JP2023127100A - Optical characteristic measuring instrument - Google Patents
Optical characteristic measuring instrument Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023127100A JP2023127100A JP2022030668A JP2022030668A JP2023127100A JP 2023127100 A JP2023127100 A JP 2023127100A JP 2022030668 A JP2022030668 A JP 2022030668A JP 2022030668 A JP2022030668 A JP 2022030668A JP 2023127100 A JP2023127100 A JP 2023127100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- light
- measurement
- irradiation light
- optical property
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 129
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 70
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 35
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
本発明は、試料の光学特性を測定する光学特性測定器に関する。 The present invention relates to an optical property measuring device for measuring optical properties of a sample.
ヘーズ(曇り)、光沢(つや)、色、像鮮明度(写像性)などの物体の見え方(試料の光学特性)を、数値として定量的に評価する測定器として、例えば、ヘーズメーター、光沢計、測色計、写像性測定器などの光学特性測定器が、提案されている(例えば、特許文献1参照)。 For example, the haze meter, gloss Optical property measuring instruments such as a colorimeter, a colorimeter, and an image clarity measuring instrument have been proposed (for example, see Patent Document 1).
ところで、このような光学特性測定器では一般に、簡易な構成としたり、利便性を向上させたりすることが、求められている。簡易な構成で利便性を向上させることが可能な、光学特性測定器を提供することが望ましい。 Incidentally, such optical property measuring instruments are generally required to have a simple configuration and improved convenience. It is desirable to provide an optical property measuring instrument that can improve convenience with a simple configuration.
本発明の一実施の形態に係る光学特性測定器は、試料における光学特性を測定する機器であって、光学特性を測定するための照射光を出射する光源と、照射光を利用して試料における光学特性を測定する測定機構と、光学特性を測定する際に、照射光の測定光路上における測定領域に、試料が配置される試料室と、開閉可能に構成されており、試料室を外部に対して露出または遮断させるための試料扉と、試料扉の開閉状態に連動して、測定領域に対する照射光の照射状態と非照射状態とを切り替える切替機構と、を備えたものである。 An optical property measuring device according to an embodiment of the present invention is a device for measuring optical properties of a sample, and includes a light source that emits irradiation light for measuring optical properties, and a light source that emits irradiation light for measuring optical properties; It consists of a measurement mechanism that measures optical properties, a sample chamber in which the sample is placed in the measurement area on the measurement optical path of the irradiated light when measuring the optical properties, and a sample chamber that can be opened and closed. The device includes a sample door for exposing or blocking the sample door, and a switching mechanism that switches between an irradiation state and a non-irradiation state of the irradiation light on the measurement area in conjunction with the open/closed state of the sample door.
本発明の一実施の形態に係る光学特性測定器によれば、簡易な構成で利便性を向上させることが可能となる。 According to the optical property measuring device according to an embodiment of the present invention, it is possible to improve convenience with a simple configuration.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.第1の実施の形態(試料扉の開閉に連動して照射光の照射状態を切り替える例)
2.第1の実施の形態の変形例
変形例1(積分球に補償開口を更に設けるようにした例)
3.第2の実施の形態(試料の保持部材としての試料台に吸引用開口を設けた例)
4.第2の実施の形態の変形例
変形例2(防塵機能を有するフィルタを更に設けるようにした例)
変形例3(試料の保持部材および試料扉としての試料ホルダに吸引用開口を設けた例)
5.その他の変形例
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Note that the explanation will be given in the following order.
1. First embodiment (example of switching the irradiation state of irradiation light in conjunction with opening and closing of the sample door)
2. Modifications of the first embodiment Modification 1 (an example in which the integrating sphere is further provided with a compensation aperture)
3. Second embodiment (example in which a suction opening is provided on the sample stage as a sample holding member)
4. Modifications of the second embodiment Modification 2 (an example in which a filter having a dustproof function is further provided)
Modification example 3 (example in which a suction opening is provided in the sample holding member and the sample holder serving as the sample door)
5. Other variations
<1.第1の実施の形態>
[構成]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る光学特性測定器(光学特性測定器1)の概略構成例を、模式的に表したものである。
<1. First embodiment>
[composition]
FIG. 1 schematically shows an example of a schematic configuration of an optical property measuring device (optical property measuring device 1) according to a first embodiment of the present invention.
光学特性測定器1は、試料室140内に配置された各種の材料からなる試料9について、ヘーズ(曇り)、光沢(つや)、色、像鮮明度(写像性)などの光学特性を、数値として定量的に評価する測定器である。特に本実施の形態の光学特性測定器1は、試料9の曇り度合いとしてのヘーズ値を評価する、ヘーズメーターとして構成されている。
The optical property measuring
光学特性測定器1は、図1に示したように、筐体10内に、光源11、レンズ系12a、反射板131、シャッターSを有する遮光板130、試料室140、試料台141、および、試料扉142を、備えている。光学特性測定器1はまた、積分球15、光トラップ160、受光部161、測定部162、センサー163、および、制御部19を、備えている。
As shown in FIG. 1, the optical
ここで、シャッターS、センサー163および制御部19は、本発明における「切替機構」の一具体例に対応している。また、積分球15、受光部161および測定部162は、本発明における「測定機構(照射光を利用して、試料における光学特性を測定する機構)」の一具体例に対応している。
Here, the shutter S, the
光源11は、試料9の光学特性を測定するための照射光Loを出射する光源である。光源11から出射された照射光Loは、図1に示したように、レンズ系12aおよび反射板131を介して、測定光路P1に沿って、遮光板130および試料9(試料9上の測定領域Am)の方向へ向けて、進行するようになっている。この光源11は、例えば、ハロゲンランプ等のランプ光源や、LED(半導体発光素子)などを用いて構成されている。
The
遮光板130は、図1に示したように、試料室140の上面側(光源11と試料9上の測定領域Amとの間)に配置されており、測定光路P1上を進行する照射光Loが通過可能な、シャッターS(シャッター開口)を有している。この遮光板130は、後述する制御部19から供給される制御信号CTLに従って、例えば図1中に示した方向d1(X軸方向)に沿って、移動(変位)することが可能となっている。これにより後述するように、シャッターSの開状態(照射光Loの通過状態)と、シャッターSの閉状態(照射光Loの非通過状態(遮断状態))とが、切り替えられるようになっている。
As shown in FIG. 1, the
試料室140は、試料9の光学特性を測定する際に、照射光Loの測定光路P1上における測定領域Amに、試料9が配置される部屋である。具体的には、試料9の光学特性を測定する際に、試料室140内において、試料台141上に試料9が載置されて、保持されている。また、図1に示したように、本実施の形態では、試料9の光学特性を測定する際に、試料室140内において、測定光路P1上を進行する照射光Loが試料9に照射され、試料9を透過した光が入口開口A1から積分球15へと入射されるように構成されている。
The
試料扉142は、図1の例では、試料室140の前面(Z-X平面)上に配置可能に構成されている。具体的には、この試料扉142は、図1中に示した方向d2(Z軸方向)に沿って開閉可能に構成されており、試料室140を光学特性測定器1の外部に対して露出または遮断させるための扉となっている。つまり、詳細は後述するが、試料扉142が開状態に設定された場合には、試料室140が外部に露出されている状態(露出状態)に設定され、試料扉142が閉状態に設定された場合には、試料室140が外部から遮断された状態(遮断状態)に設定されるようになっている。
In the example of FIG. 1, the
積分球15は、図1に示したように、試料室140の下方に配置されており、照射光Loにおける測定光路P1上に配置された入口開口A1と、出口開口A3とを有する、球面状体となっている。積分球15の内面は、拡散反射面となっている。また、この積分球15の外部における入口開口A1付近において、試料台141上に試料9が載置されている。一方、積分球15の外部における出口開口A3付近には、積分球15の外部(下方)において、光トラップ160が配置されている。これにより、入口開口A1を介して積分球15内に入射した照射光Loのうち、平行光が光トラップ160にて吸収されると共に、散乱した光は積分球15の内面(拡散反射面)で拡散反射され、図示しない開口を介して、後述する受光部161によって受光されるようになっている。
The
受光部161は、積分球15上の入口開口A1から約90°の中心角をなす位置に配置されており、積分球15内において拡散反射された光(測定光Lm)を、受光するものである。この受光部161は、例えば、Si(シリコン)フォトダイオード等を含んで構成されている。
The
測定部162は、受光部161において得られた受光データDに基づいて、所定の処理を行うものである。この所定の処理により、受光データDに基づいて、試料9の光学特性の測定データが得られるようになっている。
The measuring
センサー163は、試料扉142の開閉状態を検出するセンサーである。このセンサー163による、試料扉142の開閉状態の検出結果は、図1に示したように、制御部19へと出力されるようになっている。
The
制御部19は、光学特性測定器1全体の動作を制御する部分である。本実施の形態では制御部19は、このような制御動作の1つとして、詳細は後述するが、センサー163による検出結果(試料扉142の開閉状態の検出結果)に応じて、シャッターSを開状態または閉状態に設定するようになっている。
The
[動作および作用・効果]
(切替動作)
この光学特性測定器1では、試料扉142の開閉状態に連動して、試料9が配置された測定領域Amに対する、照射光Loの照射状態と非照射状態とが、切り替えられる。以下、このような切替動作について、詳細に説明する。
[Operation and action/effect]
(switching operation)
In this optical
ここで、図2は、光学特性測定器1における試料扉142の閉状態での構成例を、模式的に表したものである。また、図3は、光学特性測定器1における試料扉142の開状態での構成例を、模式的に表したものである。
Here, FIG. 2 schematically represents a configuration example of the optical
まず、図2に示した試料扉142の閉状態では、試料扉142が下方に(図2中に示した方向d2に沿って)下ろされた状態となり、試料室140が、光学特性測定器1の外部から遮断された状態(遮断状態)に設定される。このような試料扉142の閉状態の際には、制御部19によって、シャッターSが閉状態となるように、遮光板130が移動される(図2中に示した方向d1参照)。このようにしてシャッターSが閉状態に設定されることで、図2に示したように、光源11から出射されて測定光路P1上を進行する照射光Loが、遮光板130上で遮断され、その結果、測定領域Amに対して、照射光Loが非照射状態となるように設定される(図2参照)。また、このような測定領域Amに対する照射光Loの非照射状態の際にも、図2に示したように、光源11では、照射光Loの出射状態が維持されている。
First, in the closed state of the
一方、図3に示した試料扉142の開状態では、試料扉142が上方に(図3中に示した方向d2に沿って)上げられた状態となり、試料室140が、光学特性測定器1の外部に露出された状態(露出状態)に設定される。このような試料扉142の開状態の際には、制御部19によって、シャッターSが開状態となるように、遮光板130が移動される(図3中に示した方向d1参照)。このようにしてシャッターSが開状態に設定されることで、図3に示したように、光源11から出射されて測定光路P1上を進行する照射光Loが、遮光板130上で遮断されずにシャッターS内を通過する結果、測定領域Amに対して、照射光Loが照射状態となるように設定される(図3参照)。
On the other hand, in the open state of the
(作用・効果)
このようにして、本実施の形態の光学特性測定器1では、照射光Loを利用して試料9の光学特性を測定する際に、試料扉142の開閉状態に連動して、試料9が配置された測定領域Amに対する、照射光Loの照射状態と非照射状態とが切り替えられる。
(action/effect)
In this way, in the optical
これにより本実施の形態では、例えば、測定領域(測定位置)を確認(観察)するための光源(投光器や観察光源など)や機構(観察光源の挿抜機構など)等の専用部材を、別途設けることなく、照射光Loを利用して測定領域の確認を行うことができる。よって、本実施の形態の光学特性測定器1では、そのような専用部材を別途設けるようにした比較例1の場合等と比べ、簡易な構成で利便性を向上させることが可能となる。
As a result, in this embodiment, for example, dedicated members such as a light source (such as a floodlight or an observation light source) and a mechanism (such as an insertion/extraction mechanism for an observation light source) for confirming (observing) the measurement area (measurement position) are separately provided. The measurement area can be confirmed using the irradiation light Lo without any trouble. Therefore, in the optical
また、本実施の形態では、測定領域Amに対する照射光Loの非照射状態の際にも、光源11において、照射光Loの出射状態を維持する(光源11を消灯させない)ようにしたので、以下のようになる。すなわち、光源11から出射される照射光Loの照度が安定化するため、この照射光Loを利用した測定の際に、測定精度の低下を防止することができる。これは、光源11が前述したランプ光源を用いて構成されている場合、光源11の消灯や点灯を繰り返すと、照射光Loの照度が不安定になってしまうからである。
Furthermore, in the present embodiment, even when the measurement area Am is not irradiated with the irradiation light Lo, the
更に、本実施の形態では、試料扉142の閉状態(試料室140が外部から遮断されている状態)では、シャッターSを閉状態に設定することによって、測定領域Amに対して照射光Loが非照射状態となるようにしたので、以下のようになる。すなわち、試料扉142を閉状態にして測定を開始した際に、最初にシャッターSを閉じる動作が不要となることから、測定時間を短縮することが可能となる。これは、従来では測定開始時に、シャッターSを、スイッチなどを用いて手動で閉状態に設定する必要があり、測定時間の増大につながっていたためである。
Furthermore, in the present embodiment, when the
以下、上記第1の実施の形態の変形例(変形例1)、ならびに、本発明の他の実施の形態(第2の実施の形態)およびその変形例(変形例2,3)について、説明する。なお、以下では、第1の実施の形態等における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, a modification of the first embodiment (modification 1), other embodiments of the present invention (second embodiment), and modifications thereof (modifications 2 and 3) will be explained. do. In addition, below, the same code|symbol is attached|subjected to the same component as 1st Embodiment etc., and description is abbreviate|omitted suitably.
<2.第1の実施の形態の変形例>
続いて、上記第1の実施の形態の変形例(変形例1)について説明する。
<2. Modification of the first embodiment>
Next, a modification (modification 1) of the first embodiment will be described.
[変形例1]
図4は、変形例1に係る光学特性測定器(光学特性測定器1A)の概略構成例を、模式的に表したものである。
[Modification 1]
FIG. 4 schematically shows an example of a schematic configuration of an optical property measuring device (optical
この図4に示した変形例1の光学特性測定器1Aは、図1に示した第1の実施の形態の光学特性測定器1において、いわゆるダブルビーム方式の光学測定器に変更したものに対応している。具体的には、光学特性測定器1Aは、光学特性測定器1において、測定光路P1とは異なる補償光路P2上に、レンズ系12bおよび反射板132を更に設けると共に、積分球15上に補償開口A2を更に設けたものに対応しており、他の構成は基本的には同様となっている。
The optical
補償開口A2は、積分球15において、照射光Loの補償光路P2上に配置されている。具体的には、光源11から出射された照射光Loが、補償光路P2上のレンズ系12bおよび反射板132を介して、積分球15上の補償開口A2へと到達するようになっている。
The compensation aperture A2 is arranged on the compensation optical path P2 of the irradiation light Lo in the integrating
このようにして光学特性測定器1Aでは、測定光路P1上の入口開口A1を介した照射光Loと、補償光路P2上の補償開口A2を介した照射光Loとが、積分球15の内部に、交互に入射するように構成されている。これにより光学特性測定器1Aでは、経時変化による照射光Loの光量減少が、補償光路P2を利用して常時補償されるため、長時間での安定した測定が実現可能となっている。より詳しくは、測定開始時にシャッターSを閉状態に設定し、補償光路P2上の図示しないシャッターを、開状態に設定する。照射光Loは試料9を介さずに積分球15内に入射されるため、単純に照射光Loの光量が受光部161にて得られる。続いて、シャッターSを開状態に設定し、補償光路P2上のシャッターを、閉状態に設定する。照射光Loは試料9に照射されると共に、透過した光が積分球15内に入射され、試料9の光学特性が測定される。このとき、試料9を透過した光によって得られた測定値を、試料9を介さずに測定した光の経時変化(光の安定性)によって、補正する。このように、測定開始時の動作は、シャッターSの閉状態から開始されるため、試料扉142を閉状態に設定して測定を開始した際に、最初にシャッターSを閉じる動作が不要となることから、測定時間を短縮することが可能となる。
In this manner, in the optical
このような変形例1においても、基本的には、第1の実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能となる。すなわち、簡易な構成で利便性を向上させることが可能となる。 Also in the first modification, it is basically possible to obtain the same effects through the same actions as in the first embodiment. That is, it becomes possible to improve convenience with a simple configuration.
<3.第2の実施の形態>
[構成]
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る光学特性測定器(光学特性測定器1B)の概略構成例を、模式的に表したものである。また、図6は、図5に示した試料台(後述する試料台141B)の詳細構成例を、模式的に平面図(X-Y平面図)で表したものである。
<3. Second embodiment>
[composition]
FIG. 5 schematically shows an example of a schematic configuration of an optical property measuring device (optical property measuring device 1B) according to the second embodiment of the present invention. Further, FIG. 6 schematically shows a detailed configuration example of the sample stage (
図5に示した第2の実施の形態の光学特性測定器1Bは、図1に示した第1の実施の形態の光学特性測定器1において、試料台141の代わりに試料台141Bを設けると共に、チューブ171、ポンプ172および開口連結部材181を更に設けるようにしたものとなっており、他の構成は基本的には同様となっている。
The optical property measuring instrument 1B of the second embodiment shown in FIG. 5 is the same as the optical
試料台141Bは、試料室140内に試料9を配置する際に、試料9を保持する部材となっている。つまり、この試料台141Bは、本発明における「保持部材」の一具体例に対応している。具体的には、図5に示したように、この光学特性測定器1Bでは、試料9の光学特性を測定する際に、測定光路P1上を進行する照射光Loが試料9に照射され、試料9を透過した光が入口開口A1から積分球15に入射されるように、構成されている。また、試料台141B上に試料9が載置されることで、試料9が保持されるようになっている。
The
このような試料台141B上には、以下説明する吸引の際に使用される、1または複数の吸引用開口A4(図5,図6の例では、複数の吸引用開口A4)が、設けられている。具体的には、図6の例では、試料9が配置される測定領域Amの中央付近(入口開口A1付近)を中心として、その半径方向に沿って、吸引用開口A4が複数設けられている。詳細には、図6の例では、測定領域Amの中央付近を中心として、十字状(縦方向および横方向)に、複数の吸引用開口A4が設けられている。
On such a
ポンプ172は、チューブ171を介して、上記した吸引用開口A4上での吸引(試料9の吸引)を行う部材である。本実施の形態では、このような吸引の際の吸引強度が、例えば、試料9の撓みまたは反りの度合いに応じて、任意に調整可能となっていてもよい。つまり、ポンプ172等による吸引動作は、例えば、スイッチ等によって、オン状態(実行状態)とオフ状態(停止状態)とが切り替えられるようにしてもよいし、あるいは、吸引強度が連続的に変更できるようにしてもよい。
The
なお、これらのチューブ171およびポンプ172は、本発明における「吸引機構」の一具体例に対応している。
Note that these
開口連結部材181は、図5に示したように、試料台141Bの下方において、試料台141B上の吸引用開口A4と、吸引機構(チューブ171およびポンプ172)との間を、連結させる部材である。
As shown in FIG. 5, the
[作用・効果]
本実施の形態の光学特性測定器1Bでは、試料室140内において試料9を保持する試料台141Bに、吸引機構(チューブ171およびポンプ172)を用いた吸引の際に使用される、吸引用開口A4が設けられている。
[Action/Effect]
In the optical property measuring instrument 1B of this embodiment, a suction opening is provided in the
これにより本実施の形態では、例えば図7に示した比較例2に係る試料ホルダ101,102の場合等とは異なり、以下のようになる。
As a result, in this embodiment, unlike the case of
すなわち、まず、フィルムなどの薄い試料9の光学特性を測定する際に、試料9に撓みや反りがあると、試料9に対して照射光Loが正確な角度で入射しにくくなる場合があり、測定の際の再現性が低下してしまうおそれがある。
That is, first, when measuring the optical properties of a
ここで、図7に示した比較例2の場合、一対の試料ホルダ101,102(例えば、マグネット式やリング式などの専用の治具)を用いて、試料9を上下方向から挟むことで、試料9を保持(固定)するようにしている。ところが、このような比較例2の構成(上記したような専用の治具を用いた構成)では、照射光Loを利用して試料9の光学特性を測定する際に、例えば、専用の治具の設定に手間がかかったり、専用の治具に起因した痕(不可逆な測定痕)が試料9に残存してしまうおそれがある。
Here, in the case of Comparative Example 2 shown in FIG. 7, by sandwiching the
これに対して本実施の形態では、試料台141上に吸引用開口A4を設けて、吸引を利用して試料9を保持することから、上記比較例2の場合等とは異なり、以下のようになる。すなわち、本実施の形態では、専用の治具の設定の手間を省いたり、専用の治具に起因した痕が試料9に残存してしまうおそれを回避したうえで、試料9の撓みや反りを抑えた状態で、試料9を保持することができる。その結果、本実施の形態の光学特性測定器1Bでは、測定の際の再現性を向上させつつ、上記比較例2の場合等と比べ、利便性を向上させることが可能となる。
On the other hand, in this embodiment, the suction opening A4 is provided on the
また、本実施の形態では、測定領域Amの中央付近を中心として、半径方向に沿って、吸引用開口A4が複数設けられているようにした場合には、以下のようになる。すなわち、様々な大きさの試料9にも対応可能となるため、利便性を更に向上させることが可能となる。
Furthermore, in this embodiment, when a plurality of suction openings A4 are provided along the radial direction centered around the center of the measurement area Am, the following will occur. In other words, it becomes possible to handle
更に、本実施の形態では、吸引の際の吸引強度が、試料9の撓みまたは反りの度合いに応じて、任意に調整可能となっているので、以下のようになる。すなわち、吸引強度を連続的に変更できることから、試料9の硬さ(撓みや反りの度合い等)に応じて、吸引強度を適切に調整することができ、試料9に上記した痕が残存してしまうおそれを、より確実に回避することが可能となる。
Furthermore, in this embodiment, the suction strength during suction can be arbitrarily adjusted according to the degree of bending or warping of the
加えて、本実施の形態では、試料台141B上の吸引用開口A4と吸引機構(チューブ171およびポンプ172)との間を連結させる、開口連結部材181を設けるようにしたので、以下のようになる。すなわち、開口連結部材181にチューブ171等を連結させて、直接吸引しているため、筐体10内に配置されている各部材(制御部19や測定部162、光学系(積分球15や受光部161等))に、埃等が侵入するのを防止することができる。よって、これらの各部材での埃等による不具合などを回避することができ、光学特性測定器1Bにおける信頼性を向上させることが可能となる。
In addition, in this embodiment, since an
<4.第2の実施の形態の変形例>
続いて、上記第2の実施の形態の変形例(変形例2,3)について説明する。
<4. Modification of second embodiment>
Next, modified examples (modified examples 2 and 3) of the second embodiment will be described.
[変形例2]
図8は、変形例2に係る光学特性測定器(光学特性測定器1C)の概略構成例を、模式的に表したものである。
[Modification 2]
FIG. 8 schematically shows an example of a schematic configuration of an optical property measuring device (optical property measuring device 1C) according to Modification 2.
この図8に示した変形例2の光学特性測定器1Cは、図5に示した第2の実施の形態の光学特性測定器1Bにおいて、チューブ171および開口連結部材181の代わりに、吸引用空間170およびフィルタ182を設けるようにしたものとなっており、他の構成は基本的には同様となっている。
The optical property measuring device 1C of the second modification shown in FIG. 8 is the optical property measuring device 1B of the second embodiment shown in FIG. 170 and a
吸引用空間170内には、積分球15、受光部161、測定部162および制御部19等の各部材が、配置されている。この吸引用空間170は、図8に示したように、ポンプ172を用いて、例えば真空状態に設定されている。
In the
なお、これらの吸引用空間170およびポンプ172は、本発明における「吸引機構」の一具体例に対応している。
Note that these
フィルタ182は、試料台141Bと測定機構との間、具体的には、試料台141Bと隣接するように吸引用空間170との間に、配置されている。このフィルタ182は、防塵機能を有するフィルタとなっている。
The
このような変形例2においても、基本的には、第2の実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能となる。すなわち、測定の再現性を向上させつつ、利便性を向上させることが可能となる。 Even in the second modification, it is basically possible to obtain the same effects through the same actions as in the second embodiment. That is, it is possible to improve convenience while improving reproducibility of measurement.
また、特にこの変形例2では、試料台141Bと吸引用空間170との間に、防塵機能を有するフィルタ182を設けるようにしたので、以下のようになる。すなわち、吸引用空間170内に配置されている各部材(制御部19や測定部162、光学系(積分球15や受光部161等))に、埃等が侵入するのを防止することができる。よって、これらの各部材での埃等による不具合などを回避することができ、光学特性測定器1Cにおける信頼性を向上させることが可能となる。
Moreover, especially in this modification 2, a
[変形例3]
図9は、変形例3に係る光学特性測定器(光学特性測定器1D)の概略構成例を、模式的に表したものである。また、図10は、図9に示した試料ホルダ(後述する試料ホルダ141C)の詳細構成例を、模式的に断面図(Z-X断面図)で表したものである。
[Modification 3]
FIG. 9 schematically shows an example of a schematic configuration of an optical property measuring device (optical property measuring device 1D) according to Modification 3. Further, FIG. 10 schematically shows a detailed configuration example of the sample holder (
図9,図10に示した変形例3の光学特性測定器1Dは、これまでに説明してきた構成(照射光Loが試料9を透過する構成)とは異なり、以下のような構成となっている。すなわち、この光学特性測定器1Dでは、試料9の光学特性を測定する際に、光源11から照射された照射光Loが試料9にて反射されると共に、試料9にて反射された光を測定光Lmとして、受光部161にて受光する構成となっている。
The optical property measuring device 1D of Modification Example 3 shown in FIGS. 9 and 10 differs from the configuration described so far (the configuration in which the irradiation light Lo passes through the sample 9), and has the following configuration. There is. That is, in this optical property measuring device 1D, when measuring the optical properties of the
更に、例えば図9,図10に示したように、この変形例3の光学特性測定器1Dでは、図8に示した変形例2の光学特性測定器1Cにおいて、試料台141Bおよび試料扉142の代わりに、試料ホルダ141Cを設けると共に、フィルタ182を設けないようにした(省いた)ものとなっており、他の構成は基本的には同様となっている。
Furthermore, as shown in FIGS. 9 and 10, for example, in the optical property measuring device 1D of this modified example 3, in the optical property measuring device 1C of modified example 2 shown in FIG. Instead, a
試料ホルダ141Cは、例えば図9中に矢印d3で示したように、試料台上に載置されるようになっており、図9,図10に示したように、試料9を保持する部材である。つまり、この試料ホルダ141Cは、本発明における「保持部材」の一具体例に対応している。
The
また、図9,図10に示したように、試料ホルダ141Cにおける試料9の保持面上には、ポンプ172を用いた吸引の際に使用される、吸引用開口A4(この例では、複数の吸引用開口A4)が設けられている。
In addition, as shown in FIGS. 9 and 10, on the holding surface of the
このような変形例3においても、基本的には、第2の実施の形態や変形例2と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能となる。すなわち、測定の再現性を向上させつつ、利便性を向上させることが可能となる。 Even in the third modification, it is basically possible to obtain the same effects through the same actions as in the second embodiment and the second modification. That is, it is possible to improve convenience while improving reproducibility of measurement.
<5.その他の変形例>
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
<5. Other variations>
Although the present invention has been described above with reference to some embodiments and modifications, the present invention is not limited to these embodiments, etc., and various modifications are possible.
例えば、上記実施の形態等では、光学特性測定器における各機器の構成(形状、配置、個数等)を具体的に挙げて説明したが、これらの構成については、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。 For example, in the above embodiments, etc., the configuration (shape, arrangement, number, etc.) of each device in the optical property measuring instrument is specifically listed and explained. It is not limited to this, and other shapes, arrangements, numbers, etc. may be used.
具体的には、上記実施の形態等では、前述したランプ光源を用いて本発明における「光源」を構成する場合の例について説明したが、これには限られず、他の光源を用いて、本発明における「光源」を構成するようにしてもよい。 Specifically, in the above-mentioned embodiments, examples have been described in which the "light source" of the present invention is configured using the above-mentioned lamp light source, but the present invention is not limited to this, and other light sources may be used. It may also constitute a "light source" in the invention.
また、上記実施の形態等では、本発明における「切替機構」や「測定機構」、「吸引機構」および「保持部材」の構成例について、具体的に挙げて説明したが、これらの各機構の構成を、他の構成としてもよい。 Furthermore, in the above embodiments, examples of the configurations of the "switching mechanism", "measuring mechanism", "suction mechanism", and "holding member" in the present invention are specifically mentioned and explained. The configuration may be other configurations.
更に、例えば、第1および第2の実施の形態、ならびに変形例1~3にて説明した各種構成例を、任意の組み合わせにて構成するようにしてもよい。 Further, for example, the various configuration examples described in the first and second embodiments and the first to third modified examples may be configured in any combination.
加えて、上記実施の形態等では主に、試料の曇り度合いとしてのヘーズ値を評価する、ヘーズメーターとして構成された光学特性測定器を例に挙げて説明したが、この場合の例には限られない。すなわち、本発明に係る「光学特性測定器」は、例えば、試料の光沢(つや)、色、像鮮明度(写像性)などの、他の光学特性を測定する光学特性測定器においても、適用することが可能である。 In addition, in the above embodiments, an optical property measuring device configured as a haze meter that evaluates the haze value as the degree of cloudiness of a sample is mainly used as an example, but this example is not limited to this example. I can't do it. That is, the "optical property measuring device" according to the present invention can also be applied to optical property measuring devices that measure other optical properties such as gloss, color, and image definition of a sample. It is possible to do so.
また、上記実施の形態等で説明した一連の制御は、ハードウェア(回路)で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア(プログラム)で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、上記した各機能をコンピュータ(マイクロコンピュータ等)により実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。 Furthermore, the series of controls described in the above embodiments may be performed by hardware (circuits) or software (programs). When the software is used, the software is composed of a group of programs for causing a computer (microcomputer, etc.) to execute each of the above-mentioned functions. Each program may be used, for example, by being installed in the computer in advance, or may be installed into the computer from a network or a recording medium and used.
1,1A~1D…光学特性測定器、10…筐体、11…光源、12a,12b…レンズ系、130…遮光板、131,132…反射板、140…試料室、141,141B…試料台、141C…試料ホルダ、142…試料扉、15…積分球、160…光トラップ、161…受光部、162…測定部、163…センサー、170…吸引用空間、171…チューブ、172…ポンプ、181…開口連結部材、182…フィルタ、19…制御部、9…試料、Lm…測定光、Lo…照射光、P1…測定光路、P2…補償光路、S…シャッター、Am…測定領域、A1…入口開口、A2…補償開口、A3…出口開口、A4…吸引用開口、D…受光データ、CTL…制御信号、d1,d2…方向、d3…矢印。 1, 1A to 1D... Optical property measuring device, 10... Housing, 11... Light source, 12a, 12b... Lens system, 130... Light shielding plate, 131, 132... Reflection plate, 140... Sample chamber, 141, 141B... Sample stand , 141C... Sample holder, 142... Sample door, 15... Integrating sphere, 160... Optical trap, 161... Light receiving section, 162... Measurement section, 163... Sensor, 170... Space for suction, 171... Tube, 172... Pump, 181 ...Aperture connecting member, 182...Filter, 19...Control unit, 9...Sample, Lm...Measurement light, Lo...Irradiation light, P1...Measurement optical path, P2...Compensation optical path, S...Shutter, Am...Measurement area, A1...Entrance Aperture, A2...compensation aperture, A3...exit aperture, A4...suction aperture, D...light reception data, CTL...control signal, d1, d2...direction, d3...arrow.
Claims (10)
前記光学特性を測定するための照射光を出射する光源と、
前記照射光を利用して、前記試料における前記光学特性を測定する測定機構と、
前記光学特性を測定する際に、前記照射光の測定光路上における測定領域に、前記試料が配置される試料室と、
開閉可能に構成されており、前記試料室を外部に対して露出または遮断させるための試料扉と、
前記試料扉の開閉状態に連動して、前記測定領域に対する前記照射光の照射状態と非照射状態とを切り替える切替機構と
を備えた光学特性測定器。 An instrument for measuring optical properties in a sample,
a light source that emits irradiation light for measuring the optical characteristics;
a measurement mechanism that measures the optical properties of the sample using the irradiation light;
a sample chamber in which the sample is placed in a measurement area on the measurement optical path of the irradiation light when measuring the optical characteristics;
a sample door configured to be openable and closable and for exposing or blocking the sample chamber from the outside;
An optical property measuring instrument, comprising: a switching mechanism that switches between an irradiation state and a non-irradiation state of the irradiation light on the measurement region in conjunction with the open/close state of the sample door.
前記試料室が外部に露出されている前記試料扉の開状態では、前記測定領域に対して前記照射光が照射状態となるように設定し、
前記試料室が外部から遮断されている前記試料扉の閉状態では、前記測定領域に対して前記照射光が非照射状態となるように設定する
請求項1に記載の光学特性測定器。 The switching mechanism is
When the sample door is in an open state in which the sample chamber is exposed to the outside, the measurement area is set to be irradiated with the irradiation light,
The optical property measuring instrument according to claim 1, wherein the measurement area is set so that the irradiation light is not irradiated when the sample door is closed and the sample chamber is isolated from the outside.
請求項1または請求項2に記載の光学特性測定器。 The optical property measuring instrument according to claim 1 or 2, wherein the light source maintains the emission state of the irradiation light even when the measurement area is not irradiated with the irradiation light.
請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の光学特性測定器。 The optical property measuring instrument according to any one of claims 1 to 3, wherein the switching mechanism includes a shutter arranged between the light source and the measurement area.
前記試料室が外部に露出されている前記試料扉の開状態では、前記シャッターを開状態に設定することにより、前記測定領域に対して前記照射光が照射状態となるように設定し、
前記試料室が外部から遮断されている前記試料扉の閉状態では、前記シャッターを閉状態に設定することにより、前記測定領域に対して前記照射光が非照射状態となるように設定する
請求項4に記載の光学特性測定器。 The switching mechanism is
When the sample door is in an open state in which the sample chamber is exposed to the outside, the shutter is set in an open state so that the measurement region is irradiated with the irradiation light;
When the sample door is in a closed state where the sample chamber is shielded from the outside, the shutter is set in the closed state so that the measurement region is not irradiated with the irradiation light. 4. The optical property measuring device according to 4.
前記試料扉の開閉状態を検出するセンサーと、
前記センサーによる検出結果に応じて、前記シャッターを開状態または閉状態に設定する制御部と、
を更に含んでいる
請求項4または請求項5に記載の光学特性測定器。 The switching mechanism is
a sensor that detects the open/closed state of the sample door;
a control unit that sets the shutter to an open state or a closed state according to a detection result by the sensor;
The optical property measuring instrument according to claim 4 or 5, further comprising:
前記照射光における前記測定光路上に配置された入口開口を有する積分球と、
前記積分球から出射される光束を受光する受光部と、
前記受光部において得られた受光データに基づいて所定の処理を行うことにより、前記光学特性の測定データを得る測定部と、
を含んで構成されている
請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の光学特性測定器。 The measurement mechanism is
an integrating sphere having an entrance aperture disposed on the measurement optical path of the illumination light;
a light receiving unit that receives the light beam emitted from the integrating sphere;
a measurement unit that obtains measurement data of the optical characteristics by performing predetermined processing based on the light reception data obtained in the light reception unit;
The optical property measuring instrument according to any one of claims 1 to 6, comprising:
前記入口開口を介した前記照射光と、前記補償開口を介した前記照射光とが、前記積分球の内部に、交互に入射するように構成されている
請求項7に記載の光学特性測定器。 The integrating sphere further has a compensation aperture disposed on a compensation optical path of the illumination light, which is a different optical path than the measurement optical path,
The optical property measuring device according to claim 7, wherein the irradiation light through the entrance aperture and the irradiation light through the compensation aperture are configured to alternately enter the integrating sphere. .
前記保持部材は、吸引機構を用いた吸引の際に使用される、1または複数の吸引用開口を有する
請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の光学特性測定器。 further comprising a holding member that holds the sample when placing the sample in the sample chamber,
The optical property measuring instrument according to any one of claims 1 to 8, wherein the holding member has one or more suction openings used during suction using a suction mechanism.
ヘーズメーターとして構成されている
請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の光学特性測定器。 The optical property is a haze value as a degree of cloudiness of the sample,
The optical property measuring device according to any one of claims 1 to 9, configured as a haze meter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022030668A JP7450953B2 (en) | 2022-03-01 | 2022-03-01 | Optical property measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022030668A JP7450953B2 (en) | 2022-03-01 | 2022-03-01 | Optical property measuring instrument |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023127100A true JP2023127100A (en) | 2023-09-13 |
JP7450953B2 JP7450953B2 (en) | 2024-03-18 |
Family
ID=87971693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022030668A Active JP7450953B2 (en) | 2022-03-01 | 2022-03-01 | Optical property measuring instrument |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7450953B2 (en) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0381092B2 (en) * | 1982-08-04 | 1991-12-27 | Suga Test Instruments | |
JPH0961319A (en) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Shimadzu Corp | Suction type sample base |
JP2003270152A (en) * | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Aloka Co Ltd | Sample emission measuring device |
JP2004245979A (en) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Keyence Corp | Fluorescence microscope |
JP2008268059A (en) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | St Japan Inc | Sample holder |
JP2015114298A (en) * | 2013-12-16 | 2015-06-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Spectrophotometer and analysis system |
JP2019052972A (en) * | 2017-09-15 | 2019-04-04 | スガ試験機株式会社 | Optical characteristic measuring device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3100120U (en) | 2003-08-28 | 2004-04-30 | スガ試験機株式会社 | Haze computer |
JP2014215257A (en) | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 日本電色工業株式会社 | Haze value measuring device |
-
2022
- 2022-03-01 JP JP2022030668A patent/JP7450953B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0381092B2 (en) * | 1982-08-04 | 1991-12-27 | Suga Test Instruments | |
JPH0961319A (en) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Shimadzu Corp | Suction type sample base |
JP2003270152A (en) * | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Aloka Co Ltd | Sample emission measuring device |
JP2004245979A (en) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Keyence Corp | Fluorescence microscope |
JP2008268059A (en) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | St Japan Inc | Sample holder |
JP2015114298A (en) * | 2013-12-16 | 2015-06-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Spectrophotometer and analysis system |
JP2019052972A (en) * | 2017-09-15 | 2019-04-04 | スガ試験機株式会社 | Optical characteristic measuring device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7450953B2 (en) | 2024-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8427635B2 (en) | Method and system for standardizing microscope instruments | |
KR101015720B1 (en) | A method for ensuring quality of a sample carrier | |
KR100425412B1 (en) | A device for measuring the photometric and colorimetric characteristics of an object | |
KR100699733B1 (en) | Visual inspecting method and apparatus | |
KR101502304B1 (en) | Methods and apparatus for identifying thin films on a substrate | |
JP7450953B2 (en) | Optical property measuring instrument | |
JPH09311074A (en) | Illumination apparatus | |
JP2023127101A (en) | Optical characteristic measuring instrument | |
JP6096173B2 (en) | High luminous flux collimated illumination device and method for illumination of uniform reading field | |
JP2008046011A (en) | Surface inspecting device | |
JP2002014044A (en) | Fluorometric apparatus | |
JP2014517271A5 (en) | ||
JP2003021787A (en) | Observation device | |
TWI780472B (en) | Screening test strip reading system | |
US7022969B2 (en) | LED measuring device | |
JPH09218159A (en) | Lighting system and color measuring device | |
JPS5924378B2 (en) | Rotating cuvette type rapid analysis device | |
KR102608202B1 (en) | UV-VIS-NIR spectroscopic analyzer for measuring transmittance | |
US20240061328A1 (en) | Method and apparatus for characterization of a microlithography mask | |
CN212722577U (en) | Optical imaging device and optical imaging equipment | |
JP3662107B2 (en) | Pinhole inspection device | |
JPH01143904A (en) | Thin film inspecting device | |
WO2024026855A1 (en) | Neutralizing antibody period reading and measurement method based on rapid screening test strip | |
JPH05241077A (en) | Light measuring instrument | |
JP2023108619A (en) | Light source module for microscopes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230926 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7450953 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |