JP2024039768A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JP2024039768A5
JP2024039768A5 JP2022144371A JP2022144371A JP2024039768A5 JP 2024039768 A5 JP2024039768 A5 JP 2024039768A5 JP 2022144371 A JP2022144371 A JP 2022144371A JP 2022144371 A JP2022144371 A JP 2022144371A JP 2024039768 A5 JP2024039768 A5 JP 2024039768A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
thrust
reaction force
unit
positions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022144371A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2024039768A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2022144371A priority Critical patent/JP2024039768A/ja
Priority claimed from JP2022144371A external-priority patent/JP2024039768A/ja
Priority to KR1020230095843A priority patent/KR20240036452A/ko
Priority to US18/364,850 priority patent/US20240085806A1/en
Priority to TW112130591A priority patent/TW202411791A/zh
Priority to EP23192564.5A priority patent/EP4336260A3/en
Priority to CN202311147094.0A priority patent/CN117690852A/zh
Publication of JP2024039768A publication Critical patent/JP2024039768A/ja
Publication of JP2024039768A5 publication Critical patent/JP2024039768A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2022144371A 2022-09-12 2022-09-12 ステージ装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法 Pending JP2024039768A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022144371A JP2024039768A (ja) 2022-09-12 2022-09-12 ステージ装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法
KR1020230095843A KR20240036452A (ko) 2022-09-12 2023-07-24 스테이지 장치, 패턴 형성장치, 및 물품의 제조방법
US18/364,850 US20240085806A1 (en) 2022-09-12 2023-08-03 Stage apparatus, pattern forming apparatus, and method for manufacturing article
TW112130591A TW202411791A (zh) 2022-09-12 2023-08-15 載台裝置、圖案形成裝置及物品製造方法
EP23192564.5A EP4336260A3 (en) 2022-09-12 2023-08-22 Stage apparatus, pattern forming apparatus, and method for manufacturing article
CN202311147094.0A CN117690852A (zh) 2022-09-12 2023-09-06 载台装置、图案形成装置及物品制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022144371A JP2024039768A (ja) 2022-09-12 2022-09-12 ステージ装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2024039768A JP2024039768A (ja) 2024-03-25
JP2024039768A5 true JP2024039768A5 (enExample) 2025-07-17

Family

ID=87762867

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022144371A Pending JP2024039768A (ja) 2022-09-12 2022-09-12 ステージ装置、パターン形成装置、及び物品の製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20240085806A1 (enExample)
EP (1) EP4336260A3 (enExample)
JP (1) JP2024039768A (enExample)
KR (1) KR20240036452A (enExample)
CN (1) CN117690852A (enExample)
TW (1) TW202411791A (enExample)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11168064A (ja) 1997-09-22 1999-06-22 Nikon Corp ステージ駆動方法、ステージ装置、及び露光装置
JP2002221249A (ja) * 2000-11-27 2002-08-09 Canon Inc 能動制振装置、その制御方法および能動制振装置を備えた露光装置
US6844694B2 (en) * 2001-08-10 2005-01-18 Nikon Corporation Stage assembly and exposure apparatus including the same
JPWO2004105105A1 (ja) * 2003-05-21 2006-07-20 株式会社ニコン ステージ装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法
JP2006032788A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Canon Inc 露光装置及び半導体デバイスの製造方法
JP4485550B2 (ja) * 2007-07-30 2010-06-23 住友重機械工業株式会社 反力処理装置
JP4377424B2 (ja) * 2007-07-31 2009-12-02 住友重機械工業株式会社 反力処理装置
WO2009110202A1 (ja) * 2008-03-07 2009-09-11 株式会社ニコン 移動体装置及び露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6069417A (en) Stage having paired E/I core actuator control
CN100479985C (zh) Xyz轴台板
US7154198B2 (en) Linear motor
JP3016088B2 (ja) 位置決め装置
ATE545982T1 (de) Betrieb eines synchronmotors, der einen permanentmagnetrotor aufweist
Sato High-precision and high-speed positioning of 100 G linear synchronous motor
CN101359184B (zh) 反力处理装置
CN112540511A (zh) 载置台装置、光刻装置以及物品制造方法
Raju et al. Mitigation of torque for brushless dc motor: modeling and control
CN102790474A (zh) 一种平面电机初始位置探测方法
JP2009014542A (ja) 材料試験機
US20150279613A1 (en) Positioning control device
JP5109948B2 (ja) 材料試験機
JP2023009675A5 (enExample)
JP2011075510A (ja) 試験装置
JP2009122777A (ja) 指令生成装置及び指令生成方法
JP2010239724A (ja) 駆動装置,xyステージ及びxyzステージ
CN118131829A (zh) 高精密运动平台的运动控制方法和高精密运动平台
JP7590054B1 (ja) リニアモータ
Sato et al. High-speed positioning of ultrahigh-acceleration and high-velocity linear synchronous motor
CN102270908B (zh) 一种双轴解耦结构的平面电机
JP5662836B2 (ja) 同期制御装置と同期制御方法
JPH11262237A (ja) 永久磁石可動形リニア直流モータ
JP2007115051A (ja) Xyステージ装置
JP4713184B2 (ja) 鋼板の形状矯正装置および形状矯正方法