JP2023183705A

JP2023183705A - 油圧装置

Info

Publication number: JP2023183705A
Application number: JP2022097358A
Authority: JP
Inventors: 淳浩上林; Atsuhiro Kamibayashi
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 2022-06-16
Filing date: 2022-06-16
Publication date: 2023-12-28

Abstract

【課題】背圧制御における制御性を向上できる油圧装置を提案する。【解決手段】油圧装置は、圧力指令信号と流量指令信号および第１圧力センサ(ＰＳ１)により検出された作動油の圧力を表す信号を受けて、第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数を制御する第１制御部と、第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の回転数を制御する第２制御部とを備え、第１制御部は、アクチュエータの背圧制御を行うとき、第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数を表す信号を出力し、第２制御部は、アクチュエータ(１０)の背圧制御を行うとき、第１制御部からの第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数を表す信号(Ｒｓ)による指示により第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の回転数を制御する。【選択図】図１

Description

本開示は、油圧装置に関する。

従来、油圧装置としては、プレス機械のダイクッション力を制御するダイクッション装置がある(例えば、特開２００６－３１５０７４号公報(特許文献１)参照)。上記ダイクッション装置では、油圧シリンダの下降時に油圧ポンプを逆回転しつつダイクッション圧を制御する(背圧制御)。

特開２００６－３１５０７４号公報

このようなプレス機械等の産業機械で背圧制御する油圧装置の場合、圧力と流量の値に従って油圧ポンプの容量と当該油圧ポンプを駆動するモータの能力を決定している。

特に、大容量の油圧ポンプを用いる油圧装置では、当該油圧ポンプとモータの慣性が大きいために、背圧制御の動作開始時に逆回転による圧力制御が遅れてサージ圧力が発生しやすく、制御性が悪いという問題がある。

本開示では、背圧制御における制御性を向上できる油圧装置を提案する。

本開示の第１の態様の油圧装置は、
アクチュエータに油タンクからの作動油を供給する第１油圧ポンプと、
上記アクチュエータに上記油タンクからの作動油を供給する第２油圧ポンプと、
上記第１油圧ポンプが吐出する作動油の圧力を検出する第１圧力センサと、
圧力指令信号と流量指令信号および上記第１圧力センサにより検出された上記作動油の圧力を表す信号を受けて、上記第１油圧ポンプの回転数を制御する第１制御部と、
上記第２油圧ポンプの回転数を制御する第２制御部と
を備え、
上記第１制御部は、上記アクチュエータの背圧制御を行うとき、上記第１油圧ポンプの回転数を表す信号を出力し、
上記第２制御部は、上記アクチュエータの背圧制御を行うとき、上記第１制御部からの上記第１油圧ポンプの回転数を表す信号による指示により上記第２油圧ポンプの回転数を制御する。

本開示によれば、第１,第２油圧ポンプにより背圧制御を行うことで、１台の大容量の油圧ポンプに比べて第１,第２油圧ポンプ夫々の慣性を小さくできるので、背圧制御における制御性を向上できる。

また、本開示の第２の態様に係る油圧装置は、
第１の態様の油圧装置において、
上記第２制御部は、上記アクチュエータの背圧制御を行うとき、上記第２油圧ポンプの回転数を上記第１油圧ポンプの回転数以下に制御する。

本開示によれば、アクチュエータの背圧制御を行うとき、第２油圧ポンプの回転数を第２制御部により第１油圧ポンプの回転数以下に制御するので、第１油圧ポンプと第２油圧ポンプとが干渉し合って制御性が低下するのを抑制できる。

また、本開示の第３の態様に係る油圧装置は、
第１の態様または第２の態様の油圧装置において、
上記第２制御部は、上記アクチュエータの背圧制御を行うとき、上記圧力指令信号により表される圧力指令値よりも所定圧力高い圧力制限値を表す信号を受けて、上記第２油圧ポンプの吐出圧力が上記圧力制限値を越えないように上記第２油圧ポンプの回転数を制御する。

本開示によれば、アクチュエータの背圧制御時に、第２油圧ポンプの吐出圧力が圧力制限値(＝圧力指令値＋所定圧力)を越えないようにすることによって、第１油圧ポンプと第２油圧ポンプとが干渉し合って制御性が低下するのを抑制できる。

また、本開示の第４の態様に係る油圧装置は、
第１の態様～第３の態様のいずれか１つの油圧装置において、
上記アクチュエータから排出される作動油を上記油タンクに戻すリリーフ弁と、
上記リリーフ弁のベントポートに吐出側が接続された第３油圧ポンプと、
上記リリーフ弁のベント圧を検出する第２圧力センサと、
上記第２圧力センサにより検出された上記リリーフ弁のベント圧に応じて上記第３油圧ポンプの回転数を制御する第３制御部と
を備え、
上記第３制御部は、上記アクチュエータの背圧制御を行うとき、上記第３油圧ポンプから吐出された作動油の圧力で上記リリーフ弁のベント圧を制御することにより上記リリーフ弁の設定圧を制御する。

本開示によれば、背圧制御時にアクチュエータ内にサージ圧が発生して、アクチュエータの背圧がリリーフ弁の設定圧以上になると、リリーフ弁が動作してアクチュエータから排出される作動油を油タンクに戻すことにより、アクチュエータから発生するサージ圧を抑制することができる。

本開示の第１実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。第１実施形態の油圧装置の制御ブロック図である。第２実施形態の油圧装置の背圧制御を説明するためのフローチャートである。本開示の第２実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。第２実施形態の油圧装置の制御ブロック図である。第２実施形態の油圧装置の背圧制御時の圧力変化の一例を示す図である。

以下、実施形態を説明する。なお、図面において、同一の参照番号は、同一部分または相当部分を表わすものである。

〔第１実施形態〕
図１は、本開示の第１実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。この第１実施形態の油圧装置は、プレス機械等の油圧シリンダに作動油を供給する。

この第１実施形態の油圧装置は、図１に示すように、油圧シリンダ１０に油タンクＴからの作動油を供給するメイン油圧ポンプＰ１と、油圧ポンプＰ１を駆動するモータＭ１と、油圧シリンダ１０に油タンクＴからの作動油を供給するサブ油圧ポンプＰ２と、サブ油圧ポンプＰ２を駆動するモータＭ２と、油圧シリンダ１０に油タンクＴからの作動油を供給するサブ油圧ポンプＰ３と、サブ油圧ポンプＰ２を駆動するモータＭ３とを備えている。油圧シリンダ１０は、アクチュエータの一例である。

メイン油圧ポンプＰ１とサブ油圧ポンプＰ２およびサブ油圧ポンプＰ３に同じ性能(１回転あたりの吐出流量が同じ)の油圧ポンプを用いると共に、モータＭ１とモータＭ２およびモータＭ３に同じ性能(例えばモータ容量３７ｋＷ相当)のモータを用いている。

メイン油圧ポンプＰ１は、第１油圧ポンプの一例である。サブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３は、第２油圧ポンプの一例である。圧力センサＰＳ１は、第１圧力センサの一例である。

油圧シリンダ１０は、シリンダチューブ１１と、シリンダチューブ１１内を往復動するピストン１２と、ピストン１２に一端が接続されたピストンロッド１３とを有している。油圧シリンダ１０のポート１０ａは、メイン油圧ポンプＰ１の吐出側に接続されている。

サブ油圧ポンプＰ２の吐出側は、電磁弁２０を介して油圧シリンダ１０のポート１０ａに接続されている。サブ油圧ポンプＰ３の吐出側は、電磁弁３０を介して油圧シリンダ１０のポート１０ａに接続されている。

電磁弁２０は、ソレノイド２３が励磁の場合、左側の切り換え位置となり、第１ポート２１と第２ポート２２が連通する。一方、電磁弁２０は、ソレノイド２３が非励磁の場合、右側の切り換え位置となり、第１ポート２１および第２ポート２２が夫々閉鎖される。

電磁弁３０は、ソレノイド３３が励磁の場合、左側の切り換え位置となり、第１ポート３１と第２ポート３２が連通する。一方、電磁弁３０は、ソレノイド３３が非励磁の場合、右側の切り換え位置となり、第１ポート３１および第２ポート３２が夫々閉鎖される。

上記油圧装置は、油圧シリンダ１０のピストン１２を上昇させる制御のときは、電磁弁２０,３０のソレノイド２３,３３を非励磁として右側の切り換え位置にし、電磁弁２０の第１ポート２１と第２ポート２２とを閉鎖すると共に、電磁弁３０の第１ポート３１と第２ポート３２とを閉鎖する。一方、油圧シリンダ１０のピストン１２を下降させる背圧制御時に、電磁弁２０,３０のソレノイド２３,３３を励磁して左側の切り換え位置にし、電磁弁２０の第１ポート２１と第２ポート２２とを連通させると共に、電磁弁３０の第１ポート３１と第２ポート３２とを連通させる。

圧力センサＰＳ１は、油圧シリンダ１０のポート１０ａとメイン油圧ポンプＰ１との間の流路の作動油の圧力を検出する。

図２は、油圧装置の制御ブロック図である。

油圧装置は、図２に示すように、主機コントローラ２００からの圧力指令信号Ｐｉ,流量指令信号Ｑｉ,背圧指令信号ＢＰおよび圧力センサＰＳ１により検出された作動油の圧力を表す信号を受けて、メイン油圧ポンプＰ１の回転数を制御するメイン制御部１０１と、主機コントローラ２００からの圧力制限信号Ｐｉｓを受けて、サブ油圧ポンプＰ２の回転数を制御するサブ制御部１０２と、主機コントローラ２００からの圧力制限信号Ｐｉｓを受けて、サブ油圧ポンプＰ３の回転数を制御するサブ制御部１０３とを備える。メイン制御部１０１は、第１制御部の一例である。サブ制御部１０２,１０３は、第２制御部の一例である。

主機コントローラ２００からの圧力制限信号Ｐｉｓが表す圧力制限値ｐｉｓは、圧力指令信号Ｐｉが表す圧力指令値ｐｉに所定圧力αを加えた圧力である。

背圧指令信号ＢＰは、背圧制御が開始されるときに主機コントローラ２００から出力される。背圧指令信号ＢＰがメイン制御部１０１に入力されない状態で、油圧シリンダ１０のピストン１２を上昇させる制御のとき、メイン制御部１０１は、電磁弁２０,３０のソレノイド２３,３３を非励磁として右側の切り換え位置にする。そして、メイン制御部１０１は、主機コントローラ２００からの圧力指令信号Ｐｉ,流量指令信号Ｑｉに応じてモータＭ１を制御して、メイン油圧ポンプＰ１を正回転させる。このとき、電磁弁２０,３０は閉じた状態でサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３は停止している。

一方、背圧指令信号ＢＰがメイン制御部１０１に入力され、油圧シリンダ１０のピストン１２を下降させる背圧制御のとき、メイン制御部１０１は、電磁弁２０,３０のソレノイド２３,３３を励磁して左側の切り換え位置にする。そして、メイン制御部１０１は、主機コントローラ２００からの圧力指令信号Ｐｉ,流量指令信号Ｑｉに応じてモータＭ１を制御して、メイン油圧ポンプＰ１を逆回転させると共に、メイン油圧ポンプＰ１の回転数を表す回転数信号Ｒｓを出力する。

このとき、サブ制御部１０２は、メイン制御部１０１からの回転数信号Ｒｓを受けて、モータＭ２を制御して、メイン油圧ポンプＰ１と同じ回転数でサブ油圧ポンプＰ２を逆回転させる。このとき、サブ制御部１０２は、主機コントローラ２００からの圧力制限信号Ｐｉｓが表す圧力未満になるように、サブ油圧ポンプＰ２を制御する。

同様に、サブ制御部１０３は、メイン制御部１０１からの回転数信号Ｒｓを受けて、モータＭ３を制御して、メイン油圧ポンプＰ１と同じ回転数でサブ油圧ポンプＰ３を逆回転させる。このとき、サブ制御部１０３は、主機コントローラ２００からの圧力制限信号Ｐｉｓが表す圧力未満になるように、サブ油圧ポンプＰ３を制御する。

ここで、メイン制御部１０１は、圧力センサＰＳ１により検出された作動油の圧力が、圧力指令信号Ｐｉが表す圧力と等しくなるように、メイン油圧ポンプＰ１の回転数を制御する。

なお、メイン制御部１０１からの回転数信号Ｒｓに基づいてサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３をメイン油圧ポンプＰ１と同じ回転数で逆回転させたが、メイン制御部１０１からの回転数信号Ｒｓは、回転数の制限値として用いて、サブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３の回転数をメイン油圧ポンプＰ１の回転数未満で逆回転させてもよい。すなわち、サブ制御部１０２,１０３は、油圧シリンダ１０の背圧制御を行うとき、メイン制御部１０１からの第１油圧ポンプＰ１の回転数を表す回転数信号Ｒｓによる指示により第２油圧ポンプＰ２,Ｐ３の回転数を制御するものであればよい。

また、メイン油圧ポンプＰ１とサブ油圧ポンプＰ２およびサブ油圧ポンプＰ３に異なる性能の油圧ポンプを用いてもよいし、モータＭ１,Ｍ２,Ｍ３に異なる性能のモータを用いてもよい。この場合は、メイン制御部１０１やサブ制御部１０２,１０３は夫々、油圧ポンプやモータの性能に応じて油圧ポンプの回転数を適切に制御する。

次に、図３のフローチャートに従って油圧装置の背圧制御について説明する。

まず、油圧装置の背圧制御がスタートすると、図３に示すステップＳ１に進み、メイン制御部１０１に背圧指令信号ＢＰが入力される。

次に、ステップＳ２に進み、メイン制御部１０１によって、メイン油圧ポンプＰ１を逆回転させて、圧力フィードバック制御(圧力制御)を行う。詳しくは、圧力フィードバック制御では、圧力センサＰＳ１により検出された作動油の圧力が、圧力指令信号Ｐｉが表す圧力と等しくなるように、メイン油圧ポンプＰ１の回転数をフィードバック制御する。

次に、ステップＳ３に進み、メイン制御部１０１から回転数信号Ｒｓをサブ制御部１０２,１０３に入力する。

次に、ステップＳ４に進み、サブ制御部１０２,１０３によって、サブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３を夫々逆回転させて、回転数を制御する。詳しくは、サブ制御部１０２は、回転数信号Ｒｓが表す回転数になるようにサブ油圧ポンプＰ２を制御すると共に、サブ制御部１０３は、回転数信号Ｒｓが表す回転数になるようにサブ油圧ポンプＰ３を制御する。ここで、サブ制御部１０２,１０３は、サブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３の回転数のみを制御し、圧力制御は行わず、メイン制御部１０１のみが圧力制御を行う。

上記構成の油圧装置によれば、メイン油圧ポンプＰ１(第１油圧ポンプ)およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３(第２油圧ポンプ)により背圧制御を行うことで、１台の大容量の油圧ポンプに比べてメイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３夫々の慣性を小さくできるので、背圧制御における制御性を向上でき、油圧シリンダ１０を高速で下降させることができる。また、メイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３夫々の慣性を小さくすることにより、サージ発生を抑制できる。

大流量の油圧装置の場合には、その大流量に見合った油圧ポンプとモータとを選定することになり、油圧ポンプとモータの価格が非常に高くなる。一般的に３７ｋｗを超えるとモータの価格が急激に高価になると共に、油圧ポンプも流量が３００Ｌ／ｍｉｎ程度までが汎用的な範囲となり、例えば１１０ｋＷクラスで流量が９００Ｌ／ｍｉｎを１台の油圧ポンプで賄うと、非常に高価になるだけでなく入手性も悪いので、故障時などの対処が難しくなるという問題がある。これに対して、本開示の油圧装置は、汎用的な低価格の油圧ポンプとモータを複数用いる構成とすることによって、油圧ポンプとモータの入手性を上げ、故障時に迅速な対応が可能となるので、メンテナンス性を大幅に向上できる。

また、油圧シリンダ１０(アクチュエータ)の背圧制御を行うとき、サブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３の回転数をサブ制御部１０２,１０３(第２制御部)によりメイン油圧ポンプＰ１の回転数以下に制御するので、メイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３が干渉し合って制御性が低下するのを抑制できる。

また、油圧シリンダ１０の背圧制御時に、サブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３の吐出圧力が、圧力制限信号Ｐｉｓが表す圧力制限値ｐｉｓ(＝圧力指令値ｐｉ＋所定圧力α)を越えないようにすることによって、メイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３が干渉し合って制御性が低下するのを抑制できる。

上記第１実施形態の油圧装置では、油圧シリンダ１０のピストン１２を上昇させる制御のとき、電磁弁２０,３０を閉じて、メイン油圧ポンプＰ１のみを用いて油圧シリンダ１０を駆動したが、電磁弁２０,３０を用いず、メイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３で油圧シリンダ１０のピストン１２を上昇させてもよい。

〔第２実施形態〕
図４は、本開示の第２実施形態の油圧装置の概略ブロック図である。この第２実施形態の油圧装置は、リリーフ弁４０とモータＭ４と油圧ポンプＰ４と圧力センサＰＳ２およびリリーフ弁制御部１０４を除いて第１実施形態の油圧装置と同一の構成をしている。

第２実施形態の油圧装置は、油圧シリンダ１０から排出される作動油を油タンクＴに戻すリリーフ弁４０と、リリーフ弁４０のベント圧を検出する圧力センサＰＳ２と、リリーフ弁４０の設定圧Ｐｓｅｔを制御する油圧ポンプＰ４と、油圧ポンプＰ４を駆動するモータＭ４とを備える。油圧ポンプＰ４は、第３油圧ポンプの一例である。圧力センサＰＳ２は、第２圧力センサの一例である。

油圧シリンダ１０のポート１０ａをリリーフ弁４０の入口ポート４１に接続し、リリーフ弁４０の出口ポート４２を油タンクＴに接続している。リリーフ弁４０は、パイロット作動形のリリーフ弁であり、油圧ポンプＰ４の吐出側をリリーフ弁４０のベントポート４３に接続している。これにより、油圧ポンプＰ４の吐出圧力がリリーフ弁４０のベントポート４３に供給されて、リリーフ弁４０の設定圧Ｐｓｅｔが制御される。

図５は、第２実施形態の油圧装置の制御ブロック図である。この第２実施形態の油圧装置の制御ブロックは、リリーフ弁制御部１０４を除いて第１実施形態の油圧装置の制御ブロックと同一の構成をしている。リリーフ弁制御部１０４は、第３制御部の一例である。

油圧シリンダ１０のピストン１２を上昇させる制御と、油圧シリンダ１０のピストン１２を下降させる背圧制御は、リリーフ弁４０の動作を除いて第１実施形態の油圧装置と同じである。

リリーフ弁制御部１０４は、主機コントローラ２００からの圧力指令信号Ｐｉ,流量指令信号Ｑｉ,背圧指令信号ＢＰおよび圧力センサＰＳ２により検出された作動油の圧力を表す信号を受けて、油圧ポンプＰ４の回転数を制御する。

図６は、第２実施形態の油圧装置の背圧制御時の圧力変化の一例を示している。図６において、縦軸は圧力[ＭＰａ]を表し、横軸は時間[任意目盛]を表す。

図６の例では、油圧シリンダ１０の背圧制御の目標圧力を２０ＭＰａとする。また、リリーフ弁制御部１０４により油圧ポンプＰ４を制御して、リリーフ弁４０の設定圧Ｐｓｅｔを２０ＭＰａに設定している。

油圧シリンダ１０の背圧制御が開始されると、第１実施形態と同様、メイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３は逆回転する。

例えば、プレス機械の背圧制御では、油圧シリンダ１０内にサージ圧が発生する。このとき、油圧シリンダ１０のポート１０ａの圧力がリリーフ弁４０の設定圧Ｐｓｅｔ以上になると、リリーフ弁４０が動作して油圧シリンダ１０から排出される作動油を油タンクＴに戻す。これによって、油圧シリンダ１０から発生するサージ圧を抑制する。

その後、リリーフ弁制御部１０４により油圧ポンプＰ４を制御して、リリーフ弁４０の設定圧Ｐｓｅｔを２２ＭＰａに変更することにより、リリーフ弁４０が閉じる。リリーフ弁４０が閉じた後は、メイン油圧ポンプＰ１およびサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３により油圧シリンダ１０から排出される作動油を油タンクＴに戻す。

上記構成の油圧装置によれば、背圧制御時に油圧シリンダ１０(アクチュエータ)内にサージ圧が発生して、油圧シリンダ１０の背圧がリリーフ弁４０の設定圧Ｐｓｅｔ以上になると、リリーフ弁４０が動作して油圧シリンダ１０から排出される作動油を油タンクＴに戻すことにより、油圧シリンダ１０から発生するサージ圧を抑制することができる。

上記第２実施形態の油圧装置は、第１実施形態の油圧装置と同様の効果を有する。

上記第１,第２実施形態では、アクチュエータとして油圧シリンダ１０に片ロッド油圧シリンダを用いたが、両ロッド油圧シリンダや油圧モータ等を用いてもよい。

上記第１,第２実施形態では、第２油圧ポンプとしてサブ油圧ポンプＰ２,Ｐ３を用いたが、第２油圧ポンプは１または３以上でもよい。

上記第１,第２実施形態では、メイン油圧ポンプＰ１(第１油圧ポンプ)とサブ油圧ポンプＰ２(第２油圧ポンプ)およびサブ油圧ポンプＰ３(第２油圧ポンプ)に同じ性能の油圧ポンプを用いると共に、モータＭ１,Ｍ２,Ｍ３に同じ性能のモータを用いた油圧装置について説明したが、第１油圧ポンプと第２油圧ポンプの性能やモータの性能は異なっていてもよい。その場合、第１油圧ポンプを制御する第１制御部や第２油圧ポンプを制御する第２制御部は、制御する油圧ポンプやモータの性能に応じて油圧ポンプの回転数を適切に制御するのが好ましい。

本開示の具体的な実施の形態について説明したが、本開示は上記第１,第２実施形態に限定されるものではなく、本開示の範囲内で種々変更して実施することができる。

１０…油圧シリンダ(アクチュエータ)
１０ａ…ポート
１１…シリンダチューブ
１２…ピストン
１３…ピストンロッド
２０,３０…電磁弁
４０…リリーフ弁
１０１…メイン制御部(第１制御部)
１０２,１０３…サブ制御部(第２制御部)
１０４…リリーフ弁制御部(第３制御部)
Ｍ１,Ｍ２,Ｍ３,Ｍ４…モータ
Ｐ１…メイン油圧ポンプ(第１油圧ポンプ)
Ｐ２,Ｐ３…サブ油圧ポンプ(第２油圧ポンプ)
Ｐ４…油圧ポンプ(第３油圧ポンプ)
ＰＳ１…圧力センサ(第１圧力センサ)
ＰＳ２…圧力センサ(第２圧力センサ)
Ｔ…油タンク

Claims

アクチュエータ(１０)に油タンク(Ｔ)からの作動油を供給する第１油圧ポンプ(Ｐ１)と、
上記アクチュエータ(１０)に上記油タンク(Ｔ)からの作動油を供給する第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)と、
上記第１油圧ポンプ(Ｐ１)が吐出する作動油の圧力を検出する第１圧力センサ(ＰＳ１)と、
圧力指令信号(Ｐｉ)と流量指令信号(Ｑｉ)および上記第１圧力センサ(ＰＳ１)により検出された上記作動油の圧力を表す信号を受けて、上記第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数を制御する第１制御部(１０１)と、
上記第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の回転数を制御する第２制御部(１０２,１０３)と
を備え、
上記第１制御部(１０１)は、上記アクチュエータの背圧制御を行うとき、上記第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数を表す信号(Ｒｓ)を出力し、
上記第２制御部(１０２,１０３)は、上記アクチュエータ(１０)の背圧制御を行うとき、上記第１制御部(１０１)からの上記第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数を表す信号(Ｒｓ)による指示により上記第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の回転数を制御する、油圧装置。
請求項１に記載の油圧装置において、
上記第２制御部(１０２,１０３)は、上記アクチュエータ(１０)の背圧制御を行うとき、上記第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の回転数を上記第１油圧ポンプ(Ｐ１)の回転数以下に制御する、油圧装置。
請求項１または２に記載の油圧装置において、
上記第２制御部(１０２,１０３)は、上記アクチュエータ(１０)の背圧制御を行うとき、上記圧力指令信号(Ｐｉ)により表される圧力指令値よりも所定圧力高い圧力制限値を表す信号(Ｐｉｓ)を受けて、上記第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の吐出圧力が上記圧力制限値を越えないように上記第２油圧ポンプ(Ｐ２,Ｐ３)の回転数を制御する、油圧装置。
請求項１または２に記載の油圧装置において、
上記アクチュエータ(１０)から排出される作動油を上記油タンク(Ｔ)に戻すリリーフ弁(４０)と、
上記リリーフ弁(４０)のベントポートに吐出側が接続された第３油圧ポンプ(Ｐ４)と、
上記リリーフ弁(４０)のベント圧を検出する第２圧力センサ(ＰＳ２)と、
上記第２圧力センサ(ＰＳ２)により検出された上記リリーフ弁(４０)のベント圧に応じて上記第３油圧ポンプ(Ｐ４)の回転数を制御する第３制御部(１０４)と
を備え、
上記第３制御部(１０４)は、上記アクチュエータ(１０)の背圧制御を行うとき、上記第３油圧ポンプ(Ｐ４)から吐出された作動油の圧力で上記リリーフ弁(４０)のベント圧を制御することにより上記リリーフ弁(４０)の設定圧を制御する、油圧装置。