JP2024090239A5 - - Google Patents

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5960198B2 (ja) * 2013-07-02 2016-08-02 キヤノン株式会社 パターン形成方法、リソグラフィ装置、リソグラフィシステムおよび物品製造方法
JP6080813B2 (ja) * 2013-08-30 2017-02-15 キヤノン株式会社 光インプリント用組成物、これを用いた、膜の製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法、電子部品の製造方法
JP6748461B2 (ja) * 2016-03-22 2020-09-02 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント装置の動作方法および物品製造方法
JP6761329B2 (ja) * 2016-11-22 2020-09-23 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
US11366400B2 (en) * 2017-05-15 2022-06-21 Canon Kabushiki Kaisha Method of determining drop recipe, imprint apparatus, and article manufacturing method
JP7361615B2 (ja) * 2019-01-30 2023-10-16 キヤノン株式会社 シミュレーション方法、シミュレーション装置およびプログラム
JP7149870B2 (ja) * 2019-02-08 2022-10-07 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP7292949B2 (ja) * 2019-04-24 2023-06-19 キヤノン株式会社 インプリント用モールド及びその製造方法、及びインプリント方法
US12079551B2 (en) * 2019-06-11 2024-09-03 Canon Kabushiki Kaisha Simulation method, simulation apparatus, storage medium, film forming method, and method of producing cured product
JP7395307B2 (ja) * 2019-10-01 2023-12-11 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法
JP7515293B2 (ja) * 2020-04-30 2024-07-12 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品製造方法

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