JP6576361B2 - 寸法測定用のプローブユニット及び測定プローブを適合させる方法 - Google Patents
寸法測定用のプローブユニット及び測定プローブを適合させる方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6576361B2 JP6576361B2 JP2016561021A JP2016561021A JP6576361B2 JP 6576361 B2 JP6576361 B2 JP 6576361B2 JP 2016561021 A JP2016561021 A JP 2016561021A JP 2016561021 A JP2016561021 A JP 2016561021A JP 6576361 B2 JP6576361 B2 JP 6576361B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe unit
- rotation
- elements
- rotary joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 236
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 119
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 43
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 43
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 43
- 210000003734 kidney Anatomy 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 3
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/047—Accessories, e.g. for positioning, for tool-setting, for measuring probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
(2)前記回転ジョイントが、複数の異なる個別の回転角度でラッチするように構成された回転ラッチジョイントであってもよい。
(3)前記第1の本体には、仮想円に配置された複数の個別の第1のラッチ要素が設けられ、前記第1のラッチ要素は、個別の回転角度を示し、前記第2の本体には、前記第1の本体の前記複数の個別の第1のラッチ要素のうちいずれかとラッチするように構成された1以上の第2のラッチ要素が設けられていてもよい。
(4)3つの前記第2のラッチ要素は仮想円に配置されていてもよい。
(5)前記第1のラッチ要素及び前記第2のラッチ要素は、回転可能に取り外し可能な運動学的マウントの各部分を形成してもよい。
(6)前記第2のラッチ要素は、前記第1のラッチ要素に含まれた一つの円筒棒と運動学的マウントを形成する2つの球体、又は、前記第1のラッチ要素に含まれた2つの球体と運動学的マウントを形成する1つの円筒棒を含んでもよい。
(7)前記第1の本体と前記第2の本体間の力を受ける間隔リングをさらに備え、前記間隔リングは、前記第2の本体に対する前記第1の本体の旋回を提供するように構成され、かつ、前記間隔リングの直径方向において正反対に配置された、少なくとも1対の旋回要素を備えた環状リング本体を含んでもよい。
(8)前記少なくとも1対の旋回要素は2対の前記旋回要素を含み、前記2対の旋回要素のうち第1の対の旋回要素は、前記間隔リングの第1の面上に前記間隔リングの直径方向 において互いに正反対の位置に配置され、かつ前記2対の旋回要素のうち第2の対の旋回要素は、前記間隔リングの第2の面上に前記間隔リングの直径方向において互いに正反対の位置に配置され、前記第1の対の旋回要素及び前記第2の対の旋回要素は、前記回転ジョイントの回転軸に対して互いに90°だけオフセットされていてもよい。
(9)前記間隔リングには、さらに前記2対の旋回要素を補完する2対の旋回停止要素が設けられ、前記各旋回停止要素は、前記間隔リングにおける対応する旋回要素とは反対側の面上に、かつ前記対応する旋回要素と同じ角度位置に配置されていてもよい。
(10)前記間隔リングは、少なくとも部分的に黄銅で構成されていてもよい。
(11)前記第1の本体と前記第2の本体の間に締め付け力を加えて前記第1の本体と前記第2の本体間の相互結合接触を維持するように構成された回転可能なねじ込みカラーを さらに備え、前記間隔リングは、前記回転可能なねじ込みカラーと結合接触状態で配置されて、前記回転可能なねじ込みカラーが締め付けられたときに可逆的に圧縮されるようになっていてもよい。
(12)前記回転ジョイントによって採用された角度を測定するとともに、測定された角度に応じた信号を提供するように構成された角度測定アセンブリをさらに備えていてもよい。
(13)前記角度測定アセンブリは、前記プローブユニットインターフェースに対して固定された関係で前記回転軸に沿って配向されたシャフトと、前記第2の本体に対する前記第1の本体の角度位置に基づいて光を閉塞するように構成され、かつ、前記シャフトに取り付けられた幾何学的構造と、を含む角度測定部材を備えていてもよい。
(14)前記幾何学的構造は、1以上の傾斜面を含んでもよい。
(15)前記測定プローブは、外側ハウジングを含み、前記プローブユニットインターフェースと前記外側ハウジング間の距離は、前記回転ジョイントの周りの前記測定プローブの回転が前記プローブヘッド又は前記ローカライザーとの衝突を回避できる程度に最小化されていてもよい。
(16)前記測定プローブは、光プローブであってもよい。
(17)前記測定プローブは、寸法測定値に応じた信号を出力するように構成されていてもよい。
(18)前記プローブに組み込まれた前記回転ジョイントは1つのみであってもよい。
(19)前記回転ジョイントには、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成された回転制限装置が設けられていてもよい。
(20)前記回転制限装置は、1対の要素を含み、前記1対の要素のうち一方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニースロットであり、前記1対の要素のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち他方に配置され、かつ、前記キドニースロットに係合するように構成されたピンであってもよい。
(21)前記回転ジョイントに、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成 された回転制限装置が設けられ、前記回転制限装置が、1対の要素を含み、前記1対の要 素のうち一方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニース ロットであり、前記1対の要素のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち 他方に配置され、かつ、前記キドニースロットに係合するように構成されたピンであり、前記キドニースロットは、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの制限された回転範囲まで前記第1の本体と前記第2の本体の相互回転を許可する第1の深さで設けられ、かつ、さらに、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの個別の回転角度と一致する複数の個別の角度で前記第1の本体及び前記第2の本体の相対角度位置を繰り返し係止する複数の個別のノッチを備えてもよい。
(22)前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみであってもよい。
(23)前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度であってもよい。
(24)前記ローカライザーは、前記物体に対して前記寸法測定用のプローブユニットを 移動するように構成された可動支持体であってもよい。
(25)本発明の別の実施形態は、さらなる移動の自由度を提供するように物体の寸法測定用の測定プローブを適合させる方法であって、第1の本体と、プローブヘッドへの繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェースに固定された第2の 本体と、を備えた回転ジョイントであって、前記第2の本体が、前記回転ジョイントの回 転軸の周りに前記第1の本体に対して回転可能に配置されている回転ジョイントを用意するステップと、前記回転ジョイントによって前記プローブユニットインターフェースが前記測定プローブに回転可能に接続されるように、前記測定プローブに前記回転ジョイント の前記第1の本体を取り外しができないように取り付けるステップと、を含む方法に関する。
(26)前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみであってもよい。
(27)前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度であってもよい。
‐球状の溝部を備えた球体(例えば、半球)、
‐1以上(例えば、3つ)の球体を備えた1以上(例えば、1つ)の球体、
‐2以上(例えば、2つ)の球体を備えた1つの円筒棒、又は、
‐1以上(例えば、1つ)の球体を備えた2つの円筒棒。
上記は個別に又は他の運動学的マウントと組み合わせられて3度の自由度をもって移動を制限する。球体及び/又は棒は、ステンレス鋼のような硬質剛性材料から構成される。第1のラッチ要素176は、第1の結合面182に対して、より具体的に、測定プローブ150に対して、固定された状態で保持される(即ち、移動又は回転しない)。
‐第1のラッチ要素176の1以上(好ましくは3つ、好ましくは三角として配置されている)の球体と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つの)球体、
‐第1のラッチ要素176の球状溝又は球状の溝部と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つ)の球体、
‐第1のラッチ要素176の2以上(好ましくは、2つ、好ましくは、平行して配置されたもの)の円筒棒と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つ)の球体、
‐第1のラッチ要素176の2以上(好ましくは、2つ)の球体と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つ)の円筒棒。
−必要に応じて角度測定アセンブリから受信した信号を用いて提供された、第1の本体172と第2の本体174の間に採択された角度に関する角度情報、
−プローブヘッド200の結合(linkage)間に採択された角度に関する角度情報、及び、
−ローカライザー300の結合(linkage)間に採択された角度に関する角度情報。
−物体400の寸法を測定するための測定プローブ150を用意するステップ、
−プローブヘッド200への繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェース120を備えた回転ジョイント170を用意するステップ、及び
−回転ジョイント170によってプローブユニットインターフェース120が測定プローブ150に回転可能に接続されるように、測定プローブ150に回転ジョイントを取り付けるステップ。
−プローブヘッド200への繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェース120を備えた回転ジョイント170を用意するステップ、及び
−回転ジョイント170によってプローブユニットインターフェース120が測定プローブ150に回転可能に接続されるように、測定プローブ150に回転ジョイントを取り外しができないように取り付けるステップ。
200 プローブヘッド
300 ローカライザー
120 プローブユニットインターフェース
130 間隔リング
150 測定プローブ
170 回転ジョイント
171 回転軸
172 第1の本体
174 第2の本体
176 第1のラッチ要素
178 第2のラッチ要素
187b 回転可能なカラー
187c フランジ
400 物体
Claims (27)
- ローカライザーのプローブヘッドに取り付けられる寸法測定用のプローブユニットであって、
物体の寸法測定用の測定プローブと、
前記測定プローブに組み込まれて取り外しできない回転ジョイントと、
前記プローブヘッドに繰り返し取り外し可能に接続できるプローブユニットインターフェースと、
を備え、
前記プローブユニットインターフェースが、前記回転ジョイントによって前記測定プローブに回転可能に接続されており、
前記回転ジョイントは、第1の本体と、前記回転ジョイントの回転軸の周りに前記第1 の本体に対して回転可能に配置された第2の本体と、を含み、
前記第1の本体が、前記測定プローブに対して固定された関係にあり、
前記第2の本体が、前記プローブユニットインターフェースに対して固定された関係に あり、
前記第1の本体が、前記測定プローブに取り外しできないように取り付けられている、寸法測定用のプローブユニット。 - 前記回転ジョイントが、複数の異なる個別の回転角度でラッチするように構成された回転ラッチジョイントである、請求項1に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記第1の本体には、仮想円に配置された複数の個別の第1のラッチ要素が設けられ、
前記第1のラッチ要素は、個別の回転角度を示し、
前記第2の本体には、前記第1の本体の前記複数の個別の第1のラッチ要素のうちいずれかとラッチするように構成された1以上の第2のラッチ要素が設けられている、請求項 2に記載の寸法測定用のプローブユニット。 - 3つの前記第2のラッチ要素が仮想円に配置されている、請求項3に記載の寸法測定用 のプローブユニット。
- 前記第1のラッチ要素及び前記第2のラッチ要素が、回転可能に取り外し可能な運動学的マウントの各部分を形成する、請求項3又は4に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記第2のラッチ要素が、前記第1のラッチ要素に含まれた一つの円筒棒と運動学的マウントを形成する2つの球体、又は、前記第1のラッチ要素に含まれた2つの球体と運動学的マウントを形成する1つの円筒棒を含む、請求項3から5のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記第1の本体と前記第2の本体間の力を受ける間隔リングをさらに備え、
前記間隔リングは、前記第2の本体に対する前記第1の本体の旋回を提供するように構成され、かつ、前記間隔リングの直径方向において正反対に配置された、少なくとも1対の旋回要素を備えた環状リング本体を含む、請求項3から6のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。 - 前記少なくとも1対の旋回要素は2対の前記旋回要素を含み、前記2対の旋回要素のうち第1の対の旋回要素は、前記間隔リングの第1の面上に前記間隔リングの直径方向にお いて互いに正反対の位置に配置され、前記2対の旋回要素のうち第2の対の旋回要素は、前記間隔リングの第2の面上に前記間隔リングの直径方向において互いに正反対の位置に配置され、そして、前記第1の対の旋回要素及び前記第2の対の旋回要素は、前記回転ジョイントの回転軸に対して互いに90°だけオフセットされている、請求項7に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記間隔リングには、さらに前記2対の旋回要素を補完する2対の旋回停止要素が設けられ、前記各旋回停止要素は、前記間隔リングにおける対応する旋回要素とは反対側の面上に、かつ前記対応する旋回要素と同じ角度位置に配置されている、請求項8に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記間隔リングが、少なくとも部分的に黄銅で構成されている、請求項7から9のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記第1の本体と前記第2の本体の間に締め付け力を加えて前記第1の本体と前記第2の本体間の相互結合接触を維持するように構成された回転可能なねじ込みカラーをさらに備え、
前記間隔リングは、前記回転可能なねじ込みカラーと結合接触状態で配置されて、前記回転可能なねじ込みカラーが締め付けられたときに可逆的に圧縮されるようになっている、請求項7から10のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。 - 前記回転ジョイントによって採用された角度を測定するとともに、測定された角度に応じた信号を提供するように構成された角度測定アセンブリをさらに備えている、請求項1 から11のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記角度測定アセンブリが、
前記プローブユニットインターフェースに対して固定された関係で前記回転軸に沿って配向されたシャフトと、
前記第2の本体に対する前記第1の本体の角度位置に基づいて光を閉塞するように構成され、かつ、前記シャフトに取り付けられた幾何学的構造と、
を含む角度測定部材を備えている、請求項12に記載の寸法測定用のプローブユニット。 - 前記幾何学的構造が、1以上の傾斜面を含む、請求項13に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記測定プローブが、外側ハウジングを含み、前記プローブユニットインターフェースと前記外側ハウジング間の距離が、前記回転ジョイントの周りの前記測定プローブの回転が前記プローブヘッド又は前記ローカライザーとの衝突を回避できる程度に最小化されている、請求項1から14のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記測定プローブが、光プローブである、請求項1から15のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記測定プローブが、寸法測定値に応じた信号を出力するように構成されている、請求項1から16のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記測定プローブに組み込まれた前記回転ジョイントが1つのみである、請求項1から 17のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記回転ジョイントには、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成された回転制限装置が設けられている、請求項1から18のいずれか一項に記載の寸法測定用 のプローブユニット。
- 前記回転制限装置が、1対の要素を含み、前記1対の要素のうち一方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニースロットであり、前記1対の要素のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち他方に配置され、かつ、前記キドニースロットに係合するように構成されたピンである、請求項19に記載の寸法測定用 のプローブユニット。
- 前記回転ジョイントには、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成され た回転制限装置が設けられ、
前記回転制限装置が、1対の要素を含み、前記1対の要素のうち一方は、前記第1の本 体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニースロットであり、前記1対の要素 のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち他方に配置され、かつ、前記キ ドニースロットに係合するように構成されたピンであり、
前記キドニースロットが、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの制限された回転範囲まで前記第1の本体と前記第2の本体の相互回転を許可する第1の深さで設けられ、かつ、さらに、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの個別の回転角度と一致する複数の個別の角度で前記第1の本体及び前記第2の本体の相対角度位置を繰り返し係止する複数の個別のノッチを備えた、請求項2から11のいずれか1項に記載の寸法測定用のプローブユニット。 - 前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみである、請求項1から21のいず れか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
- 前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度である、請求項22に記載の 寸法測定用のプローブユニット。
- 前記ローカライザーは、前記物体に対して前記寸法測定用のプローブユニットを移動す るように構成された可動支持体である、請求項1から23のいずれか一項に記載の寸法測 定用のプローブユニット。
- さらなる移動の自由度を提供するように物体の寸法測定用の測定プローブを適合させる方法であって、
第1の本体と、プローブヘッドへの繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェースに固定された第2の本体と、を備えた回転ジョイントであって、前 記第2の本体が、前記回転ジョイントの回転軸の周りに前記第1の本体に対して回転可能 に配置されている回転ジョイントを用意するステップと、
前記回転ジョイントによって前記プローブユニットインターフェースが前記測定プローブに回転可能に接続されるように、前記測定プローブに前記回転ジョイントの前記第1の 本体を取り外しができないように取り付けるステップと、
を含む方法。 - 前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみである請求項25記載の方法。
- 前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度である、請求項26に記載の 方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP14163889.0 | 2014-04-08 | ||
EP14163889 | 2014-04-08 | ||
PCT/EP2015/057570 WO2015155209A1 (en) | 2014-04-08 | 2015-04-08 | Measurement probe unit for metrology applications |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017514119A JP2017514119A (ja) | 2017-06-01 |
JP6576361B2 true JP6576361B2 (ja) | 2019-09-18 |
Family
ID=50439290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016561021A Active JP6576361B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-04-08 | 寸法測定用のプローブユニット及び測定プローブを適合させる方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10267629B2 (ja) |
EP (1) | EP3129750B1 (ja) |
JP (1) | JP6576361B2 (ja) |
CN (1) | CN106461384B (ja) |
WO (1) | WO2015155209A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3759428B1 (en) * | 2018-02-28 | 2024-08-14 | DWFritz Automation, Inc. | Metrology system |
EP3827219B1 (en) | 2018-07-26 | 2023-08-30 | TESA Sàrl | Accessory for rotary probe support |
EP4015986B1 (en) * | 2020-12-18 | 2024-10-16 | TESA Sàrl | Contactless sensor unit for a coordinate measuring machine |
US20240230325A9 (en) * | 2021-02-17 | 2024-07-11 | Renishaw Plc | Articulated member |
EP4321834A1 (en) * | 2022-08-10 | 2024-02-14 | Renishaw PLC | Indexed articulated joint comprising a sensor for establishing a state of engagement and associated metrology apparatus |
KR102547242B1 (ko) * | 2022-12-28 | 2023-07-12 | 한전케이피에스 주식회사 | 프로브 장치 및 조절 가능한 확장식 프로브 장치 거치대 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1593050A (en) * | 1976-09-30 | 1981-07-15 | Renishaw Electrical Ltd | Contact sensing probe |
JPH0285709A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-27 | Hitachi Ltd | 多関節ロボットを用いた物体計測方法と計測装置 |
JP2551607Y2 (ja) * | 1991-06-14 | 1997-10-27 | 株式会社ニコン | 変位測定プローブ装置 |
IT1279210B1 (it) * | 1995-05-16 | 1997-12-04 | Dea Spa | Dispositivo e metodo di visione per la misura tridimensionale senza contatto. |
GB9515311D0 (en) | 1995-07-26 | 1995-09-20 | 3D Scanners Ltd | Stripe scanners and methods of scanning |
DE19605776A1 (de) * | 1996-02-16 | 1997-08-21 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät mit einem Taststift, dessen Orientierung einstellbar ist |
EP1342050B1 (de) | 2000-09-28 | 2006-06-14 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Ermittlung von korrekturparametern einer dreh- schwenkeinheit mit messendem sensor ( koordinatenmessgerät ) über zwei parameterfelder |
US6957496B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-10-25 | Faro Technologies, Inc. | Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine |
FR2837567B1 (fr) | 2002-03-19 | 2005-05-06 | Romain Granger | Capteur pour machine de mesure de coordonnees tridimensionnelles |
EP1391690B1 (en) | 2002-08-14 | 2015-07-01 | 3D Scanners Ltd | Optical probe for measuring features of an object and methods therefor |
JP4707306B2 (ja) | 2003-02-28 | 2011-06-22 | 株式会社小坂研究所 | 多関節型座標測定装置 |
FR2868349B1 (fr) | 2004-04-06 | 2006-06-23 | Kreon Technologies Sarl | Palpeur mixte, optique et mecanique et procede de recalage y afferant |
US7400414B2 (en) | 2005-10-31 | 2008-07-15 | Mitutoyo Corporation | Hand-size structured-light three-dimensional metrology imaging system and method |
WO2007088570A2 (en) | 2006-02-02 | 2007-08-09 | Metris Ipr Nv | Probe for gauging machines |
JP5728769B2 (ja) * | 2006-11-20 | 2015-06-03 | ヘキサゴン メトロロジー アクチボラゲット | 継ぎ手を改良された座標測定機 |
DE102007022326B4 (de) | 2007-05-08 | 2022-07-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät |
JP2009053184A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-03-12 | Hexagon Metrology Kk | 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置 |
US7908757B2 (en) * | 2008-10-16 | 2011-03-22 | Hexagon Metrology, Inc. | Articulating measuring arm with laser scanner |
DE102009008722A1 (de) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie ein Tastkopfsystem für ein solches Koordinatenmessgerät |
US9607239B2 (en) * | 2010-01-20 | 2017-03-28 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
DE102010006505B4 (de) * | 2010-01-28 | 2013-09-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit passivem Dreh-Schwenk-Mechanismus |
CN103229018A (zh) | 2010-10-27 | 2013-07-31 | 株式会社尼康 | 形状测定装置、结构的制造方法以及结构制造系统 |
WO2013144293A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Nikon Metrology Nv | Improved optical scanning probe |
DE102012103934B3 (de) | 2012-05-04 | 2013-08-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Optischer Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät |
EP2677270B1 (en) * | 2012-06-22 | 2015-01-28 | Hexagon Technology Center GmbH | Articulated Arm CMM |
GB201309506D0 (en) * | 2013-05-28 | 2013-07-10 | Renishaw Plc | Methods of controlling a coordinate positioning machine |
JP7042620B2 (ja) * | 2015-04-29 | 2022-03-28 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | サブディビジョナルエラーを決定する方法 |
-
2015
- 2015-04-08 US US15/127,425 patent/US10267629B2/en active Active
- 2015-04-08 CN CN201580018629.1A patent/CN106461384B/zh active Active
- 2015-04-08 WO PCT/EP2015/057570 patent/WO2015155209A1/en active Application Filing
- 2015-04-08 JP JP2016561021A patent/JP6576361B2/ja active Active
- 2015-04-08 EP EP15717837.7A patent/EP3129750B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017514119A (ja) | 2017-06-01 |
EP3129750B1 (en) | 2023-05-31 |
CN106461384B (zh) | 2020-08-11 |
CN106461384A (zh) | 2017-02-22 |
US20180172442A1 (en) | 2018-06-21 |
EP3129750A1 (en) | 2017-02-15 |
US10267629B2 (en) | 2019-04-23 |
WO2015155209A1 (en) | 2015-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6576361B2 (ja) | 寸法測定用のプローブユニット及び測定プローブを適合させる方法 | |
JP4576002B2 (ja) | 内蔵ラインレーザスキャナを備えた携帯可能な座標測定装置 | |
CA2669878C (en) | Coordinate measurement machine with improved joint | |
AU2011296255B2 (en) | Mounting apparatus for articulated arm laser scanner | |
US8479403B2 (en) | Measuring system | |
US8312635B2 (en) | Measuring system | |
US20160128550A1 (en) | Adapter for endoscopy | |
KR20170107385A (ko) | 볼 조인트 | |
JP2005517908A5 (ja) | ||
WO2014014692A1 (en) | Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus | |
CA2170009C (en) | Alignment laser with over-flooded aperture system and dual-mode self-centering target | |
EP2259897B1 (en) | Surface sensing device | |
CN113566699B (zh) | 具有校准对象的旋转色度范围传感器系统和方法 | |
US11118896B2 (en) | Configuration for coupling chromatic range sensor optical probe to coordinate measurement machine | |
EP3827219B1 (en) | Accessory for rotary probe support | |
CN112469964B (zh) | 旋转探针支撑件的配件 | |
CN217007008U (zh) | 承载装置及结构色采集系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170221 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190212 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190513 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190820 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6576361 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |