JP2023132658A - Sand blast treatment method - Google Patents

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優子 中村
Yuko Nakamura
宗利 入澤
Munetoshi Irisawa
邦人 梶谷
Kunito Kajitani
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Abstract

To provide a sand blast treatment method which can remove a photosensitive resin layer after sand blast treatment from a carbon fiber-reinforced plastic without residues.SOLUTION: A sand blast treatment method includes: stacking a photosensitive resin layer which contains (A) an alkali-soluble cellulose derivative, (B) a photopolymerization initiator and (C) an urethane (meth)acrylate compound, and does not substantially contain (D) a carboxy group-containing acrylic resin, on a treated body made of a carbon fiber-reinforced plastic; imagewise exposing the photosensitive resin layer with light; removing a non-exposure part with an alkali developer and thereby forming a resist pattern on the treated body; and then subjecting the treated body to sand blast treatment through the resist pattern.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、サンドブラスト処理方法に関する。 The present invention relates to a sandblasting method.

従来、比剛性が高く、かつ密度および熱膨張係数が小さいといった特性を有する材料として、炭素繊維強化プラスチックが知られている。炭素繊維強化プラスチックは、炭素繊維を樹脂(ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂および熱可塑性樹脂)の中に入れて強度を向上させた複合材料であり、日用品、スポーツ用品、自動車および航空宇宙産業用途等、幅広い分野で利用されている。 BACKGROUND ART Carbon fiber reinforced plastics have been known as materials having high specific rigidity, low density, and low coefficient of thermal expansion. Carbon fiber reinforced plastic is a composite material that improves strength by putting carbon fibers in resin (polyester resin, vinyl ester resin, epoxy resin, phenolic resin, and thermoplastic resin), and is used in daily necessities, sporting goods, automobiles, and other materials. It is used in a wide range of fields, including the aerospace industry.

従来、炭素繊維強化プラスチックの微細加工の方法としては、レーザー加工、ドリルなどの工具を用いた切削加工、およびサンドブラスト処理が利用されている。サンドブラスト処理とは、被処理体上にマスク材としてレジストパターンを設けた後、研磨剤を吹き付けて非マスク部を選択的に切削する処理であり、被処理体ごとの加工部位が多数にわたる場合は生産性の観点からサンドブラストによる加工が有利である。特許文献1には、サンドブラスト耐性を有するレジスト層を用いて炭素繊維強化プラスチック製の被処理体を穴あけ加工する方法が記載されている。また、特許文献2には、サンドブラスト耐性を有するレジスト層の開口径を調節することで、サンドブラスト工程で炭素繊維強化プラスチック製の被処理体の毛羽立ちと剥離を抑制する加工方法が記載されている。 Conventionally, laser processing, cutting using a tool such as a drill, and sandblasting have been used as methods for microfabrication of carbon fiber reinforced plastics. Sandblasting is a process in which a resist pattern is provided as a mask material on the object to be processed, and then an abrasive is sprayed to selectively cut the non-mask areas. Processing by sandblasting is advantageous from the viewpoint of productivity. Patent Document 1 describes a method of drilling a workpiece made of carbon fiber reinforced plastic using a resist layer having sandblasting resistance. Further, Patent Document 2 describes a processing method that suppresses fluffing and peeling of a processed object made of carbon fiber reinforced plastic in a sandblasting process by adjusting the opening diameter of a resist layer having sandblasting resistance.

このサンドブラスト処理用のマスク材として用いられる感光性樹脂層としては、アルカリ可溶性樹脂、ウレタン(メタ)アクリレート、および光重合開始剤を含むことが一般的である。アルカリ可溶性樹脂としては、セルロース誘導体、または、カルボキシル基含有アクリル樹脂が知られている(例えば、特許文献3参照)。 The photosensitive resin layer used as a mask material for this sandblasting process generally contains an alkali-soluble resin, urethane (meth)acrylate, and a photopolymerization initiator. Cellulose derivatives or carboxyl group-containing acrylic resins are known as alkali-soluble resins (see, for example, Patent Document 3).

サンドブラスト処理による加工では、サンドブラスト処理後の被処理体からレジストパターンを除去する必要がある。特許文献4に記載されているように、水酸化ナトリウムなどのアルカリ金属の水酸化物、N-メチルジエタノールアミン、ピリジン、ピペリジンなどの塩基性化合物の水溶液を剥離液として使用する方法が知られている。 In processing by sandblasting, it is necessary to remove the resist pattern from the object to be processed after sandblasting. As described in Patent Document 4, a method is known in which an aqueous solution of a basic compound such as an alkali metal hydroxide such as sodium hydroxide, N-methyldiethanolamine, pyridine, or piperidine is used as a stripping solution. .

一方、マスク材として用いられる感光性樹脂層の粘着性が高く、またサンドブラスト処理後にレジストパターンの表層が微細な研磨剤に被覆されることによって剥離液が感光性樹脂層に浸透しにくくなることもある。その場合には、手や粘着テープなどを用いて直接レジストパターンを除去する方法、高温でレジストパターンを焼き飛ばす方法も用いることができる(特許文献5参照)。 On the other hand, the adhesiveness of the photosensitive resin layer used as a mask material is high, and the surface layer of the resist pattern is coated with fine abrasive after sandblasting, making it difficult for the stripping solution to penetrate into the photosensitive resin layer. be. In that case, a method of directly removing the resist pattern using hands or adhesive tape, or a method of burning off the resist pattern at high temperature can also be used (see Patent Document 5).

しかしながら、炭素繊維強化プラスチックは硬化後の感光性樹脂層との接着力が高く、剥離液を用いた除去でも被処理体上にレジストパターンの残渣が生じる場合があった。また手などで直接除去する方法でも、被処理体から剥がれる前にレジストパターンが破断して剥離が困難となる場合もあった。加えて高熱を伴う焼き飛ばす方法は炭素繊維強化プラスチックを構成する樹脂が劣化する恐れがあるため望ましくない。このためサンドブラスト処理後に炭素繊維強化プラスチック製の被処理体から該レジストパターンを残渣なく除去することが可能な炭素繊維強化プラスチックのサンドブラスト処理方法が求められていた。 However, carbon fiber-reinforced plastics have a high adhesive strength with the photosensitive resin layer after curing, and even when removed using a stripping solution, resist pattern residues may remain on the object to be processed. Furthermore, even when the resist pattern is directly removed by hand, the resist pattern may break before it is peeled off from the object, making it difficult to peel it off. In addition, a method of burning away that involves high heat is undesirable because the resin constituting the carbon fiber reinforced plastic may deteriorate. For this reason, there has been a need for a method for sandblasting carbon fiber reinforced plastics that can remove the resist pattern from a carbon fiber reinforced plastic object without leaving any residue after sandblasting.

特開2012-196751号公報Japanese Patent Application Publication No. 2012-196751 国際公開第2018-062101号公報International Publication No. 2018-062101 特開2012-27357号公報Japanese Patent Application Publication No. 2012-27357 特開2006-78868号公報Japanese Patent Application Publication No. 2006-78868 国際公開第2007-091476号公報International Publication No. 2007-091476

本発明の課題は、サンドブラスト処理後のレジストパターンを炭素繊維強化プラスチックから残渣なく除去することが可能なサンドブラスト処理方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a sandblasting method capable of removing a resist pattern after sandblasting from carbon fiber reinforced plastic without leaving any residue.

本発明者らは、鋭意検討した結果、下記に記載の発明により上記課題を解決できることを見出した。
炭素繊維強化プラスチック製の被処理体上に(A)アルカリ可溶性セルロース誘導体、(B)光重合開始剤、および(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含み、かつ(D)カルボキシ基含有アクリル樹脂を実質的に含まない感光性樹脂層を積層し、該感光性樹脂層に対して像様に露光を行い、非露光部をアルカリ現像液で除去することによって、前記被処理体上にレジストパターンを形成した後、該レジストパターンを介して前記被処理体をサンドブラスト処理するサンドブラスト処理方法。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above problems can be solved by the invention described below.
(A) an alkali-soluble cellulose derivative, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a urethane (meth)acrylate compound, and (D) a carboxy group-containing acrylic resin on an object made of carbon fiber reinforced plastic. A resist pattern is formed on the object to be processed by laminating a substantially free photosensitive resin layer, imagewise exposing the photosensitive resin layer, and removing the non-exposed areas with an alkaline developer. After forming the resist pattern, the object to be processed is subjected to sandblasting through the resist pattern.

本発明によって、サンドブラスト処理後のレジストパターンを炭素繊維強化プラスチックから残渣なく除去することが可能なサンドブラスト処理方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a sandblasting method capable of removing a resist pattern after sandblasting from carbon fiber reinforced plastic without leaving any residue.

以下、本発明のサンドブラスト処理方法について詳細に説明する。 Hereinafter, the sandblasting method of the present invention will be explained in detail.

本発明において炭素繊維強化プラスチック製の被処理体上に積層する感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂として(A)アルカリ可溶性セルロース誘導体を含有する。(A)アルカリ可溶性セルロース誘導体としては、セルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートサクシネート等が挙げられる。 In the present invention, the photosensitive resin layer laminated on the object to be processed made of carbon fiber reinforced plastic contains (A) an alkali-soluble cellulose derivative as an alkali-soluble resin. Examples of the alkali-soluble cellulose derivative (A) include cellulose acetate phthalate, hydroxypropylmethylcellulose phthalate, hydroxypropylmethylcellulose acetate phthalate, and hydroxypropylmethylcellulose acetate succinate.

(A)アルカリ可溶性セルロース誘導体の酸価は、30~500mgKOH/gであることが好ましく、100~300mgKOH/gであることがより好ましい。この酸価が、30mgKOH/g未満ではアルカリ現像の時間が長くなる傾向があり、一方、500mgKOH/gを超えると、耐ブラスト性が低下する場合がある。 The acid value of the alkali-soluble cellulose derivative (A) is preferably 30 to 500 mgKOH/g, more preferably 100 to 300 mgKOH/g. If this acid value is less than 30 mgKOH/g, the time for alkaline development tends to be longer, while if it exceeds 500 mgKOH/g, blast resistance may decrease.

また、(A)アルカリ可溶性セルロース誘導体の質量平均分子量は、10,000~200,000であることが好ましく、10,000~150,000であることがより好ましい。質量平均分子量が10,000未満では、本発明に用いられる感光性樹脂組成物を被膜状態に形成するのが困難になることがあり、一方、200,000を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が悪化する傾向がある。 Furthermore, the weight average molecular weight of the alkali-soluble cellulose derivative (A) is preferably from 10,000 to 200,000, more preferably from 10,000 to 150,000. If the mass average molecular weight is less than 10,000, it may be difficult to form the photosensitive resin composition used in the present invention into a film, whereas if it exceeds 200,000, the solubility in an alkaline developer may decrease. tends to get worse.

本発明における感光性樹脂層は(B)光重合開始剤を含有する。(B)光重合開始剤としては、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)ブタン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン等の芳香族ケトン;2-エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ベンズアントラキノン、2-フェニルアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、1,4-ナフトキノン、9,10-フェナントラキノン、2-メチル-1,4-ナフトキノン、2,3-ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)ベンジル]フェニル}-2-メチルプロパン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン等のアルキルフェノン類;2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル-,2-(o-ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(o-アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ビス(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(p-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体;9-フェニルアクリジン、1,7-ビス(9,9′-アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N-フェニルグリシン、N-フェニルグリシン誘導体;クマリン系化合物;ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4′-メチルジフェニルサルファイド、3,3′,4,4′-テトラ(t-ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4′-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4′-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物が挙げられる。上記2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体における2つの2,4,5-トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は、同一であって対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。これらは単独で、又は2種類以上を組み合わせて使用される。 The photosensitive resin layer in the present invention contains (B) a photopolymerization initiator. (B) As the photopolymerization initiator, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2- Aromatic ketones such as morpholinopropan-1-one; 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone , 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, etc. quinones; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methylbenzoin, and ethylbenzoin; benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-hydroxy-2- Methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl)benzyl]phenyl}-2-methylpropan-1-one, 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-( Alkylphenones such as 4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone; acylphosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide Class; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl-, 2-(o-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H- 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl)-4, 5-bis(methoxyphenyl)imidazole dimer, 2-(o-fluorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4,5-triarylimidazole dimers such as 2-(p-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer; 9-phenylacridine, 1,7-bis(9,9'-acridinyl) ) Acridine derivatives such as heptane; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives; Coumarin compounds; benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4 '-Methyldiphenyl sulfide, 3,3',4,4'-tetra(t-butylperoxycarbonyl)benzophenone, 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, etc. Examples include benzophenone compounds. The substituents on the aryl groups of the two 2,4,5-triarylimidazoles in the above 2,4,5-triarylimidazole dimer may be the same and give a symmetrical compound, or they may be different. Asymmetric compounds may also be provided. Furthermore, a thioxanthone compound and a tertiary amine compound may be combined, such as a combination of diethylthioxanthone and dimethylaminobenzoic acid. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明における感光性樹脂層は(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含有する。(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物とは、多価ヒドロキシ基を有する化合物と多価イソシアネート化合物とが反応した末端イソシアネート基を有する化合物と、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物との反応生成物をいう。前記多価ヒドロキシ基を有する化合物としては、末端にヒドロキシ基を有するポリエステル類、ポリエーテル類等が挙げられるが、ポリエステル類としては、ラクトン類が開環重合したポリエステル類、ポリカーボネート類、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール等のアルキレングリコールと、マレイン酸、フマル酸、グルタル酸、アジピン酸等のジカルボン酸との縮合反応で得られたポリエステル類が挙げられる。前記ラクトン類としては、具体的にはδ-バレロラクトン、ε-カプロラクトン、β-プロピオラクトン、α-メチル-β-プロピオラクトン、β-メチル-β-プロピオラクトン、α,α-ジメチル-β-プロピオラクトン、β,β-ジメチル-β-プロピオラクトン等が挙げられる。また、前記ポリカーボネート類としては、具体的にはビスフェノールA、ヒドロキノン、ジヒドロキシシクロヘキサノン等のジオールと、ジフェニルカーボネート、ホスゲン、無水コハク酸等のカルボニル化合物との反応生成物が挙げられる。また、前記ポリエーテル類としては、具体的にはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリペンタメチレングリコール等を挙げることができる。 The photosensitive resin layer in the present invention contains (C) a urethane (meth)acrylate compound. (C) Urethane (meth)acrylate compound is a reaction product of a compound having a terminal isocyanate group and a (meth)acrylate compound having a hydroxy group, which is the reaction between a compound having a polyvalent hydroxy group and a polyvalent isocyanate compound. means. Examples of the compound having a polyvalent hydroxyl group include polyesters and polyethers having a hydroxyl group at the end; examples of the polyester include polyesters obtained by ring-opening polymerization of lactones, polycarbonates, ethylene glycol, Examples include polyesters obtained by condensation reactions of alkylene glycols such as propylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, and dipropylene glycol with dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, glutaric acid, and adipic acid. Specifically, the lactones include δ-valerolactone, ε-caprolactone, β-propiolactone, α-methyl-β-propiolactone, β-methyl-β-propiolactone, α,α-dimethyl -β-propiolactone, β,β-dimethyl-β-propiolactone, and the like. Specific examples of the polycarbonates include reaction products of diols such as bisphenol A, hydroquinone, and dihydroxycyclohexanone and carbonyl compounds such as diphenyl carbonate, phosgene, and succinic anhydride. Further, specific examples of the polyethers include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, polypentamethylene glycol, and the like.

上記多価ヒドロキシ基を有する化合物と反応する多価イソシアネート化合物としては、具体的にはジメチレンジイソシアネート、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘプタメチレンジイソシアネート、2,2-ジメチルペンタン-1,5-ジイソシアネート、オクタメチレンジイソシアネート、2,5-ジメチルヘキサン-1,6-ジイソシアネート、2,2,4-トリメチルペンタン-1,5-ジイソシアネート、ノナメチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサンジイソシアネート、デカメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族または脂環式のジイソシアネート化合物を挙げることができ、その化合物の単独または2種類以上の混合物が使用できる。 Specific examples of the polyvalent isocyanate compound that reacts with the compound having a polyvalent hydroxy group include dimethylene diisocyanate, trimethylene diisocyanate, tetramethylene diisocyanate, pentamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, heptamethylene diisocyanate, 2,2- Dimethylpentane-1,5-diisocyanate, octamethylene diisocyanate, 2,5-dimethylhexane-1,6-diisocyanate, 2,2,4-trimethylpentane-1,5-diisocyanate, nonamethylene diisocyanate, 2,2,4 - Aliphatic or alicyclic diisocyanate compounds such as trimethylhexane diisocyanate, decamethylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate can be mentioned, and these compounds can be used alone or in a mixture of two or more types.

さらに、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、具体的には2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、3-ヒドロキシプロピルアクリレート、3-ヒドロキシプロピルメタクリレート、またそれら1molに対してε-カプロラクトンを1~10mol付加した化合物、を挙げることができ、その単独または2種類以上が混合して使用できる。 Further, as (meth)acrylate compounds having a hydroxy group, specifically, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, and ε- Compounds containing 1 to 10 mol of caprolactone can be mentioned, and these compounds can be used alone or in combination of two or more.

成分(C)は、カルボキシ基を含有していてもよい。カルボキシ基を含有することで、アルカリ現像液に対する溶解性が向上する傾向にある。カルボキシ基を含有する成分(C)は、最初に、ジイソシアネート化合物と、カルボキシ基を有するジオール化合物とを両末端にイソシアネート基が残るように反応させ次いでこの反応物の末端イソシアネート基に、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物を反応させることによって得ることができる。 Component (C) may contain a carboxy group. Containing a carboxyl group tends to improve solubility in an alkaline developer. Component (C) containing a carboxyl group is obtained by first reacting a diisocyanate compound and a diol compound having a carboxyl group so that isocyanate groups remain at both ends, and then adding a hydroxy group to the terminal isocyanate group of the reaction product. It can be obtained by reacting (meth)acrylate compounds that have.

成分(C)の質量平均分子量は、1,000~40,000とすることが好ましい。 The weight average molecular weight of component (C) is preferably 1,000 to 40,000.

本発明における感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂として(D)カルボキシ基含有アクリル樹脂を実質的に含有しない。(D)カルボキシ基含有アクリル樹脂としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート類に、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸類を共重合させたアクリル系重合体が挙げられる。また、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等のジカルボン酸や、それらの無水物やハーフエステル、スチレン、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド等のその他の共重合可能なエチレン性不飽和基を有する単量体を共重合させた重合体も含まれる。なお、ここでいう「実質的に」とは、カルボキシ基含有アクリル樹脂が感光性樹脂層の全質量に対して5質量%未満であることを言い、好ましくは2質量%以下、より好ましくは0質量%である。これによってレジストパターンと炭素繊維強化プラスチックの密着力を調整でき、サンドブラスト処理後のレジストパターンを炭素繊維強化プラスチックから残渣なく除去することが可能となる。カルボキシ基含有アクリル樹脂の含有量が感光性樹脂層の全質量に対して5質量%以上であると、後述するドライフィルムレジストの作製に用いる感光性樹脂組成物の塗工液で相分離が生じるほか、レジストパターンの形状不良や剥離不良が発生する。 The photosensitive resin layer in the present invention does not substantially contain (D) a carboxy group-containing acrylic resin as an alkali-soluble resin. (D) As the carboxyl group-containing acrylic resin, (meth)acrylates such as methyl (meth)acrylate and ethyl (meth)acrylate are copolymerized with ethylenically unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid. Examples include acrylic polymers. It also contains dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid, their anhydrides and half esters, and other copolymerizable ethylenically unsaturated groups such as styrene, (meth)acrylonitrile, and (meth)acrylamide. Also included are polymers obtained by copolymerizing monomers. Note that "substantially" as used herein means that the amount of the carboxy group-containing acrylic resin is less than 5% by mass based on the total mass of the photosensitive resin layer, preferably 2% by mass or less, and more preferably 0% by mass. Mass%. This makes it possible to adjust the adhesion between the resist pattern and the carbon fiber reinforced plastic, and to remove the resist pattern after sandblasting from the carbon fiber reinforced plastic without any residue. If the content of the carboxy group-containing acrylic resin is 5% by mass or more based on the total mass of the photosensitive resin layer, phase separation will occur in the coating solution of the photosensitive resin composition used for producing the dry film resist described below. In addition, defects in the shape of the resist pattern and defects in peeling occur.

感光性樹脂層には、必要に応じて、上記成分(A)~(C)以外の成分を含有させてもよい。このような成分としては、光重合性単量体、溶剤、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤(染料、顔料)、光発色剤、光減色材、熱発色防止剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱硬化剤、撥水剤および撥油剤等が挙げられ、各々上記成分(A)~(C)の合計量に対して0.01~20質量%程度含有することができる。これらの成分は1種を単独で、または2種類以上を組み合わせて用いることができる。 The photosensitive resin layer may contain components other than the above components (A) to (C), if necessary. Such components include photopolymerizable monomers, solvents, thermal polymerization inhibitors, plasticizers, colorants (dyes, pigments), photocoloring agents, photoreducing agents, thermal coloration inhibitors, fillers, and antifoaming agents. agents, flame retardants, adhesion-imparting agents, leveling agents, peel accelerators, antioxidants, fragrances, thermosetting agents, water repellents, oil repellents, etc., each of which is the sum of the above components (A) to (C). It can be contained in an amount of about 0.01 to 20% by mass based on the amount. These components can be used alone or in combination of two or more.

上記光重合性単量体とは、成分(C)ウレタン(メタ)アクリレート以外の、分子内に少なくとも1個の重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物である。例えば、多価アルコールにα,β-不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物;グリシジル基含有化合物にα,β-不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート;γ-クロロ-β-ヒドロキシプロピル-β′-(メタ)アクリロイルオキシエチル-o-フタレート、β-ヒドロキシアルキル-β′-(メタ)アクリロイルオキシアルキル-o-フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、EO変性および/またはPO変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。ここで、EOおよびPOは、エチレンオキサイドおよびプロピレンオキサイドを示し、エチレンオキサイドのブロック構造および/またはプロピレンオキサイドのブロック構造を有するノニルフェニル(メタ)アクリレートである。これらの光重合性単量体は単独で、または2種類以上を組み合わせて用いることができる。 The photopolymerizable monomer is a compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule, other than component (C) urethane (meth)acrylate. For example, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α,β-unsaturated carboxylic acid; a bisphenol A-based (meth)acrylate compound; a compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α,β-unsaturated carboxylic acid. Compound; Nonylphenoxypolyethyleneoxyacrylate; γ-chloro-β-hydroxypropyl-β'-(meth)acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β'-(meth)acryloyloxyalkyl-o-phthalate, etc. Examples include phthalic acid compounds; (meth)acrylic acid alkyl esters, EO-modified and/or PO-modified nonylphenyl (meth)acrylates, and the like. Here, EO and PO represent ethylene oxide and propylene oxide, and are nonylphenyl (meth)acrylates having an ethylene oxide block structure and/or a propylene oxide block structure. These photopolymerizable monomers can be used alone or in combination of two or more types.

また、上記光重合性単量体としては、分子内に3個以上の重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物を使用してもよい。分子内に3個以上の重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート等が挙げられ、これらを単独で、あるいは2種以上で用いることができる。 Further, as the photopolymerizable monomer, a compound having three or more polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule may be used. Examples of photopolymerizable compounds having three or more polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule include trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, and pentaerythritol tri(meth)acrylate. acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri(meth)acrylate, etc., and these may be used alone or Two or more types can be used.

本発明における感光性樹脂層において、(A)の含有量は、(A)、(B)、および(C)の総量に対して20~50質量%であることが好ましく、25~35質量%であることがより好ましい。(A)の含有量が20質量%未満では、皮膜性が悪くなる場合や、現像性が低下する場合がある。(A)の含有量が50質量%を超えると、レジストパターンの解像性が低下する場合がある。 In the photosensitive resin layer of the present invention, the content of (A) is preferably 20 to 50% by mass, and 25 to 35% by mass based on the total amount of (A), (B), and (C). It is more preferable that If the content of (A) is less than 20% by mass, film properties may deteriorate or developability may deteriorate. If the content of (A) exceeds 50% by mass, the resolution of the resist pattern may decrease.

(B)の含有量は、(A)、(B)、および(C)の総量に対して0.1~10質量%であることが好ましく、0.2~5質量%であることがより好ましい。(B)の含有量が0.1質量%未満では、光重合性が不十分となる場合がある。一方、10質量%を超えると、露光の際に感光性樹脂層の表面で吸収が増大して、感光性樹脂層内部の光架橋が不十分となる場合がある。 The content of (B) is preferably 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.2 to 5% by mass based on the total amount of (A), (B), and (C). preferable. If the content of (B) is less than 0.1% by mass, photopolymerizability may become insufficient. On the other hand, if it exceeds 10% by mass, absorption may increase on the surface of the photosensitive resin layer during exposure, resulting in insufficient photocrosslinking within the photosensitive resin layer.

(C)の含有量は、(A)、(B)、および(C)の総量に対して40~75質量%であることが好ましく、55~70質量%であることがより好ましい。(C)の含有量が40質量%未満では、架橋性の低下、また、光感度が不十分となる場合がある。一方、75質量%を超えると、感光性樹脂層の膜表面の粘着性が増加する場合がある。 The content of (C) is preferably 40 to 75% by mass, more preferably 55 to 70% by mass, based on the total amount of (A), (B), and (C). If the content of (C) is less than 40% by mass, crosslinking properties may decrease and photosensitivity may become insufficient. On the other hand, if it exceeds 75% by mass, the tackiness of the film surface of the photosensitive resin layer may increase.

本発明における感光性樹脂層は、上記した成分(A)~(C)およびその他の成分を含む感光性樹脂組成物を含有する層であり、炭素繊維強化プラスチック製の被処理体上に感光性樹脂層を積層する方法としては、被処理体上に感光性樹脂組成物を直接塗布、乾燥して感光性樹脂層を積層することもできるが、より均一な感光性樹脂層を得る観点から、支持体(キャリアーフィルム)上に該感光性樹脂組成物を塗工、乾燥することで感光性樹脂層を形成したドライフィルムレジスト(DFR)を作製し、該DFRの感光性樹脂層の面を被処理体に積層する方法が好適に用いられる。また、DFRは、該感光性樹脂層の上にカバーフィルムを有していてもよい。 The photosensitive resin layer in the present invention is a layer containing a photosensitive resin composition containing the above-mentioned components (A) to (C) and other components. As a method for laminating the resin layer, it is also possible to directly apply the photosensitive resin composition onto the object to be treated and dry it to laminate the photosensitive resin layer, but from the viewpoint of obtaining a more uniform photosensitive resin layer, A dry film resist (DFR) in which a photosensitive resin layer is formed by coating and drying the photosensitive resin composition on a support (carrier film) is prepared, and the surface of the photosensitive resin layer of the DFR is coated. A method of laminating on a processing body is preferably used. Further, the DFR may have a cover film on the photosensitive resin layer.

感光性樹脂層を支持する支持体としては、活性光線を透過させる透明フィルムが好ましい。支持体の厚みについては、薄い方が光の屈折が少ないので好ましく、厚い方が塗工安定性に優れるため、10~100μmが好ましい。このようなフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート等のフィルムが挙げられる。 As the support for supporting the photosensitive resin layer, a transparent film that transmits actinic rays is preferable. The thickness of the support is preferably 10 to 100 μm because the thinner it is, the less light is refracted, and the thicker it is, the better the coating stability is. Examples of such films include films of polyethylene terephthalate, polycarbonate, and the like.

カバーフィルムとしては、未硬化の感光性樹脂層を剥離できればよく、離型性の高い樹脂のフィルムが用いられる。例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、シリコン等の離型剤が塗工されたポリエチレンフィルム等が挙げられる。 The cover film only needs to be able to peel off the uncured photosensitive resin layer, and a resin film with high mold releasability is used. Examples include polyethylene film, polypropylene film, and polyethylene film coated with a release agent such as silicone.

本実施形態に係る炭素繊維強化プラスチック製の被処理体の表面加工方法は、被処理体上に、上述の感光性樹脂層を、ラミネータ等を利用して貼り付ける工程と、貼り付けた感光性樹脂層にマスクパターンを介して露光し、所定箇所に硬化部を形成する工程と、未硬化の感光性樹脂層を現像液によって除去してレジストパターンを形成する工程と、研磨剤を吹き付けてレジストパターンが形成されていない部分の炭素繊維強化プラスチック製の被処理体を切削するサンドブラスト処理工程と、サンドブラスト処理工程後に、切削された炭素繊維強化プラスチック製の被処理体からレジストパターンを除去する剥離工程を含む。 The surface processing method for a workpiece made of carbon fiber-reinforced plastic according to the present embodiment includes a step of pasting the above-mentioned photosensitive resin layer on the workpiece using a laminator, A process of exposing the resin layer to light through a mask pattern to form cured parts at predetermined locations, a process of removing the uncured photosensitive resin layer with a developer to form a resist pattern, and a process of spraying an abrasive to form a resist pattern. A sandblasting process in which the part of the carbon fiber-reinforced plastic object where no pattern is formed is cut; and a peeling process in which the resist pattern is removed from the cut carbon fiber-reinforced plastic object after the sandblasting process. including.

被処理体へ感光性樹脂層を積層する工程においては、被処理体側から感光性樹脂層、支持体の順になるように被処理体上に積層する。 In the step of laminating the photosensitive resin layer on the object to be processed, the photosensitive resin layer and the support are laminated on the object to be processed in this order from the side of the object to be processed.

積層方法としては、ラミネータ等を用いて、感光性樹脂層を加熱しながら被処理体に圧着することにより積層する方法等が挙げられる。 Examples of the lamination method include a method of laminating the photosensitive resin layer by pressing it onto the object to be processed while heating it using a laminator or the like.

上記積層の際の感光性樹脂層の加熱温度は70~130℃とすることが好ましく、圧着圧力は0.1~1.0MPaとすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、上記のように感光性樹脂層を70~130℃に加熱すれば、予め被処理体を予熱処理することは必要ではないが、密着性をさらに向上させるために、被処理体の予熱処理を行うこともできる。 The heating temperature of the photosensitive resin layer during the above-mentioned lamination is preferably 70 to 130° C., and the compression pressure is preferably 0.1 to 1.0 MPa, but these conditions are not particularly limited. In addition, if the photosensitive resin layer is heated to 70 to 130°C as described above, it is not necessary to preheat the object to be processed, but in order to further improve the adhesion, preheating the object to be processed is necessary. You can also do

このようにして被処理体上に感光性樹脂層を形成した後に、貼り付けた感光性樹脂層に対してマスク材を介して露光を行い、所定箇所に光硬化部を形成する。この際、感光性樹脂層上に存在する支持体が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができるが、不透明の場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂層に活性光線を照射することが好ましい。 After forming the photosensitive resin layer on the object to be processed in this manner, the pasted photosensitive resin layer is exposed to light through a mask material to form photocured portions at predetermined locations. At this time, if the support present on the photosensitive resin layer is transparent, the active light can be irradiated as is, but if it is opaque, the active light can be applied to the photosensitive resin layer after removing the support. It is preferable to irradiate.

露光の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等、紫外線を有効に放射するものを用いることができる。紫外線の照射量および照射時間は、感光性樹脂層に応じて適切に設定できる。露光方法としては、例えば、マスクパターンをドライフィルムに密着させて露光する接触露光法、マスクパターンをドライフィルムに密着させずに平行光線を使用して露光する非接触露光法などが挙げられる。 As a light source for exposure, a known light source that effectively emits ultraviolet rays can be used, such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, etc. The irradiation amount and irradiation time of ultraviolet rays can be appropriately set depending on the photosensitive resin layer. Examples of the exposure method include a contact exposure method in which the mask pattern is exposed to light by bringing it into close contact with the dry film, and a non-contact exposure method in which the mask pattern is exposed using parallel light without being brought into close contact with the dry film.

露光後、感光性樹脂層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、現像工程において、ウェット現像、ドライ現像等で硬化部以外の感光性樹脂層を除去し、レジストパターンを形成させる。本発明においては、コスト面に優れるウェット現像が好ましい。 After exposure, if a support exists on the photosensitive resin layer, after removing the support, in the development step, remove the photosensitive resin layer other than the cured part by wet development, dry development, etc. A resist pattern is formed. In the present invention, wet development is preferred because it is cost effective.

ウェット現像の場合は、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられ、例えば、20~50℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液(0.2質量%水溶液)等が用いられる。 In the case of wet development, development is performed using a developer such as an alkaline aqueous solution by a known method such as spraying, oscillating immersion, brushing, or scraping. As the developer, one that is safe, stable, and has good operability is used, such as a dilute solution (0.2% by mass aqueous solution) of sodium carbonate at 20 to 50°C.

サンドブラスト処理工程においては、得られたレジストパターンをマスク材として用い、研磨剤を吹き付けてレジストパターンが形成されていない部分の炭素繊維強化プラスチック製の被処理体を切削する。サンドブラストに用いる研磨剤(ブラスト材)としては、公知の種々のものが用いられ、例えば、シリカ、ガラス等の無機化合物;スチール、ステンレス、亜鉛、銅等の金属化合物;ガーネット、ジルコニア、炭化ケイ素、アルミナ、ボロンカーバイト等のセラミックス;ドライアイス等を主成分とした粒子等の平均粒径が2~100μm程度の粒子が用いられる。 In the sandblasting process, the obtained resist pattern is used as a mask material, and an abrasive is sprayed to cut the part of the object made of carbon fiber reinforced plastic where the resist pattern is not formed. Various known abrasives (blasting materials) are used for sandblasting, such as inorganic compounds such as silica and glass; metal compounds such as steel, stainless steel, zinc, and copper; garnet, zirconia, silicon carbide, Ceramics such as alumina and boron carbide; particles having an average particle size of about 2 to 100 μm, such as particles mainly composed of dry ice, etc., are used.

研磨剤による被処理体の切削の後、剥離液を用いて炭素繊維強化プラスチック製の被処理体上からレジストパターンを除去する剥離工程を行う。剥離工程に用いられる剥離液としては、例えば、水酸化ナトリウムなどのアルカリ金属の水酸化物、N-メチルジエタノールアミン、ピリジン、ピペリジンなどの塩基性化合物の水溶液などが挙げられる。なお、剥離液を用いる代わりに、手や粘着テープなどを用いて直接感光性樹脂層を除去する方法、高温で感光性樹脂層を焼き飛ばす方法もある。 After cutting the object to be processed using an abrasive, a stripping process is performed in which the resist pattern is removed from the object to be processed made of carbon fiber reinforced plastic using a stripping liquid. Examples of the stripping solution used in the stripping step include aqueous solutions of alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide, basic compounds such as N-methyldiethanolamine, pyridine, and piperidine, and the like. Note that instead of using a stripping solution, there is also a method of directly removing the photosensitive resin layer by hand or using an adhesive tape, or a method of burning off the photosensitive resin layer at high temperature.

以下実施例によって本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。 The present invention will be explained in more detail below with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

(実施例1~4、比較例1~3)
表1に示す各成分を混合し、感光性樹脂層用の塗工液を作製した。表1における各成分配合量の単位は、質量部を表す。得られた塗工液を、アプリケーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(商品名:R310、25μm厚、三菱ケミカル(株)製、支持体)上に塗工し、80℃で8分間乾燥し、溶剤成分を飛ばし、PETフィルムの片面上に感光性樹脂層(乾燥膜厚:70μm)を設け、該感光性樹脂層の上にカバーフィルムとしてポリエチレンフィルム(商品名:GF1、30μ厚、タマポリ社製)を積層して、実施例1~4および比較例1~3のDFRを得た。なお、比較例1については、塗工液が相分離し、均一に混合できなかったため、良好な面質のDFRを得ることができなかった。
(Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 to 3)
Each component shown in Table 1 was mixed to prepare a coating solution for a photosensitive resin layer. The unit of the amount of each component in Table 1 represents parts by mass. The obtained coating liquid was applied onto a polyethylene terephthalate (PET) film (trade name: R310, 25 μm thick, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, support) using an applicator, and dried at 80°C for 8 minutes. Then, the solvent component was evaporated, a photosensitive resin layer (dry film thickness: 70 μm) was provided on one side of the PET film, and a polyethylene film (trade name: GF1, 30 μm thick, Tamapoly) was placed on the photosensitive resin layer as a cover film. DFRs of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 were obtained by laminating the DFRs of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3. In addition, in Comparative Example 1, the coating liquid phase-separated and could not be mixed uniformly, so that DFR with good surface quality could not be obtained.

表1において、各成分は以下の通りである。
(A-1);セルロースアセテートフタレート(質量平均分子量61000、酸価200mgKOH/g)
(A-2);ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート(信越化学工業(株)製、質量平均分子量45000、酸価120mgKOH/g)
(B-1)2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体
(B-2)4,4′-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(C-1)紫光(登録商標)UV―3000B(三菱ケミカル(株)製ウレタンアクリレート)
(C-2)DURA-167(共栄社化学(株)製カルボキシ基含有ウレタンアクリレート)
(D-1);メチルメタクリレート/n-ブチルアクリレート/メタクリル酸を質量比58/15/27で共重合させた共重合樹脂(質量平均分子量30000)
In Table 1, each component is as follows.
(A-1); Cellulose acetate phthalate (mass average molecular weight 61000, acid value 200mgKOH/g)
(A-2); Hydroxypropyl methyl cellulose phthalate (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., mass average molecular weight 45,000, acid value 120 mgKOH/g)
(B-1) 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer (B-2) 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone (C-1) Shiko (registered trademark) UV-3000B (Urethane acrylate manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
(C-2) DURA-167 (carboxy group-containing urethane acrylate manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
(D-1); Copolymer resin obtained by copolymerizing methyl methacrylate/n-butyl acrylate/methacrylic acid at a mass ratio of 58/15/27 (mass average molecular weight 30,000)

次に、サンドブラスト処理を施す炭素繊維強化プラスチック製の被処理体として、3mm厚で大きさ15cm×15cmのピッチ系炭素繊維による板状ドライカーボンを用意した。このドライカーボンの片面に実施例1~4および比較例2、3で得られたDFRのカバーフィルムを剥離して感光性樹脂層の面を、ラミネータを用いて温度100℃、圧力0.2MPaで積層した。次に、ドライカーボンに貼り付けたDFRに対して直径1mmの円形パターンを9点有するフォトマスクを介して高圧水銀灯(85mJ/cm)で露光した。次に、DFRのPETフィルムを剥離し、0.2%炭酸ナトリウム水溶液にてアルカリ現像を実施し、非露光部の感光性樹脂層を除去した。続いて100メッシュの炭化珪素を用いて、実施例1~4および比較例2、3の板状ドライカーボンに対してサンドブラストで切削速度1秒/mmとなるようにレジストパターンの上から穴あけ加工(サンドブラスト処理)を行い、9点の穴あけ加工を施した。 Next, a dry carbon plate made of pitch-based carbon fibers with a thickness of 3 mm and a size of 15 cm x 15 cm was prepared as a target object made of carbon fiber reinforced plastic to be subjected to sandblasting. The DFR cover film obtained in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 2 and 3 was peeled off from one side of this dry carbon, and the surface of the photosensitive resin layer was coated with a laminator at a temperature of 100°C and a pressure of 0.2 MPa. Laminated. Next, the DFR attached to the dry carbon was exposed to light using a high-pressure mercury lamp (85 mJ/cm 2 ) through a photomask having nine circular patterns each having a diameter of 1 mm. Next, the DFR PET film was peeled off, and alkaline development was performed using a 0.2% sodium carbonate aqueous solution to remove the photosensitive resin layer in the non-exposed areas. Next, using 100 mesh silicon carbide, the plate-shaped dry carbons of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 2 and 3 were sandblasted to make holes from above the resist pattern at a cutting speed of 1 second/mm ( sandblasting) and drilling at 9 points.

サンドブラスト処理後の実施例1~4および比較例2、3の板状ドライカーボンに対して、OPP粘着テープ(日東電工CSシステム(株)製、商品名「EA-3925」)を貼り付け、レジストパターンの剥離を試みた。結果、実施例1~4ではレジストパターンの剥離が可能であったが、比較例2、3では剥離が非常に困難であり、かつ、ドライカーボンから剥離する前にレジストパターンが破断し、レジストパターンを完全に除去できなかった。 OPP adhesive tape (manufactured by Nitto Denko CS System Co., Ltd., trade name "EA-3925") was attached to the dry carbon plates of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 2 and 3 after sandblasting, and a resist was applied. I tried peeling off the pattern. As a result, in Examples 1 to 4, the resist pattern could be peeled off, but in Comparative Examples 2 and 3, it was very difficult to peel off, and the resist pattern was broken before being peeled off from the dry carbon, causing the resist pattern to peel off. could not be completely removed.

本発明は、炭素繊維強化プラスチック製の被処理体をサンドブラスト処理によって被処理体に残渣なく加工する方法を提供できる。 The present invention can provide a method for processing an object made of carbon fiber reinforced plastic by sandblasting without leaving any residue.

Claims (1)

炭素繊維強化プラスチック製の被処理体上に(A)アルカリ可溶性セルロース誘導体、(B)光重合開始剤、および(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含み、かつ(D)カルボキシ基含有アクリル樹脂を実質的に含まない感光性樹脂層を積層し、該感光性樹脂層に対して像様に露光を行い、非露光部をアルカリ現像液で除去することによって、前記被処理体上にレジストパターンを形成した後、該レジストパターンを介して前記被処理体をサンドブラスト処理するサンドブラスト処理方法。 (A) an alkali-soluble cellulose derivative, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a urethane (meth)acrylate compound, and (D) a carboxy group-containing acrylic resin on an object made of carbon fiber reinforced plastic. A resist pattern is formed on the object to be processed by laminating a substantially free photosensitive resin layer, imagewise exposing the photosensitive resin layer, and removing the non-exposed areas with an alkaline developer. After forming the resist pattern, the object to be processed is subjected to sandblasting through the resist pattern.
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