JP2024505985A - ポンプ装置及びシステム - Google Patents

Abstract

本発明は、第１のポンプ（９）及び少なくとも１つの制御装置（１７）を有するポンプ装置（３）を開示する。少なくとも１つの制御装置（１７）は、第１のポンプ（９）を制御するための第１の制御信号（ＳＯＵＴ１）を生成するのに適している。少なくとも１つの制御装置（１７）は、第２のポンプ（２７）の動作を制御するための第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）を生成するのに適している。第２のポンプ（２７）はポンプ装置（３）の外部にある。１又は２以上のポンプ接続ポート（３９）は、第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）を第２のポンプ（２７）に出力するためにポンプ装置（３）に設けられている。また、本開示は、本明細書に記載のタイプのポンプ装置（３）を含む真空システム（１）に関する。【選択図】図２

Description

本開示は、ポンプ装置及びシステムに関する。より詳細には、限定されるものではないが、本開示は、真空システムのための真空ポンプ装置、及び真空システムに関する。

質量分析システムなどの特定の真空システムは、複数の真空チャンバを備える場合がある。圧力は、連続するチャンバを通して段階的に減圧される。各チャンバは、狭窄部を介して隣接するチャンバと連通し、必要な真空を提供するために個別のポンプを必要とする。従来、このようなシステムのポンピングは、複数のポンプ（各チャンバに１又は２以上のポンプ）を使って行われていた。高真空チャンバをポンピングするために、ターボポンプ又はターボ分子ポンプなどの高真空ポンプが存在する場合があるが、低真空チャンバ（複数可）は、スクロールポンプ又はルーツポンプなどの他の低真空ポンプによってポンピングされる。ターボポンプ又はターボ分子ポンプは二次ポンプとすることができ、別のポンプ（本明細書ではバッキングポンプと呼ぶ）によって補助することができる。バッキングポンプは、例えばスクロールポンプである。

ポンプ制御装置は、通常、制御装置を収容するポンプの制御及び／又は監視のみに焦点を合わせている。一般的に、一次真空ポンプ及び二次真空ポンプは、１又は２以上の真空計、真空バルブ、その他の付属品とともに設置され、これらは真空システムに組み込まれている。その結果、ユーザーは、真空システム内のさまざまな構成要素の統合に対処する場合がある。真空システム内に配置された真空ポンプは、個別の制御装置を有する場合がある。多くの場合、ユーザーは独自の真空システム制御装置を開発する必要があり、及び／又はターボ機器制御装置（ＴＩＣ）のような追加の制御装置を組み込む必要がある。システム制御装置は、各真空ポンプを制御及び監視するハブ制御ユニットとして機能する場合がある。真空システムは、各真空ポンプの適切な制御を行うために複雑な制御システムを必要とする場合がある。

少なくとも特定の実施形態において、本発明は、従来技術に関連する問題の少なくとも一部に対処又は改善しようとするものである。

本発明の各態様は、添付の特許請求の範囲に記載されたポンプ装置及び真空システムに関する。

本発明の一態様によれば、ポンプ装置が提供され、ポンプ装置は、
第１のポンプと、
少なくとも１つの制御装置であって、
第１のポンプを制御するための第１の制御信号と、
第２のポンプを制御するための第２の制御信号と、
生成するための少なくとも１つの制御装置と、
を備え、
第２のポンプは、ポンプ装置の外部にあり、ポンプ装置は、第２の制御信号を第２のポンプに出力するための１又は２以上のポンプ接続ポートを備える。ポンプ装置は、自己完結型の装置とすることができる。ポンプ装置は、例えば、第１のポンプ及び少なくとも１つの制御装置が収容されるハウジングを備えることができる。１又は２以上のポンプ接続ポートは、ポンプ装置と第２のポンプとの間のハードウェアインターフェースを提供するように構成されている。第２のポンプは、例えば別個の装置としてポンプ装置の外部に配置されている。ポンプ装置内に配置された少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び第２のポンプを制御するように動作可能なマスター制御装置として機能することができる。随意的に、第２のポンプは、例えば、第２の制御信号を処理し、第２のポンプの動作を制御するための別個の制御装置を備えることができる。この構成では、第２の制御装置は、スレーブ制御装置として機能することができる。

第２の制御信号は、例えば真空システムの設定中に又は真空システムの再構成中に、第２のポンプを構成するために出力することができる。代替的に又は追加的に、第２の制御信号は、真空システムの動作中に第２のポンプを制御するために出力することができる。

少なくとも１つの制御装置は、ポンプ装置に組み込まれている。少なくとも１つの制御装置は、ハブ制御装置又はシステム制御装置として機能し、第２のポンプへの接続及び制御を可能にする。

少なくとも１つの制御装置は、圧力センサ（例えば真空センサ又は真空ゲージ）、真空バルブ又は冷却ファンなどの真空アクセサリ、及びインターフェースのうちの１又は２以上の直接接続をサポートすることができる。インターフェースは、例えば、制御プロセス及び／又は監視プロセスを実行するために、改善された接続性を提供することができる。改善された接続性により、これらのプロセスを局所及び／又は遠隔で実行することができる。

少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び第２のポンプの各々を監視及び／又は制御することができる。

少なくとも特定の実施形態において、１又は２以上のポンプ接続ポートは、相補的コネクタに接続するように構成されている。各ポンプ接続ポートは、雄型又は雌型の電気コネクタを備えるか又はこれで構成することができる。１又は２以上のポンプ接続ポートは、ポンプ装置に組み込むことができる。１又は２以上のポンプ接続ポートは、ハウジングに固定することができる。

使用時、電気コネクタは、ポンプ装置と第２のポンプとの間に設けることができる。電気コネクタは、例えば、ケーブル又はワイヤを備えることができる。ケーブル又はワイヤは、１又は２以上のポンプ接続ポートと協働して通信路を確立するためのコネクタを有することができる。通信路は、例えばポンプ装置から第２のポンプへの通信を可能にするために、一方向通信を提供することができる。あるいは、通信路は、例えば、第２のポンプへの及びそこからの通信を可能にするために、双方向通信を提供することができる。

１又は２以上のポンプ接続ポートは、第２のポンプに第２の制御信号を出力するように構成することができる。１又は２以上のポンプ接続ポートは、第２のポンプから１又は２以上の動作信号を受け取るように構成することができる。１又は２以上のポンプ接続ポートは、少なくとも１つの制御装置と第２のポンプに関連する制御装置との間の通信を可能にすることができる。例えば、第２のポンプは、第２のポンプ制御装置を有することができる。この少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプ制御装置から少なくとも１つの動作パラメータを受け取ることができる。少なくとも１つの動作パラメータは、第２のポンプの動作速度、第２のポンプの入口圧力、第２のポンプの出口圧力、第２のポンプの動作負荷、故障データ、及び診断情報のうちの１又は２以上を含むことができる。１又は２以上の動作信号の第１の制御装置への伝送は、第２のポンプの監視を容易にすることができる。

ポンプ装置は、真空ポンプ装置とすることができる。第１のポンプは真空ポンプとすること、及び／又は第２のポンプは真空ポンプとすることができる。第１のポンプは一次真空ポンプとすること及び第２のポンプは二次真空ポンプとすることができる。あるいは、第１のポンプは二次真空ポンプとすること及び第２のポンプは一次真空ポンプとすることができる。

少なくとも特定の実施形態では、少なくとも１つの制御装置は、ポンプ装置に組み込まれ、第１のポンプを制御及び監視すると共に第２のポンプを制御及び監視するように構成されている。第２のポンプは、真空システム内で第１のポンプに直接接続される別個のユニットとすることができる。また、少なくとも１つの制御装置は、真空システム内に設けられた１又は２以上の真空センサ／アクチュエータに接続することができる。少なくとも特定の実施形態では、少なくとも１つの制御装置は、システムレベルの統合を容易にし、追加のシステムレベルの制御装置の必要性を低減又は取り除くことができる。

少なくとも１つの制御装置は、少なくとも１つの電子プロセッサと記憶装置とを備えることができる。少なくとも１つの電子プロセッサは、入力信号を受け取るための少なくとも１つの電気入力と、第１のポンプへの第１の制御信号及び／又は第２のポンプへの制御信号を出力するための少なくとも１つの電気出力と、を有することができる。

少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプの１又は２以上の動作パラメータを示す動作信号を受け取るように構成することができる。少なくとも１つの制御装置は、動作信号に基づいて、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、プロセスチャンバの目標動作圧力を示す圧力要求信号を受け取るように構成することができる。動作圧力要求信号は、ユーザーが直接入力することができる。あるいは、動作圧力要求信号は、例えば、実行される複数の動作プロセスのうちの１つを選択するなどのユーザー選択によって生成することができる。動作圧力要求信号は、目標動作圧力を示すことができる。目標動作圧力は予め設定することができる。例えば、目標動作圧力は、所定の動作プロセスに対して予め設定することができる。

少なくとも１つの制御装置は、圧力要求信号に基づいて、第１のポンプ及び第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。

ポンプ装置は、ユーザー入力に基づいて圧力要求信号を生成するように構成された少なくとも１つの入力装置を備えることができる。ユーザー入力は、複数の動作プロセスのうちの１つを特定することができる。少なくとも１つの制御装置は、複数の動作プロセスのうちの特定された１つに基づいて圧力要求信号を生成するように構成することができる。動作プロセスは、予め設定することができる。

ポンプ装置は、第１のポンプの入口圧力を測定するための入口圧力センサ及び／又は第１のポンプの出口圧力を測定するための出口圧力センサを備えることができる。

少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプの測定された入口圧力及び／又は第１のポンプの測定された出口圧力に基づいて、第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、（作業）プロセスチャンバ内の動作圧力を示す動作圧力信号を受け取るための入力を備えることができる。少なくとも１つの制御装置は、動作圧力信号に基づいて、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。動作圧力は、例えば、プロセスチャンバに関連する真空センサ又は真空ゲージによって測定することができる。

少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプの１又は２以上の動作パラメータを示す動作信号を受け取るように構成することができる。少なくとも１つの制御装置は、例えば、第１のポンプの遠隔監視を可能にするために、１又は２以上の動作パラメータを出力するように構成することができる。少なくとも１つの制御装置は、動作信号に基づいて、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプの１又は２以上の動作パラメータを示す動作信号を受け取るように構成することができる。少なくとも１つの制御装置は、例えば、第２のポンプの遠隔監視を可能にするために、１又は２以上の動作パラメータを出力するように構成することができる。少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプからの動作信号に基づいて、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。

少なくとも特定の実施形態において、少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの動作を選択的に制御するように構成されている。例えば、少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び第２のポンプをそれぞれ通電及び非通電するための第１のスイッチ及び第２のスイッチを制御するように構成することができる。第１のスイッチ及び第２のスイッチの各々は、継電器などの電気機械式スイッチを含むことができる。第２のスイッチは、第２のポンプに設けることができる。第２の制御信号は、第２のスイッチの動作を制御するために出力することができる。

ポンプ装置は、第１のポンプに電力を供給するための第１の電源を備えることができる。第１の電源は、第２のポンプに電力を供給するように構成することもできる。第１のポンプは、第２のポンプに電力を供給するための電力出力部を備えることができる。電力出力部は、電気ソケットなどの電気コネクタを含むことができる。電気コネクタとポンプ接続ポートは、一体とすること又は互いに別々とすることができる。

代替的に又は追加的に、ポンプ装置は、第２のポンプに電力を供給するための第２の電源を備えることができる。少なくとも１つの制御装置は、第１の電源及び／又は第２の電源の動作を制御するように構成することができる。ポンプ装置は、第２の電源から第２のポンプに電力を供給するための電力出力部を備えることができる。

第１のポンプは、真空システムのための一次ポンプを含むことができる。一次ポンプは、バッキングポンプを含むことができる。一次ポンプは、例えばスクロールポンプとすることができる。第２のポンプは、真空システムのための二次ポンプである。二次ポンプは、例えば、ターボポンプ又はターボ分子ポンプを含むことができる。変形例では、第１のポンプと第２のポンプの構成を逆にすることもできる。第１のポンプは、二次ポンプを含むことができ、第２のポンプは、一次ポンプを含むことができる。

少なくとも１つの制御装置は、起動手順の間、第１のポンプ及び第２のポンプを制御するように構成することができる。起動手順は、同時的作動、連続的作動、順次的作動、及びスケジュールされた作動のうちの１つのプロセスを含むことができる。あるいは、少なくとも１つの制御装置は、測定された圧力に基づいて動的起動手順を実施するように構成することができる。圧力は、第１のポンプ及び第２のポンプの一方又は両方の入口及び／又は出口で測定することができる。代替的に又は追加的に、圧力は、プロセスチャンバ内で測定することができる。代替的に又は追加的に、少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプによる第１の消費電力を決定するように構成することができる。第１の消費電力は、測定すること又はモデル化することができる。少なくとも１つの制御装置は、第１の消費電力が減少したときに第２のポンプを作動させることができる。

少なくとも１つの制御装置は、運転停止手順の間、第１のポンプ及び第２のポンプを制御するように構成することができる。運転停止手順は、同時的停止、連続的停止、順次的停止、及びスケジュールされた停止のうちの１つのプロセスを含むことができる。あるいは、少なくとも１つの制御装置は、測定された圧力に基づいて動的運転停止手順を実施するように構成することができる。圧力は、第１のポンプ及び第２のポンプの一方又は両方の入口及び／又は出口で測定することができる。代替的に又は追加的に、圧力はプロセスチャンバ内で測定することができる。代替的に又は追加的に、少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプの第１の動作速度及び／又は第２のポンプの第２の動作速度に基づいて、動的運転停止手順を実施するように構成することができる。例えば、第１及び第２のポンプの運転停止は、時間差シーケンスで（すなわち、順々に）開始することができる。少なくとも１つの制御装置は、第１及び第２のポンプのうちの一方を制御して、そのポンプの動作速度を、例えば所定のレベル（動作速度の３０％、５０％、又は７０％など）まで低下させることができる。次に、少なくとも１つの制御装置は、第１及び第２のポンプのうちの他方を制御して、そのポンプの動作速度を低下させることができる。第１及び第２のポンプの運転停止は、その後、同時に開始することができる。

同様の構成を有する２又は３以上のポンプ装置は、互いに接続することができる。第２のポンプは、同様の構成を有するポンプ装置の第２のものに配置することができる。少なくとも１つの制御装置は、同様の構成を有するポンプ装置の第２のものに配置された第２のポンプを制御するために、第２の制御信号を出力するように構成することができる。逆に、少なくとも１つの制御装置は、同様の構成を有する別のポンプ装置から受け取った１又は２以上の制御信号に基づいて、第１のポンプを制御するように構成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、ポンプ装置の外部に配置された１又は２以上の追加のポンプを制御するのに適する場合がある。少なくとも１つの制御装置は、例えば、少なくとも第３のポンプを制御することができる。少なくとも１つの制御装置は、第３のポンプの動作を制御するための第３の制御信号を出力するように構成することができる。第３のポンプは、ポンプ装置の外部に配置することができる。

少なくとも１つの制御装置は、インターネットなどのネットワークに接続するように構成することができる。ポンプ装置は、例えば、ハブ又はルータなどのネットワーク装置への無線接続を確立するための無線通信モジュールを備えることができる。代替的に又は追加的に、ポンプ装置は、ハブ又はルータなどのネットワーク機器への有線接続を確立するためのネットワークポートを備えることができる。インターネットプロトコル（ＩＰ）アドレスは、制御ユニットに割り当てることができる。少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの動作パラメータを出力するように構成することができる。運転パラメータは、例えばインターネットブラウザアプリケーションを介して、遠隔端末からアクセスすることができる。この構成は、第１のポンプ及び／又は第２のポンプの遠隔制御、構成、及び監視を容易にすることができる。

本発明のさらなる態様によれば、真空システムが提供される。真空システムは、
本明細書に記載のポンプ装置であって、第１のポンプ及び少なくとも１つの制御装置を備えるポンプ装置と、
ポンプ装置の外部に配置された第２のポンプと、
を備え、
少なくとも１つの制御装置は、ポンプ装置内に配置され、第１のポンプ及び第２のポンプの動作を制御するように構成されている。ポンプ装置内に配置された少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び第２のポンプを制御するように動作可能なマスター制御装置として機能することができる。随意的に、第２のポンプは、スレーブ制御装置として機能することができる別個の制御装置を備えることができる。真空システムは、本明細書に記載されるポンプ装置の２以上を備えることができる。例えば、２又は３以上のポンプ装置を設けることができる。複数のポンプ装置の各々の制御装置（複数可）は、例えばネットワーク構成で互いに接続することができる。

第１のポンプは、真空システムのための一次ポンプを含むことができる。一次ポンプは、バッキングポンプを含むことができる。一次ポンプは、例えばスクロールポンプとすることができる。第２のポンプは、真空システムのための二次ポンプとすることができる。二次ポンプは、例えば、ターボポンプ又はターボ分子ポンプを含むことができる。変形例では、第１のポンプと第２のポンプの構成を逆にすることもできる。第１のポンプは二次ポンプを含み、第２のポンプは一次ポンプを含むことができる。

使用時、電気的接続は、ポンプ装置と第２のポンプとの間に設けることができる。電気的接続は、例えば、ケーブル又はワイヤを備えることができる。ケーブル又はワイヤは、１又は２以上のポンプ接続ポートと協働して通信路を確立するためのコネクタを有することができる。通信路は、例えばポンプ装置から第２のポンプへの通信を可能にするために、一方向通信を提供することができる。あるいは、通信路は、例えば、第２のポンプへの又はそこからの通信を可能にするために、双方向通信を提供することができる。

１又は２以上のポンプ接続ポートは、第２のポンプに第２の制御信号を出力するように構成することができ、随意的に、第２のポンプから１又は２以上の動作信号を受け取るように構成することもできる。１又は２以上のポンプ接続ポートは、少なくとも１つの制御装置と第２のポンプに関連する制御装置との間の通信を可能にすることができる。例えば、第２のポンプは、第２のポンプ制御装置を有することができる。少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプ制御装置から少なくとも１つの動作パラメータを受け取ることができる。少なくとも１つの動作パラメータは、第２のポンプの動作速度、第２のポンプの入口圧力、第２のポンプの出口圧力、第２のポンプの動作負荷、故障データ、及び診断情報のうちの１又は２以上を含むことができる。

本発明のさらなる態様によれば、真空システムが提供される。真空システムは、
第１のポンプ及び少なくとも１つの制御装置を含むポンプ装置と、
ポンプ装置の外部に配置された第２のポンプと、
を備え、
ポンプ装置内に配置された少なくとも１つの制御装置は、第１のポンプ及び第２のポンプの動作を制御するように構成されている。

少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプの動作を制御するために１又は２以上の制御信号を出力するように構成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、第２のポンプから１又は２以上の動作信号を受け取るように構成することができる。動作信号は、第２のポンプの１又は２以上の動作パラメータを示すことができる。

ポンプ装置は、第２のポンプと通信するためのインターフェースを備えることができる。インターフェースは、一方向通信又は双方向通信を実施するように構成することができる。ポンプ装置は、第２のポンプの動作を制御するために１又は２以上の制御信号を出力するための１又は２以上のポンプ接続ポートを備えることができる。ポンプ接続ポートは、１又は２以上の通信ラインを備えることができる。ポンプ接続ポートは、第２のポンプから１又は２以上の動作信号を受け取るのに適することができる。

本発明のさらなる態様によれば、第１のポンプ及び第２のポンプを制御するための制御装置が提供され、制御装置は、第１のポンプの動作圧力を示す第１の圧力信号及び第２のポンプの動作圧力を示す第２の圧力信号を受け取るように構成され、制御装置は、
第１のポンプを制御するための第１の制御信号と、
第２のポンプを制御するための第２の制御信号と、
を生成するように構成されており、
第１及び第２の制御信号は、第１及び第２の圧力信号に基づいて生成される。

制御装置は、少なくとも１つの電子プロセッサ及び記憶装置を備えることができる。少なくとも１つの電子プロセッサは、第１の圧力信号及び第２の圧力信号を受け取るための少なくとも１つの電気入力を有することができる。少なくとも１つの電子プロセッサは、第１の制御信号を第１のポンプに出力し、第２の制御信号を第２のポンプに出力するための少なくとも１つの電気出力を有することができる。

少なくとも１つの電気入力は、第１のポンプの入口圧力又は出口圧力を測定するための第１の圧力センサから第１の圧力信号を受け取るように構成することができる。

少なくとも１つの電気入力は、第２のポンプの入口圧力又は出口圧力を測定するための第２の圧力センサから第２の圧力信号を受け取るように構成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、プロセスチャンバ内の動作圧力を示す動作圧力信号を受け取るように構成することができる。第１及び第２の制御信号は、動作圧力信号に基づいて生成することができる。

少なくとも１つの制御装置は、圧力要求信号に基づいて、第１のポンプ及び第２のポンプの動作を制御するように構成することができる。

本発明のさらなる態様によれば、本明細書に記載の制御装置を含むポンプ装置が提供される。第１のポンプは、ポンプ装置内に配置することができる。ポンプ装置は、ポンプ装置の外部にある第２のポンプに電気的に接続するための１又は２以上のポンプ接続ポートを備えることができる。

本明細書に記載される制御ユニット又は制御装置は、好適には、１又は２以上の電子プロセッサを有する計算デバイスを備えることができる。システムは、単一の制御ユニット又は電子制御装置を備えることができ、あるいは、制御装置の異なる機能は、異なる制御ユニット又は制御装置で具現化すること又はホストすることができる。本明細書で使用する場合、「制御装置」又は「制御ユニット」という用語は、単一の制御ユニット又は制御装置、及び何らかの制御機能を提供するために集合的に動作する複数の制御ユニット又は制御装置の両方を含むことを理解されたい。制御装置又は制御ユニットを構成するために、実行される場合、制御ユニット又は計算デバイスに本明細書で規定される制御技術を実行させる、適切な命令セットを提供することができる。命令セットは、好適には、１又は２以上の電子プロセッサに組み込むことができる。あるいは、命令セットは、計算デバイス上で実行されるように、制御装置に関連する１又は２以上のメモリ上に保存されたソフトウェアとして提供することができる。制御ユニット又は制御装置は、１又は２以上のプロセッサ上で実行されるソフトウェアで実装することができる。１又は２以上の他の制御ユニット又は制御装置は、１又は２以上のプロセッサ、随意的に第１の制御装置と同じ１又は２以上のプロセッサ上で実行されるソフトウェアで実装することができる。他の適切な構成を使用することもできる。

本出願の範囲内において、上記の段落、特許請求の範囲、及び／又は以下の説明及び図面に記載された様々な態様、実施形態、実施例、及び代替案、及び詳細にはその個々の特徴は、独立して又何らかの組み合わせで取得できることが明示的に意図されている。すなわち、全ての実施形態及び／又は何らかの実施形態の特徴は、そのような特徴が相容れない場合を除き、何らかの方法及び／又は組み合わせで組み合わせることができる。本出願人は、当初提出された請求項を変更する権利、又はそれに応じて新たな請求項を提出する権利を留保し、これには、当初はそのように請求されていなかったが、何らかの他の請求項の特徴に依存する、及び／又は何らかの他の請求項の何らかの特徴を組み込むように何らかの当初提出された請求項を修正する権利も含まれる。

以下、本発明の１又は２以上の実施形態を例示的に添付の図面を参照して説明する。

本発明の一実施形態によるポンプ装置を備える真空システムを示す。 図１に示すポンプ装置の概略図を示す。 本発明の実施形態による真空システムの動作を示すブロック図を示す。

以下、本発明の実施形態によるポンプ装置３を備える真空システム１について添付図面を参照して説明する。本実施形態による真空システム１は、真空システムである。詳細には、真空システム１は、工業プロセスを実行するためのプロセスチャンバ５内に高真空を生成するように動作可能である。

ポンプ装置３は、第１のハウジング７、第１のポンプ９、第１の制御ユニット１１、第１の電源１３、及び第２の電源１５を備える。ポンプ装置３は、独立型ポンプユニットである。第１のハウジング７は、ポンプ装置３のエンクロージャを形成する。第１のポンプ９、第１の制御ユニット１１、並びに第１及び第２の電源１３、１５は、第１のハウジング７内に配置される。第１のハウジング７は、例えば、第１のポンプ９の整備を行うために分解することができる。しかしながら、通常の運転時には、第１のハウジング７は、第１のポンプ９及び第１の制御ユニット１１を取り囲んでいる。第１の制御ユニット１１は、少なくとも１つの第１の制御装置１７を備え、本明細書で説明するように、マスター制御ユニットとして機能することができる。当該又は各制御装置は、少なくとも１つの第１の電子プロセッサ１９及び記憶装置２１を有する。計算命令のセットは、記憶装置２１に格納されている。実行されると、命令は、第１の電子プロセッサ１９に、本明細書に記載の方法（複数可）を実行させる。第１の電子プロセッサ１９は、少なくとも１つの入力２３と少なくとも１つの出力２５とを備える。本明細書で説明するように、第１の電子プロセッサ１９は、ポンプ装置３内に配置された第１のポンプ９、及びポンプ装置３の外部にある第２のポンプ２７の動作を制御するように構成されている。

第１の制御ユニット１１は、１又は２以上のユーザー入力を受け取るための入力手段に接続されている。入力手段は、１又は２以上の入力装置２９を備える。入力装置２９は、ユーザー要求信号ＳＩＮ１を第１の電子プロセッサ１９の少なくとも１つの入力２３に出力するように構成されている。第１の制御ユニット１１は、ユーザー入力に依存してポンプ装置３の動作を制御するように構成されている。実施形態における入力装置２９は、グラフィカルユーザインターフェースを表示するためのタッチスクリーン３１を備える。タッチスクリーン３１は、例えば、第１のハウジング７の前面パネルに組み込むことができる。タッチパネル３１は、ユーザー入力を検出し、ユーザー要求信号ＳＩＮ１を出力する。タッチスクリーン３１は、例えば、静電容量式スクリーン又は抵抗膜式スクリーンを含むことができる。代替的に又は追加的に、入力装置２９は、１又は２以上のボタン又はスイッチを含むことができる。本実施形態では、入力装置２９はポンプ装置３に組み込まれている。詳細には、入力装置２９は、第１のハウジング７に取り付けられ、有線（物理的）接続を介して第１の制御ユニット１１に接続される。変形例では、入力装置２９は、例えば無線周波数（ＲＦ）通信を含む無線接続を介して第１の制御ユニット１１に接続することができる。第１の制御ユニット１１と入力装置２９との間の通信を確立するために、何らかの適切な通信プロトコルを使用することができる。

第１のポンプ９は、一次ポンプであり、低真空チャンバを排気するように構成されている。第１のポンプ９は、例えば、スクロールポンプを含むことができる。真空システム１は、ポンプ装置３とは別体である第２のポンプ２７を備えている。第２のポンプ２７は、二次ポンプであり、高真空チャンバを排気するように構成されている。第２のポンプ２７は、例えば、ターボ分子ポンプを含むことができる。第１のポンプ９は、第２のポンプ２７のバッキングポンプとして動作するように構成されている。第２のポンプ２７はポンプ装置３とは別体である、すなわちポンプ装置３から独立している。本実施形態における第２のポンプ２７は、第１ハウジング７とは別の第２ハウジング３２を備えている。第２のポンプ２７は、第２の制御ユニット３３を備える。第２の制御ユニット３３は、１又は２以上の電子プロセッサ（図示せず）及び記憶装置を備えることができる。第２の制御ユニット３３は、第１の制御ユニット１１から受け取った制御信号に基づいて第２のポンプ２７を制御するように構成されている。第２の制御ユニット３３は、第１の制御ユニット１１の直接制御下にあるスレーブ制御ユニットとして機能すると考えることができる。第１のポンプ９及び第２のポンプ２７は、プロセスチャンバ５の所望の作動圧力を確立するために、真空システム１内で一緒に動作するように構成されている。

第１の制御ユニット１１はポンプ装置３に組み込まれており、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の動作を制御するように構成されている。ポンプ装置３の第１の制御ユニット１１は、第１のポンプ９を制御するための第１のポンプ制御装置３５と、第２のポンプ２７を制御するための第２のポンプ制御装置３７とを実装するように構成されている。第１のポンプ制御装置３５は、第１のポンプ９の動作を制御するための第１の制御信号ＳＯＵＴ１を出力し、第２のポンプ制御装置３７は、第２のポンプ２７の動作を制御するための第２の制御信号ＳＯＵＴ２を出力する。第１の電子プロセッサ１９に設けられた出力２５の第１のものは、第１の制御信号ＳＯＵＴ１を出力して第１のポンプ９を制御するように構成されている。第１のポンプ９は、第１の制御信号ＳＯＵＴ１に基づいて選択的に作動させることができる。第１のポンプ９の動作速度は、第１の制御信号ＳＯＵＴ１に基づいて制御することができる。第１の制御信号ＳＯＵＴ１は、例えば、第１のポンプ９の目標動作速度を設定することができる。第１の電子プロセッサ１９に設けられた出力２５の第２のものは、第２の制御信号ＳＯＵＴ２を出力して第２のポンプ２７を制御するように構成されている。第２のポンプ２７は、第２の制御信号ＳＯＵＴ２に基づいて選択的に作動させることができる。第２のポンプ２７の動作速度は、第２の制御信号ＳＯＵＴ２に基づいて制御することができる。第２の制御信号ＳＯＵＴ２は、例えば、第２のポンプ２７の目標動作速度を設定することができる。

ポンプ装置３は、第２のポンプ２７に接続するための第１のポンプ接続ポート３９を備える。第１の制御ユニット１１は、第１のポンプ接続ポート３９を介して第２のポンプ２７に第２の制御信号ＳＯＵＴ２を出力するように構成されている。ポンプ接続ポート３９は、ポンプ装置３と第２のポンプ２７との間のハードウェアインターフェースを提供する。ポンプ装置３と第２のポンプ２７との間の通信を制御するために、通信プロトコルが実装される。第１のポンプ接続ポート３９は、例えば、シリアルポート又はパラレルポートで構成することができる。第１のポンプ接続ポート３９は、ポンプ装置３のハウジング７、例えば背面パネル（図示せず）に取り付けられる。接続リード線Ｃ１は、ポンプ接続ポート３９と第２のポンプ２７との間の電気的接続を確立するために設けられる。接続リード線Ｃ１は、例えば、１又は２以上の通信路を有するケーブル又は電線を含む又はそれらで構成される。接続リード線Ｃ１は、ポンプ接続ポート３９に接続するための第１のコネクタを有する。接続リード線Ｃ１は、第２のポンプ２７に接続するための第２のコネクタを有することができる。

本実施形態において、第１の制御ユニット１１は、第２のポンプ２７との双方向通信を提供する。第１の制御ユニット１１は、第２のポンプ２７に１又は２以上の信号を出力すること、及び第２のポンプ２７から１又は２以上の信号を受け取ることができる。第２のポンプ２７は、第１のポンプ接続ポート３９に接続され、使用時、第１の電子プロセッサ１９によって生成された第２の制御信号ＳＯＵＴ２を受け取る。第２のポンプ２７は、第２の制御信号ＳＯＵＴ２に基づいて制御される。随意的に、第２のポンプ２７は、例えば第２のポンプ２７の１又は２以上の動作パラメータを含む動作信号を第１の電子プロセッサ１９に送ることができる。第２のポンプ２７の動作パラメータ（複数可）は、動作速度、消費電力、及び動作負荷のうちの１又は２以上を含むことができる。動作信号は、第１のポンプ接続ポート３９を介して第１の制御ユニット１１に伝達することができる。

上述したように、第１の電源１３及び第２の電源１５は、ポンプ装置３に設けられている。制御ユニット１１は、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の動作を制御するように構成されている。詳細には、制御ユニット１１は、第１のポンプ９及び／又は第２のポンプ２７を選択的に作動する及び停止することができる。ポンプ装置３は、第２のポンプ２７に電力を供給するための電力出力ポート４１を備える。電力出力ポート４１は、適切な電力コネクタを備えることができる。電力出力ポート４１は、ポンプ装置３のハウジング７、例えば背面パネル（図示せず）に取り付けられる。変形例では、第２の電源１５は、ポンプ装置３から省くことができる。第１の電源１３は、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７に電力を供給するように構成することができる。第１の電源１３は、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７に電力を供給するのに適した電力仕様を有することができる。さらなる変形例では、第２の電源１５は、ポンプ装置３及び第２のポンプ２７とは別個の独立型ユニットとすることができる。

第１の電子プロセッサ１９の少なくとも１つの入力２３は、１又は２以上の入力信号ＳＩＮ２－ｎを受け取るように構成されている。１又は２以上の入力信号ＳＩＮ２－ｎは、センサ入力信号ＳＩＮ２－ｎを含む。本実施形態では、第１の電子プロセッサ１９は、第１及び第２の圧力センサ４３、４５からそれぞれ第１及び第２のセンサ入力信号ＳＩＮ２－１、ＳＩＮ２－２を受け取るように構成されている。第１及び第２の圧力センサ４３、４５は、第１及び第２の真空ゲージの形態である。第１及び第２の圧力センサ４３、４５は、第１及び第２のポンプ９、２７によって生成された真空を示すアナログ信号を出力する。あるいは、第１及び第２の圧力センサ４３、４５は、ＲＳ４８５などの通信インターフェースを介して圧力信号を伝達するためのデジタルゲージとすることができる。本実施形態における第１の圧力センサ４３は、ポンプ装置３に設けられ、第１のポンプ９の入口圧力を測定するように構成されている。変形例では、圧力センサ４３は、例えば第２のポンプ２７の入口圧力を測定するために設けられた外部センサとすることができる。第１の圧力センサ４３は、第１のセンサ入力信号ＳＩＮ２－１を第１の電子プロセッサ１９に出力する。第２の圧力センサ４５は、第２のポンプ２７の入口圧力を測定するように構成されている。変形例では、第２の圧力センサ４５は、第２のポンプ２７のチャンバ圧力を測定するように構成することができる。第２の圧力センサ４５は、第２のセンサ入力信号ＳＩＮ２－２を第１の電子プロセッサ１９に出力する（第１のポンプ接続ポート３９を介して）。ポンプ装置３は、第２の圧力センサ４５と有線接続するためのセンサ通信ポート４７を備える。センサ通信ポート４７は、ポンプ装置３のハウジング７、例えば背面パネル（図示せず）に取り付けられている。

ポンプ装置３は、ネットワーク、例えばローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）又はワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して通信するためのネットワークポート４９を備える。本実施形態におけるネットワークポート４９は、ポンプ装置３と基地局ＢＳ１との間の通信を可能にする。また、ネットワークポート４９は、本明細書で説明する複数のポンプ装置３の間の通信を可能にすることもできる。第１の制御ユニット１１は、例えば、１又は２以上の動作信号ＳＯＵＴ３－ｎを基地局ＢＳ１に出力することができる。第１の動作信号ＳＯＵＴ３－１は、第１のポンプ９の１又は２以上の動作パラメータを示すことができる、及び／又は第２の動作信号ＳＯＵＴ３－２は、第２のポンプ２７の１又は２以上の動作パラメータを示すことができる。１又は２以上の動作パラメータ（第１のポンプ９及び／又は第２のポンプ２７に関する）は、消費電力、動作速度、入口圧力、出口圧力、動作温度のうちの１又は２以上を含むことができる。１又は２以上の動作パラメータは、例えば、オペレータが第１のポンプ９及び／又は第２のポンプ２７の動作を監視できるようにするために、タッチスクリーン３１に出力することもできる。特定の実施形態において、第１の制御ユニット１１は、基地局ＢＳ１から制御命令を受け取ることができる。第１の制御ユニット１１は、基地局ＢＳ１から受け取った制御命令に基づいて、第１のポンプ９及び／又は第２のポンプ２７を制御することができる。代替的に又は追加的に、ポンプ装置３は、通信情報を送受信するための無線送受信機を備えることができる。

第１の制御ユニット１１は、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の動作を制御するように構成されている。使用時、プロセスチャンバ５に関して目標動作圧力が設定される。第１の制御ユニット１１は、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７を制御して、目標動作圧力を達成する。第１の制御ユニット１１は、起動手順の間、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７を制御することができる。例えば、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７は、所定の順序で、又は所定の間隔で起動することができる。第１の制御ユニット１１は、第１のポンプ９を作動させ、続いて第１のポンプ９の入口又は第２のポンプ２７の入口で適切な真空圧が達成された場合に第２のポンプ２７を作動させることができる。プロセスチャンバ５の目標動作圧力は、ユーザーによって指定することができる。あるいは、目標動作圧力は、例えばプロセスチャンバ５の動作パラメータを規定する、所定の動作プロセスから得ることができる。

第１の制御ユニット１１は、例えば、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の起動をずらす又は順序付けするような起動手順を実施するように構成することができる。第１及び第２の制御信号ＳＯＵＴ１、ＳＯＵＴ２は、例えば、第１及び第２のポンプ９、２７を同時に、連続して、所定の順序で、又は所定の間隔で作動させることができる。あるいは、起動手順は、第１のポンプ９及び／又は第２のポンプ２７の測定された動作圧力に基づいて動的に制御することができる。第１の制御ユニット１１は、例えば、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の停止を制御するために、運転停止手順を実施するように構成することができる。第１及び第２の制御信号ＳＯＵＴ１、ＳＯＵＴ２は、例えば、第１及び第２のポンプ９、２７を同時に、連続して、所定の順序で、又は所定の間隔で停止することができる。

本明細書で説明するように、真空システム１は、ポンプ装置３の内部に配置された第１のポンプ９と、ポンプ装置３の外部に配置された第２のポンプ２７とを備える。次に、真空システム１の動作を、第１のブロック図１００を参照して説明する。ポンプ装置３を起動する（ブロック１０５）。入力装置２９によってユーザー入力を検出する（ブロック１１０）。入力装置２９がユーザー要求信号ＳＩＮ１を第１の制御ユニット１１に出力する（ブロック１１５）。第１の制御ユニット１１が第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の目標動作パラメータを決定する（ブロック１２０）。第１の制御ユニット１１が起動手順を実行する（ＢＬＯＣＫ１２５）。第１の制御ユニット１１がポンプ装置３内に配置された第１のポンプ９に送られる第１の制御信号ＳＯＵＴ１を生成する（ブロック１３０）。第１のポンプ９は第１の制御信号ＳＯＵＴ１に基づいて作動する。第１の制御ユニット１１が、ポンプ装置３の外部に配置された第２のポンプ２７に出力される第２の制御信号ＳＯＵＴ２を生成する（ブロック１３５）。第２のポンプ２７は、第２の制御信号ＳＯＵＴ２に基づいて作動する。随意的に、第１の制御ユニット１１は、第１のポンプ９に関連する動作圧力、例えば第１のポンプ９の入口圧力又は出口圧力を示す第１のセンサ入力信号ＳＩＮ２－１を受け取ることができる（ブロック１４０）。随意的に、第１の制御ユニット１１は、第２のポンプ２７に関連する動作圧力、例えば第２のポンプ２７の入口圧力又は出口圧力を示す第２のセンサ入力信号ＳＩＮ２－２を受け取ることができる（ブロック１４５）。随意的に、第１の制御ユニット１１は、第１のセンサ入力信号ＳＩＮ２－１に基づいて、第１のポンプ９の動作を動的に制御することができる（ブロック１５０）。随意的に、第１の制御ユニット１１は、第２のセンサ入力信号ＳＩＮ２－２に基づいて、第２のポンプ２７の動作を動的に制御することができる（ブロック１５５）。第１の制御ユニット１１が、プロセスチャンバ５内の目標動作圧力を達成するために、第１のポンプ９及び第２のポンプ２７を制御する（ブロック１６０）。第１の制御ユニット１１が、目標動作圧力を維持するように第１のポンプ９及び第２のポンプ２７の動作制御を継続する（ブロック１６５）。第１の制御ユニット１１が運転停止手順を実行する（ブロック１７０）。随意的に、第１の制御ユニット１１は、第２のポンプ２７に運転停止信号を出力することができる。ポンプ装置３が停止されて処理が終了する。

ポンプ装置３は、本明細書では、ヒューマンマシンインターフェースを提供するための入力装置２９を備えるものとして説明されている。第１のポンプ７及び第２のポンプ９などの真空システム１の主要構成要素は、入力装置２９を使用して構成、制御、及び監視することができる。ポンプ装置３は、１又は２以上の入力装置２９を備えることができることを理解されたい。少なくとも特定の実施形態では、ポンプ装置３は、局所的に配置される（随意的にポンプ装置３に統合される）、又は遠隔に配置されて例えばネットワーク経由で接続することができる、１又は２以上のインターフェースをサポートすることができる。第１の制御ユニット１１は、例えば、ポンプ装置３の設定、制御、及び監視の１又は２以上を含む遠隔（クラウドベース）機能を可能にするために、インターネット経由のアクセスを可能にするように構成することができる。他の入力装置２９は、例えば、ポンプシステム１の監視及び／又は制御を可能にするために、入力装置２９がもたらす機能の１又は２以上を提供することができる。

随意的に、ポンプ装置３は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）などの無線通信モジュールを備えることができる。無線通信モジュールは、例えば、外部の計算デバイス（図示せず）が無線接続を介して第１の制御ユニット１１と通信できるようにすることができる。計算デバイスは、例えば、携帯電話、タブレットコンピュータ、パーソナルコンピュータ、又はラップトップコンピュータのうちの１又は２以上を備えることができる。互換性のあるアプリケーションは、計算デバイスにプレインストールすることができる。代替的に又は追加的に、通信は、例えば、第１の制御ユニット１１に関連するウェブサーバとの通信を確立するために、ウェブブラウザを介して実施することができる。計算デバイスは、例えば、Ｍｏｄｂｕｓ／ＴＣＰ又はＭＱＴＴなどのプロトコルを介して第１のポンプ９及び／又は第２のポンプ２７と通信するために、適切なソフトウェアを使用して第１の制御ユニット１１と通信することができる。

随意的に、ポンプ装置３は、１又は２以上の他の計算デバイスとの有線接続を確立するためのネットワークポートを備えることができる。例えば、ネットワークポートは、イーサネットポートを備えることができる。外部の計算デバイスは、Ｍｏｄｂｕｓ／ＴＣＰ、ＭＱＴＴ、ＯＰＣＵＡなどのプロトコル、又は独自のプロトコルを使用して第１の制御ユニット１１と通信するために、ポンプ装置３に接続することができる。第１の制御ユニット１１は、外部のフィールドバス接続デバイスに接続されるように構成することができる。フィールドバスデバイスは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ／ＩＰ、Ｐｒｏｆｉｎｅｔなどのプロトコルを介して第１の制御ユニット１１と通信することができる。他のプロトコルも企図される。随意的に、第１の制御ユニット１１は、第１の制御ユニット１１との通信のための外部ＲＳ２３２／４８５接続デバイスに接続するように構成することができる。通信は、Ｍｏｄｂｕｓ／ＲＴＵ又は独自のプロトコルなどの何らかの適切なプロトコルを使用して確立することができる。随意的に、ポンプ装置３は、外部ＵＳＢ接続デバイスに接続するためのユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）ポートを備えることができる。

特許請求の範囲から逸脱することなく、本明細書に記載の実施形態（複数可）に様々な変更を加えることができることを理解されたい。

（ブロック図１００）
１０５ 起動する
１１０ ユーザー入力を検出する
１１５ ユーザー入力信号を受け取る
１２０ 第１及び第２のポンプの動作パラメータ（複数可）を決定する
１２５ ポンプ起動手順
１３０ 第１の制御信号を（内部の）第１のポンプに出力する
１３５ 第２の制御信号を（外部の）第２のポンプに出力する
１４０ 第１のポンプの動作圧力を監視する
１４５ 第２のポンプの動作圧力を監視する
１５０ 動作圧力に基づいて第１のポンプの動作を制御する
１５５ 動作圧力に基づいて第２のポンプの動作を制御する
１６０ プロセスチャンバ内で目標動作圧力を達成する
１６５ 目標動作圧力を維持する
１７０ ポンプ運転停止手順
１７５ 終了

１ 真空システム
３ ポンプ装置
５ プロセスチャンバ
７ 第１のハウジング
９ 第１のポンプ
１１ 第１の制御ユニット
１３ 第１の電源
１５ 第２の電源
１７ 第１の制御装置
１９ 第１の電子プロセッサ
２１ 記憶装置
２３ 入力
２５ 出力
２７ 第２のポンプ
２９ 入力装置
３１ タッチスクリーン
３３ 第２の制御ユニット
３５ 第１のポンプ制御装置
３７ 第２のポンプ制御装置
３９ 第１のポンプ接続ポート
４１ 電源出力ポート
４３ 第１の圧力センサ
４５ 第２の圧力センサ
４７ センサ通信ポート
４９ ネットワークポート
ＢＳ１ 基地局
ＳＯＵＴ１ 第１の（ポンプ）制御信号
ＳＯＵＴ２ 第２の（ポンプ）制御信号
ＳＯＵＴ３－ｎ ポンプ動作信号
ＳＩＮ１ ユーザー要求信号
ＳＩＮ２－ｎ センサ入力信号

Claims (18)

1. ポンプ装置（３）であって、
   第１のポンプ（９）と、
   少なくとも１つの制御装置（１７）であって、
   前記第１のポンプ（９）を制御するための第１の制御信号（ＳＯＵＴ１）と、
   第２のポンプ（２７）を制御するための第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）と、
   を生成するための少なくとも１つの制御装置（１７）と、
   を備え、
   前記第２のポンプ（２７）は、前記ポンプ装置（３）の外部にあり、前記ポンプ装置（３）は、前記第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）を前記第２のポンプ（２７）に出力するための１又は２以上のポンプ接続ポート（３９）を備える、ポンプ装置（３）。
2. 前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、少なくとも１つの電子プロセッサ（１９）と記憶装置（２１）とを備え、前記少なくとも１つの電子プロセッサ（１９）は、
   入力信号（ＳＩＮ１、ＳＩＮ２）を受け取るための少なくとも１つの電気入力（２３）と、
   前記第１の制御信号（ＳＯＵＴ１）を前記第１のポンプ（９）に出力するための、及び／又は前記第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）を前記第２のポンプ（２７）に出力するための少なくとも１つの電気出力（２５）と、
   を有する、請求項１に記載のポンプ装置（３）。
3. 前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、前記第２のポンプ（２７）の１又は２以上の動作パラメータを示す動作信号（ＳＩＮ２－ｎ）を受け取るように構成されている、請求項１又は２に記載のポンプ装置（３）。
4. 前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、前記動作信号（ＳＩＮ２－ｎ）に基づいて、前記第１のポンプ（９）及び／又は前記第２のポンプ（２７）の動作を制御するように構成されている、請求項３に記載のポンプ装置（３）。
5. 前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、プロセスチャンバ（５）の目標動作圧力を示す圧力要求信号（ＳＩＮ１）を受け取るように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）。
6. ユーザー入力に基づいて前記圧力要求信号（ＳＩＮ１）を生成するように構成された少なくとも１つの入力装置（２９）を備え、前記ユーザー入力は、複数の動作プロセスのうちの１つを特定し、前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、前記複数の動作プロセスのうちの特定された１つに基づいて前記圧力要求信号（ＳＩＮ１）を生成するように構成されている、請求項５に記載のポンプ装置（３）。
7. 前記第１のポンプ（９）の入口圧力又は出口圧力を測定するための第１の圧力センサ（４３）を備える、請求項１から６のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）。
8. 前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、前記第１のポンプ（９）の測定された前記入口圧力又は前記出口圧力に基づいて、前記第２のポンプ（２７）の動作を制御するように構成されている、請求項７に記載のポンプ装置（３）。
9. 前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、プロセスチャンバ（５）内の動作圧力を示す動作圧力信号を受け取るための入力を備え、前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、前記動作圧力信号に基づいて、前記第１のポンプ（９）及び／又は前記第２のポンプ（２７）の動作を制御するように構成されている、請求項１から８のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）。
10. 前記第１のポンプ（９）に電力を供給するための第１の電源（１３）と、
    前記第２のポンプ（２７）に電力を供給するための第２の電源（１５）と、
    を備える、請求項１から９のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）。
11. 前記第２のポンプ（２７）に電力を供給するための電力出力部（４１）を備える、請求項１から１０のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）。
12. 前記第１のポンプ（９）は、真空システムのための一次ポンプを含む、請求項１から１１のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）。
13. 真空システム（１）であって、
    請求項１から１２のいずれか一項に記載のポンプ装置（３）であって、前記ポンプ装置（３）が、第１のポンプ（９）と少なくとも１つの制御装置（１７）とを備える、ポンプ装置（３）と、
    前記ポンプ装置（３）の外部に配置された第２のポンプ（２７）と、
    を備え、
    前記少なくとも１つの制御装置（１７）は、前記ポンプ装置（３）内に配置され、前記第１のポンプ（９）及び前記第２のポンプ（２７）の動作を制御するように構成されている、真空システム。
14. 前記第２のポンプ（２７）は、真空システムのための二次ポンプである、請求項１３に記載の真空システム。
15. 第１のポンプ（９）及び第２のポンプ（２７）を制御するための制御装置（１７）であって、前記制御装置（１７）は、前記第１のポンプ（９）の動作圧力を示す第１の圧力信号及び前記第２のポンプ（２７）の動作圧力を示す第２の圧力信号を受け取るように構成されており、前記制御装置は、
    前記第１のポンプ（９）を制御するための第１の制御信号（ＳＯＵＴ１）と、
    前記第２のポンプ（２７）を制御するための第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）と、
    を生成するように構成され、
    前記第１及び第２の制御信号（ＳＯＵＴ１、ＳＯＵＴ２）は、前記第１及び第２の圧力信号（ＳＩＮ１、ＳＩＮ２）に基づいて生成される、制御装置（１７）。
16. 制御装置（１７）は、少なくとも１つの電子プロセッサ（１９）と記憶装置（２１）とを備え、前記少なくとも１つの電子プロセッサ（１９）は、
    前記第１の圧力信号（ＳＩＮ１）及び前記第２の圧力信号（ＳＩＮ２）を受け取るための少なくとも１つの電気入力（２３）と、
    前記第１の制御信号（ＳＯＵＴ１）を前記第１のポンプ（９）に出力すると共に前記第２の制御信号（ＳＯＵＴ２）を前記第２のポンプ（２７）に出力するための、少なくとも１つの電気ポンプ接続ポート（３９）と、
    を有する、請求項１５に記載の制御装置（１７）。
17. 請求項１５又は１６に記載の制御装置（１７）を備えるポンプ装置（３）。
18. 前記第１のポンプ（９）は、前記ポンプ装置（３）内に配置され、前記ポンプ装置（３）は、前記ポンプ装置（３）の外部にある前記第２のポンプ（２７）への電気的接続のための１又は２以上のポンプ接続ポートを備える、請求項１７に記載のポンプ装置（３）。

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