JPH09177781A - 磁気軸受装置 - Google Patents

磁気軸受装置

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JPH09177781A
JPH09177781A JP11738196A JP11738196A JPH09177781A JP H09177781 A JPH09177781 A JP H09177781A JP 11738196 A JP11738196 A JP 11738196A JP 11738196 A JP11738196 A JP 11738196A JP H09177781 A JPH09177781 A JP H09177781A
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JP
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magnetic bearing
control
information processing
processing means
signal
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JP11738196A
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Inventor
Hirotomo Kamiyama
拓知 上山
Manabu Taniguchi
学 谷口
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Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 遠隔地から運転状況の把握や制御手段の調整
などができるようにする。 【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体8の位置を検出
する位置センサ12、13、14および回転体8を磁気的に非
接触支持する磁気軸受9、10、11を有する機械本体1
と、位置センサ12、13、14からの信号に基づいて磁気軸
受9、10、11を制御する制御装置2と、制御装置2と離
れた位置に設置されたコンピュータ3と、制御装置2と
コンピュータ3を通信回線6、7で接続するためのモデ
ム4、5とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、回転体を磁気軸
受により磁気的に非接触支持して回転させる磁気軸受装
置に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】たと
えば磁気軸受型ターボ分子ポンプなどの磁気軸受装置
は、回転体の位置を検出する位置センサおよび回転体を
磁気的に非接触支持する磁気軸受を有する機械本体と、
位置センサからの信号に基づいて磁気軸受を制御する制
御手段とから構成されていた。また、1つのメーカーで
製造された多数の磁気軸受装置が遠く離れた様々な場所
にあるユーザーで使用されるが、従来は、それぞれの磁
気軸受装置は互いに独立しており、制御やメンテナンス
は各磁気軸受装置で個別に実施されていた。このため、
現地(ユーザーにおける磁気軸受装置の据付現場)でな
ければ、磁気軸受装置の運転状況の把握や故障診断がで
きなかった。磁気軸受装置を設置した場合、定期的にメ
ンテナンスを行う必要があるが、上記のようにメーカー
側で磁気軸受装置の運転状況などを把握することができ
ないため、その都度、メーカーの技術者が現地に出向い
て、運転状況の把握や故障診断などを実施し、その後、
制御手段の調整などを行う必要があった。そして、この
ような現地における作業を遠く離れた様々なユーザーの
磁気軸受装置ごとに行う必要があり、そのために多くの
時間と労力を要するという問題があった。また、磁気軸
受装置の制御手段における制御回路にはアナログ回路と
ディジタル回路があり、いずれの場合も、使用中に磁気
軸受の制御特性の改良、変更の必要の生じることがある
が、このようなときにも、上記同様、メーカーの技術者
が現地に出向いて、制御回路を調整する必要があった。
【0003】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
遠隔地から運転状況の把握や制御手段の調整などができ
る磁気軸受装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による磁気軸受装置は、回転体の位置を検出する位置
センサおよび前記回転体を磁気的に非接触支持する磁気
軸受を有する機械本体と、前記位置センサからの信号に
基づいて前記磁気軸受を制御する制御手段と、前記制御
手段と離れた位置に設置された情報処理手段と、前記制
御手段と前記情報処理手段を通信回線で接続するための
通信手段とを備えていることを特徴とするものである。
【0005】制御手段と情報処理手段とを通信手段を介
して接続することにより、制御手段と情報処理手段との
間でデータの送受信ができ、遠隔地に設置した情報処理
手段を用いて、機械本体の運転状況を把握したり、制御
手段の調整を行ったりすることができる。
【0006】通信手段は、制御手段と情報処理手段との
間の双方向の通信ができるものが望ましいが、少なくと
も制御手段から情報処理手段への送信ができるものであ
ればよい。
【0007】制御手段から情報処理手段への送信だけが
行われる場合、たとえば、制御手段が機械本体の運転状
況に関するデータ(たとえば回転体の位置に関するデー
タや磁気軸受の制御電流値に関するデータなど)を通信
手段を介して情報処理手段に送信する。
【0008】このようにすれば、情報処理手段で機械本
体の運転状況を把握することができる。したがって、情
報処理手段をメーカーに設置しておけば、現地に出向か
なくても、メーカー側で機械本体の運転状況を把握する
ことができる。そして、この運転状況に関するデータか
ら、故障診断を行うこともでき、故障診断の結果、現地
での制御手段の調整が必要になった場合でも、現地では
制御手段の調整だけを行えばよく、現地での作業時間が
短くてすむ。また、制御手段の調整だけであれば、場合
によっては、ユーザーの技術者が行うこともできる。
【0009】制御手段と情報処理手段との間の双方向の
通信が行われる場合、たとえば、制御手段が機械本体の
運転状況に関するデータを通信手段を介して情報処理手
段に送信し、情報処理手段が磁気軸受の制御パラメータ
を通信手段を介して制御手段に送信する。
【0010】このようにすれば、上記同様、機械本体の
運転状況に関するデータを制御手段から情報処理手段に
送信することにより、情報処理手段で機械本体の運転状
況を把握することができ、磁気軸受の制御パラメータを
情報処理手段から制御手段に送信することにより、制御
手段の調整を行うことができる。したがって、情報処理
手段をメーカーに設置しておけば、現地に出向かなくて
も、メーカー側で、機械本体の運転状況の把握、故障診
断および制御手段の調整などを行うことができる。この
場合、磁気軸受の制御パラメータなど、磁気軸受の制御
に関するデータは、機械本体の運転状況や故障診断の結
果などに基づいて情報処理手段で自動的に決定されるよ
うにしてもよいし、技術者が決定して情報処理手段に入
力するようにしてもよい。
【0011】たとえば、前記機械本体と前記制御手段の
組が複数組設けられている。
【0012】機械本体と制御手段の各組は、1箇所に設
置されることもあるし、互いに離れた複数箇所に設置さ
れることもある。
【0013】このようにすれば、共通(1つまたは複
数)の情報処理手段により、遠隔地にある複数の機械本
体の運転状況の把握、あるいは機械本体の運転状況の把
握および制御手段の調整などを行うことができる。した
がって、情報処理手段をメーカーに設置しておくことに
より、様々なユーザーの様々な場所に設置した機械本体
および制御手段をメーカー側で集中管理することができ
る。
【0014】たとえば、制御手段が、位置センサからの
アナログ信号をディジタル位置信号に変換して出力する
A/D変換器と、ディジタル位置信号に基づいて磁気軸
受に供給する制御電流値を求めディジタル制御信号とし
て出力するディジタル信号処理プロセッサと、ディジタ
ル制御信号をアナログ信号に変換して磁気軸受に出力す
るD/A変換器とを備えている。
【0015】この明細書において、ディジタル信号処理
プロセッサ(Digital Signal Processor)とは、ディジ
タル信号を入力してディジタル信号を出力し、ソフトウ
ェアプログラムが可能で、高速実時間処理が可能な専用
ハードウェアを指す。なお、以下、これをDSPと略す
ことにする。
【0016】制御手段がDSPを備えていると、信号の
高速実時間処理ができる。
【0017】たとえば、制御手段が、位置センサから得
られた回転体の位置に関するデータおよびディジタル信
号処理プロセッサで求められた磁気軸受の制御電流値に
関するデータを記憶する第1のメモリ手段と、情報処理
手段から通信手段を介して送信されてきた磁気軸受の制
御パラメータを記憶する第2のメモリ手段とを備え、デ
ィジタル信号処理プロセッサが、回転体の位置に関する
データおよび磁気軸受の制御電流値に関するデータを第
1のメモリ手段に出力し記憶させるとともに、第2のメ
モリ手段から磁気軸受の制御パラメータを読み出して新
しい制御パラメータとし、情報処理手段が、第1のメモ
リ手段から回転体の位置に関するデータおよび磁気軸受
の制御電流値に関するデータを通信手段を介して読み出
すとともに、磁気軸受の制御パラメータを通信手段を介
して第2のメモリ手段に送信し記憶させる。
【0018】このようにすることにより、情報処理手段
側で機械本体の運転状況の把握ができ、情報処理手段側
から制御手段の調整ができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態について説明する。
【0020】図1は、第1実施形態を示している。
【0021】図1において、磁気軸受装置は、機械本体
(1) 、制御手段としての制御装置(2) 、情報処理手段と
してのコンピュータ(たとえばパーソナルコンピュー
タ)(3) および通信手段としての2つのモデム(4)(5)を
備えている。機械本体(1) 、制御装置(2) および第1の
モデム(4) はたとえばユーザー側に設置され、コンピュ
ータ(3) および第2のモデム(5) は、遠隔地、たとえ
ば、メーカー側に設置される。2つのモデム(4)(5)は、
電話回線などの通信回線(6)(7)に接続されている。
【0022】磁気軸受型ターボ分子ポンプに適用される
磁気軸受装置の場合、機械本体(1)がポンプ本体とな
る。機械本体(1) は、ケーシング(図示略)内に垂直に
配置された軸状の回転体(8) を備えている。ケーシング
内には、また、回転体(8) を磁気的に非接触支持する1
組のアキシアル磁気軸受(9) および上下2組のラジアル
磁気軸受(10)(11)、回転体(8) のアキシアル方向の位置
を検出するための1個のアキシアル位置センサ(12)、回
転体(8) のラジアル方向の位置を検出するための上下2
組のラジアル位置センサ(13)(14)、回転体(8) を高速回
転させる回転駆動手段としての高周波モータ(15)、なら
びに回転体(8) の回転速度を検出するための回転速度セ
ンサ(16)が設けられている。通常、アキシアル磁気軸受
(9) は1対の電磁石(9a)から、各ラジアル磁気軸受(10)
(11)はそれぞれ2対の電磁石(10a)(11a)から構成されて
いる。なお、これら磁気軸受(9)(10)(11) 、位置センサ
(12)(13)(14)、モータ(15)および回転速度センサ(16)に
ついては、公知のものであるから、詳細な説明は省略す
る。
【0023】制御装置(2) は、磁気軸受(9)(10)(11) お
よびモータ(15)の制御を行うためのものである。制御装
置(2) は、DSP(17)、第1のメモリ手段としての第1
EPROM(18)、第2のメモリ手段としての第2EPR
OM(19)、A/D変換器(20)、D/A変換器(21)、位置
センサ駆動回路(22)、パワーアンプ(23)、回転速度セン
サ駆動回路(24)およびモータ駆動回路(25)を備えてい
る。DSP(17)は、上記の制御および通信を行うための
ものであり、パラレルリンクおよび外部機器との通信を
可能にするモデムポートを有し、EPROM(18)(19)を
介して第1のモデム(4) に接続されている。第1EPR
OM(18)は、送信するデータを記憶するためのものであ
る。第2EPROM(19)は、DSP(17)の実行プログラ
ムを格納するとともに、受信したデータを記憶するため
のものである。DSP(17)は、EPROM(18)(19)およ
び第1のモデム(4) を介して通信回線(6)(7)に接続され
ている。コンピュータ(3) は、第2のモデムを(5) を介
して通信回線(6)(7)に接続されている。なお、モデム
(4)(5)は、28800BPS 以上の通信能力を有するもの
である。
【0024】位置センサ(12)(13)(14)はセンサ駆動回路
(22)によって駆動され、駆動回路(22)は、各センサ(12)
(13)(14)の出力に基づいて、回転体(8) のアキシアル方
向の位置および上下2箇所におけるラジアル方向の位置
を検出する。センサ駆動回路(22)からのアナログ位置信
号は、A/D変換器(20)によりディジタル位置信号に変
換されて、DSP(17)に入力する。DSP(17)は、上記
のディジタル位置信号に基づいて各磁気軸受(9)(10)(1
1) の電磁石(9a)(10a)(11a)の励磁電流を制御する。D
SP(17)からの電流指令値に相当するディジタル制御信
号はD/A変換器(21)によりアナログ制御信号に変換さ
れ、この信号に基づいて、パワーアンプ(23)から各電磁
石(9a)(10a)(11a)に励磁電流が供給され、その結果、回
転体(8) がアキシアル方向およびラジアル方向の所定位
置に非接触支持される。回転速度センサ(16)はセンサ駆
動回路(24)によって駆動され、駆動回路(24)はセンサ(1
6)の出力に基づいて回転体(8) の回転速度を検出する。
センサ駆動回路(24)からの回転速度検出信号は、DSP
(17)に入力する。DSP(17)は、上記回転速度検出信号
に基づいて回転体(8) の回転速度を制御する。DSP(1
7)からの回転速度指令信号はモータ駆動回路(25)に入力
し、この信号に基づいて、駆動回路(25)によりモータ(1
5)が駆動され、その結果、回転体(8) が所定の回転速度
で回転させられる。なお、上記の回転体(8) の位置の検
出および回転速度の検出、電流指令値の出力および回転
速度指令値の出力は、一定のサンプリング時間ごとに行
われる。
【0025】磁気軸受装置の運転中、DSP(17)は、回
転体(8) の位置および回転速度を検出するたびにこれら
位置データおよび回転速度データを第1EPROM(18)
に記憶するとともに、電流指令値を出力するたびにこの
電流指令値データを第1EPROM(18)に記憶する。そ
して、これらのデータは、第1EPROM(18)から第1
のモデム(4) 、通信回線(6) および第2のモデム(5) を
介してコンピュータ(3) に送られる。このため、遠隔地
において、機械本体(1) の運転状況を常時監視して把握
することができる。また、コンピュータ(3) 側におい
て、必要に応じて、制御装置(2) における磁気軸受(9)
(10)(11) の制御パラメータ、モータ(15)の回転速度設
定値、サンプリング時間などの制御特性を変更すること
ができ、このように変更したデータを制御装置(2) に送
信することにより、遠隔地から制御装置(2) の制御特性
の調整ができる。この場合、コンピュータ(3) に設定さ
れたデータは、第2のモデム(5) 、通信回線(7) 、第1
のモデム(4) および第2EPROM(19)を介してDSP
(17)に送られ、第2EPROM(19)の所定位置に記憶さ
れる。そして、以後は、この新たに記憶されたデータを
使用して制御が行われ、制御特性が変更されたことにな
る。
【0026】上記実施形態では、制御装置がDSPと2
つのEPROMを備えているが、たとえば実行プログラ
ムが小さいような場合は、DSP内のメモリ手段を使用
して制御装置をDSPだけで構成することもできる。そ
の場合、DSP内のメモリ手段を第1のメモリ手段およ
び第2のメモリ手段として使用することができる。
【0027】また、上記実施形態では、磁気軸受(9)(1
0)(11) の制御と、モータ(15)の制御を1つのDSP(1
7)で行うようにしたが、DSP(17)では磁気軸受(9)(1
0)(11)の制御のみを行い、モータ(15)の制御は他の制御
手段で独立して行わせるようにしてもよい。
【0028】図2および図3は、第2実施形態を示して
いる。図2および図3において、図1の部分に対応する
部分には同一の符号を付している。
【0029】第2実施形態は機械本体(1) と制御装置
(2) の組が複数組設けられた場合の例であり、図2には
磁気軸受装置の全体構成が、図3には1組の機械本体
(1) と制御装置(2) の部分の詳細が示されている。
【0030】第2実施形態の場合、各組の制御装置(2)
がそれぞれ第1のモデム(4) を介して1つのサーバ(30)
に接続され、サーバ(30)が通信回線としてのISDN回
線(31)を介してコンピュータ(3) 側の第2のモデム(5)
に接続されている。また、各組の制御装置(2) と第1の
モデム(4) が、1つの制御ユニット(32)にまとめられて
いる。制御装置(2) は第1実施形態の制御装置(2) から
2つのEPROM(18)(19)を除いたものであり、DSP
(17)が第1のモデム(4) に接続されている。そして、D
SP(17)に内蔵されたメモリ(図示略)が上記RPRO
M(18)(19)の機能を果たしている。制御装置(2) の残り
の部分の構成は、第1実施形態の場合と同様である。機
械本体(1) の構成は、第1実施形態の場合と同様であ
る。
【0031】第2実施形態の場合、コンピュータ(3) と
各組の制御装置(2) との間で、第1実施形態の場合と同
様の通信が行われる。なお、この場合、制御装置(2) か
らの送信とコンピュータ(3) からの送信は交互に行われ
る。
【0032】第2実施形態において、1つのユーザーあ
るいは複数のユーザーに設置した制御ユニット(32)をI
SDN回線(31)に接続しておけば、メーカーに設置した
1つのコンピュータ(3) でこれらを集中管理することが
できる。第2実施形態では、1つのコンピュータ(3) を
ISDN回線(31)に接続しているが、たとえば異なる場
所に設置した複数のコンピュータ(3) をISDN回線(3
1)に接続しておけば、いずれの場所からでも機械本体
(1) および制御ユニット(32)の各組の集中管理ができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明の第1実施形態を示す磁気軸
受装置の概略構成図である。
【図2】図2は、この発明の第2実施形態を示す磁気軸
受装置の概略構成図である。
【図3】図3は、図2の1組の機械本体および制御装置
の部分の概略構成図である。
【符号の説明】
(1) 機械本体 (2) 制御装置(制御手段) (3) コンピュータ(情報処理手段) (4)(5) モデム(通信手段) (6)(7) 通信回線 (8) 回転体 (9) アキシアル磁気軸受 (10)(11) ラジアル磁気軸受 (12) アキシアル位置センサ (13)(14) ラジアル位置センサ (17) DSP(ディジタル信号処理プロセ
ッサ) (18) 第1EPROM(第1のメモリ手
段) (19) 第2EPROM(第2のメモリ手
段) (20) A/D変換器 (21) D/A変換器 (31) ISDN回線(通信回線)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転体の位置を検出する位置センサおよび
    前記回転体を磁気的に非接触支持する磁気軸受を有する
    機械本体と、前記位置センサからの信号に基づいて前記
    磁気軸受を制御する制御手段と、前記制御手段と離れた
    位置に設置された情報処理手段と、前記制御手段と前記
    情報処理手段を通信回線で接続するための通信手段とを
    備えていることを特徴とする磁気軸受装置。
  2. 【請求項2】前記機械本体と前記制御手段の組が複数組
    設けられていることを特徴とする請求項1の磁気軸受装
    置。
  3. 【請求項3】前記制御手段が前記機械本体の運転状況に
    関するデータを前記通信手段を介して前記情報処理手段
    に送信することを特徴とする請求項1または2の磁気軸
    受装置。
  4. 【請求項4】前記制御手段が前記機械本体の運転状況に
    関するデータを前記通信手段を介して前記情報処理手段
    に送信し、前記情報処理手段が前記磁気軸受の制御パラ
    メータを前記通信手段を介して前記制御手段に送信する
    ことを特徴とする請求項1または2の磁気軸受装置。
  5. 【請求項5】前記制御手段が、前記位置センサからのア
    ナログ信号をディジタル位置信号に変換して出力するA
    /D変換器と、前記ディジタル位置信号に基づいて前記
    磁気軸受に供給する制御電流値を求めディジタル制御信
    号として出力するディジタル信号処理プロセッサと、前
    記ディジタル制御信号をアナログ信号に変換して前記磁
    気軸受に出力するD/A変換器とを備えていることを特
    徴とする請求項1または2の磁気軸受装置。
  6. 【請求項6】前記制御手段が、前記位置センサから得ら
    れた前記回転体の位置に関するデータおよび前記ディジ
    タル信号処理プロセッサで求められた前記磁気軸受の制
    御電流値に関するデータを記憶する第1のメモリ手段
    と、前記情報処理手段から前記通信手段を介して送信さ
    れてきた前記磁気軸受の制御パラメータを記憶する第2
    のメモリ手段とを備え、前記ディジタル信号処理プロセ
    ッサが、前記回転体の位置に関するデータおよび前記磁
    気軸受の制御電流値に関するデータを前記第1のメモリ
    手段に出力し記憶させるとともに、前記第2のメモリ手
    段から前記磁気軸受の制御パラメータを読み出して新し
    い制御パラメータとし、前記情報処理手段が、前記第1
    のメモリ手段から前記回転体の位置に関するデータおよ
    び前記磁気軸受の制御電流値に関するデータを前記通信
    手段を介して読み出すとともに、前記磁気軸受の制御パ
    ラメータを前記通信手段を介して前記第2のメモリ手段
    に送信し記憶させることを特徴とする請求項5の磁気軸
    受装置。
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