JP2023552914A - 一次荷電粒子ビーム電流の測定 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態によると、電流測定モジュールは、検出ユニット160を含む。一次荷電粒子ビーム123を供給する荷電粒子ビーム装置は、試料位置280、例えば試料支持体284の近傍にファラデーカップを含むことができる。このようなファラデーカップは、典型的には、作業領域、例えば、測定領域、または一次荷電粒子ビーム123の邪魔にならないように出し入れされなければならない。
実施形態によると、ビームダンプ140が提供される。実施形態によると、ビームダンプ140は、導電性表面142を含む。実施形態によると、二次粒子および/または後方散乱粒子127は、ビームダンプ140の導電性表面142への一次荷電粒子ビーム123の衝突時に放出される。
実施形態によると、検出ユニット160が提供される。実施形態によると、検出ユニット160は、二次粒子および/または後方散乱粒子127を検出するように構成されている。実施形態によると、検出ユニット160は、シンチレータ、例えば、シンチレーション素子264と、導光体266と、光検出器268とを含む。一例では、光検出器268は、光電子増倍管である。
実施形態によると、電流決定ユニット272を提供することができる。実施形態によると、電流決定ユニット272は、検出ユニット160、例えば光検出器268と通信することができる。実施形態によると、電流決定ユニット272は、検出ユニット160、例えば光検出器268から信号を受信するように構成されてもよい。実施形態によると、電流決定ユニット272は、検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子127の大きさを示す信号を受信するように構成されてもよい。
実施形態によると、検出ユニット160の校正を提供することができる。実施形態によると、電流決定ユニット272は、電位計と通信することができる。実施形態によると、電位計は、一次荷電粒子ビーム123の電流を測定するように構成することができる。実施形態によると、電位計は、ファラデーカップに接続されてもよい。実施形態によると、ファラデーカップは、一次荷電粒子ビーム123が衝突可能であるように構成することができる。
実施形態によると、荷電粒子ビーム装置200が提供される。実施形態によると、一次荷電粒子ビーム123を放出する荷電粒子源221が提供される。実施形態によると、荷電粒子ビーム装置200は、軸線225を有する。実施形態によると、一次荷電粒子ビーム123は、軸線225に沿って誘導される。
実施形態によると、ビーム誘導モジュール232が提供される。実施形態によると、ビーム誘導モジュール232は、一次荷電粒子ビーム123を少なくともビームダンプ140に偏向させるよう構成されている。例えば、ビーム誘導モジュール232は、一次荷電粒子ビーム123をビームダンプ140内に偏向させるよう構成されている。
実施形態によると、一次荷電粒子ビームの電流を測定する方法は、動作400に示すように、二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子を検出するステップを含む。実施形態によると、二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子は、荷電粒子ビーム装置のビームダンプの導電性表面への一次荷電粒子ビームの衝突時に放出される。
Claims (15)
- 荷電粒子ビーム装置の一次荷電粒子ビーム(123)の電流を測定するための電流測定モジュール(100)であって、
前記荷電粒子ビーム装置のビームダンプ(140)の導電性表面(142)への前記一次荷電粒子ビーム(123)の衝突時に放出される二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子(127)を検出するように構成された検出ユニット(160)
を備える、電流測定モジュール(100)。 - 前記検出ユニット(160)が前記ビームダンプ(140)内に配置されたシンチレーション素子(264)を備える、請求項1に記載の電流測定モジュール(100)。
- 前記検出ユニット(160)が前記シンチレーション素子(264)によって生成された光子を光検出器(268)に誘導するように構成された導光体(266)を備える、請求項2に記載の電流測定モジュール(100)。
- 前記導光体(266)が前記一次荷電粒子ビーム(123)から離れるように前記光子を誘導するように構成されている、請求項3に記載の電流測定モジュール(100)。
- 前記検出ユニット(160)が、電流決定ユニット(272)と通信し、前記電流決定ユニット(272)に信号を提供するように構成され、前記信号が前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子(127)に基づいており、前記信号が前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子(127)の大きさ、ならびに前記一次荷電粒子ビーム(123)の前記電流の大きさのうちの少なくとも1つを示す、請求項1~4のいずれか1項に記載の電流測定モジュール(100)。
- 前記ビームダンプ(140)の前記導電性表面(142)が、前記ビームダンプ(140)の前記導電性表面(142)に対して45度未満または30度未満の角度で前記一次荷電粒子ビーム(142)が衝突するように配置されている、請求項1~5のいずれか1項に記載の電流測定モジュール(100)。
- 荷電粒子ビーム装置(200)であって、
請求項1~6のいずれか1項に記載の電流測定モジュール(100)と、
前記一次荷電粒子ビーム(123)を前記ビームダンプ(140)および試料位置(280)に個別に偏向させるように構成されたビーム誘導モジュール(232)と、
を備える、荷電粒子ビーム装置(200)。 - 荷電粒子ビーム装置の一次荷電粒子ビームの電流を測定する方法であって、
前記荷電粒子ビーム装置のビームダンプの導電性表面への前記一次荷電粒子ビームの衝突時に放出される二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子を検出するステップ(400)
を含む、方法。 - 前記一次荷電粒子ビームを前記荷電粒子ビーム装置の前記ビームダンプの前記導電性表面に偏向させるステップ(510)
をさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 前記一次荷電粒子ビームが、前記ビームダンプ(140)の前記導電性表面(142)に対して45度未満または30度未満の角度で前記荷電粒子ビーム装置の前記ビームダンプの前記導電性表面に偏向される(510)、請求項9に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビーム装置の前記ビームダンプの前記導電性表面への前記一次荷電粒子ビームの衝突時に放出される二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子を検出するステップ(400)が、
前記放出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子を光子に変換するステップ(520)、
前記放出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子から変換された光子を前記一次荷電粒子ビームから離れるように誘導するステップ(530)、ならびに
前記放出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子から導出された光子を、前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子の大きさを示す値を有する電気信号に変換するステップ(540)
のうちの少なくとも1つを含む、請求項8~10のいずれか1項に記載の方法。 - 前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子の大きさに基づいて、前記一次荷電粒子ビームの前記電流を示す値を決定するステップ(550)
をさらに含む、請求項8~11のいずれか1項に記載の方法。 - 前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子に基づいて調整を行うステップ(560)
をさらに含む、請求項8~12のいずれか1項に記載の方法。 - 前記調整を行うステップ(560)が、
二次荷電粒子信号のグレーレベルを調整するステップ、
前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子の変化とは反対の方向に二次荷電粒子信号のグレーレベルを変化させるステップ、
前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子の変化に比例して二次荷電粒子信号のグレーレベルを変化させるステップ、
前記一次荷電粒子ビームの前記電流を調整するステップ、ならびに
前記一次荷電粒子ビームの前記電流を示す値に基づいて調整するステップであって、前記一次荷電粒子ビームの前記電流を示す前記値が前記検出された二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子に基づいて決定される、ステップ
のうちの少なくとも1つを含む、
請求項8~13のいずれか1項に記載の方法。 - 前記荷電粒子ビーム装置の前記ビームダンプの前記導電性表面への前記一次荷電粒子ビームの衝突時に放出される前記二次荷電粒子および/または後方散乱荷電粒子が、前記一次荷電粒子ビームがブランキングされる期間中に、および/または前記一次荷電粒子ビームが試料位置以外の位置に衝突する時間中に検出される(400)、請求項8~14のいずれか1項に記載の方法。
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