JP6576361B2 - 寸法測定用のプローブユニット及び測定プローブを適合させる方法 - Google Patents

寸法測定用のプローブユニット及び測定プローブを適合させる方法 Download PDF

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Description

本発明は、物体の寸法取得用測定プローブユニットに関する。
プローブヘッド(probe head)は、座標測定機等のローカライザー(localiser)への測定プローブの取り付け(結合)のためのアダプタとして計測用途に使用されている。プローブヘッドの例としては、レニショー(Renishaw)製PH−10シリーズがある。有利には、プローブヘッドは、座標測定機のエンドエフェクタ(end effector)に対して測定プローブの角度を向け、概して2つの回転軸(必要に応じて電動式のもの)を有する。しかし、プローブヘッドは、測定すべき物体の方への測定プローブの位置を可能にする第3の回転軸の完全な柔軟性を欠いている。当技術分野では、これは、一般に、さらなる回転軸を提供する測定プローブにプローブヘッドを接続する第2のアダプタを用いて解決している。先行技術は代替的な位置調整機構を開示していて、例えば、米国特許第5848477号公報には、複数の個別の選択可能な角度を有するボール及びケットジョイントに取り付けられた受動的なコンタクトプローブが開示され、ボール及びソケット配置の不安定さは該プローブを大部分の測定プローブに適合させる。米国特許第5778548号公報は、3つの回転軸の柔軟性を欠いているプローブヘッドに取り付けられた取り外し可能な測定プローブを開示している。国際公開第2009/016185号公報は、固定されたコネクタを有するリニア走査レーザーセンサーを開示している。第2のアダプタは、プローブヘッドとローカライザーによって設定された不安定な位置にレバーリング効果をもたらして、測定プローブ上に重量制限を課すため、理想的ではない。具体的に、光学測定プローブの場合、レンズのサイズおよび重量の制限は、精度の低下につながる。また、第2のアダプタは、その後の計算にさらなる複雑さをもたらす。また、信号損失または減少の原因ともなり得る。したがって、当該技術の問題点を克服することが本発明の目的である。
米国特許第5848477号公報 米国特許第5778548号公報 国際公開第2009/016185号公報
(1)本発明の一実施形態は、ローカライザーのプローブヘッドに取り付けられる寸法測定用のプローブユニットであって、物体の寸法測定用測定プローブと、前記測定プローブに組み込まれて取り外しできない回転ジョイントと、前記プローブヘッドに繰り返し取り外し可能に接続できるプローブユニットインターフェースと、を備え、前記プローブユニットインターフェースが、前記回転ジョイントによって前記測定プローブに回転可能に接続されており、前記回転ジョイントは、第1の本体と、前記回転ジョイントの回転軸の 周りに前記第1の本体に対して回転可能に配置された第2の本体と、を含み、前記第1の 本体が、前記測定プローブに対して固定された関係にあり、前記第2の本体が、前記プロ ーブユニットインターフェースに対して固定された関係にあり、前記第1の本体が、前記 測定プローブに取り外しできないように取り付けられている、寸法測定用のプローブユニットに関する。
)前記回転ジョイントが、複数の異なる個別の回転角度でラッチするように構成された回転ラッチジョイントであってもよい。
記第1の本体には、仮想円に配置された複数の個別の第1のラッチ要素が設けられ、前記第1のラッチ要素は、個別の回転角度を示し、前記第2の本体には、前記第1の本体の前記複数の個別の第1のラッチ要素のうちいずれかとラッチするように構成された1以上の第2のラッチ要素が設けられていてもよい。
)3つの前記第2のラッチ要素は仮想円に配置されていてもよい。
)前記第1のラッチ要素及び前記第2のラッチ要素は、回転可能に取り外し可能な運動学的マウントの各部分を形成してもよい。
)前記第2のラッチ要素は、前記第1のラッチ要素に含まれた一つの円筒棒と運動学的マウントを形成する2つの球体、又は、前記第1のラッチ要素に含まれた2つの球体と運動学的マウントを形成する1つの円筒棒を含んでもよい。
記第1の本体と前記第2の本体間の力を受ける間隔リングをさらに備え、前記間隔リングは、前記第2の本体に対する前記第1の本体の旋回を提供するように構成され、かつ、前記間隔リングの直径方向において正反対に配置された、少なくとも1対の旋回要素を備えた環状リング本体を含んでもよい。
前記少なくとも1対の旋回要素は2対の前記旋回要素を含み、前記2対の旋回要素のうち第1の対の旋回要素は、前記間隔リングの第1の面上に前記間隔リングの直径方向 において互いに正反対の位置に配置され、かつ前記2対の旋回要素のうち第2の対の旋回要素は、前記間隔リングの第2の面上に前記間隔リングの直径方向において互いに正反対の位置に配置され、前記第1の対の旋回要素及び前記第2の対の旋回要素は、前記回転ジョイントの回転軸に対して互いに90°だけオフセットされていてもよい。
)前記間隔リングには、さらに前記2対の旋回要素を補完する2対の旋回停止要素が設けられ、前記各旋回停止要素は、前記間隔リングにおける対応する旋回要素とは反対側の面上に、かつ前記対応する旋回要素と同じ角度位置に配置されていてもよい。
10)前記間隔リングは、少なくとも部分的に黄銅で構成されていてもよい。
11記第1の本体と前記第2の本体の間に締め付け力を加えて前記第1の本体と前記第2の本体間の相互結合接触を維持するように構成された回転可能なねじ込みカラーを さらに備え前記間隔リングは、前記回転可能なねじ込みカラーと結合接触状態で配置されて、前記回転可能なねじ込みカラーが締め付けられたときに可逆的に圧縮されるようになっていてもよい。
12記回転ジョイントによって採用された角度を測定するとともに、測定された角度に応じた信号を提供するように構成された角度測定アセンブリをさらに備えていてもよい。
13)前記角度測定アセンブリは、前記プローブユニットインターフェースに対して固定された関係で前記回転軸に沿って配向されたシャフトと、前記第2の本体に対する前記第1の本体の角度位置に基づいて光を閉塞するように構成され、かつ、前記シャフトに取り付けられた幾何学的構造と、を含む角度測定部材を備えていてもよい。
14)前記幾何学的構造は、1以上の傾斜面を含んでもよい。
15)前記測定プローブは、外側ハウジングを含み前記プローブユニットインターフェースと前記外側ハウジング間の距離は、前記回転ジョイントの周りの前記測定プローブの回転が前記プローブヘッド又は前記ローカライザーとの衝突を回避できる程度に最小化されていてもよい。
16)前記測定プローブは、光プローブであってもよい。
17)前記測定プローブは、寸法測定値に応じた信号を出力するように構成されていてもよい。
18)前記プローブに組み込まれた前記回転ジョイントは1つのみであってもよい。
19)前記回転ジョイントには、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成された回転制限装置が設けられていてもよい。
20)前記回転制限装置は、1対の要素を含み、前記1対の要素のうち一方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニースロットであり、前記1対の要素のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち他方に配置され、かつ、前記キドニースロットに係合するように構成されたピンであってもよい。
21前記回転ジョイントに、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成 された回転制限装置が設けられ、前記回転制限装置が、1対の要素を含み、前記1対の要 素のうち一方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニース ロットであり、前記1対の要素のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち 他方に配置され、かつ、前記キドニースロットに係合するように構成されたピンであり、前記キドニースロットは、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの制限された回転範囲まで前記第1の本体と前記第2の本体の相互回転を許可する第1の深さで設けられ、かつ、さらに、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの個別の回転角度と一致する複数の個別の角度で前記第1の本体及び前記第2の本体の相対角度位置を繰り返し係止する複数の個別のノッチを備えてもよい。
(22)前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみであってもよい。
(23)前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度であってもよい。
(24)前記ローカライザーは、前記物体に対して前記寸法測定用のプローブユニットを 移動するように構成された可動支持体であってもよい。
25)本発明の別の実施形態は、さらなる移動の自由度を提供するように物体の寸法測定用測定プローブを適合させる方法であって、第1の本体と、プローブヘッドへの繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェースに固定された第2の 本体と、を備えた回転ジョイントであって、前記第2の本体が、前記回転ジョイントの回 転軸の周りに前記第1の本体に対して回転可能に配置されている回転ジョイントを用意するステップと、前記回転ジョイントによって前記プローブユニットインターフェースが前記測定プローブに回転可能に接続されるように、前記測定プローブに前記回転ジョイント の前記第1の本体を取り外しができないように取り付けるステップと、を含む方法に関する。
(26)前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみであってもよい。
(27)前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度であってもよい。
本発明の寸法測定プローブの概略図である。 本発明のプローブヘッド又はインデキシングヘッドの概要図である。 ローカライザーの一部、特に、エフェクターエンドの概略図である。 光学非接触プローブを有する本発明に係る例示的な寸法測定プローブユニットの概略図である。 ラッチジョイントである測定プローブユニットの例示的な回転ジョイントの内部の概略図である。 ラッチジョイントである測定プローブユニットの例示的な回転ジョインの概略図(開けた状態)である。 ラッチジョイントである測定プローブユニットの第1の結合面の詳細である。 角度に依存する、光閉塞用中央ピンの概略図である。 光閉塞用中央ピンを備えた本発明の回転ジョイントの概略図である。 穴を通してみた図8の中央ピンの異なる回転位置の概略図である。 A及びBは、回転ジョイントの第1の本体及び第2の本体と、それらの間に存在する間隔リングを示す。Bにおいて、各結合面は平行ではない。 間隔リングの側面図である。 間隔リングの上面図である。 Aは、回転ジョイントの第1の本体及び第2の本体の断面図であり、間隔リングは、フランジと第2の本体のカラーとの間に配置されている。Bにおいて、間隔リングは圧縮されている。 A〜Cは回転制限装置の一部の可能な配置を示す。Aは第1の本体上に配置された円弧状のスロット(キドニースロット)の等角図であり、Bは、4つの個別のノッチを備えたキドニースロットの平面図であり、Cは4つの個別のノッチが通路又は穴であることを示す、キドニースロットの断面図である。
本装置および本発明の方法を説明する前に、本発明は、記載された特定のユニットおよび方法又はその組み合わせに限定されないことを理解すべきである。なぜならば、かかるユニットおよび方法並びにその組み合わせは、当然変化し得るからである。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定されるため、本明細書に使用された用語は限定の意図のないことを理解すべきである。
本明細書に使用されるときに、単数形は、文脈が他のことを明確に示さない限り、単数及び複数の両方を含む。
本明細書に使用される用語「含む」は、包括的または開放(open−ended)型であり、追加的な、記載されていない部材、要素、又は方法ステップを排除しない。本明細書に記載される用語「含む」は、用語「からなる」(「〜で構成された」)を含むと理解される。
終点(endpoint)による数値範囲の記載は、各範囲内に含まれる全ての数字及び部分(fraction)だけでなく、記載された終点をも含む。
用語「1以上」または「少なくとも1つ」、例えば一群のメンバーのうち1以上又は少なくとも1つのメンバーは、それ自体明確であるが、さらなる例を挙げると、該用語は、特に、上記メンバーのうちいずれか1つ、又は、上記メンバーのうちいずれか2以上、例えば、いずれか≧(上記メンバーのうちの)3、≧4、≧5、≧6、又は≧7、そして、上記メンバー全てを指すことを含む。
本明細書に引用されたすべての参考文献は、本明細書にその全体が参考として援用される。特に、本明細書に具体的に言及されたすべての参考文献の教示は、参考として援用される。
他に定義しない限り、技術用語および科学用語を含む本発明の開示において使用されたすべての用語は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解される意味を有する。さらに、用語の定義は、本発明の教示のより良好な理解のために含まれる。
以下の節では、本発明の異なる実施態様をより詳細に定義する。明確に示されない限り、そのように定義される各実施態様は、他の(単数又は複数の)実施態様と組み合わせることができる。特に、好ましいもの又は有利なものとして示された任意の構成は、好ましいもの又は有利なものとして示された任意の他の(単数又は複数の)構成(特徴)と組み合わせることができる。
本明細書を通して「一実施形態」又は「実施形態」とは、実施形態に関連して説明される特定の構成、構造または特徴が本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれることを意味する。従って、本明細書を通して様々な箇所に出てくる「一実施形態において」または「実施形態において」の記載は、必ずしも全て同じ実施形態を指すものではないが、そのようなこともあり得る。さらに、一以上の実施態様において、本開示から当業者に明らかであるように、特定の構成、構造または特徴を、任意の適切な方法で組み合わせてもよい。さらに、本明細書に説明された一部の実施形態は、他の実施形態に含まれたいくつかの構成を含むこともあるが、当業者によって理解されるように、異なる実施形態の構成の組み合わせは、本発明の範囲内にあり、異なる実施形態を形成する。例えば、添付の特許請求の範囲において、請求項に記載された実施形態のいずれかは、任意の組み合わせで使用することができる。
発明の詳細な説明では、明細書の一部である添付の図面を参照しており、該図面は単に本発明を実施し得る特定の実施形態を例として示している。各要素に付した括弧および/または太字の参照符号は、要素を例示しているだけで、各要素を限定するものではない。他の実施形態をも利用することができ、本発明の範囲から逸脱することなく構造的または論理的な変更ができることを理解すべきである。従って、以下の詳細な説明は、限定的な意味で解釈されるべきではなく、本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によって定められる。
本発明は、ローカライザー300用のプローブヘッド200に取り付けるための、本明細書では「プローブユニット」としても知られている、寸法測定プローブユニット100に関する。図1に示すように、プローブユニット100は、物体400の寸法を測定するための測定プローブ150と、該測定プローブに組み込まれた回転ジョイント170と、を含む。さらに、プローブユニット100は、プローブヘッド200へ繰り返し取り外し可能に接続されるプローブユニットインターフェース120を含んでおり、プローブユニットインターフェース120は回転ジョイント170によって測定プローブ150に回転可能に接続されている。繰り返し取り外し可能な接続のために、各部品は互換性を許容する繰り返し相互の取り外し及び再取り付けを予定し、その接続は永久的ではない。
測定プレート150は、物体400の寸法測定(値)に応じた信号を出力する任意のタイプの寸法測定プローブであってもよい。信号は、電気、光学、又は、電磁(例えば、無線信号)のような任意のものであってもよい。代表的な測定プローブ150は、光プローブ(例えば、光走査プローブ、レーザスキャナ、プロファイルプローブ)、タッチコンタクトプローブ、またはカメラを含む。測定プローブ150は、通常、光又は力等の測定パラメータを検出するための検出器152を含む。タッチコンタクトプローブは、通常、信号発生成分に加えて、タッチトリガーアセンブリ(touch−trigger assembly)を備える。好ましくは、測定プローブは、光プローブ150’である。通常、図4に部分的に示したような光プローブ150’は、光非接触プローブであり、信号発生成分に加えて、測定すべき物体400からの反射光を検出する光検出器(optical detector)152を含む。光検出器152は、1又は2次元であってもよい。光検出器152は、CMOS又はCCDセンサを含んでもよい。光検出器152は、物体からの光を集光するためのレンズシステムを含んでもよい。レーザ等の光源154は、光プローブ150’に組み込まれていてもよく、別個であってもよい。レーザは、単一のストライプ、クロス又は幾何学的な模様であり得る複数のストライプを発射し得る。
測定プローブ150は、通常、部品が実装される剛性シャーシを含む。測定プローブ150は、通常、部品を保護するための外側ハウジング156を含む。一実施態様によれば、シャーシは、外側ハウジング156であり得るが、この場合、部品は外側ハウジングに対して実装される。本発明の一実施態様では、測定プローブは光プローブ150’であり、測定すべき物体400からの反射光を検出するための光検出器152がシャーシに対して固定された関係にある。光検出器152は、シャーシに堅固に取り付けられ得る。光源154は、シャーシに対して固定された関係にあり得る。光源154は、シャーシに対して堅固に取り付けられる。
測定プローブは、例えば、EP1391690号、EP0840880号、およびEP1984695号に記載されたように、当該技術分野に知られている。本発明において使用し得る市販の測定プローブの例として、いずれもNikon Metrology社製のLC15Dxレーザスキャナ、LC60Dxレーザスキャナ、LC50Cxレーザスキャナ、及びXC65Dx(−LS)デジタルクロススキャナがある。
回転ジョイント170は、通常、第1の本体172と、回転ジョイント170の回転軸171の周りに第1の本体172に対して回転可能に配置された第2の本体174と、を備える。それは、本明細書において回転ジョイントユニットとして知られたものであり得る。回転ジョイントの例を図1、5〜7に詳細に示している。第1の本体172は、光プローブ150’、より具体的には、シャーシ、外側ハウジング156、又は、光検出器152に対して、固定されてもよい。第2の本体174は、プローブユニットインターフェース120に対して固定された関係にあり得る。
第1の本体172及び第2の本体174は、分離できないように取り付けられていてもよい。第1の本体172及び第2の本体174は、互いに対して分離できないように取り付けられている。第1の本体172及び第2の本体174は、互いに対して繰り返し取り外しできないように取り付けられていてもよい。第1の本体及び第2の本体は、回転ジョイントによって接続された状態で、互いに対して永久的に取り付けられていてもよい。
回転ジョイント170は、同軸回転ジョイントまたは非同軸回転ジョイント(即ち、傾斜回転ジョイント使える)であってもよい。同軸回転ジョイントは、第1の本体及び第2の本体の回転軸が同軸である場合である。非同軸回転ジョイントは、第1の本体及び第2の本体の回転軸が交差する場合である。非同軸回転ジョイントの場合、それぞれの軸は50、60、70または80°の角度で交差してもよい。プローブユニット100内に1つの回転ジョイントが存在するのが好ましい。プローブユニット100内に唯一の回転ジョイント170が存在するのが好ましい。これは、動きの自由度を与える。
第1の本体172は、任意の外形、例えば、円筒形、六角形、立方形を有し得る。本質的に円筒形であるのが好ましい。堅固なもの(剛性)が好ましい。第1の本体は、一端(例えば、プローブ端)において測定プローブ150に取り付けられる。取り付けは、繰り返し取り外しできない、即ち、永久的かつ堅固であることが好ましい。好ましくは、取り付けは、内部又は外部(例えば、プローブハウジング156)であり得る測定プローブ150のシャーシに対して行われる。第1の本体172の他端は、第2の本体174の第2の結合面184(図6)に結合するとともに、該第2の結合面184に隣接して配置される、第1の結合面182(図5〜7)を含む。第1の結合面182及び測定プローブ150は、固定された関係にある。回転ジョイント170が測定プローブ150内に組み込まれたと記載されているとき、その取り付けは取り外し不可で、好ましくは、繰り返し取り外しできないもの、即ち、永久的かつ堅固であることを意味する。特に、第1の本体172は、測定プローブ150に対して、取り外しできないように取り付けられ、好ましくは、繰り返し取り外しできないように取り付けられたことを意味する。
第2の本体174は、好ましくは、本質的に円筒形状を有し、堅固なものである。これは、一端(例えば、ジョイント端)において、第1の本体172の第1の結合面182と結合し、かつ、該第1の結合面182に隣接して配置された、第2の結合面184を有する。第2の本体174の他端は、プローブユニットインターフェース120を含む。第2の結合面184は、プローブユニットインターフェース120に対して固定された関係にある。
第1および第2の本体は、回転関係及び相互結合接触を維持している。第1の本体172および第2の本体174間の力は、それらの相互結合接触を維持するのに加えられる。力は、例えば、外側クランプによって、又は、中央保持ピン又はねじを使用することで加えられる。
外側クランプは、回転可能なねじ込みカラー187bを有し得る。回転可能なカラー187bは、第2の本体174に対して第1の本体172を可逆的又は繰り返し締め付けるものであり得る。内側ねじ山を有する回転可能なカラー187bは、第1の本体172及び第2の本体174のうち一方に設けられ、回転可能なカラー187bのねじ山に係合する外側ねじ山は、他方の本体に設けられている。第1の本体172及び第2の本体174は、外側クランプが、回転可能なカラー187bを部分的に緩めることで解放された(逃げられた)ときに、相対的に回転し、そして、回転可能なカラー187bを締め付けることで設定された角度に固定される。回転可能なカラー187bは、該回転可能なカラー187bが関連のある本体のエッジを通り過ぎる(越えて進む)ことを防止するとともに、回転可能なカラー187bからの締め付け力を他方の本体に伝達する、(関連のある本体の)上記エッジ上のフランジ187cに係合すると理解される。図6において、回転可能なカラー187bは、フランジ187cを備えた第2の本体174上に設けられ;第1の本体172には外側ねじ山187aが設けられている。回転可能なカラー187bは、関連する本体(第1の本体172又は第2の本体174と回転可能な関係にあり、そして、それとスライド可能な関係にもある。
当業者は、回転可能なカラー187bの構成を理解するであろうし、そして、一般的な指針として、中空の円筒形状を有し、その円筒の内壁は少なくとも部分的にねじ状であり、中空の円筒の一端にはフランジ187cに係合する内向きリップが設けられている。間隔リング130が、回転可能なカラー187bとフランジ187cとの間に設けられている場合(下記参照)、内側リップは間隔リング130に係合する。図14(「A」及び「B」参照)は、内向きリップ187b’が間隔リング130と接触する回転可能なカラー187bを示す。
有利には、外側クランプは、第1の本体172及び第2の本体174の可逆的解放を可能にして角度選択を可能にしながら、第1の本体172と第2の本体174間の非常に安定な結合(取り付け)を提供する。
中央ピン186又は外側リムは、回転軸171の周りに第1の本体172及び第2の本体174を位置合わせするのに用いられる。必要に応じて、環状の間隔リング(下記参照)を用いて、位置合わせ及び間隔(スペーシング)を提供し得る。
第1の本体172及び第2の本体174は、それぞれ本体の長さを伸ばす中央穴を有し得る。中央ピン186が使用される場合、それは、中空又は中実であってもよい。第1の本体及び第2の本体は、少なくとも部分的に、(重量が)軽いながらも、測定プローブ150を支持するのに必要な強度を有する、任意の適切な材料から製造され得る。適切な材料はアルミニウムである。
電気ケーブルは、前述した中空の中央ピンを介して第1の本体172及び第2の本体174との間に通される。あるいは、電気ケーブルは、各々の本体の結合面において互いに位置合わせられた一対のスロットを通り得る。一つのスロットは、回転ジョイントの角度運動(angular movement)の範囲内においてケーブルの動きを容易にするように円弧状に形成され得る(ケーブリングキドニースロット)。
回転ジョイント170は、ジョイント170の回転の程度を制限するように構成された回転制限装置(rotation limiter)を備えていてもよい。回転制限装置は、回転の程度を、例えば、30°、60°、90°、120°、150°に、又は、前述した数値のいずれか2つの間の範囲に制限し得る。好ましくは、90°までに制限することもあり得る。回転制限装置は、一対の要素を含んでもよく、この場合、一対の要素のうち一方は、第1の本体172又は第2の本体174上に配置された、キドニースロット(kidney slot)189aと知られている円弧状のスロットであり、そして、一対の要素のうち他方は、他の本体上に配置されたピン189bであり得る。図6において、キドニースロット189aは、第1の本体172上に配置され、そして、ピン189bは、第2の本体174上に配置されている。一般に、ピン189bは円筒形です。ピンは、それが配置された本体(例えば、第1の本体172)に対して固定された関係にあり得る。ピン189bは、それが配置された本体(例えば、第1の本体172)の結合面(例えば、第1の結合面182)に対して可逆的に後退可能であり得る。一般に、キドニースロット189aの円弧の中心は、回転ジョイント170の回転軸171と位置合わせされる。とりわけ、回転が制限された一対の要素は、第1の結合面182及び第2の結合面184上にそれぞれ配置されている。
本発明の他の実施形態によれば、例えば、図15(A〜C参照)に示すように、キドニースロット189aは、ピン189bに係合して前述した角度範囲内において第1の本体172及び第2の本体174の自由な相互の回転を可能にする第1の深さ1800を有し、そして、さらに、ピン189bに係合して複数の個別の角度で第1の本体172及び第2の本体174の相対的な角度位置を係止する複数の個別のノッチ(図15(「A」及び「B」参照),1802、1802’)を有する。係止は、一時的、即ち、可逆的または反復可能である。各ノッチ1802、1802’は、好ましくは、ピン189bをぴったりと(fittingly)収容する個別の通路またはボア穴はであり;各個別の通路又はボア穴は、第2の深さ1804、1804’まで設けられている。第1の深さ1802、1802’は、第2の深さ1804、1804’よりも浅い(即ち、結合面182により近い)。第1の本体172および第2の本体174の回転は、制限された回転範囲を可能にする第1の深さ1802、1802’までのピン189bの後退と、その後の個別のノッチ1802、1802’のうち一方へのピン189bの前進による個別の角度の選択と、を伴う。ピン189bの前進又は後退は、例えば、回転可能なカラーを緩むことによる、第1の本体172及び第2の本体174の部分的な分離によって実現され得る。本発明の一実施形態によれば、個別のノッチ1802、1802’によって測定された角度は後述する個別のラッチ(latching)角度と一致する。個別のノッチ1802、1802’と、一致する個別のラッチ角度の組み合わせは、許容不可能な位置で締め付けられたときにいずれの本体の歪みをもたらし得る中間的な角度(inbetween angle)の選択を回避する。また、これは、選択された角度の高度なプローブ安定性をもたらす。
本発明の一実施形態によれば、回転ジョイントは、複数の異なる個別の回転角度で第2の本体174に対して第1の本体172をラッチするように構成された回転ラッチジョイント170’である。個別の回転角度は、固定されていてもよい。「ラッチ(latching)」とは、第1の本体及び第2の本体間の複数の角度的なラッチ位置が、一時的に安定化されることを意味する。ラッチ角度ではない角度は、ラッチ角度に比べて、トルクの適用によってより容易に変えられる(即ち、より不安定な位置である)。ユーザーは、トルクを加えることで、第2の本体174に対する第1の本体172の角度位置を外し得る(unlatch)。さらにトルクを加えると、第2の本体174に対する第1の本体172の角度位置は次の個別の角度でラッチされる。トルクは、電動式角度選択も予想されるが、手動で加えるのが好ましい。
第1の本体172に、仮想円の周りに配置された複数の個別の第1のラッチ要素176を設けてもよい。第1の本体172上の第1のラッチ要素176は、第2の本体174上の相補的な第2のラッチ要素との結合を可能にするように構成されている。各第1のラッチ要素176は、個別の回転角度(revolute angle)を表す。仮想円は、回転ジョイント170の回転軸171を中心とする。第1のラッチ要素の数は、2、3、4、5、6、7、8、10、11、12、13、14、15またはそれ以上であってもよい。第1のラッチ要素176は、好ましくは、仮想円の周りに均等に分布されている。例えば、10個の第1のラッチ要素があるとすれば、それらは、仮想円の周りに36°間隔で均等に分布され得る。それらは、好ましくは、回転ジョイント170の回転軸171に関して半径方向に配向されている。第1のラッチ要素176及び第2のラッチ要素178の配置は、複数の角度のラッチ(一時的な保持)位置を提供して、一時的に安定化された個別の固定角度の選択を可能にする。
第1のラッチ要素176は、好ましくは、運動学的マウント(kinematic mount)を構成する1対の要素のうち一方を含み、その他方の要素は第2のラッチ要素178である。従って、第1のラッチ要素176及び対応する(即ち、共にラッチされる)第2のラッチ要素178は、回転可能に取り外し可能な(revolutely dismountable)運動学的マウントの各部分を形成し得る。運動学的マウントは、当該技術において知られており、概して以下の1対を含む:
‐球状の溝部を備えた球体(例えば、半球)、
‐1以上(例えば、3つ)の球体を備えた1以上(例えば、1つ)の球体、
‐2以上(例えば、2つ)の球体を備えた1つの円筒棒、又は、
‐1以上(例えば、1つ)の球体を備えた2つの円筒棒。
上記は個別に又は他の運動学的マウントと組み合わせられて3度の自由度をもって移動を制限する。球体及び/又は棒は、ステンレス鋼のような硬質剛性材料から構成される。第1のラッチ要素176は、第1の結合面182に対して、より具体的に、測定プローブ150に対して、固定された状態で保持される(即ち、移動又は回転しない)。
第1のラッチ要素176は球体である可動性の第2のラッチ要素178を収容するように構成された球状の溝又は球状の溝部を含んでもよい。
あるいは、第1のラッチ部材176は、第1の結合面182に対して、より具体的に、測定プローブ150に対して堅固にかつしっかりと設けられた、2以上の球体又は2以上(好ましくは、2つ)の円筒棒の配置を含み得る。2以上の円筒棒又は2以上の球体は、第1の結合面182の溝に設けられて、可動性の第2のラッチ要素178に接触し制限するように構成され得る。2つの円筒棒がある場合、それらは、好ましくは、互いに対して、かつ、回転ジョイント170の回転軸171に対して半径方向の線(放射状の線)に対して、平行して配置される。
好ましい実施形態では、第1のラッチ要素176は、第1の結合面182において縦溝(longitudinal groove)175を含む。縦溝175は、好ましくは、回転ジョイント170の回転軸171に対して半径方向に配向されている。縦溝は、溝の床177と1以上の側縁181、181’を有し得る。2以上(好ましくは、2つ)の球体180は、縦溝175の対向する側縁181、181’に配置されている。好ましくは、縦溝175の側縁181、181’の対向する側(面)上に2つの球体180が配置されている。好ましくは、第1の結合面182は、仮想円の周りに均等に配置された12個の上記第1のラッチ要素176を備えている。球体は、各球体の部分(segment)が第1の結合面182から突出するように、縦溝175に設けられている。球体は、第1の結合面182に対して、より具体的に、測定プローブ150に対して、堅固にかつしっかりと設けられている。球体は、好ましくは、接着剤を用いて所定の位置に保持される。
第2の本体174は、1以上、好ましくは、3以上の個別の第2のラッチ要素178を有し得る。第1のラッチ要素176は、例えば、図5及び6に示すように、第1の本体172の複数の第1のラッチ要素176のいずれかにラッチするように構成されている。複数の第2のラッチ要素178が存在する場合、それらは仮想円の周りに配置され得る。仮想円は、回転ジョイント170の回転軸171を中心とする。第2のラッチ要素178の数は1、2、3、4、5、6、7、8、10、11、12、13、14、15またはそれ以上であり得る。第2のラッチ要素178は、好ましくは、仮想円の周りに均等に分布されている。第2のラッチ要素178の数は、第1のラッチ要素176の数より少なくてもよい。第2のラッチ要素178の数は、第1のラッチ要素176の数の2、3、4、または5倍であってもよい。
前述したように、第2のラッチ要素178は、好ましくは、運動学的マウントを構成する一対の要素のうち一方を含み、その一対の要素のうち他方は第1のラッチ要素176である。第2のラッチ要素178は以下を含んでもよい:
‐第1のラッチ要素176の1以上(好ましくは3つ、好ましくは三角として配置されている)の球体と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つの)球体、
‐第1のラッチ要素176の球状溝又は球状の溝部と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つ)の球体、
‐第1のラッチ要素176の2以上(好ましくは、2つ、好ましくは、平行して配置されたもの)の円筒棒と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つ)の球体、
‐第1のラッチ要素176の2以上(好ましくは、2つ)の球体と運動学的マウントを形成する1以上(好ましくは、1つ)の円筒棒。
好ましい実施形態では、運動学的マウントは、第1のラッチ要素176の2つの球体と運動学的マウントを形成する第2のラッチ要素の1つの円筒棒、又は、第1のラッチ要素176の1つの円筒棒と運動学的マウントを形成する第2のラッチ要素の2つの球体を含む。有利には、上記配置は、より多くの個別の回転角度を可能にし、2つの球体及び1つの円筒棒に占有された空間は、2つ円筒棒及び1つの球体を採用することによって必要とされる空間よりも小さい。
球体及び/又は円筒棒は、ステンレス鋼などの硬質剛性材料から作られる。第2のラッチ要素178は、第2の結合面184、より具体的に、プローブユニットインターフェース120に対して固定された状態で保持される(即ち、移動又は回転しない)。
好ましい実施形態では、第2のラッチ要素178は第2の結合面184において縦棒(longitudinal bar)179を含む。縦棒179は、好ましくは、円筒又は円筒部(cylindrical segment)である。縦棒179は、好ましくは、回転ジョイント170の回転軸171に対して半径方向に配向されている。好ましくは、第2の結合面184は、仮想円の周りに均等に配置された3つの上記第2のラッチ要素178を備えている。縦棒179は、各縦棒179のセグメントが第2の結合面184から突出するように、第2の結合面184に設けられている。縦棒179は、第2の結合面184に対して、より具体的に、プローブユニットインターフェース120に対して、堅固にかつしっかりと設けられる。縦棒179は、好ましくは、接着剤を用いて所定の位置に保持される。
第1のラッチ要素176及び第2のラッチ要素178の配置は、回転ジョイント170を回転させることで選択することができる複数の個別の角度を提供する。第1のラッチ要素176及び第2のラッチ要素178によって形成される運動学的なマウントは、さらに、いったん位置が設定されたら、第1の本体172と第2の本体174間のぐらつきを回避する複数の角度でのプローブ150の高精度な配置を提供する。3つの均等な間隔で配置された第2のラッチ要素178を用いる場合、精度及び正確さが最適化される。その配置は、高度の角度再現性(angular repeatability)を可能にする。
前述したように、第1の本体172と第2の本体174間の力が加えられて、それらの相互結合接触(mutual coupling contact)を維持してもよい。本発明の一実施態様によれば、間隔リング130は、第1の本体172と第2の本体174間の力を受けるように設けられている。間隔リングは、例えば、クランプによって加えられた、第1の本体172と第2の本体174間に加えられた力を受けて分配することで、それらの本体間の相互接触状態を維持するのに役立つ。
間隔リング130は、例えば、図11(「A」及び「B」参照)に示すように、第1の本体172と第2の本体174との間に配置され得る。間隔リング130は、一方の本体172、174のフランジ187cと回転可能なカラー187bとの間に配置されてもよい。図14(「A」参照)において、間隔リング130は、第2の本体174のフランジ187cと回転可能なカラー187bとの間に配置されている。間隔リング130は、回転可能なねじ込みカラー187bと結合接触状態で配置されて、回転可能なカラー187bが締め付けられたときに可逆的に圧縮され得る。
間隔リング130は、第1の面(側)132と、それの反対側の第2の面(側)134と、を有する環状リング体を含む。環状リングの外側の形状(profile)は、好ましくは、例えば、図13に示すような円形である。環状リングの内側の形状は、好ましくは、円形であるが、他の形状も可能である。間隔リング130は、好ましくは、平面である。
一実施態様によれば、間隔リングは各々の第1の結合面182及び第2の結合面184と接触するような寸法となっている。間隔リングは、それらの面の周辺において各々の第1の結合面182及び第2の結合面184と接触するような寸法となるのが好ましい。間隔リングは、好ましくは、第1のラッチ要素176及び第2のラッチ要素178と接触又は重複を回避するような寸法となっている。間隔リングは、好ましくは、第1のラッチ要素176及び第2のラッチ要素178が相互に係合できるように、第1の本体172と第2の本体174の間に間隔を提供する寸法となっている。間隔リング130は、例えば、ねじのような固定要素によって、第1の本体172又は第2の本体174に対して固定された関係で配置され得る。間隔リング130は、第1の本体172、もしくは、第2の本体174、又は両方に固定されないことが好ましい。
別の実施態様では、間隔リング130は、回転可能なカラー187bとフランジ187cに接触するような寸法となっている。間隔リング130は、回転可能なカラー187bの内向きリップ187b’に接触するような寸法であり得る。間隔リング130は、例えば、ねじ等の固定要素によって、回転可能なカラー187bまたはフランジ187cに対して固定された関係で配置され得る。間隔リング130は、フランジ187cに対して固定された関係で配置され得る。間隔リング130は、回転可能なカラー187bもしくはフランジ187c、又は両方に固定されていないのが好ましい。間隔リング130は、それが設けられた本体(例えば、図14において第2の本体174)と回転可能なカラー187b’との間の環状空隙によってぴったりと収容(嵌合)されるような寸法であり得る。
間隔リング130には、旋回軸を中心に間隔リングの旋回を許容するように構成された、正反対の枢動要素の対(例えば、図12における144及び144’)が設けられていてもよい。旋回軸(図13、137)は、正反対の枢動要素ら144,144’を結ぶ仮想線によって形成される。旋回要素144、144’、142は、間隔リング130の一面132,134上に配置された突起である。旋回要素144、144’、142は、環状のリングの本体に接続された基端(base end)と、この基端から延びる上端(upper end)を有する。上端の末端は、各々の本体(図11、172、174)、回転可能なカラー(図14、187b)またはフランジ(図14、187c)と接触する平面又は曲面(丸い面)を有するのが好ましい。
好ましい実施態様では、間隔リング130は、2対の旋回要素、即ち、間隔リング130の第1の面132上に正反対に配置された第1の対142と、間隔リング130の第2の面134上に正反対に配置された第2の対144、144’と、を備えている。第1及び第2の対の旋回要素は、好ましくは、回転軸171に対して90°だけ互いにオフセットされている。換言すれば、第1の対の旋回要素間に描かれた第1の仮想線と、第2の対の旋回部材144、144’間に描かれた第2の仮想線137は互いに90°の角度で交差する。
間隔リング130は、例えば、図11(「B」参照)に示すように、第2の本体174に対する第1の本体172の旋回を可能にするように構成され得る。図11(「B」参照)において、第1の結合面182と第2の結合面184は平行ではない。
間隔リング130は、第2の本体174に対して第1の本体172の旋回を可能にするように構成され得る。ここで、間隔リング130が一方の本体172,174のフランジと回転可能なカラー187bとの間に配置されたときに、第1の結合面182及び第2の結合面184は平行ではない(図示しない)。間隔リング130には、さらに例えば図12及び13に示したような1以上の旋回停止要素138、138’、140,140’を設けてもよい。旋回停止要素は、旋回軸137を中心とする間隔リング130の旋回運動を制限する。
旋回停止要素138、138’、140,140’は、間隔リング130の一面132,134上に配置された突起である。旋回停止要素138、138’、140,140’は、環状リングの本体に接続された基端と、その基端から延びる上端と、を有する。上端の末端は、各々の本体(図11、172、174)、回転可能なカラー(図14、187b)またはフランジ(図14、187c)と接触してその移動を制限する平面を有するのが好ましい。平面は、本質的には、長方形(正方形や長方形)フットプリントを有してもよい。
好ましい実施態様では、間隔リング130には、2対の旋回停止要素、即ち、間隔リング130の第1の面132上に正反対に配置された第1の対138、138’と、間隔リング130の第2の面134上に正反対に配置された第2の対140、140’と、が設けられている。第1及び第2の対の旋回停止要素は、好ましくは、回転軸171に対して90°だけ互いにオフセットされている。換言すれば、第1の対の旋回停止要素138、138’間に描かれた第1の仮想線と、第2の対の旋回停止要素140、140’間に描かれた第2の仮想線は互いに90度の角度で交差する。
好ましい実施態様では、間隔リング130の第1の面132上に存在する旋回要素(例えば、142)は、間隔リング130の第2の面134上の同じ位置、特に同じ角度位置に配置された旋回停止要素140によって補われる。好ましくは、各々の全ての旋回要素(例えば、142)はそのように補われる。
旋回停止要素138,138’、140,140’の高さDSは、旋回要素144,144’、142の高さDPよりも小さい。図12に示すように、旋回要素の高さDPは、その基部から上端の末端まで測定される。同様に、旋回停止要素の高さDSは、その基部から上端の末端まで測定される。
間隔リング130が第2の本体174と第1の本体172との間に配置された場合(例えば、図11)、旋回停止要素は第2の本体174に対する第2の本体172の旋回運動を制限する。
間隔リング130が回転可能なカラー187bとフランジ187cとの間に配置された場合(例えば、図14)、旋回停止要素は第2の本体174に対する第1の本体の旋回運動を制限する。
間隔リング130の周りに効率よく均等に分布された旋回要素は、例えば、クランプによって加えられた、第1の本体172と第2の本体174の間に加えられた力を受けて分配して、これら本体同士の相互接触状態を維持する。このように、旋回要素は、多少のコンプライアンス(compliance)を有してばねとして働き得る環状リングの本体のほうに力を伝達する。このコンプライアンス性は、一対のラッチ要素176,178間の最適な接触を維持する。また、コンプライアンス性は、新しい角度が選択されたときに、運動学的マウントにおける対をなすラッチ要素176,178の繰り返しの着脱を容易にして、摩耗を最小限にする。
また、第1の結合面182と第2の結合面184との間に完全に平行な配置を得ることは困難である。これについては図11(「B」参照)に示されている。2つの軸を中心とした第1の本体172と第2の本体174間の傾斜を可能にする旋回要素142、144、144’は、いかなる配置の欠陥をも補う。同様の効果は、間隔リング130が一方の本体172、174の回転可能なカラー187bとフランジ187cとの間に配置されたときにも明らかである。
間隔リング130は、ユーザーが回転可能なカラー187bの最適な手締めを決めることを可能にする。締め付けられた状態(図14の「B」参照)において、間隔リング130は圧縮され、各々の旋回停止要素138、138’、140,140’は一方の面上で回転可能なカラー187bと接触し、他方の面上でフランジ187cと接触して、手締めを停止する。
好ましくは、間隔リング130は、少なくとも部分的に、好ましくは全体が黄銅で構成される。黄銅は、固有の潤滑性を提供するので、第1の本体172と第2の本体174間の摩擦を低減する。また、これは、コンプライアンス性を有している。
回転ジョイント170の長さは、好ましくは最小化される。当業者は、第1の本体172と第2の本体174が不十分な長さを有するジョイントが、回転ジョイント170によって特定の角度が採用されたとき、測定プローブ150とプローブヘッド200又はローカライザー300との衝突を招き得ることを理解するであろう。逆に、第1の本体172と第2の本体174があまりにも長いと、回転ジョイント170がレバーとして働き、測定プローブ150の重量がプローブヘッド200及びローカライザー300に望ましくない力を与える。従って、少なくとも部分的な、好ましくは、全範囲の回転が依然として可能であり、プローブヘッド又はローカライザーとの衝突が回避できるように、長さは最小化される。換言すれば、プローブユニットインターフェース120と外側ハウジング156間の距離は、測定プローブ150の回転がプローブヘッド200又はローカライザー300との衝突を回避する程度に(まで)最小化され得る。本発明の一実施態様では、プローブユニットインターフェース120とプローブハウジング156の間に、回転軸に沿って又は直線的に測定された距離Djは、30〜40cmである。
第1のラッチ要素176及び第2のラッチ要素178は、その代案として、第2の本体174及び第1の本体172にそれぞれ配置され得る。
回転ジョイント170には、第1の本体172と第2の本体174の間に回転軸171に沿って採択された角度を決定するように構成された角度測定アセンブリを設けてもよい。角度測定アセンブリは、好ましくは、採択された角度に応じた、電気信号のような信号を提供することができる。寸法測定プローブユニット100は、第1の本体172と第2の本体174の間に選択された角度を自動的に検出するように構成され得る。角度測定アセンブリは、採択された角度に応じた信号を提供することができる、ロータリエンコーダ(例えば、光学ロータリエンコーダ)、またはホールエフェクトセンサ(Hall effect sensor)、または同様の部品を含んでもよい。一般に、1以上の部品が回転軸171に沿って(例えば、同軸に)設けられる。角度測定アセンブリは、一般に、1対の相補的な部品、即ち、第1の本体172に固定された関係で取り付けられた一方の部品と、第2の本体174に固定された関係で取り付けられた他方の部品とを含む。例えば、角度測定アセンブリがロータリエンコーダを含む場合、1対の部品のうち一方は、エッチングガラスプレートであり、他方は光源/検出器の組み合わせであってもよい。
本発明の一実施態様では、角度測定アセンブリは、回転軸171に沿って(例えば、同軸)第2の本体174に固定された関係で配置された角度測定部材188を含む。角度測定部材188は、例えば、図8に示したような第1の本体172と第2の本体174の間に採択された角度に基づいて協働穴(co−operating aperture)192を通る光の通過(通路)を妨害するように構成された角度依存的光閉塞構造としての幾何学的構造190を含む。その幾何学的構造は、1以上の傾斜面を含んでもよい。傾斜面は、平面または湾曲していてもよい。幾何学的構造190は、第1の本体172と第2の本体174の間に採択された角度を半回転(half−turn)の制限内に示し得る。換言すれば、幾何学的構造は、第2の本体174に対する第1の本体172の角度位置に基づいて、好ましくは、協働穴を通して、光を閉塞するように構成されている。測定部材188は、さらに、第2の本体174、特に、プローブユニットインターフェース120に対して固定された関係で回転軸に沿って配向されたシャフト193を含んでもよい。幾何学的構造190は、シャフト193に取り付けられている。特に、幾何学的構造190は、好ましくは、シャフト193に固定された関係で設けられている。図9は、回転ジョイントに、シャフト193と、直径方向に配置された穴194を備えた円筒形のハウジング194によって覆われた前述した幾何学的構造と、が設けられた配置を示す。発光ダイオード光源196は、第1の本体172と第2の本体174の間に採択された回転角度に応じた程度に閉塞された、1対の穴を通って光検出器(light detector)195まで通る、光ビームを発する。光検出器195によって提供された信号の振幅を用いて、角度を決定することができる。図10のパネルAからDは、回転角度に応じて光を閉塞する幾何学的構造190及び穴194を模式的に示している。例えば、Aは0°、Bは30°、Cは60°、Dは90°を示す。しかし、幾何学的構造は、異なる範囲の角度及び閉塞に対応するように調整することができると解すべきである。
有利には、本発明の寸法測定プローブは、第1の本体172と第2の本体174の間に採択された角度の指示(indication)を自動的に提供することができる。採択された角度の情報を、測定プローブ150からの寸法測定情報と組み合わせてもよい。これは、第1の本体172と第2の本体174間の角度が頻繁に変わる場合に、例えば、そうでなければアクセス不可能な角度にある幾つかの内部表面を有する測定物体の場合、迅速な寸法の取得を容易にする。
以上プローブユニットインターフェース120を測定プローブ150に接続する一つの回転ジョイント170について説明したが、プローブユニットインターフェース120と測定プローブ150との間にさらなる回転ジョイントが設けられたものも本発明の範囲に入る。回転ジョイントは、例えば、運動連鎖(kinematic chain)を形成するように、直列に配置され得る。プローブユニットインターフェース120を測定プローブ150に接続する回転ジョイントの総数は、1、2、若しくは、それ以上であってもよいが、好ましくは、1である。測定プローブ150に組み込まれた回転ジョイントの数は、好ましくは、1つのみである。
プローブユニットインターフェース120,120’は、プローブヘッド200への繰り返し取り外し可能な取り付けができるように構成されている。正確な構成は、採用されたプローブヘッド200に依存するが、概して、プローブユニットインターフェース120、120’は、ねじ、ツイストフィット(twist−fit)、または、スナップフィット(snap−fit)機構を含め、プローブヘッド200への繰り返し取り外し可能な取り付けのための結合を含む。さらに信号及び/又は電力の通路のための1以上の電気接触を含んでもよい。プローブユニットインターフェース120、120’は、さらに同じ配向での測定プローブユニット100のプローブヘッド200への繰り返し可能な取り付けを保証するように構成された整列要素(alignment element)を含んでもよい。プローブヘッドは、相補的な整列要素を含んでもよい。図1において、プローブユニットインターフェース120は、直方体として模式的に示され、図5において、円筒120’として示されている。プローブユニットインターフェース120,120’の形状は、測定プローブ150及びプローブヘッドインターフェース220の形状に依存する可能性があるので、当業者が選択できると解される。適切なプローブヘッド200の例としては、レニショー製のPH10レンジを含む。有利には、測定プローブユニット100は、プローブヘッド200に繰り返し直接取り付けられる。例えば、個別のアダプタを採用した場合に比べて、機械的なジョイントの減少は、機械的な不安定性および長期にわたる摩耗を低減し、かつ、電子ノイズ及び干渉の可能性の増加に加えて、プローブシステムの複雑さ及び重量を増加させる電気コネクタの要求を低減する。
インデキシングヘッド(indexing head)としても知られているプローブヘッド200は、一端において座標測定機(CMM)等のローカライザー300のエンドエフェクタに取り付けられ、他端において測定プローブユニット100に取り付けられたアダプタである。プローブヘッド200は、概して1又は2つの回転軸202、204を備えている。プローブヘッドによって、測定プローブユニット100はローカライザー300に対して異なる配向を採択することができる。角度は、手動又は電動制御で設定してもよい。軸によって採択された角度を、例えば、ロータリエンコーダを用いて測定してもよい。プローブヘッド200は当技術分野において周知である(例えば、レニショー製のPH10プローブヘッドレンジ)。プローブヘッド200は、一端にローカライザー300上の相補的なインターフェース320に繰り返し取り外し可能に取り付けるための第1のpHインターフェース240と、他端に測定プローブユニット100の相補的なプローブヘッドインターフェース120に繰り返し取り外し可能に取り付けるための第2のPHインターフェース220と、を備えている。それぞれのインターフェースは、結合(取り付け)機構、概して、1対の往復式結合部品のうち一方を含んでもよい。そのような結合の例として、ねじ山(screw−thread)、より合わせ(twist−fit)、又は、スナップフィット(snap−fit)機構がある。各インターフェース220、240は、信号及び/又は電力が通る1以上の電気接触を含んでもよい。
ローカライザー300は、当該技術分野において周知である。一般的に言えば、物体400に対して測定プローブユニット100を移動するように構成された可動支持体である。ローカライザー300は、例えば、三脚のように、その上に測定プローブユニット100がプローブヘッド200を介して搭載された携帯型または非携帯型の構造であってもよい。このローカライザー300は、例えば、ロボット、スライス盤又は座標測定機(CMM)のように、電動式又は非電動式の移動軸を備えた構造であってもよい。ここで、測定プローブユニット100は、他の全ての軸に依存して上記軸(移動軸)の端部上に設けられる。これらの最新型のローカライザー300は、例えば、エンコーダ(例えば、直線又はロータリ式)を用いて、プローブの位置及び/又は回転を内部的に記録する可能性を有する。ローカライザー300は、例えば、ブリッジCMM(X、Y又はXYZ CMMとしても知られている)、CMM−アーム(携帯型CMMとしても知られている)、及び、ロボットCMMアーム等の任意のタイプのCMMであってもよい。CMM30は、測定プローブユニット100がプローブヘッド200を介して取り付けられるエンド−インターフェース(end−interface)320を有する。
物体の寸法計算のために、プローブ150から受信した信号を以下と組み合わせてもよい:
−必要に応じて角度測定アセンブリから受信した信号を用いて提供された、第1の本体172と第2の本体174の間に採択された角度に関する角度情報、
−プローブヘッド200の結合(linkage)間に採択された角度に関する角度情報、及び、
−ローカライザー300の結合(linkage)間に採択された角度に関する角度情報。
当技術分野で公知の技術を用いて、ローカライザーの基端に対する測定プローブ150の位置を決定することができるが、それは、プローブからの情報とともに、例えば米国特許公開2007/0097381号公報に記載されたような物体400の寸法の計算を可能にする。
本発明は、以下を含む、本明細書に記載されたようなローカライザー300のプローブヘッド200への取り付けのための寸法測定プローブユニットの製造方法を提供する:
−物体400の寸法を測定するための測定プローブ150を用意するステップ、
−プローブヘッド200への繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェース120を備えた回転ジョイント170を用意するステップ、及び
−回転ジョイント170によってプローブユニットインターフェース120が測定プローブ150に回転可能に接続されるように、測定プローブ150に回転ジョイントを取り付けるステップ。
本発明は、以下を含む、さらなる移動の自由度を与える、物体400の寸法測定のために測定プローブ150を適合させる方法を提供する;
−プローブヘッド200への繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェース120を備えた回転ジョイント170を用意するステップ、及び
−回転ジョイント170によってプローブユニットインターフェース120が測定プローブ150に回転可能に接続されるように、測定プローブ150に回転ジョイントを取り外しができないように取り付けるステップ。
また、本発明は、物体の寸法測定のために本明細書に記載したような寸法測定プローブユニット100の使用を提供する。
100 測定プローブユニット
200 プローブヘッド
300 ローカライザー
120 プローブユニットインターフェース
130 間隔リング
150 測定プローブ
170 回転ジョイント
171 回転軸
172 第1の本体
174 第2の本体
176 第1のラッチ要素
178 第2のラッチ要素
187b 回転可能なカラー
187c フランジ
400 物体

Claims (27)

  1. ローカライザーのプローブヘッドに取り付けられる寸法測定用のプローブユニットであって、
    物体の寸法測定用測定プローブと、
    前記測定プローブに組み込まれて取り外しできない回転ジョイントと、
    前記プローブヘッドに繰り返し取り外し可能に接続できるプローブユニットインターフェースと、
    を備え、
    前記プローブユニットインターフェースが、前記回転ジョイントによって前記測定プローブに回転可能に接続されており、
    前記回転ジョイントは、第1の本体と、前記回転ジョイントの回転軸の周りに前記第1 の本体に対して回転可能に配置された第2の本体と、を含み、
    前記第1の本体が、前記測定プローブに対して固定された関係にあり、
    前記第2の本体が、前記プローブユニットインターフェースに対して固定された関係に あり、
    前記第1の本体が、前記測定プローブに取り外しできないように取り付けられている、寸法測定用のプローブユニット。
  2. 前記回転ジョイントが、複数の異なる個別の回転角度でラッチするように構成された回転ラッチジョイントである、請求項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  3. 記第1の本体には、仮想円に配置された複数の個別の第1のラッチ要素が設けられ、
    前記第1のラッチ要素は、個別の回転角度を示し、
    前記第2の本体には、前記第1の本体の前記複数の個別の第1のラッチ要素のうちいずれかとラッチするように構成された1以上の第2のラッチ要素が設けられている、請求項 に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  4. 3つの前記第2のラッチ要素が仮想円に配置されている、請求項に記載の寸法測定 プローブユニット。
  5. 前記第1のラッチ要素及び前記第2のラッチ要素が、回転可能に取り外し可能な運動学的マウントの各部分を形成する、請求項3又は4に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  6. 前記第2のラッチ要素が、前記第1のラッチ要素に含まれた一つの円筒棒と運動学的マウントを形成する2つの球体、又は、前記第1のラッチ要素に含まれた2つの球体と運動学的マウントを形成する1つの円筒棒を含む、請求項3から5のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  7. 記第1の本体と前記第2の本体間の力を受ける間隔リングをさらに備え
    前記間隔リングは、前記第2の本体に対する前記第1の本体の旋回を提供するように構成され、かつ、前記間隔リングの直径方向において正反対に配置された、少なくとも1対の旋回要素を備えた環状リング本体を含む、請求項3から6のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  8. 前記少なくとも1対の旋回要素は2対の前記旋回要素を含み、前記2対の旋回要素のうち第1の対の旋回要素は、前記間隔リングの第1の面上に前記間隔リングの直径方向にお いて互いに正反対の位置に配置され、前記2対の旋回要素のうち第2の対の旋回要素は、前記間隔リングの第2の面上に前記間隔リングの直径方向において互いに正反対の位置に配置され、そして、前記第1の対の旋回要素及び前記第2の対の旋回要素は、前記回転ジョイントの回転軸に対して互いに90°だけオフセットされている、請求項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  9. 前記間隔リングには、さらに前記2対の旋回要素を補完する2対の旋回停止要素が設けられ、前記各旋回停止要素は、前記間隔リングにおける対応する旋回要素とは反対側の面上に、かつ前記対応する旋回要素と同じ角度位置に配置されている、請求項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  10. 前記間隔リングが、少なくとも部分的に黄銅で構成されている、請求項7から9のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  11. 前記第1の本体と前記第2の本体の間に締め付け力を加えて前記第1の本体と前記第2の本体間の相互結合接触を維持するように構成された回転可能なねじ込みカラーをさらに備え
    前記間隔リングは、前記回転可能なねじ込みカラーと結合接触状態で配置されて、前記回転可能なねじ込みカラーが締め付けられたときに可逆的に圧縮されるようになっている、請求項7から10のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  12. 記回転ジョイントによって採用された角度を測定するとともに、測定された角度に応じた信号を提供するように構成された角度測定アセンブリをさらに備えている、請求項 から11のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  13. 前記角度測定アセンブリが、
    前記プローブユニットインターフェースに対して固定された関係で前記回転軸に沿って配向されたシャフトと、
    前記第2の本体に対する前記第1の本体の角度位置に基づいて光を閉塞するように構成され、かつ、前記シャフトに取り付けられた幾何学的構造と、
    を含む角度測定部材を備えている、請求項12に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  14. 前記幾何学的構造が、1以上の傾斜面を含む、請求項13に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  15. 前記測定プローブが、外側ハウジングを含み前記プローブユニットインターフェースと前記外側ハウジング間の距離が、前記回転ジョイントの周りの前記測定プローブの回転が前記プローブヘッド又は前記ローカライザーとの衝突を回避できる程度に最小化されている、請求項1から14のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  16. 前記測定プローブが、光プローブである、請求項1から15のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  17. 前記測定プローブが、寸法測定値に応じた信号を出力するように構成されている、請求項1から16のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  18. 前記測定プローブに組み込まれた前記回転ジョイントが1つのみである、請求項1から 17のいずれか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  19. 前記回転ジョイントには、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成された回転制限装置が設けられている、請求項1から18のいずれか一項に記載の寸法測定 プローブユニット。
  20. 前記回転制限装置が、1対の要素を含み、前記1対の要素のうち一方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニースロットであり、前記1対の要素のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち他方に配置され、かつ、前記キドニースロットに係合するように構成されたピンである、請求項19に記載の寸法測定 プローブユニット。
  21. 前記回転ジョイントには、前記回転ジョイントの回転の程度を制限するように構成され た回転制限装置が設けられ
    前記回転制限装置が、1対の要素を含み、前記1対の要素のうち一方は、前記第1の本 体及び前記第2の本体のうち一方に配置されたキドニースロットであり、前記1対の要素 のうち他方は、前記第1の本体及び前記第2の本体のうち他方に配置され、かつ、前記キ ドニースロットに係合するように構成されたピンであり、
    前記キドニースロットが、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの制限された回転範囲まで前記第1の本体と前記第2の本体の相互回転を許可する第1の深さで設けられ、かつ、さらに、前記ピンに係合して、前記回転ジョイントの個別の回転角度と一致する複数の個別の角度で前記第1の本体及び前記第2の本体の相対角度位置を繰り返し係止する複数の個別のノッチを備えた、請求項2から11のいずれか1項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  22. 前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみである、請求項1から21のいず れか一項に記載の寸法測定用のプローブユニット。
  23. 前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度である、請求項22に記載の 寸法測定用のプローブユニット。
  24. 前記ローカライザーは、前記物体に対して前記寸法測定用のプローブユニットを移動す るように構成された可動支持体である、請求項1から23のいずれか一項に記載の寸法測 定用のプローブユニット。
  25. さらなる移動の自由度を提供するように物体の寸法測定用測定プローブを適合させる方法であって、
    第1の本体と、プローブヘッドへの繰り返し取り外し可能な接続のためのプローブユニットインターフェースに固定された第2の本体と、を備えた回転ジョイントであって、前 記第2の本体が、前記回転ジョイントの回転軸の周りに前記第1の本体に対して回転可能 に配置されている回転ジョイントを用意するステップと、
    前記回転ジョイントによって前記プローブユニットインターフェースが前記測定プローブに回転可能に接続されるように、前記測定プローブに前記回転ジョイントの前記第1の 本体を取り外しができないように取り付けるステップと、
    を含む方法。
  26. 前記回転ジョイントの移動の自由度は、一自由度のみである請求項25記載の方法。
  27. 前記回転ジョイントの移動の自由度は、回転方向の自由度である、請求項26に記載の 方法。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3759428B1 (en) * 2018-02-28 2024-08-14 DWFritz Automation, Inc. Metrology system
EP3827219B1 (en) 2018-07-26 2023-08-30 TESA Sàrl Accessory for rotary probe support
EP4015986B1 (en) * 2020-12-18 2024-10-16 TESA Sàrl Contactless sensor unit for a coordinate measuring machine
US20240230325A9 (en) * 2021-02-17 2024-07-11 Renishaw Plc Articulated member
EP4321834A1 (en) * 2022-08-10 2024-02-14 Renishaw PLC Indexed articulated joint comprising a sensor for establishing a state of engagement and associated metrology apparatus
KR102547242B1 (ko) * 2022-12-28 2023-07-12 한전케이피에스 주식회사 프로브 장치 및 조절 가능한 확장식 프로브 장치 거치대

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1593050A (en) * 1976-09-30 1981-07-15 Renishaw Electrical Ltd Contact sensing probe
JPH0285709A (ja) * 1988-09-22 1990-03-27 Hitachi Ltd 多関節ロボットを用いた物体計測方法と計測装置
JP2551607Y2 (ja) * 1991-06-14 1997-10-27 株式会社ニコン 変位測定プローブ装置
IT1279210B1 (it) * 1995-05-16 1997-12-04 Dea Spa Dispositivo e metodo di visione per la misura tridimensionale senza contatto.
GB9515311D0 (en) 1995-07-26 1995-09-20 3D Scanners Ltd Stripe scanners and methods of scanning
DE19605776A1 (de) * 1996-02-16 1997-08-21 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit einem Taststift, dessen Orientierung einstellbar ist
EP1342050B1 (de) 2000-09-28 2006-06-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Ermittlung von korrekturparametern einer dreh- schwenkeinheit mit messendem sensor ( koordinatenmessgerät ) über zwei parameterfelder
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
FR2837567B1 (fr) 2002-03-19 2005-05-06 Romain Granger Capteur pour machine de mesure de coordonnees tridimensionnelles
EP1391690B1 (en) 2002-08-14 2015-07-01 3D Scanners Ltd Optical probe for measuring features of an object and methods therefor
JP4707306B2 (ja) 2003-02-28 2011-06-22 株式会社小坂研究所 多関節型座標測定装置
FR2868349B1 (fr) 2004-04-06 2006-06-23 Kreon Technologies Sarl Palpeur mixte, optique et mecanique et procede de recalage y afferant
US7400414B2 (en) 2005-10-31 2008-07-15 Mitutoyo Corporation Hand-size structured-light three-dimensional metrology imaging system and method
WO2007088570A2 (en) 2006-02-02 2007-08-09 Metris Ipr Nv Probe for gauging machines
JP5728769B2 (ja) * 2006-11-20 2015-06-03 ヘキサゴン メトロロジー アクチボラゲット 継ぎ手を改良された座標測定機
DE102007022326B4 (de) 2007-05-08 2022-07-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät
JP2009053184A (ja) * 2007-07-30 2009-03-12 Hexagon Metrology Kk 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置
US7908757B2 (en) * 2008-10-16 2011-03-22 Hexagon Metrology, Inc. Articulating measuring arm with laser scanner
DE102009008722A1 (de) * 2009-02-06 2010-08-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie ein Tastkopfsystem für ein solches Koordinatenmessgerät
US9607239B2 (en) * 2010-01-20 2017-03-28 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
DE102010006505B4 (de) * 2010-01-28 2013-09-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät mit passivem Dreh-Schwenk-Mechanismus
CN103229018A (zh) 2010-10-27 2013-07-31 株式会社尼康 形状测定装置、结构的制造方法以及结构制造系统
WO2013144293A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-03 Nikon Metrology Nv Improved optical scanning probe
DE102012103934B3 (de) 2012-05-04 2013-08-29 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Optischer Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
EP2677270B1 (en) * 2012-06-22 2015-01-28 Hexagon Technology Center GmbH Articulated Arm CMM
GB201309506D0 (en) * 2013-05-28 2013-07-10 Renishaw Plc Methods of controlling a coordinate positioning machine
JP7042620B2 (ja) * 2015-04-29 2022-03-28 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー サブディビジョナルエラーを決定する方法

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Publication number Publication date
JP2017514119A (ja) 2017-06-01
EP3129750B1 (en) 2023-05-31
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CN106461384A (zh) 2017-02-22
US20180172442A1 (en) 2018-06-21
EP3129750A1 (en) 2017-02-15
US10267629B2 (en) 2019-04-23
WO2015155209A1 (en) 2015-10-15

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