JP2024093324A5 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JP2024093324A5 JP2024093324A5 JP2022209628A JP2022209628A JP2024093324A5 JP 2024093324 A5 JP2024093324 A5 JP 2024093324A5 JP 2022209628 A JP2022209628 A JP 2022209628A JP 2022209628 A JP2022209628 A JP 2022209628A JP 2024093324 A5 JP2024093324 A5 JP 2024093324A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- side wall
- bag
- pressurizing
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022209628A JP2024093324A (ja) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 基板吸着部材、トップリング、および基板処理装置 |
| KR1020257019742A KR20250128966A (ko) | 2022-12-27 | 2023-11-28 | 기판 흡착 부재, 톱 링 및 기판 처리 장치 |
| CN202380089305.1A CN120418041A (zh) | 2022-12-27 | 2023-11-28 | 基板吸附部件、顶环及基板处理装置 |
| PCT/JP2023/042611 WO2024142725A1 (ja) | 2022-12-27 | 2023-11-28 | 基板吸着部材、トップリング、および基板処理装置 |
| EP23911506.6A EP4644045A1 (en) | 2022-12-27 | 2023-11-28 | Substrate suction member, top ring, and substrate processing device |
| TW112150888A TW202448636A (zh) | 2022-12-27 | 2023-12-26 | 基板吸附構件、頂環、及基板處理裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022209628A JP2024093324A (ja) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 基板吸着部材、トップリング、および基板処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2024093324A JP2024093324A (ja) | 2024-07-09 |
| JP2024093324A5 true JP2024093324A5 (enExample) | 2025-12-17 |
Family
ID=91804785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022209628A Pending JP2024093324A (ja) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 基板吸着部材、トップリング、および基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2024093324A (enExample) |
-
2022
- 2022-12-27 JP JP2022209628A patent/JP2024093324A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102083919B1 (ko) | 진공흡착장치 | |
| JP2002187060A5 (enExample) | ||
| JP2015193070A5 (enExample) | ||
| CN106653671B (zh) | 一种吸盘及其吸附方法 | |
| JP2012507138A5 (enExample) | ||
| TWI419227B (zh) | 電漿處理裝置 | |
| CN210938452U (zh) | 一种用于减薄机的真空吸盘 | |
| JPS63114870A (ja) | ウェハの真空吸着方法 | |
| JP2024093324A5 (enExample) | ||
| KR101597975B1 (ko) | 진공 흡착용 멀티-디스크 및 그것을 이용한 진공 그리퍼 장치 | |
| US20200282510A1 (en) | Grinding equipment | |
| JP5245999B2 (ja) | ロボットハンド及び移送ロボット | |
| JP2010260318A (ja) | 吸着ステージ | |
| JP5932457B2 (ja) | チャックテーブル及びチャックテーブルを備える加工装置 | |
| TWI700148B (zh) | 夾盤台、磨削裝置及磨削品的製造方法 | |
| JPH09174364A (ja) | 半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル | |
| JP2538511B2 (ja) | 半導体基板の研磨用保持板 | |
| TWM657510U (zh) | 工作台裝置 | |
| TWI826630B (zh) | 晶圓研磨用頭 | |
| JP2023057047A5 (enExample) | ||
| JP2005311040A (ja) | ウェハ用の吸着チャック | |
| JP2008204995A (ja) | 半導体ウエハの研磨方法 | |
| JP2021133565A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH065569A (ja) | 半導体ウエハのチャック機構 | |
| JP3026677U (ja) | 半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル |