JP2023067758A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2023067758A5
JP2023067758A5 JP2022142513A JP2022142513A JP2023067758A5 JP 2023067758 A5 JP2023067758 A5 JP 2023067758A5 JP 2022142513 A JP2022142513 A JP 2022142513A JP 2022142513 A JP2022142513 A JP 2022142513A JP 2023067758 A5 JP2023067758 A5 JP 2023067758A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integral gain
flow rate
liquid material
control valve
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2022142513A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2023067758A (ja
JP7811165B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JP2023067758A publication Critical patent/JP2023067758A/ja
Publication of JP2023067758A5 publication Critical patent/JP2023067758A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7811165B2 publication Critical patent/JP7811165B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2022142513A 2021-11-01 2022-09-07 気化装置、気化装置の制御方法、気化装置用プログラム、及び、流体制御装置 Active JP7811165B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021178560 2021-11-01
JP2021178560 2021-11-01

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2023067758A JP2023067758A (ja) 2023-05-16
JP2023067758A5 true JP2023067758A5 (https=) 2025-01-20
JP7811165B2 JP7811165B2 (ja) 2026-02-04

Family

ID=86146629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022142513A Active JP7811165B2 (ja) 2021-11-01 2022-09-07 気化装置、気化装置の制御方法、気化装置用プログラム、及び、流体制御装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US12399513B2 (https=)
JP (1) JP7811165B2 (https=)
KR (1) KR20230063321A (https=)
CN (1) CN116069070A (https=)
TW (1) TW202320172A (https=)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2025003021A (ja) * 2023-06-23 2025-01-09 サーパス工業株式会社 流量調整装置および流量調整装置の制御方法
CN119536102B (zh) * 2025-01-21 2025-04-18 常州高凯电子有限公司 对温度波动不敏感的阀门控制方法、控制器及汽化装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4393677B2 (ja) * 1999-09-14 2010-01-06 株式会社堀場エステック 液体材料気化方法および装置並びに制御バルブ
WO2008090839A1 (ja) * 2007-01-26 2008-07-31 Horiba Stec, Co., Ltd. 流量計
JP5357053B2 (ja) * 2007-12-19 2013-12-04 株式会社堀場エステック 液体材料気化装置
US7905139B2 (en) * 2008-08-25 2011-03-15 Brooks Instrument, Llc Mass flow controller with improved dynamic
US8265795B2 (en) * 2009-11-05 2012-09-11 Horiba Stec, Co., Ltd. Mass flow controller
JP5548292B1 (ja) * 2013-05-30 2014-07-16 株式会社堀場エステック 加熱気化システムおよび加熱気化方法
JP6675865B2 (ja) * 2015-12-11 2020-04-08 株式会社堀場エステック 液体材料気化装置
JP6879782B2 (ja) * 2017-03-06 2021-06-02 株式会社堀場エステック 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム
JP7421318B2 (ja) * 2019-11-27 2024-01-24 株式会社堀場エステック 液体材料気化装置、液体材料気化装置の制御方法、及び、液体材料気化装置用プログラム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2023067758A5 (https=)
TWI420568B (zh) 流量比率控制裝置
TWI754728B (zh) 氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法
JP4564376B2 (ja) Lng利用発電プラントおよびその運転方法
EP1959193A4 (en) METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING COMBUSTION IN BOILERS HEATED WITH OXYGEN
JP7481123B2 (ja) 気化装置、成膜装置、濃度制御機構用プログラム、及び、濃度制御方法
CN113251192B (zh) 一种采用考虑阀门响应时间的数字阀控制系统及控制方法
EP3009645B1 (en) Gas engine
CN201186942Y (zh) 一种连续退火炉用加湿装置
CA2697916A1 (en) Apparatus and method for controlling the temperature of a cryogen
AU2014279324A1 (en) Gas engine
JP7811165B2 (ja) 気化装置、気化装置の制御方法、気化装置用プログラム、及び、流体制御装置
TWI867099B (zh) 液體材料汽化裝置及其控制方法和程式儲存媒體
JP3372137B2 (ja) 疑似燃焼排ガス調整装置
JP2016008803A (ja) ボイラ装置
US12521745B2 (en) Method and apparatus for pulse gas delivery with pressure control
JP3875596B2 (ja) 機能性超純水の製造方法及びそれに用いる装置
JP2013080631A (ja) 燃料電池の加湿ガス供給装置及びその方法
JP2024122352A5 (https=)
KR101261150B1 (ko) 급탕기의 온수공급 제어방법
CN100998441A (zh) 用于烟片加工的滚筒类设备热风温度控制方法
JP2018115557A5 (https=)
CN112762432A (zh) 一种气态高加疏水精确加氧装置及加氧方法
JPH0522815B2 (https=)
JP2005019212A (ja) 燃料電池における加湿燃料ガスの湿度制御装置