JP2023517572A - 従量式同軸バルブブロック - Google Patents
従量式同軸バルブブロック Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023517572A JP2023517572A JP2022554300A JP2022554300A JP2023517572A JP 2023517572 A JP2023517572 A JP 2023517572A JP 2022554300 A JP2022554300 A JP 2022554300A JP 2022554300 A JP2022554300 A JP 2022554300A JP 2023517572 A JP2023517572 A JP 2023517572A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- fluid communication
- housing
- conduit
- cylindrical recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 76
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 54
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 173
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 153
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N tetrakis(dimethylamido)titanium Chemical compound CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 206010053487 Exposure to toxic agent Diseases 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/10—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit
- F16K11/20—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit operated by separate actuating members
- F16K11/205—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit operated by separate actuating members with two handles at right angles to each other
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
- External Artificial Organs (AREA)
Abstract
【課題】化学コンテナ用の小型バルブブロックの提供。【解決手段】同軸のバルブブロックは、3つのバルブ制御機構を収容することができるハウジングを有し、したがって、追加の外部管路、バルブ、及び同軸インジェクターの必要なく、迅速で効果的なパージが可能となる。この利点は、バルブブロックの内側の湿った表面積の量を大いに低減して装置をパージするのにかかる時間の大幅な低減をもたらし、したがって、化学コンテナを交換するための時間をより早くすることが可能となる。【選択図】図4
Description
関連出願の相互参照
本特許出願は、2020年3月9日に出願された米国仮出願第62/987,128号、及び2020年7月23日に出願された米国仮出願第63/055,869号に対する優先権を請求する。
本特許出願は、2020年3月9日に出願された米国仮出願第62/987,128号、及び2020年7月23日に出願された米国仮出願第63/055,869号に対する優先権を請求する。
発明の背景
半導体製造産業では、継続的に、純粋な化学物質を半導体ツールの要求に応じて供給することができる、様々な種類の化学物質及びプロセスが要求される。これらの要求は、化学物質輸送装置内の化学コンテナの定期的かつ安全な交換プロセスを必要とする。
半導体製造産業では、継続的に、純粋な化学物質を半導体ツールの要求に応じて供給することができる、様々な種類の化学物質及びプロセスが要求される。これらの要求は、化学物質輸送装置内の化学コンテナの定期的かつ安全な交換プロセスを必要とする。
大きな配管、及び設計内のデッドレグの存在は、これらの化学コンテナを安全に交換するのに要求されるパージ時間を増加させ、一方でパージ効率を低下させる。デッドレグとは、パージガスが効果的に達することができず、したがって、化学コンテナの交換及び装置補修中のパージ効率及び装置の安全性を低下させる化学物質輸送装置設計の部分を指す。
化学物質輸送装置設計のこれらの短所は、テトラキス(ジメチルアミド)チタン(TDMAT)などのより低い蒸気圧及び高い純度を有する化学物質の存在によって増幅される。この種の化学物質は、米国特許第5,964,230号、及び米国特許第6,138,691号において開示される溶媒化学物質の使用により歴史的にパージされる。
以下に説明するように、低容量ブロックバルブの使用により、溶媒パージの必要がなくなり、代わりに、高圧、高速のパージガス及び内部同軸ラインを用いることが可能となる。真空引き及びパージガス排気の使用もブロックバルブ設計に含まれる。この低容量ブロックバルブは、パージ可能な配管設計内の任意のデッドレグを事実上なくし、化学コンテナ交換中の改善されたパージ効率を可能にする。
発明の概要
1つの側面において、本開示に開示されるのは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第二の部分(152)は、折り曲げ部分(162)を介して管路を通してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と、を有するハウジング(114)を含むバルブブロックである。
1つの側面において、本開示に開示されるのは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第二の部分(152)は、折り曲げ部分(162)を介して管路を通してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と、を有するハウジング(114)を含むバルブブロックである。
別の側面において、本開示に開示されるのは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)に位置する第一のバルブ制御機構と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)に位置する第二のバルブ制御機構と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第一の部分(150)は、折り曲げ部分(162)を介してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と;傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング(114)を含むバルブブロックを含む装置である。
さらに別の側面において、本開示に開示されるのは、バルブブロックが流体フロー工程を経た後に、バルブブロックにおいてパージ工程を実施する方法であって、バルブブロックは、コンテナと流体連通しており、バルブブロックは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)に位置する第一のバルブ制御機構と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)に位置する第二のバルブ制御機構と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第一の部分(150)は、折り曲げ部分(162)を介してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通しており、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)は、パージガス源(159)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と;傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング(114)を含み;方法は、コンテナを交換する工程と;第二のバルブ制御機構を係合させ、第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)の表面(132)における第一の開口部(134)を閉じ、かつ第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)の表面(132)における第二の開口部(136)を隔離する工程と;第一のバルブ制御機構の係合を解除して、第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第一の開口部(122)を開き、かつ第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第二の開口部(124)を開く工程と;第三のバルブ制御機構の係合を解除して、傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第一の開口部(174)を開き、かつ傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第二の開口部(176)を開く工程と;パージガスが、傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第二の開口部(176)を通り、次いで、傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第一の開口部(174)を通って流れ、同軸の管路の内部の同軸の部分(183)を出て、同軸の管路の外部の同軸の部分(185)へ後退し、第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第一の開口部(122)を通って第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第二の開口部(124)へ流れ込み、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口(178)に至るように、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)を通して高圧のパージガスを流す工程と、を含む、方法である。
本発明の実施態様は、単独で又は互いに組み合わせて用いることができる。
発明の詳細な説明
以下の詳細な説明は、単に、好ましい例示的な実施態様を提供し、本発明の範囲、適用可能性、又は構成を制限することは意図されない。むしろ、好ましい例示的な実施態様の以下の詳細な説明は、当業者に、本発明の好ましい例示的な実施態様の実施を可能にする説明を提供する。添付の請求項で記載される本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更が要素の機能及び配置において行なわれてもよい。
以下の詳細な説明は、単に、好ましい例示的な実施態様を提供し、本発明の範囲、適用可能性、又は構成を制限することは意図されない。むしろ、好ましい例示的な実施態様の以下の詳細な説明は、当業者に、本発明の好ましい例示的な実施態様の実施を可能にする説明を提供する。添付の請求項で記載される本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更が要素の機能及び配置において行なわれてもよい。
本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「高速パージ」は、毎分100リットル又はそれより大きい速度で輸送されるパージガスを用いるパージ工程を意味する。
本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「管路」は、装置の2つ又はそれより多くの構成要素間で流体を輸送できる1つ又はそれより多くの構造を指す。例えば、管路としては、装置の全体にわたって変化する圧力において液体及び/又はガスを輸送するパイプ、ダクト、マニホールド、及びこれらの組み合わせを挙げることができる。
本明細書の及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「流体連通」は、液体及び/又はガスを制御された方法で構成要素間を輸送することを可能にする2つ又はそれより多くの構成要素間の接続の性質を指す。2つ又はそれより多くの構成要素を、それらが互いに流体連通しているように連結することは、フランジ付き管路、ガスケット、及び/又はボルトの使用など、当分野において既知の任意の適切な方法を含むことができる。
本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「同軸」又は「同軸の」は、外部チューブの内側に内部チューブが同心状に位置するチューブの配置を指す。
本発明を記載する文脈において(特に以下の特許請求の範囲の文脈において)、「1つの(a)」及び「1つの(an)」及び「その(the)」という用語並びに同様の指示語の使用は、本開示で別段の指摘がないか又は文脈によって明確に否定されない限り、単数及び複数の両方を包含すると解されるべきである。「含む(comprising)」、「有する(having)」、「含む(including)」及び「含有する(containing)」という用語は、特に断りのない限り、オープンエンドの用語(すなわち、「含むが、制限されない」ことを意味する)として解されるべきである。本開示における値の範囲の記載は、本開示で別段の示唆がない限り、範囲内に含まれる各々の別個の値を個々に言及することの省略方法として機能することが意図されるに過ぎず、各々の別個の値は、それが本開示で個々に列挙されたかのように本明細書中に組み込まれる。本開示に記載の全ての方法は、本開示で別段の示唆がないか又は文脈によって明確に否定されない限り、任意の適切な順序で実施することができる。本開示で提供される任意の及び全ての例又は例示的な語(例えば「等(such as)」)の使用は、本発明をより明らかにすることを意図したものに過ぎず、特許請求の範囲に別段の記載がない限り、本発明の範囲に関する限定を与えるものではない。本明細書中の如何なる言語も、本発明の実施に必須であるように、特許請求の範囲に記載されていない任意の要素を示すものとして解釈されるべきではない。明細書及び特許請求の範囲における「含む(comprising)」という用語の使用は、「本質的にこれからなる(consisting essentially of)」、及び「これからなる(consisting of)」のより狭い語を包含する。
本開示に記載の実施態様は、本発明の実施について本発明者が知っている最も良好な方法を含む。これらの好ましい実施態様の変形は、前述の記載を読んだ当業者に明らかになるであろう。本発明者らは、当業者がそのような変形を適切に採用することを期待し、本発明者らは本開示に具体的に記載された以外の方法で本発明を実施することを意図する。したがって、本発明は、適用法によって許容されるように、本開示に添付の特許請求の範囲に記載の主題のすべての修正形態および均等物を含む。さらに、そのすべての可能な変形形態における上記の要素の任意の組み合わせは、本開示中に別段の示唆がないか、文脈によって明確に否定されない限り、本発明に包含される。
本明細書で使用される場合、「約」は、述べられた値の±5%に相当することが意図される。
本開示に開示されるのは、化学コンテナ及びマニホールドの間、又は1組のマニホールドの間で接続されたすべての湿った表面を乾燥させるためのパージ効率を改善するために用いることができる改善されたバルブブロック設計及びそのための装置である。改善されたバルブブロック設計は、装置内のすべての湿った表面をパージするのに必要な時間を十分に低減するために用いることができる複数の特徴を含む。バルブブロック設計は、デッドレグをなくし、または最小限のデッドレグのみを導入し、かつ任意の最小限のデッドレグに十分に衝撃を与える。さらに、それは、ベント経路の長さの著しい減少、ひいては、液体化学物質で湿らされた管路の表面積の全量の著しい減少を可能にする。
本開示に開示されるバルブブロックは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第二の部分(152)は、折り曲げ部分(162)を介して管路を通してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)を含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と、を有するハウジング(114)を含む。
本開示に開示される実施態様に係るバルブブロックは、単一のバルブブロック又はハウジングの中に位置する三つ組のバルブを有する(バルブシートのうちの2つは、(例えば直方体の形状であるハウジングの隣接表面上で)互いに対して90度の差で配向され、一方で3つ目は、別の側面に独立して位置する)ことにより、これらの改善を達成する。ホストコンテナにバルブブロックが接続された装置において用いられる場合、三つ組のバルブの存在により、パージ工程中にすべてのデッドレグが十分に衝突されることが保証され、それによって、より効率的なパージプロセスが可能となる。具体的には、パージガスが装置に入る管路は、コンテナと流体連通しているポート開口部と同軸で並ぶ。このポート開口部はパージプロセス中に閉じているため、前記ポート開口部が閉じている場合、このポート開口部に対して同軸で位置する最小限のデッドレグは、パージガスによって十分に衝突される。したがって、より少ないパージガスを用いることができ、パージプロセスをより迅速に行うことができ、省エネルギーを実現することができる。これは、バルブシートがコンテナ開口部からさらに遠い既知の先行技術の装置(図1及び2を参照)とは対照的である。加えて、単一のバルブブロックにおいてバルブを配置することにより、液体(ベント)経路を非常に短く保つことができ、それによって、湿らされ、したがって乾燥されなければならない管路表面積の量が大幅に低減される。これは、比較できる程にはるかに長い乾燥されなければならない液体(ベント)経路を有する既知の先行技術の装置(図2を参照)とは対照的である。
図1は、バルブ38と流体連通している管路40と流体連通している溶媒源66を含む、先行技術の装置10の視覚表示である。バルブ38は、接続部16を介して管路17と流体連通しており、それは、曲げ部26を介して管路15と流体連通している。管路15は、同軸インジェクター36の内部の同軸の部分と流体連通しており、管路29を介してコンテナ30と流体連通している。
流体フロー出口60は、バルブ68と流体連通している管路59と流体連通している。バルブ68は、接続部46を介して管路47と流体連通している。管路47は、同軸インジェクター36の外部の同軸の部分と流体連通しており、管路29を介してコンテナ30と流体連通している。
図2は、曲げ部92を介してバルブ84と流体連通している管路97と流体連通しているパージ源101を含む、先行技術の装置70の視覚表示である。バルブ84は、管路79と流体連通しており、同軸インジェクター88の内部の同軸の部分と流体連通しており、管路89を介してコンテナ90と流体連通している。
流体フロー出口98は、接続部83を介してバルブ72と流体連通している管路74と流体連通している。バルブ72は、アクチュエーター99、100を介して、個々のポート接続部82、83を制御するために二重作動される。この作動中に、アクチュエーター99が開いており、100が閉じられていることにより、接続部75への流体連通が可能となり、管路93と流体連通している。管路93は、同軸インジェクター88の外部の同軸の部分と流体連通しており、管路89を介してコンテナ90と流体連通している。
ベント96は、接続部82を介してバルブ72と流体連通している管路95と流体連通している。バルブ72は、アクチュエーター99、100を介して、個々のポート接続部82、83を制御するために二重作動される。この作動中に、アクチュエーター100が開いており、99が閉じられていることにより、接続部75への流体連通が可能となり、管路93と流体連通している。管路93は、同軸インジェクター88の外部の同軸の部分と流体連通しており、管路89を介してコンテナ90と流体連通している。
先行技術の図3に示されるバルブブロックは、米国特許第10,663,072号に開示され、それは参照によって本開示に組み込まれる。先行技術の図3に示されるバルブブロックは、この発明に係る改善されたバルブブロック112を含むホストコンテナマニホールド装置110に対する補給マニホールドであり、ここで詳細に記載される。
この発明に係るバルブブロック112は、形状がほぼ直方体であるハウジング114を含むが、他のハウジング形状が本発明の範囲内で可能であり、例として、略立方体、球形、若しくは卵形、又は不規則形状が挙げられる。この実施態様において、ハウジング114は、円筒状のくぼみ118を含むバルブシート117を含む第一の側面116を含む。円筒状のくぼみ118は、開口部122、124が終端する表面120と、第一の側面116と対向する第二の側面126とを含む。円筒状のくぼみ118は、バルブ制御機構(図示せず)の配置をそこに収容する。バルブ制御機構は、開口部122と完全に係合可能なダイアフラムを介して開口部122の選択的な開閉を可能にする。
開口部122は、T字接続部146に流体連通して接続される管路部分144に流体連通して接続される。T字接続部146は、第一の部分150及び第二の部分152を含む管路部分148にも流体連通して接続される。バルブブロック112は、円筒状のくぼみ130を含むバルブシート129を含む第三の側面128をさらに含む。円筒状のくぼみ130は、開口部134、136が終端する表面132と、第三の側面128と対向する第四の側面138と、第五の側面140と、第五の側面140と対向する第六の側面142とを含む。円筒状のくぼみ130は、第二のバルブ制御機構(図示せず)の配置をそこに収容する。第二のバルブ制御機構は、開口部134と完全に係合可能なダイアフラムを介して開口部134を選択的に開閉するために用いられる。開口部134は、管路部分148の第一の部分150と流体連通しており、開口部136は、管路部分160と流体連通している。この実施態様において、バルブ制御機構のアタッチメントを収容するバルブシート117、129の円筒状のくぼみ118、130は、ハウジング114の隣接する側面(すなわち、第一の側面116及び第三の側面128)に位置し、開口部134、154は軸方向に並んでいる、すなわち、開口部134、154の中心点は、(管路部分148の体積の中心を通って引くことができる線を介して)同じ軸線に沿って並んでいる。
管路部分148の第二の部分152は、バルブブロック112の第四の側面138に位置する開口部154と流体連通しており、開口部154は、接続部156を介して補給マニホールド158及びパージガス源159の両方と流体連通している。管路部分160は、曲げ部162を介して管路部分164と流体連通しており、管路部分164は、ハウジング114の第二の側面126に位置する開口部166と流体連通している。開口部166は、接続部168を介してコンテナ170と流体連通している。円筒状のくぼみ118の表面120に位置する開口部124は、曲げ部174を介して管路部分176と流体連通している管路部分172と流体連通している。管路部分176は、ハウジング114の第五の側面140に位置する開口部178と流体連通しており、開口部178は、接続部180を介してベント182と流体連通している。この実施態様において、T字接続部146及び曲げ部162、174は、それぞれの接続された管路部分を90度の角度で配向させる。代替の実施態様において、T字接続部146及び/又は曲げ部162、174は、それぞれの接続された管路部分を90度の角度で配向させる必要はないが、代わりに、それぞれの接続された管路部分を30~135度の任意の角度で配向させることができることを理解されたい。
しかし、米国特許第10,663,072号に開示されるバルブブロックは、2つのアクチュエーターによって制御される3つのポートを通して液体又はガスを移動させるだけであるという欠点を依然として抱えている。一方で、本発明は、3つの個々のアクチュエーターによって制御された4つのポートを通して液体又はガスを移動させることができる。先進的なポート制御に加えて、本発明は、バルブブロック内の同軸管の使用によって、パージガスをコンテナ接続部、流体フロー経路、及びベントに直接供給することができる。バルブの同軸部分の内側のより小さいチューブは、パージガスの圧力をより高い圧力へと集中させ、バルブブロックのより迅速なパージを可能にする。本開示は米国特許第10,663,072号に開示されたものを基礎とする。
ここで、図4~10を参照して、本発明に係る改善されたバルブブロック112を含むホストコンテナマニホールド装置110に対するパージマニホールドが、ここで詳細に記載される。
本発明に係るバルブブロック112は、多面物体であるハウジング114を含むが、本発明の範囲内で他のハウジング形状が可能であり、例として、略立方体、球形、矩形、卵形又は他の不規則形状が挙げられる。この実施態様において、ハウジング114は、円筒状のくぼみ118を含むバルブシート117を含む第一の側面116を含む。円筒状のくぼみ118は、開口部122、124が終端する表面120と、第一の側面116と対向する第二の側面126とを含む。円筒状のくぼみ118は、バルブ制御機構(図示せず)の配置をそこに収容する。バルブ制御機構は、開口部122と完全に係合可能なダイアフラムを介して開口部122の選択的な開閉を可能にする。
開口部122は、T字接続部146に流体連通して接続された管路部分144に流体連通して接続される。T字接続部146は、第一の部分150及び第二の部分152を含む管路部分148にも流体連通して接続される。バルブブロック112は、円筒状のくぼみ130を含むバルブシート129を含む第三の側面128をさらに含む。円筒状のくぼみ130は、開口部134、136が終端する表面132と、第三の側面128と対向する第四の側面138と、第五の側面140と、第五の側面140と対向する第六の側面142とを含む。円筒状のくぼみ130は、第二のバルブ制御機構(図示せず)の配置をそこに収容する。第二のバルブ制御機構は、例えばダイアフラムを用いて、開口部134を選択的に開閉するために用いられる。開口部134は、管路部分148の第一の部分150と流体連通しており、開口部136は、管路部分198と流体連通している。管路部分198は、ハウジング114の第四の側面138に位置する開口部204と流体連通しており、開口部204は、接続部200を介して流体フロー出口202と流体連通している。この実施態様において、バルブ制御機構のアタッチメントを収容するバルブシート117、129の円筒状のくぼみ118、130は、図2の先行技術の実施態様において示されるようなバルブブロックのハウジングの対向する側面の代わりに、隣接して(すなわち、第一の側面116及び第三の側面128)位置する。
管路部分148は、曲げ部162を介して管路部分164と流体連通しており、管路部分164は、ハウジング114の第五の側面140に位置する開口部166と流体連通している。開口部166は、縮小管路189を介して面シールフィッティング187と流体連通しており、かつ、開口部208と流体連通している同軸の管路部分185と流体連通している。開口部208は、接続部168を介してコンテナ170と流体連通している。円筒状のくぼみ118の表面120に位置する開口部124は、管路部分172と流体連通している。管路部分172は、ハウジング114の第二の側面126に位置する開口部178と流体連通しており、開口部178は、接続部180を介してベント182と流体連通している。
加えて、バルブブロック112は、円筒状のくぼみ154を含むバルブシート131を含む、傾斜した第七の側面158を含む。円筒状のくぼみ154は、開口部174、176が終端する表面184、第一の側面116と対向する第二の側面126を含む。円筒状のくぼみ154は、第三のバルブ制御機構(図示せず)の配置をそこに収容する。第三のバルブ制御機構は、開口部174を選択的に開閉するために用いられる。開口部174は、管路部分192と流体連通している。管路部分192は、曲げ部196を介して管路部分194と流体連通している。管路部分194は、外部の同軸の管路部分185(外部部分)及び管路部分168と流体連通しており、面シールフィッティング187の内側に位置する内部の同軸の部分183(内部部分)を介してコンテナ170に至る。開口部176は、管路部分186と流体連通している。管路部分186は、曲げ部190を介して管路部分188と流体連通しており、管路部分188は、ハウジング114の第二の側面126に位置する開口部206と流体連通しており、かつ、接続部156を介してパージガス源159と流体連通している。
図4~10の装置110において、通常の流体流れ操作中、円筒状のくぼみ130におけるバルブ制御機構(図示せず)は開いている。これは、流体が、コンテナ170から管路168を通り、開口部208通って管路185へ流れ込むことを可能にする。管路185は、面シール187の外部の同軸の部分であり、それは、開口部166を通り、管路164及び148へ流体が流れ込むことを可能にする。バルブ制御機構(図示せず)が開いていると、流体は、開口部134を通り、開口部136へ流れ込むことができ、したがって、それは、管路198及び200を介して、開口部204から出て、流体フロー出口202に向かうことができる。
コンテナ170が空である場合、交換が必要である。円筒状のくぼみ130(第三の側面)におけるバルブ制御機構(図示せず)は閉じられる。これにより、開口部134が閉じられ、湿った装置が、パージされることが意図される領域から隔離される。円筒状のくぼみ154及び118のバルブ制御機構(図示せず)の両方が開くと、パージサイクルが開始する。パージガス源159は、管路156を介して開口部206を通し、管路188及び186を通してパージガスを供給する。バルブ制御機構(図示せず)が開いていると、流体は、開口部174を通り、開口部176へ流れ込み、したがって、それは、管路192及び196を通って内部の同軸の部分183を出る。コンテナのバルブ制御機構(図示せず)は閉じられ、このパージ工程により、高圧パージガスは、開口部208の接続部から流体分子を強制的に吹き飛ばし、強制的に外部の同軸の管路185へ後退させる。管路185は、面シール187の外部の同軸の部分であり、それは、パージガス及び流体粒子が、開口部166を通り、管路164及び148へ流れ込むことを可能にする。円筒状のくぼみ118のバルブ制御機構(図示せず)が開いていると、パージガス及び流体粒子は、開口部122を通り、開口部124へ流れ込むことができ、したがって、それは、管路172及び180を介して、開口部178を出て、ベント182に向かうことができる。
したがって、本開示に開示されるのは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)に位置する第一のバルブ制御機構と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)に位置する第二のバルブ制御機構と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第一の部分(150)は、折り曲げ部分(162)を介してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と;傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング(114)を含むバルブブロックを含む装置である。
したがって、さらに、本開示に開示されるのは、バルブブロックが流体フロー工程を経た後に、バルブブロックにおいてパージ工程を実施する方法であって、バルブブロックは、コンテナと流体連通しており、バルブブロックは、ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、第二の開口部(124)は、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)に位置する第一のバルブ制御機構と;第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、第一の開口部(134)は、第二の管路(148)の第一の部分(150)と流体連通しており、第二の開口部(136)は、ハウジング(114)の第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)に位置する第二のバルブ制御機構と;第五の側面(140)、及び第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、第二の管路(148)の第一の部分(150)は、折り曲げ部分(162)を介してハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;第一の側面(116)及び第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、第一の開口部(174)は、ハウジング(114)の第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通してハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通しており、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)は、パージガス源(159)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と;傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング(114)を含み;方法は、コンテナを交換する工程と;第二のバルブ制御機構を係合させ、第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)の表面(132)における第一の開口部(134)を閉じ、かつ第三の側面(128)の円筒状のくぼみ(130)の表面(132)における第二の開口部(136)を隔離する工程と;第一のバルブ制御機構の係合を解除して、第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第一の開口部(122)を開き、かつ第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第二の開口部(124)を開く工程と;第三のバルブ制御機構の係合を解除して、傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第一の開口部(174)を開き、かつ傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第二の開口部(176)を開く工程と;パージガスが、傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第二の開口部(176)を通り、次いで、傾斜した第七の側面(158)の円筒状のくぼみ(154)の表面(184)における第一の開口部(174)を通って流れ、同軸の管路の内部の同軸の部分(183)を出て、同軸の管路の外部の同軸の部分(185)へ後退し、第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第一の開口部(122)を通って第一の側面(116)の円筒状のくぼみ(118)の表面(120)における第二の開口部(124)へ流れ込み、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置するベント開口(178)に至るように、ハウジング(114)の第二の側面(126)に位置する開口部(206)を通して高圧のパージガスを流す工程と、を含む、方法である。
図1において示される先行技術の装置10とは異なり、図4の装置110がコンテナを交換する必要がある場合に、それは危険な溶媒源を用いる必要はない。高圧パージガスの使用は、同じタスクを達成することであり、装置中で危険な化学暴露の変化を低減し、危険薬品を処分する廃液流を低減する。
さらに、図2に示される先行技術の装置70とは異なり、図4~10の装置110は、追加の管路、バルブ及び別の同軸のインジェクターを要求しない。図4~10の装置110は、これらの個別の構成要素をすべてとり、それらを1つの小さいバルブブロックへ結合する。この利点は、バルブブロックの内部の湿った表面の量が大幅に低減されることである。これにより、著しくパージ時間が減少し、コンテナを交換することができる速度が増加する。
加えて、図3において示される先行技術の装置110とは異なり、図4~10の装置110がコンテナ交換を実施する際に、同軸のインジェクター部分187は、高圧パージガスを用いて、バルブブロック112及びコンテナ170の間の接続部を吹き飛ばすことができる。これは、同じバルブが、同じ工程においてガスを排出することを可能にし、缶交換が完了してから、別の工程において流体を運ぶことも可能にする。これは、同軸の高圧パージデバイスをさらに利用しつつ、単一のバルブブロックに3つの別個のバルブ制御機構(図示せず)を組み入れることにより達成される。
Claims (21)
- ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び前記第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、前記第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、前記円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、前記表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、前記第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、前記第二の開口部(124)は、前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;
前記第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び前記第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、前記第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、前記円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、前記表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、前記第一の開口部(134)は、前記第二の管路(148)の前記第一の部分(150)と流体連通しており、前記第二の開口部(136)は、前記ハウジング(114)の前記第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;
第五の側面(140)、及び前記第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、前記第二の管路(148)の前記第二の部分(152)は、折り曲げ部分(162)を介して管路を通して前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;
前記第一の側面(116)及び前記第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、前記傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、前記円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、前記表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、前記第一の開口部(174)は、前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、前記第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通して前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と、
を有する前記ハウジング(114)を含む、バルブブロック。 - 前記ハウジング(114)の前記第四の側面(138)における前記開口部(204)が、接続部(200)を介して流体フロー出口(202)と流体連通している、請求項1に記載のバルブブロック。
- 前記第五の側面(140)上の前記開口部(166)が、縮小管路(189)を介して面シールフィッティング(187)と流体連通しており、かつ、前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する前記開口部(208)と流体連通している同軸の管路(185)と流体連通している、請求項2に記載のバルブブロック。
- 前記第五の側面(140)に位置する前記開口部(208)が、接続部(168)を介してコンテナ(170)と流体連通している、請求項3に記載のバルブブロック。
- 前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する前記開口部(206)が、パージガス源(159)と流体連通している、請求項4に記載のバルブブロック。
- 前記T字接続部が、90°の角度を含む、請求項1に記載のバルブブロック。
- 前記T字接続部が、30°~135°の角度を含む、請求項1に記載のバルブブロック。
- ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び前記第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、前記第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、前記円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、前記表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、前記第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、前記第二の開口部(124)は、前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;
前記第一の側面(116)の前記円筒状のくぼみ(118)に位置する第一のバルブ制御機構と;
前記第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び前記第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、前記第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、前記円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、前記表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、前記第一の開口部(134)は、前記第二の管路(148)の前記第一の部分(150)と流体連通しており、前記第二の開口部(136)は、前記ハウジング(114)の前記第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;
前記第三の側面(128)の前記円筒状のくぼみ(130)に位置する第二のバルブ制御機構と;
第五の側面(140)、及び前記第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、前記第二の管路(148)の前記第一の部分(150)は、折り曲げ部分(162)を介して前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;
前記第一の側面(116)及び前記第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、前記傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、前記円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、前記表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、前記第一の開口部(174)は、前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、前記第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通して前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と;
前記傾斜した第七の側面(158)の前記円筒状のくぼみ(154)に位置する第三のバルブ制御機構と、
を有する前記ハウジング(114)を含むバルブブロックを含む、装置。 - 前記ハウジング(114)の前記第四の側面(138)における前記開口部(204)が、接続部(200)を介して流体フロー出口(202)と流体連通している、請求項8に記載の装置。
- 前記第五の側面(140)上の前記開口部(166)が、縮小管路(189)を介して面シールフィッティング(187)と流体連通しており、かつ、前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する前記開口部(208)と流体連通している同軸の管路(185)と流体連通している、請求項9に記載の装置。
- 前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する前記開口部(208)が、接続部(168)を介してコンテナ(170)と流体連通している、請求項10に記載の装置。
- 前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する前記開口部(206)が、パージガス源(159)と流体連通している、請求項8に記載の装置。
- 前記T字接続部が、90°の角度を含む、請求項8に記載の装置。
- 前記T字接続部が、30°~135°の角度を含む、請求項8に記載の装置。
- バルブブロックが流体フロー工程を経た後に、前記バルブブロックにおいてパージ工程を実施する方法であって、前記バルブブロックは、コンテナと流体連通しており、前記バルブブロックは、
ハウジング(114)が有する第一の側面(116)、及び前記第一の側面(116)と対向する第二の側面(126)であって、前記第一の側面(116)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(118)を含み、前記円筒状のくぼみ(118)は、表面(120)と、前記表面(120)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(122)及び第二の開口部(124)とを含み、前記第一の開口部は、第一の部分(150)及び第二の部分(152)を有する第二の管路(148)と流体連通しているT字接続部(146)と流体連通しており、前記第二の開口部(124)は、前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置するベント開口部(178)と流体連通している、第一の側面(116)、及び第二の側面(126)と;
前記第一の側面(116)の前記円筒状のくぼみ(118)に位置する第一のバルブ制御機構と;
前記第一の側面(116)に隣接している第三の側面(128)、及び前記第三の側面(128)と対向する第四の側面(138)であって、前記第三の側面(128)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(130)を含み、前記円筒状のくぼみ(130)は、表面(132)と、前記表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部(134)及び第二の開口部(136)とを含み、前記第一の開口部(134)は、前記第二の管路(148)の前記第一の部分(150)と流体連通しており、前記第二の開口部(136)は、前記ハウジング(114)の前記第四の側面(138)に位置する開口部(204)と流体連通している、第三の側面(128)、及び第四の側面(138)と;
前記第三の側面(128)の前記円筒状のくぼみ(130)に位置する第二のバルブ制御機構と;
第五の側面(140)、及び前記第五の側面(140)と対向する第六の側面(142)であって、前記第二の管路(148)の前記第一の部分(150)は、折り曲げ部分(162)を介して前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する開口部(166)と流体連通している、第五の側面(140)、及び第六の側面(142)と;
前記第一の側面(116)及び前記第四の側面(138)に隣接している傾斜した第七の側面(158)であって、前記傾斜した第七の側面(158)は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ(154)を含み、前記円筒状のくぼみ(154)は、表面(184)と、前記表面(184)に、各々が管路の終端部である第一の開口部(174)及び第二の開口部(176)とを含み、前記第一の開口部(174)は、前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する曲げ部(196)を介して管路部分(194)を通して開口部(208)と流体連通しており、前記第二の開口部(176)は、曲げ部(190)及び管路部分(188)を介して管路(186)を通して前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する開口部(206)と流体連通しており、前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する前記開口部(206)は、パージガス源(159)と流体連通している、傾斜した第七の側面(158)と;
前記傾斜した第七の側面(158)の前記円筒状のくぼみ(154)に位置する第三のバルブ制御機構と、
を有する前記ハウジング(114)を含み;
前記方法は、
コンテナを交換する工程と;
前記第二のバルブ制御機構を係合させ、前記第三の側面(128)の前記円筒状のくぼみ(130)の前記表面(132)における前記第一の開口部(134)を閉じ、かつ前記第三の側面(128)の前記円筒状のくぼみ(130)の前記表面(132)における前記第二の開口部(136)を隔離する工程と;
前記第一のバルブ制御機構の係合を解除して、前記第一の側面(116)の前記円筒状のくぼみ(118)の前記表面(120)における前記第一の開口部(122)を開き、かつ前記第一の側面(116)の前記円筒状のくぼみ(118)の前記表面(120)における前記第二の開口部(124)を開く工程と;
前記第三のバルブ制御機構の係合を解除して、前記傾斜した第七の側面(158)の前記円筒状のくぼみ(154)の前記表面(184)における前記第一の開口部(174)を開き、かつ前記傾斜した第七の側面(158)の前記円筒状のくぼみ(154)の前記表面(184)における前記第二の開口部(176)を開く工程と;
パージガスが、前記傾斜した第七の側面(158)の前記円筒状のくぼみ(154)の前記表面(184)における前記第二の開口部(176)を通り、次いで、前記傾斜した第七の側面(158)の前記円筒状のくぼみ(154)の前記表面(184)における前記第一の開口部(174)を通って流れ、同軸の管路の内部の同軸の部分(183)を出て、同軸の管路の外部の同軸の部分(185)へ後退し、前記第一の側面(116)の前記円筒状のくぼみ(118)の前記表面(120)における前記第一の開口部(122)を通って前記第一の側面(116)の前記円筒状のくぼみ(118)の前記表面(120)における前記第二の開口部(124)へ流れ込み、前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置するベント開口(178)に至るように、前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する前記開口部(206)を通して高圧のパージガスを流す工程と、
を含む、方法。 - 前記ハウジング(114)の前記第四の側面(138)における前記開口部(204)が、接続部(200)を介して流体フロー出口(202)と流体連通している、請求項15に記載の方法。
- 前記第五の側面(140)上の前記開口部(166)が、縮小管路(189)を介して面シールフィッティング(187)と流体連通しており、かつ、前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する前記開口部(208)と流体連通している前記同軸の管路(185)と流体連通している、請求項16に記載の方法。
- 前記ハウジング(114)の前記第五の側面(140)に位置する前記開口部(208)が、接続部(168)を介してコンテナ(170)と流体連通している、請求項17に記載の方法。
- 前記ハウジング(114)の前記第二の側面(126)に位置する前記開口部(206)が、パージガス源(159)と流体連通している、請求項15に記載の方法。
- 前記T字接続部が、90°の角度を含む、請求項15に記載の方法。
- 前記T字接続部が、30°~135°の角度を含む、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US202062987128P | 2020-03-09 | 2020-03-09 | |
US62/987,128 | 2020-03-09 | ||
US202063055869P | 2020-07-23 | 2020-07-23 | |
US63/055,869 | 2020-07-23 | ||
PCT/US2021/020729 WO2021183346A1 (en) | 2020-03-09 | 2021-03-03 | Limited volume coaxial valve block |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023517572A true JP2023517572A (ja) | 2023-04-26 |
Family
ID=77671928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022554300A Pending JP2023517572A (ja) | 2020-03-09 | 2021-03-03 | 従量式同軸バルブブロック |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP4094002A4 (ja) |
JP (1) | JP2023517572A (ja) |
KR (1) | KR20220150391A (ja) |
CN (1) | CN115244323A (ja) |
TW (1) | TWI773168B (ja) |
WO (1) | WO2021183346A1 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4714091A (en) * | 1985-06-10 | 1987-12-22 | Emcore, Inc. | Modular gas handling apparatus |
EP0619450A1 (en) * | 1993-04-09 | 1994-10-12 | The Boc Group, Inc. | Zero Dead-Leg Gas Cabinet |
US5868155A (en) * | 1996-03-13 | 1999-02-09 | Hutton; Peter B. | Valve manifold system |
JP3650859B2 (ja) * | 1996-06-25 | 2005-05-25 | 忠弘 大見 | 遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置 |
US5964230A (en) | 1997-10-06 | 1999-10-12 | Air Products And Chemicals, Inc. | Solvent purge mechanism |
JP2004186337A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Motoyama Eng Works Ltd | ブロックバルブ並びにモノブロックバルブ及びバルブの洗浄方法 |
JP4686418B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2011-05-25 | シーケーディ株式会社 | 薬液用バルブモジュール、薬液供給回路、薬液用バルブモジュール接続構造、及び薬液用バルブブロック |
US8985152B2 (en) * | 2012-06-15 | 2015-03-24 | Novellus Systems, Inc. | Point of use valve manifold for semiconductor fabrication equipment |
US10663072B2 (en) * | 2014-11-15 | 2020-05-26 | Versum Materials Us, Llc | Valve block having minimal deadleg |
-
2021
- 2021-03-03 WO PCT/US2021/020729 patent/WO2021183346A1/en unknown
- 2021-03-03 KR KR1020227034934A patent/KR20220150391A/ko unknown
- 2021-03-03 EP EP21768068.5A patent/EP4094002A4/en active Pending
- 2021-03-03 CN CN202180019757.3A patent/CN115244323A/zh active Pending
- 2021-03-03 JP JP2022554300A patent/JP2023517572A/ja active Pending
- 2021-03-05 TW TW110107833A patent/TWI773168B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202140158A (zh) | 2021-11-01 |
KR20220150391A (ko) | 2022-11-10 |
WO2021183346A1 (en) | 2021-09-16 |
CN115244323A (zh) | 2022-10-25 |
EP4094002A4 (en) | 2024-01-10 |
EP4094002A1 (en) | 2022-11-30 |
TWI773168B (zh) | 2022-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102129136B1 (ko) | 원자층 증착 및 화학 기상 증착 반응기들에 대한 pou 밸브 매니폴드 | |
EP3218626B1 (en) | Improved valve block having minimal deadleg | |
CN206363989U (zh) | 半导体设备 | |
WO2019200710A1 (zh) | 一种气力输送管道堵塞疏通系统及方法 | |
US7513681B2 (en) | Static mixing device | |
CN103620180A (zh) | 热交换器 | |
JP2023517572A (ja) | 従量式同軸バルブブロック | |
US11976740B2 (en) | Limited volume coaxial valve block | |
JP2016500139A (ja) | 特にガスタービン用のシャットオフロータリーバルブ | |
JPS63501144A (ja) | 反応容器のガス取入れ装置 | |
CN208223907U (zh) | 一种适用于高温高压的气体取样装置 | |
CN108547957B (zh) | 用高压阻隔介质阻断阀门气体物料内漏的双体阀门及方法 | |
US20120180888A1 (en) | High flow service valve | |
RU2407939C2 (ru) | Универсальный корпус клапана | |
US20080087340A1 (en) | Primary/secondary loop purge valve | |
CN207113296U (zh) | 进气管组件 | |
CN219637339U (zh) | 一种进气管路模块 | |
CN201053502Y (zh) | 一种切断阀 | |
CN217056809U (zh) | 一种多通阀、管路结构及蚀刻机 | |
CN219142371U (zh) | 取样装置和气力输送管线 | |
CN216742874U (zh) | 截止阀及其制冷系统 | |
JP2002276834A (ja) | 冷媒配管用ストップ弁及び二重管用ストップ弁 | |
CN117847441A (zh) | 一种模块化真空密封阀组 | |
JP2011141024A (ja) | サイクロン流生成ガスケット、サイクロン流生成継手管およびサイクロン流輸送管路 | |
CN118009788A (zh) | 用于控制工艺气体的温度的控制装置以及具有控制装置的热交换器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20231212 |