JP2024067219A - バルブユニットおよびその洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄時の検査用インクから洗浄液への置換率を上げる。【解決手段】バルブユニット３０は、圧力室３２と、圧力室３２に液体を供給するように構成され、かつ、開口部４５ａを備える供給室４５と、圧力室３２と供給室４５との連通を制御するように構成された弁部材５１と、開口部４５ａを塞ぐように設けられ、弁部材５１を支持する支持部材４０と、供給室４５と連通する液体流路４２と、支持部材４０が設けられた開口部４５ａを含む領域を覆う可撓性フィルム３４Ｂと、支持部材４０の外面４０ｃと可撓性フィルム３４Ｂとの間に形成され、液体流路４２に連通する隙間領域４７と、隙間領域４７と供給室４５とを連通させる内部流路５２と、を有する。【選択図】図７

Description

本発明は、インク等の液体を供給するためのバルブユニットに関する。

液体吐出ヘッドに用いられるバルブユニットの一例として、特許文献１には、液体噴射ヘッドに対して液体を供給するバルブユニットが記載されている。このバルブユニットは、圧力室と、圧力室に液体を供給する供給室と、供給室と圧力室との間に位置する供給孔を開閉するためのバルブと、圧力室内の液体の減少に伴って発生する負圧に基づいて変位する可撓性フィルムと、を有する。可撓性フィルムの変位をバルブに直接伝達することによって、バルブが開閉される。供給室の側壁には、バルブを駆動させるためのバネを支持するバネ受け座が嵌め込まれている。バネ受け座が嵌め込まれた部分を含む領域をフィルム部材で覆いことで、供給室を閉空間としている。

国際公開第２００３／０４１９６４号公報

一般に、液体吐出ヘッドの製造工程において、液体吐出ヘッドの吐出動作等の検査を行う。この検査では、印刷用インクとは異なる検査用インクを使用する。検査が終わると、バルブユニットを含めて液体吐出ヘッド内を純水で洗浄する。この洗浄工程において、検査用インクがバルブユニット内に残っていると、液体吐出ヘッドの吐出性能低下の要因となる。したがって、吐出性能低下を防止するためには、洗浄時の検査用インクから純水への置換率を上げることが重要である。
特許文献１に記載のバルブユニットにおいては、供給室に液体を導入する流路の一部が行き止まりになっており、液体を循環させることが困難である。このため、液体吐出ヘッドの検査時に、検査用インクが流路に侵入すると、洗浄後も、検査用インクが流路の一部に残ってしまう。その結果、液体吐出ヘッドの吐出性能が低下する場合がある。

本発明の目的は、洗浄時の検査用インクから洗浄液への置換率を上げることができるバルブユニットを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一態様によるバルブユニットは、圧力室と、前記圧力室に液体を供給するように構成され、かつ、開口部を備える供給室と、前記圧力室と前記供給室との連通を制御するように構成された弁部材と、前記開口部を塞ぐように設けられ、前記弁部材を支持する支持部材と、前記供給室と連通する液体流路と、前記支持部材が設けられた前記開口部を含む領域を覆う可撓性フィルムと、前記支持部材の外面と前記可撓性フィルムとの間に形成され、前記液体流路に連通する隙間領域と、前記隙間領域と前記供給室とを連通させる内部流路と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、バルブユニットの洗浄時の検査用インクから洗浄液への置換率を上げることができる。

本発明を適用可能なインクジェット記録装置の部分概略図である。 図１に示すインクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドの斜視図である。 本発明の第１の実施形態によるバルブユニットの平面図である。 図３に示すバルブユニットの可撓性フィルムを取り除いた状態を示す平面図である。 図３に示すバルブユニットの斜視図である。 図３に示すバルブユニットの分解斜視図である。 図３に示すバルブユニットの部分断面図である。 可撓性フィルムを熱溶着する方法を説明するための模式図である。 インク充填システムの一例を示す概略図である。 洗浄システムの一例を示す概略図である。 比較例であるバルブユニットの平面図である。 図１１に示すバルブユニットの部分断面図である。 本発明の第２の実施形態によるバルブユニットの平面図である。 本発明の第３の実施形態によるバルブユニットの平面図である。 本発明の第４の実施形態によるバルブユニットの平面図である。 可撓性フィルムを熱溶着する方法を説明するための模式図である。 可撓性フィルムを熱溶着する別の方法を説明するための模式図である。 本発明の第５の実施形態によるバルブユニットの平面図である。 図１８に示すバルブユニットの部分断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、実施形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の範囲をそれらに限定する趣旨のものではない。

まず、本発明を適用可能なインクジェット記録装置について説明する。
図１は、本発明を適用可能なインクジェット記録装置１０の要部の概略図である。図２は、インクジェット記録装置１０に搭載される記録ヘッド２０の斜視図である。

図１を参照すると、インクジェット記録装置１０は、装置本体に４つのインクタンク１１を備える。４つのインクタンク１１はそれぞれ、液体の一例である、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローのインクを収容する。これらインクタンク１１はそれぞれ、ジョイント部１３を介して４つの供給チューブ１４に接続されている。各インクタンク１１と各供給チューブ１４とは一対一で対応する。加圧ポンプ１２は、各インクタンク１１に収容したインクを対応する供給チューブ１４に向けて圧送する。
キャリッジ１５は、不図示の駆動モータの駆動力により矢印Ｘの方向（以下、主走査方向と呼ぶ）に往復移動する。記録媒体Ｐ１は、不図示の搬送機構によって、主走査方向と交差（例えば、直交）する矢印Ｙの方向（以下、副走査方向と呼ぶ）に搬送される。キャリッジ１５は、図２に示す記録ヘッド２０を搭載する。記録ヘッド２０は、着脱可能である。

記録ヘッド２０は、インクを吐出可能な液体吐出部２１と、６つのバルブユニット３０を装着可能な装着部２２を有する。これらバルブユニット３０は、インクの色に対応して設けられている。１つのバルブユニット３０に対して、２つのインクタンク１１から別々にインクを導入可能な２つのインク室が設けられており、インク室毎に、インクの導入口２３が形成されている。各導入口２３は、供給チューブ１４を介して対応するインクの色のインクタンク１１と接続されている。インクタンク１１から圧送されたインクは、導入口２３からバルブユニット３０に導入される。バルブユニット３０は、導入したインクに所定の負圧を付与して液体吐出部２１に供給する。

図２には示されていないが、液体吐出部２１は、インクの色に対応して設けられた複数の吐出口列を有する。吐出口列は、インクを吐出可能な複数の吐出口が一列に配置されている。各吐出口列は、主走査方向と交差（例えば、直交）する方向に延在する。各吐出口には、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子が組み合わされている。エネルギー発生素子は、例えば、電気熱変換素子（ヒータ）やピエゾ素子などである。
キャリッジ１５を主走査方向に移動しつつ記録ヘッド２０がインクを吐出する動作（スキャン）と、記録媒体Ｐ１を副走査方向に搬送する動作と、を交互に繰り返すことにより、記録媒体Ｐ１上に画像が記録される。この記録動作は、いわゆるシリアルスキャン方式と呼ばれる。

記録ヘッド２０のメンテナンス時は、キャリッジ１５が吸引キャップ１６の上方位置まで移動する。吸引キャップ１６は、駆動源（不図示）により昇降可能である。吸引キャップ１６が液体吐出部２１の吐出口形成面をキャッピングする。吸引ポンプ１７によって吸引キャップ１６内を減圧することにより、液体吐出部２１の吐出口から吸引キャップ１６内にインクを吸引排出することができる。

（第１の実施形態）
図３から図７は、本発明の第１の実施形態によるバルブユニット３０の構成を説明するための図である。図３はバルブユニット３０の構成を示す図であって、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は部分拡大図である。図４は可撓性フィルムを取り除いた状態のバルブユニット３０の示す図であって、図（ａ）は平面図、図４（ｂ）は部分拡大図である。図５（ａ）および図５（ｂ）は、バルブユニット３０の斜視図である。図５（ｂ）には、図５（ａ）に示したバルブユニット３０を矢印Ｉの方向から見た状態が示されている。図５（ａ）において、矢印Ｙは主走査方向を示し、矢印Ｘは副走査方向を示し、矢印Ａは図２に示した装着部２２への装着方向を示す。図６は、図５（ａ）に示したバルブユニット３０の分解斜視図である。図７は、図３に示したバルブユニット３０のＡ－Ａ線における断面の構造を示す部分断面図である。

図３から図６を参照すると、バルブユニット３０は、それぞれが圧力調整機構を構成する２つの圧力室３２が設けられたユニットケース３１を有する。図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、２つの圧力室３２は、Ａ方向と交差（例えば、直交）するＹ方向に並ぶように配置されている。
一方の圧力室３２はユニットケース３１の一方の側面３１ａに開口し、他方の圧力室３２はユニットケース３１の他方の側面３１ｂに開口している。これら圧力室３２は、開口している向きが異なる以外は、同じ構造である。以下では、一方の圧力室３２に関連する構造について説明し、他方の圧力室３２についての説明は省略する。

圧力室３２の開口部には、可撓性フィルム３４Ａを取り付けるためのフィルム固定面３３が設けられている。可撓性フィルム３４Ａをフィルム固定面３３に取り付けることで、圧力室３２の開口を塞ぐ。可撓性フィルム３４Ａは、圧力室３２の壁の少なくとも一部を構成する。圧力室３２の容積を大きくするために、可撓性フィルム３４Ａの開口を塞ぐ部分は、外側に向かって突出する凸状であることが好ましい。可撓性フィルム３４Ａの凸状部分は、例えば、円錐台形状であることが好ましい。

図６および図７に示すように、可撓性フィルム３４Ａの内面には、受圧板３５が取り付けられている。受圧板３５は、熱溶着により可撓性フィルム３４Ａに固定されている。圧力室３２の内壁には、コイルバネ３６が取り付けられている。コイルバネ３６は、受圧板３５を介して可撓性フィルム３４Ａを圧力室３２の外側に向かって付勢する。以下では、受圧板３５を備えた可撓性フィルム３４Ａを可撓性部材５０と呼ぶ。

ユニットケース３１には、Ｘ方向において圧力室３２と対向する位置に供給室４５が形成されている。供給孔３８は圧力室３２に連通しており、供給室４５は供給孔３８を介して圧力室３２にインクを供給する。供給室４５は、供給孔３８と対向する位置に開口部４５ａを備える。開口部４５ａには、可撓性部材５０の可撓性フィルム３４Ａとは別の可撓性フィルム３４Ｂを取り付けるためのフィルム固定面４３が設けられている。供給室４５の内側には、可撓性部材５０の変位に応じて供給孔３８を開閉する弁部材５１が設けられており、弁部材５１を支持する支持部材４０が、開口部４５ａを塞ぐように設けられている。

弁部材５１は、圧力室３２と供給室４５との連通を制御する。弁部材５１は、供給孔３８を塞ぐことが可能な弁体３７と、弁体３７を供給孔３８に向けて付勢する弁バネ３９とを有する。弁バネ３９は、例えば、コイルバネである。弁体３７は、弁バネ３９を介して支持部材４０に固定される。支持部材４０は、開口部４５ａに圧入可能な支持板４０ａを有する。支持板４０ａの内面の中央部には、弁バネ３９を嵌め込むための突起部４０ｂが設けられている。突起部４０ｂの外径は、弁バネ３９の内径よりも小さい。

ユニットケース３１の側面３１ｂの一部は、供給室４５の外壁面を構成する。別の可撓性フィルム３４Ｂは、供給室４５の外壁面の、少なくとも支持部材４０が設けられた開口部４５ａを含む領域を覆うようにフィルム固定面４３に取り付けられている。供給室４５は、液体流路４２に連通している。液体流路４２は、図２に示した導入口２３に連通している。インクタンク１１から圧送されたインクは、導入口２３を介して液体流路４２に供給される。液体流路４２の流路壁の一部は開口しており、この開口部は、別の可撓性フィルム３４Ｂによって覆われている。すなわち、別の可撓性フィルム３４Ｂは液体流路４２の流路壁の一部を構成する。
別の可撓性フィルム３４Ｂは、他方の圧力室３２における可撓性部材５０の可撓性フィルムである。すなわち、１枚の可撓性フィルム３４Ａ（又は３４Ｂ）が、一方の圧力室３２の開口部を塞ぐとともに、他方の圧力室３２と連通する供給室４５の開口部４５ａおよび液体流路４２の開口部を塞ぐ。

支持部材４０の外面４０ｃと別の可撓性フィルム３４Ｂとの間には、液体流路４２に連通する隙間領域４７が形成されている。支持板４０ａには、厚さ方向に貫通する貫通孔４６が設けられている。貫通孔４６は、隙間領域４７と供給室４５とを連通させる内部流路５２の一例である。本実施形態では、貫通孔４６は、支持板４０ａの中央部分を貫通する第１の貫通孔である。より具体的には、第１の貫通孔４６は、支持板４０ａの外面から突起部４０ｂを貫通する。なお、支持板４０ａの外面は、支持部材４０の外面４０ｃであることから、以下では、支持板４０ａの外面を外面４０ｃと呼ぶ。

図３および図４に示すように、支持板４０ａの外面４０ｃには、別の可撓性フィルム３４Ｂが熱溶着により固定された２つの溶着リブ４１が設けられている。各溶着リブ４１は、支持板４０ａの外面４０ｃから突き出すように形成されている。各溶着リブ４１は、貫通孔４７を囲むように円弧状に延在する。なお、溶着リブ４１の数および形状は適宜に変更することが可能である。

図８は、可撓性フィルム３４Ｂを熱溶着して固定する熱溶着方法を説明するための図である。図８（ａ）は熱溶着前の状態を示し、図８（ｂ）は熱溶着後の状態を示す。図８（ａ）において、フィルム固定面４３ａおよびリブ４１ａは熱溶着前のものであり、それぞれフィルム固定面４３および溶着リブ４１に対応する。図８（ａ）および図８（ｂ）には、図３に示したバルブユニット３０のＢ－Ｂ線における断面に対応する構造が示されている。なお、熱溶着は、可撓性フィルム３４Ｂを上にした状態で行われるため、図８（ａ）および図８（ｂ）では、可撓性フィルム３４Ｂを上にした状態が示されている。

図８（ａ）に示すように、２つのリブ４１ａが支持板４０ａの外面４０ｃに第１の貫通孔４６を囲むように設けられている。リブ４１ａを外面４０ｃの全面や全周に設けると、圧入時に支持板４０ａが変形し難くなり、その結果、圧入時の部品公差を吸収することが困難になる。このため、本実施形態では、２つのリブ４１ａが第１の貫通孔４６を囲むように円弧状に形成されている。支持板４０ａを開口部４５ａに圧入した状態において、各リブ４１ａの外面４０ｃからの高さｈ１は、フィルム固定面４３ａの外面４０ｃからの高さｈ２以上であることが好ましい。

可撓性フィルム３４Ｂをフィルム固定面４３ａおよびリブ４１ａと接触させて高温で加熱することで、可撓性フィルム３４Ｂを熱溶着により固定する。熱溶着時にフィルム固定面４３ａおよびリブ４１ａの上部が溶けて、図８（ｂ）に示すようにフィルム固定面４３および溶着リブ４１が形成される。リブ４１ａの高さや幅および配置は、熱溶着によって溶けた樹脂が第１の貫通孔４６や溶着リブ４１の周り形成される隙間領域４７を塞がないように設定されている。

なお、図５（ａ）に示したように、フィルム固定面３３とフィルム固定面４３は同一の側面３１ａに設けられており、可撓性フィルム３３Ａは、これらフィルム固定面３３、４３に熱溶着される。ここで、フィルム固定面３３、４３の熱溶着前のものをフィルム固定面３３ａ、４３ａとする。フィルム固定面３３ａ、４３ａは同じ高さであり、リブ４１ａはフィルム固定面３３ａ、４３ａよりも外側に突き出ていることが好ましい。この場合、熱溶着時は、まず、可撓性フィルム３４Ａとリブ４１ａが固定され、次いで、可撓性フィルム３４Ａとフィルム固定面３３ａ、４３ａが固定される。この熱溶着工程によれば、リブ４１ａは、熱溶着時にフィルム固定面３３ａ、４３ａの溶けた樹脂が第１の貫通孔４６に向かって流れるのを堰き止めるように作用する。図５（ｂ）に示したもう一方の側面３１ｂについても同様の熱溶着工程を適用可能である。
なお、上記熱溶着工程において、最初に可撓性フィルム３４Ａをフィルム固定面３３ａ、４３ａに固定すると、溶着治具の熱が奪われてしまい、リブ４１ａの溶着が不十分になる。その結果、可撓性フィルム３４Ａが伸びてシワができる場合がある。このシワの発生を抑制する観点からも、上記熱溶着工程は有効である。

次に、図１～図７を参照して、本実施形態のバルブユニット３０の動作を説明する。ここでは、バルブユニット３０が記録ヘッド２０に装着された状態における動作を説明する。
バルブユニット３０において、各圧力室３２は、装着部２２とユニットケース３１に形成された不図示のインク導出路を介して、対応する液体吐出部２１の吐出口に連通している。また、各供給室４５は、装着部２２とユニットケース３１に形成された不図示のインク導入路を介して、対応する導入口に連通している。
弁部材５１が供給孔３８を塞いだ状態において、記録ヘッド２０によるインクの消費に伴って圧力室３２内のインクが減少する。インクの減少に伴って圧力室３２内の負圧が高まると、可撓性フィルム３４が内側に向かって変形して、受圧板３５が弁部材５１の弁体３７に接触する。

圧力室３２内の負圧が所定の値以上に高まると、弁体３７を閉動方向に付勢している弁バネ３９の付勢力に抗して、受圧板３５が弁体３７を押して開動させる。これにより、弁体３７の段差部とユニットケース３１との間に流路ができ、弁体３７の細い先端部と供給孔３８の内壁面との間の隙間と上記流路をインクが通って圧力室３２内に流入する。インクの流入により、圧力室３２のインク収容容積が増加して、圧力室３２内の負圧が低くなる。負圧の低下に伴って可撓性フィルム３４Ａが外側に向かって変形し、受圧板３５が弁部材５１の弁体３７から離れる。その結果、弁体３７が供給孔３８を再び塞ぐ。
上記の動作によって、バルブユニット３０は、記録ヘッド２０に対して、所定の負圧が付与されたインクを安定的に供給することができる。

次に、バルブユニット３０を装着した記録ヘッド２０の吐出性能検査について説明する。
バルブユニット３０を装着した記録ヘッド２０を吐出性能検査機に搭載し、実際に全ての吐出口から高品位専用紙に向けてインクを吐出させる。高品位専用紙に着弾したインク滴の位置に基づいて、予め決められた精度内でインク滴が着弾しているかを評価する。記録ヘッド２０をパッケージングした後のインクの揮発の影響や、インクのコスト削減を考慮して、印刷用インクとは異なる検査用インクが使用される。検査用インクの粘度などの特性は、印刷用インクと同等であることが好ましい。検査用インクの色は、目視による検査に適した色が好ましい。

吐出性能検査では、まず、検査用インクを記録ヘッド２０に充填する。図９は、インク充填システムの概略図である。タンク６１ａは、検査用インクを貯留する。タンク６１ａは、ジョイント５６を介して導入口２３に検査用インクを供給する。検査用インクは、導入口２３からバルブユニット３０を介して記録ヘッド２０内に供給される。検査用インクを迅速に充填するために、タンク６１ａ側から検査用インクを圧送しつつ、吐出口形成面をキャッピングしたキャップ５５の内部を真空ポンプ６２ａにより減圧する。吐出口から排出された検査用インクは、キャップ５５と真空ポンプ６２ａの間に設けられたタンク６３ａに貯留される。タンク６３ａに貯留された検査用インクは、不図示のフィルタを通過した後、再利用される。

検査用インクを充填した記録ヘッド２０の吐出口から検査用インクを吐出させて、吐出性能を検査する。検査後、バルブユニット３０を含めて記録ヘッド２０を洗浄する。本実施形態では、洗浄時の検査用インクから洗浄液への置換率を上げるために、洗浄液として純水を用いる。
図１０は、洗浄システムの概略図である。タンク６１ｂは、純水を貯留する。タンク６１ｂは、ジョイント５６を介して導入口２３に接続されている。タンク６１ｂとジョイント５６の間には、三方弁５４が設けられている。三方弁５４は、純水とＣＤＡ（クリーンドライエア）を交互に切り替える。

この洗浄システムでは、まず、三方弁５４がタンク６１ｂとジョイント５６との間を開通させる。タンク６１ｂは、ジョイント５６を介して導入口２３に純水を供給する。純水は、導入口２３からバルブユニット３０を介して記録ヘッド２０内に供給される。タンク６１ｂ側から純水を圧送しつつ、吐出口形成面をキャッピングしたキャップ５５の内部を真空ポンプ６２ｂにより減圧する。純水がバルブユニット３０および記録ヘッド２０を通過する際に、残留する検査用インクと純水が混ざる。検査用インクと純水の混合水は、吐出口より排出され、タンク６３ｂに貯留される。これにより、バルブユニット３０および記録ヘッド２０のそれぞれにおける検査用インクの残留量が減少し、残留する検査用インクの濃度も薄くなる。

純水による洗浄を数秒ほど行った後、三方弁５４がジョイント５６への供給を純水からエアに切り替える。エアは、導入口２３からバルブユニット３０を介して記録ヘッド２０内に供給される。エアを数秒ほど流した後、三方弁５４がジョイント５６への供給をエアから純水に切り替える。
上記のように純水とエアを交互に流す間欠動作を数回繰り返すことで、バルブユニット３０および記録ヘッド２０の内部を通過する純水が乱流状態になり、その結果、洗浄効果が増大する。

本実施形態のバルブユニット３０によれば、バルブユニット３０の洗浄時の検査用インクから洗浄液（ここでは、純水）への置換率を上げることができる。以下に、この効果について詳細に説明する。
まず、比較例として、隙間領域４７と供給室４５とが連通していないバルブユニット３０Ａを挙げ、このバルブユニット３０Ａで生じる問題を具体的に説明する。

（比較例）
図１１は、比較例であるバルブユニット３０Ａの平面図である。図１２は、図１１に示したバルブユニット３０ＡのＡ－Ａ線における断面の構造を示す部分断面図である。
本比較例のバルブユニット３０Ａは、隙間領域４７と供給室４５を連通させる第１の貫通孔４６（内部流路５２）を有していない点で、上述した第１の実施形態のバルブユニット３０と異なる。隙間領域４７は、液体流路４２と連通しており、液体流路４２とは反対側である奥側が行き止まりになっている。隙間領域４７の奥側に、閉空間４４が形成されている。この他の構成要素は、基本的にバルブユニット３０のものと同じであるため、ここでは、それら構成要素の説明は省略する。

バルブユニット３０Ａを記録ヘッド２０に取り付け、図９に示したインク充填システムを用いて、検査用インクを記録ヘッド２０に充填した。バルブユニット３０Ａでは、導入口２３から供給された検査用インクは、液体流路４２を介して供給室４５および圧力室３２を通過した。このとき、検査用インクは、液体流路４２から隙間領域４７にも流入した。隙間領域４７に流入した検査用インクは、閉空間４４に滞留した。

次に、図１０に示した洗浄システムを用い、バルブユニット３０Ａを含めて記録ヘッド２０を洗浄した。純水とエアを交互に流す間欠動作を数回繰り返し、バルブユニット３０Ａおよび記録ヘッド２０をそれぞれ純水で洗浄した。バルブユニット３０Ａでは、導入口２３から供給された純水は、液体流路４２を介して供給室４５および圧力室３２を通過した。残留する検査用インクが純水と混ざり、その混合水が排出された。しかし、隙間領域４７は液体を循環させ難い構造であるため、間欠動作を約数分間行っても、閉空間４４には高濃度の検査用インクが残った。また、隙間領域４７の液体流路４２に近い側でも、濃度の薄い検査用インクが残った。
このようにバルブユニット３０Ａにおいては、検査用インクが隙間領域４７に残留するため、残留した検査用インクが印刷用インクと混ざったり、反応したりすることで、記録ヘッド２０の吐出性能を低下させる。例えば、検査用インクが印刷用インクと反応することで不純物が発生して、液体吐出ヘッドの吐出性能に影響を与える場合がある。また、印刷用インクと検査用インクが混ざることで吐出インクの色味が変化し、印刷品位が劣化する場合がある。

これに対して、本実施形態のバルブユニット３０では、隙間領域４７は、支持部材４０の第１の貫通孔４６を介して供給室４５に連通しているため、隙間領域内の液体の循環（流出）が可能である。このため、純水とエアを交互に流す間欠動作を数回繰り返すと、隙間領域４７に残留している検査用インクは、第１の貫通孔４６を通って共通液室４５に流入した。また、純水やエアも隙間領域４７から第１の貫通孔４６を通って共通液室４５に流入した。この液体循環によって、隙間領域４７に残留している検査用インクのほとんどを純水に置換することができるので、洗浄時の検査用インクから純水への置換率を上げることができ、記録ヘッド２０の吐出性能の低下を抑制することができる。加えて、比較例のバルブユニット３０Ａと比べて、洗浄に要する時間を短縮することもできる。

なお、純水の温度を上げることで、表面張力が低下して洗浄効果を増大させることができ、その結果、検査用インクから純水への置換率を改善することができる。しかし、純水の温度を上げると、その熱によって可撓性フィルム３４Ａが伸びる。可撓性フィルム３４Ａが伸びると、それに伴って弁体３７の移動量が増大し、規定の負圧で弁体３７の開動作を行うことができなくなる。その結果、圧力室３２内の負圧が高くなって、記録ヘッド２０の吐出口からインクを吐出できなくなり、印字不良を引き起こす場合がある。

本実施形態のバルブユニット３０において、第１の貫通孔４６は、隙間領域４７のうちの液体流路４２から最も遠い領域（行き止まり側の部分）に配置されてもよい。これにより、隙間領域内の液体を効率的に循環させることができる。ただし、この場合は、熱溶着で溶けた樹脂が第１の貫通孔４６を塞ぐことがないように、溶着リブ４１を配置することが好ましい。換言すると、溶着リブ４１は、第１の貫通孔４６を塞ぐことがないのであれば、任意の位置に設けることができる。

（第２の実施形態）
図１３は、本発明の第２の実施形態によるバルブユニット３０の構成を示す図であって、図１３（ａ）は平面図、図１３（ｂ）は部分拡大図である。図１３（ａ）には、可撓性フィルム３４Ａを取り除いた状態が示されている。
図１３（ａ）および図１３（ｂ）を参照すると、本実施形態のバルブユニット３０は、第１の貫通孔４６に代えて２つの第２の貫通孔４６ａ、４６ｂを備える点で、第１の実施形態のものと異なる。第２の貫通孔４６ａ、４６ｂ以外の構成要素は、基本的に第１の実施形態のものと同じであるので、ここでは、それらの構成要素の説明は省略する。

第２の貫通孔４６ａ、４６ｂは、溶着リブ４１の外側に設けられており、それぞれ支持板４０ａを厚さ方向に貫通する。第２の貫通孔４６ａは、隙間領域４７の液体流路４２に隣接する領域に配置されている。第２の貫通孔４６ｂは、隙間領域４７の奥側の領域に配置されている。奥側の領域は、液体流路４２から最も遠い領域（行き止まり側の部分）である。

本実施形態のバルブユニット３０によれば、液体流路４２から隙間領域４７に流入した液体は、第２の貫通孔４６ａ、４６ｂを通って共通液室４５に流れる。このように隙間領域４７は液体の循環が可能であるため、第１の実施形態と同様、洗浄時の検査用インクから純水への置換率を上げることができ、記録ヘッド２０の吐出性能の低下を抑制することができる。

なお、本実施形態のバルブユニット３０において、３つ以上の第２の貫通孔が溶着リブ４１の外側に設けられてもよい。第２の貫通孔の数が増えることで、隙間領域４７の液体をより循環させ易くなる。
複数の第２の貫通孔の少なくとも一つは、隙間領域４７の奥側の領域（行き止まり側の部分）に配置されていることが好ましい。これにより、隙間領域４７の液体を効率的に循環させることができる。

（第３の実施形態）
図１４は、本発明の第３の実施形態によるバルブユニット３０の構成を示す図であって、図１４（ａ）は平面図、図１４（ｂ）は部分拡大図である。図１４（ａ）には、可撓性フィルム３４Ａを取り除いた状態が示されている。
図１４（ａ）および図１４（ｂ）を参照すると、本実施形態のバルブユニット３０は、４つの第２の貫通孔４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄを有する点で、第１の実施形態のものと異なる。第２の貫通孔４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄ以外の構成要素は、基本的に第１の実施形態のものと同じであるので、ここではそれらの構成要素の説明は省略する。

４つの第２の貫通孔４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄは、溶着リブ４６の外側に設けられており、それぞれ支持板４０ａを厚さ方向に貫通する。第２の貫通孔４６ａ、４６ｂは、図１３に示したものと同じである。第２の貫通孔４６ｃと第２の貫通孔４６ｄは、溶着リブ４１を挟んで互いに対向するように配置されている。本実施形態では、４つの第２の貫通孔４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄは、溶着リブ４１の外周に沿って略等間隔に配置されている。

本実施形態のバルブユニット３０によれば、液体流路４２から隙間領域４７に流入した液体は、第１の貫通孔４６と４つの第２の貫通孔４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄとを通って共通液室４５に流れる。第１の実施形態や第２の実施形態と比較して、隙間領域４７の液体の循環経路が多いため、洗浄時の検査用インクから純水への置換率をさらに向上することができる。
なお、本実施形態のバルブユニット３０において、第２の貫通孔の数は、３つであっても、５つ以上であってもよい。ただし、少なくとも１つの第２の貫通孔は隙間領域４７の奥側の領域（行き止まり側の部分）に配置されていることが好ましい。これにより、隙間領域４７の液体を効率的に循環させることができる。

（第４の実施形態）
図１５は、本発明の第４の実施形態によるバルブユニット３０の構成を示す図であって、図１５（ａ）は平面図、図１５（ｂ）は部分拡大図である。図１５（ａ）には、可撓性フィルム３４Ａを取り除いた状態が示されている。
図１５（ａ）および図１５（ｂ）を参照すると、本実施形態のバルブユニット３０は、２つの凸部４８を有する点で、第１の実施形態のものと異なる。凸部４８以外の構成要素は、基本的に第１の実施形態のものと同じであるので、ここでは、それらの構成要素の説明は省略する。

２つの凸部４８は、２つの溶着リブ４１と第１の貫通孔４６との間に、支持板４０ａの外面４０ｃから突き出すように設けられている。２つの凸部４８は、２つの溶着リブ４１にそれぞれ対応して設けられ、第１の貫通孔４６を囲むように円弧状に延在する。凸部４８の外面４０ｃからの高さは、溶着リブ４１の外面４０ｃからの高さよりも低い。なお、溶着リブ４１の数は２つに限定されない。３つ以上の溶着リブ４１が第１の貫通孔４６を囲むように形成されてもよい。同様に、凸部４８の数も２つに限定されない。３つ以上の凸部４８が第１の貫通孔４６を囲むように形成されてもよい。

本実施形態のバルブユニット３０によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏することに加え、凸部４８を備えることにより、以下のような効果を奏する。

図１６は、可撓性フィルム３４Ｂを熱溶着して固定する方法を説明するための図である。図１６（ａ）は熱溶着前の状態を示し、図１６（ｂ）は熱溶着後の状態を示す。図１６（ａ）において、フィルム固定面４３ａおよびリブ４１ａは熱溶着前のものであり、それぞれフィルム固定面４３および溶着リブ４１に対応する。図１６（ａ）および図１６（ｂ）には、図１５に示したバルブユニット３０のＡ－Ａ線における断面に対応する構造が示されている。なお、熱溶着は、可撓性フィルム３４Ｂを上にした状態で行われるため、図１６（ａ）および図１６（ｂ）では、可撓性フィルム３４Ｂを上にした状態が示されている。

図１６（ａ）に示すように、２つのリブ４１ａと２つの凸部４８がそれぞれ第１の貫通孔４６を囲むように円弧状に形成されている。支持板４０ａを開口部４５ａに圧入した状態において、リブ４１ａの外面４０ｃからの高さｈ１は、フィルム固定面４３ａの外面４０ｃからの高さｈ２以上であることが好ましい。凸部４８の外面４０ｃからの高さｈ３は、リブ４１ａの外面４０ｃからの高さｈ１よりも低い。

可撓性フィルム３４Ｂをフィルム固定面４３ａおよびリブ４１ａと接触させて高温で加熱することで、可撓性フィルム３４Ｂを熱溶着により固定する。このとき、凸部４８と可撓性フィルム３４Ｂとは接触していない。熱溶着時にフィルム固定面４３ａおよびリブ４１ａの上部が溶けて、図１６（ｂ）に示すようにフィルム固定面４３および溶着リブ４１が形成される。リブ４１ａの溶けた樹脂は、リブ４１ａの外側の側壁および内側の側壁を伝って流れる。リブ４１ａの内側の側壁を伝って流れた樹脂は、凸部４８によって堰き止められる。これにより、熱溶着で溶けた樹脂が第１の貫通孔４６を塞ぐことを抑制することができる。

また、熱と荷重を加えてリブ４１ａを溶着するため、熱溶着で溶けた樹脂は、凸部４８で堰き止められて可撓性フィルム３４Ｂの面内方向に広がる。その結果、溶着リブ４１と可撓性フィルム３４Ｂとの溶着面積が増大し、溶着リブ４１と可撓性フィルム３４Ｂとの接合強度を増大させることができる。

図１７は、可撓性フィルム３４Ｂを熱溶着して固定する別の方法を説明するための図である。図１７（ａ）は熱溶着前の状態を示し、図１７（ｂ）は熱溶着後の状態を示す。図１７（ａ）において、フィルム固定面４３ａおよびリブ４１ｂは熱溶着前のものであり、それぞれフィルム固定面４３および溶着リブ４１に対応する。図１７（ａ）および図１７（ｂ）には、図１５に示したバルブユニット３０のＡ－Ａ線における断面に対応する構造が示されている。なお、熱溶着は、可撓性フィルム３４Ｂを上にした状態で行われるため、図１７（ａ）および図１７（ｂ）では、可撓性フィルム３４Ｂを上にした状態が示されている。

図１７（ａ）に示すように、２つのリブ４１ｂと２つの凸部４８がそれぞれ第１の貫通孔４６を囲むように円弧状に形成されている。リブ４１ｂ以外の構成は、図１６（ａ）に示したものと同じである。
リブ４１ｂは、内側の側壁が支持板４０ａの外面４０ｃに対してほぼ垂直になるように形成され、外側の側壁が支持板４０ａの外面４０ｃに対して傾斜するように形成されている。リブ４１ｂは、ほぼ垂直な面と傾斜面とからなる三角形状（より好ましくは直角三角形状）の断面構造を有する。支持板４０ａを開口部４５ａに圧入した状態において、リブ４１ｂの外面４０ｃからの高さｈ１は、フィルム固定面４３ａの外面４０ｃからの高さｈ２以上であることが好ましい。凸部４８の外面４０ｃからの高さｈ３は、リブ４１ｂの外面４０ｃからの高さｈ１よりも低い。

図１６に示した熱溶着方法と同様、可撓性フィルム３４Ｂをフィルム固定面４３ａおよびリブ４１ｂと接触させて高温で加熱することで、可撓性フィルム３４Ｂを熱溶着により固定する。熱溶着時にフィルム固定面４３ａおよびリブ４１ｂの上部が溶けて、図１７（ｂ）に示すようにフィルム固定面４３および溶着リブ４１が形成される。溶着リブ４１は、外側の側壁が傾斜面よりなり、内側の側壁が４８凸部に向かって張出した曲面よりなる。
リブ４１ｂの溶けた樹脂のほとんどは、リブ４１ｂの内側の側壁を伝って流れる。リブ４１ｂの内側の側壁を伝って流れた樹脂は、凸部４８によって堰き止められる。これにより、熱溶着で溶けた樹脂が第１の貫通孔４６を塞ぐことを抑制することができる。

また、熱溶着で溶けた樹脂は、凸部４８で堰き止められて可撓性フィルム３４Ｂの面内方向に広がるため、溶着リブ４１と可撓性フィルム３４Ｂとの溶着面積が増大し、溶着リブ４１と可撓性フィルム３４Ｂとの接合強度を増大させることができる。
さらに、断面形状が四角形のリブ４１ａと比較して、断面形状が三角形のリブ４１ｂは、熱溶着で溶ける樹脂の量が少ないため、溶着リブ４１の外側および内側に形成される空間（隙間領域４７の一部）を広くすることができる。これにより、隙間領域４７の液体をより循環させ易くすることができる。
加えて、熱溶着で溶けた樹脂のほとんどはリブ４１ｂの内側の側壁を伝って流れる。このため、溶着リブ４１の外側に形成される空間（隙間領域４７の一部）は、図１６（ｂ）に示したものよりも広くなる。これにより、隙間領域４７の液体をより循環させ易くすることができる。

（第５の実施形態）
図１８は、本発明の第５の実施形態によるバルブユニット３０の構成を示す図であって、図１８（ａ）は平面図、図１８（ｂ）は部分拡大図である。図１９は、図１８（ａ）に示すバルブユニット３０のＡ－Ａ線における断面の構造を示す部分断面図である。
本実施形態のバルブユニット３０は、第１の貫通孔４６に代えて流路４６Ａを有する点で、第１の実施形態のものと異なる。流路４６Ａ以外の他の構成要素は、第１の実施形態のものと同じであるので、ここでは、他の構成要素についての説明は省略する。

流路４６Ａは、隙間領域４７と供給室４５とを連通させる内部流路５２の一例である。流路４６Ａは、支持板４０ａの側面と開口部４５ａの内壁面との境界に沿って延びており、隙間領域４７と供給室４５とを連通させる。流路４６Ａは、支持板４０ａの側面と開口部４５ａの内壁面の一方または両方に設けられた溝からなる。流路４６Ａは、隙間領域４７の奥側（行き止まり部分）に開口している。
本実施形態のバルブユニット３０によれば、液体流路４２から隙間領域４７に流入した液体は、流路４６Ａを通って共通液室４５に流れる。このように隙間領域４７は液体の循環が可能であるため、第１の実施形態と同様、洗浄時の検査用インクから純水への置換率を上げることができ、記録ヘッド２０の吐出性能の低下を抑制することができる。

なお、本実施形態のバルブユニット３０において、流路４６Ａは、２つ以上設けられてもよい。ただし、少なくとも１つの流路４６Ａは隙間領域４７の奥側の領域（行き止まり側の部分）に配置されていることが好ましい。これにより、隙間領域４７の液体を効率的に循環させることができる。
また、第１の貫通孔４６を支持部材４０ａに設けても良い。流路４６Ａと第１の貫通孔４６を併用することで、隙間領域４７の液体を循環させ易くなる。

以上説明した第１乃至第５の実施形態は本発明の一例であり、各実施形態で説明した構成要素は適宜に組み合わせて用いることができる。例えば、第１の貫通孔４６、第２の貫通孔（４６ａ～４６ｄ）、および流路４６Ａの2つ以上を組み合わせてもよく、これら組み合わせに対して、さらに、溶着リブ４１および凸部４８を組み合わせてもよい。

本発明の実施形態の開示は、以下の構成および方法を含む。
（構成１）
圧力室と、
前記圧力室に液体を供給するように構成され、かつ、開口部を備える供給室と、
前記圧力室と前記供給室との連通を制御するように構成された弁部材と、
前記開口部を塞ぐように設けられ、前記弁部材を支持する支持部材と、
前記供給室と連通する液体流路と、
前記支持部材が設けられた前記開口部を含む領域を覆う可撓性フィルムと、
前記支持部材の外面と前記可撓性フィルムとの間に形成され、前記液体流路に連通する隙間領域と、
前記隙間領域と前記供給室とを連通させる内部流路と、を有することを特徴とするバルブユニット。
（構成２）
前記支持部材は、前記開口部に圧入可能に構成された支持板を有し、
前記内部流路は、前記支持板を厚さ方向に貫通する貫通孔を含む、構成１に記載のバルブユニット。
（構成３）
前記貫通孔は、前記支持板の中央部分を貫通する第１の貫通孔を含む、構成２に記載のバルブユニット。
（構成４）
前記支持板の内面の中央部には、前記弁部材を取り付けるための突起部が設けられており、前記第１の貫通孔は、前記突起部を貫通する、構成３に記載のバルブユニット。
（構成５）
前記支持板の外面から突き出すように設けられ、前記可撓性フィルムが溶着された複数の溶着リブを、さらに有し、
前記複数の溶着リブは、前記第１の貫通孔を囲むように延在する、請求項３または４に記載のバルブユニット。
（構成６）
前記複数の溶着リブと前記第１の貫通孔との間に前記支持板の外面から突き出すように設けられた複数の凸部を、さらに有し、
前記複数の凸部は、前記複数の溶着リブにそれぞれ対応して設けられ、前記第１の貫通孔を囲むように延在し、各凸部の前記外面からの高さは、前記複数の溶着リブの前記外面からの高さよりも低い、構成５に記載のバルブユニット。
（構成７）
前記複数の溶着リブは、外側の側壁が傾斜面よりなり、内側の側壁が前記凸部に向かって張出した曲面よりなる、構成６に記載のバルブユニット。
（構成８）
前記貫通孔は、前記複数の溶着リブの外側に設けられ、前記支持板を厚さ方向に貫通する複数の第２の貫通孔をさらに含む、構成５乃至７のいずれか一つに記載のバルブユニット。
（構成９）
前記隙間領域は行き止まりになっており、
前記複数の第２の貫通孔の少なくとも一つは、前記支持板の前記行き止まりの部分に設けられている、構成８に記載のバルブユニット。
（構成１０）
前記支持板の外面から突き出すように設けられ、前記可撓性フィルムが溶着された複数の溶着リブを、さらに有し、
前記複数の溶着リブは、前記外面の中央部を囲むように延在し、
前記貫通孔は、前記複数の溶着リブの外側に設けられ、前記支持板を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔である、構成２に記載のバルブユニット。
（構成１１）
前記隙間領域は行き止まりになっており、
前記複数の貫通孔の一つは、前記支持板の前記行き止まりの部分に設けられている、構成１０に記載のバルブユニット。
（構成１２）
前記支持部材は、前記開口部に圧入可能な支持板を有し、
前記内部流路は、前記支持板の側面と前記開口部の内壁面との境界に沿って延びる少なくとも一つの流路を含む、構成１に記載のバルブユニット。
（構成１３）
前記少なくとも一つの流路は、前記支持板の側面と前記開口部の内壁面の一方または両方に設けられた溝からなる、構成１２に記載のバルブユニット。
（構成１４）
前記隙間領域は行き止まりになっており、
前記少なくとも一つの流路は、前記行き止まりの部分に開口している、構成１２または１３に記載のバルブユニット。
（構成１５）
構成１乃至１４のいずれか一つに記載のバルブユニットと、
前記バルブユニットが着脱可能に取り付けられる装着部と、
液体を吐出する液体吐出部と、を有し、
前記装着部に装着された前記バルブユニットを介して前記液体吐出部に液体が供給される液体吐出ヘッド。
（方法１）
構成１乃至１４のいずれか一つに記載のバルブユニットの洗浄方法であって、
検査用インクが充填された前記バルブユニットに洗浄液とエアを交互に供給して、前記隙間領域内の検査用インクを前記内部流路から流出させることを特徴するバルブユニットの洗浄方法。
（方法２）
弁部材を支持する支持板を開口部に圧入し、前記支持板が圧入された前記開口部に可撓性フィルムを熱溶着する熱溶着方法であって、
前記支持板は中央部に貫通孔を備え、前記支持板の外面には、該外面から突き出すように設けられ、前記貫通孔を囲むように延在する複数のリブと、前記複数のリブと前記貫通孔との間に前記外面から突き出すように設けられ、前記貫通孔を囲むように延在する複数の凸部と、を備え、前記複数のリブは、内側の側壁が前記外面にほぼ垂直であり、外側の側壁が前記外面に対して傾斜した傾斜面よりなる三角形状の断面構造を備え、前記複数の凸部の前記外面からの高さは、前記複数のリブの前記外面からの高さより低くなるように構成されており、
前記可撓性フィルムを前記複数のリブに接触させて加熱し、各リブの上部を溶かして熱溶着することを特徴とする熱溶着方法。

３０ バルブユニット
３２ 圧力室
３４ 可撓性フィルム
３８ 供給孔
４０ 支持部材
４２ 液体流路
４５ 供給室
４５ａ 開口部
４７ 隙間領域
５０ 可撓性部材
５１ 弁部材
５２ 内部流路

Claims (17)

1. 圧力室と、
   前記圧力室に液体を供給するように構成され、かつ、開口部を備える供給室と、
   前記圧力室と前記供給室との連通を制御するように構成された弁部材と、
   前記開口部を塞ぐように設けられ、前記弁部材を支持する支持部材と、
   前記供給室と連通する液体流路と、
   前記支持部材が設けられた前記開口部を含む領域を覆う可撓性フィルムと、
   前記支持部材の外面と前記可撓性フィルムとの間に形成され、前記液体流路に連通する隙間領域と、
   前記隙間領域と前記供給室とを連通させる内部流路と、を有することを特徴とするバルブユニット。
2. 前記支持部材は、前記開口部に圧入可能に構成された支持板を有し、
   前記内部流路は、前記支持板を厚さ方向に貫通する貫通孔を含む、請求項１に記載のバルブユニット。
3. 前記貫通孔は、前記支持板の中央部を貫通する第１の貫通孔を含む、請求項２に記載のバルブユニット。
4. 前記支持板の内面の中央部には、前記弁部材を取り付けるための突起部が設けられており、前記第１の貫通孔は、前記突起部を貫通する、請求項３に記載のバルブユニット。
5. 前記支持板の外面から突き出すように設けられ、前記可撓性フィルムが溶着された複数の溶着リブを、さらに有し、
   前記複数の溶着リブは、前記第１の貫通孔を囲むように延在する、請求項３に記載のバルブユニット。
6. 前記複数の溶着リブと前記第１の貫通孔との間に前記支持板の外面から突き出すように設けられた複数の凸部を、さらに有し、
   前記複数の凸部は、前記複数の溶着リブにそれぞれ対応して設けられ、前記第１の貫通孔を囲むように延在し、各凸部の前記外面からの高さは、前記複数の溶着リブの前記外面からの高さよりも低い、請求項５に記載のバルブユニット。
7. 前記複数の溶着リブは、外側の側壁が傾斜面よりなり、内側の側壁が前記凸部に向かって張出した曲面よりなる、請求項６に記載のバルブユニット。
8. 前記貫通孔は、前記複数の溶着リブの外側に設けられ、前記支持板を厚さ方向に貫通する複数の第２の貫通孔をさらに含む、請求項５に記載のバルブユニット。
9. 前記隙間領域は行き止まりになっており、
   前記複数の第２の貫通孔の少なくとも一つは、前記支持板の前記行き止まりの部分に設けられている、請求項８に記載のバルブユニット。
10. 前記支持板の外面から突き出すように設けられ、前記可撓性フィルムが溶着された複数の溶着リブを、さらに有し、
    前記複数の溶着リブは、前記外面の中央部を囲むように延在し、
    前記貫通孔は、前記複数の溶着リブの外側に設けられ、前記支持板を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔である、請求項２に記載のバルブユニット。
11. 前記隙間領域は行き止まりになっており、
    前記複数の貫通孔の一つは、前記支持板の前記行き止まりの部分に設けられている、請求項１０に記載のバルブユニット。
12. 前記支持部材は、前記開口部に圧入可能な支持板を有し、
    前記内部流路は、前記支持板の側面と前記開口部の内壁面との境界に沿って延びる少なくとも一つの流路を含む、請求項１に記載のバルブユニット。
13. 前記少なくとも一つの流路は、前記支持板の側面と前記開口部の内壁面の一方または両方に設けられた溝からなる、請求項１２に記載のバルブユニット。
14. 前記隙間領域は行き止まりになっており、
    前記少なくとも一つの流路は、前記行き止まりの部分に開口している、請求項１２に記載のバルブユニット。
15. 請求項１乃至１４のいずれか一項に記載のバルブユニットと、
    前記バルブユニットが着脱可能に取り付けられる装着部と、
    液体を吐出する液体吐出部と、を有し、
    前記装着部に装着された前記バルブユニットを介して前記液体吐出部に液体が供給される液体吐出ヘッド。
16. 請求項１乃至１４のいずれか一項に記載のバルブユニットの洗浄方法であって、
    検査用インクが充填された前記バルブユニットに洗浄液とエアを交互に供給して、前記隙間領域内の検査用インクを前記内部流路から流出させることを特徴するバルブユニットの洗浄方法。
17. 弁部材を支持する支持板を開口部に圧入し、前記支持板が圧入された前記開口部に可撓性フィルムを熱溶着する熱溶着方法であって、
    前記支持板は中央部に貫通孔を備え、前記支持板の外面には、該外面から突き出すように設けられ、前記貫通孔を囲むように延在する複数のリブと、前記複数のリブと前記貫通孔との間に前記外面から突き出すように設けられ、前記貫通孔を囲むように延在する複数の凸部と、を備え、前記複数のリブは、内側の側壁が前記外面にほぼ垂直であり、外側の側壁が前記外面に対して傾斜した傾斜面よりなる三角形状の断面構造を備え、前記複数の凸部の前記外面からの高さは、前記複数のリブの前記外面からの高さより低くなるように構成されており、
    前記可撓性フィルムを前記複数のリブに接触させて加熱し、各リブの上部を溶かして熱溶着することを特徴とする熱溶着方法。

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