JP3555834B2

JP3555834B2 - Pinhole inspection device

Info

Publication number: JP3555834B2
Application number: JP04075498A
Authority: JP
Inventors: 雅明高井
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1997-09-29
Filing date: 1998-02-23
Publication date: 2004-08-18
Anticipated expiration: 2018-02-23
Also published as: JPH11160251A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ピンホール検査装置に関し、より詳細には、照明光を傘状突起部を有する光反射性試料に照射したとき、この試料を透過する光量により、試料に生じたピンホール欠陥の有無を検査するピンホール検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
照明光を試料に照射し、試料に存在するピンホールを、試料を透過した光量の有無により検査するピンホール欠陥検査装置は周知である。また、上記透過光を利用する代わりに、反射光や回折光を利用する技術も周知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
さらに、照射光を斜方から照射する技術も知られており、例えば、特開昭５７−１３３４０号公報に開示されたものは、試料面上の同一個所に落射照明と斜方照明を照射し、垂直方向に反射する光を受光することにより、両者を比較してピンホールと塵埃とを区別するようにしたものである。従って、傘状突起部を有する金属板試料の傘下部に存在するピンホールの有無を検査する技術については全く触れられておらず、他に、このような試料のピンホールの検査技術に関するものは見当らない。
【０００４】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたもので、照明光を、傘状突起部を有する光反射性の試料に斜め方向から照射し、試料を透過する光を検出して傘状突起部の傘下に存在するピンホールの有無を検査するピンホール検査装置を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、傘状突起部を備えた光反射性の板状試料に、斜め方向から照明光を照射する照明装置と、前記板状試料の傘状突起部の傘下に存在するピンホールを透過した光量を検出する光検知器を有するピンホール検査装置において、前記板状試料が複数配列されたシート板又は複数の光反射性の板状試料からなるシート板の前記各板状試料の検査領域に対応した、複数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検知器のそれぞれの側に、前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて挟むように配置した、検査領域サイズの開口を有する遮光板と、前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検知器と一体で移動させる移動機構を有することを特徴としたものである。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記シート板を、前記検査領域サイズの開口を複数有する２枚の設置板で挟むよう構成したシート板保持手段を有することを特徴としたものである。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記シート板と前記設置板との間、及び前記シート板保持手段と前記遮光板との間に弾力性板を設置したことを特徴としたものである。
【００１５】
請求項４発明は、請求項１乃至３のいずれかの発明において、前記遮光板に、前記シート板の板状試料の試料面と直交する２面内で回転する回転機構を設置したことを特徴としたものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
（本発明の前提技術）
図１は、傘状の突起物を有する金属板試料の断面形状を示す図で、図中、２０は金属板、３０は傘状突起物、４０，４０は傘状突起物の傘下に存在するピンホールである。
【００２３】
図１において、金属板２０の傘状突起物３０の下にピンホール欠陥４０，４０が生じている場合、上方からのみ光を照射してもピンホール欠陥による透過光は得られない（厳密には、散乱光により極微少な光は透過することはあり得る）。そこで、図１のように、斜め方向から光を照射することで、照射光を傘下部分に入射させる。傘下部分に入射した光は反射しながら奥へ伝播し、ピンホール欠陥が存在すればその部分から光が透過する。照射光の角度は、傘状突起物の形状やその間隔等を考慮して決定される。この透過光を検出することにより、傘状突起物の傘下部分におけるピンホール欠陥の存在を検査することができる。
【００２４】
図２は、図１で述べた基本原理に基づくピンホール検査装置の概略構成図で、図中、１は光反射性の板状試料、例えば、金属板試料で、図示していないが前記金属板２０と同様傘状突起部を有する。２は光検出器（フォトマル）、３，４は斜入射照明装置である。
【００２５】
図２において、斜入射照明装置３，４により被検物である金属板試料１に照射した光は、ピンホール欠陥が存在した場合にその部分を透過し、斜入射照明装置３，４と反対側に配置された光検出器２により検出される。光検出器２には、例えば、光電子像倍管（フォトマル）のような高感度な光検出器が用いられ、それにより、数μｍオーダーのピンホール欠陥を透過した微小光も検出することができる。すなわち、数μｍオーダーのピンホール欠陥の有無を判定することができる。
このとき、照射光の角度は傘状突起物の形状やその間隔等を考慮して決定するが、斜入射照明装置３，４にその照射角度を可変にする手段を設けることにより、多種の試料に対応可能とする。
【００２６】
（本発明の前提技術の第１応用例）
斜入射照明装置３，４にて照射された光が、金属板試料１の検査領域以外から光検出器２に入らないように考慮する必要がある。
図３（Ａ）は、金属板試料の検査領域以外からの光の廻り込みを防止したピンホール検査装置の一例を説明するための概略構成断面図、図３（Ｂ）は、その斜視図で、図中、１′は金属板試料１の検査領域、５はガラス板、６は検査領域１′と同じサイズの開口を有する遮光板である。なお、図１及び図２と同じ構成部品には、同じ参照番号を付し、説明は省略する。
【００２７】
図３（Ａ），図３（Ｂ）において、ガラス板５と遮光板６で金属板試料１を挟み込むように構成している。金属板試料の保持にガラス板を用いるため、試料１が薄い金属板であっても容易に保持することができる。また、遮光板６は、廻り込み光が光検出器２に入射しないように十分なサイズで構成する。
【００２８】
（本発明の前提技術の第２応用例）
図４（Ａ）は、光の廻り込みを防止したピンホール装置の他の例を説明するための概略構成断面図、図４（Ｂ）は、その斜視図であり、図中、７は遮光板６と同じ構成の遮光板である。なお、図中、図１乃至図３と同じ構成部品には、同じ参照番号を付し、説明は省略する。
【００２９】
図４（Ａ），図４（Ｂ）において、ガラス板５の代わりに遮光板６と同様の遮光板７で金属板試料１を挟み込むように構成している。ガラス板５を用いた場合、ガラス板表面での反射等により光検出器２に入射する光量が減少したり、ガラス板端面から入射した外乱光が内部反射により伝播し光検出器２に入射することがある。それらは、検出信号Ｓ／Ｎの低下を招き、ピンホール欠陥検査の検出精度を低下させる要因となる。
そこで、ガラス板５の代わりに遮光板７を用いることにより、ピンホール欠陥による透過光は検出器２に直接入射するため、検査の高精度化を図ることができる。
【００３０】
（本発明の前提技術の第３、第４応用例）
金属板試料１と遮光板６や遮光板７との間に間隙があると、その部分から光が漏れて、その漏れ光が光検出器２に入射し、検出精度の低下を引き起こすことになる。そこで、金属板試料１と遮光板６や遮光板７との密着性を増すことにより、検出精度の向上を図る。
例えば、図４において、遮光板７上に金属板試料１を置いて、遮光板６をＺ軸のみの移動でその上に配置しようとすると、そのＺ軸移動機構と遮光板６や遮光板７における金属板試料１との接触面とが厳密に垂直である必要があり、上記の隙間を生じないように設置することは困難である。また、金属板試料１の金属板に厚さムラ等がある場合、そのような設置は実質上不可能である。
前提技術の第３、第４応用例は、その密着性を向上させることを目的としている。
【００３１】
前提技術の第３応用例は、金属板試料１と遮光板６や遮光板７または遮光板７と光検出器２との間に、検査領域１′に相当する開口を持ったゴム製板を配置することで、その密着性を向上させたものである。
【００３２】
図５（Ａ），図５（Ｂ）は、遮光板６及び遮光板７と、金属板試料１との隙間をなくす機構を説明するための図で、図中、８は回転機構である。
【００３３】
前提技術の第４応用例は、例えば、遮光板６にＸ軸，Ｙ軸を回転軸とした回転機構８を設け、金属板試料１の上面（遮光板６との接触面）の傾きに倣って遮光板６を設置することで、金属板試料１と遮光板６との密着性を向上させたものである。
【００３４】
以上は、１枚の金属板（１個所の検査領域）からなる傘状突起物を持った試料についてピンホール検査を行う例であるが、次は、例えば、１枚のシート状金属板に複数枚の傘状突起物を持った試料が配置されているような場合、または、一枚の金属板に複数個の検査領域を持ち各々の検査領域に対してピンホール欠陥の有無を検査するような場合を対象とする。
【００３５】
（請求項１の発明）
図６は、本発明の１枚のシート状金属板に複数枚の傘状突起物を有する試料が配置されたシート板又は１枚の金属板に複数個の検査領域を有するシート板の平面概念図であり、図中、９はシート板、Ａ〜Ｉはそれぞれ１枚の金属板（１個所の検査領域）からなる傘状突起物を有する金属板試料、ａ〜ｉはそれらの検査領域である。
【００３６】
図７は、シート板９を保持するための設置板１０を示す図で、１０′はシート板の各試料の検査領域に対応する開口である。
図８は、図７の設置板１０上に図６のシート板９を保持し、更にその上に遮光板６を設置したピンホール検査装置の概略構成断面図であり、図９は、設置板１０上にシート板９が保持され、また、遮光板６が設置される態様を示す図である。
【００３７】
図８，図９において、設置板１０の上にシート板９を検査領域と開口の位置が一致するように配置する。斜入射照明装置３，４と遮光板６と光検出器２は一体で被検物面内を移動する移動機構を持っており、例えば、シート板９の金属板試料Ａを検査する場合には、遮光板６の開口が検査領域ａと一致する位置に、金属板試料Ｂを検査する場合には、検査領域ｂと一致する位置にといった具合に移動可能とする。また、斜入射照明装置３，４と遮光板６と光検出器２の位置が固定で、設置板１０（シート板９）をその面内で移動可能にしてもよい。以上の動作を検査領域ａからｉまで繰り返すことにより、シート板９の各々の検査領域におけるピンホール欠陥の有無を検査することができる。
【００３８】
（請求項２の発明）
図１０は、シート板９を設置板１０，１１により挟み込むように保持する態様を説明するための図である。
請求項２の発明は、２枚の設置板１０，１１によりシート板９を挟み込むように保持し、請求項１の発明と同じ手法にてピンホール検査を行う。
【００３９】
シート板９が薄い金属性シートの場合、非常に取り扱いが不便となる。また、遮光板６を所定の検査領域位置に移動する際、図９のように、遮光板６が直接シート板９に接触するような構成であると、シート板９を傷つけることになりかねない。
そこで、予め設置板１０とシート板９と設置板１１を、それぞれの開口と検査領域の位置が一致するように構成しておけば、斜入射照明装置３，４と遮光板６と光検出器２の位置を移動してもシート板９と接していないので、傷をつけたりする心配がなくなり、取り扱いが容易になる。
【００４０】
（請求項３、請求項４の発明）
前記シート板９においても、前述と同様に、シート板９と遮光板６や設置板１０等との間に隙間があるとその部分から光が漏れて、その漏れ光が光検出器２に入射し、検出精度の低下を引き起こしかねない、逆に言えば、シート板９と遮光板６や設置板１０等の密着性が増すことで、検出精度の向上を図る。請求項３及び請求項４の発明は、その密着性を向上させることを目的としており、前提技術の第３、第４応用例と同様に、検査領域と同サイズの開口を持ったゴム製板を用いたり、遮光板６にＸ軸，Ｙ軸を回転軸とした回転機構を設けて密着性の向上、すなわち、検査精度の向上を図る。
【００４１】
（本発明の前提技術の第５応用例）
図１１は、前提技術の第５応用例が適用されるピンホール検査装置の概略構成断面図，図１２はその組立構成図であり、図１２は分かり易いように、被検物や各構成品を離しているが、実際に検査する際には図１１のように被検物を挟み込むようにして密着させる。
【００４２】
なお、図１１，図１２において、他図と同じ構成部品には同じ参照番号を付し説明を省略する。また、被検物は板状試料を複数有するシート板９として示しているが、１枚の板状試料であってもよい。
【００４３】
図１１のピンホール検査装置は、斜入射照明装置，光検出器とともに、前記板状試料を１枚又は複数枚有するシート板の前記板状試料の検査領域に対応する数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検出器のそれぞれの側に配置した検査領域サイズの開口を有する遮光板と、該遮光板で前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて密着して挟み込むように移動する移動装置と前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検出器と一体でシート板面内で移動させる移動機構を有するものである。
【００４４】
前提技術の第５応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板を保持する設置板にＬ字型の位置決め部材を設けたものである。
【００４５】
図１３は、設置板がＬ字型位置決め部材を有する態様を示す図で、１２はＬ字型部材である。
【００４６】
斜入射照明装置３，４により設置板１０に保持された被検物である図示しない突起部を有する板状試料を具備したシート板９に照射した光はピンホール欠陥が存在した場合にその部分を透過し、照明装置３，４と反対側に配置された光検出器２により検出される。光検出器２には例えば光電子像倍管（フォトマル）のような高感度な光検出器が用いられ、それにより数μｍオーダーのピンホール欠陥を透過した微小光も検出することができる。すなわち、数μｍオーダーのピンホール欠陥の有無が判定できる。ただし、照明装置３，４にて照射された光が、シート板９の検査領域以外から光検出器２に入らないように考慮する必要がある。そのため、遮光板６，７を用いてその廻り込み光を遮光している。以上の状態を移動機構により各部品間を移動して順次検査していく。
【００４７】
被検サンプルであるシート板９を設置板１０に設置する際、シート板９上の各金属板部品（板状試料）の検査領域が設置板１０の開口と一致するようにしなくてはならない。そこで最も簡易的にその位置決めを行う手段として、Ｌ字型部材１２を用いる。Ｌ字型部材１２は、設置板１０と一体になっており、シート板９の角を突き当てるとその位置決めができる場所にある。
【００４８】
（本発明の前提技術の第６応用例）
前提技術の第６応用例は、上述のピンホール検査装置において、被検サンプルに２個所以上の位置合わせ用貫通穴を設け、前記シート板を保持する設置板に２個所以上の位置決めピンを設けたものである。
【００４９】
図１４は、位置決め用の貫通穴と位置決めピンの関係を示す図で、図中、１３，１３′は位置決めピンである。
【００５０】
シート板９の任意の２個所以上に位置決め用の貫通穴を設けておき、設置板１０に取り付けてある２個所以上の位置決めピン１３，１３′をその貫通穴に通して位置決めを行う。このとき、シート板９の貫通穴と位置決めピン１３，１３′とは、その位置をあわせたときに、シート板９の各金属板部品の検査領域と設置板１０の開口とが一致するようになっている。
【００５１】
なお、設置板１０にシート板９を吸着するための手段を設けることができる。例えば、設置板１０中にエアーの流路溝を設け、その溝から表面上に通し穴を作製する。シート板９を設置板１０に乗せたときに、その通し穴からエアーを引くことで吸着する。また、これに吸着センサを加えることで、シート板９がセットされているか否かを判断することができる。すなわち、セットされていなければ吸着センサはＯＦＦ，セットされてうまく吸着されれば吸着センサはＯＮになる。これにより、検査装置を自動化した場合に、被検サンプルが無いまま検査が開始されてしまうトラブルが回避できる。
【００５２】
（本発明の前提技術の第７応用例）
前提技術の第７応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板を保持する設置板に近接センサを設けるようにしたものである。
【００５３】
図１５は、設置板に近接センサを設ける態様を示す図で、設置板１０の任意の位置（例えば、シート板９をセットしたときに、シート板９の任意の部分の下に隠れる位置）に反射型の近接センサ１４が取り付けられている。シート板９がセットされれば反射光が戻り、その存在を認識できる。すなわち、前提技術の第７応用例も前提技術の第６応用例と同様、検査装置を自動化した場合に、被検サンプルが無いまま検査が開始されてしまうトラブルが回避できる。また、反射型の近接センサ１４は透過型でもシート板９を挟み込むように設置すれば、同じ目的を達成することができる。
【００５４】
（本発明の前提技術の第８応用例）
前提技術の第８応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板の例えば中心線から外れた位置に貫通穴を設け、シート板を保持する設置板がシート板保持したとき前記貫通穴と同位置になる場所に近接センサを設けたものである。
【００５５】
図１６は、シート板の中心線から外れた位置に設けた貫通穴と同じ位置になる場所に近接センサを設ける態様を示す図で、ここでも、反射型の近接センサ１４が使用される。
【００５６】
シート板９の中心線（図１６のＳ，一点鎖線）から外れた位置に貫通穴１５を設けておく。近接センサのセンサ部はシート板９をセットしたときその貫通穴１５と重なる位置に来るようにする。シート板９を設置板１０にセットしたとき、正しい状態でセットされていれば近接センサの光は透過する。しかし、例えばシート板９の表裏を間違えたり上下逆さにしたりしてセットされた場合、近接センサ１４に反射光が戻ってくる。すなわち、シート板９が正しくセットされているかを判断することが可能である。
【００５７】
（本発明の前提技術の第９応用例）
前提技術の第９応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板の例えば中心線から外れた位置に貫通穴を設け、シート板を保持する設置板がシート板を保持したとき貫通穴と同位置になる場所に近接センサを設けるとともに、更に別位置に他の近接センサを設けたものである。
【００５８】
図１７は、別位置に近接センサを設ける態様を示す図であり、図中、１６は別位置に設けた他の近接センサである。
【００５９】
前提技術の第８応用例の構成では、シート板がセットされていない場合でも、近接センサの光は透過してしまうため、検査装置を自動化した場合にその区別ができない。そこで、さらにもう１つ近接センサ１６を前提技術の第７応用例で説明したのと同じように設けておけば、シート板９がセットされていない場合と、正しくセットされている場合を近接センサで区別することができる。近接センサ１４の方が透過，近接センサ１６の方が反射といった具合に成る。さらに、近接センサ１４と近接センサ１６の位置をシート板９の中心線（図１６のＳ）に対して左右対称にしておけば、シート板９のセット状態の間違いが、裏表なのか上下逆さなのかを区別することが可能である。裏表を間違えた場合には、近接センサ１４の方が反射，近接センサ１６の方が透過といった具合に、正しくセットされた場合の全く逆のパターンになる。
【００６０】
なお、図１８は、上述のピンホール検出装置において、光検出器２が感度を調する装置１７を有するようにしている。感度調節は、例えば、光検出器として用いるフォトマルの駆動電源の電圧調整で行うことができる。光検出器の感度を調整することは、すなわちピンホールの検出精度を変えることであり、その手段により、検査装置の多くの仕様に対応することが可能である。例えば、その検出精度の仕様として、数μｍオーダーのピンホールであっても、数十μｍオーダーのピンホールであっても感度を調整することで対応が可能である。他にも、金属板シートの材質や厚さが変われば当然ピンホールによる透過光量も変わってくるが、そういった場合でも感度調整手段により検出精度を変えてやることで対処可能である。
【００６１】
（本発明の前提技術の第１０応用例）
前提技術の第１０応用例は、上述のピンホール検査装置において、照明光学系の光量を調整する手段を有するようにしたものである。
【００６２】
図１９は、前提技術の第１０応用例に係る照明光の光量調整を説明する図であり、図１１では、省略されているが、１８は斜入射照明装置３，４の光源、１８′は照明光のシャッター、１９は光源光量の調節装置である。
【００６３】
前提技術の第１０応用例では、光源光量の調整手段１９でその光量を最小（０）から最大まで調整可能であり、シャッター１８′の開閉が可能な構成となっている。シャッター１８′は光源と一体になっていなくとも、照明を遮る場所であればどこでも良い。微小なピンホールを検出するためにはかなり強い光が必要になり、照明光学系の光量は大きければ大きいほどピンホールの検出に有利になる。しかしながら、その光が強ければ強いほど周囲への影響を考慮する必要がでてくる。例えば、その光の熱により経時変化でシート板９を変形させたり、周囲に光を用いた他の装置があった場合にその装置に与える影響などが考えられる。そこで、照明手段３，４を覆って周囲にできる限り光を漏らさないことも必要になってくるが、検査（ピンホール検出）をしているときを除く移動時などは極力光を照射しないように、光源の光量を最小（０）にしたり、シャッターで光を遮ったりすることが有効となる。もちろん、光源の電源をＯＮ／ＯＦＦしても同じ効果は得られるが、光源の電源ＯＮ直後は光量が安定しないため検査精度にバラツキを生じる要因になってしまう。また、電源のＯＮ／ＯＦＦを繰り返すことでランプ切れを起こしやすい等の弊害もでてくる。
【００７１】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、傘下突起部を備えた光反射性の板状試料に、斜め方向から照明光を照射する照明装置と、前記板状試料の傘状突起部の傘下に存在するピンホールを透過した光量を検出する光検知器を有するので、傘状の突起部を持った板状試料の突起部の傘下に隠れた部分に位置するピンホール欠陥の有無の検査をすることができる。また、前記板状試料が複数配列されたシート板又は複数の光反射性の板状試料からなるシート板の前記各板状試料の検査領域に対応した、複数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検出器のそれぞれの側に、前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて挟むように配置した、検査領域サイズの開口を有する遮光板と、前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検出器と一体で移動させる移動機構を有するので、複数枚の板状試料が配設された、又は該試料からなるシート板の検査を容易に行うことができる。また、シート板の保持と、ピンホール欠陥以外からの廻り込み光の高度な遮光を可能とし、検査精度を向上させることができる。
【００７２】
請求項２の発明によれば、請求項１の発明において、前記シート板を、前記検査領域サイズの開口を複数有する２枚の設置板で挟むよう構成したシート板保持手段を有するので、シート板に対する操作性を向上させることができる。
【００７３】
請求項３の発明によれば、請求項１又は２の発明において、前記シート板と前記設置板との間、及び前記シート板保持手段と前記遮光板との間に弾力性板を設置したので、シート板とピンホール欠陥以外からの廻り込み光の遮光板と密着性を向上させ、検査精度を向上させることができる。
【００７４】
請求項４の発明によれば、請求項１乃至３のいずれかの発明において、前記遮光板に、前記シート板の板状試料の試料面と直交する２面内で回転する回転機構を設置したので、シート板とピンホール欠陥以外からの廻り込み光の遮光板との密着性を向上させ、検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】傘状の突起物を有する金属板試料の断面形状を示す図である。
【図２】本発明の前提技術に基づくピンホール検査装置の概略構成図である。
【図３】本発明の前提技術に基づく光の廻り込みを防止したピンホール検査装置の一例を説明するための概略構成図である。
【図４】本発明の前提技術に基づく光の廻り込みを防止したピンホール検査装置の他の例を説明するための概略構成図である。
【図５】本発明の前提技術の遮光板と金属板試料の隙間をなくす機構を説明するための図である。
【図６】本発明の１枚のシート状金属板に複数枚の傘状突起物を有する試料が配設されたシート板の平面概念図である。
【図７】本発明のピンホール検査装置に使用されるシート板を設置するための設置板を示す図である。
【図８】本発明の設置板上にシート板を設置したピンホール検査装置の概略構成図である。
【図９】本発明の設置板上にシート板が設置され、また遮光板が設置される態様を示す図である。
【図１０】本発明のシート板を２枚の設置板で挟み込む態様を示す図である。
【図１１】本発明の前提技術が適用されるピンホール検査装置の概略構成断面図である。
【図１２】本発明の前提技術が適用されるピンホール検査装置の組立構成図である。
【図１３】本発明の設置板がＬ字型位置決め部材を有する態様を示す図である。
【図１４】本発明の前提技術の位置決め用貫通穴と位置決めピンの関係を示す図である。
【図１５】本発明の前提技術の設置板に近接センサを設ける態様を示す図である。
【図１６】本発明の前提技術のシート板の中心から外れた位置に設けた貫通穴と同じ位置になる場所に近接センサを設ける態様を示す図である。
【図１７】本発明の前提技術の別位置に近接センサを設ける態様を示す図である。
【図１８】ピンホール検査装置の光検出器に感度調整装置を付加した図である。
【図１９】本発明の前提技術の照明装置に光量調節手段を付加した図である。
【符号の説明】
１…金属板試料、１′…金属板試料の検査領域、２…光検出器（フォトマル）、３，４…斜入射照明装置、５…ガラス板、６，７…遮光板、８…回転機構、９…シート板、１０…設置板、１０′…検査領域に対応する開口、１１…設置板、１２…Ｌ字型位置決め部材、１３，１３′…位置決めピン、１４…近接センサ、１５…貫通穴、１６…近接センサ、１７…感度調節装置、１８…光源、１８′…照明光シャッター、１９…光量調節装置、２０…金属板、３０…傘状突起物、４０…ピンホール、Ａ〜Ｉ…金属板試料、ａ〜ｉ…検査領域、Ｓ…中心線。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention provides a pinhole detectionInspectionMore specifically, when illuminating light is applied to a light-reflective sample having an umbrella-shaped projection, the amount of light transmitted through the sample is used to detect the presence of pinhole defects in the sample.InspectionAbout the installation.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art A pinhole defect inspection apparatus that irradiates a sample with illumination light and inspects a pinhole existing in the sample based on the presence or absence of the amount of light transmitted through the sample is well known. In addition, a technique using reflected light or diffracted light instead of using the transmitted light is also well known.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Further, a technique for irradiating irradiation light obliquely is also known. For example, a technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-13340 irradiates incident light and oblique illumination to the same spot on a sample surface. By receiving light reflected in the vertical direction, pinholes and dust are distinguished by comparing the two. Therefore, there is no mention of a technique for inspecting the presence or absence of a pinhole present under the umbrella of a metal plate sample having an umbrella-shaped protrusion. I can't find it.
[0004]
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and irradiates illumination light to a light-reflective sample having an umbrella-shaped protrusion from an oblique direction, detects light transmitted through the sample, and forms an umbrella. Pinhole detection to check for pinholes under the umbrella of the protrusionInspectionIs provided.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
Claim1The invention ofAn illumination device for irradiating illumination light to a light-reflective plate-shaped sample having an umbrella-shaped protrusion from an oblique direction, and detecting the amount of light transmitted through a pinhole present under the umbrella-shaped protrusion of the plate-shaped sample. In a pinhole inspection device having a photodetector,A sheet plate holding a plurality of inspection area size openings corresponding to the inspection areas of the respective plate samples of the sheet plate in which a plurality of the plate samples are arranged or a sheet plate formed of a plurality of light reflective plate samples. Means, the lighting device and the light detectionKnowledgeOn each side of the container, the sheet plate holding means and the sheet plate held by the sheet plate holding means are arranged so as to sandwich the inspection area and the opening, and a light shielding plate having an opening of an inspection area size is provided. The sheet plate holding means or the light shielding plate, the lighting device and the light detectionKnowledgeIt has a moving mechanism for moving integrally with the container.
[0013]
Claim2The invention of claim1The invention according to the fifth aspect, further comprising a sheet plate holding means configured to sandwich the sheet plate between two installation plates having a plurality of openings of the inspection area size.
[0014]
Claim3The invention of claim1Or2According to the invention, an elastic plate is provided between the sheet plate and the installation plate and between the sheet plate holding means and the light shielding plate.
[0015]
Claim4The invention is claimed1Or3In any one of the inventions described above, the light shielding plate is provided with a rotation mechanism that rotates in two planes orthogonal to a sample surface of the plate-shaped sample of the sheet plate.
[0022]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
(Base technology of the present invention)
FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional shape of a metal plate sample having an umbrella-shaped protrusion. In the figure, reference numeral 20 denotes a metal plate, 30 denotes an umbrella-like protrusion, and 40 and 40 exist under the umbrella of the umbrella-like protrusion. It is a pinhole.
[0023]
In FIG. 1, when pinhole defects 40, 40 are formed below the umbrella-shaped protrusion 30 of the metal plate 20, even if light is irradiated only from above, transmitted light due to the pinhole defect cannot be obtained (strictly, In this case, a very small amount of light may be transmitted by scattered light.) Therefore, as shown in FIG. 1, by irradiating light from an oblique direction, the irradiating light is made to enter the lower part of the umbrella. The light incident on the part under the umbrella propagates to the back while being reflected, and if there is a pinhole defect, the light is transmitted from that part. The angle of the irradiation light is determined in consideration of the shape of the umbrella-shaped protrusions, their intervals, and the like. By detecting this transmitted light, it is possible to inspect the presence of a pinhole defect in a portion under the umbrella of the umbrella-shaped protrusion.
[0024]
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a pinhole inspection apparatus based on the basic principle described in FIG. 1. In the drawing, reference numeral 1 denotes a light-reflective plate-like sample, for example, a metal plate sample. It has an umbrella-shaped projection like the plate 20. 2 is a photodetector (photomultiplier), 3 and 4 are oblique incidence illumination devices.
[0025]
In FIG. 2, the light radiated to the metal plate sample 1 as the test object by the oblique incidence illumination devices 3 and 4 is transmitted through a portion where a pinhole defect exists when the pinhole defect exists, and is opposite to the oblique incidence illumination devices 3 and 4. It is detected by the photodetector 2 arranged on the side. As the photodetector 2, for example, a high-sensitivity photodetector such as a photomultiplier (photomultiplier) is used, which can detect minute light transmitted through a pinhole defect on the order of several μm. it can. That is, the presence or absence of a pinhole defect on the order of several μm can be determined.
At this time, the angle of the irradiating light is determined in consideration of the shape of the umbrella-shaped projections, their spacing, and the like. Can be supported.
[0026]
(First application example of base technology of the present invention)
It is necessary to consider that the light irradiated by the oblique incidence illumination devices 3 and 4 does not enter the photodetector 2 from a region other than the inspection region of the metal plate sample 1.
FIG. 3A shows a pinhole inspection apparatus that prevents light from entering from outside the inspection area of a metal plate sample.One caseFIG. 3 (B) is a perspective view thereof, wherein 1 ′ is an inspection area of the metal plate sample 1, 5 is a glass plate, and 6 is the same size as the inspection area 1 ′. Is a light-shielding plate having an opening. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
[0027]
3A and 3B, the metal plate sample 1 is sandwiched between the glass plate 5 and the light shielding plate 6. Since the glass plate is used for holding the metal plate sample, even if the sample 1 is a thin metal plate, it can be easily held. Further, the light-shielding plate 6 is formed with a sufficient size so that the sneaking light does not enter the photodetector 2.
[0028]
(Second application example of base technology of the present invention)
Fig. 4 (A) shows another pinhole device that prevents light from entering.ExampleFIG. 4 (B) is a perspective view of the light shielding plate having the same configuration as the light shielding plate 6. In the drawings, the same components as those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
[0029]
4A and 4B, the metal plate sample 1 is sandwiched by a light shielding plate 7 similar to the light shielding plate 6 instead of the glass plate 5. When the glass plate 5 is used, the amount of light incident on the photodetector 2 decreases due to reflection on the surface of the glass plate or the like, or disturbance light incident from the end surface of the glass plate propagates by internal reflection and enters the photodetector 2. Sometimes. These cause a decrease in the detection signal S / N, which causes a reduction in the detection accuracy of the pinhole defect inspection.
Therefore, by using the light shielding plate 7 instead of the glass plate 5, the transmitted light due to the pinhole defect is directly incident on the detector 2, so that the inspection can be performed with higher precision.
[0030]
(Third and fourth application examples of the base technology of the present invention)
If there is a gap between the metal plate sample 1 and the light-shielding plate 6 or the light-shielding plate 7, light leaks from that part, and the leaked light enters the photodetector 2, causing a reduction in detection accuracy. . Therefore, the detection accuracy is improved by increasing the adhesion between the metal plate sample 1 and the light shielding plate 6 or the light shielding plate 7.
For example, in FIG. 4, when the metal plate sample 1 is placed on the light-shielding plate 7 and the light-shielding plate 6 is to be placed thereon by moving only the Z-axis, the Z-axis moving mechanism and the light-shielding plate 6 or the light-shielding plate 7 Is required to be strictly perpendicular to the contact surface with the metal plate sample 1 in, and it is difficult to install so that the above-mentioned gap does not occur. When the metal plate of the metal plate sample 1 has uneven thickness or the like, such installation is practically impossible.
Third and fourth application examples of prerequisite technologyIs intended to improve its adhesion.
[0031]
Third application example of base technologyBy placing a rubber plate having an opening corresponding to the inspection area 1 ′ between the metal plate sample 1 and the light-shielding plate 6 or the light-shielding plate 7 or between the light-shielding plate 7 and the photodetector 2, It is the one with improved characteristics.
[0032]
FIGS. 5A and 5B are diagrams for explaining a mechanism for eliminating a gap between the light-shielding plates 6 and 7 and the metal plate sample 1, and in the figures, reference numeral 8 denotes a rotating mechanism.
[0033]
Fourth application example of prerequisite technologyFor example, a rotation mechanism 8 having the X-axis and the Y-axis as rotation axes is provided on the light-shielding plate 6, and the light-shielding plate 6 is installed according to the inclination of the upper surface of the metal plate sample 1 (the contact surface with the light-shielding plate 6). Thus, the adhesion between the metal plate sample 1 and the light shielding plate 6 is improved.
[0034]
The above is an example in which a pinhole inspection is performed on a sample having an umbrella-shaped projection made of one metal plate (one inspection region). When a sample with one umbrella-shaped protrusion is placed, or when a single metal plate has multiple inspection areas, each inspection area should be inspected for the presence of pinhole defects. Target cases.
[0035]
(Claim1Invention)
FIG.Of the present inventionFIG. 2 is a plan conceptual view of a sheet plate in which a sample having a plurality of umbrella-shaped protrusions is arranged on one sheet-like metal plate or a sheet plate having a plurality of inspection regions on one metal plate, 9 is a sheet plate, A to I are metal plate samples each having an umbrella-shaped projection made of one metal plate (one inspection region), and a to i are those inspection regions.
[0036]
FIG. 7 is a view showing an installation plate 10 for holding the sheet plate 9, and reference numeral 10 'denotes an opening corresponding to an inspection area of each sample on the sheet plate.
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of a pinhole inspection apparatus in which the sheet plate 9 of FIG. 6 is held on the installation plate 10 of FIG. 7 and the light shielding plate 6 is further installed thereon. FIG. 3 is a diagram showing a mode in which a sheet plate 9 is held on a light guide plate 10 and a light shielding plate 6 is installed.
[0037]
8 and 9, the sheet plate 9 is arranged on the installation plate 10 so that the position of the inspection area and the position of the opening coincide with each other. The oblique incidence illumination devices 3 and 4, the light-shielding plate 6, and the photodetector 2 have a moving mechanism that moves integrally within the surface of the test object. For example, when inspecting the metal plate sample A of the sheet plate 9, When the metal plate sample B is to be inspected at a position where the opening of the light shielding plate 6 coincides with the inspection region a, the metal plate sample B can be moved to a position coincident with the inspection region b. Further, the positions of the oblique incidence illumination devices 3 and 4, the light shielding plate 6 and the photodetector 2 may be fixed, and the installation plate 10 (the sheet plate 9) may be movable in the plane. By repeating the above operation from the inspection areas a to i, it is possible to inspect the presence or absence of a pinhole defect in each inspection area of the sheet plate 9.
[0038]
(Claim2Invention)
FIG. 10 is a diagram for explaining a mode in which the sheet plate 9 is held so as to be sandwiched between the installation plates 10 and 11.
Claim2In the invention, the sheet plate 9 is held so as to be sandwiched between the two installation plates 10 and 11.1A pinhole inspection is performed in the same manner as in the invention of (1).
[0039]
When the sheet plate 9 is a thin metal sheet, handling becomes very inconvenient. Further, when the light shielding plate 6 is moved to a predetermined inspection area position, if the light shielding plate 6 is directly in contact with the sheet plate 9 as shown in FIG. 9, the sheet plate 9 may be damaged. .
Therefore, if the installation plate 10, the sheet plate 9, and the installation plate 11 are configured in advance so that the positions of the openings and the inspection area coincide with each other, the oblique incidence illumination devices 3, 4, the light shielding plate 6, and the light detector Even if the position of No. 2 is moved, it is not in contact with the sheet plate 9, so that there is no fear of scratching and the handling becomes easy.
[0040]
(Claim3, Claims4Invention)
In the sheet plate 9 as well, if there is a gap between the sheet plate 9 and the light shielding plate 6, the installation plate 10, etc., light leaks from that portion, and the leaked light enters the photodetector 2, as described above. However, the detection accuracy may be improved by increasing the adhesion between the sheet plate 9 and the light shielding plate 6, the installation plate 10, and the like, which may cause a decrease in the detection accuracy. Claim3And claims4The purpose of the invention is to improve its adhesion,Third and fourth application examples of prerequisite technologyIn the same manner as described above, a rubber plate having an opening of the same size as the inspection area is used, or the light shielding plate 6 is provided with a rotation mechanism having the X-axis and the Y-axis as rotation axes to improve the adhesion, that is, improve the inspection accuracy. Improve.
[0041]
(Fifth application example of base technology of the present invention)
FIG.Fifth application example of prerequisite technology12 is a schematic cross-sectional view of a pinhole inspection apparatus to which the present invention is applied, and FIG. 12 is an assembly configuration diagram of the apparatus. As shown in FIG. 11, the sample is brought into close contact with the test object.
[0042]
11 and 12, the same components as those in the other drawings are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. The test object is shown as a sheet plate 9 having a plurality of plate samples, but may be a single plate sample.
[0043]
The pinhole inspection apparatus shown in FIG. 11 includes an oblique-incidence illuminator and a photodetector, and an opening having a number of inspection areas corresponding to the inspection area of the plate-shaped sample on a sheet plate having one or more plate-shaped samples. A light-shielding plate having an opening of an inspection area size arranged on each side of the illuminating device and the light detector; and a light-shielding plate for the sheet-plate holding means and the sheet-plate holding means. A moving device for moving the held sheet plate so that the inspection area and the opening are brought into close contact with each other so as to be sandwiched therebetween, and the sheet plate holding means or the light-shielding plate are integrated with the lighting device and the photodetector. It has a moving mechanism for moving in a plane.
[0044]
Fifth application example of prerequisite technologyIn the pinhole inspection apparatus described above, an L-shaped positioning member is provided on an installation plate that holds a sheet plate.
[0045]
FIG. 13 is a diagram showing an aspect in which the installation plate has an L-shaped positioning member, and 12 is an L-shaped member.
[0046]
The light applied to the sheet plate 9 provided with a plate-shaped sample having a projection (not shown), which is a test object, which is held on the installation plate 10 by the oblique incidence illumination devices 3 and 4, is applied to a portion where a pinhole defect is present. And is detected by the photodetector 2 disposed on the side opposite to the lighting devices 3 and 4. As the photodetector 2, for example, a high-sensitivity photodetector such as a photomultiplier (photomultiplier) is used, and it is possible to detect minute light transmitted through a pinhole defect on the order of several μm. That is, the presence or absence of a pinhole defect on the order of several μm can be determined. However, it is necessary to consider that the light irradiated by the illumination devices 3 and 4 does not enter the photodetector 2 from a region other than the inspection region of the sheet plate 9. Therefore, the sneaking light is shielded by using the light shielding plates 6 and 7. The above state is inspected sequentially by moving between the parts by the moving mechanism.
[0047]
When the sheet plate 9 as a test sample is installed on the installation plate 10, the inspection area of each metal plate component (plate-like sample) on the sheet plate 9 must be made to coincide with the opening of the installation plate 10. Therefore, the L-shaped member 12 is used as the simplest means for performing the positioning. The L-shaped member 12 is integrated with the installation plate 10 and is located at a position where the corner of the sheet plate 9 can be positioned when the corner is abutted.
[0048]
(Sixth application example of base technology of the present invention)
Sixth application example of base technologyIn the above-described pinhole inspection apparatus, two or more positioning through holes are provided in a test sample, and two or more positioning pins are provided in an installation plate holding the sheet plate.
[0049]
FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the positioning through-holes and the positioning pins. In the figure, 13 and 13 'are positioning pins.
[0050]
Positioning through holes are provided at any two or more positions of the sheet plate 9, and positioning is performed by passing two or more positioning pins 13, 13 ′ attached to the installation plate 10 through the through holes. At this time, the through holes of the sheet plate 9 and the positioning pins 13 and 13 ′ are aligned so that the inspection area of each metal plate component of the sheet plate 9 and the opening of the installation plate 10 coincide when the positions are aligned. Has become.
[0051]
In addition, means for adsorbing the sheet plate 9 can be provided on the installation plate 10. For example, an air flow channel groove is provided in the installation plate 10, and a through hole is formed on the surface from the groove. When the sheet plate 9 is placed on the installation plate 10, suction is performed by drawing air from the through holes. By adding a suction sensor to this, it can be determined whether or not the sheet plate 9 is set. That is, if the suction sensor is not set, the suction sensor is turned off. If the suction sensor is set and suction is performed successfully, the suction sensor is turned on. Thereby, when the inspection apparatus is automated, a trouble that the inspection is started without the sample to be inspected can be avoided.
[0052]
(Seventh application example of base technology of the present invention)
Seventh application example of prerequisite technologyIn the pinhole inspection apparatus described above, a proximity sensor is provided on an installation plate that holds a sheet plate.
[0053]
FIG. 15 is a view showing a mode in which the proximity sensor is provided on the installation plate, and is provided at an arbitrary position of the installation plate 10 (for example, a position hidden under an arbitrary portion of the sheet plate 9 when the sheet plate 9 is set). A reflection type proximity sensor 14 is attached. When the sheet plate 9 is set, the reflected light returns, and the presence thereof can be recognized. That is,Seventh application example of prerequisite technologyAlsoSixth application example of base technologySimilarly to the above, when the inspection apparatus is automated, a trouble that the inspection is started without the sample to be inspected can be avoided. The same purpose can be achieved by setting the reflection type proximity sensor 14 so as to sandwich the sheet plate 9 even in the transmission type.
[0054]
(Eighth application example of base technology of the present invention)
Eighth application example of base technologyIn the above-described pinhole inspection device, a through hole is provided at a position off the center line of the sheet plate, for example, and the installation plate holding the sheet plate is close to a position that is the same position as the through hole when the sheet plate is held. A sensor is provided.
[0055]
FIG. 16 is a view showing a mode in which the proximity sensor is provided at a position which is the same as the position of the through hole provided at a position deviated from the center line of the sheet plate. Here, the reflection type proximity sensor 14 is used.
[0056]
A through hole 15 is provided at a position deviated from the center line (S in FIG. 16, dashed line) of the sheet plate 9. The sensor portion of the proximity sensor is set at a position overlapping with the through hole 15 when the sheet plate 9 is set. When the sheet plate 9 is set on the installation plate 10, the light of the proximity sensor is transmitted if the sheet plate 9 is set in a correct state. However, if the sheet 9 is set upside down or upside down, the reflected light returns to the proximity sensor 14. That is, it is possible to determine whether the sheet plate 9 is set correctly.
[0057]
(Ninth application example of base technology of the present invention)
Ninth application example of prerequisite technologyIn the above-described pinhole inspection device, a through hole is provided at a position off the center line of the sheet plate, for example, and the installation plate holding the sheet plate is close to a position that is the same position as the through hole when holding the sheet plate. A sensor is provided, and another proximity sensor is provided at another position.
[0058]
FIG. 17 is a diagram showing a mode in which a proximity sensor is provided at another position. In the figure, reference numeral 16 denotes another proximity sensor provided at another position.
[0059]
Eighth application example of base technologyAccording to the configuration described above, even when the sheet plate is not set, the light from the proximity sensor is transmitted, so that it is not possible to distinguish the inspection device when it is automated. Therefore, another proximity sensor 16 is used.Seventh application example of prerequisite technologyWhen the sheet plate 9 is provided in the same manner as described above, the case where the sheet plate 9 is not set and the case where the sheet plate 9 is correctly set can be distinguished by the proximity sensor. The proximity sensor 14 transmits light, and the proximity sensor 16 reflects light. Furthermore, if the positions of the proximity sensor 14 and the proximity sensor 16 are symmetrical with respect to the center line of the sheet plate 9 (S in FIG. 16), an error in the setting state of the sheet plate 9 may be upside down or upside down. It is possible to distinguish between. If the front and back are mistaken, the proximity sensor 14 will reflect, and the proximity sensor 16 will transmit, so that the pattern is completely opposite to that when set correctly.
[0060]
FIG. 18 shows the above-described pinhole detection device in which the photodetector 2 has a device 17 for adjusting the sensitivity. The sensitivity can be adjusted, for example, by adjusting the voltage of a drive power supply for a photomultiplier used as a photodetector. Adjusting the sensitivity of the photodetector means changing the pinhole detection accuracy, and by that means, it is possible to cope with many specifications of the inspection apparatus. For example, as a specification of the detection accuracy, it is possible to cope with a pinhole on the order of several μm or a pinhole on the order of tens of μm by adjusting the sensitivity. In addition, if the material and thickness of the metal sheet change, the amount of transmitted light due to the pinhole naturally changes, but such a case can be dealt with by changing the detection accuracy by the sensitivity adjusting means.
[0061]
(Tenth application example of the base technology of the present invention)
Tenth application example of base technologyIn the above-described pinhole inspection apparatus, means for adjusting the light amount of the illumination optical system is provided.
[0062]
FIG.Tenth application example of base technologyFIG. 11 is a view for explaining the adjustment of the light quantity of the illumination light according to the first embodiment, which is omitted in FIG. Device.
[0063]
Tenth application example of base technologyThe light source light amount adjusting means 19 can adjust the light amount from a minimum (0) to a maximum and can open and close the shutter 18 '. The shutter 18 'does not have to be integrated with the light source, but may be provided at any place where light is blocked. In order to detect a minute pinhole, considerably strong light is required, and the larger the amount of light of the illumination optical system, the more advantageous the detection of the pinhole. However, the stronger the light, the more the influence on the surroundings needs to be considered. For example, the heat of the light may cause the sheet plate 9 to be deformed with the passage of time, or may have an influence on the device when there is another device using light around the device. Therefore, it is necessary to cover the illuminating means 3 and 4 so that light is not leaked to the surroundings as much as possible. However, when moving (except during inspection (pinhole detection)), light should not be emitted as much as possible. In addition, it is effective to minimize the light amount of the light source (0) or block the light with a shutter. Of course, the same effect can be obtained even if the power of the light source is turned on / off. However, the light intensity is not stable immediately after the power of the light source is turned on, which causes a variation in inspection accuracy. In addition, adverse effects such as the fact that the lamp is liable to be burned out by repeating ON / OFF of the power supply also appear.
[0071]
【The invention's effect】
Claim1According to the invention ofAn illumination device for irradiating a light-reflective plate-shaped sample with an umbrella projection with illumination light from an oblique direction, and detecting an amount of light transmitted through a pinhole present under the umbrella of the umbrella-shaped projection of the plate-shaped sample. The presence of the photodetector makes it possible to inspect the presence or absence of a pinhole defect located in a portion of the plate-shaped sample having an umbrella-shaped projection and hidden under the umbrella. Also,A sheet plate holding a plurality of inspection area size openings corresponding to the inspection areas of the respective plate samples of the sheet plate in which a plurality of the plate samples are arranged or a sheet plate formed of a plurality of light reflective plate samples. Means, on each side of the illuminating device and the photodetector, the sheet plate holding means and the sheet plate held by the sheet plate holding means were arranged so as to sandwich the inspection area and opening, Since a light-shielding plate having an opening of an inspection area size and a moving mechanism for moving the sheet plate holding means or the light-shielding plate integrally with the lighting device and the photodetector are provided, a plurality of plate-like samples are provided. It is possible to easily inspect a sheet plate that has been made or made of the sample. In addition, it is possible to hold the sheet plate and to perform high-level light shielding of circulating light other than a defect other than a pinhole defect, thereby improving inspection accuracy.
[0072]
Claim2According to the invention of claim1In the present invention, since the sheet plate has a sheet plate holding means configured to be sandwiched between two installation plates having a plurality of openings of the inspection area size, operability with respect to the sheet plate can be improved.
[0073]
Claim3According to the invention of claim1Or2In the invention of the above, since the elastic plate is installed between the sheet plate and the installation plate, and between the sheet plate holding means and the light shielding plate, the sneaking light from other than the sheet plate and the pinhole defect is provided. It is possible to improve the adhesion to the light shielding plate and improve the inspection accuracy.
[0074]
Claim4According to the invention of claim1Or3In any one of the inventions described above, since the light-shielding plate is provided with a rotation mechanism that rotates in two planes perpendicular to the sample surface of the sheet-like sample of the sheet plate, the sneaking light from other than the sheet plate and the pinhole defect is provided. And the inspection accuracy can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional shape of a metal plate sample having an umbrella-shaped protrusion.
FIG. 2 of the present invention.Based on underlying technologyIt is a schematic structure figure of a pinhole inspection device.
FIG. 3 of the present invention.Based on underlying technologyA pinhole inspection device that prevents light from enteringOne caseFIG. 3 is a schematic configuration diagram for explaining the method.
FIG. 4 of the present invention.Based on underlying technologyOther than pinhole inspection equipment that prevents light from enteringExampleFIG. 3 is a schematic configuration diagram for explaining the method.
FIG. 5 of the present invention.Prerequisite technologyFIG. 4 is a diagram for explaining a mechanism for eliminating a gap between a light-shielding plate and a metal plate sample.
FIG. 6Of the present inventionFIG. 2 is a conceptual plan view of a sheet plate in which a sample having a plurality of umbrella-shaped protrusions is arranged on one sheet-shaped metal plate.
FIG. 7 is a view showing an installation plate for installing a sheet plate used in the pinhole inspection device of the present invention.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram of a pinhole inspection apparatus according to the present invention in which a sheet plate is installed on an installation plate.
FIG. 9 is a view showing a mode in which a sheet plate is installed on an installation plate of the present invention and a light shielding plate is installed.
FIG. 10 is a diagram showing an embodiment in which the sheet plate of the present invention is sandwiched between two installation plates.
FIG. 11 is the present invention.Prerequisite technology1 is a schematic sectional view of the configuration of a pinhole inspection apparatus to which the present invention is applied.
FIG. 12 shows the present invention.Prerequisite technologyFIG. 1 is an assembly configuration diagram of a pinhole inspection device to which is applied.
FIG. 13 is a diagram showing an embodiment in which the installation plate of the present invention has an L-shaped positioning member.
FIG. 14 of the present invention.Prerequisite technologyIt is a figure which shows the relationship between a positioning through-hole and a positioning pin.
FIG. 15 of the present invention.Prerequisite technologyIt is a figure which shows the aspect which provides a proximity sensor in an installation board.
FIG. 16 of the present invention.Prerequisite technologyIt is a figure which shows the aspect which provides a proximity sensor in the place which becomes the same position as the through-hole provided in the position deviated from the center of the sheet plate.
FIG. 17 of the present invention.Prerequisite technologyIt is a figure showing the mode of providing a proximity sensor in another position.
FIG. 18 is a diagram in which a sensitivity adjustment device is added to the photodetector of the pinhole inspection device.
FIG. 19 of the present invention.Prerequisite technologyFIG. 3 is a diagram in which a light amount adjusting unit is added to the illumination device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal plate sample, 1 '... Inspection area of a metal plate sample, 2 ... Photodetector (photomultiplier), 3, 4 ... Oblique incidence illumination device, 5 ... Glass plate, 6, 7 ... Shield plate, 8 ... Rotation Reference numeral 9: Sheet plate, 10: Installation plate, 10 ': Opening corresponding to the inspection area, 11: Installation plate, 12: L-shaped positioning member, 13, 13': Positioning pin, 14: Proximity sensor, 15 ... Through hole, 16 proximity sensor, 17 sensitivity adjustment device, 18 light source, 18 'illumination light shutter, 19 light intensity adjustment device, 20 metal plate, 30 umbrella-shaped projection, 40 pinhole, A to I: metal plate sample, a to i: inspection area, S: center line.

Claims

An illumination device for irradiating illumination light to a light-reflective plate-shaped sample having an umbrella-shaped protrusion from an oblique direction, and detecting the amount of light transmitted through a pinhole present under the umbrella-shaped protrusion of the plate-shaped sample. In a pinhole inspection device having a photodetector,
A sheet plate holding a plurality of inspection area size openings corresponding to the inspection areas of the respective plate samples of the sheet plate in which a plurality of the plate samples are arranged or a sheet plate formed of a plurality of light reflective plate samples. and means, on each side of said optical detection intelligence unit and the illumination device was arranged the seat plate which is held in the seat plate holding means and said seat plate holding means so as to sandwich match the inspection area and the opening , a light shielding plate having an opening in the examination area size, the sheet plate holding means or the light shielding plate, wherein a to Lupi Nhoru inspection to have a moving mechanism for moving integrally with the lighting device and the light detection intelligence unit apparatus.

The pinhole inspection apparatus according to claim 1 , further comprising a sheet plate holding unit configured to sandwich the sheet plate between two installation plates having a plurality of openings of the inspection area size.

Between the installation plate and the sheet plate, and the pinhole inspection apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that it has established a resilient plate between the seat plate holding means and the light shielding plate.

Wherein the light shielding plate, the pinhole inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it has established a rotation mechanism that rotates 2 plane perpendicular to the sample surface of the plate-shaped sample of the sheet plate.