JP2024002791A - 送液システム - Google Patents

Abstract

【課題】フィルター装置を挟んで接続された２台のタンク間における送液に際して気泡の発生を抑制し、送液路の残液を低減することができる送液システムを提供する。【解決手段】調製タンク２と、貯留タンク３と、送液路４と、フィルター装置５と、調製タンク２及び貯留タンク３に貯留された液体に付与する圧力を調整可能な第１圧力調整手段６及び第２圧力調整手段７と、を備え、第１圧力調整手段６及び第２圧力調整手段７は、調製タンク２に付与する圧力及び貯留タンク３に付与する圧力を大気圧よりも高くし、調製タンク２の圧力から貯留タンク３の圧力を引いた差圧を制御して調製タンク２から貯留タンク３へ液体を送液させる。【選択図】図２

Description

本発明は、タンクから別のタンクへ液体を送液する際に、液体に気泡が生じることを抑制し、送液路の残液を低減することができる送液システムに関する。

飲料や液状の医薬品等を処理するプラントにおいては、調製タンクにおいて医薬品等の液体製品が調合され、空気により調製タンクから貯留タンクに液体製品を圧送している。（特許文献１参照）。

液体製品を圧送する際には、液体製品に気泡を発生させず、また、途中の配管に残留しないようにすることが求められている。このような気泡の抑制及び残液の回収は、液体製品を圧送する際の圧力を適宜制御することにより行われている。

しかしながら、プラントの構成によって様々な形状、形態のタンクや送液路があり、それら全てに適用できるような、気泡の発生を抑制し、残液を回収できる圧力値というものは存在しない。すなわち、個別の形状・形態のプラントに応じて適宜圧力値を定めているのが現状である。

特許文献１に開示されるように、上流側のタンクに所定圧力の空気を注入し、送液路の途中から分岐した大気への連通路にバルブを設け、当該バルブの開度を調整することにより行うことが一般的である。つまり、送液や残液の回収を行うための圧力調整の手段は、大気圧を基準にして上流側のタンクに与える圧力を調整するという選択肢しかなく、圧力調整を困難にしている一因である。

特開２０１０－２３８６６号公報

本発明は、上記事情に鑑み、タンク間における送液に際して気泡の発生を抑制し、送液路の残液を低減するために柔軟に送液時の圧力調整を行うことができる送液システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、第１タンクと、第２タンクと、前記第１タンクと前記第２タンクを接続する送液路と、前記送液路に設けられたフィルター装置と、前記第１タンク及び前記第２タンクに気体を供給して前記第１タンク及び前記第２タンクに貯留された液体に付与する圧力を調整可能な圧力調整手段と、を備え、前記圧力調整手段は、前記第１タンクに付与する第１タンク内圧力から前記第２タンクに付与する第２タンク内圧力を引いた差圧を制御して前記第１タンクから前記第２タンクへ液体を送液させることを特徴とする送液システムにある。

本発明によれば、タンク間における送液に際して気泡の発生を抑制し、送液路の残液を低減するために柔軟に送液時の圧力調整を行うことができる送液システムが提供される。

実施形態１に係る送液システムの概略構成を示す図である。 初期送液工程を説明する図である。 送液工程を説明する図である。 初期送液工程及び送液工程における差圧について説明する図である。 初期送液工程及び送液工程における差圧について説明する図である。 残液処理工程について説明する図である。 残液処理工程について説明する図である。 実施形態２に係る送液システムの概略構成を示す図である。 実施形態３に係る送液システムの概略構成を示す図である。 実施形態３に係る送液システムの概略構成を示す図である。

以下、本発明に係る送液システムの実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１は送液システムの概略構成を示す図である。送液システム１は、液体の一例として液状の医薬品（以下、薬液）を製造するプラントの一部である。送液システム１は、調製タンク２、貯留タンク３、送液路４、フィルター装置５、第１圧力調整手段６、第２圧力調整手段７、及び送液システム１の送液処理を制御するプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）などの制御装置（図示せず）を備えている。

調製タンク２は、薬液を調製するタンクであり、請求項に記載の第１タンクに相当する。特に図示しないが、調製タンク２は、製造する薬液の原料が投入される投入口が設けられている。また、調製タンク２の底部には薬液を排出する排出口が設けられている。当該排出口には送液路４が接続されている。送液路４には調製タンク２の排出口近傍に開閉弁が設けられており、当該開閉弁は制御装置の制御信号により開閉可能となっている。

調製タンク２には、第１圧力調整手段６により気体が内部に供給されるようになっている。また、調製タンク２には、内部に供給された気体の圧力を測定する圧力計（図示せず）が取り付けられている。この圧力計による測定値は制御装置により参照される。

貯留タンク３は、調製タンク２から送液路４を経由して圧送された薬液を貯留するタンクであり、請求項に記載の第２タンクに相当する。貯留タンク３は、底部近傍に送液路４が接続されている。また、貯留タンク３の底部には薬液を排出する排出口が設けられている。当該排出口には排出路８が接続されている。排出路８には貯留タンク３の出口近傍に開閉弁が設けられており、当該開閉弁は制御装置の制御信号により開閉可能となっている。

貯留タンク３には、第２圧力調整手段７により気体が内部に供給されるようになっている。また、貯留タンク３には、内部に供給された気体の圧力を測定する圧力計（図示せず）が取り付けられている。この圧力計による測定値は制御装置により参照される。

送液路４は、調製タンク２と貯留タンク３とを接続する配管から構成され、薬液の流路を形成している。また、送液路４の途中にはフィルター装置５が設けられている。送液路４を構成する配管の本数や形状に特に限定はないが、本実施形態では、送液路４ａ－送液路４ｈから構成されている。

送液路４ａは、調製タンク２の排出口に接続され下方に向けて延びる配管である。
送液路４ｂは、送液路４ａに接続され水平方向に向けて延びる配管である。
送液路４ｃは、送液路４ｂに接続され上方に向けて延びる配管である。
送液路４ｄは、送液路４ｃに接続され水平方向に向けて延び、フィルター装置５の一次側に接続する配管である。
送液路４ｅは、フィルター装置５の二次側に接続され、水平方向に向けて延びる配管である。
送液路４ｆは、送液路４ｅに接続され下方に向けて延びる配管である。
送液路４ｇは、送液路４ｆに接続され水平方向に向けて延びる配管である。
送液路４ｈは、送液路４ｇに接続され上方に向けて延び、貯留タンク３の底部に接続する配管である。
なお、水平方向とは厳密に水平で有る場合のみならず水平方向に傾斜していてもよい。上方、下方についても厳密に鉛直方向に沿っている場合のみならず鉛直方向に対して傾斜していてもよい。

フィルター装置５は、薬液をフィルターで濾過する装置である。フィルターには特に限定はなく目的に応じてナノフィルター膜、精密フィルター膜、限外ろ過膜など公知のものを適用できる。また、フィルター装置５はいわゆる全量濾過方式（デッドエンド）であり、一次側に調製タンク２、二次側に貯留タンク３が送液路４を介して接続される。

第１圧力調整手段６は、調製タンク２の内部に気体を供給し、又は調製タンク２の内部の気体を外部へ排出することで、調製タンク２の内部の圧力を調整する装置群である。具体的には気体（例えば空気や窒素ガス）を取り込んで所望の圧力に調整するレギュレータ、レギュレータから調製タンク２へ気体を送るための配管群、調製タンク２の上部に設けられたベントバルブなどから構成される。これらのレギュレータやベントバルブは制御装置により制御可能となっている。

第２圧力調整手段７は、貯留タンク３の内部に気体を供給し、又は貯留タンク３の内部の気体を外部へ排出することで、貯留タンク３の内部の圧力を調整する装置群である。具体的な装置構成は第１圧力調整手段６と同様である。なお、第１圧力調整手段６、第２圧力調整手段７及びこれらを制御する制御装置は、請求項に記載の圧力調整手段に相当する。

制御装置は、第１圧力調整手段６を制御することで、調製タンク２の内部の圧力を設定値に調整することが可能となっている。具体的には、制御装置は、調製タンク２の圧力計より得られた圧力の現在値が目標値となるように、レギュレータに気体を圧縮させ、その気体を調製タンク２に供給させることで調製タンク２の内部を与圧するか、又は、ベントバルブの開度を調整することで調製タンク２の内部を減圧する。制御装置は、貯留タンク３の圧力計より得られた圧力の現在値が目標値になるように、第１圧力調整手段６と同様に第２圧力調整手段７を制御する。

ここで、上述した構成の送液システム１において、調製タンク２にて調製した薬液を貯留タンク３に圧送する動作について説明する。圧送動作の前に、送液路４及び貯留タンク３は定置洗浄（ＣＩＰ）、定置滅菌（ＳＩＰ）され、調製タンク２にて薬液が調整されたとする。圧送動作は、初期送液工程、送液工程、残液処理工程からなる。

［初期送液工程］
図２を用いて初期送液について説明する。制御装置は、調製タンク２の排出口近傍の開閉弁を開き、調製タンク２から送液路４に薬液を排出させる。このとき、第１圧力調整手段６及び第２圧力調整手段７により調製タンク２及び貯留タンク３に圧力を付与する必要はなく、大気圧と同等とする。この結果、薬液は調製タンク２の液面と同等になるまで送液路４ｃの途中（液面Ｌ）まで達する。

このような状態は、次のように検出することができる。まず、試験的に、調製タンク２の排出口を開放してから、送液路４ｃの液面と、調製タンク２の液面とが等しくなったことを目視で確認できるまでに要する時間を予め計測しておき、その時間（時間Ａと称する）を制御装置に記憶させておく。制御装置は、調製タンク２から貯留タンク３に薬液を圧送する動作を開始するとき、調製タンク２の排出口を開放するとともに排出口の開放時点からの経過時間を計測する。その経過時間が時間Ａに到達したことをもって、送液路４ｃの液面と調製タンク２の液面とが等しくなったことを検出することができる。

［送液工程］
図３を用いて送液工程について説明する。制御装置は、第１圧力調整手段６及び第２圧力調整手段７を制御して、調製タンク２及び貯留タンク３に圧力を付与する。調製タンク２に付与する圧力である第１タンク内圧力を圧力Ｐ１、貯留タンク３に付与する圧力である第２タンク内圧力を圧力Ｐ２とする。圧力Ｐ１から圧力Ｐ２を引いた圧力差を差圧と称し、送液工程では差圧Δ１と称する。

制御装置は、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２を何れも大気圧よりも高くし、差圧Δ１が正となるように、第１圧力調整手段６及び第２圧力調整手段７を制御する。すなわち、調製タンク２の内部の圧力を貯留タンク３の内部の圧力よりも高くする。このように差圧Δ１が生じるように調製タンク２及び貯留タンク３に圧力を付与することで、送液路４ａ－送液路４ｈを介して薬液を貯留タンク３に供給することができる。

差圧Δ１は、送液工程の間において一定でもよいし、可変でもよい。好ましくは、差圧Δ１を連続的に大きくすることが望ましい。これにより、気泡の発生をより確実に抑えることができる。

［残液処理工程］
図４を用いて残液処理工程について説明する。送液工程が進むと調製タンク２の薬液が空となる。調製タンク２の薬液が空になってからの送液を残液処理工程と称し、残液処理工程での差圧をΔ２と称する。残液処理工程においても、Ｐ１、Ｐ２は何れも大気圧以上とし、差圧Δ２を正とする。

送液路４ａ－送液路４ｂに残留した薬液が送液路４ｃを上り、送液路４ｄに到達するように差圧Δ２が設定されている。制御装置はその差圧Δ２となるよう第１圧力調整手段６及び第２圧力調整手段７を制御する。送液路４ｃは比較的小口径であることが望ましい。このような残液処理工程により、調製タンク２から送液路４ｄまでが空になり、送液路４ｅ以降に薬液が残留している状態となる。

送液路４ａ－送液路４ｄに薬液がなくなった状態、すなわちフィルター装置５よりも下流側に薬液が残留している状態では、差圧Δ２をさらに大きくする。具体的には送液工程の差圧Δ１よりも大きくする。差圧Δ２を徐々に大きくすることで、残液をより早く送液することができる。図５に示すように、このように差圧Δ２を掛けることで、送液路４ｅ－送液路４ｈまでの残液を貯留タンク３に回収することができる。なお、差圧Δ２は、一定でもよいし、徐々に大きくしてもよい。

残液処理工程の終了後は、貯留タンク３と送液路４ｈとの間の開閉弁を閉じ、貯留タンク３の圧力を開放する。例えば、第２圧力調整手段７に貯留タンク３の内部の圧力を大気圧又は負圧にする。このように貯留タンク３の内部を脱圧することで、薬液中に気泡が含まれていたとしても、その気泡を消滅させることができる。このようにして脱圧したのち、制御装置は貯留タンク３と排出路８との間の開閉弁を開け、貯留タンク３から下流の充填機等に薬液を送液する。

以上に説明した送液システム１は、調製タンク２及び貯留タンク３のそれぞれに大気圧より高い圧力を付与し、差圧を設定することで調製タンク２から貯留タンク３へ送液する。すなわち、圧力調整の対象は調製タンク２と貯留タンク３の２つである。これにより、上流側の調製タンク２に対してのみ圧力調整する場合と比較して、気泡を抑制又は残液を回収するための圧力設定を柔軟に行うことができる。

また、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２は常に大気圧より大きくしている。これにより、タンク間や送液路の無菌状態が破壊されること（無菌ブレイク）のリスクを低減することができる。

図６を用いて、圧力設定のうち差圧を増加させる場合について説明する。横軸は時間であり、縦軸は圧力である。図６（ａ）、図６（ｂ）に示すように、圧力Ｐ１、圧力Ｐ２は何れも大気圧よりも高く、圧力Ｐ１が圧力Ｐ２よりも大きい。

例えば、Ｔ０で送液を開始して、Ｔ１で液体がフィルター装置５に到達したとする。液体がフィルター装置５を透過した後、Ｔ２までの間に差圧を増加させるとする。このとき、同じ差圧ΔＰに設定するとしても、図６（ａ）に示すように下流側の貯留タンク３の圧力Ｐ２を減少させることもできれば、図６（ｂ）に示すように上流側の調製タンク２の圧力Ｐ１を増加させることもできる。

図６（ａ）及び図６（ｂ）の差圧ΔＰが同じであれば、両者の結果は同じであるようにも思われるが、例えば、下流側の貯留タンク３の圧力を減少させた場合の方が、フィルター装置５を透過した薬液に気泡が生じにくいという知見がある。これは、フィルター装置５の上流側を加圧するか、下流側を減圧するかという相違が影響していると考えられる。このような気泡の抑制作用は、プラントの構成によって異なり、上流側の調製タンク２の圧力を増大させた場合の方が、フィルター装置５を透過した薬液に気泡が生じにくいということもあり得る。

いずれにせよ、様々なプラント構成に応じて圧力Ｐ１の増加、又は圧力Ｐ２の減少という２つの選択肢を適宜選択して差圧ΔＰを増加させることで、送液時の気泡の発生を抑制することができる。

また、気泡の抑制の場合に限らず、残液の送液時における圧力についても同様のことが言える。例えば、残液を回収するために差圧ΔＰを増加させる場合、下流側の貯留タンク３の圧力を減少させた場合の方が、調製タンク２の圧力を増加させる場合と比べてフィルター装置５の一次側から二次側へと速やかに回収できることがあるし、逆の場合もある。

いずれにせよ、様々なプラント構成に応じて圧力Ｐ１の増加、又は圧力Ｐ２の減少という２つの選択肢を適宜選択して差圧ΔＰを増加させることで、残液の回収を好適に行うことができる。

なお、図６（ｃ）に示すように、従来では、Ｔ１の後に差圧ΔＰを増加させるにしても、上流の調製タンク２の圧力Ｐ１のみが制御対象である。したがって、下流側の貯留タンク３の圧力を増加又は減少させることによる気泡の抑制効果を期待できない。

図７を用いて、圧力設定のうち差圧を減少させる場合について説明する。図７のグラフの見方は図６と同様である。

例えば、Ｔ０で送液を開始して、Ｔ１で液体がフィルター装置５に到達したとする。液体がフィルター装置５を透過した後、Ｔ２までの間に差圧を減少させるとする。このとき、同じ差圧ΔＰに設定するとしても、図７（ａ）に示すように下流側の貯留タンク３の圧力Ｐ２を増加させることもできれば、図７（ｂ）に示すように上流側の調製タンク２の圧力Ｐ１を減少させることもできる。

図７（ａ）及び図７（ｂ）の差圧ΔＰが同じ差圧ΔＰであれば、両者の結果は同じであるようにも思われるが、例えば、下流側の貯留タンク３の圧力を増加させた場合の方が、フィルター装置５を透過した薬液に気泡が生じにくいという知見がある。これは、フィルター装置５の上流側を減圧するか、下流側を加圧するかという相違が影響していると考えられる。このような気泡の抑制作用は、プラントの構成によって異なり、上流側の調製タンク２の圧力を減少させた場合の方が、フィルター装置５を透過した薬液に気泡が生じにくいということもあり得る。

いずれにせよ、様々なプラント構成に応じて圧力Ｐ１の減少、又は圧力Ｐ２の増加という２つの選択肢を適宜選択して差圧ΔＰを減少させることで、送液時の気泡の発生を抑制することができる。

なお、図７（ｃ）に示すように、従来では、Ｔ１の後に差圧ΔＰを減少させるにしても、上流の調製タンク２の圧力Ｐ１のみが制御対象である。したがって、下流側の貯留タンク３の圧力を増加又は減少させることによる気泡の抑制効果を期待できない。

さらに、図６及び図７に示したように、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差圧ΔＰを用いるので、大気圧の変動による影響を受けにくい。従来は、大気圧を基準とする圧力Ｐ１を用いることから大気圧の変動による影響を受けやすい。このようなことから、本発明の送液システムは、気泡の発生を抑制し、残液を回収するための圧力値の制御をより精度よく行うことができる。

また、大気圧は、標高によって異なる。したがって、従来では、標高に応じた大気圧を元に圧力Ｐ１の調製を行わなければならない。一方、本発明では差圧を用いることから、標高の相違による大気圧の相違を意識することなく圧力調整を行うことができる。これにより、気泡の発生を抑制し、残液を回収することができる圧力調整を行うように一度設定した送液システムを、標高の異なる様々な場所で展開してそのまま適用することができる。

また、残液処理工程の後、貯留タンク３の圧力を大気圧又は負圧に脱圧する。これにより、貯留タンク３の薬液に残存している気泡を除去することができる。

〈実施形態２〉
図８を用いて、本発明の実施形態２に係る送液システム１について説明する。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

送液システム１は、送液路４の一部分に退避管９が設けられている。ここでは送液路４ｅに退避管９が設けられている。退避管９は、送液路４に対して上方に延びるように設けられ、少量の薬液が貯留できる程度の閉空間を有している。退避管９の形状や容積に限定はない。また、送液工程では満液にならないように退避管９の容積を設定しておくことが好ましい。

送液工程においては、薬液の一部が送液路４から退避管９に流入する。退避管９は送液路４ｅよりも上方に延びているので、薬液に含まれる気泡が退避管９の空間部分に抜け、薬液中の気泡を消失させることができる。

なお、退避管９は、送液路４に設ける位置に限定はない。また、設ける本数は一本に限らず複数箇所に設けてもよい。

〈実施形態３〉
図９及び図１０を用いて、本発明の実施形態３に係る送液システム１について説明する。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図９に示すように、送液システム１は、フィルター装置５の二次側と貯留タンク３とを接続する送液路４ｉを備えている。送液路４ｉは閉塞チューブで構成されている。閉塞チューブとは、薬液が流通していない状態では流路が閉塞され、薬液が流通している状態では流路が開放する管状部材である。送液工程において薬液が送液路４ｉに到達するまで送液路４ｉは閉塞している。このような閉塞チューブは、ゴム系・樹脂系・金属系の材料から形成されたものを用いることができる。例えばシリコン、テフロン（登録商標）、ナイロンを材料とした閉塞チューブを用いることができる。

図１０に示すように、薬液が圧送されることで送液路４ｉに薬液が流れ込み、送液路４ｉが開放される。差圧Δ１は、少なくとも薬液によって送液路４ｉが開放される程度の圧力としておく。このようにして送液路４ｉが開放されるので、薬液を貯留タンク３まで送液することができる。なお、特に図示しないが、薬液の送液を終えて送液路４ｉが空になると、元の閉塞した状態に戻る。

実施形態１では送液路４ｆは、閉塞チューブではない通常の配管であり、下り配管である。そのような送液路４ｆでは空気を巻き込んで気泡が発生する虞があるので、差圧Δ１を増加させないよう一定圧を維持して、送液路４ｆの側面を沿うように送液していた。一方、本実施形態の送液路４ｉは当初は閉塞していることから空気を巻き込んで気泡が発生する可能性は極めて低い。したがって本実施形態の送液システム１は、送液路４ｉにおける気泡の発生をより確実に抑制することができる。なお、閉塞チューブは、フィルター装置５の二次側に用いる場合に限定されず、送液路４の全体を閉塞チューブで構成してもよいし、通常の配管からなる送液路４の一部を閉塞チューブとしてもよい。

［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。

例えば、上述の実施形態では、薬液を送液する送液システムを一例として本発明を説明したが、本発明は、薬液以外の液体、例えば、化粧品、飲料、インク等を送液するための装置にも適用することができる。

第１タンクの例として調製タンク２、第２タンクの例として貯留タンク３を説明したが、これらに限定されず、液体を貯留することができるタンク（容器）であれば特に用途は限定されない。

また、図６及び図７に、差圧ΔＰを増減させる際には、圧力Ｐ１又は圧力Ｐ２の何れか一方を増減させる例を示したが、これに限定されない。差圧ΔＰを増減させるために圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２の双方を増減させてもよい。

圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２は、何れも大気圧より大きく設定したがこれに限定されない。すなわち、圧力Ｐ１又は／及び圧力Ｐ２は大気圧と同等または負圧でもよい。

圧力Ｐ１は常に大気圧より大きくてもよいし、常に大気圧以下であってもよい。圧力Ｐ２についても同様である。さらには、圧力Ｐ１は、当初は大気圧より大きいがその後に大気圧以下としてもよいし、または当初は大気圧以下であるがその後に大気圧より大きくしてもよい。圧力Ｐ２についても同様である。いずれにせよ、圧力Ｐ１が圧力Ｐ２よりも大きい、すなわち差圧が正であれば、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２はそれぞれ陽圧、大気圧、負圧のいずれでもよい。

１…送液システム、２…調製タンク（第１タンク）、３…貯留タンク（第２タンク）、４…送液路、４ｃ…送液路、４ｆ…送液路、５…フィルター装置、６…第１圧力調整手段、７…第２圧力調整手段、９…退避管

上記課題を解決する本発明の態様は、第１タンクと、第２タンクと、前記第１タンクと前記第２タンクを接続する送液路と、前記送液路に設けられたフィルター装置と、前記第１タンクに気体を供給して前記第１タンクに貯留された液体に付与する第１タンク内圧力を調整可能な第１圧力調整手段と、前記第２タンクに気体を供給して前記第２タンクに貯留された液体に付与する第２タンク内圧力を調整可能な第２圧力調整手段と、を備え、前記第１圧力調整手段及び前記第２圧力調整手段は、前記第１タンク内圧力及び前記第２タンク内圧力を大気圧よりも高くし、前記第１タンク内圧力から前記第２タンク内圧力を引いた差圧を制御して前記第１タンクから前記第２タンクへ液体を送液させることを特徴とする送液システムにある。

Claims (7)

1. 第１タンクと、
   第２タンクと、
   前記第１タンクと前記第２タンクを接続する送液路と、
   前記送液路に設けられたフィルター装置と、
   前記第１タンク及び前記第２タンクに気体を供給して前記第１タンク及び前記第２タンクに貯留された液体に付与する圧力を調整可能な圧力調整手段と、を備え、
   前記圧力調整手段は、
   前記第１タンクに付与する第１タンク内圧力から前記第２タンクに付与する第２タンク内圧力を引いた差圧を制御して前記第１タンクから前記第２タンクへ液体を送液させる
   ことを特徴とする送液システム。
2. 請求項１に記載の送液システムであって、
   前記第１タンク内圧力及び前記第２タンク内圧力を大気圧よりも高くする
   ことを特徴とする送液システム。
3. 請求項１に記載の送液システムであって、
   前記圧力調整手段は、前記差圧を増加させる際には、前記第１タンク内圧力を増加させ、及び／又は前記第２タンク内圧力を減少させる
   ことを特徴とする送液システム。
4. 請求項１に記載の送液システムであって、
   前記圧力調整手段は、前記差圧を減少させる際には、前記第１タンク内圧力を減少させ、及び／又は前記第２タンク内圧力を増加させる
   ことを特徴とする送液システム。
5. 請求項１に記載の送液システムであって、
   前記圧力調整手段は、前記第１タンクから液体が前記第２タンクに送液された後に前記第２タンクの圧力を脱圧する
   ことを特徴とする送液システム。
6. 請求項１に記載の送液システムであって、
   前記送液路の水平方向に延びる一部分から上方に延び、薬液が貯留される閉空間を有する退避管を備える
   ことを特徴とする送液システム。
7. 請求項１に記載の送液システムであって、
   前記送液路の少なくとも一部は、液体が流通していない状態では流路が閉塞され、液体が流通している状態では流路が開放する管状部材である
   ことを特徴とする送液システム。

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