JP2023500714A - 光学コーティング及びその光学コーティングを含む装置 - Google Patents

光学コーティング及びその光学コーティングを含む装置 Download PDF

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Abstract

光加熱のための第1の波長光領域と、光センシングのための第2の波長光領域とを有する光学コーティングが開示される。この光学コーティングを含むことができる装置も開示される。また、その装置と光源を含むことができる光学システムも開示される。さらに、光学コーティング、装置、及び光学システムの製造方法並びに使用方法も開示される。【選択図】図1A

Description

関連出願
本出願は、2019年11月8日に出願された米国仮出願第62/933,090号の優先権を主張し、その開示の全体が参照により本書に組み込まれる。
本開示は、一般に、光加熱のための第1の光波長領域、及び光センシングのための第2の光波長領域を有する光コーティングに関する。光学コーティングを含むことができる装置も開示される。その装置と光源を含むことができる光学システムも開示される。光学コーティング、装置、及び光学システムの製造方法並びに使用方法も開示される。
光検出及び測距(LIDAR)、サーマルイメージング、及びRGBカメラなどのような外部センサーウィンドウを含む光学システムは、自動車で使用され、かつ外部環境に曝される。例えば、氷及び水(霧などのような大きな水滴と小さな水滴の両方)は、光学システムを不安定にさせる光学アーチファクトを引き起こす。
例えば、LIDARウィンドウでは、インジウムスズ酸化物(ITO)コーティングの抵抗加熱が、加熱、曇り止め、除氷などのような効果をもたらすために使用されている。ITOコーティングは、ガラス基板の内面上に存在する。ITOコーティングとバスバーに接続するために、通常、抵抗線が使用される。その結果、2つの潜在的な問題が発生する。1つ目は、抵抗線とバスバーの接続が断線し、ITOコーティングに熱を供給するための信頼性が低い方法であること。二つ目に、加熱されたITOコーティングによって生成された熱は、熱伝導のための非効率的な手段であるガラス基板の塊を介して伝達されなければならないことである。
必要とされているのは、耐久性があり(例えば、外部環境での繰り返し使用)、かつ効率性を有する(例えば、コスト及び熱伝達の両方)光学コーティングの簡単な光学システムレベルの統合である。
本開示の特徴は、以下の図(複数可)に例示され、かつ限定されないが、その中で、同様の数字は同様の要素を示す。
本発明のある態様による光学コーティングの吸収及び透過特性を図示するグラフである。 本発明の別の態様による光学コーティングの吸収及び透過特性を図示するグラフである。 本発明の別の態様による光学コーティングの吸収及び透過作製を図示するグラフである。 本発明の別の態様による光学コーティングの吸収及び透過特性を図示するグラフである。 本発明の別の態様による光学コーティングの吸収及び透過特性を図示するグラフである。 本発明の別の態様による光学コーティングの吸収特性を図示するグラフである。 本発明の別の態様による光学コーティングの透過特性を図示するグラフである。 本発明のある態様による装置の概略図である。 本発明の別の態様による装置の概略図である。 本発明の別の態様による装置の概略図である。 本発明のある態様による光学システムの概略図である。 本発明の別の態様による光学システムの概略図である。 本発明のある態様による光学システムの概略図である。
ある態様では、光加熱のための第1の光波長領域と、光センシングのための第2の光波長領域とを有し、前記第1の光波長領域が前記第2の光波長領域とは異なる、光学コーティングが開示される。
別の態様では、第1の面及び第2の面を有する透明基板と、前記透明基板の第1の面上に配置された光学コーティングと、を備える装置が開示される。
様々な実施形態の更なる特徴及び利点は、部分的には、以下の説明に記載され、かつ部分的には、説明から明らかになるか、又は様々な実施形態の実践によって知ることができるであろう。様々な実施形態の目的及び他の利点は、本明細書において特に指摘される要素と組み合わせの手段によって実現並びに達成されることになるであろう。
簡略化及び例示の目的のために、本開示は、主にその実施例を参照して説明される。以下の説明では、本開示の完全な理解を提供するために、多数の具体的な詳細が記載される。しかしながら、本開示は、これらの具体的な詳細に限定されることなく実施できることは容易に明らかであろう。他の実施例では、本開示を不必要に曖昧にしないように、いくつかの方法及び構造は詳細に説明されていない。
さらに、添付の図に描かれた要素は、追加の構成要素を含んでもよく、かつそれらの図に記載された構成要素のいくつかは、本開示の範囲から逸脱することなく除去及び/又は修正されてもよい。さらに、図に描かれた要素は縮尺通りに描かれていない場合があり、したがって、要素は、図に示されたものとは異なるサイズ及び/又は構成を有する場合がある。
前述の一般的な説明と以下の詳細な説明の両方は、例示的かつ説明的なものにすぎず、本教示の様々な実施形態の説明を提供することを意図していることが理解されよう。その広範かつ多様な実施形態において、本明細書で開示されるのは、物品と物品の製造及び使用方法である。
本開示は、光加熱のための第1の光波長領域と、光センシングのための第2の光波長領域とを有する光学コーティング12を説明する。第1の光波長領域は、第2の光波長領域と異なることができる。例えば、第1の光波長領域が可視光領域である場合、第2の光波長領域は、近赤外線又は近赤外線及び赤外線などのような任意の他の光波長領域とすることができる。光学コーティング12の二重領域は、光学コーティング12が光学熱を発生させ、可視光撮像、熱赤外線センシング、及び近接センシングなどで使用されるような光センシングを提供することを可能にする。
ある態様では、光学コーティング12は、光加熱のための第1の光波長領域において選択的に光を吸収することができる。吸収された光は、外部環境に曝される装置20を加熱するために使用できる熱を生成することができる。第1の光波長領域は、可視光の波長領域(350nm~780nm)、近赤外光の波長領域、又は可視光及び近赤外光の両方を含む波長領域を含むことができる。
ある態様では、光学コーティング12は、光センシングのための第2の光波長領域を選択的に透過させることができる。選択的に透過された光は、光学システムに存在する検出器によって感知することができる。第2の光波長領域は、近赤外波長、可視波長(350nm~780nm)、短波赤外波長、又は長波赤外波長を含むことができる。
一例として、光学コーティング12は、可視光などのような第1の光波長領域と、近赤外線などのような第2の光波長領域とを含むことができる。光学コーティング12は、光吸収材料としてシリコン(シリコン含有材料、例えばランタンシリコン又は水素ドープシリコンなどのような)を含むことができる。
図1Aに示すように、光学コーティング12は、約350nm~約780nmの第1の光波長領域における吸収特性(破線)及び約940nm~約1950nmの第2の光波長領域における透過特性(実線)を有する反射防止コーティングとすることができる。ある態様では、図1Bに示すように、光学コーティング12は、約350nm~約780nmの光波長領域における吸収特性(破線)、及び約905nm~約1950nmの光波長領域における透過特性(実線)を有する反射防止コーティングとすることができる。ある態様では、図1Cに示すように、光学コーティング12は、約350nm~約780nmの光波長範囲における吸収特性(破線)、及び約1550nm~約2150nmの光波長領域における透過特性(実線)を有する反射防止コーティングとすることができる。ある態様では、図1Dに示すように、光学コーティング12は、約350nm~約780nmの光波領域における吸収特性(破線)及び約950nm~約1950nmの光波長領域における透過特性(実線)を有するバンドパスコーティングとすることができる。
一例として、光学コーティング12は、近赤外線又は短波赤外線などのような第1の光波長領域と、可視光などのような第2の光波長領域とを含むことができる。光学コーティング12は、吸収シリコンの代わりに(上記の例のように)、又は二酸化ケイ素などのようなシリコン含有材料に加えて、ITO及びITIOなどのような透明導電性コーティングを含むことができる。
図1Eに示すように、光学コーティング12は、約1000nm~約1850nmの光波長領域における吸収特性(破線)及び約350nm~約780nmの光波長領域における透過特性(実線)を有する広帯域反射防止コーティングとすることができる。
第1の光波長領域と第2の光波長領域は、光学システム用にカスタマイズすることができる。
一例として、光学コーティング12は、可視・近赤外光などのような第1の光波長領域と、長波長赤外などのような第2の光波長領域とを含むことができる。光学コーティング12は、1500nm未満の波長で吸収するゲルマニウム、及び/又は硫化亜鉛を含むことができる。ゲルマニウムを有する光学コーティング12は、通常、1800nmの波長未満の光を吸収することができる。比較すると、シリコンは、通常、波長1000nm未満の光を吸収することができる。光学コーティング12は、光源136が装置20の第2の面14上に配置されたとき、シリコンなどのような透明基板10の第2の面14を通じて光を吸収することができる。
ある態様では、光学コーティング12は、約350nm~約1150nmの光波長領域における吸収特性(図1Fの破線)及び約11000nm~約14500nmの光波長領域における透過特性(図1Gの実線)を有する長波赤外線反射防止コーティングとすることができる。
光学コーティング12は、吸収光源136及び透過光源140を有する光学システム100に合わせることができる。とりわけ、光学コーティング12は、可視光などのような同じ波長における吸収光源からの光を吸収する吸収材料で形成することができる。光学コーティング12に使用するための可視光を吸収する吸収材料の非限定的な例としては、アモルファス・シリコン、Si:H、Ge、Ge:H、SiGe、SiGe:Hなどのようなケイ素含有材料を含む。光学コーティング12に使用するための近赤外線又は短波赤外線を吸収する吸収材料の非限定的な例としては、ITO、ITiO、ZnO、AlZnO、FTO、及びカーボンナノチューブなどのような透明導電性材料がある。
さらに、光学コーティング12は、近赤外光などのような同一波長における透過型光源からの光を透過する透過型材料で形成することもできる。
光学コーティング12は、反射防止コーティングとすることができる。また、光学コーティング12は、バンドパスフィルタ、短波長パスフィルタ、長波長パスフィルタ、ノッチフィルタ、マルチバンドフィルタ等とすることもできる。
光学コーティング12は、単層コーティング又は多層コーティングで構成することができる。光学コーティング12は、第1の光波長領域と第2の光波長領域とを有する単一の材料を含むことができる。ある態様では、光学コーティング12は、第1の光波長領域を有する第1の材料と、第2の光波長領域を有する第2の材料とを含むことができる。第1の材料は、吸収材料とすることができ、第2の材料は、透過材料とすることができる。材料及び層のありとあらゆる組み合わせが考えられる。
ある態様では、光学コーティング12は、可視光波長において不透明とすることができる。別の態様では、光学コーティング12は、染料及び顔料などの着色剤を含むことができる。
光学コーティング12は、様々なプロセスによって形成することができる。光学コーティング12の非限定的な製造方法は、DCマグネトロンスパッタリング、ACマグネトロンスパッタリング、パルスDCスパッタリング、熱蒸着、電子ビーム蒸着、CVD、PECVD、MOCVD、イオンビームスパッタリングIBS、デュアルビーム、及びIBSなどを含む。
図2Aは、第1の面16と第の2面14を有する透明基板10、及び透明基板10の第1の面16上に光学コーティング12を備える装置20を図示する。
透明基板10は、任意の透明な材料で作成することができる。透明材料の非限定的な例には、ガラス、ポリマー、及び樹脂を含む。ある態様では、透明基板10は強化ガラスとすることができる。
透明基板10の第1の面16は、不確定で不測の要因を有し得る外部環境などのような環境に面する可能性がある。これらの要因は、装置20が動作する能力に悪影響を及ぼす可能性がある。例えば、透明基板10の第1の面16は、雨、風、氷、雪などのような気象条件、及び汚れ、埃、虫などのような物理条件を有する外界に面する可能性がある。透明基板10の第2の面14は、室内環境に面する可能性がある。例えば、透明基板10の第2の面14は、自動車内又は建物内などのような、内界に面する可能性がある。
光学コーティング12が透明基板10の第1の面16上に存在し得るので、光学コーティング12は、透明基板10の第2の面14上に存在する光学コーティング12と比較して、より速く加熱できることが理解されるであろう。とりわけ、光学コーティング12は、透明基板10の第1の面16に存在し得るので、透明基板10を通して熱を伝達する必要がない。
図2Bは、光学コーティング12上に機能性コーティング18を更に備える装置20を図示する。ある態様では、機能性コーティング18は、親水性コーティングとすることができる。別の態様では、機能性コーティング18は、疎水性コーティングとすることができる。疎水性コーティング18は、汚れ及び埃などのような物理的条件から解放されるなどのように、装置20を清潔に保つために使用することができる。機能性コーティング18は、透明基板10の第2の面14上に存在することができる。
図2Cは、透明基板10の第2の面14上に内部光学コーティング22を更に備える装置20を図示する。ある態様では、内部光学コーティング22は、高性能反射防止コーティングとすることができる。例えば、内部光学コーティングは、可視光を選択的に透過させる広帯域反射防止コーティングとすることができる。ある態様では、装置20は、透明基板10の第2の面14上にインジウムスズ酸化物コーティングを含まない。
本開示の装置20は、外部センサーウィンドウとすることができる。装置20は、自動車用LIDAR、非自動車用LIDAR、自動RGBカメラ(バックカメラ及び高度な運転支援カメラ)、監視カメラ、周辺制御カメラ、自由空間光学ウィンドウ、サーマルイメージングウィンドウ、及び指向性エネルギーウィンドウから選ばれる用途などのような様々な用途で使用することができる。
図3Aは、第1の面16と第2の面14を有する透明基板10、及び透明基板10の第1の面16上の光学コーティング12を含む装置20、並びに光源136を備える光学システム100を図示する。
光源136は、出力照明を出すことができる任意の源泉とすることができる。光源の非限定的な例としては、白熱(Wフィラメント)電球(可視350nm~780nm及び近赤外線800nm~2000nmの両方を生成できる)、LED(可視及びNIR)、石英ハロゲン、レーザー(ダイオードレーザー、炭酸ガスレーザー等)、グローバーヒーター、フラッシュランプ及びパルス光等を含む。パルス光は、光源136と光学システムとの間の干渉を制限することができる(例えば、90%の時間で検出し、10%の時間で加熱する)。さらに、固定された平均送達電力に対して、パルス光は、光学コーティング12においてより高いピーク温度を作成することができる。パルス幅変調は、平均印加電力を変化させることができ、これは、温度制御に有用であり得る。光源136は、光学コーティング12の吸収特性に合わせて、曇り止め又は除氷プロセスのための加熱を提供することができる。
光学システム100は、図3Aに示すように、近軸形状において、少なくとも1つの吸収光源136を含むことができる。別の態様では、光学システム100はまた、図3Bに示すように、同軸形状において少なくとも1つの光源136を含むことができる。別の態様では、光学システム100は、図3Cに示すように、装置20の第1の面16上に第1の吸収光源136を含むことができ、かつ装置20の第2の面14上に第2の吸収光源136を含むことができる。
光学システム100は、装置20上の光学コーティング12に光の吸収波長を提供する第1の吸収光源136と、装置20上の光学コーティング12に光の透過波長を提供する第2の透過光源140などのような、2つの光源を含むことができる。ある態様では、光学システム100は、レーザー140及び白熱電球136を含むことができる。光学システムは、吸収光源136からの光を集光するためのディフューザも含むことができる。
光学システム100はまた、検出器134を含むことができる。ある態様では、吸収光源136は、透過光源140と検出器134との間に置くことができる。光学システム100はまた、望遠鏡132を含むことができる。
本開示の光学コーティング12は、透明基板10の第2の面14上などのような、装置20上で高価なITOコーティングを使用する必要性を排除することができる。さらに、光学コーティング12は、装置20及び/又は光学システム100におけるバスバー電気接続の必要性を排除することができる。
光学コーティング12は、透明基板10の第1の面16上に配置することができるので、透明基板10の第2の面14への反射防止コーティング22の配置を可能にする。装置20の内面への反射防止コーティング22の配置は、LIDARシステムなどのような光学システム100への逆反射を低減することができる。当業者であれば、逆反射が偽信号を生成できることを理解するであろう。さらに、透明基板10の第1の面16への光学コーティング12の配置は、透明基板10を通る熱輸送が排除されるため、より速い加熱を可能にすることができる。
光学コーティング12を使用する方法は、光学コーティング12を透明基板10の第1の面16に塗布して装置を形成することを備える。光学コーティング12は、光学コーティング12が熱を発生させ、可視光イメージング、熱赤外線センシング、及び近接センシングなどのような光センシングを提供できるように、光の二重波長域を有することができる。本明細書で論じられるように、光学コーティング12は、光加熱のための第1の光波長領域において選択的に光を吸収することができる。吸収された光は、外部環境に曝される装置20を加熱するために使用することができる熱を発生させることができる。光学コーティング12は、光センシングのための第2の光波長領域において選択的に光を透過させることができる。選択的に透過した光は、光学システムに存在する検出器によって感知することができる。
装置20を使用する方法は、透明基板10の第1の面16に光学コーティング12を提供して装置20を形成することと、装置20を光学システム100に提供することと、を含む。光学コーティング12、装置20、及び光学システム100は、上述した通りである。
光学システムを使用する方法は、光学コーティング12を有する装置20を、光学コーティング12が吸収光源から第1の光波長領域を受け、かつ透過光源から第2の光波長領域を受けるように、配置することを備える。光学コーティング12、装置20、及び光学システム100は、上述した通りである。
装置20の光学コーティング12は、吸収光源からの第1の波長の光によって加熱することができる。加熱された光学コーティング12は、装置20の透明基板10を曇り止めすることができる。
光学コーティングを使用する方法は、請求項1に記載の光学コーティングを透明基板の第1の面に塗布することを含む。装置を使用する方法は、請求項1の光学コーティングを透明基板の第1の面に提供して装置を形成することと、その装置を光学システムに提供することと、を備える。光学系を使用する方法は、光学コーティングが吸収光源から第1の光波長領域を受け、かつ透過光源から第2の光波長領域を受けるように、請求項9の装置を配置することを備える。請求項18に記載の方法では、装置の光学コーティングが、吸収光源からの第1の波長の光によって加熱され、加熱された光学コーティングが、装置の透明基板を曇り止めする。
前述の説明から、当業者は、本教示が様々な形態で実施できることを理解することができる。したがって、これらの教示は、その特定の実施形態及び例に関連して記載されてきたが、本教示の真の範囲は、そのように限定されるべきではない。本明細書の教示の範囲から逸脱することなく、様々な変更及び修正を行うことができる。
本開示範囲は、広義に解釈される。本開示は、本明細書に開示されるコーティング、デバイス、活動、及び機械的作用を達成するための等価物、手段、システム、及び方法を開示することを意図している。開示された各コーティング、デバイス、物品、方法、手段、機械的要素又は機構について、本開示は、その開示の中に包含し、本明細書に開示された多くの態様、機構及びデバイスを実施するための同等物、手段、システム並びに方法を教示することも意図している。さらに、本開示は、コーティングと、その多くの態様、特徴及び要素に関している。そのようなコーティングは、その使用及び操作において動的であり得る。本開示は、本明細書に開示された操作及び機能の説明並びに精神と一致する、製造デバイス並びに/又は製造光学デバイスの使用の同等物、手段、システムと方法並びにその多くの態様を包含することを意図するものである。本出願の特許請求の範囲も同様に、広く解釈されるものである。本明細書の多くの実施形態における発明の説明は、本質的に単なる例示であり、したがって、本発明の要旨を逸脱しない変形は、本発明の範囲内にあることが意図される。そのような変形は、本発明の精神及び範囲から逸脱するものとみなされるべきではない。

Claims (15)

  1. 光加熱のための第1の光波長領域と、
    光センシングのための第2の光波長領域と、
    を有し、ここで、前記第1の光波長領域が前記第2の光波長領域とは異なる、光学コーティング。
  2. 請求項1に記載の光学コーティングであって、前記第1の光波長領域が可視波長であり、前記第2の光波長領域が近赤外波長である、光学コーティング。
  3. 請求項1記載の光学コーティングであって、前記第1の光波長領域が近赤外波長であり、前記第2の光波長領域が可視波長である、光学コーティング。
  4. 請求項1記載の光学コーティングであって、前記第1の光波長領域が可視・近赤外波長であり、前記第2の光波長領域が長波赤外波長である、光学コーティング。
  5. 請求項1に記載の光学コーティングであって、前記光学コーティングが着色剤を含む、光学コーティング。
  6. 請求項1記載の光学コーティングであって、前記光学コーティングが、前記第1の光波長領域と前記第2の光波長領域とを有する単一の材料を含む、光学コーティング。
  7. 請求項1に記載の光学コーティングであって、前記光学コーティングが、前記第1の光波長領域を有する第1の材料と、前記第2の光波長領域を有する第2の材料とを含む、光学コーティング。
  8. 請求項7に記載の光学コーティングであって、前記第1の材料は吸収材料であり、前記第2の材料は透過材料である、光学コーティング。
  9. 第1の面及び第2の面を有する透明基板と、
    前記透明基板の第1の面上に配置された光学コーティングと、
    を備える装置。
  10. 請求項9に記載の装置であって、前記光学コーティング上に機能性コーティングを更に備える、装置。
  11. 請求項10に記載の装置であって、前記機能性コーティングが親水性コーティングである、装置。
  12. 請求項10に記載の装置であって、前記機能性コーティングが疎水性コーティングである、装置。
  13. 請求項9に記載の装置であって、前記透明基板がガラスである、装置。
  14. 請求項9に記載の装置であって、前記透明基板の前記第2の面上に内部光学コーティングを更に備える、装置。
  15. 請求項9に記載の装置と、
    光源と、
    を備える、光学システム。
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