JP2023066825A - スライドユニットおよびスクライブヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】スクライブ加工における加工精度の向上が期待できるスライドユニットおよびスクライブヘッドを提供する。【解決手段】スライドユニット１００はスライダ２００、ホルダジョイント３００、および、角度設定部５００を備える。ホルダジョイント３００はスライダ２００に連結される軸受部、および、軸受部に対して旋回できるように構成される旋回部３２０を含む。角度設定部５００はスライダ２００に対する旋回部３２０の旋回角度を設定できるように構成される。【選択図】図８

Description

本発明はスクライブヘッドに組み込まれるスライドユニット、および、スライドユニットを備えるスクライブヘッドに関する。

脆性材料基板等の被加工物のスクライブ加工にスクライブ装置が用いられる。スクライブ装置はスクライブヘッドを含む。スクライブヘッドはスライドユニットを含む。スライドユニットはスライダ、ホルダジョイント、および、ホルダユニットを含む。

ホルダジョイントは軸受部および旋回部を含む。軸受部はスライダに連結される。旋回部はスライダに対して旋回できるように軸受部に連結される。ホルダユニットはホルダおよびスクライビングホイールを含む。ホルダは旋回部に連結される。スクライビングホイールはホルダに支持される。

スクライブ装置により被加工物のスクライブ加工が行われる。スクライブ加工では、スクライビングホイールが被加工物に接触するようにスクライブヘッドの位置が設定される。スクライブヘッドが所定方向に走査される。スクライビングホイールが被加工物上を移動し、被加工物にスクライブラインが形成される。特許文献１には、従来のスクライブ装置の一例が記載されている。

特許第４４８４３０３号公報

スクライブ加工におけるスライダに対するスクライビングホイールの旋回角度が安定することにより、スクライブ加工における加工精度が向上すると考えられる。

本発明に関するスライドユニットはスライダと、前記スライダに連結される軸受部と、前記軸受部に対して旋回できるように構成される旋回部とを含むホルダジョイントと、前記スライダに対する前記旋回部の旋回角度を設定できるように構成される角度設定部とを備える。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。角度設定部により旋回部の旋回角度を設定できるため、スクライブ加工における旋回部の旋回角度が安定する。旋回部に連結されるホルダの旋回角度、および、ホルダに支持されるスクライビングホイールの旋回角度も安定する。このため、スクライブ加工における加工精度の向上が期待できる。

前記スライドユニットの一例では、前記角度設定部は前記旋回部が第１旋回方向に旋回するように前記旋回部を押圧する第１押圧部、および、前記旋回部が前記第１旋回方向とは反対の方向である第２旋回方向に旋回するように前記旋回部を押圧する第２押圧部を含む。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度を調整する作業に関する作業性が向上する。

前記スライドユニットの一例では、前記第１押圧部および前記第２押圧部の一方は弾性要素を含む。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度を調整する作業に関する作業性が向上する。

前記スライドユニットの一例では、前記第１押圧部および前記第２押圧部の他方はねじ要素を含む。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度を調整する作業に関する作業性が向上する。

前記スライドユニットの一例では、前記第１押圧部および前記第２押圧部は前記第１押圧部と前記第２押圧部との間に前記旋回部を挟むように配置される。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度が安定する。

前記スライドユニットの一例では、前記角度設定部は前記第１押圧部が配置される第１押圧部配置部、および、前記第２押圧部が配置される第２押圧部配置部を含む。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。第１押圧部および第２押圧部の位置が安定する。

前記スライドユニットの一例では、前記旋回部はホルダユニットを連結できるように構成されるホルダ連結部、および、前記軸受部に連結される旋回軸を含み、前記第１押圧部および前記第２押圧部は前記ホルダ連結部を押圧するように構成される。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。軸受部の構成が簡素化される。

前記スライドユニットの一例では、前記角度設定部は前記旋回部の旋回角度を固定できるように構成される固定部を含む。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度が安定する。

前記スライドユニットの一例では、前記固定部は前記スライダに対して着脱できるように構成される。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度を調節する作業に関する作業性が向上する。

前記スライドユニットの一例では、前記スライダは前記軸受部が連結されるスライダ本体を含み、前記角度設定部は前記スライダ本体の底部に設けられる。

上記スライドユニットによれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部の旋回角度を調節する作業に関する作業性が向上する。

本発明に関するスクライブヘッドはスライダと、前記スライダに連結される軸受部と、前記軸受部に対して旋回できるように構成される旋回部とを含むホルダジョイントと、前記スライダに対する前記旋回部の旋回角度を設定できるように構成される角度設定部とを備えるスライドユニットと、前記スライドユニットを支持するベースと、前記スライドユニットが前記ベースに対して高さ方向に移動できるように前記スライドユニットと前記ベースとを連結するガイド部と、前記スライドユニットに荷重を付与する荷重調節部と、前記スライドユニットおよび前記荷重調節部を支持する支持部とを備える。

上記スクライブヘッドによれば、例えば次のような効果が得られる。角度設定部により旋回部の旋回角度を設定できるため、スクライブ加工における旋回部の旋回角度が安定する。旋回部に連結されるホルダの旋回角度、および、ホルダに支持されるスクライビングホイールの旋回角度も安定する。このため、スクライブ加工における加工精度の向上が期待できる。

本発明に関するスライドユニットおよびスクライブヘッドによれば、スクライブ加工における加工精度の向上が期待できる。

スクライブヘッドの斜視図(１－１)。 スクライブヘッドの斜視図(１－２)。 スクライブヘッドの側面図。 スクライブヘッドの正面図。 スクライブヘッドの底面図。 分解斜視図(１－１)。 分解斜視図(１－２)。 分解斜視図(１－３)。 ホルダジョイントの断面図。 調整部本体の斜視図。 スライドユニットの底面図(１－１)。 スライドユニットの底面図(１－２)。 スライドユニットの底面図(１－３)。 スライドユニットの底面図(１－４)。 スライドユニットの底面図(１－５)。 分解斜視図(２－１)。 分解斜視図(２－２)。 スライドユニットの底面図(２－１)。 スライドユニットの底面図(２－２)。 スライドユニットの底面図(２－３)。 スライドユニットの底面図(２－４)。 スライドユニットの底面図(２－５)。

(第１実施形態)
図１～図１５を参照する。スクライブヘッド１０は被加工物をスクライブ加工するスクライブ加工装置に組み込まれる。スクライブ加工装置の構成は任意に選択できる。スクライブ加工装置の構成は例示される構成に限定されない。スクライブ加工装置は例えば、テーブル、駆動装置、および、スクライブヘッド１０等を備える。

被加工物の例として、基板が挙げられる。基板の例として、脆性材料基板が挙げられる。脆性材料基板の例として、ガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、および、石英基板が挙げられる。セラミックス基板の例として、低温焼成セラミックスおよび高温焼成セラミックスが挙げられる。

駆動装置は被加工物に対するスクライブヘッド１０の位置を任意に変更できるように構成される。駆動装置の構成は任意に選択できる。駆動装置の構成は例示される構成に限定されない。駆動装置は例えば、平面駆動部および垂直駆動部を含む。垂直駆動部はテーブルに連結される。平面駆動部は垂直駆動部に連結される。スクライブヘッド１０は平面駆動部に連結される。

垂直駆動部はアクチュエータを含む。垂直駆動部は平面駆動部をスクライブ加工装置の高さ方向に移動させる。平面駆動部はアクチュエータを含む。平面駆動部はスクライブヘッド１０を所定の並進方向に移動させる。

(スクライブヘッド)
図１～図５を参照する。スクライブヘッド１０の構成は任意に選択できる。スクライブヘッド１０の構成は例示される構成に限定されない。スクライブヘッド１０は例えば、ベース２０、ガイド部３０、支持部４０、荷重調節部５０、および、スライドユニット１００を備える。

スクライブヘッド１０には例えば、第１幅方向、第２幅方向、前方向、後方向、上方向、および、下方向が規定される。第１幅方向は第２幅方向とは反対の方向である。図４の右方向および図５の下方向はスクライブヘッド１０の第１幅方向に対応する。図４の左方向および図５の上方向はスクライブヘッド１０の第２幅方向に対応する。図３の右方向および図５の右方向はスクライブヘッド１０の前方向に対応する。図３の左方向および図５の左方向はスクライブヘッド１０の後方向に対応する。図３の上方向および図４の上方向はスクライブヘッド１０の上方向に対応する。図３の下方向および図４の下方向はスクライブヘッド１０の下方向に対応する。

幅方向は第１幅方向および第２幅方向を総称する。幅方向はＸ軸に平行である。奥行方向は前方向および後方向を総称する。奥行方向はＹ軸に平行である。高さ方向は上方向および下方向を総称する。高さ方向はＺ軸に平行である。Ｘ軸およびＹ軸は第１座標平面を規定する。Ｘ軸およびＺ軸は第２座標平面を規定する。Ｙ軸およびＺ軸は第３座標平面を規定する。

(ベース)
図３～図５を参照する。ベース２０はスライドユニット１００を支持できるように構成される。ベース２０は例えば、プレートである。ベース２０は第１主面２０Ａおよび第２主面２０Ｂを含む。第１主面２０Ａは平面である。第１主面２０Ａは第１幅方向を向く。第２主面２０Ｂは平面である。第２主面２０Ｂは第２幅方向を向く。第１主面２０Ａおよび第２主面２０Ｂはスクライブヘッド１０の基準面に相当する。

駆動装置の平面駆動部は連結部を含む。ベース２０の第１主面２０Ａは平面駆動部の連結部に対向する。ベース２０は平面駆動部の連結部に連結される。ベース２０と平面駆動部との連結の形態は、例えば機械的接合である。一例では、ベース２０は複数のボルトにより平面駆動部に連結される。ベース２０が平面駆動部に連結された状態では、第１主面２０Ａおよび第２主面２０Ｂは第３座標平面に平行である。

ベース２０は例えば、第１配置部２１を含む。第１配置部２１はガイド部３０の固定レール３１を配置できるように構成される。第１配置部２１はベース２０の第２主面２０Ｂに設けられる。第１配置部２１は例えば、溝２１Ａを含む。溝２１Ａは高さ方向に延長する。

(ガイド部)
図４および図５を参照する。ガイド部３０はスライドユニット１００がベース２０に対して高さ方向に移動できるようにスライドユニット１００とベース２０とを連結する。ガイド部３０は例えば、固定レール３１および可動レール３２を含む。

固定レール３１は例えば、嵌合部３１Ａを含む。嵌合部３１Ａは可動レール３２の嵌合部３２Ａと嵌合するように構成される。嵌合部３１Ａは溝３１Ａ１を含む。溝３１Ａ１は高さ方向に延長する。

固定レール３１はベース２０の溝２１Ａに配置される。固定レール３１は１または複数のボルトによりベース２０に連結される。

可動レール３２は例えば、嵌合部３２Ａを含む。嵌合部３２Ａは固定レール３１の嵌合部３１Ａと嵌合するように構成される。嵌合部３２Ａは凸部３２Ａ１を含む。凸部３２Ａ１は高さ方向に延長する。可動レール３２は固定レール３１に結合される。可動レール３２は固定レール３１に対して移動できる。

(支持部)
図３および図４を参照する。支持部４０は荷重調節部５０のアクチュエータ５１およびスライドユニット１００の被押圧部２２０を支持できるように構成される。支持部４０は例えば、ブロックである。

支持部４０は例えば、中間部４１を含む。中間部４１は例えば、ボルト配置部４１Ａを含む。ボルト配置部４１Ａは１または複数のボルト１０Ｂ１を配置できるように構成される。ボルト配置部４１Ａは１または複数の穴を含む。穴は中間部４１を貫通する。穴の中心軸は幅方向に平行である。

支持部４０は例えば、上部４２を含む。上部４２は中間部４１に対して上方向に位置する。上部４２は例えば、第１配置部４２Ａを含む。

第１配置部４２Ａは荷重調節部５０のアクチュエータ５１を配置できるように構成される。第１配置部４２Ａは例えば、凹部４２Ａ１を含む。凹部４２Ａ１は上部４２の上面に開口する。

支持部４０は例えば、下部４３を含む。下部４３は中間部４１および上部４２に対して下方向に位置する。上部４２と下部４３との間には空間が形成される。下部４３は例えば、被押圧部配置部４３Ａを含む。

被押圧部配置部４３Ａはスライドユニット１００の被押圧部２２０を配置できるように構成される。被押圧部配置部４３Ａは例えば、スリット４３Ａ１を含む。スリット４３Ａ１は高さ方向に関して下部４３を貫通する。スリット４３Ａ１は下部４３の第２側面に開口する。第２側面は第２幅方向を向く。

スクライブヘッド１０は例えば、スペーサ４４を含む。スペーサ４４はボルト配置部を含む。ボルト配置部は１または複数のボルト１０Ｂ１を配置できるように構成される。ボルト配置部は１または複数の穴を含む。穴はボルト配置部を貫通する。穴の中心軸は幅方向に平行である。

スペーサ４４は支持部４０とベース２０との間に配置される。スペーサ４４はベース２０の第２主面２０Ｂに対して第２幅方向に位置する。支持部４０はスペーサ４４に対して第２幅方向に位置する。支持部４０およびスペーサ４４は複数のボルト１０Ｂ１によりベース２０に連結される。

(荷重調節部)
図３および図４を参照する。荷重調節部５０はスライドユニット１００に荷重を付与できるように構成される。荷重調節部５０は例えば、下方向に作用する荷重をスライドユニット１００に付与する。荷重調節部５０は例えば、アクチュエータ５１および押圧部５２を含む。

アクチュエータ５１の例として、動力シリンダ、ソレノイド、電動機、サーボモータ、および、リニアアクチュエータが挙げられる。動力シリンダの例として、油圧シリンダ、空圧シリンダ、水圧シリンダ、および、電動シリンダが挙げられる。

アクチュエータ５１は例えば、ボルト配置部５１Ａを含む。ボルト配置部５１Ａは１または複数のボルト１０Ｂ３を配置できるように構成される。ボルト配置部５１Ａは１または複数の穴を含む。穴の中心軸は高さ方向に平行である。

押圧部５２はアクチュエータ５１に連結される。押圧部５２は例えば、ピストン５２Ａを含む。押圧部５２の先端部はスライドユニット１００に接触する。押圧部５２はアクチュエータ５１に対して高さ方向に変位できるように構成される。押圧部５２はアクチュエータ５１から付与される力をスライドユニット１００に伝達する。

アクチュエータ５１は支持部４０の上部４２の第１配置部４２Ａに配置される。押圧部５２の先端部は支持部４０の上部４２と下部４３との間に配置される。アクチュエータ５１は複数のボルト１０Ｂ３により支持部４０に連結される。

(スライドユニット)
図２および図４を参照する。スライドユニット１００の構成は任意に選択できる。スライドユニット１００の構成は例示される構成に限定されない。スライドユニット１００は例えば、スライダ２００、ホルダジョイント３００、ホルダユニット４００、および、角度設定部５００を含む。スライダ２００はホルダジョイント３００を支持する。ホルダジョイント３００はホルダユニット４００を支持する。

(ホルダユニット)
図６および図７を参照する。ホルダユニット４００の構成は任意に選択できる。ホルダユニット４００の構成は例示される構成に限定されない。ホルダユニット４００はホルダジョイント３００に対して着脱できるように構成される。ホルダユニット４００は例えば、ホルダ４１０、スクライビングホイール４２０、ピン４３０、および、抜止部４４０を含む。

ホルダ４１０は例えば、基部４１１を含む。基部４１１はホルダジョイント３００に配置できるように構成される。基部４１１は斜面４１１Ａを含む。斜面４１１Ａは基部４１１の前面に設けられる。斜面４１１Ａは上方向に向かうにつれて後方向に傾斜する。

ホルダ４１０は例えば、支持部４１２を含む。支持部４１２は基部４１１に対して下方に位置する。支持部４１２はピン４３０を支持できるように構成される。支持部４１２は第１支持部４１２Ａおよび第２支持部４１２Ｂを含む。各支持部４１２Ａ、４１２Ｂは穴４１２Ｃを含む。穴４１２Ｃは支持部４１２を貫通する。穴４１２Ｃの中心軸は幅方向に平行である。

ホルダ４１０は例えば、配置部４１３を含む。配置部４１３はスクライビングホイール４２０を配置できるように構成される。配置部４１３は第１支持部４１２Ａの内側部および第２支持部４１２Ｂの内側部を含む部分に設けられる。

配置部４１３は例えば、スリット４１３Ａを含む。スリット４１３Ａは第１支持部４１２Ａと第２支持部４１２Ｂとの間に形成される。スリット４１３Ａはホルダ４１０の前面、後面、および、底面に開口する。

スクライビングホイール４２０はスリット４１３Ａに配置される。スクライビングホイール４２０は例えば、高硬度材料により形成される。高硬度材料の例として、超硬合金、多結晶ダイヤモンド、および、単結晶ダイヤモンドが挙げられる。多結晶ダイヤモンドの例として、ダイヤモンド焼結体(Poly-Crystalline Diamond)、および、ナノ多結晶ダイヤモンド(Nano-Polycrystalline Diamond)が挙げられる。

スクライビングホイール４２０は配置部４２１および刃先４２２を含む。配置部４２１はピン４３０を配置できるように構成される。配置部４２１は例えば、穴４２１Ａを含む。穴４２１Ａは配置部４２１を貫通する。穴４２１Ａの中心軸は幅方向に平行である。

刃先４２２は被加工物をスクライブできるように構成される。刃先４２２はスクライビングホイール４２０の外周部に設けられる。刃先４２２はスクライビングホイール４２０の中心面に含まれる。スクライビングホイール４２０の中心面はスクライビングホイール４２０の中心軸に直交する。

ピン４３０はスクライビングホイール４２０を支持できるように構成される。ピン４３０は第１支持部４１２Ａの穴４１２Ｃ、第２支持部４１２Ｂの穴４１２Ｃ、および、スクライビングホイール４２０の穴４２１Ａに配置される。

スクライビングホイール４２０はピン４３０に対して回転できるようにピン４３０に支持される。荷重調節部５０からスライドユニット１００に荷重が付与される状態では、スクライビングホイール４２０はその荷重に応じて被加工物に押し付けられる。

抜止部４４０はピン４３０が支持部４１２から脱落しないように支持部４１２に設けられる。抜止部４４０は例えば、複数の栓４４１を含む。第１の栓４４１は第１支持部４１２Ａの穴４１２Ｃに配置される。第２の栓４４１は第２支持部４１２Ｂの穴４１２Ｃに配置される。

(ホルダジョイント)
図６および図９を参照する。ホルダジョイント３００の構成は任意に選択できる。ホルダジョイント３００の構成は例示される構成に限定されない。ホルダジョイント３００はスライダ２００に対して着脱できるように構成される。ホルダジョイント３００は例えば、軸受部３１０および旋回部３２０を含む。

軸受部３１０は旋回部３２０を支持できるように構成される。軸受部３１０は例えば、１または複数の軸受３１１を含む。図示される例では、軸受部３１０は複数の軸受３１１を含む。複数の軸受３１１は例えば、第１軸受３１１Ａおよび第２軸受３１１Ｂを含む。

軸受部３１０は例えば、ケース３１２を含む。ケース３１２は例えば、シリンダ３１２Ａ、フランジ３１２Ｂ、および、キャップ３１２Ｃを含む。第１軸受３１１Ａおよび第２軸受３１１Ｂはシリンダ３１２Ａの内部に配置される。第１軸受３１１Ａおよび第２軸受３１１Ｂは高さ方向に並ぶ。各軸受３１１Ａ、３１１Ｂの外輪はシリンダ３１２Ａに連結される。

フランジ３１２Ｂはシリンダ３１２Ａの下部の開口部の外周部に設けられる。キャップ３１２Ｃはシリンダ３１２Ａの上部の開口部に設けられる。シリンダ３１２Ａの上部の開口部はキャップ３１２Ｃにより閉鎖される。

軸受部３１０は例えば、スペーサ３１３および１または複数のオーリング３１４を含む。スペーサ３１３はシリンダ３１２Ａの内部に配置される。スペーサ３１３は第１軸受３１１Ａと第２軸受３１１Ｂとの間に配置される。図示される例では、軸受部３１０は複数のオーリング３１４を含む。複数のオーリング３１４はシリンダ３１２Ａの外周部に取り付けられる。

旋回部３２０は軸受部３１０の中心軸まわりで旋回できるように軸受部３１０に連結される。旋回部３２０は例えば、旋回軸３２１、吸着部３２２、規制部３２３、および、ホルダ連結部３３０を含む。

旋回軸３２１は各軸受３１１Ａ、３１１Ｂの内輪に連結される。旋回軸３２１は各軸受３１１Ａ、３１１Ｂの外輪およびケース３１２に対して旋回する。

ホルダ連結部３３０はホルダユニット４００を連結できるように構成される。ホルダ連結部３３０は例えば、シリンダである。ホルダ連結部３３０は例えば、第１配置部３３１および第２配置部３３２を含む。

第１配置部３３１はホルダ４１０を配置できるように構成される。第１配置部３３１は例えば、配置空間３３１Ａを含む。第２配置部３３２は規制部３２３を配置できるように構成される。第２配置部３３２は例えば、穴３３２Ａを含む。穴３３２Ａは配置空間３３１Ａにつながる。

旋回軸３２１の下端部は配置空間３３１Ａに配置される。旋回軸３２１の下端部はホルダ連結部３３０に連結される。旋回軸３２１とホルダ連結部３３０との連結の形態は、例えば機械的接合である。図示される例では、旋回軸３２１はホルダ連結部３３０に圧入される。

吸着部３２２はホルダユニット４００のホルダ４１０を磁力により吸着できるように構成される。吸着部３２２は例えば、磁石３２２Ａを含む。吸着部３２２は配置空間３３１Ａに配置される。吸着部３２２は旋回軸３２１に対して下方向に位置する。

吸着部３２２はホルダ連結部３３０に連結される。吸着部３２２とホルダ連結部３３０との連結の形態は、例えば化学的接合である。図示される例では、吸着部３２２は接着剤によりホルダ連結部３３０に接合される。

規制部３２３は高さ方向に関するホルダ連結部３３０に対するホルダ４１０の位置を決めるように構成される。一例では、規制部３２３はピン３２３Ａを含む。規制部３２３は穴３３２Ａおよび配置空間３３１Ａに配置される。

規制部３２３はホルダ連結部３３０に連結される。規制部３２３とホルダ連結部３３０との連結の形態は、例えば機械的接合である。図示される例では、規制部３２３はホルダ連結部３３０に圧入される。

旋回部３２０は１または複数の基準面３２４を含む。基準面３２４は平面である。図示される例では、旋回部３２０は複数の基準面３２４を含む。複数の基準面３２４は第１基準面３２４Ａ、第２基準面３２４Ｂ、第３基準面３２４Ｃ、および、第４基準面３２４Ｄを含む。

基準面３２４は例えば、ホルダ連結部３３０の外表面を構成する。第１基準面３２４Ａは幅方向に関する旋回部３２０の中心に対して第１幅方向に位置する。第２基準面３２４Ｂは幅方向に関する旋回部３２０の中心に対して第２幅方向に位置する。第３基準面３２４Ｃは奥行方向に関する旋回部３２０の中心に対して前方向に位置する。第４基準面３２４Ｄは奥行方向に関する旋回部３２０の中心に対して後方向に位置する。

(スライダ)
図３および図７を参照する。スライダ２００の構成は任意に選択できる。スライダ２００の構成は例示される構成に限定されない。スライダ２００は例えば、スライダ本体２１０、被押圧部２２０、および、位置設定部２３０を含む。スライダ本体２１０は例えば、ブロックである。被押圧部２２０および位置設定部２３０はスライダ本体２１０に連結される。

スライダ本体２１０は例えば、軸受部配置部２１１を含む。軸受部配置部２１１はホルダジョイント３００の軸受部３１０を配置できるように構成される。軸受部配置部２１１は例えば、配置空間２１１Ａを含む。配置空間２１１Ａはスライダ本体２１０の底面２１０ＦＢに開口する。

スライダ本体２１０は例えば、中間配置部２１２を含む。中間配置部２１２は１または複数のボルト１０Ｂ２を配置できるように構成される。中間配置部２１２は１または複数の穴２１２Ａを含む。穴２１２Ａは中間配置部２１２を貫通する。穴２１２Ａの中心軸は幅方向に平行である。スライダ本体２１０は複数のボルト１０Ｂ２により可動レール３２に連結される。

スライダ本体２１０は例えば、上部配置部２１３を含む。上部配置部２１３は連結ボルト２２１を配置できるように構成される。上部配置部２１３は例えば、ねじ穴を含む。ねじ穴はスライダ本体２１０の上面に開口する。ねじ穴の中心軸は高さ方向に平行である。

スライダ本体２１０は例えば、第１底部配置部２１４を含む。第１底部配置部２１４は１または複数のボルト１０Ｂ４を配置できるように構成される。第１底部配置部２１４は１または複数のねじ穴２１４Ａを含む。ねじ穴２１４Ａはスライダ本体２１０の底面２１０ＦＢに開口する。ねじ穴２１４Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

スライダ本体２１０は例えば、第２底部配置部２１５を含む。第２底部配置部２１５は１または複数のボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第２底部配置部２１５は１または複数のねじ穴２１５Ａを含む。ねじ穴２１５Ａはスライダ本体２１０の２１０ＦＢに開口する。ねじ穴２１５Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

スライダ本体２１０は例えば、第３底部配置部２１６を含む。第３底部配置部２１６は１または複数のピン２３１を配置できるように構成される。第３底部配置部２１６は１または複数の穴２１６Ａを含む。穴２１６Ａはスライダ本体２１０の底面２１０ＦＢに開口する。穴２１６Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

被押圧部２２０は荷重調節部５０の押圧部５２に接触するように構成される。被押圧部２２０は例えば、連結ボルト２２１およびプレート２２２を含む。連結ボルト２２１のねじは上部配置部２１３のねじ穴に配置される。連結ボルト２２１はスライダ本体２１０に連結される。

プレート２２２は連結ボルト２２１の上端部に連結される。プレート２２２はスライダ本体２１０に対して上方向に位置する。荷重調節部５０の押圧部５２はプレート２２２に接触する。押圧部５２は被押圧部２２０を下方向に押すことによりスライダ２００に荷重を付与する。

位置設定部２３０はスライダ２００に対する角度設定部５００の位置決めに利用できるように構成される。位置設定部２３０は例えば、１または複数のピン２３１を含む。ピン２３１は第３底部配置部２１６の穴２１６Ａに配置される。ピン２３１はスライダ本体２１０に連結される。ピン２３１の一部はスライダ本体２１０の底面２１０ＦＢに対して下方向に突出する。

(各要素の連結)
図６および図７を参照する。ホルダユニット４００はホルダジョイント３００に連結される。ホルダ４１０の基部４１１はホルダ連結部３３０の配置空間３３１Ａに配置される。ホルダ４１０は吸着部３２２により吸着される。基部４１１の斜面４１１Ａは規制部３２３に接触する。基部４１１と規制部３２３との接触により、ホルダ連結部３３０に対するホルダ４１０の位置が決められる。

ホルダジョイント３００はスライダ２００に連結される。軸受部３１０はスライダ本体２１０の配置空間２１１Ａに配置される。ケース３１２のフランジ３１２Ｂの底部はスライダ本体２１０の底面２１０ＦＢに対して下方向に突出する。

ボルト１０Ｂ４は第１底部配置部２１４のねじ穴２１４Ａに配置される。ボルト１０Ｂ４のヘッド１０Ｂ４１はフランジ３１２Ｂの底面３１２ＢＦに対して下方向に位置する。ボルト１０Ｂ４のヘッド１０Ｂ４１はフランジ３１２Ｂの底面３１２ＢＦに接触する。ボルト１０Ｂ４によりスライダ本体２１０に対する軸受部３１０の位置が決められる。

ホルダジョイント３００がスライダ２００に連結された状態では、ホルダジョイント３００の旋回部３２０およびホルダユニット４００はスライダ２００に対して一体的に回転する。

旋回部３２０は軸受部３１０の中心軸まわりで軸受３１１の外輪およびケース３１２に対して第１旋回方向または第２旋回方向に旋回する。第１旋回方向は第２旋回方向とは反対の方向である。旋回方向は第１旋回方向および第２旋回方向を総称する。第１旋回方向に旋回する旋回部３２０の動作を「第１旋回動作」と称する。第２旋回方向に旋回する旋回部３２０の動作を「第２旋回動作」と称する。旋回動作は第１旋回動作および第２旋回動作を総称する。

旋回部３２０、および、旋回部３２０と一体的に旋回する要素に関する軸受部３１０の中心軸まわりの回転角度を「旋回角度」と称する。旋回部３２０を第１旋回動作させるように作用するトルクを「第１トルク」と称する。旋回部３２０を第２旋回動作させるように作用するトルクを「第２トルク」と称する。

旋回部３２０の旋回角度が０°の状態では、例えば次のような様子が観察される。第１基準面３２４Ａは第２座標平面に平行である。第２基準面３２４Ｂは第２座標平面に平行である。第３基準面３２４Ｃは第３座標平面に平行である。第４基準面３２４Ｄは第３座標平面に平行である。ホルダユニット４００のピン４３０の中心軸は幅方向に平行である。スクライビングホイール４２０の中心面は第３座標平面に平行である。

(角度設定部)
図８および図１０を参照する。角度設定部５００は旋回部３２０の旋回角度を設定できるように構成される。旋回部３２０の旋回角度の設定には、旋回角度の調節、および、旋回角度の保持が含まれる。角度設定部５００は旋回部３２０の旋回角度を任意に調節できるように構成される。角度設定部５００は旋回部３２０の旋回角度を任意の旋回角度に保持できるように構成される。

角度設定部５００の少なくとも一部はスライダ本体２１０とは個別的に構成される。図示される例では、角度設定部５００の全部はスライダ本体２１０とは個別的に構成される。角度設定部５００はスライダ本体２１０に対して着脱できるように構成される。角度設定部５００はスライダ本体２１０の底部に設けられる。

(押圧部)
図８および図１０を参照する。角度設定部５００は例えば、押圧部５１０を含む。押圧部５１０は旋回部３２０を押圧できるように構成される。押圧部５１０は旋回部３２０を第１旋回動作または第２旋回動作させるように構成される。押圧部５１０は旋回部３２０の旋回角度を保持できるように構成される。押圧部５１０は例えば、第１押圧部５１１および第２押圧部５１２を含む。第１押圧部５１１および第２押圧部５１２はそれぞれ旋回部３２０における異なる部分を押圧できるように構成される。

第１押圧部５１１および第２押圧部５１２の一方は例えば、弾性要素を含む。弾性要素は旋回部３２０に弾性力を付与できるように構成される。弾性要素の例として、プランジャおよびばねが挙げられる。第１押圧部５１１および第２押圧部５１２の他方は例えば、ねじ要素を含む。ねじ要素の例として、ねじおよびボルトが挙げられる。

第１押圧部５１１および第２押圧部５１２の配置について例示する。第１例では、第１押圧部５１１および第２押圧部５１２は第１押圧部５１１と第２押圧部５１２との間に旋回部３２０を挟むように配置される。第２例では、第１押圧部５１１および第２押圧部５１２は幅方向に並ぶように配置される。第３例では、第１押圧部５１１および第２押圧部５１２は奥行方向に並ぶように配置される。

旋回部３２０は第１被接触部３２０Ａおよび第２被接触部３２０Ｂを含む。第１被接触部３２０Ａは押圧されることにより旋回部３２０に第１トルクが作用する部分である。第２被接触部３２０Ｂは押圧されることにより旋回部３２０に第２トルクが作用する部分である。一例では、旋回部３２０の基準面３２４は第１被接触部３２０Ａおよび第２被接触部３２０Ｂを含む。

第１押圧部５１１は旋回部３２０の第１被接触部３２０Ａに接触した状態において、第１押圧部５１１の中心軸に沿う方向に旋回部３２０を押圧できるように構成される。第１押圧部５１１により第１被接触部３２０Ａが押圧された場合、第１トルクが旋回部３２０に作用する。第１押圧部５１１が第１被接触部３２０Ａに接触した状態では、旋回部３２０の第２旋回動作が第１押圧部５１１により規制される。

第２押圧部５１２は旋回部３２０の第２被接触部３２０Ｂに接触した状態において、第２押圧部５１２の中心軸に沿う方向に旋回部３２０を押圧できるように構成される。第２押圧部５１２により第２被接触部３２０Ｂが押圧された場合、第２トルクが旋回部３２０に作用する。第２押圧部５１２が第２被接触部３２０Ｂに接触した状態では、旋回部３２０の第１旋回動作が第２押圧部５１２により規制される。

第１押圧部５１１が第１被接触部３２０Ａに接触し、かつ、第２押圧部５１２が第２被接触部３２０Ｂに接触した状態では、各押圧部５１１、５１２により旋回部３２０の旋回動作が規制される。各押圧部５１１、５１２により旋回角度が保持される。

第１押圧部５１１に弾性要素が含まれる例では、第１押圧部５１１が第１被接触部３２０Ａに接触し、かつ、弾性要素の弾性力に基づく第１トルクよりも大きい第２トルクが旋回部３２０に作用する場合、旋回部３２０が第２旋回動作する。

第２押圧部５１２に弾性要素が含まれる例では、第２押圧部５１２が第２被接触部３２０Ｂに接触し、かつ、弾性要素の弾性力に基づく第２トルクよりも大きい第１トルクが旋回部３２０に作用する場合、旋回部３２０が第１旋回動作する。

(設定部本体)
図８および図１０を参照する。角度設定部５００は例えば、設定部本体６００を含む。設定部本体６００はスライダ２００に着脱できるように構成される。設定部本体６００は例えば、プレートである。設定部本体６００は例えば、第１構成部６０１、第２構成部６０２、第３構成部６０３、第４構成部６０４を含む。

第１構成部６０１は幅方向に関する設定部本体６００の中心に対して第１幅方向に位置する。第２構成部６０２は幅方向に関する設定部本体６００の中心に対して第２幅方向に位置する。第３構成部６０３は奥行方向に関する設定部本体６００の中心に対して前方向に位置する。第４構成部６０４は奥行方向に関する設定部本体６００の中心に対して後方向に位置する。

設定部本体６００は第１接続部６０５、第２接続部６０６、第３接続部６０７、および、第４接続部６０８を含む。第１接続部６０５は第１構成部６０１と第３構成部６０３とを接続する。第２接続部６０６は第１構成部６０１と第４構成部６０４とを接続する。第３接続部６０７は第２構成部６０２と第３構成部６０３とを接続する。第４接続部６０８は第２構成部６０２と第４構成部６０４とを接続する。

設定部本体６００は例えば、旋回部配置部６１０を含む。旋回部配置部６１０は旋回部３２０を配置できるように構成される。旋回部配置部６１０は第１構成部６０１の内側部、第２構成部６０２の内側部、第３構成部６０３の内側部、および、第４構成部６０４の内側部を含む部分に設けられる。旋回部配置部６１０は例えば、穴６１１および内周面６１２を含む。穴６１１は旋回部配置部６１０を貫通する。穴６１１の中心軸は高さ方向に平行である。内周面６１２は穴６１１を規定する。

設定部本体６００は例えば、押圧部配置部６２０を含む。押圧部配置部６２０は押圧部５１０を配置できるように構成される。押圧部配置部６２０は例えば、第１押圧部配置部６２１および第２押圧部配置部６２２を含む。第１押圧部配置部６２１は第１構成部６０１に設けられる。第２押圧部配置部６２２は第２構成部６０２に設けられる。

第１押圧部配置部６２１は第１押圧部５１１を配置できるように構成される。第１押圧部配置部６２１は例えば、穴６２１Ａを含む。穴６２１Ａは第１押圧部配置部６２１を貫通する。穴６２１Ａの中心軸は幅方向に平行である。第１押圧部配置部６２１は奥行方向に関する旋回部配置部６１０の中心に対して前方向または後方向に位置する。図示される例では、第１押圧部配置部６２１は奥行方向に関する旋回部配置部６１０の中心に対して後方向に位置する。

第２押圧部配置部６２２は第２押圧部５１２を配置できるように構成される。第２押圧部配置部６２２は例えば、ねじ穴６２２Ａを含む。ねじ穴６２２Ａは第２押圧部配置部６２２を貫通する。ねじ穴６２２Ａの中心軸は幅方向に平行である。第２押圧部配置部６２２は奥行方向に関する旋回部配置部６１０の中心に対して前方向または後方向に位置する。図示される例では、第２押圧部配置部６２２は奥行方向に関する旋回部配置部６１０の中心に対して後方向に位置する。

設定部本体６００は例えば、ボルト配置部６３０を含む。ボルト配置部６３０は１または複数のボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。ボルト配置部６３０は例えば、第１ボルト配置部６３１、第２ボルト配置部６３２、第３ボルト配置部６３３、および、第４ボルト配置部６３４を含む。

第１ボルト配置部６３１は第１接続部６０５に設けられる。第２ボルト配置部６３２は第２接続部６０６に設けられる。第３ボルト配置部６３３は第３構成部６０３における第３接続部６０７寄りの部分に設けられる。第４ボルト配置部６３４は第４構成部６０４における第４接続部６０８寄りの部分に設けられる。

第１ボルト配置部６３１はボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第１ボルト配置部６３１は例えば、穴６３１Ａを含む。穴６３１Ａは第１ボルト配置部６３１を貫通する。穴６３１Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

第２ボルト配置部６３２はボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第２ボルト配置部６３２は例えば、穴６３２Ａを含む。穴６３２Ａは第２ボルト配置部６３２を貫通する。穴６３２Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

第３ボルト配置部６３３はボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第３ボルト配置部６３３は例えば、穴６３３Ａを含む。穴６３３Ａは第３ボルト配置部６３３を貫通する。穴６３３Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

第４ボルト配置部６３４はボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第４ボルト配置部６３４は例えば、穴６３４Ａを含む。穴６３４Ａは第４ボルト配置部６３４を貫通する。穴６３４Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

設定部本体６００は例えば、設定部配置部６４０を含む。設定部配置部６４０は位置設定部２３０を配置できるように構成される。設定部配置部６４０は例えば、第１配置部６４１および第２配置部６４２を含む。第１配置部６４１は第３構成部６０３における第１接続部６０５寄りの部分に設けられる。第２配置部６４２は第４構成部６０４における第１接続部６０５寄りの部分に設けられる。

第１配置部６４１は第１のピン２３１を配置できるように構成される。第１配置部６４１は例えば、長穴６４１Ａを含む。長穴６４１Ａは第１配置部６４１を貫通する。長穴６４１Ａの中心軸は高さ方向に平行である。長穴６４１Ａは奥行方向に延長する。

第２配置部６４２は第２のピン２３１を配置できるように構成される。第２配置部６４２は例えば、穴６４２Ａを含む。穴６４２Ａは第２配置部６４２を貫通する。穴６４２Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

設定部本体６００は例えば、ヘッド配置部６５０を含む。ヘッド配置部６５０は１または複数のボルト１０Ｂ４のヘッド１０Ｂ４１を配置できるように構成される。ヘッド配置部６５０は例えば、第１配置部６５１および第２配置部６５２を含む。第１配置部６５１は第３構成部６０３に設けられる。第２配置部６４２は第４構成部６０４に設けられる。

第１配置部６５１はボルト１０Ｂ４のヘッド１０Ｂ４１を配置できるように構成される。第１配置部６５１は例えば、凹部６５１Ａを含む。凹部６５１Ａは第３構成部６０３の上面、および、第３構成部６０３の内周面６１２に開口する。

第２配置部６５２はボルト１０Ｂ４のヘッド１０Ｂ４１を配置できるように構成される。第２配置部６５２は例えば、凹部６５２Ａを含む。凹部６５２Ａは第４構成部６０４の上面、および、第４構成部６０４の内周面６１２に開口する。

設定部本体６００は例えば、フランジ配置部６６０を含む。フランジ配置部６６０はケース３１２のフランジ３１２Ｂの一部を配置できるように構成される。フランジ配置部６６０は例えば、第１配置部６６１および第２配置部６６２を含む。第１配置部６６１は第１構成部６０１に設けられる。第２配置部６６２は第２構成部６０２に設けられる。

第１配置部６６１はフランジ３１２Ｂの一部を配置できるように構成される。第１配置部６６１は例えば、凹部６６１Ａを含む。凹部６６１Ａは第１構成部６０１の上面、および、第１構成部６０１の内周面６１２に開口する。

第２配置部６６２はフランジ３１２Ｂの一部を配置できるように構成される。第２配置部６６２は例えば、凹部６６２Ａを含む。凹部６６２Ａは第２構成部６０２の上面、および、第２構成部６０２の内周面６１２に開口する。

第１押圧部５１１は例えば、ボールプランジャ５１１Ａを含む。ボールプランジャ５１１Ａは第１押圧部配置部６２１の穴６２１Ａに配置される。ボールプランジャ５１１Ａの中心軸は幅方向に平行である。

ボールプランジャ５１１Ａは例えば、シリンダ５１１Ａ１、ボール５１１Ａ２、および、コイルばねを含む。シリンダ５１１Ａ１は第１押圧部配置部６２１に連結される。ボール５１１Ａ２はシリンダ５１１Ａ１の端部に配置される。コイルばねはシリンダ５１１Ａ１の内部に配置される。シリンダ５１１Ａ１の端部およびボール５１１Ａ２は第１構成部６０１の内周面６１２に対して突出する。

第２押圧部５１２は例えば、細目ねじ５１２Ａを含む。細目ねじ５１２Ａは第２押圧部配置部６２２のねじ穴６２２Ａに配置される。細目ねじ５１２Ａの中心軸は幅方向に平行である。細目ねじ５１２Ａの中心軸はボールプランジャ５１１Ａの中心軸と同軸である。細目ねじ５１２Ａは回転にともない第２押圧部配置部６２２に対して幅方向に並進する。

(固定部)
図８を参照する。角度設定部５００は例えば、固定部５２０を含む。固定部５２０は旋回部３２０の旋回動作を規制できるように構成される。固定部５２０はスライダ２００に対して着脱できるように構成される。図示される例では、固定部５２０は設定部本体６００およびスライダ本体２１０に対して着脱できるように構成される。固定部５２０は例えば、プレートである。固定部５２０は例えば、第１配置部５２１、第２配置部５２２、および、規制部５２３を含む。

第１配置部５２１はボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第１配置部５２１は例えば、穴５２１Ａを含む。穴５２１Ａは第１配置部５２１を貫通する。穴５２１Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

第２配置部５２２はボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第２配置部５２２は例えば、穴５２２Ａを含む。穴５２２Ａは第２配置部５２２を貫通する。穴５２２Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

規制部５２３は旋回部３２０の第１被接触部３２０Ａおよび第２被接触部３２０Ｂに接触できるように構成される。規制部５２３は例えば、設定部本体６００に対して下方向に配置される。規制部５２３は例えば、第１端部５２３Ａおよび第２端部５２３Ｂを含む。第１配置部５２１は第１端部５２３Ａにつながる。第２配置部５２２は第２端部５２３Ｂにつながる。

規制部５２３は規制面５２３Ｃを含む。規制面５２３Ｃは例えば、旋回部３２０の基準面３２４に接触するように構成される。規制面５２３Ｃは平面である。図示される例では、規制部５２３は設定部本体６００の第２構成部６０２に対して下方向に配置される。規制面５２３Ｃは第２基準面３２４Ｂに接触するように構成される。

(角度設定方法)
図５および図１１～図１５を参照する。図１１～図１５では、スクライブヘッド１０を構成する要素のうち、スライドユニット１００以外の要素が省略されている。旋回部３２０の旋回角度は例えば、角度設定方法により設定される。角度設定方法の例として、第１角度設定方法、第２角度設定方法、および、第３角度設定方法が挙げられる。以下では、スライドユニット１００を構成する全ての要素が相互に結合されたスライドユニット１００の状態を「標準状態」と称する。

(第１角度設定方法)
第１角度設定方法は工程Ａ１～工程Ａ６を含む。工程Ａ１の次に工程Ａ２が行われる。工程Ａ２の次に工程Ａ３が行われる。工程Ａ３の次に工程Ａ４が行われる。工程Ａ４の次に工程Ａ５が行われる。工程Ａ５の次に工程Ａ６が行われる。

図５および図１１を参照する。工程Ａ１では、スクライブヘッド１０が定盤の基準面に配置される。定盤の基準面は平面である。ベース２０の第１主面２０Ａは定盤の基準面に接触する。スライドユニット１００の状態は標準状態に対して一部相違する。スライダ２００のスライダ本体２１０には、設定部本体６００および固定部５２０は連結されていない。ホルダジョイント３００には、ホルダユニット４００は連結されていない。

図１２を参照する。工程Ａ２では、スライダ２００のスライダ本体２１０に対して下方向に設定部本体６００が配置される。スライダ２００の第１のピン２３１が設定部本体６００の長穴６４１Ａに配置される。スライダ２００の第２のピン２３１が設定部本体６００の穴６４２Ａに配置される。

ボールプランジャ５１１Ａのボール５１１Ａ２は旋回部３２０の第１基準面３２４Ａの第１被接触部３２０Ａに接触する。細目ねじ５１２Ａの先端部５１２Ａ１は旋回部３２０の第２基準面３２４Ｂの第２被接触部３２０Ｂに接触する。設定部本体６００が複数のボルト１０Ｂ５によりスライダ本体２１０に連結される。

図１３を参照する。工程Ａ３では、角度設定用のホルダ４１０がホルダジョイント３００に連結される。角度設定用のホルダ４１０には、測定プレート４５０が連結される。

測定プレート４５０の一部はホルダ４１０のスリット４１３Ａに配置される。測定プレート４５０は配置部４１３に連結される。測定プレート４５０は被測定面４５１を含む。被測定面４５１は平面である。定盤の基準面、または、スクライブヘッド１０の基準面に対する被測定面４５１の平行度が測定機により測定される。測定機の例として、３次元測定機が挙げられる。

図１３を参照する。工程Ａ４では、被測定面４５１の平行度が基準値となるように細目ねじ５１２Ａが操作される。細目ねじ５１２Ａは第２配置部５２２に対して第１並進方向または第２並進方向に並進する。

細目ねじ５１２Ａが第１並進方向に並進する場合、旋回部配置部６１０の内周面６１２に対する細目ねじ５１２Ａの突出長さが長くなる。細目ねじ５１２Ａが第２並進方向に並進する場合、旋回部配置部６１０の内周面６１２に対する細目ねじ５１２Ａの突出長さが短くなる。

被測定面４５１の平行度に関する基準値は任意に設定できる。基準値の例として、第１基準値および第２基準値が挙げられる。第１基準値は被測定面４５１が定盤の基準面、または、スクライブヘッド１０の基準面に対して平行であることを示す値である。第２基準値は被測定面４５１が定盤の基準面、または、スクライブヘッド１０の基準面に対して一定の傾斜角度を有することを示す値である。

被測定面４５１の平行度が第１基準値である場合、旋回部３２０の旋回角度は０°である。旋回角度が０°の旋回部３２０にホルダユニット４００が連結される場合、スクライビングホイール４２０の中心面は定盤の基準面、または、スクライブヘッド１０の基準面に平行である。

図１４を参照する。工程Ａ５では、固定部５２０が複数のボルト１０Ｂ５によりスライダ本体２１０に連結される。固定部５２０の規制面５２３Ｃは旋回部３２０の第２基準面３２４Ｂの第１被接触部３２０Ａおよび第２被接触部３２０Ｂに接触する。

図１５を参照する。工程Ａ６では、角度設定用のホルダ４１０がホルダジョイント３００から分離される。ホルダユニット４００がホルダジョイント３００に連結される。

(第２角度設定方法)
第２角度設定方法は工程Ｂ１～工程Ｂ５を含む。工程Ｂ１の次に工程Ｂ２が行われる。工程Ｂ２の次に工程Ｂ３が行われる。工程Ｂ３の次に工程Ｂ４が行われる。工程Ｂ４の次に工程Ｂ５が行われる。

工程Ｂ１では、第１角度設定方法の工程Ａ２と同じ状態のスクライブヘッド１０が定盤の基準面に配置される。工程Ｂ２は第１角度設定方法の工程Ａ３と同様である。工程Ｂ３は第１角度設定方法の工程Ａ４と同様である。工程Ｂ４は第１角度設定方法の工程Ａ５と同様である。工程Ｂ５は第１角度設定方法の工程Ａ６と同様である。

(第３角度設定方法)
第３角度設定方法は工程Ｃ１～工程Ｃ４を含む。工程Ｃ１の次に工程Ｃ２が行われる。工程Ｃ２の次に工程Ｃ３が行われる。工程Ｃ３の次に工程Ｃ４が行われる。

工程Ｃ１では、第１角度設定方法の工程Ａ３と同じ状態のスクライブヘッド１０が定盤の基準面に配置される。工程Ｃ２は第１角度設定方法の工程Ａ４と同様である。工程Ｃ３は第１角度設定方法の工程Ａ５と同様である。工程Ｃ４は第１角度設定方法の工程Ａ６と同様である。

(スクライブ加工)
スクライブ加工には、角度設定部５００により旋回部３２０の旋回角度が設定されたスクライブ加工装置が用いられる。スクライブ加工では、例えば以下のような様子が観察される。

スクライブヘッド１０の位置が非接触位置に設定される。スクライブヘッド１０の位置が非接触位置である場合、スクライビングホイール４２０の刃先４２２は被加工物に接触しない。

スクライブヘッド１０が下方向に駆動される。スクライブヘッド１０の位置が初期接触位置に設定される。スクライブヘッド１０の位置が初期接触位置である場合、スクライビングホイール４２０の刃先４２２が被加工物に接触する。刃先４２２と被加工物との接触にともないスクライビングホイール４２０に外力が作用する。

その外力に基づく第１トルクまたは第２トルクが旋回部３２０に作用する場合がある。旋回部３２０の旋回動作が角度設定部５００により規制される。スクライビングホイール４２０の刃先４２２が被加工物に接触することにともなう旋回部３２０の旋回動作が規制される。旋回部３２０およびホルダユニット４００の旋回角度が保持される。

旋回角度が保持される状態の例として、第１保持状態および第２保持状態が挙げられる。第１保持状態では、スクライブヘッド１０が初期接触位置に位置する場合の旋回角度はスクライブヘッド１０が非接触位置に位置する場合の旋回角度と同一である。第２保持状態では、スクライブヘッド１０が初期接触位置に位置する場合の旋回角度はスクライブヘッド１０が非接触位置に位置する場合の旋回角度と実質的に同一の旋回角度である。

スクライブヘッド１０が所定方向に走査される。スクライビングホイール４２０が被加工物上を移動し、被加工物にスクライブラインが形成される。スクライビングホイール４２０の移動にともないスクライビングホイール４２０に外力が作用する。

その外力に基づく第１トルクまたは第２トルクが旋回部３２０に作用する場合がある。旋回部３２０の旋回動作が角度設定部５００により規制される。スクライビングホイール４２０が被加工物上に走行することにともなう旋回部３２０の旋回動作が規制される。旋回部３２０およびホルダユニット４００の旋回角度が保持される。

旋回角度が保持される状態の例として、第３保持状態および第４保持状態が挙げられる。第３保持状態では、スクライブヘッド１０が移動した場合の旋回角度はスクライブヘッド１０が初期接触位置に位置する場合の旋回角度と同一である。第４保持状態では、スクライブヘッド１０が移動した場合の旋回角度はスクライブヘッド１０が初期接触位置に位置する場合の旋回角度と実質的に同一の旋回角度である。

(効果)
実施形態に例示される構成により、例えば以下のような効果が得られる。

一例では、スライドユニット１００はホルダジョイント３００および角度設定部５００を備える。ホルダジョイント３００はスライダ２００、スライダ２００に連結される軸受部３１０、および、軸受部３１０に対して旋回できるように構成される旋回部３２０を含む。角度設定部５００はスライダ２００に対する旋回部３２０の旋回角度を設定できるように構成される。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。角度設定部５００により旋回部３２０の旋回角度を設定できるため、スクライブ加工における旋回部３２０の旋回角度が安定する。旋回部３２０に連結されるホルダ４１０の旋回角度、および、ホルダ４１０に支持されるスクライビングホイール４２０の旋回角度も安定する。このため、スクライブ加工における加工精度の向上が期待できる。精密部品を製造するスクライブ加工においても加工精度の向上が期待できる。精密部品の例として、電子部品および半導体部品が挙げられる。

一例では、角度設定部５００は旋回部３２０が第１旋回方向に旋回するように旋回部３２０を押圧する第１押圧部５１１、および、旋回部３２０が第２旋回方向に旋回するように旋回部３２０を押圧する第２押圧部５１２を含む。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度を調整する作業に関する作業性が向上する。

一例では、第１押圧部５１１は弾性要素を含む。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度を調整する作業に関する作業性が向上する。

一例では、第２押圧部５１２の他方はねじ要素を含む。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度を調整する作業に関する作業性が向上する。

一例では、第１押圧部５１１および第２押圧部５１２は第１押圧部５１１と第２押圧部５１２との間に旋回部３２０を挟むように配置される。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度が安定する。

一例では、角度設定部５００は第１押圧部５１１が配置される第１押圧部配置部６２１、および、第２押圧部５１２が配置される第２押圧部配置部６２２を含む。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。第１押圧部５１１および第２押圧部５１２の位置が安定する。

一例では、旋回部３２０はホルダユニット４００を連結できるように構成されるホルダ連結部３３０、および、軸受部３１０に連結される旋回軸３２１を含む。第１押圧部５１１および第２押圧部５１２はホルダ連結部３３０を押圧するように構成される。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。軸受部３１０の構成が簡素化される。

一例では、角度設定部５００は旋回部３２０の旋回角度を固定できるように構成される固定部５２０を含む。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度が安定する。

一例では、固定部５２０はスライダ２００に対して着脱できるように構成される。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度を調節する作業に関する作業性が向上する。

一例では、スライダ２００は軸受部３１０が連結されるスライダ本体２１０を含む。角度設定部５００はスライダ本体２１０の底部に設けられる。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。旋回部３２０の旋回角度を調節する作業に関する作業性が向上する。

(第２実施形態)
図１６～図２２を参照する。第２実施形態のスライドユニット１００は第１実施形態を前提に構成される。本実施形態のスライドユニット１００は前提の実施形態と共通する構成を含む。

以下には、本実施形態のスライドユニット１００における前提の実施形態のスライドユニット１００との相違点が主に示される。本実施形態のスライドユニット１００における前提の実施形態のスライドユニット１００と共通する構成に関する説明の一部または全部は省略される。

(軸受部)
図１６を参照する。軸受部３１０はケース３１２および複数のオーリング３１４を含まない。各軸受３１１Ａ、３１１Ｂの外輪はスライダ２００に連結される。

(スライダ)
図１６を参照する。スライダ２００の構成は任意に選択できる。スライダ２００の構成は例示される構成に限定されない。スライダ２００は例えば、スライダ本体７００、被押圧部２２０、および、位置設定部２３０を含む。スライダ本体７００は例えば、ブロックである。被押圧部２２０および位置設定部２３０はスライダ本体７００に連結される。

スライダ本体７００は例えば、第１本体構成部７１０および第２本体構成部７２０を含む。第１本体構成部７１０および第２本体構成部７２０は個別的に構成される。第１本体構成部７１０は例えば、上部構成部７１０Ａおよび下部構成部７１０Ｂを含む。下部構成部７１０Ｂは第１幅方向に関する上部構成部７１０Ａの側部に対して下方向に位置する。第２本体構成部７２０は下部構成部７１０Ｂに対して着脱できるように構成される。

上部構成部７１０Ａは例えば、中間配置部７１１を含む。中間配置部７１１は１または複数のボルト１０Ｂ２を配置できるように構成される。中間配置部７１１は１または複数の穴７１１Ａを含む。穴７１１Ａは上部構成部７１０Ａを貫通する。穴７１１Ａの中心軸は幅方向に平行である。上部構成部７１０Ａは複数のボルト１０Ｂ２により可動レール３２に連結される。

上部構成部７１０Ａは例えば、上部配置部７１２を含む。上部配置部７１２は連結ボルト２２１を配置できるように構成される。上部配置部７１２は例えば、ねじ穴を含む。ねじ穴は上部構成部７１０Ａの上面７３１に開口する。ねじ穴の中心軸は高さ方向に平行である。

上部構成部７１０Ａの底面７３２は下方向を向く。上部構成部７１０Ａの底面７３２は平面である。上部構成部７１０Ａの底面７３２は第２本体構成部７２０に対向する。

下部構成部７１０Ｂは例えば、対向部７１３を含む。対向部７１３は幅方向に関してホルダジョイント３００のホルダ連結部３３０に対向する部分を含む。対向部７１３は例えば、凹部７１３Ａを含む。

凹部７１３Ａは下部構成部７１０Ｂの第２側面７３３に開口する。下部構成部７１０Ｂの第２側面７３３は第２幅方向を向く。下部構成部７１０Ｂの第２側面７３３は第２本体構成部７２０の第１側面７４３に対向する。下部構成部７１０Ｂの第２側面７３３は平面である。

凹部７１３Ａは下部構成部７１０Ｂの底面７３４に開口する。下部構成部７１０Ｂの底面７３４は下方向を向く。下部構成部７１０Ｂの底面７３４は平面である。

下部構成部７１０Ｂは例えば、中間配置部７１４を含む。中間配置部７１４は１または複数のボルト１０Ｂ６を配置できるように構成される。中間配置部７１４は１または複数のねじ穴７１４Ａを含む。ねじ穴７１４Ａは下部構成部７１０Ｂの第２側面７３３に開口する。ねじ穴７１４Ａの中心軸は幅方向に平行である。

第２本体構成部７２０は例えば、ジョイント配置部７２１を含む。ジョイント配置部７２１はホルダジョイント３００を配置できるように構成される。ジョイント配置部７２１は例えば、凹部７２１Ａおよび穴７２１Ｂを含む。

凹部７２１Ａはホルダ連結部３３０の一部を配置できるように形成される。凹部７２１Ａは第２本体構成部７２０の底面７４２に開口する。第２本体構成部７２０の底面７４２は下方向を向く。第２本体構成部７２０の底面７４２は平面である。

凹部７２１Ａは第２本体構成部７２０の第１側面７４３に開口する。第２本体構成部７２０の第１側面７４３は第１幅方向を向く。第２本体構成部７２０の第１側面７４３は平面である。第２本体構成部７２０の第１側面７４３は下部構成部７１０Ｂの第２側面７３３に接触する。穴７２１Ｂは軸受部３１０を配置できるように形成される。穴７２１Ｂは凹部７２１Ａの底面に開口する。

第２本体構成部７２０は例えば、中間配置部７２２を含む。中間配置部７２２は１または複数のボルト１０Ｂ６を配置できるように構成される。中間配置部７２２は１または複数の穴７２２Ａを含む。穴７２２Ａは第２本体構成部７２０を貫通する。穴７２２Ａの中心軸は幅方向に平行である。

第２本体構成部７２０の上面７４１は上方向を向く。第２本体構成部７２０の上面７４１は平面である。第２本体構成部７２０の上面７４１は上部構成部７１０Ａの底面７３２に接触する。

(角度設定部)
図１６および図１７を参照する。角度設定部５００の少なくとも一部はスライダ本体７００と一体的に構成される。図示される例では、角度設定部５００の一部はスライダ本体７００と一体的に構成される。角度設定部５００はスライダ本体７００の底部に設けられる。

(設定部本体)
図１６および図１７を参照する。角度設定部５００は例えば、設定部本体８００を含む。設定部本体８００はスライダ本体７００の一部として構成される。設定部本体８００は例えば、第１本体構成部８１０および第２本体構成部８２０を含む。第１本体構成部８１０はスライダ本体７００の第１本体構成部７１０の下部構成部７１０Ｂの一部として構成される。第２本体構成部８２０はスライダ本体７００の第２本体構成部７２０の一部として構成される。

設定部本体８００は例えば、押圧部配置部８３０を含む。押圧部配置部８３０は押圧部５１０を配置できるように構成される。押圧部配置部８３０は例えば、第１押圧部配置部８３１および第２押圧部配置部８３２を含む。第１押圧部配置部８３１は第１本体構成部８１０に設けられる。第２押圧部配置部８３２は第２本体構成部８２０に設けられる。

第１押圧部配置部８３１は第１押圧部５１１を配置できるように構成される。第１押圧部配置部８３１は例えば、穴８３１Ａを含む。穴８３１Ａは第１押圧部配置部８３１を貫通する。穴８３１Ａの中心軸は幅方向に平行である。第１押圧部配置部８３１は下部構成部７１０Ｂの凹部７１３Ａに設けられる。穴８３１Ａは凹部７１３Ａの底面に開口する。

第１押圧部配置部８３１は奥行方向に関するスライダ本体７００の中心に対して前方向または後方向に位置する。図示される例では、第１押圧部配置部８３１は奥行方向に関するスライダ本体７００の中心に対して後方向に位置する。

第２押圧部配置部８３２は第２押圧部５１２を配置できるように構成される。第２押圧部配置部８３２は例えば、ねじ穴８３２Ａを含む。ねじ穴８３２Ａは第２押圧部配置部８３２を貫通する。ねじ穴８３２Ａの中心軸は幅方向に平行である。第２押圧部配置部８３２は第２本体構成部７２０の凹部７２１Ａに設けられる。ねじ穴８３２Ａは凹部７２１Ａの底面に開口する。

第２押圧部配置部８３２は奥行方向に関するスライダ本体７００の中心に対して前方向または後方向に位置する。図示される例では、第２押圧部配置部８３２は奥行方向に関するスライダ本体７００の中心に対して後方向に位置する。

設定部本体８００は例えば、ボルト配置部８４０を含む。ボルト配置部８４０は１または複数のボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。ボルト配置部８４０は例えば、第１ボルト配置部８４１および第２ボルト配置部８４２を含む。

第１ボルト配置部８４１は第１本体構成部８１０に設けられる。第１ボルト配置部８４１は１または複数のボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第１ボルト配置部８４１は１または複数のねじ穴８４１Ａを含む。ねじ穴８４１Ａは第１本体構成部８１０の底面７３４に開口する。ねじ穴８４１Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

第２ボルト配置部８４２は第２本体構成部８２０に設けられる。第２ボルト配置部８４２は１または複数のボルト１０Ｂ５を配置できるように構成される。第２ボルト配置部８４２は１または複数のねじ穴８４２Ａを含む。ねじ穴８４２Ａは第２本体構成部８２０の底面７４２に開口する。ねじ穴８４２Ａの中心軸は高さ方向に平行である。

第１押圧部５１１は例えば、ボールプランジャ５１１Ａを含む。ボールプランジャ５１１Ａは押圧部配置部８３０の第１押圧部配置部８３１の穴８３１Ａに配置される。ボールプランジャ５１１Ａの中心軸は幅方向に平行である。

シリンダ５１１Ａ１は第１押圧部配置部８３１に連結される。ボール５１１Ａ２はシリンダ５１１Ａ１の端部に配置される。コイルばねはシリンダ５１１Ａ１の内部に配置される。シリンダ５１１Ａ１の端部およびボール５１１Ａ２は第１押圧部配置部８３１の側面に対して突出する。

第２押圧部５１２は例えば、細目ねじ５１２Ａを含む。細目ねじ５１２Ａは押圧部配置部８３０の第２押圧部配置部８３２のねじ穴８３２Ａに配置される。細目ねじ５１２Ａの中心軸は幅方向に平行である。細目ねじ５１２Ａの中心軸はボールプランジャ５１１Ａの中心軸と同軸である。細目ねじ５１２Ａは回転にともない第２押圧部配置部８３２に対して幅方向に並進する。

(固定部)
図１６および図１７を参照する。角度設定部５００は例えば、複数の固定部５２０を含む。第１の固定部５２０は第１本体構成部８１０に対して下方向に配置される。第１の固定部５２０の規制面５２３Ｃは第１基準面３２４Ａに接触するように構成される。第２の固定部５２０は第２本体構成部８２０に対して下方向に配置される。第２の固定部５２０の規制面５２３Ｃは第２基準面３２４Ｂに接触するように構成される。

(各要素の連結)
図１６および図１７を参照する。ホルダジョイント３００はスライダ２００に連結される。軸受部３１０はスライダ本体７００の第２本体構成部７２０の穴７２１Ｂに配置される。ホルダ連結部３３０の上部は凹部７２１Ａに配置される。

軸受部３１０の軸受３１１の外輪は第２本体構成部７２０に連結される。軸受３１１の外輪と第２本体構成部７２０との連結の形態は、例えば化学的接合である。図示される例では、軸受３１１の外輪は接着剤により第２本体構成部７２０に接合される。

(角度設定方法)
図５および図１８～図２２を参照する。図１８～図２２では、スクライブヘッド１０を構成する要素のうち、スライドユニット１００以外の要素が省略されている。旋回部３２０の旋回角度は例えば、角度設定方法により設定される。角度設定方法の例として、第４角度設定方法、第５角度設定方法、および、第６角度設定方法が挙げられる。

(第４角度設定方法)
第４角度設定方法は工程Ｄ１～工程Ｄ６を含む。工程Ｄ１の次に工程Ｄ２が行われる。工程Ｄ２の次に工程Ｄ３が行われる。工程Ｄ３の次に工程Ｄ４が行われる。工程Ｄ４の次に工程Ｄ５が行われる。工程Ｄ５の次に工程Ｄ６が行われる。

図５および図１８を参照する。工程Ｄ１では、スクライブヘッド１０が定盤の基準面に配置される。定盤の基準面は平面である。ベース２０の第１主面２０Ａは定盤の基準面に接触する。スライドユニット１００の状態は標準状態に対して一部相違する。スライダ本体７００の第１本体構成部７１０には、第２本体構成部７２０および固定部５２０は連結されていない。

図１９を参照する。工程Ｄ２では、ホルダジョイント３００が連結された第２本体構成部７２０が複数のボルト１０Ｂ６により第１本体構成部７１０に連結される。ホルダジョイント３００には、ホルダユニット４００は連結されていない。

ボールプランジャ５１１Ａのボール５１１Ａ２は旋回部３２０の第１基準面３２４Ａの第１被接触部３２０Ａに接触する。細目ねじ５１２Ａの先端部５１２Ａ１は旋回部３２０の第２基準面３２４Ｂの第２被接触部３２０Ｂに接触する。

図２０を参照する。工程Ｄ３では、角度設定用のホルダ４１０がホルダジョイント３００に連結される。角度設定用のホルダ４１０には、測定プレート４５０が連結される。

図２０を参照する。工程Ｄ４では、被測定面４５１の平行度が基準値となるように細目ねじ５１２Ａが操作される。細目ねじ５１２Ａは第２配置部５２２に対して第１並進方向または第２並進方向に並進する。

細目ねじ５１２Ａが第１並進方向に並進する場合、第２本体構成部７２０の凹部７２１Ａの底面に対する細目ねじ５１２Ａの突出長さが長くなる。細目ねじ５１２Ａが第２並進方向に並進する場合、第２本体構成部７２０の凹部７２１Ａの底面に対する細目ねじ５１２Ａの突出長さが短くなる。

図２１を参照する。工程Ｄ５では、第１の固定部５２０が複数のボルト１０Ｂ５により第１本体構成部７１０に連結される。固定部５２０の規制面５２３Ｃは旋回部３２０の第１基準面３２４Ａの第１被接触部３２０Ａおよび第２被接触部３２０Ｂに接触する。

工程Ｄ５では、第２の固定部５２０が複数のボルト１０Ｂ５により第２本体構成部７２０に連結される。固定部５２０の規制面５２３Ｃは旋回部３２０の第２基準面３２４Ｂの第１被接触部３２０Ａおよび第２被接触部３２０Ｂに接触する。

図２２を参照する。工程Ｄ６では、角度設定用のホルダ４１０がホルダジョイント３００から分離される。ホルダユニット４００がホルダジョイント３００に連結される。

(第５角度設定方法)
第５角度設定方法は工程Ｅ１～工程Ｅ５を含む。工程Ｅ１の次に工程Ｅ２が行われる。工程Ｅ２の次に工程Ｅ３が行われる。工程Ｅ３の次に工程Ｅ４が行われる。工程Ｅ４の次に工程Ｅ５が行われる。

工程Ｅ１では、第４角度設定方法の工程Ｄ２と同じ状態のスクライブヘッド１０が定盤の基準面に配置される。工程Ｅ２は第４角度設定方法の工程Ｄ３と同様である。工程Ｅ３は第４角度設定方法の工程Ｄ４と同様である。工程Ｅ４は第４角度設定方法の工程Ｄ５と同様である。工程Ｅ５は第４角度設定方法の工程Ｄ６と同様である。

(第６角度設定方法)
第６角度設定方法は工程Ｆ１～工程Ｆ４を含む。工程Ｆ１の次に工程Ｆ２が行われる。工程Ｆ２の次に工程Ｆ３が行われる。工程Ｆ３の次に工程Ｆ４が行われる。

工程Ｆ１では、第４角度設定方法の工程Ｄ３と同じ状態のスクライブヘッド１０が定盤の基準面に配置される。工程Ｆ２は第４角度設定方法の工程Ｄ４と同様である。工程Ｆ３は第４角度設定方法の工程Ｄ５と同様である。工程Ｆ４は第４角度設定方法の工程Ｄ６と同様である。

(スクライブ加工)
スクライブ加工には、角度設定部５００により旋回部３２０の旋回角度が設定されたスクライブ加工装置が用いられる。スクライブ加工では、例えば前提の実施形態と同様の様子が観察される。

(効果)
実施形態に例示される構成により、例えば以下のような効果が得られる。

一例では、スライドユニット１００は前提の実施形態のスライドユニット１００と共通する構成を含む。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。前提の実施形態により得られる効果と同様の効果が得られる。

一例では、軸受部３１０はスライダ本体７００の一部である第２本体構成部７２０に接合される。

上記構成によれば、例えば次のような効果が得られる。軸受部３１０が高剛性の要素に接合されるため、スライドユニット１００に衝撃が作用した場合にも、角度設定部５００により設定された旋回部３２０の旋回角度が変化しにくい。

なお、本発明に関するスライドユニットが取り得る形態は上記各実施形態に記載の説明に制限されない。本発明に関するスライドユニットは各実施形態に例示された形態とは異なる形態を取り得る。その例として、各実施形態の構成の一部を置換、変更、もしくは、省略した形態、または、各実施形態に新たな構成を付加した形態が挙げられる。

１００ ：スライドユニット
２００ ：スライダ
３００ ：ホルダジョイント
３１０ ：軸受部
３２０ ：旋回部
５００ ：角度設定部

Claims (11)

1. スライダと、
   前記スライダに連結される軸受部と、前記軸受部に対して旋回できるように構成される旋回部とを含むホルダジョイントと、
   前記スライダに対する前記旋回部の旋回角度を設定できるように構成される角度設定部とを備える
   スライドユニット。
2. 前記角度設定部は前記旋回部が第１旋回方向に旋回するように前記旋回部を押圧する第１押圧部、および、前記旋回部が前記第１旋回方向とは反対の方向である第２旋回方向に旋回するように前記旋回部を押圧する第２押圧部を含む
   請求項１に記載のスライドユニット。
3. 前記第１押圧部および前記第２押圧部の一方は弾性要素を含む
   請求項２に記載のスライドユニット。
4. 前記第１押圧部および前記第２押圧部の他方はねじ要素を含む
   請求項３に記載のスライドユニット。
5. 前記第１押圧部および前記第２押圧部は前記第１押圧部と前記第２押圧部との間に前記旋回部を挟むように配置される
   請求項２～４のいずれか一項に記載のスライドユニット。
6. 前記角度設定部は前記第１押圧部が配置される第１押圧部配置部、および、前記第２押圧部が配置される第２押圧部配置部を含む
   請求項２～５のいずれか一項に記載のスライドユニット。
7. 前記旋回部はホルダユニットを連結できるように構成されるホルダ連結部、および、前記軸受部に連結される旋回軸を含み、
   前記第１押圧部および前記第２押圧部は前記ホルダ連結部を押圧するように構成される
   請求項２～６のいずれか一項に記載のスライドユニット。
8. 前記角度設定部は前記旋回部の旋回角度を固定できるように構成される固定部を含む
   請求項１～７のいずれか一項に記載のスライドユニット。
9. 前記固定部は前記スライダに対して着脱できるように構成される
   請求項８に記載のスライドユニット。
10. 前記スライダは前記軸受部が連結されるスライダ本体を含み、
    前記角度設定部は前記スライダ本体の底部に設けられる
    請求項１～９のいずれか一項に記載のスライドユニット。
11. スライダと、前記スライダに連結される軸受部と、前記軸受部に対して旋回できるように構成される旋回部とを含むホルダジョイントと、前記スライダに対する前記旋回部の旋回角度を設定できるように構成される角度設定部とを備えるスライドユニットと、
    前記スライドユニットを支持するベースと、
    前記スライドユニットが前記ベースに対して高さ方向に移動できるように前記スライドユニットと前記ベースとを連結するガイド部と、
    前記スライドユニットに荷重を付与する荷重調節部と、
    前記スライドユニットおよび前記荷重調節部を支持する支持部とを備える
    スクライブヘッド。

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