JP2023179044A - 冷却装置、循環式冷却システム及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】冷却対象をより効率よく冷却できる冷却装置、循環式冷却システム及び電子機器を提供する。【解決手段】冷却装置は、熱源から受熱する第１プレートと、第１プレートに対向する第２プレートとが組み合わされて構成され、内部に封入された第１作動流体の気化及び凝縮が行われる第１ベイパーチャンバーと、第１ベイパーチャンバーと組み合わされる液冷容器を有し、内部を流通する液体冷媒が第１ベイパーチャンバーに沿って流通する液冷部と、液冷部の内部に設けられ、液体冷媒の流路の一部を成す複数の第１フィンと、を備え、第２プレートは、第２プレートの外面に位置し、液冷部の第１内面の少なくとも一部を形成する第１内面構成領域を有し、複数の第１フィンは、第１内面構成領域に配置され、液冷部は、液冷部の外部から液冷部の内部に液体冷媒を導入する導入口と、液冷部の内部を流通した液体冷媒を液冷部の外部に排出する排出口と、を有する。【選択図】図２

Description

本開示は、冷却装置、循環式冷却システム及び電子機器に関する。

従来、密閉二相熱サイフォン部と水冷ジャケット部とを組み合わせたヒートシンクが知られている（例えば特許文献１参照）。
熱サイフォン部の外表面の一部には、熱源である電子素子が取り付けられている。熱サイフォン部の内部には、作動流体である純水が収納されている。水冷ジャケット部は、熱サイフォン部に対向して設けられ、内部を冷却水が流通する。
このようなヒートシンクでは、電子素子から熱サイフォン部に伝達された熱によって、熱サイフォン部内の純水が沸騰し、沸騰によって生じた蒸気は、水冷ジャケット部の壁面にて凝縮される。凝縮に必要な熱は、水冷ジャケット部内を流通する冷却水に移送され、ヒートシンク外に運ばれる。これにより、電子素子が冷却される。

特開２００８－３１１３９９号公報

しかしながら、特許文献１に記載のヒートパイプでは、熱サイフォン部から水冷ジャケット部に伝達された主な熱は、熱サイフォン部と水冷ジャケット部との間の壁面にて冷却水に移送される。このため、壁面が小さいと、熱サイフォン部から伝達される熱を冷却水に効率よく伝達できないという問題がある。
このため、冷却対象をより効率よく冷却できる構成が要望されてきた。

本開示の第１態様に係る冷却装置は、熱源から受熱する第１プレートと、前記第１プレートに対向する第２プレートとが組み合わされて構成され、内部に封入された第１作動流体の気化及び凝縮が行われる第１ベイパーチャンバーと、前記第１ベイパーチャンバーと組み合わされる液冷容器を有し、内部を流通する液体冷媒が前記第１ベイパーチャンバーに沿って流通する液冷部と、前記液冷部の内部に設けられ、前記液体冷媒の流路の一部を成す複数の第１フィンと、を備え、前記第２プレートは、前記第２プレートの外面に位置し、前記液冷部の第１内面の少なくとも一部を形成する第１内面構成領域を有し、前記複数の第１フィンは、前記第１内面構成領域に配置され、前記液冷部は、前記液冷部の外部から前記液冷部の内部に前記液体冷媒を導入する導入口と、前記液冷部の内部を流通した前記液体冷媒を前記液冷部の外部に排出する排出口と、を有する。

本開示の第２態様に係る循環式冷却システムは、上記第１態様に係る冷却装置と、前記導入口に前記液体冷媒を流通させるポンプと、前記排出口から排出された前記液体冷媒を冷却するラジエータと、を備える。

本開示の第３態様に係る電子機器は、熱源と、上記第２態様に係る循環式冷却システムと、を備える。

第１実施形態に係る電子機器の構成を示すブロック図。 第１実施形態に係る冷却装置を示す図。 第１実施形態に係る第１ベイパーチャンバーの構成を示す模式図。 第１実施形態に係る液冷部の内部を示す図。 第２実施形態に係る冷却装置を示す斜視図。 第２実施形態に係る第１ベイパーチャンバーを示す側面図。 第２実施形態に係る冷却装置の断面を示す図。 第２実施形態に係る冷却装置の第１変形例を示す図。 第２実施形態に係る冷却装置の第２変形例を示す図。 第３実施形態に係る冷却装置を示す斜視図。 第３実施形態に係る冷却装置の断面を示す図。 第３実施形態に係る冷却装置の第１変形例を示す図。 第３実施形態に係る冷却装置の第２変形例を示す図。

［第１実施形態］
以下、本開示の第１実施形態について、図面に基づいて説明する。
［電子機器の概略構成］
図１は、本実施形態に係る電子機器１の構成を示すブロック図である。
本実施形態に係る電子機器１は、図１に示すように、冷却対象ＣＴ及び循環式冷却システム２を備える。
冷却対象ＣＴは、電子機器１の一部を構成する。冷却対象ＣＴは、例えば電子機器１を制御する制御装置、及び、電子機器１の電子部品に電力を供給する電源装置等が挙げられる。具体的に、電子機器１が、画像を投射するプロジェクターである場合には、冷却対象ＣＴとして光源を例示できる。

［循環式冷却システムの構成］
循環式冷却システム２は、冷却対象ＣＴを冷却する。循環式冷却システム２は、以下、冷却システム２と略す場合がある。詳述すると、冷却システム２は、液体冷媒を循環させて、冷却対象ＣＴから伝達された熱を液体冷媒に伝達し、伝達された液体冷媒の熱を外部に放熱することによって冷却対象ＣＴを冷却する。冷却システム２は、配管２１、タンク２２、ラジエータ２３、ポンプ２４、冷却ファン２５及び冷却装置３Ａを備える。

配管２１は、内部を液体冷媒が流通可能に構成された管状部材であり、タンク２２、ラジエータ２３、ポンプ２４及び冷却装置３Ａを環状に接続する。配管２１は、第１配管２１１、第２配管２１２、第３配管２１３及び第４配管２１４を有する。
第１配管２１１は、冷却装置３Ａとタンク２２とを接続する。
第２配管２１２は、タンク２２とラジエータ２３とを接続する。
第３配管２１３は、ラジエータ２３とポンプ２４とを接続する。
第４配管２１４は、ポンプ２４と冷却装置３Ａとを接続する。

タンク２２は、第１配管２１１によって冷却装置３Ａと接続され、第２配管２１２によってラジエータ２３と接続されている。タンク２２は、冷却システム２を循環する液体冷媒を貯留する。本実施形態では、タンク２２は、冷却装置３Ａから排出された液体冷媒を貯留する。
ラジエータ２３は、第２配管２１２によってタンク２２と接続され、第３配管２１３によってポンプ２４と接続されている。ラジエータ２３は、ポンプ２４が駆動されることによって第２配管２１２を介してタンク２２から流通する液体冷媒を冷却する。詳述すると、ラジエータ２３は、タンク２２から流通する液体冷媒から受熱し、受熱した熱を冷却ファン２５によって流通する冷却気体に伝達することによって、液体冷媒を冷却する。
ポンプ２４は、第３配管２１３によってラジエータ２３と接続され、第４配管２１４によって冷却装置３Ａと接続されている。ポンプ２４は、ラジエータ２３にて冷却された液体冷媒を冷却装置３Ａに送出する。

［冷却装置の構成］
図２は、冷却装置３Ａを示す図である。なお、図２では、冷却装置３Ａを構成する液冷部５は、断面によって示している。また、図２では、複数の第１フィンＦｎＡのうち一部について符号を付す。
冷却装置３Ａは、第４配管２１４によってポンプ２４と接続され、第１配管２１１によってタンク２２と接続されている。冷却装置３Ａは、冷却対象ＣＴから受熱した熱を液体冷媒に伝達して、冷却対象ＣＴを冷却する。
冷却装置３Ａは、図２に示すように、第１ベイパーチャンバー４、液冷部５及び複数の第１フィンＦｎＡを備える。

以下の説明では、互いに直交する三方向を＋Ｘ方向、＋Ｙ方向及び＋Ｚ方向とする。これらのうち、＋Ｙ方向を、冷却対象ＣＴから第１ベイパーチャンバー４に向かう方向をとする。図２の図面視では、＋Ｙ方向は上方向である。また、図２の図面視で、＋Ｘ方向を左方向とし、＋Ｚ方向を紙面に向かう方向とする。なお、＋Ｘ方向は、第１方向に相当し、複数の第１フィンＦｎＡのそれぞれが配列される方向である。更に、＋Ｘ方向とは反対方向を－Ｘ方向とし、＋Ｙ方向とは反対方向を－Ｙ方向とし、＋Ｚ方向とは反対方向を－Ｚ方向とする。図２の図面視で、－Ｘ方向は右方向であり、－Ｙ方向は下方向であり、－Ｚ方向は紙面から起立する方向である。

［第１ベイパーチャンバーの構成］
図３は、第１ベイパーチャンバー４の構成を示す模式図であり、ＸＹ平面に沿う第１ベイパーチャンバー４の断面を示す図である。なお、図３では、液相の作動流体の一部を白色の矢印ＦＬにて示し、気相の作動流体の一部を黒色の矢印ＦＧにて示す。また、図３では、複数の第１フィンＦｎＡのうち一部について符号を付す。
第１ベイパーチャンバー４は、ＸＺ平面に沿う平板状に構成され、熱源である冷却対象ＣＴと接続されて冷却対象ＣＴから受熱する。第１ベイパーチャンバー４は、第１プレート４２及び第２プレート４３が組み合わされて構成されて、内部に第１作動流体である作動流体が封入された第１密閉容器４１を備える。

第１プレート４２は、第２プレート４３に対して－Ｙ方向に、ＸＺ平面に沿って配置される。第１プレート４２は、外面４２Ａ及び内面４２Ｂを有する。
外面４２Ａは、第１プレート４２において第２プレート４３とは反対側の面である。外面４２Ａは、第１密閉容器４１の外面の一部を構成する。外面４２Ａの一部には、冷却対象ＣＴが熱伝達可能に接続される。すなわち、第１プレート４２は、熱源である冷却対象ＣＴと熱伝達可能に接続される。
内面４２Ｂは、第１プレート４２において外面４２Ａとは反対側の面であり、第２プレート４３と対向する面である。内面４２Ｂは、第１密閉容器４１の内面の一部を構成する。内面４２Ｂには、図示を省略するが、液相の作動流体を保持するメッシュが設けられている。

第２プレート４３は、第１プレート４２に対して＋Ｙ方向に、ＸＺ平面に沿って配置される。第２プレート４３は、第１プレート４２にて受熱した冷却対象ＣＴの熱を放熱する。第２プレート４３は、外面４３Ａ及び内面４３Ｂを有する。
内面４３Ｂは、第２プレート４３において第１プレート４２の内面４２Ｂと対向する面である。内面４３Ｂは、第１密閉容器４１の内面の一部を構成する。すなわち、内面４３Ｂは、第１密閉容器４１において外面４３Ａに対応する内面である。
外面４３Ａは、第２プレート４３において第１プレート４２とは反対側の面である。外面４３Ａは、第１密閉容器４１の外面の一部を構成する。図２に示すように、外面４３Ａは、第１ベイパーチャンバー４と液冷部５の液冷容器５１とが組み合わされたときに、液冷部５の第１内面５４を形成する。すなわち、第２プレート４３は、外面４３Ａに設けられて第１内面５４を構成する第１内面構成領域４３１を有する。第１内面構成領域４３１には、後述する複数の第１フィンＦｎＡが配置される。

図３に示すように、第１ベイパーチャンバー４では、外面４２Ａにて冷却対象ＣＴから受熱された熱は、内面４２Ｂにて液相の作動流体を気化させて、液相の作動流体を気相の作動流体に変化させる。気相の作動流体は、第１密閉容器４１内に拡散されて、一部の気相の作動流体は、内面４３Ｂに到達して、内面４３Ｂに熱を伝達することによって凝縮される。すなわち、一部の気相の作動流体は、内面４３Ｂにて液相の作動流体に変化される。内面４３Ｂに伝達された熱は、外面４３Ａに伝達されて放熱される。このようにして冷却対象ＣＴの熱が奪われ、冷却対象ＣＴは冷却される。なお、気相の作動流体から凝縮された液相の作動流体は、第１密閉容器４１の内面に設けられたメッシュによって、第１プレート４２の内面４２Ｂにおいて熱源である冷却対象ＣＴに対応する位置に輸送される。

［液冷部の構成］
液冷部５は、図２に示すように、第１ベイパーチャンバー４と組み合わされる液冷容器５１を備え、ポンプ２４から送出された液体冷媒が前記第１ベイパーチャンバーに沿って流通する。
液冷容器５１は、第１ベイパーチャンバー４と組み合わされることによって、内部を液体冷媒が流通可能な流通空間を形成する。液冷容器５１は、導入口５２及び排出口５３を有する。
導入口５２は、図１に示す第４配管２１４と接続され、ポンプ２４から送出された液体冷媒を液冷容器５１内に導入する。導入口５２は、流通空間Ｓと連通しており、導入口５２にて液冷容器５１内に導入された液体冷媒は、流通空間Ｓに流入する。
排出口５３は、図１に示す第１配管２１１と接続され、液冷容器５１内の流通空間Ｓを流通した液体冷媒を排出する。排出された液体冷媒は、第１配管２１１からタンク２２に流通する。

図４は、液冷部５の内部を＋Ｙ方向から見た図である。なお、図４では、複数の第１フィンＦｎＡのうち一部について符号を付す。
このような液冷容器５１が第１ベイパーチャンバー４と組み合わされることによって、液冷部５は、図２及び図４に示すように、各内面５４～５９によって囲まれる流通空間Ｓが形成される。すなわち、液冷部５は、流通空間Ｓを形成する第１内面５４、第２内面５５、第３内面５６、第４内面５７、第５内面５８及び第６内面５９を有する。

第１内面５４は、液冷部５の内面のうち、＋Ｙ方向を向く内面である。第１内面５４の少なくとも一部は、外面４３Ａにおける第１内面構成領域４３１によって構成される。第１内面構成領域４３１には、複数の第１フィンＦｎＡが設けられることから、液体冷媒が流通する流通空間Ｓ内には、複数の第１フィンＦｎＡが配置される。
第２内面５５は、液冷部５の内面のうち、－Ｙ方向を向く内面であり、第１内面５４と対向する。第２内面５５は、導入口５２及び排出口５３と接続されている。すなわち、液冷容器５１において第２内面５５とは反対側の外面５１Ａには、導入口５２及び排出口５３が設けられている。なお、図２及び図４に示すように、外面５１Ａにおける導入口５２の位置は、排出口５３の位置に対して、＋Ｘ方向かつ－Ｚ方向の位置である。外面５１Ａにおける排出口５３の位置は、導入口５２の位置に対して、－Ｘ方向かつ＋Ｚ方向の位置である。
第３内面５６は、液冷部５の内面のうち、－Ｘ方向を向く内面である。
第４内面５７は、液冷部５の内面のうち、＋Ｘ方向を向く内面であり、第３内面５６と対向する。
第５内面５８は、液冷部５の内面のうち、－Ｚ方向を向く内面である。
第６内面５９は、液冷部５の内面のうち、＋Ｚ方向を向く内面であり、第５内面５８と対向する。

［複数の第１フィンの構成］
複数の第１フィンＦｎＡは、図２及び図３に示すように、外面４３Ａにおける第１内面構成領域４３１から＋Ｙ方向に突出しており、第１ベイパーチャンバー４と液冷容器５１とが組み合わされたときに、流通空間Ｓ内に配置される。第１ベイパーチャンバー４は、第１内面構成領域４３１に配置された複数の第１フィンＦｎＡを備えるということもできる。
複数の第１フィンＦｎＡは、外面４３Ａから＋Ｙ方向に向かうに従って＋Ｘ方向に位置する円弧状に起立した後、＋Ｙ方向と平行に延出している。
複数の第１フィンＦｎＡのそれぞれは、図４に示すように、第６内面５９側から＋Ｚ方向に延出しており、所定の間隔を隔てて＋Ｘ方向、すなわち、第１方向に並んで配置されている。このため、複数の第１フィンＦｎＡは、導入口５２から液冷部５内に導入されて＋Ｚ方向に流通する液体冷媒の流路の一部を成す。

［液冷部内を流通する液体冷媒］
導入口５２から液冷部５内に導入された液体冷媒は、流通空間Ｓ内において複数の第１フィンＦｎＡに対する－Ｚ方向の領域Ａｒ１に流通する。そして、液体冷媒は、領域Ａｒ１から各第１フィンＦｎＡ間に設けられた流路を、第１ベイパーチャンバー４に沿って＋Ｚ方向に流通する。これにより、液体冷媒には、第１ベイパーチャンバー４の作動流体の気相と液相の変化を利用して第１プレート４２を介して第２プレート４３に伝達された冷却対象ＣＴの熱が各第１フィンＦｎＡから伝達する。
各第１フィンＦｎＡ間の流路を＋Ｚ方向に流通した液体冷媒は、流通空間Ｓ内において複数の第１フィンＦｎＡに対して＋Ｚ方向の領域Ａｒ２から、排出口５３を介して第１配管２１１に排出される。第１配管２１１からタンク２２に流通した液体冷媒は、ラジエータ２３にて冷却され、ポンプ２４によって再び導入口５２に流通する。
このように液体冷媒が冷却システム２を循環することにより、第１ベイパーチャンバー４に伝達された冷却対象ＣＴの熱が液体冷媒に効率よく伝達され、ひいては、冷却対象ＣＴが冷却される。

［第１実施形態の効果］
以上説明した本実施形態に係る電子機器１は、以下の効果を奏する。
電子機器１は、熱源である冷却対象ＣＴと、循環式冷却システム２と、を備える。
循環式冷却システム２は、ラジエータ２３、ポンプ２４及び冷却装置３Ａを備える。ラジエータ２３は、冷却装置３Ａの排出口５３から排出された液体冷媒を冷却する。ポンプ２４は、冷却装置３Ａの導入口５２に液体冷媒を流通させる。

冷却装置３Ａは、第１ベイパーチャンバー４、液冷部５及び複数の第１フィンＦｎＡを備える。
第１ベイパーチャンバー４は、第１密閉容器４１を備える。第１密閉容器４１は、熱源である冷却対象ＣＴから受熱する第１プレート４２と、第１プレート４２に対向する第２プレート４３とが組み合わされて構成される。第１密閉容器４１では、内部に封入された作動流体の気化及び凝縮が行われる。この作動流体は、第１作動流体でもある。
液冷部５は、第１ベイパーチャンバー４と組み合わされる液冷容器５１を有する。液冷部５では、液冷部５の内部を流通する液体冷媒が第１ベイパーチャンバー４に沿って流通する。液冷部５は、導入口５２及び排出口５３を有する。導入口５２は、液冷部５の外部から液冷部５の内部に液体冷媒を導入する。排出口５３は、液冷部５の内部を流通した液体冷媒を液冷部５の外部に排出する。
第２プレート４３は、第２プレート４３の外面４３Ａに位置し、液冷部５の第１内面５４の少なくとも一部を形成する第１内面構成領域４３１を有する。
複数の第１フィンＦｎＡは、液冷部５の内部に設けられる。複数の第１フィンＦｎＡは、液体冷媒の流路の一部を成す。複数の第１フィンＦｎＡは、第１内面構成領域４３１に配置される。

このような構成によれば、第１プレート４２にて受熱された冷却対象ＣＴの熱によって、第１密閉容器４１の内部に封入された作動流体が気化する。気相の作動流体は、第１密閉容器４１の内部を拡散する。気相の作動流体の熱が第２プレート４３に伝達されることによって、気相の作動流体は、第２プレート４３にて液相の作動流体に凝縮する。このように、冷却対象ＣＴの熱は、第２プレート４３において広範囲に伝達される。
第２プレート４３に伝達された熱は、第２プレート４３において第１内面構成領域４３１に配置されて液冷部５の内部に配置された複数の第１フィンＦｎＡに伝達される。液冷部５の内部には、導入口５２にて導入された液体冷媒が流通し、液体冷媒は、複数の第１フィンＦｎＡによって形成される流路を流通する。これにより、液冷媒体には、複数の第１フィンＦｎＡに伝達された熱が伝達される。そして、熱が伝達された液体冷媒は、排出口５３を介して液冷部５の外部に排出される。

これによれば、第１ベイパーチャンバー４にて受熱された冷却対象ＣＴの熱を、複数の第１フィンＦｎＡによって、液冷部５内を流通する液体冷媒に効率よく伝達できる。すなわち、複数の第１フィンＦｎＡが設けられていない場合に比べて、液体冷媒に冷却対象ＣＴの熱を効率よく伝達できる。
更に、ラジエータ２３によって冷却された液体冷媒は、液冷部５内に流通するので、液冷部５における液体冷媒への熱の伝達効率を高めることができる。
従って、冷却装置３Ａによる冷却対象ＣＴの冷却効率を高めることができる。

［第２実施形態］
次に、本開示の第２実施形態について説明する。
本実施形態に係る電子機器は、第１実施形態に係る電子機器１と同様の構成を備えるが、冷却装置の構成が異なる。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同一又は略同一である部分については、同一の符号を付して説明を省略する。

［電子機器及び循環式冷却システムの構成］
図５は、本実施形態に係る冷却装置３Ｂを示す斜視図である。図６は、冷却装置３Ｂを構成する第１ベイパーチャンバー６を第１ベイパーチャンバー６よりも－Ｚ方向の位置からから見た側面図である。図７は、ＹＺ平面に沿う冷却装置３Ｂの断面を－Ｘ方向から見た図である。なお、図６においては、複数の第２フィンＦｎＢ２のうち一部の第２フィンＦｎＢ２について符号を付す。
本実施形態に係る電子機器は、冷却装置３Ａに代えて、図５～図７に示す冷却装置３Ｂを備える他は、第１実施形態に係る電子機器１と同様の構成及び機能を備える。すなわち、本実施形態に係る電子機器が備える循環式冷却システム２は、冷却装置３Ａに代えて冷却装置３Ｂを備える他は、第１実施形態に係る循環式冷却システム２と同様の構成及び機能を備える。
冷却装置３Ｂは、冷却装置３Ａと同様に、冷却対象ＣＴから受熱した熱を、冷却システム２を循環する液体冷媒に伝達することによって、冷却対象ＣＴを冷却する。
冷却装置３Ｂは、図５～図７に示すように、第１ベイパーチャンバー６及び液冷部７を備える他、図６及び図７に示すように、複数のフィンＦｎＢを備える。

［第１ベイパーチャンバーの構成］
第１ベイパーチャンバー６は、第１実施形態に係る第１ベイパーチャンバー４と同様に、冷却対象ＣＴと熱伝達可能に接続され、冷却対象ＣＴから受熱した熱を液体冷媒に伝達する。第１ベイパーチャンバー６は、図６に示すように、後述する第１プレート６２の一部及び第２プレート６３の一部が＋Ｙ方向或いは－Ｙ方向において互いに対向する折り返し形状に形成されている。すなわち、第１ベイパーチャンバー６は、－Ｚ方向から見て横向きの略Ｕ字状に形成されている。なお、略Ｕ字状とは、第１ベイパーチャンバー６の第１プレート６２の一部と第２プレート６３の一部とが対向する状態を含むものである。
第１ベイパーチャンバー６は、第１プレート６２及び第２プレート６３が組み合わされて構成され、気相と液相との間で相変化可能な作動流体が内部に封入された第１密閉容器６１を備える。第１密閉容器６１内に封入された作動流体は、第１作動流体でもある。

第１プレート６２は、第１プレート６２より－Ｚ方向の位置から見て横向きの略Ｕ字状に形成されており、第１プレート６２において、フィンＦｎＢが配置される空間に対する－Ｙ方向の一部と＋Ｙ方向の一部とは、互いに対向している。第１プレート６２は、外面６２Ａを有する他、図示しない内面を有する。
外面６２Ａは、第１プレート６２において外側を向く面であり、第１密閉容器６１の外面の一部を構成する。外面６２Ａのうち－Ｙ方向を向く部分には、－Ｙ方向に突出した突出部６２１が設けられており、突出部６２１における－Ｙ方向の面には、冷却対象ＣＴが熱伝達可能に接続される。すなわち、突出部６２１において－Ｙ方向を向く面は、冷却対象ＣＴから受熱する。なお、突出部６２１は無くてもよい。この場合、冷却対象ＣＴは、外面６２Ａに直接接続されていてもよい。

第１プレート６２の内面は、第１プレート６２においてフィンＦｎＢが配置される空間に向かって内側を向く面であり、第１密閉容器６１の内面を構成する。第１プレート６２の内面のうち、＋Ｙ方向を向く部分と－Ｙ方向を向く部分とは、互いに対向している。第１プレート６２の内面には、図示を省略するが、第１密閉容器６１内に封入された作動流体のうち、液相の作動流体を保持するメッシュが設けられている。

第２プレート６３は、第１プレート６２と同様に、第２プレート６３より－Ｚ方向の位置から見て横向きの略Ｕ字状に形成されており、第２プレート６３におけるフィンＦｎＢが配置される空間に対して－Ｙ方向の一部と＋Ｙ方向の一部とは、互いに対向している。第２プレート６３は、外面６３Ａを有する他、図示しない内面を有する。
第２プレート６３の内面は、第２プレート６３においてフィンＦｎＢが配置される空間に対して外側を向く面であり、第１密閉容器６１の内面を構成する。すなわち、第２プレート６３の内面は、第１プレート６２の内面と対向している。第２プレート６３の内面は、気相の作動流体から受熱して、気相の作動流体を液相の作動流体に凝縮する。

外面６３Ａは、第２プレート６３においてフィンＦｎＢが配置される空間に向けて内側を向く面である。外面６３Ａは、気相の作動流体から受熱した熱を放熱する放熱面であり、外面６３Ａの一部には、後述する複数のフィンＦｎＢが配置されている。
外面６３Ａは、第１密閉容器６１において互いに対向する外面を構成する。そして、第１ベイパーチャンバー６と液冷部７の液冷容器７１とが組み合わされたときに、外面６３Ａは、液冷部７の第１内面７４、第２内面７５及び第３内面７６を構成する。
すなわち、図６において、第２プレート６３は、外面６３Ａにおいて＋Ｙ方向を向き、第１内面７４の少なくとも一部を構成する第１内面構成領域６３１と、外面６３Ａにおいて－Ｙ方向を向き、第２内面７５の少なくとも一部を構成する第２内面構成領域６３２と、外面６３Ａにおいて－Ｘ方向を向き、図７に示す第３内面７６の少なくとも一部を構成する第３内面構成領域６３３と、を有する。第１内面構成領域６３１と第２内面構成領域６３２とは、＋Ｙ方向又は－Ｙ方向において互いに対向している。

［液冷部の構成］
液冷部７は、液冷部５と同様に、第１ベイパーチャンバー６と組み合わされ、内部を流通する液体冷媒に第１ベイパーチャンバー６から放熱された熱を伝達する。液冷部７は、図５に示すように、第１ベイパーチャンバー６と組み合わされる液冷容器７１を備える。

液冷容器７１は、図５に示すように、第１ベイパーチャンバー６の－Ｘ方向、＋Ｚ方向及び－Ｚ方向にて第１ベイパーチャンバー６を囲む枠状に構成され、第１ベイパーチャンバー６と組み合わされる。液冷容器７１は、第１ベイパーチャンバー６を囲む壁部７１１～７１３と、導入口７２と、排出口７３と、を備える。
壁部７１１，７１２は、＋Ｚ方向と－Ｚ方向とから第１ベイパーチャンバー６を挟む。－Ｚ方向に配置された壁部７１１には、第４配管２１４と接続される導入口７２が設けられている。＋Ｚ方向に配置された壁部７１２には、第１配管２１１と接続される排出口７３が設けられている。
壁部７１３は、第１ベイパーチャンバー６に対して－Ｘ方向に設けられる。壁部７１３の内面は、第３内面構成領域６３３と対向し、＋Ｚ方向に流通する液体冷媒の流路を構成する。

導入口７２は、第４配管２１４を介してポンプ２４から流通する液体冷媒を液冷容器７１内に導入する。
排出口７３は、液冷容器７１内を流通した液体冷媒を、第１配管２１１を介してタンク２２に排出する。

このような液冷容器７１と第１ベイパーチャンバー６とが組み合わされることによって、液冷部７内には、図７に示すように、液体冷媒が流通可能な流通空間Ｓが形成される。
すなわち、液冷部７は、流通空間Ｓを形成する第１内面７４、第２内面７５、第３内面７６、図示しない第４内面、第５内面７８及び第６内面７９を有する。
第１内面７４は、液冷部７の内面のうち＋Ｙ方向を向く内面である。第１内面７４の少なくとも一部は、第２プレート６３の第１内面構成領域６３１によって構成される。
第２内面７５は、液冷部７の内面のうち－Ｙ方向を向く内面であり、第１内面７４と対向している。第２内面７５の少なくとも一部は、第２プレート６３の第２内面構成領域６３２によって構成される。

第３内面７６は、液冷部７の内面のうち－Ｘ方向を向く内面である。第３内面７６は、第２プレート６３の第３内面構成領域６３３によって構成される。
第４内面は、図示を省略するが、液冷部７の内面のうち＋Ｘ方向を向く内面であり、第３内面７６と対向している。第４内面は、図５に示す壁部７１３の内面である。
第５内面７８は、液冷部７の内面のうち＋Ｚ方向を向く内面であり、壁部７１１の内面である。
第６内面７９は、液冷部７の内面のうち－Ｚ方向を向く内面であり、壁部７１２の内面である。第６内面７９は、第５内面７８と対向している。
このような流通空間Ｓ内には、第２プレート６３の外面６３Ａに配置された複数のフィンＦｎＢが配置されている。

［複数のフィンの構成］
複数のフィンＦｎＢは、図７に示すように、第１ベイパーチャンバー６の外面６３Ａに配置されている。複数のフィンＦｎＢは、第１内面構成領域６３１に配置された複数の第１フィンＦｎＢ１と、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２と、を含む。

複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、第１内面構成領域６３１から＋Ｙ方向に起立している。すなわち、複数の第１フィンＦｎＢ１は、第１内面７４に配置されている。複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、＋Ｚ方向に沿って延出し、詳しい図示を省略するが、第１方向である＋Ｘ方向に並んで配置されている。複数の第１フィンＦｎＢ１は、液冷部７内を流通する液体冷媒の流路の一部を成す。
複数の第１フィンＦｎＢ１は、第１内面構成領域６３１の略全面に配置されているのではなく、第１内面構成領域６３１において排出口７３側の領域に配置されている。すなわち、複数の第１フィンＦｎＢ１は、第１内面構成領域６３１において液体冷媒の流路における下流側の領域に配置されている。下流側の領域を下流領域ともいう。換言すると、複数の第１フィンＦｎＢ１は、第１内面構成領域６３１における＋Ｚ方向の領域に配置されている。

複数の第２フィンＦｎＢ２は、第２内面構成領域６３２から－Ｙ方向に起立している。すなわち、複数の第２フィンＦｎＢ２は、第２内面７５に配置されている。数の第２フィンＦｎＢ２のそれぞれは、＋Ｚ方向に沿って延出し、図示を省略するが、＋Ｘ方向に並んで配置されている。複数の第２フィンＦｎＢ２は、液冷部７内を流通する液体冷媒の流路の一部を成す。
複数の第２フィンＦｎＢ２は、第２内面構成領域６３２の略全面に配置されているのではなく、第２内面構成領域６３２において導入口７２側の領域に配置されている。すなわち、複数の第２フィンＦｎＢ２は、第２内面構成領域６３２において液体冷媒の流路における上流側の領域（上流領域）に配置されている。上流側の領域を上流領域ともいう。換言すると、複数の第２フィンＦｎＢ２は、第２内面構成領域６３２における－Ｚ方向の領域に配置されている。

本実施形態では、第１フィンＦｎＢ１の＋Ｘ方向の寸法、＋Ｙ方向の寸法及び＋Ｚ方向の寸法は、各第１フィンＦｎＢ１で同じである。第２フィンＦｎＢ２の＋Ｘ方向の寸法、＋Ｙ方向の寸法及び＋Ｚ方向の寸法は、各第２フィンＦｎＢ２で同じである。
第１フィンＦｎＢ１の＋Ｘ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２の＋Ｘ方向の寸法とは、同じである。第１フィンＦｎＢ１の＋Ｙ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２の＋Ｙ方向の寸法とは、同じである。第１フィンＦｎＢ１の＋Ｚ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２の＋Ｚ方向の寸法とは、同じである。更に、＋Ｘ方向における複数の第１フィンＦｎＢ１の配列ピッチである配置間隔と、＋Ｘ方向における複数の第２フィンＦｎＢ２の配列ピッチである配置間隔とは、同じである。
なお、各第１フィンＦｎＢ１における＋Ｙ方向の先端部は、第２内面構成領域６３２に接触していてもよく、接触していなくてもよい。同様に、各第２フィンＦｎＢ２における－Ｙ方向の先端部は、第１内面構成領域６３１に接触していてもよく、接触していなくてもよい。

［冷却装置による冷却対象の冷却］
第１ベイパーチャンバー６は、外面６２Ａにて冷却対象ＣＴの熱を受熱する。第１ベイパーチャンバー６では、冷却対象ＣＴから受熱された熱によってメッシュに保持された液相の作動流体が気化し、気相の作動流体が第１ベイパーチャンバー６内にて拡散する。気相の作動流体のうち、一部の作動流体は、第１内面構成領域６３１に対応する内面に熱を伝達することによって液相の作動流体に凝縮され、他の一部の作動流体は、第２内面構成領域６３２に対応する内面に熱を伝達することによって液相の作動流体に凝縮される。なお、液相の作動流体は、メッシュを伝って、冷却対象ＣＴに対応する内面に到達する。
第１内面構成領域６３１に対応する内面に伝達された熱のうち、一部の熱は、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第１フィンＦｎＢ１に伝達され、他の一部の熱は、第１内面構成領域６３１において第１フィンＦｎＢ１が配置されていない領域に伝達される。第２内面構成領域６３２に対応する内面に伝達された熱のうち、一部の熱は、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２に伝達され、他の一部の熱は、第２内面構成領域６３２において第２フィンＦｎＢ２が配置されていない領域に伝達される。

導入口７２から液冷部７内に導入された液体冷媒は、複数の第１フィンＦｎＢ１に対して上流側に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２の間の流路を＋Ｚ方向に流通する。ここで、各第２フィンＦｎＢ２における基端側の部分の温度は、先端側の部分の温度よりも高い。すなわち、各第２フィンＦｎＢ２において＋Ｙ方向の部分の温度は、－Ｙ方向の部分の温度よりも高い。このため、第１内面７４と第２内面７５との間を＋Ｚ方向に流通する液体冷媒のうち、第２内面７５側を流通する液体冷媒には、各第２フィンＦｎＢ２から熱が伝わりやすいことから、第２内面７５側を流通する液体冷媒の温度は、第１内面７４側を流通する液体冷媒の温度よりも高くなる。

各第２フィンＦｎＢ２の間を流通した液体冷媒は、複数の第１フィンＦｎＢ１の間の流路を＋Ｚ方向に流通する。ここで、各第１フィンＦｎＢ１における基端側の部分の温度は、先端側の部分の温度よりも高い。すなわち、各第１フィンＦｎＢ１において－Ｙ方向の部分の温度は、＋Ｙ方向の部分の温度よりも高い。このため、第１内面７４と第２内面７５との間を＋Ｚ方向に流通する液体冷媒のうち、第１内面７４側を流通する液体冷媒には、各第１フィンＦｎＢ１から熱が伝わりやすいことから、第１内面７４側を流通する液体冷媒の温度は、第２内面７５側を流通する液体冷媒の温度よりも高くなる。
このように、第２フィンＦｎＢ２間を流通して第１フィンＦｎＢ１間を流通する液体冷媒の温度が第１内面７４と第２内面７５との間にて均一化するように温度差が緩和される。これにより、液体冷媒に各フィンＦｎＢから熱を伝達しやすくすることができ、各フィンＦｎＢの冷却効率、ひいては、冷却対象ＣＴの冷却効率を高めることができる。
なお、第１フィンＦｎＢ１間を流通した液体冷媒は、排出口７３から第１配管２１１に排出される。

［第２実施形態の効果］
以上説明した本実施形態に係る電子機器は、第１実施形態に係る電子機器１と同様の効果を奏する他、以下の効果を奏する。
冷却装置３Ｂでは、第１ベイパーチャンバー６は、第２プレート６３の一部が互いに対向する折り返し形状に形成されている。第２プレート６３は、第２プレート６３の外面６３Ａにおいて第１内面構成領域６３１と対向し、液冷部７の内部において第１内面７４と対向する第２内面７５の少なくとも一部を構成する第２内面構成領域６３２を有する。
このような構成によれば、液冷部７における第１内面７４だけでなく、第１内面７４に対向する第２内面７５にも熱源の熱を伝達できる。このため、第１内面７４及び複数の第１フィンＦｎＢ１だけでなく、第２内面７５からも液体冷媒に熱源の熱を伝達できる。従って、液体冷媒に対する熱の伝達効率を高めることでき、ひいては、熱源である冷却対象ＣＴの冷却効率を高めることができる。

冷却装置３Ｂは、第２内面７５に設けられ、液体冷媒の流路の一部を成す複数の第２フィンＦｎＢ２を備える。
このような構成によれば、複数の第２フィンＦｎＢ２を介して、第２内面７５に伝達された熱を液体冷媒に伝達しやすくすることができる。従って、熱源である冷却対象ＣＴを一層効率よく冷却できる。

冷却装置３Ｂでは、複数の第２フィンＦｎＢ２は、液体冷媒の流路において導入口７２側の上流領域に配置され、複数の第１フィンＦｎＢ１は、液体冷媒の流路において排出口７３側の下流領域に配置されている。複数の第２フィンＦｎＢ２は、複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とのうち一方の複数のフィンに相当し、複数の第１フィンＦｎＢ１は、他方のフィンに相当する。

ここで、第１フィンＦｎＢ１の基端部には、第１フィンＦｎＢ１の先端部に比べて熱が伝達しやすいため、第１フィンＦｎＢ１の基端部の温度は、第１フィンＦｎＢ１の先端部の温度よりも高い。同様に、第２フィンＦｎＢ２の基端部の温度は、第２フィンＦｎＢ２の先端部の温度よりも高い。
このため、第１内面７４と第２内面７５との間を液体冷媒が流通することによって、第１内面７４から第２内面７５に向かう方向において液体冷媒の温度差が大きくなることを抑制でき、液体冷媒の均熱化を図ることができる。すなわち、液体冷媒の温度が局所的に高くなることを抑制でき、各フィンＦｎＢから液体冷媒に熱を効率よく伝達できる。
なお、熱源である冷却対象ＣＴに近い第１内面構成領域６３１には、第２内面構成領域６３２よりも、作動流体を介して冷却対象ＣＴの熱が伝わりやすい。このため、第１内面構成領域６３１に配置された第１フィンＦｎＢ１に、第２内面構成領域６３２に配置された第２フィンＦｎＢ２を流通した後の液体冷媒が流通することによって、冷却対象ＣＴから受熱された熱を液体冷媒に伝達しやすくすることができる。
従って、冷却装置３Ｂによる冷却対象ＣＴの冷却効率を一層高めることができる。

また、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２に沿って流通する液体冷媒の流通方向において第１フィンＦｎＢ１と第２フィンＦｎＢ２とが干渉することを抑制できる。このため、例えば複数の第１フィンＦｎＢ１の間に第２フィンＦｎＢ２が配置される場合に比べて、各フィンＦｎＢを液冷部７内に配置しやすくすることができる。従って、液冷部７、ひいては、冷却装置３Ｂの組立性を高めることができる。

［第２実施形態の変形例］
上記した冷却装置３Ｂでは、第１内面構成領域６３１に配置された複数の第１フィンＦｎＢ１は、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２よりも液体冷媒の流路における下流側に配置されているとした。しかしながら、これに限らず、複数の第１フィンＦｎＢ１が、複数の第２フィンＦｎＢ２よりも液体冷媒の流路における上流側に配置されていてもよい。また、第１フィン及び第２フィンの配置は、適宜変更可能である。

［第２実施形態に係る冷却装置の第１変形例］
図８は、冷却装置３Ｂの第１変形例を示す図であり、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２の配置の第１変形例を示す図である。換言すると、図８は、第１変形例に係る第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２を－Ｚ方向から見た図である。なお、図８では、液冷部７の図示を省略している他、複数の第１フィンＦｎＢ１のうちの一部、及び、複数の第２フィンＦｎＢ２うちの一部について符号を付す。
図８に示す例では、第１内面構成領域６３１に配置された複数の第１フィンＦｎＢ１と、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２とは、＋Ｘ方向において交互に配置されている。すなわち、複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、第１方向である＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列されている。複数の第２フィンＦｎＢ２のそれぞれは、＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列されている。複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、＋Ｘ方向から見て互いに重なり、かつ、＋Ｘ方向に交互に配置されている。そして、複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、液冷部７内に導入された液体冷媒の流路の一部を成す。詳述すると、第１フィンＦｎＢ１と、第１フィンＦｎＢ１に対して＋Ｘ方向に配置された第２フィンＦｎＢ２との間には、液体冷媒の流路が形成され、第２フィンＦｎＢ２と、第２フィンＦｎＢ２に対して＋Ｘ方向に配置された第１フィンＦｎＢ１との間には、液体冷媒の流路が形成されている。

なお、複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、第１内面構成領域６３１の略全体に亘って＋Ｚ方向に延出している。同様に、複数の第２フィンＦｎＢ２のそれぞれは、第２内面構成領域６３２の略全体に亘って＋Ｚ方向に延出している。そして、第１フィンＦｎＢ１における＋Ｘ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２における＋Ｘ方向の寸法とは同じである。第１フィンＦｎＢ１における＋Ｙ方向の寸法と第２フィンＦｎＢ２における＋Ｙ方向の寸法とは同じである。第１フィンＦｎＢ１における＋Ｚ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２における＋Ｚ方向の寸法とは同じである。
また、＋Ｘ方向における複数の第１フィンＦｎＢ１の配列ピッチである配置間隔と、＋Ｘ方向における複数の第２フィンＦｎＢ２の配列ピッチである配置間隔とは、同じである。
更に、各第１フィンＦｎＢ１における＋Ｙ方向の先端部は、第２内面構成領域６３２に接触していてもよく、接触していなくてもよい。同様に、各第２フィンＦｎＢ２における－Ｙ方向の先端部は、第１内面構成領域６３１に接触していてもよく、接触していなくてもよい。

このように複数の第１フィンＦｎＢ１及び複数の第２フィンＦｎＢ２が配列された冷却装置３Ｂは、以下の効果を奏することができる。
すなわち、第１変形例に係る冷却装置３Ｂでは、複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、第１方向である＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列され、複数の第２フィンＦｎＢ２のそれぞれは、＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列されている。複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、＋Ｘ方向から見て互いに重なり、かつ、＋Ｘ方向に交互に配置されて、液体冷媒の流路の一部を成す。
このような構成によれば、交互に配列された第１フィンＦｎＢ１と第２フィンＦｎＢ２との間を液体冷媒が流通することによって、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２のそれぞれから液体冷媒に熱を伝達しやすくすることができる。従って、熱源である冷却対象ＣＴを効率よく冷却できる。また、第１フィンＦｎＢ１の配置間隔と第２フィンＦｎＢ２の配置間隔とのそれぞれを小さくしなくても、第１フィンＦｎＢ１と第２フィンＦｎＢ２とで形成される流路の幅を狭くすることができ、多数の流路を形成することができる。これにより、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２と液体冷媒との接触面積であって、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２から液体冷媒への熱交換に必要な接触面積を確保できる。

［第２実施形態に係る冷却装置の第２変形例］
図９は、冷却装置３Ｂの第２変形例を示す図であり、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２の配置の第２変形例を示す図である。換言すると、図９は、第２変形例に係る第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２を－Ｚ方向から見た図である。なお、図９では、液冷部７の図示を省略している他、複数の第１フィンＦｎＢ１のうちの一部、及び、複数の第２フィンＦｎＢ２のうちの一部について符号を付す。
図９に示す例では、第１内面構成領域６３１に配置された複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、互いに隙間を空けて第１方向である＋Ｘ方向に並んで配列されている。第１内面構成領域６３１から＋Ｙ方向への各第１フィンＦｎＢ１の寸法は、第１内面構成領域６３１と第２内面構成領域６３２との間の距離の半分の寸法である。
同様に、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２は、互いに隙間を空けて＋Ｘ方向に並んで配置されている。第２内面構成領域６３２から－Ｙ方向への各第２フィンＦｎＢ２の寸法は、第１内面構成領域６３１と第２内面構成領域６３２との間の距離の半分の寸法である。
なお、各第１フィンＦｎＢ１の＋Ｘ方向の配列ピッチと、各第２フィンＦｎＢ２の＋Ｘ方向の配列ピッチとは、同じである。

このため、複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、第１内面７４からの複数の第１フィンＦｎＢ１の突出方向から見て互いに重なり、かつ、各第１フィンＦｎＢ１の配列方向から見て互いに重ならずに配置されている。具体的に、複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、＋Ｙ方向から見て互いに重なり、かつ、＋Ｘ方向から見て互いに重ならずに配置されている。なお、各第１フィンＦｎＢ１の－Ｙ方向への寸法と、各第２フィンＦｎＢ２の＋Ｙ方向への寸法とは、第１内面構成領域６３１と第２内面構成領域６３２との間の距離の半分でなくても、第１フィンＦｎＢ１と第２フィンＦｎＢ２とのうち一方のフィンが、＋Ｙ方向又は－Ｙ方向において他方のフィンよりも長くてもよい。
そして、複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、液冷部７内に導入された液体冷媒の流路の一部を成す。すなわち、各第１フィンＦｎＢ１の間、及び、各第２フィンＦｎＢ２の間には、液体冷媒の流路が形成されている。

なお、各第１フィンＦｎＢ１は、第１内面構成領域６３１の略全体に亘って＋Ｚ方向に延出している。同様に、各第２フィンＦｎＢ２は、第２内面構成領域６３２の略全体に亘って＋Ｚ方向に延出している。そして、第１フィンＦｎＢ１における＋Ｘ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２における＋Ｘ方向の寸法とは同じである。第１フィンＦｎＢ１における＋Ｚ方向の寸法と、第２フィンＦｎＢ２における＋Ｚ方向の寸法とは同じである。上記のように、第１フィンＦｎＢ１における＋Ｙ方向の寸法と第２フィンＦｎＢ２における＋Ｙ方向の寸法とは同じである。しかしながら、第１フィンＦｎＢ１における＋Ｙ方向の寸法と第２フィンＦｎＢ２における＋Ｙ方向の寸法とは異なっていてもよい。
更に、第１フィンＦｎＢ１における＋Ｙ方向の先端部と、第２フィンＦｎＢ２における－Ｙ方向の先端部とは、接触していてもよく、接触していなくてもよい。

このように複数の第１フィンＦｎＢ１及び複数の第２フィンＦｎＢ２が配列された冷却装置３Ｂは、以下の効果を奏することができる。
すなわち、第２変形例に係る冷却装置３Ｂでは、複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれは、第１方向である＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列され、複数の第２フィンＦｎＢ２のそれぞれは、＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列されている。複数の第１フィンＦｎＢ１と複数の第２フィンＦｎＢ２とは、＋Ｙ方向から見て互いに重なり、かつ、＋Ｘ方向から見て互いに重ならずに配置されて、液体冷媒の流路の一部を成す。なお、＋Ｙ方向は、第１内面７４を構成する第１内面構成領域６３１からの複数の第１フィンＦｎＢ１の突出方向に相当する。
このような構成によれば、第１内面７４側を流通する液体冷媒に複数の第１フィンＦｎＢ１から熱を伝達しやすくでき、第２内面７５側を流通する液体冷媒に複数の第２フィンＦｎＢ２から熱を伝達しやすくできる。
また、第１フィンＦｎＢ１及び第２フィンＦｎＢ２は、＋Ｙ方向から見て互いに重なるので、例えば複数の第１フィンＦｎＢ１の間に第２フィンＦｎＢ２が配置される場合に比べて、各フィンＦｎＢ１，ＦｎＢ２を液冷部７内に配置しやすくすることができる。従って、液冷部７、ひいては、冷却装置３Ｂの組立性を高めることができる。

［第３実施形態］
次に、本開示の第３実施形態について説明する。
本実施形態に係る電子機器は、第１実施形態に係る電子機器１と同様の構成を備えるが、冷却装置の構成が異なる。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同一又は略同一である部分については、同一の符号を付して説明を省略する。

［電子機器及び循環式冷却システムの構成］
図１０は、本実施形態に係る冷却装置３Ｃを示す斜視図である。
本実施形態に係る電子機器は、冷却装置３Ａに代えて、図９に示す冷却装置３Ｃを備える他は、第１実施形態に係る電子機器１と同様の構成及び機能を備える。すなわち、本実施形態に係る電子機器が備える循環式冷却システム２は、冷却装置３Ａに代えて冷却装置３Ｃを備える他は、第１実施形態に係る冷却システム２と同様の構成及び機能を備える。
冷却装置３Ｃは、第１及び第２実施形態に係る冷却装置３Ａ，３Ｂと同様に、熱源である冷却対象ＣＴから受熱し、冷却システム２を循環する液体冷媒に熱を伝達することによって、冷却対象ＣＴを冷却する。冷却装置３Ｃは、第１ベイパーチャンバー４Ａ、液冷部８及び複数のフィンＦｎＣを備える。

［第１ベイパーチャンバーの構成］
図１１は、ＸＹ平面に沿う冷却装置３Ｃの断面を－Ｚ方向から見た図である。なお、図１１においては、複数の第１フィンＦｎＣ１のうちの一部、及び、複数の第２フィンＦｎＣ２のうちの一部について符号を付す。
第１ベイパーチャンバー４Ａは、熱源である冷却対象ＣＴと接続される突出部４２１が第１プレート４２に設けられている他は、第１ベイパーチャンバー４と同様の構成及び機能を備える。すなわち、第１ベイパーチャンバー４Ａは、ＸＺ平面に沿う平板状に構成されている。第１ベイパーチャンバー４Ａは、液冷部８の液冷容器８１と組み合わされて、液体冷媒が流通する流通空間Ｓを構成する。
なお、第１ベイパーチャンバー４Ａの外面４３Ａは、第１ベイパーチャンバー４Ａと液冷容器８１と組み合わされたときに、液冷部８の第１内面８４を構成する。すなわち、第２プレート４３は、外面４３Ａに設けられ、第１内面８４を構成する第１内面構成領域４３１を有する。

［液冷部の構成］
液冷部８は、図１１に示すように、第１ベイパーチャンバー４Ａと組み合わされる。液冷部８は、図１０に示すように、液冷容器８１と、熱伝達部材である第２ベイパーチャンバー９Ａと、ヒートパイプＨＰと、を備える。すなわち、冷却装置３Ｃは、第１ベイパーチャンバー４Ａ、第２ベイパーチャンバー９Ａ、ヒートパイプＨＰ及び液冷容器８１を備える。なお、液冷容器８１については後に詳述する。

［第２ベイパーチャンバーの構成］
第２ベイパーチャンバー９Ａは、ヒートパイプＨＰを介して、第１ベイパーチャンバー４Ａと熱伝達可能に接続され、第１ベイパーチャンバー４Ａから伝達される熱を、液冷部８内を流通する液体冷媒に伝達する。第２ベイパーチャンバー９Ａは、第１実施形態に係る第１ベイパーチャンバー４と同様にＸＺ平面に沿う平板状に形成され、第１ベイパーチャンバー４Ａに対して＋Ｙ方向に配置される。第２ベイパーチャンバー９Ａは、第１プレート９２及び第２プレート９３が組み合わされて構成され、内部に液相と気相との間で相変化可能な作動流体が封入された平板状の第２密閉容器９１を備える。第２密閉容器９１内に封入された作動流体は、第２作動流体である。
第２ベイパーチャンバー９Ａにおいて、第１プレート９２は、第３プレートに相当し、第２プレート９３は、第４プレートに相当する。

第１プレート９２は、第２プレート９３に対して＋Ｙ方向に配置される。第１プレート９２は、ヒートパイプＨＰから伝達された熱によって、図示しない内部に設けられたメッシュに保持された液相の作動流体を気化させる。
第１プレート９２において第２プレート９３とは反対側の外面９２Ａは、第２ベイパーチャンバー９Ａの外面の一部を構成する。外面９２Ａには、ヒートパイプＨＰの第２接続部ＨＰ２と接続され、ヒートパイプＨＰを介して第１ベイパーチャンバー４Ａから熱が伝達される。
図示を省略するが、第１プレート９２において第２プレート９３と対向する内面は、第２密閉容器９１の内面の一部を形成する。当該内面には、液相の作動流体を保持するメッシュが設けられている。

第２プレート９３は、第１プレート９２に対して－Ｙ方向に配置される。第２プレート９３は、第１プレート９２に伝達された熱を放熱する。
図示を省略するが、第２プレート９３において第１プレート９２と対向する内面は、第２密閉容器９１の内面の一部を形成する。
第２プレート９３において第１プレート９２とは反対側の外面９３Ａは、第２プレート９３に伝達された熱を放熱する。外面９３Ａは、第２ベイパーチャンバー９Ａが液冷容器８１と組み合わされたときに、液冷部８の第２内面８５を構成する。すなわち、第２プレート９３は、第２内面８５を構成する第２内面構成領域９３１を有する。

［ヒートパイプの構成］
ヒートパイプＨＰは、第１ベイパーチャンバー４Ａと第２ベイパーチャンバー９Ａとを熱伝達可能に接続するものであり、冷却装置３Ｃに複数設けられている。本実施形態では、ヒートパイプＨＰは、冷却装置３Ｃに２つ設けられている。ヒートパイプＨＰは、一端に設けられた第１接続部ＨＰ１と、他端に設けられた第２接続部ＨＰ２と、を有する。
第１接続部ＨＰ１は、受熱部である。第１接続部ＨＰ１は、第１ベイパーチャンバー４Ａの第１プレート４２が有する外面４２Ａに接続される。
第２接続部ＨＰ２は、放熱部である。第２接続部ＨＰ２は、第２ベイパーチャンバー９Ａの第１プレート９２が有する外面９２Ａに接続される。外面９２Ａは、第２内面８５に対応する外面であり、第１外面に相当する。

第１接続部ＨＰ１にて受熱された熱によって、ヒートパイプＨＰの内部に封入された作動流体の一部が気化する。気化した作動流体は、放熱端である第２接続部ＨＰ２に移動し、第２接続部ＨＰ２に熱を伝達する。これにより、第２接続部ＨＰ２にて作動流体が凝縮される。なお、凝縮された作動流体は、ヒートパイプＨＰの内部を毛管力によって移動し、再び、第１接続部ＨＰ１に戻る。
このようなヒートパイプＨＰによって、第１接続部ＨＰ１にて第１プレート４２から受熱された熱は、第２接続部ＨＰ２にて第２ベイパーチャンバー９Ａの外面９２Ａに伝達される。

本実施形態では、ヒートパイプＨＰの第２接続部ＨＰ２は、外面９２Ａにおける＋Ｘ方向の端部から－Ｘ方向に延出している。第２接続部ＨＰ２における－Ｘ方向の端部は、＋Ｘ方向における外面９２Ａの中央を－Ｘ方向に超えた位置に配置されている。すなわち、第２接続部ＨＰ２の端部は、熱伝達部材である第２ベイパーチャンバー９Ａにおいて第２内面８５に対応する外面９２Ａに沿う第２接続部ＨＰ２の延出方向における外面９２Ａの中央を超えた位置に配置されている。
このため、ヒートパイプＨＰから第２ベイパーチャンバー９Ａの広い範囲に熱を伝達させやすくすることができる。

［液冷容器の構成］
図１０及び図１１に示すように、液冷容器８１は、第１ベイパーチャンバー４Ａ及び第２ベイパーチャンバー９Ａと組み合わされ、循環式冷却システム２を循環する液体冷媒が内部を流通する流通空間Ｓを構成する。液冷容器８１は、枠状に構成されている。液冷容器８１は、図１０に示すように、貫通口８１０、壁部８１１，８１２，８１３，８１４、導入口８２及び排出口８３を有する。
貫通口８１０は、液冷容器８１を＋Ｙ方向に沿って貫通している。貫通口８１０の周縁は、壁部８１１，８１２，８１３，８１４によって形成される。

壁部８１１，８１２は、ＸＹ平面に沿う壁部であり、＋Ｚ方向において互いに対向している。壁部８１１は、流通空間Ｓに対して－Ｚ方向に配置され、壁部８１２は、流通空間Ｓに対して＋Ｚ方向に配置される。
壁部８１１には、導入口８２が設けられている。導入口８２は、図１に示した第４配管２１４と接続され、ポンプ２４から送出された液体冷媒を液冷部８内に導入する。
壁部８１２には、排出口８３が設けられている。排出口８３は、図１に示した第１配管２１１と接続され、液冷部８内を流通した液体冷媒をタンク２２に排出する。
壁部８１３，８１４は、ＹＺ平面に沿う壁部であり、＋Ｘ方向において互いに対向している。壁部８１３は、流通空間Ｓに対して＋Ｘ方向に配置され、壁部８１４は、流通空間Ｓに対して－Ｘ方向に配置されている。

このような液冷容器８１には、－Ｙ方向から第１ベイパーチャンバー４Ａが組み合わされる他、＋Ｙ方向から第２ベイパーチャンバー９Ａが組み合わされる。すなわち、貫通口８１０は、第１ベイパーチャンバー４Ａ及び第２ベイパーチャンバー９Ａによって閉塞される。これにより、液冷部８の内部には、図１１に示すように、第１内面８４、第２内面８５、第３内面８６、第４内面８７、第５内面８８及び図示しない第６内面によって囲まれた流通空間Ｓが形成される。すなわち、液冷部８は、流通空間Ｓを形成する第１内面８４、第２内面８５、第３内面８６、第４内面８７、第５内面８８及び図示しない第６内面を有する。

第１内面８４は、液冷部８の内面のうち＋Ｙ方向を向く内面である。第１内面８４の少なくとも一部は、第１ベイパーチャンバー４Ａの第１内面構成領域４３１によって構成される。
第２内面８５は、液冷部８の内面のうち－Ｙ方向を向く内面であり、第１内面８４と対向している。第２内面８５の少なくとも一部は、第２ベイパーチャンバー９Ａの第２内面構成領域９３１によって構成される。

第３内面８６は、液冷部８の内面のうち－Ｘ方向を向く内面である。第３内面８６は、壁部８１３の内面によって構成される。
第４内面８７は、液冷部７の内面のうち＋Ｘ方向を向く内面であり、第３内面８６と対向している。第４内面８７は、壁部８１４の内面によって構成される。
第５内面８８は、液冷部７の内面のうち－Ｚ方向を向く内面であり、壁部８１２の内面である。排出口８３は、第５内面８８に開口している。
第６内面は、図示を省略するが、液冷部８の内面のうち＋Ｚ方向を向く内面であり、第５内面８８と対向している。第６内面は、壁部８１１の内面によって構成される。
このような流通空間Ｓ内には、第１内面構成領域４３１及び第２内面構成領域９３１に配置された複数のフィンＦｎＣが配置されている。

［複数のフィンの構成］
複数のフィンＦｎＣは、第２実施形態に係る冷却装置３Ｂにおける複数のフィンＦｎＢと同様に、液冷部８の内部に設けられた流通空間Ｓに配置される。複数のフィンＦｎＣは、第１内面構成領域４３１に配置される複数の第１フィンＦｎＣ１と、第２内面構成領域９３１に配置される複数の第２フィンＦｎＣ２と、を含む。
複数の第１フィンＦｎＣ１のそれぞれは、第１内面構成領域４３１に配置され、第１内面構成領域４３１から＋Ｙ方向に突出している。複数の第１フィンＦｎＣ１のそれぞれは、＋Ｚ方向に延出し、第１方向である＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列されている。
複数の第２フィンＦｎＣ２のそれぞれは、第２内面構成領域９３１に配置され、第２内面構成領域９３１から－Ｙ方向に突出している。複数の第２フィンＦｎＣ２のそれぞれは、＋Ｚ方向に延出し、第１方向である＋Ｘ方向に互いに隙間を空けて配列されている。

複数の第１フィンＦｎＣ１は、複数の第１フィンＦｎＢ１と同様の構成を有し、複数の第２フィンＦｎＣ２は、複数の第２フィンＦｎＢ２と同様の構成を有する。また、複数の第１フィンＦｎＣ１及び複数の第２フィンＦｎＣ２の配置は、第２実施形態にて示した複数の第１フィンＦｎＢ１及び複数の第２フィンＦｎＢ２の配置と同様である。
例えば、図１１に示すように、複数の第１フィンＦｎＣ１と複数の第２フィンＦｎＣ２とは、第１方向である＋Ｘ方向から見て互いに重なり、かつ、＋Ｘ方向に交互に配置されて、液体冷媒の流路の一部を成してもよい。この場合、各第１フィンＦｎＣ１は、第１内面構成領域４３１の略全面に配置され、各第２フィンＦｎＣ２は、第２内面構成領域９３１の略全面に配置される。

また例えば、図７に示したフィンＦｎＢと同様に、複数の第１フィンＦｎＣ１は、第１内面構成領域４３１における＋Ｚ方向の領域に配置され、第２フィンＦｎＣ２は、第２内面構成領域９３１における－Ｚ方向の領域に配置されていてもよい。すなわち、複数の第１フィンＦｎＣ１は、液体冷媒の流路において導入口８２側の上流領域に配置され、複数の第２フィンＦｎＣ２は、当該流路において排出口８３側の下流領域に配置されてもよい。
また例えば、図９に示したフィンＦｎＢと同様に、＋Ｙ方向から見て互いに重なり、かつ、＋Ｘ方向から見て互いに重ならずに配置されて、液体冷媒の流路の一部を成してもよい。＋Ｙ方向は、第１内面８４を構成する第１内面構成領域４３１からの複数の第１フィンＦｎＣ１の突出方向に相当する。この場合、各第１フィンＦｎＣ１は、第１内面構成領域４３１の略全面に配置され、各第２フィンＦｎＣ２は、第２内面構成領域９３１の略全面に配置される。

［冷却装置による冷却対象の冷却］
熱源である冷却対象ＣＴは、第１ベイパーチャンバー４Ａの突出部４２１と接続されているので、冷却対象ＣＴの熱は、突出部４２１にて第１ベイパーチャンバー４Ａの第１プレート４２に伝達する。第１ベイパーチャンバー４Ａの内部には、第１作動流体である作動流体が封入されている。第１ベイパーチャンバー４Ａでは、冷却対象ＣＴから受熱された熱によってメッシュに保持された液相の作動流体が気化し、気相の作動流体が第１ベイパーチャンバー４Ａ内にて拡散する。気相の作動流体のうち、一部の作動流体は、第１内面構成領域４３１に対応する内面に熱を伝達することによって液相の作動流体に凝縮され、他の一部の作動流体は、ヒートパイプＨＰの第１接続部ＨＰ１に対応する内面に熱を伝達することによって液相の作動流体に凝縮される。なお、液相の作動流体は、メッシュを伝って、冷却対象ＣＴに対応する内面に到達する。

第１内面構成領域４３１に対応する内面に伝達された熱のうち、一部の熱は、第１内面構成領域４３１に配置された複数の第１フィンＦｎＣ１に伝達され、他の一部の熱は、第１内面構成領域４３１において第１フィンＦｎＣ１が配置されていない領域に伝達される。第１プレート４２において第１接続部ＨＰ１に対応する内面に伝達された熱は、ヒートパイプＨＰを介して第２ベイパーチャンバー９Ａの外面９２Ａに伝達される。第２ベイパーチャンバー９Ａの内部には、第２作動流体である作動流体が封入されている。
外面９２Ａに伝達された熱によって、第１プレート９２の内面にて液相の作動流体が気化し、気相の作動流体が第２ベイパーチャンバー９Ａ内にて拡散する。気相の作動流体のうち、一部の作動流体は、第２内面構成領域９３１に対応する内面に熱を伝達することによって液相の作動流体に凝縮される。当該内面に伝達された熱のうち、一部の熱は、第２内面構成領域９３１に配置された複数の第２フィンＦｎＣ２に伝達され、他の一部の熱は、第２内面構成領域９３１において第２フィンＦｎＣ２が配置されていない領域に伝達される。

導入口８２から液冷部８内に導入された液体冷媒は、複数の第１フィンＦｎＣ１及び複数の第２フィンＦｎＣ２によって形成される流路を＋Ｚ方向に流通する。これにより、各フィンＦｎＣに伝達された熱が液体冷媒に伝達する。換言すると、冷却対象ＣＴの熱が伝達された複数のフィンＦｎＣが、液体冷媒によって冷却され、ひいては、冷却対象ＣＴが冷却される。液冷部８の内部を流通した液体冷媒は、排出口８３から第１配管２１１に排出される。

［第３実施形態の効果］
以上説明した本実施形態に係る電子機器は、第１及び第２実施形態に係る電子機器と同様の効果を奏する他、以下の効果を奏する。
冷却装置３Ｃでは、液冷部８は、熱伝達部材である第２ベイパーチャンバー９Ａと、ヒートパイプＨＰと、を備える。第２ベイパーチャンバー９Ａは、液冷容器８１と組み合わされ、液冷部８の内部において第１内面８４と対向する第２内面８５を構成する熱伝達部材である。ヒートパイプＨＰは、第１プレート４２において冷却対象ＣＴと対向する外面４２Ａと第２ベイパーチャンバー９Ａとを熱的に接続する。なお、外面４２Ａは、第１プレート側外面に相当する。
このような構成によれば、液冷部８における第１内面８４だけでなく、第１内面８４に対向する第２内面８５にも冷却対象ＣＴの熱を伝達できる。このため、第１内面８４及び複数の第１フィンＦｎＣ１だけでなく、第２内面８５からも液体冷媒に冷却対象ＣＴの熱を伝達できる。従って、液体冷媒に対する熱の伝達効率を高めることでき、ひいては、冷却対象ＣＴの冷却効率を高めることができる。

熱伝達部材である第２ベイパーチャンバー９Ａは、第１プレート９２と、第１プレート９２に対向する第２プレート９３とが組み合わされて構成されている。第２ベイパーチャンバー９Ａでは、内部に封入された第２作動流体の気化及び凝縮が行われる。第１プレート９２は、第３プレートに相当し、第２プレート９３は、第４プレートに相当する。
このような構成によれば、ヒートパイプＨＰによって第１ベイパーチャンバー４Ａから第２ベイパーチャンバー９Ａに伝達された熱を、第２内面８５にて分散させることができる。このため、第２内面８５の均熱化を図ることができ、第２内面８５に沿って流通する液体冷媒に効率よく熱を伝達できる。従って、熱源である冷却対象ＣＴの冷却効率を高めることができる。

ヒートパイプＨＰは、第２ベイパーチャンバー９Ａと接続される第２接続部ＨＰ２を有する。第２接続部ＨＰ２は、ヒートパイプＨＰが備える接続部の１つである。第２接続部ＨＰ２の端部は、＋Ｘ方向における外面９２Ａの中央を超えた位置に配置されている。＋Ｘ方向は、第２ベイパーチャンバー９Ａにおいて第２内面８５に対応する外面９２Ａに沿う第２接続部ＨＰ２の延出方向に相当し、外面９２Ａは、第１外面に相当する。
このような構成によれば、第２ベイパーチャンバー９Ａにおける広範囲にヒートパイプＨＰから熱を伝達できる。このため、第２内面８５の均熱化を図ることができ、第２内面８５に沿って流通する液体冷媒に効率よく熱を伝達できる。従って、冷却対象ＣＴの冷却効率を高めることができる。

冷却装置３Ｃは、第２内面８５に設けられ、液体冷媒の流路の一部を成す複数の第２フィンＦｎＣ２を備える。
このような構成によれば、第２内面８５に設けられた複数の第２フィンＦｎＣ２を介して、第２内面８５に伝達された熱を液体冷媒に伝達しやすくすることができる。従って、冷却対象ＣＴを一層効率よく冷却できる。

［第３実施形態の第１変形例］
図１２は、冷却装置３Ｃの第１変形例を示す図であり、第１変形例に係る冷却装置３ＣのＸＹ平面に沿う断面を－Ｚ方向から見た図である。なお、図１２においては、複数の第１フィンＦｎＣ１のうちの一部、及び、複数の第２フィンＦｎＣ２のうちの一部について符号を付す。
上記した冷却装置３Ｃでは、熱伝達部材として、液冷部８は、第２ベイパーチャンバー９Ａを備えるとした。しかしながら、これに限らず、液冷部８は、第２ベイパーチャンバー９Ａに代えて、他の熱伝達部材を備えていてもよい。
例えば、図１２に示す冷却装置３Ｃの液冷部８は、熱伝達部材として、ＸＺ平面に沿う平板状の金属部材９Ｂを備えている。金属部材９Ｂにおいて＋Ｙ方向を向く面９ＢＡには、ヒートパイプＨＰの第２接続部ＨＰ２が接続される。金属部材９Ｂにおいて－Ｙ方向を向く面９ＢＢは、金属部材９Ｂが液冷容器８１と組み合わされたときに、第２内面８５を構成する。すなわち、金属部材９Ｂは、面９ＢＢに設けられて第２内面８５を構成する第２内面構成領域９Ｂ１を有する。第２内面構成領域９Ｂ１には、複数の第２フィンＦｎＣ２が配置される。
このような金属部材９Ｂを備える冷却装置３Ｃによっても、第２ベイパーチャンバー９Ａを備える冷却装置３Ｃと同様の効果を奏することができる。

［第３実施形態の第２変形例］
図１３は、冷却装置３Ｃの第２変形例を示す図であり、第２変形例に係る冷却装置３Ｃを－Ｚ方向から見た側面図である。
上記した冷却装置３Ｃでは、第２接続部ＨＰ２の端部は、第２ベイパーチャンバー９Ａにおいて第２接続部ＨＰ２の延出方向における外面９２Ａの中央を超えた位置に配置されているとした。すなわち、第２接続部ＨＰ２の端部は、＋Ｘ方向における外面９２Ａの中央を超えた位置に配置されているとした。しかしながら、これに限らない。
例えば図１３に示すように、第２接続部ＨＰ２の端部は、第２接続部ＨＰ２の延出方向である＋Ｘ方向における外面９２Ａの中央を超えない位置に配置されていてもよい。冷却装置３Ｃが、第２ベイパーチャンバー９Ａに代えて金属部材９Ｂを熱伝達部材として備える場合も同様である。

［実施形態の変形］
本開示は、上記各実施形態に限定されるものではなく、本開示の目的を達成できる範囲での変形及び改良等は、本開示に含まれるものである。
上記各実施形態では、冷却システム２において液体冷媒は、冷却装置３Ａ，３Ｂ，３Ｃのうち１つの冷却装置から、タンク２２、ラジエータ２３、ポンプ２４を順に流通した後、当該１つの冷却装置に再び流通するとした。しかしながら、液体冷媒が流通する順番は、上記に限定されない。例えば、ポンプ２４から送出された液体冷媒がラジエータ２３を流通した後に冷却装置に流通するように、ポンプ２４とラジエータ２３との位置が逆でもよい。

上記第１実施形態では、第１フィンＦｎＡの寸法は、複数の第１フィンＦｎＡのそれぞれで同じであるとした。上記第２実施形態では、第１フィンＦｎＢ１の寸法は、複数の第１フィンＦｎＢ１のそれぞれで同じであり、第２フィンＦｎＢ２の寸法は、複数の第２フィンＦｎＢ２のそれぞれで同じであるとした。また、第１フィンＦｎＢ１の＋Ｘ方向の寸法と第２フィンＦｎＢ２の＋Ｘ方向の寸法とは同じであり、第１フィンＦｎＢ１の＋Ｙ方向の寸法と第２フィンＦｎＢ２の＋Ｙ方向の寸法とは同じであり、第１フィンＦｎＢ１の＋Ｚ方向の寸法と第２フィンＦｎＢ２の＋Ｚ方向の寸法とは同じであるとした。上記第３実施形態では、第１フィンＦｎＣ１の寸法は、第１フィンＦｎＢ１の寸法と同じであり、第２フィンＦｎＣ２の寸法は、第２フィンＦｎＢ２の寸法と同じであるとした。また、複数の第１フィンＦｎＢ１の配列ピッチと、複数の第２フィンＦｎＢ２のピッチとは同じであるとした。本開示において、これらの「同じ」とは、完全同一に限られるものではない。各フィンの寸法及び配列ピッチは、上記に限定されず、適宜変更可能である。

例えば、複数の第１フィンＦｎＡのうちの一部の第１フィンＦｎＡの寸法は、他の第１フィンＦｎＡの寸法と異なっていてもよい。複数の第１フィンＦｎＢ１，ＦｎＣ１のうちの一部の第１フィンＦｎＢ１，ＦｎＣ１の寸法は、他の第１フィンＦｎＢ１，ＦｎＣ１の寸法と異なっていてもよい。複数の第２フィンＦｎＢ２，ＦｎＣ２のうちの一部の第２フィンＦｎＢ２，ＦｎＣ２の寸法は、他の第２フィンＦｎＢ２，ＦｎＣ２の寸法と異なっていてもよい。更に、複数の第１フィンＦｎＢ１の配列ピッチと、複数の第２フィンＦｎＢ２の配列ピッチとは、異なっていてもよい。厚さの異なるフィンを混在させながら、配列ピッチが異なっていてもよい。また、製造のために、配列ピッチの一部が異なってよい。

上記第２実施形態では、第１ベイパーチャンバー６は、折り返し形状に形成されており、液冷部７の第１内面７４を構成する第１内面構成領域６３１と、液冷部７の第２内面７５を構成する第２内面構成領域６３２と、液冷部７の第３内面７６を構成する第３内面構成領域６３３と、を備えるとした。しかしながら、これに限らず、第１ベイパーチャンバー６は、例えば－Ｚ方向から見て長円形状等の円形状に構成され、第１内面構成領域６３１、第２内面構成領域６３２及び第３内面構成領域６３３に加えて、第３内面７６と対向する第４内面を構成する第４内面構成領域を備えていてもよい。

上記第２実施形態では、第１ベイパーチャンバー６の第２内面構成領域６３２には、複数の第２フィンＦｎＢ２が配置されるとした。上記第３実施形態では、第２ベイパーチャンバー９Ａの第２内面構成領域９３１、又は、金属部材９Ｂの第２内面構成領域９Ｂ１には、複数の第２フィンＦｎＣ２が配置されるとした。しかしながら、これに限らず、第２内面構成領域、ひいては、液冷部の第２内面には、複数の第２フィンは配置されていなくてもよい。

上記第１実施形態では、複数の第１フィンＦｎＡは、第１内面構成領域４３１に配置されているとした。複数の第１フィンＦｎＡは、スカイブ加工及び押出加工等によって第２プレート４３に一体成形されていてもよく、第２プレート４３とは別体として構成されて第１内面構成領域４３１に配置されていてもよい。上記第２実施形態において第１内面構成領域６３１に配置された複数の第１フィンＦｎＢ１、第２内面構成領域６３２に配置された複数の第２フィンＦｎＢ２、上記第３実施形態において第１内面構成領域４３１に配置された複数の第１フィンＦｎＣ１、及び、第２内面構成領域９３１，９Ｂ１に配置された複数の第２フィンＦｎＣ２も同様である。

［本開示のまとめ］
以下、本開示のまとめを付記する。
［付記１］
熱源から受熱する第１プレートと、前記第１プレートに対向する第２プレートとが組み合わされて構成され、内部に封入された第１作動流体の気化及び凝縮が行われる第１ベイパーチャンバーと、
前記第１ベイパーチャンバーと組み合わされる液冷容器を有し、内部を流通する液体冷媒が前記第１ベイパーチャンバーに沿って流通する液冷部と、
前記液冷部の内部に設けられ、前記液体冷媒の流路の一部を成す複数の第１フィンと、を備え、
前記第２プレートは、前記第２プレートの外面に位置し、前記液冷部の第１内面の少なくとも一部を形成する第１内面構成領域を有し、
前記複数の第１フィンは、前記第１内面構成領域に配置され、
前記液冷部は、
前記液冷部の外部から前記液冷部の内部に前記液体冷媒を導入する導入口と、
前記液冷部の内部を流通した前記液体冷媒を前記液冷部の外部に排出する排出口と、を有する、ことを特徴とする冷却装置。

このような構成によれば、第１プレートにて受熱された熱源の熱によって、内部に封入された第１作動流体が気化し、気相の第１作動流体は、第１ベイパーチャンバー内を拡散する。気相の第１作動流体の熱は、第２プレートに伝達され、気相の第１作動流体は、第２プレートにて液相の第１作動流体に凝縮する。これにより、熱源の熱は、第２プレートにおいて広範囲に伝達される。
第２プレートに伝達された第１作動流体の熱は、第２プレートにおいて第１内面構成領域に配置された複数の第１フィンに伝達される。複数の第１フィンは、液冷部の内部に配置される。液冷部の内部には、導入口にて導入された液冷媒体が流通し、液冷媒体は、複数の第１フィンによって形成される流路を流通する。これにより、液冷媒体には、複数の第１フィンに伝達された熱が伝達される。そして、熱が伝達された液冷媒体は、排出口を介して液冷部の外部に排出される。
これによれば、第１ベイパーチャンバーにて受熱される熱源の熱を、液冷部内を流通する液体冷媒に複数の第１フィンを介して効率よく伝達できる。すなわち、複数の第１フィンが設けられていない場合に比べて、液体冷媒に熱源の熱を効率よく伝達できる。従って、熱源を効率よく冷却できる。

［付記２］
付記１に記載の冷却装置において、
前記第１ベイパーチャンバーは、前記第２プレートの一部が互いに対向する折り返し形状に形成され、
前記第２プレートは、前記第２プレートの外面において前記第１内面構成領域と対向し、前記液冷部の内部において前記第１内面と対向する第２内面の少なくとも一部を構成する第２内面構成領域を有する、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、液冷部における第１内面だけでなく、第１内面に対向する第２内面にも熱源の熱を伝達できる。このため、第１内面及び複数の第１フィンだけでなく、第２内面からも液体冷媒に熱源の熱を伝達できる。従って、液体冷媒に対する熱の伝達効率を高めることでき、ひいては、熱源の冷却効率を高めることができる。

［付記３］
付記１に記載の冷却装置において、
前記液冷部は、
前記液冷容器と組み合わされ、前記液冷部の内部において前記第１内面と対向する第２内面を構成する熱伝達部材と、
前記第１プレートにおいて前記熱源と対向する第１プレート側外面と、前記熱伝達部材とを熱的に接続するヒートパイプと、を備える、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、付記２に係る冷却装置と同様に、液冷部における第１内面だけでなく、第１内面に対向する第２内面にも熱源の熱を伝達できる。このため、第１内面及び複数の第１フィンだけでなく、第２内面からも液体冷媒に熱源の熱を伝達できる。従って、液体冷媒に対する熱の伝達効率を高めることでき、ひいては、熱源の冷却効率を高めることができる。

［付記４］
付記３に記載の冷却装置において、
前記熱伝達部材は、第３プレートと、前記第３プレートに対向する第４プレートとが組み合わされて構成され、内部に封入された第２作動流体の気化及び凝縮が行われる第２ベイパーチャンバーである、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、ヒートパイプによって第１ベイパーチャンバーから第２ベイパーチャンバーに伝達された熱を、第２内面にて分散させることができる。このため、第２内面の均熱化を図ることができ、第２内面に沿って流通する液体冷媒に効率よく熱を伝達できる。従って、熱源の冷却効率を高めることができる。

［付記５］
付記３又は付記４に記載の冷却装置において、
前記ヒートパイプは、前記熱伝達部材と接続される接続部を有し、
前記接続部の端部は、前記熱伝達部材において前記第２内面に対応する第１外面に沿う前記接続部の延出方向における前記第１外面の中央を超えた位置に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、熱伝達部材における広範囲にヒートパイプから熱を伝達できる。このため、第２内面の均熱化を図ることができ、第２内面に沿って流通する液体冷媒に効率よく熱を伝達できる。従って、熱源の冷却効率を高めることができる。

［付記６］
付記２から付記５のいずれか１つに記載の冷却装置において、
前記第２内面に設けられ、前記流路の一部を成す複数の第２フィンを備える、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、第２内面に設けられた複数の第２フィンを介して、第２内面に伝達された熱を液体冷媒に伝達しやすくすることができる。従って、熱源を一層効率よく冷却できる。

［付記７］
付記６に記載の冷却装置において、
前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとのうち、
一方の複数のフィンは、前記流路において前記導入口側の上流領域に配置され、
他方の複数のフィンは、前記流路において前記排出口側の下流領域に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
ここで、第１フィンの基端部には、第１フィンの先端部に比べて熱が伝達しやすいため、第１フィンの基端部の温度は、第１フィンの先端部の温度よりも高い。同様に、第２フィンの基端部の温度は、第２フィンの先端部の温度よりも高い。
このため、第１内面と第２内面との間を液体冷媒が流通することによって、第１内面から第２内面に向かう方向において液体冷媒の温度差が大きくなることを抑制でき、液体冷媒の均熱化を図ることができる。すなわち、液体冷媒の温度が局所的に高くなることを抑制でき、各フィンから液体冷媒に熱を効率よく伝達できる。従って、冷却装置による熱源の冷却効率を一層高めることができる。
また、第１フィン及び第２フィンに沿って流通する液体冷媒の流通方向において第１フィンと第２フィンとが干渉することを抑制できる。このため、例えば複数の第１フィンの間に第２フィンが配置される場合に比べて、各フィンを液冷部内に配置しやすくすることができる。従って、液冷部、ひいては、冷却装置の組立性を高めることができる。

［付記８］
付記６に記載の冷却装置において、
前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向に交互に配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、交互に配列された第１フィンと第２フィンとの間を液体冷媒が流通することによって、第１フィン及び第２フィンのそれぞれから液体冷媒に熱を伝達しやすくすることができる。従って、熱源を効率よく冷却できる。

［付記９］
付記６に記載の冷却装置において、
前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１内面からの前記複数の第１フィンの突出方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向から見て互いに重ならずに配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、第１内面側を流通する液体冷媒に複数の第１フィンから熱を伝達しやすくでき、第２内面側を流通する液体冷媒に複数の第２フィンから熱を伝達しやすくできる。
また、第１フィン及び第２フィンは、上記突出方向から見て互いに重なるので、例えば複数の第１フィンの間に第２フィンが配置される場合に比べて、各フィンを液冷部内に配置しやすくすることができる。従って、液冷部、ひいては、冷却装置の組立性を高めることができる。

［付記１０］
付記１に記載の冷却装置において、
前記液冷部の内部にて前記第１内面と対向する第２内面に設けられ、前記流路の一部を成す複数の第２フィンを備える、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、第２内面に設けられた複数の第２フィンを介して、第２内面に伝達された熱を液体冷媒に伝達しやすくすることができる。従って、熱源を一層効率よく冷却できる。

［付記１１］
付記１０に記載の冷却装置において、
前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとのうち、
一方の複数のフィンは、前記流路において前記導入口側の上流領域に配置され、
他方の複数のフィンは、前記流路において前記排出口側の下流領域に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
上記のように、第１フィンの基端部の温度は、第１フィンの先端部の温度よりも高く、第２フィンの基端部の温度は、第２フィンの先端部の温度よりも高い。
このため、第１内面と第２内面との間を液体冷媒が流通することによって、第１内面から第２内面に向かう方向において液体冷媒の温度差が大きくなることを抑制でき、液体冷媒の均熱化を図ることができる。すなわち、液体冷媒の温度が局所的に高くなることを抑制でき、各フィンから液体冷媒に熱を効率よく伝達できる。従って、冷却装置による熱源の冷却効率を一層高めることができる。

［付記１２］
付記１０に記載の冷却装置において、
前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向に交互に配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、交互に配列された第１フィンと第２フィンとの間を液体冷媒が流通することによって、第１フィン及び第２フィンのそれぞれから液体冷媒に熱を伝達しやすくすることができる。従って、熱源を効率よく冷却できる。

［付記１３］
付記１０に記載の冷却装置において、
前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１内面からの前記複数の第１フィンの突出方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向から見て互いに重ならずに配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
このような構成によれば、第１内面側を流通する液体冷媒に複数の第１フィンから熱を伝達しやすくでき、第２内面側を流通する液体冷媒に複数の第２フィンから熱を伝達しやすくできる。

［付記１４］
付記１から付記１３のいずれか１つに記載の冷却装置と、
前記導入口に前記液体冷媒を流通させるポンプと、
前記排出口から排出された前記液体冷媒を冷却するラジエータと、を備える、ことを特徴とする循環式冷却システム。
このような構成によれば、ラジエータによって冷却された液体冷媒を液冷部内に流通させることができる。従って、液冷部における液体冷媒への熱の伝達効率を高めることができ、冷却装置による熱源の冷却効率を高めることができる。

［付記１５］
熱源と、付記１４に記載の循環式冷却システムと、を備えることを特徴とする電子機器。
このような構成によれば、付記１４に係る循環式冷却システムと同様の効果を奏することができる。

１…電子機器、２…循環式冷却システム、３Ａ，３Ｂ，３Ｃ…冷却装置、４，４Ａ…第１ベイパーチャンバー、４１…第１密閉容器、４２…第１プレート、４２１…突出部、４２Ａ…外面、４２Ｂ…内面、４３…第２プレート、４３Ａ…外面、４３Ｂ…内面、４３１…第１内面構成領域、５…液冷部、５１…液冷容器、５２…導入口、５３…排出口、５４…第１内面、５５…第２内面、５６…第３内面、５７…第４内面、５８…第５内面、５９…第６内面、６…第１ベイパーチャンバー、６１…第１密閉容器、６２…第１プレート、６２Ａ…外面、６２１…突出部、６３…第２プレート、６３Ａ…外面、６３１…第１内面構成領域、６３２…第２内面構成領域、６３３…第３内面構成領域、７…液冷部、７１…液冷容器、７１１，７１２，７１３…壁部、７２…導入口、７３…排出口、７４…第１内面、７５…第２内面、７６…第３内面、７８…第５内面、７９…第６内面、８…液冷部、８１…液冷容器、８１０…貫通口、８１１，８１２，８１３，８１４…壁部、８２…導入口、８３…排出口、８４…第１内面、８５…第２内面、８６…第３内面、８７…第４内面、８８…第５内面、９Ａ…第２ベイパーチャンバー（熱伝達部材）、９１…第２密閉容器、９２…第１プレート（第３プレート）、９２Ａ…外面、９３…第２プレート（第４プレート）、９３Ａ…外面、９３１…第２内面構成領域、９Ｂ…金属部材（熱伝達部材）、９Ｂ１…第２内面構成領域、９ＢＡ，９ＢＢ…面、ＦｎＡ…第１フィン、ＦｎＢ，ＦｎＣ…フィン、ＦｎＢ１，ＦｎＣ１…第１フィン、ＦｎＢ２，ＦｎＣ２…第２フィン、ＨＰ…ヒートパイプ、ＨＰ１…第１接続部、ＨＰ２…第２接続部（接続部）。

Claims (15)

1. 熱源から受熱する第１プレートと、前記第１プレートに対向する第２プレートとが組み合わされて構成され、内部に封入された第１作動流体の気化及び凝縮が行われる第１ベイパーチャンバーと、
   前記第１ベイパーチャンバーと組み合わされる液冷容器を有し、内部を流通する液体冷媒が前記第１ベイパーチャンバーに沿って流通する液冷部と、
   前記液冷部の内部に設けられ、前記液体冷媒の流路の一部を成す複数の第１フィンと、を備え、
   前記第２プレートは、前記第２プレートの外面に位置し、前記液冷部の第１内面の少なくとも一部を形成する第１内面構成領域を有し、
   前記複数の第１フィンは、前記第１内面構成領域に配置され、
   前記液冷部は、
   前記液冷部の外部から前記液冷部の内部に前記液体冷媒を導入する導入口と、
   前記液冷部の内部を流通した前記液体冷媒を前記液冷部の外部に排出する排出口と、を有する、ことを特徴とする冷却装置。
2. 請求項１に記載の冷却装置において、
   前記第１ベイパーチャンバーは、前記第２プレートの一部が互いに対向する折り返し形状に形成され、
   前記第２プレートは、前記第２プレートの外面において前記第１内面構成領域と対向し、前記液冷部の内部において前記第１内面と対向する第２内面の少なくとも一部を構成する第２内面構成領域を有する、ことを特徴とする冷却装置。
3. 請求項１に記載の冷却装置において、
   前記液冷部は、
   前記液冷容器と組み合わされ、前記液冷部の内部において前記第１内面と対向する第２内面を構成する熱伝達部材と、
   前記第１プレートにおいて前記熱源と対向する第１プレート側外面と、前記熱伝達部材とを熱的に接続するヒートパイプと、を備える、ことを特徴とする冷却装置。
4. 請求項３に記載の冷却装置において、
   前記熱伝達部材は、第３プレートと、前記第３プレートに対向する第４プレートとが組み合わされて構成され、内部に封入された第２作動流体の気化及び凝縮が行われる第２ベイパーチャンバーである、ことを特徴とする冷却装置。
5. 請求項３に記載の冷却装置において、
   前記ヒートパイプは、前記熱伝達部材と接続される接続部を有し、
   前記接続部の端部は、前記熱伝達部材において前記第２内面に対応する第１外面に沿う前記接続部の延出方向における前記第１外面の中央を超えた位置に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
6. 請求項２から請求項５のいずれか一項に記載の冷却装置において、
   前記第２内面に設けられ、前記流路の一部を成す複数の第２フィンを備える、ことを特徴とする冷却装置。
7. 請求項６に記載の冷却装置において、
   前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとのうち、
   一方の複数のフィンは、前記流路において前記導入口側の上流領域に配置され、
   他方の複数のフィンは、前記流路において前記排出口側の下流領域に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
8. 請求項６に記載の冷却装置において、
   前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
   前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
   前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向に交互に配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
9. 請求項６に記載の冷却装置において、
   前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
   前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
   前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１内面からの前記複数の第１フィンの突出方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向から見て互いに重ならずに配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
10. 請求項１に記載の冷却装置において、
    前記液冷部の内部にて前記第１内面と対向する第２内面に設けられ、前記流路の一部を成す複数の第２フィンを備える、ことを特徴とする冷却装置。
11. 請求項１０に記載の冷却装置において、
    前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとのうち、
    一方の複数のフィンは、前記流路において前記導入口側の上流領域に配置され、
    他方の複数のフィンは、前記流路において前記排出口側の下流領域に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
12. 請求項１０に記載の冷却装置において、
    前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
    前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
    前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向に交互に配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
13. 請求項１０に記載の冷却装置において、
    前記複数の第１フィンのそれぞれは、第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
    前記複数の第２フィンのそれぞれは、前記第１方向に互いに隙間を空けて配列され、
    前記複数の第１フィンと前記複数の第２フィンとは、前記第１内面からの前記複数の第１フィンの突出方向から見て互いに重なり、かつ、前記第１方向から見て互いに重ならずに配置されて、前記流路の一部を成す、ことを特徴とする冷却装置。
14. 請求項１に記載の冷却装置と、
    前記導入口に前記液体冷媒を流通させるポンプと、
    前記排出口から排出された前記液体冷媒を冷却するラジエータと、を備える、ことを特徴とする循環式冷却システム。
15. 熱源と、請求項１４に記載の循環式冷却システムと、を備えることを特徴とする電子機器。

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