JP2024024197A - 目詰まり判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】チャックテーブルのポーラス板の外周部における目詰まりの状態の判定に特化した目詰まり判定方法を提供する。【解決手段】流路を介して吸引源と連通するポーラス板の外周部よりも内側の部分が覆われ、かつ、ポーラス板の外周部が露出するように遮蔽部材をポーラス板に配置した状態で吸引源を動作させながら流路における圧力の値を測定する。すなわち、ポーラス板の外周部よりも内側の部分からのリークを防止した状態で吸引源を動作させながら流路における圧力の値を測定する。ここで、ポーラス板の外周部が目詰まりしている場合には、この外周部を介したリークが生じにくくなるため、測定される圧力の値が小さくなる。そのため、測定された圧力の値が予め設定された閾値を下回っている場合には、ポーラス板の外周部が目詰まりしていると判定することができる。【選択図】図７

Description

本発明は、底壁と底壁の外周部から立設する側壁とを有し、吸引源に連通可能な流路が底壁に形成されている枠体と、底壁と側壁とによって画定される凹部において固定されているポーラス板と、を備えるチャックテーブルのポーラス板の外周部における目詰まりの状態を判定する目詰まり判定方法に関する。

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、以下の順序で製造される。

まず、フォトリソグラフィ等を実施してウェーハ等の被加工物の表面にそれぞれが多数の素子を含む複数のデバイスを形成する。次いで、被加工物の裏面側を研削して被加工物を薄化する。次いで、複数のデバイスの境界に沿って被加工物を切削して被加工物を複数のチップへと分割する。

被加工物を研削する研削装置又は被加工物を切削する切削装置等の加工装置においては、チャックテーブルによって被加工物が保持された状態で被加工物が加工される。このチャックテーブルは、一般的に、凹部が形成されている枠体と、この凹部において固定されているポーラス板とを備える。

また、枠体にはポーラス板と連通する流路が形成されており、この流路は、エジェクタ等の吸引源と連通可能である。そして、加工装置においては、被加工物がポーラス板に載せられた状態で吸引源を動作させることによって、被加工物がチャックテーブルに吸引されて保持される。

また、加工装置において被加工物が加工されると、加工具と被加工物との摩擦に起因して被加工物が加熱されるとともに除去された被加工物の屑（加工屑）が発生する。そして、被加工物の加熱及び／又は加工屑の被加工物への付着が起こると、被加工物が破損し、かつ／又は、被加工物から製造されるチップの品質が悪化するおそれがある。

そのため、加工装置においては、被加工物を冷却するとともに加工屑を洗い流すために、加工具と被加工物との接触界面（加工点）に純水等の液体（加工液）が供給された状態で被加工物が加工されることが多い。

ここで、この加工は、チャックテーブルによって被加工物が吸引された状態で行われる。そのため、加工液によって運ばれた加工屑等の異物が被加工物とポーラス板との隙間に侵入してポーラス板を詰まらせることがある。そして、異物がポーラス板に詰まると、被加工物に作用する吸引力が弱くなるおそれがある。

そこで、このような加工装置においては、ポーラス板における目詰まりの状態が判定され（例えば、特許文献１参照）、ポーラス板に異物が詰まっていると判定された場合に異物を除去するための処理が行われることがある（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１８－１１４５６３号公報 特開２０１５－３６１７３号公報

上述したポーラス板における目詰まりの状態の判定は、ポーラス板からエア及び水が噴出された状態でポーラス板の表面を撮像することによって形成される画像を利用して行われている。すなわち、この判定は、ポーラス板の全域を対象として行われている。

ただし、被加工物とチャックテーブルとの隙間に侵入した異物は、ポーラス板の中央部に到達することなく、その外周部を詰まらせることが多い。そして、ポーラス板の中央部に異物が詰まっていなくとも、その外周部が詰まっている場合には、チャックテーブルによって被加工物を保持することが困難になるおそれがある。

この点に鑑み、本発明の目的は、チャックテーブルのポーラス板の外周部における目詰まりの状態の判定に特化した目詰まり判定方法を提供することである。

本発明によれば、底壁と該底壁の外周部から立設する側壁とを有し、吸引源に連通可能な流路が該底壁に形成されている枠体と、該底壁と該側壁とによって画定される凹部において固定されているポーラス板と、を備えるチャックテーブルの該ポーラス板の外周部における目詰まりの状態を判定する目詰まり判定方法であって、該ポーラス板の該外周部よりも内側の部分が覆われ、かつ、該ポーラス板の該外周部が露出するように遮蔽部材を該ポーラス板に配置する配置ステップと、該配置ステップの後に、該流路と該吸引源とを連通させた状態で該吸引源を動作させながら該流路における圧力の値を測定する測定ステップと、該測定ステップにおいて測定された該圧力の値が予め設定された閾値を下回っている場合に該ポーラス板の該外周部が目詰まりしていると判定する判定ステップと、を備える目詰まり判定方法が提供される。

本発明においては、流路を介して吸引源と連通するポーラス板の外周部よりも内側の部分が覆われ、かつ、ポーラス板の外周部が露出するように遮蔽部材をポーラス板に配置した状態で吸引源を動作させながら流路における圧力の値を測定する。すなわち、本発明においては、ポーラス板の外周部よりも内側の部分からのリークを防止した状態で吸引源を動作させながら流路における圧力の値を測定する。

ここで、ポーラス板の外周部が目詰まりしている場合には、この外周部を介したリークが生じにくくなるため、測定される圧力の値が小さくなる。そのため、測定された圧力の値が予め設定された閾値を下回っている場合には、ポーラス板の外周部が目詰まりしていると判定することができる。

図１は、研削装置の一例を模式的に示す斜視図である。 図２は、被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。 図３は、チャックテーブル及びチャックテーブルと連通可能な構成要素を模式的に示す図である。 図４は、スピンドルの先端部等を模式的に示す一部断面側面図である。 図５は、被加工物の上面側の粗研削又は仕上げ研削が行われる様子を模式的に示す図である。 図６は、搬送ユニットを模式的に示す一部断面側面図である。 図７は、目詰まり判定方法を含む研削装置の駆動方法の一例を模式的に示すフローチャートである。 図８は、配置ステップの様子を模式的に示す図である。 図９は、測定ステップの様子を模式的に示す図 図１０は、噴出ステップの様子を模式的に示す図である。 図１１は、目詰まり判定方法を含む研削装置の駆動方法の別の例を模式的に示すフローチャートである。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、研削装置の一例を模式的に示す斜視図である。なお、図１においては、研削装置の一部の構成要素が機能ブロックで示されている。また、図１に示されるＸ軸方向（左右方向）及びＹ軸方向（前後方向）は、水平面上において互いに直交する方向であり、また、Ｚ軸方向（上下方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（鉛直方向）である。

図１に示される研削装置２は、各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。この基台４の前端部の上面には、一対のカセット載置領域６ａ，６ｂが設けられている。そして、各カセット載置領域６ａ，６ｂの上には、それぞれがＺ軸方向において互いに離隔した状態で複数の被加工物を収容可能なカセット８ａ，８ｂが載置される。

すなわち、各カセット８ａ，８ｂには、それぞれにおいて被加工物を収容可能な複数段の収容領域が設けられている。図２は、カセット８ａ，８ｂに収容される被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。図２に示される被加工物１１は、例えば、円状の表面１１ａ及び裏面１１ｂを有し、シリコン（Ｓｉ）等の半導体材料からなるウェーハである。

この被加工物１１は格子状に設定される複数の分割予定ライン１３によって複数の領域に区画されており、各領域の表面１１ａ側にはＩＣ等のデバイス１５が形成されている。また、被加工物１１は、このデバイス１５を覆うように設けられたフィルム状のテープを含んでもよい。このテープは、デバイス１５が形成されているウェーハの直径と概ね等しい直径を有し、例えば、樹脂からなる。

そして、このテープは、被加工物１１の裏面１１ｂ側を研削する際に表面１１ａ側に加わる衝撃を緩和してデバイス１５を保護する。なお、被加工物１１の材質、形状、構造及び大きさ等に制限はない。例えば、被加工物１１は、他の半導体材料、セラミックス、樹脂又は金属を含んでもよい。

また、図１に示されるように、カセット載置領域６ａ，６ｂの後方には窪み４ａが形成されており、この窪み４ａの内側には搬送ユニット１０が設けられている。この搬送ユニット１０は、研削前の被加工物１１をカセット８ａ，８ｂの複数の収容領域のいずれか（元の収容領域）から搬出し、また、研削後の被加工物１１を、例えば、元の収容領域に搬入する際に利用される。

具体的には、搬送ユニット１０は、例えば、複数の関節とロボットハンドとを有し、このロボットハンドの一面において被加工物１１を保持する。さらに、搬送ユニット１０は、被加工物１１を保持するロボットハンドを反転させること、すなわち、被加工物１１の上下を反転させることもできる。

また、窪み４ａの斜め後方には、被加工物１１の位置を調整するための位置調整機構１２が設けられている。この位置調整機構１２は、円盤状の位置調整用テーブルと、位置調整用テーブルの周囲に配置された複数のピンとを含む。そして、搬送ユニット１０によってカセット８ａ，８ｂから搬出された被加工物１１は、この位置調整用テーブルに搬入されて、その中心が所定の位置に合わせられる。

具体的には、被加工物１１は、その裏面１１ｂが上を向くように位置調整用テーブルに搬入される。そして、位置調整用テーブルの径方向に沿って複数のピンが位置調整用テーブルに接近する。これにより、複数のピンが被加工物１１の側面に接触して被加工物１１を僅かに移動させる。その結果、被加工物１１の中心が所定の位置に合わせられる。

また、位置調整機構１２の側方には、被加工物１１を保持して後方に搬送する搬送ユニット１４が設けられている。この搬送ユニット１４は、例えば、Ｚ軸方向に沿って延在する支持軸と、この支持軸の上端部に基端部が固定され、かつ、Ｚ軸方向と直交する方向に沿って延在するアームと、このアームの先端部の下側に固定されている吸引パッドとを有する。

さらに、搬送ユニット１４の支持軸は、モータに接続されている。そして、このモータを動作させると、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸として支持軸が回転する。また、搬送ユニット１４の支持軸は、例えば、ボールねじ式の移動機構（不図示）に連結されている。そして、この移動機構を動作させると、Ｚ軸方向に沿って支持軸が移動する、すなわち、支持軸が昇降する。

例えば、搬送ユニット１４は、以下の順序で被加工物１１を保持して後方に搬送する。まず、位置調整機構１２において中心が所定の位置に合わせられた被加工物１１の直上に吸引パッドが位置付けられるように支持軸を回転させる。次いで、この吸引パッドを被加工物１１の裏面（上面）１１に接触させるように支持軸を下降させる。

次いで、吸引パッドによって被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側を吸引して保持する。次いで、被加工物１１を保持する吸引パッドを上昇させるように支持軸を上昇させる。次いで、被加工物１１を保持する吸引パッドを旋回させるように支持軸を回転させる。これにより、被加工物１１が後方へと搬送される。

搬送ユニット１４の後方には、ターンテーブル１６が設けられている。このターンテーブル１６は、モータに接続されている。そして、このモータを動作させると、ターンテーブル１６の上面の中心を通り、かつ、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸としてターンテーブル１６が回転する。

また、ターンテーブル１６には、ターンテーブル１６の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で３個の円盤状のテーブルベース（不図示）が設けられている。さらに、各テーブルベースの上部には、ベアリング等を介してチャックテーブル１８が装着されている。このチャックテーブル１８は、例えば、直径が８インチのウェーハ（例えば、被加工物１１）を保持することが可能なテーブルである。

図３は、チャックテーブル１８及びチャックテーブル１８と連通可能な構成要素を模式的に示す図である。このチャックテーブル１８は、例えば、セラミックス等からなる円盤状の枠体２０を有する。

この枠体２０は、円盤状の底壁２０ａと、この底壁２０ａの外周部から立設する円筒状の側壁２０ｂとを有する。すなわち、枠体２０の上面側には、底壁２０ａ及び側壁２０ｂによって画定される円盤状の凹部が形成されている。そして、この凹部には、多孔質セラミックス等からなる円盤状のポーラス板２２が固定されている。

なお、枠体２０の外径は被加工物１１の直径よりも僅かに大きく、その内径（ポーラス板２２の直径）は被加工物１１の直径よりも僅かに小さい。また、枠体２０の側壁２０ｂの上面及びポーラス板２２の上面は、円錐の側面に相当する形状に構成されており、被加工物１１を保持するための保持面として機能する。

また、底壁２０ａには、凹部の底面において開口し、かつ、底壁２０ａを貫通する流路２０ｃが形成されている。そして、この流路２０ｃは、バルブ２４ａを介して吸引源２６ａに接続され、かつ、バルブ２４ｂを介してエア供給源２６ｂに接続されている。また、流路２０ｃには、流路２０ｃにおける圧力の値を測定する圧力計２８が設けられている。

なお、吸引源２６ａは、例えば、エジェクタ等を含む。また、エア供給源２６ｂは、例えば、高圧エアを貯蔵するためのタンクと、タンクから供給される気体に混入した異物を取り除くためのフィルタと、タンクから供給される気体の圧力を調整するためのレギュレータとを含む。

さらに、チャックテーブル１８は、回転機構（不図示）に接続されている。この回転機構は、例えば、モータ及びプーリ等を含む。そして、この回転機構が動作すると、チャックテーブル１８の保持面の中心を通る直線を回転軸としてチャックテーブル１８が回転する。

また、チャックテーブル１８は、テーブルベースを介して傾き調整機構（不図示）に接続されている。この傾き調整機構は、チャックテーブル１８の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で配置されている２つの可動軸及び１つの固定軸を含む。そして、２つの可動軸の少なくとも一方がテーブルベース及びチャックテーブル１８を部分的に昇降させると、チャックテーブル１８の回転軸の傾きが調整される。

なお、テーブルベースにチャックテーブル１８が装着された状態でターンテーブル１６を回転させると、テーブルベースとともにチャックテーブル１８が移動する。具体的には、この場合には、ターンテーブル１６の周方向に沿ってテーブルベース及びチャックテーブル１８が移動する。

これにより、テーブルベース及びチャックテーブル１８を、例えば、搬送ユニット１４に隣接する搬入搬出位置Ａと、搬入搬出位置の斜め後方の粗研削位置Ｂと、粗研削位置の側方の仕上げ研削位置Ｃとに順番に位置付けることができる（図１参照）。

そして、搬入搬出位置Ａに位置付けられたチャックテーブル１８には、搬送ユニット１４によって後方へと搬送された被加工物１１が搬入される。例えば、被加工物１１のチャックテーブル１８への搬入は、以下の順序で行われる。

まず、搬送ユニット１４の吸引パッドによって裏面（上面）１１ｂ側が吸引されて保持された被加工物１１をチャックテーブル１８の保持面に接近させるように、搬送ユニット１４の支持軸に連結されている支持軸を下降させる。次いで、吸引パッドによる被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の吸引を停止する。これにより、被加工物１１が吸引パッドから分離してチャックテーブル１８に搬入される。

次いで、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側がチャックテーブル１８に吸引されて保持されるように、吸引源２６ａを動作させ、かつ、バルブ２４ａを開状態にする。次いで、この被加工物１１を保持するチャックテーブル１８を粗研削位置Ｂに位置付けるようにターンテーブル１６を回転させる。

粗研削位置Ｂ及び仕上げ研削位置Ｃのそれぞれの後方には、柱状の支持構造３０が設けられている。各支持構造３０の前面側には、移動機構３２が設けられている。この移動機構３２は、Ｚ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール３４を備える。さらに、一対のガイドレール３４には、移動プレート３６がスライド可能な態様で取り付けられている。

また、移動プレート３６の後面側にはボールねじのナット（不図示）が固定されており、このナットにはＺ軸方向に沿って延在するねじ軸３８が回転可能な態様で連結されている。また、このナットは、ねじ軸３８の回転に応じてねじ軸３８の表面を転がる多数のボールを収容する。

さらに、ねじ軸３８の一端部（上端部）には、モータ４０が接続されている。そして、モータ４０によってねじ軸３８を回転させると、多数のボールがナット内を循環してナットとともに移動プレート３６がＺ軸方向に沿って移動する。

また、移動プレート３６の前面（表面）には、研削ユニット４２が設けられている。この研削ユニット４２は、移動プレート３６に固定されるスピンドルハウジング４４を有する。さらに、スピンドルハウジング４４には、Ｚ軸方向又はＺ軸方向に対して僅かに傾いた方向に沿って延在するスピンドル（図１においては不図示）が回転可能な態様で収容されている。

図４は、このスピンドルの先端部（下端部）等を模式的に示す一部断面側面図である。このスピンドル４６の先端部はスピンドルハウジング４４の下端面から露出しており、この下端部には円盤状のマウント４８が固定されている。

そして、粗研削位置Ｂ側の研削ユニット４２のマウント４８の下面には、粗研削用の研削ホイール５０ａが装着されている。同様に、仕上げ研削位置Ｃ側の研削ユニット４２のマウント４８の下面には、仕上げ研削用の研削ホイール５０ｂが装着されている。

この研削ホイール５０ａ，５０ｂは、ステンレス鋼又はアルミニウム等の金属からなる環状のホイール基台５２を含む。また、ホイール基台５２の下面には、ホイール基台５２の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で複数の研削砥石５４が固定されている。

そして、複数の研削砥石５４のそれぞれは、ビトリファイド又はレジノイド等の結合剤と、この結合剤に分散されたダイヤモンド等の砥粒とを含む。なお、仕上げ研削用の研削ホイール５０ｂが備える研削砥石５４に含まれる砥粒の平均粒径は、粗研削用の研削ホイール５０ａが備える研削砥石５４に含まれる砥粒の平均粒径よりも小さい。

また、研削ホイール５０ａ，５０ｂの近傍には、研削液供給ユニット５６ａ，５６ｂが設けられている。この研削液供給ユニット５６ａ，５６ｂは、例えば、平面視において研削ホイール５０ａ，５０ｂの内側に位置するノズル５８ａ，５８ｂと、このノズル５８ａ，５８ｂに純水等の液体（研削液）を供給するポンプ（不図示）とを有する。

そして、このポンプが動作すると、粗研削位置Ｂ又は仕上げ研削位置Ｃに位置付けられたチャックテーブル１８において保持された被加工物１１の裏面（上面）１１ｂにノズル５８ａ，５８ｂから研削液が供給される。また、研削液供給ユニット５６ａ，５６ｂにおいては、ノズル５８ａ，５８ｂに換えて、又は、ノズル５８ａ，５８ｂに加えて、研削ホイール５０ａ，５０ｂに形成されている流路を介して研削液が供給されてもよい。

また、スピンドル４６の基端部（上端部）には、モータ６０が接続されている（図１参照）。そして、このモータ６０を動作させると、スピンドル４６とともにマウント４８及び研削ホイール５０ａ，５０ｂがＺ軸方向又はＺ軸方向に対して僅かに傾いた直線を回転軸として回転する。

また、被加工物１１を保持するチャックテーブル１８が粗研削位置Ｂ又は仕上げ研削位置Ｃに位置付けられると、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削又は仕上げ研削が行われる。

図５は、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削又は仕上げ研削が行われる様子を模式的に示す図である。被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削又は仕上げ研削を行う際には、まず、チャックテーブル１８及び研削ホイール５０ａ，５０ｂの双方を回転させるようにチャックテーブル１８に接続されている回転機構及びモータ６０を動作させる。

次いで、チャックテーブル１８及び研削ホイール５０ａ，５０ｂの双方を回転させたまま、被加工物１１に複数の研削砥石５４を接触させるように移動機構３２（具体的には、モータ４０）を動作させる。すなわち、チャックテーブル１８及び研削ホイール５０ａ，５０ｂの双方を回転させたまま、被加工物１１と複数の研削砥石５４とが接触するまで研削ホイール５０ａ，５０ｂを下降させる。

また、被加工物１１と複数の研削砥石５４とが接触する直前に、被加工物１１に研削液Ｌが供給されるように研削液供給ユニット５６ａ，５６ｂを動作させる。これにより、被加工物１１と複数の研削砥石５４との接触界面（加工点）に研削液Ｌが供給された状態で、被加工物１１の裏面１１ｂ側（上面側）が粗研削又は仕上げ研削される。

そして、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削及び仕上げ研削が完了すれば、被加工物１１を保持するチャックテーブル１８が搬入搬出位置Ａに位置付けられるようにターンテーブル１６を回転させる。

図１に示されるように、搬入搬出位置Ａの前方、かつ、搬送ユニット１４の側方には、被加工物１１を保持して前方に搬送する搬送ユニット６２が設けられている。図６は、搬送ユニット６２を模式的に示す一部断面側面図である。この搬送ユニット６２は、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側を保持するための保持機構６４を有する。

保持機構６４は、例えば、アルミニウム等の金属材料からなる円盤状の枠体６４ａを有する。この枠体６４ａの下面には円形の底面を有する凹部が形成されており、この凹部には多孔質セラミックス等からなる円盤状のポーラス板６４ｂが固定されている。また、枠体６４ａの上面側には複数のねじ穴が形成されており、この複数のねじ穴のそれぞれにはボルト６６が螺合されている。

具体的には、このボルト６６は、Ｚ軸方向に沿って延在する円柱状の軸部と、この軸部よりも直径が大きく、かつ、Ｚ軸方向に沿った長さが小さい六角柱状の頭部とを有する。さらに、この軸部は、ねじ山が形成されている下部（ねじ部）と、ねじ山が形成されていない上部（円筒部）とを有する。そして、ボルト６６のねじ部が、枠体６４ａの上面側に形成されているねじ穴に螺合されている。

また、枠体６４ａの上面側には、ポーラス板６４ｂと連通する貫通孔が形成されている。そして、この貫通孔は、配管（不図示）及びバルブ（不図示）を介して、吸引源２６ａと同様の構造を有する吸引源（不図示）又はエア供給源２６ｂと同様の構造を有するエア供給源（不図示）に選択的に連通可能である。

そして、ポーラス板６４ｂの下面（保持面）に被加工物１１の裏面１１ｂが接触した状態で吸引源を動作させると、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側が保持機構６４に吸引されて保持される。また、枠体６４ａの上面側に形成されている貫通孔等が負圧となっている状態でエア供給源を動作させると、この貫通孔にエアが供給されて常圧となり、被加工物１１を保持機構６４から離隔させることが容易になる。

保持機構６４の上方には、円盤状の支持部材６８が設けられている。この支持部材６８には、厚さ方向において支持部材６８を貫通し、それぞれの断面が円状の複数の貫通孔が形成されている。

これらの貫通孔は枠体６４ａの上面側に形成されている複数のねじ穴と重なるように位置付けられ、各貫通孔にはボルト６６の円筒部が通されている。また、ボルト６６の頭部の幅は、貫通孔の直径よりも大きい。そのため、ボルト６６が貫通孔と通って落下することはない。

また、ボルト６６の軸部のうち枠体６４ａと支持部材６８との間に位置する部分の周囲には、圧縮コイルばね７０が設けられている。換言すると、この部分は、圧縮コイルばね７０の内側に位置する。そして、枠体６４ａ及び支持部材６８には、圧縮コイルばね７０を圧縮することによって生じる反力が作用している。

また、支持部材６８の側部には、アーム７２の先端部が連結されている。このアーム７２は、Ｚ軸方向と直交する方向に沿って延在し、その基端部が、Ｚ軸方向に沿って延在する支持軸７４の上端部に固定されている。また、支持軸７４の下端部は、モータ７６に接続されている。

そして、このモータ７６を動作させると、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸として支持軸７４が回転する、すなわち、保持機構６４が旋回する。また、支持軸７４及びモータ７６は、移動機構７８に接続されている。この移動機構７８は、モータ７６の側部に表面側が固定されている移動プレート７８ａを有する。

移動プレート７８ａの裏面側には、多数のボールを収容するナット７８ｂが固定されている。そして、このナット７８ｂには、Ｚ軸方向に沿って延在するねじ軸７８ｃが螺合されている。また、ねじ軸７８ｃは、それぞれがＺ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール（不図示）の間に設けられており、この一対のガイドレールの表面側にはスライド可能な態様で移動プレート７８ａが取り付けられている。

さらに、ねじ軸７８ｃの基端部（下端部）には、モータ７８ｄが接続されている。そして、モータ７８ｄによってねじ軸７８ｃを回転させると、多数のボールがナット７８ｂ内を循環してナット７８ｂとともに移動プレート７８ａ及び保持機構６４等がＺ軸方向に沿って移動する。

そして、研削後の被加工物１１を保持するチャックテーブル１８が搬入搬出位置Ａに位置付けられると、搬送ユニット６２によって被加工物１１がチャックテーブル１８から搬出される。例えば、被加工物１１のチャックテーブル１８からの搬出は、以下の順序で行われる。

まず、吸引源２６ａの動作を停止させ、かつ、バルブ２４ａを閉状態とする。次いで、チャックテーブル１８の枠体２０に形成されている流路２０ｃが常圧になるように、エア供給源２６ｂを動作させ、かつ、バルブ２４ｂを開状態にする。

次いで、チャックテーブル１８の上に置かれている被加工物１１の直上に保持機構６４が位置付けられるように、モータ７６を動作させて保持機構６４を旋回させる。次いで、保持機構６４のポーラス板６４ｂの下面を被加工物１１の裏面（上面）１１ｂに接触させるように、移動機構７８のモータ７８ｄを動作させて保持機構６４を下降させる。

次いで、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側が保持機構６４に吸引されて保持されるように、ポーラス板６４ｂと連通する吸引源を動作させる。次いで、被加工物１１がチャックテーブル１８から搬出されるように、移動機構７８のモータ７８ｄを動作させて保持機構６４を上昇させる。次いで、被加工物１１を保持する保持機構６４を旋回させるようにモータ７６を動作させる。これにより、被加工物１１が前方へと搬送される。

図１に示されるように、搬送ユニット６２の側方には、チャックテーブル１８から搬出された被加工物１１を洗浄する洗浄装置８０が設けられている。この洗浄装置８０は、例えば、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側を保持するためのスピンナテーブルと、スピンナテーブルによって保持された被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側に純水等の液体（洗浄液）を供給するノズルを含む洗浄ユニットとを備える。

なお、このスピンナテーブルは、図１に示されるチャックテーブル１８と同様の構造を有し、また、モータ等に接続されている。そして、このモータを動作させると、スピンナテーブルの上面の中心を通り、かつ、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸としてスピンナテーブルが回転する。

そして、スピンナテーブルには、搬送ユニット６２によってチャックテーブル１８から搬出された被加工物１１が搬入される。例えば、被加工物１１のスピンナテーブルへの搬入は、以下の順序で行われる。

まず、被加工物１１を保持する保持機構６４がスピンナテーブルの直上に位置付けられるように、モータ７６を動作させて保持機構６４を旋回させる。次いで、被加工物１１の表面（下面）１１ａをスピンナテーブルの保持面に接近させるように、移動機構７８のモータ７８ｄを動作させて保持機構６４を下降させる。

次いで、保持機構６４のポーラス板６４ｂと連通する吸引源の動作を停止させる。次いで、被加工物１１を保持機構６４から離隔させるように、保持機構６４のポーラス板６４ｂと連通するエア供給源を動作させる。これにより、被加工物１１のスピンナテーブルへの搬入が完了する。

この洗浄装置８０においては、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側を保持するスピンナテーブルを回転させながら被加工物１１の裏面（上面）１１ｂに洗浄ユニットから洗浄液を供給することによって被加工物１１が洗浄される。そして、洗浄装置８０における被加工物１１の洗浄が完了すると、搬送ユニット１０が洗浄装置８０からカセット８ａ，８ｂの複数の収容領域のいずれか（例えば、元の収容領域）に被加工物１１を搬入する。

また、基台４の上面には、上述した構成要素を覆うカバー（不図示）が設けられている。そして、このカバーの前面には、タッチパネル８２が配置されている。このタッチパネル８２は、例えば、静電容量方式又は抵抗膜方式のタッチセンサ等の入力ユニットと、液晶ディスプレイ又は有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ等の表示ユニットとによって構成され、ユーザインターフェースとして機能する。

上述した研削装置２の構成要素は、研削装置２に内蔵された制御ユニット８４によって制御される。この制御ユニット８４は、処理装置８４ａと記憶装置８４ｂとを含む。処理装置８４ａは、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサによって構成される。

また、記憶装置８４ｂは、例えば、ＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）又はＳＲＡＭ（Ｓｔａｔｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の揮発性メモリと、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）（ＮＡＮＤ型フラッシュメモリ）又はＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）（磁気記憶装置）等の不揮発性メモリとによって構成される。

そして、記憶装置８４ｂは、処理装置８４ａにおいて用いられる各種の情報（データ及びプログラム等）を記憶する。例えば、この記憶装置６８ｂには、チャックテーブル１８のポーラス板２２の外周部における目詰まりの状態の判定に利用される圧力の閾値が記憶されている。なお、この判定の一例については後述する。

また、処理装置８４ａは、例えば、記憶装置８４ｂに記憶された上記のプログラムを読みだして実行するように研削装置２の構成要素を制御する。例えば、処理装置８４ａは、被加工物１１の裏面１１ｂ側の粗研削又は仕上げ研削が行うためのプログラムを記憶装置８４ｂから読み出して実行するように研削装置２の構成要素を制御する。

ここで、研削装置２においては、吸引源２６ａが動作し、かつ、バルブ２４ａが開状態になった状態で被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削又は仕上げ研削が行われる（図５参照）。そのため、研削液Ｌによって研削屑等の異物が被加工物１１の表面（下面）１１ａとチャックテーブル１８の保持面との隙間に侵入してポーラス板２２の外周部を詰まらせることがある。

図７は、チャックテーブル１８のポーラス板２２の外周部における目詰まりの状態を判定する目詰まり判定方法を含む研削装置２の駆動方法の一例を模式的に示すフローチャートである。端的には、この方法においては、ポーラス板２２の外周部が目詰まりしていると判定された場合に外周部に詰まった異物を除去するための研削装置２の駆動方法の一例である。

具体的には、この方法においては、まず、遮蔽部材をポーラス板２２に配置する（配置ステップＳ１）。図８は、配置ステップＳ１の様子を模式的に示す図である。ポーラス板２２に配置される遮蔽部材２１は、例えば、円状の表面２１ａ及び裏面２１ｂを有し、シリコン（Ｓｉ）等の半導体材料からなるウェーハである。

この遮蔽部材２１の直径は、被加工物１１の直径及びポーラス板２２の直径よりも小さい。例えば、被加工物１１の直径が８インチである場合には遮蔽部材２１の直径は６インチである。また、遮蔽部材２１は、図２に示されるデバイス１５が形成されていないウェーハ、いわゆる、ミラーウェーハである。

さらに、遮蔽部材２１は、ミラーウェーハの表面及び／又は裏面を覆うように設けられたフィルム状のテープを含んでもよい。このテープは、ミラーウェーハの直径と概ね等しい直径を有し、例えば、樹脂からなる。

この遮蔽部材２１は、例えば、遮蔽部材２１の中心をポーラス板２２の中心に重ねるように、例えば、手動でポーラス板２２に配置される。あるいは、遮蔽部材２１は、図１に示されるカセット８ａ，８ｂに収容されており、上述した搬送ユニット１０，１４等を利用してポーラス板２２に配置されてもよい。

そして、遮蔽部材２１がポーラス板２２に配置されると、ポーラス板２２の外周部よりも内側の部分が覆われ、かつ、ポーラス板２２の外周部が露出する。なお、配置ステップＳ１においては、吸引源２６ａ及びエア供給源２６ｂの双方の動作が停止され、かつ、バルブ２４ａ，２４ｂが閉状態とされている。

次いで、枠体２０の底壁２０ａに形成されている流路２０ｃと吸引源２６ａとを連通させた状態で吸引源２６ａを動作させながら流路２０ｃにおける圧力の値を測定する（測定ステップＳ２）。図９は、測定ステップＳ２の様子を模式的に示す図である。

具体的には、測定ステップＳ２においては、吸引源２６ａを動作させ、かつ、バルブ２４ａを開状態にした後、流路２０ｃにおける圧力の値を圧力計２８によって測定する。なお、圧力計２８によって測定された流路２０ｃの圧力の値は、タッチパネル８２の表示ユニットに表示されてもよい。

次いで、測定ステップＳ２において測定された圧力の値が予め設定された閾値を下回っているか否かを判定する（判定ステップＳ３）。具体的には、判定ステップＳ３においては、測定ステップＳ２において測定された圧力の値と記憶装置８４ｂに記憶されている閾値とを処理装置８４ａが比較する。

なお、この閾値は、例えば、６５ｋＰａ～７５ｋＰａの範囲に含まれる所定の値である。あるいは、この閾値は、新品のチャックテーブル１８のポーラス板２２、すなわち、外周部が目詰まりしていないポーラス板２２に遮蔽部材２１が配置された状態で測定ステップＳ２を実施することによって測定される圧力の値から２ｋＰａ～８ｋＰａの範囲に含まれる所定の値を減算することによって得られる値であってもよい。

そして、測定ステップＳ２において測定された圧力の値が予め設定された閾値を下回っていれば（判定ステップＳ３：ＹＥＳ）、処理装置８４ａは、ポーラス板２２の外周部が目詰まりしていると判定する。

さらに、ポーラス板２２の外周部が目詰まりしていると判定されれば、ポーラス板２２と遮蔽部材２１とが互いに押圧された状態で、ポーラス板２２の外周部からエアを噴出させる（噴出ステップＳ４）。図１０は、噴出ステップＳ４の様子を模式的に示す図である。この噴出ステップＳ４は、例えば、以下の順序で実施される。

まず、遮蔽部材２１が配置されたポーラス板２２を含むチャックテーブル１８が搬入搬出位置Ａに位置付けられるようにターンテーブル１６を回転させる。なお、チャックテーブル１８が搬入搬出位置Ａに位置付けられた状態で遮蔽部材２１がポーラス板２２に配置される場合には、ターンテーブル１６を回転させる必要はない。

次いで、遮蔽部材２１の直上に保持機構６４が位置付けられるように、モータ７６を動作させて保持機構６４を旋回させる。次いで、保持機構６４のポーラス板６４ｂによって遮蔽部材２１が押圧されるように、移動機構７８のモータ７８ｄを動作させて保持機構６４を下降させる。

この時、圧縮コイルばね７０が圧縮されることによって保持機構６４に強い反力が作用する。これにより、保持機構６４の枠体６４ａが遮蔽部材２１の表面２１ａに倣うように僅かに変形する。また、保持機構６４によって遮蔽部材２１が押圧されるため、ポーラス板２２と遮蔽部材２１とが互いに押圧された状態となる。

次いで、吸引源２６ａの動作を停止させ、かつ、バルブ２４ａを開状態にするとともに、エア供給源２６ｂを動作させ、かつ、バルブ２４ｂを開状態にする。これにより、チャックテーブル１８の枠体２０の底壁２０ａに形成されている流路２０ｃとエア供給源２６ｂとが連通してポーラス板２２の下側にエアが供給される。

そして、このエアは、ポーラス板２２の外周部、すなわち、遮蔽部材２１によって覆われることなく露出した部分から噴出する。これにより、噴出ステップＳ４においては、チャックテーブル１８のポーラス板２２の外周部に詰まった異物の少なくとも一部をエアによって吹き飛ばして除去することができる。

図１１は、チャックテーブル１８のポーラス板２２の外周部における目詰まりの状態を判定する目詰まり判定方法を含む研削装置２の駆動方法の別の例を模式的に示すフローチャートである。端的には、この方法は、噴出ステップＳ４においてポーラス板２２の外周部に詰まった異物を十分に除去することができなかった場合にオペレータにチャックテーブル１８の交換を促すための研削装置２の駆動方法の一例である。

この方法においては、まず、上述した配置ステップＳ１、噴出ステップＳ４、測定ステップＳ２及び判定ステップＳ３を順に実施する。そして、判定ステップＳ３においてポーラス板２２の外周部が目詰まりしていると判定されれば、チャックテーブル１８の交換が必要であることをオペレータに報知する（報知ステップＳ５）。

具体的には、報知ステップＳ５においては、チャックテーブル１８の交換が必要であることを示す情報をタッチパネル８２の表示ユニットに表示する。これにより、噴出ステップＳ４において除去できないほど研削屑が外周部に固着したポーラス板２２を含むチャックテーブル１８の交換をオペレータに促すことができる。

なお、本発明は、上述した内容に限定されない。例えば、本発明の目詰まり判定方法は、例えば、切削装置又はレーザー加工装置等の研削装置以外の加工装置に含まれるチャックテーブルのポーラス板の外周部における目詰まりの状態を判定するために実施されてもよい。

その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ：研削装置
４ ：基台（４ａ：窪み）
６ａ，６ｂ：カセット載置領域
８ａ，８ｂ：カセット
１０：搬送ユニット
１１：被加工物（１１ａ：表面、１１ｂ：裏面）
１２：位置調整機構
１３：分割予定ライン
１４：搬送ユニット
１５：デバイス
１６：ターンテーブル
１８：チャックテーブル
２０：枠体（２０ａ：底壁、２０ｂ：側壁、２０ｃ：流路）
２１：遮蔽部材（２１ａ：表面、２１ｂ：裏面）
２２：ポーラス板
２４ａ，２４ｂ：バルブ
２６ａ：吸引源
２６ｂ：エア供給源
２８：圧力計
３０：支持構造
３２：移動機構
３４：ガイドレール
３６：移動プレート
３８：ねじ軸
４０：モータ
４２：研削ユニット
４４：スピンドルハウジング
４６：スピンドル
４８：マウント
５０ａ，５０ｂ：研削ホイール
５２：ホイール基台
５４：研削砥石
５６ａ，５６ｂ：研削液供給ユニット
５８ａ，５８ｂ：ノズル
６０：モータ
６２：搬送ユニット
６４：保持機構（６４ａ：枠体、６４ｂ：ポーラス板）
６６：ボルト
６８：支持部材
７０：圧縮コイルばね
７２：アーム
７４：支持軸
７６：モータ
７８：移動機構（７８ａ：移動プレート、７８ｂ：ナット）
（７８ｃ：ねじ軸、７８ｄ：モータ）
８０：洗浄装置
８２：タッチパネル
８４：制御ユニット（８４ａ：処理装置、８４ｂ：記憶装置）

Claims (1)

1. 底壁と該底壁の外周部から立設する側壁とを有し、吸引源に連通可能な流路が該底壁に形成されている枠体と、該底壁と該側壁とによって画定される凹部において固定されているポーラス板と、を備えるチャックテーブルの該ポーラス板の外周部における目詰まりの状態を判定する目詰まり判定方法であって、
   該ポーラス板の該外周部よりも内側の部分が覆われ、かつ、該ポーラス板の該外周部が露出するように遮蔽部材を該ポーラス板に配置する配置ステップと、
   該配置ステップの後に、該流路と該吸引源とを連通させた状態で該吸引源を動作させながら該流路における圧力の値を測定する測定ステップと、
   該測定ステップにおいて測定された該圧力の値が予め設定された閾値を下回っている場合に該ポーラス板の該外周部が目詰まりしていると判定する判定ステップと、
   を備える目詰まり判定方法。

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