ 33), the grain size of the sintered body is 1-3 μm.
It was small and had a high dielectric constant of 13,000 or more. Moreover, the temperature change rate of the capacitance at 85 ° C is within -80%, and the F characteristic that is the temperature characteristic of the JIS standard (based on the capacitance at 20 ° C, the capacitance at -25 ° C to + 85 ° C) The rate of change in capacity is within the range of -80% to + 30%.).

しかも、100V/mmの交流電圧を印加したときの誘電損
失tanδが3.0%以内と小さい。
Moreover, the dielectric loss tan δ when an AC voltage of 100 V / mm is applied is as small as 3.0% or less.

また、この発明の範囲外である試料(試料番号21〜23
および34〜38参照)については、次のようなことが理解
できる。
In addition, samples (sample numbers 21 to 23) that are outside the scope of the present invention
And 34-38), the following can be understood.

試料番号21および22では、添加した酸化ランタン,酸
化セリウム,酸化ネオジウム,酸化サマリウムの添加量
が少なく、室温での誘電率が小さくなる。
In sample numbers 21 and 22, the added amounts of lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, and samarium oxide were small, and the dielectric constant at room temperature was small.

試料番号23では、酸化ジルコニウム,酸化錫,酸化チ
タンの添加量が少なく、静電容量の温度変化率が−80%
を超えてしまいJIS規格の温度特性であるF特性を満足
させることができなくなる。
In Sample No. 23, the amount of zirconium oxide, tin oxide, and titanium oxide added was small, and the temperature change rate of capacitance was -80%.
Therefore, the F characteristic, which is the JIS standard temperature characteristic, cannot be satisfied.

試料番号34では、酸化セリウム,酸化ネオジウム,酸
化サマリウムの添加量が多いために、キュリー点が低温
に移動し室温での誘電率が小さくなる。
In sample No. 34, since the added amounts of cerium oxide, neodymium oxide, and samarium oxide are large, the Curie point moves to a low temperature and the dielectric constant at room temperature becomes small.

試料番号35では、酸化ジルコニウム,酸化錫,酸化チ
タンの添加量が多いために、キュリー点が低温に移動し
室温での誘電率が小さくなる。
In sample No. 35, the Curie point moves to a low temperature and the dielectric constant at room temperature decreases because the amounts of zirconium oxide, tin oxide, and titanium oxide added are large.

試料番号36では、酸化錫,酸化チタンが添加されてい
ない(a+b=0である)ために、100V/mmの交流電圧
を印加したときの誘電損失tanδが大きくなる。
In Sample No. 36, since tin oxide and titanium oxide were not added (a + b = 0), the dielectric loss tan δ when an AC voltage of 100 V / mm was applied was large.

試料番号37および38では、焼成中の酸素濃度が低く、
誘電率が小さくなる。
In sample numbers 37 and 38, the oxygen concentration during firing was low,
Dielectric constant decreases.

それに対して、この発明にかかる誘電体磁器の製造方
法によれば、グレインサイズが小さいにもかかわらず、
大きい誘電率を有する誘電体磁器を得ることができる。
On the other hand, according to the method for manufacturing a dielectric ceramic according to the present invention, although the grain size is small,
A dielectric ceramic having a large dielectric constant can be obtained.

また、このような誘電体磁器を用いれば、従来の積層
磁器コンデンサよりも小型で大容量の積層磁器コンデン
サを得ることができる。
Further, by using such a dielectric ceramic, it is possible to obtain a laminated ceramic capacitor that is smaller and has a larger capacity than the conventional laminated ceramic capacitor.

なお、上述の実施例において、チタン酸バリウムに添
加する化合物として酸化物を用いたが、酸化物に限定す
るものではなく、次に示すような化合物を用いてもよ
い。
In addition, although an oxide was used as the compound added to barium titanate in the above-mentioned examples, the compound is not limited to the oxide and the following compounds may be used.

ランタン化合物…La2CO3,La(NO32,La(C2O4 セリウム化合物…CeCO3,Ce(NO33,Ce(OH) ネオジウム化合物…Nd(OH)3,Nd(NO33,Nd2(C
O33,Nd2(C2O4 プラセオジウム化合物…Pr2(CO33,Pr(NO3 セマリウム化合物…Sm2(C2O43,Sm(NO3 ジルコニウム化合物…BaZrO3,CaZrO3,ZrCl4,ZrO(NO3
2,ZrO(CH3COO) 錫化合物…BaSnO3,CaSnO3,Sn(OCH3 チタン化合物…BaTiO3,CaTiO3,TiCl4,Ti(OCH3
Lanthanum compound ... La 2 CO 3, La ( NO 3) 2, La (C 2 O 4) 3 cerium compound ... CeCO 3, Ce (NO 3 ) 3, Ce (OH) 4 neodymium compound ... Nd (OH) 3, Nd (NO 3 ) 3 , Nd 2 (C
O 3) 3, Nd 2 ( C 2 O 4) 3 praseodymium compound ... Pr 2 (CO 3) 3 , Pr (NO 3) 3 Semariumu compound ... Sm 2 (C 2 O 4 ) 3, Sm (NO 3) 3 Zirconium compound: BaZrO 3 , CaZrO 3 , ZrCl 4 , ZrO (NO 3 )
2 , ZrO (CH 3 COO) 2 tin compound ... BaSnO 3 , CaSnO 3 , Sn (OCH 3 ) 4 titanium compound ... BaTiO 3 , CaTiO 3 , TiCl 4 , Ti (OCH 3 ) 4

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は試料の抗折強度を測定するための抗折強度測定
装置を示す図解図である。 第2図(A),(B)および(C)は、それぞれ、焼成
パターン(焼成雰囲気および温度と時間との関係)を示
すグラフである。 図において、10は抗折強度測定装置、12は被試験積層セ
ラミックコンデンサ、14は試料保持台、16は加圧ピン、
18は置き針付テンションゲージである。
FIG. 1 is an illustrative view showing a bending strength measuring device for measuring the bending strength of a sample. 2 (A), (B) and (C) are graphs showing firing patterns (relationship between firing atmosphere and temperature and time), respectively. In the figure, 10 is a bending strength measuring device, 12 is a multilayer ceramic capacitor to be tested, 14 is a sample holder, 16 is a pressure pin,
18 is a tension gauge with a stationary needle.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂部 行雄 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭59−154703(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yukio Sakabe 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo City, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) Reference JP-A-59-154703 (JP, A)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】不純物としてのアルカリ金属酸化物の含有
量が0.03重量%以下のチタン酸バリウム100モル%に対
して、 酸化ランタン,酸化セリウム,酸化ネオジウム、酸化プ
ラセオジウム,酸化サマリウムの中から選ばれる少なく
とも1種を2.5〜5.0モル%、および 酸化ジルコニウム,酸化錫,酸化チタンを(Zr1-a-bSna
Tib)O2(ただし、a>0,b≧0,0<a+b≦1.0)に換算
して0.5〜8.5モル%含有した、誘電体磁器組成物。
1. Alkali metal oxide as an impurity is selected from lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, praseodymium oxide, and samarium oxide with respect to 100 mol% of barium titanate having a content of 0.03% by weight or less. 2.5 to 5.0 mol% of at least one kind, and zirconium oxide, tin oxide, and titanium oxide (Zr 1-ab Sn a
Ti b ) O 2 (provided that a> 0, b ≧ 0,0 <a + b ≦ 1.0) is contained in an amount of 0.5 to 8.5 mol%, which is a dielectric ceramic composition.
【請求項2】チタン酸バリウム100モル%に対して、酸
化ランタン,酸化セリウム,酸化ネオジウム,酸化プラ
セオジウム,酸化サマリウムの中から選ばれる少なくと
も1種以上の酸化物を2.5〜5.0モル%、および酸化ジル
コニウム,酸化錫,酸化チタンを(Zr1-a-bSnaTib)O2
(ただし、a>0,b≧0,0<a+b≦1.0)に換算して0.5
〜8.5モル%含有した誘電体磁器の製造方法であって、 チタン酸バリウム原料に対して、ランタン化合物,セリ
ウム化合物,ネオジウム化合物,プラセオジウム化合
物,サマリウム化合物の中から選ばれる少なくとも1種
類、およびジルコニウム化合物,錫化合物,チタン化合
物を添加した組成物からなる成形体を、酸素濃度60%以
上の雰囲気で焼成する、誘電体磁器の製造方法。
2. 2.5 to 5.0 mol% of at least one oxide selected from lanthanum oxide, cerium oxide, neodymium oxide, praseodymium oxide, and samarium oxide based on 100 mol% of barium titanate, and oxidized. Zirconium, tin oxide, titanium oxide (Zr 1-ab Sn a Ti b ) O 2
(However, 0.5 when converted to a> 0, b ≧ 0,0 <a + b ≦ 1.0)
A method for producing a dielectric porcelain containing ˜8.5 mol%, wherein at least one selected from a lanthanum compound, a cerium compound, a neodymium compound, a praseodymium compound and a samarium compound is used for a barium titanate raw material, and a zirconium compound. A method for producing a dielectric ceramic, comprising firing a molded body made of a composition containing a tin compound and a titanium compound in an atmosphere having an oxygen concentration of 60% or more.
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