JP2023067686A - 3dフラッシュメモリモジュールチップおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
16:チャネルピラー
20:メモリセル
24:絶縁性充填層
28:絶縁性ピラー
32a:導電性ピラー/ソースピラー
32b:導電性ピラー/ドレインピラー
34:水平開口部
36:ブロッキング層
37,1204:バリア層
38,2028:ゲート層
40:電荷蓄積構造
52:ゲートスタック構造
54,1304,2054:絶縁層
1000:メモリチップ
1010:第1の基板
1010W:ウエハ
1020:能動デバイス(第1のトランジスタ)
1030:第1の相互接続構造
1032:下部相互接続構造
1034:上部相互接続構造
1040,2031:誘電体層
1100,11001,11002:3Dフラッシュメモリ構造
1110:スリットトレンチ
1112:絶縁ライナ層
1200,12001,12002,12003:ヒータ
1202:金属層
1300,2050:接合層
3000:接合構造
1302,1302a,1302b,2052,2052a,2052b:パッド
2000:制御チップ
2000C,2000C1:列
2000R,2000R1:駆動行
2010:第2の基板
2012:活性領域
2020,20201:第2のトランジスタ
2022a:ソース領域
2022b:ドレイン領域
2024:ゲート誘電体層
2030:第2の相互接続構造
2032,2034,C1,C2,C3:コンタクト
2036,2040,2040a,2040b,2040c:導電線
2038,2042,2042a,2042b:ビア
2100:グローバル電源
2200:行デコーダ
2300:列デコーダ
5000:3Dフラッシュメモリモジュールチップ
A0,A1,A2:行アドレス信号
A3,A4:列アドレス信号
AR:アレイ領域
B,B1,B2,B3,B4:セクタ
BM1:下部第1金属層
BM2:下部第2金属層
BM3:下部第3金属層
BV1,BV2,TV1:ビア
TM1:上部第1金属層
TM2:上部第2金属層
E1:第1の端部
E2:第2の端部
OP1:溝
OP2:パッド開口部
SC:階段構造
SL:スクライブライン
SLT:スリット
SR:階段領域
T,T’,T1,T1’,T2,T2’,T3,T3’,T4,T4’:タイル
W1,W2:幅
I-I’,II-II’:線
X,Y,Z:方向
Claims (18)
- メモリチップであって、
それぞれが複数の3Dフラッシュメモリ構造を含む複数のタイル、および
前記タイルのそれぞれの前記3Dフラッシュメモリ構造の周りに配置された複数のヒータ、
を含む、メモリチップと、
前記ヒータのうちの少なくとも1つを駆動するために前記メモリチップに接合された制御チップと、
を含む、3Dフラッシュメモリモジュールチップ。 - 前記ヒータが前記3Dフラッシュメモリ構造の上方に配置され、前記制御チップに隣接している、請求項1に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。
- 前記ヒータが前記3Dフラッシュメモリ構造間の複数のスリットトレンチ内に配置されている、請求項1に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。
- 前記メモリチップが、
第1の基板上に配置された複数の第1のトランジスタと、
前記第1のトランジスタの上方に位置する前記3Dフラッシュメモリ構造と、
第1の相互接続構造であって、前記3Dフラッシュメモリ構造が前記第1の相互接続構造内に埋め込まれている、第1の相互接続構造と、
をさらに含む、請求項1に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。 - 前記第1の相互接続構造が、
前記3Dフラッシュメモリ構造と前記第1のトランジスタとの間に位置し、前記3Dフラッシュメモリ構造と前記第1のトランジスタとを電気的に接続する下部相互接続構造と、
前記3Dフラッシュメモリ構造上に位置し、前記3Dフラッシュメモリ構造に電気的に接続する上部相互接続構造と、
を含む、請求項4に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。 - 前記制御チップが、
それぞれが、
第2の基板上に位置する第2のトランジスタであって、前記第2のトランジスタのソース領域がグローバル電源に電気的に接続されている、第2のトランジスタと、
前記第2のトランジスタのドレイン領域に電気的に接続され、前記ヒータのうちの1つのヒータの第1の端部に電気的に接続された第1のパッドと、
接地され、前記ヒータのうちの前記1つのヒータの第2の端部に電気的に接続された第2のパッドと、
を含む、複数の駆動行
を含む、請求項4に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。 - 前記制御チップが、
前記駆動行の前記第2のトランジスタの複数のゲート層に電気的に結合された行デコーダと、
前記第2のトランジスタの複数のソース領域および前記グローバル電源に電気的に接続された列デコーダと、
をさらに含む、請求項6に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。 - 前記制御チップがアレイ状に配列された複数のタイルを含み、同じ列内の前記タイルの前記第2のトランジスタの前記ソース領域が互いに電気的に接続されている、請求項6に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。
- 前記制御チップと前記メモリチップとが接合構造によって接合されている、請求項6に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。
- 前記複数の3Dフラッシュメモリ構造が複数の3D ANDフラッシュメモリ構造、複数の3D NANDフラッシュメモリ構造、または複数の3D NORフラッシュメモリ構造を含む、請求項6に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップ。
- メモリチップを形成するステップであって、
第1の基板上に複数のタイルを形成することであり、前記タイルのそれぞれが複数の3Dフラッシュメモリ構造を含む、第1の基板上に複数のタイルを形成すること、および
前記タイルのそれぞれの前記3Dフラッシュメモリ構造の周りに複数のヒータを形成すること、
を含む、メモリチップを形成するステップと、
制御チップを形成するステップと、
前記制御チップと前記メモリチップを接合するステップであって、前記制御チップが前記ヒータを駆動するように構成されている、前記制御チップと前記メモリチップを接合するステップと、
を含む、3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。 - 前記ヒータが前記3Dフラッシュメモリ構造の上方に形成されている、請求項11に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。
- 前記ヒータが前記3Dフラッシュメモリ構造の周りの複数のスリットトレンチ内に形成されている、請求項11に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。
- 前記メモリチップを形成する前記ステップが、
前記第1の基板上に複数の第1のトランジスタを形成するステップと、
前記第1のトランジスタの上方に前記3Dフラッシュメモリ構造を形成するステップと、
を含む、請求項11に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。 - 前記制御チップを形成する前記ステップが、
複数の駆動行を形成するステップであって、前記駆動行のそれぞれの形成が、
第2の基板上に第2のトランジスタを形成することと、
前記第2のトランジスタ上に第2の相互接続構造を形成することであり、前記第2のトランジスタのソース領域が前記第2の相互接続構造を介してグローバル電源に電気的に結合される、第2の相互接続構造を形成することと、
前記第2の相互接続構造上に第1のパッドを形成することであり、前記第1のパッドが前記第2の相互接続構造を介して前記第2のトランジスタのドレイン領域に電気的に接続される、第1のパッドを形成することと、
前記第2の相互接続構造上に第2のパッドを形成することであり、前記第2のパッドが前記第2の相互接続構造を介して接地に電気的に接続される、第2のパッドを形成することと、
を含む、複数の駆動行を形成するステップ、
を含む、請求項14に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。 - 前記第1のパッドを前記ヒータのうちの1つのヒータの第1の端部に電気的に接続するステップと、
前記第2のパッドを前記ヒータのうちの前記1つのヒータの第2の端部に電気的に接続するステップと、
をさらに含む、請求項15に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。 - 前記制御チップと前記メモリチップとが接合構造によってハイブリッド接合されている、請求項11に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。
- 前記複数の3Dフラッシュメモリ構造が複数の3D ANDフラッシュメモリ構造、複数の3D NANDフラッシュメモリ構造、または複数の3D NORフラッシュメモリ構造を含む、請求項11に記載の3Dフラッシュメモリモジュールチップの製造方法。
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