JP2025160661A - プローブ - Google Patents

Abstract

【課題】コイルスプリング部を有し、電気抵抗の増大と座屈の発生を抑制できるプローブを提供する。
【解決手段】プローブ１０は、先端部１１と、複数のコイルスプリング部１２１が弾性を有さない連結部１２２を介して軸方向に沿って連結されたバネ部１２と、基端部１３と、バネ部１２の内側に配置され、先端部１１と基端部１３を電気的に接続する電流経路部材１１４Ａを備える。プローブ１０は、軸方向から見て４つの側面を有する矩形状であり、バネ部１２が軸方向に収縮する際に電流経路部材１１４Ａの端部が挿入する凹部が先端部１１、基端部１３および連結部１２２の少なくともいずれかに形成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブに関する。

半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部が検査対象物の電極に接触し、プローブの他方の端部が電気的接続装置に含まれる基板に配置された端子（以下において「ランド」も称する。）に接触する。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。

特開２０１８－４２６０号公報

検査対象物の電気的特性を正確に検査するために、検査対象物とランドとをプローブを介して安定して電気的に接続する必要がある。このため、軸方向に弾性を有するようにらせん状のコイルスプリング部を含むプローブの使用が有効であるが、コイルスプリング部を電流が流れるため、プローブの電流経路が長くなる。その結果、プローブの電気抵抗が増大し、電気的特性の測定精度が低下する。また、コイルスプリング部で座屈する問題が生じる。

上記問題点に鑑み、本発明は、コイルスプリング部を有し、電気抵抗の増大と座屈の発生を抑制できるプローブを提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るプローブは、先端部と、複数のコイルスプリング部が弾性を有さない連結部を介して軸方向に沿って連結されたバネ部と、基端部と、バネ部の内側に配置され、先端部と基端部を電気的に接続する電流経路部材を備える。プローブは、軸方向から見て４つの側面を有する矩形状であり、バネ部が軸方向に収縮する際に電流経路部材の端部が挿入する凹部が先端部、基端部および連結部の少なくともいずれかに形成されている。

本発明によれば、コイルスプリング部を有し、電気抵抗の増大と座屈の発生を抑制できるプローブを提供できる。

図１は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。 図２は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な平面図である。 図３は、図１に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。 図４は、図１に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。 図５は、図１に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。 図６は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の構成を示す模式図である。 図７は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部を示す模式的な斜視図である。 図８は、図１に示すプローブを構成する電流経路部材を含む第４部品を示す模式図である。 図９は、図１に示すプローブの先端部と電流経路部材の接続を示す模式図である。 図１０は、図１に示すプローブの連結部と電流経路部材の接続を示す模式図である。 図１１は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の各線の形状を示す模式図である。 図１２は、第２の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。 図１３は、図１２に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。 図１４は、図１２に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。 図１５は、図１２に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。 図１６は、図１２に示すプローブを構成する電流経路部材を示す模式図である。 図１７は、図１７に示すプローブの電流経路部材の接続方法を示す模式図である。 図１８は、第２の実施形態の変形例に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。 図１９は、図１８に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。 図２０は、図１８に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。 図２１は、図１８に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。 図２２は、図１８に示すプローブの電流経路部材の接続方法を示す模式図である。 図２３は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の例を示す模式的な断面図である。 図２４は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の他の例を示す模式的な断面図である。

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造および配置などを下記のものに特定するものでない。

（第１の実施形態）
図１に示す第１の実施形態に係るプローブ１０は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１０の軸方向の一方の端部に検査対象物に接触させる先端部１１が配置され、他方の端部にランドと接触させる基端部１３が配置されている。プローブ１０では、先端部１１と基端部１３の間に、弾性を有する第１コイルスプリング部１２１１～第４コイルスプリング部１２１４が、弾性を有さない連結部１２２を介して軸方向に沿って連結されている。以下において、第１コイルスプリング部１２１１～第４コイルスプリング部１２１４のそれぞれを限定しない場合は、「コイルスプリング部１２１」と表記する。プローブ１０において、先端部１１と基端部１３の間に位置し、コイルスプリング部１２１と連結部１２２を含む部分をバネ部１２と称する。

プローブ１０は、先端部１１と基端部１３を両端とする柱形状である。図１に示すように、プローブ１０の軸方向をＺ方向、図１の左右方向をＸ方向、図１の奥行方向をＹ方向とする。また、Ｚ方向に沿って基端部１３から見て先端部１１の位置する方向を上方、先端部１１から見て基端部１３の位置する方向を下方とする。また、プローブ１０の各部の上方を向いた面を上面、下方を向いた面を下面、上面と下面を接続する面を側面とする。

プローブ１０は、図２に示すように、軸方向から見て４つの側面を有する矩形状である。Ｙ方向から見た側面を第１側面１０１、第１側面１０１の反対を向く側面を第２側面１０２とする。また、Ｘ方向から見た側面を第３側面１０３、第３側面１０３の反対を向く側面を第４側面１０４とする。なお、後述するように、プローブ１０のコイルスプリング部１２１は、第１部品１１１、第２部品１１２、第３部品１１３を組み合わせて構成されている。図２に示すように、第１側面１０１は第１部品１１１の表面であり、第２側面１０２は第３部品１１３の表面であり、第３側面１０３および第４側面１０４は第２部品１１２の表面である。

図１に示すプローブ１０は、先端部１１から基端部１３に向かって、第１コイルスプリング部１２１１、第２コイルスプリング部１２１２、第３コイルスプリング部１２１３、および第４コイルスプリング部１２１４が、連結部１２２を介して順に連結されている。図１ではプローブ１０に含まれるコイルスプリング部１２１の個数が４である場合を例示的に示したが、プローブ１０に含まれるコイルスプリング部１２１の個数は任意に設定可能である。

図３に、プローブ１０を構成する第１部品１１１を示す。図４に、プローブ１０を構成する第２部品１１２を示す。図５に、プローブ１０を構成する第３部品１１３を示す。第１部品１１１および第３部品１１３は、Ｘ方向に対して斜めに延伸する梁（以下において「斜梁」とも称する。）がＺ方向に沿って配列された構造を有する。第２部品１１２は、Ｙ方向に平行な梁（以下において「平行梁」とも称する。）がＺ方向に沿って配列された構造を有する。

プローブ１０のコイルスプリング部１２１は、第３部品１１３、第２部品１１２および第１部品１１１をＹ方向に沿って順に積層して構成されている。すなわち、第２部品１１２の平行梁が、第１部品１１１の斜梁と第３部品１１３の斜梁とを連結することにより、コイルスプリング部１２１が構成される。

図６に、コイルスプリング部１２１の構成を示す。第１側面１０１に表れている第１部品１１１は、第１側面１０１の法線方向から見て、図面の左上から右下に向かって延伸する斜梁を含む。第２側面１０２に表れている第３部品１１３は、第１側面１０１の法線方向から見て、図面の右上から左下に向かって延伸す斜梁を含む。つまり、第１部品１１１の斜梁と、第３部品１１３の斜梁は、プローブ１０の中心軸について対称に配置されている。言い換えると、第３部品１１３は、第１部品１１１を鏡反転させた構造である。図６に示すように、コイルスプリング部１２１は二重らせん構造である。図７に、コイルスプリング部１２１の斜視図を示す。

更に、プローブ１０は、コイルスプリング部１２１の内部に配置された電流経路部材１１４Ａを含む。電流経路部材１１４Ａは、導電性を有する柱状部材である。図１に示すプローブ１０の電流経路部材１１４Ａは、先端部１１と連結部１２２の間、２つの連結部１２２の間、および基端部１３と連結部１２２の間を架橋する。電流経路部材１１４Ａは導電性を有し、電流経路部材１１４Ａおよび連結部１２２を介して、先端部１１と基端部１３は電気的に接続する。

例えば、電流経路部材１１４Ａは、先端部１１に一端が接続するコイルスプリング部１２１の他端に接続する連結部１２２と先端部１１とを架橋する。これにより、先端部１１に最近接の連結部１２２と先端部１１が電気的に接続される。

また、電流経路部材１１４Ａは、基端部１３に一端が接続するコイルスプリング部１２１の他端に接続する連結部１２２と基端部１３とを架橋する。これにより、基端部１３に最近接の連結部１２２と基端部１３が電気的に接続される。

更に、電流経路部材１１４Ａは、１のコイルスプリング部の両端にそれぞれ接続する２つの連結部１２２を相互に架橋する。これにより、２つの連結部１２２の間が電気的に接続される。

図８に、電流経路部材１１４Ａを含む第４部品１１４を示す。第４部品１１４は、Ｚ方向に延伸する複数の電流経路部材１１４ＡがＺ方向に沿って配列された構成である。プローブ１０の製造では、第２部品１１２に第１部品１１１を積層する前に、第４部品１１４を配置する。これにより、電流経路部材１１４Ａをバネ部１２の内側に配置したプローブ１０が製造される。

例えば図９に示すように、第１コイルスプリング部１２１１の内部に配置された電流経路部材１１４Ａは、第１の端部が先端部１１の下面に形成した凹部の第１開口部１１０に対向し、第２の端部が連結部１２２の上面に接続される。そして、プローブ１０が軸方向に収縮する際に、電流経路部材１１４Ａの第１の端部が第１開口部１１０に挿入される。これにより、先端部１１と連結部１２２が電気的に接続される。このように、バネ部１２が伸縮すると、電流経路部材１１４Ａの第１の端部が第１開口部１１０の内部で摺動する。

また、図１０に示すように、第２コイルスプリング部１２１２の内部に配置された電流経路部材１１４Ａは、第１の端部が一方の連結部１２２の下面に形成した凹部の第２開口部１２０に対向し、第２の端部が他方の連結部１２２の上面に接続される。そして、プローブ１０が軸方向に収縮する際に、電流経路部材１１４Ａの第１の端部が第２開口部１２０に挿入される。これにより、２つの連結部１２２の間が電気的に接続される。このように、バネ部１２が伸縮すると、電流経路部材１１４Ａの第１の端部が第２開口部１２０の内部で摺動する。

第３コイルスプリング部１２１３の内部に配置された電流経路部材１１４Ａも、第２コイルスプリング部１２１２の内部に配置された電流経路部材１１４Ａと同様に、２つの連結部１２２の間を電気的に接続する。第４コイルスプリング部１２１４の内部に配置された電流経路部材１１４Ａは、第１の端部が連結部１２２の下面に形成した凹部の第２開口部１２０に対向し、第２の端部が基端部１３の上面に接続される。そして、プローブ１０が軸方向に収縮する際に、電流経路部材１１４Ａの第１の端部が第２開口部１２０に挿入される。これにより、連結部１２２と基端部１３が電気的に接続される。

上記のように、コイルスプリング部１２１が伸縮すると、電流経路部材１１４Ａの端部は第１開口部１１０および第２開口部１２０の内部で摺動する。このため、プローブ１０が軸方向に伸縮しても、電流経路部材１１４Ａが湾曲してコイルスプリング部１２１の外側に露出することはない。

第１部品１１１、第２部品１１２、第３部品１１３および電流経路部材１１４Ａは金属材などの導電性材料であり、例えば金属板を加工して形成される。そして、第３部品１１３、第２部品１１２、電流経路部材１１４Ａ、第１部品１１１の順に金属板を積層し、プローブ１０が製造される。第１部品１１１と第３部品１１３の斜梁がスプリングの機能を果たし、第１部品１１１の斜梁と第３部品１１３の斜梁を第２部品１１２が接続する。言い換えると、第１部品１１１、第２部品１１２と第３部品１１３の梁が連結されて、コイルスプリング部１２１の各線が構成される。

プローブ１０は、バネ部１２のコイルスプリング部１２１により、軸方向に伸縮自在である。プローブ１０自体が軸方向の弾性を有するため、例えばプローブヘッドに湾曲させた状態でプローブ１０を保持する必要がない。

また、プローブ１０では、コイルスプリング部１２１の内側に配置された電流経路部材１１４Ａが、先端部１１と基端部１３の間の電流経路として機能する。このため、コイルスプリング部１２１では経路が長いために電気抵抗が高くなっても、プローブ１０としての電流経路を短くすることができる。言い換えると、電流経路部材１１４Ａは、電流経路を短縮する部品として機能する。このように、電流経路部材１１４Ａによりプローブ１０の電流経路の電気抵抗を低減することができる。

電流経路部材１１４Ａは、図８に示すように、湾曲した状態でコイルスプリング部１２１の内側に配置されてもよい。このとき、軸方向に沿って配置された複数の電流経路部材１１４Ａの湾曲方向は異なってもよく、例えば、湾曲する方向が軸方向に沿って互い違いであってもよい。また、電流経路部材１１４Ａの第１の端部は、丸みを帯びていてもよい。すなわち、電流経路部材１１４Ａの第１の端部は、テーパー形状、または略球面形状を有していてもよい。第１の端部が丸みを帯びていることにより、電流経路部材１１４Ａが第１開口部１１０に挿入される際に、第１開口部１１０の内部の壁に沿って移動し、第１開口部１１０に容易に案内可能である。また、電流経路部材１１４Ａがかかる形状を有することにより、第１の端部が第１開口部１１０の内部で摺動する際に、第１の端部、又は第１開口部１１０の内壁が損傷するのを抑制できる。

プローブ１０の材料に、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケル合金、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウム合金、ロジウム（Ｒｈ）、ロジウム合金、その他貴金属類などを使用してよい。電流経路部材１１４Ａには、第１部品１１１、第２部品１１２および第３部品１１３よりも機械的強度が低くても導電性の高い材料を使用してよい。例えば、第１部品１１１と第３部品１１３にＮｉ合金を使用し、電流経路部材１１４Ａに金又は銅を使用してもよい。

なお、第１側面１０１および第２側面１０２から見て、コイルスプリング部１２１の各線は直線状ではなく、湾曲する部分を含んでもよい。例えば、図１１に示すように、各線の進行方向が側面の途中で変化してもよい。図１１に示すコイルスプリング部１２１の各線は、軸方向に対して第１の角度で延伸する第１部分１２１Ａと、軸方向に対して第１の角度と異なる第２の角度で延伸する第２部分１２１Ｂとが連結した構造を含む。図１１に示す例では、第１部分１２１Ａと第１部分１２１Ａの間に第２部分１２１Ｂが配置されている。コイルスプリング部１２１の各線が単純な直線ではなく湾曲した部分を含むことにより、プローブ１０に掛かる荷重が軸方向に伝わりやすくなり、軸方向の押力がプローブ１０に印加されたときにプローブ１０が中心軸から曲がって座屈することを抑制できる。

プローブ１０に含まれる複数のコイルスプリング部１２１の弾性力は同一でなくてもよい。例えば、第１コイルスプリング部１２１１、第２コイルスプリング部１２１２、第３コイルスプリング部１２１３および第４コイルスプリング部１２１４の一部で、相互間のコイルの巻き数が異なってもよい。或いは、すべてのコイルスプリング部１２１で巻き数が異なってもよい。上記のように、弾性力が互いに異なる２つのコイルスプリング部１２１の一方のコイルスプリング部１２１は、他方のコイルスプリング部１２１と巻き数が異なる。プローブ１０に含まれるコイルスプリング部１２１のコイルの巻き数は、個々のコイルスプリング部１２１について任意に選択可能である。

以上に説明したように、第１の実施形態に係るプローブ１０は、コイルスプリング部１２１を有することにより、軸方向に伸縮自在である。そして、電流経路部材１１４Ａを有するプローブ１０によれば、らせん状のコイルスプリング部１２１よりも電流経路の短い電流経路部材１１４Ａを介して先端部１１と基端部１３が電気的に接続される。このため、プローブ１０の電気抵抗の増大が抑制され、電気的特性の測定精度が向上する。

更に、コイルスプリング部１２１の内側に電流経路部材１１４Ａを配置したプローブ１０によれば、コイルスプリング部１２１と電流経路部材１１４Ａが接触することで、コイルスプリング部１２１の座屈の発生を抑制できる。プローブ１０では、複数の金属板を積層してバネ部１２を構成するため、バネ部１２の内側に芯棒となる電流経路部材１１４Ａを配置することが容易である。

また、プローブ１０によれば、バネ部１２の伸縮時に、電流経路部材１１４Ａの端部は第１開口部１１０および第２開口部１２０の内部で摺動する。このため、プローブ１０が軸方向に伸縮しても、電流経路部材１１４Ａが湾曲してコイルスプリング部１２１の外側に露出せずに安定した動作が可能である。

（第２の実施形態）
第２の実施形態に係るプローブ１０は、図１２に示すように、先端部１１と基端部１３に到達する単一の電流経路部材１１４Ｂがコイルスプリング部１２１の内側に配置されている。第２の実施形態に係るプローブ１０では、連結部１２２を軸方向に貫通する貫通孔の内側を通過して、先端部１１と基端部１３とを架橋する。図１２に示すプローブ１０は、先端部１１と基端部１３とが１本の電流経路部材１１４Ｂにより電気的に接続される点が、複数の電流経路部材１１４Ａを介して先端部１１と基端部１３が電気的に接続される図１と異なる。その他の構成については、第２の実施形態に係るプローブ１０は、図１に示す第１の実施形態と同様である。

図１３は、図１２に示すプローブ１０の第１部品１１１の構造を示す。図１４は、図１２に示すプローブ１０の第２部品１１２の構造を示す。図１５は、図１２に示すプローブ１０の第３部品１１３の構造を示す。図１６は、図１２に示すプローブ１０の電流経路部材１１４Ｂを示す。

図１２に示すプローブ１０は、図１３から図１５にそれぞれ示す第１部品１１１、第２部品１１２、第３部品１１３によりコイルスプリング部１２１を構成し、コイルスプリング部１２１の内側に図１６に示した電流経路部材１１４Ｂを配置した構成である。図１２に示すプローブ１０に含まれるコイルスプリング部１２１の個数は２である。

第２の実施形態に係るプローブ１０では、図１４に示すように、軸方向に貫通する第２貫通孔１５２が連結部１２２に形成されている。電流経路部材１１４Ｂは、コイルスプリング部１２１および連結部１２２の第２貫通孔１５２の内側に配置され、先端部１１と基端部１３とを架橋する。例えば、図１４に示す先端部１１に形成された第１貫通孔１５１に電流経路部材１１４Ｂの第１の端部が挿入され、第２の端部が基端部１３に形成された第３貫通孔１５３に挿入される。コイルスプリング部１２１が伸縮すると、電流経路部材１１４Ｂの端部が第１貫通孔１５１と第３貫通孔１５３の内部で摺動する。

電流経路部材１１４Ｂは、例えば図１７に示すように、接続部品第１１５によって第２貫通孔１５２の内壁面と接続されてもよい。接続部品１１５は、電流経路部材１１４Ｂを第１部品１１１と第３部品１１３の連結部１２２に接続する。接続部品１１５は、第２貫通孔１５２の内側に配置された支持板１１６と電流経路部材１１４Ｂの間に配置され、支持板１１６と電流経路部材１１４Ｂを接合する。

図１２に示したプローブ１０によれば、複数の電流経路部材１１４Ａを使用した図１に示すプローブ１０に比べて、電流経路の電気抵抗を更に低減することができる。これにより、プローブ１０に流れる電流の許容値を高くすることができる。他は、第２の実施形態は第１の実施形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。

＜変形例＞
図１８に、単一の柱状部材である電流経路部材１１４Ｂを使用した変形例に係るプローブ１０を示す。図１８に示すプローブ１０は、先端部１１と第１コイルスプリング部１２１１を介して接続する連結部１２２と、基端部１３と第２コイルスプリング部１２１２を介して接続する連結部１２２とが、軸方向に沿って対向し且つ離隔して配置されている。言い換えると、バネ部１２が２つのブロックに分割されている。

図１８に示すプローブ１０は、図１９に示した第１部品１１１、図２０に示した第２部品１１２および図２１に示した第３部品１１３を積層して、コイルスプリング部１２１を構成している。そして、図１８に示すプローブ１０では、コイルスプリング部１２１の内側に図１６に示した電流経路部材１１４Ｂが配置されている。

図１８に示したプローブ１０でも、図１２に示したプローブ１０と同様に、電流経路部材１１４Ｂは、コイルスプリング部１２１および連結部１２２の第２貫通孔１５２の内側に配置され、先端部１１と基端部１３とを架橋する。電流経路部材１１４Ｂの第１の端部が先端部１１に形成された第１貫通孔１５１に挿入され、第２の端部が基端部１３に形成された第３貫通孔１５３に挿入される。

電流経路部材１１４Ｂは、接続部品１１５によって第１部品１１１と第３部品１１３の連結部１２２に接続してよい。例えば図２２に示すように、接続部品１１５は、連結部１２２の第２貫通孔１５２の内側に配置された支持板１１６と電流経路部材１１４Ｂの間に配置され、支持板１１６と電流経路部材１１４Ｂを接合する。

図１８に２つのコイルスプリング部１２１を含むプローブ１０を示したが、プローブ１０のコイルスプリング部１２１の個数は２つに限られない。先端部１１と少なくとも１つのコイルスプリング部１２１を介して電気的に接続する連結部１２２の１つと、基端部１３と少なくとも１つのコイルスプリング部１２１を介して電気的に接続する連結部１２２の他の１つが、軸方向に沿って離隔して配置されてもよい。言い換えると、バネ部１２を２以上の任意のブロックに分割してよい。

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。

例えば、上記では、第１開口部１１０、第２開口部１２０、第１貫通孔１５１、第２貫通孔１５２、第３貫通孔１５３が、先端部１１、基端部１３または連結部１２２の上面又は下面に対して垂直に開口されている形状の例を示した。しかし、これらの開口部および貫通孔の開口形状が、外側から中心に向かって次第に開口部の面積が狭くなるテーパー形状であってもよい。

図２３および図２４に、軸方向に沿った断面における第２開口部１２０の開口形状がテーパー形状である例を示す。開口形状をテーパー形状にすることにより、電流経路部材１１４Ａの端部が第１開口部１１０および第２開口部１２０に容易に挿入され、電流経路部材１１４Ｂの端部が第１貫通孔１５１および第３貫通孔１５３に容易に挿入される。

このように、本発明は上記では記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。

１０ プローブ
１１ 先端部
１２ バネ部
１３ 基端部
１０１ 第１側面
１０２ 第２側面
１０３ 第３側面
１０４ 第４側面
１１１ 第１部品
１１２ 第２部品
１１３ 第３部品
１１４Ａ 電流経路部材
１１４Ｂ 電流経路部材
１１５ 接続部品
１２１Ａ 第１部分
１２１Ｂ 第２部分
１２２ 連結部
１２１１ 第１コイルスプリング部
１２１２ 第２コイルスプリング部
１２１３ 第３コイルスプリング部
１２１４ 第４コイルスプリング部

Claims (8)

1. 検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
   前記検査対象物に接触させる先端部と、
   一方の端部が前記先端部に接続し、弾性を有する複数のコイルスプリング部が弾性を有さない連結部を介して軸方向に沿って連結されたバネ部と、
   前記バネ部の他方の端部に接続する基端部と、
   前記バネ部の内側に配置され、前記先端部と前記基端部を電気的に接続する電流経路部材と、
   を備え、
   前記軸方向から見て４つの側面を有する矩形状であり、
   前記バネ部が前記軸方向に収縮する際に前記電流経路部材の端部が挿入する凹部が前記先端部、前記基端部および前記連結部の少なくともいずれかに形成されている、
   プローブ。
2. 前記電流経路部材が、
   一方の端部が前記先端部、前記連結部および前記基端部のいずれかに接続し、
   他方の端部が前記凹部に対向し、
   前記先端部と前記連結部の間、２つの前記連結部の間、および前記基端部と前記連結部の間の少なくともいずれかを架橋する、
   請求項１に記載のプローブ。
3. 単一の前記電流経路部材が、前記連結部を前記軸方向に貫通する貫通孔の内側を通過して、前記先端部と前記基端部とを架橋する、請求項１に記載のプローブ。
4. 前記貫通孔の内壁面と前記電流経路部材を接続する接続部品を更に備える、請求項３に記載のプローブ。
5. 前記バネ部が複数の金属板を積層した構造を有する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。
6. 弾性力が互いに異なる前記コイルスプリング部を少なくとも２つ含む、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。
7. 前記弾性力が互いに異なる２つの前記コイルスプリング部の一方の前記コイルスプリング部は、他方の前記コイルスプリング部と巻き数が異なる、請求項６に記載のプローブ。
8. 前記軸方向に垂直な方向から見て、前記コイルスプリング部の各線が湾曲する部分を含む、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。