JP2023030668A - エアスピンドル装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工中のスピンドルの変位量を測定し、この測定結果を用いて精度の高い加工作業を実行する。【解決手段】エアスピンドル装置１００は、ハウジング５０と、ハウジング５０内に設けられたスピンドル１０と、エアを介してスピンドル１０を支持するラジアル軸受３１およびスラスト軸受３２とを備える。ｘ方向変位計４１、ｙ方向変位計４２およびｚ方向変位計４３により、スピンドル１０の変位量が求められる。制御部１３０はスピンドル１０の変位量に基づいて、変位量を補正する方向に移動機構１１０を駆動する。【選択図】図１

Description

本開示はハウジングと、ハウジング内にエアを介して回転自在に支持されたスピンドルとを備えたエアスピンドル装置に関する。

従来、ハウジングと、ハウジング内にエアを介して回転自在に支持されたスピンドルとを備えたエアスピンドル装置が知られている。

エアスピンドル装置は、その構造上、スピンドルに剛性をもたせて高速回転することはむずかしい。このため、加工中にスピンドルがハウジング内で変位することがあるが、従来よりハウジング内でのスピンドルの変位を求める技術は開発されておらず、加工中に生じるスピンドルの変位に伴って、精度の高い加工作業を行うことができない場合がある。

特開２０１９－１０４０６６号公報

本開示はこのような点を考慮してなされたものであり、加工中にスピンドルの変位量を測定することができ、このスピンドルの変位量を利用して、精度の高い加工作業を実行することができるエアスピンドル装置を提供することを目的とする。

本開示は、エアスピンドル装置において、ハウジングと、前記ハウジング内に回転自在に設けられるとともに工具を保持するスピンドルと、前記ハウジングに設けられ、エアを介して前記スピンドルを半径方向に支持するラジアル軸受と、前記ハウジングに設けられ、エアを介して前記スピンドルを軸方向に支持するスラスト軸受と、前記ハウジングに対する前記スピンドルのｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向の各々の変位量を求めるｘ方向変位計、ｙ方向変位計およびｚ方向変位計と、前記ハウジングを駆動する移動機構と、制御部とを備え、前記制御部は前記ｘ方向変位計、前記ｙ方向変位計および前記ｚ方向変位計からの信号に基づいて、前記スピンドルのｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向の各々の変位量を補正する方向に前記移動機構を制御する、エアスピンドル装置である。

本開示は、前記制御部は前記ｘ方向変位計、前記ｙ方向変位計および前記ｚ方向変位計からの信号に基づいて前記工具にかかる負荷を求める、エアスピンドル装置である。

本開示は、前記ｘ方向変位計および前記ｙ方向変位計は、前記ハウジングに設けられた前記ラジアル軸受内に埋め込まれ、前記スピンドルの外周面との間の距離を求める、エアスピンドル装置である。

本開示は、前記ｚ方向変位計は、前記ハウジングに設けられた前記スラスト軸受内に埋め込まれ、前記スピンドルに設けられたフランジとの間の距離を求める、エアスピンドル装置である。

本開示は、前記ｚ方向変位計は、前記スピンドル上端の変位を求める、エアスピンドル装置である。

以上のように、本開示によれば、加工中、エアスピンドルの変位量を測定することができ、この変位量を用いて精度の高い加工を実行できる。

図１は本開示によるエアスピンドル装置を示す概略図。 図２はエアスピンドル装置を備えた工作機械の全体構成図。 図３はｘ方向変位計およびｙ方向変位計を示す図１の拡大図。 図４はｚ方向変位計を示す図１の拡大図。 図５Ａは本開示によるｘ方向変位量の変化を示す図。 図５Ｂは図５Ａの拡大図である。

まず本開示によるエアスピンドル装置を備えた工作機械全体について述べる。

図１および図２に示すように、エアスピンドル装置１００は、スピンドル１０を中心軸回りに回転駆動することにより、スピンドル１０の一端部に装着される工具１を回転させて、被加工物であるワーク３の加工を行うための装置である。エアスピンドル装置１００は、工作機械２００に組み付けられ、工作機械２００が備える移動機構１１０によって、ワーク３に対して相対移動する。工作機械２００は、数値制御（ＮＣ）工作機械であり、工具１とワーク３との相対運動（位置および速度）を数値情報によって制御し、加工に関わる一連の動作をプログラム１３２により実行する。具体的には、工作機械２００は、エアスピンドル装置１００と工具交換装置１２０とを備えたマシニングセンタであり、エアスピンドル装置１００に対する工具１の付け替えによって、穴あけ、中ぐり、フライス削りなどの各種の加工を行うことができる。

本実施の形態において、例えばワーク３の一例として光学レンズ用の金型が考えられ、工作機械２００によって金型の精密加工を行う。エアスピンドル装置１００および工作機械２００は、ワーク３の高精度測定が可能であるため、金型の製作などの高精度が要求される精密加工を行う場合に特に好適である。

図２に示す工作機械２００は、エアスピンドル装置１００と、移動機構１１０と、工具交換装置１２０とを備える。また、工作機械２００およびエアスピンドル装置１００はこれらの各部を制御する制御部１３０を備える。

移動機構１１０は、エアスピンドル装置１００とワーク３とを相対移動させるように構成されている。この場合、移動機構１１０はエアスピンドル装置１００とワーク３を、少なくとも、上下方向と、水平面内で直交する２方向との直交３軸方向に相対移動させることができる。エアスピンドル装置１００とワーク３を相対移動させる場合、エアスピンドル装置１００およびワーク３の一方のみが移動してもよいし、エアスピンドル装置１００およびワーク３の両方が移動してもよい。本実施の形態においては、図２に示すように移動機構１１０は、エアスピンドル装置１００を保持するとともに、このエアスピンドル装置１００を上下方向であるｚ方向と、水平面内のｘ方向（図２の左右方向）に移動させ、ワーク３を、水平面内でｘ方向と直交するｙ方向（図２の紙面に垂直な手前および奥方向）に移動させる。

以下、移動機構１１０の具体的構成を述べる。図２に示すように、工作機械２００は門型マシニングセンタからなる。工作機械２００は、ワーク３が設置されるテーブル１４０と、テーブル１４０をｙ方向に移動可能に支持するベッド１４１とを備える。また工作機械２００は、ベッド１４１のｘ方向両側に配置された一対のコラム１４２と、一対のコラム１４２の上端部に掛け渡されたクロスバー１４３とを備え、クロスバー１４３は、テーブル１４０およびベッド１４１の上方を跨ぐようにｘ方向に延びている。クロスバー１４３は、サドル１４４をｘ方向に移動可能に支持する。サドル１４４は、エアスピンドル装置１００を保持するヘッド１４５をｚ方向に移動可能に支持する。

本実施の形態において、移動機構１１０は、ヘッド１４５をｚ方向に移動させるｚ軸移動機構１１１と、サドル１４４をｘ方向に移動させるｘ軸移動機構１１２と、テーブル１４０をｙ方向に移動させるｙ軸移動機構１１３と、を備える。ｚ軸移動機構１１１、ｘ軸移動機構１１２およびｙ軸移動機構１１３の各々は、たとえば位置検出器を内蔵したサーボモータ１１４と、サーボモータ１１４により駆動させる直動機構（図示せず）とを含む。なお、移動機構１１０は、３軸よりも多い移動軸を備えていてもよい。たとえば、移動機構１１０は、ヘッド１４５をｙ方向の軸中心に回動させる（エアスピンドル装置１００の工具１を水平面に対して傾斜させる）回動軸や、テーブル１４０をｚ軸中心に回転させる（ワーク３を水平面内で回転させる）回転軸を備えていてもよい。

工具交換装置１２０は、複数種の工具１を取り出し可能に保持し、エアスピンドル装置１００のスピンドル１０に装着する工具１を交換させる機能を有する。また、工具交換装置１２０は、工具１に加えて、接触センサ２を取り出し可能に保持する。すなわち、工具交換装置１２０は、工具１および接触センサ２をエアスピンドル装置１００のスピンドル１０に対して着脱可能に保持するように構成されている。

図２に示すように制御部１３０は、工作機械２００の全体の動作制御を行うように構成されている。制御部１３０は、ＣＰＵなどのプロセッサにより構成されている。具体的には制御部１３０は、ワーク３の加工プログラムを含む工作機械２００を制御するための各種プログラム１３２が記憶された記憶部１３１を備える。記憶部１３１に記憶されたプログラムをプロセッサが実行することにより、プロセッサが工作機械２００の制御部１３０として動作する。これにより、制御部１３０は、エアスピンドル装置１００の動作制御、移動機構１１０の動作制御、工具交換装置１２０の動作制御を行う。制御部１３０は、たとえば工作機械２００の制御盤に設けられており、制御盤の表示部（図示せず）や入力部（図示せず）と接続されている。

次に本開示によるエアスピンドル装置１００について述べる。図１に示すように本開示によるエアスピンドル装置１００は、ハウジング５０と、ハウジング５０内に回転自在に設けられたスピンドル１０と、スピンドル１０の下端に保持された工具１とを備えている。この場合、工具１はスピンドル１０の下端に工具保持部４０を介して取り付けられて保持される。

このうちスピンドル１０は、ハウジング５０内に設けられたラジアル軸受３１により空気（エアともいう）を介して半径方向に支持されている。また同様にスピンドル１０は、ハウジング５０内に設けられたスラスト軸受３２により空気（エアともいう）を介して軸方向に支持されている。

そしてスラスト軸受３２とラジアル軸受３１とによりエアベアリング機構２０が構成される。

本実施の形態において、スピンドル１０は、図１に示すように、所定長さの軸部１１と、この軸部１１の途中に設けられ軸部１１の径よりも大きな径を有するフランジ部１２とを有する。そしてスピンドル１０はハウジング５０内の収納孔５０Ａ内に配置されている。

そしてエアベアリング機構２０は、図１に示すように、ハウジング５０の収納孔５０Ａ内に固定され、スピンドル１０を空気隙間を介して回転可能に支持する軸受部材３０を有し、この軸受部材３０は、上述したラジアル軸受３１とスラスト軸受３２とからなる。このうちラジアル軸受３１は、軸部１１の外周面との間に所定のラジアル隙間３３を有する内径をもつとともに、ラジアル隙間３３に空気を噴出するエア噴出孔３４を有する。またスラスト軸受３２はラジアル軸受３１と一体的に形成され、フランジ部１２の端面との間に所定のスラスト隙間３５をもつとともに、このスラスト隙間３５に空気を噴出するエア噴出孔３６を有する。

上述のようにハウジング５０には、中心軸方向にスピンドル１０を収納する収納孔５０Ａが形成され、ハウジング５０外部にエアベアリング用エア供給口２３が形成されている。また、ハウジング５０内部には、エアベアリング用エア供給口２３からラジアル軸受３１およびスラスト軸受３２のエア噴出孔３４およびエア噴出孔３６に連通するエア供給路２５が形成されている。

またエアスピンドル装置１００は、ラジアル軸受３１およびスラスト軸受３２側へエアを供給する空気源６０と、空気源６０とエアベアリング用エア供給口２３との間に接続され、エアベアリング用エア供給口２３へのエアの圧力供給を制御する流体回路７０とを備えている。これにより、空気源６０から流体回路７０を介してラジアル軸受３１およびスラスト軸受３２側へ所定の圧力の圧縮空気が供給される。供給される空気圧としては、たとえば約０．３ＭＰａ以上、約０．７ＭＰａ以下の圧力が考えられる。

次にスピンドル１０を駆動する駆動部８０について述べる。駆動部８０は、スピンドル１０を回転駆動するものである。駆動部８０は、スピンドル１０の上端部に連結され、スピンドル１０を直接、中心軸線回りに回転駆動するように構成されている。駆動部８０は、６００００ｒｐｍ程度の高速回転が可能な電動モータであり、ハウジング５０の内部に組み込まれたビルトインモータである。モータは、同期モータや誘導モータなどを採用することが可能であるが、具体的には駆動部８０は、このような誘導モータにより構成されている。誘導モータは、ステータ８１において発生させた回転磁界によってロータ８２に誘導電流を発生させ、誘導電流によって発生する磁界とステータ８１の回転磁界との相互作用によってロータ８２を回転させるものである。ロータ８２は、スピンドル１０に固定され、他方、ステータ８１は、ロータ８２の径方向外側を取り囲むようにハウジング５０内に固定されている。

また、図１乃至図４に示すように、ハウジング５０の下方部には、ハウジング５０に対するスピンドル１０のｘ方向およびｙ方向の各変位量を求めるｘ方向変位計４１およびｙ方向変位計４２が各々設けられている。

ｘ方向変位計４１とｙ方向変位計４２は、スピンドル１０のｘ方向およびｙ方向の変位量を求めるものであり、図１および図３においてスピンドル１０の外周に平面視で９０°離間した位置に配置されている。ｘ方向変位計４１はハウジング５０およびラジアル軸受３１を水平方向に貫通して形成された開口４１Ａ内に水平方向に延びるよう配置され、ｘ方向変位計４１によりスピンドル１０の軸部１１の外周面との間の水平方向距離を求めるようになっている。

そしてｘ方向変位計４１からの信号は制御部１３０へ送られる。

ｙ方向変位計４２は、ｘ方向変位計４１に対して平面視で９０°離間した位置に配置されている。本実施の形態において、ハウジング５０およびラジアル軸受３１を水平方向に貫通して、開口４１Ａと平面視で９０°離間した位置に開口４２Ａが形成されている。そしてこの開口４２Ａ内にｙ方向変位計４２が水平方向に延びるよう設けられ、このｙ方向変位計４２によりスピンドル１０の軸部１１の外周面との間の水平方向距離を求めることができる。ｙ方向変位計４２からの信号は制御部１３０へ送られる。

またハウジング５０のうち、フランジ部１２より上方部分には、ハウジング５０に対するスピンドル１０のｚ方向の変位量を求めるｚ方向変位計４３が設けられている。

本実施の形態において、スピンドル１０のフランジ部１２の上方において、ハウジング５０およびスラスト軸受３２を垂直方向に貫通して開口４３Ａが設けられ、この開口４３Ａ内にｚ方向変位計４３が垂直方向に延びるよう配置されている。そしてこのｚ方向変位計４３によりスピンドル１０のフランジ部１２との間の垂直方向距離を求めることができる。ｚ方向変位計４３からの信号は制御部１３０へ送られる。

なお、ハウジング５０に対するスピンドル１０のｘ方向、ｙ方向、ｚ方向の変位量を求めるｘ方向変位計４１、ｙ方向変位計４２およびｚ方向変位計４３としては、スピンドル１０との間の距離を測定することができれば、どのような変位計を用いてもよい。

例えば、ｘ方向変位計４１、ｙ方向変位計４２あるいはｚ方向変位計４３としては、静電容量型センサ、渦電流型センサ、あるいはレーザ光照射型センサを用いることができる。

また、本実施の形態において、ｚ方向変位計４３として、ハウジング５０内に設けられて、スピンドル１０のフランジ部１２との間の距離を求める例を示したが、これに限らず、ハウジング５０の上部にｚ方向変位計４３を設け、このｚ方向変位計４３によりスピンドル１０上端との間の垂直方向距離を求めてもよい。

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

まず、図１に示すように、空気源６０からの圧縮空気（圧縮エアともいう）が、流体回路７０を介してハウジング５０側へ送られ、圧縮エアはハウジング５０のエアベアリング用エア供給口２３からラジアル軸受３１およびスラスト軸受３２の両方に供給される。これにより、スピンドル１０はラジアル軸受３１により半径方向にエアを介して非接触状態で支持され、スラスト軸受３２により軸方向にエアを介して非接触状態で支持される。これらの結果、スピンドル１０は、ラジアル軸受３１およびスラスト軸受３２に供給された空気圧によって、軸方向（Ｚ方向）および半径方向（ＸＹ方向）の移動が非接触で拘束された状態で、中心軸回りに回転可能に支持される。

この状態で、駆動部８０によってスピンドル１０が回転駆動され、スピンドル１０に装着された工具１が高速回転する。そして、移動機構１１０によってエアスピンドル装置１００とワーク３とが相対移動され、工具１をワーク３に接触させることにより、ワーク３に対する切削加工が行われる。

この間、ｘ方向変位計４１によりスピンドル１０の軸部１１の外周面との間の水平方向距離が測定され、ｙ方向変位計４２によりスピンドル１０の軸部１１の外周面との間の水平方向距離が測定され、ｚ方向変位計４３によりスピンドル１０のフランジ部１２との間の垂直方向距離が測定される。ｘ方向変位計４１からの信号、ｙ方向変位計４２からの信号およびｚ方向変位計４３からの信号は制御部１３０へ送られる。

制御部１３０へ送られたｘ方向変位計４１からの測定結果、ｙ方向変位計４２からの測定結果およびｚ方向変位計４３からの測定結果は、ハウジング５０に対するスピンドル１０のｘ方向変位量、ｙ方向変位量、およびｚ方向変位量に各々対応し、これらのｘ方向変位量、ｙ方向変位量およびｚ方向変位量は、制御部１３０の記憶部１３１内に格納される。

次に制御部１３０の判別部１３３は、記憶部１３１内のｘ方向変位量、ｙ方向変位量およびｚ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わる負荷を求める。

ここでｘ方向変位計４１により求めたｘ方向変位量の具体的結果を図５Ａおよび図５Ｂに示す。

このうち図５Ａはｘ方向変位量の変化を示す図、図５Ｂは図５Ａの拡大図である。

図５Ａおよび図５Ｂに示すように、工具１を用いてワーク３に対して加工作業を行う際、工具１がワーク３に接触した直後からワーク３から工具１に加わる負荷に応じてｘ方向変位量が急上昇し、このｘ方向変位量は一定の値をとる。

次に工具１がワーク３から離れて接触終了すると、ｘ方向変位量が低下する。

この場合、ｘ方向変位量は、ワーク３から工具１に加わるｘ方向の負荷に応じて比例することが分かっている。このため制御部１３０の判別部１３３は、ｘ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わるｘ方向の負荷を求めることができる。

同様にして制御部１３０の判別部１３３は、ｙ方向変位計４２から送られたｙ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わるｙ方向の負荷を求めることができる。

同様にして制御部１３０の判別部１３３は、ｚ方向変位計４３から送られたｚ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わるｚ方向の負荷を求めることができる。

本実施の形態において、制御部１３０の判別部１３３は更に、ｘ方向変位量、ｙ方向変位量およびｚ方向変位量に基づいて、ワーク３に対する工具１の位置ずれを修正する。

すなわち、ハウジング５０に対してスピンドル１０が、ｘ方向変位量、ｙ方向変位量およびｚ方向変位量をもっている場合、ワーク３に対する工具１の位置がずれていることを意味する。

本実施の形態において、制御部１３０の判別部１３３は、上記ｘ方向変位量、ｙ方向変位量およびｚ方向変位量に基づいて、移動機構１１０を駆動制御する。この場合、移動機構１１０はハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体をｘ方向、ｙ方向およびｚ方向にわずかに移動させる。

具体的には、移動機構１１０のｘ軸移動機構１１２により、ハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体を、ｘ方向変位量を補正する方向に（ｘ方向変位量を相殺する方向に）わずかに移動させ、このことによりワーク３に対する工具１のｘ方向の位置ずれを修正する。

例えばハウジング５０に対するスピンドル１０のｘ方向変位量が「＋ａ」の場合、ハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体をｘ方向へ「－ａ」だけわずかに移動させる。このことによりワーク３に対する工具１のｘ方向の位置ずれを修正することができる。

同様に移動機構１１０のｙ軸移動機構１１３により、ハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体を、ｙ方向変位量を補正する方向に（ｙ方向変位量を相殺する方向に）わずかに移動させ、このことによりワーク３に対する工具１のｙ方向の位置ずれを修正する。

また移動機構１１０のｚ軸移動機構１１１により、ハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体を、ｚ方向変位量を補正する方向に（ｚ方向変位量を相殺する方向に）わずかに移動させ、このことによりワーク３に対する工具１のｚ方向の位置ずれを修正する。

以上のように本実施の形態によれば、制御部１３０によって、ｘ方向変位計４１から送られてきたｘ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わるｘ方向の負荷を求めることができ、ｙ方向変位計４２から送られてきたｙ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わるｙ方向の負荷を求めることができ、かつｚ方向変位計４３から送られてきたｚ方向変位量に基づいて、ワーク３から工具１に加わるｚ方向の負荷を求めることができる。

また制御部１３０によって、ｘ方向変位量、ｙ方向変位量、およびｚ方向変位量に基づいて移動機構１１０を制御して、移動機構１１０によりハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体をｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向にわずかに移動させる。この場合、移動機構１１０により、ハウジング５０を含むエアスピンドル装置１００全体を、ｘ方向変位量、ｙ方向変位量およびｚ方向変位量を補正する方向に（相殺する方向に）わずかに移動させる。このため、ワーク３に対する工具１のｘ方向の位置ずれ、ｙ方向の位置ずれおよびｚ方向の位置ずれを修正することができる。このことによりワーク３に対して工具１を用いて高精度の加工を実施することができる。

なお、上記実施の形態に示すｘ方向変位計４１、ｙ方向変位計４２およびｚ方向変位計４３に加えて、ハウジング５０に対するスピンドル１０のｙ方向の軸を中心とする回動変位を求めるｙ方向回動変位計、ハウジング５０に対するスピンドルのｚ方向の軸を中心とする回動変位を求めるｚ方向回動変位計を設置してもよい。この場合はｙ方向回動位計およびｚ方向回動変位計からの信号に基づいて移動機構１１０によりｙ方向の軸を中心とする回動変位およびｚ方向の軸を中心とする回動変位をなくすよう、ハウジング５０を有するエアスピンドル装置１００全体をわずかに移動させて、ｙ方向の軸を中心とする回動方向の位置ずれ、およびｚ方向の軸を中心とする回動方向の位置ずれを修正することができる。

１ 工具
３ ワーク
１０ スピンドル
１１ 軸部
１２ フランジ部
２０ エアベアリング機構
２３ エアベアリング用エア供給口
２５ エア供給路
３０ 軸受部材
３１ ラジアル軸受
３２ スラスト軸受
３３ ラジアル隙間
３４ エア噴出孔
３５ スラスト隙間
３６ エア噴出孔
４０ 工具保持部
４１ ｘ方向変位計
４１Ａ 開口
４２ ｙ方向変位計
４２Ａ 開口
４３ ｚ方向変位計
４３Ａ 開口
５０ ハウジング
５０Ａ 収納孔
６０ 空気源
７０ 流体回路
８０ 駆動部
８１ ステータ
８２ ロータ
１１０ 移動機構
１１１ ｚ軸移動機構
１１２ ｘ軸移動機構
１１３ ｙ軸移動機構
１３０ 制御部

Claims (5)

1. エアスピンドル装置において、
   ハウジングと、
   前記ハウジング内に回転自在に設けられるとともに工具を保持するスピンドルと、
   前記ハウジングに設けられ、エアを介して前記スピンドルを半径方向に支持するラジアル軸受と、
   前記ハウジングに設けられ、エアを介して前記スピンドルを軸方向に支持するスラスト軸受と、
   前記ハウジングに対する前記スピンドルのｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向の各々の変位量を求めるｘ方向変位計、ｙ方向変位計およびｚ方向変位計と、
   前記ハウジングを駆動する移動機構と、
   制御部とを備え、
   前記制御部は前記ｘ方向変位計、前記ｙ方向変位計および前記ｚ方向変位計からの信号に基づいて、前記スピンドルのｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向の各々の変位量を補正する方向に前記移動機構を制御する、エアスピンドル装置。
2. 前記制御部は前記ｘ方向変位計、前記ｙ方向変位計および前記ｚ方向変位計からの信号に基づいて前記工具にかかる負荷を求める、請求項１記載のエアスピンドル装置。
3. 前記ｘ方向変位計および前記ｙ方向変位計は、前記ハウジングに設けられた前記ラジアル軸受内に埋め込まれ、前記スピンドルの外周面との間の距離を求める、請求項１または２記載のエアスピンドル装置。
4. 前記ｚ方向変位計は、前記ハウジングに設けられた前記スラスト軸受内に埋め込まれ、前記スピンドルに設けられたフランジとの間の距離を求める、請求項１乃至３のいずれか記載のエアスピンドル装置。
5. 前記ｚ方向変位計は、前記スピンドル上端の変位を求める、請求項１乃至３のいずれか記載のエアスピンドル装置。

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