JP2023067549A - 撮像装置および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】チップコストおよび消費電力を削減することが可能な撮像装置および電子機器を提供する。【解決手段】本開示の一実施形態の撮像装置は、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する1または複数の受光画素と、1または複数の受光画素それぞれから読み出されたアナログ信号をデジタル信号に変換する、受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、1または複数受光画素および1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットとを備えたものであり、複数の画素ユニットは、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて1または複数の受光画素が隣接するように配置されている。【選択図】図11

Description

本開示は、例えば、画素毎にアナログデジタル変換を行う撮像装置およびこれを備えた電子機器に関する。
例えば、特許文献1では、複数のデジタル信号がそれぞれに含まれる所定数のラインが配列されたフレームを生成する相関二重サンプリング回路と、K(Kは整数)番目のフレームより前に生成されたK-1番目のフレームを保持する時間遅延積分(TDI)フレームメモリと、K番目のフレーム内の所定アドレスのラインとK-1番目のフレーム内の所定アドレスから一定距離離れたアドレスのラインとを加算するTDI処理を行うTDI回路とを備えた固体撮像素子が開示されている。
特開2021-34862号公報
ところで、リニアセンサとして用いられる撮像装置では、チップコストおよび消費電力の削減が求められている。
チップコストおよび消費電力を削減することが可能な撮像装置および電子機器を提供することが望ましい。
本開示の一実施形態の撮像装置は、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する1または複数の受光画素と、1または複数の受光画素それぞれから読み出されたアナログ信号をデジタル信号に変換する、受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、1または複数受光画素および1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットとを備えたものであり、複数の画素ユニットは、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて1または複数の受光画素が隣接するように配置されている。
本開示の一実施形態の電子機器は、上記本開示の一実施形態の撮像装置を備えたものである。
本開示の一実施形態の撮像装置および一実施形態の電子機器では、受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、1または複数受光画素および1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットのうち、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて1または複数の受光画素が隣接するように配置するようにした。これにより、フレームメモリを削減する。
本開示の実施の形態に係る撮像装置の概略構成を表すブロック図である。 図1に示した撮像装置の利用例を説明する図である。 図1に示した撮像素子の積層構造の一例を表す模式図である。 図3に示した受光チップの構成の一例を表すブロック図である。 図3に示した回路チップの構成の一例を表すブロック図である。 図5に示した画素AD変換部の構成の一例を表すブロック図である。 図6に示したADCの構成の一例を表すブロック図である。 図1に示した撮像素子(画素ユニット)の構成の一例を表す模式図である。 図8に示した画素ユニットの画素アレイ部における配列単位の一例を表す平面模式図である。 図9に示した画素ユニットの画素アレイ部におけるレイアウトの一例を表す図である。 図9に示した2つの画素ユニットの等価回路図である。 図5に示した信号処理回路の構成の一例を表すブロック図である。 図3に示した撮像素子の動作の一例を示すタイミングチャートである。 図12に示した信号処理回路の演算を説明する図である。 本開示の変形例1に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位および画素アレイ部におけるレイアウトの一例を表す図である。 本開示の変形例1に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位および画素アレイ部におけるレイアウトの他の例を表す図である。 本開示の変形例1に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位および画素アレイ部におけるレイアウトの他の例を表す図である。 本開示の変形例2に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位の等価回路図である。 図18に示した画素ユニットの配列単位における配線レイアウトの一例を表す模式図である。 図18に示した画素ユニットの配列単位における配線レイアウトの他の例を表す模式図である。 図18に示した撮像素子の動作の一例を示すタイミングチャートである。 本開示の変形例3に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位および画素アレイ部におけるレイアウトの一例を表す図である。 図21に示した画素ユニットの配列単位におけるADCのレイアウトの一例を表す図である。 図21に示した画素ユニットの配列単位におけるADCのレイアウトの他の例を表す図である。 図21に示した画素ユニットの配列単位におけるADCのレイアウトの他の例を表す図である。 図21に示した画素ユニットの配列単位におけるADCのレイアウトの他の例を表す図である。 本開示の変形例3に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位および画素アレイ部におけるレイアウトの他の例を表す図である。 本開示の変形例4に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位の等価回路図である。 図24に示した画素ユニットを構成する受光画素の平面レイアウトの一例を表す図である。 本開示の変形例5に係る撮像素子における画素ユニットの配列単位の等価回路図である。 図26に示した画素ユニットを構成する受光画素の平面レイアウトの一例を表す図である。 図27に示したI-I’線に対応する撮像素子の断面構成の一例を表す模式図である。 図26に示した撮像素子の動作の一例を示すタイミングチャートである。
以下、本開示における一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明は本開示の一具体例であって、本開示は以下の態様に限定されるものではない。また、本開示は、各図に示す各構成要素の配置や寸法、寸法比等についても、それらに限定されるものではない。なお、説明する順序は、下記の通りである。
1.実施の形態(一方向に隣接する画素間で2つのFDを共有する撮像装置の例)
2.変形例1(画素ユニットの構成の他の例)
3.変形例2(画素ユニットの構成の他の例)
4.変形例3(画素ユニットの構成の他の例)
5.変形例4(画素ユニットの構成の他の例)
6.変形例5(画素ユニットの構成の他の例)
<1.実施の形態>
図1は、本開示の一実施の形態に係る撮像装置(撮像装置1)の構成の一例を表したものである。撮像装置1は、画像データを撮像する装置であり、例えば、光学部100、撮像素子200、記憶部300、制御部400および通信部500を備える。
光学部100は、入射光を集光して撮像素子200へ導くものである。撮像素子200は、画像データを撮像するものである。撮像素子200は、画像データを記憶部300に信号線を介して供給する。
記憶部300は、画像データを記憶するものである。制御部400は、撮像素子200を制御して画像データを撮像させるものである。制御部400は、例えば、信号線を介して撮像タイミングを示す垂直同期信号VSYNCを撮像素子200に供給する。
通信部500は、画像データを記憶部300から読み出して外部に送信するものである。
図2は、図1に示した撮像装置1の利用例を表したものである。撮像装置1は、例えば図2に示したように、ベルトコンベア600を有する工場等で用いられる。
ベルトコンベア600は、一定の速度で被写体610を所定の方向(例えば、図2の矢印方向)に移動させるものである。撮像装置1は、ベルトコンベア600の近傍に固定され、被写体610を撮像して画像データを生成する。生成された画像データは、例えば、欠陥の有無等の検査に用いられる。これにより、ファクトリー・オートメーション(FA)が実現される。
なお、撮像装置1はこの構成に限定されない。例えば、空撮等、被写体に対して撮像装置1が一定速度で移動して撮像する構成であってもよい。
[撮像素子の構成]
図3は、図1に示した撮像素子200の積層構造の一例を表したものである。撮像素子200は、例えば、受光チップ201および回路チップ202が積層された構成を有する。受光チップ201と回路チップ202とは、例えばビア等の接続部を介して互いに電気的に接続されている。なお、受光チップ201と回路チップ202とは、ビアの他に、Cu-Cu接合やバンプ等を用いて電気的に接続することができる。
図4は、図3に示した受光チップ201の構成の一例を表したものである。受光チップ201は、例えば、画素アレイ部210および周辺回路220を有する。
画素アレイ部210には、複数の画素回路212が2次元アレイ状に配列される。画素アレイ部は、例えば、複数の画素ブロック211に分割される。これら画素ブロック211のそれぞれには、例えば、4行×2列の画素回路212が配列されている。
周辺回路220には、例えば、DC(Direct Current)電圧を供給する回路等が配置されている。
図5は、図3に示した回路チップ202の構成の一例を表したものである。回路チップ202には、DAC(Digital to Analog Converter)、画素駆動回路232、時刻コード生成部233、画素AD変換部234および垂直走査回路235を有する。回路チップ202には、さらに、制御回路236、信号処理回路250、画像処理回路260および出力回路237を有する。
DAC231は、DAC231は、所定のAD変換期間内に亘って参照信号をDA(Digital to Analog)変換により生成するものである。例えば、のこぎり刃状のランプ信号が参照信号として用いられる。DAC231は、参照信号を画素AD変換部234に供給する。
時刻コード生成部233は、AD変換期間内の時刻を示す時刻コードを生成するものである。時刻コード生成部233は、例えば、カウンタにより実現される。カウンタとして、例えば、グレイコードカウンタが用いられる。時刻コード生成部233は、時刻コードを画素AD変換部234へ供給する。
画素駆動回路232は、画素回路212のそれぞれを駆動してアナログの画素信号を生成させるものである。
画素AD変換部234は、画素回路212のそれぞれのアナログ信号(即ち、画素信号)をデジタル信号に変換するAD変換を行うものである。画素AD変換部234は、複数のクラスタ240により分割される。クラスタ240は、画素ブロック211毎に設けられ、対応する画素ブロック211内のアナログ信号をデジタル信号に変換する。
画素AD変換部234は、AD変換によりデジタル信号を配列した画像データをフレームとして生成し、信号処理回路250に供給する。このフレームにおいて、水平方向に配列されたデジタル信号の集合を以下、「ライン」と称する。ラインのそれぞれには、垂直方向におけるラインの位置を示すアドレスである行アドレスが割り当てられている。
垂直走査回路235は、画素AD変換部234を駆動してAD変換を実行させるものである。
信号処理回路250は、フレームに対して所定の信号処理を行うものである。信号処理として、CDS処理およびTDI処理を含む各種の処理が実行される。信号処理回路250は、処理後のフレームを画像処理回路260に供給する。
画像処理回路260は、信号処理回路250から供給されたフレームに対して、所定の画像処理を実行するものである。画像処理として、画像認識処理、黒レベル補正処理、画像補正処理やデモザイク処理等が実行される。画像処理回路260は、処理後のフレームを出力回路237に供給する。
出力回路237は、画像処理後のフレームを外部に出力するものである。
制御回路236は、DAC231、画素駆動回路232、垂直走査回路235、信号処理回路250、画像処理回路260および出力回路237のそれぞれの動作タイミングを垂直同期信号VSYNCに同期して制御するものである。
[画素AD変換部の構成例]
図6は、図5に示した画素AD変換部234の構成の一例を表したものである。この画素AD変換部234には、複数のADC241が2次元アレイ状に配列される。ADC241は、画素回路212毎に配置される。例えば、画素回路212の行数および列数がN行(Nは、整数)およびM列(Mは、整数)である場合には、N×M個のADC241が配置される。
クラスタ240のそれぞれには、画素ブロック211内の画素回路212の個数と同じ個数のADC241が配置される。例えば、画素ブロック211内に4行×2列の画素回路212が配列される場合には、クラスタ240内にも4行×2列のADC241が配列される。
ADC241は、対応する画素回路212により生成されたアナログの画素信号に対してAD変換を行うものである。ADC241は、AD変換において画素信号と参照信号とを比較し、その比較結果が反転したときの時刻コードを保持する。そして、ADC241は、保持した時刻コードをAD変換後のデジタル信号として出力する。
リピータ部246はクラスタ240の列毎に配置される。例えば、クラスタ240の列数がM/2である場合には、M/2個のリピータ部246が配置される。リピータ部246は、時刻コードを転送するものである。リピータ部246は、時刻コード生成部233からADC241へ時刻コードを転送する。また、リピータ部246は、ADC241から信号処理回路250へデジタル信号を転送する。このデジタル信号の転送は、デジタル信号の「読出し」とも呼ばれる。
なお、図中の()内の数字は、ADC241のデジタル信号の読出し順序の一例を示している。例えば、1行目の奇数列のデジタル信号が1番目に読み出され、1行目の偶数列のデジタル信号が2番目に読み出される。2行目の奇数列のデジタル信号が3番目に読み出され、2行目の偶数列のデジタル信号が3番目に読み出される。以下、同様に、各行の奇数列、偶数列のデジタル信号が順に読み出される。
また、図6では、画素回路212毎に、ADC241を配置した例を示したが、この構成に限定されない。複数の画素回路212が1つのADC241を共有する構成であってもよい。
[ADCの構成例]
図7は、図6に示したADC241の構成の一例を表したものである。ADC241は、例えば、差動入力回路242、正帰還回路243、ラッチ制御回路244および複数のラッチ回路245を有する。
詳細は後述するが、画素回路212と差動入力回路242の一部とは、受光チップ201に配置され、受光画素Pと共に画素ユニットUを構成している。差動入力回路242の残りと、その後段の回路とは、回路チップ202に配置される。
差動入力回路242は、画素回路212からの画素信号と、DAC231からの参照信号とを比較するものである。この差動入力回路242は、比較結果を示す比較結果信号を正帰還回路243に供給する。
正帰還回路243は、出力の一部を入力(比較結果信号)に加算し、出力信号VCOとしてラッチ制御回路244に供給するものである。
ラッチ制御回路244は、垂直走査回路235からの制御信号xWORDに従って、出力信号VCOが反転したときの時刻コードを複数のラッチ回路245に保持させるものである。
ラッチ回路245は、ラッチ制御回路244の制御に従って、リピータ部246からの時刻コードを保持するものである。ラッチ回路245は、時刻コードのビット数の分設けられる。例えば、時刻コードが15ビットの場合には、ADC241内に15個のラッチ回路245が配置される。また、保持された時刻コードは、AD変換後のデジタル信号としてリピータ部246により読み出される。
以上により、ADC51は、画素回路212からの画素信号をデジタル信号に変換する。
[信号処理回路の構成例]
図8は、図5に示した信号処理回路250の構成の一例を表したものである。信号処理回路250は、複数のセレクタ251、複数の演算回路252、CDSフレームメモリ253およびTDIフレームメモリ254を有する。
セレクタ251は、クラスタ240の列毎、換言すると、リピータ部246毎に配置される。例えば、クラスタ240に2列のADC241が配列される場合には、2列毎にセレクタ251が配置される。演算回路252は、ADC241の列毎に配置される。例えば、ADC241がM列である場合には、M/2個のセレクタ251と、M個の演算回路252とが配置される。
リピータ部246は、上記のように、奇数列のデジタル信号と偶数列のデジタル信号とを順に出力する。
セレクタ251は、制御回路236の制御に従ってデジタル信号の出力先を選択するものである。例えば、リピータ部246により奇数列が出力された場合には、セレクタ251は、その奇数列に対応する演算回路252にデジタル信号を出力する。一方、偶数列が出力された場合には、セレクタ251は、その偶数列に対応する演算回路252にデジタル信号を出力する。
演算回路252は、セレクタ251からのデジタル信号に対してCDS処理とTDI処理とを行うものである。
ここで、デジタル信号は、P相レベルおよびD相レベルを含む。P相レベルは、画素回路212がリセット信号RSTsにより初期化されたときのレベルを示す。一方、D相レベルは、転送信号TRsにより電荷が転送されたときの露光量に応じたレベルを示す。P相レベルは、リセットレベルとも呼ばれ、D相レベルは、信号レベルとも呼ばれる。
CDS処理において、M個の演算回路252は、P相レベルを配列したP相フレームをCDSフレームメモリ253に保持させる。そして、M個の演算回路252は、画素毎にP相レベルと、D相レベルとの差分を求め、差分データを配列したCDSフレームを生成する。
そして、TDI処理において、M個の演算回路252は、最初のCDSフレームをTDIフレームメモリ254に保持させる。次に、M個の演算回路252は、CDS処理後の2フレーム目のCDSフレーム内の所定アドレスのラインと、1フレーム目のフレーム内の所定アドレスから一定距離離れたアドレスのラインとを加算する。加算するアドレス間の距離には、被写体の移動距離が早いほど大きい値が設定される。例えば、加算するアドレス間の距離に「1」が設定される。この場合、隣接するライン同士が加算される。2フレーム目以降においては、K(Kは、整数)番目のCDSフレームに対し、そのフレームより前に生成されたK-1番目のCDSフレームがTDIフレームメモリ254に保持される。
また、M個の演算回路252は、CDSフレームと、TDI処理後のTDIフレームとを画像処理回路260に供給する。
図9は、図8に示した信号処理回路250の演算を説明するための図である。
複数の画素回路212のそれぞれは、光電変換によりアナログの画素信号を生成して画素AD変換部234に供給する。画素AD変換部234には、複数のADC241が二次元アレイ状に配列される。複数のADC241は、アナログの画素信号をデジタル信号に変換し、リピータ部360を介して演算回路252に転送する。デジタル信号は、リセットレベルと、露光量に応じた信号レベルとを含む。ADC241のそれぞれは、リセットレベルの次に信号レベルを出力する。
CDS回路430は、P相レベルを配列した最初のP相フレームをCDSフレームメモリ440に保持させる。D相レベルが入力されるとCDS回路430は、CDSフレームメモリ440からP相フレームを読み出し、P相レベルおよびD相レベルの差分を求めるCDS処理を行う。そして、CDS回路430は、CDS処理後の最初のCDSフレームによりCDSフレームメモリ440を更新し、そのCDSフレームをTDIフレームメモリ450に保持させる。
そして、CDS回路430は、2フレーム目のP相フレームをCDSフレームメモリ440に保持させる。D相レベルが入力されるとCDS回路430は、CDSフレームメモリ440からP相フレームを読み出し、P相レベルおよびD相レベルの差分を求める2回目のCDS処理を行う。そして、CDS回路430は、CDS処理後の2フレーム目のCDSフレームによりCDSフレームメモリ440を更新する。
続いて、TDI回路420は、K-1番目のCDSフレーム内の所定アドレスのラインをTDIフレームメモリ450から読み出し、K番目のフレーム内の所定アドレスから一定距離離れた(例えば、隣接する)アドレスのラインをCDSフレームメモリ440から読み出す。そして、TDI回路420は、それらのラインを加算し、加算したラインによりTDIフレームメモリ450を更新する。
3フレーム目以降は、上述の2フレーム目と同様の処理が繰り返し実行される。ただし、3フレーム以降は、積算対象のライン数が1ラインずつ増大する。積算回数は、一定回数(4回等)になるまで増大する。これらの処理により、積算データを配列したTDIフレームが生成される。
[画素ユニットの構成]
図10は、画素ユニットUの構成の一例を表したものである。上記のように、画素回路212およびADC241の一部(具体的には、差動入力回路242の一部)は、受光画素Pと共に受光チップ201に設けられている。画素ユニットUは、受光画素Pと、ADC241の一部が設けられた回路部とを有する。受光画素Pと回路部(以下、ADC241とする)とは略同一の形成面積を有し、被写体の移動方向(例えば、X軸方向)に並設されている。
図11は、画素ユニットUを画素アレイ部210に配列する際の配列単位の一例を表したものである。図12は、図11に示した画素ユニットUの画素アレイ部210におけるレイアウトの一例を表したものである。図13は、図11に示した2つの画素ユニットUの画素回路212の構成の一例を表したものである。
画素アレイ部210には、X軸方向に隣り合う2つの画素ユニットUを1つの配列単位として複数の画素ユニットが2次元アレイ状に配列される。配列単位を構成する2つの画素ユニットU1,U2は、図11に示したように、それぞれの受光画素P,Pが隣接するように配置されている。換言すると、配列単位を構成する2つの画素ユニットU1,U2では、P,Pおよびそれぞれに設けられたADC241は、互いにミラー反転するようにレイアウトされている。
画素アレイ部210には、この画素ユニットU1,U2からなる配列単位がX軸方向およびY軸方向に複数配列される。即ち、X軸方向に隣り合う配列単位では、ADC241が隣接するように配置されている。Y軸方向には、それぞれの受光画素PおよびADC241が、互いに隣接配置されている。
受光画素P,Pは、互いに共通の構成要素を有している。以降、受光画素P,Pの構成要素を互いに区別するために、受光画素Pの構成要素の符号の末尾に識別符号A、受光画素Pの構成要素の符号の末尾に識別符号Bを付与する。受光画素P,Pの構成要素を互いに区別する必要のない場合には、受光画素P,Pの構成要素の符号の末尾の識別符号を省略する。
受光画素P,Pは、例えば、1つのフォトダイオードPDと、2つの転送トランジスタTR-1,TR-2と、浮遊拡散層FDと、リセットトランジスタRSTと、増幅トランジスタAMPと、選択トランジスタSELとを有する。転送トランジスタTR-1,TR-2、リセットトランジスタRST、増幅トランジスタAMPおよび選択トランジスタSELとして、例えば、nMOS(n-channel Metal Oxide Semiconductor)トランジスタが用いられる。
フォトダイオードPDは、光電変換により電荷を生成するものである。
転送トランジスタTR-1,TR-2は、画素駆動回路232からの転送信号TXsに従って、フォトダイオードPDから浮遊拡散層FDへ電荷を転送するものである。
浮遊拡散層FDは、転送された電荷を蓄積して、電荷量に応じた電圧を生成するものである。
リセットトランジスタRSTは、画素駆動回路232からのリセット信号RSTsに従って、浮遊拡散層FDを初期化するものである。
増幅トランジスタAMPは、そのゲート電極が浮遊拡散層FDに、ドレイン電極が電源部にそれぞれ接続されており、浮遊拡散層FDが保持している電圧信号の読み出し回路、所謂ソースフォロア回路の入力部となる。
選択トランジスタSELは、画素駆動回路232からの選択信号SELsが印加されると導通状態となり、受光画素Pが選択状態となる。
本実施の形態では、配列単位を構成する2つの画素ユニットU1,U2は、上記のように、それぞれの受光画素P,Pが隣接するように配置されている。隣接する受光画素P,Pの境界にはそれぞれの浮遊拡散層FD,FDが配置されている。浮遊拡散層FD,FDは、それぞれ、受光画素P,Pによって共有されている。即ち、受光画素P,Pそれぞれにおいて生成された電荷は、浮遊拡散層FD,FDのそれぞれに転送されるようになっている。
[撮像素子の動作例]
図14は、撮像素子200の動作の一例を表すタイミングチャートである。本実施の形態では、受光画素Pはそれぞれ、2つの出力先を有する。例えば、受光画素Pにおいて生成された電荷は、浮遊拡散層FD,FDのそれぞれに転送されるようになっている。浮遊拡散層FD,FDのそれぞれには画素回路212およびADC231が接続されている。そのため、1つのADC回路で処理に要する時間は2フレーム期間となる。
浮遊拡散層FD,FDを共有する受光画素P,Pは、被写体の移動方向(X軸方向)に隣接配置されている。即ち、受光画素P,Pは、互いに露光タイミングが異なる。受光画素P,Pにおいてそれぞれ生成された電荷は、浮遊拡散層FD,FDにおいてそれぞれアナログ加算された後、画素回路212に読み出される。
例えば、受光画素Pにおいて生成された電荷は、フレーム1において浮遊拡散層FDに転送され(P相)、フレーム2の間、浮遊拡散層FDに転送された電荷は保持される。その後、フレーム3において、浮遊拡散層FDの電圧に応じた電圧を画素電圧として出力する(D相)。この間に、画素回路212のそれぞれのアナログ信号(即ち、画素信号)がデジタル信号に変換される。また、受光画素Pにおいて生成された電荷は、フレーム2において浮遊拡散層FDに転送され(P相)、フレーム3の間、浮遊拡散層FDに転送された電荷は保持される。その後、フレーム4において、浮遊拡散層FDの電圧に応じた電圧を画素電圧として出力する(D相)。この間に、画素回路212のそれぞれのアナログ信号(即ち、画素信号)がデジタル信号に変換される。
例えば、受光画素Pにおいて生成された電荷は、フレーム3において浮遊拡散層FDに転送され(P相)、フレーム4の間、浮遊拡散層FDに転送された電荷は保持される。その後、フレーム5において、浮遊拡散層FDの電圧に応じた電圧を画素電圧として出力する(D相)。この間に、画素回路212のそれぞれのアナログ信号(即ち、画素信号)がデジタル信号に変換される。また、受光画素Pにおいて生成された電荷は、フレーム4において浮遊拡散層FDに転送され(P相)、フレーム5の間、浮遊拡散層FDに転送された電荷は保持される。その後、フレーム6において、浮遊拡散層FDの電圧に応じた電圧を画素電圧として出力する(D相)。この間に、画素回路212のそれぞれのアナログ信号(即ち、画素信号)がデジタル信号に変換される。
[作用・効果]
本実施の形態の撮像装置1では、受光画素PおよびADC241が被写体の移動方向(例えば、X軸方向)に並設された画素ユニットUを構成し、X軸方向に隣り合う2つの画素ユニットUにおいて受光画素Pが隣接するように配置するようにした。これにより、フレームメモリを削減する。
TDI加算処理では、時間をずらして撮像したデータを加算することになる。そのため、加算フレーム数(TDI段数ともいう)に応じたフレームメモリを必要とする。フレームメモリはチップに占める面積が大きいため、フレームメモリの必要量が大きいということは、チップサイズが大きくなり、チップコストが増大する。また、フレームメモリの動作に必要な消費電力も全体に対して小さくないため、これも影響する。
これに対して、本実施の形態では、X軸方向に隣り合う2つの画素ユニットUにおいて受光画素Pが隣接するように配置するようにした。これにより、TDI加算対象のうち一部を電荷の状態で先に加算してからAD変換し、残りをデジタルTDI加算することで、デジタル加算時に用いられるフレームメモリを削減することができる。
具体的には、受光画素PおよびADC241が被写体の移動方向(例えば、X軸方向)に並設された画素ユニットUにおいて、X軸方向に隣り合う画素ユニットUの間にそれぞれの受光画素P,Pに設けられた2つの浮遊拡散層FD,FDを共有する。この2つの浮遊拡散層P,Pでそれぞれの受光画素P,Pの信号を加算し、各浮遊拡散層P,Pに接続されるADC241でデジタル変換する。これにより、元々のTDI動作を実現する。よって、フレームメモリを半分にすることができるようになる。
以上により、本実施の形態の撮像装置1では、チップコストおよび消費電力を削減することが可能となる。
また、本実施の形態の撮像装置1では、同じフレームレート(スキャンレート)であれば、2倍の時間をかけてAD変換することができる。また、一般的な撮像装置と同じ時間処理とすることにより、スキャンレートを倍増させることができる。
次に、本開示の変形例1~5について説明する。以下では、上記実施の形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、適宜その説明を省略する。
<2.変形例1>
図15は、本開示の変形例1に係る撮像素子200の画素ユニットUの配列単位および画素アレイ部210における画素ユニットUのレイアウトの一例を表したものである。図16は、本開示の変形例1に係る撮像素子200の画素ユニットUの配列単位および画素アレイ部210における画素ユニットUのレイアウトの他の例を表したものである。図17は、本開示の変形例1に係る撮像素子200の画素ユニットUの配列単位および画素アレイ部210における画素ユニットUのレイアウトの他の例を表したものである。
上記実施の形態では、略同一の形成面積を有する受光画素PおよびADC241を被写体の移動方向(例えば、X軸方向)に並設した例を示したが、これに限定されるものではない。
ADC241の形成面積は、例えば、受光画素Pの形成面積の整数倍であればよい。ADC241の形成面積は、例えば図15に示したように、受光画素Pの形成面積に対して2倍または3倍以上としてもよい。
ADC241の形成面積は、例えば、隣り合う画素ユニットUのADC241の合計の形成面積が受光画素Pの形成面積の整数倍であればよい。つまり、ADC241の形成面積は、例えば図16に示したように、受光画素Pの形成面積に対する1/2としてもよい。
また、ADC241を全て回路チップ202側に設ける場合には、例えば図17に示したように、受光チップ201におけるADC241の形成面積を削除することができる。
<3.変形例2>
図18は、本開示の変形例2に係る撮像素子200における画素ユニットUの配列単位の等価回路図である。図19Aは、図18に示した画素ユニットUの配列単位および配線レイアウトの一例を表したものである。図19Bは、図18に示した画素ユニットUの配列単位および配線レイアウトの他の例を表したものである。
上記実施の形態では、画素ユニットUが1つの受光画素Pを有する例を示したが、画素ユニットUを構成する受光画素Pの数はこれに限定されるものではない。
画素ユニットUを構成する受光画素Pの数は、2つまたはそれ以上の受光画素Pを含んでいてもよい。図18は、2つの受光画素Pをそれぞれ有する2つの画素ユニットUを1つの配列単位とした場合の画素回路212の構成の一例を表したものである。
配列単位を構成する2つの画素ユニットU1,U2は、それぞれ、2つの受光画素P,Pおよび受光画素P,Pを有する。配列単位を構成する2つの画素ユニットU1,U2では、受光画素P,P,P,PがX軸方向のこの順に隣接配置されている。受光画素P,P,P,Pそれぞれは、浮遊拡散層FD,FD,FD,FDが設けられている。
浮遊拡散層FD,FD,FD,FDは、例えば図19Aに示したように、受光画素Pと受光画素Pとの境界、受光画素Pと受光画素Pとの境界にそれぞれ配置されている。その場合には、例えば図19Aに示したように配線することで、それぞれの境界に配置された浮遊拡散層FD,FD,FD,FDを4つの受光画素P,P,P,P間で共有することができる。
あるいは、浮遊拡散層FD,FD,FD,FDは、例えば図19Bに示したように、受光画素P,P,P,Pのそれぞれに配置するようにしてもよい。その場合には、例えば図19Bに示したように配線することで、それぞれの境界に配置された浮遊拡散層FD,FD,FD,FDを4つの受光画素P,P,P,P間で共有することができる。
図20は、本変形例の撮像素子200の動作の一例を表すタイミングチャートである。本変形例では、受光画素P,P,P,Pはそれぞれ、4つの出力先を有する。浮遊拡散層FD,FD,FD,FDのそれぞれには画素回路212およびADC231が接続されている。そのため、1つのADC回路で処理に要する時間は4フレーム期間となる。
このように、本変形例では、画素アレイ部210に配列する際の配列単位として4つの受光画素P,P,P,Pを隣接配置し、4つの浮遊拡散層FD,FD,FD,FDを共有するようにした。これにより、例えば、1画素あたりに配置される浮遊拡散層FDおよび転送トランジスタTRの数は4つに増加するものの、AD期間をさらに延長できるようになる。
<4.変形例3>
図21は、本開示の変形例3に係る撮像素子200の画素ユニットUの配列単位および画素アレイ部210における画素ユニットUのレイアウトの一例を表したものである。
上記実施の形態では、Y軸方向には、それぞれの受光画素PおよびADC241が、互いに隣接配置される例を示したが、2つの画素ユニットUからなる配列単位のレイアウトはこれに限定されるものではない。
例えば、図21に示したように、2つの画素ユニットUからなる配列単位は、Y軸方向に、例えば画素ユニットUを構成する受光画素Pの分だけ、X軸方向にずらして配置するようにしてもよい。即ち、受光画素PのY軸方向にACD241が隣接配置されるようにしてもよい。
また、図21に示したように、受光画素Pの隣にADC241が配置される場合には、各画素ユニットUにおけるADC241のレイアウトも適宜変更することができる。
例えば、ADC241は、図22Aに示したように、2つの画素ユニットUからなる配列単位の両側に、受光画素Pの1/2幅分ずつ配置するようにしてもよい。
例えば、ADC241は、図22Bに示したように、配列単位を構成する2つの画素ユニットUのY軸方向の一方または他方に、受光画素Pの形成面積に相当するADC241を配置するようにしてもよい。
例えば、ADC241は、図22Cに示したように、配列単位を構成する2つの画素ユニットUのY軸方向の一方または他方に、ADC241をL字状に配置するようにしてもよい。
例えば、ADC241は、図22Dに示したように、配列単位を構成する2つの画素ユニットUのX軸方向およびY軸方向の両方に、受光画素Pの形成面積に相当するようにADC241を分割して配置するようにしてもよい。
なお、図21では、略同一の形成面積を有する受光画素PおよびADC241を、例えば、被写体の移動方向(例えば、X軸方向)に並設した例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、図23に示したように、受光画素Pの形成面積に対して2倍の形成面積を有するADC241をそれぞれ有する2つの画素ユニットUからなる配列単位を、受光画素PのY軸方向にACD241が隣接配置されるようにしてもよい。
<5.変形例4>
図24は、本開示の変形例4に係る撮像素子200における画素ユニットUの配列単位の等価回路図である。図25は、図24に示した画素ユニットUの配列単位におけるレイアウトの一例を表したものである。
画素ユニットUを構成する受光画素Pには、それぞれ、排出トランジスタOFGを設けるようにしてもよい。排出トランジスタOFGは、画素駆動回路232からの駆動信号OFGsに従ってフォトダイオードPDに蓄積された電荷を排出させるものである。
これにより、本変形例の撮像素子200では、任意のタイミングでフォトダイオードPDをリセットすることができる。即ち、露光時間を任意に設定することが可能となる。
<6.変形例5>
図26は、本開示の変形例5に係る撮像素子200における画素ユニットUの配列単位の等価回路図である。図27は、図26に示した画素ユニットUを構成する受光画素Pの平面レイアウトの一例を表したものである。図28は、図27に示したI-I’線に対応する受光画素Pの断面構成の一例を表したものである。図29は、撮像素子200の動作の一例を表すタイミングチャートである。
画素ユニットUを構成する受光画素Pには、メモリ部MEMをさらに設けるようにしてもよい。具体的には、フォトダイオードPDと浮遊拡散層FD,FDとの間、フォトダイオードPDと浮遊拡散層FD,FDとの間にそれぞれメモリ部MEM-1,MEM-2を設けるようにしてもよい。
メモリ部MEM-1,MEM-2は、例えば、半導体基板内においてフォトダイオードPDとは異なる階層に設けられる。メモリ部MEM-1,MEM-2は、フォトダイオードPDで生成された電荷を一時的に保持するものである。
これにより、本変形例の撮像素子200では、フォトダイオードPDで生成された電荷を浮遊拡散層FDで保持しなくて済むため、P相およびD相のそれぞれの期間を最小化することができる。
以上、実施の形態および変形例1~5を挙げて本開示を説明したが、本技術は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であってその記載に限定されるものではなく、他の効果があってもよい。
なお、本開示は以下のような構成をとることも可能である。以下の構成の本技術によれば、受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、1または複数受光画素および1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットのうち、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて1または複数の受光画素が隣接するように配置するようにした。これにより、フレームメモリを削減する。よって、チップコストおよび消費電力を削減することが可能となる。
(1)
受光量に応じた電荷を光電変換により生成する1または複数の受光画素と、
前記1または複数の受光画素それぞれから読み出されたアナログ信号をデジタル信号に変換する、前記受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、
前記1または複数の受光画素および前記1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットとを備え、
前記複数の画素ユニットは、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて前記1または複数の受光画素が隣接するように配置されている
撮像装置。
(2)
前記1または複数の受光画素はそれぞれ、1または複数の浮遊拡散層を有し、
前記1または複数の浮遊拡散層は、前記第1の方向に前記1または複数の受光画素が隣接するように配置された前記複数のユニットの間で共有されている、前記(1)に記載の撮像装置。
(3)
前記1または複数のアナログデジタル回路の少なくとも一部を含む回路部が、平面視において、前記1または複数の受光画素に並設されている、前記(1)または(2)に記載の撮像装置。
(4)
前記回路部は、前記1または複数の受光画素に対して前記第1の方向に並設されている、前記(3)に記載の撮像装置。
(5)
前記複数の画素ユニットは、さらに、前記第1の方向に直交する第2の方向に、前記1または複数の受光画素が隣接するように配置されている、前記(4)に記載の撮像装置。
(6)
前記複数の画素ユニットは、さらに、前記第1の方向に直交する第2の方向に、前記複数の画素ユニットを構成する前記1または複数の受光画素分だけ前記第1の方向にずれて配置されている、前記(5)に記載の撮像装置。
(7)
前記回路部は、前記1または複数の受光画素に対して、前記第1の方向に直交する第2の方向に並設されている、前記(3)に記載の撮像装置。
(8)
前記複数の画素ユニットは、さらに、前記第1の方向に直交する第2の方向に、前記複数の画素ユニットを構成する前記1または複数の受光画素分だけ前記第1の方向にずれて配置されている、前記(7)に記載の撮像装置。
(9)
前記複数の画素ユニットにおける前記1または複数のアナログデジタル回路の形成面積は、前記受光画素の形成面積の1/2または整数倍である、前記(3)乃至(8)のうちのいずれか1つに記載の撮像装置。
(10)
前記受光画素は、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する受光部と、前記受光部において生成された前記電荷を前記2つの画素ユニットにおいて共有された2つの前記浮遊拡散層へ転送する2つの第1の転送トランジスタと、前記電荷に基づく画素信号を前記アナログデジタル変換回路に出力する画素回路とをさらに有する、前記(2)乃至(9)のうちのいずれか1つに記載の撮像装置。
(11)
前記画素回路は、前記受光部を任意のタイミングでリセットする排出トランジスタをさらに有する、前記(10)に記載の撮像装置。
(12)
前記複数の画素ユニットとして、前記第1の方向に順に配置された第1の画素ユニット、第2の画素ユニット、第3の画素ユニットおよび第4の画素ユニットを有し、
隣り合う前記第1の画素ユニットと前記第2の画素ユニットおよび隣り合う前記第3の画素ユニットおよび前記第4の画素ユニットでは、それぞれの前記1または複数の受光画素が隣接配置され、隣り合う前記第2の画素ユニットと前記第3の画素ユニットでは、それぞれの前記回路部が隣接配置されている、前記(3)乃至(11)のうちのいずれか1つに記載の撮像装置。
(13)
前記第1の画素ユニットはそれぞれ1つの第1の受光画素および第1の浮遊拡散層を、
前記第2の画素ユニットはそれぞれ1つの第2の受光画素および第2の浮遊拡散層をそれぞれ有し、
前記第1の浮遊拡散層および前記第2の浮遊拡散層は、隣接配置された前記第1の受光画素と前記第2の受光画素との境界に配置され、前記第1の画素ユニットおよび前記第2の画素ユニットに共有されている、前記(12)に記載の撮像装置。
(14)
前記第1の画素ユニットおよび前記第2の画素ユニットは互いに露光タイミングが異なり、
前記第1の受光画素および前記第2の受光画素においてそれぞれ生成された電荷は、前記第1の浮遊拡散層および前記第2の浮遊拡散層においてそれぞれアナログ加算された後、前記電荷に基づく画素信号を前記アナログデジタル変換回路に出力する画素回路に読み出される、前記(13)に記載の撮像装置。
(15)
前記第1の受光画素において生成された電荷は、第1のフレーム期間において前記第1の浮遊拡散層に転送され、第2のフレーム期間において前記第2の浮遊拡散層に転送され、
前記第2の受光画素において生成された電荷は、前記第2のフレーム期間において前記第1の浮遊拡散層に転送され、第3のフレーム期間において前記第2の浮遊拡散層に転送される、前記(14)に記載の撮像装置。
(16)
前記受光画素毎に得られた複数の前記デジタル信号を時間遅延加算処理する信号処理部をさらに有する、前記(1)乃至(15)のうちのいずれか1つに記載の撮像装置。
(17)
受光量に応じた電荷を光電変換により生成する1または複数の受光画素と、
前記1または複数の受光画素それぞれから読み出されたアナログ信号をデジタル信号に変換する、前記受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、
前記1または複数の受光画素および前記1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットとを有し、
前記複数の画素ユニットは、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて前記1または複数の受光画素が隣接するように配置されている
撮像装置を備えた電子機器。
1…撮像装置、100…光学部、200…撮像素子、201…受光チップ、202…回路チップ、210…画素アレイ部、211…画素ブロック、212…画素回路212…周辺回路、231…DAC、232…画素駆動回路、233…時刻コード生成部、234…画素AD変換部、235…垂直走査回路、236…制御回路、237…出力回路、240…クラスタ、241…ACD、242…差動入力回路、243…正帰還回路、244…ラッチ制御回路、245…ラッチ回路、250…信号処理回路、260…画像処理回路、300…記憶部、400…制御部、500…通信部、600…ベルトコンベア、610…被写体。

Claims (17)

  1. 受光量に応じた電荷を光電変換により生成する1または複数の受光画素と、
    前記1または複数の受光画素それぞれから読み出されたアナログ信号をデジタル信号に変換する、前記受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、
    前記1または複数の受光画素および前記1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットとを備え、
    前記複数の画素ユニットは、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて前記1または複数の受光画素が隣接するように配置されている
    撮像装置。
  2. 前記1または複数の受光画素はそれぞれ、1または複数の浮遊拡散層を有し、
    前記1または複数の浮遊拡散層は、前記第1の方向に前記1または複数の受光画素が隣接するように配置された前記複数のユニットの間で共有されている、請求項1に記載の撮像装置。
  3. 前記1または複数のアナログデジタル回路の少なくとも一部を含む回路部が、平面視において、前記1または複数の受光画素に並設されている、請求項1に記載の撮像装置。
  4. 前記回路部は、前記1または複数の受光画素に対して前記第1の方向に並設されている、請求項3に記載の撮像装置。
  5. 前記複数の画素ユニットは、さらに、前記第1の方向に直交する第2の方向に、前記1または複数の受光画素が隣接するように配置されている、請求項4に記載の撮像装置。
  6. 前記複数の画素ユニットは、さらに、前記第1の方向に直交する第2の方向に、前記複数の画素ユニットを構成する前記1または複数の受光画素分だけ前記第1の方向にずれて配置されている、請求項5に記載の撮像装置。
  7. 前記回路部は、前記1または複数の受光画素に対して、前記第1の方向に直交する第2の方向に並設されている、請求項3に記載の撮像装置。
  8. 前記複数の画素ユニットは、さらに、前記第1の方向に直交する第2の方向に、前記複数の画素ユニットを構成する前記1または複数の受光画素分だけ前記第1の方向にずれて配置されている、請求項7に記載の撮像装置。
  9. 前記複数の画素ユニットにおける前記1または複数のアナログデジタル回路の形成面積は、前記受光画素の形成面積の1/2または整数倍である、請求項3に記載の撮像装置。
  10. 前記受光画素は、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する受光部と、前記受光部において生成された前記電荷を前記2つの画素ユニットにおいて共有された2つの前記浮遊拡散層へ転送する2つの第1の転送トランジスタと、前記電荷に基づく画素信号を前記アナログデジタル変換回路に出力する画素回路とをさらに有する、請求項2に記載の撮像装置。
  11. 前記画素回路は、前記受光部を任意のタイミングでリセットする排出トランジスタをさらに有する、請求項10に記載の撮像装置。
  12. 前記複数の画素ユニットとして、前記第1の方向に順に配置された第1の画素ユニット、第2の画素ユニット、第3の画素ユニットおよび第4の画素ユニットを有し、
    隣り合う前記第1の画素ユニットと前記第2の画素ユニットおよび隣り合う前記第3の画素ユニットおよび前記第4の画素ユニットでは、それぞれの前記1または複数の受光画素が隣接配置され、隣り合う前記第2の画素ユニットと前記第3の画素ユニットでは、それぞれの前記回路部が隣接配置されている、請求項3に記載の撮像装置。
  13. 前記第1の画素ユニットはそれぞれ1つの第1の受光画素および第1の浮遊拡散層を、
    前記第2の画素ユニットはそれぞれ1つの第2の受光画素および第2の浮遊拡散層をそれぞれ有し、
    前記第1の浮遊拡散層および前記第2の浮遊拡散層は、隣接配置された前記第1の受光画素と前記第2の受光画素との境界に配置され、前記第1の画素ユニットおよび前記第2の画素ユニットに共有されている、請求項12に記載の撮像装置。
  14. 前記第1の画素ユニットおよび前記第2の画素ユニットは互いに露光タイミングが異なり、
    前記第1の受光画素および前記第2の受光画素においてそれぞれ生成された電荷は、前記第1の浮遊拡散層および前記第2の浮遊拡散層においてそれぞれアナログ加算された後、前記電荷に基づく画素信号を前記アナログデジタル変換回路に出力する画素回路に読み出される、請求項13に記載の撮像装置。
  15. 前記第1の受光画素において生成された電荷は、第1のフレーム期間において前記第1の浮遊拡散層に転送され、第2のフレーム期間において前記第2の浮遊拡散層に転送され、
    前記第2の受光画素において生成された電荷は、前記第2のフレーム期間において前記第1の浮遊拡散層に転送され、第3のフレーム期間において前記第2の浮遊拡散層に転送される、請求項14に記載の撮像装置。
  16. 前記受光画素毎に得られた複数の前記デジタル信号を時間遅延加算処理する信号処理部をさらに有する、請求項1に記載の撮像装置。
  17. 受光量に応じた電荷を光電変換により生成する1または複数の受光画素と、
    前記1または複数の受光画素それぞれから読み出されたアナログ信号をデジタル信号に変換する、前記受光画素毎に設けられた1または複数のアナログデジタル変換回路と、
    前記1または複数の受光画素および前記1または複数のアナログデジタル変換回路をそれぞれ含む複数の画素ユニットとを有し、
    前記複数の画素ユニットは、第1の方向に隣り合う2つの画素ユニットにおいて前記1または複数の受光画素が隣接するように配置されている
    撮像装置を備えた電子機器。


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