JP2023139144A - Resin film and method for manufacturing resin film - Google Patents

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直樹 渡辺
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洋行 涌井
Hiroyuki Wakui
治美 米虫
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Abstract

To provide a resin film which is excellent in heat resistance, keeps a low coefficient of linear expansion up to a high temperature region, has a high tensile elastic modulus, has a small ratio of coefficients of linear expansion in an MD direction and a TD direction of the resin film to the tensile elastic modulus, and has preferable physical property isotropy.SOLUTION: A method for manufacturing a resin film includes a step A of coating and drying a polyamide acid resin solution onto a support, and manufacturing a resin film laminate containing a solvent, a step B of peeling the support from the laminate, and obtaining a resin film containing a solvent, and a step C of performing a dehydration ring closing reaction while removing the solvent from the resin film containing the solvent, wherein the step C raises the temperature by a combination method of either or both of a step of raising a temperature at a temperature rise speed of 5-60°C/min, and a step of raising the temperature in a step manner with two or more steps, at least a part of the step C is performed by microwave heating, and the obtained polyimide resin film satisfies the following (1) to (2). (1) A temperature (A) at which a temperature dependent curve of tanδ that is a value obtained by dividing a loss elastic modulus by a storage elastic modulus becomes a peak is within a range of 250-500°C, and the temperature (A) at which the temperature dependent curve of the tanδ becomes a peak and a linear expansion coefficient inflection point temperature (B) have a relation of the following expression: (40+0.8×A)≤B<A, and (2) weight average molecular weight of the resin that is a raw material of the resin film is within a range of 50,000 to 500,000, and a molecular weight distribution that is a value obtained by dividing the weight average molecular weight by the number average molecular weight of the resin is within a range of 1.0 to 5.0.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂フィルムと樹脂フィルムの製造方法に関する。より詳細には、耐熱性に優れ、高温領域まで低い線膨張係数を保ち、高い引張弾性率を有し、樹脂フィルムのMD方向に対するTD方向の線膨張係数および引張弾性率の比が小さく、樹脂フィルムの物性等方性が良好な透明性に優れた樹脂フィルムと樹脂フィルムの製造方法に関する。 The present invention relates to a resin film and a method for manufacturing the resin film. More specifically, the resin film has excellent heat resistance, maintains a low coefficient of linear expansion up to high temperature ranges, has a high tensile modulus, and has a small ratio of linear expansion coefficient and tensile modulus in the TD direction to the MD direction of the resin film. The present invention relates to a resin film with good isotropy and excellent transparency, and a method for producing the resin film.

近年、高機能化する携帯電話やデジタルカメラ、ディスプレイ機器その他各種電子機器類の小型化、軽量化、利便性の進展に伴い、従来から利用されてきた硬く衝撃に弱いガラス基板に代わり、耐熱性、低い線膨張係数、高い引張弾性率、柔軟性、耐衝撃性、透明性、に優れた樹脂フィルム基板材料が期待されている。 In recent years, as mobile phones, digital cameras, display devices, and various other electronic devices have become more sophisticated, they have become smaller, lighter, and more convenient. Resin film substrate materials are expected to have excellent properties such as low linear expansion coefficient, high tensile modulus, flexibility, impact resistance, and transparency.

樹脂フィルムは有機高分子樹脂材料をフィルム状に製膜加工することによって工業的に製造され、製膜方法としては有機高分子樹脂を溶融した後にスリット状のダイから押し出す溶融製膜法、有機高分子樹脂溶液を支持体に均一に塗工し溶剤を乾燥揮発させる溶液製膜法等がある。有機高分子樹脂材料の中でも特に耐熱性に優れるポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂は、不融乃至非常に高温で溶融するため、溶液製膜により樹脂フィルムを得ることが一般的である。 Resin films are manufactured industrially by processing organic polymer resin materials into a film form, and film forming methods include melt film forming, in which organic polymer resin is melted and then extruded through a slit-shaped die, and organic polymer resin is extruded through a slit die. There is a solution casting method in which a molecular resin solution is uniformly applied to a support and the solvent is dried and volatilized. Polyimide resins and polyamide-imide resins, which have particularly excellent heat resistance among organic polymer resin materials, are infusible or melt at very high temperatures, and therefore resin films are generally obtained by solution casting.

このような塗工し溶剤を乾燥揮発させる溶液製膜方法では、塗工条件や乾燥条件によって厚みムラや配向ムラが生じることがあり、例えば特許文献1では支持体回転速度等の塗工条件を見直すことで長手方向の横段ムラを低減した提案がある。 In such a solution film forming method in which coating is performed and the solvent is dried and volatilized, thickness unevenness and orientation unevenness may occur depending on coating conditions and drying conditions. For example, in Patent Document 1, coating conditions such as support rotation speed etc. There is a proposal to reduce the unevenness of horizontal rows in the longitudinal direction by reviewing the structure.

また、フィルムのたるみのバラツキを抑えるために、たるみと、異方性指数、主軸配向係数、熱収縮率、乾燥温度とに相関があることを見出し、幅方向の乾燥温度ムラを抑えて、線膨張係数すなわち寸法変化のバラツキを抑制する方法が記載されている(特許文献2)。 In addition, in order to suppress variations in film sag, we discovered that there is a correlation between sag, anisotropy index, principal axis orientation coefficient, heat shrinkage rate, and drying temperature. A method for suppressing variation in expansion coefficient, that is, dimensional change, is described (Patent Document 2).

特許文献3では、ガラス転移温度以上で顕著な弾性率低下を起こすポリイミドフィルムを製造する際に、加熱工程で収縮と膨張により変化するフィルムの幅に合わせて、フィルムの両端を固定し弛み無く搬送することにより、フィルムのMD方向(進行方向)とTD方向(幅方向)の線膨張係数の異方性を小さくする製造方法が記載されている。 Patent Document 3 discloses that when manufacturing a polyimide film that exhibits a remarkable decrease in elastic modulus at temperatures above the glass transition temperature, both ends of the film are fixed and transported without slack, in accordance with the width of the film that changes due to contraction and expansion during the heating process. A manufacturing method is described in which the anisotropy of the linear expansion coefficient in the MD direction (travel direction) and TD direction (width direction) of the film is reduced by doing so.

特開2013-203838号公報JP2013-203838A 特開2018-70842号公報JP2018-70842A 特開2000-290401号公報Japanese Patent Application Publication No. 2000-290401

電極やディスプレイ素子など機能素子を表面に直性形成するために、ガラス基板代替として用いられる樹脂フィルムには高い引張弾性率と低いCTEおよび耐熱性や耐薬品性が求められる。そのような樹脂フィルムに好適な樹脂としてのポリイミド、ポリアミドイミド、及びポリイミドの前駆体となるポリアミド酸は、モビリティの低い剛直な分子鎖を多く含み高い分子量を有することで耐熱性を発現しており、また、高分子量化する際に結果として分子量に広い分布を有している。 In order to directly form functional elements such as electrodes and display elements on the surface, resin films used as a substitute for glass substrates are required to have high tensile modulus, low CTE, and heat resistance and chemical resistance. Polyimide, polyamideimide, and polyamic acid, which is a precursor of polyimide, are suitable resins for such resin films, and they exhibit heat resistance because they contain many rigid molecular chains with low mobility and have a high molecular weight. Moreover, when the molecular weight is increased, the molecular weight has a wide distribution as a result.

この様な樹脂溶液を塗布、乾燥する時に、高分子量で分子量分布が広くモビリティの低い剛直な分子鎖を多く含む場合、溶剤が除去されるに従って先に形成される分子の配向方向、配向度や絡み合いを反映したより密な高次構造と、後から形成される分子の配向方向、配向度や絡み合いを反映したより疎な高次構造が異なることになり、それぞれのドメインが形成される。 When applying and drying such a resin solution, if it contains many rigid molecular chains with high molecular weight and wide molecular weight distribution and low mobility, as the solvent is removed, the orientation direction and degree of orientation of the molecules formed first will change. A denser higher-order structure that reflects the entanglement and a sparser higher-order structure that reflects the orientation direction, degree of orientation, and entanglement of the molecules formed later are different, and each domain is formed.

樹脂溶液から塗布乾燥によりフィルムを工業的に連続で製造する場合、ロールツーロールで加熱炉に搬送するために、連続製造されるフィルムにはMD方向(進行方向)とTD方向(幅方向)といった工程的・形状的な異方性を有する。この様な工程的・形状的な異方性は、先に述べた異なった高次構造を有するドメイン形成に影響を与え、幅方向又は進行方向のいずれかに分子の配向方向、配向度や絡み合いが偏り、寸法変化のバラツキや物性の異方性を生ずる。 When films are industrially manufactured continuously from a resin solution by coating and drying, they are conveyed roll-to-roll to a heating furnace, so the continuously manufactured films have two directions: MD direction (travel direction) and TD direction (width direction). It has process and shape anisotropy. Such process and shape anisotropy affects the formation of domains with different higher-order structures as mentioned above, and changes the orientation direction, degree of orientation, and entanglement of molecules in either the width direction or the traveling direction. is biased, causing variations in dimensional changes and anisotropy in physical properties.

特許文献1の方法では長手方向の横段ムラを低減し、厚みの差異に起因した物性の異方性を抑えることは出来ているが、フィルム内部の分子の配向方向、配向度や絡み合いの偏りによる物性の異方性までは抑えられていない。また、特許文献2では、幅方向の乾燥温度ムラが20℃ 以下となる条件下で乾燥を行うことにより、フィルムの長手方向と幅方向における熱収縮率を0.05%以下としているが、実施例中では熱収縮率最大値の長手方向に対する幅方向の比率が最大0.33であり、熱収縮率のMD方向(長手方向)とTD方向(幅方向)の異方性は抑えられていない。 Although the method of Patent Document 1 is able to reduce horizontal step unevenness in the longitudinal direction and suppress anisotropy of physical properties caused by differences in thickness, it is possible to suppress the orientation direction, degree of orientation, and entanglement of molecules inside the film. The anisotropy of physical properties due to this phenomenon has not been suppressed. Furthermore, in Patent Document 2, the heat shrinkage rate in the longitudinal direction and the width direction of the film is set to 0.05% or less by drying under conditions such that the drying temperature unevenness in the width direction is 20° C. or less. In the example, the ratio of the maximum heat shrinkage rate in the width direction to the longitudinal direction is 0.33, and the anisotropy of the heat shrinkage rate in the MD direction (longitudinal direction) and TD direction (width direction) is not suppressed. .

特許文献3のポリイミドフィルムの製造方法では、徐々に高い温度の炉を順次通過させる工程に合わせて、前半の工程でフィルムを幅方向に故意に収縮させて、後半の工程でフィルムの弛みが生じる段階で幅方向に拡げて、弛み無く製造してフィルムの幅方向と進行方向の異方性を低減しているが、実施例中ではポリイミドフィルムのMD(流れ方向)方向と、TD(幅方向)方向の線膨張係数の比は0.96であり、さらなる異方性の低減が課題となる。 In the polyimide film manufacturing method of Patent Document 3, the film is intentionally shrunk in the width direction in the first half of the process in accordance with the process of sequentially passing through ovens at gradually higher temperatures, and the film becomes slack in the second half of the process. The polyimide film is expanded in the width direction in the step to reduce the anisotropy in the width direction and the traveling direction by manufacturing without slack. The ratio of linear expansion coefficients in the ) direction is 0.96, and further reduction of the anisotropy is an issue.

この様に、ポリイミドは耐熱性に優れ、低い線膨張係数と高い引張弾性率を有する反面、高分子量で分子量分布が広くモビリティの低い剛直な分子鎖を有するために、溶剤乾燥に伴い分子の配向方向、配向度や絡み合いを反映した高次構造が異なるドメインが形成されることから、高温領域まで低い線膨張係数を保ち、樹脂フィルムのMD方向およびTD方向の線膨張係数および引張弾性率の比が小さく、物性等方性が良好な樹脂フィルムを得ることが課題であった。 In this way, polyimide has excellent heat resistance, a low coefficient of linear expansion, and a high tensile modulus, but on the other hand, because it has a high molecular weight, wide molecular weight distribution, and rigid molecular chains with low mobility, the molecules become oriented when dried in a solvent. Because domains with different higher-order structures reflecting the direction, degree of orientation, and entanglement are formed, a low coefficient of linear expansion is maintained even in high-temperature regions, and the ratio of the coefficient of linear expansion and tensile modulus in the MD and TD directions of the resin film is maintained. The challenge was to obtain a resin film with small isotropy and good physical isotropy.

本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、かかる課題を解決できることを見出し本発明に到達した。すなわち本発明は、以下の構成を有するものである。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors found that the problems could be solved and arrived at the present invention. That is, the present invention has the following configuration.

下記(1)~(2)を満足する樹脂フィルム。
(1)損失弾性率を貯蔵弾性率で除した値であるtanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)が250~500℃の範囲内にあり、前記tanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)と線膨張係数変曲点温度(B)が下記式の関係にある
(40+0.8×A) ≦ B < A
(2)前記樹脂フィルムの原料である樹脂の重量平均分子量が50,000~500,000の範囲内にあり、前記重量平均分子量を前記樹脂の数平均分子量で除した値である分子量分布が1.0~5.0の範囲内にある
A resin film that satisfies (1) to (2) below.
(1) The temperature (A) at which the temperature dependence curve of tan δ, which is the value obtained by dividing the loss modulus by the storage modulus, peaks is within the range of 250 to 500°C, and the temperature dependence curve of tan δ peaks. The temperature (A) and linear expansion coefficient inflection point temperature (B) have the following relationship (40+0.8×A) ≦ B < A
(2) The weight average molecular weight of the resin that is the raw material for the resin film is within the range of 50,000 to 500,000, and the molecular weight distribution, which is the value obtained by dividing the weight average molecular weight by the number average molecular weight of the resin, is 1. Within the range of .0 to 5.0

前記樹脂フィルムは、さらに(3)~(4)を満足することが好ましい。
(3)MD方向およびTD方向の両方の35~200℃の範囲で測定した線膨張係数が-5ppm/℃~+55ppm/℃の範囲にあり、前記線膨張係数のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にある
(4)MD方向およびTD方向の両方の引張弾性率が2~20GPaの範囲にあり、前記引張弾性率のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にある
Preferably, the resin film further satisfies (3) to (4).
(3) The linear expansion coefficient measured in the range of 35 to 200°C in both the MD direction and the TD direction is in the range of -5 ppm/°C to +55 ppm/°C, and the ratio of the linear expansion coefficient in the TD direction to that in the MD direction is (4) The tensile modulus in both the MD and TD directions is in the range of 2 to 20 GPa, and the ratio of the tensile modulus in the TD direction to the MD direction is 0.97. ~1.03 range

前記樹脂フィルムは、イエローインデックスが10以下、波長400nmにおける光線透過率が70%以上、全光線透過率が85%以上であることが好ましい。 The resin film preferably has a yellow index of 10 or less, a light transmittance at a wavelength of 400 nm of 70% or more, and a total light transmittance of 85% or more.

樹脂溶液を支持体上に塗布、乾燥して溶媒を含有する樹脂フィルム積層体を作製する工程A、
前記積層体から前記支持体を剥離して溶媒を含有する樹脂フィルムを得る工程B、
前記溶媒を含有する樹脂フィルムから、溶媒を除去、又は溶媒を除去しながら脱水閉環反応する工程Cを含み、
前記工程Cの少なくとも一部をマイクロ波加熱により行うことを特徴とする前記樹脂フィルムの製造方法。
Step A of applying a resin solution onto a support and drying it to produce a resin film laminate containing a solvent;
Step B of peeling the support from the laminate to obtain a resin film containing a solvent;
Step C of removing the solvent from the resin film containing the solvent, or performing a dehydration ring closure reaction while removing the solvent,
The method for producing the resin film, characterized in that at least a part of the step C is performed by microwave heating.

前記樹脂溶液は、ポリアミド酸、ポリイミド、およびポリアミドイミドからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂と、双極子モーメントが3.0~6.0Dの範囲にあり前記樹脂を溶解する溶媒を含有することが好ましい。 The resin solution contains at least one resin selected from the group consisting of polyamic acid, polyimide, and polyamideimide, and a solvent that has a dipole moment in the range of 3.0 to 6.0 D and dissolves the resin. It is preferable.

本発明によれば、高分子量で分子量分布が広くモビリティの低い剛直な分子鎖を多く含むポリイミド、ポリアミドイミド、及びポリイミドの前駆体となるポリアミド酸からなる樹脂溶液を塗布乾燥した場合においても、耐熱性に優れ、高温領域まで低い線膨張係数を保ち、高い引張弾性率を有し、樹脂フィルムのMD方向およびTD方向の線膨張係数および引張弾性率の比が小さく、物性等方性が良好な透明性に優れた樹脂フィルムを得ることが出来る。 According to the present invention, heat resistant It maintains a low coefficient of linear expansion even in high temperature ranges, has a high tensile modulus, has a small ratio of the linear expansion coefficient and tensile modulus in the MD and TD directions of the resin film, and has good isotropic physical properties. A resin film with excellent transparency can be obtained.

以下、本発明の実施形態の樹脂フィルム及び樹脂フィルムの製造方法について説明する。本発明の樹脂フィルムは下記(1)~(2)を満足するフィルムである。 Hereinafter, a resin film and a method for manufacturing the resin film according to an embodiment of the present invention will be described. The resin film of the present invention is a film that satisfies the following (1) to (2).

(1)損失弾性率を貯蔵弾性率で除した値であるtanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)が250~500℃の範囲内にあり、前記tanδの温度依存曲線がピークとなる温度と線膨張係数変曲点温度(B)が下記式の関係にある。
(40+0.8×A) ≦ B < A
(1) The temperature (A) at which the temperature dependence curve of tan δ, which is the value obtained by dividing the loss modulus by the storage modulus, peaks is within the range of 250 to 500°C, and the temperature dependence curve of tan δ peaks. The relationship between temperature and linear expansion coefficient inflection point temperature (B) is expressed by the following formula.
(40+0.8×A) ≦ B < A

温度に対するtanδの温度依存曲線は温度変化による樹脂の粘弾性が変化する指標であり、tanδの温度依存曲線がピークとなる温度を超えると、樹脂の粘性が顕著に増加し強度が低下する。そのため、携帯電話やデジタルカメラ、ディスプレイ機器その他各種電子機器類に用いられるガラス基板代替で求められる耐熱性の点から、tanδの温度依存曲線がピークとなる温度が250~500℃の範囲内にあることが必要であり、好ましくは260~480℃の範囲内、より好ましくは270~460℃の範囲内にある。前記樹脂フィルムのtanδの温度依存曲線がピークとなる温度の測定方法は、実施例に記載の方法による。 The temperature dependence curve of tan δ with respect to temperature is an index of changes in the viscoelasticity of the resin due to temperature changes, and when the temperature dependence curve of tan δ exceeds the peak temperature, the viscosity of the resin increases significantly and the strength decreases. Therefore, from the viewpoint of heat resistance required as a substitute for glass substrates used in mobile phones, digital cameras, display devices, and various other electronic devices, the temperature at which the temperature dependence curve of tan δ peaks is within the range of 250 to 500 degrees Celsius. It is preferably within the range of 260 to 480°C, more preferably within the range of 270 to 460°C. The temperature at which the temperature dependence curve of tan δ of the resin film reaches its peak is measured by the method described in Examples.

樹脂フィルムは温度変化により膨張や収縮し線膨張係数はその変化の指標であり、樹脂フィルムの線膨張係数は測定温度領域に対して常に一定ではなく、樹脂フィルムに応じた特定温度で線膨張係数が高くなる。この特定温度を線膨張係数変曲点温度と呼ぶ。 Resin films expand and contract due to temperature changes, and the linear expansion coefficient is an indicator of this change.The linear expansion coefficient of a resin film is not always constant over the measurement temperature range, but the linear expansion coefficient changes at a specific temperature depending on the resin film. becomes higher. This specific temperature is called the linear expansion coefficient inflection point temperature.

本発明の樹脂フィルムは、樹脂溶液を塗布、乾燥することにより得られるものであることが好ましい。樹脂溶液を塗布、乾燥して樹脂フィルムを得る際に、溶剤が除去されるに従って先に形成される分子の配向方向、配向度や絡み合いを反映したより密な高次構造と、後から形成される分子の配向方向、配向度や絡み合いを反映したより疎な高次構造が生じ、それぞれのドメインが形成される。この時に樹脂がより高分子量で分子量分布が広くモビリティの低い剛直な分子鎖をより多く含む場合、それぞれのドメインの高次構造の疎密がより大きく異なる。 The resin film of the present invention is preferably obtained by applying and drying a resin solution. When a resin solution is applied and dried to obtain a resin film, as the solvent is removed, a denser higher-order structure reflecting the orientation direction, degree of orientation, and entanglement of the molecules that is formed first, and a denser higher-order structure that is formed later. A sparser higher-order structure that reflects the orientation direction, degree of orientation, and entanglement of molecules is generated, and each domain is formed. At this time, when the resin has a higher molecular weight, a wider molecular weight distribution, and more rigid molecular chains with low mobility, the higher-order structure of each domain differs more greatly.

tanδの温度依存曲線がピークとなる温度と線膨張係数変曲点温度はいずれも物性変曲点温度であるが、tanδの温度依存曲線がピークとなる温度は樹脂フィルム作製の段階で形成された疎密の異なる高次構造の平均の物性変化を反映するのに対して、線膨張係数は樹脂フィルム作成の段階で形成された疎な高次構造の物性変化を反映するために、tanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)よりも線膨張係数変曲点温度(B)は常に低くなる(B < A)。また、tanδの温度依存曲線がピークとなる温度から線膨張係数変曲点温度を差し引いた値はtanδの温度依存曲線がピークとなる温度が高いほど大きくなる傾向にある。ガラス基板代替で求められる低い線膨張係数と基板加工工程での高温時にも低い線膨張係数を保つために、線膨張係数変曲点温度(B)はより高い方が好ましく具体的には、tanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)に対して、式 (40+0.8×A) ≦ B を満たすことが好ましい。前記樹脂フィルムの線膨張係数変曲点温度の測定方法は、実施例に記載の方法による。 The temperature at which the tan δ temperature dependence curve peaks and the linear expansion coefficient inflection point temperature are both physical property inflection point temperatures, but the temperature at which the tan δ temperature dependence curve peaks was formed at the stage of resin film production. While the coefficient of linear expansion reflects the change in the average physical properties of higher-order structures with different density, the coefficient of linear expansion reflects the change in the physical properties of the loose higher-order structure formed during the resin film creation stage. The linear expansion coefficient inflection point temperature (B) is always lower than the temperature (A) at which the curve peaks (B < A). Further, the value obtained by subtracting the linear expansion coefficient inflection point temperature from the temperature at which the tan δ temperature dependence curve peaks tends to increase as the temperature at which the tan δ temperature dependence curve peaks increases. In order to maintain a low linear expansion coefficient required as a substitute for glass substrates and a low linear expansion coefficient even at high temperatures in the substrate processing process, it is preferable that the linear expansion coefficient inflection point temperature (B) is higher. It is preferable that the expression (40+0.8×A)≦B be satisfied with respect to the temperature (A) at which the temperature dependence curve of is at its peak. The linear expansion coefficient inflection point temperature of the resin film was measured by the method described in Examples.

(2)樹脂フィルムの原料である樹脂の重量平均分子量が50,000~500,000の範囲内にあり、前記重量平均分子量を前記樹脂の数平均分子量で除した値である分子量分布が1.0~5.0の範囲内にある。 (2) The weight average molecular weight of the resin that is the raw material for the resin film is within the range of 50,000 to 500,000, and the molecular weight distribution, which is the value obtained by dividing the weight average molecular weight by the number average molecular weight of the resin, is 1. It is within the range of 0 to 5.0.

本発明の樹脂フィルムの原料である樹脂の重量平均分子量は50,000~500,000の範囲内であり、より好ましくは80,000~400,000、さらに好ましくは100,000~300,000、ことさらに好ましくは120,000~200,000である。重量平均分子量が上記の下限以上であればガラス基板代替で求められる高い引張弾性率、柔軟性、耐衝撃性を満たすことが出来る。また、重量平均分子量が上記の上限以下であれば上記式を満たすことが容易となる。また、樹脂溶液中の樹脂の重量平均分子量が上記範囲内であることが好ましい。 The weight average molecular weight of the resin that is the raw material for the resin film of the present invention is within the range of 50,000 to 500,000, more preferably 80,000 to 400,000, even more preferably 100,000 to 300,000, More preferably, it is between 120,000 and 200,000. If the weight average molecular weight is at least the above lower limit, it can satisfy the high tensile modulus, flexibility, and impact resistance required as a substitute for glass substrates. Moreover, if the weight average molecular weight is below the above upper limit, it becomes easy to satisfy the above formula. Further, it is preferable that the weight average molecular weight of the resin in the resin solution is within the above range.

本発明の樹脂フィルムの原料である樹脂の重量平均分子量を数平均分子量で除した値である分子量分布は1.0~5.0の範囲内であり、より好ましくは1.5~4.5、さらに好ましくは2.0~4.0である。分子量分布が上記の下限以上であれば、樹脂精製のコストを低減することが出来、分子量分布が上記の上限以下であれば上記式を満たすことが容易となる。前記樹脂フィルムの原料である樹脂の重量平均分子量および分子量分布の測定方法は、実施例に記載の方法による。 The molecular weight distribution, which is the value obtained by dividing the weight average molecular weight of the resin that is the raw material for the resin film of the present invention by the number average molecular weight, is within the range of 1.0 to 5.0, more preferably 1.5 to 4.5. , more preferably 2.0 to 4.0. When the molecular weight distribution is at least the above lower limit, the cost of resin purification can be reduced, and when the molecular weight distribution is at or below the above upper limit, it becomes easy to satisfy the above formula. The method for measuring the weight average molecular weight and molecular weight distribution of the resin that is the raw material for the resin film is based on the method described in Examples.

本発明の樹脂フィルムはさらに下記(3)~(4)を満足することが好ましい。 It is preferable that the resin film of the present invention further satisfies the following (3) to (4).

(3)MD方向およびTD方向の両方の35~200℃の範囲で測定した線膨張係数が-5ppm/℃~+55ppm/℃の範囲にあり、前記線膨張係数のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にある。 (3) The linear expansion coefficient measured in the range of 35 to 200°C in both the MD direction and the TD direction is in the range of -5 ppm/°C to +55 ppm/°C, and the ratio of the linear expansion coefficient in the TD direction to that in the MD direction is It is in the range of 0.97 to 1.03.

本発明における樹脂フィルムのMD方向およびTD方向の両方の35~200℃の範囲で測定した平均の線膨張係数は-5ppm/℃~+55ppm/℃であることが好ましい。より好ましくは-4ppm/℃~+45ppm/℃であり、さらに好ましくは-3ppm/℃~+35ppm/℃である。線膨張係数が上記範囲内であると、機能素子との線膨張係数の差を小さく保つことができ、熱を加えるプロセスに供しても樹脂フィルムと機能素子とが剥がれることを回避でき、加工性に優れる。 The average linear expansion coefficient of the resin film in the present invention measured in the range of 35 to 200°C in both the MD direction and the TD direction is preferably -5 ppm/°C to +55 ppm/°C. More preferably -4 ppm/°C to +45 ppm/°C, still more preferably -3 ppm/°C to +35 ppm/°C. When the coefficient of linear expansion is within the above range, the difference in the coefficient of linear expansion between the functional element and the functional element can be kept small, the resin film and the functional element can be prevented from peeling off even when subjected to a process of applying heat, and processability can be improved. Excellent in

本発明における樹脂フィルムの線膨張係数のMD方向に対するTD方向の比は0.97~1.03の範囲であることが好ましい。より好ましくは0.975~1.025、さらに好ましくは0.98~1.02である。この線膨張係数のMD方向に対するTD方向の比が上記範囲内にあると、樹脂フィルムのMD方向、TD方向を区別することなく機能素子との加工プロセスに供することができ、作業性や歩留まりを向上することが出来る。前記樹脂フィルムの線膨張係数の測定方法は、実施例に記載の方法による。 The ratio of linear expansion coefficient of the resin film in the TD direction to the MD direction in the present invention is preferably in the range of 0.97 to 1.03. More preferably 0.975 to 1.025, still more preferably 0.98 to 1.02. When the ratio of the coefficient of linear expansion in the TD direction to the MD direction is within the above range, the resin film can be used in the processing process with functional elements without distinguishing between the MD and TD directions, improving workability and yield. It can be improved. The linear expansion coefficient of the resin film was measured by the method described in Examples.

(4)MD方向およびTD方向の両方の引張弾性率が2~20GPaの範囲にあり、前記引張弾性率のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にある。 (4) The tensile modulus in both the MD direction and the TD direction is in the range of 2 to 20 GPa, and the ratio of the tensile modulus in the TD direction to the MD direction is in the range of 0.97 to 1.03.

本発明の樹脂フィルムの引張弾性率はMD方向およびTD方向の両方の引張弾性率が2~20GPaの範囲であることが好ましい。より好ましくは2.5~15GPa、さらに好ましくは3~10GPaである。引張弾性率が上記の下限以上であれば、樹脂フィルムと機能素子が剥がれることを回避でき、取り扱い性に優れる。また、引張弾性率が上記の上限以下であれば、樹脂フィルムをフレキシブルなフィルムとして使用できる。 The tensile modulus of the resin film of the present invention is preferably in the range of 2 to 20 GPa in both the MD direction and the TD direction. More preferably 2.5 to 15 GPa, still more preferably 3 to 10 GPa. If the tensile modulus is equal to or higher than the above lower limit, peeling of the resin film and the functional element can be avoided, resulting in excellent handling properties. Moreover, if the tensile modulus is below the above upper limit, the resin film can be used as a flexible film.

本発明における樹脂フィルムの引張弾性率のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にあることが好ましい。より好ましくは0.975~1.025、さらに好ましくは0.98~1.02である。引張弾性率のMD方向に対するTD方向の比が上記範囲内にあると、樹脂フィルムのMD方向、TD方向を区別することなく機能素子との加工プロセスに供することができ、作業性や歩留まりを向上することが出来る。前記樹脂フィルムの引張弾性率の測定方法は、実施例に記載の方法による。 The ratio of the tensile modulus of the resin film in the TD direction to the MD direction in the present invention is preferably in the range of 0.97 to 1.03. More preferably 0.975 to 1.025, still more preferably 0.98 to 1.02. When the ratio of the tensile modulus of elasticity in the TD direction to the MD direction is within the above range, the resin film can be used in the processing process with functional elements without distinguishing between the MD and TD directions, improving workability and yield. You can. The tensile modulus of the resin film was measured by the method described in Examples.

本発明の樹脂フィルムは主にタッチパネルやディスプレイ等の画像表示装置の前面板、電極周辺に用いられることから、黄色度指数(イエローインデックス)は10以下が好ましく、より好ましくは7以下であり、さらに好ましくは5以下であり、より一層好ましくは3以下である。前記樹脂フィルムの黄色度の下限は特に制限されないが、フレキシブル電子デバイスとして用いるためには0.1以上であることが好ましく、より好ましくは0.2以上であり、さらに好ましくは0.3以上である。前記樹脂フィルムの黄色度指数(イエローインデックス)の測定方法は、実施例に記載の方法による。 Since the resin film of the present invention is mainly used for the front plate and around the electrodes of image display devices such as touch panels and displays, the yellow index is preferably 10 or less, more preferably 7 or less, and Preferably it is 5 or less, and even more preferably 3 or less. The lower limit of the yellowness of the resin film is not particularly limited, but in order to use it as a flexible electronic device, it is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, and still more preferably 0.3 or more. be. The yellow index of the resin film was measured by the method described in Examples.

本発明の樹脂フィルムは主にタッチパネルやディスプレイ等の画像表示装置の前面板、電極周辺に用いられることから、波長400nmにおける光線透過率は70%以上が好ましく、より好ましくは72%以上であり、さらに好ましくは75%以上であり、より一層好ましくは80%以上である。前記樹脂フィルムの波長400nmの光線透過率の上限は特に制限されないが、フレキシブル電子デバイスとして用いるためには99%以下であることが好ましく、より好ましくは98%以下であり、さらに好ましくは97%以下である。前記樹脂フィルムの波長400nmにおける光線透過率の測定方法は、実施例に記載の方法による。 Since the resin film of the present invention is mainly used for the front plate and electrode periphery of image display devices such as touch panels and displays, the light transmittance at a wavelength of 400 nm is preferably 70% or more, more preferably 72% or more, More preferably, it is 75% or more, even more preferably 80% or more. The upper limit of the light transmittance of the resin film at a wavelength of 400 nm is not particularly limited, but in order to use it as a flexible electronic device, it is preferably 99% or less, more preferably 98% or less, and still more preferably 97% or less. It is. The light transmittance of the resin film at a wavelength of 400 nm was measured by the method described in Examples.

本発明の樹脂フィルムは主にタッチパネルやディスプレイ等の画像表示装置の前面板、電極周辺に用いられることから、全光線透過率は85%以上が好ましく、より好ましくは86%以上であり、さらに好ましくは87%以上であり、より一層好ましくは88%以上である。前記樹脂フィルムの全光線透過率の上限は特に制限されないが、フレキシブル電子デバイスとして用いるためには99%以下であることが好ましく、より好ましくは98%以下であり、さらに好ましくは97%以下である。前記樹脂フィルムの全光線透過率の測定方法は、実施例に記載の方法による。 Since the resin film of the present invention is mainly used for the front plate and around the electrodes of image display devices such as touch panels and displays, the total light transmittance is preferably 85% or more, more preferably 86% or more, and even more preferably is 87% or more, and even more preferably 88% or more. The upper limit of the total light transmittance of the resin film is not particularly limited, but in order to use it as a flexible electronic device, it is preferably 99% or less, more preferably 98% or less, and still more preferably 97% or less. . The total light transmittance of the resin film was measured by the method described in Examples.

本発明の樹脂フィルムは、所望のtanδの温度依存曲線がピークとなる温度を達するために、樹脂溶液を塗布、乾燥することにより得られるものであることが好ましい。樹脂溶液としてポリアミド酸、ポリイミド、およびポリアミドイミドからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を含有する樹脂溶液を用いることが好ましい。樹脂溶液は以下のいずれかの製造方法により得ることが出来る。 The resin film of the present invention is preferably obtained by coating and drying a resin solution in order to reach a temperature at which the desired tan δ temperature dependence curve peaks. It is preferable to use a resin solution containing at least one resin selected from the group consisting of polyamic acid, polyimide, and polyamideimide. The resin solution can be obtained by any of the following manufacturing methods.

ポリアミド酸溶液は、ジアミン類とテトラカルボン酸類を溶媒中で攪拌および/または混合し、縮合反応によりアミド結合を生成しながら高分子量化することによって得ることが出来る。 A polyamic acid solution can be obtained by stirring and/or mixing diamines and tetracarboxylic acids in a solvent, and increasing the molecular weight while forming amide bonds through a condensation reaction.

ポリイミド溶液は、1つ目の方法として、ジアミン類とテトラカルボン酸類を溶媒中で加熱攪拌および/または混合しながら、脱水閉環反応により一段階でイミド結合を生成しながら高分子量化することによって得ることが出来る。また、2つ目の方法として前述のポリアミド酸溶液を得た後にイミド化促進剤およびイミド化剤を添加し、攪拌および/または混合しながら、脱水閉環反応により二段階でイミド結合を生成しながら高分子量化することによって得ることが出来る。 The first method is to obtain a polyimide solution by heating, stirring and/or mixing diamines and tetracarboxylic acids in a solvent, and increasing the molecular weight while generating imide bonds in one step through a dehydration ring-closing reaction. I can do it. In the second method, after obtaining the polyamic acid solution described above, an imidization accelerator and an imidization agent are added, and while stirring and/or mixing, an imide bond is generated in two steps by a dehydration ring closure reaction. It can be obtained by increasing the molecular weight.

ポリアミドイミド溶液は、ジイソシアネート類とトリカルボン酸類を溶媒中で加熱攪拌および/または混合しながら、脱炭酸反応により一段階でアミド結合及びイミド結合を生成しながら高分子量化することによって得ることが出来る。 The polyamide-imide solution can be obtained by heating, stirring and/or mixing diisocyanates and tricarboxylic acids in a solvent, and increasing the molecular weight while generating amide bonds and imide bonds in one step through a decarboxylation reaction.

上記のポリアミド酸、ポリイミド、およびポリアミドイミドを高分子量化する際に、樹脂溶液及び樹脂フィルムの特性を損なわない範囲で、ジカルボン酸類を共重合成分として用いることが出来る。 When increasing the molecular weight of the above-mentioned polyamic acid, polyimide, and polyamide-imide, dicarboxylic acids can be used as a copolymerization component within a range that does not impair the properties of the resin solution and resin film.

本発明で用いる樹脂溶液は、上記で得た樹脂溶液を貧溶媒に流下して樹脂分を析出させ洗浄・濾過・乾燥することによって得られる樹脂固形物や、樹脂溶液を流延乾燥することによって得られる樹脂固形物を、再び可溶性溶媒に溶解することによっても得ることが出来る。 The resin solution used in the present invention can be a resin solid obtained by pouring the resin solution obtained above into a poor solvent to precipitate the resin component, washing, filtering, and drying it, or a resin solid obtained by casting and drying the resin solution. It can also be obtained by dissolving the resulting resin solid again in a soluble solvent.

前記テトラカルボン酸類、トリカルボン酸類、ジカルボン酸類としては、ポリイミド合成、ポリアミドイミド合成に通常用いられる芳香族テトラカルボン酸類(その酸無水物を含む)、脂肪族テトラカルボン酸類(その酸無水物を含む)、脂環式テトラカルボン酸類(その酸無水物を含む)、芳香族トリカルボン酸類(その酸無水物を含む)、脂肪族トリカルボン酸類(その酸無水物を含む)、脂環式トリカルボン酸類(その酸無水物を含む)、芳香族ジカルボン類、脂肪族ジカルボン酸類、脂環式ジカルボン酸類等を用いることができる。中でも、芳香族テトラカルボン酸無水物類、脂環式テトラカルボン酸無水物類が好ましく、耐熱性の観点からは芳香族テトラカルボン酸無水物類がより好ましく、光透過性の観点からは脂環式テトラカルボン酸類がより好ましい。テトラカルボン酸類が酸無水物である場合、分子内に無水物構造は1個であってもよいし2個であってもよいが、好ましくは2個の無水物構造を有するもの(二無水物)がよい。テトラカルボン酸類、トリカルボン酸類、ジカルボン酸類は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。 Examples of the tetracarboxylic acids, tricarboxylic acids, and dicarboxylic acids include aromatic tetracarboxylic acids (including their acid anhydrides) and aliphatic tetracarboxylic acids (including their acid anhydrides) commonly used in polyimide synthesis and polyamideimide synthesis. , alicyclic tetracarboxylic acids (including their acid anhydrides), aromatic tricarboxylic acids (including their acid anhydrides), aliphatic tricarboxylic acids (including their acid anhydrides), alicyclic tricarboxylic acids (including their acid anhydrides), (including anhydrides), aromatic dicarboxylic acids, aliphatic dicarboxylic acids, alicyclic dicarboxylic acids, and the like. Among these, aromatic tetracarboxylic anhydrides and alicyclic tetracarboxylic anhydrides are preferred, aromatic tetracarboxylic anhydrides are more preferred from the viewpoint of heat resistance, and alicyclic tetracarboxylic anhydrides are more preferred from the viewpoint of light transparency. More preferred are tetracarboxylic acids. When the tetracarboxylic acids are acid anhydrides, the number of anhydride structures in the molecule may be one or two, but preferably those having two anhydride structures (dianhydride ) is better. Tetracarboxylic acids, tricarboxylic acids, and dicarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

本発明における無色透明性の高いポリイミドを得るための芳香族テトラカルボン酸類としては、4,4’-(2,2-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸、4,4’-オキシジフタル酸、3,4’-オキシジフタル酸、ビス(1,3-ジオキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-5-カルボン酸)1,4-フェニレン、ビス(1,3-ジオキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-5-イル)ベンゼン-1,4-ジカルボキシレート、4,4’-[4,4’-(3-オキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-1,1-ジイル)ビス(ベンゼン-1,4-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸、4,4’-[(3-オキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-1,1-ジイル)ビス(トルエン-2,5-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[(3-オキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-1,1-ジイル)ビス(1,4-キシレン-2,5-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[4,4’-(3-オキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-1,1-ジイル)ビス(4-イソプロピル―トルエン-2,5-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[4,4’-(3-オキソ-1,3-ジヒドロ-2-ベンゾフラン-1,1-ジイル)ビス(ナフタレン-1,4-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[4,4’-(3H-2,1-ベンズオキサチオール-1,1-ジオキシド-3,3-ジイル)ビス(ベンゼン-1,4-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸、4,4’-[(3H-2,1-ベンズオキサチオール-1,1-ジオキシド-3,3-ジイル)ビス(トルエン-2,5-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[(3H-2,1-ベンズオキサチオール-1,1-ジオキシド-3,3-ジイル)ビス(1,4-キシレン-2,5-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[4,4’-(3H-2,1-ベンズオキサチオール-1,1-ジオキシド-3,3-ジイル)ビス(4-イソプロピル―トルエン-2,5-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、4,4’-[4,4’-(3H-2,1-ベンズオキサチオール-1,1-ジオキシド-3,3-ジイル)ビス(ナフタレン-1,4-ジイルオキシ)]ジベンゼン-1、2-ジカルボン酸、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸、2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸、2,2’-ジフェノキシ-4,4’,5,5’-ビフェニルテトラカルボン酸、ピロメリット酸、4,4’-[スピロ(キサンテン-9,9’-フルオレン)-2,6-ジイルビス(オキシカルボニル)]ジフタル酸、4,4’-[スピロ(キサンテン-9,9’-フルオレン)-3,6-ジイルビス(オキシカルボニル)]ジフタル酸、などのテトラカルボン酸及びこれらの酸無水物が挙げられる。これらの中でも、2個の酸無水物構造を有する二無水物が好適であり、特に、4,4’-(2,2-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸二無水物が好ましい。なお、芳香族テトラカルボン酸類は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。芳香族テトラカルボン酸類は、耐熱性を重視する場合には、例えば、全テトラカルボン酸類の50質量%以上が好ましく、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上、なおさらに好ましくは80質量%以上である。 The aromatic tetracarboxylic acids for obtaining a colorless and highly transparent polyimide in the present invention include 4,4'-(2,2-hexafluoroisopropylidene)diphthalic acid, 4,4'-oxydiphthalic acid, 3,4 '-Oxydiphthalic acid, bis(1,3-dioxo-1,3-dihydro-2-benzofuran-5-carboxylic acid) 1,4-phenylene, bis(1,3-dioxo-1,3-dihydro-2- benzofuran-5-yl)benzene-1,4-dicarboxylate, 4,4'-[4,4'-(3-oxo-1,3-dihydro-2-benzofuran-1,1-diyl)bis( benzene-1,4-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid, 4,4'-[(3-oxo-1,3-dihydro- 2-Benzofuran-1,1-diyl)bis(toluene-2,5-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 4,4'-[(3-oxo-1,3-dihydro-2-benzofuran) -1,1-diyl)bis(1,4-xylene-2,5-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 4,4'-[4,4'-(3-oxo-1,3 -dihydro-2-benzofuran-1,1-diyl)bis(4-isopropyl-toluene-2,5-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 4,4'-[4,4'-(3 -oxo-1,3-dihydro-2-benzofuran-1,1-diyl)bis(naphthalene-1,4-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 4,4'-[4,4'- (3H-2,1-benzoxathiol-1,1-dioxide-3,3-diyl)bis(benzene-1,4-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 4,4'-benzophenone tetra Carboxylic acid, 4,4'-[(3H-2,1-benzoxathiol-1,1-dioxide-3,3-diyl)bis(toluene-2,5-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarvone acid, 4,4'-[(3H-2,1-benzoxathiol-1,1-dioxide-3,3-diyl)bis(1,4-xylene-2,5-diyloxy)]dibenzene-1, 2-dicarboxylic acid, 4,4'-[4,4'-(3H-2,1-benzoxathiol-1,1-dioxide-3,3-diyl)bis(4-isopropyl-toluene-2,5 -diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 4,4'-[4,4'-(3H-2,1-benzoxathiol-1,1-dioxide-3,3-diyl)bis(naphthalene) -1,4-diyloxy)]dibenzene-1,2-dicarboxylic acid, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic acid, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2, 3,3',4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,2'-diphenoxy-4,4',5,5'-biphenyltetracarboxylic acid, Pyromellitic acid, 4,4'-[spiro(xanthene-9,9'-fluorene)-2,6-diylbis(oxycarbonyl)]diphthalic acid, 4,4'-[spiro(xanthene-9,9'- Examples include tetracarboxylic acids such as (fluorene)-3,6-diylbis(oxycarbonyl)]diphthalic acid and acid anhydrides thereof. Among these, dianhydrides having two acid anhydride structures are preferred, particularly 4,4'-(2,2-hexafluoroisopropylidene)diphthalic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, Acid dianhydrides are preferred. Incidentally, the aromatic tetracarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more kinds. When heat resistance is important, the aromatic tetracarboxylic acids are preferably 50% by mass or more of the total tetracarboxylic acids, more preferably 60% by mass or more, still more preferably 70% by mass or more, and still more preferably It is 80% by mass or more.

脂環式テトラカルボン酸類としては、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,3,4-シクロヘキサンテトラカルボン酸、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ビシクロヘキシルテトラカルボン酸、ビシクロ[2,2、1]ヘプタン-2,3,5,6-テトラカルボン酸、ビシクロ[2,2,2]オクタン-2,3,5,6-テトラカルボン酸、ビシクロ[2,2,2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸、テトラヒドロアントラセン-2,3,6,7-テトラカルボン酸、テトラデカヒドロ-1,4:5,8:9,10-トリメタノアントラセン-2,3,6,7-テトラカルボン酸、デカヒドロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸、デカヒドロ-1,4:5,8-ジメタノナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸、デカヒドロ-1,4-エタノ-5,8-メタノナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸(別名「ノルボルナン-2-スピロ-2’-シクロペンタノン-5’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸」)、メチルノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2’’-(メチルノルボルナン)-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロヘキサノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸(別名「ノルボルナン-2-スピロ-2’-シクロヘキサノン-6’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸」)、メチルノルボルナン-2-スピロ-α-シクロヘキサノン-α’-スピロ-2’’-(メチルノルボルナン)-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロプロパノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロブタノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロヘプタノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロオクタノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロノナノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロデカノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロウンデカノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロドデカノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロトリデカノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロテトラデカノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタデカノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-(メチルシクロペンタノン)-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、ノルボルナン-2-スピロ-α-(メチルシクロヘキサノン)-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸、などのテトラカルボン酸及びこれらの酸無水物が挙げられる。これらの中でも、2個の酸無水物構造を有する二無水物が好適であり、特に、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物が好ましく、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物がより好ましく、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物がさらに好ましい。なお、これらは単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。脂環式テトラカルボン酸類は、透明性を重視する場合には、例えば、全テトラカルボン酸類の50質量%以上が好ましく、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上、なおさらに好ましくは80質量%以上である。 Examples of alicyclic tetracarboxylic acids include 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic acid, 1,2,3,4-cyclohexanetetracarboxylic acid, 1 , 2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid, 3,3',4,4'-bicyclohexyltetracarboxylic acid, bicyclo[2,2,1]heptane-2,3,5,6-tetracarboxylic acid, Bicyclo[2,2,2]octane-2,3,5,6-tetracarboxylic acid, bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic acid, tetrahydroanthracene -2,3,6,7-tetracarboxylic acid, tetradecahydro-1,4:5,8:9,10-trimethanoanthracene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid, decahydronaphthalene-2 , 3,6,7-tetracarboxylic acid, decahydro-1,4:5,8-dimethanonaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid, decahydro-1,4-ethano-5,8-methano Naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetra Carboxylic acid (also known as "norbornane-2-spiro-2'-cyclopentanone-5'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid"), methylnorbornane- 2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2''-(methylnorbornane)-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclohexanone- α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid (also known as "norbornane-2-spiro-2'-cyclohexanone-6'-spiro-2''-norbornane -5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid''), methylnorbornane-2-spiro-α-cyclohexanone-α'-spiro-2''-(methylnorbornane)-5,5'', 6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclopropanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane -2-spiro-α-cyclobutanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cycloheptanone-α' -spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclooctanone-α'-spiro-2''-norbornane-5, 5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclononanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid , norbornane-2-spiro-α-cyclodecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cycloundecanone- α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclododecanone-α'-spiro-2''-norbornane- 5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclotridecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6'' -tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-cyclotetradecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro -α-cyclopentadecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-(methylcyclopentanone)- α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, norbornane-2-spiro-α-(methylcyclohexanone)-α'-spiro-2''-norbornane Examples include tetracarboxylic acids such as -5,5'',6,6''-tetracarboxylic acid, and acid anhydrides thereof. Among these, dianhydrides having two acid anhydride structures are preferred, particularly 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride and 1,2,3,4-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride. Acid dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride is preferred, and 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride Acid dianhydride is more preferred, and 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride is even more preferred. Note that these may be used alone or in combination of two or more. When transparency is important, the alicyclic tetracarboxylic acids are preferably 50% by mass or more of the total tetracarboxylic acids, more preferably 60% by mass or more, still more preferably 70% by mass or more, and even more preferably is 80% by mass or more.

トリカルボン酸類としては、トリメリット酸、1,2,5-ナフタレントリカルボン酸、ジフェニルエーテル-3,3’,4’-トリカルボン酸、ジフェニルスルホン-3,3’,4’-トリカルボン酸などの芳香族トリカルボン酸、或いはヘキサヒドロトリメリット酸などの上記芳香族トリカルボン酸の水素添加物、エチレングリコールビストリメリテート、プロピレングリコールビストリメリテート、1,4-ブタンジオールビストリメリテート、ポリエチレングリコールビストリメリテートなどのアルキレングリコールビストリメリテート、及びこれらの一無水物、エステル化物が挙げられる。これらの中でも、1個の酸無水物構造を有する一無水物が好適であり、特に、トリメリット酸無水物、ヘキサヒドロトリメリット酸無水物が好ましい。尚、これらは単独で使用してもよいし複数を組み合わせて使用してもよい。 Examples of tricarboxylic acids include aromatic tricarboxylic acids such as trimellitic acid, 1,2,5-naphthalene tricarboxylic acid, diphenyl ether-3,3',4'-tricarboxylic acid, and diphenylsulfone-3,3',4'-tricarboxylic acid. acids, or hydrogenated products of the above aromatic tricarboxylic acids such as hexahydrotrimellitic acid, alkylenes such as ethylene glycol bis trimellitate, propylene glycol bis trimellitate, 1,4-butanediol bis trimellitate, and polyethylene glycol bis trimellitate. Examples include glycol bistrimelitate, and monoanhydrides and esterified products thereof. Among these, monoanhydrides having one acid anhydride structure are preferred, and trimellitic anhydride and hexahydrotrimellitic anhydride are particularly preferred. Incidentally, these may be used alone or in combination.

ジカルボン酸類としては、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸、4、4’-オキシジベンゼンカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、或いは1,6-シクロヘキサンジカルボン酸などの上記芳香族ジカルボン酸の水素添加物、シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ヘプタン二酸、オクタン二酸、アゼライン酸、セバシン酸、ウンデカ二酸、ドデカン二酸、2-メチルコハク酸、及びこれらの酸塩化物或いはエステル化物などが挙げられる。これらの中で芳香族ジカルボン酸及びその水素添加物が好適であり、特に、テレフタル酸、1,6-シクロヘキサンジカルボン酸、4、4’-オキシジベンゼンカルボン酸が好ましい。尚、ジカルボン酸類は単独で使用してもよいし複数を組み合わせて使用してもよい。 Examples of dicarboxylic acids include aromatic dicarboxylic acids such as terephthalic acid, isophthalic acid, orthophthalic acid, naphthalene dicarboxylic acid, 4,4'-oxydibenzenecarboxylic acid, or the above-mentioned aromatic dicarboxylic acids such as 1,6-cyclohexanedicarboxylic acid. Hydrogenates of oxalic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, heptanedioic acid, octanedioic acid, azelaic acid, sebacic acid, undecanedioic acid, dodecanedioic acid, 2-methylsuccinic acid, and acid chlorides thereof Alternatively, examples include esterified products. Among these, aromatic dicarboxylic acids and hydrogenated products thereof are preferred, with terephthalic acid, 1,6-cyclohexanedicarboxylic acid, and 4,4'-oxydibenzenecarboxylic acid being particularly preferred. Note that dicarboxylic acids may be used alone or in combination.

本発明における無色透明性の高いポリイミドを得るためのジアミン類或いはジイソシアネート類としては、特に制限はなく、ポリイミド合成、ポリアミドイミド合成に通常用いられる芳香族ジアミン類、脂肪族ジアミン類、脂環式ジアミン類、芳香族ジイソシアネート類、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類等を用いることができる。耐熱性の観点からは、芳香族ジアミン類が好ましく、透明性の観点からは脂環式ジアミンが好ましい。また、ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類を用いると、高い耐熱性とともに、高弾性率、低熱収縮性、低線膨張係数を発現させることが可能になる。ジアミン類及びジイソシアネート類は、単独で用いてもよいし二種以上を併用してもよい。 The diamines or diisocyanates used in the present invention to obtain a colorless and highly transparent polyimide are not particularly limited, and include aromatic diamines, aliphatic diamines, and alicyclic diamines commonly used in polyimide synthesis and polyamideimide synthesis. diisocyanates, aromatic diisocyanates, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, etc. can be used. From the viewpoint of heat resistance, aromatic diamines are preferred, and from the viewpoint of transparency, alicyclic diamines are preferred. Further, when aromatic diamines having a benzoxazole structure are used, it becomes possible to exhibit high elastic modulus, low thermal shrinkage, and low coefficient of linear expansion as well as high heat resistance. Diamines and diisocyanates may be used alone or in combination of two or more.

芳香族ジアミン類としては、例えば、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、1,4-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、m-フェニレンジアミン、o-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、m-アミノベンジルアミン、p-アミノベンジルアミン、4-アミノ-N-(4-アミノフェニル)ベンズアミド、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、2,2’-トリフルオロメチル-4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’-ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’-ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、3,4’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,1-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,4-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]-2-[4-(4-アミノフェノキシ)-3-メチルフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)-3-メチルフェニル]プロパン、2-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]-2-[4-(4-アミノフェノキシ)-3,5-ジメチルフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)-3,5-ジメチルフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’-ビス[(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,1-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、2,2-ビス[3-(3-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’-ビス[3-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’-ビス[3-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4-{4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノ-6-トリフルオロメチルフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノ-6-フルオロフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノ-6-メチルフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノ-6-シアノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジフェノキシベンゾフェノン、4,4’-ジアミノ-5,5’-ジフェノキシベンゾフェノン、3,4’-ジアミノ-4,5’-ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、4,4’-ジアミノ-5-フェノキシベンゾフェノン、3,4’-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、3,4’-ジアミノ-5’-フェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジビフェノキシベンゾフェノン、4,4’-ジアミノ-5,5’-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,4’-ジアミノ-4,5’-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、4,4’-ジアミノ-5-ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’-ジアミノ-5’-ビフェノキシベンゾフェノン、1,3-ビス(3-アミノ-4-フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-4-フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-5-フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-5-フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノ-4-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-4-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-5-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-5-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、2,6-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾニトリル、4,4’-[9H-フルオレン-9,9-ジイル]ビスアニリン(別名「9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン」)、スピロ(キサンテン-9,9’-フルオレン)-2,6-ジイルビス(オキシカルボニル)]ビスアニリン、4,4’-[スピロ(キサンテン-9,9’-フルオレン)-2,6-ジイルビス(オキシカルボニル)]ビスアニリン、4,4’-[スピロ(キサンテン-9,9’-フルオレン)-3,6-ジイルビス(オキシカルボニル)]ビスアニリン、9,10-ビス(4-アミノフェニル)アデニン、2,4-ビス(4-アミノフェニル)シクロブタン-1,3-ジカルボン酸ジメチル、および上記芳香族ジアミンの芳香環上の水素原子の一部もしくは全てが、ハロゲン原子、炭素数1~3のアルキル基またはアルコキシル基、シアノ基、またはアルキル基またはアルコキシル基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数1~3のハロゲン化アルキル基またはアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。また、前記ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類としては、特に限定はなく、例えば、5-アミノ-2-(p-アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、6-アミノ-2-(p-アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、5-アミノ-2-(m-アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、6-アミノ-2-(m-アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2,2’-p-フェニレンビス(5-アミノベンゾオキサゾール)、2,2’-p-フェニレンビス(6-アミノベンゾオキサゾール)、1-(5-アミノベンゾオキサゾロ)-4-(6-アミノベンゾオキサゾロ)ベンゼン、2,6-(4,4’-ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2-d:5,4-d’]ビスオキサゾール、2,6-(4,4’-ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2-d:4,5-d’]ビスオキサゾール、2,6-(3,4’-ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2-d:5,4-d’]ビスオキサゾール、2,6-(3,4’-ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2-d:4,5-d’]ビスオキサゾール、2,6-(3,3’-ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2-d:5,4-d’]ビスオキサゾール、2,6-(3,3’-ジアミノジフェニル)ベンゾ[1,2-d:4,5-d’]ビスオキサゾール等が挙げられる。これらの中で、特に、2,2’-ジトリフルオロメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、4-アミノ-N-(4-アミノフェニル)ベンズアミド、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノベンゾフェノンが好ましい。尚、芳香族ジアミン類は単独で使用してもよいし複数を組み合わせて使用してもよい。 Examples of aromatic diamines include 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis (4-Amino-2-trifluoromethylphenoxy)benzene, 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, 4, 4'-bis(3-aminophenoxy)biphenyl, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfide, bis[4-(3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3 -hexafluoropropane, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, 4-amino-N-(4-aminophenyl)benzamide, 3,3' -diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 2,2'-trifluoromethyl-4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4' -diaminodiphenylsulfide, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfoxide, 3,4'-diaminodiphenylsulfoxide, 4,4'-diaminodiphenylsulfoxide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]methane, 1,1-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ethane, 1, 2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ethane, 1,1-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 1,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl] Propane, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 1,1-bis[4-(4-amino) phenoxy)phenyl]butane, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]butane, 1,4-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]butane, 2,2-bis[4- (4-aminophenoxy)phenyl]butane, 2,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]butane, 2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-2-[4-(4- aminophenoxy)-3-methylphenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)-3-methylphenyl]propane, 2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-2-[ 4-(4-aminophenoxy)-3,5-dimethylphenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)-3,5-dimethylphenyl]propane, 2,2-bis[4- (4-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene , 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone, bis[4-(4-amino) phenoxy)phenyl] sulfide, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfoxide, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[ 4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 1,3-bis[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 1, 4-bis[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 4,4'-bis[(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene, 1,1-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane , 1,3-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 2,2-bis[3-(3-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1 , 3,3,3-hexafluoropropane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, 1,1-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ethane, 1,2-bis[4 -(3-aminophenoxy)phenyl]ethane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfoxide, 4,4'-bis[3-(4-aminophenoxy)benzoyl]diphenyl ether, 4,4'-bis [3-(3-aminophenoxy)benzoyl]diphenyl ether, 4,4'-bis[4-(4-amino-α,α-dimethylbenzyl)phenoxy]benzophenone, 4,4'-bis[4-(4- Amino-α,α-dimethylbenzyl)phenoxy]diphenylsulfone, bis[4-{4-(4-aminophenoxy)phenoxy}phenyl]sulfone, 1,4-bis[4-(4-aminophenoxy)phenoxy-α , α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-aminophenoxy)phenoxy-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-amino-6-trifluoro) methylphenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-amino-6-fluorophenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-( 4-Amino-6-methylphenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 1,3-bis[4-(4-amino-6-cyanophenoxy)-α,α-dimethylbenzyl]benzene, 3,3 '-Diamino-4,4'-diphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-diphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-diphenoxybenzophenone, 3,3'- Diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino -4,4'-Dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4 -Biphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-biphenoxybenzophenone, 1,3-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bis(3-amino-4-phenoxybenzoyl)benzene, 1,3-bis(4-amino-5-phenoxybenzoyl)benzene, 1,4- Bis(4-amino-5-phenoxybenzoyl)benzene, 1,3-bis(3-amino-4-biphenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bis(3-amino-4-biphenoxybenzoyl)benzene, 1 , 3-bis(4-amino-5-biphenoxybenzoyl)benzene, 1,4-bis(4-amino-5-biphenoxybenzoyl)benzene, 2,6-bis[4-(4-amino-α, α-dimethylbenzyl)phenoxy]benzonitrile, 4,4'-[9H-fluorene-9,9-diyl]bisaniline (also known as "9,9-bis(4-aminophenyl)fluorene"), spiro(xanthene-9 ,9'-fluorene)-2,6-diylbis(oxycarbonyl)]bisaniline, 4,4'-[spiro(xanthene-9,9'-fluorene)-2,6-diylbis(oxycarbonyl)]bisaniline, 4 , 4'-[spiro(xanthene-9,9'-fluorene)-3,6-diylbis(oxycarbonyl)]bisaniline, 9,10-bis(4-aminophenyl)adenine, 2,4-bis(4- dimethyl (aminophenyl)cyclobutane-1,3-dicarboxylate, and some or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring of the aromatic diamine are halogen atoms, alkyl groups or alkoxyl groups having 1 to 3 carbon atoms, cyano groups, Alternatively, examples thereof include aromatic diamines substituted with a halogenated alkyl group or alkoxyl group having 1 to 3 carbon atoms, in which some or all of the hydrogen atoms of the alkyl group or alkoxyl group are substituted with halogen atoms. Further, the aromatic diamines having the benzoxazole structure are not particularly limited, and examples thereof include 5-amino-2-(p-aminophenyl)benzoxazole, 6-amino-2-(p-aminophenyl)benzoxazole, Oxazole, 5-amino-2-(m-aminophenyl)benzoxazole, 6-amino-2-(m-aminophenyl)benzoxazole, 2,2'-p-phenylenebis(5-aminobenzoxazole), 2 , 2'-p-phenylenebis(6-aminobenzoxazole), 1-(5-aminobenzoxazolo)-4-(6-aminobenzoxazolo)benzene, 2,6-(4,4'-diamino) diphenyl)benzo[1,2-d:5,4-d']bisoxazole, 2,6-(4,4'-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:4,5-d']bisoxazole , 2,6-(3,4'-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:5,4-d']bisoxazole, 2,6-(3,4'-diaminodiphenyl)benzo[1,2 -d:4,5-d']bisoxazole, 2,6-(3,3'-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:5,4-d']bisoxazole, 2,6-(3 , 3'-diaminodiphenyl)benzo[1,2-d:4,5-d']bisoxazole, and the like. Among these, in particular, 2,2'-ditrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4-amino-N-(4-aminophenyl)benzamide, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3 '-Diaminobenzophenone is preferred. Incidentally, the aromatic diamines may be used alone or in combination.

脂環式ジアミン類としては、例えば、1,4-ジアミノシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-メチルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-エチルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-n-プロピルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-イソプロピルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-n-ブチルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-イソブチルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-sec-ブチルシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-tert-ブチルシクロヘキサン、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルシクロヘキシルアミン)等が挙げられる。これらの中で、特に、1,4-ジアミノシクロヘキサン、1,4-ジアミノ-2-メチルシクロヘキサンが好ましく、1,4-ジアミノシクロヘキサンがより好ましい。尚、脂環式ジアミン類は単独で使用してもよいし複数を組み合わせて使用してもよい。 Examples of alicyclic diamines include 1,4-diaminocyclohexane, 1,4-diamino-2-methylcyclohexane, 1,4-diamino-2-ethylcyclohexane, 1,4-diamino-2-n-propyl Cyclohexane, 1,4-diamino-2-isopropylcyclohexane, 1,4-diamino-2-n-butylcyclohexane, 1,4-diamino-2-isobutylcyclohexane, 1,4-diamino-2-sec-butylcyclohexane, Examples include 1,4-diamino-2-tert-butylcyclohexane and 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylcyclohexylamine). Among these, 1,4-diaminocyclohexane and 1,4-diamino-2-methylcyclohexane are particularly preferred, and 1,4-diaminocyclohexane is more preferred. Incidentally, the alicyclic diamines may be used alone or in combination.

ジイソシアネート類としては、例えば、ジフェニルメタン-2,4’-ジイソシアネート、3,2’-または3,3’-または4,2’-または4,3’-または5,2’-または5,3’-または6,2’-または6,3’-ジメチルジフェニルメタン-2,4’-ジイソシアネート、3,2’-または3,3’-または4,2’-または4,3’-または5,2’-または5,3’-または6,2’-または6,3’-ジエチルジフェニルメタン-2,4’-ジイソシアネート、3,2’-または3,3’-または4,2’-または4,3’-または5,2’-または5,3’-または6,2’-または6,3’-ジメトキシジフェニルメタン-2,4’-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-4,4’-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-3,3’-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-3,4’-ジイソシアネート、ジフェニルエーテル-4,4’ -ジイソシアネート、ベンゾフェノン-4,4’-ジイソシアネート、ジフェニルスルホン-4,4’-ジイソシアネート、トリレン-2,4-ジイソシアネート、トリレン-2,6-ジイソシアネート、m-キシリレンジイソシアネート、p-キシリレンジイソシアネート、ナフタレン-2,6-ジイソシアネート、4,4’-(2,2ビス(4-フェノキシフェニル)プロパン)ジイソシアネート、3,3’-または2,2’-ジメチルビフェニル-4,4’-ジイソシアネート、3,3’-または2,2’-ジエチルビフェニル-4,4’-ジイソシアネート、3,3’-ジメトキシビフェニル-4,4’-ジイソシアネート、3,3’-ジエトキシビフェニル-4,4’-ジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート類、及びこれらのいずれかを水素添加したジイソシアネート(例えば、イソホロンジイソシアネート、1,4-シクロヘキサンジイソシアネート、1,3-シクロヘキサンジイソシアネート、4,4’-ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート)などが挙げられる。これらの中では、低吸湿性、寸法安定性、価格及び重合性の点からジフェニルメタン-4,4’-ジイソシアネート、トリレン-2,4-ジイソシアネート、トリレン-2,6-ジイソシアネート、3,3’-ジメチルビフェニル-4,4’-ジイソシアネートやナフタレン-2,6-ジイソシアネート、4,4’-ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、1,4-シクロヘキサンジイソシアネートが好ましい。尚、ジイソシアネート類は単独で使用してもよいし複数を組み合わせて使用してもよい。 Examples of diisocyanates include diphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- or 5,2'- or 5,3' - or 6,2'- or 6,3'-dimethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- or 5,2 '-or 5,3'-or 6,2'-or 6,3'-diethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'-or 3,3'-or 4,2'-or 4, 3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethoxydiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, diphenylmethane-3, 3'-diisocyanate, diphenylmethane-3,4'-diisocyanate, diphenyl ether-4,4'-diisocyanate, benzophenone-4,4'-diisocyanate, diphenylsulfone-4,4'-diisocyanate, tolylene-2,4-diisocyanate, Tolylene-2,6-diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, naphthalene-2,6-diisocyanate, 4,4'-(2,2bis(4-phenoxyphenyl)propane) diisocyanate, 3, 3'- or 2,2'-dimethylbiphenyl-4,4'-diisocyanate, 3,3'- or 2,2'-diethylbiphenyl-4,4'-diisocyanate, 3,3'-dimethoxybiphenyl-4, Aromatic diisocyanates such as 4'-diisocyanate, 3,3'-diethoxybiphenyl-4,4'-diisocyanate, and diisocyanates obtained by hydrogenating any of these (e.g., isophorone diisocyanate, 1,4-cyclohexane diisocyanate, 1,3-cyclohexane diisocyanate, 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate) and the like. Among these, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, tolylene-2,4-diisocyanate, tolylene-2,6-diisocyanate, 3,3'- Dimethylbiphenyl-4,4'-diisocyanate, naphthalene-2,6-diisocyanate, 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, and 1,4-cyclohexane diisocyanate are preferred. Note that the diisocyanates may be used alone or in combination.

本発明の樹脂溶液に用いられる溶媒は、双極子モーメントが3.0~6.0Dの範囲にあり、ポリアミド酸、ポリイミド、およびポリアミドイミドからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を溶解する溶媒であるであることが好ましい。双極子モーメントが上記範囲内であると、後述する樹脂フィルムの溶媒除去工程において用いられるマイクロ波加熱の均一加熱効果に優れ、得られる樹脂フィルムの物性等方性を向上させることが容易となる。 The solvent used in the resin solution of the present invention has a dipole moment in the range of 3.0 to 6.0D, and is a solvent that dissolves at least one resin selected from the group consisting of polyamic acid, polyimide, and polyamideimide. It is preferable that . When the dipole moment is within the above range, the uniform heating effect of microwave heating used in the resin film solvent removal process described below is excellent, and it becomes easy to improve the physical isotropy of the resulting resin film.

本発明の樹脂溶液に用いられる溶媒として、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド(双極子モーメント:3.86D)、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)(双極子モーメント:3.72D)、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)(双極子モーメント:4.09D)、N-メチル-ε-カプロラクタム(双極子モーメント:4.23D)、ジメチルスルホキシド(双極子モーメント:3.96D)、ジメチルスルホン(双極子モーメント:4.47D)、スルホラン(双極子モーメント:4.68D)、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン(双極子モーメント:4.07D)、1,3-ジメチル-2-ピリミジノン(双極子モーメント:4.17D)、3-メチル-2-オキサゾリドン(双極子モーメント:4.10D)、ヘキサメチルホスホルアミド(双極子モーメント:5.54D)、γ-ブチロラクトン(GBL)(双極子モーメント:4.27D)などがあり、これらは単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。またこれらの溶媒と併せて、トルエン(双極子モーメント:0.36D)、キシレン(双極子モーメント:0.00~0.64D)などの貧溶媒を、樹脂固形分が析出せずマイクロ波加熱の均一加熱効果を損なわない程度に使用してもよい。また、2種類以上の溶媒を混合する場合の双極子モーメントの値は、それぞれの値の加重平均値とする。 Examples of the solvent used in the resin solution of the present invention include N,N-dimethylformamide (dipole moment: 3.86D), N,N-dimethylacetamide (DMAc) (dipole moment: 3.72D), N- Methyl-2-pyrrolidone (NMP) (dipole moment: 4.09D), N-methyl-ε-caprolactam (dipole moment: 4.23D), dimethylsulfoxide (dipole moment: 3.96D), dimethylsulfone ( dipole moment: 4.47D), sulfolane (dipole moment: 4.68D), 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (dipole moment: 4.07D), 1,3-dimethyl-2-pyrimidinone (dipole moment: 4.17D), 3-methyl-2-oxazolidone (dipole moment: 4.10D), hexamethylphosphoramide (dipole moment: 5.54D), γ-butyrolactone (GBL) (dipolar child moment: 4.27D), and these may be used alone or in combination of two or more. In addition to these solvents, poor solvents such as toluene (dipole moment: 0.36D) and xylene (dipole moment: 0.00 to 0.64D) can be used to prevent resin solids from precipitating during microwave heating. It may be used to the extent that it does not impair the uniform heating effect. Further, when two or more types of solvents are mixed, the value of the dipole moment is a weighted average value of the respective values.

本発明の樹脂溶液には樹脂フィルムの特性を損なわない範囲で、微粒子を添加しても良い。微粒子としては無機微粒子でも有機微粒子でも良く、無機微粒子としては、例えば窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化錫、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、タルク、カオリン、硫酸カルシウムなどが挙げられる。また、有機微粒子としては、例えばポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ベンゾグアナミン系樹脂、メラミン系樹脂などが挙げられ、これらの微粒子は複合して用いても良い。 Fine particles may be added to the resin solution of the present invention within a range that does not impair the properties of the resin film. The fine particles may be inorganic fine particles or organic fine particles. Examples of the inorganic fine particles include silicon nitride, silicon oxide, titanium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, tin oxide, calcium carbonate, barium sulfate, talc, kaolin, and calcium sulfate. Examples include. Examples of the organic fine particles include polyamide resins, polyimide resins, benzoguanamine resins, and melamine resins, and these fine particles may be used in combination.

本発明の樹脂溶液の樹脂固形分濃度は、5~40質量%であることが好ましく、より好ましくは7~35質量%、さらに好ましくは10~30質量%である。樹脂固形分濃度が上記の下限以上であると、樹脂フィルムに必要とされる膜厚を得る観点から好ましく、上記の上限以下であると、樹脂フィルムの物性等方性を損なわない程度の溶液流動性を得る観点から好ましい。 The resin solid content concentration of the resin solution of the present invention is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 7 to 35% by mass, and even more preferably 10 to 30% by mass. When the resin solid content concentration is at least the above lower limit, it is preferable from the viewpoint of obtaining the film thickness required for the resin film, and when it is below the above upper limit, the solution flow is sufficient to not impair the physical isotropy of the resin film. It is preferable from the viewpoint of obtaining characteristics.

本発明における樹脂フィルムは後述する樹脂フィルムの製造方法によって得られる樹脂フィルムであることが好ましい。具体的には、主鎖にイミド結合を有する高分子フィルムであり、好ましくはポリイミドフィルム、またはポリアミドイミドフィルムであり、より好ましくはポリイミドフィルムである。 The resin film in the present invention is preferably a resin film obtained by the method for producing a resin film described below. Specifically, it is a polymer film having an imide bond in its main chain, preferably a polyimide film or a polyamide-imide film, and more preferably a polyimide film.

本発明における樹脂フィルムの厚さの下限は、樹脂フィルムに必要とされる強度やハンドリング性の観点から、3μm以上が好ましく、より好ましくは5μm以上であり、さらに好ましくは7μm以上である。前記樹脂フィルムの厚さの上限は、均一に溶媒を除去する観点から、250μm以下であることが好ましく、より好ましくは150μm以下であり、さらに好ましくは100μm以下である。 The lower limit of the thickness of the resin film in the present invention is preferably 3 μm or more, more preferably 5 μm or more, and still more preferably 7 μm or more from the viewpoint of the strength and handling properties required for the resin film. From the viewpoint of uniformly removing the solvent, the upper limit of the thickness of the resin film is preferably 250 μm or less, more preferably 150 μm or less, and even more preferably 100 μm or less.

本発明の樹脂フィルムの好ましい製造方法は、
前記樹脂溶液を支持体上に塗布・乾燥して溶媒を含有する樹脂フィルム積層体を作製する工程A、
前記溶媒を含有する樹脂フィルム積層体から前記支持体を剥離して溶媒を含有する樹脂フィルムを得る工程B、
前記溶媒を含有する樹脂フィルムから、溶媒を除去、又は溶媒を除去しながら脱水閉環反応する工程Cを含み、
前記工程Cの少なくとも一部をマイクロ波加熱によって行うことを特徴とする。
A preferred method for producing the resin film of the present invention is as follows:
Step A of producing a resin film laminate containing a solvent by coating and drying the resin solution on a support;
Step B of peeling off the support from the solvent-containing resin film laminate to obtain a solvent-containing resin film;
Step C of removing the solvent from the resin film containing the solvent, or performing a dehydration ring closure reaction while removing the solvent,
It is characterized in that at least a part of the step C is performed by microwave heating.

工程Aについて説明する。工程Aは、樹脂溶液を支持体上に塗布・乾燥して溶媒を含有する樹脂フィルム積層体(以下、単に積層体ともいう。)を作製する工程である。前記積層体は、前記支持体に前記樹脂溶液の乾燥物が積層されたものである。 Step A will be explained. Step A is a step of applying a resin solution onto a support and drying it to produce a resin film laminate (hereinafter also simply referred to as a laminate) containing a solvent. The laminate is obtained by laminating the dried resin solution on the support.

本発明で用いられる支持体としては、例えば、樹脂フィルム基材、ステンレス鋼ベルト基材、ガラス基材等が挙げられる。樹脂フィルム基材としては、樹脂溶液に含まれる溶媒に膨潤、溶出しない樹脂フィルム基材を用いることが好ましく、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ポリオレフィン系(PP)フィルム、シクロオレフィン系(COP)フィルム等が挙げられる。また、溶媒を含有する樹脂フィルムを支持体から剥離するために、易剥離性を有する支持体を用いることが好ましい。 Examples of the support used in the present invention include a resin film base, a stainless steel belt base, and a glass base. As the resin film base material, it is preferable to use a resin film base material that does not swell or dissolve in the solvent contained in the resin solution, such as polyethylene terephthalate (PET) film, polyethylene naphthalate (PEN) film, polyolefin (PP) film. , cycloolefin-based (COP) films, and the like. Moreover, in order to peel the resin film containing the solvent from the support, it is preferable to use a support that has easy peelability.

支持体上に樹脂溶液を塗布する方法としては、ダイコート法、コンマコート法、ブレードコート法、ロールコート法、ナイフコート法、バーコート法、による方法等が挙げられ、これらのうちから2種の方法を組み合わせても良い。コンマコート法、ダイコート法、あるいはこれらの組み合わせであれば生産性の観点から好ましい。 Examples of methods for applying the resin solution onto the support include die coating, comma coating, blade coating, roll coating, knife coating, and bar coating. You may combine the methods. A comma coating method, a die coating method, or a combination thereof is preferable from the viewpoint of productivity.

支持体上で樹脂溶液を乾燥する方法としては、送風乾燥、熱風乾燥、赤外線加熱乾燥、支持体からの伝熱加熱乾燥による方法等が挙げられ、これらのうちから2種の方法を組み合わせても良い。乾燥した後の溶媒を含有する樹脂フィルムの溶媒含有量としては、3~50質量%であることが好ましく、より好ましくは5~40質量%、さらに好ましくは7~30質量%である。溶媒含有量が上記の下限以上であると、支持体に接した樹脂フィルム面と反対面との溶媒含有量や高分子高次構造の差が少なく、樹脂フィルムの厚み方向における物性異方性が少なくなり、樹脂フィルムのカールが抑えられ、上記の上限以下であると、支持体から剥離した後の樹脂フィルムの変形が抑制され、ハンドリングが容易となる。 Methods for drying the resin solution on the support include air blow drying, hot air drying, infrared heat drying, heat transfer drying from the support, etc. Two of these methods may be combined. good. The solvent content of the dried resin film containing the solvent is preferably 3 to 50% by mass, more preferably 5 to 40% by mass, and still more preferably 7 to 30% by mass. When the solvent content is equal to or higher than the above lower limit, there will be little difference in solvent content and polymer higher-order structure between the surface of the resin film in contact with the support and the opposite surface, and the anisotropy of physical properties in the thickness direction of the resin film will decrease. When the amount is less than the above upper limit, deformation of the resin film after being peeled off from the support is suppressed, and handling becomes easy.

工程Bについて説明する。工程Bは、前記積層体から前記支持体を剥離して溶媒を含有する樹脂フィルムを得る工程である、 Process B will be explained. Step B is a step of peeling the support from the laminate to obtain a resin film containing a solvent.

前記溶媒を含有する樹脂フィルムを前記支持体から剥離する方法としては、特に制限されないが、ピンセットなどで端から捲る方法、積層体に切り込みを入れ、切り込み部分の1辺に粘着テープを貼着させた後にそのテープ部分から捲る方法、樹脂フィルムの切り込み部分の1辺を真空吸着した後にその部分から捲る方法等が挙げられる。 The method of peeling the resin film containing the solvent from the support is not particularly limited, but includes a method of rolling it up from the end with tweezers, etc., a method of making a cut in the laminate, and pasting an adhesive tape on one side of the cut portion. Examples include a method in which one side of the cut portion of the resin film is vacuum-adsorbed and then the tape is rolled up from that part.

工程Cについて説明する。工程Cは、前記溶媒を含有する樹脂フィルムから、溶媒を除去、又は溶媒を除去しながら脱水閉環反応する工程であり、工程Cの少なくとも一部をマイクロ波加熱に行う。 Step C will be explained. Step C is a step of removing the solvent from the resin film containing the solvent, or performing a dehydration ring closure reaction while removing the solvent, and at least a part of Step C is subjected to microwave heating.

支持体から剥離した後、溶媒を含有する樹脂フィルムの溶媒除去工程で用いるマイクロ波加熱は、その加熱原理として被加熱体に含まれる分子の双極子をマイクロ波により振動させることに基づいている。従って、マイクロ波の吸収効率は双極子モーメントの大きさと分子がマイクロ波の周期に追随して運動するし易さに依存する。そこで溶媒を含有する樹脂フィルムからマイクロ波を用いて効率的に溶媒を均一加熱し除去するため、前述した双極子モーメントの値を有する溶媒を指定している。 Microwave heating used in the step of removing a solvent from a resin film containing a solvent after peeling from a support is based on the heating principle of vibrating the dipoles of molecules contained in the object to be heated using microwaves. Therefore, the absorption efficiency of microwaves depends on the magnitude of the dipole moment and the ease with which molecules move following the period of the microwave. Therefore, in order to efficiently uniformly heat and remove the solvent from the resin film containing the solvent using microwaves, a solvent having the above-mentioned dipole moment value is specified.

本発明において用いられるマイクロ波加熱装置の周波数は、前述した双極子モーメントの値を有する溶媒の分子が運動しやすい周波数を選ぶことが好ましい。しかしながら、一般には電波法による制約や、マイクロ波電子管の制約により、2,450MHzの周波数の加熱装置が一般的である。但し、他の通信などの妨害を与えなければ、915MHzも用いることができる。本発明においては、かかる事情から周波数2,450MHzおよび915MHzを選ぶことがさらに好ましい。また、マイクロ波の強度は、樹脂フィルム表面の発泡、柚肌、波打ちのなどの状態を勘案して適宜選択される。 As the frequency of the microwave heating device used in the present invention, it is preferable to select a frequency at which the molecules of the solvent having the above-mentioned dipole moment value are likely to move. However, in general, heating devices with a frequency of 2,450 MHz are common due to restrictions imposed by the Radio Law and restrictions on microwave electron tubes. However, 915 MHz can also be used as long as it does not interfere with other communications. In the present invention, it is more preferable to select frequencies of 2,450 MHz and 915 MHz due to such circumstances. Further, the intensity of the microwave is appropriately selected in consideration of the state of foaming, citrus skin, waving, etc. on the surface of the resin film.

指定した双極子モーメントの値を有する溶媒を含有する樹脂溶液を使い、マイクロ波加熱を用いることで、溶媒除去工程で樹脂フィルムが均一に加熱乾燥されて、形成される高次構造の疎密の差異が低減し、式(40+0.8×A) ≦ B < A を達成することが容易となる。さらに得られる樹脂フィルムの物性等方性を向上させることが出来、樹脂フィルムの線膨張係数のMD方向に対するTD方向の比および、引張弾性率のMD方向に対するTD方向の比を好ましい範囲に収めることが容易となる。 By using a resin solution containing a solvent with a specified dipole moment value and using microwave heating, the resin film is uniformly heated and dried in the solvent removal process, and the difference in the density of the higher-order structure formed is is reduced, and it becomes easy to achieve the formula (40+0.8×A)≦B<A. Furthermore, it is possible to improve the physical isotropy of the obtained resin film, and to keep the ratio of the linear expansion coefficient of the resin film in the TD direction to the MD direction and the ratio of the tensile modulus of the resin film in the TD direction to the MD direction to be within a preferable range. becomes easier.

本発明ではマイクロ波加熱に併用して、送風乾燥、熱風乾燥、赤外線加熱乾燥による方法等を用いることが出来、これらのうちから2種の方法を組み合わせても良い。 In the present invention, methods such as air drying, hot air drying, infrared heat drying, etc. can be used in combination with microwave heating, and two of these methods may be combined.

上記の加熱方法を用いた溶媒除去工程における昇温プロファイルは、初期温度が50~200℃の範囲であることが好ましく、指定範囲の下限以上であると、乾燥炉内の温度バラツキを抑えることが容易であり、初期温度が指定範囲の上限以下であると、溶媒が急激に加熱されることによる樹脂フィルムの発泡や表面の柚子肌等を抑えることが容易となり、また、樹脂フィルム表面と樹脂フィルム内部との溶媒含有量や高分子高次構造の差が少なくなり、式(40+0.8×A) ≦ B < A を達成することが容易となる。 The temperature increase profile in the solvent removal step using the above heating method is preferably such that the initial temperature is in the range of 50 to 200°C, and if it is above the lower limit of the specified range, it is difficult to suppress temperature variations in the drying oven. If the initial temperature is below the upper limit of the specified range, it will be easy to suppress foaming of the resin film and yuzu skin on the surface caused by rapid heating of the solvent, and it will also prevent the resin film surface and the resin film from forming. The difference between the solvent content and the polymer higher-order structure with respect to the inside becomes smaller, and it becomes easier to achieve the formula (40+0.8×A)≦B<A.

上記の加熱方法を用いた溶媒除去工程における昇温プロファイルは、最終温度が300~500℃の範囲であることが好ましく、指定範囲の下限以上であると、樹脂フィルム中の残留溶媒量を抑えることが容易となり、最終温度が指定範囲の上限以下であると、樹脂フィルムの熱劣化を抑えることが容易となる。 The temperature increase profile in the solvent removal step using the above heating method is preferably such that the final temperature is in the range of 300 to 500°C, and if it is above the lower limit of the specified range, the amount of residual solvent in the resin film can be suppressed. When the final temperature is below the upper limit of the specified range, it becomes easy to suppress thermal deterioration of the resin film.

上記の加熱方法を用いた溶媒除去工程における昇温プロファイルは、昇温速度が5~60℃/分で昇温するか、段数が2以上のステップ状に昇温するか、いずれか又は両方を組み合わせた方法で昇温することが好ましい。昇温速度が指定範囲の下限以上であると溶媒除去工程での作業時間を短縮することが出来、上記指定範囲の上限以下であると、溶媒が急激に加熱されることによる樹脂フィルムの発泡や表面の柚子肌等を抑えることが容易となり、また、樹脂フィルム表面と樹脂フィルム内部との溶媒含有量や高分子高次構造の差が少なくなり、式(40+0.8×A) ≦ B < A を達成することが容易となる。 The temperature increase profile in the solvent removal step using the above heating method is either a temperature increase rate of 5 to 60°C/min, a stepwise increase in the number of stages of 2 or more, or both. It is preferable to raise the temperature by a combination of methods. If the heating rate is above the lower limit of the specified range, the working time in the solvent removal process can be shortened, and if it is below the upper limit of the above specified range, foaming of the resin film due to rapid heating of the solvent may occur. It becomes easier to suppress yuzu skin etc. on the surface, and the difference in solvent content and polymer higher order structure between the surface of the resin film and the inside of the resin film is reduced, and the formula (40 + 0.8 × A) ≦ B < A becomes easier to achieve.

ステップ状に昇温する場合は、ステップ数は2~10回であることが好ましく、各ステップ間の昇温速度は10~100℃/分であることが好ましい。ステップ数が指定範囲の下限以上であると、溶媒が急激に加熱されることによる樹脂フィルムの発泡や表面の柚子肌等を抑えることが容易であり、また、樹脂フィルム表面と樹脂フィルム内部との溶媒含有量や高分子高次構造の差が少なくなり、式(40+0.8×A) ≦ B < A を達成することが容易となる。また、ステップ数が指定範囲の上限以下であると、作業効率が良好となる。 When increasing the temperature in steps, the number of steps is preferably 2 to 10, and the rate of temperature increase between each step is preferably 10 to 100° C./min. When the number of steps is at least the lower limit of the specified range, it is easy to suppress foaming of the resin film and yuzu skin on the surface caused by rapid heating of the solvent, and also to prevent the surface of the resin film and the inside of the resin film from forming. Differences in solvent content and polymer higher-order structure are reduced, making it easier to achieve the formula (40+0.8×A)≦B<A. Further, when the number of steps is less than or equal to the upper limit of the designated range, work efficiency is improved.

溶媒除去工程における総乾燥時間は5~100分となるように、上記初期温度、最終温度、昇温速度、ステップ数を決めることが好ましい。総乾燥時間が指定範囲の下限以上であると、溶媒が急激に加熱されることによる樹脂フィルムの発泡や表面の柚子肌等を抑えることが容易となり、上限以下であると、生産性が向上し樹脂フィルムの熱劣化を抑えることが容易となる。 It is preferable to determine the initial temperature, final temperature, heating rate, and number of steps so that the total drying time in the solvent removal step is 5 to 100 minutes. If the total drying time is above the lower limit of the specified range, it will be easier to suppress foaming of the resin film and yuzu skin on the surface due to rapid heating of the solvent, and if it is below the upper limit, productivity will improve. It becomes easy to suppress thermal deterioration of the resin film.

本発明における溶媒除去工程では、さらに樹脂フィルムに延伸を行うことが出来る。かかる延伸操作における延伸倍率は、MD(長尺)方向に1.5~4.0倍、TD(短尺)方向に1.4~3.0倍であることが好ましく、MD方向の延伸倍率とTD方向の延伸倍率の比率(MD/TD)は、1.0を超えることが好ましい。延伸条件を上記範囲内にすることで、樹脂フィルムのMD方向およびTD方向の両方の35~200℃の範囲で測定した平均の線膨張係数および、MD方向およびTD方向の両方の引張弾性率を好ましい範囲に収めることが容易となる。 In the solvent removal step in the present invention, the resin film can be further stretched. The stretching ratio in this stretching operation is preferably 1.5 to 4.0 times in the MD (long length) direction and 1.4 to 3.0 times in the TD (short length) direction. It is preferable that the ratio of the stretching ratio in the TD direction (MD/TD) exceeds 1.0. By setting the stretching conditions within the above range, the average linear expansion coefficient measured in the range of 35 to 200°C in both the MD and TD directions of the resin film and the tensile modulus in both the MD and TD directions can be improved. It becomes easy to keep it within a preferable range.

溶媒除去工程後の樹脂フィルムの溶媒含有量は、0.01~5.0質量%であることが好ましく、より好ましくは0.02~4.0質量%、さらに好ましくは0.03~3.0質量%の範囲である。溶媒含有量を上記の下限値以上とすることにより、過剰な高温処理による樹脂フィルムの熱劣化が抑えられ、上限以下とすることにより、線膨張係数および引張弾性率を好ましい範囲に収めることが容易となる。 The solvent content of the resin film after the solvent removal step is preferably 0.01 to 5.0% by mass, more preferably 0.02 to 4.0% by mass, still more preferably 0.03 to 3.0% by mass. It is in the range of 0% by mass. By setting the solvent content at or above the lower limit above, thermal deterioration of the resin film due to excessive high-temperature treatment can be suppressed, and by setting the solvent content at or below the upper limit, it is easy to keep the coefficient of linear expansion and tensile modulus within a preferable range. becomes.

以下、本発明に関し実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in detail using Examples, but the present invention is not limited to the following Examples unless it exceeds the gist thereof.

なお実施例、比較例における各測定値は、特に断りのない限り以下の方法で測定した。 In addition, each measurement value in Examples and Comparative Examples was measured by the following method unless otherwise specified.

<樹脂フィルムのtanδの温度依存曲線ピーク温度>
樹脂フィルムの流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)それぞれサンプル3点において、下記条件にて貯蔵弾性率(E‘)、損失弾性率(E“)、および損失弾性率を貯蔵弾性率で除した値であるtanδ(=E”/E’)の温度依存曲線を得てピーク温度を求め、流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)の平均値を算出した。
機器名 : TAインスツルメンツ社製 DMA Q800
試料長さ : 15-20mm
試料幅 : 4mm
昇温開始温度 : 25℃
昇温終了温度 : 500℃
昇温速度 : 5℃/min
測定周波数 : 10Hz
<Temperature dependence curve peak temperature of tan δ of resin film>
The storage modulus (E'), loss modulus (E"), and loss modulus are measured under the following conditions for three samples each in the flow direction (MD direction) and width direction (TD direction) of the resin film. A temperature dependence curve of tan δ (=E"/E'), which is the value divided by
Device name: DMA Q800 manufactured by TA Instruments
Sample length: 15-20mm
Sample width: 4mm
Heating start temperature: 25℃
Heating end temperature: 500℃
Temperature increase rate: 5℃/min
Measurement frequency: 10Hz

<樹脂フィルムの線膨張係数変曲点温度>
樹脂フィルムの流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)それぞれサンプル3点において、下記条件にて伸縮率を測定し2回目の昇温時の伸縮率変曲点となる温度を読み取り、流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)の平均値を算出した。
機器名 : ブルカー AXS社製 TMA-4000SA
試料長さ : 15mm
試料幅 : 2mm
チャック間距離 : 10mm
荷重 : 5gf
1回目昇温開始温度 : 25℃
1回目昇温終了温度 : 200℃
1回目昇温速度 : 20℃/min
降温速度 : 5℃/min
2回目昇温開始温度 : 30℃
2回目昇温終了温度 : 500℃
2回目昇温速度 : 10℃/min
雰囲気 : アルゴン
<Linear expansion coefficient inflection point temperature of resin film>
Measure the expansion/contraction rate at three samples each in the flow direction (MD direction) and width direction (TD direction) of the resin film under the following conditions, read the temperature at which the expansion/contraction rate inflection point occurs during the second temperature rise, and determine the flow rate. The average values in the direction (MD direction) and width direction (TD direction) were calculated.
Equipment name: Bruker AXS TMA-4000SA
Sample length: 15mm
Sample width: 2mm
Distance between chucks: 10mm
Load: 5gf
First heating start temperature: 25℃
First heating end temperature: 200℃
First heating rate: 20°C/min
Temperature cooling rate: 5℃/min
Second heating start temperature: 30℃
Second heating end temperature: 500℃
Second heating rate: 10°C/min
Atmosphere: Argon

<樹脂の重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布>
樹脂サンプルを8mg秤量し8mlの溶媒に浸漬し、3時間攪拌し樹脂溶液を得た。下記条件にて樹脂溶液をゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)分析し、標準ポリスチレン換算で重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布を算出した。
機器名 : 東ソー社製 HLC-8420GPC
カラム : TSKgel SuperAWH-H×2
溶媒 : DMAc(30mMの臭化リチウム添加)
流速 : 0.3ml/min
濃度 : 0.1%
注入量 : 10μl
温度 : 40℃
検出器 : RI
<Weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of resin>
8 mg of the resin sample was weighed, immersed in 8 ml of solvent, and stirred for 3 hours to obtain a resin solution. The resin solution was analyzed by gel permeation chromatography (GPC) under the following conditions, and the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution were calculated in terms of standard polystyrene.
Equipment name: Tosoh Corporation HLC-8420GPC
Column: TSKgel SuperAWH-H×2
Solvent: DMAc (30mM lithium bromide added)
Flow rate: 0.3ml/min
Concentration: 0.1%
Injection volume: 10μl
Temperature: 40℃
Detector: RI

<樹脂フィルムの厚さ>
マイクロメーター(ファインリューフ社製、ミリトロン1245D)を用いて測定した。
<Thickness of resin film>
Measurement was performed using a micrometer (Millitron 1245D, manufactured by Finereuf Co., Ltd.).

<樹脂フィルムの線膨張係数(CTE)>
樹脂フィルムの流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)それぞれサンプル3点において、下記条件にて伸縮率を測定し、35℃~50℃、50℃~65℃のように15℃の間隔での伸縮率/温度を測定し、この測定を200℃まで行い、全測定値の平均値をCTEとして算出した。
機器名 : MACサイエンス社製TMA4000S
試料長さ : 20mm
試料幅 : 2mm
昇温開始温度 : 25℃
昇温終了温度 : 400℃
昇温速度 : 5℃/min
雰囲気 : アルゴン
<Coefficient of linear expansion (CTE) of resin film>
The expansion and contraction ratio was measured at three samples each in the flow direction (MD direction) and width direction (TD direction) of the resin film under the following conditions, and the expansion and contraction ratio was measured at intervals of 15°C such as 35°C to 50°C and 50°C to 65°C. The expansion/contraction rate/temperature was measured up to 200° C., and the average value of all measured values was calculated as CTE.
Equipment name: TMA4000S manufactured by MAC Science
Sample length: 20mm
Sample width: 2mm
Heating start temperature: 25℃
Heating end temperature: 400℃
Temperature increase rate: 5℃/min
Atmosphere: Argon

<樹脂フィルムの引張弾性率>
樹脂フィルムの流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)にそれぞれ100mm×10mmの短冊状に切り出したものを試験片とした。試験片は、幅方向中央部分から切り出した。下記条件にて、MD方向、TD方向それぞれサンプル3点について、引張弾性率を測定し、全測定値の平均値を求めた。
機器名 : 島津製作所製オートグラフ(R)AG-5000A
チャック間距離 : 40mm
温度 : 25℃
引張速度 : 50mm/min
<Tensile modulus of resin film>
A test piece was prepared by cutting out a strip of 100 mm x 10 mm in the flow direction (MD direction) and width direction (TD direction) of the resin film. The test piece was cut out from the center portion in the width direction. The tensile modulus was measured for three samples each in the MD direction and the TD direction under the following conditions, and the average value of all measured values was determined.
Equipment name: Shimadzu Autograph (R) AG-5000A
Distance between chucks: 40mm
Temperature: 25℃
Tensile speed: 50mm/min

<樹脂フィルムの黄色度指数(イエローインデックス、YI)>
カラーメーター(ZE6000、日本電色社製)およびC2光源を使用して、ASTM D1925に準じて樹脂フィルムの三刺激値XYZ値を測定し、下記式により黄色度指数(YI)を算出した。尚、同様の測定を3回行い、その算術平均値を採用した。
YI=100×(1.28X-1.06Z)/Y
<Yellowness index (yellow index, YI) of resin film>
Using a color meter (ZE6000, manufactured by Nippon Denshoku Co., Ltd.) and a C2 light source, the tristimulus XYZ values of the resin film were measured according to ASTM D1925, and the yellowness index (YI) was calculated using the following formula. Note that similar measurements were performed three times and the arithmetic mean value was used.
YI=100×(1.28X-1.06Z)/Y

<樹脂フィルムの400nm光線透過率>
分光光度計(日立製作所製「U-2001」)を用いて波長400nmにおける樹脂フィルムの光線透過率を測定し、得られた値をランベルト・ベールの法則に従うものとして20μmの厚みに換算し、得られた値を樹脂フィルムの400nm光線透過率とした。尚、同様の測定を3回行い、その算術平均値を採用した。
<400nm light transmittance of resin film>
The light transmittance of the resin film at a wavelength of 400 nm was measured using a spectrophotometer (“U-2001” manufactured by Hitachi), and the obtained value was converted to a thickness of 20 μm based on the Beer-Lambert law. The obtained value was taken as the 400 nm light transmittance of the resin film. Note that similar measurements were performed three times and the arithmetic mean value was used.

<樹脂フィルムの全光線透過率(TT)>
HAZEMETER(NDH5000、日本電色社製)を用いて樹脂フィルムの全光線透過率(TT)を測定した。光源としてはD65ランプを使用した。尚、同様の測定を3回行い、その算術平均値を採用した。
<Total light transmittance (TT) of resin film>
The total light transmittance (TT) of the resin film was measured using HAZEMETER (NDH5000, manufactured by Nippon Denshoku Co., Ltd.). A D65 lamp was used as a light source. Note that similar measurements were performed three times and the arithmetic mean value was used.

〔合成例1(ポリアミド酸溶液Aの調製)〕
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、前記反応容器内に窒素雰囲気下、1470.8質量部の1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物(CBDA)、775.6質量部の4,4’-オキシジフタル酸(ODPA)、3202.4質量部の2,2’-ジトリフルオロメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(TFMB)、21795質量部のN,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)を仕込んで溶解させた後、室温で24時間攪拌し、固形分17.2質量部となる還元粘度4.5dl/gのポリアミド酸溶液Aを得た。得られた樹脂溶液中の樹脂の重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布の測定結果を表1に示す。
[Synthesis Example 1 (Preparation of polyamic acid solution A)]
After purging the inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring bar with nitrogen, 1470.8 parts by mass of 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride was added to the reaction vessel under a nitrogen atmosphere. (CBDA), 775.6 parts by mass of 4,4'-oxydiphthalic acid (ODPA), 3202.4 parts by mass of 2,2'-ditrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl (TFMB), 21795 parts by mass After charging and dissolving 1 part of N,N-dimethylacetamide (DMAc), the solution was stirred at room temperature for 24 hours to obtain a polyamic acid solution A with a solid content of 17.2 parts by mass and a reduced viscosity of 4.5 dl/g. . Table 1 shows the measurement results of the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the resin in the obtained resin solution.

〔合成例2(ポリイミド溶液Bの調製)〕
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、前記反応容器内に窒素雰囲気下、551質量部のN,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)と64.1質量部の2,2’-ジトリフルオロメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(TFMB)とを入れて攪拌し、TFMBをDMAc中に溶解させた。次いで、反応容器内を攪拌しながら、窒素気流下で、44.4質量部の4,4’-(2,2-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物(6FDA)、及び、29.4質量部のビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)を10分程度かけて投入し、そのまま温度が20~40℃の温度範囲となるように調整しながら6時間攪拌を続けて重合反応を行い、粘稠なポリアミド酸溶液を得た。
次に、得られたポリアミド酸溶液に410質量部のDMAcを加えて希釈した後、イミド化促進剤として25.83質量部のイソキノリンを加えて、ポリアミド酸溶液を攪拌しながら30~40℃の温度範囲に保ち、そこにイミド化剤として、122.5質量部の無水酢酸を約10分間かけてゆっくりと滴下しながら投入し、その後、更に液温を30~40℃に保って12時間攪拌を続けて化学イミド化反応を行って、ポリイミド溶液を得た。
次に、得られたイミド化剤、及び、イミド化促進剤を含むポリイミド溶液1000質量部を、攪拌装置と攪拌翼を備えた反応容器に移し変え、120rpmの速度で攪拌しながら15~25℃の温度に保ち、そこに1500質量部のメタノールを10g/分の速度で滴下させた。約800質量部のメタノールを投入したところでポリイミド溶液の濁りが確認され、粉体状のポリイミドの析出が確認された。引き続き1500質量部全量のメタノールを投入し、ポリイミドの析出を完了させた。続いて、反応容器の内容物を、吸引濾過装置により濾別し、更に1000質量部のメタノールを用いて洗浄・濾別した。その後、濾別したポリイミド粉体50質量部を局所排気装置のついた乾燥機を用いて、50℃で24時間乾燥させ、更に260℃で2時間乾燥させて、残りの揮発成分を除去して、ポリイミド粉体を得た。得られたポリイミド粉体の還元粘度は2.1dl/gであった。次に、得られたポリイミド粉体42質量部を168質量部のDMAcに溶解させて、固形分20質量部となるポリイミド溶液Bを得た。得られた樹脂溶液中の樹脂の重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布の測定結果を表1に示す。
[Synthesis example 2 (preparation of polyimide solution B)]
After purging the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring bar with nitrogen, 551 parts by mass of N,N-dimethylacetamide (DMAc) and 64.1 parts by mass of N,N-dimethylacetamide (DMAc) were added to the reaction vessel under a nitrogen atmosphere. 2,2'-ditrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl (TFMB) was added and stirred to dissolve TFMB in DMAc. Next, while stirring the inside of the reaction vessel, 44.4 parts by mass of 4,4'-(2,2-hexafluoroisopropylidene) diphthalic dianhydride (6FDA) and 29.4 parts by mass were added under a nitrogen stream. Mass parts of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) were added over about 10 minutes, and the temperature was adjusted to a temperature range of 20 to 40°C while stirring was continued for 6 hours to carry out a polymerization reaction. A viscous polyamic acid solution was obtained.
Next, after diluting the obtained polyamic acid solution by adding 410 parts by mass of DMAc, 25.83 parts by mass of isoquinoline was added as an imidization accelerator, and the polyamic acid solution was heated at 30 to 40°C while stirring. While keeping the temperature within the range, 122.5 parts by mass of acetic anhydride was slowly added dropwise as an imidizing agent over about 10 minutes, and then the liquid temperature was further maintained at 30 to 40°C and stirred for 12 hours. Subsequently, a chemical imidization reaction was performed to obtain a polyimide solution.
Next, 1000 parts by mass of the polyimide solution containing the obtained imidization agent and imidization accelerator was transferred to a reaction vessel equipped with a stirring device and stirring blades, and the mixture was heated to 15 to 25° C. while stirring at a speed of 120 rpm. 1500 parts by mass of methanol was added dropwise thereto at a rate of 10 g/min. When approximately 800 parts by mass of methanol was added, turbidity of the polyimide solution was observed, and precipitation of powdery polyimide was observed. Subsequently, 1500 parts by mass of methanol was added to complete the precipitation of polyimide. Subsequently, the contents of the reaction vessel were filtered using a suction filtration device, and further washed and filtered using 1000 parts by mass of methanol. Thereafter, 50 parts by mass of the filtered polyimide powder was dried at 50°C for 24 hours using a dryer equipped with a local exhaust system, and further dried at 260°C for 2 hours to remove the remaining volatile components. , polyimide powder was obtained. The reduced viscosity of the obtained polyimide powder was 2.1 dl/g. Next, 42 parts by mass of the obtained polyimide powder was dissolved in 168 parts by mass of DMAc to obtain a polyimide solution B having a solid content of 20 parts by mass. Table 1 shows the measurement results of the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the resin in the obtained resin solution.

〔合成例3(ポリイミド溶液Cの調整)〕
窒素導入管、ディーン・スターク装置、還流管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器に、窒素ガスを導入しながら、124.15質量部の4,4’-ジアミノジフェニルスルホン(4,4’-DDS)、124.15質量部の3,3’-ジアミノジフェニルスルホン(3,3’-DDS)、750質量部のガンマブチロラクトン(GBL)を加えた。続いて248.18質量部の4,4’-オキシジフタル酸無二水物(ODPA)、58.8質量部のビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、335質量部のGBL、390質量部のトルエンを室温で加えた後、内温160℃まで昇温し、160℃で1時間加熱還流を行い、イミド化を行った。イミド化完了後、180℃まで昇温し、トルエンを抜き出しながら反応を続けた。12時間反応後、オイルバスを外して室温に戻し固形分が20質量部となるようにGBLを1149質量部加え、還元粘度0.6dl/gのポリイミド溶液Cを得た。得られた樹脂溶液中の樹脂の重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布の測定結果を表1に示す。
[Synthesis Example 3 (Preparation of polyimide solution C)]
124.15 parts by mass of 4,4'-diaminodiphenylsulfone (4,4' -DDS), 124.15 parts by mass of 3,3'-diaminodiphenylsulfone (3,3'-DDS), and 750 parts by mass of gamma-butyrolactone (GBL) were added. This was followed by 248.18 parts by mass of 4,4'-oxydiphthalic anhydride (ODPA), 58.8 parts by mass of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 335 parts by mass of GBL, and 390 parts by mass. After adding toluene at room temperature, the internal temperature was raised to 160°C, and the mixture was heated under reflux at 160°C for 1 hour to perform imidization. After the imidization was completed, the temperature was raised to 180°C, and the reaction was continued while extracting toluene. After reacting for 12 hours, the oil bath was removed, the temperature was returned to room temperature, and 1149 parts by mass of GBL was added so that the solid content was 20 parts by mass to obtain a polyimide solution C with a reduced viscosity of 0.6 dl/g. Table 1 shows the measurement results of the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the resin in the obtained resin solution.

〔合成例4(ポリイミド溶液Dの調整)〕
窒素導入管、ディーン・スターク装置、還流管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器に窒素ガスを導入しながら、384.38質量部のノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸二無水物(CpODA)、348.45質量部の9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン(BAFL)、36.00質量部のトリエチルアミン、1465質量部のN-メチル-2-ピロリドン(NMP)、1465質量部のガンマブチロラクトン(GBL)、360質量部のトルエンを室温で加えた後、内温180℃まで昇温し、トルエンを留去しながら180℃で3時間加熱イミド化を行って、ポリイミド溶液を得た。
次に、得られたポリイミド溶液2500質量部を攪拌装置と攪拌翼を備えた反応容器に移し変え、120rpmの速度で攪拌しながら15~25℃の温度に保ち、そこに50000質量部のアセトンを10g/分の速度で滴下させた。約2500質量部を投入したところでポリイミド溶液の濁りが確認され、粉体状のポリイミドの析出が確認された。引き続き、残りの2500質量部のアセトンを投入し、ポリイミドの析出を完了させた。続いて、反応容器の内容物を、吸引濾過装置により濾別し、更に2000質量部のメタノールを用いて洗浄・濾別した。その後、濾別したポリイミド粉体300質量部を局所排気装置のついた乾燥機を用いて、50℃で24時間乾燥させ、更に260℃で2時間乾燥させて、残りの揮発成分を除去して、ポリイミド粉体を得た。得られたポリイミド粉体の還元粘度は0.7dl/gであった。次に、得られたポリイミド粉体42質量部を168質量部のNMPに溶解させて、固形分20質量部となる還元粘度0.7dl/gのポリイミド溶液Dを得た。得られた樹脂溶液中の樹脂の重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布の測定結果を表1に示す。
[Synthesis Example 4 (Preparation of polyimide solution D)]
While introducing nitrogen gas into a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a Dean-Stark apparatus, a reflux tube, a thermometer, and a stirring bar, 384.38 parts by mass of norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α' was added. -spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride (CpODA), 348.45 parts by mass of 9,9-bis(4-aminophenyl)fluorene ( BAFL), 36.00 parts by mass of triethylamine, 1465 parts by mass of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), 1465 parts by mass of gamma-butyrolactone (GBL), and 360 parts by mass of toluene were added at room temperature, and then the internal temperature The temperature was raised to 180°C, and heating imidization was performed at 180°C for 3 hours while toluene was distilled off to obtain a polyimide solution.
Next, 2,500 parts by mass of the obtained polyimide solution was transferred to a reaction vessel equipped with a stirring device and stirring blades, kept at a temperature of 15 to 25°C while stirring at a speed of 120 rpm, and 50,000 parts by mass of acetone was added thereto. It was dropped at a rate of 10 g/min. When about 2,500 parts by mass was added, turbidity of the polyimide solution was observed, and precipitation of powdery polyimide was observed. Subsequently, the remaining 2500 parts by mass of acetone was added to complete the precipitation of polyimide. Subsequently, the contents of the reaction vessel were filtered using a suction filtration device, and further washed and filtered using 2000 parts by mass of methanol. Thereafter, 300 parts by mass of the filtered polyimide powder was dried at 50°C for 24 hours using a dryer equipped with a local exhaust system, and further dried at 260°C for 2 hours to remove the remaining volatile components. , polyimide powder was obtained. The reduced viscosity of the obtained polyimide powder was 0.7 dl/g. Next, 42 parts by mass of the obtained polyimide powder was dissolved in 168 parts by mass of NMP to obtain a polyimide solution D having a solid content of 20 parts by mass and a reduced viscosity of 0.7 dl/g. Table 1 shows the measurement results of the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the resin in the obtained resin solution.

〔合成例5(ポリアミド酸溶液Eの調製)〕
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、前記反応容器内に窒素雰囲気下、196.1質量部の1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物(CBDA)、227.3質量部の4-アミノ-N-(4-アミノフェニル)ベンズアミド(DABAN)、及び、1694質量部のN,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)を仕込んで溶解させた後、室温で24時間攪拌し、固形分20質量部となる還元粘度4.5dl/gのポリアミド酸溶液Eを得た。得られた樹脂溶液中の樹脂の重量平均分子量、数平均分子量および分子量分布の測定結果を表1に示す。
[Synthesis Example 5 (Preparation of polyamic acid solution E)]
After purging the inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring bar with nitrogen, 196.1 parts by mass of 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride was added to the reaction vessel under a nitrogen atmosphere. After charging and dissolving 227.3 parts by mass of 4-amino-N-(4-aminophenyl)benzamide (DABAN), and 1694 parts by mass of N,N-dimethylacetamide (DMAc). The mixture was stirred at room temperature for 24 hours to obtain a polyamic acid solution E having a solid content of 20 parts by mass and a reduced viscosity of 4.5 dl/g. Table 1 shows the measurement results of the weight average molecular weight, number average molecular weight, and molecular weight distribution of the resin in the obtained resin solution.

〔ポリイミドフィルムの作製例1(実施例1~5)〕
ポリアミド酸溶液Aを、ダイコーターを用いて、フィルム作製支持体である鏡面仕上げしたステンレススチール製の無端連続ベルト上に塗布し(塗工幅1240mm)、90~115℃にて10分間乾燥した。乾燥後に自己支持性となったポリアミド酸フィルム(残留溶媒を9質量%含む)を支持体から剥離して両端をカットし、グリーンフィルムを得た。
得られたグリーンフィルムをピンテンターによって、最終ピンシート間隔が1140m
mとなるようにフィルム両端部を把持させ、マイクロ波加熱ゾーンと熱風循環装置を備えた連続加熱炉に挿入し、1段目170℃で1分間加熱、次いで昇温速度60℃/minで230℃まで昇温し、2段目230℃で1分間、次いで昇温速度60℃/minで350℃まで昇温し、3段目350℃で5分間として熱処理を施した。この時に2,450MHzのマイクロ波50kWをマイクロ波加熱ゾーンに導いた。その後、2分間で室温にまで冷却し、フィルムの両端部の平面性が悪い部分をスリッターにて切り落とし、ロール状に巻き上げ、表2に示す樹脂フィルム1Aを得た。以下同様にポリアミド酸溶液Aを他の樹脂溶液B、C、D、Eに変え、また支持体への塗布厚さを変えて、樹脂フィルム1B、1C、1D、1Eを得た。得られた樹脂フィルムの特性評価結果を表2に示す。
[Production example 1 of polyimide film (Examples 1 to 5)]
Polyamic acid solution A was applied using a die coater onto an endless continuous belt made of mirror-finished stainless steel that was a support for film production (coating width 1240 mm), and dried at 90 to 115° C. for 10 minutes. The polyamic acid film (containing 9% by mass of residual solvent), which became self-supporting after drying, was peeled off from the support and both ends were cut to obtain a green film.
The obtained green film was processed using a pin tenter until the final pin sheet spacing was 1140 m.
Grip both ends of the film so that the temperature is 60°C/min, insert the film into a continuous heating furnace equipped with a microwave heating zone and a hot air circulation device, heat the film at 170°C for 1 minute in the first stage, and then heat the film at a heating rate of 60°C/min to 230°C. The temperature was raised to 230°C for 1 minute in the second stage, then the temperature was raised to 350°C at a heating rate of 60°C/min, and the heat treatment was performed in the third stage at 350°C for 5 minutes. At this time, 50 kW of 2,450 MHz microwave was introduced into the microwave heating zone. Thereafter, the film was cooled to room temperature for 2 minutes, portions with poor flatness at both ends of the film were cut off using a slitter, and the film was rolled up into a roll to obtain a resin film 1A shown in Table 2. Thereafter, polyamic acid solution A was similarly changed to other resin solutions B, C, D, and E, and the coating thickness on the support was changed to obtain resin films 1B, 1C, 1D, and 1E. Table 2 shows the characteristics evaluation results of the obtained resin film.

〔ポリイミドフィルムの作製例2(実施例6~10)〕
ポリアミド酸溶液Aを、フィルム作製支持体であるところの、領域表面粗さ(Sa)が1nm、最大突起高さ(Sp)が7nm、山頂点密度(Spd)が20/平方μm以下であり、表面にコート層を有しないポリエステルフイルムにコンマコーターを用いて、塗布し(塗工幅1240mm)、90~115℃にて10分間乾燥した。乾燥後に自己支持性となったポリアミド酸フィルム(残留溶媒を10質量%含む)を支持体から剥離して両端をカットし、グリーンフィルムを得た。得られたグリーンフィルムをピンテンターによって、最終ピンシート間隔が1140mmとなるようにフィルム両端部を把持させ、マイクロ波加熱ゾーンと熱風循環装置を備えた連続加熱炉に挿入し、170℃から350℃まで昇温速度15℃/minで加熱昇温した。この時に2,450MHzのマイクロ波40kWをマイクロ波加熱ゾーンに導いた。その後、2分間で室温にまで冷却し、フィルムの両端部の平面性が悪い部分をスリッターにて切り落とし、ロール状に巻き上げ、表2に示す樹脂フィルム2Aを得た。以下同様にポリアミド酸溶液Aを他の樹脂溶液B、C、D、Eに変え、また支持体への塗布厚さを変えて、樹脂フィルム2B、2C、2D、2Eを得た。得られた樹脂フィルムの特性評価結果を表2に示す。
[Production example 2 of polyimide film (Examples 6 to 10)]
The polyamic acid solution A is used as a film production support, and the area surface roughness (Sa) is 1 nm, the maximum protrusion height (Sp) is 7 nm, and the peak density (Spd) is 20/square μm or less, It was coated on a polyester film without a coating layer on its surface using a comma coater (coating width: 1240 mm) and dried at 90 to 115° C. for 10 minutes. The polyamic acid film (containing 10% by mass of residual solvent) which became self-supporting after drying was peeled off from the support and both ends were cut to obtain a green film. The obtained green film was held at both ends with a pin tenter so that the final pin sheet spacing was 1140 mm, and then inserted into a continuous heating furnace equipped with a microwave heating zone and a hot air circulation device, and heated from 170°C to 350°C. The temperature was increased at a temperature increase rate of 15° C./min. At this time, 40 kW of 2,450 MHz microwave was introduced into the microwave heating zone. Thereafter, the film was cooled to room temperature for 2 minutes, portions with poor flatness at both ends of the film were cut off using a slitter, and the film was rolled up into a roll to obtain a resin film 2A shown in Table 2. Thereafter, polyamic acid solution A was similarly changed to other resin solutions B, C, D, and E, and the coating thickness on the support was changed to obtain resin films 2B, 2C, 2D, and 2E. Table 2 shows the characteristics evaluation results of the obtained resin film.

〔ポリイミドフィルムの作製例3(比較例1~5)〕
ポリアミド酸溶液Aを、ダイコーターを用いて、フィルム作製支持体である鏡面仕上げしたステンレススチール製の無端連続ベルト上に塗布し(塗工幅1240mm)、90~115℃にて10分間乾燥した。乾燥後に自己支持性となったポリアミド酸フィルム(残留溶媒を9質量%含む)を支持体から剥離して両端をカットし、グリーンフィルムを得た。
得られたグリーンフィルムをピンテンターによって、最終ピンシート間隔が1140mmとなるようにフィルム両端部を把持させ、熱風循環装置を備えた連続加熱炉に挿入し、170℃から350℃まで昇温速度15℃/minで加熱昇温した。その後、2分間で室温にまで冷却し、フィルムの両端部の平面性が悪い部分をスリッターにて切り落とし、ロール状に巻き上げ、表3に示す樹脂フィルム3Aを得た。以下同様にポリアミド酸溶液Aを他の樹脂溶液B、C、D、Eに変え、また支持体への塗布厚さを変えて、樹脂フィルム3B、3C、3D、3Eを得た。得られた樹脂フィルムの特性評価結果を表3に示す。
[Polyimide film production example 3 (comparative examples 1 to 5)]
Polyamic acid solution A was applied using a die coater onto an endless continuous belt made of mirror-finished stainless steel that was a support for film production (coating width 1240 mm), and dried at 90 to 115° C. for 10 minutes. The polyamic acid film (containing 9% by mass of residual solvent), which became self-supporting after drying, was peeled off from the support and both ends were cut to obtain a green film.
The obtained green film was held at both ends with a pin tenter so that the final pin sheet spacing was 1140 mm, and the film was inserted into a continuous heating furnace equipped with a hot air circulation device, and the temperature was raised from 170°C to 350°C at a rate of 15°C. The temperature was increased at a rate of /min. Thereafter, the film was cooled to room temperature for 2 minutes, portions with poor flatness at both ends of the film were cut off using a slitter, and the film was rolled up into a roll to obtain a resin film 3A shown in Table 3. Thereafter, polyamic acid solution A was similarly changed to other resin solutions B, C, D, and E, and the coating thickness on the support was changed to obtain resin films 3B, 3C, 3D, and 3E. Table 3 shows the characteristics evaluation results of the obtained resin film.

〔ポリイミドフィルムの作製例4(比較例6~10)〕
ポリアミド酸溶液Aを、フィルム作製支持体であるところの、領域表面粗さ(Sa)が1nm、最大突起高さ(Sp)が7nm、山頂点密度(Spd)が20/平方μm以下であり、表面にコート層を有しないポリエステルフイルムにコンマコーターを用いて、塗布し(塗工幅1240mm)、90~115℃にて10分間乾燥した。乾燥後に自己支持性となったポリアミド酸フィルム(残留溶媒を10質量%含む)を支持体から剥離して両端をカットし、グリーンフィルムを得た。得られたグリーンフィルムをピンテンターによって、最終ピンシート間隔が1140mmとなるようにフィルム両端部を把持させ、マイクロ波加熱ゾーンと熱風循環装置を備えた連続加熱炉に挿入し、170℃から350℃まで昇温速度70℃/minで加熱昇温し、350℃で4分間熱処理を施した。この時に2,450MHzのマイクロ波50kWをマイクロ波加熱ゾーンに導いた。その後、2分間で室温にまで冷却し、フィルムの両端部の平面性が悪い部分をスリッターにて切り落とし、ロール状に巻き上げ、表3に示す樹脂フィルム4Aを得た。以下同様にポリアミド酸溶液Aを他の樹脂溶液B、C、D、Eに変え、また支持体への塗布厚さを変えて、樹脂フィルム4B、4C、4D、4Eを得た。得られた樹脂フィルムの特性評価結果を表3に示す。
[Polyimide film production example 4 (comparative examples 6 to 10)]
The polyamic acid solution A is used as a film production support, and the area surface roughness (Sa) is 1 nm, the maximum protrusion height (Sp) is 7 nm, and the peak density (Spd) is 20/square μm or less, It was coated on a polyester film without a coating layer on its surface using a comma coater (coating width: 1240 mm) and dried at 90 to 115° C. for 10 minutes. The polyamic acid film (containing 10% by mass of residual solvent) which became self-supporting after drying was peeled off from the support and both ends were cut to obtain a green film. The obtained green film was held at both ends with a pin tenter so that the final pin sheet spacing was 1140 mm, and then inserted into a continuous heating furnace equipped with a microwave heating zone and a hot air circulation device, and heated from 170°C to 350°C. The temperature was increased at a temperature increase rate of 70° C./min, and heat treatment was performed at 350° C. for 4 minutes. At this time, 50 kW of 2,450 MHz microwave was introduced into the microwave heating zone. Thereafter, the film was cooled to room temperature for 2 minutes, portions with poor flatness at both ends of the film were cut off using a slitter, and the film was rolled up into a roll to obtain a resin film 4A shown in Table 3. Thereafter, polyamic acid solution A was similarly changed to other resin solutions B, C, D, and E, and the coating thickness on the support was changed to obtain resin films 4B, 4C, 4D, and 4E. Table 3 shows the characteristics evaluation results of the obtained resin film.

以上述べてきたように、本発明の樹脂フィルムは耐熱性と透明性に優れ、高温領域まで低い線膨張係数を保ち、高い引張弾性率を有し、樹脂フィルムのMD方向およびTD方向の線膨張係数および引張弾性率の比が小さく物性等方性が良好なため、タッチパネルやディスプレイ等の画像表示装置の前面板、電極周辺に極めて有用である。 As described above, the resin film of the present invention has excellent heat resistance and transparency, maintains a low coefficient of linear expansion even in high temperature ranges, has a high tensile modulus, and has high linear expansion in the MD and TD directions of the resin film. Since the ratio of the modulus and tensile modulus is small and the physical properties are isotropic, it is extremely useful for front plates and electrodes of image display devices such as touch panels and displays.

Claims (6)

ポリアミド酸樹脂溶液を支持体上に塗布、乾燥して溶媒を含有する樹脂フィルム積層体を作製する工程A、
前記積層体から前記支持体を剥離して溶媒を含有する樹脂フィルムを得る工程B、
前記溶媒を含有する樹脂フィルムから、溶媒を除去しながら脱水閉環反応する工程Cを含み、
前記工程Cが、昇温速度が5~60℃/分で昇温する、段数が2以上のステップ状に昇温する、のいずれか又は両方を組み合わせた方法で昇温され、
前記工程Cの少なくとも一部をマイクロ波加熱により行うことを特徴とし、
得られるポリイミド樹脂フィルムが下記(1)~(2)を満足する、
樹脂フィルムの製造方法。
(1)損失弾性率を貯蔵弾性率で除した値であるtanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)が250~500℃の範囲内にあり、前記tanδの温度依存曲線がピークとなる温度(A)と線膨張係数変曲点温度(B)が下記式の関係にある
(40+0.8×A) ≦ B < A
(2)前記樹脂フィルムの原料である樹脂の重量平均分子量が50,000~500,000の範囲内にあり、前記重量平均分子量を前記樹脂の数平均分子量で除した値である分子量分布が1.0~5.0の範囲内にある
Step A of applying a polyamic acid resin solution onto a support and drying it to produce a resin film laminate containing a solvent;
Step B of peeling the support from the laminate to obtain a resin film containing a solvent;
Step C of carrying out a dehydration ring closure reaction while removing the solvent from the resin film containing the solvent,
In the step C, the temperature is raised at a rate of 5 to 60°C/min, the temperature is raised in steps of 2 or more, or a combination of both.
At least a part of the step C is performed by microwave heating,
The obtained polyimide resin film satisfies the following (1) to (2),
Method for manufacturing resin film.
(1) The temperature (A) at which the temperature dependence curve of tan δ, which is the value obtained by dividing the loss modulus by the storage modulus, peaks is within the range of 250 to 500°C, and the temperature dependence curve of tan δ peaks. The temperature (A) and linear expansion coefficient inflection point temperature (B) have the following relationship (40+0.8×A) ≦ B < A
(2) The weight average molecular weight of the resin that is the raw material for the resin film is within the range of 50,000 to 500,000, and the molecular weight distribution, which is the value obtained by dividing the weight average molecular weight by the number average molecular weight of the resin, is 1. Within the range of .0 to 5.0
前記樹脂溶液が、双極子モーメントが3.0~6.0Dの範囲にあり前記樹脂を溶解する溶媒を含有する、請求項1に記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to claim 1, wherein the resin solution contains a solvent that has a dipole moment in the range of 3.0 to 6.0 D and dissolves the resin. さらに(3)~(4)を満足する請求項1または2に記載の樹脂フィルムの製造方法。
(3)MD方向およびTD方向の両方の35~200℃の範囲で測定した線膨張係数が-5ppm/℃~+55ppm/℃の範囲にあり、前記線膨張係数のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にある
(4)MD方向およびTD方向の両方の引張弾性率が2~20GPaの範囲にあり、前記引張弾性率のMD方向に対するTD方向の比が0.97~1.03の範囲にある
The method for producing a resin film according to claim 1 or 2, which further satisfies (3) to (4).
(3) The linear expansion coefficient measured in the range of 35 to 200°C in both the MD direction and the TD direction is in the range of -5 ppm/°C to +55 ppm/°C, and the ratio of the linear expansion coefficient in the TD direction to that in the MD direction is (4) The tensile modulus in both the MD and TD directions is in the range of 2 to 20 GPa, and the ratio of the tensile modulus in the TD direction to the MD direction is 0.97. ~1.03 range
イエローインデックスが10以下、波長400nmにおける光線透過率が70%以上、全光線透過率が85%以上であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the yellow index is 10 or less, the light transmittance at a wavelength of 400 nm is 70% or more, and the total light transmittance is 85% or more. 前記工程Cの初期温度が50~200℃の範囲にある、請求項1~4のいずれかに記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to any one of claims 1 to 4, wherein the initial temperature in step C is in the range of 50 to 200°C. 前記工程Cの最終温度が300~500℃の範囲にある、請求項1~5のいずれかに記載の樹脂フィルムの製造方法。 The method for producing a resin film according to any one of claims 1 to 5, wherein the final temperature in step C is in the range of 300 to 500°C.
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