JP2023152928A - 熱伝導性シート及び熱伝導性シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接触熱抵抗が低減された熱伝導性シートを提供する。【解決手段】熱伝導性シート１は、バインダ樹脂２と、繊維状フィラー３と、繊維状フィラー３以外の他の熱伝導性フィラー４とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる。熱伝導性シート１は、繊維状フィラー３が厚み方向Ｂに配向している。熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であり、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ２／Ｗ以下である。【選択図】図１

Description

本技術は、熱伝導性シート及び熱伝導性シートの製造方法に関する。

電子機器の更なる高性能化により、半導体素子の高密度化、高実装化が進んでいる。それと比例して、ＩＣ（Integrated Circuit）等からの発熱量、発熱密度も増大する傾向にあり、より効率的に熱伝導性シートを介して放熱フィン、放熱板等の放熱部材に熱を伝達することが求められる。また、電子機器は、小型化、薄型化が急速に進んでおり、必要とされる熱伝導性シートの厚みも薄くなる傾向にあり、より低熱抵抗なものが求められている。このような要求を満たす熱伝導性シートとしては、繊維状フィラー（例えば炭素繊維）を用いた熱伝導性シートが挙げられる（例えば、特許文献１～５を参照）。繊維状フィラーの一例である炭素繊維は、繊維方向に約６００～１２００Ｗ／（ｍ・Ｋ）の熱伝導率を有する異方性フィラーである。炭素繊維の繊維方向を、熱の伝達方向である熱伝導性シートの厚み方向に配向させることによって、熱伝導性が飛躍的に向上することが知られている。

炭素繊維を配向した熱伝導性シートを用いて低熱抵抗化を実現するには、熱伝導性シートの接触熱抵抗を考慮することも重要である。接触熱抵抗とは、熱伝導シートと被着体の間に生じる熱抵抗である。しかし、高熱伝導の炭素繊維であっても、熱伝導性シート全体から見れば、被着体と炭素繊維との接触は点接触であり、圧力により炭素繊維がバインダ樹脂内に沈み込むとしても、熱伝導性シートと被着体との間にエアーが混入する課題がある。

また、使用される熱伝導性シートが薄くなるにつれて、熱伝導性シートと、被着体との間に生じる接触熱抵抗の寄与が大きくなる傾向にある。特に、炭素繊維のような繊維状フィラーが厚み方向に配向した熱伝導性シートは、厚みが薄くなるほど、接触熱抵抗が大きくなる傾向がある。

特許５７５２２９９号 特許４８１４５５０号 特許６６５０１７５号 特許６６７１７３５号 国際公開第２０２０／０６７１４１号公報

本技術は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、接触熱抵抗が低減された熱伝導性シートを提供する。

本願発明者らは、鋭意検討の結果、繊維状フィラーが厚み方向に配向した熱伝導性シートについて、突出山部の平均高さＳｐｋを所定値以下とすることにより、上述した課題を解決できることを見出した。

本技術は、バインダ樹脂と、繊維状フィラーと、繊維状フィラー以外の他の熱伝導性フィラーとを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる熱伝導性シートであって、繊維状フィラーが熱伝導性シートの厚み方向に配向しており、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、熱伝導性シートの突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であり、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下である。

本技術に係る熱伝導性シートの製造方法は、バインダ樹脂と、繊維状フィラーと、繊維状フィラー以外の他の熱伝導性フィラーとを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化することにより、熱伝導性組成物の成型体を得る工程と、成型体をシート状に切断し、成型体シートを得る工程と、成形体シートを研磨部材によって研磨することにより、熱伝導性シートを得る工程とを含み、熱伝導性シートの表面には、上記研磨によって生じた、バインダ樹脂、繊維状フィラー及び他の熱伝導性フィラーを含む研磨残渣が残留する。

本技術は、接触熱抵抗が低減された熱伝導性シートを提供できる。

図１は、熱伝導性シートの一例を示す断面図である。 図２は、熱伝導性シートの表面の一例を示す断面図である。 図３は、研磨部材の一例であるブラシの斜視図である。 図４は、成形体シートの表面をブラシで研磨する方法の一例を説明するための斜視図である。 図５は、複数の成形体シートの表面を連続してブラシで研磨する方法の一例を説明するための斜視図である。 図６は、熱伝導性シートを適用した半導体装置の一例を示す断面図である。 図７は、熱伝導性シートの山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）を横軸、熱伝導性シートの界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）を縦軸として実施例及び比較例の結果をプロットしたグラフである。

本明細書において、平均粒子径（Ｄ５０）とは、粒子径分布全体を１００％とした場合に、粒子径分布の小粒子径側から粒子径の値の累積カーブを求めたとき、その累積値が５０％となるときの粒子径をいう。なお、本明細書における粒度分布（粒子径分布）は、体積基準によって求められたものである。粒度分布の測定方法としては、例えば、レーザー回折型粒度分布測定機を用いる方法が挙げられる。

図１は、本技術に係る熱伝導性シート１の一例を示す断面図である。熱伝導性シート１は、バインダ樹脂２と、繊維状フィラー３と、繊維状フィラー３以外の他の熱伝導性フィラー４とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる。熱伝導性シート１は、繊維状フィラー３と他の熱伝導性フィラー４とがバインダ樹脂２に分散しており、繊維状フィラー３が熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに配向している。ここで、熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに繊維状フィラー３が配向しているとは、例えば、熱伝導性シート１中の全ての繊維状フィラー３のうち、熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに長軸が配向している繊維状フィラー３の割合が５０％以上であり、５５％以上であってもよく、６０％以上であってもよく、６５％以上であってもよく、７０％以上であってもよく、８０％以上であってもよく、９０％以上であってもよく、９５％以上であってもよく、９９％以上であってもよい。繊維状フィラー３の長軸が熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに配向しているとは、例えば、繊維状フィラー３の長軸が、熱伝導性シート１の面方向Ａに対して６０～１２０度の範囲であってもよく、７０～１００度の範囲であってもよく、９０度（略垂直）であってもよい。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下である。突出山部の平均高さＳｐｋは、走査型白色干渉顕微鏡の対物レンズ倍率に影響を受ける。以下では、単に「ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、突出山部の平均高さＳｐｋ」や「突出山部の平均高さＳｐｋ」ともいう。さらに、熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下である。なお、後述する、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される各値についても、走査型白色干渉顕微鏡の対物レンズ倍率に影響を受ける。

熱伝導性シート１は、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であることにより、熱伝導性シート１と被着体との接触面積が増大し、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することが抑制されるため、接触熱抵抗を低減できる。具体的には、熱伝導性シート１は、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であることにより、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗を０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下とすることができる。このように、熱伝導性シート１は、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であることにより、低荷重（低加圧）時でも接触熱抵抗を低減できる。

熱伝導性シート１は、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であり、２．５μｍ以下であってもよく、２μｍ以下であってもよく、１．２μｍ以下であってもよく、１．１μｍ以下であってもよく、１．０μｍ以下であってもよく、０．９μｍ以下であってもよく、０．８μｍ以下であってもよく、０．７μｍ以下であってもよく、０．６μｍ以下であってもよく、０．５μｍ以下であってもよい。熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋの下限値は、特に限定されないが、例えば、０．４μｍ以上であってもよい。熱伝導性シート１は、突出山部の平均高さＳｐｋが、０．４９４～２．９６７μｍの範囲であってもよく、０．４９４～２．３４２μｍの範囲であってもよく、０．４９４～１．２１２μｍの範囲であってもよく、０．４９４～１．１４３μｍの範囲であってもよく、０．４９４～０．８８７μｍの範囲であってもよく、０．４９４～０．５６６μｍの範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面の突出山部の平均高さＳｐｋが上述した範囲を満たすことが好ましく、両面の突出山部の平均高さＳｐｋが上述した範囲を満たしてもよい。熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋは、後述する実施例に記載の方法で測定できる。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出谷部の平均深さＳｖｋが５．５μｍ以下であってもよく、４．５μｍ以下であってもよく、４．０μｍ以下であってもよく、３．５μｍ以下であってもよく、３．０μｍ以下であってもよく、２．５μｍ以下であってもよく、２．０μｍ以下であってもよく、１．５μｍ以下であってもよく、１．２μｍ以下であってもよい。熱伝導性シート１の突出谷部の平均深さＳｖｋの下限値は、特に限定されず、例えば、１．０μｍ以上であってもよい。また、熱伝導性シート１は、突出谷部の平均深さＳｖｋが、１．１６５～５．１５６μｍの範囲であってもよく、１．１６５～４．４９０μｍの範囲であってもよく、１．１６５～４．２９１μｍの範囲であってもよく、１．１６５～３．７１１μｍの範囲であってもよく、１．１６５～３．５５９μｍの範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面の突出谷部の平均深さＳｖｋが上述した範囲を満たすことが好ましく、両面の突出谷部の平均深さＳｖｋが上述した範囲を満たしてもよい。熱伝導性シート１の突出谷部の平均深さＳｖｋは、後述する実施例に記載の方法で測定できる。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の平均高さＳｐｋ（μｍ）と突出谷部の平均深さＳｖｋ（μｍ）の和に対する突出山部の平均高さＳｐｋ（μｍ）の値（Ｓｐｋ／（Ｓｐｋ＋Ｓｖｋ））が、４０％以下であることが好ましく、３０％以下であってもよく、２５％以下であってもよく、２２％以下であってもよく、２０％以下であってもよく、１８％以下であってもよい。熱伝導性シート１の（Ｓｐｋ／（Ｓｐｋ＋Ｓｖｋ））の下限値は、特に限定されず、例えば、１０％以上であってもよいし、１５％以上であってもよいし、１８％以上であってもよい。熱伝導性シート１の（Ｓｐｋ／（Ｓｐｋ＋Ｓｖｋ））は、１８．１４～３９．７８％の範囲であってもよいし、１８．１４～３９．６９％の範囲であってもよいし、１８．１４～２９．７６％の範囲であってもよいし、１８．１４～２７．５８％の範囲であってもよいし、１８．１４～２２．０２％の範囲であってもよいし、１８．１４～１９．２９％の範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面に関するＳｐｋ／（Ｓｐｋ＋Ｓｖｋ）が上述した範囲を満たすことが好ましく、一方の表面と他方の表面に関するＳｐｋ／（Ｓｐｋ＋Ｓｖｋ）が上述した範囲を満たしてもよい。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の体積Ｖｍｐが、０．１５ｍｌ／ｍ^２以下であることが好ましく、０．１２ｍｌ／ｍ^２以下であってもよく、０．１０ｍｌ／ｍ^２以下であってもよく、０．０８ｍｌ／ｍ^２以下であってもよく、０．０６ｍｌ／ｍ^２以下であってもよく、０．０４ｍｌ／ｍ^２以下であってもよく、０．０３ｍｌ／ｍ^２以下であってもよい。熱伝導性シート１の突出山部の体積Ｖｍｐの下限値は、特に限定されず、例えば、０．０１ｍｌ／ｍ^２以上であってもよいし、０．０２ｍｌ／ｍ^２以上であってもよい。熱伝導性シート１は、突出山部の体積Ｖｍｐが、０．０２５～０．１３７ｍｌ／ｍ^２の範囲であってもよいし、０．０２５～０．１１４ｍｌ／ｍ^２の範囲であってもよいし、０．０２５～０．０５８ｍｌ／ｍ^２の範囲であってもよいし、０．０２５～０．０５５ｍｌ／ｍ^２の範囲であってもよいし、０．０２５～０．０４０ｍｌ／ｍ^２の範囲であってもよいし、０．０２５～０．０２７ｍｌ／ｍ^２の範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面の突出山部の体積Ｖｍｐが上述した範囲を満たすことが好ましく、両面の突出山部の体積Ｖｍｐが上述した範囲を満たしてもよい。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される二乗平均平方根勾配Ｓｄｑが所定値以下であることが好ましい。熱伝導性シート１の二乗平均平方根勾配Ｓｄｑとは、熱伝導性シート１の表面の凹凸形状の局所的な勾配（形状の微分）の平均的な大きさを表す。例えば、熱伝導性シート１の表面が完全に平坦である場合、二乗平均平方根勾配Ｓｄｑは０となる。また、熱伝導性シート１の表面が急峻になるほど、二乗平均平方根勾配Ｓｄｑが大きくなる。熱伝導性シート１は、二乗平均平方根勾配Ｓｄｑが１．１未満であることが好ましく、０．８以下であってもよく、０．７以下であってもよく、０．６以下であってもよく、０．５以下であってもよく、０．４以下であってもよく、０．３以下であってもよい。熱伝導性シート１の二乗平均平方根勾配Ｓｄｑの下限値は、特に限定されず、例えば、０．１以上であってもよいし、０．２以上であってもよい。熱伝導性シート１の二乗平均平方根勾配Ｓｄｑは、例えば、０．３０４～０．６９７の範囲であってもよいし、０．３０４～０．５７８の範囲であってもよいし、０．３０４～０．５６５の範囲であってもよいし、０．３０４～０．５０８の範囲であってもよいし、０．３０４～０．５０７の範囲であってもよいし、０．３０４～０．０．３１６の範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面の二乗平均平方根勾配Ｓｄｑが上述した範囲を満たすことが好ましく、両面の二乗平均平方根勾配Ｓｄｑが上述した範囲を満たしてもよい。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される山頂の算術平均曲率Ｓｐｃが所定値以下であることが好ましい。熱伝導性シート１の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃとは、熱伝導性シート１の表面の山頂点の主曲率の平均を表す。熱伝導性シート１の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃが小さいほど、熱伝導性シート１における他の物体（例えば被着体）と接触する点が丸みを帯びていることを表す。一方、熱伝導性シート１の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃが大きいほど、熱伝導性シートにおける他の物体と接触する点が尖っていることを表す。熱伝導性シート１は、山頂の算術平均曲率Ｓｐｃが２５００（１／ｍｍ）以下であることが好ましく、２３００（１／ｍｍ）以下であってもよく、２１００（１／ｍｍ）以下であってもよく、２０００（１／ｍｍ）以下であってもよく、１９００（１／ｍｍ）以下であってもよく、１７００（１／ｍｍ）以下であってもよく、１５００（１／ｍｍ）以下であってもよく、１３００（１／ｍｍ）以下であってもよく、１１００（１／ｍｍ）以下であってもよく、１０００（１／ｍｍ）以下であってもよい。熱伝導性シート１の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃの下限値は、特に限定されず、例えば、０（１／ｍｍ）以上であってもよいし、５００（１／ｍｍ）以上であってもよいし、９００（１／ｍｍ）以上であってもよい。熱伝導性シート１の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃは、例えば、９５１～２２９０（１／ｍｍ）の範囲であってもよいし、９５１～２１０５（１／ｍｍ）の範囲であってもよいし、９５１～１９３７（１／ｍｍ）の範囲であってもよいし、９５１～１８７９（１／ｍｍ）の範囲であってもよいし、９５１～１４５５（１／ｍｍ）の範囲であってもよいし、９５１～１３９９（１／ｍｍ）の範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃが上述した範囲を満たすことが好ましく、両面の山頂の算術平均曲率Ｓｐｃが上述した範囲を満たしてもよい。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される界面の展開面積比Ｓｄｒが所定値以下であることが好ましい。熱伝導性シート１の界面の展開面積比Ｓｄｒとは、熱伝導性シート１の定義領域の展開面積（表面積）が、定義領域の面積に対してどれだけ増大しているかを表す。例えば、熱伝導性シート１の表面が完全に平坦である場合、界面の展開面積比Ｓｄｒは０％となる。熱伝導性シート１は、界面の展開面積比Ｓｄｒが２０％以下であることが好ましく、１５％以下であってもよく、１０％以下であってもよく、９％以下であってもよく、７％以下であってもよく、４％以下であってもよい。熱伝導性シート１の界面の展開面積比Ｓｄｒの下限値は、特に限定されず、例えば０％以上であってもよいし、２％以上であってもよい。熱伝導性シート１の界面の展開面積比Ｓｄｒは、例えば、３．５６～１５．５５％の範囲であってもよいし、３．５６～１０．４４％の範囲であってもよいし、３．５６～１０．３２％の範囲であってもよいし、３．５６～９．４４％の範囲であってもよいし、３．５６～８．３４％の範囲であってもよい。熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面の界面の展開面積比Ｓｄｒが上述した範囲を満たすことが好ましく、両面の界面の展開面積比Ｓｄｒが上述した範囲を満たしてもよい。

熱伝導性シート１は、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）と界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）とを、Ｓｐｃを横軸、Ｓｄｒを縦軸として値をプロットしたグラフを作成した場合、ＳｐｃとＳｄｒが下記式１を満たすことが好ましい。熱伝導性シート１は、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であることに加えて式１を満たすことにより、より効果的に低荷重時の接触熱抵抗を低減させることができる。
式１：Ｙ＝０．０１５３Ｘ－（１５．５４７±１０）
（式１中、０≦Ｘ≦２５００、かつ、０≦Ｙ≦２０である。）

すなわち、熱伝導性シート１は、山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）を横軸、界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）を縦軸として値をプロットしたときに、プロットした値が、下記式１Ａと式１Ｂで囲まれる領域内に存在することが好ましい。
式１Ａ：Ｙ＝０．０１５３Ｘ－２５．５４７
式１Ｂ：Ｙ＝０．０１５３Ｘ－５．５４７
（式１Ａ及び式１Ｂ中、０≦Ｘ≦２５００、かつ、０≦Ｙ≦２０である。）

熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であり、０．０９℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０８℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０７℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０６℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗の下限値は、特に限定されず、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ^２／Ｗを超え、例えば０．０２℃・ｃｍ^２／Ｗ以上となり得るし、０．０５℃・ｃｍ^２／Ｗ以上ともなり得る。熱伝導性シート１は、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が、０．０２０～０．０８３℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０６０～０．０８３℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０６０～０．０８２℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０６０～０．０７７℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０６０～０．０７５℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよい。

熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であり、０．０８℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０７℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０６℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗の下限値は、特に限定されず、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ^２／Ｗを超え、例えば０．０３℃・ｃｍ^２／Ｗ以上となり得るし、０．０５℃・ｃｍ^２／Ｗ以上ともなり得る。熱伝導性シート１は、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が、０．０３９～０．０９３℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５５～０．０７５℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５５～０．０７３℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５５～０．０７０℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５５～０．０６９℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよい。

熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、２．８ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．０７２℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０６５℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の２．８ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗の下限値は、特に限定されず、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ^２／Ｗを超え、例えば０．０４℃・ｃｍ^２／Ｗ以上となり得る。熱伝導性シート１は、例えば、２．８ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．０５２～０．０７２℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５２～０．０７１℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５２～０．０６５℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５２～０．０６４℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５２～０．０６１℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０５２～０．０５４℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよい。

熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、３．５ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．０８６℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０６８℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよく、０．０６２℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の３．５ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗の下限値は、特に限定されず、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ^２／Ｗを超え、例えば０．０２℃・ｃｍ^２／Ｗ以上となり得るし、０．０４℃・ｃｍ^２／Ｗ以上ともなり得る。熱伝導性シート１は、例えば、３．５ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．０２４～０．０８６℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０４５～０．０６８℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０４５～０．０６２℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０４５～０．０６０℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよく、０．０４５～０．０５１℃・ｃｍ^２／Ｗの範囲であってもよい。

図２は、熱伝導性シート１の表面の一例を示す断面図である。熱伝導性シート１は、例えば図２に示すように、少なくとも一方の表面が研磨面であり、この研磨面に研磨残渣５を有することが好ましい。研磨残渣５は、例えば、バインダ樹脂２、繊維状フィラー３及び他の熱伝導性フィラー４を含む熱伝導性組成物からなる塊状物である。熱伝導性シート１が表面に研磨残渣５を有することにより、熱伝導性シート１の表面をより平滑にすることができ、上述のように熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であって、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下が得られやすい傾向にある。

熱伝導性シート１が研磨残渣５を有するとは、熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下を満たす程度に熱伝導性シート１の表面に研磨残渣５が存在することが好ましく、例えば、表面全体にわたってほぼ均一に研磨残渣５を有していてもよいし、例えば図２に示すように表面に部分的に（島状に）研磨残渣５を有していてもよい。熱伝導性シート１が表面に研磨残渣５を有するかどうかは、例えば、熱伝導性シート１の表面に粘着テープを貼り付けた後、この粘着テープを剥離することで、粘着テープに研磨残渣５が転着されるかどうかで確認できる。

研磨残渣５の大きさについて、上述のように熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋを３μｍ以下とし、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗を０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下とするためには、研磨残渣５の平均粒子径や最大粒子径が大きすぎないことが好ましい。例えば、研磨残渣５の平均粒子径は、５０μｍ以下であってもよいし、４０μｍ以下であってもよいし、３５μｍ以下であってもよいし、３０μｍ以下であってもよいし、２０μｍ以下であってもよいし、１５μｍ以下であってもよいし、１０μｍ以下であってもよいし、０．５～４０μｍの範囲であってもよい。研磨残渣５の平均粒子径について、異形の研磨残渣５の場合は、粒子の最も長い部分の長さ（径）を考慮する。また、研磨残渣５の最大粒子径は、例えば、１００μｍ以下であってもよいし、９０μｍ以下であってもよいし、８０μｍ以下であってもよいし、７０μｍ以下であってもよいし、５０～１００μｍの範囲であってもよい。

熱伝導性シート１の厚みは、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、０．０５ｍｍ以上とすることができ、０．１ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．３ｍｍ以上であってもよい。また、熱伝導性シート１の厚みの上限値は、例えば、５ｍｍ以下とすることができ、４ｍｍ以下であってもよく、３ｍｍ以下であってもよく、２ｍｍ以下であってもよく、１ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。例えば、熱伝導性シート１の厚みは、例えば、熱伝導性シート１の厚みＢを任意の５箇所で測定し、その算術平均値から求めることができる。

熱伝導性シート１は、シート自体の熱抵抗が低くなるにつれて被着体との間に生じる全熱抵抗中の接触熱抵抗の寄与が大きくなる傾向にある。上述のように、シートが薄くなるとその傾向は顕著となる。換言すると、熱伝導性シート１は、シート自体の熱伝導率が上がるほど全熱抵抗値中の接触熱抵抗の占有率が大きくなる。本技術では、繊維状フィラー３が厚み方向に配向した熱伝導性シート１について、熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋを所定値以下とすることにより、接触熱抵抗を低減することができ、結果として、全熱抵抗値を低減することができる。

次に、熱伝導性シート１の構成例である、バインダ樹脂２と、繊維状フィラー３と、他の熱伝導性フィラー４について説明する。

＜バインダ樹脂＞
バインダ樹脂２は、繊維状フィラー３と他の熱伝導性フィラー４とを熱伝導性シート１内に保持するためのものである。バインダ樹脂２は、熱伝導性シート１に要求される機械的強度、耐熱性、電気的性質等の特性に応じて選択される。バインダ樹脂２としては、熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、熱硬化性樹脂の中から選択することができる。

熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン－プロピレン共重合体等のエチレン－αオレフィン共重合体、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、エチレン－酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリフッ化ビニリデン及びポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、スチレン－アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体（ＡＢＳ）樹脂、ポリフェニレン－エーテル共重合体（ＰＰＥ）樹脂、変性ＰＰＥ樹脂、脂肪族ポリアミド類、芳香族ポリアミド類、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリメタクリル酸、ポリメタクリル酸メチルエステル等のポリメタクリル酸エステル類、ポリアクリル酸類、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルケトン、ポリケトン、液晶ポリマー、アイオノマー等が挙げられる。

熱可塑性エラストマーとしては、スチレン－ブタジエンブロック共重合体又はその水添化物、スチレン－イソプレンブロック共重合体又はその水添化物、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、塩化ビニル系熱可塑性エラストマー、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー、ポリアミド系熱可塑性エラストマー等が挙げられる。

熱硬化性樹脂としては、架橋ゴム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、付加反応型シリコーン樹脂や縮合反応型シリコーン樹脂等が挙げられる。架橋ゴムの具体例としては、天然ゴム、アクリルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン－ブタジエン共重合ゴム、ニトリルゴム、水添ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレン－プロピレン共重合ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ブチルゴム、ハロゲン化ブチルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、及びシリコーンゴムが挙げられる。

バインダ樹脂２としては、例えば、発熱体（例えば電子部品）の発熱面とヒートシンク面との密着性の観点では、シリコーン樹脂が好ましい。シリコーン樹脂としては、例えば、アルケニル基を有するシリコーン（ポリオルガノシロキサン）を主成分とし、硬化触媒を含む主剤と、ヒドロシリル基（Ｓｉ－Ｈ基）を有する硬化剤とからなる、２液型の付加反応型シリコーン樹脂を用いることができる。アルケニル基を有するシリコーンとしては、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。一例として、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。硬化触媒は、アルケニル基を有するシリコーン中のアルケニル基と、ヒドロシリル基を有する硬化剤中のヒドロシリル基との付加反応を促進するための触媒である。硬化触媒としては、ヒドロシリル化反応に用いられる触媒として周知の触媒が挙げられ、例えば、白金族系硬化触媒、例えば白金、ロジウム、パラジウムなどの白金族金属単体や塩化白金、白金と有機化合物の錯体などを用いることができる。ヒドロシリル基を有する硬化剤としては、例えば、ヒドロシリル基を有するポリオルガノシロキサン（ケイ素原子に直接結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン）を用いることができる。

バインダ樹脂２として、例えば、上述した２液型の付加反応型シリコーン樹脂を用いる場合、主剤となる成分（シリコーン主剤）と硬化剤となる成分との割合、すなわち、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンと、ヒドロシリル基を有するポリオルガノシロキサンの混合比率は、特に限定されず、ビニル基１ｍｏｌに対してヒドロシリル基が０．３～０．９ｍｏｌの範囲となるような混合比率であってもよく、０．４～０．７ｍｏｌの範囲となるような混合比率でもあってもよい。

熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量は、２０体積％以上とすることができ、２４体積％以上であってもよく、２８体積％以上であってもよく、３０体積％以上であってもよく、３２体積％以上であってもよく、３４体積％以上であってもよい。また、熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量の上限値は、６０体積％以下とすることができ、５０体積％以下であってもよく、４０体積％以下であってもよく、３８体積％以下であってもよく、３５体積％以下であってもよく、３２体積％以下であってもよく、３０体積％以下であってもよい。熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量は、例えば、２４～３５体積％の範囲であってもよいし、２４～３２体積％の範囲であってもよい。バインダ樹脂２は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上のバインダ樹脂２を併用する場合、その合計量が上述した含有量を満たすことが好ましい。

＜繊維状フィラー＞
繊維状フィラー３は、繊維状であって必要な熱伝導性を有するものであれば特に限定されず、例えば、炭素繊維、窒化アルミニウムウィスカーなどが挙げられる。以下では、繊維状の熱伝導性フィラーとして、炭素繊維を用いた場合を例に挙げて詳述する。繊維状フィラー３とは、長軸と短軸とを有し、長軸と短軸の長さが異なりアスペクト比（平均長軸長さ／平均短軸長さ）が１を超える形状であるものを含む。繊維状フィラー３は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

炭素繊維は、例えば、ピッチ系炭素繊維、ＰＡＮ系炭素繊維、ＰＢＯ繊維を黒鉛化した炭素繊維、アーク放電法、レーザー蒸発法、ＣＶＤ法（化学気相成長法）、ＣＣＶＤ法（触媒化学気相成長法）等で合成された炭素繊維を用いることができる。これらの中でも、熱伝導性の観点では、ピッチ系炭素繊維が好ましい。

繊維状フィラー３の平均繊維長（平均長軸長さ）は、例えば、５０～２５０μｍとすることができ、７５～２２０μｍであってもよい。また、繊維状フィラー３の平均繊維径（平均短軸長さ）は、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、４～２０μｍとすることができ、５～１４μｍであってもよい。繊維状フィラー３のアスペクト比は、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、熱伝導性の観点では、８以上とすることができ、９～３０の範囲であってもよい。繊維状フィラー３の平均長軸長さ及び平均短軸長さは、例えば、マイクロスコープや走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で測定できる。

熱伝導性シート１中の繊維状フィラー３の含有量は、熱伝導性シート１の熱伝導性の観点では、例えば、５体積％以上とすることができ、１０体積％以上であってもよく、１４積％以上であってもよく、２０体積％以上であってもよく、２２体積％以上であってもよく、２４体積％以上であってもよく、２６体積％以上であってもよい。また、熱伝導性シート１中の繊維状フィラー３の含有量は、熱伝導性シート１の成形性の観点では、例えば、３０体積％以下とすることができ、２８体積％以下であってもよく、２６体積％以下であってもよく、２０体積％以下であってもよく、１８体積％以下であってもよい。熱伝導性シート１中の繊維状フィラー３の含有量は、例えば、１４～２８体積％の範囲であってもよく、１４～２６体積％の範囲であってもよい。２種以上の繊維状フィラー３を併用する場合、その合計量が上述した含有量を満たすことが好ましい。

＜他の熱伝導性フィラー＞
他の熱伝導性フィラー４は、繊維状フィラー３以外の熱伝導性フィラーである。他の熱伝導性フィラー４には、例えば、球状、粉末状、顆粒状、鱗片状などの熱伝導性フィラーが含まれる。他の熱伝導性フィラー４の材質は、熱伝導性シート１の熱伝導性の観点では、例えば、無機フィラーが挙げられ、セラミックフィラーが好ましく、具体例としては、酸化アルミニウム（アルミナ、サファイア）、窒化アルミニウム、アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ホウ素などが挙げられる。他の熱伝導性フィラー４は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。例えば、他の熱伝導性フィラー４として、平均粒子径が異なる２種以上の熱伝導性フィラーを併用してもよい。

特に、他の熱伝導性フィラー４としては、熱伝導性シート１の熱伝導率や、熱伝導性シート１の比重の観点などを考慮して、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、アルミニウム及び水酸化アルミニウムから選択される少なくとも１種以上であることが好ましい。例えば、他の熱伝導性フィラー４としては、酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとを併用してもよく、酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとアルミニウムとを併用してもよく、水酸化アルミニウムを単独で使用してもよい。

窒化アルミニウムの平均粒子径は、例えば熱伝導性シート１の比重の観点では、０．１～１０μｍの範囲であってもよく、０．５～５μｍの範囲であってもよく、０．５～３μｍの範囲であってもよく、０．５～２μｍの範囲であってもよい。酸化アルミニウムの平均粒子径は、例えば熱伝導性シート１の比重の観点では、０．１～１０μｍの範囲とすることができ、０．１～８μｍの範囲であってもよく、０．１～７μｍの範囲であってもよく、０．１～３μｍの範囲であってもよい。水酸化アルミニウムの平均粒子径は、例えば熱伝導性シート１の比重の観点では、０．１～１０μｍの範囲であってもよく、０．５～５μｍの範囲であってもよく、０．５～３μｍの範囲であってもよく、０．５～２μｍの範囲であってもよい。アルミニウムの平均粒子径は、例えば熱伝導性シート１の比重の観点では、１５μｍ未満とすることができ、１～１４μｍの範囲であってもよい。

熱伝導性シート１中の他の熱伝導性フィラー４の含有量は、目的に応じて適宜選択することができる。熱伝導性シート１中における他の熱伝導性フィラー４の含有量は、例えば、１０体積％以上とすることができ、１５体積％以上であってもよく、２０体積％以上であってもよく、２５体積％以上であってもよく、３０体積％以上であってもよく、３５体積％以上であってもよく、３９体積％以上であってもよく、４５体積％以上であってもよい。また、熱伝導性シート１中の他の熱伝導性フィラー４の含有量の上限値は、例えば、５５体積％以下とすることができ、５０体積％以下とすることができ、４９体積％以下とすることができ、４５体積％以下であってもよく、４０体積％以下であってもよい。熱伝導性シート１中における他の熱伝導性フィラー４の含有量は、例えば、３９～５０体積％の範囲であってもよく、３９～４９体積％の範囲であってもよい。

他の熱伝導性フィラー４として、例えば、酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとを併用する場合、熱伝導性シート１中、窒化アルミニウムの含有量を１５～３５体積％の範囲とし、酸化アルミニウムの含有量を５～２５体積％の範囲とすることができる。また、他の熱伝導性フィラー４として、例えば、酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとアルミニウムとを併用する場合、熱伝導性シート１中、窒化アルミニウムの含有量を１０～３０体積％の範囲とし、酸化アルミニウムの含有量を１～２０体積％の範囲とし、アルミニウムの含有量を１０～３０体積％の範囲することができる。

＜他の成分＞
熱伝導性シート１は、本技術の効果を損なわない範囲で、上述した成分以外の他の成分をさらに含んでもよい。他の成分としては、例えば、カップリング剤、分散剤、硬化促進剤、遅延剤、粘着付与剤、可塑剤、難燃剤、酸化防止剤、安定剤、着色剤、溶剤などが挙げられる。例えば、熱伝導性シート１は、繊維状フィラー３及び他の熱伝導性フィラー４の分散性をより向上させるために、カップリング剤で処理した繊維状フィラー３及び／又はカップリング剤で処理した他の熱伝導性フィラー４を用いてもよい。

このような熱伝導性シート１の硬度は、研磨のしやすさと、シートの柔軟性による被着体への追従性の観点から、例えばショアＯＯ硬度として４０～９５であることが好ましい。

＜熱伝導性シートの製造方法＞
次に、熱伝導性シート１の製造方法について説明する。熱伝導性シート１の製造方法は、以下の工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｃとを有する。

＜工程Ａ＞
工程Ａでは、バインダ樹脂２と、繊維状フィラー３と、繊維状フィラー３以外の他の熱伝導性フィラー４とを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化することにより、熱伝導性組成物の成型体を得る。

工程Ａの一例では、まず、繊維状フィラー３と他の熱伝導性フィラー４とをバインダ樹脂２に分散させることにより、バインダ樹脂２と、繊維状フィラー３と、他の熱伝導性フィラー４とを含む熱伝導性組成物を作製する。熱伝導性組成物は、バインダ樹脂２と、繊維状フィラー３と、他の熱伝導性フィラー４との他に、必要に応じて上述した他の成分を公知の手法により均一に混合することで調製できる。

続いて、調製した熱伝導性組成物を押出成形した後硬化し、柱状の硬化物（成形体）を得る。押出成形する方法は、特に制限されず、公知の各種押出成形法の中から、熱伝導性組成物の粘度や熱伝導性シート１に要求される特性等に応じて適宜採用できる。押出成形法において、熱伝導性組成物をダイより押し出す際、熱伝導性組成物中のバインダ樹脂２が流動し、その流動方向に沿って繊維状フィラー３が配向する。柱状の硬化物の大きさ・形状は、求められる熱伝導性シート１の大きさに応じて決めることができる。例えば、断面の縦の大きさが０．５～１５ｃｍで横の大きさが０．５～１５ｃｍの直方体が挙げられる。直方体の長さは必要に応じて決定すればよい。

＜工程Ｂ＞
工程Ｂでは、工程Ａで得られた熱伝導性組成物の成型体をシート状に切断し、成型体シートを得る。工程Ｂの一例では、工程Ａで得た柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し所定の厚みに切断して成形体シートを得る。工程Ｂで得られる成形体シートの表面（切断面）には、繊維状フィラー３が露出する。成形体の切断方法は、特に制限されず、成形体の大きさや機械的強度により、公知のスライス装置の中から適宜選択できる。成形体を得る際に押出成形法を採用する場合、押出し方向に繊維状フィラー３が配向しているものもあるため、成形体の切断方向としては、押出し方向に対して６０～１２０度であることが好ましく、７０～１００度の方向であることがより好ましく、９０度（略垂直）の方向であることがさらに好ましい。成形体の切断方向は、上記の他は特に制限はなく、熱伝導性シート１の使用目的等に応じて適宜選択できる。

＜工程Ｃ＞
通常、工程Ｂで得られる成形体シートは、表面に凹凸が存在する。例えば、工程Ｂで得られる成形体シートは、図２に示すように、表面に複数の凸部１ａと、凸部１ａに隣接した凹部とを有する。そのため、通常、工程Ｂで得られる成形体シートは、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ超である。表面にこのような凹凸が存在する成形体シートを用いると、成形体シートと被着体との間にエアーが混入しやすくなり、成形体シートの接触熱抵抗を低減するのが難しい傾向にある。

そこで、工程Ｃでは、工程Ｂで得られた成形体シートを研磨することにより、成形体シートの表面の凸部１ａから削り出たバインダ樹脂２、繊維状フィラー３及び他の熱伝導性フィラー４によって成形体シートの表面の凹部が被覆され（換言すると、凸部１ａから削り出された研磨残渣５が凹部に留まる）ことで、熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋを３μｍ以下とすることができ、熱伝導性シート１と被着体との接触面積が向上して、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することを抑制し、熱伝導性シート１の接触熱抵抗を低減させることができる。また、これに加えて、ブリードしたバインダ樹脂２が熱伝導性シート１の表面を被覆することにより、熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋの低減が促進されやすくなり、熱伝導性シート１と被着体との接触面積がより向上し、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することがより効果的に抑制され、熱伝導性シート１の接触熱抵抗をさらに低減できると考えられる。

工程Ｃでは、例えば、工程Ｂで得られた成形体シートを研磨部材で研磨する。研磨部材としては、例えば、成形体シートの表面に面接触させ研磨することができるものが挙げられる。このような研磨部材としては、例えば、紙やすり、ラッピングフィルム、ブラシなどが挙げられ、耐久性や砥粒の粒度の精度、処理量に応じて適宜選択される。ラッピングフィルムとは、基材となる樹脂製フィルムに接着剤を用いて砥粒を固定したフィルムである。ラッピングフィルムのように成形体シートの表面に面接触させて研磨することができる研磨部材を用いることにより、成形体シートの表面の凸部１ａから削り出たバインダ樹脂２、繊維状フィラー３及び他の熱伝導性フィラー４によって成形体シートの表面の凹部をより効率的に被覆できる。

ラッピングフィルムは、例えば、基材としてポリエステルフィルムを用い、砥粒として平均粒子径２～４０μｍの酸化アルミニウムを用いたものを用いることができる。あるいは、砥粒の粒度を示すものとして公称値で＃４００～＃６０００のラッピングフィルムを用いることができる。ラッピングフィルムのサイズや厚みは、研磨する成形体シートの大きさに応じて適宜変更することができる。例えば、ラッピングフィルムの厚みは、０．０１～０．５ｍｍとすることができる。

図３は、研磨部材の一例であるブラシ６の斜視図である。ブラシ６は、例えば図３に示すように、柱状の基材７の長さ方向に毛材８が配列した形状を有する。毛材８は、複数の毛の束であり、長さＢと、奥行きＣと、幅Ａを有する。ブラシ６の材質は、特に限定されず、例えば、汎用性、耐摩耗性、柔軟性、曲げ復元性等の観点では、ナイロンが挙げられる。

図４は、成形体シート９の表面をブラシ６で研磨する方法の一例を説明するための斜視図である。研磨部材としてブラシ６を用いて、１枚ずつ成形体シート９において研磨処理を行なう場合、図示しない吸着パッドやテープなどの固定手段で、成形体シート９の研磨しようとする面の背面、または研磨処理を開始する側の端部を仮止めすることが好ましい。テープを用いた仮固定の例として、例えば図４中のＤ１の方向にブラシ６で研磨する場合は、成形体シート９の一端側９Ａを仮固定し、固定されていない他端側９Ｂに向かってブラシ６を移動する。成形体シート９の背面を仮固定する場合は、ブラシ６の移動方向に制限はない。ブラシ６の移動手段は、手動であっても自動であってもよい。成形体シート９を研磨する場合には、毛材８の先端がＡ方向全体で成形体シート９の表面に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、ブラシ６を移動させることが好ましい。

研磨方法は、成形体シート９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに一方向に研磨部材を移動させることに限定されない。例えば成形体シート９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って研磨部材で研磨することと、成形体シート９表面の他端側９Ｂから一端側９Ａに亘って研磨部材で研磨することを繰り返す、すなわち、研磨部材を、成形体シート９表面の一端側９Ａと他端側９Ｂに亘って往復して研磨してもよい。一例としてブラシ６を用いる場合、図４において成形体シート９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って、Ｄ１方向とＤ２方向に往復して研磨してもよい。図５は、複数の成形体シートの表面を連続してブラシで研磨する方法の一例を説明するための斜視図である。図５に示すように、複数の熱伝導性シート１を連続して研磨処理する場合には、例えば、研磨部材を固定し、成形体シート９をコンベア１０上に複数枚配置し、コンベア１０を移動させることで複数の成形体シート９を連続して研磨処理してもよい。コンベア１０の移動方向は、図５中のＤ３方向またはＤ４方向の一方向であってもよいし、Ｄ３方向とＤ４方向に往復してもよい。また、複数のブラシを設置して使用することも可能である。更には、ロール状ブラシを回転させて使用しても良い。

研磨方法について、成形体シート９の片面のみを研磨処理してもよいし、成形体シート９の片面を研磨処理した後、他方の面も研磨処理してもよい。

研磨部材としてラッピングフィルムを用いる場合、成形体シート９の表面にラッピングフィルムを接触させ、成形体シート９及びラッピングフィルムの少なくともいずれか一方を移動させる限りにおいては、上述のブラシ６における研磨方法と同様に、移動方法や移動方向、配置や形状において各種の変形が可能である。

研磨回数は、研磨方法、研磨部材の種類、研磨部材の粒度などに応じて適宜変更することができる。研磨回数は、多いほど成形体シートの表面の凸部１ａから削り出たバインダ樹脂２、繊維状フィラー３及び他の熱伝導性フィラー４によって成形体シート９の表面の凹部が被覆されやすいと考えられるため、一定回数以上とすることが好ましい。研磨回数は、例えば、１回以上とすることができ、１０回以上としてもよく、２０回以上としてもよく、３０回以上としてもよく、４０回以上としてもよく、５０回以上としてもよく、６０回以上としてもよく、７０回以上としてもよく、８０回以上としてもよく、９０回以上としてもよく、１００回以上としてもよく、２００回以上としてもよく、３００回以上としてもよく、４００回以上としてもよく、１００～１０００回の範囲としてもよく、１００～４００回の範囲としてもよい。なお、本明細書において、研磨回数とは、例えば図４において、成形体シート９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って一方向に研磨することを１回とする。

工程Ｃで得られる熱伝導性シート１は、上述のように、成形体シートの表面に存在していた凸部１ａが研磨部材で研磨されたことにより発生した研磨残渣５を有する。このように、熱伝導性シート１は、表面に研磨残渣５を有することによって、上述した物性、すなわち、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であり、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であることを満たしやすい傾向にある。

熱伝導性シート１が表面に有する研磨残渣５の大きさは、使用する研磨部材の材質や粒度により適宜変更できる。例えば、研磨部材としてラッピングフィルムやブラシ６を用いる場合は、研磨残渣５の最大サイズを１００μｍ以下とすることができ、０．５～１００μｍの範囲とすることもできる。

研磨部材は、研磨する工程（工程Ｃ）において同一の粗さを持つ研磨部材であってもよい。研磨する工程において同一の粗さを持つ研磨部材とは、例えば、工程Ｃにおいて、砥粒の粒度が異なる２種以上の研磨部材を併用するのではなく、砥粒の粒度が同一の研磨部材を用いることを意味する。熱伝導性シート１の製造方法では、工程Ｃにおいて、同一の粗さを持つ研磨部材を用いて成形体シート９を研磨した場合でも、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋを３μｍ以下とし、熱伝導性シート１の接触熱抵抗を低減することができる。このように、熱伝導性シート１の製造方法では、工程Ｃにおける研磨について、砥粒の粒度が異なる２種以上の研磨部材を併用しなくても熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋを３μｍ以下にすることができるため、工程を簡素化できる。なお、熱伝導性シート１の製造方法の工程Ｃでは、砥粒の粒度が異なる２種以上の研磨部材を併用してもよい。

このような工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｃとを有する熱伝導性シートの製造方法によれば、上述した熱伝導性シート１が得られる。

熱伝導性シート１の製造方法は、上述した例に限定されず、プレスする工程Ｄをさらに有していてもよい。工程Ｄは、工程Ｂと工程Ｃとの間であってもよく、工程Ｃの後であってもよい。例えば、熱伝導性シート１の製造方法の一例は、上述した工程Ａ～Ｃの他に、工程Ｂで得られた成形体シート９の表面をプレスする工程Ｄをさらに有し、工程Ｃでは、工程Ｄでプレスした成形体シート９の表面を研磨して熱伝導性シート１を得るようにしてもよい。プレスする工程Ｄをさらに有することで、得られる熱伝導性シート１の表面がより平滑化され、他の部材との密着性をより向上させることができる。プレスの方法としては、平盤と表面が平坦なプレスヘッドとからなる一対のプレス装置を使用することができる。また、ピンチロールでプレスしてもよい。プレスの際の圧力としては、例えば、０．１～１００ＭＰａとすることができる。プレスの効果をより高め、プレス時間を短縮するために、プレスは、バインダ樹脂２のガラス転移温度（Ｔｇ）以上で行うことが好ましい。例えば、プレス温度は、０～１８０℃とすることができ、室温（例えば２５℃）～１００℃の温度範囲内であってもよく、３０～１００℃であってもよい。

＜電子機器＞
熱伝導性シート１は、例えば、発熱体と放熱体との間に配置させることにより、発熱体で生じた熱を放熱体に逃がすためにそれらの間に配された構造の電子機器（サーマルデバイス）とすることができる。電子機器は、発熱体と放熱体と熱伝導性シート１とを少なくとも有し、必要に応じて、その他の部材をさらに有していてもよい。このように、熱伝導性シート１を適用した電子機器は、発熱体と放熱体との間に熱伝導性シート１が挟持されているため、熱伝導性シート１により高熱伝導性を実現しつつ、発熱体への熱伝導性シート１の密着性に優れ、熱伝導性シート１からのバインダ樹脂２の過剰なブリードを抑制できる。

特に、熱伝導性シート１を適用した電子機器は、上述のように、熱伝導性シート１の突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であるため、熱伝導性シート１と被着体である発熱体や放熱体との接触面積がより増大し、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することが抑制されるため、低荷重（低加圧）時の接触熱抵抗をより効果的に低減できる。

発熱体としては、特に限定されず、例えば、ＣＰＵ、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、フラッシュメモリなどの集積回路素子、トランジスタ、抵抗器など、電気回路において発熱する電子部品等が挙げられる。また、発熱体には、通信機器における光トランシーバ等の光信号を受信する部品も含まれる。

放熱体としては、特に限定されず、例えば、ヒートシンクやヒートスプレッダなど、集積回路素子やトランジスタ、光トランシーバ筐体などと組み合わされて用いられるものが挙げられる。ヒートシンクやヒートスプレッダの材質としては、例えば、銅、アルミニウムなどが挙げられる。放熱体としては、ヒートスプレッダやヒートシンク以外にも、熱源から発生する熱を伝導して外部に放散させるものであればよく、例えば、放熱器、冷却器、ダイパッド、プリント基板、冷却ファン、ペルチェ素子、ヒートパイプ、ベーパーチャンバー、金属カバー、筐体等が挙げられる。ヒートパイプは、例えば、円筒状、略円筒状又は扁平筒状の中空構造体である。

図６は、熱伝導性シートを適用した半導体装置の一例を示す断面図である。例えば、熱伝導性シート１は、図６に示すように、各種電子機器に内蔵される半導体装置５０に実装され、発熱体と放熱体との間に挟持される。図６に示す半導体装置５０は、電子部品５１と、ヒートスプレッダ５２と、熱伝導性シート１とを備え、熱伝導性シート１がヒートスプレッダ５２と電子部品５１との間に挟持される。熱伝導性シート１が、ヒートスプレッダ５２とヒートシンク５３との間に挟持されることにより、ヒートスプレッダ５２とともに、電子部品５１の熱を放熱する放熱部材を構成する。熱伝導性シート１の実装場所は、ヒートスプレッダ５２と電子部品５１との間や、ヒートスプレッダ５２とヒートシンク５３との間に限らず、電子機器や半導体装置の構成に応じて、適宜選択できる。ヒートスプレッダ５２は、例えば方形板状に形成され、電子部品５１と対峙する主面５２ａと、主面５２ａの外周に沿って立設された側壁５２ｂとを有する。ヒートスプレッダ５２は、側壁５２ｂに囲まれた主面５２ａに熱伝導性シート１が設けられ、主面５２ａと反対側の他面５２ｃに熱伝導性シート１を介してヒートシンク５３が設けられる。

以下、本技術の実施例について説明する。なお、本技術は、これらの実施例に限定されるものではない。

＜実施例１＞
シリコーン樹脂３２体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）１４体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２５体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２８体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．２ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートを得た。この成形体シートの表面の両表面につき、片面ずつ、一端側から他端側にわたって一方向に、厚みが約１００μｍである４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）により４００回擦り、熱伝導性シートを得た。このように、実施例１で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜実施例２＞
熱伝導性シートの厚みを０．３ｍｍに変更したこと以外は、実施例１と同様に成形体シートの表面を研磨した熱伝導性シートを得た。このように、実施例２で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜実施例３＞
熱伝導性シートの厚みを０．５ｍｍに変更したこと以外は、実施例１と同様に成形体シートの表面を研磨した熱伝導性シートを得た。このように、実施例３で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜実施例４＞
シリコーン樹脂２４体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）１０体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２０体積％と、アルミニウム（平均粒子径：約６μｍ）１９体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートを得た。この成形体シートの両表面につき、片面ずつ、表面の一端側から他端側にわたって一方向に、表面を４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）により１００回擦り、熱伝導性シートを得た。このように、実施例４で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜実施例５＞
シリコーン樹脂３５体積％と、水酸化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）５０体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）１４体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートを得た。この成形体シートの両表面につき、片面ずつ、表面を４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）により４００回擦り、熱伝導性シートを得た。このように、実施例５で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜実施例６＞
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２３体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで１．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートを得た。この成形体シートの両表面につき、片面ずつ、表面の一端側から他端側にわたって一方向に、厚みが約１００μｍである４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）により２００回擦り、熱伝導性シートを得た。このように、実施例６で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜実施例７＞
成形体シートの厚みを２．０ｍｍ厚に変更したこと以外は、実施例６と同様に成形体シートの表面を研磨した熱伝導性シートを得た。このように実施例７で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。

＜比較例１＞
比較例１では、実施例２と同様の方法で得られた、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートをプレスした。このように、比較例１では、柱状の硬化物を０．３ｍｍ厚にスライスした成形体シートの表面をラッピングフィルムで研磨せずにプレスを行った。そのため、比較例１で得られた成形体シートは、表面に研磨残渣を有していなかった。

＜比較例２＞
比較例２では、シリコーン樹脂と、炭素繊維と、他の無機フィラーとを混合した組成物を、金型に注入し、磁場を厚さ方向に印加して炭素繊維を厚さ方向に磁場配向させた後に硬化して、柱状の硬化物を形成した。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートを得た。このように、比較例２では、柱状の硬化物を０．３ｍｍ厚にスライスした後に、成形体シートの表面をラッピングフィルムで研磨しなかった。そのため、比較例２で得られた成形体シートは、表面に研磨残渣を有していなかった。

＜比較例３＞
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２３体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで１．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維がシートの厚み方向に配向した成形体シートを得た。このように、比較例３では、柱状の硬化物を１．０ｍｍ厚にスライスした後に、成形体シートの表面をラッピングフィルムで研磨しなかった。そのため、比較例３で得られた成形体シートは、表面に研磨残渣を有していなかった。

＜比較例４＞
柱状の硬化物をシート状に切断（スライス）する際の厚みを２．０ｍｍ厚としたほかは、比較例３と同様に成形体シートを得た。このように、比較例４では、柱状の硬化物を２．０ｍｍ厚にスライスした後に、成形体シートの表面をラッピングフィルムで研磨しなかった。そのため、比較例４で得られた成形体シートは、表面に研磨残渣を有していなかった。

＜熱伝導性シートの表面性状パラメータ＞
各実施例で得られた熱伝導性シートと、各比較例で得られた成形体シートの表面性状パラメータを測定した。具体的には、熱伝導性シート（成形体シート）の突出山部の平均高さＳｐｋ（μｍ）、突出谷部の平均深さＳｖｋ（μｍ）、突出山部の体積Ｖｍｐ（ｍｌ／ｍ^２）、二乗平均平方根勾配Ｓｄｑ、山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）、界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）を測定した。これらは、走査型白色干渉顕微鏡（ナノ３Ｄ光干渉計測システム。装置名：ＶＳ－１８００、日立ハイテク社製、測定モード：ｗａｖｅモード）を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定した。レンズ倍率は鏡筒内レンズ０．５倍、対物レンズ２０倍であり、５６２μｍ×５６２μｍのＸＹ領域に対し、Ｚ軸の高さ方向５０μｍ、深さ方向５０μｍの範囲で表面性状パラメータを測定した。突出山部の体積Ｖｍｐは、不可面積率１０％値を適用した。結果を表１に示す。

＜接触熱抵抗＞
各実施例で得られた熱伝導性シートと、各比較例で得られた成形体シートについて、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、所定の加圧時（１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時、２．８ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時、３．５ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時）の総熱抵抗値［℃・ｃｍ^２／Ｗ］からバルク熱抵抗［℃・ｃｍ^２／Ｗ］を差し引くことで接触熱抵抗［℃・ｃｍ^２／Ｗ］を求めた。前記の測定において、直接測定されるのが総熱抵抗値である。接触熱抵抗の算出時に使用する式を下記の式Ａ、式Ｂに示す。なお、総熱抵抗の測定は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に準拠した熱抵抗測定装置（デクセリアルズ株式会社製）を用いて行った。測定時の加圧時間は２５０秒間とし、２０１秒から２５０秒の間の測定値の平均値を測定値とした。測定は、１枚の熱伝導性シートに対して、順次加圧条件を変えながら行なった。

式Ａ：接触熱抵抗［℃・ｃｍ^２／Ｗ］＝総熱抵抗値［℃・ｃｍ^２／Ｗ］―バルク熱抵抗［℃・ｃｍ^２／Ｗ］
式Ｂ：バルク熱抵抗［℃・ｃｍ^２／Ｗ］＝シート厚み［ｍ］／バルク熱伝導率［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］＝１０^－４×℃・ｍ^２／Ｗ

バルク熱伝導率［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］は、各実施例で得られた熱伝導性シートと、各比較例で得られた成形体シートについて、シート厚みを０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、１．５ｍｍにそれぞれ変更したものを作製し、各シートの初期厚みから４～１２％圧縮したときの厚み［ｍｍ］を横軸に、シートの初期厚みから４～１２％圧縮したときの総熱抵抗値［℃・ｃｍ^２／Ｗ］を縦軸にして、得られたデータをプロットし、近似直線の傾きの逆数から算出した。ここで、総熱抵抗値は、ＡＳＴＭ Ｄ５４７０に準拠して測定された、バルク熱抵抗値と接触熱抵抗値の合計の熱抵抗値であり、バルク熱抵抗値は熱伝導シートそのものが有する熱抵抗値である。バルク熱伝導率［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］は、測定における治具との接触などを考慮しない、熱伝導シートそのものが有する熱伝導率を示す。結果を表１に示す。

実施例１～７の結果から、バインダ樹脂と、繊維状フィラーと、繊維状フィラー以外の熱伝導性フィラーとを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる熱伝導性シートであって、繊維状フィラーが熱伝導性シートの厚み方向に配向しており、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される熱伝導性シートの突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であることにより、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であることが分かった。

また、実施例１～７で得られた熱伝導性シートは、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される２．８ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．０７２℃・ｃｍ^２／Ｗ以下であることが分かった。

実施例１～７で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨残渣を有していた。この研磨残渣は、研磨によって生じた、シリコーン樹脂、炭素繊維及び他の熱伝導性フィラー（酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、アルミニウム、水酸化アルミニウムなど）を含む塊状物であることが確認された。

図７は、熱伝導性シートの山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）を横軸、熱伝導性シートの界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）を縦軸として実施例及び比較例の結果をプロットしたグラフである。図７に示すように、実施例１～７で得られた熱伝導性シートは、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）と、界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）とを、Ｓｐｃを横軸、Ｓｄｒを縦軸として値をプロットしたグラフを作成した場合に、ＳｐｃとＳｄｒが上述した式１を満たすことが分かった。

比較例１，２で得られた成形体シートは、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下を満たさず、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下を満たさないことが分かった。また、比較例３，４で得られた成形体シートは、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下を満たさないことが分かった。比較例１～４では、成形体シートを研磨部材（ラッピングフィルム）によって研磨しなかったため、成形体シートの表面には研磨残渣が残留しなかったことが原因と考えられる。

図７に示すように、比較例１～４で得られた成形体シートは、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）と、界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）とを、Ｓｐｃを横軸、Ｓｄｒを縦軸として値をプロットしたグラフを作成した場合に、ＳｐｃとＳｄｒが上述した式１を満たさない（式１中、０≦Ｘ≦２５００、かつ、０≦Ｙ≦２０を満たさない）ことが分かった。

１ 熱伝導性シート、１ａ 凸部、２ バインダ樹脂、３ 繊維状フィラー、４ 他の熱伝導性フィラー、５ 研磨残渣、６ ブラシ、７ 基材、８ 毛材、９ 成形体シート、１０ コンベア、５０ 半導体装置、５１ 電子部品、５２ ヒートスプレッダ、５２ａ 主面、５２ｂ 側壁、５２ｃ 他面、５３ ヒートシンク

Claims (13)

1. バインダ樹脂と、繊維状フィラーと、上記繊維状フィラー以外の他の熱伝導性フィラーとを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる熱伝導性シートであって、
   上記繊維状フィラーが当該熱伝導性シートの厚み方向に配向しており、
   対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、当該熱伝導性シートの突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であり、
   ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下である、熱伝導性シート。
2. ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、２．８ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．０７２℃・ｃｍ^２／Ｗ以下である、請求項１に記載の熱伝導性シート。
3. 対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、当該熱伝導性シートの山頂の算術平均曲率Ｓｐｃ（１／ｍｍ）と、界面の展開面積比Ｓｄｒ（％）とを、Ｓｐｃを横軸、Ｓｄｒを縦軸として値をプロットしたグラフを作成した場合に、ＳｐｃとＳｄｒが下記式１を満たす、請求項１又は２に記載の熱伝導性シート。
   式１：Ｙ＝０．０１５３Ｘ－（１５．５４７±１０）
   （式１中、０≦Ｘ≦２５００、かつ、０≦Ｙ≦２０である。）
4. 表面が研磨面である、請求項１又は２に記載の熱伝導性シート。
5. 表面に研磨残渣を有する、請求項１又は２に記載の熱伝導性シート。
6. 上記研磨残渣は、上記バインダ樹脂、上記繊維状フィラー及び上記他の熱伝導性フィラーを含む、請求項５に記載の熱伝導性シート。
7. 上記繊維状フィラーが炭素繊維である、請求項１又は２に記載の熱伝導性シート。
8. バインダ樹脂と、繊維状フィラーと、上記繊維状フィラー以外の他の熱伝導性フィラーとを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化することにより、上記熱伝導性組成物の成型体を得る工程と、
   上記成型体をシート状に切断し、成型体シートを得る工程と、
   上記成形体シートを研磨部材によって研磨することにより、熱伝導性シートを得る工程とを含み、
   上記熱伝導性シートの表面には、上記研磨によって生じた、上記バインダ樹脂、上記繊維状フィラー及び上記他の熱伝導性フィラーを含む研磨残渣が残留する、熱伝導性シートの製造方法。
9. 上記研磨部材がラッピングフィルムである、請求項８に記載の熱伝導性シートの製造方法。
10. 上記研磨部材が、上記研磨する工程において同一の粗さを持つ研磨部材である、請求項８又は９に記載の熱伝導性シートの製造方法。
11. 上記繊維状フィラーが炭素繊維である、請求項８又は９に記載の熱伝導性シートの製造方法。
12. 上記繊維状フィラーが上記熱伝導性シートの厚み方向に配向している、請求項８又は９に記載の熱伝導性シートの製造方法。
13. 上記熱伝導性シートは、対物レンズを２０倍とした走査型白色干渉顕微鏡を用いて、ＩＳＯ ２５１７８に従って測定される、突出山部の平均高さＳｐｋが３μｍ以下であり、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される、１．４ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時と、２．１ｋｇｆ／ｃｍ^２加圧時の接触熱抵抗が０．１０℃・ｃｍ^２／Ｗ以下である、請求項８に記載の熱伝導性シートの製造方法。
    

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