JP2023158548A - 静電チャック用給電部及び静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
Vc=[1+(φ/4Xc)×(Rm/Rp)]-1 (1)
ここで、Rm:絶縁性粒子の粒子径
Rp:導電性粒子の粒子径
φ,Xc:係数
そこで、本発明者らは上記課題を解決するために、静電チャック用給電部という特有の事情を考慮しつつ、静電チャック用給電部を構成する絶縁性粒子と導電性粒子の粒子径比、絶縁性粒子及び導電性粒子の体積分率等について詳細に検討し、本発明を完成させるに至った。
試料を載置する載置板と、この載置板と一体化される基板と、これら載置板と基板との間に設けられた内部電極とを備える静電チャックにおいて、前記内部電極に給電するために前記基板を貫通するように設けられる静電チャック用給電部であって、
前記基板の主成分と同じ主成分を有する基板主成分粒子と、導電性粒子とを含む複合焼結体であり、基板主成分粒子と導電性粒子の合計体積を100体積%としたときに、基板主成分粒子を55体積%以上90体積%以下、導電性粒子を10体積%以上45体積%以下含有し、
組織は、基板主成分粒子と、基板主成分粒子の粒界に存在するマトリックス部とを含み、マトリックス部に導電性粒子が存在し、かつ、基板主成分粒子の平均粒子径をR1、導電性粒子の平均粒子径をR2としたときに、R1/R2が1.6以上である、静電チャック用給電部。
同図に示す静電チャックは、ウェーハ等の試料を載置する載置板1と、この載置板と一体化される基板2と、これら載置板1と基板2との間に設けられた内部電極3と、この内部電極3に給電するために基板2を貫通するように設けられた給電部4とを備え、給電部4が本発明の一実施形態である静電チャック用給電部である。
基板2は絶縁体であり、本実施形態では絶縁体であるアルミナ焼結体よりなる。ただし、基板2の材質(主成分)はアルミナ(Al2O3)には限定されず、窒化アルミニウム(AlN)や窒化珪素(SiN)などであってもよい。
なお、載置板1と基板2の材質(主成分)は同一であることが好ましい。
給電部4は、基板2の主成分と同じ主成分を有する基板主成分粒子と、導電性粒子とを含む複合焼結体である。なお、本実施形態では基板2の主成分はアルミナ(Al2O3)であるから、基板主成分粒子はアルミナ粒子である。また、導電性粒子については特に限定されず、静電チャック用給電部に一般的に用いられるものとすることができる。例えば、タングステン粒子、珪化タングステン粒子、モリブデン粒子、ホウ化ジルコニウム粒子、炭化ジルコニウム粒子、窒化ジルコニウム粒子、ホウ化タンタル粒子、炭化タンタル粒子、窒化タンタル粒子、珪化タンタル粒子、ホウ化チタン粒子、炭化チタン粒子及び窒化チタン粒子から選択される1種又は2種以上とすることができる。
すなわち、R1/R2を1.6以上とすることで、基板主成分粒子と導電性粒子の合計体積を100体積%としたときに、導電性粒子の体積分率を10体積%以上45体積%以下に抑えることができることがわかった。言い換えると、本発明の静電チャック用給電部は、基板主成分粒子と導電性粒子の合計体積を100体積%としたときに、基板主成分粒子を55体積%以上90体積%以下、導電性粒子を10体積%以上45体積%以下含有する。基板主成分粒子の体積分率が55体積%未満、導電性粒子の体積分率が45体積%超であると、基板との熱膨張率差が大きくなり亀裂が発生してしまう。一方、基板主成分粒子の体積分率が90体積%超、導電性粒子の体積分率が10体積%未満であると、給電機能を確保することができなくなる。
なお、R1/R2を1.6以上とすることで、導電性粒子の体積分率を10体積%以上45体積%以下に抑えることができることは、上述のパーコレーション理論(上記式(1))から直接的かつ一義的に導き出せるものではない。上述のパーコレーション理論(上記式(1))は、R1/R2を大きくすれば導電性粒子の体積分率を低くすることができることを示唆するものの、具体的にR1/R2を1.6以上とすればよいことは、上述の通り本発明者らが静電チャック用給電部という特有の事情を考慮しつつ試験及び考察を重ねた結果、導き出されたものである。言い換えれば、R1/R2と導電性粒子の体積分率との関係は、必ずしも上述のパーコレーション理論(上記式(1))から直接的かつ一義的に決定されるものではなく、静電チャック用給電部における特有の事情、例えば導電性粒子の分散性等を考慮しつつ決定されるものである。
なお、基板主成分粒子及び導電性粒子の体積分率を上記好ましい範囲とするには、R1/R2を15以上とすることが好ましく、また、基板主成分粒子及び導電性粒子の体積分率を上記より好ましい範囲とするには、R1/R2を25以上とすることが好ましい。
すなわち、給電部4をその中心軸に沿って切断し、その切断面を鏡面研磨した後、走査型電子顕微鏡を用いて適宜のスケール(例えば100倍スケール)で観察する。具体的には、適宜の範囲(例えば300μm×300μmの範囲)を5箇所観察し、それぞれの範囲内にある基板主成分粒子の最大粒子径を測定する。そして、測定した各範囲の最大粒子径の平均値を算出し、その平均値を基板主成分粒子の平均粒子径とする。
また、静電チャック用給電部(給電部4)において導電性粒子の平均粒子径は、次の方法により求めるものとする。
すなわち、給電部4をその中心軸に沿って切断し、その切断面を鏡面研磨した後、走査型電子顕微鏡を用いて適宜のスケール(例えば3500倍スケール)で観察する。具体的には、適宜の範囲(例えば10μm×10μmの範囲)を5箇所観察し、それぞれの範囲内にある導電性粒子の最大粒子径を測定する。そして、測定した各範囲の最大粒子径の平均値を算出し、その平均値を導電性粒子の平均粒子径とする
すなわち、給電部4をその中心軸に沿って切断し、その切断面を鏡面研磨した後、走査型電子顕微鏡を用いて適宜のスケール(例えば100倍スケール)で観察する。具体的には、適宜の範囲(例えば300μm×300μmの範囲)を5箇所観察し、それぞれの範囲内にある基板主成分粒子及び導電性粒子の面積分率を測定し、その平均値を体積分率とする。なお、それぞれの範囲内にある基板主成分粒子及び導電性粒子の面積分率の測定は、給電部4の組織が実質的に基板主成分粒子と導電性粒子のみからなる場合、各範囲の画像を2値化(黒:基板主成分粒子、白:導電性粒子)して画像解析することにより行うことができる。また、給電部4の組織が基板主成分粒子と導電性粒子以外を含む場合であっても、適宜の画像解析により基板主成分粒子及び導電性粒子の面積分率を測定することができる。
まず、絶縁体である基板2に、予め給電部4を組み込み保持するための固定孔2aを形成する。なお、固定孔の形成位置及び数は、内部電極3の態様と形状により決定される。
続いて、給電部4を、基板2の固定孔2aに密着固定し得る大きさ、形状となるように作製し、基板2の固定孔2aに嵌め込む。なお、給電部4の作製は、原料粉末である基板主成分粒子と導電性粒子を混合、成形、焼成するといった一般的な方法で行うことができる。
続いて、給電部4が組み込まれた基板2の表面の所定領域に、給電部4に接触するように、内部電極形成用塗布剤を塗布し、乾燥して内部電極3を形成する。このような塗布液の塗布方法としては、均一な厚さに塗布する必要があることから、スクリーン印刷法等を用いることが好ましい。
続いて、内部電極3を形成した基板2上に、内部電極3を挟むように載置板1を重ねた後、これらを加圧下にて熱処理して一体化する。このときの熱処理の条件として、熱処理雰囲気は真空、アルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性雰囲気が好ましく、熱処理温度は1200~1700℃が好ましい。また、加圧力は2~40MPaが好ましい。
そして各例の静電チャック用給電部について、基板主成分粒子であるアルミナ粒子の平均粒子径及び導電性粒子の平均粒子径と、アルミナ粒子及び導電性粒子の体積分率を評価した。また、各例の静電チャック用給電部を含む静電チャックについて、給電機能及び亀裂の有無を評価した。各評価の評価方法は以下の通りである。
静電チャック用給電部をその中心軸に沿って切断し、その切断面を鏡面研磨した後、走査型電子顕微鏡を用いて100倍スケールで観察した。具体的には、300μm×300μmの範囲を5箇所観察し、それぞれの範囲の画像を2値化(黒:基板主成分粒子、白:導電性粒子)した。その2値化した各画像を画像解析することにより、アルミナ粒子及び導電性粒子の面積分率を測定し、その平均値を体積分率とした。なお、一例として図3に、表1中実施例3の静電チャック用給電部の切断面の走査型電子顕微鏡観察結果を2値化した画像を示している。
図2に示している二つ給電部4,4の一方の給電部4の端部と他方の給電部4の端部とにデジタルマルチメータを接続して導通の有無を確認することにより給電機能を評価した。
<亀裂の有無>
JISZ2343-1の規定に準じた蛍光浸透探傷試験により目視で観察し、亀裂の有無を評価した。
一方、比較例1は、R1/R2が本発明の下限値を下回る例であり、給電機能を確保するために導電性粒子の体積分率を大きくする必要があった。そのため、静電チャック用給電部と基板との熱膨張率差が大きくなり、静電チャックにおいて亀裂が発生した。
また、比較例2は、R1/R2は本発明の範囲内にあるものの導電性粒子の体積分率が本発明の下限値を下回る例であり、導通がなくなり給電機能を確保することができなかった。
2 基板
2a 固定孔
3 内部電極
4 給電部
Claims (4)
- 試料を載置する載置板と、この載置板と一体化される基板と、これら載置板と基板との間に設けられた内部電極とを備える静電チャックにおいて、前記内部電極に給電するために前記基板を貫通するように設けられる静電チャック用給電部であって、
前記基板の主成分と同じ主成分を有する基板主成分粒子と、導電性粒子とを含む複合焼結体であり、基板主成分粒子と導電性粒子の合計体積を100体積%としたときに、基板主成分粒子を55体積%以上90体積%以下、導電性粒子を10体積%以上45体積%以下含有し、
組織は、基板主成分粒子と、基板主成分粒子の粒界に存在するマトリックス部とを含み、マトリックス部に導電性粒子が存在し、かつ、基板主成分粒子の平均粒子径をR1、導電性粒子の平均粒子径をR2としたときに、R1/R2が1.6以上である、静電チャック用給電部。 - 基板主成分粒子と導電性粒子の合計体積を100体積%としたときに、基板主成分粒子を75体積%以上90体積%以下、導電性粒子を10体積%以上25体積%以下含有する、請求項1に記載の静電チャック用給電部。
- 基板主成分粒子と導電性粒子の合計体積を100体積%としたときに、基板主成分粒子を80体積%以上90体積%以下、導電性粒子を10体積%以上20体積%以下含有する、請求項1に記載の静電チャック用給電部。
- 試料を載置する載置板と、この載置板と一体化される基板と、これら載置板と基板との間に設けられた内部電極と、この内部電極に給電するために前記基板を貫通するように設けられた給電部とを備える静電チャックであって、
前記給電部が、請求項1から3のいずれか一項に記載の静電チャック用給電部である、静電チャック。
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