JP2024037229A - Manufacturing method of laminated film - Google Patents

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凌祐 田邉
Ryosuke Tanabe
圭太 碓井
Keita Usui
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Abstract

To provide a manufacturing method of a laminated film which is suitable for securing a good cut end of a curable resin layer and an inorganic layer while reducing cutting chips, in a slit of a laminated film raw fabric having a temporary support film, the curable resin layer and the inorganic layer in this order.SOLUTION: A manufacturing method of a laminated film slits a film raw fabric F by a slitter device X having a support roller 10 and a two-blade unit 20. The support roller 10 has a roller part 11, a circular blade 12, a spacer 13, a circular blade 14 and a roller part 11 in this order in one direction. The two-blade unit 20 has circular blades 21 and 22. A distance between blade edges of the circular blades 21 and 22 is 5 to 20 mm. The manufacturing method slits a film raw fabric F between the circular blades 12 and 21 and the circular blades 14 and 22 while feeding the film raw fabric F by the support roller 10 in a state in which a side opposite to the inorganic layer 130 is brought into contact with the roller parts 11 and 11.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、積層フィルムの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a laminated film.

長尺かつ幅広のフィルム原反を長さ方向にスリットするためのスリッター装置が知られている。スリッター装置によると、フィルム原反をスリットして所定幅のフィルムを製造できる。スリッター装置は、例えば、フィルムの幅方向における所定位置(スリット位置)ごとに、一対の回転式の裁断刃を備える。一対の裁断刃は、互いの刃先の干渉によって協働してフィルムをスリットできるように配置されている。このようなスリッター装置によるスリット工程を含む方法は、例えば下記の特許文献1に記載されている。 BACKGROUND ART A slitter device for slitting a long and wide film material in the length direction is known. According to the slitter device, a film having a predetermined width can be manufactured by slitting a film material. The slitter device includes, for example, a pair of rotary cutting blades at each predetermined position (slit position) in the width direction of the film. The pair of cutting blades are arranged so that they can work together to slit the film by interference between their blade edges. A method including a slitting process using such a slitter device is described, for example, in Patent Document 1 below.

特開2015-205393号公報JP 2015-205393 Publication

スリッター装置の裁断刃としては、刃先の鋭さの観点から、片刃が好ましく用いられる。また、裁断刃としては、スリット後のフィルムにおける耳立ちの抑制の観点から、2枚の片刃が重ねられた2枚刃ユニットが好ましく用いられる。耳立ちとは、フィルムにおける切断端部の局所的な反りを意味する。図8は、そのような2枚刃ユニットを備えるスリッター装置の一例としてのスリッター装置Zを表す。スリッター装置Zは、支持ローラー80と、2枚刃ユニット90とを備える。 As the cutting blade of the slitter device, a single blade is preferably used from the viewpoint of the sharpness of the cutting edge. Further, as the cutting blade, a two-blade unit in which two single blades are stacked is preferably used from the viewpoint of suppressing ridges in the film after slitting. Ripping refers to local warping of the cut end of the film. FIG. 8 shows a slitter device Z as an example of a slitter device including such a two-blade unit. The slitter device Z includes a support roller 80 and a two-blade unit 90.

支持ローラー80は、ローラー部81と、円形刃82と、スペーサー83と、円形刃84と、ローラー部85とを、一方向にこの順で備える。円形刃82は、片刃であり、スペーサー83に空隙G1を介して対向する刃裏面82aを有する。円形刃84は、片刃であり、スペーサー83に空隙G2を介して対向する刃裏面84aを有する。このような支持ローラー80は、一方向に延びる回転軸心B1まわりに回転可能である。 The support roller 80 includes a roller portion 81, a circular blade 82, a spacer 83, a circular blade 84, and a roller portion 85 in this order in one direction. The circular blade 82 is single-edged and has a blade back surface 82a that faces the spacer 83 with a gap G1 in between. The circular blade 84 is single-edged and has a blade back surface 84a that faces the spacer 83 with a gap G2 in between. Such a support roller 80 is rotatable around a rotation axis B1 extending in one direction.

2枚刃ユニット90は、円形刃91,92を備える。円形刃91は、空隙G1(円形刃82とスペーサー83との間)に入る刃先を有する片刃であり、円形刃82側の刃裏面91aと、先端傾斜面91bとを有する。刃裏面91aと先端傾斜面91bとは鋭角を形成する。円形刃92は、空隙G2(円形刃84とスペーサー83との間)に入る刃先を有する片刃であり、円形刃84側の刃裏面92aと、先端傾斜面92bとを有する。刃裏面92aと先端傾斜面92bとは鋭角を形成する。円形刃91の刃先91eと円形刃92の刃先92eとの間の離隔距離d’は、4mm以下に設定される。このような2枚刃ユニット90は、一方向に延びる回転軸心B2まわりに回転可能である。 The two-blade unit 90 includes circular blades 91 and 92. The circular blade 91 is a single-edged blade having a cutting edge that fits into the gap G1 (between the circular blade 82 and the spacer 83), and has a blade back surface 91a on the circular blade 82 side and a tip inclined surface 91b. The blade back surface 91a and the tip inclined surface 91b form an acute angle. The circular blade 92 is a single-edged blade having a cutting edge that fits into the gap G2 (between the circular blade 84 and the spacer 83), and has a blade back surface 92a on the circular blade 84 side and a tip inclined surface 92b. The blade back surface 92a and the tip inclined surface 92b form an acute angle. The separation distance d' between the cutting edge 91e of the circular blade 91 and the cutting edge 92e of the circular blade 92 is set to 4 mm or less. Such a two-blade unit 90 is rotatable around a rotation axis B2 extending in one direction.

スリッター装置Zにおいては、図9に示すように、支持ローラー80と2枚刃ユニット90との間をフィルム原反200(スリット対象物)が通過する時、当該フィルム原反200は、円形刃82(図8)と円形刃91とによってスリットされ、且つ、円形刃84(図8)と円形刃92とによってスリットされる。このようなスリットにより、所定幅の製品フィルム200aが得られる。また、製品フィルム200a間にはストリップ200b(中抜き部)が生じる。 In the slitter device Z, as shown in FIG. (FIG. 8) and circular blade 91, and slit by circular blade 84 (FIG. 8) and circular blade 92. With such slits, a product film 200a of a predetermined width can be obtained. Further, strips 200b (hollow portions) are formed between the product films 200a.

一方、転写用導電性フィルム等の転写用積層フィルムが知られている。転写用積層フィルムは、例えば、仮支持フィルムと、当該仮支持フィルムに対して剥離可能に接している硬化樹脂層と、無機物層(転写用導電性フィルムでは導電層)とを、厚さ方向にこの順で備える。仮支持フィルムは、硬化樹脂層および無機物層よりも相当程度に厚い。このような転写用積層フィルムは、無機物層の供給材として用いられる。例えば、転写用導電性フィルムは、ディスプレイパネルの製造過程において、導電層の供給材として用いられる。具体的には、まず、転写用導電性フィルムにおける硬化樹脂層上の導電層が、パターニングされる。次に、当該転写用導電性フィルムの導体層側が、粘着剤層を介して、フィルム状の偏光板(偏光フィルム)に貼り合わされる。次に、転写用導電性フィルムにおいて、硬化樹脂層から仮支持フィルムが剥離される。これにより、硬化樹脂層とその上の導電層とが、基材レスの透明導電性フィルムとして、偏光フィルムに転写される。このように、転写用導電性フィルムによると、基材レスの薄い透明導電性フィルムを偏光フィルムに貼り合わせることができる。 On the other hand, laminated films for transfer such as conductive films for transfer are known. The laminated film for transfer is, for example, a temporary support film, a cured resin layer that is in peelable contact with the temporary support film, and an inorganic layer (conductive layer in the case of a conductive film for transfer) in the thickness direction. Prepare in this order. The temporary support film is considerably thicker than the cured resin layer and the inorganic layer. Such a transfer laminated film is used as a supply material for the inorganic layer. For example, a conductive film for transfer is used as a supply material for a conductive layer in the manufacturing process of a display panel. Specifically, first, the conductive layer on the cured resin layer of the conductive film for transfer is patterned. Next, the conductor layer side of the conductive film for transfer is bonded to a film-like polarizing plate (polarizing film) via an adhesive layer. Next, in the conductive film for transfer, the temporary support film is peeled off from the cured resin layer. Thereby, the cured resin layer and the conductive layer thereon are transferred to the polarizing film as a transparent conductive film without a base material. In this way, according to the conductive film for transfer, a thin transparent conductive film without a base material can be bonded to a polarizing film.

転写用積層フィルムは、例えば、ロールトゥロール方式において次のようにして製造される。まず、長尺かつ幅広の基材フィルムとしての仮支持フィルム上に、硬化樹脂層が形成される。仮支持フィルムは、硬化樹脂層が事後的に剥離可能なように、予め表面改質処理されている。硬化樹脂層は、無機物層にとっての下地層である。次に、硬化樹脂層上に無機物層が形成される。これにより、長尺かつ幅広の転写用積層フィルム原反のロールが得られる。次に、このフィルム原反が長さ方向にスリットされることにより、所定幅の転写用積層フィルムが得られる(スリット工程)。 The transfer laminated film is manufactured, for example, in the roll-to-roll method as follows. First, a cured resin layer is formed on a temporary support film serving as a long and wide base film. The temporary support film is subjected to surface modification treatment in advance so that the cured resin layer can be peeled off afterwards. The cured resin layer is a base layer for the inorganic layer. Next, an inorganic layer is formed on the cured resin layer. As a result, a long and wide roll of the raw laminated film for transfer is obtained. Next, this original film is slit in the length direction to obtain a transfer laminated film of a predetermined width (slitting step).

図10は、転写用積層フィルムの従来のスリット工程において上述のスリッター装置Zが用いられる場合の部分拡大図(フィルム原反の流れ方向)である。図10に示す転写用積層フィルム原反200Aは、仮支持フィルム201と、当該仮支持フィルム201に対して剥離可能に接している硬化樹脂層202と、無機物層203とを、厚さ方向Hにこの順で備える。転写用積層フィルム原反200Aは、仮支持フィルム201側が支持ローラー80に接する状態で支持ローラー80と2枚刃ユニット90との間を通されて、円形刃82,84と円形刃91,92とによってスリットされる。これにより、所定幅の製品フィルム200aとしての転写用積層フィルムが得られる。また、製品フィルム200a間にはストリップ200bが生じる。 FIG. 10 is a partially enlarged view (in the flow direction of the original film) when the above-mentioned slitter device Z is used in a conventional slitting process for a laminated film for transfer. The original laminated film for transfer 200A shown in FIG. Prepare in this order. The transfer laminated film original 200A is passed between the support roller 80 and the two-blade unit 90 with the temporary support film 201 side in contact with the support roller 80, and the circular blades 82, 84 and the circular blades 91, 92 are formed. slit by. As a result, a transfer laminated film as a product film 200a having a predetermined width is obtained. Further, strips 200b are formed between the product films 200a.

しかし、転写用積層フィルム原反200Aのこのようなスリット工程(2枚刃タイプのスリッター装置による従来のスリット工程)では、ストリップ200bにおける硬化樹脂層202および無機物層203の切断端部に欠けが発生しやすく、その結果、多量の切り屑(粉塵)が発生する。このような知見を本発明者らは得た。切り屑は、製品フィルム200aに付着して品質不良を招く。また、端面に欠けが発生しやすい理由は、次のとおりである。 However, in such a slitting process (conventional slitting process using a two-blade type slitter device) for the transfer laminated film original 200A, chipping occurs at the cut ends of the cured resin layer 202 and inorganic layer 203 in the strip 200b. As a result, large amounts of chips (dust) are generated. The present inventors obtained such knowledge. The chips adhere to the product film 200a and cause quality defects. Moreover, the reason why chipping is likely to occur on the end face is as follows.

転写用積層フィルム原反200Aでは、仮支持フィルム201上の硬化樹脂層202および無機物層203が、仮支持フィルム201から剥離しやすいように設計されている。硬化樹脂層202および無機物層203が仮支持フィルム201に強く固定されていないので、両層に対する仮支持フィルム201による補強効果は小さい。スリット工程において、そのような転写用積層フィルム原反200Aに対して厚さ方向Hに押し入る円形刃91(92)の先端傾斜面91b(92b)側では、図11に示すように、同フィルムの上位側ほど、面方向における材料変形量が大きい。すなわち、硬化樹脂層202および無機物層203は、面方向に比較的大きな応力を受けつつ円形刃91(92)の先端傾斜面91b(92b)に擦られる。そのため、ストリップ200bにおける硬化樹脂層202および無機物層203の切断端部に、欠けが発生しやすい。 In the original laminated film for transfer 200A, the cured resin layer 202 and the inorganic layer 203 on the temporary support film 201 are designed to be easily peeled off from the temporary support film 201. Since the cured resin layer 202 and the inorganic layer 203 are not strongly fixed to the temporary support film 201, the reinforcing effect of the temporary support film 201 on both layers is small. In the slitting process, the tip inclined surface 91b (92b) side of the circular blade 91 (92) that presses into the original transfer laminated film 200A in the thickness direction H, as shown in FIG. The higher the position, the greater the amount of material deformation in the plane direction. That is, the cured resin layer 202 and the inorganic layer 203 are rubbed by the tip inclined surface 91b (92b) of the circular blade 91 (92) while receiving a relatively large stress in the surface direction. Therefore, chipping is likely to occur at the cut ends of the cured resin layer 202 and the inorganic layer 203 in the strip 200b.

本発明は、仮支持フィルムと硬化樹脂層と無機物層とをこの順で有する積層フィルム原反のスリットにおいて、切り屑を低減しつつ硬化樹脂層および無機物層の良好な切断端部を確保するのに適した、積層フィルムの製造方法を提供する。 The present invention provides a method for ensuring good cut edges of the cured resin layer and the inorganic layer while reducing chips in a slit of a laminated film material having a temporary support film, a cured resin layer, and an inorganic layer in this order. To provide a method for manufacturing a laminated film suitable for.

本発明[1]は、長尺の積層フィルム原反を用意する用意工程と、スリッター装置によって前記積層フィルム原反を長さ方向にスリットして積層フィルムを得るスリット工程とを含む、積層フィルムの製造方法であって、前記スリッター装置が、刃付支持ローラーと、2枚刃ユニットとを備え、前記刃付支持ローラーが、第1ローラー部と、第1円形刃と、スペーサーと、第2円形刃と、第2ローラー部とを第1方向にこの順で備え、前記第1方向に延びる第1回転軸心まわりに回転可能であり、前記第1円形刃が、前記スペーサーに第1の空隙を介して対向する刃裏面を有する片刃であり、前記第2円形刃が、前記スペーサーに第2の空隙を介して対向する刃裏面を有する片刃であり、前記2枚刃ユニットが、前記第1円形刃と協働してフィルムをスリットする第3円形刃と、前記第2円形刃と協働してフィルムをスリットする第4円形刃とを備え、前記第1方向に延びる第2回転軸心まわりに回転可能であり、前記第3円形刃が、前記第1の空隙に入る刃先を有する片刃であって、前記第1方向における前記第1円形刃側を向く刃裏面を有する片刃であり、前記第4円形刃が、前記第2の空隙に入る刃先を有する片刃であって、前記第1方向における前記第2円形刃側を向く刃裏面を有する片刃であり、前記第1方向における前記第3円形刃の刃先と前記第4円形刃の刃先との間の離隔距離が5mm以上20mm以下であり、前記積層フィルム原反は、仮支持フィルムと、当該仮支持フィルムに対して剥離可能に接している硬化樹脂層と、無機物層とを厚さ方向にこの順で備え、前記スリット工程では、前記積層フィルム原反の前記無機物層とは反対側が前記第1ローラー部および前記第2ローラー部に接する状態で前記刃付支持ローラーを回転駆動して、前記積層フィルム原反を前記長さ方向に送ることにより、当該積層フィルム原反を、前記第1および第3円形刃間でスリットしつつ、前記第2および第4円形刃間でスリットする、積層フィルムの製造方法を含む。 The present invention [1] provides a method for preparing a laminated film, which includes a preparation step of preparing a long laminated film raw material, and a slitting step of slitting the laminated film raw material in the length direction using a slitter device to obtain a laminated film. In the manufacturing method, the slitter device includes a bladed support roller and a two-blade unit, and the bladed support roller includes a first roller portion, a first circular blade, a spacer, and a second circular blade unit. A blade and a second roller portion are provided in this order in a first direction, and are rotatable around a first rotation axis extending in the first direction, and the first circular blade is provided with a first gap in the spacer. The second circular blade is a single blade having a blade back surface facing the spacer through a second gap, and the two-blade unit is a single blade having a blade back surface facing the spacer through a second gap. a second rotation axis extending in the first direction, comprising a third circular blade that slits the film in cooperation with the circular blade; and a fourth circular blade that slits the film in cooperation with the second circular blade; the third circular blade is a single-edged blade having a cutting edge that enters the first cavity, and a single-edged blade having a back surface facing the first circular blade side in the first direction; The fourth circular blade is a single-edged blade having a cutting edge that enters the second cavity, and is a single-edged blade having a back surface facing the second circular blade in the first direction, and The separation distance between the cutting edge of the third circular blade and the cutting edge of the fourth circular blade is 5 mm or more and 20 mm or less, and the laminated film original is in contact with the temporary support film in a peelable manner with respect to the temporary support film. A cured resin layer and an inorganic layer are provided in this order in the thickness direction, and in the slitting step, the side of the laminated film original fabric opposite to the inorganic layer is connected to the first roller part and the second roller part. By rotating the bladed support roller in a state of contact and sending the laminated film raw fabric in the length direction, the laminated film raw fabric is slit between the first and third circular blades, The method includes a method for manufacturing a laminated film in which slitting is performed between the second and fourth circular blades.

本発明[2]は、前記硬化樹脂層が1μm以上3μm以下の厚さを有する、上記[1]に記載の積層フィルムの製造方法を含む。 The present invention [2] includes the method for producing a laminated film according to the above [1], wherein the cured resin layer has a thickness of 1 μm or more and 3 μm or less.

本発明[3]は、前記仮支持フィルムにおける前記硬化樹脂層側の表面が20mN/m以上40mN/m以下の表面自由エネルギーを有する、上記[1]または[2]に記載の積層フィルムの製造方法を含む。 The present invention [3] provides the production of the laminated film according to the above [1] or [2], wherein the surface of the temporary support film on the cured resin layer side has a surface free energy of 20 mN/m or more and 40 mN/m or less. Including methods.

本発明[4]は、前記仮支持フィルムと前記硬化樹脂層との間の剥離強度が1N/24mm以下である、上記[1]から[3]のいずれか一つに記載の積層フィルムの製造方法を含む。 The present invention [4] provides the production of the laminated film according to any one of [1] to [3] above, wherein the peel strength between the temporary support film and the cured resin layer is 1 N/24 mm or less. Including methods.

本発明[5]は、前記硬化樹脂層における前記無機物層側の表面の、ナノインデンテーション法により測定される25℃での硬さが、0.3GPa以上である、上記[1]から[4]のいずれか一つに記載の積層フィルムの製造方法を含む。 The present invention [5] provides the above-mentioned [1] to [4], wherein the hardness of the surface of the cured resin layer on the inorganic layer side at 25°C measured by a nanoindentation method is 0.3 GPa or more. ] The method for producing a laminated film according to any one of the above is included.

本発明[6]は、前記第1ローラー部の外周面と、前記第1円形刃の外周面とは面一であり、前記第2ローラー部の外周面と、前記第2円形刃の外周面とは面一である、上記[1]から[5]のいずれか一つに記載の積層フィルムの製造方法を含む。 In the present invention [6], the outer circumferential surface of the first roller part and the outer circumferential surface of the first circular blade are flush with each other, and the outer circumferential surface of the second roller part and the outer circumferential surface of the second circular blade are flush with each other. includes the method for producing a laminated film according to any one of [1] to [5] above, in which the film is flush.

本発明の積層フィルムの製造方法のスリット工程では、上記のように、2枚の片刃を有する2枚刃ユニットによって積層フィルム原反(仮支持フィルムと硬化樹脂層と無機物層とを含む)をスリットする。そのため、本製造方法は、スリット後の積層フィルムにおいて、耳立ちを抑制しつつ、硬化樹脂層および無機物層の良好な切断端部を確保するのに適する。 In the slitting step of the method for producing a laminated film of the present invention, as described above, the laminated film original fabric (including the temporary support film, the cured resin layer, and the inorganic layer) is slit by the two-blade unit having two single blades. do. Therefore, this manufacturing method is suitable for ensuring good cut edges of the cured resin layer and the inorganic layer while suppressing ridges in the laminated film after slitting.

加えて、スリット工程では、上記のように、積層フィルム原反の無機物層とは反対側が第1ローラー部および第2ローラー部に接する状態で、当該積層フィルム原反を、長さ方向に送って第1・第3円形刃間でスリットしつつ第2・第4円形刃間でスリットする。これにより、所定幅の製品フィルムとしての積層フィルムが得られ、積層フィルム間にはストリップが生ずる。このスリット工程では、上述の従来のスリット工程よりも、2枚刃ユニットにおける第3・第4円形刃の刃先間の離隔距離が5mm以上であって長いスリッター装置により、積層フィルム原反をスリットする。このようなスリット工程は、ストリップにおける硬化樹脂層および無機物層に対して面方向に作用する応力を軽減するのに適し、従って、両層の切断端部に欠けが発生するのを抑制するのに適する。切断端部における欠けの抑制により、切り屑は低減される。 In addition, in the slitting process, as described above, the raw laminated film is sent in the length direction with the side of the raw laminated film opposite to the inorganic layer in contact with the first roller part and the second roller part. Slitting is performed between the first and third circular blades while slitting is performed between the second and fourth circular blades. As a result, a laminated film is obtained as a product film having a predetermined width, and strips are formed between the laminated films. In this slitting process, the laminated film material is slit using a longer slitter device in which the separation distance between the cutting edges of the third and fourth circular blades in the two-blade unit is 5 mm or more than in the conventional slitting process described above. . Such a slitting process is suitable for reducing the stress acting in the plane direction on the cured resin layer and the inorganic layer in the strip, and is therefore effective in suppressing the occurrence of chips at the cut ends of both layers. Suitable. By suppressing chipping at the cut end, the amount of chips is reduced.

以上のように、本発明の転写用積層フィルムの製造方法は、仮支持フィルムと硬化樹脂層と無機物層とをこの順で有する積層フィルム原反のスリットにおいて、切り屑を低減しつつ硬化樹脂層および無機物層の良好な切断端部を確保するのに適する。 As described above, the method for producing a laminated film for transfer according to the present invention can reduce the amount of chips while reducing the amount of the cured resin layer in the slit of the original laminated film having the temporary support film, the cured resin layer, and the inorganic layer in this order. and suitable for ensuring a good cut edge of the inorganic layer.

本発明の積層フィルム製造方法の一実施形態の工程図である。It is a process diagram of one embodiment of the laminated film manufacturing method of this invention. 積層フィルムの一例の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of an example of a laminated film. 図2に示す積層フィルムの製造方法の一例を表す。図3Aは硬化樹脂層形成工程を表し、図3Bは無機物層形成工程を表し、図3Cは保護フィルム貼合せ工程を表す。An example of a method for manufacturing the laminated film shown in FIG. 2 is shown. FIG. 3A shows a cured resin layer forming process, FIG. 3B shows an inorganic layer forming process, and FIG. 3C shows a protective film laminating process. 本発明の積層フィルム製造方法の一実施形態に用いられるスリッター装置を表す。1 shows a slitter device used in an embodiment of the laminated film manufacturing method of the present invention. 図4に示すスリッター装置の部分拡大図(フィルム原反の流れ方向)である。FIG. 5 is a partially enlarged view of the slitter device shown in FIG. 4 (in the flow direction of the original film). 図4に示すスリッター装置の部分拡大図(フィルム原反の幅方向)である。5 is a partially enlarged view (in the width direction of the original film) of the slitter device shown in FIG. 4. FIG. 本発明の積層フィルム製造方法の一実施形態におけるスリット工程を表す。The slitting process in one embodiment of the laminated film manufacturing method of the present invention is shown. 2枚刃ユニットを備えるスリッター装置の一例を表す。An example of a slitter device including a two-blade unit is shown. 図8に示すスリッター装置によるスリット工程を表す。The slitting process by the slitter apparatus shown in FIG. 8 is shown. 図8に示すスリッター装置によるスリット工程の部分拡大図(フィルム原反の流れ方向)である。9 is a partially enlarged view (in the flow direction of the original film) of the slitting process using the slitter device shown in FIG. 8. FIG. 図8に示すスリッター装置によるスリット工程の部分拡大図(フィルム原反の幅方向)である。9 is a partially enlarged view (in the width direction of the original film) of the slitting process using the slitter device shown in FIG. 8. FIG. 実施例1の製造方法で生じたストリップにおける切断端部の顕微鏡観察画像である。1 is a microscopic observation image of a cut end of a strip produced by the manufacturing method of Example 1. 比較例1の製造方法で生じたストリップにおける切断端部の顕微鏡観察画像である。2 is a microscopic observation image of a cut end of a strip produced by the manufacturing method of Comparative Example 1.

本発明の積層フィルムの製造方法(積層フィルム製造方法)の一実施形態は、図1に示すように、用意工程S1と、スリット工程S2とを含む。用意工程S1では、長尺の積層フィルム原反F(図2に示す)を用意する。スリット工程S2では、スリッター装置X(図4に示す)によって積層フィルム原反Fを長さ方向にスリットして積層フィルム100(図7に示す)を得る。 An embodiment of the method for manufacturing a laminated film (method for manufacturing a laminated film) of the present invention includes a preparation step S1 and a slitting step S2, as shown in FIG. In the preparation step S1, a long laminated film original fabric F (shown in FIG. 2) is prepared. In the slitting step S2, the laminated film raw fabric F is slit in the length direction by a slitter device X (shown in FIG. 4) to obtain a laminated film 100 (shown in FIG. 7).

積層フィルム原反Fは、図2に示すように、仮支持フィルム110と、硬化樹脂層120と、無機物層130とを、厚さ方向Hにこの順で備える。また、積層フィルム原反Fは、厚さ方向Hと直交する方向(面方向)に広がるシート形状を有する。仮支持フィルム110は、第1面111と、当該第1面111とは反対側の第2面112とを有する。硬化樹脂層120は、第1面111上に配置されている。硬化樹脂層120は、仮支持フィルム110に対して剥離可能に接している。硬化樹脂層120としては、例えば、ハードコート層および屈折率調整層が挙げられる。硬化樹脂層120は、ハードコート層と屈折率調整層とを兼ねる複合機能層であってもよい。無機物層130は、本実施形態では、硬化樹脂層120に接して硬化樹脂層120に固定されている。このような積層フィルム原反Fは、硬化樹脂層120および無機物層130を仮支持フィルム110から他の対象物へと転写するための転写用積層フィルムの原反である。転写用積層フィルムとしては、例えば、転写用導電性フィルムが挙げられる(この場合、無機物層130は導電層である)。転写用導電性フィルムは、例えばディスプレイパネルの製造過程において、導電層の供給材として用いられる。このような積層フィルム原反Fは、例えば、以下のように作製することによって用意できる。 As shown in FIG. 2, the laminated film original fabric F includes a temporary support film 110, a cured resin layer 120, and an inorganic layer 130 in this order in the thickness direction H. Moreover, the laminated film raw fabric F has a sheet shape that spreads in a direction (plane direction) orthogonal to the thickness direction H. The temporary support film 110 has a first surface 111 and a second surface 112 opposite to the first surface 111. Cured resin layer 120 is placed on first surface 111 . The cured resin layer 120 is in contact with the temporary support film 110 in a peelable manner. Examples of the cured resin layer 120 include a hard coat layer and a refractive index adjustment layer. The cured resin layer 120 may be a composite functional layer that serves as both a hard coat layer and a refractive index adjusting layer. In this embodiment, the inorganic layer 130 is fixed to the cured resin layer 120 in contact with the cured resin layer 120. Such a laminated film original fabric F is an original fabric of a transfer laminated film for transferring the cured resin layer 120 and the inorganic layer 130 from the temporary support film 110 to another object. Examples of the laminated film for transfer include a conductive film for transfer (in this case, the inorganic layer 130 is a conductive layer). The conductive film for transfer is used, for example, as a supply material for a conductive layer in the manufacturing process of a display panel. Such a laminated film original fabric F can be prepared, for example, by producing as follows.

まず、図3Aに示すように、仮支持フィルム110の第1面111上に硬化樹脂層120を形成する。これにより、硬化樹脂層120付きの仮支持フィルム110が得られる。 First, as shown in FIG. 3A, a cured resin layer 120 is formed on the first surface 111 of the temporary support film 110. As a result, a temporary support film 110 with a cured resin layer 120 is obtained.

仮支持フィルム110は、ロールトゥロール方式で積層フィルム原反Fを製造できるように長尺形状を有する。仮支持フィルム110は、例えば、可撓性を有する樹脂フィルムである。仮支持フィルム110の材料としては、例えば、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、およびポリスチレン樹脂が挙げられる。ポリエステル樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート、およびポリエチレンナフタレートが挙げられる。ポリオレフィン樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびシクロオレフィンポリマー(COP)が挙げられる。アクリル樹脂としては、例えばポリメタクリレートが挙げられる。仮支持フィルム110の材料としては、可撓性と強度とのバランスの観点から、好ましくは、ポリエステル樹脂およびポリオレフィン樹脂からなる群より選択される少なくとも一つが用いられ、より好ましくは、PETおよびCOPからなる群より選択される少なくとも一つが用いられる。 The temporary support film 110 has an elongated shape so that the laminated film original fabric F can be manufactured by a roll-to-roll method. The temporary support film 110 is, for example, a flexible resin film. Examples of the material for the temporary support film 110 include polyester resin, polyolefin resin, acrylic resin, polycarbonate resin, and polystyrene resin. Examples of polyester resins include polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate, and polyethylene naphthalate. Polyolefin resins include, for example, polyethylene, polypropylene, and cycloolefin polymer (COP). Examples of the acrylic resin include polymethacrylate. From the viewpoint of balance between flexibility and strength, the material for the temporary support film 110 is preferably at least one selected from the group consisting of polyester resin and polyolefin resin, more preferably PET and COP. At least one selected from the group consisting of:

仮支持フィルム110の厚さは、製造される積層フィルム原反Fの取り扱い性を確保する観点から、好ましくは10μm以上、より好ましくは30μm以上、更に好ましくは50μm以上である。仮支持フィルム110の厚さは、積層フィルム原反Fの薄型化の観点から、好ましくは300μm以下、より好ましくは200μm以下、更に好ましくは100μm以下である。 The thickness of the temporary support film 110 is preferably 10 μm or more, more preferably 30 μm or more, and even more preferably 50 μm or more, from the viewpoint of ensuring ease of handling of the laminated film raw fabric F to be manufactured. The thickness of the temporary support film 110 is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, and even more preferably 100 μm or less, from the viewpoint of making the laminated film raw fabric F thinner.

仮支持フィルム110の第1面111の表面自由エネルギーは、仮支持フィルム110と硬化樹脂層120との間における仮固定性と剥離性とのバランスをとる観点から、好ましくは20mN/m以上、より好ましくは25mN/m以上、更に好ましくは28mN/m以上であり、また、好ましくは40mN/m以下、より好ましくは35mN/m以下、更に好ましくは32mN/m以下である。表面自由エネルギーは、実施例に関して後述する方法によって測定される。 The surface free energy of the first surface 111 of the temporary support film 110 is preferably 20 mN/m or more, and more It is preferably 25 mN/m or more, more preferably 28 mN/m or more, and preferably 40 mN/m or less, more preferably 35 mN/m or less, and still more preferably 32 mN/m or less. Surface free energy is measured by the method described below with respect to the Examples.

仮支持フィルム110の第1面111は、剥離処理されていてもよい。剥離処理により、仮支持フィルム110と硬化樹脂層120との間の剥離強度を調整できる。剥離処理用の剥離剤としては、例えば、シリコーン樹脂含有の剥離剤、長鎖アルキル樹脂を含有する剥離剤、および、脂肪酸アミド樹脂を含有する剥離剤が挙げられる。 The first surface 111 of the temporary support film 110 may be subjected to a peeling treatment. Through the peeling process, the peel strength between the temporary support film 110 and the cured resin layer 120 can be adjusted. Examples of the release agent for release treatment include a release agent containing silicone resin, a release agent containing long-chain alkyl resin, and a release agent containing fatty acid amide resin.

仮支持フィルム110と硬化樹脂層120との間の剥離強度は、仮支持フィルム110と硬化樹脂層120との間の剥離性(剥離時の剥離しやすさ)を確保する観点から、好ましくは1N/24mm以下、より好ましくは0.7N/24mm以下、更に好ましくは0.5N/24mm以下、特に好ましくは0.3N/24mm以下である。仮支持フィルム110と硬化樹脂層120との間の剥離強度は、仮支持フィルム110に対する硬化樹脂層120の仮固定性を確保する観点から、好ましくは0.05N/24mm以上、より好ましくは0.1N/24mm以上、更に好ましくは0.2N/24mm以上である。剥離強度は、実施例に関して後述する方法によって測定できる。 The peel strength between the temporary support film 110 and the cured resin layer 120 is preferably 1N from the viewpoint of ensuring peelability (ease of peeling during peeling) between the temporary support film 110 and the cured resin layer 120. /24mm or less, more preferably 0.7N/24mm or less, further preferably 0.5N/24mm or less, particularly preferably 0.3N/24mm or less. The peel strength between the temporary support film 110 and the cured resin layer 120 is preferably 0.05 N/24 mm or more, more preferably 0.05 N/24 mm or more, from the viewpoint of ensuring temporary fixation of the cured resin layer 120 to the temporary support film 110. It is 1N/24mm or more, more preferably 0.2N/24mm or more. Peel strength can be measured by the method described below in connection with the Examples.

硬化樹脂層120は、第1面111上に硬化性樹脂組成物(ワニス)を塗布して塗膜を形成した後、この塗膜を乾燥および硬化させることによって形成できる。硬化性樹脂組成物は、硬化性樹脂と溶剤とを含有する。硬化樹脂層120は、硬化性樹脂組成物(具体的には硬化性樹脂)の硬化物である。 The cured resin layer 120 can be formed by applying a curable resin composition (varnish) onto the first surface 111 to form a coating film, and then drying and curing the coating film. The curable resin composition contains a curable resin and a solvent. The cured resin layer 120 is a cured product of a curable resin composition (specifically, a curable resin).

硬化性樹脂としては、例えば、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、アクリルウレタン樹脂、アミド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、およびメラミン樹脂が挙げられる。これら硬化性樹脂は、単独で用いられてもよいし、二種類以上が併用されてもよい。硬化樹脂層120の光透過性および硬さを確保する観点から、硬化性樹脂としては、好ましくはアクリル樹脂が用いられる。 Examples of the curable resin include polyester resin, acrylic resin, urethane resin, acrylic urethane resin, amide resin, silicone resin, epoxy resin, and melamine resin. These curable resins may be used alone or in combination of two or more. From the viewpoint of ensuring the light transmittance and hardness of the cured resin layer 120, acrylic resin is preferably used as the curable resin.

また、硬化性樹脂としては、例えば、紫外線硬化性樹脂、および、熱硬化性樹脂が挙げられる。硬化性樹脂組成物が紫外線硬化性樹脂を含有する場合には、紫外線照射によって上記塗膜を硬化させる。硬化性樹脂組成物が熱硬化性樹脂を含有する場合には、加熱によって上記塗膜を硬化させる。高温加熱せずに硬化可能であるために積層フィルム原反Fの製造効率向上に役立つ観点から、硬化性樹脂としては、好ましくは紫外線硬化性樹脂が用いられる。紫外線硬化性樹脂には、紫外線硬化型モノマー、紫外線硬化型オリゴマー、および紫外線硬化型ポリマーからなる群より選択される少なくとも一種類が含まれる。紫外線硬化性樹脂を含有する組成物の具体例としては、特開2016-179686号公報に記載のハードコート層形成用組成物が挙げられる。 Furthermore, examples of the curable resin include ultraviolet curable resins and thermosetting resins. When the curable resin composition contains an ultraviolet curable resin, the coating film is cured by ultraviolet irradiation. When the curable resin composition contains a thermosetting resin, the coating film is cured by heating. Preferably, an ultraviolet curable resin is used as the curable resin, since it can be cured without high-temperature heating and is useful for improving the production efficiency of the laminated film raw fabric F. The ultraviolet curable resin includes at least one type selected from the group consisting of an ultraviolet curable monomer, an ultraviolet curable oligomer, and an ultraviolet curable polymer. A specific example of a composition containing an ultraviolet curable resin includes a composition for forming a hard coat layer described in JP-A-2016-179686.

硬化性樹脂組成物が含有する溶剤としては、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジクロロメタン、およびクロロホルムが挙げられる。 Examples of the solvent contained in the curable resin composition include ethyl acetate, butyl acetate, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, benzene, toluene, xylene, methanol, ethanol, isopropanol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether Includes acetate, dichloromethane, and chloroform.

硬化性樹脂組成物は、微粒子を含有してもよい。硬化性樹脂組成物に対する微粒子の配合は、硬化樹脂層120における硬さの調整、表面粗さの調整、屈折率の調整、および防眩性の付与に、役立つ。微粒子としては、例えば、無機粒子および有機粒子が挙げられる。無機粒子としては、例えば、金属酸化物粒子およびガラス粒子が挙げられる。金属酸化物粒子の材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、酸化カルシウム、酸化スズ、酸化インジウム、酸化カドミウム、および酸化アンチモンが挙げられる。有機粒子の材料としては、例えば、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリウレタン、アクリル・スチレン共重合体、ベンゾグアナミン、メラミン、およびポリカーボネートが挙げられる。 The curable resin composition may contain fine particles. The blending of fine particles into the curable resin composition is useful for adjusting the hardness, surface roughness, refractive index, and imparting anti-glare properties to the cured resin layer 120. Examples of fine particles include inorganic particles and organic particles. Examples of inorganic particles include metal oxide particles and glass particles. Examples of materials for the metal oxide particles include silica, alumina, titania, zirconia, calcium oxide, tin oxide, indium oxide, cadmium oxide, and antimony oxide. Examples of the material for the organic particles include polymethyl methacrylate, polystyrene, polyurethane, acrylic-styrene copolymer, benzoguanamine, melamine, and polycarbonate.

硬化樹脂層120の厚さは、仮支持フィルム110からの硬化樹脂層120の剥離性を確保する観点から、好ましくは1μm以上、より好ましくは1.5μm以上である。硬化樹脂層120の厚さは、後述のスリット工程S2において硬化樹脂層120でのクラックの発生を抑制する観点から、好ましくは3μm以下、より好ましくは2.5μm以下、更に好ましくは2μm以下、一層好ましくは1.7μm以下、特に好ましくは1.5μmである。 The thickness of the cured resin layer 120 is preferably 1 μm or more, more preferably 1.5 μm or more, from the viewpoint of ensuring releasability of the cured resin layer 120 from the temporary support film 110. The thickness of the cured resin layer 120 is preferably 3 μm or less, more preferably 2.5 μm or less, still more preferably 2 μm or less, from the viewpoint of suppressing the occurrence of cracks in the cured resin layer 120 in the slitting step S2 described below. The thickness is preferably 1.7 μm or less, particularly preferably 1.5 μm.

硬化樹脂層120における無機物層130側の表面(表面121)の、ナノインデンテーション法により測定される25℃での硬さは、転写後の無機物層130が傷付くのを抑制する観点から、好ましくは0.3GPa以上、より好ましくは0.4GPa以上、更に好ましくは0.5GPa以上である。表面121の、ナノインデンテーション法により測定される25℃での硬さは、硬化樹脂層120の可撓性を確保して積層フィルム原反Fの取り扱い性と硬化樹脂層120の割れにくさとを確保する観点から、好ましくは1.2GPa以下、より好ましくは1.0GPa以下、更に好ましくは0.8GPa以下である。硬化樹脂層120の表面121の硬さを調整する方法としては、例えば、硬化樹脂層120における無機粒子の配合量の調整、および、硬化条件の調整が挙げられる。 The hardness of the surface (surface 121) on the inorganic layer 130 side of the cured resin layer 120 at 25° C. measured by the nanoindentation method is preferably from the viewpoint of suppressing damage to the inorganic layer 130 after transfer. is 0.3 GPa or more, more preferably 0.4 GPa or more, even more preferably 0.5 GPa or more. The hardness of the surface 121 at 25° C. measured by the nanoindentation method ensures the flexibility of the cured resin layer 120, improves the handleability of the laminated film original F, and the resistance of the cured resin layer 120 to cracking. From the viewpoint of ensuring this, it is preferably 1.2 GPa or less, more preferably 1.0 GPa or less, and even more preferably 0.8 GPa or less. Examples of methods for adjusting the hardness of the surface 121 of the cured resin layer 120 include adjusting the amount of inorganic particles blended in the cured resin layer 120 and adjusting the curing conditions.

ナノインデンテーション法とは、試料の諸物性をナノメートルスケールで測る技術である。本実施形態において、ナノインデンテーション法は、ISO14577に準拠して実施される。ナノインデンテーション法では、ステージ上にセットされた試料に圧子を押し込む過程(荷重印加過程)と、それより後に試料から圧子を引き抜く過程(除荷過程)とが実施されて、一連の過程中、圧子-試料間に作用する荷重と、試料に対する圧子の相対変位とが測定される(荷重-変位測定)。これにより、荷重-変位曲線を得ることが可能である。この荷重-変位曲線から、測定試料について、ナノメートルスケール測定に基づく弾性率や硬さなどの物性を求めることが可能である。ナノインデンテーション法による硬化樹脂層120の表面の荷重-変位測定には、例えば、ナノインデンター(商品名「Triboindenter」,Hysitron社製)を使用できる。その測定において、測定モードは単一押込み測定とし、測定温度は25℃とし、使用圧子はBerkovich(三角錐)型のダイヤモンド圧子とし、荷重印加過程での測定試料に対する圧子の最大押込み深さ(最大変位H1)は20nmとし、当該圧子の押込み速度は2nm/秒とし、除荷過程での測定試料からの圧子の引抜き速度は2nm/秒とする。本測定によって得られる荷重-変位曲線に基づき、例えば、最大荷重Pmax(最大変位H1にて圧子に作用する荷重)、接触投影面積Ap(最大荷重時における圧子と試料との間の接触領域の投影面積)、接触剛性S(除荷過程開始時における荷重-変位曲線(除荷曲線)の接線の傾き)、および、除荷過程後の試料表面における塑性変形量H2(試料表面から圧子を離した後に当該試料表面に維持される凹部の深さ)を得ることができる。そして、最大荷重Pmaxと接触投影面積Apから、試料表面の硬さ(=Pmax/Ap)を算出できる。 Nanoindentation is a technology that measures various physical properties of a sample on a nanometer scale. In this embodiment, the nanoindentation method is performed in accordance with ISO14577. In the nanoindentation method, the process of pushing an indenter into a sample set on a stage (load application process) and the process of pulling out the indenter from the sample (unloading process) are carried out. The load acting between the indenter and the sample and the relative displacement of the indenter with respect to the sample are measured (load-displacement measurement). This makes it possible to obtain a load-displacement curve. From this load-displacement curve, it is possible to determine the physical properties of the measurement sample, such as elastic modulus and hardness based on nanometer scale measurements. To measure the load-displacement on the surface of the cured resin layer 120 by the nanoindentation method, for example, a nanoindenter (trade name "Triboindenter", manufactured by Hysitron) can be used. In the measurement, the measurement mode was single indentation measurement, the measurement temperature was 25°C, the indenter used was a Berkovich (triangular pyramid) type diamond indenter, and the maximum indentation depth of the indenter into the measurement sample during the load application process (maximum The displacement H1) is 20 nm, the indentation speed of the indenter is 2 nm/sec, and the withdrawal speed of the indenter from the measurement sample during the unloading process is 2 nm/sec. Based on the load-displacement curve obtained by this measurement, for example, the maximum load Pmax (the load acting on the indenter at the maximum displacement H1), the projected contact area Ap (the projection of the contact area between the indenter and the sample at the maximum load), area), contact stiffness S (the slope of the tangent to the load-displacement curve (unloading curve) at the start of the unloading process), and the amount of plastic deformation H2 on the sample surface after the unloading process (the slope when the indenter is removed from the sample surface). The depth of the recess that is later maintained on the sample surface) can be obtained. Then, the hardness of the sample surface (=Pmax/Ap) can be calculated from the maximum load Pmax and the projected contact area Ap.

硬化樹脂層120の表面121(無機物層130が積層される表面)は、必要に応じて表面改質処理される。表面改質処理としては、例えば、プラズマ処理、コロナ処理、およびオゾン処理が挙げられる。硬化樹脂層120と無機物層130との間において高い密着力を確保する観点からは、表面121は、好ましくはプラズマ処理される。表面121をプラズマ処理する場合、当該プラズマ処理では、不活性ガスとして例えばアルゴンガスを用いる。また、プラズマ処理における放電電力は、例えば10W以上であり、また、例えば10000W以下である。 The surface 121 of the cured resin layer 120 (the surface on which the inorganic layer 130 is laminated) is subjected to a surface modification treatment if necessary. Examples of surface modification treatments include plasma treatment, corona treatment, and ozone treatment. From the viewpoint of ensuring high adhesion between the cured resin layer 120 and the inorganic layer 130, the surface 121 is preferably subjected to plasma treatment. When the surface 121 is subjected to plasma treatment, for example, argon gas is used as an inert gas in the plasma treatment. Further, the discharge power in the plasma treatment is, for example, 10 W or more and, for example, 10,000 W or less.

次に、図3Bに示すように、硬化樹脂層120上に無機物層130を形成する。具体的には、例えばスパッタリング法により、硬化樹脂層120付き仮支持フィルム110(ワークフィルム)における硬化樹脂層120上に材料を成膜して、無機物層130を形成する。こうして形成される無機物層130は、スパッタ膜である。 Next, as shown in FIG. 3B, an inorganic layer 130 is formed on the cured resin layer 120. Specifically, a material is formed into a film on the cured resin layer 120 in the temporary support film 110 (work film) with the cured resin layer 120 by sputtering, for example, to form the inorganic layer 130. The inorganic layer 130 thus formed is a sputtered film.

本工程のスパッタリング法では、例えば、ロールトゥロール方式で成膜プロセスを実施できるスパッタ成膜装置を使用する。スパッタリング法では、具体的には、スパッタ成膜装置が備える成膜室内に真空条件下でスパッタリングガス(不活性ガス)を導入しつつ、成膜室内のカソード上に配置されたターゲットにマイナスの電圧を印加する。これにより、グロー放電を発生させてガス原子をイオン化し、当該ガスイオンを高速でターゲット表面に衝突させ、ターゲット表面からターゲット材料を弾き出し、弾き出されたターゲット材料を、硬化樹脂層120付き仮支持フィルム110における硬化樹脂層120上に堆積させる。 In the sputtering method of this step, for example, a sputter film-forming apparatus that can perform a film-forming process in a roll-to-roll manner is used. Specifically, in the sputtering method, a sputtering gas (inert gas) is introduced under vacuum conditions into a film forming chamber equipped with a sputter film forming apparatus, and a negative voltage is applied to a target placed on a cathode in the film forming chamber. Apply. As a result, a glow discharge is generated to ionize gas atoms, the gas ions are made to collide with the target surface at high speed, the target material is ejected from the target surface, and the ejected target material is transferred to the temporary support film with the cured resin layer 120. The cured resin layer 120 at 110 is deposited on top of the cured resin layer 120 .

成膜室内のカソード上に配置されるターゲットの材料(即ち、無機物層130の材料)としては、例えば、金属、および導電性酸化物が挙げられる。金属としては、例えば、銅、銀、およびこれらの合金が挙げられる。導電性酸化物としては、例えば、In、Sn、Zn、Ga、Sb、Ti、Si、Zr、Mg、Al、Au、Ag、Cu、Pd、Wからなる群より選択される少なくとも一種類の金属または半金属を含有する金属酸化物が挙げられる。具体的には、導電性酸化物としては、インジウム含有導電性酸化物およびアンチモン含有導電性酸化物が挙げられる。インジウム含有導電性酸化物としては、例えば、インジウムスズ複合酸化物(ITO)、インジウム亜鉛複合酸化物(IZO)、インジウムガリウム複合酸化物(IGO)、およびインジウムガリウム亜鉛複合酸化物(IGZO)が挙げられる。 Examples of the material of the target placed on the cathode in the film forming chamber (that is, the material of the inorganic layer 130) include metals and conductive oxides. Examples of metals include copper, silver, and alloys thereof. The conductive oxide is, for example, at least one metal selected from the group consisting of In, Sn, Zn, Ga, Sb, Ti, Si, Zr, Mg, Al, Au, Ag, Cu, Pd, and W. Alternatively, a metal oxide containing a metalloid may be mentioned. Specifically, the conductive oxide includes an indium-containing conductive oxide and an antimony-containing conductive oxide. Examples of indium-containing conductive oxides include indium tin composite oxide (ITO), indium zinc composite oxide (IZO), indium gallium composite oxide (IGO), and indium gallium zinc composite oxide (IGZO). It will be done.

スパッタリング法による成膜(スパッタ成膜)中の成膜室内の気圧は、例えば0.02Pa以上であり、また、例えば1Pa以下である。 The atmospheric pressure inside the film formation chamber during film formation by sputtering (sputter film formation) is, for example, 0.02 Pa or more and, for example, 1 Pa or less.

ターゲットに対する電圧印加のための電源としては、例えば、DC電源、AC電源、MF電源、およびRF電源が挙げられる。電源としては、DC電源とRF電源とを併用してもよい。スパッタ成膜中の放電電圧の絶対値は、例えば50V以上であり、また、例えば500V以下である。 Examples of power sources for applying voltage to the target include DC power sources, AC power sources, MF power sources, and RF power sources. As the power source, a DC power source and an RF power source may be used together. The absolute value of the discharge voltage during sputter film formation is, for example, 50V or more and, for example, 500V or less.

以上のようにして、積層フィルム原反Fを製造できる。積層フィルム原反Fは、仮支持フィルム110と、硬化樹脂層120と、無機物層130とを厚さ方向Hにこの順で備える。硬化樹脂層120および無機物層130は、基材レスの透明導電性フィルム100を形成する。すなわち、積層フィルム原反Fでは、基材レスの透明導電性フィルム100が仮支持フィルム110によって仮に支持されている。 In the manner described above, the laminated film raw fabric F can be manufactured. The laminated film original fabric F includes a temporary support film 110, a cured resin layer 120, and an inorganic layer 130 in this order in the thickness direction H. The cured resin layer 120 and the inorganic layer 130 form a substrate-less transparent conductive film 100. That is, in the laminated film original fabric F, the transparent conductive film 100 without a base material is temporarily supported by the temporary support film 110.

積層フィルム原反Fの仮支持フィルム110の第2面112には、図3Cに示すように、積層フィルム原反Fを保護する保護フィルム140が貼り合わされていてもよい。保護フィルム140は、例えば、基材フィルムと、基材フィルム上の粘着剤層(図示略)とを備える片面粘着剤層付きフィルムであり、粘着剤層側で第2面112に貼り合わされている。基材フィルムは、例えば、可撓性を有する樹脂フィルムである。基材フィルムの材料としては、例えば、仮支持フィルム110の材料として上記した材料が挙げられる。基材フィルムの厚さは、例えば10μm以上、好ましくは25μm以上であり、また、例えば200μm以下、好ましくは150μm以下である。粘着剤層は、粘着性を発現させるベースポリマーを含有する。ベースポリマーとしては、例えば、アクリルポリマー、ゴム系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、ポリエーテル系ポリマー、シリコーン系ポリマー、ポリアミド系ポリマー、およびフッ素系ポリマーが挙げられる。粘着剤層の厚さは、例えば5μm以上、好ましくは10μm以上であり、また、例えば100μm以下、好ましくは75μm以下である。 A protective film 140 for protecting the laminated film raw fabric F may be bonded to the second surface 112 of the temporary support film 110 of the laminated film raw fabric F, as shown in FIG. 3C. The protective film 140 is, for example, a film with a single-sided adhesive layer that includes a base film and an adhesive layer (not shown) on the base film, and is bonded to the second surface 112 on the adhesive layer side. . The base film is, for example, a flexible resin film. Examples of the material for the base film include the materials described above as the material for the temporary support film 110. The thickness of the base film is, for example, 10 μm or more, preferably 25 μm or more, and is, for example, 200 μm or less, preferably 150 μm or less. The adhesive layer contains a base polymer that exhibits adhesiveness. Examples of the base polymer include acrylic polymers, rubber-based polymers, polyester-based polymers, urethane-based polymers, polyether-based polymers, silicone-based polymers, polyamide-based polymers, and fluorine-based polymers. The thickness of the adhesive layer is, for example, 5 μm or more, preferably 10 μm or more, and, for example, 100 μm or less, preferably 75 μm or less.

スリッター装置Xは、図4に示すように、支持ローラー10(刃付支持ローラー)と、2枚刃ユニット20とを備える。スリッター装置Xは、本実施形態では二つの2枚刃ユニット20A,20Bを備える。 As shown in FIG. 4, the slitter device X includes a support roller 10 (a support roller with blades) and a two-blade unit 20. In this embodiment, the slitter device X includes two two-blade units 20A and 20B.

支持ローラー10は、本実施形態では、ローラー部11(11A)と、円形刃12(12A)と、スペーサー13(13A)と、円形刃14(14A)と、ローラー部11(11B)と、円形刃12(12B)と、スペーサー13(13B)と、円形刃14(14B)と、ローラー部11(11C)とを、第1方向D1にこの順で備える。ローラー部11(11A,11B,11C)、円形刃12(12A,12B)、スペーサー13(13A,13B)および円形刃14(14A,14B)は、スリッター装置Xが更に備える回転軸芯15に取り付けられている。回転軸芯15は、第1方向D1に延びる第1回転軸心A1まわりに回転可能である。回転軸芯15が第1回転軸心A1まわりに回転することにより、ローラー部11、円形刃12、スペーサー13および円形刃14は、第1回転軸心A1まわりに一体的に回転する。すなわち、支持ローラー10(ローラー部11と円形刃12,14とスペーサー13)は、第1方向D1に延びる第1回転軸心A1まわりに回転可能である。また、第1方向D1において隣り合って並ぶローラー部11、円形刃12、スペーサー13、円形刃14、およびローラー部11は、本発明における第1ローラー部、第1円形刃、スペーサー、第2円形刃および第2ローラー部に相当する。 In this embodiment, the support roller 10 includes a roller portion 11 (11A), a circular blade 12 (12A), a spacer 13 (13A), a circular blade 14 (14A), a roller portion 11 (11B), and a circular blade 12 (12A). The blade 12 (12B), the spacer 13 (13B), the circular blade 14 (14B), and the roller portion 11 (11C) are provided in this order in the first direction D1. The roller portion 11 (11A, 11B, 11C), the circular blade 12 (12A, 12B), the spacer 13 (13A, 13B), and the circular blade 14 (14A, 14B) are attached to the rotation axis 15 that the slitter device X further includes. It is being The rotation axis 15 is rotatable around a first rotation axis A1 extending in the first direction D1. As the rotation axis 15 rotates around the first rotation axis A1, the roller portion 11, the circular blade 12, the spacer 13, and the circular blade 14 rotate integrally around the first rotation axis A1. That is, the support roller 10 (roller portion 11, circular blades 12, 14, and spacer 13) is rotatable around a first rotation axis A1 extending in the first direction D1. Moreover, the roller part 11, the circular blade 12, the spacer 13, the circular blade 14, and the roller part 11 that are arranged next to each other in the first direction D1 are the first roller part, the first circular blade, the spacer, and the second circular blade in the present invention. It corresponds to the blade and the second roller part.

ローラー部11(11A,11B,11C)は、円柱形状を有する。ローラー部11の外径は、例えば50~100mmである。各ローラー部11の第1方向D1の長さは、スリット工程S2によって得られる積層フィルム100(図7に示す)の設計寸法に応じて、例えば200~500mmである。ローラー部11は、外周面11aを有する。外周面11aは、互いに面一である。また、ローラー部11は金属製である。ローラー部11の材料としては、例えばSKD11(ダイス鋼)が挙げられる。 The roller portion 11 (11A, 11B, 11C) has a cylindrical shape. The outer diameter of the roller portion 11 is, for example, 50 to 100 mm. The length of each roller portion 11 in the first direction D1 is, for example, 200 to 500 mm, depending on the design dimensions of the laminated film 100 (shown in FIG. 7) obtained by the slitting step S2. The roller portion 11 has an outer peripheral surface 11a. The outer peripheral surfaces 11a are flush with each other. Moreover, the roller part 11 is made of metal. Examples of the material for the roller portion 11 include SKD11 (dice steel).

円形刃12Aは、ローラー部11Aとスペーサー13Aとの間に配置されている。円形刃12Bは、ローラー部11Bとスペーサー13Bとの間に配置されている。各円形刃12(12A,12B)は、ディスク形状の片刃であり、刃裏面12aと外周面12bとを有する。円形刃12の外径は、ローラー部11の外径と実質的に同じであり、例えば50~100mmである。刃裏面12aは、空隙G1を介して隣のスペーサー13に対向する。第1方向D1における空隙G1の長さは、切断加工物の耳立ちを抑制して外観品位を確保する観点から、好ましくは1.3mm以上、より好ましくは1.5mm以上である(後述の空隙G2についても同様である)。第1方向D1における空隙G1の長さは、原反における製品有効幅を確保する観点から、好ましくは10mm以下、より好ましくは5mm以下である(後述の空隙G2についても同様である)。円形刃12は、刃裏面12aとは反対側で隣のローラー部11に接する。刃裏面12aと外周面12bとは、鋭角または直角を形成する。刃裏面12aと外周面12bとは、積層フィルム原反F(スリット対象物)を支持ローラー10によって適切に案内する観点から、好ましくは直角を形成する(直角を形成する場合を図示する)。すなわち、円形刃12の外周面12bは、好ましくは、ローラー部11の外周面11aと面一である。刃裏面12aと外周面12bとが鋭角を形成する場合、当該鋭角の角度は、好ましくは45°以上、より好ましくは60°以上、更に好ましくは75°以上、特に好ましくは80°以上であり、また、例えば90°未満である。円形刃12は、刃裏面12aと外周面12bとの境界にエッジ(刃先)を有する。また、円形刃12は金属製である。円形刃12の材料としては、例えばSKD11(ダイス鋼)が挙げられる。 The circular blade 12A is arranged between the roller portion 11A and the spacer 13A. The circular blade 12B is arranged between the roller portion 11B and the spacer 13B. Each circular blade 12 (12A, 12B) is a disk-shaped single edge, and has a blade back surface 12a and an outer peripheral surface 12b. The outer diameter of the circular blade 12 is substantially the same as the outer diameter of the roller portion 11, and is, for example, 50 to 100 mm. The blade back surface 12a faces the adjacent spacer 13 via the gap G1. The length of the gap G1 in the first direction D1 is preferably 1.3 mm or more, more preferably 1.5 mm or more, from the viewpoint of suppressing the ridges of the cut workpiece and ensuring the appearance quality (gap G2 described below). The same applies to The length of the gap G1 in the first direction D1 is preferably 10 mm or less, more preferably 5 mm or less, from the viewpoint of ensuring the effective width of the product in the original fabric (the same applies to the gap G2 described below). The circular blade 12 contacts the adjacent roller portion 11 on the side opposite to the blade back surface 12a. The blade back surface 12a and the outer peripheral surface 12b form an acute angle or a right angle. The blade back surface 12a and the outer circumferential surface 12b preferably form a right angle (the case where they form a right angle is illustrated) from the viewpoint of appropriately guiding the laminated film raw fabric F (object to be slit) by the support roller 10. That is, the outer circumferential surface 12b of the circular blade 12 is preferably flush with the outer circumferential surface 11a of the roller portion 11. When the blade back surface 12a and the outer peripheral surface 12b form an acute angle, the acute angle is preferably 45° or more, more preferably 60° or more, still more preferably 75° or more, and particularly preferably 80° or more, Further, for example, the angle is less than 90°. The circular blade 12 has an edge (cutting edge) at the boundary between the blade back surface 12a and the outer peripheral surface 12b. Further, the circular blade 12 is made of metal. Examples of the material for the circular blade 12 include SKD11 (dice steel).

スペーサー13Aは、円形刃12Aと円形刃14Aとの間に配置されている。スペーサー13Bは、円形刃12Bと円形刃14Bとの間に配置されている。各スペーサー13(13A,13B)は、ディスク形状を有する。スペーサー13は外周面13aを有する。積層フィルム原反F(スリット対象物)を支持ローラー10によって適切に案内する観点から、好ましくは、スペーサー13の外径はローラー部11の外径と実質的に同じであり、ローラー部11の外周面11aとスペーサー13の外周面13aとは、面一である。各スペーサー13の第1方向D1の長さは、隣り合う後記の円形刃21,22間の離隔距離より小さく、例えば1~10mmである。また、スペーサー13は金属製である。スペーサー13の材料としては、例えばSKD11(ダイス鋼)が挙げられる。 The spacer 13A is arranged between the circular blade 12A and the circular blade 14A. Spacer 13B is arranged between circular blade 12B and circular blade 14B. Each spacer 13 (13A, 13B) has a disk shape. Spacer 13 has an outer peripheral surface 13a. From the viewpoint of appropriately guiding the laminated film original fabric F (object to be slit) by the support roller 10, preferably, the outer diameter of the spacer 13 is substantially the same as the outer diameter of the roller part 11, and the outer diameter of the roller part 11 is preferably The surface 11a and the outer peripheral surface 13a of the spacer 13 are flush with each other. The length of each spacer 13 in the first direction D1 is smaller than the distance between adjacent circular blades 21 and 22, which will be described later, and is, for example, 1 to 10 mm. Further, the spacer 13 is made of metal. Examples of the material of the spacer 13 include SKD11 (dice steel).

円形刃14Aは、スペーサー13Aとローラー部11Bとの間に配置されている。円形刃14Bは、ローラー部11Bとスペーサー13Bとの間に配置されている。各円形刃14(14A,14B)は、ディスク形状の片刃であり、刃裏面14aと外周面14bとを有する。円形刃14の外径は、ローラー部11の外径と実質的に同じであり、例えば50~100mmである。刃裏面14aは、空隙G2を介して隣のスペーサー13に対向する。円形刃14は、刃裏面14aとは反対側で隣のローラー部11に接する。刃裏面14aと外周面14bとは、鋭角または直角を形成する。刃裏面14aと外周面14bとは、積層フィルム原反F(スリット対象物)を支持ローラー10によって適切に案内する観点から、好ましくは直角を形成する(直角を形成する場合を図示する)。すなわち、円形刃14の外周面14bは、好ましくは、ローラー部11の外周面11aと面一である。刃裏面14aと外周面14bとが鋭角を形成する場合、当該鋭角の角度は、好ましくは45°以上、より好ましくは60°以上、更に好ましくは75°以上、特に好ましくは80°以上であり、また、例えば90°未満である。円形刃14は、刃裏面14aと外周面14bとの境界にエッジ(刃先)を有する。また、円形刃14は金属製である。円形刃14の材料としては、例えばSKD11(ダイス鋼)が挙げられる。 The circular blade 14A is arranged between the spacer 13A and the roller portion 11B. The circular blade 14B is arranged between the roller part 11B and the spacer 13B. Each circular blade 14 (14A, 14B) is a disk-shaped single edge, and has a blade back surface 14a and an outer peripheral surface 14b. The outer diameter of the circular blade 14 is substantially the same as the outer diameter of the roller portion 11, and is, for example, 50 to 100 mm. The blade back surface 14a faces the adjacent spacer 13 via the gap G2. The circular blade 14 contacts the adjacent roller portion 11 on the side opposite to the blade back surface 14a. The blade back surface 14a and the outer peripheral surface 14b form an acute angle or a right angle. The blade back surface 14a and the outer circumferential surface 14b preferably form a right angle (the case where they form a right angle is illustrated) from the viewpoint of appropriately guiding the laminated film raw fabric F (object to be slit) by the support roller 10. That is, the outer circumferential surface 14b of the circular blade 14 is preferably flush with the outer circumferential surface 11a of the roller portion 11. When the blade back surface 14a and the outer circumferential surface 14b form an acute angle, the angle of the acute angle is preferably 45° or more, more preferably 60° or more, still more preferably 75° or more, particularly preferably 80° or more, Further, for example, the angle is less than 90°. The circular blade 14 has an edge (cutting edge) at the boundary between the blade back surface 14a and the outer peripheral surface 14b. Further, the circular blade 14 is made of metal. Examples of the material for the circular blade 14 include SKD11 (dice steel).

支持ローラー10においては、積層フィルム原反F(スリット対象物)を支持ローラー10によって適切に案内する観点から、上述の外周面11a,12b,13a,14bは面一である。 In the support roller 10, the above-mentioned outer peripheral surfaces 11a, 12b, 13a, and 14b are flush with each other from the viewpoint of appropriately guiding the laminated film original fabric F (object to be slit) by the support roller 10.

各2枚刃ユニット20(20A,20B)は、円形刃21(第3円形刃)と、円形刃22(第4円形刃)とを備える。円形刃21,22は、第1方向D1に離隔している。2枚刃ユニット20Aは、支持ローラー10における円形刃12A,14Aに対応して配置されている。具体的には、円形刃12A,21が互いの刃先の干渉によって協働してフィルムをスリットでき、且つ、円形刃14A,22が互いの刃先の干渉によって協働してフィルムをスリットできるように、支持ローラー10に対して2枚刃ユニット20Aは配置されている。2枚刃ユニット20Bは、支持ローラー10における円形刃12B,14Bに対応して配置されている。具体的には、円形刃12B,21が互いの刃先の干渉によって協働してフィルムをスリットでき、且つ、円形刃14B,22が互いの刃先の干渉によって協働してフィルムをスリットできるように、支持ローラー10に対して2枚刃ユニット20Bは配置されている。このような2枚刃ユニット20A,20Bは、第1方向D1に互いに離れている。各2枚刃ユニット20は、スリッター装置Xが更に備える回転軸芯25に取り付けられている。回転軸芯25は、第1方向D1に延びる第2回転軸心A2まわりに回転可能である。第2回転軸心A2と上述の第1回転軸心A1とは、平行であり、且つ、第1方向D1と直交する第2方向D2に離れている。このような第2回転軸心A2まわりに回転軸芯25が回転することにより、2枚刃ユニット20A,20Bは、第2回転軸心A2まわりに一体的に回転する。すなわち、2枚刃ユニット20A,20Bは、第1方向D1に延びる第2回転軸心A2まわりに回転可能である。 Each two-blade unit 20 (20A, 20B) includes a circular blade 21 (third circular blade) and a circular blade 22 (fourth circular blade). The circular blades 21 and 22 are spaced apart in the first direction D1. The two-blade unit 20A is arranged corresponding to the circular blades 12A and 14A on the support roller 10. Specifically, the circular blades 12A, 21 can work together to slit the film by interference of their cutting edges, and the circular blades 14A, 22 can work together to slit the film by interference of their cutting edges. , the two-blade unit 20A is arranged with respect to the support roller 10. The two-blade unit 20B is arranged corresponding to the circular blades 12B and 14B on the support roller 10. Specifically, the circular blades 12B and 21 can work together to slit the film by interference of their cutting edges, and the circular blades 14B and 22 can work together to slit the film by interference of their cutting edges. , the two-blade unit 20B is arranged with respect to the support roller 10. Such two-blade units 20A, 20B are separated from each other in the first direction D1. Each two-blade unit 20 is attached to a rotation axis 25 that the slitter device X further includes. The rotation axis 25 is rotatable around a second rotation axis A2 extending in the first direction D1. The second rotation axis A2 and the above-mentioned first rotation axis A1 are parallel to each other and are separated from each other in a second direction D2 that is orthogonal to the first direction D1. As the rotation axis 25 rotates around the second rotation axis A2, the two-blade units 20A, 20B rotate integrally around the second rotation axis A2. That is, the two-blade units 20A and 20B are rotatable around a second rotation axis A2 extending in the first direction D1.

円形刃21は、ディスク形状の片刃であり、刃裏面21aと、先端傾斜面21bと、刃先21eとを有する。刃裏面21aは、第1方向D1において円形刃12側を向く。刃裏面21aと先端傾斜面21bとは、鋭角を形成する。当該鋭角の角度は、積層フィルム原反Fにおける切断箇所において良好な切断端部を形成する観点から、好ましくは30°以上、より好ましくは45°以上、更に好ましくは50°以上であり、また、好ましくは80°以下、より好ましくは70°以下、更に好ましくは60°以下である。刃先21eは、刃裏面21aおよび先端傾斜面21bの境界に形成されたエッジである。刃先21eは、空隙G1(円形刃12とスペーサー13との間)に入る。このような円形刃21の外径は、例えば50~150mmである。円形刃21の第1方向D1の長さ(円形刃21の厚さ)は、例えば1~3mmである。円形刃21の厚さは、空隙G1の第1方向D1の長さより小さいのが好ましい。また、円形刃21は、金属製であり、円形刃21の材料としては、例えばSKH2(ハイスピードスチール)が挙げられる(後記の円形刃22についても同様である)。 The circular blade 21 is a disk-shaped single blade, and has a blade back surface 21a, a tip inclined surface 21b, and a cutting edge 21e. The blade back surface 21a faces the circular blade 12 side in the first direction D1. The blade back surface 21a and the tip inclined surface 21b form an acute angle. The acute angle is preferably 30° or more, more preferably 45° or more, and still more preferably 50° or more, from the viewpoint of forming a good cut edge at the cutting location in the laminated film raw fabric F, and The angle is preferably 80° or less, more preferably 70° or less, and still more preferably 60° or less. The cutting edge 21e is an edge formed at the boundary between the blade back surface 21a and the tip inclined surface 21b. The cutting edge 21e enters the gap G1 (between the circular blade 12 and the spacer 13). The outer diameter of such a circular blade 21 is, for example, 50 to 150 mm. The length of the circular blade 21 in the first direction D1 (the thickness of the circular blade 21) is, for example, 1 to 3 mm. The thickness of the circular blade 21 is preferably smaller than the length of the gap G1 in the first direction D1. Further, the circular blade 21 is made of metal, and examples of the material for the circular blade 21 include SKH2 (high speed steel) (the same applies to the circular blade 22 described later).

円形刃22は、ディスク形状の片刃であり、刃裏面22aと、先端傾斜面22bと、刃先22eとを有する。刃裏面22aは、第1方向D1において円形刃14側を向く。すなわち、円形刃21,22の刃裏面21a,22aは、第1方向D1において互いに反対側を向く。刃裏面22aと先端傾斜面22bとは、鋭角を形成する。当該鋭角の角度は、積層フィルム原反Fにおける切断箇所において良好な切断端部を形成する観点から、好ましくは30°以上、より好ましくは45°以上、更に好ましくは50°以上であり、また、好ましくは80°以下、より好ましくは70°以下、更に好ましくは60°以下である。刃先22eは、刃裏面22aおよび先端傾斜面22bの境界に形成されたエッジである。刃先22eは、空隙G2(スペーサー13と円形刃14との間)に入る。このような円形刃22の外径は、円形刃21の外径と実質的に同じであり、例えば50~150mmである。円形刃22の第1方向D1の長さ(円形刃22の厚さ)は、例えば1~3mmである。円形刃22の厚さは、空隙G2の第1方向D1の長さより小さいのが好ましい。 The circular blade 22 is a disk-shaped single blade, and has a blade back surface 22a, a tip inclined surface 22b, and a cutting edge 22e. The blade back surface 22a faces the circular blade 14 side in the first direction D1. That is, the blade back surfaces 21a, 22a of the circular blades 21, 22 face opposite sides in the first direction D1. The blade back surface 22a and the tip inclined surface 22b form an acute angle. The acute angle is preferably 30° or more, more preferably 45° or more, and still more preferably 50° or more, from the viewpoint of forming a good cut edge at the cutting location in the laminated film raw fabric F, and The angle is preferably 80° or less, more preferably 70° or less, and still more preferably 60° or less. The cutting edge 22e is an edge formed at the boundary between the blade back surface 22a and the tip inclined surface 22b. The cutting edge 22e enters the gap G2 (between the spacer 13 and the circular blade 14). The outer diameter of such a circular blade 22 is substantially the same as the outer diameter of the circular blade 21, and is, for example, 50 to 150 mm. The length of the circular blade 22 in the first direction D1 (thickness of the circular blade 22) is, for example, 1 to 3 mm. The thickness of the circular blade 22 is preferably smaller than the length of the gap G2 in the first direction D1.

2枚刃ユニット20において、円形刃21の刃先21eと円形刃22の刃先22eとの間の第1方向D1における離隔距離dは、後記のストリップ100’に対して面方向に作用する応力を軽減する観点から、5mm以上であり、好ましくは7mm以上、より好ましくは9mm以上である。離隔距離dは、原反における製品有効幅を確保する観点から、20mm以下であり、好ましくは15mm以下、より好ましくは12mm以下である。 In the two-blade unit 20, the separation distance d in the first direction D1 between the cutting edge 21e of the circular blade 21 and the cutting edge 22e of the circular blade 22 reduces stress acting in the planar direction on the strip 100', which will be described later. From the viewpoint of this, the length is 5 mm or more, preferably 7 mm or more, and more preferably 9 mm or more. The separation distance d is 20 mm or less, preferably 15 mm or less, and more preferably 12 mm or less, from the viewpoint of ensuring the effective width of the product in the original fabric.

スリット工程S2では、以上のようなスリッター装置Xにより、積層フィルム原反Fをスリットする。具体的には、次のとおりである。 In the slitting step S2, the laminated film original fabric F is slit using the slitter device X as described above. Specifically, it is as follows.

長尺でロール状の積層フィルム原反Fを、予め、繰出しローラー(図示略)に取り付ける。当該積層フィルム原反Fのロールから、スリッター装置Xにおける支持ローラー10と2枚刃ユニット20との間に向けて、積層フィルム原反Fを繰り出す。積層フィルム原反Fの繰り出し張力(フィルム幅方向の単位長さあたりの張力)は、例えば40~200N/mである。 A long roll-shaped laminated film raw fabric F is attached in advance to a feeding roller (not shown). The laminated film raw fabric F is fed out from the roll of the laminated film raw fabric F toward between the support roller 10 and the two-blade unit 20 in the slitter device X. The unwinding tension (tension per unit length in the film width direction) of the laminated film original fabric F is, for example, 40 to 200 N/m.

スリッター装置Xでは、図5に示すように、積層フィルム原反Fの仮支持フィルム110側(無機物層130とは反対側)がローラー部11およびスペーサー13に接する状態で、支持ローラー10を回転駆動して積層フィルム原反Fを長さ方向に送る。回転軸芯15に対して外部から駆動力を与えることによって支持ローラー10を回転駆動できる。2枚刃ユニット20A,20Bは、支持ローラー10の回転駆動に追従して回転する。これにより、当該積層フィルム原反Fを、円形刃12,21間でスリットしつつ、円形刃14,22間でスリットする。積層フィルム原反Fは、具体的には、円形刃12Aと2枚刃ユニット20Aの円形刃21との間でスリットされ、円形刃14Aと2枚刃ユニット20Aの円形刃22との間でスリットされ、円形刃12Bと2枚刃ユニット20Bの円形刃21との間でスリットされ、円形刃14Bと2枚刃ユニット20Bの円形刃22との間でスリットされる。 As shown in FIG. 5, in the slitter device Then, the laminated film original F is fed in the length direction. The support roller 10 can be rotationally driven by applying a driving force to the rotation axis 15 from the outside. The two-blade units 20A and 20B rotate following the rotational drive of the support roller 10. Thereby, the laminated film original fabric F is slit between the circular blades 12 and 21 and between the circular blades 14 and 22. Specifically, the laminated film raw fabric F is slit between the circular blade 12A and the circular blade 21 of the two-blade unit 20A, and between the circular blade 14A and the circular blade 22 of the two-blade unit 20A. Then, slitting is performed between the circular blade 12B and the circular blade 21 of the two-blade unit 20B, and slitting is performed between the circular blade 14B and the circular blade 22 of the two-blade unit 20B.

スリット工程S2での積層フィルム原反Fに対するスリットにより、図7に示すように、所定幅の製品フィルムとしての積層フィルム100が得られる。また、積層フィルム100(製品フィルム)間にはストリップ100’(中抜き部)が生じる。ストリップ100’は、スリット工程S2において、円形刃12A,21と円形刃14A,22との間、および、円形刃12B,21と円形刃14B,22との間に生じる。積層フィルム100およびストリップ100’は、巻取りローラー(図示略)に巻き取られる。巻取りローラーによるフィルムの巻き取り張力(フィルム幅方向の単位長さあたりの張力)は、例えば20~320N/mである。 By slitting the laminated film original fabric F in the slitting step S2, as shown in FIG. 7, a laminated film 100 as a product film having a predetermined width is obtained. Further, strips 100' (hollow portions) are formed between the laminated films 100 (product films). The strip 100' is formed between the circular blades 12A, 21 and 14A, 22 and between the circular blades 12B, 21 and 14B, 22 in the slitting step S2. Laminated film 100 and strip 100' are wound onto a take-up roller (not shown). The winding tension (tension per unit length in the width direction of the film) of the film by the winding roller is, for example, 20 to 320 N/m.

本工程での積層フィルム原反Fの走行速度は、製造効率の観点から、好ましくは7m/分以上、より好ましくは10m/分以上である。積層フィルム原反Fの走行速度は、切断加工物の外観品位の確保の観点から、好ましくは15m/分以下、より好ましくは12m/分以下である。 The traveling speed of the laminated film original fabric F in this step is preferably 7 m/min or more, more preferably 10 m/min or more from the viewpoint of production efficiency. The running speed of the laminated film original F is preferably 15 m/min or less, more preferably 12 m/min or less, from the viewpoint of ensuring the appearance quality of the cut product.

以上のようにして、積層フィルム100を製造できる。積層フィルム100は、仮支持フィルム110と、硬化樹脂層120と、無機物層130とを、厚さ方向Hにこの順で備える。仮支持フィルム110の第2面112に保護フィルム140が貼り合わされた積層フィルム原反F(図1C)が用いられる場合、製造される積層フィルム100は、保護フィルム140と、仮支持フィルム110と、硬化樹脂層120と、無機物層130とを、厚さ方向Hにこの順で備える。積層フィルム100は、厚さ方向Hに直交する方向(面方向)に広がる形状を有する。 The laminated film 100 can be manufactured as described above. The laminated film 100 includes a temporary support film 110, a cured resin layer 120, and an inorganic layer 130 in this order in the thickness direction H. When the laminated film original fabric F (FIG. 1C) in which the protective film 140 is bonded to the second surface 112 of the temporary support film 110 is used, the manufactured laminated film 100 includes the protective film 140, the temporary support film 110, A cured resin layer 120 and an inorganic layer 130 are provided in this order in the thickness direction H. The laminated film 100 has a shape that spreads in a direction (plane direction) perpendicular to the thickness direction H.

スリット工程S2では、上述のように、2枚の円形刃21,22(片刃)を有する2枚刃ユニット20によって積層フィルム原反F(仮支持フィルム110と硬化樹脂層120と無機物層130とを含む)をスリットする。そのため、本製造方法は、スリット後の積層フィルム100において、耳立ちを抑制しつつ、硬化樹脂層120および無機物層130の良好な切断端部を確保するのに適する。 In the slitting step S2, as described above, the laminated film original fabric F (temporary support film 110, cured resin layer 120, and inorganic layer 130) is cut by the two-blade unit 20 having two circular blades 21 and 22 (single-blade). slitting). Therefore, this manufacturing method is suitable for ensuring good cut edges of the cured resin layer 120 and the inorganic layer 130 while suppressing ridges in the laminated film 100 after slitting.

加えて、スリット工程S2では、上述のように、積層フィルム原反Fの無機物層130とは反対側がローラー部11(11A,11B,11C)に接する状態で、当該積層フィルム原反Fを、長さ方向に送って円形刃12,21間でスリットしつつ円形刃14,22間でスリットする。このようなスリット工程S2では、上述の従来のスリット工程よりも、2枚刃ユニット20における円形刃21,22の刃先21e,22e間の離隔距離dが5mm以上であって長いスリッター装置Xにより、積層フィルム原反Fをスリットする。このようなスリット工程S2は、ストリップ100’における硬化樹脂層120および無機物層130に対して面方向に作用する応力を軽減するのに適し、従って、両層の切断端部に欠けが発生するのを抑制するのに適する。切断端部における欠けの抑制によって切り屑は低減される。 In addition, in the slitting step S2, as described above, the laminated film raw fabric F is lengthened with the side opposite to the inorganic layer 130 in contact with the roller portion 11 (11A, 11B, 11C). It is fed in the horizontal direction and slit between the circular blades 12 and 21 while slitting between the circular blades 14 and 22. In such a slitting process S2, the slitter device X is longer than the conventional slitting process described above, with the separation distance d between the cutting edges 21e and 22e of the circular blades 21 and 22 in the two-blade unit 20 being 5 mm or more, The laminated film original fabric F is slit. Such slitting step S2 is suitable for reducing the stress acting in the planar direction on the cured resin layer 120 and the inorganic layer 130 in the strip 100', and therefore prevents chipping from occurring at the cut ends of both layers. suitable for suppressing Chips are reduced by suppressing chipping at the cut end.

以上のように、積層フィルムの製造方法は、仮支持フィルム110と硬化樹脂層120と無機物層130とをこの順で有する積層フィルム原反Fのスリットにおいて、切り屑を低減しつつ硬化樹脂層120および無機物層130の良好な切断端部を確保するのに適する。 As described above, in the method for manufacturing a laminated film, in the slit of the laminated film raw fabric F having the temporary support film 110, the cured resin layer 120, and the inorganic layer 130 in this order, the cured resin layer 120 is removed while reducing chips. And it is suitable for ensuring a good cut edge of the inorganic layer 130.

本発明について、以下に実施例を示して具体的に説明する。ただし、本発明は、実施例に限定されない。また、以下に記載されている配合量(含有量)、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上述の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合量(含有量)、物性値、パラメータなどの上限(「以下」または「未満」として定義されている数値)または下限(「以上」または「超える」として定義されている数値)に代替できる。 The present invention will be specifically described below with reference to Examples. However, the present invention is not limited to the examples. In addition, the specific numerical values such as the blending amount (content), physical property values, and parameters described below are the corresponding blending amounts (content) described in the above-mentioned "Detailed Description". content), physical property values, parameters, etc. can be replaced by an upper limit (a numerical value defined as "less than" or "less than") or a lower limit (a numerical value defined as "more than" or "more than").

〔実施例1〕
以下のように、積層フィルム原反の用意工程とスリット工程とを実施して、積層フィルムを製造した。
[Example 1]
A laminated film was manufactured by performing a laminated film original preparation process and a slitting process as described below.

〈積層フィルム原反の用意工程〉
まず、表面が剥離処理された長尺のポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(品名「パナピール TP-01」,厚さ50μm,パナック社製)を、仮支持フィルムとして用意した(第1ステップ)。
<Preparation process of laminated film base>
First, a long polyethylene terephthalate (PET) film (product name "Panapeel TP-01", thickness 50 μm, manufactured by Panac Corporation) whose surface had been subjected to a peeling treatment was prepared as a temporary support film (first step).

次に、仮支持フィルム上に硬化樹脂層を形成した(第2ステップ)。具体的には、まず、仮支持フィルムの一方面(第1面)上に、グラビアコーターによって硬化性樹脂組成物としての樹脂組成物を塗布して塗膜を形成した。樹脂組成物は、紫外線硬化性樹脂組成物(品名「TYZ72-A12」,東洋ケム社製)100質量部と、レベリング剤(品名「グランディックPC4100」,DIC社製)3質量部との、混合物である。次に、仮支持フィルム上の塗膜を、加熱により乾燥させた後、紫外線照射により硬化させた。加熱温度は80℃とし、加熱時間は60秒間とした。紫外線照射では、光源として高圧水銀ランプを使用し、波長365nmの紫外線を用い、積算照射光量を230mJ/cmとした。以上のようにして、仮支持フィルム上に厚さ1μmの硬化樹脂層を形成した。 Next, a cured resin layer was formed on the temporary support film (second step). Specifically, first, a resin composition as a curable resin composition was applied onto one surface (first surface) of the temporary support film using a gravure coater to form a coating film. The resin composition is a mixture of 100 parts by mass of an ultraviolet curable resin composition (product name "TYZ72-A12", manufactured by Toyo Chem Co., Ltd.) and 3 parts by mass of a leveling agent (product name "Grandic PC4100", manufactured by DIC Corporation). It is. Next, the coating film on the temporary support film was dried by heating and then cured by UV irradiation. The heating temperature was 80°C, and the heating time was 60 seconds. For ultraviolet irradiation, a high-pressure mercury lamp was used as a light source, ultraviolet rays with a wavelength of 365 nm were used, and the cumulative amount of irradiation light was 230 mJ/cm 2 . As described above, a cured resin layer with a thickness of 1 μm was formed on the temporary support film.

次に、硬化樹脂層上に、無機物層としてのCu層を形成した(第3ステップ)。具体的には、スパッタリング法により、硬化樹脂層付き仮支持フィルムの硬化樹脂層上に、厚さ200nmのCu層を形成した。スパッタリング法では、ロールトゥロール方式のスパッタ成膜装置(巻取式のDCマグネトロンスパッタリング装置)を使用した。スパッタ成膜装置は、ロールトゥロール方式で硬化樹脂層付き仮支持フィルムを走行させつつ成膜プロセスを実施できる成膜室を備える。スパッタ成膜の条件は、次のとおりである。 Next, a Cu layer as an inorganic layer was formed on the cured resin layer (third step). Specifically, a Cu layer with a thickness of 200 nm was formed on the cured resin layer of the temporary support film with a cured resin layer by a sputtering method. In the sputtering method, a roll-to-roll type sputtering film forming apparatus (winding type DC magnetron sputtering apparatus) was used. The sputter film-forming apparatus includes a film-forming chamber that can carry out a film-forming process while running a temporary support film with a cured resin layer in a roll-to-roll manner. The conditions for sputtering film formation are as follows.

スパッタ成膜装置の成膜室内を真空排気した後、成膜室内にスパッタリングガスとしてのArを導入し、成膜室内の気圧を0.4Paとした。アルゴンガスの流量は300sccmとした。ターゲットとしては、銅ターゲットを用いた。ターゲットに対する電圧印加のための電源としては、DC電源を用いた。放電電圧は250Vとした。 After the film forming chamber of the sputter film forming apparatus was evacuated, Ar as a sputtering gas was introduced into the film forming chamber, and the atmospheric pressure inside the film forming chamber was set to 0.4 Pa. The flow rate of argon gas was 300 sccm. A copper target was used as the target. A DC power source was used as a power source for applying voltage to the target. The discharge voltage was 250V.

次に、仮支持フィルムの他方面(第2面)に、ロールトゥロール方式の貼合せ機によって、保護フィルムを貼り合わせた(第4ステップ)。保護フィルムは、基材フィルム(品名「ダイアホイルT100C38」,厚さ38μm,三菱ケミカル社製)とアクリル粘着剤層(厚さ23μm)とを備える。アクリル粘着剤層は、基材フィルムの片面上に形成されている。本工程では、保護フィルムのアクリル粘着剤層側を、仮支持フィルムの第2面面に貼り合わせた。これにより、長尺の積層フィルム原反を得た。積層フィルム原反は、保護フィルムと、仮支持フィルムと、硬化樹脂層と、無機物層としてのCu層とを、厚さ方向にこの順で備える。 Next, a protective film was bonded to the other surface (second surface) of the temporary support film using a roll-to-roll bonding machine (fourth step). The protective film includes a base film (product name "Diafoil T100C38", thickness 38 μm, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and an acrylic adhesive layer (thickness 23 μm). The acrylic adhesive layer is formed on one side of the base film. In this step, the acrylic adhesive layer side of the protective film was bonded to the second surface of the temporary support film. As a result, a long laminated film original fabric was obtained. The laminated film original fabric includes a protective film, a temporary support film, a cured resin layer, and a Cu layer as an inorganic layer in this order in the thickness direction.

〈積層フィルム原反のスリット工程〉
上述の積層フィルム原反を、スリッター装置によってスリットした。スリッター装置としては、図4に示すスリッター装置X(支持ローラー10と2枚刃ユニット20とを備える)を用いた。スリッター装置Xにおける2枚刃ユニット20の円形刃21,22の各刃物角(刃裏面と先端傾斜面とが形成する鋭角の角度)は60°とした。円形刃21の刃先21eと円形刃22の刃先22eとの間の第1方向D1における離隔距離dは、10mmとした。本工程では、長尺でロール状の積層フィルム原反を、予め、繰出しローラーに取り付けた。そして、積層フィルム原反のロールから、スリッター装置Xにおける支持ローラー10と2枚刃ユニット20との間に向けて、積層フィルム原反を繰り出した。積層フィルム原反の繰り出し張力は、80N/mとした。スリッター装置Xでは、積層フィルム原反のCu層とは反対側が支持ローラー10のローラー部11およびスペーサー13に接する状態で、支持ローラー10を回転駆動して積層フィルム原反を長さ方向に送った。積層フィルム原反の走行速度は、15m/分とした。これにより、当該積層フィルム原反を、支持ローラー10および2枚刃ユニット20における円形刃12,21間でスリットしつつ、円形刃14,22間でスリットした。これにより、実施例1の積層フィルムを製造した。積層フィルムは、巻取りローラーによって巻き取った。巻取りローラーによるフィルムの巻き取り張力は、160N/mとした。
<Slitting process of laminated film base>
The above laminated film original was slit using a slitter device. As the slitter device, a slitter device X (equipped with a support roller 10 and a two-blade unit 20) shown in FIG. 4 was used. Each blade angle (acute angle formed by the blade back surface and the tip inclined surface) of the circular blades 21 and 22 of the two-blade unit 20 in the slitter device X was 60°. The separation distance d in the first direction D1 between the cutting edge 21e of the circular blade 21 and the cutting edge 22e of the circular blade 22 was 10 mm. In this step, a long roll-shaped laminated film original was attached to a feeding roller in advance. Then, the laminated film raw fabric was fed out from the roll of the laminated film raw fabric toward between the support roller 10 and the two-blade unit 20 in the slitter device X. The unwinding tension of the laminated film material was 80 N/m. In the slitter device X, the support roller 10 was driven to rotate with the side opposite to the Cu layer of the laminated film original in contact with the roller portion 11 and the spacer 13 of the support roller 10 to send the laminated film original in the length direction. . The running speed of the original laminated film was 15 m/min. Thereby, the laminated film original fabric was slit between the circular blades 12 and 21 of the support roller 10 and the two-blade unit 20, and between the circular blades 14 and 22. In this way, the laminated film of Example 1 was manufactured. The laminated film was wound up using a winding roller. The winding tension of the film by the winding roller was 160 N/m.

〔比較例1〕
次のこと以外は実施例1と同様にして用意工程とスリット工程とを実施し、比較例1の積層フィルムを製造した。スリット工程において、2枚刃ユニットの2枚の円形刃の刃先間距離が4mmであること以外は、実施例1で用いたスリッター装置Xと同じスリッター装置を用いた。
[Comparative example 1]
A preparation step and a slitting step were carried out in the same manner as in Example 1 except for the following, and a laminated film of Comparative Example 1 was manufactured. In the slitting process, the same slitter device as the slitter device X used in Example 1 was used, except that the distance between the cutting edges of the two circular blades of the two-blade unit was 4 mm.

〈切断端部の観察〉
実施例1および比較例1の各スリット工程において生じたストリップ(中抜き部)の切断端部を観察した。具体的には、レーザー顕微鏡(品名「VK-X1000」,キーエンス製)により、そのカメラモードで、ストリップの切断端部を同ストリップの無機物層(Cu層)側から観察した。観察画像を図12(実施例1)および図13(比較例1)に示す。図12の観察画像は、図6に示されるストリップ100’(中抜き部)においては、スリット工程後に図中上方から観察して得られる画像である。図12において、無機物層の平面視像(明るい部分)は観察画像の右側に位置する。図13の観察画像は、図11に示されるストリップ200b(中抜き部)においては、スリット工程後に図中上方から観察して得られる画像である。図13において、無機物層の平面視像(明るい部分)は観察画像の右側に位置する。
<Observation of cut end>
The cut ends of the strips (hollow portions) produced in each slitting process of Example 1 and Comparative Example 1 were observed. Specifically, the cut end of the strip was observed from the inorganic layer (Cu layer) side of the strip in camera mode using a laser microscope (product name "VK-X1000", manufactured by Keyence). Observed images are shown in FIG. 12 (Example 1) and FIG. 13 (Comparative Example 1). The observed image in FIG. 12 is an image obtained by observing the strip 100' (hollowed portion) shown in FIG. 6 from above in the figure after the slitting process. In FIG. 12, the plan view image (bright part) of the inorganic layer is located on the right side of the observed image. The observed image in FIG. 13 is an image obtained by observing the strip 200b (hollow portion) shown in FIG. 11 from above in the figure after the slitting process. In FIG. 13, the plan view image (bright part) of the inorganic layer is located on the right side of the observed image.

図12の観察画像に示されているように、実施例1におけるストリップの切断端部においては、硬化樹脂層および無機物層(Cu層)において欠けが発生していない。そのため、実施例1におけるスリット工程では、切り屑の発生が抑制された。一方、図13の観察画像に示されているように、比較例1におけるストリップの切断端部においては、硬化樹脂層および無機物層(Cu層)において欠けが発生している。そのため、比較例1におけるスリット工程では、多量の切り屑が発生した。 As shown in the observation image of FIG. 12, at the cut end of the strip in Example 1, no chipping occurred in the cured resin layer and the inorganic layer (Cu layer). Therefore, in the slitting process in Example 1, generation of chips was suppressed. On the other hand, as shown in the observation image of FIG. 13, at the cut end of the strip in Comparative Example 1, chipping occurred in the cured resin layer and the inorganic layer (Cu layer). Therefore, in the slitting process in Comparative Example 1, a large amount of chips were generated.

〈硬化樹脂層の硬さ〉
実施例1および比較例1の積層フィルムにおける硬化樹脂層の表面(Cu側の表面)について、ナノインデンテーション法による荷重-変位測定を行った。具体的には、まず、積層フィルムの作製過程で得られる硬化樹脂層付き仮支持フィルムから、測定試料(10mm×10mm)を切り出した。次に、ナノインデンター(商品名「Triboindenter」,Hysitron社製)を使用して、測定試料における硬化樹脂層表面の荷重-変位測定をISO14577に準拠して行い、荷重-変位曲線を得た。本測定では、測定モードは単一押込み測定とし、測定温度は25℃とし、使用圧子はBerkovich(三角錐)型のダイヤモンド圧子とし、荷重印加過程での測定試料に対する圧子の最大押込み深さ(最大変位H1)は20nmとし、その圧子の押込み速度は2nm/秒とし、除荷過程での測定試料からの圧子の引抜き速度は2nm/秒とした。得られた荷重-変位曲線に基づき、最大荷重Pmax(最大変位H1にて圧子に作用する荷重)、接触投影面積Ap(最大荷重時における圧子と試料との間の接触領域の投影面積)、接触剛性S(除荷過程開始時における荷重-変位曲線(除荷曲線)の接線の傾き)、および、除荷過程後の試料表面における塑性変形量H2(試料表面から圧子を離した後に当該試料表面に維持される凹部の深さ)を得た。そして、最大荷重Pmaxと接触投影面積Apから、硬化樹脂層表面の硬さ(=Pmax/Ap)を算出した。その硬さは、0.77GPaであった。
<Hardness of cured resin layer>
Load-displacement measurements were performed on the surfaces of the cured resin layers (Cu side surfaces) in the laminated films of Example 1 and Comparative Example 1 using the nanoindentation method. Specifically, first, a measurement sample (10 mm x 10 mm) was cut out from a temporary support film with a cured resin layer obtained in the process of producing a laminated film. Next, using a nanoindenter (trade name "Triboindenter", manufactured by Hysitron), load-displacement measurements on the surface of the cured resin layer in the measurement sample were performed in accordance with ISO 14577, and a load-displacement curve was obtained. In this measurement, the measurement mode was single indentation measurement, the measurement temperature was 25℃, the indenter used was a Berkovich (triangular pyramid) type diamond indenter, and the maximum indentation depth of the indenter into the measurement sample during the load application process (maximum The displacement H1) was 20 nm, the indentation speed of the indenter was 2 nm/sec, and the withdrawal speed of the indenter from the measurement sample during the unloading process was 2 nm/sec. Based on the obtained load-displacement curve, maximum load Pmax (load acting on the indenter at maximum displacement H1), projected contact area Ap (projected area of contact area between indenter and sample at maximum load), contact Stiffness S (the slope of the tangent to the load-displacement curve (unloading curve) at the start of the unloading process), and the amount of plastic deformation H2 on the sample surface after the unloading process (the slope of the sample surface after the indenter is released from the sample surface) The depth of the recess maintained at Then, the hardness (=Pmax/Ap) of the surface of the cured resin layer was calculated from the maximum load Pmax and the projected contact area Ap. Its hardness was 0.77 GPa.

〈仮支持フィルム表面の表面自由エネルギー〉
実施例1および比較例1の積層フィルムにおける仮支持フィルムの表面(硬化樹脂層側の表面)の表面自由エネルギーを、次のようにして求めた。
<Surface free energy of temporary support film surface>
The surface free energy of the surface of the temporary support film (the surface on the cured resin layer side) in the laminated films of Example 1 and Comparative Example 1 was determined as follows.

まず、23℃および相対湿度55%の条件下、水平に載置された仮支持フィルムの表面自由エネルギー同定対象面に接する水(HO)、ヨウ化メチレン(CH)および1-ブロモナフタレンの各液滴(約1μL)について、接触角計を使用して接触角を測定した。この測定には、接触角計(品名「CA-X型 接触角計」,共和界面科学社製)を使用した。次に、測定された水の接触角θw、ヨウ化メチレンの接触角θi、および1-ブロモナフタレンの接触角θbの値を用い、日本接着協会誌のVol.8, No.3, p.131-141(1972)に記載の方法(北崎-畑の理論)に従って3元連立方程式を解くことにより、γ=γ+γ+γの式におけるγ,γ,γを求めた。式中のγは、表面自由エネルギーの分散成分であり、γは、表面自由エネルギーの極性成分であり、γは、表面自由エネルギーの水素結合成分である。そして、γ,γ,γを和して得られる値(γ)を、表面自由エネルギー同定対象面の表面自由エネルギーとして求めた。その表面自由エネルギーは、29.6mN/mであった。 First, under conditions of 23° C. and 55% relative humidity, water (H 2 O), methylene iodide (CH 2 I 2 ) and 1- The contact angle was measured for each droplet (approximately 1 μL) of bromonaphthalene using a contact angle meter. For this measurement, a contact angle meter (product name: "CA-X type contact angle meter", manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) was used. Next, using the measured values of the contact angle θw of water, the contact angle θi of methylene iodide, and the contact angle θb of 1-bromonaphthalene, γ d , γ p , and γ h in the equation γ = γ d + γ p + γ h were determined by solving three-dimensional simultaneous equations according to the method described in J.D.-141 (1972) (Kitazaki-Hata theory). γ d in the formula is the dispersive component of the surface free energy, γ p is the polar component of the surface free energy, and γ h is the hydrogen bond component of the surface free energy. Then, the value (γ) obtained by summing γ d , γ p , and γ h was determined as the surface free energy of the surface to be identified. Its surface free energy was 29.6 mN/m.

〈剥離性〉
実施例1および比較例1の積層フィルムについて、次のようにして仮支持フィルムと硬化樹脂層との間の剥離強度を調べた。具体的には、
<Releasability>
Regarding the laminated films of Example 1 and Comparative Example 1, the peel strength between the temporary support film and the cured resin layer was examined in the following manner. in particular,

まず、剥離試験用のサンプルフィルムを作成した。具体的には、まず、上述の第1~第3ステップを実施して、仮支持フィルムと、硬化樹脂層と、無機物層(Cu層)とを厚み方向にこの順で備える積層フィルムを作成した。次に、当該積層フィルムから、サンプルフィルム(24mm×100mm)を切り出した。 First, a sample film for a peel test was created. Specifically, first, the first to third steps described above were carried out to create a laminated film comprising a temporary support film, a cured resin layer, and an inorganic layer (Cu layer) in this order in the thickness direction. . Next, a sample film (24 mm x 100 mm) was cut out from the laminated film.

次に、サンプルフィルムの無機物層側に、強粘着剤を介してガラス板を貼り合わせた。貼り合わせでは、2kgのローラーを1往復させる作業により、ガラス板にサンプルフィルムを圧着させた(後記の貼り合わせにおいても同様である)。次に、ガラス板上のサンプルフィルムの仮支持フィルム側に、24mm×150mmの粘着テープを、サンプルフィルムに対して位置合わせして貼り合せた。この貼り合わせ後の粘着テープ(24mm×150mm)は、未貼り合わせ部分(24mm×50mm)を有する。そして、ガラス板上の硬化樹脂層から仮支持フィルムを剥離する試験を実施して、仮支持フィルムと硬化樹脂層との間の剥離強度を測定した。本測定には、引張試験機(品名「剥離解析装置VPA-2」,協和界面化学社製)を使用した。本測定では、剥離角度を90°とし、引張速度を100mm/分とし、剥離長さ(界面開裂が生じた長さ)20mm~80mm間の剥離に要した剥離力を、剥離強度として測定した。その結果、剥離強度は0.05N/24mmであった。 Next, a glass plate was bonded to the inorganic layer side of the sample film via a strong adhesive. In the bonding process, the sample film was pressure-bonded to the glass plate by moving a 2 kg roller back and forth once (the same applies to the bonding process described later). Next, a 24 mm x 150 mm adhesive tape was attached to the temporary support film side of the sample film on the glass plate in alignment with the sample film. The adhesive tape (24 mm x 150 mm) after this bonding has an unbonded portion (24 mm x 50 mm). Then, a test was conducted in which the temporary support film was peeled from the cured resin layer on the glass plate, and the peel strength between the temporary support film and the cured resin layer was measured. For this measurement, a tensile tester (product name: "Peeling Analyzer VPA-2", manufactured by Kyowa Kaimen Kagaku Co., Ltd.) was used. In this measurement, the peel angle was 90°, the tensile speed was 100 mm/min, and the peel force required for peeling between 20 mm and 80 mm at a peel length (length at which interfacial cleavage occurred) was measured as peel strength. As a result, the peel strength was 0.05N/24mm.

F フィルム原反
110 仮支持フィルム
120 硬化樹脂層
130 無機物層
H 厚さ方向
X,Z スリッター装置
D1 第1方向
D2 第2方向
10 支持ローラー(刃付支持ローラー)
11,11A,11B ローラー部
12 円形刃(第1円形刃)
12a,14a 刃裏面
13 スペーサー
14 円形刃(第2円形刃)
G1,G2 空隙
A1 第1回転軸心
20,20A,20B 2枚刃ユニット
21 円形刃(第3円形刃)
21a,22a 刃裏面
22 円形刃(第4円形刃)
A2 第2回転軸心
F Original film 110 Temporary support film 120 Cured resin layer 130 Inorganic layer H Thickness direction X, Z Slitter device D1 First direction D2 Second direction 10 Support roller (support roller with blades)
11, 11A, 11B Roller part 12 Circular blade (first circular blade)
12a, 14a Back side of blade 13 Spacer 14 Circular blade (second circular blade)
G1, G2 Gap A1 First rotation axis 20, 20A, 20B 2-blade unit 21 Circular blade (third circular blade)
21a, 22a Back side of blade 22 Circular blade (4th circular blade)
A2 Second rotation axis center

Claims (6)

長尺の積層フィルム原反を用意する用意工程と、
スリッター装置によって前記積層フィルム原反を長手方向にスリットして積層フィルムを得るスリット工程とを含む、積層フィルムの製造方法であって、
前記スリッター装置が、刃付支持ローラーと、2枚刃ユニットとを備え、
前記刃付支持ローラーが、第1ローラー部と、第1円形刃と、スペーサーと、第2円形刃と、第2ローラー部とを第1方向にこの順で備え、前記第1方向に延びる第1回転軸心まわりに回転可能であり、
前記第1円形刃が、前記スペーサーに第1の空隙を介して対向する刃裏面を有する片刃であり、
前記第2円形刃が、前記スペーサーに第2の空隙を介して対向する刃裏面を有する片刃であり、
前記2枚刃ユニットが、前記第1円形刃と協働してフィルムをスリットする第3円形刃と、前記第2円形刃と協働してフィルムをスリットする第4円形刃とを備え、前記第1方向に延びる第2回転軸心まわりに回転可能であり、
前記第3円形刃が、前記第1の空隙に入る刃先を有する片刃であって、前記第1方向における前記第1円形刃側を向く刃裏面を有する片刃であり、
前記第4円形刃が、前記第2の空隙に入る刃先を有する片刃であって、前記第1方向における前記第2円形刃側を向く刃裏面を有する片刃であり、
前記第1方向における前記第3円形刃の刃先と前記第4円形刃の刃先との間の離隔距離が5mm以上20mm以下であり、
前記積層フィルム原反は、仮支持フィルムと、当該仮支持フィルムに対して剥離可能に接している硬化樹脂層と、無機物層とを厚さ方向にこの順で備え、
前記スリット工程では、前記積層フィルム原反の前記無機物層とは反対側が前記第1ローラー部および前記第2ローラー部に接する状態で前記刃付支持ローラーを回転駆動して、前記積層フィルム原反を前記長手方向に送ることにより、当該積層フィルム原反を、前記第1および第3円形刃間でスリットしつつ、前記第2および第4円形刃間でスリットする、積層フィルムの製造方法。
A preparation process of preparing a long laminated film original fabric,
A slitting step of obtaining a laminated film by slitting the raw laminated film in the longitudinal direction using a slitter device, the method for producing a laminated film,
The slitter device includes a bladed support roller and a two-blade unit,
The bladed support roller includes a first roller section, a first circular blade, a spacer, a second circular blade, and a second roller section in this order in a first direction, and a first roller section extending in the first direction. It can rotate around the axis of one rotation,
The first circular blade is a single blade having a back surface facing the spacer through a first gap,
The second circular blade is a single blade having a back surface facing the spacer through a second gap,
The two-blade unit includes a third circular blade that slits the film in cooperation with the first circular blade, and a fourth circular blade that slits the film in cooperation with the second circular blade, and rotatable around a second rotation axis extending in the first direction;
The third circular blade is a single-edged blade having a cutting edge that enters the first cavity, and is a single-edged blade having a blade back surface facing the first circular blade side in the first direction,
The fourth circular blade is a single-edged blade having a cutting edge that enters the second cavity, and is a single-edged blade having a blade back surface facing the second circular blade side in the first direction,
A separation distance between the cutting edge of the third circular blade and the cutting edge of the fourth circular blade in the first direction is 5 mm or more and 20 mm or less,
The laminated film original fabric includes a temporary support film, a cured resin layer that is in peelable contact with the temporary support film, and an inorganic layer in this order in the thickness direction,
In the slitting step, the bladed support roller is rotationally driven in a state where the side of the laminated film original fabric opposite to the inorganic layer is in contact with the first roller part and the second roller part, and the laminated film original fabric is slit. A method for producing a laminated film, wherein the raw laminated film is slit between the first and third circular blades while being slit between the second and fourth circular blades by feeding the raw laminated film in the longitudinal direction.
前記硬化樹脂層が1μm以上3μm以下の厚さを有する、請求項1に記載の積層フィルムの製造方法。 The method for producing a laminated film according to claim 1, wherein the cured resin layer has a thickness of 1 μm or more and 3 μm or less. 前記仮支持フィルムにおける前記硬化樹脂層側の表面が20mN/m以上40mN/m以下の表面自由エネルギーを有する、請求項1に記載の積層フィルムの製造方法。 The method for producing a laminated film according to claim 1, wherein the surface of the temporary support film on the cured resin layer side has a surface free energy of 20 mN/m or more and 40 mN/m or less. 前記仮支持フィルムと前記硬化樹脂層との間の剥離強度が1N/24mm以下である、請求項1に記載の積層フィルムの製造方法。 The method for producing a laminated film according to claim 1, wherein the peel strength between the temporary support film and the cured resin layer is 1 N/24 mm or less. 前記硬化樹脂層における前記無機物層側の表面の、ナノインデンテーション法により測定される25℃での硬さが、0.3GPa以上である、請求項1に記載の積層フィルムの製造方法。 The method for producing a laminated film according to claim 1, wherein the hardness of the surface of the cured resin layer on the inorganic layer side at 25° C. measured by a nanoindentation method is 0.3 GPa or more. 前記第1ローラー部の外周面と、前記第1円形刃の外周面とは面一であり、前記第2ローラー部の外周面と、前記第2円形刃の外周面とは面一である、請求項1から5のいずれか一つに記載の積層フィルムの製造方法。 The outer peripheral surface of the first roller part and the outer peripheral surface of the first circular blade are flush with each other, and the outer peripheral surface of the second roller part and the outer peripheral surface of the second circular blade are flush with each other. A method for producing a laminated film according to any one of claims 1 to 5.
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