JP3662107B2

JP3662107B2 - Pinhole inspection device

Info

Publication number: JP3662107B2
Application number: JP09098398A
Authority: JP
Inventors: 雅明高井
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1998-03-19
Filing date: 1998-03-19
Publication date: 2005-06-22
Anticipated expiration: 2018-03-19
Also published as: JPH11271236A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ピンホール検査装置、より詳細には、照明光を被検サンプルに照射したときに透過する光量で、その被検サンプルに生じたピンホール欠陥の有無を判断するピンホール検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
透過光の検出によるピンホール欠陥の検査自体は、周知の技術であり、透過，反射，回折等を利用して、ピンホールや突起、塵埃を区別して検出するといった内容のものが多い。照射光を斜方から当てるものも多いが、目的は反射散乱光の強度からピンホールと突起や塵埃や傷などと区別することである。この種のものとしては、例えば、特開昭５７−１３３４０号公報で開示された「表面欠陥検査装置」がある。
【０００３】
又、照明光を被検サンプルに照射したときに透過する光量で、その被検サンプルに生じたピンホール欠陥の有無を判断するものとして、本出願人が特許出願した「ピンホール検査方法及び装置」がある（特願平１０−４０７５４号参照）。この発明は、傘状の突起部を持った金属板部品を被検サンプルとし、その突起部の傘下に隠れた部分に位置するピンホール欠陥の有無の検査を可能としたピンホール検査装置に関するものである。
そのピンホール検査装置は、ピンホール欠陥の位置や大きさ等の検査を必要とせず、上記のような被検サンプルに対してピンホール欠陥の有無のみを検査して測定サンプルが良品であるか否かを判断する場合において、簡易的に高速に検査を行うことができるので有効である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術を用いたピンホール検査装置において、最も問題となるのが光源光量の経時変化である。光源の光量が低下したとき、当然のことながらピンホール欠陥による透過光量も低下してしまう。さらに、ランプ切れを起こした場合には、ピンホール欠陥があっても透過光が得られなくなってしまう。すなわち、ピンホール欠陥のある被検サンプルを良品と判断してしまう可能性がある。
【０００５】
そこで本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、ピンホール検査装置において、常に同一の条件で検査を行うことが可能な装置を提供することを目的とする。また、ピンホール欠陥が突起部の傘下に隠れた部分に位置するものかどうか判断し、ピンホール欠陥の発生場所を簡略的に得ることが可能な装置を提供すること、及び検査領域の位置決めを行うことが可能な装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、検査領域サイズの開口を持ち板状の被検サンプルを保持する保持手段と、前記被検サンプルに垂直方向及び斜め方向から照明光を照射する照明装置と、前記照明装置から前記被検サンプルに存在するピンホールを通して透過した光を検出する光検出器を備えたピンホール検査装置において、前記保持手段に対して前記照明装置側と前記光検出器側とに、それぞれ前記検査領域サイズの開口を持った遮光板を備え、前記被検サンプルの位置を観察するための画像検出手段と、前記画像検出手段により検出した画像から前記被検サンプルの検査領域と前記照明装置側の遮光板の開口の位置関係を演算処理する画像演算処理手段と、前記被検サンプルと前記照明装置側の遮光板の開口の相対的な位置を調整する手段を持つことを特徴とするピンホール検査装置である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明が適用されるピンホール検査装置の第一の実施形態を図１乃至図８を用いて説明する。図１は、被検サンプルである傘状突起物を有する板状試料の断面形状を示す図である。図中、１は金属板、２は傘上突起物、３は上方からみた場合傘状突起物２に隠れないピンホール欠陥、３′は上方からみた場合傘状突起物２の傘下に隠れるピンホール欠陥である。
【００１４】
図１に示すように傘状突起物２の下にピンホール欠陥３′が生じている場合、上方からのみ光を照射してもピンホール欠陥３′による透過光は得られず（厳密には、散乱光により極微小な光は透過すると思われる）、ピンホール欠陥３による透過光のみが得られる。そこで、斜めから光を照射することで照射光を傘下部分に入射させる。傘下部分に入射した光は反射しながら奥へ伝播し、ピンホール欠陥が存在すればその部分から光が透過する。照射光の角度は、傘状突起物２の形状やその間隔等を考慮して決定される。この透過光を検出することにより、傘状突起物２の下部分におけるピンホール欠陥３′の存在を検査できる。
【００１５】
又、図２は、板状試料（金属板部品）を複数枚配列したシート板１１（金属板シート）の概念図である。本実施形態では、９枚の金属板部品でシート板を構成するものとし、図２中、金属板部品Ａ〜Ｉの点線内領域は各部品の検査領域ａ〜ｉを示している。図３は、図２で示した金属板シート１１の保持手段１２を示す図であり、各金属板部品Ａ〜Ｉの検査領域ａ〜ｉに相当する開口が存在する。
【００１６】
図４は、本発明が適用されるピンホール検査装置の基本構成を示す側面図である。図４中、１１は図２で示した板状試料からなるシート板、１２は図３で示した保持手段（設置板）、１３，１４はそれぞれ、シート板１１と設置板１２を挟み込む照明側遮光板，検出側遮光板、１５は光検出器、１６は垂直入射照明、１７，１８は斜入射照明である。
【００１７】
図５は、図４において照明１６〜１８を除いたピンホール検査装置を示す斜視図であり、シート板１１や各構成品を分かり易く分離しているが、実際に検査する際には図４のようにシート板１１を挟み込むようにして密着させる。
【００１８】
このピンホール検査装置の基本構成は、図４を用いて説明すると、傘状の突起部を持った金属板部品を１枚もしくは複数枚有する金属板シート１１を被検サンプルとし、その被検サンプルを保持するための、検査領域サイズの開口を金属板部品の数だけ持った上記被検サンプルの設置板１２と、垂直入射及び斜入射照明を可能とした照明１６〜１８と、その照明１６〜１８とシート板１１を挟んで反対側に光検出器１５を構成し、照明側と光検出器側の両方に、検査領域サイズの開口を持った遮光板１３（照明側遮光板），１４（検出側遮光板）を配置し、その遮光板１３，１４で被検サンプルである金属板シート１１と設置板１２を密着して挟み込むように構成する移動手段と、設置板１２又は、遮光板１３，１４と一体となって照明１６〜１８及び光検出器１５が、被検サンプル面内で移動できる機構を持ち、光検出器１５で得られた信号値から、図２で示したシート板１１中の個々の金属板部品Ａ〜Ｉにおいて欠陥としてのピンホールの有無を判断するようになっている。
【００１９】
その動作を図４を用いて説明する。照明１６〜１８により被検サンプルである金属板シート１１に照射した光は、ピンホール欠陥が存在した場合にその部分を透過し、照明と反対側に配置された光検出器１５により検出される。光検出器１５には、例えば光電子増倍管（フォトマル）のような高感度な光検出器が用いられ、それにより数μｍオーダーのピンホール欠陥を透過した微小光も検出することができる。すなわち、数μｍオーダーのピンホール欠陥の有無が判定できる。ただし、照明１６〜１８にて照射された光が、金属板シート１１の検査領域以外から光検出器１５に入らないように考慮する必要がある。そのため、遮光板１３，１４を用いてその廻り込み光を遮光している。以上の状態を、移動機構により図２で示した各金属板部品Ａ〜Ｉ間を移動して順次検査していく。
【００２０】
ピンホール検査装置において、被検サンプルの検査を行うに当たって、最も問題となるのが照明の光源光量の経時変化である。光源の光量が低下したとき、当然のことながらピンホール欠陥による透過光量も低下してしまう。さらにランプ切れを起こした場合には、ピンホール欠陥があっても透過光が得られなくなってしまう。すなわち、ピンホール欠陥のある被検サンプルを良品と判断してしまう可能性がある。例えば、光源にハロゲンランプを用いた場合など、そういった状況を免れることはできないため、常に同一の条件で検査を行うためには、その経時変化に対応した校正を行う必要がある。
【００２１】
図６は、その校正を行う際に用いる校正基準物を設けた被検サンプルの保持手段を示す図である。
シート板１１の保持手段（設置板）１２′に開口を備え、その上に微小開口２２を持った校正基準物（校正用プレート）２１を配置しており、微小な開口２２を持ったプレート２１と、設置板１２′又は、遮光板１３，１４と一体となって照明１６〜１８及び光検出器１５が、上記プレート位置へ移動できる機構と、照明１６〜１８の光量を調整する手段を持つ。
【００２２】
図７は、本発明が適用されるピンホール検査装置の第一の実施形態を説明するための図である。図中、１２′は図６を用いて説明した校正用プレート２１を付加した保持手段である。又、図８は、本実施形態を説明するための、図７における照明１６〜１８の光源光量及び光検出器１５の検出信号と時間との関係を説明するグラフであり、光源光量と光検出器１５の検出信号の経時変化を、光量の調整をしない場合（上段）、する場合（下段）についてぞれぞれ示したものである。
【００２３】
図７中、照明光学系（照明装置）及び光検出器１５と遮光板１３，１４を校正用プレート２１の位置に移動し、照明１６〜１８で光を照射し、微小開口２２からの透過光を光検出器１５で検出する。このとき、光検出器１５で検出する信号値を予め設定しておき、光検出器１５の検出信号値から常にその信号値が一定になるように光源３１の光量を光量調整手段３２で調整する。すなわち図８に示すように照明１６〜１８の光源光量が低下した場合、その低下分を補うように光量調整手段３２を調整する。光量調整手段３２でその光量低下分を補いきれなくなったとき、光源３１のランプの交換時期と判断する。
【００２４】
本発明が適用されるピンホール検査装置の第二の実施形態を図９，図１０を用いて説明する。図９は、本実施形態におけるピンホール検査装置を説明するための図である。図９中、３３は光検出器１５の感度調整手段であり、他の構成要素は第一の実施形態で示したものと同じである。又、図１０は、本実施形態を説明するための、図９における照明１６〜１８の光源光量及び光検出器１５の感度，検出信号と時間との関係を説明するグラフであり、光源光量と光検出器１５の感度と検出信号の経時変化を、感度の調整をしない場合（上段）、する場合（下段）についてぞれぞれ示したものである。
【００２５】
第一の実施形態では光源の光量を調整して常に同光量で検査するようにしているのに対し、本実施形態では光検出器１５の感度調整手段３３によりその検出感度を調整して常に同一の条件で検査を行えるようにしている。すなわち図１０に示すように、光源光量の低下した分を、光検出器１５の感度を向上させることで補っている。
【００２６】
本発明が適用されるピンホール検査装置の第三の実施形態を図１１を用いて説明する。図１１中の各構成要素は、図９で示したものと同じである。光源光量の低下は急激には起こらないとしても、ランプ切れや光検出器の故障等は検査中にいきなり起こり得る。第一，第二の実施形態のような校正を定期的に行っても、そういった場合には対処しきれない。ランプ切れや光検出器の故障等が起こった場合にも、誤検査にならないように対処するためには、被検サンプルの検査終了後に毎回校正を行い、正常に検査できる状態にあることをチェックする必要がある。つまり、シート板１１の検査終了後に、微小開口２２での透過光を検出するアルゴリズムを持つようにする。ただし、毎回第一，第二の実施形態にあるような光量調整や検出感度調整を行う必要はなく、ランプ切れや光検出器の故障等が起こっていないか透過光量の検出信号をチェックすればよい。正常な検出信号が得られていなければ、その検査は無効とする。すなわち、シート板１１を検査し、その後で校正用プレート２１位置に移動して微小開口２２の透過光を検出してその信号値をチェックし、今回の検査が有効か無効かを判断する。そこまでの行程で１回の検査とする。
【００２７】
本発明が適用されるピンホール検査装置の第四の実施形態を図１２を用いて説明する。図１２中、１１〜１５，１６〜１８は図４に示したものと同じであり、３１は照明１６〜１８の光源、４１は照明１６，１７，１８に対し各々独立に動作するシャッターである。
【００２８】
第四の実施形態では、垂直入射と斜入射の光照射を切り替える手段を持つものとする。シート板１１の検査時に、例えば垂直入射照明１６のシャッターのみを解放して他を開じる。このとき、検査可能なピンホール欠陥は傘状突起物を外れた位置に存在するものである。又、斜入射照明１７のシャッターのみを開放して他を開じると、傘状突起物の下に隠れた部分の左側のピンホール欠陥が検出できる。斜入射照明１８のシャッターのみを開放したときは、同様に右側のピンホール欠陥が検出できる。厳密に言えば、複雑に反射した光が検出したい部分のピンホール欠陥以外から透過してくることも考えられるが、その光量差は大きく、概ねピンホール欠陥の位置を把握することが可能である。
【００２９】
本発明のピンホール検査装置の第一の実施例を図１３を用いて説明する。図１３中、１１〜１５，１６〜１８は図４に示したものと同じであり、シート板１１の検査領域及び照明側遮光板１３の開口位置を観察するための画像検出手段５２、その画像からシート板１１の検査領域と照明側遮光板１３の開口位置の位置関係を演算処理する画像演算処理手段５３、及び照明側遮光板１３の開口位置を微調整する遮光板位置調整手段５４を設けている。
【００３０】
以上の機構により、シート板１１の検査領域と照明側遮光板１３の開口位置を正確に合わせてやることが可能である。又、シート板１１を設置していない状態で、同様の処理により照明側遮光板１３と検出側遮光板１４の開口同士の位置合わせを厳密に行うことが可能である。
【００３３】
【発明の効果】
請求項１に対応する効果：被検サンプルの検査領域及び遮光板の開口位置を認識し、相対的な位置を微調整する手段を備えることにより、検査領域の位置決めを高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】傘状突起物を有する板状試料の断面形状を示す図である。
【図２】板状試料を複数枚配列したシート板の概念図である。
【図３】シート板の保持手段を示す図である。
【図４】本発明が適用されるピンホール検査装置の基本構成を示す側面図である。
【図５】図４に示すピンホール検査装置の斜視図である。
【図６】校正基準物を設けた被検サンプルの保持手段を示す図である。
【図７】本発明のピンホール検査装置が適用される第一の実施形態を説明するための図である。
【図８】第一の実施形態における照明装置の光源光量及び光検出器の検出信号の経時変化を示すグラフである。
【図９】本発明のピンホール検査装置が適用される第二の実施形態を説明するための図である。
【図１０】第二の実施形態における照明装置の光源光量及び光検出器の感度と検出信号の経時変化を示すグラフである。
【図１１】本発明のピンホール検査装置が適用される第三の実施形態を説明するための図である。
【図１２】本発明のピンホール検査装置が適用される第四の実施形態を説明するための図である。
【図１３】本発明のピンホール検査装置の第一の実施例を説明するための図である。
【符号の説明】
１１…シート板（金属板シート）、１２，１２′…設置板、１３…照明側遮光板、１４…検出側遮光板、１５…光検出器、１６…垂直入射照明、１７，１８…斜入射照明、２１…校正用プレート、２２…微小開口、３１…光源、３２…光量調整手段、３３…感度調整手段、４１…シャッター、５２…画像検出手段、５３…画像演算処理手段、５４…遮光板位置調整手段、Ａ〜Ｉ…金属板部品、ａ〜ｉ…検査領域。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a pinhole inspection apparatus, and more particularly, to a pinhole inspection apparatus that determines the presence or absence of a pinhole defect generated in a test sample by the amount of light that is transmitted when illumination light is irradiated onto the test sample. .
[0002]
[Prior art]
Inspection of pinhole defects by detection of transmitted light is a well-known technique, and there are many contents that distinguish and detect pinholes, protrusions, and dust using transmission, reflection, diffraction, and the like. Although the irradiation light is often applied obliquely, the purpose is to distinguish it from pinholes and protrusions, dust, scratches and the like based on the intensity of the reflected scattered light. An example of this type is a “surface defect inspection apparatus” disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-13340.
[0003]
In addition, the “Pinhole Inspection Method and Apparatus” filed by the present applicant as a device for judging the presence or absence of pinhole defects generated in the test sample based on the amount of light transmitted when the test sample is irradiated with illumination light. (See Japanese Patent Application No. 10-40754). The present invention relates to a pinhole inspection apparatus that enables inspection of the presence or absence of a pinhole defect located in a portion hidden under an umbrella of a protrusion using a metal plate part having an umbrella-shaped protrusion as a test sample. It is.
The pinhole inspection device does not require inspection of the position and size of the pinhole defect, and whether the measurement sample is a non-defective product by inspecting only the presence or absence of the pinhole defect with respect to the sample to be tested as described above. In determining whether or not, it is effective because the inspection can be easily performed at high speed.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the pinhole inspection apparatus using the conventional technique, the most serious problem is the change with time of the light amount of the light source. When the light amount of the light source is reduced, the transmitted light amount due to the pinhole defect is naturally reduced. Furthermore, when the lamp breaks out, transmitted light cannot be obtained even if there is a pinhole defect. That is, there is a possibility that a test sample having a pinhole defect is judged as a non-defective product.
[0005]
Therefore, the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an apparatus that can always perform inspection under the same conditions in a pinhole inspection apparatus. Further, it is determined whether or not the pinhole defect is located in a portion hidden under the projection, and a device capable of simply obtaining the pinhole defect occurrence location is provided, and the inspection area is positioned. An object is to provide an apparatus that can be used.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The invention of claim 1 includes a holding means for holding a plate-shaped test sample having an opening of an inspection area size, an illuminating device that irradiates the test sample with illumination light from a vertical direction and an oblique direction, and the illuminating device. In a pinhole inspection apparatus comprising a photodetector for detecting light transmitted through a pinhole present in the sample to be examined, the illumination device side and the photodetector side with respect to the holding means, respectively, An image detecting means for observing the position of the test sample, an inspection area of the test sample from the image detected by the image detecting means, and the illumination device side; Image calculation processing means for calculating the positional relationship of the opening of the light shielding plate, and means for adjusting the relative position of the opening of the light shielding plate on the sample side and the illumination device side. A pinhole inspection apparatus according to symptoms.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The first embodiment of the pinhole inspection apparatus to which the present onset bright is applied will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional shape of a plate-like sample having an umbrella-shaped protrusion that is a test sample. In the figure, 1 is a metal plate, 2 is a projection on the umbrella, 3 is a pinhole defect that is not hidden by the umbrella-like projection 2 when viewed from above, and 3 ′ is a pin that is hidden under the umbrella of the umbrella-shaped projection 2 when viewed from above It is a hole defect.
[0014]
As shown in FIG. 1, when a pinhole defect 3 'is generated under the umbrella-shaped protrusion 2, even if light is irradiated only from above, transmitted light due to the pinhole defect 3' cannot be obtained (strictly speaking, Only a very small amount of light is transmitted through the scattered light), and only the transmitted light due to the pinhole defect 3 is obtained. Therefore, the irradiated light is incident on the umbrella portion by irradiating light from an oblique direction. The light incident on the part under the umbrella propagates back while reflecting, and if there is a pinhole defect, the light is transmitted from that part. The angle of the irradiation light is determined in consideration of the shape of the umbrella-shaped protrusion 2 and its interval. By detecting this transmitted light, the presence of the pinhole defect 3 ′ in the lower part of the umbrella-shaped protrusion 2 can be inspected.
[0015]
FIG. 2 is a conceptual diagram of a sheet plate 11 (metal plate sheet) in which a plurality of plate-like samples (metal plate parts) are arranged. In this embodiment, it is assumed that the sheet plate is composed of nine metal plate components, and in FIG. 2, the regions within the dotted lines of the metal plate components A to I indicate the inspection regions a to i of the respective components. FIG. 3 is a view showing the holding means 12 of the metal plate sheet 11 shown in FIG. 2, and there are openings corresponding to the inspection areas a to i of the respective metal plate parts A to I.
[0016]
FIG. 4 is a side view showing a basic configuration of a pinhole inspection apparatus to which the present invention is applied. In FIG. 4, 11 is a sheet plate made of the plate-like sample shown in FIG. 2, 12 is a holding means (installation plate) shown in FIG. 3, and 13 and 14 are the illumination sides sandwiching the sheet plate 11 and the installation plate 12, respectively. A light shielding plate, a detection-side light shielding plate, 15 is a photodetector, 16 is a normal incidence illumination, and 17 and 18 are oblique incidence illuminations.
[0017]
FIG. 5 is a perspective view showing the pinhole inspection apparatus excluding the illuminations 16 to 18 in FIG. 4, and the sheet plate 11 and each component are separated in an easy-to-understand manner. In this way, the sheet plate 11 is closely attached.
[0018]
The basic configuration of this pinhole inspection apparatus will be described with reference to FIG. 4. A metal plate sheet 11 having one or a plurality of metal plate parts having umbrella-shaped protrusions is used as a test sample, and the test sample is obtained. The test sample installation plate 12 having an inspection area size opening corresponding to the number of metal plate parts, illuminations 16 to 18 capable of normal incidence and oblique incidence illumination, and the illuminations 16 to The light detector 15 is configured on the opposite side of the sheet 18 and the sheet plate 11, and the light shielding plates 13 (illumination side light shielding plates) and 14 (illumination side light shielding plates) and 14 having inspection area size openings on both the illumination side and the photodetector side A detecting side light-shielding plate), a moving means configured to tightly sandwich the metal plate sheet 11 and the installation plate 12 as a test sample with the light-shielding plates 13 and 14, and the installation plate 12 or the light-shielding plate 13 , 14 and lighting 16 18 and the photodetector 15 have a mechanism capable of moving within the surface of the sample to be tested, and the individual metal plate components A to I in the sheet plate 11 shown in FIG. In FIG. 5, it is determined whether or not there is a pinhole as a defect.
[0019]
The operation will be described with reference to FIG. When the pinhole defect exists, the light irradiated to the metal plate sheet 11 as the test sample by the illuminations 16 to 18 is transmitted through the portion and detected by the photodetector 15 disposed on the opposite side to the illumination. . For the photodetector 15, a highly sensitive photodetector such as a photomultiplier tube (photomultiplier) is used, for example, so that minute light transmitted through a pinhole defect on the order of several μm can be detected. That is, the presence or absence of pinhole defects on the order of several μm can be determined. However, it is necessary to consider that the light irradiated by the illumination 16 to 18 does not enter the photodetector 15 from other than the inspection region of the metal plate sheet 11. Therefore, the surrounding light is shielded by using the light shielding plates 13 and 14. The above state is sequentially inspected by moving the metal plate parts A to I shown in FIG.
[0020]
In the pinhole inspection apparatus, the most serious problem in inspecting a sample to be inspected is the temporal change in the amount of light source of illumination. When the light amount of the light source is reduced, the transmitted light amount due to the pinhole defect is naturally reduced. Further, when the lamp is burned out, transmitted light cannot be obtained even if there is a pinhole defect. That is, there is a possibility that a test sample having a pinhole defect is judged as a non-defective product. For example, when a halogen lamp is used as the light source, such a situation cannot be avoided. Therefore, in order to always inspect under the same conditions, it is necessary to perform calibration corresponding to the change with time.
[0021]
FIG. 6 is a view showing a test sample holding means provided with a calibration reference object used for the calibration.
The holding means (installation plate) 12 ′ of the sheet plate 11 is provided with an opening, on which a calibration reference object (calibration plate) 21 having a minute opening 22 is arranged, and a plate 21 having a minute opening 22. The illumination plates 16 to 18 and the light detector 15 integrated with the installation plate 12 ′ or the light shielding plates 13 and 14 have a mechanism capable of moving to the plate position, and means for adjusting the light quantity of the illuminations 16 to 18. .
[0022]
Figure 7 is a diagram for explaining a first embodiment of the pinhole inspection apparatus to which the present onset bright applies. In the figure, reference numeral 12 'denotes a holding means to which the calibration plate 21 described with reference to FIG. 6 is added. FIG. 8 is a graph for explaining the relationship between the light amount of the light sources of the illuminations 16 to 18 and the detection signal of the light detector 15 and time in FIG. 7 for explaining the present embodiment. The change over time of the detection signal of the detector 15 is shown for the case where the light amount is not adjusted (upper stage) and the case where the light amount is adjusted (lower stage).
[0023]
In FIG. 7, the illumination optical system (illumination device), the light detector 15 and the light shielding plates 13 and 14 are moved to the position of the calibration plate 21, irradiated with light with illumination 16 to 18, and transmitted light from the minute aperture 22. Is detected by the photodetector 15. At this time, a signal value detected by the light detector 15 is set in advance, and the light amount of the light source 31 is adjusted by the light amount adjusting means 32 so that the signal value is always constant from the detection signal value of the light detector 15. . That is, as shown in FIG. 8, when the light source light amount of the illuminations 16 to 18 decreases, the light amount adjusting means 32 is adjusted so as to compensate for the decrease. When the light amount adjustment means 32 cannot compensate for the decrease in the light amount, it is determined that it is time to replace the lamp of the light source 31.
[0024]
The second embodiment of the pinhole inspection apparatus to which the present onset bright applies Figure 9, will be described with reference to FIG. 10. FIG. 9 is a diagram for explaining the pinhole inspection apparatus according to the present embodiment. In FIG. 9, 33 is a sensitivity adjusting means of the photodetector 15, and the other components are the same as those shown in the first embodiment. FIG. 10 is a graph for explaining the present embodiment, and is a graph for explaining the relationship between the light source light amount of the illuminations 16 to 18 in FIG. 9 and the sensitivity of the photodetector 15, the detection signal and time. The sensitivity of the photodetector 15 and the change over time of the detection signal are respectively shown when the sensitivity is not adjusted (upper stage) and when the sensitivity is adjusted (lower stage).
[0025]
In the first embodiment, the light amount of the light source is adjusted so that the inspection is always performed with the same light amount. In the present embodiment, the detection sensitivity is adjusted by the sensitivity adjustment means 33 of the photodetector 15 to always maintain the same light amount. The inspection can be performed under the conditions. That is, as shown in FIG. 10, the amount of light source light quantity is reduced by making up the sensitivity of the photodetector 15.
[0026]
The third embodiment of the pinhole inspection apparatus to which the present onset bright is applied will be described with reference to FIG. 11. Each component in FIG. 11 is the same as that shown in FIG. Even if the light source quantity does not decrease rapidly, a lamp burnout, a photodetector failure, or the like may occur suddenly during the inspection. Even if calibrations such as those in the first and second embodiments are performed periodically, such a case cannot be dealt with. In order to prevent false inspections even when the lamp is burned out or the photodetector has failed, the sample is calibrated each time after the inspection of the sample to be inspected to check that it can be normally inspected. There is a need to. That is, an algorithm for detecting light transmitted through the minute opening 22 is provided after the inspection of the sheet plate 11 is completed. However, it is not necessary to adjust the light amount and detection sensitivity as in the first and second embodiments every time, and if the transmitted light amount detection signal is checked for lamp breakage, photodetector failure, etc. Good. If a normal detection signal is not obtained, the inspection is invalid. That is, the sheet plate 11 is inspected, and then moved to the position of the calibration plate 21 to detect the transmitted light of the minute opening 22 and check the signal value to determine whether the current inspection is valid or invalid. The inspection will be conducted once in the process up to that point.
[0027]
The fourth embodiment of the pinhole inspection apparatus to which the present invention is applied will be described with reference to FIG. 12. In FIG. 12, 11 to 15 and 16 to 18 are the same as those shown in FIG. 4, 31 is a light source for the illuminations 16 to 18, and 41 is a shutter that operates independently for each of the illuminations 16, 17, and 18. .
[0028]
In the fourth embodiment, it is assumed that there is a means for switching light irradiation of normal incidence and oblique incidence. When the sheet plate 11 is inspected, for example, only the shutter of the normal incidence illumination 16 is released and the other is opened. At this time, the pinhole defect which can be inspected exists at a position off the umbrella-shaped protrusion. Further, when only the shutter of the oblique incident illumination 17 is opened and the others are opened, the pinhole defect on the left side of the portion hidden under the umbrella-shaped projection can be detected. When only the shutter of the oblique illumination 18 is opened, the right pinhole defect can be detected in the same manner. Strictly speaking, it is possible that the light reflected in a complicated manner is transmitted from other than the pinhole defect of the portion to be detected, but the difference in the amount of light is large, and it is possible to roughly grasp the position of the pinhole defect. .
[0029]
The first embodiment of the pinhole inspection apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. 13. In FIG. 13, 11 to 15 and 16 to 18 are the same as those shown in FIG. 4, and the image detection means 52 for observing the inspection region of the sheet plate 11 and the opening position of the illumination-side light shielding plate 13, its image Image processing means 53 for calculating the positional relationship between the inspection area of the sheet plate 11 and the opening position of the illumination side light shielding plate 13 and the light shielding plate position adjusting means 54 for finely adjusting the opening position of the illumination side light shielding plate 13. ing.
[0030]
With the above mechanism, the inspection region of the sheet plate 11 and the opening position of the illumination side light shielding plate 13 can be accurately matched. Further, it is possible to strictly align the openings of the illumination-side light-shielding plate 13 and the detection-side light-shielding plate 14 by the same processing in a state where the sheet plate 11 is not installed.
[0033]
【The invention's effect】
Effect corresponding to claim 1 : By providing means for recognizing the inspection region of the sample to be tested and the opening position of the light shielding plate and finely adjusting the relative position, the inspection region can be positioned with high accuracy. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional shape of a plate-like sample having an umbrella-shaped protrusion.
FIG. 2 is a conceptual diagram of a sheet plate in which a plurality of plate-like samples are arranged.
FIG. 3 is a view showing a sheet plate holding means.
FIG. 4 is a side view showing a basic configuration of a pinhole inspection apparatus to which the present invention is applied.
FIG. 5 is a perspective view of the pinhole inspection apparatus shown in FIG.
FIG. 6 is a view showing a test sample holding means provided with a calibration reference object.
FIG. 7 is a diagram for explaining a first embodiment to which the pinhole inspection apparatus of the present invention is applied.
FIG. 8 is a graph showing temporal changes in the light source amount of the illumination device and the detection signal of the photodetector in the first embodiment.
FIG. 9 is a diagram for explaining a second embodiment to which the pinhole inspection apparatus of the present invention is applied.
FIG. 10 is a graph showing temporal changes in the amount of light source of the illumination device, the sensitivity of the photodetector and the detection signal in the second embodiment.
FIG. 11 is a diagram for explaining a third embodiment to which the pinhole inspection apparatus of the present invention is applied.
It is a diagram for pinhole inspection apparatus will be described a fourth embodiment applied in the present invention; FIG.
FIG. 13 is a view for explaining a first embodiment of the pinhole inspection apparatus of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Sheet plate (metal plate sheet) 12, 12 '... Installation plate, 13 ... Illumination side light shielding plate, 14 ... Detection side light shielding plate, 15 ... Photodetector, 16 ... Vertical incident illumination, 17, 18 ... Oblique incidence Illumination, 21 ... calibration plate, 22 ... micro aperture, 31 ... light source, 32 ... light quantity adjustment means, 33 ... sensitivity adjustment means, 41 ... shutter, 52 ... image detection means, 53 ... image calculation processing means, 54 ... light shielding plate Position adjusting means, A to I: Metal plate parts, a to i: Inspection area.

Claims

A holding means for holding a plate-shaped test sample having an opening of an inspection area size, an illuminating device for irradiating the test sample with illumination light from a vertical direction and an oblique direction, and existing from the illuminating device to the test sample In a pinhole inspection apparatus having a photodetector for detecting light transmitted through the pinhole, the inspection device has an opening on the illumination device side and the photodetector side with respect to the holding means. An image detecting means for observing the position of the test sample, and an inspection area of the test sample from the image detected by the image detection means and the position of the opening of the light shielding plate on the illumination device side. An image calculation processing means for calculating the relationship, and a pin ho that has a means for adjusting the relative position of the opening of the light shielding plate on the illumination device side with the sample to be tested Inspection equipment.