JP2023152002A - 磁気式エンコーダおよび測距装置 - Google Patents
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Abstract
Description
R2=R0+ΔRcos(θ+λs/λm×π) …(2)
=R2/2R0 …(4)
…(5)
R12=R0+ΔRcos(θ+λs/λm×π+π)
=R0-ΔRcos(θ+λs/λm×π) …(7)
R13=R0+ΔRcos(θ+π)
=R0-ΔRcos(θ+π) …(8)
R14=R0+ΔRcos(θ+λs/λm×π) …(9)
=(R13+R14)/4R0 …(10)
次に、図16を参照して、本実施の形態に係る磁気式エンコーダ1の変形例について説明する。図16は、磁気式エンコーダ1の変形例を示す斜視図である。変形例では、磁気式エンコーダ1は、図2および図3に示した磁界発生器3の代わりに、磁界発生器103を備えている。磁界発生器103は、それぞれ回転軸Cから離れる方向に向いた外周面103a,103bを有している。外周面103a,103bは、回転軸Cに平行な方向において互いに異なる位置に配置されている。外周面103aは、外周面103bよりも回転軸Cから離れた位置に配置されている。
Claims (17)
- 第1の方向の磁界成分を含む対象磁界を発生する磁界発生器と、
前記対象磁界を検出するように構成された磁気センサとを備え、
前記磁気センサと前記磁界発生器は、前記磁気センサと前記磁界発生器の少なくとも一方が動作すると、基準位置における前記磁界成分の強度が変化するように構成され、
前記磁界発生器は、複数組のN極とS極が交互に配列された磁気スケールであり、
前記磁気センサは、それぞれ前記磁界成分の強度の変化に応じて抵抗値が変化するように構成された複数の抵抗体を含むと共に、それぞれ前記磁界成分の強度の変化に対応する第1の検出信号および第2の検出信号を生成するように構成され、
前記複数の抵抗体は、2つの抵抗体を含み、
前記2つの抵抗体のうちの一方の抵抗体の抵抗値は、前記第1の検出信号と対応関係を有し、
前記2つの抵抗体のうちの他方の抵抗体の抵抗値は、前記第2の検出信号と対応関係を有し、
前記一方の抵抗体と前記他方の抵抗体は、前記第1の検出信号の位相と前記第2の検出信号の位相が互いに異なるように、前記第1の方向において互いに異なる位置に配置され、
前記磁気スケールにおいて1つのS極を介して隣接する2つのN極の中心間距離を磁極ピッチとし、前記一方の抵抗体内における所定の位置と前記他方の抵抗体内における所定の位置の前記第1の方向における間隔の4倍を設計ピッチとしたときに、前記磁極ピッチは、前記設計ピッチよりも大きく、
前記第1および第2の検出信号の各々は、理想的な正弦曲線を描くように周期的に変化する理想成分と、それぞれ前記理想成分の高次の高調波に相当する複数の高調波成分とを含み、
前記複数の抵抗体は、前記複数の高調波成分のうち、少なくとも2次の高調波に相当する高調波成分が低減されるように構成されていることを特徴とする磁気式エンコーダ。 - 前記磁極ピッチは、前記設計ピッチの1.1倍よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ。
- 前記磁極ピッチは、前記設計ピッチの1.25倍よりも大きく、前記設計ピッチの1.75倍よりも小さいことを特徴とする請求項2記載の磁気式エンコーダ。
- 前記磁気センサは、更に、電源ポートと、
グランドポートと、
第1の出力ポートと、
第2の出力ポートとを備え、
前記複数の抵抗体は、第1の抵抗体と、第2の抵抗体と、第3の抵抗体と、第4の抵抗体と、第5の抵抗体と、第6の抵抗体と、第7の抵抗体と、第8の抵抗体とを含み、
前記第1の抵抗体と前記第2の抵抗体は、前記電源ポートと前記第1の出力ポートとを接続する第1の経路に、前記電源ポート側からこの順に設けられ、
前記第3の抵抗体と前記第4の抵抗体は、前記グランドポートと前記第1の出力ポートとを接続する第2の経路に、前記グランドポート側からこの順に設けられ、
前記第5の抵抗体と前記第6の抵抗体は、前記グランドポートと前記第2の出力ポートとを接続する第3の経路に、前記グランドポート側からこの順に設けられ、
前記第7の抵抗体と前記第8の抵抗体は、前記電源ポートと前記第2の出力ポートとを接続する第4の経路に、前記電源ポート側からこの順に設けられ、
前記第1の方向における前記第1の抵抗体内の第1の位置と前記第2の抵抗体内の第2の位置との間隔と、前記第1の方向における前記第3の抵抗体内の第3の位置と前記第4の抵抗体内の第4の位置との間隔と、前記第1の方向における前記第5の抵抗体内の第5の位置と前記第6の抵抗体内の第6の位置との間隔と、前記第1の方向における前記第7の抵抗体内の第7の位置と前記第8の抵抗体内の第8の位置との間隔は、それぞれ、前記設計ピッチの1/2の奇数倍と等しく、
前記第1の方向における前記第1の位置と前記第3の位置との間隔と、前記第1の方向における前記第5の位置と前記第7の位置との間隔は、それぞれ、ゼロまたは前記設計ピッチの整数倍と等しく、
前記第1の方向における前記第1の位置と前記第5の位置との間隔は、前記設計ピッチの1/4と等しく、
前記磁気センサは、更に、複数の磁気抵抗効果素子を備え、
前記複数の磁気抵抗効果素子の各々は、磁化固定層と、自由層と、前記磁化固定層と前記自由層の間に配置されたギャップ層とを含み、
前記磁化固定層は、方向が固定された第1の磁化を有し、
前記自由層は、前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向の両方に平行な平面内において変化可能な第2の磁化を有し、
前記磁化固定層、前記自由層および前記ギャップ層は、前記第1の方向および前記第2の方向に直交する第3の方向に積層され、
前記第1ないし第8の抵抗体は、前記複数の磁気抵抗効果素子を用いて構成され、
前記第1、第4、第6および第7の抵抗体における前記磁化固定層の前記第1の磁化は、前記第1の方向に平行な一方向である第1の磁化方向の成分を含み、
前記第2、第3、第5および第8の抵抗体における前記磁化固定層の前記第1の磁化は、前記第1の磁化方向とは反対の第2の磁化方向の成分を含むことを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第1の抵抗体の重心であり、
前記第2の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第2の抵抗体の重心であり、
前記第3の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第3の抵抗体の重心であり、
前記第4の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第4の抵抗体の重心であり、
前記第5の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第5の抵抗体の重心であり、
前記第6の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第6の抵抗体の重心であり、
前記第7の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第7の抵抗体の重心であり、
前記第8の位置は、前記第3の方向に平行な一方向から見たときの前記第8の抵抗体の重心であることを特徴とする請求項4記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1の抵抗体と前記第3の抵抗体は、前記第2の方向において隣接し、
前記第2の抵抗体と前記第4の抵抗体は、前記第2の方向において隣接し、
前記第5の抵抗体と前記第7の抵抗体は、前記第2の方向において隣接し、
前記第6の抵抗体と前記第8の抵抗体は、前記第2の方向において隣接することを特徴とする請求項4記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第1の抵抗体は、前記第7の抵抗体とは隣接するが、前記第8の抵抗体とは隣接せず、
前記第8の抵抗体は、前記第2の抵抗体とは隣接するが、前記第1の抵抗体とは隣接しないことを特徴とする請求項4記載の磁気式エンコーダ。 - 前記第3の抵抗体は、前記第7の抵抗体との間に前記第1の抵抗体を挟む位置に配置され、
前記第4の抵抗体は、前記第8の抵抗体との間に前記第2の抵抗体を挟む位置に配置され、
前記第5の抵抗体は、前記第1の抵抗体との間に前記第7の抵抗体を挟む位置に配置され、
前記第6の抵抗体は、前記第2の抵抗体との間に前記第8の抵抗体を挟む位置に配置されていることを特徴とする請求項7記載の磁気式エンコーダ。 - 前記複数の磁気抵抗効果素子の各々は、前記第1の方向と交差する方向のバイアス磁界が前記自由層に印加されるように構成されていることを特徴とする請求項4記載の磁気式エンコーダ。
- 前記ギャップ層は、トンネルバリア層であることを特徴とする請求項4記載の磁気式エンコーダ。
- 前記磁界発生器は、回転軸を中心として回転するように構成されると共に、前記回転軸に平行な一方向の端に位置する端面を有し、
前記複数組のN極とS極は、前記回転軸の周りに交互に配列されると共に前記端面に設けられ、
前記基準位置における前記磁界成分の強度は、前記磁界発生器の回転に伴って変化し、
前記磁気センサは、前記端面に対向するように配置されていることを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ。 - 前記磁界発生器は、対象物までの距離を測定するための光の進行方向を変化させる光学素子と連動して回転するように構成されていることを特徴とする請求項11記載の磁気式エンコーダ。
- 前記磁界発生器は、回転軸を中心として回転するように構成されると共に、前記回転軸から離れる方向に向いた外周面を有し、
前記複数組のN極とS極は、前記回転軸の周りに交互に配列されると共に前記外周面に設けられ、
前記基準位置における前記磁界成分の強度は、前記磁界発生器の回転に伴って変化し、
前記磁気センサは、前記外周面に対向するように配置されていることを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ。 - 前記磁界発生器は、対象物までの距離を測定するための光の進行方向を変化させる光学素子と連動して回転するように構成されていることを特徴とする請求項13記載の磁気式エンコーダ。
- 照射した光を検出することによって対象物までの距離を測定する測距装置であって、
前記光の進行方向を変化させると共に回転するように構成された光学素子と、
請求項1ないし10のいずれかに記載の磁気式エンコーダとを備え、
前記磁界発生器は、前記光学素子と連動して回転軸を中心として回転するように構成され、
前記複数組のN極とS極は、前記回転軸の周りに交互に配列され、
前記基準位置における前記磁界成分の強度は、前記磁界発生器の回転に伴って変化することを特徴とする測距装置。 - 前記磁界発生器は、前記回転軸に平行な一方向の端に位置する端面を有し、
前記複数組のN極とS極は、前記端面に設けられ、
前記磁気センサは、前記端面に対向するように配置されていることを特徴とする請求項15記載の測距装置。 - 前記磁界発生器は、前記回転軸から離れる方向に向いた外周面を有し、
前記複数組のN極とS極は、前記外周面に設けられ、
前記磁気センサは、前記外周面に対向するように配置されていることを特徴とする請求項15記載の測距装置。
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