JP2024507197A - 計測装置 - Google Patents

Abstract

割り出し付き関節継ぎ手を備えた計測装置であって、互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、第１および第２の本体が互いに対して固定される、複数の角度割り出し位置を与える、第１および第２の本体と、を備え、第１および第２の本体の係合要素は、第１および第２の本体が固定解錠され、第１の軸の周りに相対的に回転できるように、第１の軸に沿った第１の方向の第１および第２の本体の相対的な軸移動によって係合解除し、第軸に沿った第２の方向の第１および第２の本体の相対的な軸移動によって再係合解除し、割り出しされる関節付きプローブヘッドは、第１および第２の本体の固定状態にある第１および第２の本体の相対空間配置の測定値を与えるように構成された少なくとも１つの検証センサをさらに備え、装置は、第１および第２の本体が割り出し位置で固定されるとき、検証センサを用いて第１および第２の本体の相対的な空間配置のそのときの測定値を得るように構成され、そのときの測定値から導かれる情報を、第１の本体と第２の本体が割り出し位置で固定されたときの、検証センサによって得られる第１の本体と第２の本体の相対的な空間配置の、少なくとも１つの他の測定値から少なくとも導かれる較正情報と比較して、第１の本体と第２の本体の、前の時点の固定状態に関する情報を画定する。

Description

本発明は、割り出し付きの関節継ぎ手に関し、特に、計測装置で用いられる関節継ぎ手に関する。本発明は、例えば、座標位置決め装置において、測定プローブが複数の異なる回転方位に配置され得るように測定プローブを支持するように構成される関節付きヘッド用の関節継ぎ手に関する。

座標位置決め装置の分野、特に、座標測定機（ＣＭＭ）の分野でよく知られているように、測定プローブ（または測定対象）のための関節付きヘッド（または回転テーブル）は、それに取り付けられた測定プローブ（または測定対象）の、少なくとも１つの回転軸周りの再配置を容易にする関節接合可能な部材を備える。典型的には、関節付きヘッドは、より少ないまたはより多くの回転軸を備え得るが、二つの直交する回転軸を備える。また、回転テーブルは、典型的には、１つの回転軸を備える。

特許文献１は、１つの回転軸を有する関節付きヘッドを記載し、特許文献２および特許文献３は、２つの直交する回転軸を有する関節付きヘッドを記載している。これらの文献に記載されているように、関節付きヘッドが割り出し機構を備え、それによって、関節付きヘッドの相互に回転可能な部分が画定された割り出し位置に固定されることを可能にすることも知られている。割り出し機構は、相互に回転可能な部材のそれぞれに１つずつ、２組の互いに噛み合う部材を備えることによってもたらされる。互いに噛合う部材が係合すると、これら部材は噛合って回転可能部材の相対的な回転をもたらす。互いに噛合う部材が係合解除されると、回転可能部材は互いに対して自由に回転することができ、それによって、回転可能部材（およびそれに装着された測定プローブ）は再係合される前に新しい方位に再配置されて、回転可能部材（およびそれらに装着された測定プローブ）を固定することができる。その結果、測定プローブが、規定の、既知の回転方位に保持された状態で、測定動作を行うことができる。

米国特許第５１８５９３６号明細書 欧州特許２８８９５７３号公報 国際公開２００６／０７９７９４号公報 米国特許第７２６３７８０号明細書 米国特許第９４９４４０３号明細書

本発明は、改善された関節付き装置に関する。

本発明の第１の態様によれば、割り出し付きの関節継ぎ手を備えた計測装置であって、互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、第１および第２の本体が第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、第１および第２の本体の複数の角度割り出し位置を与える、第１および第２の本体と、第１および第２の本体が固定状態にあるとき、第１および第２の本体の相対的な空間配置の尺度を与えるように構成された少なくとも１つの検証センサと、を備え、前記装置は、前記第１および第２の本体が割り出し位置で共に固定される場合に、前記検証センサが前記第１および第２の本体の前記相対的な空間配置を測定するために用いられ、前記測定によって得られた情報が、前記第１および第２の本体が前記割り出し位置でより早い時点で固定されたとき（言い換えれば、前記第１および第２の本体がその割り出し位置でそれ以前に固定されたとき）に、前記第１および第２の本体の前記相対的空間配置の（例えば、検証センサによって取得された）少なくとも１つの他の測定値から取得された較正情報と比較され、前記第１及び第２の本体の前記係合状態に関する情報を定める。

本発明のこの第１の態様に従って構成された装置は、第１および第２の本体が適切に共に固定されていることを検証するのに役立つことができる。例えば、それらが前の／以前の時点、例えば、較正段階の間に、実質的に同じ相対的配置構成で共に固定されていることを検証するのに役立つことができる。従って、本発明のこの第１の態様に従って構成された装置は、第１の本体および第２の本体が共に固定されている割り出し位置の再現性を検証するのに役立つことができる。

装置は、比較の結果に応じた所定の方法で反応するように構成することができる。例えば、比較が、第１及び第２の本体が適切に共に固定されていないことを示している場合、装置は、同じ割り出し位置で、第１及び第２の本体の固定を解除させ、再固定させることによって反応するように構成することができる。これには、選択肢として、第１および第２の本体をわずかに異なる位置（例えば、わずかに異なる相対的な回転方位）から再固定することが含まれ得る。所定の方法で反応することには、追加的または代替的に、誤りまたは警告状態を記録および／または報告する（例えば、コントローラ装置に出力する）ことが含まれ得る。

理解されるように、“以前の測定”および“前記割り出し位置で以前に固定された”に言及することは、必ずしも、最後のまたは最近の測定、またはそれらが割り出し位置で固定された最後のまたは最近の時間を意味するものではない。むしろ、“以前の”および“前の”という用語は、前の時点を意味するのに用いられる。従って、第１の本体および第２の本体は、現在の時間と較正情報が得られた時間との間で何回も割り出し位置で固定され得る。

好ましくは、較正情報は、（第１および第２の本体が前の時点で割り出し位置に固定されるときに）少なくとも１つの検証センサによって取得された、第１および第２の本体の相対的空間配置の少なくとも１つの他の測定から得られたものである。

少なくとも１つの検証センサは、第１および第２の本体の相対的な空間配置を１つの値、例えば、少なくとも直交する２つの次元、例として、直交する３つの次元、の値で測定するように構成され得る。検証センサは、第１および第２の本体の（例えば、回転軸に沿った）相対的な高さ／間隔を測定するように構成され得る。

任意選択で、検証センサは、回転軸（すなわち、第１の軸）に垂直な平面における、第１および第２のセンサの相対的な配置（例えば、横方向の位置および／または回転方位）を測定するように構成することができる。例えば、検証センサは、第１および第２の本体の（例えば、回転軸に垂直である少なくとも１つの値、例として、回転軸に垂直である２つの直交する次元における）相対的な横方向の位置を測定するように構成され得る。任意選択で、検証センサは、第１の軸に関する、第１の本体および第２の本体の相対的な回転方位を測定するように構成することができる。任意選択で、少なくとも１つの検証センサは、上述した相対的な配置の組み合わせを測定するように構成することができる。

理解されるように、少なくとも１つの検証センサは、（回転軸に垂直な平面における）第１および第２の本体の相対的な配置の測定値を、係合要素の割り出し増分よりも細かい解像度で、例として、係合要素の割り出し増分の少なくとも５倍、任意選択で係合要素の割り出し増分の少なくとも１０倍、例として、係合要素の割り出し増分の少なくとも１５倍の解像度で与えるように構成することができる。好ましくは、検証センサは、第１および第２の本体の相対位置を、５０μｍ以内、例として、１０μｍ以内、任意選択で１μｍ以内に確定させる。

前記装置は、前記比較が、前記割り出し位置における前記第１の本体および前記第２の本体の現在の相対的な空間配置が、前記較正情報によって表される前記第１の本体および第２の本体の相対的な空間配置と、所定の閾値を超えて異なることを示す場合、前記第１の本体および前記第２の本体は、共に固定されていないと決定するよう構成することができる。所定の閾値は、１００μｍ（ミクロン）以下、例として、５０μｍ以下、任意選択で２０μｍ以下であるが、例えば、１μｍ以下、例として、１００ｎｍ（ナノメートル）以下、５０ｎｍ以下、または１０ｎｍ以下の小さい値とすることができる。

好ましくは、検証センサは、エンコーダ装置を備える。エンコーダ装置は、前記第１および第２の本体の一方に設けられた回転スケールと、前記回転スケールを読み取るための、前記第１及び第２の本体の他方に設けられた少なくとも１つの第１の読み取りヘッドと、を備えることができる。検証センサのエンコーダ装置は、前記スケールを読み取るために設けられた第２の読み取りヘッドを備えることが好ましい。設けられた第２の読み取りヘッドは、少なくとも１つの第１の読み取りヘッドがスケールを読み取る位置から１８０°未満離れた位置、例として、少なくとも１つの第１の読み取りヘッドがスケールを読み取る位置から４５°と１３５°の間の値だけ離れた位置、好ましくは、少なくとも１つの第１の読み取りヘッドがスケールを読み取る位置から約９０°離れた位置、でスケールを読み取るように構成されることが好ましい。従って、検証センサが少なくとも第１および第２の読み取りヘッドを備える実施形態では、装置は、第１および第２の本体が割り出し位置で相互に固定される場合、第１および第２の読み取りヘッドはスケールを読み取るために用いられ、第１および第２の読み取りヘッドからそれぞれ取得された第１および第２の読み取り値は、第１および第２の本体が前の時点に割り出し位置で固定されたときに、第１および第２の読み取りヘッドによって取得されたそれぞれの第１および第２の読み取り値と比較され、第１の本体と第２の本体の係合状態に関する情報を確定する。

検証センサのエンコーダ装置は、一連の周期的なスケール特性を有する増分スケールを含むインクリメンタルエンコーダ装置を備えることができる。特に、検証センサのエンコーダ装置は、光学エンコーダ装置を備えることができる。

第１および第２の本体の係合要素は、第１および第２の本体の第１の軸に沿った第１方向の相対軸移動によって係合解除可能であり、これによって、前記第１および第２の本体の固定が解除され、前記第１の軸の周りに相対的に回転することができ、また、前記第１および第２の本体が前記軸に沿って第２の方向の相対軸移動によって再係合することが可能である。

装置は、固定が解除されたときに、第１の軸の周りに第１および第２の本体を駆動するためのモータをさらに備える。

装置は、固定が解除されたときに、前記第１の軸の周りの前記第１および第２の本体の前記相対回転位置を監視するよう構成された一次エンコーダ装置をさらに備えることができる。任意選択で、これは、検証センサのエンコーダ装置と同じエンコーダ装置とすることができる。任意選択で、一次エンコーダ装置は、検証センサのエンコーダ装置といくつかの共通部分を共有することができる（例えば、それらは、一次エンコーダ装置が検証センサの読み取りヘッドとは異なる読み取りヘッドを備えるときに同じスケールを共有することができる）。しかしながら、一次エンコーダ装置は、異なる読み取りヘッドおよび異なるスケールを含む、検証センサのエンコーダ装置とは完全に異なるエンコーダ装置であることが好ましい。

装置は、それらの固定状態および／または固定解除状態の間で第１の本体および第２の本体を作動させるためのモータ機構（”固定／固定解除”モータ機構）を備えることができる。固定／固定解除モータ機構は、モータによって作動可能な部材（例えば、支柱）を備えることにより、第１の軸に沿って互いに係合させることができる、第１および第２の本体の係合要素を係合解除することができる。例えば、支柱は、第１および第２の本体が固定状態にある収縮配置と、第１および第２の本体が第１の軸に沿って支柱によって離れて保持された拡張配置との間で作動可能であり、その結果、相互に係合可能な係合要素が固定解除され、それによって第１および第２の本体の相対的な回転が可能となる。例えば、第１の本体は支柱を備えることができ、支柱と第２の本体は、第１および第２の本体を磁気的に保持するように互いに向かって磁気的に付勢される。補助的な付勢部材（例えば、磁性材料）は、その収縮配置に向かって支柱を付勢するように構成することができる。

例えば、第１の本体は、少なくとも固定解除配置にあるときに、第１の本体に対して、第１の軸の周りに相対的に回転可能であり、第１および第２の本体が固定解除されたときに、第２の本体に対して係合し、また回転するよう固定されるように構成された部材（例えば、支柱）を含むことができる（それによって、第１の軸周りの第１および第２の本体の相対的な回転位置が定まる）。部材は、第１および第２の本体がそれらの固定状態にある収縮配置と、第１および第２の本体が部材／支柱によって第１の軸に沿って離れて保持される拡張配置と、の間で（例えば、モータによって）作動可能であり、その結果、第１および第２の本体が固定解除され、それによって第１および第２の本体の相対的な回転を可能にする。一次エンコーダ装置は、第１の本体と部材の一方に読み取りヘッドと、他方にスケールと、を備え、その結果、読み取りヘッドは第１の本体と部材の相対的な回転位置の測定値を与えることができる。前記装置は、一次エンコーダ装置の出力を用いて、固定解除されたときの、第１および第２の本体の回転を制御するように構成することができる。支柱は、その拡張配置にあるときに（例えば、詳細が後述されるように、対応する係合機構を介して）第２の本体に結合され、収縮配置にあるときに第２の本体から切り離され得る。

計測装置は、検査されるワークピースが取り付けられた割り出し付き関節継ぎ手を備えた回転テーブルを備えることができる。計測装置は、割り出し付き関節継ぎ手を備えたプローブヘッドを備えることができる。プローブヘッドは、測定プローブを座標位置決め装置において支持するように構成され、これにより、測定プローブは複数の異なる割り出し付き回転方位に配置され得る。適切な測定プローブには、接触式測定プローブや非接触式測定プローブが含まれる。適切な測定プローブには、ワークピースの寸法を測定するためのプローブが含まれる。適切な測定プローブには、タッチトリガ測定プローブや走査ないし“アナログ”測定プローブも含まれる。

計測装置（例えば、回転テーブル／プローブヘッド）は、位置決め装置、特に、座標位置決め装置、例として、座標測定機（ＣＭＭ）に取り付けるように構成することができる。計測装置（例えば、回転テーブル／プローブヘッド）は、少なくとも２つ、例として３つの直交する線形自由度で、計測装置の再配置を容易にするように構成された位置決め装置に取り付けることができる。計測装置（例えば、回転テーブル／プローブヘッド）は、１つまたは複数のボルトなどの１つまたは複数の取り外し可能な締結具を介して、位置決め装置に（例えば、ＣＭＭのｚ軸ないし中空軸に）取り外し可能に取り付けられる。

装置は較正情報を含むメモリデバイスを備えることができる。メモリデバイスは、割り出し付き関節継ぎ手から離れた装置の一部（例えば、コントローラ内）に配置することができる。好ましくは、割り出し付き関節継ぎ手（例えば、第１または第２の本体）の一部は、メモリデバイスを備える。装置がプローブヘッド（または回転テーブル）を備える実施形態では、プローブヘッド（または回転テーブル）はメモリデバイスを備えることができる。

装置は、前述の比較を実行するように構成された処理デバイスを備えることができる。処理デバイスは、割り出し付き関節継ぎ手から離れた装置の一部（例えば、コントローラ内）に配置することができる。任意選択で、割り出し付き関節継ぎ手（例えば、第１または第２の本体）の一部は、処理デバイスを備える。装置がプローブヘッド（または回転テーブル）を備える実施形態では、プローブヘッド（または回転テーブル）は処理デバイスを備えることができる。

従って、装置は、上述した比較が、割り出し付き関節継ぎ手自体を備える計測装置の一部内（例えば、プローブヘッドまたは回転テーブル内）で実行されるように構成することができる。

較正情報は、ルックアップテーブルに格納することができる。任意選択で、較正情報は関数によって表され得る。従って、前述のメモリデバイスは、較正情報を含む／表す、ルックアップテーブルおよび／または関数を含むことができる。ルックアップテーブルは、第１および第２の本体の可能な割り出し位置の少なくとも１つのサブセットのそれぞれについての較正情報を含むことができる。ルックアップテーブルは、第１および第２の本体の可能な割り出し位置のそれぞれについての較正情報を含むことができる。例えば、ルックアップテーブルは、少なくとも１つの各割り出し位置の要素／データのセルを含むことができる。各要素／データのセルは、要素／データのセルが関連付けられている割り出し位置の較正情報を含むことができる。ルックアップテーブルは、割り出し位置ごとに複数の要素／データのセルを含むことができる。これは、複数の検証センサがある場合、または検証センサが第１および第２の本体の相対位置の複数の出力／読み取り／測定値を与えることができる場合に、（例えば、少なくとも２つの読み取りヘッドを含むエンコーダ装置を備える検証センサの、上述したおよび後述される実施形態のように）役立ち得る。

“測定値から得られる情報”および“較正情報”は、相対位置情報（例えば、絶対位置情報とは対照的に）を含み得る。

上述したように、検証センサは、エンコーダ装置を含むことができる（例えば、第１および第２の本体の一方のスケール、ならびに第１および第２の本体の他方の１つまたは複数の読み取りヘッドであって、１つまたは複数の読み取りヘッドは、スケールと読み取りヘッドの相対的な位置に応じた信号を出力する）。理解されるように、スケールは、一連の標し、例えば、一連の概して周期的な標しを含むことができる。スケールは特徴ピッチ距離（またはいくつかの回転システム、例えば、スケール標しが半径方向に配置されているディスクスケールの“特徴ピッチ角”）を有し得る。読み取りヘッド信号を用いてスケールピッチ間隔を補間し、スケールピッチよりもはるかに高い解像度の位置測定値を生成することもできる。（読み取りヘッドが空間的に周期的な信号を生成する場合があり、いくつかの実施形態では、読み取りヘッドの信号周期は、スケール周期よりも高い周波数（より短い波長）を有する。これらの場合、補間を用いて、信号周期よりもはるかに高い解像度を有する位置測定値を生成することができる）。従って、“前記測定から取得された情報”および“較正情報”は、スケール周期よりもはるかに細かい解像度で相対的な位置情報を含むことができる。そのような相対位置情報は、“読取り位相”と呼ぶことができる。なぜなら、情報は、スケールの周期的な標しの間の“位相”位置に関連するからである。従って、“測定から得られる情報”および“較正情報”は読取り位相を含み得る。従って、そのような実施形態では、装置は、第１および第２の本体が割り出し位置で共に固定される場合に、第１および第２の本体のうちの一方に取り付けられた読み取りヘッドが、第１および第２の本体の他方に取り付けられたスケールを読み取るように構成され、それから得られた読み取り位相は、第１および第２の本体が割り出し位置で前の時点で固定されたときに読み取りヘッドによって得られた読み取り位相と比較されて、第１および第２の本体の係合状態に関する情報を確定する。

従って、検証センサが少なくとも第１および第２の読み取りヘッドを含む実施形態では、装置は、第１および第２の本体が割り出し位置で共に固定される場合に、第１および第２の読み取りヘッドがスケールを読み取るように構成され、第１および第２の読み取りヘッドからそれぞれ取得された第１および第２の読み取り位相は、第１および第２の本体が前の時点で割り出し位置で固定されたときに第１および第２の読み取りヘッドによって取得されたそれぞれ第１および第２の読み取り位相と比較され、第１および第２の本体の係合状態に関する情報を確定する。

較正情報（例えば、ルックアップテーブルまたは関数）は、時間の経過とともに更新することができる。この更新は、継続的または一定の間隔で行うことができる。この更新は、専用の較正処理の一部として行うか、または測定操作中に行うことができる。例えば、第１および第２の本体が任意の所与の割り出し位置で共に固定され、比較が、第１の本体と第２の本体が適切に共に固定されていることを示す度に（例えば、比較が、割り出し位置にある第１の本体と第２の本体のその時の相対空間配置が、較正情報によって表される第１の本体と第２の本体の相対空間構成と、所定の閾値より大きく違わないことを示す度に）、第１の読み取りヘッドおよび第２の読み取りヘッド（図示せず）の出力を読み取る、第１および第２の本体のその時の相対空間配置の検証センサによって与えられる測定から得られた情報は、較正情報の更新（例えば、格納することもできる）に用いることができる（例えば、情報は、割り出し位置に関連したルックアップテーブルにおける特定の要素／データのセルに格納された情報を更新／差し替えするのに用いられ得る）。

理解されるように、“測定から取得される情報”は、情報が検証センサ自体によって取得される測定値から取得されることを意味するか、または情報が検証センサによって取得される測定値に加え、他のデータソースからも取得されることも意味し得る。従って、情報は、検証センサによって取得された測定値から取得された／導出されたものであることが必ずしもなく、または取得された／導出されたものだけではない。それにもかかわらず、“その時の測定から少なくとも導出される情報”は、まさに検証センサによって取得された測定値であることが好ましい。従って、“測定から取得された情報”は、検証センサによって取得された測定値であり、例えば、まさに検証センサからの出力とすることができる。

同様に、“第１および第２の本体の相対的な空間配置の、少なくとも１つの他の／以前の測定値から取得された較正情報”は、較正情報が検証センサそれ自身によって取得された、少なくとも１つの他の／以前の測定値から取得されることを意味し、または較正情報が検証センサによって取得された少なくとも１つの他の／以前の測定値から取得されることに加え、他のデータソースからも取得されることを意味し得る。従って、較正情報は、検証センサによって取得された、少なくとも１つの他の／以前の測定値であることは必ずしも必要はなく、または少なくとも１つの他の／以前の測定値から取得／導出されたものだけではない。それにもかかわらず、“較正情報”は、まさに前の時点で検証センサによって取得された測定値であることが好ましいということができる。従って、“較正情報”は、検証センサによって取得された測定値とすることができ、例えば、検証センサからのまさに出力とすることができる。

従って、装置は、検証センサによって得られた第１および第２の本体の相対的な空間配置のその時の測定値を、第１および第２の本体が割り出し位置で前の時点で固定されたときに、検証センサによって取得された第１および第２の本体の相対空間配置の他の／以前の測定値と、比較するように構成され、第１および第２の本体の係合状態に関する情報を確定することができる。

理解されるように、相互に係合可能な係合要素は、第１および第２の本体が互いに対して固定され得る複数の所定の角度割り出し位置を与えることができる。相互に係合可能な係合要素／割出し機構は、１０°以下の割出し増分、例えば５°以下、例として４°以下の割出し増分を与えることができる。相互に係合可能な係合要素／割出し機構は、少なくとも０．５°、例えば少なくとも１°の割出し増分を与えることができる。例えば、相互に係合可能な係合要素／割出し機構は、約２．５°の割り出し増分を与えることができる。

装置は、第１および第２の本体が固定解除されたときに、第１および第２の本体を回転軸（第１の軸）の周りに駆動するように構成されたモータ（“再配置”モータ機構）を備えることができる。

明らかなように、相互に係合可能な係合要素／割出し機構は、第１および第２の本体のそれぞれに１つの２組の噛合い部材／機構を含むことができる。相互に係合可能な係合要素／割出し機構は、例えば、一連の環状の機構、例として、一連の球を含み、または第１および第２の本体のうちの１つ（例えば、第１の本体）における一連の（例えば、面スプライン部材を与える）一連の先細歯（例えば、面スプライン部材を提供する）を含む。第１および第２の本体（例えば、第２の本体）の他方は、また環状の一連の特徴を含むことができるが、第１および第２の本体（例えば、第２の本体）の他方の係合要素が、固定状態にあるとき、第１および第２の本体の一方（例えば、第１の本体）における環状の一連の特徴である一連の歯の一部のみと複数の離散的な、環状に間隔をおいた位置で係合するように構成されることが好ましい。装置は、固定状態にあるとき（および可能な割り出し位置のそれぞれについて）、第１および第２の本体の他方に設けられた係合要素が、第１および第２の本体の前記一方の一連の歯の一部と、３つの別個の、等間隔の位置で係合するように構成することができる。

装置は、（可能な割り出し位置のそれぞれについて）固定状態にあるとき、相互に係合可能な係合要素が第１の本体と第２の本体との間の運動学的な装着／位置／接続を与えるように構成することができる。明らかなように、運動学的装着は、一方の部分の要素であって他方の部分の要素と協働するように配置された一方の部分の要素を有するものであり、これにより、位置決めを極めて反復可能とするものである。要素は、互いに協働するように配置され、好ましくは６つの接触点または制約によって総ての６つの自由度（すなわち、３つの垂直な線形自由度および３つの垂直な回転自由度）における部品間の相対的な動きを制限する。一つの特定の実施形態では、一方の部品における要素は、他方の部品における要素と合計６つの接触点をもたらすような方法で、３つの離間した位置のそれぞれに一対の互いに収束する面を与えるように配置することができる。これは、他方の部品に対する一方の部品の可能な６つの自由度を制約することになる。そのような運動学的装着は、ボイズ支持として知られるものであり、例えば、Ｈ．Ｊ．Ｊ．ブラディックによる、"echanical Design of Laboratory Apparatus ", Chapman and Hall, London, 1960の，１１頁～３０頁に記載されている。そのような運動学的な装着／位置／接続を与える例示的な構成のさらなる詳細を以下で示す。

装置は、第３の本体を備えることができ、第３の本体と、第１の本体および第２の本体のうちの一方は、互いに係合可能な係合要素を有し、これら係合要素は第２の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、第３の本体と第１または第２の本体とが互いに対して固定される、複数の角度割り出し位置を与えることができる。第１および第２の本体に関連して上述した特徴は、互いに係合可能な係合要素を介して再配置可能に取り付けられる第３の本体と第１または第２の本体に同じように適用可能である。従って、互いに係合可能な係合要素を介して再配置可能に取りけられる第３の本体と第１または第２の本体との相対的な空間配置の測定を実施するように構成された少なくとも１つの検証センサが設けられ、また、装置は、第３の本体と第１の本体または第２の本体が割り出し位置で共に固定された場合に、検証センサが、第３の本体と第１の本体または第２の本体との相対的な空間配置を測定するのに用いられ、前記測定から取得された情報が、第３の本体と第１の本体または第２の本体がそれより前の時点で割り出し位置に固定されたときに、検証センサによって取得された第３の本体と第１の本体または第２の本体の相対空間配置の少なくとも１つの他の／前の測定から取得された較正情報と比較されるように構成され、第３の本体と第１の本体または第２の本体の係合状態に関する情報を確定することができる。

本発明の他の態様によれば、割り出し付き関節継ぎ手を備えた計測装置であって、互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、第１および第２の本体が互いに対して固定される、複数の角度割り出し位置を与える、第１および第２の本体と、第１および第２の本体の固定状態にある第１および第２の本体の相対空間配置に依存した出力を与えるように構成された少なくとも１つの検証センサと、少なくとも１つの検証センサの出力から取得される、割り出し位置の少なくとも一部の所定の較正情報を含むメモリ装置と、を備える、計測装置が提供される。

本発明の他の態様によれば、割り出し付き関節継ぎ手を備えた計測装置であって、互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、第１および第２の本体が互いに対して固定される複数の角度割り出し位置を与える、第１および第２の本体と、第１および第２の本体の係合要素であって、第１および第２の本体が固定解除されて第１の軸の周りを相対的に回転することができるように、第１方向の第１軸に沿った第１および第２の本体の相対的な軸方向移動によって係合解除可能であり、第１および第２の本体が新たな割り出し位置で固定されるように、第２方向の軸に沿った第１および第２の本体の相対的な軸方向の移動によって再係合可能である、第１および第２の本体の係合要素と、第１および第２の本体の相対的な空間配置に応じた情報を測定しおよび与えるように構成された少なくとも１つの検証センサをさらに備えた割り出し付き関節プローブヘッドと、を備え、装置は、検証センサから少なくとも導かれた情報を、第１および第２の本体が固定されている特定の割り出し位置に関連付けられた所定の情報と比較し、比較の結果に応じて反応するように構成される、計測装置が提供される。

以下の図面を参照して、本発明の実施形態を、例としてのみ説明する。

図１は、座標測定機（ＣＭＭ）に取り付けられた本発明による割り出しヘッドを示す。 図２は、図１の割り出しヘッドを切り離して示している。 図３は、固定構成にあるときの図１の割り出しヘッドの断面図を示す。 図４は、固定解除構成にあるときの図１の割り出しヘッドの断面図を示す。 図５ａは、図１の割り出しヘッドの割出し機構を示す。 図５ｂは、図５ａの割出し機構の一部を切り離して示している。 図６は、図５ａに示される割出し機構の詳細図である。 図７ａは、図５ｂに示される割出し機構の一部の単一の歯を示す。 図７ｂは、図５ｂに示される割出し機構の一部の単一の歯を示す。 図７ｃは、図５ｂに示される割出し機構の一部の単一の歯を示す。 図８は、図１の割り出しヘッドの割出し機構および固定解除機構の異なる部分の分解図である。 図９は、図１の割り出しヘッドの割出しおよび固定解除の機構の異なる部分の切り欠き図を示す。 図１０ａは、図１の割り出しヘッドの割出しおよび固定解除の機構の異なる部分の切り欠き図を示す。 図１０ｂは、図１の割出しヘッドの割出し機構の１つの関節部の下側を示している。 図１１ａは、固定解除および固定の動作中の異なる段階における、図１の割出しヘッドの割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１１ｂは、固定解除および固定の動作中の異なる段階における、図１の割出しヘッドの割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１１ｃは、固定解除および固定の動作中の異なる段階における、図１の割出しヘッドの割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１１ｄは、固定解除および固定の動作中の異なる段階における、図１の割出しヘッドの割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１２は、別の実施形態による、特に異なる磁石配置による割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１３は、別の実施形態による、特に異なる磁石配置による割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１４は、別の実施形態による、特に異なる磁石配置による割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１５は、別の実施形態による、特に異なる磁石配置による割出し機構および固定解除機構の異なる部分の模式的断面図を示す。 図１６は、図３、図４、および図１１の３つのリング磁石の実施形態のための支柱力および保持力を示すグラフである。 図１７は、図１２の２つのリング磁石の実施形態のための支柱力および保持力を示すグラフである。 図１８は、２つの円盤状磁石の実施形態のための支柱力および発生トルクを示すグラフである。

図１を参照すると、位置決め装置２００に取り付けられた本発明による関節付きヘッド１００が示されている。

位置決め装置２００は、この場合、座標測定機（“ＣＭＭ”）の形態である移動構造を備える。ＣＭＭ２００は、フレーム２０４を支持するベース２０２を備え、次にフレームはキャリッジ２０６を保持し、次にキャリッジは軸２０８（または”Ｚ柱”）を保持する。モータ（図示せず）が設けられて、軸２０８を３つの互いに直交する軸Ｘ、ＹおよびＺに沿って（例えば、フレームをＹ軸に沿って、キャリッジ２０６をＸ軸に沿って、および軸２０８をＺ軸に沿って移動させることによって）移動させる。

軸２０８は、関節付きヘッド１００を保持し、次に関節付きヘッドはプローブ３００を保持する。本実施形態では、関節付きヘッド１００は、以下でより詳細に説明されるように、それに取り付けられたプローブ３００の、第１および第２の回転軸Ｄ、Ｅの周りの再配置を容易にする。

関節付きヘッド１００による２つの回転軸（Ｄ、Ｅ）と、ＣＭＭ２００の３つの線形（Ｘ、Ｙ、Ｚ）平行移動軸との組み合わせによって、プローブ３００が５つの自由度（２つの回転自由度、および３つの線形自由度）で移動し／位置することが可能となる。

図示されていないが、測定エンコーダが、ベース２０２、フレーム２０４、キャリッジ２０６、軸２０８、および関節付きヘッド１００の部品の相対位置を測定するために設けられてもよく、これにより、ベース２０２に配置されたワークピースに対する測定プローブ３００の位置を決定することができる。

コントローラ２２０は、ＣＭＭ容積内でのプローブ３００の位置および向きを制御する（例えば、ジョイスティック２１６などの入力デバイスを介して手動で、または例えば、検査プログラムの制御下で自動的に）など、ＣＭＭ２００の動作を制御するため、また、ＣＭＭ２００からの情報（例えば、測定情報）を受け取るために設けられる。表示器２１８は、コントローラ２２０とユーザとのやり取りを補助するために設けることができる。コントローラ２２０は、例えば、専用の電子制御システムとすることができ、およびび／またはパーソナルコンピュータを含んでもよい。

本実施形態では、プローブ３００は、プローブ本体３０２およびスタイラス３０４を備える接触プローブである。スタイラス３０４は、検査されるワークピースに接触するための球状先端３０６を有し、本実施形態では、スタイラス３０４は、プローブ本体３０２に対して偏向可能である。接触プローブ３００は、一般にタッチトリガープローブと称されるものであってもよく、または走査（またはアナログ）プローブであってもよい。明らかなように、非接触プローブを含む他のタイプのプローブを関節付きヘッド１００に取り付けることができる。

この実施形態では、関節付きヘッド１００は、それに異なるプローブを交換することを容易にするためのプローブマウント１０８を備える。特に、これは、ＣＭＭの操作容積内にあるラックでプローブの自動交換を容易にするマウントとすることができる。例えば、プローブマウント１０８およびプローブ本体３０２は、マウントにプローブを保持するための磁石を備えることができる。

関節付きヘッド１００は、それに取り付けられた接触プローブのスタイラス３０４のたわみを検出するための組み込みセンサ構成部品を備えることが可能である。但し、本実施形態では、そのような総てのセンサ構成部品はプローブ３００自体の本体３０２内に設けられる。プローブ３００は、スタイラスの偏向信号をコントローラ２２０に送信するように構成されている。一般的にそうであるように、これは、プローブ３００とプローブマウント１０８との間の接触信号インターフェースによって行うことができ、そのような信号は、次いで、関節付きヘッド１００およびＣＭＭ２００のケーブルを介してコントローラ２２０に中継される。そのようなインターフェースを用いて、プローブ３００に電力を供給することができる。従って、明らかなように、関節付きヘッド１００はそれ自体が、プローブ信号を中継すること、および関節付きヘッド１００を制御するために電力およびモータ制御命令を受信することに用いることができる軸２０８との信号インターフェースを有する。

図２～図１８を参照して、関節付きヘッド１００をより詳細に説明する。

図２に示されるように、関節付きヘッド１００は、第１の部材１０２ないし“取り付けプレート”と、第１の回転軸“Ｄ”の周りに第１の部材１０２に対して関節接合可能／回転可能である第２の部材１０４と、第２の回転軸“Ｅ”の周りに第２の部材１０４に対して関節接合可能／回転可能である第３の部材１０６と、を備える。第２の回転軸“Ｅ”は、第１の回転軸“Ｄ”と直交する。説明される実施形態では、第１の回転軸“Ｄ”は、ＣＭＭのＺ軸に平行に配置されるが、これは必ずしもそうである必要はない。

第１の部材／取り付けプレート１０２は、ボルトが通る穴１０３を備え、それによって、関節付きヘッド１００をＣＭＭ２００の軸２０８に固定する。第３の部材１０６は、（接触プローブ３００などの）プローブを交換可能に取り付けることができるプローブマウント１０８を備える。

代替の実施形態では、第３の部材１０６は、交換可能部材とすることができる。例えば、関節付きヘッド１００の一部であるのではなく、第３の部材１０６はプローブの一部として設けられ、それによってプローブと共に（例えば、自動的に）交換することができるものである。この場合、関節付きヘッド１００は、第３の部材１０６のための取り付け部材１０６’を含み、この取り付け部材１０６’は、第２の部材に対して、第２の回転軸“Ｅ”の周りに関節接合可能／回転可能である。取り付け部材１０６’および第３の部材１０６は、協働する取り付け機能を備えることができ、それによって、第３の部材１０６が取り付け部材１０６’に取り外し可能に取り付けられることが可能となる。そのような協働する取り付け機構は、例えば、運動学的取り付けを規定する機構を含むことができる。１つまたは複数の磁石によって、取り付け部材１０６’に第３の部材１０６を保持することができる。

図３および図４は、Ｚ－Ｙ平面における関節付きヘッド１００の断面図を示す。図３および４は、実質的に同じであり、同じ関節付きヘッドの共通の図であるが、図３には、関節付きヘッド１００が、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５が固定状態で示されており、図４では、関節付きヘッド１００が、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５が固定解除状態で、示されている。図４では、関節付きヘッド１００の様々な機構が見えるようにするために、多くの参照番号が省略される。

第１の軸“Ｄ”（すなわち、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４）に関する固定／固定解除、回転、および割出し機構を説明する。本実施形態では、第２の軸“Ｅ”（すなわち、第２の部材１０４と第３の部材１０６）に関する固定／固定解除および割出し機構は、実質的に同じであり（しかし、第１の軸“Ｄ”の機構に対して垂直に配置される）、そのため、その詳細は説明されるいくつかの部分のみが、図３および図４に模式的に示されている（また、プライム記号が付いた同じ参照番号で区別されている）。

第１の軸“Ｄ”に関する割出し機構は、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４に設けられた相互に係合可能な係合要素の較正を含む。特に、連続した一連の先細歯１１２（例えば、詳細図については図５ａおよび図６を参照）を有した第１の環状部材１１０が設けられる。歯１１２は、歯の及ぶ範囲が主に半径方向に沿って（第１の環状部材の半径に関して、かつ第１の軸“Ｄ”に）延在するという点で、実質的に半径方向に延在している。従って、本実施形態では、第１の環状部材１１０は、“面キー溝部材”の形態であり、以降ではそのように称される（特に、説明される実施形態では、面キー溝部材は、ハースジョイント部材の構成を有することに留意されたい）。面キー溝部材１１０の歯は半径方向に細長く、（その長さに垂直方向において）概して細長断面の輪郭を有する。本実施形態では、歯１１２の各側面１１１は、実質的に平坦／平面であるが、これは必ずしもそうである必要はない（例えば、それらは、以下に記載される冠状歯１１８のように湾曲または冠のようにすることができる）。

割出し機構／相互に係合可能な係合要素は、面キー溝部材１１０の歯１１２と噛み合うように構成された特徴を有する第２の環状部材１１４をさらに備える。第２の環状部材１１４は、面キー溝部材１１０に設けられた連続した一連の歯の一部のみと係合するように構成された特徴を有する（詳細図については図５ｂおよび図６を参照）。従って、第２の環状部材１１４が連続した一連の相互係合歯を提供することなく、第２の環状部材１１４は、単に、３つの離散的な等角間隔（１２０°）の位置１１６で、面キー溝部材１１０の歯１１２と相互に噛み合うように構成された特徴を含む。この特定の実施形態では、上記位置１１６のそれぞれにおいて、冠状歯１１８の形態の、単一の特徴のみが提供される。各冠状歯１１８は半径方向に細長く、（その長さに直交する方向において）概ね先細の輪郭を有し、それによって、面キー溝部材１１０の歯１１２の側面１１１と係合するように構成された２つの湾曲した係合側面１２０が提供される。

図７ａ～図７ｃに示されるように、冠状歯１１８の係合側面１２０は、その長さに沿って（本実施形態では、半径方向長さに沿って、または図７ａおよび７ｃに示されるようにＸ軸に沿って）湾曲し、ならびにその断面形状（図７ｂに示されるように、その長さ／半径方向長さに垂直方向において）において湾曲している。そのような構成（すなわち、面キー溝部材１１０の平担／平面の歯１１２と係合する冠状歯１１８）では、冠状歯１１８のそれぞれの係合側面１２０に頂点領域１２２が生じる。この頂点領域１２２が、面キー溝部材１１０の歯１１２の側面１１１と係合する傾向がある。頂点領域があることは、第１の環状部材／面キー溝部材１１０と第２の環状部材１１４との間の、より反復が可能な着座位置をもたらすことが分かる。これは、頂点領域１２２を与えることは、第１の環状部材／面キー溝部材１１０および第２の環状部材１１４のどの所定の対の歯についても、それらが接するたびに、（第１の環状部材／面スプライン部材１１０および第２の環状部材１１４の両方の歯の側面１１１、１２０が両方とも実質的に平坦／平面である場合と比較して）上記対の歯がそれらの側面１１１、１２０の同じ領域で係合する可能性が著しく高いことを意味し、それによって、第１の環状部材／面キー溝部材１１０および第２の環状部材１１４が、それらが所定の角度方位で接するたびに、同じ位置に共に着座することになる。特に、そのような構成は、第１の環状部材／面キー溝部材１１０と第２の環状部材１１４との間の運動学的結合をもたらすのに役立つ。

さらに、割出し増分が小さくなる場合（例えば、７．５°未満、特に５°未満、例えば、２．５°近辺）、記載された構成は、特許文献３に記載された球およびローラの割出し機構よりも著しく有利であることが分かっている。それは、割り出し増分が小さいほど、歯の噛合い機構が小さくなるからである。十分に小さい直径の球の円形を正確に製造しまた組み立てることが困難であるだけでなく、対応するローラと極めて小さい直径の球との間の接触点が非常に小さいためヘルツ接触の圧力が極めて高くなり、それによって接点に過大な力が生じ、それが割出し機構の過度の摩耗および／または故障をもたらすことになる。

例えば、記載されている実施形態では、第１の環状部材／面キー溝部材１１０および第２の環状部材１１４は、７５ｍｍの外径を有し、２．５°の割出し増分をもたらすサイズの歯を備え、関節付きヘッド１００は、固定位置にあるときに、第１の環状部材／面キー溝部材１１０および第２の環状部材１１４が約１２０Ｎ（ニュートン）の力によって共に保持されるように構成される。その長さに垂直な平面（例えば、図７ｂのＺ－Ｙ平面内）における冠状歯の曲率半径Ｒ’は、１．８ｍｍであり、その長さに沿った平面（例えば、図７ｃのＺ－Ｘ平面）における冠状歯の曲率半径Ｒ’’は２３ｍｍである。これに対して、冠状歯の代わりに球形の球を用いる場合、球は、第１の環状部材／面キー溝部材の歯１１２の間に適合するために、０．７５ｍｍより小さい曲率半径を有する必要がある。そのような小さな球を関節付きヘッドに組み込むのが難しいだけでなく、それらは非常に小さな接触点であり、その結果、極めて高いヘルツ接触圧力をもたらす。

明らかなように、同じ効果は、第１の環状部材／面キー溝部材１１０の歯１１２を冠状にし、第２の環状部材１１４の歯１１８に平らな側面を与えることによって得ることができるが、これは製造がより困難となり得る。あるいは、第１の環状部材／面キー溝部材１１０および第２の環状部材１１４の両方の歯１１２、１１８を冠状とすることができるが、製造困難性の増加と共に、望ましくないヘルツ接触圧力を回避するため、歯の寸法を調整する（特に増加させる）必要がある。

次に、第１の軸“Ｄ”に関して割出し機構を固定しおよび固定解除するための機構について説明する。要約すると、説明されている特定の実施形態では、固定／固定解除機構は、第１の環状部材／面キー溝部材１１０と冠状歯１１８を有する第２の環状部材１１４との間に保持力をもたらすのに磁石にのみ依存し、モータ駆動アクチュエータを用いて、第１の部材／取り付けプレート１０２および第２の部材１０４を互いに離れるように押して、第１の環状部材／面キー溝部材１１０と冠状歯１１８を有する第２の環状部材１１４を分離する。この機構について、以下でより詳細に説明する。

記載されている実施形態では、固定／固定解除機構は、３つの積み重ねられた磁石を含む。具体的には、第１のリング磁石１４０は、第２の部材１０４のハウジング１０５の上面１１５上に設けられ、第２のリング磁石１４２は、支柱１３０の接触プレート１３４上に設けられ（以下により詳細に説明する）、第３の磁石１４４は、第１の部材／取り付けプレート１０２上に設けられる。第１の磁石１４０、第２の磁石１４２および第３の磁石１４４は、形状およびサイズが同一であり、互いに同軸であるように積み重ねられ、第１の磁石１４０および第３の磁石１４４の両方がそれらの間に挟まれた第２の磁石１４２を引き付けるように配置される。リング磁石の極は、軸方向に配列される（すなわち、２つの磁極が環状の平面の上部および底部にあるように配列される）。具体的には、リング磁石は、第１の磁石１４０のＮ極が第２の磁石１４２のＳ極に面するように構成され、第２の磁石１４２のＮ極が第３の磁石１４４のＳ極に面するように構成される。以下でより詳細に説明するように、固定位置および固定解除位置にあるとき、第２の部材１０４は、磁力によってのみ、具体的には、第３の磁石１４４、第２の磁石１４２および第１の磁石１４０の間の磁気引力によってのみ保持される。

固定／固定解除機構は、シャフト１３２および“ヘッド”ないし“接触プレート”１３４を含む支柱１３０を備える。支柱１３０のシャフト１３２は、第２の部材１０４のハウジング１０５の上面部材１１５によって与えられる、直線状の円筒軸受けハウジング１０７内に支持される。軸受け（この場合、ボールベアリングの配列１０９）が、シャフト１３２と円筒軸受けハウジング１０７との間に設けられて、シャフト１３２と円筒軸受けハウジング１０７との間の（すなわち、第１の軸“Ｄ”に沿っておよびその周りの）相対的な直線運動および回転運動を容易にする。接触プレート１３４は、第１の部材／取り付けプレート１０２および第２の部材１０４それぞれの本体の間に挟まれた半径方向に延在する面を含む。

第１の軸“Ｄ”に沿ったシャフト１３２の上記直線的／軸方向の移動をもたらすために、モータ駆動のレバー１７０が設けられる。レバー１７０は、その第１の端部について、取り付けブロック１７９を介して第２の部材（本実施形態では上部プレート１１５）のハウジング１０５に支持された屈曲部１７８に枢動可能に取り付けられている。レバー１７０は、その第２の端部に関し、レバー１７０の第２の端部を上昇および下降させるように構成されたリードスクリュー機構１７２に取り付けられる。レバーは、その第１の端部と第２の端部との間の点で、ボビン１４６を介して、接触プレート１３４の遠位の、シャフト１３２の端部に取り付けられる（これによって、シャフト１３２とレバー１７０との相対回転が容易になる）。モータ（不図示）は、リードスクリュー機構１７２を駆動するように構成される。特に、モータ（不図示）は、駆動ギア１７３を介してリードスクリュー１７４を回転させるように構成され、回転させられることにより、（ピン１７５を介してレバー１７０に取り付けられている）ナット１７６をリードスクリュー１７４に沿って軸方向に移動させる。リードスクリュー１７４はまた、第２の部材のハウジング１０５（本実施形態では、円筒形ベアリングハウジング１０７）によって、取り付けブラケット１７７およびベアリング１７９を介して支持されており、それによって、その回転軸の周りに回転することができるが、（図３および図４に示す）Ｚ次元では、第２の部材のハウジング１０５に対して相対的に固定される。

これは、支柱１３０の駆動機構が後退駆動に抵抗する場合（言い換えれば、それは容易に手動で後退駆動されない）、特に、後述の３つの磁石構造が用いられない場合に、有利である。下記の３つの磁石設計は採用していない。これは、支柱１３０上に作用する正味の外力が十分に小さい場合、たとえモータ／電源が作動していない場合でも手動で後退駆動されにくい駆動機構はその位置を保持する傾向があるためである。これにより、固定位置を保持するよう駆動機構／モータを制御する必要がなくなり、そのため、関節付きヘッドの電力消費を低減することができる。従って、これは、駆動機構／モータが発生する熱量を低減することができ、これは、熱変形を低減することによる関節付きヘッドの計測性能の改善を可能とする。ギアピッチの高いリードスクリュー機構は、容易に後駆動されない駆動機構の一例である。

以下でより詳細に説明するように、シャフト１３２に設けられた駆動ギア１４８を、接触プレート１３４の遠位端に係合しそれに向けて駆動するように構成されたギアを有し、第１の部材１０４のハウジング１０５（およびそれに固定された総ての要素）を、第１の軸“Ｄ”に関するシャフト１３２の周りを回転／回転させるように操作することができる別のモータ（不図示）が設けられる。第１の（または“一次”の）ロータリエンコーダ装置１３５（例えば、磁気絶対値ロータリエンコーダ装置）は、第１の軸“Ｄ”に関する、第１の部材１０４のハウジング１０５およびシャフト１３２の相対的な角度位置を監視するために設けられる。

支柱の接触プレート１３４と第１の部材／取り付けプレート１０２は、対応する係合要素を有する。特に、対応する係合要素は、係合したときに、支柱の接触プレート１３４と第１の部材／取り付けプレート１０２との間に、反復可能な、特に運動学的な結合をもたらすように構成された機能を備える。記載される実施形態では、支柱の接触プレート１３４は、互いに１２０°離れて配置された３つの係合球１５２を備え、第１の部材／取り付けプレート１０２は、３組の対の係合球１５４を有し、これらの対は互いに１２０°離れて配置されている（図１０Ｂ参照）。第１の部材／取り付けプレート１０２上の係合球１５４の各対は、接触プレート１３４に配置された係合球１５２の１つを受け入れるためのチャネルないし溝を画定する。

図３および図４にも示されるように、第２の回転エンコーダ装置が設けられ、この装置は、第１の部材／取り付けプレート１０２の下面に設けられた環状スケール１６２と、第２の部材１０４のハウジング１０５の上面１１５に設けられた第１の読み取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）とを備える（理解されるように、それらは逆に設けられ得る）。記載される実施形態では、第１の読み取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）は、互いに９０°環状に離間して配置されている。記載される実施形態では、第２のロータリエンコーダ装置は、相対値光学ロータリエンコーダ装置である。記載される特定の実施形態では、第２のエンコーダ装置は、第１の部材／取り付けプレート１０２および第２の部材１０４の本体１０５の相対位置を、１０ｎｍ（ナノメートル）以内とすることを可能にする高解像度エンコーダである。その目的は、本明細書で詳細に後述される。

ここで、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４の固定解除／再配置／固定のプロセスについて説明する。図３は、固定状態にある第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を示している。固定状態では、プローブマウント１０８に装着されたプローブ３００は、加工物を検査するための測定動作で用いることができるように、不変で明確な角度位置で保持することができる。しかしながら、例えば、アクセスの理由で、プローブマウント１０８に装着されたプローブを再配置することが望ましい場合がある。そのためには、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４の固定を解除し、それらを相対的に再配置させ、次いでそれらを新しい方位位置で共に固定する必要がある。

第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４の固定を解除することには、第１の軸“Ｄ”に沿って支柱１３０を第１の部材／取り付けプレート１０２に向けて駆動することが含まれる。記載される実施形態では、これは、モータ（不図示）を動作させてリードスクリュー１７４を駆動し、リードスクリューナット１７６をＺ軸（図３および図４に示される方向）上方に駆動する。短い駆動距離の後、接触プレート１３４上の係合球１５２は、第１の部材／取り付けプレート１０２上の一対の係合球１５４と接触して係合し、その後、リードスクリュー１７４の駆動を継続すると、レバー１７０とリードスクリュー機構１７２がハウジング１０５を（リードスクリュー１７４が固定されている円筒形ベアリングハウジング１０７を介して）軸方向下方に押し下げ、それによって第２の部材１０４のハウジング１０５と第１の部材／取り付けプレート１０２とを分離させる。リードスクリュー１７４は、第２の部材１０４と第１の部材／取り付けプレート１０２とを、制御された、冠状歯１１８が、歯１１２と離間するような十分な所定量で分離するよう操作されるが、以下でより詳細に説明するように、その所定量は、固定解除状態であっても、第１の磁石１４０が第２の磁石１４２に対して適切な量の引力を有するように第２の磁石に十分に近づいたままであることが望ましいことから、それほど大きくはない。図４は、そのような固定解除状態にある割出しヘッド１００を示している。

固定解除状態にあるとき、リードスクリュー機構１７２を駆動するモータ（不図示）は停止し、シャフト１３２の駆動ギア１４８と係合するモータ（不図示）は、関節付きヘッド１００の第２の部材１０５の回転位置を変化させるように操作される。上述のように、固定解除状態では、支柱１３０は、係合球１５２、１５４を介して第１の部材／取り付けプレート１０２と係合し、そのようにして、（固定解除状態で）第１の部材／取り付けプレート１０２に回転可能に固定される。従って、シャフト１３２の駆動ギア１４８と係合するモータ（不図示）が作動すると、それによって第２の部材のハウジング１０５、１０７、１１５全体（および前述のモータを含むそれらに固定されたすべての構成要素）がシャフト１３２の周りに駆動され、それによって、第２の部材１０４のハウジング１０５、１０７、１１５の全体（およびそれに固定されたすべての構成要素）が第１の軸“Ｄ”の周りで回転する。

ｉ）第２の部材１０４のハウジング１０５、１０７、１１５の相対回転位置；およびｉｉ）シャフト１３２（従って、第１の部材／取り付けプレート１０２）の相対回転位置は、第１の（”一次”）エンコーダ装置１３５から知ることができる。従って、コントローラ２２０は、第１のエンコーダ装置１３５からの出力を用いて、シャフトの駆動ギア１４８と係合するモータ（不図示）を制御し、そのようにして第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を所望の相対的な向きにする。明らかなように、回転位置は、新たな所望の相対的な向きにあるときに、第２の環状部材１１４上の冠状歯１１８が第１の環状部材／面スプライン部材１１０上の歯１１２に相対して着座するように、十分に高い精度で制御される必要があり、それによって、それらが共に固定されるとき、冠状歯１１８は、第１の環状部材／面スプライン部材１１０の２つの歯１１２の間にきちんと落ち着くことができる。

次に、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を固定するプロセスについて説明する。記載される実施形態では、この固定は、モータ（不図示）を作動させてリードスクリュー１７４を駆動し、リードスクリューナット１７６を下方（図３および図４に示される方向）に移動させることによって行われる。これにより、第２の環状部材１１４上の冠状歯１１８が面スプライン部材１１０の歯１１２と係合するまで、第２の部材１０４のハウジング１０５が第１の部材／取り付けプレート１０２に向けて引き上げられ、その後、モータの継続的な動作により、支柱１３０が第１の部材／取り付けプレート１０２から後退し、それによって、接触プレート１３４と第１の部材／取り付けプレート１０２に設けられた係合球１５２、１５４の係合が解除される。結果として、係合球１５２、１５４の離脱点では、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４は、３つの冠状歯１１８と第１の環状部材／面スプライン部材１１０の歯１１２との間の６つの接触点によってもたらされる運動学的制約によって保持される。

第１の磁石１４０、第２の磁石１４２、および第３の磁石１４４の相互作用の仕方は、図１１ａ～図１１ｄを参照して説明されるが、これら図は、支柱のシャフト１３２および接触プレート１３４、第２の部材の上部プレート１１５、第１の部材／取り付けプレート１０２、第２の環状部材１１４（３つの冠状歯１１８として）、（連続した一連の歯１１２を有する）第１の環状部材／面スプライン部材１１０、および第１のリング磁石１４０、第２のリング磁石１４２、および第３のリング磁石１４４を模式的に示している。図１１ａは、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４が固定位置、すなわち、第１の環状部材／面スプライン部材１１０上の歯１１２と第２の環状部材１１４上の歯１１８が完全に係合している位置にあることを示している。図１１ｂは、固定位置にある、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を示しているが、接触プレート１３４上の係合球１５２が第１の部材／取り付けプレート１０２上の係合球１５４と係合する点まで支柱１３０が作動された点で、第１の環状部材／面スプライン部材１１０上の歯１１２と第２の環状部材１１４上の歯１１８とが分離し始めようとしている。図１１ｃは、それらの歯が分離し始めているが、まだ完全な固定解除配置となっていない、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を示している。図１１ｄは、第１の環状部材／面スプライン部材１１０上の歯１１２と第２の環状部材１１４上の歯１１８が互いに完全に離れ、固定解除された位置にある第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を示しており、それによって、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４のハウジング１０５とが、第１の軸“Ｄ”の周りで互いに対して自由に回転することができる。

図１１ａに示される配置では、第３の磁石１４４は、第２の磁石１４２および第３の磁石１４４の両方に引き付けられ、そのようにして、第１の部材／取り付けプレート１０２は支柱１３０および第２の部材１０４のハウジング１０５に向かって引っ張られる。記載される実施形態では、装置は、固定位置にあるときに、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との間に約１２０Ｎの総固定力が作用するように構成される（これは、適切なヘッド寸法、特に割出し機構およびリング磁石の直径および位置で、２Ｎｍの発生トルクをもたらすものである）。明らかなように、発生トルクは、第１および第２の本体が互いに対して離れ始める前に作用し得るモーメントである。これは、関節付きヘッドはしばしば偏心して負荷が作用するものであるため、重要である。また、明らかなように、発生トルクは、面スプライン部材１１０の直径または係合球１５２、１５４の環状の直径など、保持力／維持力／固定力以外の要因に依存する。

固定解除状態に移行するために、支柱１３０を第１の部材／取り付けプレート１０２に向かって移動させる必要がある。第１の磁石１４０の存在は、（それが存在しない場合と比較して）そうするためにモータに求められている仕事を少なくとも最初に増加させるように思われるが、装置は、図１１ａに示される固定状態で、支柱の接触プレート１３４が、第２の磁石１４２を第１の磁石１４０と第３の磁石１４４との間に動かす所定位置で保持されるように構成される。これは、第２の磁石１４２を引っ張る第１の磁石１４０の力が、それらが互いに接触する場合よりも著しく小さいことを確実にする。また、第３の磁石１４４は、第２の磁石１４２をある程度引っ張る磁気力を有する。従って、第１の磁石１４０から離れて第２の磁石（従って接触プレート１３４）を移動させるために必要な仕事／電力は、第１の磁石１４０および第２の磁石１４２が接触していた場合と比較して著しく少ない。

具体的には、記載されまた示されている実施形態では、支柱の接触プレートは、第２の磁石１４２が第３の磁石１４４よりも第１の磁石１４０にわずかに近いが、第１の磁石１４０と第３の磁石１４４との間のほぼ中間に第２の磁石１４２を配置するように、所定の位置に保持される。このことは、第１の磁石１４０と第３の磁石１４４が作用する、第２の磁石に対する磁力がほぼ（完全ではないが）釣り合っていることを意味する。従って、支柱１３０を第１の部材／取り付けプレート１０２に向けて移動させるために、モータに必要な仕事／電力は極めて少ない。実際、第２の磁石１４２が第１の磁石１４０と第３の磁石１４４との間の中間点に到達すると、第２の磁石１４２に対する第３の磁石１４４の磁気引力は、第１の磁石１４０の磁気引力よりも大きくなる。接触プレート１３４が第１の部材／取り付けプレート１０２に向けて進むに従い、第２の磁石１４２に対する第３の磁石１４４の磁気引っ張り力が徐々に増加する。

支柱１３０が図１１ｂに示される配置に移動したとき、モータは、第１の部材／取り付けプレート１０２上の歯１１２から離れるよう、第２の部材１０４の本体１０５／１１５上の歯１１８を引っ張る必要がある。この時点で、第２の部材１０４を第１の部材／取り付けプレート１０２に（係合球１５２、１５４を介して）保持する、十分に大きな維持／保持力（少なくとも１６０Ｎ）があるが、モータは、第２の磁石１４２と第３の磁石１４４との間に対する第１の磁石１４０の引っ張り力に打ち克つのに十分な力（本実施形態では約９５Ｎ）を加えるだけでよいため、上記維持／保持力ほどの力を作用する必要がない。

モータは、図１１ｄに示されるように、第２の部材１０４のハウジング１０５が第１の部材／取り付けプレート１０２から離れるよう、第１の環状部材１１０の歯１１２が第２の環状部材１１４上の歯１１８から離れるのに十分な量移動するまで、支柱１３０を動かし続ける。この段階で、支柱１３０と第２の部材１０４のハウジング１０５を第１の部材／取り付けプレート１０２に保持する保持力は、約１６０Ｎである。第１の磁石１４０、第２の磁石１４２および第３の磁石１４４の間の間隔を制御することにより、図１１ｄに示される配置は、図１１ａと比較して、より高い保持力が達成される。具体的には、図１１ｄの固定解除状態にある第１の磁石１４０と第２の磁石１４２との間には、比較的大きなギャップがあるにもかかわらず、（図１１ａの固定状態にあるときの第１の磁石１４０と第２の磁石１４２との間の間隔と比較して）第２の磁石１４２と第３の磁石１４４との間に比較的小さな間隔があり、より高い総保持力を達成できる。固定解除位置では、係合球１５２、１５４の環状の直径Ｓが、第１の環状部材１１０および第２の環状部材１１４の直径Ｓ’よりも小さく、これが、それらが約２Ｎｍ（ニュートンメートル）の、同じないし同様の発生トルクを確実にするためにより高い引っ張り／保持力を必要とすることを意味することから、より高い総保持力が望ましい。

図１１ｄに示される固定解除状態にあるとき、第１の部材１０２および第２の部材１０４は、Ｄ軸の周りに相対的に回転し、新たな相対回転位置／方位となることができる。上述したように、このことは、シャフトの駆動ギア１４８と係合するモータ（不図示）を駆動して、第２の部材１０４の本体１０５をシャフト１３２の周りに回転させることを含む。第１のエンコーダ装置１３５の出力を用いて、第２の部材１０４の本体１０５とシャフト１３２（従って、第１の部材／取り付けプレート１０２、そのＤ軸周りの回転の向きが固定されている）の相対位置を監視する。第１のエンコーダ装置１３５の出力が、第２の部材１０４の本体１０５がそのとき所望の割出し位置にあることを示しているとき、モータは停止し、第１の部材１０２および第２の部材１０４は、以下に説明するように、共に固定される。

第１の部材１０２および第２の部材１０４をそれらの新らたな回転位置／向きで固定するため、モータは、リードスクリュー機構１７２を駆動するよう作動され、それによってリードスクリューナット１７６をリードスクリュー１７４の下方へ動かすようにする。これによって、先ず、第２の部材１０４のハウジング１０５が第１の部材／取り付けプレート１０２に向けて引き上げられる。明らかなように、第２の部材１０４のハウジング１０５は、第１の磁石１４０、第２の磁石１４２、および第３の磁石１４４によって既に第１の部材／取り付けプレート１０２に向けて引っ張られているため、モータに必要な電力はごくわずかである。この引き上げは、第１の環状部材１１０の歯１１２が第２の環状部材１１４の歯１１８（図１１ｂに示される）と係合するまで継続し、その時点で、モータおよびリードスクリュー機構１７２は、磁力に抗して押し始めて、支柱の接触プレート１３４を第１の部材／取り付けプレート１０２から分離するようにする。但し、この時点で、第１の磁石１４０は、第２の磁石１４２にはるかに近く、そのため、第２の磁石１４２に比較的大きな力を及ぼす。実際、この時点で、図１１ｂに示される状態での第２の磁石１４２に対する正味の力は９５Ｎである。従って、モータおよびリード機構１７２は、磁石によって補助され、接触プレート１３４が図１１ａに示される軸方向／Ｚ軸の所定位置に到達するまで、第２の磁石１４２（従って、および支柱１３０）を第３の磁石１４４（従って、および第１の部材／取り付けプレート１０２）からはるかに容易に引き離すことができる。

第１のロータリエンコーダ１３５の出力によって、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４がどの割出し回転位置にあるかを知ることができる。また、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４が適切に共に固定されていることを確認することは有効であり得る。この確認は、様々な方法で実現することができ、例えば、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５の対向するそれぞれの面の間の分離を検査することができる１つまたは複数のセンサを用いることによって実現でき、この分離が（総ての割り出し位置について同じである）一定の閾値量よりも大きい場合には、補正処置をとることができる（例えば、異なる位置／方向からの固定解除／再固定操作を試みること、および／または再較正を要求することなどによって、エラー／警告を報知することができ、および／または問題を是正しようとする措置をとることができる）。

記載される本実施形態では、第１の部材／取り付けプレート１０２および第２の本体１０５が適切に共に固定されていることを確認／検証するために用いられるという理由で、センサ（以下、“検証”センサと名付けられる）が設けられ、このセンサは、固定状態の第１および第２の本体の相対的な空間配置に関する情報を測定し、提供するように構成される。検証センサの出力は、固定されている特定の割り出し位置に関連付けられた所定の情報と比較される。検証センサの出力が所定の量より多いことによって所定の情報と異なる場合、是正措置を講じることができる。

記載される特定の実施形態では、検証センサは、上述した第２のロータリエンコーダ装置である。従って、第２のロータリエンコーダ装置の第１の読み取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）の出力は、第１の部材／取り付けプレート１０２および第２の部材１０４が適切に共に固定されていることを保証するのに用いられる。特に、固定されているとき、第１の読み取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）の出力は、読み取りヘッド内の電子機器４００に渡され、この電子機器は、例えば、処理デバイス４０２（例えば、ＣＰＵ（中央プロセッサユニット）、ＦＰＧＡ（フィールドプログラマブルゲートアレイ）、またはＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）など）およびメモリ４０４を備える。処理デバイス４０２は、第１の読み取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）から受信した値と、メモリ４０４にあるルックアップテーブルに格納された値と、を比較する。特に、処理デバイス４０２は、第１の読取りヘッド１６０および第２の読取りヘッド（不図示）の出力を比較して、それらの出力が、特定の割り出し位置に関連付けられたルックアップテーブルの要素に格納されている値と実質的に同じである否かを判断する。第１の読取りヘッド１６０と第２の読み取りヘッド（不図示）のいずれかまたは両方の出力がルックアップテーブルに格納された値と実質的に異なる（例えば、差が１００ｎｍより大きい）場合、これは何か不具合があることを示している可能性があり、例えば、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５が適切に共に固定されていないこと、歯１１２／１１８が壊れていること、歯１１２／１１８の間に破片があること、歯１１２／１１８の間に過度の摩耗があることなどである。従って、装置（例えば、コントローラ）は、そのような状況で是正措置をとることができる。そのような修正措置には、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５とを固定解除および再固定すること、オペレータおよび／または他のプロセスに警告信号を出力すること、現在の動作を停止することなどがある。

上述したように、第２のロータリエンコーダ装置は、相対値エンコーダ装置である。従って、第１の読取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）の出力は、どのような絶対位置情報をも含まない。それ故、プロセッサ４０２は、絶対位置情報を比較するのではなく、相対（位置）データ／情報を比較する。具体的には、例えば、位置測定エンコーダの当業者によって理解されるように、相対位置エンコーダのスケールは、典型的には、特定の間隔ないしは“期間”（記載される実施形態では２０μｍであるが、明らかなように、他の期間のスケールを用いることもできる）で配列された規則的な間隔の特徴部の配列を備える。読み取りヘッドは、特徴部を（例えば、使用される技術に応じて、光学的に、磁気的に、誘導的に）読み取ることができ、読み取りヘッドまたはその出力は、通常、読み取りヘッドとスケールの相対位置を、それらが互いに対して移動するときに“カウント”するために用いられる。また、読み取りヘッドによって受信された信号および／または読み取りヘッドによって出力された信号を補間して、読み取りヘッドとスケールの相対位置の測定値を、スケールの実際の期間よりもはるかに細かい解像度で提供できることも周知である。このような補間された読み取りは、しばしば“位相”読み取りと呼ばれる。例えば、典型的には、直交（例えば、ＳＩＮおよびＣＯＳ）信号が、スケール信号から生成され、および／または読み取りヘッドによって出力される。そのような直交（例えば、ＳＩＮおよびＣＯＳ）信号は、補間されて上述の“位相”読み取りを与える。記載される実施形態では、プロセッサ４０２によって用いられ、特定の値に関連付けられたルックアップテーブル要素に格納された事前格納の“位相”読み取りと比較されるのは、補間された読み取りまたは“位相”読み取りである。

従って、第１の読取りヘッド１６０または第２の読み取りヘッド（不図示）が、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５が、割り出し位置が変化するにつれて互いに相対的に移動するときにスケール１６２を読み取る必要はない（ただし、構成が可能であれば、これを行うことができる）。むしろ、単一の読み取りは、固定動作が完了したときに、第１の読み取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）によって取り出されて出力され、それらの読み取りの補間されたまたは“位相”の値は、特定の値に関連付けられたルックアップテーブル要素に格納された予め格納された“位相”読み取りと比較される。いずれかまたは両方の位相読み取り値が所定量（例えば、上記のとおり１００ｎｍ）を超えて異なる場合は、上述したように修正措置をとることができる。

従って、ルックアップテーブルにおけるデータ要素は、較正割り出し位置のそれぞれについて“位相シグネチャ”と言われており、第１の読取りヘッド１６０および第２の読取りヘッド（不図示）の位相読み取り値が、所与の割り出し位置に対するルックアップテーブルの位相シグネチャと十分に異なる場合には、修正措置をとることができる。

ルックアップテーブルは、関節付きヘッド１００が測定動作に用いられる前に投入される（例えば、較正処理中に投入することができる）。この処理には、第１の部材/取り付けプレート１０２と第２の部材１０５を所定の割り出し位置に相互に固定する工程と、所定の割り出し位置に関連した要素/データセルにおける第１の読取りヘッド１６０および第２の読取りヘッド（不図示）の位相読取りを記録/格納する工程が含まれる。そして、この処理は、関節付きヘッドの割り出し位置のそれぞれ（または、少なくとも、ヘッドが用いられる割り出し位置、および上述のような検証が望まれる割り出し位置）について繰り返される。

任意選択で、ルックアップテーブルを時間の経過とともに更新して、時間の経過に伴う小さなずれがあっても良いようにする。この更新は、継続的にまたは一定の間隔で行うことができる。更新は、専用の較正処理の一部として行うか、または測定操作中に行うようにしてもよい。例えば、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５がある所定割出し位置で共に有効に固定される度に（例えば、それらは上述の１００ｎｍ試験に合格する度に）、第１の読取りヘッド１６０および第２の読み取りヘッド（不図示）から出力された位相読み取り値は、ルックアップテーブルにおいてそれまでの値に代わって格納され得る。

明らかなように、必要に応じて、ルックアップテーブルは、ルックアップテーブルにおける値を記述する関数に置き換えることができる。しかしながら、ルックアップテーブルは、生成が容易で更新された状態に保ちやすいため、好ましいと言える。

明らかなように、２つの読み取りヘッドではなく、単一の読み取りヘッドを用いてもよく、または２つ以上の読み取りヘッドを用いてもよい。複数の読み取りヘッドは、それらをスケール１６２の周りに互いに９０°の間隔をおいて配置する必要はない。しかしながら、径方向において互いに対向していない（すなわち、１８０°の間隔ではない）複数の読み取りヘッドを用いることは、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５の空間配置に関する情報を複数の次元でもたらすことから特に有利であること、また、それらを実質的に／略９０°の間隔とすることは、効率および最適な性能の理由から好ましいこと、が見出されている。

上述の第２のロータリエンコーダ装置は、相対値エンコーダであるが、理解されるように、代わりに絶対値エンコーダ装置であってもよい。

上述の実施形態では、検証センサは、ロータリエンコーダ装置である。しかしながら、必ずしもそうである必要はない。例えば、位置感知デバイス（ＰＳＤ）などの他のタイプのセンサを用いることができ、その出力は、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５が共に固定されたときの相対的な空間位置に応じたものとなる。この場合、ルックアップテーブルは、較正段階の間に投入されて、注目の割り出し位置（例えば、総ての割り出し位置、またはその後の測定動作の間に用いられることが意図される割り出し一のみとすることができる）のそれぞれについてのＰＳＤからの出力を記録するようにする。その後、使用において、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０５が特定の割り出し位置で固定されるとき、ＰＳＤはその出力をプロセッサ４０２に与え、次に、その出力は、特定の割り出し位置に関連付けられた、メモリ４０４に格納されたルックアップテーブルの特定の要素に格納された値と比較される。ＰＳＤの出力が閾値量より大きく異なる場合、修正措置を講じることができる。

代替の実施形態では、検証センサは、（例えば、容量性センサによって）第１の本体と第２の本体との相対的な高さ／離間距離を測定するように構成される。しかしながら、有利には、第１の本体と第２の本体が共に固定されるとき、検証センサの出力は、第１の本体と第２の本体が共に固定される特定の割り出し位置に関連付けられた、ルックアップテーブルの要素に予め格納された値と比較される。

明らかなように、上述の関節継ぎ手のさらなる変形例および代替実施形態が可能である。例えば、第１の磁石１４０、第２の磁石１４２及び第３の磁石１４４の１つまたは２つは、磁気的に吸着可能な（例えば、鉄）材料で置き換えることができる。これは、３つの磁石を設けることと同様であるが、より弱い効果をもたらすものとなり得る。従って、残る１つまたは２つの磁石は、より強く、従ってより大きいものであることが必要であり、これはまた、（配置に応じて）より大きなモータの最大の力が必要であることを意味し得る。

別の同様の実施形態では、第１の磁石１４０は、他の場所に配置される。例えば、第１の磁石１４０は、接触プレート１３４の遠位にあるシャフト１３２の端に／端に向けて配置することができる。繰り返しになるが、これは、固定／固定解除プロセスの間にモータを補助するという点で同様の効果をもたらすが、第１の磁石１４０が第１の部材／取り付けプレート１０２から遠く離れて配置されているため、保持力があるとしてもほとんど提供されないため、より大きな／より強い第２の磁石１４２および／または第３の磁石１４４を提供する必要がある。第１の磁石１４０は、第１の部材／取り付けプレート１０２から遠く離れて配置されているため、保持力があったとしてもほとんどないに等しく小さく、そのため、より大きな／より強い第２の磁石１４２および／または第３の磁石１４４を設ける必要がある。

図１２は、第１の磁石１４０が省かれた代替の実施形態を模式的に示しており、それによって、第２の部材１０４は一対の磁石だけで第１の部材／取り付けプレート１０２に磁気的に保持される。すなわち、第３の磁石１４４は第１の部材／取り付けプレート１０２に設けられ、第２の磁石１４２は支柱１３２の接触プレート１３４に設けられる。この構成は可能であるが、第２の磁石１４２および第３の磁石１４４は、それ自体で総ての固定力／保持力を与える必要があり、従って、それらの一方または両方は上述の３つの磁石を持つ構成よりもはるかに強いことが必要であり、その結果、支柱の接触プレート１３４が第１の部材／取り付けプレート１０２から引き離されるとき（すなわち、図１１ｂの状態から図１１ａへ遷移するとき）、固定プロセスの間モータがより多くの仕事をすることが必要となる。また、第１の磁石１４０がない場合、第２の部材１０４のハウジング１０５を第１の部材／取り付けプレート１０２に保持する総ての力は、支柱１３０、レバー１７０、リードスクリュー機構１７２、および関連するベアリングを介して伝わる必要がある。これには、これらの部品がより大きく／より強くなる必要があり、理想的には後退駆動を防ぐモータが必要になる。

図１３は、第３の磁石１４４が省略される別の代替的な実施形態を示し、第２の部材１０４が、一対の磁石だけで、すなわち、ハウジングの上部プレート１１５に設けられた第１の磁石１４０と、支柱の接触プレート１３４に設けられた第２の磁石１４２とによって、第１の部材／取り付けプレート１０２に磁気的に保持されるようにしたものである。この場合、第１の部材／取り付けプレート１０２（少なくともその一部）は、磁石に引き付けられることができる材料（例えば、鉄材料）から作られる必要がある。この実施形態の不利な点は、維持／保持トルクおよび発生トルクが、第３の磁石が存在した場合と比較して小さいことである（従って、同じ維持／保持トルクおよび発生トルクが望まれる場合、より大きい／より強い第１の磁石１４０および／または第２の磁石１４２が必要となる）。

図１４は、第２の磁石１４４が省略される別の代替実施形態を示し、第２の部材１０４が、一対の磁石だけ、すなわち、ハウジングの上部プレート１１５に設けられた第１の磁石１４０と、第１の部材／取り付けプレート１０２に設けられた第３の磁石１４４によって、第１の部材／取り付けプレート１０２に磁気的に保持されるようにしたものである。この実施形態の不利な点は、維持／保持トルクおよび発生トルクが、第２の磁石が存在する場合と比較して小さいことである（従って、同じ維持／保持トルクおよび発生トルクが望ましい場合に、第１の磁石１４０および／または第３の磁石１４４がより大きく／より強い磁石が必要となる）。この実施形態では、接触プレート１３４は、磁気保持を補助するように磁石に引き付けられることができる材料（例えば、鉄材料）を含むことができるが、これは、磁石を備える接触プレート１３４ほど良好ではない。

図１５は、別の代替の実施形態を示している。この実施形態では、磁石が互いに直列になるように直接積み重ねられることは必須ではないことが示されている。例えば、図１５は、第１の磁石１４０及び／または第３の磁石１４０の代替の配置を示している（例えば、それらは、第２の磁石１４２よりも半径方向外側に配置され得る）。

必要な固定力／保持力を与えるために、磁石が互いに反発する配置で用いられることも可能である。

しかしながら、少なくとも、３つの、一列の、積み重ねられた、互いに引き付けるように配置された磁石を有するという記載された構成は、図１～図１１の実施形態のように、利点を有し得ることが見出されている。具体的には、固定状態にあるときの支柱１３０の線形位置を制御するモータの必要な仕事を大幅に低減するだけでなく、固定動作中にモータに必要な最大仕事を低減するのに役立つことが見出されている。これは、必要なモータのサイズを低減し、関節付きヘッドをコンパクトで軽量に保つのに役立つだけでなく、モータの熱出力をも低減することもできる（このことは、熱歪みを低減／回避することによって、関節付きヘッドの計測性能を向上させることができることになる）。実際、図１～図１１の実施形態の磁石は、固定されるとき１２０Ｎの引っ張りをもたらし、固定解除されるとき（２Ｎｍの発生トルクをもたらすよう１６０Ｎの引っ張り力）をもたらすように構成することができるが、３つの、一列の積み重ねられた磁石によって、モータは最大９５Ｎの力を生成するだけで済む。

図１６は、図３、図４および図１１の３つ磁石の実施形態に関する支柱力および保持力を示すグラフであり、図１７は、図１２の２つ磁石の実施形態に関する支柱力および保持力を示すグラフである（この実施形態は、第１の磁石１４０が省略されたこと以外あらゆる態様において等価である）。保持力（上記で“保持力”または“固定力”とも称される）は、第１の部材１０２と第２の部材１０４を一緒になるよう引っ張る正味の力である。支柱力は、支柱１３０が受ける／支柱１３０に作用する、正味の磁力である。従って、この力は、支柱１３０を所定位置で保持するために克服しなければならない磁力である。上述の力は、モータが支柱に作用する力と、ギア機構／モータ／支柱システムにおける摩擦力との組み合わせによって克服することができる（明らかなように、ギア機構／モータ／支柱システムにおける摩擦力を除いた場合は、支柱力は、モータに必要な仕事、例えば、モータ電流に比例する）。

図１６に示されるように、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４がそれらの固定状態にあるとき、支柱力は極めて小さい（１０Ｎ未満）。従って、支柱１３０を所定位置に保持するために必要な力は小さい。実際、その力は、ギア機構／モータ／支柱システム次第で、摩擦力が支柱１３０を所定位置に保持するのに十分であるほど小さい（例えば、支柱１３０が後退駆動に対して極めて抵抗力がある場合）。従って、支柱１３０を所定位置に保持するのに必要なモータ電力は極めてゼロに近いほど小さい。さらに、上述したように、図１～図１１の構成は、固定位置において、第２の磁石１４２を第１の磁石１４０に向けて付勢する磁力が、第２の磁石１４２を第３の磁石１４４に向けて付勢する磁力より大きくなるように支柱１３０が位置するように配置されている。従って、支柱１３０の線形位置を制御するモータがオフになっていても、また、摩擦力が磁気バイアスに対して支柱１３０を所定位置に保持するのに十分ではない場合でも、生じるのは、接触プレート１３４がハウジング上面１１５に当接するまで支柱１３０がさらに後退することだけであり、それによって、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４の歯１１２、１１８の係合に悪影響が及ぶことはない。

これは、図１２の２つ磁石の実施形態における支柱１３０が被る支柱力と対照的である。図１７に示されるように、固定状態（図１２に示される状態である）にあるとき、第２の磁石１４２を第３の磁石１４４に向けて付勢する有意な正味磁力（約１１０Ｎ）が存在する。従って、固定位置では、支柱１３０を所定位置に保持するために、モータのかなりの仕事／電力が必要とされる。実際、支柱力は大きく、それによって、後退駆動に高い抵抗力を持つリードスクリュー機構の摩擦力でさえ、支柱力を克服するのに十分ではなく、そのため、モータが電源を切られた場合、支柱１３０は それらが接触するまで、第１の部材／取り付けプレート１０２に向かってゆっくり近づき、それによって、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４の歯１１２、１１８の係合を妨げる。

図１６および図１７のグラフから分かるように、支柱１３０と第１の部材／取り付けプレート１０２とが係合しているときに有意の支柱力が存在する、３つ磁石の実施形態には、いくつかの不利な点がある。従って、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０４を（例えば、図１１ｂおよび図１１ｄに示される状態の間において）分離するように、また、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０４をそれらの固定解除状態（例えば、図１１ｄに示される状態）に保持するように、支柱力に抗して押すのに、モータの有意の仕事／電力が必要となる。対照的に、図１２の２つ磁石の実施形態では、支柱力はゼロであるため、支柱１３０と第１の部材／取り付けプレート１０２とが一旦係合すると、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０４とを分離するために必要なモータ仕事／電力は極めて少ない。

しかしながら、通常の状況では、関節付きヘッドがその固定解除状態で費やす時間量は、関節付きヘッドがその固定状態で費やす時間量よりも有意に短く、従って、固定された状態で必要なモータ電力が有意に少ない（またはゼロでさえある）３つ磁石の実施形態の利点は、固定解除状態でより厳しく動作するのに必要なコストを上回る。

図１～図１１の３つ磁石の実施形態はまた、必要なモータの最大の仕事量／電力が、２つ磁石の実施形態のそれよりも小さいという利点を有している。２つ磁石の実施形態では、モータに必要な最大量の仕事は、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０４を再固定するときであり、特に、最大のモータの仕事／電力は、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０４の歯１１２、１１８が係合し、モータが支柱の接触プレート１３４と第１の部材／取り付けプレート１０２を引き離そうとしている位置で必要となる。この時点で、モータは、第２の磁石１４２と第３の磁石１４４の吸引力を単独で克服しなければならず（ならびにギア機構／モータ／支柱システムにおけるあらゆる摩擦を克服しなければならず）、従って、１５０Ｎより大きな力を作用させる必要がある。対照的に、３つ磁石の実施形態では、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の本体１０４の歯１１２、１１８が係合し、モータが、固定動作の間に（すなわち、図１１ｂによって表される時点で）支柱の接触プレート１３４と第１の部材／取り付けプレート１０２を引き離そうとしている点で、第１の磁石１４０および第２の磁石１４２は、（図１１ｄに示されるようにそれらが完全に固定解除されたときと比較して）互いにより近づくようにされる。従って、第１の磁石１４０は、第２の磁石１４２にかなりの量の引っ張り力を作用させるために第２の磁石１４２に十分に近く、そのため、モータが支柱の接触プレート１３４と第１の部材／取り付けプレート１０２とを引き離すのを手助けする。これにより、モータは、そのような引き離しを達成するのに必要なのは、約９５Ｎを作用させることだけである（図１６の点Ａを参照）。

明らかなように、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を保持するための代替手段を提供することができる。例えば、１つまたは複数の機械的ロッド（米国特許７２１３３４４号明細書に記載されているものなど）を用いて、第２の部材１０４のハウジング１０５と第１の部材／取り付けプレート１０２とを一緒になるように引っ張ることができる。あるいは、機械的ばねを用いて、第２の部材１０４のハウジング１０５と第１の部材／取り付けプレート１０２を一緒になるように引っ張ることができる。しかしながら、摩擦によって引き起こされるヒステリシスの可能性のある問題のため、そのような機械的解決策よりも磁石が好ましいことが見出されている（磁石は、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との間に可動部品が必要となることを回避できる）。

有利には、上述の実施形態はリング磁石を用いることに頼っている。１つまたは複数のリング磁石を円盤状磁石に置き換えることができる可能性があるが、やや直感に反して、発明者らは、リング磁石が、現在の状況において著しく有利であり得る円盤状磁石と比較して実質的に異なる力／距離プロファイルを有することを特定している（特に、リング磁石は、円盤状磁石と比較して所与の表面積に対してより効率的な設計を提供するように思われる）。実際、この構成では、リング磁石は、同じ外径および深さ（リングの直径に直交して測定される）の円盤状磁石よりもはるかに大きな力（約５０％大きい）をもたらすことができることが見出されている。図１８は、第２の磁石１４２および第３の磁石１４４がリング磁石の代わりに円盤状磁石であること（円盤状磁石の外径がリング磁石の外径と同じである）を除いて、図１２に示されるものと総ての態様で等しい、２つの円盤状磁石の実施形態に関する支柱力および発生トルクを示すグラフである。図示されるように、支柱力、そして重要なことに発生トルクは、同等のリング磁石の実施形態よりも有意に小さい。

この知見により、極めて高い保持力／固定力の関節付きヘッドをもたらすことができ、それによって、磁気結合が作用しなくなる前には、関節付きヘッドによってより大きい荷重／より大きいモーメントを支持することが可能になる。例えば、カメラ／ビデオプローブなどの極めて重いプローブを支持することが望ましい場合があり、および／または特に探査中に、磁気結合に大きなモーメントをもたらす、極めて長いスタイラスを支持することが望ましい場合がある。そのような大きな力が必要になることは、過去には、設計者に、磁石の使用を避けた、大きな荷重／モーメントを支持するのに適した関節付きヘッドを求めて来た。例えば、特許文献４および特許文献５に開示される関節付きヘッドは、機械的ロッドを用いて固定力をもたらすものである。しかしながら、本発明者らは、リング磁石の使用が、物理的に大きな磁石を必要とせずに適切に大きな保持負荷を提供することができ、従って、ＣＭＭなどの位置決め装置に取り付けられる関節付きヘッドに適切に組み込まれることができることを見出した。

連続するリング磁石の代替として、環状に配置された一連の小さな円盤状磁石は、環状と同じ直径を有する単一の円盤状磁石に対して利点をもたらすが、連続するリング磁石は（所与の表面積に対して）最も効率的な設計を提供することが見出されている。

上述したように、第１の環状部材／面スプライン部材１１０の平面歯１１２と第２の環状部材１１４の冠状歯１１８は、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との安定した、反復可能な位置決めを提供する。固定状態あるとき、第１の部材／面スプライン部材１１２と第２の部材１０４との間の唯一の物理的／機械的な制約は、第１の環状部材／面スプライン部材１１０の平面歯１１２と、第２の環状部材１１４の冠状歯１１８との間の接触点である。この構成の特定の利点は、割出し位置のそれぞれで、第２の部材１０４が、第２の環状部材１１４の冠状歯１１８と第１の環状部材／面スプライン部材１１０の平面歯１１２との６つの接触点によって、第１の部材／取り付けプレート１０２に関する６つの自由度の総てで拘束されることであり、それによって運動学的制約がもたらされる。これは、可能な割り出し位置のそれぞれに当てはまる。これは、各割出し位置で関節付きヘッド１００に取り付けられたプローブ３００の最大の位置再現性を与える。また、面スプライン部材１１０と第２の環状部材１１４が、割出し要素および保持要素の両方であるという二重機能を有することも利点である。

図３および図４に見られるように、安全装置１３６すなわち“ピン”が設けられる。安全装置１３６は、単に、（例えば、例えば、衝突による第２の部材１０４の過負荷に起因して）磁気保持機構が故障した場合、第１の部材１０２と第２の部材１０４の完全な分離を防止するための安全機構として機能するように設けられる。安全装置１３６の一方の端部は支柱の接触プレート１３４に固定され、他方の“ヘッド”端部は第１の部材／取り付けプレート１０２の空所１３８内に非拘束状態で着座する。安全装置は第１の部材／取り付けプレート１０２の空所に非拘束で着していることから、第１の部材／取り付けプレート１０２と支柱１３０／第２の部材１０４との間で制約として作用しない（従って、固定された配置構成にあるとき、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との上述した運動学的結合に干渉せず、また、固定されていない配置構成にあるとき、第１の部材／取り付けプレート１０２と支柱１３０の運動学的結合に干渉しない。）。しかしながら、安全装置１３６は拡大されたヘッド部材１３７を有し、この部材が、第２の磁気リング１４２と第３の磁気リング１４４との間の磁気結合が機能しない場合に、空所内の突起１３９と係合し、それによって第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４とのさらなる分離を防止する。

上述の実施形態では、面スプライン部材１１０は、関節付きヘッドの第２の部材１０４上に設けられ、冠状歯１１８は、第１の部材／取り付けプレート１０２上に設けられている。しかしながら、これは必ずしもそうである必要はなく、逆に設けることができる。

上述の実施形態では、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４は、磁石の配置構成を介して磁気的に保持され、これは、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を一緒になるよう引っ張って保持するための機械的手段（例えば、アーム／レバー）を使用する必要がないことを意味している。従って、固定状態にあるとき、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との間の唯一の機械的制約は、面スプライン部材１１０の歯と第２の環状部材１１４の歯によってもたらされる。その結果、固定された配置構成にあるとき、支柱１３０は、支柱１３０が、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との上述した運動学的結合を干渉しないように、第１の部材／取り付けプレート１０２から切り離される。しかしながら、必ずしもその形態に限定されない。例えば、他の実施形態では、機械的な押し／引っ張りレバーアーム機構を設けることができ、ここでは、アームの一端が、第１の部材／取り付けプレート１０２のベアリング内に入れられ、アームの他端が、第２の部材１０４のベアリング内に入れられる。

上述の実施形態では、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４は、磁石の配置構成を介して磁気的に保持され、これは、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４を一緒になるよう引っ張って保持するための機械的手段（例えば、アーム／レバー）を使用する必要がないことを意味している。従って、固定状態にあるとき、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との間の唯一の機械的制約は、面ギア部材１１０と第２の環状部材１１４によってもたらされる。結果として、固定された配置構成にあるとき、支柱１３０は、支柱１３０が、第１の部材／取り付けプレート１０２と第２の部材１０４との上述した運動学的結合を干渉しないように、第１の部材／取り付けプレート１０２から切り離される。しかしながら、必ずしもそのように限定されない。例えば、他の実施形態では、機械的な押し／引っ張りレバーアーム機構を設けることができ、ここでは、アームの一端が、第１の部材／取り付けプレート１０２のベアリング内に入れられ、アーム の他端が、第２の部材１０４のベアリング内に入れられる。

Claims (24)

1. 割り出し付きの関節継ぎ手を備えた計測装置であって、
   互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、前記第１および第２の本体が第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、前記第１および第２の本体の複数の角度割り出し位置を与える、前記第１および第２の本体と、
   前記第１および第２の本体が固定状態にあるとき、前記第１および第２の本体の相対的な空間配置の尺度を与えるように構成された少なくとも１つの検証センサと、を備え、
   前記装置は、前記第１および第２の本体が割り出し位置で共に固定される場合に、前記検証センサが前記第１および第２の本体の前記相対的な空間配置を測定するために用いられ、前記測定によって得られた情報が、前記第１および第２の本体がより早い時点で前記割り出し位置で固定されたときに、前記第１および第２の本体の前記相対的な空間配置の少なくとも１つの他の測定から取得された較正情報と比較され、前記第１および第２の本体の係合状態に関する情報を定める、計測装置。
2. 前記比較の結果に応じた所定の方法で反応するように構成された、請求項１に記載の装置。
3. 所定の方法での前記反応は、前記第１および前記第２の本体を同じ割り出し位置で固定解除し、また、再固定することを含む、請求項２に記載の装置。
4. 前記比較が、前記割り出し位置における前記第１の本体および前記第２の本体の現在の相対的な空間配置が前記較正情報によって表される、前記第１の本体および第２の本体の相対的な空間配置と、所定の閾値を超えて異なることを示す場合、前記第１の本体および前記第２の本体を、固定解除し、再固定する、請求項３に記載の装置。
5. 前記所定の閾値は、２０μｍ以下である、請求項４に記載の装置。
6. 前記検証センサは、エンコーダ装置を備え、前記エンコーダ装置は、前記第１および第２の本体の一方に設けられた回転スケールと、前記回転スケールを読み取るための、前記第１および第２の本体の他方に設けられた少なくとも１つの第１の読み取りヘッドと、を備える、請求項１ないし５のいずれかに記載の装置。
7. 前記検証センサのエンコーダ装置は、前記回転スケールを読み取るよう構成された第２の読み取りヘッドを備える、請求項６に記載の装置。
8. 前記第２の読み取りヘッドは、前記少なくとも１つの第１の読み取りヘッドがスケールを読み取る位置から９０°離れた位置でスケールを読み取るように構成される、請求項７に記載の装置。
9. 前記検証センサのエンコーダ装置は、一連の周期的なスケール特性を有する増分スケールを含むインクリメンタルエンコーダ装置を備える、請求項６ないし８のいずれかに記載の装置。
10. 前記検証センサのエンコーダ装置は、光学エンコーダ装置を備える、請求項６ないし９のいずれかに記載の装置。
11. 前記第１および第２の本体の固定が解除されたときに、第１の軸の周りに前記第１および第２の本体を駆動するためのモータをさらに備える、請求項１ないし１０のいずれかに記載の装置。
12. 前記第１および第２の本体の固定が解除されたときに、前記第１の軸の周りの前記第１および第２の本体の相対的な回転位置を監視するよう構成された一次エンコーダ装置をさらに備える、請求項１ないし１１のいずれかに記載の装置。
13. 前記第１の本体は、前記第１および第２の本体が固定解除され、相互に回転可能なとき、前記第２の本体に対して係合し、回転可能に固定されるように構成された回転可能部材を含む、請求項１ないし１２のいずれかに記載の装置。
14. 一次エンコーダ装置は、前記第１の本体と部材の一方における読み取りヘッドと、他方にスケールと、を備え、それにより、読み取りヘッドは前記第１の本体と前記部材の相対的な回転位置の測定を与える、請求項１２または１３に記載の装置。
15. 前記一次エンコーダ装置の出力を用いて、固定解除されたときの、前記第１および第２の本体の回転を制御するように構成される、請求項１２に記載の装置。
16. 較正情報は、ルックアップテーブルに格納される、請求項１ないし１５のいずれかに記載の装置。
17. 較正情報は、前記検証センサによって得られる、前記第１の本体および第２の本体の相対空間配置の少なくとも１つの他の測定から得られる、請求項１ないし１６のいずれかに記載の装置。
18. 前記測定によって得られた前記情報は、前記検証センサによって得られる現在の測定値である、請求項１ないし１７のいずれかに記載の装置。
19. 較正情報は、前記第１および第２の本体が、前の時点で、前記割り出し位置で固定されたときに前記の検証センサによって得られる測定値である、請求項１８に記載の装置。
20. 前記装置は、割り出し付き関節継ぎ手を備えたプローブヘッドを備え、前記プローブヘッドは、測定プローブを座標位置決め装置において支持するように構成され、それにより、前記測定プローブは複数の異なる割り出し付き回転方位に配置される、請求項１ないし１９のいずれかに記載の装置。
21. 較正情報を含むメモリデバイスを備える、請求項１ないし２０のいずれかに記載の装置。
22. プローブヘッドはメモリデバイスを備える、請求項２０または２１に記載の装置。
23. 割り出し付き関節継ぎ手を備えた計測装置であって、
    互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、前記第１および第２の本体が互いに対して固定される、複数の角度割り出し位置を与える、前記第１および第２の本体と、
    前記第１および第２の本体の固定状態にある前記第１および第２の本体の相対空間配置に依存した出力を与えるように構成された少なくとも１つの検証センサと、
    前記少なくとも１つの検証センサの出力から得られる、割り出し位置の少なくとも一部それぞれの所定の較正情報を含むメモリ装置と、
    を備える、計測装置。
24. 割り出し付き関節継ぎ手を備えた計測装置であって、互いに係合可能な係合要素をそれぞれ有する第１および第２の本体であって、第１の軸の周りの複数の異なる角度方位で共に固定されて、前記第１および第２の本体が互いに対して固定される、複数の角度割り出し位置を与える、前記第１および第２の本体と、前記第１および第２の本体の固定状態にある前記第１および第２の本体の相対空間配置に依存した出力を与えるように構成された少なくとも１つの検証センサと、を備える計測装置を操作するための方法であって、
    前記第１および第２の本体を割り出し位置で相互に固定させる工程と、
    前記少なくとも１つの検証センサからの読取りを取得する工程と、
    ｉ）前記読取りから少なくとも導かれる情報を、ｉｉ）前記第１の本体と前記第２の本体が前記割り出し位置で前の時点で固定されたときの、前記検証センサによって得られる前記第１の本体と前記第２の本体の相対的な空間配置の、少なくとも１つの他の読取りから少なくとも導かれる較正情報と比較する工程と、
    を有する、方法。

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