JP2023074135A - エッチング方法、および、エッチング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記エッチング装置によれば、プラズマを使用しないエッチングではエッチングされない、シリコン窒化物層やシリコン層について、プラズマを使用するエッチングを組み合わせることができ、シリコン窒化膜層やシリコン層のエッチング選択性の自由度を高めることができる。
上記エッチング装置によれば、導入口の位置関係と角度を連続的に設定可能となり、さらに細かくエッチャントを真空槽内で合成する位置を変更することができる。
上記エッチング方法によれば、第1の処理で受けるラジカルに起因されるエッチングの分布を第1の処理が受けることが無くなる。
図1から図4を参照して、エッチング装置を説明する。
図1が示すエッチング装置10は、複数の基板を同時にエッチングすることが可能に構成されている。基板は、第1処理対象と第2処理対象とを備えている。第1処理対象は、シリコン酸化物層である。第2処理対象は、シリコン窒化物層、または、第1処理対象であるシリコン酸化物層に覆われたシリコン層である。
NH3ガス供給部23、HFガス供給部24、および、NF3ガス供給部25は、処理チャンバー11に接続されている。NH3ガス供給部23、HFガス供給部24、および、NF3ガス供給部25は、個別の配管によって処理チャンバー11に接続される。
エッチング装置10は、処理チャンバー11にNH3ガスを導入するNH3ガス導入口と、処理チャンバー11にHFガスを導入するHFガス導入口とを備えている。NH3ガス導入口とHFガス導入口との少なくとも一方が、対象口である。NH3ガス導入口は、第1のガス導入口の一例であり、HFガス導入口は第2のガス導入口の一例である。エッチング装置10は、複数の対象口の候補を備えている。基板Sの中心SCと、1つの候補との間の距離が、基板Sの中心SCと他の候補との間の距離と異なっている。
またあるいは、エッチング装置10は、2つのNH3ガス供給部23からNH3ガスを供給させ、かつ、一方のNH3ガス供給部23が、2つの第1候補31に向けてNH3ガスを供給してもよい。これにより、エッチング装置10は、2つのNH3ガス供給部23を用いて、3つのNH3ガス導入口から処理チャンバー11にNH3ガスを導入することが可能である。
図5から図8を参照して、エッチング方法を説明する。
図5は、各供給部21,22,23,24,25からガスが供給されるタイミング、および、マイクロ波源28から放電管26に向けてマイクロ波が発振されるタイミングを示すタイミングチャートである。
図9から図12を参照して、エッチング方法およびエッチング装置の作用を説明する。図9は、シリコン層52に対するシリコン酸化物層53の選択比を示している。選択比は、シリコン層52のエッチング量に対するシリコン酸化物層53のエッチング量の比である。図10は、シリコン窒化物層51に対するシリコン酸化物層53の選択比を示している。選択比は、シリコン窒化物層51のエッチング量に対するシリコン酸化物層53のエッチング量の比である。
(1)第1工程において、第1処理対象のエッチングをNH3ガスおよびHFガスを用いて行うから、第1工程と第2工程との両方においてプラズマを用いてエッチングを行う場合に比べて、基板S間においてエッチング量に分布が生じにくい。
(3)各対象口から供給されるガスの流量を設定することが可能である。そのため、1つの対象口から導入されるガスの流量を変更することや、第1の対象口から供給されるガスの流量と、第2の対象口から供給されるガスの流量との比を変えることなどによって、基板Sの面内におけるエッチングの分布を変えることが可能である。
なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施してもよい。
・エッチング装置10において、NH3ガス導入口およびHFガス導入口のいずれか一方のみが対象口でもよい。例えば、NH3ガス導入口が対象口である場合には、処理チャンバー11におけるHFガス導入口の位置が固定されている。これに対して、HFガス導入口が対象口である場合には、処理チャンバー11におけるNH3導入口の位置が固定されている。
・上述したように、1つのNH3ガス供給部23が複数の配管に接続し、かつ、各配管が1つの第1候補31に接続されている場合には、複数の配管には、第1のコンダクタンスを有する配管と、第2のコンダクタンスを有する配管とが含まれてもよい。第1のコンダクタスは、第2のコンダクタンスとは異なる。この場合には、NH3ガス供給部23における設定値が同一であっても、NH3ガス供給部23がNH3ガスを供給する配管として、第1のコンダクタンスを有する配管が選択された場合と、第2のコンダクタンスを有する配管が選択された場合とで、NH3ガスの流量を変更することが可能である。
・図13が示すように、エッチング装置10は、第1移動機構41と第2移動機構42とを備えてもよい。第1移動機構41および第2移動機構42は、処理チャンバー11内において、排気部11Bと対向する位置に配置されている。第1移動機構41は、第1回転部41A、第1ノズル41B、および、NH3ガス導入口41Cを備えている。回転部41A、第1ノズル41B、および、NH3ガス導入口41Cは、処理チャンバー11内に設置されている。第1回転部41Aは、処理チャンバー11が延びる方向と平行な方向に沿って延びる回転軸を中心とする回転、すなわち、回転移動が可能に構成されている。第1ノズル41Bは、第1回転部41Aに接続されている。NH3ガス導入口41Cは、第1ノズル41Bの先端に位置している。第1回転部41Aには、NH3ガス供給部23が接続されている。NH3ガス導入口41Cには、第1回転部41Aおよび第1ノズル41Bを通じて、NH3ガスが供給される。
・第1工程では、シリコン酸化物層53の全てが除去されてもよいし、シリコン酸化物層53の一部が、基板S上に残されてもよい。なお、第1工程においてシリコン酸化物層53の一部が基板S上に残された場合には、第2工程において、シリコン層52あるいはシリコン窒化物層51とともにシリコン酸化物層53の一部が除去されてよい。
11…処理チャンバー
21…N2ガス供給部
22,23…NH3ガス供給部
24…HFガス供給部
25…NF3ガス供給部
26…放電管
27…導波管
28…マイクロ波源
Claims (22)
- 真空槽に収容される複数の基板の各々が、第1処理対象と第2処理対象とを備え、
前記第1処理対象がシリコン酸化物層であり、
前記第2処理対象がシリコン窒化物層または前記シリコン酸化物層に覆われたシリコン層であり、
NH3ガスとHFガスとを前記真空槽に導入することによって、前記第1処理対象をエッチングする第1工程と、
前記第1工程後に、NH3ガスを含むガスから生成されたプラズマと、NF3ガスとを前記真空槽に供給することによって、前記第2処理対象をエッチングする第2工程と、を含む
エッチング方法。 - 前記真空槽にNH3ガスを導入するNH3ガス導入口、および、前記真空槽にHFガスを導入するHFガス導入口の少なくとも一方が、対象口であり、
前記第1工程よりも前に、前記対象口の位置を変えることによって、前記基板の中心と前記対象口との間の距離を変える変更工程を含む
請求項1に記載のエッチング方法。 - 前記基板にNH3ガスを導入するNH3ガス導入口、および、前記基板にHFガスを導入するHFガス導入口のいずれか一方が、対象口であり、
前記第1工程よりも前に、複数の前記対象口において、各対象口から供給されるガスの流量を独立して設定する設定工程を含む
請求項1に記載のエッチング方法。 - 前記設定工程は、前記対象口から導入するガスのガス流路のコンダクタンスを予め設定することで各対象口から導入する前記ガスの流量を変える
請求項3に記載のエッチング方法。 - 基板が、第1処理対象と第2処理対象とを備え、
前記第1処理対象がシリコン酸化物層であり、
前記第2処理対象がシリコン窒化物層または前記シリコン酸化物層に覆われたシリコン層であり、
複数の前記基板を収容する真空槽と、
NH3ガスとHFガスとを前記真空槽に導入することによって、前記第1処理対象をエッチングする第1処理部と、
前記第1処理対象による処理の後に、NH3ガスを含むガスから生成されたプラズマと、NF3ガスとを前記真空槽に導入することによって、前記第2処理対象をエッチングする第2処理部と、を備える
エッチング装置。 - 前記真空槽にNH3ガスを導入するNH3ガス導入口と、
前記真空槽にHFガスを導入するHFガス導入口と、を備え、
前記NH3ガス導入口と前記HFガス導入口との少なくとも一方が、対象口であり、
前記エッチング装置は、複数の前記対象口の候補を備え、
前記基板の中心と、1つの前記候補との間の距離が、前記中心と他の前記候補との間の距離と異なる
請求項5に記載のエッチング装置。 - 前記真空槽にNH3ガスを導入するNH3ガス導入口と、
前記真空槽にHFガスを導入するHFガス導入口と、を備え、
前記NH3ガス導入口と前記HFガス導入口との少なくとも一方が、対象口であり、
前記エッチング装置は、前記基板の中心と前記対象口との間の距離を変更するように前記対象口を移動させる移動機構をさらに備える
請求項5に記載のエッチング装置。 - 前記真空槽にNH3ガスを導入するNH3ガス導入口と、
前記真空槽にHFガスを導入するHFガス導入口と、を備え、
前記NH3ガス導入口と前記HFガス導入口とのいずれか一方が、対象口であり、
前記エッチング装置は、複数の前記対象口を備え、
前記エッチング装置は、各対象口に対して当該対象口から供給するガスの流量を制御する流量制御部を1つずつ備える
請求項5に記載のエッチング装置。 - 前記流量制御部は、全ての前記対象口から導入するガスの総流量を保ち、かつ、各対象口から導入する前記ガスの流量を変えるように前記ガスの前記流量を制御する
請求項8に記載のエッチング装置。 - 複数の基板を収容する真空槽と、
前記真空槽にNH3ガスを導入する第1のガス導入口と、
前記真空槽にHFガスを導入する第2のガス導入口と、
前記第1のガス導入口と前記第2のガス導入口との間の距離を変更する機構と、を備える
エッチング装置。 - NF3ガスを導入するための第3のガス導入口と、
放電管を介して放電されたNH3ガスを導入するための第4のガス導入口と、をさらに備える
請求項10に記載のエッチング装置。 - 1つの流路から導入されたNH3ガスが、2つ以上の前記第1のガス導入口に分岐されており、かつ、
1つの流路から導入されたHFガスが、2つ以上の前記第2のガス導入口に分岐されており、
NH3ガスおよびHFガスの分岐を選択することで、NH3ガス導入口の対象口とHFガス導入口の対象口との間の距離が変化する機構を備えた
請求項10に記載のエッチング装置。 - 1つの流路から導入されたNH3ガスは、異なるコンダクタンスを持つ流路に分岐され、かつ、
1つの流路から導入されたHFガスは、異なるコンダクタンスを持つ流路に分岐される
請求項12に記載のエッチング装置。 - 1つの流路から導入されたNH3ガスが、2つ以上の前記第1のガス導入口に分岐されており、かつ、
1つの流路から導入されたHFガスが、2つ以上の前記第2のガス導入口に分岐されており、
分岐された流路は、それぞれ流量制御部を1つずつ備える
請求項10に記載のエッチング装置。 - 前記第1のガス導入口および前記第2のガス導入口が、前記基板の法線に平行かつ直線上に配置され、さらに、導入されるガスが前記基板に平行にかつ互いに平行になるように備えられており、かつ、
前記真空槽内に設置された前記基板の法線に平行な軸に前記第1のガス導入口および前記第2のガス導入口が取り付けられ、前記軸を中心に回転移動する機構を備えた
請求項10に記載のエッチング装置。 - 真空槽に収容される複数の基板について、
NH3ガスとHFガスとを前記真空槽に導入することで実行される第1の処理と、
NH3ガスを含むガスから生成されたプラズマと、NF3ガスとを前記真空槽に供給することによって実行される第2の処理と、を含む
エッチング方法。 - 前記第1の処理の対象がシリコン酸化物層であり、
前記第2の処理の対象がシリコン窒化物層または前記シリコン酸化物層に覆われたシリコン層である
請求項16に記載のエッチング方法。 - 前記第1の処理後に、前記第2の処理が実施される
請求項17に記載のエッチング方法。 - 前記第1の処理において、1つの流路から導入されたNH3ガスが、2つ以上の第1のガス導入口に分岐されており、かつ、
1つの流路から導入されたHFガスが、2つ以上の第2のガス導入口に分岐されており、
NH3ガスおよびHFガスの分岐を選択することで、NH3ガス導入口の対象口とHFガス導入口の対象口との間の距離を変化させる
請求項16に記載のエッチング方法。 - 1つの流路から導入されたNH3ガスは、異なるコンダクタンスを持つ流路に分岐され、かつ、
1つの流路から導入されたHFガスは、異なるコンダクタンスを持つ流路に分岐され、
NH3ガスとHFガスとがそれぞれ異なる流量で、前記第1のガス導入口および前記第2のガス導入口から導入される
請求項19に記載のエッチング方法。 - 前記第1の処理において、1つの流路から導入されたNH3ガスが、2つ以上の第1のガス導入口に分岐されており、かつ、
1つの流路から導入されたHFガスが、2つ以上の第2のガス導入口に分岐されており、
分岐された流路にそれぞれ1つずつ備えられた流量制御部によって、NH3ガスとHFガスの対象口がそれぞれ異なる流量・異なる距離の組み合わせで前記第1のガス導入口および前記第2のガス導入口から導入される
請求項16に記載のエッチング方法。 - 前記第1の処理において、前記基板の法線に平行かつ直線上に配置され、さらに、導入されるガスが前記基板に平行にかつ互いに平行になるように備えられ、かつ、前記真空槽内に設置された前記基板の法線に平行な軸に取り付けられた第1のガス導入口および第2のガス導入口から、前記軸を中心に各導入口を回転移動させ、前記第1のガス導入口の距離と前記第2のガス導入口との間の距離・導入角度を設定したのちにNH3ガスとHFガスが導入される
請求項16に記載のエッチング方法。
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