JP2024515511A - 原子層堆積反応器装置および原子層堆積反応器装置の操作方法 - Google Patents

原子層堆積反応器装置および原子層堆積反応器装置の操作方法 Download PDF

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Abstract

本発明は、原子層堆積炉および原子層堆積炉の運転方法に関する。反応器（１０）は、搬入開口部（２５）が設けられた搬入壁（２１）を有する真空チャンバ（２０）と、反応器ドア（３００）を有する反応器ドアアセンブリ（４００）とを含む。反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）が搬入壁（２１）に当たって、搬入開口部（２５）を閉じるように配置された第１のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入壁（２１）から離れて、搬入壁（２１）と対向している第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるように構成されている。反応器ドアアセンブリ（４００）は、さらに、第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）の脇にある第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を移動させるように構成されている。

Description

発明の分野
本発明は、原子層堆積装置に関し、より詳細には、請求項１の前提部に記載の原子層堆積装置に関する。本発明はさらに、原子層堆積装置を操作する方法に関し、より詳細には請求項１２の前提部に記載の方法に関する。
発明の背景
先行技術の原子層堆積反応器においては、プロセスを環境から隔離するために真空チャンバが使用される。真空チャンバは、真空チャンバの前壁に搬入開口部を有し、この搬入開口部を介して基板または独立した反応チャンバが真空チャンバに搬入され、真空チャンバから搬出される。真空チャンバは、処理中に真空チャンバの搬入開口部を閉じるための反応器ドアをさらに含む。反応器ドアは、真空チャンバに対してヒンジを中心に反応器ドアを回転させることにより開閉できるように、真空チャンバの構造体にヒンジで固定されている。したがって、反応器ドアには、反応器ドアを手動で開閉するためのハンドルを含む。通常、ヒンジ軸は鉛直であり、反応器ドアは鉛直ヒンジ軸を中心に水平に回転するようになっている。基板または独立した反応チャンバは、ホイールカートから真空チャンバに搬入される。ホイールカートは手動で開放された搬入開口部の前に移動させられ、基板または独立した反応チャンバは、手動でホイールカートから真空チャンバへ、または真空チャンバからホイールカートへ搬送される。
先行技術に関連する問題の一つは、真空チャンバが厚いチャンバ壁を必要とし、反応器ドアも厚い構造を有する必要があることである。原子層堆積反応器のサイズが大きくなると、搬入開口部も大きくなる。したがって、搬入開口部を閉じるためには、より大きな反応器ドアが必要となる。搬入ドアのサイズが大きくなると、より大きな反応器ドアがヒンジ軸を中心としてより大きな回転半径を有するため、真空チャンバの前壁の前により多くのスペースが必要となる。したがって、原子層堆積装置が施設内で必要とする床面積が増大する。より大きな反応器ドアはまた、より大きな質量を有し、このことはヒンジに構造的な要求を生じさせる。大型の原子層堆積反応器および真空チャンバにおいては、通常、より大きな基板および特により大きな独立した反応チャンバが用いられる。独立した反応チャンバは、基板が搬入されると、１０００ｋｇを超えるか、それよりも大きい重量を有することもある。従って、開放された搬入開口部の前で、手動で移動させるホイールカートを利用することは不可能である。
発明の概要
本発明の目的は、先行技術の不利な点を克服する又は少なくとも緩和する原子層堆積反応器装置（または原子層堆積反応器配置もしくは原子層堆積反応器配列）およびこれを操作する方法を提供することである。
本発明の目的は、独立請求項１の記載により特徴付けられる、原子層堆積反応器装置によって達成される。本発明の目的はさらに、独立請求項１２の記載により特徴付けられる、原子層堆積反応器装置を操作する方法によって達成される。
本発明の好ましい実施形態は、従属請求項に開示されている。
本発明は、原子層堆積反応器であって、真空チャンバを含み、真空チャンバが、搬入開口部を備えた搬入壁と、真空チャンバの搬入開口部を閉じるための反応器ドアを有する反応器ドアアセンブリとを備える、原子層堆積反応器を提供するという考えに基づいている。
本発明によれば、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアが真空チャンバの搬入壁に当たって、反応器ドアが搬入開口部を閉じるように配置される第１のドア位置と、反応器ドアが真空チャンバの装入壁から離間して対向する第２のドア位置との間で、真空チャンバに対して反応器ドアを移動させるように構成されている。反応器ドアアセンブリは、反応器ドアを真空チャンバに対して、第２のドア位置と、反応器ドアが搬入開口部の脇にある第３のドア位置との間で移動させるように構成されている。
原子層堆積反応器装置の反応器ドアアセンブリの利点は、反応器ドアの開口部が反応器の前にスペースを取らないことである。
本発明において、反応器ドアが搬入開口部の脇にある又は搬入開口部から水平方向に離れている第３のドア位置とは、搬入開口部または搬入壁を正面から見たとき、反応器ドアが搬入開口部に隣り合っていることを意味する。したがって、第３のドア位置では、反応器ドアは、正面から見たとき、または搬入壁の方向から搬入壁に対して垂直に見たとき、搬入開口部の脇にあるか、または搬入開口部に隣り合っている。したがって、第３のドア位置では、反応器ドアは搬入開口部の正面にはなく、あるいは搬入開口部と向かい合っていない。
一実施形態では、搬入開口部は、搬入開口部の方向の方向を延ばす搬入開口部中心軸を含み、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアを第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させるように構成され、この第２のドア位置では、反応器ドアは、搬入開口部から搬入開口部中心線の方向に離間し、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアを第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成され、この第３のドア位置では、反応器ドアは、搬入開口部中心線を横断する方向で、横方向に搬入開口部の脇にある。
反応器ドアアセンブリの利点は、反応器ドアがまず搬入開口部から離れる方向に移動し、次に搬入開口部の前面から横方向に離れることである。従って、反応器ドアの開閉時に搬入開口部の前面に必要なスペースはわずかである。
一実施形態では、反応器ドアアセンブリは、第１の直線移動で第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリは、第１の直線移動を横断する第２の直線移動で第２のドア位置と第３のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成されている。
別の実施形態では、反応器ドアアセンブリは、第１の直線移動で第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリは、第１の直線移動を横断する第２の回転移動で第２のドア位置と第３のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成されている。
さらなる代替的実施形態において、反応器ドアアセンブリは、第１の回転移動で第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリは、第２の直線移動で第２のドア位置と第３のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成されている。
さらに別の実施形態において、反応器ドアアセンブリは、第１の回転移動で第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリは、第２の回転移動で第２のドア位置と第３のドア位置との間で反応器ドアを移動させるように構成されている。
反応器ドアの第１および第２の移動の組み合わせにより、搬入ドアの開閉を効率的に行うことができ、搬入壁および搬入開口部の前面にはわずかなスペースだけが必要とされる。
一実施形態では、反応器ドアアセンブリは、ドア支持構造体を含み、反応器ドアは、ドア支持構造体に支持され、ドア支持構造体は、真空チャンバに対して固定配置され、反応器ドアは、ドア支持構造体に対して移動可能なように構成され、反応器ドアアセンブリは、第１のドア位置と第２のドア位置との間、および第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体内で反応器ドアを移動させるように構成されている。
代替的実施形態では、反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持され、ドア支持構造体は真空チャンバに対して移動可能なように構成され、反応器ドアはドア支持構造体に固定配置され、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアが第１のドア位置と第２のドア位置との間、および第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させられるように、ドア支持構造体を真空チャンバに対して移動させるように構成されている。
別の代替的実施形態では、反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持され、ドア支持構造体は真空チャンバに対して移動可能なように構成され、反応器ドアはドア支持構造体に対して移動可能なように構成され、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアが第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動するように、真空チャンバに対してドア支持構造体を移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリは、第２のドア位置と第３のドア位置との間でドア支持構造体内にて反応器ドアを移動させるように構成されている。
さらに別の実施形態では、反応器ドアアセンブリは、ドア支持構造体を含み、反応器ドアは、ドア支持構造体に支持され、ドア支持構造体は、真空チャンバに対して移動可能なように構成され、反応器ドアは、ドア支持構造体に対して移動可能なように構成され、反応器ドアアセンブリは、ドア支持構造体内で反応器ドアを第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアが第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させられるように、真空チャンバに対してドア支持構造体を移動させるように構成されている。
ドア支持構造体は、真空チャンバに複雑な改造を加えることなく、反応器ドアを移動させるシンプルな構造と機構を可能にする。
一実施形態では、反応器ドアアセンブリは、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるために、真空チャンバの搬入壁に向かって、および真空チャンバの搬入壁から離れるように、ドア支持構造体を真空チャンバに対して移動させるように構成された支持構造体移動機構を含む。
真空チャンバに対してドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁に向かって、および真空チャンバの搬入壁から離れるように移動させることは、支持構造体内で搬入ドアを移動させることなく、搬入開口部を閉じるために搬入ドアに反応器ドアを当てる（または接触させる）ことを可能にし、搬入壁から離れて対向するように反応器ドアを移動させること可能にする。
一実施形態では、支持構造体移動機構は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるために、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、真空チャンバの搬入壁に向かって、および真空チャンバの搬入壁から離れるようにドア支持構造体を真空チャンバに対して移動させるように構成されている。
代替実施形態では、支持構造体移動機構は水平ピボット軸を備え、支持構造体移動機構は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるために、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、真空チャンバの搬入壁に向かって、および真空チャンバの搬入壁から離れるように、ドア支持構造体を水平ピボット軸を中心として真空チャンバに対して傾けるように構成されている。
さらなる実施形態において、支持構造体移動機構は鉛直（または垂直）ピボット軸を備え、支持構造体移動機構は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるために、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、真空チャンバの搬入壁に向かっておよび真空チャンバの搬入壁から離れるように、ドア支持構造体を鉛直ピボット軸を中心として真空チャンバに対して回動（または回転）させるように構成されている。
反応器ドアは、ドア支持構造体を第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で移動させることにより、第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させられる。
一実施形態では、ドア支持構造体は、１つ以上の鉛直（または垂直）支持要素と１つ以上の下側支持要素とを含み、当該１つ以上の鉛直支持要素は、１つ以上の水平ピボット軸で当該１つ以上の下側支持要素にピボット可能に連結され、当該１つ以上の下側支持要素から上方に延びるように構成され、反応器ドアは、当該１つ以上の鉛直支持要素に支持される。
代替的な実施形態では、ドア支持構造体は、１つ以上の鉛直支持要素と、１つ以上の鉛直ピボット軸とを含み、反応器ドアは、当該１つ以上の鉛直支持要素に支持される。
別の実施形態では、ドア支持構造体は１つ以上の鉛直支持要素を含み、反応器ドアは当該１つ以上の鉛直支持要素に支持される。
鉛直支持要素は、搬入開口部の高さで反応器ドアを支持することを可能にする。
一実施形態では、ドア支持構造体は、第１の鉛直支持要素および第２の鉛直支持要素を含み、第１および第２の鉛直支持要素は、第１および第２の鉛直支持要素の間に搬入空間が形成されるように、互いに間隔をあけて配置され、反応器ドアは、第１および第２の鉛直支持要素に支持され、第１および第２の鉛直支持要素の間の搬入空間に配置される。
代替的な実施形態では、ドア支持構造体は、第１の鉛直支持要素と第２の鉛直支持要素を含み、第１および第２の鉛直支持要素は、第１および第２の鉛直支持要素の間に搬入空間が形成されるように、互いに間隔をあけて配置され、第１および第２の鉛直支持要素は、第１および第２の鉛直支持要素が真空チャンバの搬入開口部を挟んで両側にあるように、真空チャンバの搬入壁の前に配置され、反応器ドアは、第１および第２の鉛直支持要素に支持され、第１および第２の鉛直支持要素の間の搬入空間に配置される。
反応器ドアは、搬入および搬出のために障害がない又は空いている搬入開口部の前のスペースに配置されるために、搬入空間から離れ、搬入壁の前面に移動することができるように、第１および第２の鉛直支持要素の間で支持される。
一実施形態では、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアをドア支持構造体内で、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体に対して移動させるように構成されたドア移動機構を含む。
ドア移動機構は、反応器ドアをドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対して、および真空チャンバに対して移動させることを可能にする。
一実施形態では、ドア移動機構は、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、平面状のドア面の方向に、または搬入ドアの開口中心線を横断するように、ドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対して移動させるように構成されている。
代替的な実施形態において、ドア移動機構は、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の直線移動でもって、ドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対して移動させるように構成されている。
代替的な実施形態では、ドア移動機構は、反応器ドアを第２のドア位置と第３のドア位置との間で、平面状のドア面の方向において、または搬入ドアの開口中心線を横断するように、第２の直線移動でもって、ドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対して移動させるように構成されている。
さらなる実施形態では、ドア移動機構はドア軸を含み、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の回転移動でもって、ドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対してドア軸を中心として回動させるように構成されている。
さらに代替的な実施形態では、ドア移動機構は、搬入ドアの平面状のドア面に対して垂直に延びるドア軸を含み、ドア移動機構は、ドア支持構造体内で、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の回転移動でもって、ドア支持構造体に対してドア軸を中心として回動させるように構成されている。
ドア移動機構は、反応器ドアをドア支持構造体内で、搬入開口部の脇に（または搬入開口部から離れるように）移動させるように構成されている。
一実施形態では、ドア移動機構は、１つ以上の鉛直支持要素内で、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成されている。
代替的な実施形態では、ドア移動機構は、１つ以上の鉛直支持要素内で、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成されている。
さらなる実施形態において、ドア移動機構は、反応器ドアが真空チャンバの搬入壁から離間して搬入壁と対向する第２のドア位置と、反応器ドアが搬入開口部（２５）の下方もしくは上方にあり、または搬入開口部（２５）の側方に隣り合っている第３のドア位置との間で、反応器ドアを、１つまたは複数の鉛直支持要素内で移動させるように構成されている。
さらに別の代替的な実施形態では、ドア移動機構は、第２のドア位置と第３のドア位置との間の搬入空間において、第１および第２の鉛直支持要素に沿って反応器ドアを移動させるように構成されている。
別のさらなる実施形態では、ドア移動機構は、反応器ドアが真空チャンバの搬入壁から離間して搬入壁と対向する第２のドア位置と、反応器ドアが搬入開口部の下方または上方にある第３のドア位置との間で、搬入空間内にて第１および第２の鉛直支持要素に沿って反応器ドアを移動させるように構成されている。
したがって、ドア移動機構は、反応器ドアを、搬入開口部の前面から脇に、横方向（または側方向）に移動させるように構成されている。
本発明はまた、原子層堆積反応器装置を操作する方法に関する。当該反応器装置は、真空チャンバを有する原子層堆積反応器を含み、真空チャンバは、搬入開口部を備えた搬入壁と、真空チャンバの搬入開口部を閉じるための反応器ドアを有する反応器ドアアセンブリとを含む。
反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持される。
本発明によれば、当該方法は、反応器ドアを、反応器ドアが真空チャンバの搬入壁に当たって、反応器ドアが搬入開口部を閉じるように配置される第１のドア位置と、反応器ドアが真空チャンバの搬入壁から離間して搬入壁と対向する第２のドア位置との間で、第１の移動でもって原子層堆積反応器に対して移動させること、および反応器ドアを、第２のドア位置と、反応器ドアが搬入開口部の脇にある第３のドア位置との間で、第２の移動でもって原子層堆積反応器に対して移動させることとを含む。
当該方法は、搬入壁の前の限られた空間において、反応器ドアを移動させることによって搬入開口部を開閉することを可能にする。
一実施形態において、当該方法は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で、第１の移動でもって、反応器ドアを原子層堆積反応器に対して、真空チャンバの搬入壁に向かう方向、および搬入壁から離れる方向で、移動させることを含む。
別の実施形態において、当該方法は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で、第１の移動でもって、反応器ドアを原子層堆積反応器に対して、真空チャンバの搬入壁に向かう方向、および搬入壁から離れる方向で、移動させることを含み、第１の移動が第１の直線移動である。
さらなる実施形態において、当該方法は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で、第１の移動でもって、反応器ドアを原子層堆積反応器に対して、真空チャンバの搬入壁に向かう方向、および搬入壁から離れる方向で、移動させることを含み、第１の移動が第１の回転移動である。
第１の移動は、反応器を搬入開口部から横方向に移動させることができるように、搬入壁から反応器ドアを離間させることを可能にする。
一実施形態において、当該方法は、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の移動でもって、反応器ドアを原子層堆積反応器に対して、第１の移動の方向を横切る方向で移動させることを含む。
別の実施形態において、当該方法は、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の移動でもって、反応器ドアを原子層堆積反応器に対して、第１の移動の方向を横切る方向で移動させることを含み、第２の移動は第２の直線移動である。
さらなる実施形態において、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の移動でもって、反応器ドアを原子層堆積反応器に対して、第１の移動の方向を横切る方向で移動させることを含み、第２の移動は第２の回転移動である。
第２の移動は、限られたスペースだけが必要とされるように、反応器ドアを搬入開口部の前面から横方向に遠ざけるように移動させることを可能にする。
一実施形態では、反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持される。当該方法は、第１の移動でもって第１のドア位置と第２のドア位置との間で、第２の移動でもって第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体内で反応器ドアを真空チャンバに対して移動させることを含む。
別の実施形態では、反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持される。当該方法は、第１の移動でもって第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを真空チャンバに対して移動させるために、真空チャンバに対してドア支持構造体を移動させること、および、第２の移動でもって第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体内の反応器ドアを真空チャンバに対して移動させることを含む。
さらなる実施形態において、反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持される。当該方法は、第１の移動でもって第１のドア位置と第２のドア位置との間で、ドア支持構造体内で反応器ドアを真空チャンバに対して移動させること、および反応器ドアを真空チャンバに対して第２のドア位置と第３のドア位置との間で第２の移動でもって移動させるために、真空チャンバに対してドア支持構造体を移動させることを含む。
さらに別の実施形態では、反応器ドアアセンブリはドア支持構造体を含み、反応器ドアはドア支持構造体に支持される。当該方法は、真空チャンバに対して反応器ドアを第１のドア位置と第２のドア位置との間で第１の移動でもって移動させるために、ドア支持構造体を真空チャンバに対して移動させること、および、真空チャンバに対してドア支持構造体内の反応器ドアを第２のドア位置と第３のドア位置との間で第２の移動でもって移動させるために、ドア支持構造体を真空チャンバに対して移動させることとを含む。
第１と第２の移動を利用することで、２つの移動でもって、限られた空間において、搬入開口部を開き、反応器ドアを移動させて搬入開口部から離すこと、ならびに搬入開口部を閉じて、反応器ドアを移動させて搬入壁に当てることができる。
一実施形態において、当該方法は、原子層堆積反応器に対してドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁に向かう方向および真空チャンバの搬入壁から離れる方向に移動させることにより、反応器ドアが第１のドア位置にある第１の構造体位置と、反応器ドアが第１の移動でもって第２のドア位置にある第２の構造体位置との間で、ドア支持構造体を移動させることを含む。
代替的な実施形態において、当該方法は、ドア支持構造体を鉛直方向に対して傾斜させることにより、反応器ドアが第１のドア位置にある第１の構造体位置と、反応器ドアが第１の移動でもって第２のドア位置にある第２の構造体位置との間で、ドア支持構造体を移動させることを含む。
さらなる実施形態において、当該方法は、真空チャンバの搬入壁に対してドア支持構造体を回動させることにより、反応器ドアが第１のドア位置にある第１の構造体位置と、反応器ドアが第１の移動でもって第２のドア位置にある第２の構造体位置との間で、ドア支持構造体を移動させることを含む。
ドア支持構造体を真空チャンバに対して移動させることにより、搬入開口部を開閉するために、反応器ドアを第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させることができる。
いくつかの実施形態では、ドア支持構造体は、第１の鉛直支持要素および第２の鉛直支持要素を含み、第１および第２の鉛直支持要素は、第１および第２の鉛直支持要素の間に搬入空間が形成されるように、搬入開口部の両側で水平方向に互いに間隔をあけて配置され、反応器ドアは、第１および第２の鉛直支持要素に支持され、搬入空間に配置される。
一実施形態では、当該方法は、反応器ドアが搬入空間内にあり搬入開口部と対向している第２のドア位置と、反応器ドアが搬入開口部の下方または上方に鉛直方向にある第３のドア位置との間で、ドア支持構造内で反応器ドアを、搬入空間内で第１および第２の鉛直支持要素に沿って、原子層堆積反応器に対して移動させることを含む。
別の実施形態において、当該方法は、第１の構造体位置と第２の構造体位置との間でドア支持構造体を移動させること、および反応器ドアが搬入空間内にあり搬入開口部と対向している第２のドア位置と、反応器ドアが搬入開口部の下方または上方で鉛直方向にある第３のドア位置との間で、反応器ドアをドア支持構造体内で、原子層堆積反応器に対して、搬入空間内で第１および第２鉛直支持要素に沿って移動させることを含み、ドア支持構造体の移動が、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドアを移動させるために、真空チャンバの搬入壁に対して第１および第２の鉛直支持要素を傾斜させることを含む。
鉛直支持要素を傾斜させること、および反応器ドアを鉛直支持要素に沿って移動させることは、反応器の移動と必要な空間を最小限にし得る、単純で効果的な構造を提供する。
一実施形態において、当該方法は、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の移動でもって、ドア支持構造体内で反応器ドアを移動させることが、ドア支持構造体の第２の構造体位置にて実施されることを含む。
別の実施形態において、当該方法は、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の移動でもって、ドア支持構造体内の反応器ドアを移動させることが、第１の構造体位置と第２の構造体位置との間でドア支持構造体を第１の移動でもって移動させている間に開始することを含む。
第２の移動は、反応器ドアが横方向に移動できるように、搬入開口部との係合が解かれたときに実施される。
幾つかの実施形態において、当該方法は、閉鎖された真空チャンバを開放することを含み、この閉鎖された真空チャンバにおいて、ドア支持構造体は第１の構造体位置にあり、反応器ドアは第１のドア位置にあり、反応器ドアが搬入開口部を閉じるように配置されるように、真空チャンバの搬入壁に当たって配置される。
一実施形態では、閉鎖された真空チャンバの開放は、反応器ドアを第１のドア位置から第２のドア位置へ移動させるために、ドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁から離れる方向に移動させることによって、ドア支持構造体を第１の構造体位置から第２の構造体位置へ真空チャンバに対して移動させること、および第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体内で反応器ドアを移動させることによって、ドア支持構造体内で反応器ドアを第２のドア位置から第３のドア位置へ移動させることを含む。
代替的な実施形態において、閉鎖された真空チャンバの開放は、反応器ドアを第１のドア位置から第２のドア位置へ移動させるために、ドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁から離れる方向に傾ける又は回動させることによって、ドア支持構造体を第１の構造体位置から第２の構造体位置へ真空チャンバに対して移動させること、および反応器ドアを第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体内で下向きまたは上向き、および搬入開口部の下方または上方に鉛直方向で移動させることによって、ドア支持構造体内で反応器ドアを第２のドア位置から第３のドア位置へ移動させることを含む。
密閉された真空チャンバの開放は、２つの異なる移動でもって行われるため、搬入開口部の前に最小限のスペースを許容する。
幾つかの実施形態において、当該方法は、真空チャンバの開口部を閉じることを含み、開放された真空チャンバにおいて、ドア支持構造体は第２の構造体位置にあり、反応器ドアは、搬入開口部が開放されるように第３のドア位置にある。
一実施形態では、開放された真空チャンバの閉鎖は、第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体内の反応器ドアを第３のドア位置から第２のドア位置に移動させることによって、ドア支持構造体内で反応器ドアを第３のドア位置から第２のドア位置に移動させること、および反応器ドアを第２のドア位置から第１のドア位置に移動させるために、ドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁に向かう方向に移動させることによって、ドア支持構造体を第２の構造体位置から第１の構造体位置に真空チャンバに対して移動させることを含む。
代替的な実施形態では、開放された真空チャンバの閉鎖は、第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体内で反応器ドアを上方または下方に移動させることによって、ドア支持構造体内で反応器ドアを第３のドア位置から第２のドア位置に移動させること、および反応器ドアを第２のドア位置から第１のドア位置に移動させるために、ドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁に向かう方向に傾斜または回動させることによって、ドア支持構造体を第２の構造体位置から第１の構造体位置に真空チャンバに対して相対的に移動させることを含む。
搬入ドアを２回の移動でもって移動させることにより真空チャンバを閉じることは、搬入開口部を狭い空間できっちりと閉じることを許容する。
一実施形態において、当該方法は、搬入開口部が開放するように反応器ドアが第３のドア位置にあるときに反応チャンバを真空チャンバに搬入すること、および搬入開口部が開放されるように反応器ドアが第３のドア位置にあるときに反応チャンバを真空チャンバから搬出することを含む。
別の実施形態では、当該方法は、ドア支持構造体が第２の構造体位置にあり、搬入開口部が開放されるように反応器ドアが第３のドア位置にあるときに、反応チャンバを真空チャンバに搬入すること、およびドア支持構造体が第２の構造体位置にあり、搬入開口部が開放されるように反応器ドアが第３のドア位置にあるときに、反応チャンバを真空チャンバから搬出することを含む。
さらなる代替的な実施形態では、ドア支持構造体が第２の構造体位置にあり、搬入開口部が開放されるように反応器ドアが第３のドア位置にあるときに、反応チャンバを真空チャンバに水平方向に搬入すること、およびドア支持構造体が第２の構造体位置にあり、搬入開口部が開放されるように反応器ドアが第３のドア位置にあるときに、反応チャンバを真空チャンバから水平方向に搬出することを含む。
このように、独立した反応チャンバは、基板を処理するために真空チャンバ内に搬入され、処理後に真空チャンバから搬出される。
いくつかの実施形態では、当該方法は、上記に開示した原子層堆積反応器を利用して実施される。
本発明によれば、当該方法は、先に説明した実施形態のいずれか１つによる原子層堆積反応器装置を操作することを含む。
本発明の利点は、ドア支持枠に支持された独立した反応器が、反応器ドア全体を搬入開口部から鉛直方向に遠ざけることによって、真空チャンバを開閉することを可能にすることである。従って、搬入開口部に対向する空間が空き、独立した反応器チャンバを水平方向に真空チャンバに搬入することができる。さらに、反応器ドアがスライドして真空チャンバの搬入壁から離れるため、反応器ドアを開くことは、搬入壁の前方に最小限の空間を必要とする。したがって、施設内の床面積を減少させることができる。さらに、固定の搬入アセンブリを真空チャンバの搬入壁の近くに配置することもできる。これは、搬入開口部を介した独立した反応チャンバの真空チャンバへの搬入、および真空チャンバからの搬出の自動化を可能にする。従って、大型で重量の大きい独立した反応チャンバの利用ならびに搬入および搬出が可能になる。
本発明を、添付の図面を参照して、具体的な実施形態により詳細に説明する。
図１ないし図４は、本発明の原子層堆積反応器の一実施形態を模式的に示す。 図１ないし図４は、本発明の原子層堆積反応器の一実施形態を模式的に示す。 図１ないし図４は、本発明の原子層堆積反応器の一実施形態を模式的に示す。 図１ないし図４は、本発明の原子層堆積反応器の一実施形態を模式的に示す。 図５ないし図９は、本発明の反応器ドアアセンブリの一実施形態を模式的に示す。 図５ないし図９は、本発明の反応器ドアアセンブリの一実施形態を模式的に示す。 図５ないし図９は、本発明の反応器ドアアセンブリの一実施形態を模式的に示す。 図５ないし図９は、本発明の反応器ドアアセンブリの一実施形態を模式的に示す。 図５ないし図９は、本発明の反応器ドアアセンブリの一実施形態を模式的に示す。 図１０および図１１は、本発明の反応器ドアアセンブリの別の実施形態を模式的に示す。 図１０および図１１は、本発明の反応器ドアアセンブリの別の実施形態を模式的に示す。 図１２および図１３は、本発明の反応器ドアアセンブリのさらなる実施形態を模式的に示す。 図１２および図１３は、本発明の反応器ドアアセンブリのさらなる実施形態を模式的に示す。 図１４および図１５は、本発明の反応器ドアアセンブリのさらに別の実施形態を模式的に示す。 図１４および図１５は、本発明の反応器ドアアセンブリのさらに別の実施形態を模式的に示す。 図１６ないし図２０は、本発明の反応器ドアアセンブリの代替的実施形態を模式的に示す。 図１６ないし図２０は、本発明の反応器ドアアセンブリの代替的実施形態を模式的に示す。 図１６ないし図２０は、本発明の反応器ドアアセンブリの代替的実施形態を模式的に示す。 図１６ないし図２０は、本発明の反応器ドアアセンブリの代替的実施形態を模式的に示す。 図１６ないし図２０は、本発明の反応器ドアアセンブリの代替的実施形態を模式的に示す。 図２１は、真空チャンバの両端に反応器ドアアセンブリを備える実施形態を模式的に示す。
発明の詳細な説明
図１は、原子層堆積反応器１０を有する原子層堆積反応器装置を模式的に示す。
原子層堆積反応器１０は、真空チャンバ２０を含み、当該真空チャンバ２０は、基板または独立した反応チャンバを真空チャンバ２０内に搬入し、かつ真空チャンバ２０から搬出するための搬入開口部２５が設けられた前壁２１を有する。前壁２１は、鉛直に又は上方に延びる前壁２１である。搬入開口部２５は、真空チャンバ２０の内部と真空チャンバ２０の外部との間で開口部を提供する。
搬入開口部２５が設けられた前壁２１は、真空チャンバ２０の搬入壁２１を形成する。
真空チャンバ２０はさらに、前壁２１と対向する後壁２２と、上壁２４と、上壁２４と対向する底壁２６と、前壁２１と後壁２２との間および上壁２４と底壁２６との間に延びる側壁２３とを備える。
代替的実施形態では、真空チャンバ２０は水平方向に延びる円筒形の真空チャンバであってもよい。上壁２４、底壁２６および側壁は、前壁２１と後壁２２との間に延びる円筒形のシース壁（または鞘状壁）によって置き換えられる。
真空チャンバ壁２１、２２、２３、２４、２６は、構造的に真空を維持できるように設けられている。したがって、真空チャンバ壁２１、２２、２３、２４、２６は、損傷することなく、処理中に相当な真空状態を維持できるように構成されている。
原子層堆積炉１０は、真空チャンバ２０を施設の床のような支持面上に支持するためのチャンバ支持脚１２を含む。チャンバ支持脚１２は、真空チャンバ２０および搬入開口部２５が支持面からハンドリング高さに配置されるように設けられており、基板または独立した反応チャンバを垂直方向に持ち上げたり移動させたりする必要なく、基板または独立した反応チャンバの真空チャンバへの搬入および真空チャンバからの搬出を可能にする。
チャンバ支持脚１２は真空チャンバ２０の下に設けられている。チャンバ支持脚１２は真空チャンバ２０の底面２６から延び、真空チャンバ２０の底面２６に設けられている。
チャンバ支持脚１２は、真空チャンバ２０を支持面上で支持するように構成された任意の適切な支持部材に置き換えてよいことに留意すべきである。
原子層堆積反応器１０は、真空チャンバ２０内の反応チャンバに１つ以上の前駆体ガスを供給し、真空チャンバ２０内の反応チャンバから前駆体ガスを排出するように構成された前駆体システム４０をさらに含む。前駆体システム４０は、１つ以上の前駆体源（図示せず）、供給導管（図示せず）、排出導管（図示せず）、および１つ以上の供給ポンプおよび／または排出ポンプ（図示せず）を含む。前駆体システム４０は、真空チャンバ２０および反応チャンバ内で基板の表面を１つ以上の前駆体ガスに晒すように構成されている。
原子層堆積反応器１０は、搬入開口部２５が閉じられているときに真空チャンバ２０内に真空を提供するように構成された真空システム５０をさらに含む。真空システム５０は、真空チャンバ２０内に真空状態を生成するための真空ポンプなどの１つ以上の真空装置を含む。
ある実施形態では、真空チャンバ２０が反応チャンバを兼ねていることに留意すべきである。
図２は、原子層堆積反応器１０およびその真空チャンバ２０の概略側面図である。図２はさらに、真空チャンバ２０の搬入開口部２５を閉じるように配置された独立した反応器ドア３００を示す。
真空チャンバ２０の前壁、搬入壁２１は搬入開口部２５を含む。前壁２１には、前壁２１の外側面から突出する封止鍔または封止フランジ３０が設けられている。封止フランジ３０は、搬入開口部２５を囲むように配置され、あるいは密封フランジ３０は搬入開口部２５を周方向に取り囲むように配置される。従って、搬入開口部２５は、環状封止フランジ３０の内側に設けられている。
封止フランジ３０は、第１の封止面３２を含む。第１の封止面は、前壁２１から離れる方を向くように配置されている。好ましくは、封止面３２は、前壁２１の外側面に平行に設けられている。
いくつかの実施形態では、封止フランジ３０を省略してよく、真空チャンバ２０の前壁２１、または前壁２１の外側面が第１の封止面を形成するように構成されている。
第１の封止面３２には、Ｏ－リング等の追加の封止要素（図示せず）を設けてもよい。
反応器ドア３００は、独立した反応器ドアである。独立した反応器ドア３００は、反応器ドア３００が真空チャンバ２０に固定的に接続されておらず、または取り付けられておらず、または留め付けられておらず、真空チャンバ２０に対して全体として自由に移動させ得ることを意味する。
代替実施形態では、反応器ドア３００は、真空チャンバ２０に固定的に連結され、または取り付けられ、または留め付けされ、真空チャンバ２０に対して移動可能に構成されている。
反応器ドア３００は、反応器ドアが搬入開口部２５に対して閉位置に設置されたときに、真空チャンバ２０から離れる方を向くように配置された外側ドア面３０２を含む。反応器ドア３００は、反応器ドアが搬入開口部２５に対して閉位置に設置されたときに、真空チャンバ２０の方を向くように配置された内側ドア面３０４をさらに含む。
内側ドア面３０４は、真空チャンバ２０の内部空間に向かって熱放射を反射し、反応器ドア３００が過度に加熱されるのを防止するように構成された１つ以上の熱反射板３０６を備える。熱反射板３０６は内側ドア面３０４と平行である。別法として、または加えて、熱反射板３０６は真空チャンバ２０の前壁２１と平行である。
熱反射板３０６は、反応器ドア３００が搬入壁２１または第１の封止面３２に当たって閉位置に配置されたときに、搬入開口２５内および／または真空チャンバ２０内に収まるように構成されている。従って、反応器ドア３００の閉位置において、熱反射板３０６は搬入開口部２５の内側にある。
反応器ドア３００は、反応器ドア３００が搬入開口部２５を閉じる閉位置にあるとき、前壁２１および搬入開口部２５の方を向く第２の封止面を含む。第２の封止面は、搬入開口部２５が閉じられて、反応器ドアが閉位置にあるときに、第１の封止面３２に突き当たるように構成されている。
内側ドア面３０４は第２の封止面を形成する。別法として、内側ドア面３０４は、独立した環状封止面を備える。第２の封止面３０４は、搬入開口部２５を閉じるために反応器ドアが搬入開口部２５に配置されたときに、封止フランジ３０の第１の封止面３２に突き当たるように構成されている。
第２の封止面３０４には、Ｏ－リング等の追加の封止要素（図示せず）を設けてもよい。
反応器ドア３００の閉位置では、反応器ドア３００の第２封止面３０４が、封止フランジ３０または前壁２１の第１封止面３２に突き当たるように配置され、反応器ドア３００が搬入開口部２５にカバーして閉じるように、反応器ドア３００が搬入開口部２５を覆うように配置される。
図３は、真空チャンバ２０と反応器ドア３００の上面図を示す。
図４は、真空チャンバ２０を前壁２１の方向から見た端面図である。図４はさらに、独立した反応器ドア３００を示す。
反応器ドア３００は、搬入開口部２５を閉じるために、前壁２１および封止フランジ３０に突き当たるように配置される。反応器ドア３００の閉位置において、反応器ドア３００の第２封止面３０４は、反応器ドア３００が搬入開口部２５を閉じて密閉するように、前壁２１の第１封止面３２に突き当たるように配置される。
反応器ドア３０の熱反射板３０６は、反応器ドア３００が閉位置に配置されたときに、搬入開口部２５に嵌まり、搬入開口部２５内に配置されるように構成されている。
図５は、本発明の原子層堆積反応器の一実施形態のより詳細な図を模式的に示す。この実施形態では、反応器ドア３００は、真空チャンバ２０から独立している独立した反応器ドア３００として設けられている。
したがって、原子層堆積反応器装置は、反応器ドアアセンブリ４００を含む。反応器ドアアセンブリ４００は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０、および反応器ドア３００を含む。反応器ドアアセンブリ４００は、反応器ドア３００を真空チャンバ２０から独立して支持するように構成されている。反応器ドア３００はドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０に支持される。
反応器ドア３００でもって搬入開口部２５を閉鎖および開放するために、反応器ドア３００が真空チャンバ２０に対して移動可能であるように、反応器ドア３００はドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０に支持されている。ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０は真空チャンバ２００から独立している。
反応器ドアアセンブリ４００は、反応器ドア３００が搬入壁２１に突き当たる第１のドア位置と、反応器ドア３００が搬入開口部２５の前で搬入壁２１から離間して搬入開口部２５または搬入壁２１と対向する第２のドア位置との間で、真空チャンバ２０に対して反応器ドア３００を移動させるように構成されている。第１のドア位置では、反応器ドア３００は閉鎖位置にある。
反応器ドアアセンブリ４００はさらに、反応器ドア３００を、第２のドア位置と、反応器ドア３００が搬入開口部２０の脇にある第３のドア位置との間で、真空チャンバ２０に対して移動させるように構成されている。第３のドア位置において、反応器ドア３００は、搬入開口部２５から横方向に離間している。
図５は、搬入壁２１の方向から見た真空チャンバ２０と反応器ドアアセンブリ４００の端面図である。
図５に示すように、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０は、真空チャンバ２０の搬入壁２１に関連させて構成されている。ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０は、支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０に支持された反応器ドア３０でもって搬入開口部２５が閉鎖可能であるように、搬入壁２１の前面側で反応器ドア３００を支持するように構成されている。
ドア支持構造体は、１つ以上の下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８を含む。下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８は、施設の床のような支持面に固定される。
別法として、１つ以上の下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８は、原子層堆積反応器１０または真空チャンバ２０の構造体に固定される。
いくつかの実施形態では、１つ以上の下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８は、チャンバ支持脚１２に固定される。
ドア支持構造体は、第１の鉛直支持要素４０２と第２の鉛直支持要素４１２を含む。第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、１つ以上の下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８に接続され、支持されている。第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８から上向きの方向に延びるように構成されている。
第１の鉛直支持要素４０２は、第１の下側端部４０４および第１の上側端部４０６を含む。第２の鉛直支持要素４１２は、第２の下側端部４０１と第２の上側端部４１６を含む。第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、第１および第２の下端部４０４、４１４から、１つ以上の下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８に接続され、支持される。
第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、鉛直方向に、搬入開口部２５の上方まで延びる。したがって、第１および第２の上側端部４０６、４１６は、搬入開口部２５の上方にて鉛直方向にある。
好ましい実施形態では、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、反応器ドア３００が第１のドア位置にあるとき、真空チャンバ２０の上壁２４の上方まで垂直方向に延びる。
第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間に搬入空間が形成されるように、互いに間隔をあけて配置される。したがって、第１および第２の上側端部４０６、４１６は、真空チャンバ２０の上壁２４の上方にて垂直方向にある。
長さ方向の下側支持要素４４０は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間で延びるように配置される。縦下側支持要素４４０はさらに、支持面、または反応器１０、または真空チャンバ２０に固定される。第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、縦下側支持要素４４０から上方に延びる。
第１の鉛直支持要素４０２はさらに、第１の支持コネクタ４０７、４０８で縦下側支持要素４４０に固定される。第２の鉛直支持要素４１２はさらに、第２の支持コネクタ４１７、４１８で縦下側支持要素４４０にさらに固定される。
別法として、縦下側支持要素４４０は省略される。第１の鉛直支持要素４０２は、第１の支持コネクタ４０７、４０８を用いて、支持面、または反応器１０、または真空チャンバ２０に固定される。第１の鉛直支持要素４０２は、第１の支持コネクタ４０７、４０８から上方に延びる。第２の鉛直支持要素４１２は、第２の支持コネクタ４１７、４１８を用いて、支持面、または反応器１０、または真空チャンバ２０に固定される。第２の鉛直支持要素４１２は、第２の支持コネクタ４１７、４１８から上方に延びる。
ドア支持フレームは、１つ以上の上側支持要素４５０をさらに含む。上側支持要素４５０は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間で延びるように配置される。
上側支持要素４５０は、好ましくは水平方向に延びるように配置される。
上側支持要素４５０は、搬入開口部２５の上方で垂直方向に配置されている。
好ましい実施形態では、上側支持要素４５０は、真空チャンバ２０の上壁２４の上方で垂直方向に配置される。
縦下側支持要素４４０はさらに、支持面、または反応器１０、または真空チャンバ２０に固定される。第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、縦下側支持要素４４０から上方に延びる。
第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、第１および第２の鉛直支持要素が真空チャンバ２０の搬入開口部２５を挟んで両側にあるように、真空チャンバ２０の搬入壁２１に関連して配置される。したがって、搬入開口部２５は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間に配置される。
したがって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、搬入開口部２５が第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間の搬入空間に提供されるように構成されている。換言すれば、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、搬入開口部２５が第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間の搬入空間と対向するように構成されている。
図５の実施形態では、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、第１および第２の鉛直支持要素が真空チャンバ２０の搬入開口部２５を挟んで両側にあり、搬入開口部２５が搬入空間と対向するように、真空チャンバ２０の搬入壁２１の前面に配置される。
反応器ドア３００は、図５に示すように、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に支持され、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間の搬入空間に配置される。したがって、反応器ドア３００は、第１のドアポジションにて、搬入開口部２５を閉じるために、搬入壁２１または封止フランジ３０に当たって配置されるようになっている。
したがって、反応器ドア３００と搬入開口部２５の両方が、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間で、搬入空間内に設けられる。
反応器ドア３００は、１つ以上の第１のドア支持要素４２１、４２２によって、第１の鉛直支持要素４０２に支持され、接続されている。反応器ドア３００はさらに、１つ以上の第２ドア支持要素４３１、４３２によって、第２鉛直支持要素４１２に支持され、接続されている。
反応器ドア３００は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に対して移動可能であるように構成されている。したがって、反応器ドア３００は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の長手方向に沿って移動可能であるように構成され、支持される。
ドア支持構造体は、上側端部と下側端部とを含み、反応器ドア３００は、ドア支持構造体の上側端部と下側端部との間の方向において、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に対して移動可能であるように構成されている。
したがって、反応器ドア３００は、ドア支持構造体内の第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って移動可能であるように構成されている。
ドア支持構造体の上側端部は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の第１および第２の上側端部４０６、４１６、または上側支持要素４５０によって提供される。ドア支持構造体の下側端部は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の第１および第２の下側端部４０４、４１４、または下側支持要素４４０、４０７、４０８、４１７、４１８によって提供される。
反応器ドアアセンブリは、ドア移動機構４０９、４１９を含み、ドア移動機構４０９、４１９は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０、またはその１つ以上の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０の上側端部４０６、４１６、４５０と下側端部４０４、４１４、４５０との間の方向で反応器ドア３００を移動させるように構成されている。
好ましくは、ドア移動機構４０９、４１９は、反応器ドア３００を、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の第１および第２の下側端部４０４、４１４と第１および第２の上側端部４０６、４１６との間の方向で移動させるように構成されている。
ドア移動機構は、ドア支持構造体内で反応器ドア３００を移動させるように構成された１つ以上のドア移動装置４０９、４１９を含む。
図５の 実施形態では、ドア移動機構は、第１の鉛直支持要素４０２に設けられた第１のドア移動装置４０９を含む。ドア移動機構は、第２の鉛直支持要素４１２に設けられた第２のドア移動装置４１９を含む。
別法として、ドア移動機構は１つだけのドア移動装置４０９、４１９を含む。
ドア移動装置４０９、４１９は、ドア支持構造体または原子層堆積反応器１０に配置される。
代替実施形態では、ドア移動装置４０９、４１９は、反応器ドア３００に設けられる。
ドア移動機構は、歯機構やトラック機構など、任意の種類の機械的移動機構であってよい。ドア移動装置４０９、４１９は、電気モータ、その他の種類のモータ、または油圧もしくは空気圧装置であってもよい。
第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の長手方向に沿って、またはその上側および下側端部４０６、４１６、４０４、４１４間の方向に延びる搬送トラック（図示せず）を備えてよい。反応器ドア３００は、１つ以上の第１のドア支持要素４２１、４２２と、１つ以上の第２のドア支持要素４３１、４３２とでもって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の搬送トラックに支持され、接続される。
図６は、図５の原子層堆積反応器１０、真空チャンバ２０および反応器ドアアセンブリ４００の概略側面図を示す。第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０に枢動可能に連結され、１つまたは複数の下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０から上方に延びるように構成されている。したがって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、前面２１および真空チャンバ２０に対して回動させられる、斜めにされる、または傾斜させられるように構成されている。
第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、１つ以上の水平ピボット軸４４１で下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０に枢動可能に連結され、水平ピボット軸４４１を中心として、垂直方向を基準として、真空チャンバ２０の搬入壁２１に対して、回動させられる、斜めにされる、または傾斜させられるように構成されている。
図６に示すように、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２はそれぞれ、第１の支持コネクタ４０７、４０８および第２の支持コネクタ４１７、４１８に、１つ以上の複数の水平ピボット軸４４１でもって枢動可能に接続されている。したがって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、１つ以上の水平ピボット軸４４１の周囲で、搬入壁２１および真空チャンバ２０に対して、垂直方向を基準として回動させられる、斜めにされる、または傾斜させられるように構成されている。
図５および図６の実施形態では、第１の水平ピボット軸４４１が、第１の支持コネクタ４０７、４０８および第１の鉛直支持要素４０２に関連して設けられている。第２の水平ピボット軸４４１は、第２の支持コネクタ４１７、４１８および第２の鉛直支持要素４１２に関連して設けられている。
反応器ドアアセンブリ４００は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０を真空チャンバ２０の搬入壁２１に向かって、また搬入壁２１から離れるように、搬入壁２１および原子層堆積反応器１０に対して移動させるように構成された支持構造体移動機構４６０、４６２をさらに含む。
支持構造体移動機構は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０を、真空チャンバ２０の搬入壁２１に向かって、また搬入壁２１から離れるように、原子層堆積反応器１０に対して移動させるように構成された支持構造体移動装置４６０、４６２を含む。
支持構造体移動機構は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０を、真空チャンバ２０の搬入壁２１に向かって、および搬入壁２１から離れるように、水平ピボット軸４４１を中心として、原子層堆積反応器１０に対して回動させる、斜めにする、または傾斜させるように構成された支持構造体移動装置４６０、４６２を含む。
図５および図６の実施形態では、支持構造体移動装置４６０、４６２は、原子層堆積反応器１０に設けられ、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０に接続されている。
図６に示すように、支持構造体移動装置４６０、４６２は、真空チャンバ２０の上壁２６上に配置され、ドア支持構造体に接続されている。
支持構造体移動装置４６０、４６２は上側支持要素４５０に接続されている。別法として、支持構造体移動装置４６０、４６２は、第１および／または第２の鉛直支持要素４０２、４１２に接続される。
支持構造体移動装置４６０、４６２は、モータ、電気モータ、油圧装置または空気圧装置のような、任意の種類の装置であってよい。
図５および図６の実施形態では、支持構造体移動装置４６０は、ドア支持構造体に接続された油圧シリンダ４６２を含む油圧装置である。
支持構造体移動機構４６０、４６２は、第１および第２鉛直支持要素４０２、４１２ならびに反応器ドア３００を真空チャンバ２０の搬入壁２１に向かって、および搬入壁２１から離れるように移動させるために、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を、１つ以上の下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０に対して回動または傾斜させるように構成されている。
したがって、支持構造体移動機構４６０、４６２は、２つ以上の鉛直支持要素４０２、４１２および反応器ドア３００を、真空チャンバ２０の搬入壁２１に向かって、および搬入壁２１から離れるように移動させるために、１つ以上の下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０に対して、１つ以上の水平ピボット軸４４１を中心として、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を回動または傾斜させるように構成されている。
このように支持構造体移動機構４６０、４６２は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を１つ以上の水平ピボット軸４４１を中心として傾けることによって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を搬入壁２１から離れる方向に押すように構成されている。支持構造体移動機構４６０、４６２はさらに、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を１つ以上の水平ピボット軸４４１を中心として傾けることによって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を搬入壁２１から搬入壁２１に向かう方向に引っ張るように構成されている。
支持構造体移動機構４６０、４６２は、反応器ドア３００が真空チャンバ２０の搬入壁２１に突き当たり、反応器ドア３００が搬入開口部２５、３０、３２を閉じるように配置される第１の支持構造体位置まで、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を、１つ以上の下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０に対して回動させるように構成されている。第１の支持構造体位置を図６に示す。第１の支持構造体位置では、反応器ドア３００は図６に示すように第１のドア位置にある。
支持構造体移動機構４６０、４６２はさらに、搬入開口部２５が開放されるように反応器ドア３００が真空チャンバ２０の搬入壁２１から離間している第２の支持構造体位置まで、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を、１つ以上の下側支持要素４０７、４０８、４１７、４１８、４４０に対して回動させるように構成されている。第２の支持構造体位置を図７に示す。
ドア移動機構４０９、４１９は、反応器ドア３００を、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿う搬入空間内で移動させるように構成されている。
図７では、ドア支持構造体は第２の支持構造体位置にあり、反応器ドア３００は第２のドア位置にある。
ドア移動機構４０９、４１９は、反応器ドア３００を、第２のドア位置と第の３ドア位置との間で、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿う搬入空間内で移動させるように構成されている。
ドア移動機構４０９、４１９はさらに、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間の搬入空間において、反応器ドア３００を、反応器ドア３００が搬入開口部２５の下方に垂直方向に沿って位置する第３のドア位置まで、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って移動させるように構成されている。第３のドア位置は図８および図９に示されている。
第３のドア位置および第２の支持構造体位置において、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の間にあって搬入開口部２５と対向する搬入空間は開放されている。したがって、反応器ドア３００は、搬入開口部２４、ならびに搬入開口部２５および搬入壁２１の正面の脇に移動させられる。このようにして、独立した反応チャンバまたは基板を真空チャンバ２０に搬入してよく、または真空チャンバ２０から搬出してよい。
図５から図９の実施形態では、閉鎖された真空チャンバ２０は、ドア支持構造体、またはその第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を、支持構造体移動機構４６０、４６２を用いて、真空チャンバに対して第１の支持構造体位置から第２の支持構造体位置まで第１の移動でもって移動させることにより開放される。第１の移動は、真空チャンバ２０に対して反応器ドア３００を第１のドア位置から第２のドア位置に移動させるようになっている。
第１の移動は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を傾けて、これらが真空チャンバ２０の搬入壁２１から離れるようになっている。
第１の移動において、反応器ドア３００はドア支持構造体に対して静止したままである。次に、反応器ドア３００は、ドア支持構造体内のドア移動機構４０９、４１９を用いて、または第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、第２のドア位置から第３のドア位置への第２の移動でもって移動させられる。
第２の移動は、反応器ドア３００が搬入開口部２５の下にある第３のドア位置まで、反応器ドア３００を、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って移動させるようになっている。
第２の移動中、ドア支持構造体は第２の支持構造体位置にある。
図５から図９の実施形態では、開放された真空チャンバ２０は、ドア移動機構４０９、４１９を用いて、ドア支持構造体における第２の移動でもって、または第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、反応器ドア３００を第３のドア位置から第２のドア位置へ移動させることによって閉じられる。
第２の移動は、反応器ドア３００を第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って、反応器ドア３００が搬入開口部２５または搬入壁２１から離間して、これらと対向する第２のドア位置まで移動させるようになっている。
第２の移動中、ドア支持構造体は第２の支持構造体位置にある。
次に、ドア支持構造体、またはその第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２は、支持構造体移動機構４６０、４６２により、第１の移動でもって、第２の支持構造体位置から第１の支持構造体位置まで真空チャンバ２０に対して移動されられる。第１の移動は、搬入開口部２５を閉じるために、反応器ドア３００を、真空チャンバ２０に対して、第２のドア位置から第１のドア位置に移動させるようになっている。
第１の移動は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を真空チャンバ２０の搬入壁２１に向かって傾斜させるようになっている。
第１の移動において、反応器ドア３００はドア支持構造体に対して静止したままである。
図５～図９の実施形態の代替においては、ドア支持構造体およびドア移動機構４０９、４１９は、反応器ドア３００を、第２のドア位置から反応器ドア３００が搬入開口部２５の上方にある第３の位置まで、第２の移動でもって移動させるように構成されている。
したがって、搬入開口部２５の開放時には、反応器ドア３００は、ドア移動機構４６０、４６２により、ドア支持構造体、または第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿った第２のドア位置から第３のドア位置への第２の移動でもって、上方に移動させられる。搬入開口部２５の閉鎖中、反応器ドア３００は、ドア移動機構４６０、４６２により、第３のドア位置から第２のドア位置まで、ドア支持構造体、または第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って下方に移動させられる。
図１０および図１１は代替実施形態を示す。この実施形態においては、ドア移動機構４０９が、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０内で、またはその第１の鉛直支持要素４０２内で、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０の上端４０６、４５０と下端４０４、４４０との間の方向を横切る方向で反応器ドア３００を移動させるように構成されている。
好ましくは、ドア移動機構４０９は、第１の鉛直支持要素４０２の第１の下側端部４０４と第１の上側端部４０６との間で、反応器ドア３００を、第１および鉛直支持要素４０２、４１２の長手方向を横切って、または当該方向に対して垂直に移動させるように構成されている。
したがって、図１０および図１１の実施形態では、ドア移動機構４０９は、ドア支持構造体内で反応器ドア３００を、水平方向または鉛直方向を横切る方向で移動させるように構成されている。
ドア移動機構は、ドア支持構造体内で反応器ドア３００を移動させるように構成された１つ以上のドア移動装置４０９を含む。
ドア移動装置４０９は、ドア支持構造体、または原子層堆積反応器１０、または反応器ドア３００に配置される。
ドア移動機構は、歯機構やトラック機構など、任意の種類の機械的移動機構であってよい。ドア移動装置４０９は、電気モータ、その他の種類のモータ、または油圧装置もしくは空気圧装置であってもよい。
図１０および図１１の実施形態では、反応器ドア３００は、ドア支持構造体、および第１の鉛直支持要素４０２に、第１のドア支持要素４２１、４２２でもって支持されている。
第１のドア支持要素４２１、４２２は、反応器ドア３００を、ドア支持構造体内で、第２の移動でもって搬入開口部２５の脇へ横方向に移動させるための移動トラックを形成するように構成されている。
図１０および図１１の実施形態において、ドア支持構造体および支持構造体移動機構は、図５ないし図９の実施形態と同様である。
代替実施形態では、第２の鉛直支持要素４１２、したがって第２の支持コネクタ４１７、４１８は省略される。
図１０～図１１の実施形態では、閉鎖された真空チャンバ２０は、図５ないし図９のように、ドア支持構造体、またはその第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を、支持構造体移動機構４６０、４６２を用いて、真空チャンバに対して第１の支持構造体位置から第２の支持構造体位置まで、第１の移動でもって移動させることにより開放する。
次に、反応器ドア３００は、第２のドア位置から第３のドア位置への第２の移動でもって、ドア移動機構４０９を用いてドア支持構造体内で、または第１の鉛直支持要素４０２内で横断方向または水平方向に移動させられる。
第２の移動は、図１１に示すように、反応器ドア３００を、反応器ドア３００が搬入開口部２５から横方向に離れている第３のドア位置まで、水平方向または第１の鉛直支持要素４０２を横断する方向に移動させるようになっている。
第２の移動中、ドア支持構造体は第２の支持構造体位置にある。
図１０および図１１の実施形態において、開放された真空チャンバ２０は、反応器ドア３００を、第３のドア位置から、反応器ドア３００が搬入壁２１および搬入開口部２５から離れていて、これらと対向する第２のドア位置までの、ドア支持構造体内における第２の移動でもって、ドア移動機構４０９を用いて、水平にまたは第１の鉛直支持要素４０２を横断するように移動させることにより閉じられる。
第２の移動中、ドア支持構造体は第２の支持構造体位置にある。
次に、ドア支持構造体は、支持構造体移動機構４６０、４６２により、第１の移動でもって、第２の支持構造体位置から第１の支持構造体位置まで、真空チャンバ２０に対して移動させられる。第１の移動は、図５～図９と同様に、搬入開口部２５を閉じるために、第２のドア位置から第１のドア位置に、反応器ドア３００を真空チャンバ２０に対して移動させるようになっている。
図１２および図１３は代替的な実施形態を示す。この実施形態では、ドア支持構造体および支持構造体移動機構４６０、４６２は、図５～図９の実施形態と同様である。したがって、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間のドア支持構造体の第１の移動、したがって第１のドア位置と第２のドア位置との間の反応器ドア３００の移動も、図５から図９の実施形態と同様である。
この実施形態では、第２の鉛直支持要素４１２を省略することも可能であることに留意すべきである。
この実施形態では、反応器ドアアセンブリ４００は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０および真空チャンバ２０に対して、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０において、反応器ドア３００をドア軸４２５を中心として回動させるように構成されたドア移動機構４０９、４２１、４２５を備える。
反応器ドア３００は、第１のドア支持要素４１２でドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０に支持されている。ドア移動機構は、反応器ドア３００とドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０との間に配置されたドア軸４２５を含む。反応器ドア３００は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０に対してドア軸４２５を中心として回動するように構成されている。
図１２と図１３に示すように、ドア軸４２５はドア支持構造とドア支持要素４２１の間に接続されている。
反応器ドア３００は、第１のドア移動装置４０９により、ドア軸４２５を中心に回動される。反応器ドア３００をドア軸４２５の周囲で回動させることにより、反応器ドアが第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させられる第２の移動が提供される。
ドア軸４２５は、下側端部４０４と第１上側端部４０６との間の第１鉛直支持要素４０２の長手方向に対して垂直な方向または横断する方向に延びるように構成されている。
ドア軸４２５はドア面３０２に対して垂直に延びている。
したがって、反応器ドア３００は、ドア軸を中心に、ドア面３０２方向で、または横方向に回動する。
図１２は、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０が第２の支持構造体位置にあり、反応器ドア３００が搬入開口部２５から離間して、搬入開口部２５と対向する第２のドア位置にあることを示す。したがって、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０は、第１の移動でもって移動させられる。
次に、反応器ドア３００は、ドア軸４２５を中心とする第２の移動でもって、第２のドア位置から第３のドア位置まで、ドア支持構造体に対して移動させられる。第２の移動は、ドア軸４２５を中心とする回転第２移動である。
反応器ドア３００は、図１３に示すように、搬入開口部２５から横方向に離れた第３のドア位置に移動させられる。
搬入ドア３００を閉じるとき、反応器ドア３００はドア軸４２５を中心として、第３のドア位置から第２のドア位置へ回動される。その後、ドア支持構造体による第１の移動が行われ、第１の支持構造体の位置まで移動する。
図１４および図１５は、代替的な実施形態を示す。この実施形態では、ドア支持構造体４０２、４１２、４４０、４５０は、真空チャンバ２０およびその搬入壁２１に向かっておよび搬入壁２１から離れる方向に移動可能なように設けられている。したがって、支持構造体移動機構は、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、搬入壁２１に向かって、および搬入壁２１から離れるように搬送されるように構成されている。同時に、反応器ドア３００は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させられる。
図１３および図１４に示すように、支持構造体移動機構４６０、４６２、４４２は、真空チャンバ２０および搬入壁２１に向かい、またこれらから離れる、直線的な第１の移動でもって、ドア支持構造体を移動させるように構成されている。ドア支持構造体は搬送トラック４４２に接続され、支持構造体移動装置４６０、４６２は、ドア支持構造体を搬入壁２１に向かって、また搬入壁２１から離れるように搬送トラック４４２に沿って移動させるように構成されている。
図１４は、第１の支持構造体位置にある支持構造体および第１のドア位置にある反応器ドア３００を示す。支持構造体移動装置４６０、４６２は、第１の移動でもって、ドア支持構造体を、積載壁２１から離れさせて、図１５に示すように第２の支持構造体位置へ押す。同様に、支持構造体移動装置４６０、４６２は、第１の移動でもって、ドア支持構造体を搬入壁２１に向かって、図１４に示すように第１の支持構造体位置まで引っ張る。
図５～図１３のいずれかの実施形態による、ドア移動機構と、ドア支持構造体に対する反応器ドア３００の第２の移動。
図１６～図１８は、反応器ドアアセンブリ４００のさらなる実施形態を示す。この実施形態では、ドア支持構造体は第１の鉛直支持要素４０２を含む。反応器ドア３００は鉛直支持要素４０２に接続され、支持されている。
鉛直支持要素４０２は、第１の下側支持要素４０７、４０８によって、施設の床等の支持面に支持される。
別法として、ドア支持構造体は、原子層堆積装置１０または真空チャンバ２０に固定または支持される。
図１６～図１８の実施形態では、ドア支持構造体は、真空チャンバ２０に対して、固定的に設けられている。反応器ドア３００は、ドア支持構造体または第１の鉛直支持要素４０２に第１のドア支持要素４２１、４２２によって支持される。
反応器ドアアセンブリ４００は、ドア支持構造体内で反応器ドア３００を移動させるように構成されたドア移動機構４０９、４２７をさらに含む。ドア移動機構は、反応器ドア３００を移動させるための、上記に開示したような１つ以上の移動装置４０９を含む。
本実施形態において、ドア移動機構は、移動軸４２７を含む。移動軸４２７は、鉛直方向または搬入壁２１の表面方向に延びている。
反応器ドア３００は、第１のドア支持要素４２１、４２２によって、移動軸４２７に対して回転可能に支持される。
図１６は、第１のドア位置にある反応器ドア３００を示す。ドア移動機構４０９、４２７は、反応器ドア３００を、移動軸を中心として、第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させ、回動させるように構成されている。図１７は、第１のドア位置にある反応器ドア３００を上方から見た図である。
図１８は、反応器ドア３００が搬入開口部２５から離間して、搬入開口部２５と対向する第２のドア位置にある反応器ドア３００を示す。反応器ドア３００は、図１８に示すように、反応器ドアが搬入壁２１と係合しなくなり、また、熱反射板３０６が搬入開口部２５から外れるように、第１の移動でもって回動させられる。
ドア移動機構はさらに、第２の移動でもって、移動軸４２７に沿って第２のドア位置と第３のドア位置との間で、反応器ドア３００を移動させるように構成されている。したがって、移動軸４２７は、ドア移動トラックを形成するように構成されている。図１９の実施形態では、反応器ドア３００は、第２の移動でもって、下向きに搬入開口部２５の下方へ、第３のドア位置まで移動させられる。したがって、この実施形態では、反応器ドア３００は、移動軸４２７に沿って、搬入開口部２５の下方の第３のドア位置まで移動させられるようになっている。
図２０は、図１６から図１９の実施形態の変形例を示す。この実施形態では、反応器ドア３００は、第２のドア位置と第３のドア位置との間を、横方向に第２の移動でもって移動させられるように構成されている。ドア移動機構はさらに、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の移動でもって、反応器ドア３００を移動軸４２７に対して垂直な方向または移動軸２７を横断する方向に移動させるように構成されている。
図２１は、真空チャンバ２０の前壁２１と反対側の後壁２２の両方に、搬入開口部２５および反応器ドアアセンブリ４００が設けられた、原子層堆積反応器の実施形態を示す。これにより、独立した反応チャンバ１００または基板を二方向から搬入および搬出すること、あるいは反応チャンバ１００または基板が真空チャンバ２０を通過することが許容される。
以上、本発明を図示の実施例を参照して説明した。しかしながら、本発明は上記実施例に何ら限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内で種々変形し得るものである。
一実施形態では、搬入開口部は、搬入開口部の方向に延びる搬入開口部中心軸を含み、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアを第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させるように構成され、この第２のドア位置では、反応器ドアは、搬入開口部から搬入開口部中心線の方向に離間し、反応器ドアアセンブリは、反応器ドアを第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成され、この第３のドア位置では、反応器ドアは、搬入開口部中心線を横断する方向で、横方向に搬入開口部の脇にある。
真空チャンバに対してドア支持構造体を真空チャンバの搬入壁に向かって、および真空チャンバの搬入壁から離れるように移動させることは、支持構造体内で反応器ドアを移動させることなく、搬入開口部を閉じるために搬入壁に反応器ドアを当てる（または接触させる）ことを可能にし、搬入壁から離れて対向するように反応器ドアを移動させること可能にする。
一実施形態では、ドア移動機構は、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、平面状のドア面の方向に、または搬入開口部の開口中心線を横断するように、ドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対して移動させるように構成されている。
代替的な実施形態では、ドア移動機構は、反応器ドアを第２のドア位置と第３のドア位置との間で、平面状のドア面の方向において、または搬入開口部の開口中心線を横断するように、第２の直線移動でもって、ドア支持構造体内で、ドア支持構造体に対して移動させるように構成されている。
さらに代替的な実施形態では、ドア移動機構は、反応器ドアの平面状のドア面に対して垂直に延びるドア軸を含み、ドア移動機構は、ドア支持構造体内で、反応器ドアを、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第２の回転移動でもって、ドア支持構造体に対してドア軸を中心として回動させるように構成されている。
第１の移動は、反応器ドアを搬入開口部から横方向に移動させることができるように、搬入壁から反応器ドアを離間させることを可能にする。
反応器ドアを２回の移動でもって移動させることにより真空チャンバを閉じることは、搬入開口部を狭い空間できっちりと閉じることを許容する。
本発明の利点は、ドア支持枠に支持された独立した反応器ドアが、反応器ドア全体を搬入開口部から鉛直方向に遠ざけることによって、真空チャンバを開閉することを可能にすることである。従って、搬入開口部に対向する空間が空き、独立した反応器チャンバを水平方向に真空チャンバに搬入することができる。さらに、反応器ドアがスライドして真空チャンバの搬入壁から離れるため、反応器ドアを開くことは、搬入壁の前方に最小限の空間を必要とする。したがって、施設内の床面積を減少させることができる。さらに、固定の搬入アセンブリを真空チャンバの搬入壁の近くに配置することもできる。これは、搬入開口部を介した独立した反応チャンバの真空チャンバへの搬入、および真空チャンバからの搬出の自動化を可能にする。従って、大型で重量の大きい独立した反応チャンバの利用ならびに搬入および搬出が可能になる。
図６に示すように、支持構造体移動装置４６０、４６２は、真空チャンバ２０の上壁２４上に配置され、ドア支持構造体に接続されている。
このように支持構造体移動機構４６０、４６２は、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を１つ以上の水平ピボット軸４４１を中心として傾けることによって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を搬入壁２１から離れる方向に押すように構成されている。支持構造体移動機構４６０、４６２はさらに、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を１つ以上の水平ピボット軸４４１を中心として傾けることによって、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２を搬入壁２１に向かう方向に引っ張るように構成されている。
したがって、搬入開口部２５の開放時には、反応器ドア３００は、支持構造体移動機構４６０、４６２により、ドア支持構造体、または第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿った第２のドア位置から第３のドア位置への第２の移動でもって、上方に移動させられる。搬入開口部２５の閉鎖中、反応器ドア３００は、支持構造体移動機構４６０、４６２により、第３のドア位置から第２のドア位置まで、ドア支持構造体、または第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２に沿って下方に移動させられる。
好ましくは、ドア移動機構４０９は、第１の鉛直支持要素４０２の第１の下側端部４０４と第１の上側端部４０６との間で、反応器ドア３００を、第１および第２の鉛直支持要素４０２、４１２の長手方向を横切って、または当該方向に対して垂直に移動させるように構成されている。
次に、反応器ドア３００は、第２のドア位置から第３のドア位置への第２の移動でもって、ドア移動機構４０９を用いてドア支持構造体内で、第１の鉛直支持要素４０２内で横断方向または水平方向に移動させられる。
反応器ドア３００を閉じるとき、反応器ドア３００はドア軸４２５を中心として、第３のドア位置から第２のドア位置へ回動される。その後、ドア支持構造体による第１の移動が行われ、第１の支持構造体の位置まで移動する。
図５～図１３のいずれかの実施形態により、ドア移動機構と、ドア支持構造体に対する反応器ドア３００の第２の移動が実施される。

Claims (22)

  1. 原子層堆積反応器（１０）であって、原子層堆積反応器（１０）が：
    －搬入開口部（２５）を備えた搬入壁（２１）を含む、真空チャンバ（２０）、
    －真空チャンバ（２０）の搬入開口部（２５）を閉じるための反応器ドア（３００）を有する反応器ドアアセンブリ（４００）
    を含み：
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）が真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に当たり、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）を閉じるように配置されている第１のドア位置と、反応器ドア（３００）が真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）から離間して搬入壁（２１）と対向している第２のドア位置との間で、真空チャンバ（２０）に対して反応器ドア（３００）を移動させるように構成され；かつ
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）の脇にある第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を真空チャンバ（２０）に対して移動させるように構成されている
    ことを特徴とする、原子層堆積反応器（１０）。
  2. －搬入開口部（２５）は、搬入開口部（２５）の方向を延ばす開口中心軸（Ｘ）を含み、
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させるように構成され、第２のドア位置において、反応器ドア（３００）は、開口中心線（Ｘ）の方向において、搬入開口部（２５）から離間しており、かつ
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が、開口中心線（Ｘ）を横切る方向で横方向に搬入開口部（２５）の脇にある第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を移動させるように構成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載の反応器装置。
  3. －反応器ドアアセンブリ（４００）は、第１の直線移動でもって第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるように構成され、かつ
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第１の直線移動を横切る第２の直線移動でもって移動させるように構成され、または
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、第１の直線移動で第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるように構成され、かつ
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第２のドア位置と第３のドア位置との間で、第１の直線移動を横切る第２の回転移動でもって移動させるように構成され、または
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第１のドア位置と第２のドア位置との間で第１の回転移動でもって移動させるように構成され、かつ
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第２のドア位置と第３のドア位置との間で第２の直線移動でもって移動させるように構成され、または
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第１のドア位置と第２のドア位置との間で第１の回転移動でもって移動させるように構成され、かつ
    －反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）を第２のドア位置と第３のドア位置との間で第２の回転移動でもって移動させるように構成されている
    ことを特徴とする、請求項１または２に記載の反応器装置。
  4. 反応器ドアアセンブリ（４００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を含み、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に支持されていることを特徴とし、
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が真空チャンバ（２０）に対して固定的に配置され、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して移動可能であるように構成され、反応器ドアアセンブリ（４００）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を第１のドア位置と第２のドア位置との間、および第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成されていること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が真空チャンバ（２０）に対して移動可能であるように構成され、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して固定的に配置され、反応器ドアアセンブリ（４００）が、反応器ドア（３００）が第１のドア位置と第２のドア位置との間、および第２のドア位置と第３のドア位置との間を移動するように、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）に対して移動させるように構成されていること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が真空チャンバ（２０）に対して移動可能であるように構成され、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して移動可能であるように構成され、反応器ドアアセンブリ（４００）が、反応器ドア（３００）が第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させられるように、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）に対して移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリ（４００）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成されていること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が真空チャンバ（２０）に対して移動可能であるように構成され、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して移動可能であるように構成され、反応器ドアアセンブリ（４００）が、反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させるように構成され、反応器ドアアセンブリ（４００）が、反応器ドア（３００）が第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させられるように、真空チャンバ（２０）に対してドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を移動させるように構成されていること
    を特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の反応器装置。
  5. 反応器ドアアセンブリ（４００）が、反応器ドア（３００）を第１のドア位置と第２のドア位置との間で移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かって、および搬入壁（２１）から離れるように、真空チャンバ（２０）に対して移動させるように構成された支持構造体移動機構（４６０、４６２、４４２）を含むことを特徴とする請求項４に記載の反応器装置。
  6. －支持構造体移動機構（４６０、４６２、４４２）は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるために、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かって、および搬入壁（２１）から離れるように、真空チャンバ（２０）に対してドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を移動させるように構成されていること、または
    －支持構造体移動機構（４６０、４６２、４４２）は水平ピボット軸（４４１）を備え、支持構造体移動機構（４６０、４６２、４４２）は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるために、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かって、および搬入壁（２１）から離れるように、水平ピボット軸（４４１）を中心として真空チャンバ（２０）に対して傾斜させるように構成されていること、または
    －支持構造体移動機構（４６０、４６２、４４２）は、鉛直ピボット軸（４２７）を備え、支持構造体移動機構（４６０、４６２、４４２）は、第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるために、第１の支持構造体位置と第２の支持構造体位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かって、および搬入壁（２１）から離れるように、鉛直ピボット軸（４４１）を中心として真空チャンバ（２０）に対して回動させるように構成されていること
    を特徴とする請求項５に記載の反応器装置。
  7. －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）は、１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）と、１つ以上の下側支持要素（４０７、４０８、４１７、４１８、４４０）とを含み、前記１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）は、前記１つ以上の下側支持要素（４０７、４０８、４１７、４１８、４４０）に１つ以上の水平ピボット軸（４４１）によって枢動可能なように接続され、かつ前記１つ以上の下側支持要素（４０７、４０８、４１７、４１８、４４０）から上方に延びるように構成され、反応器ドア（３００）は、前記１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）に支持されていること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）は、１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）と、１つ以上の垂直ピボット軸（４２７）とを含み、反応器ドア（３００）は、前記１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）に支持されていること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）は、１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）を含み、反応器ドア（３００）は、前記１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）に支持されていること
    を特徴とする請求項６に記載の反応器装置。
  8. －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）は、第１の垂直支持要素（４０２）と第２の鉛直支持要素（４１２）とを含み、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）は、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）の間に搬入空間が形成されるように互いに間隔をあけて配置され、反応器ドア（３００）は、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に支持され、かつ第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）の間の搬入空間に配置されていること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）は、第１の鉛直支持要素（４０２）と第２の鉛直支持要素（４１２）とを含み、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）は、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）の間に搬入空間が形成されるように互いに間隔をあけて配置され、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）は、真空チャンバ（２０）の搬入開口部（２５、３０、３２）を挟んで両側にあるように、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）の前に配置され、反応器ドア（３００）は、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に支持され、かつ第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）の間の搬入空間に配置されていること
    を特徴とする請求項６または７に記載の反応器装置。
  9. 反応器ドアアセンブリ（４００）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して移動させるように構成されたドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）を含むことを特徴とする請求項１または８のいずれか１項に記載の反応器装置。
  10. －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、搬入ドア（３００）の平面状のドア面の方向に、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して移動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して、第２の直線移動でもって移動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、搬入ドア（３００）の平面状のドア面の方向に、第２の直線移動でもってドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して移動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、ドア軸（４２５）を含み、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して、第２の回転移動でもって、ドア軸（４２５）を中心に回動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、搬入ドア（３００）の平面状のドア面に対して垂直に延びるドア軸（４２５）を含み、ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に対して、第２の回転移動でもって、ドア軸（４２５）を中心に回動させるように構成されていること
    を特徴とする請求項９に記載の反応器装置。
  11. －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）内で反応器ドア（３００）を、第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、反応器ドア（３００）が真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）から離間して、搬入壁（２１）と対向する第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）の下方もしくは上方にあり、または搬入開口部（２５）の側方に隣り合っている第３のドア位置との間で、１つ以上の鉛直支持要素（４０２、４１２）内で反応器ドア（３００）を移動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）が、第２のドア位置と第３のドア位置との間の搬入空間において、反応器ドア（３００）を第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に沿って移動させるように構成されていること、または
    －ドア移動機構（４０９、４１９、４２１、４２２、４２５、４２７）は、反応器ドア（３００）が真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）から離間して、搬入壁（２１）と対向する第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）の下方または上方ある第３のドア位置との間の搬入空間において、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に沿って反応器ドア（３００）を移動させるように構成されていること
    を特徴とする請求項９または１０に記載の反応器装置。
  12. 原子層堆積反応器装置を操作する方法であって、原子層堆積反応器装置が
    －搬入開口部（２５、３０、３２）を備える搬入壁（２１）を含む真空チャンバ（２０）を有する原子層堆積反応器（１０）、および
    －真空チャンバ（２０）の搬入開口部（２５、３０、３２）を閉じるための反応器ドア（３００）を有する反応器ドアアセンブリ（４００）を含み
    反応器ドアアセンブリ（４００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を含み、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に支持されていることを特徴とし、
    当該方法が、
    －反応器ドア（３００）が真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に当たって、反応器ドアが搬入開口部（２５）を閉じるように配置されている第１のドア位置と、反応器ドア（３００）が真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）から離間して、搬入壁（２１）と対向する第２のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、原子層堆積反応器（１０）に対して、第１の移動でもって移動させること、および
    －第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）の脇にある第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、原子層堆積反応器（１０）に対して、第２の移動でもって移動させること
    を含む、原子層堆積反応器装置を操作する方法。
  13. －第１のドア位置と第２のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かう方向および搬入壁（２１）から離れる方向に、原子層堆積反応器（１０）に対して、第１の移動でもって移動させること、または
    －第１のドア位置と第２のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かう方向および搬入壁（２１）から離れる方向に、原子層堆積反応器（１０）に対して、第１の直線移動である第１の移動でもって移動させること、または
    －第１のドア位置と第２のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かう方向および搬入壁（２１）から離れる方向に、原子層堆積反応器（１０）に対して、第１の回転移動である第１の移動でもって移動させること
    を含むことを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
  14. －第２のドア位置と第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、原子層堆積反応器（１０）に対して、第２の移動でもって、第１の移動の方向を横切る方向で移動させること、または
    －第２のドア位置と第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、原子層堆積反応器（１０）に対して、第２の直線移動である第２の移動でもって、第１の移動の方向を横切る方向で移動させる、または、
    －第２のドア位置と第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、原子層堆積反応器（１０）に対して、第２の回転移動である第２の移動でもって、第１の移動の方向を横切る方向で移動させること
    を含むことを特徴とする、請求項１２または１３に記載の方法。
  15. 反応器ドアアセンブリ（４００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を含み、反応器ドア（３００）がドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）に支持されることを特徴とし、
    当該方法が、
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を、真空チャンバ（２０）に対して、第１の移動でもって第１のドア位置と第２のドア位置との間で、第２の移動でもって第２のドア位置と第３のドア位置との間で相対的に移動させること；または
    －第１の移動でもって、第１のドア位置と第２のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を真空チャンバ（２０）に対して移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）に対して移動させること、および第２の移動でもって、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を真空チャンバ（２０）に対して移動させること、または
    －第１の移動でもって、第１のドア位置と第２のドア位置との間で、真空チャンバ（２０）に対してドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を移動させること、および第２の移動でもって、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、真空チャンバ（２０）に対して反応器ドア（３００）を移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）に対して移動させること；または
    －第１の移動でもって、第１のドア位置と第２のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を真空チャンバ（２０）に対して移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）に対して移動させること、および第２の移動でもって、第２のドア位置と第３のドア位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内の反応器ドア（３００）を真空チャンバ（２０）に対して移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）に対して移動させること
    を含むことを特徴とする、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の方法。
  16. 前記方法が、
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かう方向および搬入壁（２１）から離れる方向に、原子層堆積反応器（１０）に対して移動させることによって、反応器ドア（３００）が第１のドア位置にある第１の構造体位置と、反応器ドア（３００）が第２のドア位置にある第２の構造体位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第１の移動でもって移動させること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を鉛直直方向に対して傾斜させることによって、反応器ドア（３００）が第１のドア位置にある第１の構造体位置と、反応器ドア（３００）が第２のドア位置にある第２の構造体位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第１の移動でもって移動させること、または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に対して回動させることによって、反応器ドア（３００）が第１のドア位置にある第１の構造体位置と、反応器ドア（３００）が第２のドア位置にある第２の構造体位置との間で、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第１の移動でもって移動させること
    を含むことを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
  17. ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が、第１の鉛直支持要素（４０２）と第２の鉛直支持要素（４１２）とを含み、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）が、水平方向において互いに間隔をあけて、搬入開口部（２５、３０、３２）を挟んで両側に配置されて、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）の間に搬入空間が形成されるようになっており、反応器ドア（３００）が第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に支持され、かつ搬入空間に配置されていることを特徴とし、
    前記方法は、
    －反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、反応器ドア（３００）が搬入空間内にあり搬入開口部（２５、３０、３２）と対向している第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５、３０、３２）の下方または上方に鉛直方向にある第３のドア位置との間で、搬入空間内で第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に沿って原子層堆積反応器（１０）に対して移動させることを含み；または
    －第１の構造体位置と第２の構造体位置との間でドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を移動させることを含み、当該移動が第１のドア位置と第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるために、第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に対して傾斜させることを含み、かつ
    －反応器ドア（３００）が搬入空間内にあり搬入開口部（２５、３０、３２）と対向している第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５、３０、３２）の下方または上方に鉛直方向にある第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、搬入空間内で第１および第２の鉛直支持要素（４０２、４１２）に沿って原子層堆積反応器（１０）に対して移動させることを含む、
    請求項１２から１６のいずれか一項に記載の方法。
  18. －反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第２の移動でもって第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させることを、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）の第２の構造体位置にて実施すること；または
    －反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第２の移動でもって第２のドア位置と第３のドア位置との間で移動させることを、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第１の移動でもって第１の構造体位置と第２の構造体位置との間で移動させている間に開始すること
    を含むことを特徴とする、請求項１６または１７に記載の方法。
  19. ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が第１の構造体位置にあり、反応器ドア（３００）が第１のドア位置にあり、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５、３０、３２）を閉じるように真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に当たって配置されている閉鎖された真空チャンバ（２０）を開放することを含み、
    閉鎖された真空チャンバ（２０）を開放することが、
    －反応器ドア（３００）を第１のドア位置から第２のドア位置に移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）から離れる方向に移動させることによって、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第１の構造体位置から第２の構造体位置に真空チャンバ（２０）に対して移動させること、および
    －第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を移動させることによって、反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第２のドア位置から第３のドア位置に移動させること；または
    －反応器ドア（３００）を第１のドア位置から第２のドア位置へ移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）から離れる方向に傾斜または回動させることによって、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第１の構造体位置から第２の構造体位置へ真空チャンバ（２０）に対して移動させること、および
    －反応器ドア（３００）を、第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、上向きまたは下向きに、かつ搬入開口部（２５、３０、３２）の下方または上方に、垂直方向に移動させることによって、反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第２のドア位置から第３のドア位置へ移動させること
    を含むことを特徴とする、請求項１６から１８のいずれか一項に記載の方法。
  20. ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が第２の構造体位置にあり、反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にある、開放された真空チャンバ（２０）を閉じることを含み、
    開放された真空チャンバ（２０）を閉じることが、
    －第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で反応器ドア（３００）を移動させることにより、反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第３のドア位置から第２のドア位置に移動させること、および
    －反応器ドア（３００）を第２のドア位置から第１のドア位置に移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かう方向に移動させることによって、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を第２の構造体位置から第１の構造体位置に真空チャンバ（２０）に対して移動させること；または
    －反応器ドア（３００）を、第２の構造体位置に配置されたドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で上向きまたは下向きに移動させることにより、反応器ドア（３００）を、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）内で、第３のドア位置から第２のドア位置に移動させること、および
    －反応器ドア（３００）を第２のドア位置から第１のドア位置へ移動させるために、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を真空チャンバ（２０）の搬入壁（２１）に向かう方向に傾斜または回動させることによって、ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）を、第２の構造体位置から第１の構造体位置に、真空チャンバ（２０）に対して移動させること
    を含むことを特徴とする、請求項１６から１９のいずれか一項に記載の方法。
  21. 前記方法が、
    －反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にあるときに、反応チャンバ（１００）を真空チャンバ（２０）に搬入すること、および
    －反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にあるときに、真空チャンバ（２０）から反応チャンバ（１００）を搬出すること；または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が第２の構造体位置にあり、反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にあるときに、反応チャンバ（１００）を真空チャンバ（２０）に搬入すること、および
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が第２の構造体位置にあり、反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にあるときに、真空チャンバ（２０）から反応チャンバ（１００）を搬出すること；または
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が第２の構造体位置にあり、反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にあるときに、反応チャンバ（１００）を真空チャンバ（２０）に水平方向に搬入すること、および
    －ドア支持構造体（４０２、４１２、４４０、４５０）が第２の構造体位置にあり、反応器ドア（３００）が、搬入開口部（２５）が開放されるように第３のドア位置にあるときに、反応チャンバ（１００）を真空チャンバ（２０）から水平方向に搬出すること
    を含むことを特徴とする、請求項１２から２０のいずれか一項に記載の方法。
  22. 請求項１から１１のいずれか一項に記載の原子層堆積反応器装置を操作することを含むことを特徴とする、請求項１２から２１のいずれか一項に記載の方法。
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