JP2024022316A - Printer and printing method - Google Patents

Printer and printing method Download PDF

Info

Publication number
JP2024022316A
JP2024022316A JP2022125810A JP2022125810A JP2024022316A JP 2024022316 A JP2024022316 A JP 2024022316A JP 2022125810 A JP2022125810 A JP 2022125810A JP 2022125810 A JP2022125810 A JP 2022125810A JP 2024022316 A JP2024022316 A JP 2024022316A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printing
squeegee
film thickness
paste
squeegees
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022125810A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
春樹 平田
Haruki Hirata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Industries Co Ltd filed Critical Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority to JP2022125810A priority Critical patent/JP2024022316A/en
Publication of JP2024022316A publication Critical patent/JP2024022316A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Screen Printers (AREA)
  • Printing Methods (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To retain a printing quality while suppressing damages on a surface of a matter to be printed in printing using two squeegees.
SOLUTION: A printer includes a printing part, a measurement part and a control part. The printing part prints paste on a matter to be printed via an opening of a printing mask by sequentially moving two squeegees on the printing mask. The measurement part measures a film thickness of printed paste. The control part controls each of the parts. The control part controls printing pressure of the one squeegee which moves last in the two squeegees based on a measurement result of a film thickness by the measurement part.
SELECTED DRAWING: Figure 1
COPYRIGHT: (C)2024,JPO&INPIT

Description

本発明は、印刷装置及び印刷方法に関する。 The present invention relates to a printing device and a printing method.

従来、スクリーン印刷方式を用いて印刷を行う印刷装置がある。かかる印刷装置では、被印刷物の上に印刷マスクを載置し、スキージを印刷マスクの上で移動させることで、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。 2. Description of the Related Art Conventionally, there are printing devices that perform printing using a screen printing method. In such a printing device, a printing mask is placed on a printing material, and a squeegee is moved over the printing mask to print paste onto the printing material through an opening in the printing mask.

ここで、印刷マスクの上で移動するスキージの消耗が印刷品質に影響する。被印刷物に印刷されるペーストの膜厚は、スキージの消耗が大きくなるほど、厚くなる傾向がある。このため、ペーストの膜厚を管理するための種々の手法が提案されている。例えば、スキージを用いてペーストの印刷を行った後に、ペーストの膜厚を測定し、膜厚の測定結果に基づきスキージの印圧を制御する技術が知られている。 Here, the wear and tear of the squeegee that moves over the print mask affects print quality. The thickness of the paste printed on the printing material tends to increase as the squeegee wears out. For this reason, various methods have been proposed for controlling the film thickness of the paste. For example, a technique is known in which the film thickness of the paste is measured after printing a paste using a squeegee, and the printing pressure of the squeegee is controlled based on the measurement result of the film thickness.

特開平5-13926号公報Japanese Patent Application Publication No. 5-13926

ところで、最近の印刷装置では、2つのスキージを用いて印刷を行うものがある。かかる印刷装置では、2つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることで、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。このとき、2つのスキージのうち最初に移動するスキージ(以下「第1スキージ」と呼ぶ。)によって、ペーストが印刷マスクの開口から押し出されて被印刷物に比較的に薄く塗布される。一方、2つのスキージのうち最後に移動するスキージ(以下「第2スキージ」と呼ぶ。)によって、ペーストが印刷マスクの開口から押し出されて被印刷物にさらに塗布され、ペーストの膜厚が所望の膜厚に調節される。 By the way, some recent printing apparatuses perform printing using two squeegees. In such a printing device, two squeegees are sequentially moved over a printing mask to print paste onto a substrate through an opening in the printing mask. At this time, the first squeegee (hereinafter referred to as the "first squeegee") that moves among the two squeegees forces the paste out of the opening of the printing mask and applies it relatively thinly to the printing material. On the other hand, the last of the two squeegees (hereinafter referred to as the "second squeegee") pushes the paste out of the opening of the printing mask and further applies it to the printing material, so that the thickness of the paste reaches the desired thickness. The thickness is adjusted.

これらの2つのスキージの印圧が上述したペーストの膜厚の測定結果に基づき一律に制御される場合、被印刷物の表面に対してダメージが付与されるおそれがある。すなわち、2つのスキージを用いた印刷においては、ペーストの膜厚の増加に伴って、第1スキージの印圧が第2スキージの印圧とともに増加する。第1スキージの印圧が増加すると、第1スキージの先端が印刷マスクの開口を通過して未だペーストが塗布されていない被印刷物の表面に当接する。その結果、第1スキージの先端によって被印刷物の表面が傷付けられ、被印刷物の表面に対してダメージが付与される可能性がある。 If the printing pressures of these two squeegees are uniformly controlled based on the above-mentioned paste film thickness measurement results, there is a risk that the surface of the printing material will be damaged. That is, in printing using two squeegees, as the film thickness of the paste increases, the printing pressure of the first squeegee increases together with the printing pressure of the second squeegee. When the printing pressure of the first squeegee increases, the tip of the first squeegee passes through the opening of the printing mask and comes into contact with the surface of the printing material to which paste has not yet been applied. As a result, the surface of the printing material may be scratched by the tip of the first squeegee, and damage may be caused to the surface of the printing material.

開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、2つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる印刷装置及び印刷方法を提供することを目的とする。 The disclosed technology has been made in view of the above, and provides a printing device and a printing method that can maintain printing quality while suppressing damage to the surface of a printing medium in printing using two squeegees. The purpose is to

本願の開示する印刷装置は、一つの態様において、印刷部と、測定部と、制御部とを有する。印刷部は、2つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。測定部は、印刷されたペーストの膜厚を測定する。制御部は、各部を制御する。制御部は、測定部による膜厚の測定結果に基づいて、2つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する。 In one embodiment, the printing device disclosed in the present application includes a printing section, a measuring section, and a control section. The printing unit prints the paste onto the printing material through the opening of the printing mask by sequentially moving two squeegees over the printing mask. The measurement unit measures the film thickness of the printed paste. The control section controls each section. The control unit controls the printing pressure of one of the two squeegees that moves last, based on the measurement result of the film thickness by the measurement unit.

本願の開示する印刷装置の一つの態様によれば、2つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つをことができる、という効果を奏する。 According to one aspect of the printing apparatus disclosed in the present application, in printing using two squeegees, it is possible to maintain print quality while suppressing damage to the surface of the printing material.

図1は、実施形態に係る印刷装置の構成例を示す左側面図である。FIG. 1 is a left side view showing a configuration example of a printing apparatus according to an embodiment. 図2は、実施形態に係る印刷部をX軸正方向から見た側面図である。FIG. 2 is a side view of the printing unit according to the embodiment viewed from the positive direction of the X-axis. 図3は、実施形態に係る印圧制御量テーブルの一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of a printing pressure control amount table according to the embodiment. 図4は、実施形態に係る印刷装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of processing operations of the printing apparatus according to the embodiment.

以下に、本願の開示する印刷装置及び印刷方法の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により開示技術が限定されるものではない。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Below, embodiments of a printing apparatus and a printing method disclosed in the present application will be described in detail based on the drawings. Note that the disclosed technology is not limited to this embodiment.

以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、互いに直交するX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする直交座標系を示す。 In each of the drawings referred to below, an orthogonal coordinate system is shown in which an X-axis direction, a Y-axis direction, and a Z-axis direction that are perpendicular to each other are defined, and the positive Z-axis direction is a vertically upward direction, in order to make the explanation easier to understand.

また、ここでは、X軸負方向を前方とし、X軸正方向を後方とする前後方向を規定し、Y軸正方向を右方とし、Y軸負方向を左方とする左右方向を規定する。また、Z軸正方向を上方とし、Z軸負方向を下方とする上下方向を規定する。 In addition, here, a front-rear direction is defined where the negative direction of the X-axis is the front, a positive direction of the X-axis is the rear, and a left-right direction is defined where the positive direction of the Y-axis is the right and the negative direction of the Y-axis is the left. . Further, a vertical direction is defined in which the positive direction of the Z-axis is the upper direction and the negative direction of the Z-axis is the lower direction.

実施形態に係る印刷装置1の構成について図1を参照して説明する。図1は、実施形態に係る印刷装置1の構成例を示す左側面図である。図1に示す印刷装置1は、被印刷物である基板Wに対してスクリーン印刷方式でペーストPの印刷を行う。ペーストPとしては、例えば、フラックスやはんだペースト等が用いられる。印刷装置1は、印刷部2と、搬送部3と、測定部4とを有する。 The configuration of a printing apparatus 1 according to an embodiment will be described with reference to FIG. 1. FIG. 1 is a left side view showing a configuration example of a printing apparatus 1 according to an embodiment. A printing apparatus 1 shown in FIG. 1 prints a paste P on a substrate W, which is a printing target, using a screen printing method. As the paste P, for example, flux, solder paste, etc. are used. The printing device 1 includes a printing section 2, a conveying section 3, and a measuring section 4.

図2は、実施形態に係る印刷部2をX軸正方向から見た側面図である。印刷部2は、図2に示すように、保持台21と、印刷マスク22と、第1スキージ23_1と、第2スキージ23_2と、第1昇降機構24_1と、第2昇降機構24_2と、移動プレート25とを有する。なお、以下では、第1スキージ23_1及び第2スキージ23_2を総称して「スキージ23」と記載することがある。また、第1昇降機構24_1及び第2昇降機構24_2を総称して「昇降機構24」と記載することがある。 FIG. 2 is a side view of the printing unit 2 according to the embodiment viewed from the positive direction of the X-axis. As shown in FIG. 2, the printing unit 2 includes a holding table 21, a printing mask 22, a first squeegee 23_1, a second squeegee 23_2, a first elevating mechanism 24_1, a second elevating mechanism 24_2, and a moving plate. 25. Note that hereinafter, the first squeegee 23_1 and the second squeegee 23_2 may be collectively referred to as "squeegee 23." Further, the first elevating mechanism 24_1 and the second elevating mechanism 24_2 may be collectively referred to as the "elevating mechanism 24."

保持台21は、基板Wを水平に保持する。 The holding table 21 holds the substrate W horizontally.

印刷マスク22は、例えば金属からなる板状部材である。印刷マスク22は、スクリーン版とも呼ばれる。印刷マスク22には、所定のパターンを有する開口(不図示)が形成されている。印刷マスク22は、基板Wに当接する印刷位置と、印刷位置の上方に位置する退避位置との間で移動可能に構成される。 The printing mask 22 is, for example, a plate-shaped member made of metal. Print mask 22 is also called a screen plate. The print mask 22 is formed with openings (not shown) having a predetermined pattern. The printing mask 22 is configured to be movable between a printing position where it contacts the substrate W and a retracted position located above the printing position.

2つのスキージ23は、例えば樹脂製ゴム等からなる弾性部材である。2つのスキージ23は、左右方向に沿って並べて配置される。2つのスキージ23は、2つのスキージ23を昇降させる2つの昇降機構24にそれぞれ取り付けられる。具体的には、第1スキージ23_1は、第1昇降機構24_1に取り付けられ、第1昇降機構24_1によって上下方向に昇降可能である。また、第2スキージ23_2は、第2昇降機構24_2に取り付けられ、第2昇降機構24_2によって上下方向に昇降可能である。 The two squeegees 23 are elastic members made of, for example, resin rubber. The two squeegees 23 are arranged side by side along the left-right direction. The two squeegees 23 are respectively attached to two lifting mechanisms 24 that raise and lower the two squeegees 23. Specifically, the first squeegee 23_1 is attached to the first elevating mechanism 24_1, and can be moved up and down in the vertical direction by the first elevating mechanism 24_1. Further, the second squeegee 23_2 is attached to the second elevating mechanism 24_2, and can be raised and lowered in the vertical direction by the second elevating mechanism 24_2.

2つの昇降機構24は、移動プレート25に取り付けられる。昇降機構24の下端には、スキージ23が取り付けられる。昇降機構24は、スキージ23を前後方向と平行な軸を中心に回動自在に支持する。昇降機構24は、スキージ23を昇降させる。具体的には、昇降機構24は、アクチュエータを有し、かかるアクチュエータの駆動力によりロッド24aを伸縮させてスキージ23を昇降させる。昇降機構24は、スキージ23を昇降させることにより、スキージ23の印刷マスク22に対する押圧力(つまり、印圧)を変更することができる。具体的には、昇降機構24は、ロッド24aを伸長させてスキージ23を降下させることにより、スキージ23の印圧を増加させることができ、ロッド24aを縮退させてスキージ23を上昇させることにより、スキージ23の印圧を減少させることができる。なお、昇降機構24は、ロッド24aを伸縮させる駆動力を得るものであれば如何なる機構であってもよく、例えば、空圧や油圧等によってロッド24aを伸縮させる駆動力を得る機構であってもよい。 The two lifting mechanisms 24 are attached to the moving plate 25. A squeegee 23 is attached to the lower end of the lifting mechanism 24. The elevating mechanism 24 supports the squeegee 23 rotatably around an axis parallel to the front-rear direction. The elevating mechanism 24 raises and lowers the squeegee 23. Specifically, the elevating mechanism 24 includes an actuator, and uses the driving force of the actuator to expand and contract the rod 24a to move the squeegee 23 up and down. The elevating mechanism 24 can change the pressing force (that is, printing pressure) of the squeegee 23 against the printing mask 22 by raising and lowering the squeegee 23. Specifically, the lifting mechanism 24 can increase the printing pressure of the squeegee 23 by extending the rod 24a and lowering the squeegee 23, and by retracting the rod 24a and raising the squeegee 23, The printing pressure of the squeegee 23 can be reduced. Note that the elevating mechanism 24 may be any mechanism as long as it obtains the driving force to extend and contract the rod 24a, for example, it may be a mechanism that obtains the driving force to extend and contract the rod 24a by pneumatic pressure, hydraulic pressure, etc. good.

移動プレート25は、左右方向に延びるガイドレール(不図示)に取り付けられ、例えばリニアモータ等の駆動部によってガイドレールに沿って、左右方向に移動可能である。 The moving plate 25 is attached to a guide rail (not shown) extending in the left-right direction, and is movable in the left-right direction along the guide rail by a drive unit such as a linear motor.

かかる印刷部2は、2つのスキージ23を印刷マスク22の上で順次移動させることにより、印刷マスク22の開口を介して基板WにペーストPを印刷する。 The printing unit 2 prints the paste P onto the substrate W through the opening of the printing mask 22 by sequentially moving the two squeegees 23 over the printing mask 22.

すなわち、印刷部2は、印刷部2に搬入された基板Wを保持台21に保持すると、印刷マスク22を退避位置から印刷位置に移動させて印刷マスク22を基板Wに当接させる。印刷マスク22の上には、予めペーストPが載せられる。続いて、印刷部2は、第1昇降機構24_1を用いて2つのスキージ23のうち第1スキージ23_1を降下させることにより、第1スキージ23_1を印刷マスク22に押し付ける。続いて、印刷部2は、移動プレート25を右方向に移動させることによって第1昇降機構24_1と共に第1スキージ23_1を印刷マスク22の上で右方向に移動させる。これにより、印刷マスク22の上に載せられたペーストPが印刷マスク22の開口から押し出され、基板Wに塗布される。第1スキージ23_1の移動を終了すると、印刷部2は、第1昇降機構24_1を用いて第1スキージ23_1を上昇させる。続いて、印刷部2は、第2昇降機構24_2を用いて第2スキージ23_2を降下させることにより、第2スキージ23_2を印刷マスク22に押し付ける。続いて、印刷部2は、移動プレート25を左方向に移動させることによって第2昇降機構24_2と共に第2スキージ23_2を印刷マスク22の上で左方向に移動させる。これにより、印刷マスク22の上に載せられたペーストPが印刷マスク22の開口から押し出され、基板Wに塗布される。第2スキージ23_2の移動を終了すると、印刷部2は、第2昇降機構24_2を用いて第2スキージ23_2を上昇させる。続いて、印刷部2は、印刷マスク22を印刷位置から退避位置に移動させ、一つの基板Wに対するペーストPの印刷を完了する。 That is, when the printing section 2 holds the substrate W carried into the printing section 2 on the holding table 21, the printing section 2 moves the printing mask 22 from the retracted position to the printing position and brings the printing mask 22 into contact with the substrate W. Paste P is placed on the print mask 22 in advance. Subsequently, the printing unit 2 presses the first squeegee 23_1 against the printing mask 22 by lowering the first squeegee 23_1 of the two squeegees 23 using the first elevating mechanism 24_1. Subsequently, the printing unit 2 moves the first squeegee 23_1 to the right over the printing mask 22 together with the first elevating mechanism 24_1 by moving the moving plate 25 to the right. As a result, the paste P placed on the print mask 22 is pushed out from the opening of the print mask 22 and applied to the substrate W. After finishing the movement of the first squeegee 23_1, the printing unit 2 raises the first squeegee 23_1 using the first elevating mechanism 24_1. Subsequently, the printing unit 2 presses the second squeegee 23_2 against the printing mask 22 by lowering the second squeegee 23_2 using the second elevating mechanism 24_2. Subsequently, the printing unit 2 moves the moving plate 25 to the left, thereby moving the second squeegee 23_2 to the left over the printing mask 22 together with the second elevating mechanism 24_2. As a result, the paste P placed on the print mask 22 is pushed out from the opening of the print mask 22 and applied to the substrate W. After finishing the movement of the second squeegee 23_2, the printing unit 2 raises the second squeegee 23_2 using the second elevating mechanism 24_2. Subsequently, the printing unit 2 moves the printing mask 22 from the printing position to the retreat position, and completes printing of the paste P on one substrate W.

図1の説明に戻る。搬送部3は、印刷部2と測定部4との間に設けられ、内部に基板搬送装置31を有する。基板搬送装置31は、基板Wを保持する基板保持機構を有する。また、基板搬送装置31は、前後方向及び鉛直方向への移動が可能であり、基板保持機構を用いて印刷部2と測定部4との間で基板Wの搬送を行う。 Returning to the explanation of FIG. The transport section 3 is provided between the printing section 2 and the measuring section 4, and has a substrate transport device 31 therein. The substrate transport device 31 has a substrate holding mechanism that holds the substrate W. Further, the substrate transport device 31 is movable in the longitudinal direction and the vertical direction, and transports the substrate W between the printing section 2 and the measuring section 4 using a substrate holding mechanism.

測定部4は、基板Wに印刷されたペーストPの膜厚を測定する。測定部4は、保持台41と、膜厚センサ42とを有する。保持台41は、基板Wを水平に保持する。 The measuring unit 4 measures the film thickness of the paste P printed on the substrate W. The measurement unit 4 includes a holding table 41 and a film thickness sensor 42. The holding table 41 holds the substrate W horizontally.

膜厚センサ42は、基板Wに印刷されたペーストPの膜厚を非接触で測定する。膜厚センサ42としては、例えば、レーザ光を基板Wに照射し、ペーストPの表裏面で反射する光の干渉状態から膜厚を測定する分光干渉式膜厚センサを用いることができる。 The film thickness sensor 42 measures the film thickness of the paste P printed on the substrate W in a non-contact manner. As the film thickness sensor 42, for example, a spectral interference type film thickness sensor that irradiates the substrate W with laser light and measures the film thickness from the interference state of the light reflected from the front and back surfaces of the paste P can be used.

かかる測定部4は、印刷部2によってペーストPが印刷された基板Wが搬送部3によって測定部4に搬送されると、該基板Wを保持台41に保持し、膜厚センサ42を用いてペーストPの膜厚を測定する。 When the substrate W on which the paste P is printed by the printing section 2 is conveyed to the measuring section 4 by the conveying section 3, the measuring section 4 holds the substrate W on a holding table 41 and uses a film thickness sensor 42 to measure the substrate W. Measure the film thickness of paste P.

また、印刷装置1は、制御装置5を備える。制御装置5は、たとえばコンピュータであり、制御部51と記憶部52とを備える。記憶部52には、印刷装置1において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部51は、記憶部52に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって印刷装置1の動作を制御する。 The printing device 1 also includes a control device 5 . The control device 5 is, for example, a computer, and includes a control section 51 and a storage section 52. The storage unit 52 stores programs that control various processes executed in the printing apparatus 1. The control unit 51 controls the operation of the printing apparatus 1 by reading and executing a program stored in the storage unit 52 .

なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置5の記憶部52にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルディスク(MO)、メモリカードなどがある。 Note that this program may be one that has been recorded on a computer-readable storage medium, and may be one that is installed in the storage unit 52 of the control device 5 from the storage medium. Examples of computer-readable storage media include hard disks (HD), flexible disks (FD), compact disks (CD), magnetic optical disks (MO), and memory cards.

ところで、印刷装置1では、複数の基板Wに対する印刷が順次行われると、印刷部2におけるスキージ23が徐々に消耗して、基板Wに印刷されるペーストPの膜厚が変動する。すなわち、基板Wに印刷されるペーストPの膜厚は、スキージ23の消耗が大きくなるほど、厚くなる傾向がある。 By the way, in the printing apparatus 1, when printing is sequentially performed on a plurality of substrates W, the squeegee 23 in the printing section 2 gradually wears out, and the film thickness of the paste P printed on the substrates W varies. That is, the thickness of the paste P printed on the substrate W tends to increase as the squeegee 23 wears more.

これに対し、ペーストPの膜厚を管理するための技術として、ペーストPの膜厚を測定し、膜厚の測定結果に基づき、2つのスキージ23の印圧を制御することが考えられる。例えば、ペーストPの膜厚の増加に伴って2つのスキージ23の印圧を一律に増加させることが考えられる。 On the other hand, as a technique for managing the film thickness of the paste P, it is possible to measure the film thickness of the paste P and control the printing pressure of the two squeegees 23 based on the measurement result of the film thickness. For example, it is conceivable to uniformly increase the printing pressure of the two squeegees 23 as the film thickness of the paste P increases.

しかしながら、ペーストPの膜厚の増加に伴って2つのスキージ23の印圧を一律に増加させる技術では、2つのスキージ23のうち最初に移動する第1スキージ23_1の先端が印刷マスク22の開口を通過して未だペーストPが塗布されていない基板Wの表面に当接する。その結果、第1スキージ23_1の先端によって基板Wの表面が傷付けられ、基板Wの表面に対してダメージが付与される可能性がある。 However, in the technique of uniformly increasing the printing pressure of the two squeegees 23 as the film thickness of the paste P increases, the tip of the first squeegee 23_1, which moves first of the two squeegees 23, touches the opening of the printing mask 22. It comes into contact with the surface of the substrate W on which the paste P has not yet been applied. As a result, the surface of the substrate W may be scratched by the tip of the first squeegee 23_1, and the surface of the substrate W may be damaged.

そこで、実施形態に係る印刷装置1において、制御部51は、印刷されたペーストPの膜厚の測定結果に基づいて第2昇降機構24_2を制御することにより、2つのスキージ23のうち最後に移動する第2スキージ23_2の印圧を制御することとした。これにより、第1スキージ23_1によって基板Wにある程度の膜厚でペーストPが塗布された後に、基板Wの表面がペーストPによって覆われた状態で第2スキージ23_2によってペーストPの膜厚が所望の膜厚に調節される。このとき、仮に第2スキージ23_2の先端が印刷マスク22の開口を通過する場合でも、基板Wの表面が既に塗布されたペーストPによって保護されるているため、第2スキージ23_2の先端によって基板Wの表面が傷付けられ難い。結果として、2つのスキージ23を用いた印刷において、基板Wの表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる。 Therefore, in the printing apparatus 1 according to the embodiment, the control unit 51 moves the squeegee to the last of the two squeegees 23 by controlling the second lifting mechanism 24_2 based on the measurement result of the thickness of the printed paste P. The printing pressure of the second squeegee 23_2 is controlled. As a result, after the paste P is applied to the substrate W with a certain thickness by the first squeegee 23_1, the paste P is applied to the desired thickness by the second squeegee 23_2 while the surface of the substrate W is covered with the paste P. Adjusted to film thickness. At this time, even if the tip of the second squeegee 23_2 passes through the opening of the printing mask 22, the surface of the substrate W is protected by the paste P that has already been applied. The surface is not easily scratched. As a result, in printing using the two squeegees 23, it is possible to maintain print quality while suppressing damage to the surface of the substrate W.

また、制御部51は、図3に示す印圧制御量テーブルを参照して、測定部4による測定膜厚と所定の目標値との差分に対応する制御量で第2スキージ23_2の印圧を制御する。図3は、実施形態に係る印圧制御量テーブルの一例を示す図である。図3に示す印圧制御量テーブルは、ペーストPの膜厚の所定の目標値βからの差分α(μm)ごとに第2スキージ23_2の印圧制御量ΔP(MPa)を対応付けて記憶するテーブルであり、シミュレーション等によって予め作成され、記憶部52に記憶される。差分αは、以下の式(1)に従って算出される値である。
α=(ペーストPの膜厚)-β ・・・ (1)
ここで、式(1)は、差分αが正の値になる場合、ペーストPの膜厚が目標値βよりも大きいことを示し、差分αが負の値になる場合、ペーストPの膜厚が目標値βよりも小さいことを示す。
Further, the control unit 51 refers to the printing pressure control amount table shown in FIG. Control. FIG. 3 is a diagram showing an example of a printing pressure control amount table according to the embodiment. The printing pressure control amount table shown in FIG. 3 stores the printing pressure control amount ΔP (MPa) of the second squeegee 23_2 in association with each difference α (μm) of the film thickness of the paste P from a predetermined target value β. This table is created in advance by simulation or the like and is stored in the storage unit 52. The difference α is a value calculated according to the following equation (1).
α = (Thickness of paste P) - β ... (1)
Here, equation (1) indicates that when the difference α is a positive value, the film thickness of the paste P is larger than the target value β, and when the difference α is a negative value, the film thickness of the paste P is is smaller than the target value β.

制御部51は、印圧制御量テーブルを参照し、測定部4による測定膜厚と所定の目標値βとの差分αに対応する印圧制御量ΔPを決定し、印圧制御量ΔPで第2昇降機構24_2を制御することで第2スキージ23_2の印圧を制御する。例えば、差分αが1.5(μm)である場合、制御部51は、第2スキージ23_2の印圧を0.02(MPa)だけ増加させる。また、例えば、差分αが-2.5(μm)である場合、制御部51は、第2スキージ23_2の印圧を0.03(MPa)だけ減少させる。 The control unit 51 refers to the printing pressure control amount table, determines the printing pressure control amount ΔP corresponding to the difference α between the film thickness measured by the measurement unit 4 and the predetermined target value β, and sets the printing pressure control amount ΔP to the first value. The printing pressure of the second squeegee 23_2 is controlled by controlling the second lifting mechanism 24_2. For example, when the difference α is 1.5 (μm), the control unit 51 increases the printing pressure of the second squeegee 23_2 by 0.02 (MPa). Further, for example, when the difference α is −2.5 (μm), the control unit 51 reduces the printing pressure of the second squeegee 23_2 by 0.03 (MPa).

制御部51が差分αに応じて第2スキージ23_2の印圧を増加又は減少させることにより、測定部4によって測定されるペーストPの膜厚の値が目標値βに近づく。すなわち、差分αが正の値になる場合、つまり、ペーストPの膜厚が目標値βよりも大きい場合、第2スキージ23_2の印圧を増加させることにより、ペーストPの膜厚を目標値βに向けて減少させることができる。また、差分αが負の値になる場合、つまり、ペーストPの膜厚が目標値βよりも小さい場合、第2スキージ23_2の印圧を減少させることにより、ペーストPの膜厚を目標値βに向けて増加させることができる。 As the control unit 51 increases or decreases the printing pressure of the second squeegee 23_2 according to the difference α, the value of the film thickness of the paste P measured by the measurement unit 4 approaches the target value β. That is, when the difference α becomes a positive value, that is, when the film thickness of the paste P is larger than the target value β, by increasing the printing pressure of the second squeegee 23_2, the film thickness of the paste P becomes the target value β. can be reduced towards. Further, when the difference α becomes a negative value, that is, when the film thickness of the paste P is smaller than the target value β, the film thickness of the paste P is reduced to the target value β by decreasing the printing pressure of the second squeegee 23_2. can be increased towards.

このように、制御部51が印圧制御量テーブルを参照して測定部4による測定膜厚から決定した印圧制御量ΔPで第2スキージ23_2を制御することで、複雑な演算を行うことなくペーストPの膜厚を目標値βに迅速に近づけることができる。 In this way, the control unit 51 refers to the printing pressure control amount table and controls the second squeegee 23_2 with the printing pressure control amount ΔP determined from the film thickness measured by the measurement unit 4, without performing complicated calculations. The thickness of the paste P can be quickly brought close to the target value β.

ところで、第2スキージ23_2の印圧が過度に増加又は減少して許容範囲から逸脱する場合には、種々の不具合が発生することがある。例えば、第2スキージ23_2の印圧が所定の上限値を上回る場合、第2スキージ23_2から印刷マスク22へ付与される負荷が大きくなり、印刷マスク22が破損してしまうおそれがある。また、例えば、第2スキージ23_2の印圧が所定の下限値を下回る場合、第2スキージ23_2が印刷マスク22から離れてしまい、印刷マスク22の上に載せられたペーストPが印刷マスク22の開口から押し出されない印刷不良が発生するおそれがある。 By the way, if the printing pressure of the second squeegee 23_2 increases or decreases too much and deviates from the allowable range, various problems may occur. For example, if the printing pressure of the second squeegee 23_2 exceeds a predetermined upper limit, the load applied from the second squeegee 23_2 to the print mask 22 increases, and there is a risk that the print mask 22 may be damaged. Further, for example, when the printing pressure of the second squeegee 23_2 is lower than a predetermined lower limit value, the second squeegee 23_2 separates from the printing mask 22, and the paste P placed on the printing mask 22 spreads through the openings of the printing mask 22. There is a risk that printing defects may occur due to the printer not being extruded.

そこで、制御部51は、測定部4による測定膜厚と所定の目標値βとの差分αに対応する印圧制御量ΔPを第2スキージ23_2の印圧の現在値に加算して加算印圧を算出し、加算印圧が上限値を上回る場合又は下限値を下回る場合、アラートを通知してもよい。アラートは、印刷装置1の管理者などに異常を報知できれば、いずれの方式で通知されてもよい。例えば、制御部51は、印刷装置1が有する表示装置等のユーザインタフェース(不図示)に異常を報知するメッセージを表示してもよい。 Therefore, the control unit 51 adds the printing pressure control amount ΔP corresponding to the difference α between the film thickness measured by the measurement unit 4 and the predetermined target value β to the current value of the printing pressure of the second squeegee 23_2 to generate an additional printing pressure. may be calculated, and an alert may be notified if the additional printing pressure exceeds the upper limit or falls below the lower limit. The alert may be notified by any method as long as it can notify the administrator of the printing device 1 of an abnormality. For example, the control unit 51 may display a message notifying the abnormality on a user interface (not shown) such as a display device included in the printing apparatus 1.

これにより、実施形態に係る印刷装置1は、第2スキージ23_2の印圧が許容範囲から逸脱したことに伴う印刷装置1の不具合を事前に報知することができる。 Thereby, the printing apparatus 1 according to the embodiment can notify in advance of a malfunction of the printing apparatus 1 due to the printing pressure of the second squeegee 23_2 deviating from the allowable range.

次に、実施形態に係る印刷装置1の処理動作について図4を参照して説明する。図4は、実施形態に係る印刷装置1の処理動作の一例を示すフローチャートである。図4に示す各処理は、制御部51による制御に従って実行される。また、図4に示す処理動作は、所定のタイミング、例えば、基板Wが印刷部2の保持台21に保持されたタイミングで開始される。 Next, processing operations of the printing apparatus 1 according to the embodiment will be described with reference to FIG. 4. FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of the processing operation of the printing apparatus 1 according to the embodiment. Each process shown in FIG. 4 is executed under control by the control unit 51. Further, the processing operation shown in FIG. 4 is started at a predetermined timing, for example, at the timing when the substrate W is held on the holding table 21 of the printing section 2.

まず、制御部51は、印刷部2を制御して、2つのスキージ23を印刷マスク22の上で順次移動させることにより、印刷マスク22の開口を介して基板WにペーストPを印刷する(ステップS101)。具体的には、制御部51は、第1スキージ23_1及び第2スキージ23_2を印刷マスクの上でこの順番に移動させることにより、基板WにペーストPを印刷する。基板Wに対するペーストPの印刷を終了すると、制御部51は、搬送部3を制御して、印刷部2の保持台21から測定部4の保持台41に基板Wを搬送する。 First, the control unit 51 controls the printing unit 2 to sequentially move the two squeegees 23 on the printing mask 22 to print the paste P on the substrate W through the opening of the printing mask 22 (step S101). Specifically, the control unit 51 prints the paste P on the substrate W by moving the first squeegee 23_1 and the second squeegee 23_2 over the printing mask in this order. When printing of the paste P on the substrate W is finished, the control section 51 controls the transport section 3 to transport the substrate W from the holding table 21 of the printing section 2 to the holding table 41 of the measuring section 4 .

次に、制御部51は、測定部4を制御して、基板Wに印刷されたペーストPの膜厚を測定する(ステップS102)。 Next, the control unit 51 controls the measurement unit 4 to measure the film thickness of the paste P printed on the substrate W (step S102).

次に、制御部51は、測定部4による測定膜厚を用いて印圧制御量テーブルを参照し、測定部4による測定膜厚と所定の目標値βとの差分αに対応する印圧制御量ΔPを決定する(ステップS103)。そして、制御部51は、決定した印圧制御量ΔPを第2スキージ23_2の印圧の現在値に加算して加算印圧を算出する(ステップS104)。 Next, the control unit 51 refers to the printing pressure control amount table using the film thickness measured by the measurement unit 4, and controls the printing pressure corresponding to the difference α between the film thickness measured by the measurement unit 4 and the predetermined target value β. The amount ΔP is determined (step S103). Then, the control unit 51 calculates an additional printing pressure by adding the determined printing pressure control amount ΔP to the current value of the printing pressure of the second squeegee 23_2 (step S104).

次に、制御部51は、加算印圧が所定の上限値を上回るか否かを判定する(ステップS105)。加算印圧が所定の上限値を上回らない場合(ステップS105;No)、制御部51は、加算印圧が所定の下限値を下回るか否かを判定する(ステップS106)。 Next, the control unit 51 determines whether the added printing pressure exceeds a predetermined upper limit value (step S105). If the added printing pressure does not exceed the predetermined upper limit (step S105; No), the control unit 51 determines whether the added printing pressure is less than the predetermined lower limit (step S106).

加算印圧が所定の下限値を下回らない場合(ステップS106;No)、制御部51は、ステップS103で決定した印圧制御量ΔPで第2昇降機構24_2を制御することにより、第2スキージ23_2の印圧を制御する(ステップS107)。 If the additional printing pressure does not fall below the predetermined lower limit value (step S106; No), the control unit 51 controls the second elevating mechanism 24_2 with the printing pressure control amount ΔP determined in step S103, thereby increasing the second squeegee 23_2. The printing pressure is controlled (step S107).

一方、加算印圧が所定の上限値を上回る場合(ステップS105;Yes)又は所定の下限値を下回る場合(ステップS106;Yes)、制御部51は、アラートを通知する(ステップS108)。 On the other hand, if the additional printing pressure exceeds the predetermined upper limit (step S105; Yes) or falls below the predetermined lower limit (step S106; Yes), the control unit 51 notifies an alert (step S108).

ステップS107,S108の処理を終了したとき、制御部51は、図示しない搬送部を制御して、測定部4の保持台41から印刷装置1の外部に基板Wを搬出し(ステップS109)、処理を完了する。 When the processes in steps S107 and S108 are completed, the control unit 51 controls the transport unit (not shown) to carry out the substrate W from the holding table 41 of the measurement unit 4 to the outside of the printing apparatus 1 (step S109), and carries out the process. complete.

なお、制御部51は、図4に示す処理動作を行う間、第1昇降機構24_1を制御して、2つのスキージ23のうち第1スキージ23_1の印圧が第2スキージ23_2の印圧よりも低い一定値となるように第1スキージ23_1の印圧を制御してもよい。 Note that while performing the processing operation shown in FIG. 4, the control unit 51 controls the first lifting mechanism 24_1 so that the printing pressure of the first squeegee 23_1 of the two squeegees 23 is higher than the printing pressure of the second squeegee 23_2. The printing pressure of the first squeegee 23_1 may be controlled to a low constant value.

(その他の変形例)
上記実施形態では、測定部4による膜厚の測定結果に基づき、第2スキージ23_2の印圧を制御する場合を例に説明したが、印圧以外の他の印刷パラメータが制御されてもよい。例えば、制御部51は、測定部4による膜厚の測定結果に基づき、第2スキージ23_2の移動速度又は角度を制御してもよい。また、例えば、制御部51は、測定部4による膜厚の測定結果に基づき、第2スキージ23_2の印圧、移動速度及び角度の少なくとも一つを制御してもよい。
(Other variations)
In the embodiment described above, the case where the printing pressure of the second squeegee 23_2 is controlled based on the measurement result of the film thickness by the measurement unit 4 has been described as an example, but other printing parameters other than the printing pressure may be controlled. For example, the control unit 51 may control the moving speed or angle of the second squeegee 23_2 based on the measurement result of the film thickness by the measurement unit 4. Further, for example, the control unit 51 may control at least one of the printing pressure, moving speed, and angle of the second squeegee 23_2 based on the measurement result of the film thickness by the measurement unit 4.

以上のように、実施形態に係る印刷装置(例えば、印刷装置1)は、印刷部(例えば、印刷部2)と、測定部(例えば、測定部4)と、制御部(例えば、制御部51)とを有する。印刷部は、2つのスキージ(例えば、第1スキージ23_1及び第2スキージ23_2)を印刷マスク(例えば、印刷マスク22)の上で順次移動させることにより、印刷マスクの開口を介して被印刷物(例えば、基板W)にペーストを印刷する。測定部は、印刷されたペーストの膜厚を測定する。制御部は、各部を制御する。制御部は、測定部による膜厚の測定結果に基づいて、2つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージ(例えば、第2スキージ23_2)の印圧を制御する。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、2つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる。 As described above, the printing device (for example, the printing device 1) according to the embodiment includes a printing section (for example, the printing section 2), a measuring section (for example, the measuring section 4), and a control section (for example, the control section 51). ). The printing section sequentially moves two squeegees (for example, the first squeegee 23_1 and the second squeegee 23_2) over the printing mask (for example, the printing mask 22), thereby applying the printing material (for example, , print the paste on the substrate W). The measurement unit measures the film thickness of the printed paste. The control section controls each section. The control unit controls the printing pressure of one of the two squeegees that moves last (for example, the second squeegee 23_2) based on the measurement result of the film thickness by the measurement unit. Thereby, according to the printing apparatus according to the embodiment, in printing using two squeegees, it is possible to maintain print quality while suppressing damage to the surface of the printing material.

また、実施形態に係る印刷装置は、膜厚の所定の目標値(例えば、目標値β)からの差分(例えば、差分α)ごとに印圧の制御量(例えば、印圧制御量ΔP)を対応付けて記憶する制御量テーブル(例えば、印圧制御量テーブル)を記憶する記憶部(例えば、記憶部52)をさらに有してもよい。制御部は、制御量テーブルを参照して、測定部によって測定された膜厚と目標値との差分に対応する制御量で一方のスキージの印圧を制御してもよい。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、複雑な演算を行うことなくペーストの膜厚を目標値に迅速に近づけることができる。 Further, the printing apparatus according to the embodiment calculates a printing pressure control amount (for example, printing pressure control amount ΔP) for each difference (for example, difference α) from a predetermined target value (for example, target value β) of the film thickness. It may further include a storage section (for example, the storage section 52) that stores a control amount table (for example, a printing pressure control amount table) that is stored in association with each other. The control section may refer to the control amount table and control the printing pressure of one of the squeegees with a control amount corresponding to the difference between the film thickness measured by the measurement section and the target value. Thereby, according to the printing apparatus according to the embodiment, the film thickness of the paste can be quickly brought close to the target value without performing complicated calculations.

また、制御部は、測定部によって測定された膜厚と目標値との差分に対応する制御量を現在の一方のスキージの印圧に加算した加算印圧を算出し、加算印圧が所定の上限値を上回る場合又は所定の下限値を下回る場合、アラートを通知してもよい。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、一方のスキージの印圧が許容範囲から逸脱したことに伴う印刷装置の不具合を事前に報知することができる。 In addition, the control unit calculates an additional printing pressure by adding a control amount corresponding to the difference between the film thickness measured by the measurement unit and the target value to the current printing pressure of one of the squeegee, and calculates the additional printing pressure until the added printing pressure reaches a predetermined value. An alert may be notified if the value exceeds the upper limit or falls below a predetermined lower limit. Thereby, according to the printing apparatus according to the embodiment, it is possible to notify in advance of a malfunction of the printing apparatus due to the printing pressure of one squeegee deviating from the allowable range.

また、制御部は、2つのスキージのうち最初に移動する他方のスキージ(例えば、第1スキージ23_1)の印圧が一方のスキージの印圧よりも低い一定値となるように他方のスキージの印圧を制御してもよい。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、2つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる。 The control unit also controls the marking of the other squeegee so that the printing pressure of the other squeegee that moves first (for example, the first squeegee 23_1) is a constant value lower than the printing pressure of one squeegee. The pressure may also be controlled. Thereby, according to the printing apparatus according to the embodiment, in printing using two squeegees, it is possible to maintain print quality while suppressing damage to the surface of the printing material.

1 印刷装置
2 印刷部
3 搬送部
4 測定部
5 制御装置
21 保持台
22 印刷マスク
23_1 第1スキージ
23_2 第2スキージ
23 スキージ
24_1 第1昇降機構
24_2 第2昇降機構
24 昇降機構
24a ロッド
25 移動プレート
31 基板搬送装置
41 保持台
42 膜厚センサ
51 制御部
52 記憶部
W 基板
1 Printing device 2 Printing section 3 Transport section 4 Measuring section 5 Control device 21 Holding table 22 Printing mask 23_1 First squeegee 23_2 Second squeegee 23 Squeegee 24_1 First elevating mechanism 24_2 Second elevating mechanism 24 Elevating mechanism 24a Rod 25 Moving plate 31 Substrate transport device 41 Holding table 42 Film thickness sensor 51 Control section 52 Storage section W Substrate

Claims (5)

2つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、前記印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する印刷部と、
印刷された前記ペーストの膜厚を測定する測定部と、
各部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
前記測定部による前記膜厚の測定結果に基づいて、前記2つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する制御部と
を有することを特徴とする印刷装置。
a printing unit that prints paste onto a substrate through an opening in the printing mask by sequentially moving two squeegees over the printing mask;
a measuring unit that measures the film thickness of the printed paste;
It has a control unit that controls each part, and
The control unit includes:
and a control section that controls the printing pressure of one of the two squeegees that moves last based on the measurement result of the film thickness by the measurement section.
前記膜厚の所定の目標値からの差分ごとに前記印圧の制御量を対応付けて記憶する制御量テーブルを記憶する記憶部をさらに有し、
前記制御部は、
前記制御量テーブルを参照して、前記測定部によって測定された前記膜厚と前記目標値との差分に対応する前記制御量で前記一方のスキージの印圧を制御する
ことを特徴とする請求項1に記載の印刷装置。
further comprising a storage unit that stores a control amount table that stores a control amount of the printing pressure in association with each difference from a predetermined target value of the film thickness;
The control unit includes:
The printing pressure of the one squeegee is controlled by the control amount corresponding to the difference between the film thickness measured by the measurement unit and the target value with reference to the control amount table. 1. The printing device according to 1.
前記制御部は、
前記測定部によって測定された前記膜厚と前記目標値との差分に対応する前記制御量を現在の前記一方のスキージの印圧に加算した加算印圧を算出し、前記加算印圧が所定の上限値を上回る場合又は所定の下限値を下回る場合、アラートを通知する
ことを特徴とする請求項2に記載の印刷装置。
The control unit includes:
An additional printing pressure is calculated by adding the control amount corresponding to the difference between the film thickness measured by the measurement unit and the target value to the current printing pressure of one of the squeegee, and the added printing pressure is set to a predetermined value. The printing apparatus according to claim 2, wherein an alert is notified when the value exceeds an upper limit value or falls below a predetermined lower limit value.
前記制御部は、
前記2つのスキージのうち最初に移動する他方のスキージの印圧が前記一方のスキージの印圧よりも低い一定値となるように前記他方のスキージの印圧を制御する
ことを特徴とする請求項1に記載の印刷装置。
The control unit includes:
A claim characterized in that the printing pressure of the other squeegee is controlled so that the printing pressure of the other squeegee that moves first among the two squeegees is a constant value lower than the printing pressure of the one squeegee. 1. The printing device according to 1.
2つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、前記印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷し、
印刷された前記ペーストの膜厚を測定し、
前記膜厚の測定結果に基づいて、前記2つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する
工程を含むことを特徴とする印刷方法。
printing paste onto the substrate through the openings in the printing mask by sequentially moving two squeegees over the printing mask;
Measuring the film thickness of the printed paste,
A printing method comprising the step of controlling the printing pressure of one of the two squeegees that moves last based on the film thickness measurement result.
JP2022125810A 2022-08-05 2022-08-05 Printer and printing method Pending JP2024022316A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022125810A JP2024022316A (en) 2022-08-05 2022-08-05 Printer and printing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022125810A JP2024022316A (en) 2022-08-05 2022-08-05 Printer and printing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2024022316A true JP2024022316A (en) 2024-02-16

Family

ID=89855032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022125810A Pending JP2024022316A (en) 2022-08-05 2022-08-05 Printer and printing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2024022316A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7836824B2 (en) Method and apparatus for screen printing
US20230166430A1 (en) Imprint apparatus, method of manufacturing article, planarized layer forming apparatus, information processing apparatus, and determination method
JP5172007B1 (en) Printing method and printing apparatus
JP6622500B2 (en) Transport device
JP2007320207A (en) Screen printing method and screen printing apparatus
JP6869279B2 (en) Substrate processing equipment and substrate processing method
JPWO2015019447A1 (en) Electronic component mounting machine and transfer confirmation method
KR20200107804A (en) Method of controlling imprint apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article
JP2024022316A (en) Printer and printing method
JP6913248B2 (en) Printing equipment
US11633912B2 (en) Additive manufacturing apparatuses with movable roll supports and controller for cutting edge of sheet member
JP2018010942A (en) Imprint device and manufacturing method of article
US11413814B2 (en) Method of manufacturing product and additive manufacturing apparatus
JP2010064425A (en) Screen-printing method
JP6513229B2 (en) Printing device, substrate position adjustment method
JP2010234714A (en) Printer and method for printing
JP6236073B2 (en) Inspection device, inspection method, and control device
CN110814340A (en) Additive manufacturing apparatus and method for manufacturing three-dimensionally shaped object
KR101814329B1 (en) Exposure apparatus for LDI
US10414153B2 (en) Transfer apparatus and transfer method
JP2018158498A (en) Blade pressing force adjustment method in printer, printing method and printer
JP2020138360A (en) Mask printer, viscous fluid printing method
JP2011143549A (en) Screen printing machine and method of detecting foreign matter in screen printing machine
JP2019181708A (en) Screen printing method and screen printing device
JP2015208727A (en) Coating processing device, cleaning processing method, program and computer storage medium