JP2023505695A - Slmプロセスのアクティブな雰囲気調節 - Google Patents
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Abstract
本発明は、選択的な粉末溶融の手法にしたがい、層状に構成することにより、粉末状材料(P)から対象物(G)を作製する方法を実施する装置(100)に関し、この装置は、作製対象の対象物(G)を収容するように構成された作製チャンバ(102)と、作製チャンバ(102)に材料粉末(P)を供給するように構成された、粉末ストック容器(212)を備えた粉末供給装置(200)と、作製チャンバ(102)に配置された支持体(106)に、供給された材料粉末(P)の重なり合う層を準備するように構成された粉末層準備装置(104)と、最後に準備された粉末層を照射し、これによって局所的に溶融するように構成された照射装置と、作製チャンバ(102)に存在するシールドガスを循環させるように構成されたシールドガス循環装置と、を有する。本発明によれば、装置(100)はさらに、雰囲気調節動作において、シールドガス循環装置によって循環させられるシールドガスをその温度および/または湿度について雰囲気調節するように構成されている少なくとも1つの雰囲気調節装置を有する。
Description
本発明は、選択的な粉末溶融の手法にしたがい、層状に構成することにより、粉末状材料から対象物を作製する方法を実施する装置に関し、この装置は、作製対象の対象物を収容するように構成された作製チャンバと、作製チャンバに材料粉末を供給するように構成された、粉末ストック容器を備えた粉末供給装置と、作製チャンバに配置された支持体に、供給された材料粉末の重なり合う層を準備するように構成された粉末層準備ユニットと、最後に準備された粉末層を照射してこれによって局所的に溶融するように構成された照射装置と、作製チャンバに存在するシールドガスを循環させるように構成されたシールドガス循環装置と、を有する。
本発明は特に、選択的なレーザ溶融または選択的なレーザ焼成の原理にしたがって成形体を作製する装置に関する。選択的なレーザ溶融の分野に関連する従来技術については、独国特許出願公開第19905067号明細書、独国特許出願公開第10112591号明細書、国際公開第98/24574号、独国特許出願公開第102009038165号明細書、独国特許出願公開第102012221641号明細書、欧州特許出願公開第2052845号明細書、独国特許出願公開第102005014483号明細書、国際公開第2017/084781号を参照されたい。
選択的なレーザ溶融の方法を用いて、成形体、例えば、機械部材、ツール、補綴具、装飾品などが、対応する成形体の幾何学形状仕様データに対応して、金属製またはセラミック製の材料粉末から、層状に形成することによって作製され得ることは公知であり、作製プロセスでは、複数の粉末層が上下に順次に被着され、次の粉末層を被着する前にそれぞれの粉末層は、集束されたレーザビームにより、成形体のモデルの選択された断面領域に対応するあらかじめ定められた領域が加熱され、これにより、材料粉末は、照射された領域において、溶融され、つなげられて硬化させられる部分になる。
この際にレーザビームはそれぞれ、成形体の選択された断面領域の幾何学形状仕様データ、または場合によってはここから導出されるデータに対応して、それぞれの粉末層にガイドされる。
材料粉末は、選択的なレーザ溶融のこのようなプロセスにおいて、一般にバインダーフリーおよびフラックスフリーの、金属製の、セラミック製の、または混合の金属/セラミック製の材料粉末として被着され、レーザビームにより、その溶融温度まで加熱され、レーザビームのエネルギは、一方では、レーザビームが当たる位置において材料粉末が、その層厚全体にわたって可能な限りに完全に溶融するように選択されるが、他方では、粉末の隣接する領域も同様に溶融されてしまうような量の熱が粉末に入ってしまい、これにより、作製プロセスの精度の低下および作製される対象物の壁厚が不所望に大きくなってしまわないように選択される。
レーザビームと材料粉末との間の相互作用のゾーンにわたり、一般に、周囲圧力よりも高い圧力を有する不活性のシールドガス雰囲気、例えば、アルゴン雰囲気が維持され、これにより、材料の酸化、または材料と雰囲気の分子との間の別の不所望の化学反応が排除され、さらに周囲からの空気の侵入が阻止される。これに使用されるシールドガスは、ガス循環プロセスにおいてフィルタリングされ、再び作製チャンバに供給される。
状況によってはさらに、シールドガスまたは材料粉末に残存している残存水分をシールドガス雰囲気から取り除くために、例えば、欧州特許出願公開第2992986号明細書では、純粋に受動的なガス乾燥装置を使用することが提案されており、この装置では、例えば、シールドガス雰囲気を有するガス交換部におけるストック容器にシリカゲルが存在し、公知のようにシールドガスからその水分が除去される。さらに国際公開第2017/220744号では、別のガスシステムを用いて、乾燥ガス流を供給することが提案されており、この乾燥ガス流は、材料粉末の最上位の層からの水分を吸収するために、作製チャンバを通ってガイドされる。
しかしながら明らかになったのは、提案されたこれらの2つの乾燥装置は、これらが、単に受動的に、もしくは制御されずに作用し、したがってシールドガス雰囲気の所定のプロセスパラメータの設定ができない点においてフレキブルでないか、もしくはこれらが、乾燥ガス流を生成するためのコンポーネントを設けることにより、コストが高くかつ構成部材集約的であることである。
さらに同様に明らかになったのは、レーザビームの影響によってつねに行われるシールドガスの加熱は、提案された2つの乾燥装置によっては取り除かれず、したがってさらに作製チャンバにおけるすべてのコンポーネントの熱膨張に結び付いてしまうことがあることである。
シールドガスの湿度および温度の、このように変動するプロセスパラメータは、プロセス安定性および部材品質の低下に結び付いてしまう。というのは、作製チャンバ内の水分は、例えば、作製チャンバの流動性、その成層性およびその分配が低下され、また作製チャンバ内への粉末搬送さえも阻まれ得ることにより、粉末搬送および加工を格段に困難にしてしまうからであり、このことはさらに、凝塊物の形成および雰囲気に残存している水分からの水の分解を引き起こすことがあり、このことは、極端な場合、制御不能な爆発および飛沫粒子、または少なくとも、作製される構成部材のより劣悪な表面品質に結び付いてしまうことがある。
したがって本発明の課題は、選択的な粉末溶融のプロセスを実行する、冒頭に述べた形式の装置を発展させて、作製チャンバに一定の処理条件が行き渡るようにすることができ、これにより、改善された部材品質、および対応する対象物のフローおよび作製において、より高い効率に結び付き得るようにすることである。
この課題を解決するために本発明による装置は、雰囲気調節動作において、ガス循環装置によって循環させられるシールドガスをその温度および/またはその湿度について雰囲気調節するように構成されている少なくとも1つの雰囲気調節装置を有する。これにより、上で述べた従来技術の欠点が解消されるだけでなく、別の機械構成部材、例えば照射装置の光学コンポーネント用に必要な冷却能力の低減、および高温の粉末のより迅速な冷却にも寄与することができ、このことそれ自体により、対象物を作製する際の工程速度を増大することができ、これによって装置の効率を高めることができる。
さらに本発明による装置では、シールドガス循環装置は、作製チャンバに正圧が維持されるように構成されていてよい。一定の正圧を維持することも、生じる部材品質にプラスに作用し得る動作パラメータであり、正圧を設定することにより、特に、周囲からの空気の侵入が阻止される。
本発明によれば、本発明による装置の雰囲気調節装置は、シールドガスを冷却する冷却ユニット、特に熱交換器、さらに、特に逆流熱交換器を含んでいてよく、これにより、雰囲気調節装置の高いエネルギ効率が、その雰囲気調節動作において公知のように達成される。このような逆流熱交換器では、第1冷却段階においてすでに冷却されたシールドガスが、逆流において、新たに供給されて冷却対象のシールドガスに供給され、これにより、2つのガス流間の熱結合が形成される。
シールドガスの温度についても水分含有量についても雰囲気調節を行えるようにするために、冷却ユニットには、シールドガスの冷却によって生じる凝縮体を排出するように構成された凝縮体排出システムが対応付けられていてよい。この際に注意すべきであるのは、凝縮体排出システムが、圧力損失なしに装置から凝縮体を排出できることであるが、これに適した排出システムは、当業者には従来技術から公知である。
さらに、本発明による装置は、溶融しなかった材料粉末を粉末ストック容器に戻す粉末戻し装置であって、粉末供給装置の一部を形成する粉末戻し装置を含んでいてよい。
択一的または付加的には粉末供給装置はさらに、有利には、材料粉末用の少なくとも1つのフィルタ装置を含んでいてよい。本発明による装置はさらに、作製チャンバに残存している材料粉末を吸引するように構成されておりかつこのために循環ポンプを含む粉末吸引装置を含んでいてよく、循環ポンプによって押し流されるシールドガスの流れにより、残存している材料粉末が、分離器、特にサイクロン分離器を通して運ばれる。
雰囲気調節装置の雰囲気調節動作を指示する、例えば、別のプロセスパラメータ、例えば照射時間に基づき、あらかじめ定められるサイクルタイムを有する間欠動作を指示する種々異なる装置が考えられるが、好ましい実施形態では、雰囲気調節装置は、雰囲気調節動作のパラメータを適合させるように構成された制御ユニットを含んでいてよい。この制御ユニットは、対象物の作製のフローの別のプロセスを制御する上位の制御ユニットに統合されるかまたは動作時にデータ交換のためこれに接続されていてよい。
別の好ましい実施形態では、上記の装置は、雰囲気調節装置の制御ユニットに動作時に接続されておりかつ装置の少なくとも1つのプロセスパラメータについてのデータを供給するように構成されている少なくとも1つのセンサユニットを含んでいてよい。センサユニットにより、例えば、シールドガスの温度または湿度が、シールドガス循環装置における適切な箇所で測定されて、対応するデータが制御ユニットに出力されることにより、この少なくとも1つのプロセスパラメータ、またはここから導出される1つまたは複数のプロセスパラメータについての閉制御ループが、形成されてよく、制御ユニットにより、時間について最適化された動作、および対応するプロセスパラメータを実践的に任意に正確に設定することが可能になる。すでに示したように、したがって少なくとも1つのプロセスパラメータには、シールドガスの温度および/または相対湿度もしくは絶対湿度が含まれていてよい。
本発明による装置において少なくとも1つの雰囲気調節装置は、極めて異なる位置に設けられ得るが、この雰囲気調節装置は、例えば、少なくとも部分的に、作製チャンバに、または粉末ストック容器に、またはシールドガス循環装置に属するガス管路に、または粉末循環路に属するガス管路または粉末管路に、または粉末吸引装置に属するガス管路に配置可能であり、これにより、そこに存在するシールドガスが雰囲気調節される。
本発明の別の特徴的構成および利点は、添付の図面に関連して本発明の実施形態を考察すれば、その以下の説明により、さらに一層明らかになろう。
図1~図3にはそれぞれ、本発明による装置の実施形態の概略図が、断面図で示されており、最も一般的に参照符号100が付されている。ここでは、図1~図3においてそれぞれ、異なる循環路が示されているが、これらは同じ装置100に使用され、わかり易くするために図1~図3に分割されている。
装置100には、作製対象の対象物Gを収容する作製チャンバ102が含まれ、対象物Gは、選択的な粉末溶融の手法にしたがい、層状に構成することにより、粉末状材料Pから作製され、作製チャンバ102は、高い圧力を有するシールド雰囲気によって占められている。
対象物Gを作製するために使用される照射装置は、図1~図3ではわかり易くするために示されていないが、作製チャンバ102には、粉末層準備装置104が設けられており、粉末層準備装置104は、作製チャンバ102に配置されている支持体106に、供給される材料粉末Pの順次の層を準備するように構成されている。
この支持体106は、大まかに略示した持ち上げ装置108によって高さ方向に移動可能に作製チャンバ102に収容されており、支持体106は、図1に示した状態では、目下、粉末層準備装置104によって準備される粉末Pが、対象物Gの別の層を形成するための後続の別の照射ステップのための適切なレベルに広がるような高さに保持されている。
図1にはさらに、循環ポンプ112により、矢印Sによって概略的に示されているシールドガス流が押し流されるシールドガス循環装置110が示されている。ここでは、シールドガス循環装置110によって循環させられるシールドガスは、装置100の周囲に対して正圧に保持され、シールドガス循環装置110は、排煙および飛沫粒子を作製チャンバ102から排出し、これらは、循環装置110において循環させられるガスが通過するフィルタ114において受け止めることが可能である。
図示されていない照射装置の動作では、プロセスによって発生する熱が、作製チャンバ102に取り入れられるため、装置100において循環するシールドガスが必然的に加熱され、このことはこの他にも装置100の数多くの別のコンポーネントにも当てはまる。装置100のコンポーネントのこのような加熱は、これらのコンポーネントの熱膨張に結び付くため、これにより、装置100における対象物Gの作製プロセスの精度が影響を受け、このためにさまざまなコンポーネント、例えば、照射装置の個々の部材それ自体を冷却することが従来技術から公知である。さらに、シールドガスまたは材料粉末に残存している水分も同様に、装置100において作製される対象物Gの劣化に結び付き得ることが明らかになっている。
したがって本発明によれば、図1~図3の装置100には、図4に関連してさらに下で説明される少なくとも1つの雰囲気調節装置が含まれており、これらの雰囲気調節装置は、まず図1の装置100において種々異なる位置に、例えば、シールドガス循環装置110において循環ポンプの後方に、すなわちP1で示した位置に、シールドガス循環装置110内のフィルタ114の前の位置P2に、または作製チャンバ102に直接に、すなわち位置P3にも配置可能である。ここでは位置P2よりも位置P1が好ましい。というのは、前に設けられているフィルタにより、位置P1におけるシールドガス流は、冷却動作に対し、雰囲気調節装置に損傷を与え得る不純物をシールドガス流がまだ含み得る位置P2よりも適しているからである。
さらに、雰囲気調節装置には、動作時に少なくとも1つのセンサユニットを対応付けることができ、これらのセンサユニットにより、公知のように、少なくとも1つのプロセスパラメータ、例えば、シールドガスの温度および/または相対湿度もしくは絶対湿度についてのデータが、制御ループの形成を可能にするために、雰囲気調節装置の図示しない制御ユニットに供給される。少なくとも1つのこのセンサユニットも、例えば、装置100内の3つの位置P1~P3の1つに設けられていてもよい。
図2には、同様に装置100の一部を形成する粉末吸引装置120が示されている。この粉末吸引装置120を使用することにより、オペレータは、作製チャンバ102における対象物Gの作製過程の終了後に、そこにまだ残存している、作製プロセスにおいて溶融しなかった材料粉末Pを吸引して粉末ストック容器122に戻すことができる。図2では対象物Gの作製プロセスが実質的に終了していることを明示するために、そこに示された状態では、持ち上げ装置108により、支持体106は上方の当接位置に持ち上げられており、対象物Gは、作製チャンバ102からのその取り出しの準備がなされている。
残存している粉末の吸引過程のために、一方では、作製チャンバ102内に吸引ホース124が設けられており、この吸引ホース124は、オペレータにより、作製チャンバ102の外部から吸引対象の材料粉末Pにガイドされてよく、また他方では、循環ポンプ126が設けられており、この循環ポンプ126は、シールドガスを作製チャンバ102から吸い込み、これにより、材料粉末Pの吸引を生じさせるガス流が形成される。このようにして吸引されかつ矢印Fを追従する材料粉末は、サイクロン分離器128を通してガイドされ、このサイクロン分離器128において材料粉末がガス流から分離されて、粉末ストック容器122において集められる。
粉末吸引装置120には同様にフィルタ130と、図4に関連してさらに下で説明される少なくとも1つの雰囲気調節装置とが対応付けられていてよく、したがってこれらの雰囲気調節装置は、作製チャンバ102内のすでに言及された位置P3の他に、また粉末吸引装置120内の別の位置P4およびP5に、または粉末ストック容器122内の位置P6に設けられていてもよく、ここでも位置P5は、位置P4よりも好ましい、というのは位置P5ではすでにフィルタリングされたシールドガスが侵入するからである。
図3ではさらに、本発明による装置100の粉末供給装置200の概略図が示されている。ここでも再び、作製チャンバ102に設けられた粉末層準備装置104および図示しない照射装置を有する作製チャンバ102が示されている。
作製チャンバ102では、支持体106において同様に対象物Gが材料粉末Pからすでに形成されており、図1と同様に、対象物Gの作製はまだ完全には終了していないため、持ち上げ装置108は同様に、図1に示した高さに支持体106を保持している。
この実施例では、粉末供給装置200に、上ですでに言及した粉末ストック容器122と同じであってよい粉末ストック容器212と、サイクロン分離器214に加えてさらに、供給対象の材料粉末をふるい分けする超音波ふるい分け器215と、ふるい分けされた材料粉末用の対応付けられたスクリューコンベア217を備えたバッファ容器216と、スクリューコンベア217によって供給される材料粉末を最終的に下から作製チャンバ201に入れる装填ユニット218とを有しており、ここでは次に材料粉末が、準備装置104により、後続の照射ステップ用に準備される。
さらに粉末供給装置200には、粉末戻し部219が含まれ、この粉末戻し部219を通って、照射プロセスにおいて溶融しなかった材料粉末が、粉末ストック容器212に搬送されて戻されることが可能であり、したがって、作製チャンバ102に再度供給する後続のステップにおいて、サイクロン分離器214、超音波ふるい分け器215、バッファ容器216およびスクリューコンベア217を通って再び通過した後に、装填ユニット218によって再び作製チャンバ102に供給される。さらに、粉末ストック容器212には注ぎ足し装置212aが対応付けられており、この注ぎ足し装置212aにより、装置200の動作時に粉末ストック容器212に材料粉末を入れることができる。
粉末供給装置200はここでもシールドガス循環装置220に接続されており、しかも循環ポンプ222によって循環させられかつその流れが矢印Sによって示されているシールドガスにより、スクリューコンベア212bによって粉末ストック容器212から送り出される材料粉末が、矢印Fによって示されているようにサイクロン分離器214に運ばれるような仕方で接続されている。
シールドガスを雰囲気調節するためには、図3の粉末供給装置200においても、図4に示されているような少なくとも1つの雰囲気調節装置を設けることができ、この雰囲気調節装置はここでも、粉末供給装置200の種々異なる箇所に設けることができ、例えば、ここでも粉末ストック容器212における点P6または作製チャンバ102内の点P3に設けることができる。
すでにさらに上で図1および図2に関連して言及した、雰囲気調節装置用の考えられ得るこれらの位置に加えて、雰囲気調節装置は、図3ではさらに、位置P7における超音波ふるい分け器215の領域、バッファ容器216に対応付けられた位置P8の領域、または装填装置218もしくは粉末戻し部219のうちの1つに対応付けられた位置P9にも配置可能である。
上記の位置P1~P9はここでもまたは択一的に、シールドガスの少なくとも1つのプロセスパラメータ、例えば温度および/または水分含有量を検出する少なくとも1つのセンサユニット用の組み込み位置として使用されてよい。
最後に雰囲気調節装置の考えられ得る1つの実施形態が、図4に略示されており、最も一般に参照符号300が付されている。ここでは高温かつ湿ったシールドガスが、点302において逆流熱交換器306に入れられ、この逆流熱交換器306により、高温かつ湿ったシールドガスの第1予冷が、逆流原理にしたがって行われた後、温度調節されたかつ乾燥されたシールドガスが点304において再びこの熱交換器306から取り出される。
熱交換器306にはさらに、従来技術から公知のような冷却循環路314が、冷却ユニット312を介して接続されて対応付けられており、この冷却循環路314には、加熱された冷媒が、点316においてまず圧縮器318によって圧縮および加熱され、引き続いてクーラー320によって冷却されて液化され、次に冷却された冷媒が、スロットル322によって減圧されて、これによってさらに強く冷却される。このようにして冷却された冷媒が、点324において、予冷されたシールドガス流に作用することにより、このシールドガス流も同様に冷却され、乾燥しておりかつ冷たいガス流として点304に導かれ、もともとそこに存在していた水分が、冷却ユニット312の領域において凝結することが可能である。凝結したこの水分は、同様に従来技術から公知の凝縮体排出システム326により、雰囲気調節装置300から取り出されることが可能であり、その際にはこれにより、シールドガスが、装置から漏れ出るかまたはガスが、外部からこの装置に侵入し得ることがない。
このようにしてシールドガス流の雰囲気調節を達成することができ、この雰囲気調節は、本発明の意味において結果的に冷却ユニットとして連携して作用する熱交換器306および冷却ユニット312によって行われ、雰囲気調節装置300の図示しない制御装置により、例えば、上で言及したセンサデータを供給するセンサユニットに基づいて、プロセスパラメータ、例えば、冷却循環路の冷媒の温度または冷却性能を設定することができ、例えば、複数の測定点のうち1つにおいてシールドガスの温度を高く決定することは、雰囲気調節装置の制御ユニットが、冷却循環路の冷却性能を高めることに結び付き得る。
選択的な粉末溶融の手法にしたがって対象物を作製する方法を実施する装置において、本発明で説明したようにアクティブにシールドガスを雰囲気調節することにより、作製チャンバ102内のシールドガスの、関連するプロセスパラメータである温度および湿度の優れた設定を行うことができ、ひいては作製プロセスの精度を向上させかつ効率を高めることができる。
Claims (11)
- 選択的な粉末溶融の手法にしたがい、層状に構成することにより、粉末状材料(P)から対象物(G)を作製する方法を実施する装置(100)であって、前記装置(100)は、
-作製対象の前記対象物(G)を収容するように構成された作製チャンバ(102)と、
-前記作製チャンバに材料粉末(P)を供給するように構成された、粉末ストック容器(122;212)を備えた粉末供給装置(200)と、
-前記作製チャンバ(102)に配置された支持体(106)に、供給された前記材料粉末(P)の重なり合う層を準備するように構成された粉末層準備装置(104)と、
-最後に準備された粉末層を照射し、これによって局所的に溶融するように構成された照射装置と、
-前記作製チャンバ(102)に存在するシールドガスを循環させるように構成されたシールドガス循環装置(110)と、を有する装置(100)において、
前記装置(100)はさらに、雰囲気調節動作において、前記シールドガス循環装置(110)によって循環させられる前記シールドガスを前記シールドガスの温度および/または前記シールドガスの湿度について雰囲気調節するように構成されている少なくとも1つの雰囲気調節装置(300)を有する、ことを特徴とする装置(100)。 - 前記シールドガス循環装置(110)はさらに、前記作製チャンバ(102)に正圧が維持されるように構成されている、ことを特徴とする、請求項1記載の装置(100)。
- 前記雰囲気調節装置(300)は、前記シールドガスを冷却する冷却ユニット(306,312)、特に熱交換器(306)、さらに、特に逆流熱交換器(306)を含んでいる、ことを特徴とする、請求項1また2記載の装置(100)。
- 前記冷却ユニット(306,312)には、前記シールドガスの前記冷却によって生じる凝縮体を排出するように構成された凝縮体排出システム(326)が対応付けられている、ことを特徴とする、請求項3記載の装置(100)。
- 前記装置(100)はさらに、溶融しなかった材料粉末を前記粉末ストック容器(122;212)戻す粉末戻し部(219)であって、前記粉末供給装置(200)の一部を形成する粉末戻し部(219)を含んでいる、ことを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置(100)。
- 前記粉末供給装置(200)はさらに、有利には、前記材料粉末用の少なくとも1つのフィルタ装置(215)を含んでいる、ことを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置(100)。
- 前記装置(100)はさらに、前記作製チャンバ(102)に残存している材料粉末(P)を吸引するように構成されておりかつ当該吸引のために循環ポンプ(126)を含む粉末吸引装置(120)を含み、前記循環ポンプ(126)によって押し流されるシールドガスの流れにより、残存している前記材料粉末(P)が、分離器(128)、特にサイクロン分離器(128)を通して運ばれる、ことを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置(100)。
- 前記雰囲気調節装置(300)は、前記雰囲気調節動作のパラメータを適合させるように構成された制御ユニットを含む、ことを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置(100)。
- 前記装置(100)は、前記雰囲気調節装置(300)の前記制御ユニットに動作時に接続されておりかつ前記装置(100)の少なくとも1つのプロセスパラメータについてのデータを供給するように構成されている少なくとも1つのセンサユニットを含む、ことを特徴とする、請求項8記載の装置(100)。
- 少なくとも1つの前記プロセスパラメータには、前記シールドガスの温度および/または相対湿度もしくは絶対湿度が含まれる、ことを特徴とする、請求項9記載の装置(100)。
- 少なくとも1つの前記雰囲気調節装置(300)は、少なくとも部分的に、前記作製チャンバ(102)に、または前記粉末ストック容器(122;212)に、または前記シールドガス循環装置(110)に属するガス管路に、または粉末供給装置(200)に属するガス管路または粉末管路に、または前記粉末吸引装置(120)に属するガス管路に配されており、これにより、そこに存在するシールドガスが雰囲気調節される、請求項1から10までのいずれか1項記載の装置(100)。
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