JP2024061741A - Manufacturing method of resin film and manufacturing method of metal-clad laminate - Google Patents

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Abstract

【課題】 ポリイミドを原料とする樹脂フィルムの誘電特性をさらに改善することによって、電子機器の高周波化への対応が可能な樹脂フィルムを提供する。【解決手段】 ポリイミドを含有する有機化合物の固形分と、結晶性シリカ粒子と、を含有する結晶性シリカ含有ポリイミド層を少なくとも1層を有する樹脂フィルムの製造方法であり、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸と、結晶性シリカ粒子と、を含有する樹脂組成物を支持基材上に直接又は間接的に塗布して塗布膜を積層する工程、及び、塗布膜に対して熱処理を行って、ポリアミド酸をイミドして結晶性シリカ含有ポリイミド層を形成する工程、を備える。結晶性シリカ粒子は、結晶性シリカ粒子全体として、CuKα線によるX線回折分析スペクトルの2θ=10°~90°の範囲におけるSiO2に由来する全ピーク面積に対するクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来するピークの合計面積の割合が20重量%以上である。【選択図】なし[Problem] To provide a resin film capable of handling higher frequencies in electronic devices by further improving the dielectric properties of a resin film made from polyimide. [Solution] A method for producing a resin film having at least one crystalline silica-containing polyimide layer containing a solid content of an organic compound containing polyimide and crystalline silica particles, comprising the steps of: directly or indirectly applying a resin composition containing a polyamic acid, which is a precursor of polyimide, and crystalline silica particles onto a supporting substrate to laminate a coating film; and heat treating the coating film to imide the polyamic acid and form a crystalline silica-containing polyimide layer. The crystalline silica particles as a whole have a ratio of the total area of peaks derived from the cristobalite crystal phase and the quartz crystal phase to the total area of peaks derived from SiO2 in the range of 2θ=10° to 90° in an X-ray diffraction analysis spectrum using CuKα radiation of 20% by weight or more. [Selected Figure] None

Description

本発明は、例えば回路基板材料として有用な樹脂組成物、樹脂フィルム及び金属張積層板に関する。 The present invention relates to a resin composition, a resin film, and a metal-clad laminate that are useful, for example, as circuit board materials.

近年、電子機器の小型化、軽量化、省スペース化に伴い、薄く軽量なフレキシブルプリント配線板(FPC)の使用が増大している。FPCは、限られたスペースでも立体的かつ高密度の実装が可能であるため、電子機器の可動部分の配線や、ケーブル、コネクター等の部品にその用途が拡大している。これらに加えて、通信機器の高速化や機器の高性能化が進み、高い伝送速度を実現するための高周波の伝送信号へ対応したFPCも必要とされている。 In recent years, the use of thin and lightweight flexible printed circuit boards (FPCs) has increased as electronic devices become smaller, lighter, and more space-saving. FPCs allow for three-dimensional, high-density mounting even in a limited space, so their applications are expanding to wiring the moving parts of electronic devices, cables, connectors, and other components. In addition, as communication devices become faster and more sophisticated, there is a need for FPCs that are compatible with high-frequency transmission signals to achieve high transmission speeds.

高周波信号を伝送する際の課題として、信号の伝送経路における伝送損失がある。伝送損失が大きいと、電気信号のロスや信号の遅延などの不都合が生じる。FPCが高周波化に対応するためには、その絶縁樹脂層の低誘電率化、低誘電正接化による伝送損失の低減が重要となる。そのため、高周波信号用のFPCには、絶縁樹脂層として低誘電率且つ低誘電正接な液晶ポリマーやフッ素系樹脂が用いられている。しかしながら、液晶ポリマーは、誘電特性に優れているものの、耐熱性や金属箔との接着性に改善の余地があり、フッ素系樹脂は熱膨張係数が高いため取り扱い性が良くない。 One of the issues when transmitting high-frequency signals is the transmission loss in the signal transmission path. If the transmission loss is large, it causes inconveniences such as loss of electrical signals and signal delays. In order for FPCs to handle higher frequencies, it is important to reduce transmission loss by lowering the dielectric constant and dielectric dissipation factor of the insulating resin layer. For this reason, liquid crystal polymers and fluororesins with low dielectric constants and dielectric dissipation factors are used as insulating resin layers in FPCs for high-frequency signals. However, while liquid crystal polymers have excellent dielectric properties, there is room for improvement in their heat resistance and adhesion to metal foils, and fluororesins have a high thermal expansion coefficient and are therefore difficult to handle.

耐熱性や金属箔との接着性に優れる絶縁樹脂として、ポリイミドも用いられている。しかしながら、一般にポリイミドは、液晶ポリマーやフッ素系樹脂に比べて誘電特性が劣る。芳香族系ポリイミドを低誘電化する方法として、樹脂骨格中へ脂肪族構造を組み込む方法がある。しかしながら、樹脂骨格に脂肪族構造を組み込むメリットは、多くの場合、耐熱性や寸法安定性などのFPCの要求特性とトレード・オフの関係であった。その他の手段として、特殊なモノマーや高価なフッ素系モノマーを使用するなど、ポリイミドの骨格のみで優れた耐熱性とFPCの要求特性を維持ながら低誘電化するためにはコスト面・生産性面で様々なハードルがある。 Polyimide is also used as an insulating resin with excellent heat resistance and adhesion to metal foil. However, polyimide generally has inferior dielectric properties compared to liquid crystal polymers and fluororesins. One method for reducing the dielectric constant of aromatic polyimides is to incorporate an aliphatic structure into the resin skeleton. However, the advantage of incorporating an aliphatic structure into the resin skeleton is often in a trade-off with the required properties of FPCs, such as heat resistance and dimensional stability. Other methods include using special monomers or expensive fluorine-based monomers, but there are various hurdles in terms of cost and productivity to achieve low dielectric constant while maintaining excellent heat resistance and the required properties of FPCs using only the polyimide skeleton.

そこで、樹脂と異種材料との複合化によって特性を向上する方法が知られている。例えば特許文献1では、窒化アルミニウムや窒化ケイ素の粉末と特定のポリイミドとを複合化することによって熱伝導性に優れたポリイミド組成物を報告している。
また、特許文献2では、エポキシ樹脂へクリストバライトシリカを添加することで半導体パッケージにおける反りやクラックの発生を抑制している。
誘電特性の向上においても複合化は有効であり、特許文献3では、非晶質シリカとビスマレイミドから合成される熱硬化性ポリイミド樹脂及びエラストマーとの組み合わせで、誘電正接が低く、低熱膨張な樹脂フィルムを提案している。また、特許文献4では、ポリイミドとフッ素樹脂粒子とを組み合わせた低誘電ポリイミドフィルムの製造方法を提示している。
Therefore, a method for improving the properties by compounding a resin with a different material is known. For example, Patent Document 1 reports a polyimide composition with excellent thermal conductivity obtained by compounding aluminum nitride or silicon nitride powder with a specific polyimide.
In addition, in Patent Document 2, cristobalite silica is added to an epoxy resin to suppress the occurrence of warping and cracks in a semiconductor package.
Combining is also effective in improving dielectric properties, and Patent Document 3 proposes a resin film with low dielectric tangent and low thermal expansion by combining a thermosetting polyimide resin synthesized from amorphous silica and bismaleimide with an elastomer. Patent Document 4 also presents a method for producing a low dielectric polyimide film by combining polyimide and fluororesin particles.

特許第3551687号公報Patent No. 3551687 特開2019-1937号公報JP 2019-1937 A 特開2018-12747号公報JP 2018-12747 A 特許6387181号公報Patent No. 6387181

上記の様に、高い耐熱性や優れた接着性などの特性を維持したまま低誘電化したポリイミドの開発が望まれていた。しかしながら、特許文献3では熱硬化性樹脂に限定され、多層化した際の接着強度に課題がある。また、特許文献4では比較的高価なフッ素樹脂フィラーとの複合化であり、熱膨張係数が高くなるなどの課題がある。
さらに、従来技術の複合化ではフィラーの組成が重要視されており、その結晶構造についての言及はほとんどない。
As described above, there has been a demand for the development of a polyimide with low dielectric constant while maintaining properties such as high heat resistance and excellent adhesiveness. However, in Patent Document 3, the polyimide is limited to a thermosetting resin, and there is a problem with the adhesive strength when multi-layered. In addition, in Patent Document 4, a relatively expensive fluororesin filler is used in combination, and there is a problem with a high thermal expansion coefficient.
Furthermore, in the prior art composite technology, emphasis is placed on the composition of the filler, and there is little mention of its crystal structure.

従って、本発明の目的は、ポリイミドの誘電特性をさらに改善することによって、電子機器の高周波化への対応が可能な樹脂組成物及び樹脂フィルムを提供することにある。 The object of the present invention is therefore to provide a resin composition and a resin film that can accommodate the increasing frequency of electronic devices by further improving the dielectric properties of polyimide.

本発明者らは、ポリイミド系樹脂とシリカ粒子の複合化において、シリカ粒子として、クリストバライト相の割合が高いものを用いる方が、非晶質シリカと比較して誘電特性が向上する、という知見を見出し、本発明を完成した。 The inventors discovered that when polyimide resin and silica particles are combined, the dielectric properties are improved when silica particles with a high proportion of cristobalite phase are used compared to amorphous silica, and thus the present invention was completed.

すなわち、本発明の樹脂組成物は、ポリアミド酸又はポリイミドを含有する有機化合物の固形分と、シリカ粒子と、を含有するものであって、
前記シリカ粒子の含有量が、前記固形分の全量及び前記シリカ粒子の合計に対し10~85重量%(ただしポリアミド酸はイミド化されたポリイミドに換算する。)の範囲内であり、
前記シリカ粒子全体として、CuKα線によるX線回折分析スペクトルの2θ=10°~90°の範囲におけるSiOに由来する全ピーク面積に対するクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来するピークの合計面積の割合が20重量%以上である。
That is, the resin composition of the present invention contains a solid content of an organic compound containing a polyamic acid or a polyimide, and silica particles,
the content of the silica particles is within a range of 10 to 85% by weight (wherein the polyamic acid is converted into an imidized polyimide) based on the total amount of the solid content and the silica particles;
As a whole, the silica particles have a ratio of the total area of peaks derived from the cristobalite crystal phase and the quartz crystal phase to the total peak area derived from SiO2 in the range of 2θ = 10 ° to 90 ° in the X-ray diffraction analysis spectrum using CuKα rays of 20 wt % or more.

本発明の樹脂組成物は、レーザ回折散乱法による体積基準の粒度分布測定によって得られる前記シリカ粒子の頻度分布曲線におけるメジアン径D50が6~20μmの範囲内であってもよい。 In the resin composition of the present invention, the median diameter D 50 in a frequency distribution curve of the silica particles obtained by volume-based particle size distribution measurement using a laser diffraction scattering method may be within a range of 6 to 20 μm.

本発明の樹脂組成物は、前記シリカ粒子における粒子径が3μm以上の粒子の90重量%以上が、円形度0.7以上であってもよい。 In the resin composition of the present invention, 90% by weight or more of the silica particles having a particle diameter of 3 μm or more may have a circularity of 0.7 or more.

本発明の樹脂組成物は、前記シリカ粒子の90重量%以上が、真比重2.3以上であってもよい。 In the resin composition of the present invention, 90% by weight or more of the silica particles may have a true specific gravity of 2.3 or more.

本発明の樹脂フィルムは、単層又は複数層のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、前記ポリイミド層の少なくとも1層が、上記いずれかの樹脂組成物により形成された結晶性シリカ含有ポリイミド層であり、該結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みが15μm~200μmの範囲内である。 The resin film of the present invention is a resin film having a single or multiple polyimide layers, at least one of which is a crystalline silica-containing polyimide layer formed from any of the above resin compositions, and the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer is within the range of 15 μm to 200 μm.

本発明の樹脂フィルムは、樹脂フィルムの全体の厚みに対する前記結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みの割合が50%以上であってもよい。 The resin film of the present invention may have a thickness ratio of the crystalline silica-containing polyimide layer to the total thickness of the resin film of 50% or more.

本発明の樹脂フィルムは、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定したときの周波数3~20GHzにおける比誘電率が3.1以下であってもよい。 The resin film of the present invention may have a relative dielectric constant of 3.1 or less at a frequency of 3 to 20 GHz when measured using a split post dielectric resonator (SPDR).

本発明の樹脂フィルムは、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定したときの周波数3~20GHzにおける誘電正接が0.005以下であってもよい。 The resin film of the present invention may have a dielectric loss tangent of 0.005 or less at a frequency of 3 to 20 GHz when measured using a split post dielectric resonator (SPDR).

本発明の樹脂フィルムは、熱膨張係数が50ppm/K以下であってもよい。 The resin film of the present invention may have a thermal expansion coefficient of 50 ppm/K or less.

本発明の金属張積層板は、絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも片面の面に積層された金属層と、を備えており、前記絶縁樹脂層の少なくとも1層が、上記いずれかの樹脂フィルムからなるものである。 The metal-clad laminate of the present invention comprises an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer, and at least one layer of the insulating resin layer is made of any of the resin films described above.

本発明の樹脂組成物は、ポリイミド本来の耐熱性に加え、特定の結晶構造を有するシリカ粒子を含有しているため誘電特性に優れている。従って、本発明の樹脂組成物及び樹脂フィルムは、高速信号伝送を必要とする電子機器において、FPC等の回路基板材料として特に好適に用いることができる。具体的には、高周波信号を扱うスマートフォン等のモバイル機器向けFPCの絶縁樹脂層や、耐熱性が必要となる車載向けFPCの絶縁樹脂層などの用途に適している。 The resin composition of the present invention has excellent dielectric properties because it contains silica particles with a specific crystal structure in addition to the inherent heat resistance of polyimide. Therefore, the resin composition and resin film of the present invention can be particularly suitably used as a circuit board material such as FPC in electronic devices that require high-speed signal transmission. Specifically, it is suitable for applications such as insulating resin layers in FPCs for mobile devices such as smartphones that handle high-frequency signals, and insulating resin layers in FPCs for vehicles that require heat resistance.

以下、本発明の実施の形態について説明する。 The following describes an embodiment of the present invention.

[樹脂組成物]
本発明の一実施の形態に係る樹脂組成物は、ポリアミド酸又はポリイミドを含有する有機化合物の固形分と、シリカ粒子と、を含有する樹脂組成物であって、
前記シリカ粒子の含有量が、前記固形分の全量及び前記シリカ粒子の合計に対し10~85重量%の範囲内であり、
前記シリカ粒子全体として、CuKα線によるX線回折分析スペクトルの2θ=10°~90°の範囲におけるSiOに由来する全ピーク面積に対するクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来するピークの合計面積の割合が20重量%以上である。樹脂組成物は、ポリアミド酸を含有するワニス(樹脂溶液)であってもよく、溶剤可溶性のポリイミドを含有するポリイミド溶液であってもよい。
[Resin composition]
A resin composition according to one embodiment of the present invention is a resin composition containing a solid content of an organic compound containing polyamic acid or polyimide and silica particles,
the content of the silica particles is within a range of 10 to 85% by weight based on the total amount of the solid content and the silica particles;
As a whole, the silica particles have a ratio of the total area of peaks derived from the cristobalite crystal phase and the quartz crystal phase to the total peak area derived from SiO2 in the range of 2θ = 10 ° to 90 ° in the X-ray diffraction analysis spectrum using CuKα radiation of 20 wt % or more. The resin composition may be a varnish (resin solution) containing a polyamic acid, or a polyimide solution containing a solvent-soluble polyimide.

[有機化合物の固形分]
有機化合物の固形分とは、樹脂組成物から溶剤及び無機固形分を除いた残りの固形分を意味する。すなわち、有機化合物の固形分は、ポリアミド酸又はポリイミドを含有し、任意成分として、ポリイミド以外の樹脂、架橋剤、有機フィラー、可塑剤、硬化促進剤、カップリング剤、有機顔料、有機系難燃剤、充填剤などの不揮発性の有機化合物を含有することができる。ここで、ポリイミド以外の樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、オレフィン系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステル樹脂などを挙げることができる。架橋剤としては、後述する少なくとも2つの第1級のアミノ基を官能基として有するアミノ化合物(架橋形成用アミノ化合物)などを挙げることができる。有機フィラーとしては、例えば、液晶ポリマー粒子、フッ素系ポリマー粒子、ポリエーテル系樹脂粒子、オレフィン系樹脂粒子などを挙げることができる。
[Solid content of organic compounds]
The solid content of the organic compound means the remaining solid content after removing the solvent and inorganic solid content from the resin composition. That is, the solid content of the organic compound contains polyamic acid or polyimide, and may contain non-volatile organic compounds such as resins other than polyimide, crosslinking agents, organic fillers, plasticizers, curing accelerators, coupling agents, organic pigments, organic flame retardants, and fillers as optional components. Here, examples of resins other than polyimide include epoxy resins, fluororesins, olefin resins, polyether resins, and polyester resins. Examples of crosslinking agents include amino compounds (amino compounds for crosslinking) having at least two primary amino groups as functional groups, which will be described later. Examples of organic fillers include liquid crystal polymer particles, fluorine-based polymer particles, polyether resin particles, and olefin resin particles.

有機化合物の固形分中のポリアミド酸又はポリイミドの含有率は、60重量%以上であることが好ましく、70重量%以上がより好ましく、80重量%以上が最も好ましい。ポリアミド酸又はポリイミドの含有率が60重量%未満であると、樹脂の靭性が低下し、樹脂フィルムを形成したときのフィルム保持性が低下する。なお、ポリアミド酸の場合はイミド化されたポリイミドに換算して重量比を算出するものとする。 The content of polyamic acid or polyimide in the solid content of the organic compound is preferably 60% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and most preferably 80% by weight or more. If the content of polyamic acid or polyimide is less than 60% by weight, the toughness of the resin decreases, and the film retention when a resin film is formed decreases. In the case of polyamic acid, the weight ratio is calculated by converting it into imidized polyimide.

[ポリアミド酸又はポリイミド]
ポリイミドは、一般的に下記一般式(1)で表される。このようなポリイミドは、ジアミン成分と酸二無水物成分とを実質的に等モル使用し、有機極性溶媒中で重合させる公知の方法によって製造することができる。この場合、粘度を所望の範囲とするために、ジアミン成分に対する酸二無水物成分のモル比を調整してもよく、その範囲は、例えば0.98~1.03のモル比の範囲内とすることが好ましい。
[Polyamic acid or polyimide]
Polyimides are generally represented by the following general formula (1). Such polyimides can be produced by a known method in which substantially equimolar amounts of a diamine component and an acid dianhydride component are used and polymerized in an organic polar solvent. In this case, the molar ratio of the acid dianhydride component to the diamine component may be adjusted to set the viscosity in a desired range, and the range is preferably, for example, within a molar ratio range of 0.98 to 1.03.

Figure 2024061741000001
Figure 2024061741000001

ここで、Arは芳香族環を1個以上有する4価の有機基であり、Arは芳香族環を1個以上有する2価の有機基である。そして、Arは酸二無水物の残基ということができ、Arはジアミンの残基ということができる。また、nは、一般式(1)の構成単位の繰返し数を表し、200以上、好ましくは300~1000の数である。 Here, Ar1 is a tetravalent organic group having one or more aromatic rings, and Ar2 is a divalent organic group having one or more aromatic rings. Ar1 can be said to be a residue of an acid dianhydride, and Ar2 can be said to be a residue of a diamine. Furthermore, n represents the number of repetitions of the structural unit of general formula (1) and is a number of 200 or more, preferably 300 to 1000.

酸二無水物としては、例えば、O(OC)-Ar-(CO)Oによって表される芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましく、下記芳香族酸無水物残基をArとして与えるものが例示される。 As the acid dianhydride, for example, an aromatic tetracarboxylic acid dianhydride represented by O(OC) 2 --Ar 1 --(CO) 2 O is preferable, and examples thereof include those which give the following aromatic acid anhydride residue as Ar 1 .

Figure 2024061741000002
Figure 2024061741000002

酸二無水物は、単独で又は2種以上混合して用いることができる。これらの中でも、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)、及び4,4'-オキシジフタル酸二無水物(ODPA)から選ばれるものを使用することが好ましい。 The acid dianhydrides can be used alone or in combination of two or more. Among these, it is preferable to use one selected from pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (DSDA), and 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (ODPA).

ジアミンとしては、例えば、HN-Ar-NHによって表される芳香族ジアミンが好ましく、下記芳香族ジアミン残基をArとして与える芳香族ジアミンが例示される。 As the diamine, for example, an aromatic diamine represented by H 2 N-Ar 2 -NH 2 is preferable, and an aromatic diamine giving the following aromatic diamine residue as Ar 2 is exemplified.

Figure 2024061741000003
Figure 2024061741000003

これらのジアミンの中でも、ジアミノジフェニルエーテル(DAPE)、2,2'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル(m-TB)、パラフェニレンジアミン(p-PDA)、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-Q)、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、及び2,2-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(TFMB)が好適なものとして例示される。 Among these diamines, preferred examples include diaminodiphenyl ether (DAPE), 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), paraphenylenediamine (p-PDA), 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB), 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-Q), 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), and 2,2-bis(trifluoromethyl)benzidine (TFMB).

ポリイミドは、酸二無水物とジアミン化合物を溶媒中で反応させ、前駆体であるポリアミド酸を生成したのち加熱閉環(イミド化)させることにより製造できる。例えば、酸二無水物とジアミン化合物をほぼ等モルで有機溶媒中に溶解させて、0~100℃の範囲内の温度で30分~72時間撹拌し重合反応させることでポリアミド酸が得られる。反応にあたっては、生成する前駆体が有機溶媒中に5~30重量%の範囲内、好ましくは10~20重量%の範囲内となるように反応成分を溶解する。重合反応に用いる有機溶媒としては、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)、N,N-ジエチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)、2-ブタノン、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ヘキサメチルホスホルアミド、N-メチルカプロラクタム、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム、クレゾール等が挙げられる。これらの溶媒を2種以上併用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。また、このような有機溶媒の使用量としては特に制限されるものではないが、重合反応によって得られるポリアミド酸溶液の濃度が5~30重量%程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。 Polyimide can be produced by reacting an acid dianhydride with a diamine compound in a solvent to produce a precursor polyamic acid, which is then heated to close the ring (imidization). For example, polyamic acid can be obtained by dissolving an acid dianhydride and a diamine compound in an organic solvent in approximately equal moles, and stirring the mixture at a temperature in the range of 0 to 100°C for 30 minutes to 72 hours to polymerize the mixture. In the reaction, the reaction components are dissolved so that the precursor produced is in the range of 5 to 30% by weight, preferably 10 to 20% by weight, in the organic solvent. Examples of organic solvents used in the polymerization reaction include N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme, and cresol. Two or more of these solvents can be used in combination, and aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can also be used in combination. There are no particular limitations on the amount of organic solvent used, but it is preferable to adjust the amount used so that the concentration of the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is about 5 to 30% by weight.

合成されたポリアミド酸は、通常、反応溶媒溶液として使用することが有利であるが、必要により濃縮、希釈又は他の有機溶媒に置換して樹脂組成物を形成することができる。ポリアミド酸をイミド化させる方法は、特に制限されず、例えば前記溶媒中で、80~400℃の範囲内の温度条件で1~24時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。 The synthesized polyamic acid is usually advantageously used as a reaction solvent solution, but if necessary, it can be concentrated, diluted, or replaced with another organic solvent to form a resin composition. There are no particular limitations on the method for imidizing the polyamic acid, and a suitable method is, for example, heat treatment in the solvent at a temperature in the range of 80 to 400°C for 1 to 24 hours.

ポリイミドは、熱可塑性ポリイミドでもよいし、熱硬化性ポリイミドでもよい。なお、「熱可塑性ポリイミド」とは、一般にガラス転移温度(Tg)が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、300℃における貯蔵弾性率が3.0×10Pa未満であるポリイミドをいう。また、「非熱可塑性ポリイミド」とは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、300℃における貯蔵弾性率が3.0×10Pa以上であるポリイミドをいう。 The polyimide may be a thermoplastic polyimide or a thermosetting polyimide. The term "thermoplastic polyimide" generally refers to a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed, but in the present invention, it refers to a polyimide whose storage modulus at 30° C. is 1.0×10 8 Pa or more and whose storage modulus at 300° C. is less than 3.0×10 7 Pa, as measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA). The term "non-thermoplastic polyimide" generally refers to a polyimide that does not soften or show adhesiveness even when heated, but in the present invention, it refers to a polyimide whose storage modulus at 30° C. is 1.0×10 9 Pa or more and whose storage modulus at 300° C. is 3.0×10 8 Pa or more, as measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA).

[シリカ粒子]
シリカ粒子としては、結晶性シリカ粒子を含んでいればよい。また、非晶質シリカ粒子を含んでいてもよい。樹脂組成物に結晶性シリカ粒子を配合することによって、樹脂フィルムを形成したときの誘電正接を低下させることができる。樹脂フィルムを形成したときの低誘電正接化を図る観点から、結晶性シリカ粒子として、クリストバライト結晶相を有するシリカ粒子を用いることが特に好ましい。クリストバライト結晶相を有するシリカ粒子は、一般的なシリカ粒子と比較して非常に優れた誘電特性(例えば、クリストバライト結晶相を90重量%以上含有するシリカ粒子は、単体で10GHzにおける誘電正接が0.0008程度)であり、樹脂フィルムの低誘電正接化に大きく寄与することができる。
[Silica particles]
The silica particles may contain crystalline silica particles. In addition, amorphous silica particles may be contained. By blending crystalline silica particles in the resin composition, the dielectric loss tangent when the resin film is formed can be reduced. From the viewpoint of achieving a low dielectric loss tangent when the resin film is formed, it is particularly preferable to use silica particles having a cristobalite crystal phase as the crystalline silica particles. Silica particles having a cristobalite crystal phase have very excellent dielectric properties compared to general silica particles (for example, silica particles containing 90% by weight or more of the cristobalite crystal phase have a dielectric loss tangent of about 0.0008 at 10 GHz by itself), and can greatly contribute to the low dielectric loss tangent of the resin film.

また、シリカ粒子は、レーザ回折散乱法による体積基準の粒度分布によって得られる頻度分布曲線におけるメジアン径D50が6~20μmの範囲内にあり、8~15μmの範囲内であることが好ましい。この範囲内であれば誘電特性を効果的に上昇させ、樹脂フィルムに配合した時の表面平滑性を悪化させることなく、低誘電化された樹脂フィルムが得られる。メジアン径D50が前記範囲を下回るとシリカ粒子の表面積が増えシリカ粒子表面の吸着水が誘電特性へ影響を及ぼすことがある。メジアン径D50が前記範囲を上回るとフィルムの表面の凹凸として現れフィルム表面の平滑性を悪化させることがある。 The silica particles have a median diameter D50 in a frequency distribution curve obtained by a volume-based particle size distribution by a laser diffraction scattering method in the range of 6 to 20 μm, preferably in the range of 8 to 15 μm. If it is within this range, the dielectric properties are effectively increased, and a low-dielectric resin film can be obtained without deteriorating the surface smoothness when blended into a resin film. If the median diameter D50 is below the range, the surface area of the silica particles increases, and water adsorbed on the silica particle surface may affect the dielectric properties. If the median diameter D50 exceeds the range, it may appear as unevenness on the film surface and degrade the smoothness of the film surface.

また、シリカ粒子としては、球状シリカ粒子を用いることが好ましい。球状シリカ粒子は、形状が真球状に近いシリカ粒子で、平均長径と平均短径の比が1又は1に近いものをいう。また、シリカ粒子の分散性と誘電特性の改善作用を高めるため、粒子径が3μm以上のシリカ粒子の90重量%以上が円形度0.7以上であることが好ましく、0.9以上であることがより好ましい。シリカ粒子の円形度は、画像解析法によって、撮影された粒子と同じ投影面積を持つ円を想定し、その円の周囲長と当該粒子の周囲長の比で求めることができる。円形度が0.7未満であると、表面積が増え、誘電特性に悪影響が生じることがあり、さらに樹脂溶液へ配合した際の粘度の上昇が大きくなり、取り扱いがし難くなる。また、3次元的に求められる真球度においても前記円形度の値と実質的に対応する値が好ましい。 As the silica particles, it is preferable to use spherical silica particles. Spherical silica particles are silica particles whose shape is close to a perfect sphere, and whose ratio of the average major axis to the average minor axis is 1 or close to 1. In order to enhance the dispersibility of the silica particles and the improvement of the dielectric properties, it is preferable that 90% by weight or more of the silica particles whose particle diameter is 3 μm or more have a circularity of 0.7 or more, and more preferably 0.9 or more. The circularity of the silica particles can be determined by an image analysis method, assuming a circle having the same projected area as the photographed particle, and calculating the ratio of the perimeter of the circle to the perimeter of the particle. If the circularity is less than 0.7, the surface area increases, which may adversely affect the dielectric properties, and the viscosity increases significantly when the particles are mixed into a resin solution, making handling difficult. In addition, it is preferable that the sphericity determined three-dimensionally also has a value that substantially corresponds to the circularity value.

また、シリカ粒子は、シリカ粒子の分散性と誘電特性の改善作用を高めるため、真比重が2.3以上であることが好ましい。真比重が2.3未満であるとシリカ粒子の結晶化度が小さいことを示唆し、誘電特性向上の効果が小さくなる。 In addition, it is preferable that the silica particles have a true specific gravity of 2.3 or more in order to enhance the dispersibility of the silica particles and improve the dielectric properties. If the true specific gravity is less than 2.3, it indicates that the crystallinity of the silica particles is low, and the effect of improving the dielectric properties is reduced.

シリカ粒子は表面処理を施しても良い。表面処理には公知の技術を用いることができ、例えばコロナ処理、プラズマ処理、UV処理などによる改質や、シランカップリング剤等を用いた官能基化処理などが好ましい。シリカ粒子を表面処理することによって、粒子表面にアルキル基、アミノ基及びアルコキシ基などを付与することによって、溶剤もしくはポリアミック酸との親和性を向上させる、もしくは粒子同士の反発力を向上させることで、シリカ粒子の分散性、ワニスの長期安定性が向上する。 The silica particles may be surface-treated. Known techniques can be used for the surface treatment, and preferable examples include modification by corona treatment, plasma treatment, UV treatment, and functionalization using a silane coupling agent. By surface-treating the silica particles, alkyl groups, amino groups, alkoxy groups, and the like are imparted to the particle surface, improving the affinity with the solvent or polyamic acid, or improving the repulsive force between the particles, thereby improving the dispersibility of the silica particles and the long-term stability of the varnish.

樹脂フィルムを形成したときの低誘電正接化を図る観点から、使用するシリカ粒子の集合体全体として、CuKα線によるX線回折分析スペクトルの2θ=10°~90°の範囲におけるSiOに由来する全ピークの総面積に対するクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来するピークの合計面積の割合が20重量%以上であることが好ましく、40重量%以上がより好ましく、80重量%以上が望ましい。シリカ粒子全体におけるクリストバライト結晶相及び/又はクオーツ結晶相の割合を高くすることで、ポリイミドの更なる低誘電正接化を図ることが可能となる。シリカ粒子全体におけるクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来するピークの面積の割合が20重量%未満であると誘電特性向上の効果が不明瞭になる。クリストバライト結晶相の割合は、一様に混合された状態の全シリカ粒子について、α放射線を使用したX線回折法(XRD)によって10°≦2θ≦90°の範囲内で測定されるクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来する回折ピークの合計面積と、前記範囲内の全シリカ粒子由来の回折ピークの総面積の比で求められる。なお、X線回折分析スペクトルにおける対象のピークが、非晶質のブロードなピークとの分離が困難な場合や他の結晶相ピークと重なる場合は、公知の各種解析手法、例えば内部標準法やPONKCS法等を用いることができる。 From the viewpoint of achieving a low dielectric tangent when a resin film is formed, the ratio of the total area of the peaks derived from the cristobalite crystal phase and the quartz crystal phase to the total area of all peaks derived from SiO 2 in the range of 2θ = 10 ° to 90 ° in the X-ray diffraction analysis spectrum by CuKα rays is preferably 20 wt% or more, more preferably 40 wt% or more, and desirably 80 wt% or more for the entire aggregate of silica particles used. By increasing the ratio of the cristobalite crystal phase and / or quartz crystal phase in the entire silica particles, it is possible to further reduce the dielectric tangent of the polyimide. If the ratio of the area of the peaks derived from the cristobalite crystal phase and the quartz crystal phase in the entire silica particles is less than 20 wt%, the effect of improving the dielectric properties becomes unclear. The proportion of the cristobalite crystalline phase is determined by the ratio of the total area of the diffraction peaks derived from the cristobalite crystalline phase and the quartz crystalline phase measured in the range of 10°≦2θ≦90° by X-ray diffraction (XRD) using α radiation for all silica particles in a uniformly mixed state to the total area of the diffraction peaks derived from all silica particles within the range. When the target peak in the X-ray diffraction analysis spectrum is difficult to separate from the broad amorphous peak or overlaps with other crystalline phase peaks, various known analytical methods, such as the internal standard method and the PONKCS method, can be used.

好ましい実施の形態としては、クリストバライト結晶相の割合が50重量%以上であるシリカ粒子の集合体を用いることができる。さらに好ましい実施形態としては、クリストバライト結晶相の割合が90重量%以上であるシリカ粒子の集合体の一部分(例えば、全体の80重量%以下)を非晶質のシリカ粒子で代替して使用することができる。非晶質シリカ粒子の代替使用は、必要に応じて行うことができ、それによってコストの削減、高密度充填及び溶液粘度の調整が可能になり、取り扱い性に優れた樹脂組成物が調製できるメリットがある。 As a preferred embodiment, an aggregate of silica particles having a cristobalite crystalline phase of 50% by weight or more can be used. As an even more preferred embodiment, a portion (e.g., 80% by weight or less of the total) of an aggregate of silica particles having a cristobalite crystalline phase of 90% by weight or more can be replaced with amorphous silica particles. The use of amorphous silica particles as a replacement can be performed as necessary, and has the advantages of reducing costs, enabling high-density packing and adjustment of solution viscosity, and allowing the preparation of a resin composition with excellent handleability.

なお、シリカ粒子は、市販品を適宜選定して用いることができる。結晶性シリカ粒子として、例えば、球状クリストバライトシリカ粉末(日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名;CR10-20)を好ましく使用できる。また、結晶性シリカ粒子と組み合わせて配合可能な非晶質シリカ粒子として、球状非晶質シリカ粉末(日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名;SC70-2、商品名;SP40-10)などを用いることができる。さらに、シリカ粒子として2種以上の異なるシリカ粒子を併用してもよい。 The silica particles can be appropriately selected from commercially available products. For example, spherical cristobalite silica powder (manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., product name: CR10-20) can be preferably used as the crystalline silica particles. In addition, spherical amorphous silica powder (manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., product name: SC70-2, product name: SP40-10) can be used as the amorphous silica particles that can be combined with the crystalline silica particles. Furthermore, two or more different types of silica particles can be used in combination.

[配合組成]
樹脂組成物におけるシリカ粒子の含有量は、樹脂組成分中の有機化合物の固形分及びシリカ粒子の合計量に対し10~85重量%(ただしポリアミド酸はイミド化されたポリイミドに換算する。)の範囲内であり、好ましくは10~80重量%の範囲内、より好ましくは15~75重量%の範囲内である。シリカ粒子の含有割合が10重量%に満たないと、誘電正接を低下させる効果が十分に得られなくなる。また、シリカ粒子の含有割合が85重量%を超えると、ポリイミドの接着性などの特性が低下し、特にシリカ粒子の含有割合が80重量%を超えると、樹脂フィルムを形成したときに脆くなり、折り曲げ性が低下するとともに、樹脂フィルムを形成しようとする場合、樹脂組成物の粘度が高くなり、作業性も低下する。
[Composition]
The content of silica particles in the resin composition is within the range of 10 to 85% by weight (wherein polyamic acid is converted to imidized polyimide) based on the total amount of the solid content of the organic compound in the resin composition and the silica particles, preferably within the range of 10 to 80% by weight, more preferably within the range of 15 to 75% by weight. If the content of silica particles is less than 10% by weight, the effect of lowering the dielectric tangent cannot be sufficiently obtained. If the content of silica particles exceeds 85% by weight, the properties such as the adhesiveness of the polyimide are reduced, and especially if the content of silica particles exceeds 80% by weight, the resin film becomes brittle when formed, the bending property is reduced, and when a resin film is to be formed, the viscosity of the resin composition increases and the workability is reduced.

[任意成分]
本実施の形態の樹脂組成物は、有機溶媒を含有することができる。有機溶媒としては、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)、N,N-ジエチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)、2-ブタノン、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ヘキサメチルホスホルアミド、N-メチルカプロラクタム、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム、クレゾール等が挙げられる。これらの溶媒を2種以上併用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。有機溶媒の含有量としては特に制限されるものではないが、ポリアミド酸又はポリイミドの濃度が5~30重量%程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。
[Optional ingredients]
The resin composition of the present embodiment may contain an organic solvent. Examples of the organic solvent include N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme, and cresol. Two or more of these solvents may be used in combination, and aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may also be used in combination. The content of the organic solvent is not particularly limited, but it is preferable to adjust the amount of use so that the concentration of the polyamic acid or polyimide is about 5 to 30% by weight.

本発明の樹脂組成物には、発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じて任意成分として、シリカ以外の無機フィラー、無機顔料、無機系難燃剤、無機系放熱剤などを適宜配合することができる。シリカ粒子以外の無機フィラーとしては、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、酸化ニオブ、酸化チタン、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、ケイフッ化カリウム、ホスフィン酸金属塩等を挙げることができる。これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。 The resin composition of the present invention may contain optional components such as inorganic fillers other than silica, inorganic pigments, inorganic flame retardants, and inorganic heat dissipation agents, as necessary, within the scope of not impairing the effects of the invention. Examples of inorganic fillers other than silica particles include aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, niobium oxide, titanium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, calcium fluoride, magnesium fluoride, potassium silicofluoride, and metal phosphinates. These may be used alone or in combination of two or more.

[粘度]
樹脂組成物の粘度は、樹脂組成粒を塗工する際のハンドリング性を高め、均一な厚みの塗膜を形成しやすい粘度範囲として、例えば3000cps~100000cpsの範囲内とすることが好ましく、5000cps~50000cpsの範囲内とすることがより好ましい。上記の粘度範囲を外れると、コーター等による塗工作業の際にフィルムに厚みムラ、スジ等の不良が発生し易くなる。
[viscosity]
The viscosity of the resin composition is preferably within a range of, for example, 3000 cps to 100000 cps, more preferably 5000 cps to 50000 cps, so as to improve the handling property when coating the resin composition particles and to easily form a coating film of uniform thickness. If the viscosity is outside the above range, defects such as uneven thickness and streaks are likely to occur in the film during coating operation using a coater or the like.

[樹脂組成物の調製]
樹脂組成物の調製に際しては、例えば、任意の溶剤を用いて作製したポリアミド酸の樹脂溶液にシリカ粒子を直接配合してもよい。あるいは、シリカ粒子の分散性を考慮し、ポリアミド酸の原料である酸二無水物成分及びジアミン成分のいずれか片方を投入した反応溶媒に予めシリカ粒子を配合した後、攪拌下にもう片方の原料を投入して重合を進行させてもよい。いずれの方法においても、一回でシリカ粒子を全量投入してもよいし、数回分けて少しずつ添加してもよい。また、原料も一括で入れてもよいし、数回に分けて少しずつ混合してもよい。
[Preparation of resin composition]
In preparing the resin composition, for example, silica particles may be directly mixed into a resin solution of polyamic acid prepared using any solvent. Alternatively, taking into consideration the dispersibility of silica particles, silica particles may be mixed in advance into a reaction solvent containing either an acid dianhydride component or a diamine component, which are raw materials for polyamic acid, and then the other raw material may be added under stirring to proceed with polymerization. In either method, the entire amount of silica particles may be added at once, or may be added little by little in several portions. In addition, the raw materials may be added all at once, or may be mixed little by little in several portions.

[樹脂フィルム]
本実施の形態の樹脂フィルムは、単層又は複数層のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、ポリイミド層の少なくとも1層、好ましくは全てが、上記樹脂組成物により形成された結晶性シリカ含有ポリイミド層であればよい。
[Resin film]
The resin film of the present embodiment is a resin film having a single or multiple polyimide layers, and at least one, preferably all, of the polyimide layers may be a crystalline silica-containing polyimide layer formed from the above-mentioned resin composition.

樹脂フィルム中で、樹脂組成物によって形成される結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みは、例えば15~200μmの範囲内であることが好ましく、20~150μmの範囲内であることがより好ましい。結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みが15μmに満たないと、シリカ粒子が樹脂フィルムの表面へ突出し、表面平滑性が悪くなる。反対に、結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みが200μmを超えると樹脂フィルムの折り曲げ性が低下するなどの点で不利になる傾向となる。 In the resin film, the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer formed by the resin composition is preferably within the range of 15 to 200 μm, and more preferably within the range of 20 to 150 μm. If the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer is less than 15 μm, the silica particles will protrude to the surface of the resin film, resulting in poor surface smoothness. Conversely, if the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer exceeds 200 μm, there is a tendency for this to be disadvantageous in that the foldability of the resin film decreases.

樹脂フィルム全体の厚さは、例えば15~200μmの範囲内であり、20~200μmの範囲内であることが好ましく、25~200μmの範囲内がより好ましい。樹脂フィルムの厚みが15μmに満たないと、金属張積層板の製造時の搬送工程で金属箔にシワが入り、また樹脂フィルムが破れるなどの不具合が生じやすくなる。反対に、樹脂フィルムの厚みが200μmを超えると樹脂フィルムの折り曲げ性が低下するなどの点で不利になる傾向となる。 The overall thickness of the resin film is, for example, in the range of 15 to 200 μm, preferably in the range of 20 to 200 μm, and more preferably in the range of 25 to 200 μm. If the thickness of the resin film is less than 15 μm, problems such as wrinkles in the metal foil and tears in the resin film are likely to occur during the transport process in the manufacture of the metal-clad laminate. Conversely, if the thickness of the resin film exceeds 200 μm, there is a tendency for problems such as reduced foldability of the resin film to occur.

また、樹脂フィルムの全体の厚みに対する結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みの割合は、総厚みに対して50%以上であることが好ましい。樹脂フィルムの全体の厚みに対する結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みの割合が50%未満では、誘電特性の改善効果が十分に得られない。 The ratio of the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer to the total thickness of the resin film is preferably 50% or more. If the ratio of the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer to the total thickness of the resin film is less than 50%, the effect of improving the dielectric properties is not sufficiently obtained.

結晶性シリカ含有ポリイミド層を形成する方法は、特に限定されるものではなく公知の手法を採用することができる。ここでは、その最も代表的な例を示す。
まず、樹脂組成物を任意の支持基材上に直接流延塗布して塗布膜を形成する。次に、塗布膜を150℃以下の温度である程度溶媒を乾燥除去する。樹脂組成物がポリアミド酸を含有する場合は、その後、塗布膜に対し、更にイミド化のために100~400℃、好ましくは130~360℃の温度範囲で5~30分間程度の熱処理を行う。このようにして支持基材上に結晶性シリカ含有ポリイミド層を形成することができる。
2層以上のポリイミド層とする場合、第一のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥したのち、第二のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥する。それ以降は、同様にして第三のポリアミド酸の樹脂溶液、次に、第四のポリアミド酸の樹脂溶液、・・・というように、ポリアミド酸の樹脂溶液を、必要な回数だけ、順次塗布し、乾燥する。その後、まとめて100~400℃の温度範囲で5~30分間程度の熱処理を行って、イミド化を行うことがよい。イミド化の温度が100℃より低いとポリイミドの脱水閉環反応が十分に進行せず、反対に400℃を超えると、ポリイミド層が劣化するおそれがある。
また、イミド化した任意のポリイミド層に適切な表面処理等を行うことで、さらに重ねて樹脂溶液の塗布、乾燥及びイミド化の工程を経て、新たに層を重ねることができる。その場合、途中工程のイミド化は完結させる必要はなく、最終工程にてまとめてイミド化を完結させることができる。
また、イミド化した任意のポリイミド層は、別に形成した樹脂フィルムと加熱圧着することができる。
なお、樹脂フィルムは支持基材付きの状態でも良い。
The method for forming the crystalline silica-containing polyimide layer is not particularly limited, and any known method can be used. Here, the most typical example will be described.
First, the resin composition is directly cast onto any supporting substrate to form a coating film. Next, the coating film is dried to remove the solvent to a certain extent at a temperature of 150° C. or less. If the resin composition contains polyamic acid, the coating film is then further heat-treated at a temperature range of 100 to 400° C., preferably 130 to 360° C., for about 5 to 30 minutes for imidization. In this manner, a crystalline silica-containing polyimide layer can be formed on the supporting substrate.
When forming two or more polyimide layers, a first polyamic acid resin solution is applied and dried, and then a second polyamic acid resin solution is applied and dried. Thereafter, a third polyamic acid resin solution, then a fourth polyamic acid resin solution, ..., and so on, are applied and dried in the same manner as many times as necessary. Then, it is preferable to perform a heat treatment at a temperature range of 100 to 400°C for about 5 to 30 minutes to perform imidization. If the imidization temperature is lower than 100°C, the dehydration ring-closing reaction of the polyimide does not proceed sufficiently, and conversely, if it exceeds 400°C, the polyimide layer may deteriorate.
In addition, by subjecting any imidized polyimide layer to an appropriate surface treatment, etc., it is possible to further overlay a new layer through the steps of applying a resin solution, drying, and imidization. In this case, it is not necessary to complete the imidization in the middle steps, and the imidization can be completed all at once in the final step.
Furthermore, any imidized polyimide layer can be bonded by heating and pressing to a separately formed resin film.
The resin film may be attached to a supporting substrate.

また、結晶性シリカ含有ポリイミド層を形成する別の例を挙げる。
まず、任意の支持基材上に、樹脂組成物を流延塗布してフィルム状成型する。このフィルム状成型物を、支持基材上で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲルフィルムとする。ゲルフィルムを支持基材より剥離した後、樹脂組成物がポリアミド酸を含有する場合は、更に高温で熱処理し、イミド化させてポリイミドの樹脂フィルムとする。
Another example of forming a crystalline silica-containing polyimide layer will be described.
First, the resin composition is cast onto an arbitrary support substrate to form a film. This film-shaped molded product is heated and dried on the support substrate to form a gel film having self-supporting properties. After peeling the gel film from the support substrate, if the resin composition contains polyamic acid, it is further heat-treated at a high temperature to imidize the resin composition to form a polyimide resin film.

結晶性シリカ含有ポリイミド層の形成に用いる支持基材は、特に限定されるものではなく、任意の材質の基材を用いることができる。また、樹脂フィルムの形成にあたっては、基材上で完全にイミド化を完了させた樹脂フィルムを形成する必要はない。例えば、半硬化状態のポリイミド前駆体状態での樹脂フィルムを支持基材から剥離等の手段で分離し、分離後イミド化を完了させて樹脂フィルムとすることもできる。 The support substrate used in forming the crystalline silica-containing polyimide layer is not particularly limited, and a substrate of any material can be used. In addition, when forming the resin film, it is not necessary to form a resin film on the substrate that has been completely imidized. For example, a resin film in a semi-cured polyimide precursor state can be separated from the support substrate by a means such as peeling, and after separation, the imidization can be completed to form a resin film.

樹脂フィルムは、無機フィラーを含有するポリイミド層(上記結晶性シリカ含有ポリイミド層を含む)のみからなっていてもよく、無機フィラーを含有しないポリイミド層を有してもよい。樹脂フィルムを複数層の積層構造とする場合、誘電特性の改善を考慮するとすべての層に無機フィラーを含有させることが好ましい。ただし、無機フィラーを含有するポリイミド層の隣接層を、無機フィラーを含有しない層とするか、あるいはその含有量が低い層とすることにより、加工時等での無機フィラーの滑落が防止できるという有利な効果をもたせることができる。無機フィラーを含有しないポリイミド層を有する場合、その厚みは、例えば、無機フィラーを含有するポリイミド層の1/100~1/2の範囲内、好ましくは1/20~1/3の範囲内とすることがよい。無機フィラーを含有しないポリイミド層を有する場合、そのポリイミド層が金属層に接するようにすれば、金属層と絶縁層の接着性が向上する。 The resin film may be composed of only a polyimide layer containing inorganic filler (including the above-mentioned crystalline silica-containing polyimide layer), or may have a polyimide layer that does not contain inorganic filler. When the resin film has a laminated structure of multiple layers, it is preferable to have all layers contain inorganic filler in consideration of improving the dielectric properties. However, by making the layer adjacent to the polyimide layer containing inorganic filler a layer that does not contain inorganic filler or a layer with a low content of inorganic filler, it is possible to obtain an advantageous effect of preventing the inorganic filler from slipping off during processing, etc. When a polyimide layer that does not contain inorganic filler is included, the thickness of the layer is preferably within a range of 1/100 to 1/2, preferably 1/20 to 1/3, of the polyimide layer containing inorganic filler. When a polyimide layer that does not contain inorganic filler is included, the adhesion between the metal layer and the insulating layer is improved if the polyimide layer is in contact with the metal layer.

樹脂フィルムの熱膨張係数(CTE)は、特に限定されないが、例えば10×10-6~50×10-6/K(10~50ppm/K)の範囲内にあることが好ましく、15×10-6~40×10-6/K(15~40ppm/K)の範囲内がより好ましい。樹脂フィルムの熱膨張係数が10×10-6/Kより小さいと、金属張積層板とした後でカールが生じやすくハンドリング性に劣る。一方、樹脂フィルムの熱膨張係数が50×10-6/Kを超えると、フレキシブル基板など電子材料としての寸法安定性に劣り、また耐熱性も低下する傾向にある。 The thermal expansion coefficient (CTE) of the resin film is not particularly limited, but is preferably within the range of 10×10 −6 to 50×10 −6 /K (10 to 50 ppm/K), and more preferably within the range of 15×10 −6 to 40×10 −6 /K (15 to 40 ppm/K). If the thermal expansion coefficient of the resin film is smaller than 10×10 −6 /K, curling is likely to occur after being made into a metal-clad laminate, resulting in poor handling properties. On the other hand, if the thermal expansion coefficient of the resin film exceeds 50×10 −6 /K, the dimensional stability as an electronic material such as a flexible substrate is poor, and the heat resistance also tends to decrease.

[誘電正接]
樹脂フィルムは、例えば、回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、高周波信号の伝送時における誘電損失を低減するために、フィルム全体として、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定したときの3~20GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.005以下であることが好ましく、0.004以下であることがより好ましい。回路基板の伝送損失を改善するためには、特に絶縁樹脂層の誘電正接を制御することが重要であり、誘電正接を上記範囲内とすることで、伝送損失を下げる効果が増大する。従って、樹脂フィルムを、例えば高周波回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合、伝送損失を効率よく低減できる。3~20GHzにおける誘電正接が0.005を超えると、樹脂フィルムを回路基板の絶縁樹脂層として適用した際に、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスが大きくなるなどの不都合が生じやすくなる。3~20GHzにおける誘電正接の下限値は特に制限されないが、樹脂フィルムを回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合の物性制御を考慮する必要がある。
[Dielectric tangent]
When the resin film is applied, for example, as an insulating resin layer of a circuit board, in order to reduce the dielectric loss during the transmission of a high-frequency signal, the dielectric loss tangent (Tan δ) of the entire film at 3 to 20 GHz measured by a split post dielectric resonator (SPDR) is preferably 0.005 or less, more preferably 0.004 or less. In order to improve the transmission loss of the circuit board, it is particularly important to control the dielectric loss tangent of the insulating resin layer, and by setting the dielectric loss tangent within the above range, the effect of reducing the transmission loss is increased. Therefore, when the resin film is applied, for example, as an insulating resin layer of a high-frequency circuit board, the transmission loss can be efficiently reduced. If the dielectric loss tangent at 3 to 20 GHz exceeds 0.005, when the resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board, inconveniences such as increased loss of electrical signals on the transmission path of high-frequency signals are likely to occur. Although the lower limit of the dielectric loss tangent at 3 to 20 GHz is not particularly limited, it is necessary to consider the control of physical properties when the resin film is applied as an insulating resin layer of a circuit board.

[比誘電率]
樹脂フィルムは、例えば回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、インピーダンス整合性を確保するために、フィルム全体として、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定したときの3~20GHzにおける比誘電率が3.1以下であることが好ましい。3~20GHzにおける比誘電率が3.1を超えると、樹脂フィルムを回路基板の絶縁樹脂層として適用した際に、誘電損失の悪化に繋がり、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスが大きくなるなどの不都合が生じやすくなる。
[Dielectric constant]
In order to ensure impedance matching when the resin film is used as an insulating resin layer of a circuit board, for example, the film as a whole preferably has a relative dielectric constant of 3.1 or less at 3 to 20 GHz as measured by a split post dielectric resonator (SPDR). If the relative dielectric constant at 3 to 20 GHz exceeds 3.1, when the resin film is used as an insulating resin layer of a circuit board, this leads to deterioration of dielectric loss, and is likely to cause inconveniences such as increased loss of electrical signals on the transmission path of high-frequency signals.

[金属張積層板]
本実施の形態の金属張積層板は、絶縁樹脂層と、この絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層板であり、絶縁樹脂層の少なくとも1層が上記樹脂フィルムからなる。金属張積層板は、絶縁樹脂層の片面側のみに金属層を有する片面金属張積層板であってもよいし、絶縁樹脂層の両面に金属層を有する両面金属張積層板であってもよい。
[Metal-clad laminate]
The metal-clad laminate of the present embodiment is a metal-clad laminate including an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer, at least one of the insulating resin layers being made of the above-mentioned resin film. The metal-clad laminate may be a single-sided metal-clad laminate having a metal layer on only one surface of the insulating resin layer, or a double-sided metal-clad laminate having metal layers on both surfaces of the insulating resin layer.

[絶縁樹脂層]
絶縁樹脂層は単層又は複数層から構成され、上記樹脂フィルムからなる層を含んでいる。例えば、上記樹脂フィルムが、機械特性や熱物性を担保するための絶縁樹脂層の主たる層としての非熱可塑性ポリイミド層を形成していてもよい。また、上記樹脂フィルムが、銅箔などの金属層との接着強度を担う接着剤層としての熱可塑性ポリイミド層を形成していてもよい。なお、「主たる層」とは、絶縁樹脂層の総厚みの50%以上を占める層を意味する。
また、本実施の形態の金属張積層板は、無機フィラーを含有するポリイミド層と金属箔とを接着するための接着剤を用いることを除外するものではない。ただし、絶縁樹脂層の両面に金属層を有する両面金属張積層板において接着層を介在させる場合には、接着層の厚みは、誘電特性を損なわないように、全絶縁樹脂層の厚みの30%未満とすることが好ましく、20%未満とすることがより好ましい。また、絶縁樹脂層の片面のみに金属層を有する片面金属張積層板において接着層を介在させる場合には、接着層の厚みは、誘電特性を損なわないように、全絶縁樹脂層の厚みの15%未満とすることが好ましく、10%未満とすることがより好ましい。また、接着層は絶縁樹脂層の一部を構成するので、ポリイミド層であることが好ましい。結晶性シリカ含有ポリイミド層が絶縁樹脂層の主たる層を構成する場合、結晶性シリカ含有ポリイミド層のガラス転移温度は、耐熱性を付与する観点から300℃以上とすることが好ましい。ガラス転移温度を300℃以上とするには、ポリイミドを構成する上記の酸二無水物やジアミン成分を適宜選択することで可能となる。
[Insulating resin layer]
The insulating resin layer is composed of a single layer or multiple layers, and includes a layer made of the resin film. For example, the resin film may form a non-thermoplastic polyimide layer as a main layer of the insulating resin layer to ensure mechanical properties and thermal properties. The resin film may also form a thermoplastic polyimide layer as an adhesive layer that provides adhesive strength to a metal layer such as a copper foil. The "main layer" refers to a layer that occupies 50% or more of the total thickness of the insulating resin layer.
In addition, the metal-clad laminate of the present embodiment does not exclude the use of an adhesive for bonding the inorganic filler-containing polyimide layer and the metal foil. However, when an adhesive layer is interposed in a double-sided metal-clad laminate having metal layers on both sides of an insulating resin layer, the thickness of the adhesive layer is preferably less than 30% of the thickness of the entire insulating resin layer so as not to impair the dielectric properties, and more preferably less than 20%. When an adhesive layer is interposed in a single-sided metal-clad laminate having a metal layer on only one side of an insulating resin layer, the thickness of the adhesive layer is preferably less than 15% of the thickness of the entire insulating resin layer so as not to impair the dielectric properties, and more preferably less than 10%. In addition, since the adhesive layer constitutes a part of the insulating resin layer, it is preferable that it is a polyimide layer. When the crystalline silica-containing polyimide layer constitutes the main layer of the insulating resin layer, the glass transition temperature of the crystalline silica-containing polyimide layer is preferably 300° C. or higher from the viewpoint of imparting heat resistance. In order to make the glass transition temperature 300° C. or higher, it is possible to appropriately select the above-mentioned acid dianhydride and diamine components constituting the polyimide.

樹脂フィルムを絶縁樹脂層とする金属張積層板を製造する方法としては、例えば、樹脂フィルムに直接、又は任意の接着剤を介して金属箔を加熱圧着する方法や、金属蒸着等の手法によって樹脂フィルムに金属層を形成する方法などを挙げることができる。なお、両面金属張積層板は、例えば、片面金属張積層板を形成した後、互いにポリイミド層を向き合わせて熱プレスによって圧着し形成する方法や、片面金属張積層板のポリイミド層に金属箔を圧着し形成する方法等により得ることができる。 Methods for manufacturing a metal-clad laminate with a resin film as an insulating resin layer include, for example, a method of heat-pressing a metal foil directly or via an arbitrary adhesive to a resin film, and a method of forming a metal layer on a resin film by a technique such as metal vapor deposition. Note that a double-sided metal-clad laminate can be obtained, for example, by forming a single-sided metal-clad laminate, and then arranging the polyimide layers to face each other and pressing them together by a heat press, or by pressing a metal foil onto the polyimide layer of a single-sided metal-clad laminate.

[金属層]
金属層の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。これらの中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。金属層は、金属箔からなるものであってもよいし、フィルムに金属蒸着したもの、ペースト等を印刷したものであってもよい。また、樹脂組成物を直接塗布可能な点から、金属箔でも金属板でも使用可能であり、銅箔若しくは銅板が好ましい。
[Metal Layer]
The material of the metal layer is not particularly limited, and examples thereof include copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof. Among these, copper or a copper alloy is particularly preferred. The metal layer may be made of a metal foil, or may be a film on which metal has been deposited, or a paste or the like has been printed. In addition, since the resin composition can be directly applied, either a metal foil or a metal plate can be used, and copper foil or a copper plate is preferred.

金属層の厚みは、金属張積層板の使用目的に応じて適宜設定されるため特に限定されないが、例えば5μm~3mmの範囲内が好ましく、12μm~1mmの範囲内がより好ましい。金属層の厚みが5μmに満たないと、金属張積層板の製造等における搬送時にシワが入るなどの不具合が生じるおそれがある。反対に金属層の厚みが3mmを超えると硬くて加工性が悪くなる。金属層の厚みについては、一般的に、車載用回路基板などの用途では厚いものが適し、LED用回路基板などの用途などでは薄い金属層が適する。 The thickness of the metal layer is not particularly limited as it is set appropriately depending on the intended use of the metal-clad laminate, but is preferably in the range of 5 μm to 3 mm, and more preferably in the range of 12 μm to 1 mm. If the metal layer is less than 5 μm thick, problems such as wrinkles may occur during transportation in the manufacture of the metal-clad laminate. Conversely, if the metal layer is more than 3 mm thick, it will be hard and difficult to process. Generally, a thick metal layer is suitable for applications such as in-vehicle circuit boards, while a thin metal layer is suitable for applications such as LED circuit boards.

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。 The following examples are provided to more specifically explain the features of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In the following examples, the various measurements and evaluations are as follows, unless otherwise noted.

[粘度の測定]
樹脂溶液の粘度はE型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名;DV-II+Pro)を用いて、25℃における粘度を測定した。トルクが10%~90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから1分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。
[Viscosity measurement]
The viscosity of the resin solution was measured at 25° C. using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, product name: DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque was 10% to 90%, and the value was read when the viscosity stabilized 1 minute after the start of the measurement.

[比誘電率及び誘電正接の測定]
<シリカ粒子>
ベクトルネットワークアナライザ(キーサイトテクノロジー社製、商品名;ベクトルネットワークアナライザE8363C)及び空洞共振器摂動法による関東電子応用開発社製の比誘電率測定装置を用い、比誘電率測定モード;TM020に設定し、周波数10GHzにおけるシリカ粒子の比誘電率(ε1)及び誘電正接(Tanδ1)を測定した。なお、シリカ粒子は粉体状であり試料管チューブ(内径は1.68mm、外径は2.28mm、高さは8cm)へ充填し、測定した。
<樹脂フィルム>
ベクトルネットワークアナライザ(キーサイトテクノロジー社製、商品名;ベクトルネットワークアナライザE8363C)およびSPDR共振器を用いて、周波数10GHzにおける樹脂フィルムの比誘電率(ε1)および誘電正接(Tanδ1)を測定した。なお、測定に使用した樹脂フィルムは、温度;24~26℃、湿度;45~55%の条件下で、24時間放置したものである。
[Measurement of relative dielectric constant and dielectric loss tangent]
<Silica particles>
A vector network analyzer (Keysight Technologies, product name: Vector Network Analyzer E8363C) and a dielectric constant measuring device manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. using a cavity resonator perturbation method were used, and the dielectric constant (ε1) and dielectric loss tangent (Tanδ1) of the silica particles at a frequency of 10 GHz were measured using a dielectric constant measurement mode of TM020. The silica particles were in powder form and filled into a sample tube (inner diameter: 1.68 mm, outer diameter: 2.28 mm, height: 8 cm) for measurement.
<Resin film>
Using a vector network analyzer (manufactured by Keysight Technologies, Inc., product name: Vector Network Analyzer E8363C) and an SPDR resonator, the relative dielectric constant (ε1) and dielectric loss tangent (Tan δ1) of the resin film at a frequency of 10 GHz were measured. The resin film used for the measurement was left for 24 hours under the conditions of temperature: 24 to 26°C and humidity: 45 to 55%.

[熱膨張係数(CTE)の測定]
3mm×20mmのサイズの樹脂フィルムを、サーモメカニカルアナライザー(Bruker社製、商品名;4000SA)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から265℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、200℃から100℃までの平均熱膨張係数(熱膨張係数、CTE)を求めた。
[Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]
A resin film measuring 3 mm x 20 mm was heated from 30°C to 265°C at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, product name: 4000SA), and then held at that temperature for 10 minutes. The film was then cooled at a rate of 5°C/min to determine the average thermal expansion coefficient (coefficient of thermal expansion, CTE) from 200°C to 100°C.

[粒子径の測定]
レーザ回折式粒度分布測定装置(マルバーン社製、商品名;Master Sizer 3000)を用いて、水を分散媒とし粒子屈折率1.54の条件で、レーザ回折・散乱式測定方式によるシリカ粒子の粒子径の測定を行った。
[Measurement of particle size]
Using a laser diffraction particle size distribution measuring device (Malvern Instruments, trade name: Master Sizer 3000), the particle size of the silica particles was measured by a laser diffraction/scattering measuring method under conditions of water as a dispersion medium and a particle refractive index of 1.54.

[真比重の測定]
連続自動粉体真密度測定装置(セイシン企業社製、商品名;AUTO TRUE DENSERMAT‐7000)を用いて、ピクノメーター法(液相置換法)によるシリカ粒子の真比重の測定を行った。
[Measurement of true specific gravity]
The true specific gravity of the silica particles was measured by the pycnometer method (liquid phase displacement method) using a continuous automatic powder true density measuring device (manufactured by Seishin Enterprise Co., Ltd., product name: AUTO TRUE DENSERMAT-7000).

[クリストバライト結晶相の測定]
X線回折測定装置(ブルカー社製、商品名;D2PHASER)を用いて、回折角度(Cu,Kα)2θ=10°~90°の範囲のSiOに由来する全ての回折パターン(ピーク位置、ピーク幅及びピーク強度)から、SiOに由来する全ピークの総面積を算出する。次に、クリストバライト結晶相に由来するピーク位置を特定し、クリストバライト結晶相の全ピークの総面積を算出して、SiOに由来する全ピークの総面積に対する割合(重量%)を求めた。なお、各ピークの帰属は、International Centre for Diffraction Data(ICDD)のデータベースを参照した。
[Measurement of cristobalite crystal phase]
Using an X-ray diffraction measuring device (manufactured by Bruker, product name: D2PHASER), the total area of all peaks derived from SiO 2 is calculated from all diffraction patterns (peak positions, peak widths and peak intensities) derived from SiO 2 in the range of diffraction angles (Cu, Kα) 2θ = 10 ° to 90 °. Next, the peak positions derived from the cristobalite crystal phase were identified, the total area of all peaks of the cristobalite crystal phase was calculated, and the ratio (wt%) to the total area of all peaks derived from SiO 2 was obtained. The attribution of each peak was made by referring to the database of the International Centre for Diffraction Data (ICDD).

[円形度の測定]
湿式フロー式粒子径・形状分析装置(シスメックス社製、商品名;FPIA-3000)を用いて、動的流動粒子画像解析によるシリカ粒子の平均円形度を測定した。
[Measurement of circularity]
The average circularity of the silica particles was measured by dynamic flow particle image analysis using a wet flow type particle size/shape analyzer (manufactured by Sysmex Corporation, product name: FPIA-3000).

[折り曲げ性の評価]
JISK5600-5-1に準拠し、5cm×10cmサイズの樹脂フィルムの長辺の中心を、5mmφの金属棒に巻きつけるように1~2秒かけて均一に曲げ、樹脂フィルムが180℃折れ曲がっても破断又はクラックが入らないものを「良」、破断又はクラックが発生するものを「不可」とした。
[Evaluation of bending properties]
In accordance with JIS K5600-5-1, a resin film measuring 5 cm x 10 cm was uniformly bent at the center of the long side around a metal rod with a diameter of 5 mm over 1 to 2 seconds in such a way that the film was wrapped around the metal rod. If the resin film did not break or crack even when bent at 180°, it was rated as "good", and if breaks or cracks occurred, it was rated as "unacceptable".

合成例及び比較例、実施例に用いた略号は、以下の化合物を示す。
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3',4,4'‐ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BAPP:2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
m‐TB:2,2'‐ジメチル‐4,4'‐ジアミノビフェニル
DMAc:N,N‐ジメチルアセトアミド
フィラー1:日鉄ケミカル&マテリアル社製。商品名;CR10-20(球状クリストバライトシリカ粉末、円形度;0.98、クリストバライト結晶相;98重量%、真比重;2.33、D50;10.8μm、10GHzにおける比誘電率;3.16、10GHzにおける誘電正接;0.0008)
フィラー2:日鉄ケミカル&マテリアル社製。商品名;SC70-2(球状非晶質シリカ粉末、円形度;0.98、真比重;2.21、D50;11.7μm、10GHzにおける比誘電率;3.08、10GHzにおける誘電正接;0.0015)
フィラー3:日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名;SP40-10(球状非晶質シリカ粉末、真球状、真比重;2.21、D50;2.5μm、10GHzにおける比誘電率;2.78、10GHzにおける誘電正接;0.0030)
The abbreviations used in the Synthesis Examples, Comparative Examples, and Examples represent the following compounds.
PMDA: Pyromellitic dianhydride BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl DMAc: N,N-dimethylacetamide
Filler 1: Manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. Product name: CR10-20 (spherical cristobalite silica powder, circularity: 0.98, cristobalite crystal phase: 98% by weight, true specific gravity: 2.33, D 50 : 10.8 μm, relative dielectric constant at 10 GHz: 3.16, dielectric tangent at 10 GHz: 0.0008)
Filler 2: Manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. Product name: SC70-2 (spherical amorphous silica powder, circularity: 0.98, true specific gravity: 2.21, D50 : 11.7 μm, relative dielectric constant at 10 GHz: 3.08, dielectric tangent at 10 GHz: 0.0015)
Filler 3: Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., product name: SP40-10 (spherical amorphous silica powder, true sphere, true specific gravity: 2.21, D 50 : 2.5 μm, relative dielectric constant at 10 GHz: 2.78, dielectric tangent at 10 GHz: 0.0030)

(合成例1)
300mlのセパラブルフラスコに、24gのBAPP(60mmol)、230gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、6.5gのPMDA(30mmol)、8.7gのBPDA(30mmol)を添加し、室温で18時間撹拌してポリアミド酸溶液Aを得た。得られたポリアミド酸溶液Aの粘度は21,074cpsであった。
(Synthesis Example 1)
24 g of BAPP (60 mmol) and 230 g of DMAc were added to a 300 ml separable flask and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 6.5 g of PMDA (30 mmol) and 8.7 g of BPDA (30 mmol) were added and stirred at room temperature for 18 hours to obtain polyamic acid solution A. The viscosity of the obtained polyamic acid solution A was 21,074 cps.

(合成例2)
300mlのセパラブルフラスコに、19gのm-TB(90mmol)及び230gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、16gのPMDA(72mmol)及び5.3gのBPDA(18mmol)を添加し、室温で18時間撹拌してポリアミド酸溶液Bを得た。得られたポリアミド酸溶液Bの粘度は22,400cpsであった。
(Synthesis Example 2)
19 g of m-TB (90 mmol) and 230 g of DMAc were placed in a 300 ml separable flask and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 16 g of PMDA (72 mmol) and 5.3 g of BPDA (18 mmol) were added and stirred at room temperature for 18 hours to obtain polyamic acid solution B. The viscosity of the obtained polyamic acid solution B was 22,400 cps.

[実施例1]
58.7gのポリアミド酸溶液A及び6.1gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物1a(粘度;23,000cps)を調製した。
銅箔1(電解銅箔、厚み;12μm)の上にポリアミド酸組成物1aを塗布し、130℃で3分間乾燥させた。その後155℃から360℃まで段階的な熱処理を行ってイミド化し、金属張積層板1bを調製した。金属張積層板1bの銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム1cを調製した。樹脂フィルム1c(厚み;51.6μm)の比誘電率は3.04、誘電正接は0.0044、折り曲げ性は「良」であった。
[Example 1]
58.7 g of the polyamic acid solution A and 6.1 g of the filler 1 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, to prepare a polyamic acid composition 1a (viscosity: 23,000 cps).
A polyamic acid composition 1a was applied onto copper foil 1 (electrolytic copper foil, thickness: 12 μm) and dried at 130 ° C for 3 minutes. Then, stepwise heat treatment was performed from 155 ° C to 360 ° C to imidize, and a metal-clad laminate 1b was prepared. The copper foil of the metal-clad laminate 1b was removed by etching, and a resin film 1c was prepared. The resin film 1c (thickness: 51.6 μm) had a relative dielectric constant of 3.04, a dielectric loss tangent of 0.0044, and a bending property of "good".

[実施例2]
70.0gのポリアミド酸溶液B及び7.8gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物2a(粘度;24,800cps)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板2b及び樹脂フィルム2cを調製した。樹脂フィルム2c(厚み;46.1μm)の比誘電率は2.78、誘電正接は0.0037、CTEは34ppm/K、折り曲げ性は「良」であった。
[Example 2]
70.0 g of the polyamic acid solution B and 7.8 g of the filler 1 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, thereby preparing a polyamic acid composition 2a (viscosity: 24,800 cps).
A metal-clad laminate 2b and a resin film 2c were prepared in the same manner as in Example 1. The resin film 2c (thickness: 46.1 μm) had a relative dielectric constant of 2.78, a dielectric loss tangent of 0.0037, a CTE of 34 ppm/K, and a bending property of "good."

[実施例3]
60.0gのポリアミド酸溶液B及び20.0gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物3a(粘度;28,400cps)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板3b及び樹脂フィルム3cを調製した。樹脂フィルム3c(厚み;78.1μm)の比誘電率は2.71、誘電正接は0.0028、CTEは34ppm/K、折り曲げ性は「良」であった。
[Example 3]
60.0 g of the polyamic acid solution B and 20.0 g of the filler 1 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, to prepare a polyamic acid composition 3a (viscosity: 28,400 cps).
A metal-clad laminate 3b and a resin film 3c were prepared in the same manner as in Example 1. The resin film 3c (thickness: 78.1 μm) had a relative dielectric constant of 2.71, a dielectric loss tangent of 0.0028, a CTE of 34 ppm/K, and a bending property of "good."

[実施例4]
55.0gのポリアミド酸溶液B及び36.6gのフィラー1を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物4a(粘度;29,900cps)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板4bを調製後、樹脂フィルム4cを調製した。樹脂フィルム4c(厚み;117.8μm)の比誘電率は2.56、誘電正接は0.0015、CTEは31ppm/K、折り曲げ性は「不可」であった。
[Example 4]
55.0 g of the polyamic acid solution B and 36.6 g of the filler 1 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, to prepare a polyamic acid composition 4a (viscosity: 29,900 cps).
A metal-clad laminate 4b was prepared, and then a resin film 4c was prepared in the same manner as in Example 1. The resin film 4c (thickness: 117.8 μm) had a relative dielectric constant of 2.56, a dielectric loss tangent of 0.0015, a CTE of 31 ppm/K, and a bending property of "unacceptable."

[実施例5]
50.0gのポリアミド酸溶液B、6.6gのフィラー1及び25.3gのフィラー2を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物5a(粘度;31,000cps)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板5bを調製後、樹脂フィルム5cを調製した。樹脂フィルム5c(厚み;115.5μm)の比誘電率は2.71、誘電正接は0.0017、CTEは27ppm/K、折り曲げ性は「不可」であった。
[Example 5]
50.0 g of the polyamic acid solution B, 6.6 g of the filler 1, and 25.3 g of the filler 2 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, to prepare a polyamic acid composition 5a (viscosity: 31,000 cps).
Metal-clad laminate 5b was prepared, and then resin film 5c was prepared in the same manner as in Example 1. Resin film 5c (thickness: 115.5 μm) had a relative dielectric constant of 2.71, a dielectric loss tangent of 0.0017, a CTE of 27 ppm/K, and a bending property of "unacceptable."

(比較例1)
銅箔1の上にポリアミド酸溶液Aを塗布し、90℃で1分間、130℃で5分間乾燥させた。その後155℃から360℃まで段階的な熱処理を行ってイミド化し、金属張積層板A1を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板A1の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルムA1を調製した。樹脂フィルムA1(厚み;41.4μm)の比誘電率は3.16、誘電正接は0.0062、CTEは51ppm/K、折り曲げ性は「良」であった。
(Comparative Example 1)
Polyamic acid solution A was applied onto copper foil 1, and dried at 90° C. for 1 minute and at 130° C. for 5 minutes. Then, the solution was heat-treated stepwise from 155° C. to 360° C. to imidize the solution, thereby preparing metal-clad laminate A1.
Resin film A1 was prepared by etching away the copper foil of metal-clad laminate A1 in the same manner as in Example 1. Resin film A1 (thickness: 41.4 μm) had a relative dielectric constant of 3.16, a dielectric dissipation factor of 0.0062, a CTE of 51 ppm/K, and a bending property of "good."

(比較例2)
56.2gのポリアミド酸溶液A及び5.5gのフィラー2を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物A2(粘度;23,600cps)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板A2及び樹脂フィルムA2を調製した。樹脂フィルムA2(厚み;50.7μm)の比誘電率は3.04、誘電正接は0.0047、折り曲げ性は「良」であった。
(Comparative Example 2)
56.2 g of the polyamic acid solution A and 5.5 g of the filler 2 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, to prepare a polyamic acid composition A2 (viscosity: 23,600 cps).
A metal-clad laminate A2 and a resin film A2 were prepared in the same manner as in Example 1. The resin film A2 (thickness: 50.7 μm) had a relative dielectric constant of 3.04, a dielectric dissipation factor of 0.0047, and a bending property of "good."

(比較例3)
56.2gのポリアミド酸溶液A及び5.5gのフィラー3を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、ポリアミド酸組成物A3(粘度;30,000cps)を調製した。
実施例1と同様にして、金属張積層板A3を調製後、樹脂フィルムA3を調製した。樹脂フィルムA3(厚み;45.6μm)の比誘電率は3.25、誘電正接は0.0052、CTEは41、折り曲げ性は「良」であった。
(Comparative Example 3)
56.2 g of the polyamic acid solution A and 5.5 g of the filler 3 were mixed and stirred until a visually homogeneous solution was obtained, to prepare a polyamic acid composition A3 (viscosity: 30,000 cps).
A metal-clad laminate A3 was prepared, and then a resin film A3 was prepared in the same manner as in Example 1. The resin film A3 (thickness: 45.6 μm) had a relative dielectric constant of 3.25, a dielectric dissipation factor of 0.0052, a CTE of 41, and a bending property of "good".

以上の結果をまとめて、表1及び表2に示す。
表1中の結晶相とは、クリストバライト結晶相の割合を意味し、フィラー割合とは、ポリアミド酸溶液(ワニス)全体、又は、有機化合物の固形分及び前記シリカ粒子の合計に対するフィラーの割合(重量比率)を意味する(ただし、ポリアミド酸の重量をイミド化後のポリイミドに換算して計算した)。また、表2中のフィラー含有率とは、樹脂フィルムに対するフィラーの割合(重量比率)を意味する。
The above results are summarized in Tables 1 and 2.
The crystalline phase in Table 1 means the proportion of the cristobalite crystalline phase, and the filler proportion means the proportion (weight ratio) of the filler relative to the entire polyamic acid solution (varnish) or the total of the solid content of the organic compound and the silica particles (however, the weight of the polyamic acid was calculated in terms of the polyimide after imidization). Also, the filler content in Table 2 means the proportion (weight ratio) of the filler relative to the resin film.

Figure 2024061741000004
Figure 2024061741000004

Figure 2024061741000005
Figure 2024061741000005

実施例1のポリアミド酸組成物1aは、比較例2及び3のポリアミド酸組成物A2及びA3とそれぞれ比較して、粘度が低くなっていることが確認された。また、実施例1の樹脂フィルム1cは、比較例2~3の樹脂フィルムA2~A3と比較して、比誘電率及び誘電正接が低下しており、クリストバライト結晶相の割合が高いほど低誘電化の効果が確認された。 It was confirmed that the polyamic acid composition 1a of Example 1 had a lower viscosity than the polyamic acid compositions A2 and A3 of Comparative Examples 2 and 3, respectively. In addition, the resin film 1c of Example 1 had a lower dielectric constant and dielectric loss tangent than the resin films A2 to A3 of Comparative Examples 2 to 3, and it was confirmed that the higher the proportion of the cristobalite crystal phase, the greater the effect of reducing the dielectric constant.

以上の結果から、本実施の形態に係る樹脂フィルムは、高周波対応フレキシブルプリント基板用材料として好適に使用できることが確認された。 These results confirm that the resin film according to this embodiment can be suitably used as a material for high-frequency flexible printed circuit boards.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。

Although the embodiment of the present invention has been described in detail above for the purpose of illustration, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.

Claims (8)

ポリイミドを含有する有機化合物の固形分と、結晶性シリカ粒子と、を含有する結晶性シリカ含有ポリイミド層を少なくとも1層を有する樹脂フィルムの製造方法であって、
前記結晶性シリカ粒子が、結晶性シリカ粒子全体として、CuKα線によるX線回折分析スペクトルの2θ=10°~90°の範囲におけるSiOに由来する全ピーク面積に対するクリストバライト結晶相及びクオーツ結晶相に由来するピークの合計面積の割合が20重量%以上であり、
前記ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸と、前記結晶性シリカ粒子と、を含有する樹脂組成物を支持基材上に直接又は間接的に塗布して塗布膜を積層する工程、及び、前記塗布膜に対して熱処理を行って、前記ポリアミド酸をイミドして結晶性シリカ含有ポリイミド層を形成する工程、を備えることを特徴とする樹脂フィルムの製造方法。
A method for producing a resin film having at least one crystalline silica-containing polyimide layer containing a solid content of an organic compound containing polyimide and crystalline silica particles, comprising the steps of:
The crystalline silica particles, as a whole, have a ratio of a total area of peaks derived from a cristobalite crystal phase and a quartz crystal phase to a total peak area derived from SiO2 in a range of 2θ = 10 ° to 90 ° in an X-ray diffraction analysis spectrum using CuKα radiation of 20 wt % or more;
A method for producing a resin film, comprising: a step of directly or indirectly applying a resin composition containing a polyamic acid, which is a precursor of the polyimide, and the crystalline silica particles onto a supporting substrate to form a coating film; and a step of heat-treating the coating film to imide the polyamic acid and form a crystalline silica-containing polyimide layer.
レーザ回折散乱法による体積基準の粒度分布測定によって得られる前記結晶性シリカ粒子の頻度分布曲線におけるメジアン径D50が6~20μmの範囲内である請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 1, wherein the crystalline silica particles have a median diameter D50 in a frequency distribution curve obtained by measuring a volume-based particle size distribution by a laser diffraction scattering method, within a range of 6 to 20 μm. 前記結晶性シリカ粒子における粒子径が3μm以上の粒子の90重量%以上が、円形度0.7以上である請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 1, wherein 90% by weight or more of the crystalline silica particles having a particle diameter of 3 μm or more have a circularity of 0.7 or more. 前記結晶性シリカ粒子の90重量%以上が、真比重2.3以上である請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 1, wherein 90% by weight or more of the crystalline silica particles have a true specific gravity of 2.3 or more. 前記結晶性シリカ粒子の含有量が、前記固形分の全量及び前記結晶性シリカ粒子の合計に対し10~85重量%の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 1, characterized in that the content of the crystalline silica particles is within the range of 10 to 85% by weight based on the total amount of the solid content and the crystalline silica particles. 前記結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みが15μm~200μmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 1, characterized in that the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer is within the range of 15 μm to 200 μm. 樹脂フィルムの全体の厚みに対する前記結晶性シリカ含有ポリイミド層の厚みの割合が50%以上である請求項6に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 6, wherein the ratio of the thickness of the crystalline silica-containing polyimide layer to the total thickness of the resin film is 50% or more. 請求項1において、前記支持基材として金属箔を用いることによって、金属層と前記樹脂フィルムとが積層された金属張積層板を形成することを特徴とする金属張積層板の製造方法。

2. The method for producing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein a metal foil is used as the supporting substrate to form a metal-clad laminate in which a metal layer and the resin film are laminated together.

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