JP2023020955A - 積層物の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 440
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 337
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 337
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 149
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 130
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 66
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims abstract description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 41
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 75
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 67
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 58
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical group N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 17
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 claims description 12
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 claims description 10
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000008103 glucose Substances 0.000 claims description 10
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 claims description 10
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 7
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 claims description 6
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 125000002791 glucosyl group Chemical group C1([C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O1)CO)* 0.000 claims description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 25
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 125
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 60
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 30
- 239000013528 metallic particle Substances 0.000 description 27
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 22
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 20
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 20
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 18
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 18
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 17
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 15
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 14
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 14
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 14
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 9
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 9
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 229940043267 rhodamine b Drugs 0.000 description 8
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 6
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 6
- 239000002777 nucleoside Substances 0.000 description 6
- 125000003729 nucleotide group Chemical group 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 5
- 239000002773 nucleotide Substances 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 5
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 5
- 101710134784 Agnoprotein Proteins 0.000 description 4
- 108020004414 DNA Proteins 0.000 description 4
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 4
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000007771 core particle Substances 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- -1 nucleoside phosphate ester Chemical class 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 4
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000027455 binding Effects 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 3
- 230000036541 health Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 3
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 3
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 3
- 125000003835 nucleoside group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 3
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 3
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 102000003886 Glycoproteins Human genes 0.000 description 2
- 108090000288 Glycoproteins Proteins 0.000 description 2
- 102000004856 Lectins Human genes 0.000 description 2
- 108090001090 Lectins Proteins 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000002372 labelling Methods 0.000 description 2
- 239000002523 lectin Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 150000003833 nucleoside derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 2
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 230000009870 specific binding Effects 0.000 description 2
- KZNICNPSHKQLFF-UHFFFAOYSA-N succinimide Chemical compound O=C1CCC(=O)N1 KZNICNPSHKQLFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- JLQFVGYYVXALAG-CFEVTAHFSA-N yasmin 28 Chemical compound OC1=CC=C2[C@H]3CC[C@](C)([C@](CC4)(O)C#C)[C@@H]4[C@@H]3CCC2=C1.C([C@]12[C@H]3C[C@H]3[C@H]3[C@H]4[C@@H]([C@]5(CCC(=O)C=C5[C@@H]5C[C@@H]54)C)CC[C@@]31C)CC(=O)O2 JLQFVGYYVXALAG-CFEVTAHFSA-N 0.000 description 2
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical compound N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 108091034117 Oligonucleotide Proteins 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- JLCPHMBAVCMARE-UHFFFAOYSA-N [3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-hydroxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methyl [5-(6-aminopurin-9-yl)-2-(hydroxymethyl)oxolan-3-yl] hydrogen phosphate Polymers Cc1cn(C2CC(OP(O)(=O)OCC3OC(CC3OP(O)(=O)OCC3OC(CC3O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)C(COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3CO)n3cnc4c(N)ncnc34)n3ccc(N)nc3=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3ccc(N)nc3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)O2)c(=O)[nH]c1=O JLCPHMBAVCMARE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N beta-D-glucose Chemical compound OC[C@H]1O[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 210000001808 exosome Anatomy 0.000 description 1
- 238000000684 flow cytometry Methods 0.000 description 1
- 238000002073 fluorescence micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 229930182470 glycoside Natural products 0.000 description 1
- 125000003563 glycoside group Chemical group 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 150000004694 iodide salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002493 microarray Methods 0.000 description 1
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 125000002467 phosphate group Chemical group [H]OP(=O)(O[H])O[*] 0.000 description 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 108091033319 polynucleotide Proteins 0.000 description 1
- 239000002157 polynucleotide Substances 0.000 description 1
- 102000040430 polynucleotide Human genes 0.000 description 1
- 230000006916 protein interaction Effects 0.000 description 1
- 239000002213 purine nucleotide Substances 0.000 description 1
- 150000003212 purines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002719 pyrimidine nucleotide Substances 0.000 description 1
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L sodium thiosulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=S AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000019345 sodium thiosulphate Nutrition 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L succinate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCC([O-])=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229960002317 succinimide Drugs 0.000 description 1
- UEUXEKPTXMALOB-UHFFFAOYSA-J tetrasodium;2-[2-[bis(carboxylatomethyl)amino]ethyl-(carboxylatomethyl)amino]acetate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CN(CC([O-])=O)CCN(CC([O-])=O)CC([O-])=O UEUXEKPTXMALOB-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明は、積層物の製造方法に関する。
金属ナノ粒子の局在プラズモン共鳴を利用して蛍光を増強させる技術が知られている(例えば特許文献1)。非特許文献1には、銀ナノ粒子による局在プラズモン共鳴に関する研究が示されている。
T. Fukuura and M. Kawasaki, "Long Range Enhancement of Molecular Fluorescence by Closely Packed Submicro-scale Ag Islands", e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2009, 7, 653
本発明の目的は、金属系粒子の集合体を備える構造体を製造するための新たな方法を提供することにある。
本発明は、以下に示す積層物の製造方法を提供する。
[1] 立体表面を有する基材と、
前記立体表面上に配置される層であって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含む金属系粒子集合体層と、
を備える積層物の製造方法であって、
前記製造方法は、前記金属系粒子を構成する金属のカチオンを含むメッキ液に前記基材を浸漬した状態で前記カチオンを還元することによって前記金属系粒子集合体層を前記立体表面上に形成する工程を含み、
前記メッキ液の体積VL[cm3]に対する前記基材の体積VS[cm3]の比VS/VLが0.03以下である、製造方法。
[2] 前記積層物が備える金属系粒子集合体層において、前記複数の金属系粒子の平均粒径が5nm以上1600nm以下である、[1]に記載の製造方法。
[3] 前記積層物が備える金属系粒子集合体層において、前記複数の金属系粒子は、それぞれ、その隣り合う金属系粒子との平均距離が1nm以上150nm以下となるように配置されている、[1]又は[2]に記載の製造方法。
[4] 前記金属系粒子集合体層を形成する工程において、前記立体表面上への前記金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度が6nm/分以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の製造方法。
[5] 前記基材が粒子である、[1]~[4]のいずれかに記載の製造方法。
[6] 前記金属系粒子集合体層を形成する工程は、下記式(1)を満たす、[5]に記載の製造方法。
10×10-7≦X≦600×10-7 (1)
[式(1)中、Xは、前記粒子が球状であるとき、下記式で表される。
(式中、aは前記メッキ液の前記カチオンの濃度(mol/L)、Vは前記メッキ液の体積(L)、Dは前記カチオンの還元によって生じる金属(0価)の原子量、Bは前記基材の粒子数(個)、Cは前記カチオンの還元によって生じる金属(0価)の比重(g/cm3)、Rは前記粒子の半径(cm)を表す。)
Xは、前記粒子が不定形であるとき、下記式で表される。
(式中、a、V、D及びCは前記と同じ意味を表す。Sは前記粒子の表面積の総和を表す。)]
[7] 前記メッキ液は、前記カチオンを還元可能な還元剤をさらに含む、[1]~[6]のいずれかに記載の製造方法。
[8] 前記還元剤は、標準酸化還元電位が-0.5V以上である、[7]に記載の製造方法。
[9] 前記還元剤がグルコースである、[7]又は[8]に記載の製造方法。
[10] 前記メッキ液は、錯化剤をさらに含む、[1]~[9]のいずれかに記載の製造方法。
[11] 前記錯化剤がアンモニア又はアミン系錯化剤である、[10]に記載の製造方法。
[12] 前記金属系粒子集合体層を形成する工程の後に、前記金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する工程をさらに含む、[1]~[11]のいずれかに記載の製造方法。
[13] 前記保護層は、ゾルゲル法により形成される、[12]に記載の製造方法。
[14] 前記絶縁性材料がSiO2である、[12]又は[13]に記載の製造方法。
[15] 前記保護層の厚みが300nm以下である、[12]~[14]のいずれかに記載の製造方法。
[1] 立体表面を有する基材と、
前記立体表面上に配置される層であって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含む金属系粒子集合体層と、
を備える積層物の製造方法であって、
前記製造方法は、前記金属系粒子を構成する金属のカチオンを含むメッキ液に前記基材を浸漬した状態で前記カチオンを還元することによって前記金属系粒子集合体層を前記立体表面上に形成する工程を含み、
前記メッキ液の体積VL[cm3]に対する前記基材の体積VS[cm3]の比VS/VLが0.03以下である、製造方法。
[2] 前記積層物が備える金属系粒子集合体層において、前記複数の金属系粒子の平均粒径が5nm以上1600nm以下である、[1]に記載の製造方法。
[3] 前記積層物が備える金属系粒子集合体層において、前記複数の金属系粒子は、それぞれ、その隣り合う金属系粒子との平均距離が1nm以上150nm以下となるように配置されている、[1]又は[2]に記載の製造方法。
[4] 前記金属系粒子集合体層を形成する工程において、前記立体表面上への前記金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度が6nm/分以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の製造方法。
[5] 前記基材が粒子である、[1]~[4]のいずれかに記載の製造方法。
[6] 前記金属系粒子集合体層を形成する工程は、下記式(1)を満たす、[5]に記載の製造方法。
10×10-7≦X≦600×10-7 (1)
[式(1)中、Xは、前記粒子が球状であるとき、下記式で表される。
(式中、aは前記メッキ液の前記カチオンの濃度(mol/L)、Vは前記メッキ液の体積(L)、Dは前記カチオンの還元によって生じる金属(0価)の原子量、Bは前記基材の粒子数(個)、Cは前記カチオンの還元によって生じる金属(0価)の比重(g/cm3)、Rは前記粒子の半径(cm)を表す。)
Xは、前記粒子が不定形であるとき、下記式で表される。
(式中、a、V、D及びCは前記と同じ意味を表す。Sは前記粒子の表面積の総和を表す。)]
[7] 前記メッキ液は、前記カチオンを還元可能な還元剤をさらに含む、[1]~[6]のいずれかに記載の製造方法。
[8] 前記還元剤は、標準酸化還元電位が-0.5V以上である、[7]に記載の製造方法。
[9] 前記還元剤がグルコースである、[7]又は[8]に記載の製造方法。
[10] 前記メッキ液は、錯化剤をさらに含む、[1]~[9]のいずれかに記載の製造方法。
[11] 前記錯化剤がアンモニア又はアミン系錯化剤である、[10]に記載の製造方法。
[12] 前記金属系粒子集合体層を形成する工程の後に、前記金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する工程をさらに含む、[1]~[11]のいずれかに記載の製造方法。
[13] 前記保護層は、ゾルゲル法により形成される、[12]に記載の製造方法。
[14] 前記絶縁性材料がSiO2である、[12]又は[13]に記載の製造方法。
[15] 前記保護層の厚みが300nm以下である、[12]~[14]のいずれかに記載の製造方法。
金属系粒子の集合体を備える構造体を製造するための新たな方法を提供することができる。
<積層物の製造方法及び積層物>
以下、実施の形態を示して、本発明に係る積層物の製造方法(以下、単に「積層物の製造方法」ともいう。)及び該製造方法によって得られる積層物について説明する。
本明細書において「積層物」とは、立体表面を有する基材と、該立体表面上に配置される層であって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子(金属で構成される粒子)を含む金属系粒子集合体層とを備える積層構造体をいう。該積層構造体は、上記以外の他の層を含んでいてもよい。基材の「立体表面」とは、三次元的な表面を意味し、その一例は曲面である。
以下、実施の形態を示して、本発明に係る積層物の製造方法(以下、単に「積層物の製造方法」ともいう。)及び該製造方法によって得られる積層物について説明する。
本明細書において「積層物」とは、立体表面を有する基材と、該立体表面上に配置される層であって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子(金属で構成される粒子)を含む金属系粒子集合体層とを備える積層構造体をいう。該積層構造体は、上記以外の他の層を含んでいてもよい。基材の「立体表面」とは、三次元的な表面を意味し、その一例は曲面である。
図1は、積層物の一例を模式的に示す平面図であり、図2は積層物の一例を模式的に示す断面図である。図1及び図2に示される例において、立体表面を有する基材10は、基材表面全体が曲面である粒子状の基材(コア粒子)である。図1及び図2に示される積層物1は、立体表面を有する基材10(コア粒子)と、基材10の立体表面の少なくとも一部(好ましくは表面全体)に配置される金属系粒子集合体層とを含む複合粒子である。金属系粒子集合体層は、基材10に担持された複数の金属系粒子20の集合であり、互いに離間して配置される複数の金属系粒子20から構成される層である。
図1及び図2に示される例において金属系粒子集合体層は、基材10の立体表面全体に配置されている。ただし、金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子20は互いに離間しているため、金属系粒子集合体層には金属系粒子20が存在しない領域が存在し、該領域では基材10の表面が露出している。
積層物の製造方法は、金属系粒子を構成する金属のカチオン(以下、「金属カチオン」ともいう。)を含むメッキ液に基材を浸漬した状態で該カチオンを還元することによって金属系粒子集合体層を基材の立体表面上に形成する工程(金属系粒子集合体層形成工程)を含む。積層物の製造方法は、金属系粒子集合体層形成工程の後に、金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する工程(保護層形成工程)をさらに含むことができる。
(1)金属系粒子集合体層形成工程
金属系粒子集合体層形成工程では、金属系粒子を構成する金属カチオンを含むメッキ液に基材を浸漬した状態で金属カチオンの還元を行う。この工程は、例えば図3に示されるように、槽50に収容された金属カチオンを含むメッキ液60に基材10を攪拌下に加えることによって行うことができる。基材10を、金属カチオンを含むメッキ液60に浸漬させると、金属カチオンの還元によって生じる金属(0価)が基材10の表面に堆積し始め、反応時間の経過とともに堆積した金属は粒子状に成長していき、金属系粒子の集合体(金属系粒子集合体層)が形成される。金属系粒子集合体層は、好ましくは、基材10の立体表面の全体に形成され、より好ましくは、基材10の表面全体に形成される。
金属系粒子集合体層形成工程では、金属系粒子を構成する金属カチオンを含むメッキ液に基材を浸漬した状態で金属カチオンの還元を行う。この工程は、例えば図3に示されるように、槽50に収容された金属カチオンを含むメッキ液60に基材10を攪拌下に加えることによって行うことができる。基材10を、金属カチオンを含むメッキ液60に浸漬させると、金属カチオンの還元によって生じる金属(0価)が基材10の表面に堆積し始め、反応時間の経過とともに堆積した金属は粒子状に成長していき、金属系粒子の集合体(金属系粒子集合体層)が形成される。金属系粒子集合体層は、好ましくは、基材10の立体表面の全体に形成され、より好ましくは、基材10の表面全体に形成される。
基材10としては、立体表面を有する限り特に制限されず、三次元的表面として曲面からなる表面を有するもの、凹凸表面を有するもの等が挙げられる。基材10の好ましい例は、例えば図1及び図2に示されるような粒子である。該粒子の形状としては、例えば、球状、回転楕円形状、多面体形状等が挙げられる。該粒子は、その表面の一部が曲面であり、残部が平面で構成されていてもよい。該粒子は不定形であってもよい。該粒子は、好ましくは球状又は略球状である。
基材10が粒子である場合、その粒径は、例えば0.3μm以上5000μm以下である。該粒径は、例えば0.3μm以上10μm以下であってもよく、好ましくは0.5μm以上8μm以下、より好ましくは1μm以上5μm以下、さらに好ましくは1μm以上4μm以下である。
上記粒径は、次の方法に従って測定される。日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて、粒子を付着させた基板(ガラス基板等)の該粒子を含む直上からのSEM観察画像を取得する。該SEM観察画像において、粒子像内に無作為に接線径を5本引き(ただし、接線径となる直線はいずれも粒子像内部のみを通ることができ、このうち1本は粒子内部のみ通り、最も長く引ける直線であるものとする。)、その平均値(接線径平均値)を粒子の粒径とする。接線径とは、粒子の輪郭(投影像)をこれに接する2本の平行線で挟んだときの間隔(日刊工業新聞社 「粒子計測技術」,1994,第5頁)を結ぶ垂線と定義する。
上記粒径は、次の方法に従って測定される。日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて、粒子を付着させた基板(ガラス基板等)の該粒子を含む直上からのSEM観察画像を取得する。該SEM観察画像において、粒子像内に無作為に接線径を5本引き(ただし、接線径となる直線はいずれも粒子像内部のみを通ることができ、このうち1本は粒子内部のみ通り、最も長く引ける直線であるものとする。)、その平均値(接線径平均値)を粒子の粒径とする。接線径とは、粒子の輪郭(投影像)をこれに接する2本の平行線で挟んだときの間隔(日刊工業新聞社 「粒子計測技術」,1994,第5頁)を結ぶ垂線と定義する。
基材10として用いることができる複数の上記粒子からなる粒子群の平均粒径は、例えば0.3μm以上5000μm以下である。該平均粒径は、例えば0.3μm以上10μm以下であってもよく、好ましくは0.5μm以上8μm以下、より好ましくは1μm以上5μm以下、さらに好ましくは1μm以上4μm以下である。
上記平均粒径は、次の方法に従って測定される。日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて、粒子群を付着させた基板(ガラス基板等)の該粒子群を含む直上からのSEM観察画像を取得する。該SEM観察画像において、無作為に粒子を10個選択し、各粒子像内に無作為に接線径を5本引き(ただし、接線径となる直線はいずれも粒子像内部のみを通ることができ、このうち1本は粒子内部のみ通り、最も長く引ける直線であるものとする。)、その平均値(接線径平均値)を求める。選択した10個すべての粒子について接線径平均値を取得する。接線径の定義は上述と同じである。それぞれの粒子の接線径平均値の1/4の長さをそれぞれの粒子の「縁領域長さ」と定義する。また、それぞれの粒子のSEM観察画像上での輪郭線から粒子内側に向かって「縁領域長さ」分の範囲を、それぞれの粒子の「縁領域」と定義する。そして、上記10個の粒子のうち、他の粒子の縁領域に一部でも重なる粒子が存在する場合には、その粒子を破棄し、不足する個数分だけ新たに粒子を無作為に選択して上記と同様にして接線径平均値を取得する。必要に応じて以上を繰り返し、縁領域と重なることがない粒子10個についての接線径平均値を得る。得られた10個の接線径平均値の平均値を平均粒径とする。
上記平均粒径は、次の方法に従って測定される。日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて、粒子群を付着させた基板(ガラス基板等)の該粒子群を含む直上からのSEM観察画像を取得する。該SEM観察画像において、無作為に粒子を10個選択し、各粒子像内に無作為に接線径を5本引き(ただし、接線径となる直線はいずれも粒子像内部のみを通ることができ、このうち1本は粒子内部のみ通り、最も長く引ける直線であるものとする。)、その平均値(接線径平均値)を求める。選択した10個すべての粒子について接線径平均値を取得する。接線径の定義は上述と同じである。それぞれの粒子の接線径平均値の1/4の長さをそれぞれの粒子の「縁領域長さ」と定義する。また、それぞれの粒子のSEM観察画像上での輪郭線から粒子内側に向かって「縁領域長さ」分の範囲を、それぞれの粒子の「縁領域」と定義する。そして、上記10個の粒子のうち、他の粒子の縁領域に一部でも重なる粒子が存在する場合には、その粒子を破棄し、不足する個数分だけ新たに粒子を無作為に選択して上記と同様にして接線径平均値を取得する。必要に応じて以上を繰り返し、縁領域と重なることがない粒子10個についての接線径平均値を得る。得られた10個の接線径平均値の平均値を平均粒径とする。
基材10の材質は特に制限されない。ただし、基材10上に形成される金属系粒子集合体層は、後述するように、プラズモン構造体であることが好ましく、このためには、基材10は、非導電性であることが好ましい。この観点から、基材10は、絶縁性材料を含むことが好ましく、絶縁性材料からなることがより好ましい。絶縁性材料としては、シリカ、チタニア、アルミナ、窒化ケイ素等の無機絶縁材料;樹脂材料(例えば、ポリスチレン、アクリル系樹脂、セルロースナノファイバー、紙、ニトロセルロース、エポキシ樹脂等)等の有機絶縁材料が挙げられる。そのほかシリコン等の半導体であってもよい。球状又は略球状の基材10を含む積層物を得たい場合、工業的に球状又は略球状の粒子を製造しやすいことから、基材10の材質はシリカであることが好ましい。
基材10は、透光性を有することが好ましく、光学的に透明であることがより好ましい。
基材10は、透光性を有することが好ましく、光学的に透明であることがより好ましい。
基材10は、2種以上の材料から構成されていてもよい。また、基材10は、単層構造であってもよく、多層構造であってもよい。例えば、基材10は、金属材料からなるコアと、絶縁性材料からなるシェルとを有することによって非導電性を示してもよい。例えば絶縁性皮膜を有するシリコンや、絶縁性皮膜を有する金属(アルミ、銅、クロム、あるいはその複合体等)が挙げられる。
一実施形態において、メッキ液60は、金属カチオンを含む金属カチオン液と、還元剤を含む還元剤液とを混合することによって調製することができる。
金属カチオンを含む金属カチオン液は通常、金属カチオンと溶媒とを含む。基材10上に形成される金属系粒子集合体層は、後述するように、好ましくはプラズモン構造体である。この観点から、金属カチオンの金属種は、メッキ液60に基材10を接触させた状態で金属カチオンを還元する処理によって金属系粒子を基材10上に堆積させることができるものであって、かつ、金属系粒子又はその集合体としたときに、吸光光度法による吸光スペクトル測定において紫外~可視領域に現れるプラズモン共鳴ピーク(以下、「プラズモンピーク」ともいう。)を示す材料(プラズモン共鳴を示し得る材料)であることが好ましい。このような金属としては、例えば、金、銀、銅、白金、パラジウムのような貴金属;アルミニウムのような他の金属;該貴金属又は他の金属を含有する合金を挙げることができる。中でも、金、銀、銅、白金、パラジウム等の貴金属が好ましく、安価で吸収が小さい(可視光波長において誘電関数の虚部が小さい)という観点からは銀であることがより好ましい。メッキ液60は、2種以上の金属カチオンを含んでいてもよい。
金属カチオンを含む金属カチオン液は通常、金属カチオンと溶媒とを含む。基材10上に形成される金属系粒子集合体層は、後述するように、好ましくはプラズモン構造体である。この観点から、金属カチオンの金属種は、メッキ液60に基材10を接触させた状態で金属カチオンを還元する処理によって金属系粒子を基材10上に堆積させることができるものであって、かつ、金属系粒子又はその集合体としたときに、吸光光度法による吸光スペクトル測定において紫外~可視領域に現れるプラズモン共鳴ピーク(以下、「プラズモンピーク」ともいう。)を示す材料(プラズモン共鳴を示し得る材料)であることが好ましい。このような金属としては、例えば、金、銀、銅、白金、パラジウムのような貴金属;アルミニウムのような他の金属;該貴金属又は他の金属を含有する合金を挙げることができる。中でも、金、銀、銅、白金、パラジウム等の貴金属が好ましく、安価で吸収が小さい(可視光波長において誘電関数の虚部が小さい)という観点からは銀であることがより好ましい。メッキ液60は、2種以上の金属カチオンを含んでいてもよい。
金属カチオン液に含まれる溶媒としては、金属カチオン源として金属カチオン液に含有させる対応する金属塩を溶解可能な溶媒であることが好ましく、例えば水が挙げられる。金属カチオン液は、2種以上の溶媒を含んでいてもよい。例えば、溶媒は、水と、水混和性の有機溶媒(例えば、アルコール類)とを含むことができる。
メッキ液60における金属カチオンの濃度は、好ましくは0.0008mol/L以上、より好ましくは0.002mol/L以上、さらに好ましくは0.0035mol/L以上、なおさらに好ましくは0.006mol/L以上、特に好ましくは0.01mol/L以上である。金属カチオンの濃度が上記範囲であると、適度な速度で金属系粒子を成長できるため、好ましい形状(平均粒径、平均高さ、平均粒子間距離及びその標準偏差)を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくなる。金属系粒子集合体層の好ましい形状については後で詳しく説明する。また、金属カチオンの濃度が上記範囲であると、基材10として粒子(粉体)を使用し、これをメッキ液60に浸漬して金属系粒子集合体層の形成を行う場合、各粒子の表面全体に十分な金属系粒子を形成しやすくなる。金属系粒子の成長速度を適度な速度にするため、メッキ液60における金属カチオンの濃度は、好ましくは0.4mol/L以下、より好ましくは0.3mol/L以下、さらに好ましくは0.15mol/L以下、なおさらに好ましくは0.05mol/L以下である。
金属系粒子集合体層形成工程において、メッキ液60の体積VL[cm3]に対する基材10の体積VS[cm3]の比VS/VLは、0.03以下である。これにより、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含む金属系粒子集合体層を基材10の表面上に形成することができる。上記比が0.03を超えると、連続した金属膜が基材10上に形成されてしまい、金属系粒子集合体層を形成することが困難となる。金属系粒子集合体層を形成しやすくする観点、及び好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくする観点から、上記比は、好ましくは0.020以下、より好ましくは0.010以下、さらに好ましくは0.005以下、なおさらに好ましくは0.003以下、特に好ましくは0.002以下である。また、積層物の量産性等に鑑み、上記比は通常、0.00001以上であり、0.0001以上であってよく、好ましくは0.0005以上であり、より好ましくは0.0005超えである。
例えば基材10が粒子である場合、基材10の体積VSは、粒子総重量を粒子密度で割った値として求めることができる。
例えば基材10が粒子である場合、基材10の体積VSは、粒子総重量を粒子密度で割った値として求めることができる。
メッキ液60は、金属カチオンとともに、この金属カチオンを0価金属に還元可能な還元剤を含むことが好ましい。還元剤を含む場合、この還元剤は、好ましくは、基材10をメッキ液60に浸漬させる直前にメッキ液60に含有される。例えば上述のように、金属カチオンを含む金属カチオン液と、還元剤を含む還元剤液とを混合することによって、金属カチオン及び還元剤を含むメッキ液60を調製することができる。還元剤液は、還元剤と溶媒とを含む液であり、好ましくは、還元剤を溶媒に溶解させた溶液である。還元剤液に含まれる溶媒としては、還元剤を溶解可能な溶媒であることが好ましく、例えば水が挙げられる。還元剤液は、2種以上の溶媒を含んでいてもよい。例えば、溶媒は、水と、水混和性の有機溶媒(例えば、アルコール類)とを含むことができる。
還元剤としては、還元力の小さいものを用いることが好ましく、その標準酸化還元電位は、好ましくは-0.5V以上であり、好ましくは-0.45V以上である。ここでいう標準酸化還元電位は、pH7、25℃、標準水素電極を陰極にしたときの値である。用いる還元剤の標準酸化還元電位が上記範囲であると、適度な速度で金属系粒子を成長できるため、金属系粒子集合体層を形成しやすい。標準酸化還元電位が上記範囲であることは、好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくするうえでも有利である。還元剤の還元力が過度に高いと、金属系粒子の成長速度が速くなりすぎて、連続した金属膜となってしまいやすい。
標準酸化還元電位が-0.5V以上である還元剤としては、グルコース、アスコルビン酸等が挙げられる。メッキ液60は、2種以上の還元剤を含んでいてもよい。
標準酸化還元電位が-0.5V以上である還元剤としては、グルコース、アスコルビン酸等が挙げられる。メッキ液60は、2種以上の還元剤を含んでいてもよい。
メッキ液60における還元剤の濃度は、好ましくは1mol/L以下、より好ましくは0.8mol/L以下、さらに好ましくは0.4mol/L以下、なおさらに好ましくは0.3mol/L以下、特に好ましくは0.25mol/L以下である。還元剤の濃度が上記範囲であると、適度な速度で金属系粒子を成長できるため、好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくなる。金属系粒子の成長速度を適度な速度にするため、メッキ液60における還元剤の濃度は、好ましくは0.000001mol/L以上、より好ましくは0.000005mol/L以上、さらに好ましくは0.000008mol/L以上、なおさらに好ましくは0.00001mol/L以上、特に好ましくは0.0008mol/L以上である。
メッキ液60における還元剤の濃度の、メッキ液60における還元剤の飽和濃度に対する比は、百分率で、好ましくは8%以下、より好ましくは4%以下、さらに好ましくは2%以下、なおさらに好ましくは1%以下、特に好ましくは0.8%以下である。該比が上記範囲であると、適度な速度で金属系粒子を成長できるため、好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくなる。金属系粒子の成長速度を適度な速度にするため、上記比は、好ましくは0.0005%以上、より好ましくは0.001%以上、さらに好ましくは0.003%以上、なおさらに好ましくは0.005%以上、特に好ましくは0.01%以上である。上記比が過度に高い場合、金属系粒子集合体層の形状制御が難しくなり、連続した金属膜となってしまいやすい。
メッキ液60における還元剤の飽和濃度は、基材10をメッキ液60に浸漬する処理を行う温度においてメッキ液60に含有される溶媒(金属カチオンを含まないもの)に還元剤を溶解させるときの飽和濃度である。
メッキ液60における還元剤の飽和濃度は、基材10をメッキ液60に浸漬する処理を行う温度においてメッキ液60に含有される溶媒(金属カチオンを含まないもの)に還元剤を溶解させるときの飽和濃度である。
メッキ液60は、金属カチオンと結合して錯イオンを形成し、金属カチオンを安定化させる錯化剤、及びその他の添加剤をそれぞれ1種又は2種以上含有することができる。錯化剤としては、エチレンジアミン、エチレンジアミン四酢酸、エチレンジアミン四酢酸四ナトリウム、トリエチレンテトラアンミン六酢酸等のアミン系錯化剤、アンモニア、ニトロ三酢酸、チオ硫酸ナトリウム、コハク酸塩、コハク酸イミド、クエン酸塩又はヨウ化物塩等が挙げられ、金属系粒子の成長速度を適度な速度にする観点から、好ましくはアミン系錯化剤又はアンモニアであり、より好ましくはアミン系錯化剤であり、さらに好ましくはエチレンジアミン等である。金属カチオン液と還元剤液との混合によりメッキ液60を調製する場合において、錯化剤は、あらかじめ金属カチオン液に含有させておくことができる。
メッキ液60に基材10を浸漬して複数の金属系粒子20を含む金属系粒子集合体層を基材10上に形成する処理は、基本的には、めっき浴を用いた無電解めっき(化学めっき)と同様にして行うことができる。メッキ液60に基材10を浸漬させる際の温度は特に制限されず、例えば10℃以上100℃以下、好ましくは15℃以上60℃以下、より好ましくは20℃以上40℃以下である。
連続した金属膜ではなく金属系粒子集合体層を形成しやすくする観点、さらには、好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくする観点から、金属系粒子の成長速度を適度な速度にすることが好ましい。具体的には、金属系粒子集合体層形成工程において、基材10の立体表面上への金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度は、好ましくは6nm/分以下、より好ましくは5nm/分以下、さらに好ましくは4nm/分以下、なおさらに好ましくは3.5nm/分以下である。上記比VS/VLが上述の範囲であると、金属の堆積開始から28分経過時点での平均高さ成長速度を上記範囲に制御しやすくなる。積層物の量産性等に鑑み、該平均高さ成長速度は通常、1nm/分以上であり、好ましくは2nm/分以上である。
基材10の立体表面上への金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度は、例えば予備実験として28分で反応を終了する(例えば濾別する)以外同じ金属系粒子集合体層形成工程を前もって実施し、この予備実験で得られた平均高さから測定することができる。
「基材10の立体表面上への金属の堆積開始」とは、金属カチオン及び還元剤を含むメッキ液60に基材10を浸漬して金属系粒子集合体層形成工程を開始する場合には、基材10の浸漬開始を意味し、金属カチオンを含む金属カチオン液に基材10を浸漬し、その後、還元剤(例えば還元剤液)を添加する場合には、還元剤添加時を意味する。
連続した金属膜ではなく金属系粒子集合体層を形成しやすくする観点、さらには、好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を制御良く形成しやすくする観点から、基材10が粒子である場合、金属系粒子集合体層形成工程は、下記式(1)を満たすことが好ましい。
10×10-7≦X≦600×10-7 (1)
上記比VS/VLが上述の範囲であると、Xの値を上記範囲に制御しやすくなる。Xの値は、より好ましくは30×10-7以上450×10-7以下、さらに好ましくは40×10-7以上300×10-7以下である。
10×10-7≦X≦600×10-7 (1)
上記比VS/VLが上述の範囲であると、Xの値を上記範囲に制御しやすくなる。Xの値は、より好ましくは30×10-7以上450×10-7以下、さらに好ましくは40×10-7以上300×10-7以下である。
粒子が球状であるとき、Xは下記式で表される。
式中、aはメッキ液60の金属カチオンの濃度(mol/L)、Vはメッキ液60の体積(L)、Dは金属カチオンの還元によって生じる金属(0価)の原子量、Bは基材10の粒子数(個)、Cは金属カチオンの還元によって生じる金属(0価)の比重(g/cm3)、Rは基材10である粒子の半径(cm)を表す。
式中、aはメッキ液60の金属カチオンの濃度(mol/L)、Vはメッキ液60の体積(L)、Dは金属カチオンの還元によって生じる金属(0価)の原子量、Bは基材10の粒子数(個)、Cは金属カチオンの還元によって生じる金属(0価)の比重(g/cm3)、Rは基材10である粒子の半径(cm)を表す。
基材10の粒子数Bは、下記式に従って、粒子の総重量mp及び粒子の密度Vpから求めることができる。
式中、Rは前記と同じ意味を表す。粒子の半径R(cm)は、上記に従って求められる粒子の平均粒径の1/2の値である。
式中、Rは前記と同じ意味を表す。粒子の半径R(cm)は、上記に従って求められる粒子の平均粒径の1/2の値である。
粒子の表面積の総和Sは、BET法によって比表面積を測定し、これに粒子の総重量mpを乗ずることによって求めることができる。
基材10である粒子が球状であるとは、上記と同様の方法でSEM観察画像を取得し、採用した10個の粒子すべてにおいて、採用した5本の接線径がいずれも接線径平均値の±30%(すなわち基材10である粒子の平均粒径×70%以上130%以下)となるものをいう。不定形とは、球状でないものをいう。
本発明に係る積層物の製造方法によれば、複数の金属系粒子20を含む金属系粒子集合体層を基材10の立体表面上に制御良く形成することができ、さらには、好ましい形状を有する金属系粒子集合体層を基材10の立体表面上に制御良く形成することができる。また、本発明に係る積層物の製造方法によれば、基材10の表面の全体にわたって金属系粒子集合体層を形成することが容易になる。さらに、本発明に係る積層物の製造方法によれば、積層物製造の量産性を高めることができる。
金属系粒子集合体層形成工程の時間、すなわち、メッキ液60に基材10を浸漬して金属系粒子20を成長させる時間は、適切に制御されることが好ましい。該時間が過度に長いと、複数の金属系粒子20を含む金属系粒子集合体層が形成されずに、連続した金属膜が形成されてしまう。該時間が長いほど、金属系粒子の平均粒径及び平均高さは大きくなり、平均粒子間距離は小さくなる傾向にある。金属系粒子集合体層形成工程の適切な時間は、金属系粒子集合体層形成工程を実際に行う前の予備実験によりあらかじめ把握しておくことが好ましい。
(2)金属系粒子集合体層形成工程によって形成される金属系粒子集合体層
金属系粒子集合体層形成工程によって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含む金属系粒子集合体層が基材10の立体表面上に形成される。
金属系粒子集合体層形成工程によって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含む金属系粒子集合体層が基材10の立体表面上に形成される。
基材10上に形成される金属系粒子集合体層は、好ましくはプラズモン構造体である。「プラズモン構造体」とは、局在プラズモン共鳴を示すことができる構造体をいう。プラズモンとは、構造体中の自由電子の集団的な振動によって生起する自由電子の粗密波のことである。
プラズモン構造体を備える積層物は、その局在プラズモン共鳴により、例えば、被検出物質を標識する発光体からの発光(例えば蛍光)の強度を増強させることができる。したがって、プラズモン構造体を備える積層物は、各種センサ素子用の発光増強要素として好適に用いることができる。該積層物をセンサ素子に適用することによってセンサ素子の感度、定量精度及び/又は定量結果の再現性(安定性)を向上させることができる。センサ素子の好適な一例は、バイオセンサ素子である。
プラズモン構造体を備える積層物は、下記[a]及び[b]の特徴を示すことができる。これらの特徴は、金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子が示す局在プラズモン間の相互作用により発現すると考えられる。
[a]金属系粒子集合体層が示すプラズモン共鳴の作用範囲(プラズモンによる発光増強効果の及ぶ範囲)が広く、金属系粒子集合体層の表面から例えば数百nm(例えば200nm)の範囲内にある発光体の発光をも増強し得る。
[b]金属系粒子集合体層が強いプラズモン共鳴を示すため、強い発光増強効果を得ることができる。
[a]金属系粒子集合体層が示すプラズモン共鳴の作用範囲(プラズモンによる発光増強効果の及ぶ範囲)が広く、金属系粒子集合体層の表面から例えば数百nm(例えば200nm)の範囲内にある発光体の発光をも増強し得る。
[b]金属系粒子集合体層が強いプラズモン共鳴を示すため、強い発光増強効果を得ることができる。
上記[a]に関し、プラズモン構造体を備える積層物は、金属系粒子集合体層から例えば10nm以上、さらには数十nm(例えば20nm、30nm又は40nm)以上、なおさらには100nm以上又は200nm以上離れた位置に配置された発光体の発光を増強し得る。上記[b]に関し、プラズモン構造体を備える積層物が示すプラズモン共鳴の強さは、特定波長における個々の金属系粒子が示す局在プラズモン共鳴の単なる総和ではなく、それ以上の強さになり得る。プラズモン構造体を備える積層物においては、個々の金属系粒子が相互作用して強いプラズモン共鳴を発現することができる。このような強いプラズモン共鳴は、金属系粒子の局在プラズモン間の相互作用により発現すると考えられる。
一般的に、プラズモン構造体は、吸光光度法で吸光スペクトルを測定したとき、紫外~可視光領域における最も長波長側にあるピークとしてプラズモン共鳴ピーク(プラズモンピーク)が観測される。プラズモンピークの極大波長における吸光度の大小から、プラズモン構造体のプラズモン共鳴の強さを評価することができる。吸光度値が大きいほどプラズモン共鳴の強さも大きい傾向にある。
プラズモン構造体の吸光スペクトルは、吸光光度法によって測定することができる。具体的には、吸光スペクトルは、金属系粒子集合体が積層されたガラス基板の裏面側(金属系粒子集合体とは反対側)であって、基板面に垂直な方向から紫外~可視光領域の入射光を照射し、金属系粒子集合体側に透過した全方向における透過光の強度Iと、該測定サンプルの基板と同じ厚み及び同じ材質の基板であって、金属系粒子集合体が積層されていない基板の面に垂直な方向から先と同じ入射光を照射し、入射面の反対側から透過した全方向における透過光の強度I0とを、それぞれ積分球分光光度計を用いて測定することにより得られる。このとき、吸光スペクトルの縦軸である吸光度は、下記式:
吸光度=-log10(I/I0)
で表される。
吸光スペクトルは、一般の分光光度計を用いて測定することができる。
吸光度=-log10(I/I0)
で表される。
吸光スペクトルは、一般の分光光度計を用いて測定することができる。
また、紫外~可視光領域において最も長波長側にあるプラズモンピークの極大波長やその吸光度を測定するにあたっては、対物レンズと分光光度計を用い、測定視野を絞って吸光スペクトル測定を行ってもよい。
金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子は、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、平均粒径は5nm以上であってもよく、好ましくは30nm以上、より好ましくは100nm以上、さらに好ましくは200nm以上、なおさらに好ましくは250nm以上である。金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子は、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、平均粒径が例えば1600nm以下、好ましくは800nm以下、より好ましくは550nm以下、さらに好ましくは450nm以下、なおさらに好ましくは400nm以下、特に好ましくは350nm以下である。
金属系粒子の平均粒径は、金属系粒子を構成する金属系材料の種類に応じて適切に選択されることが好ましい。
金属系粒子の平均粒径は、金属系粒子を構成する金属系材料の種類に応じて適切に選択されることが好ましい。
上記複数の金属系粒子の平均粒径とは、積層物を付着させた基板(ガラス基板等)の該積層物を含む直上からのSEM観察画像において、無作為に金属系粒子を6個選択し、各金属系粒子像内に無作為に接線径を5本引き(ただし、接線径となる直線はいずれも金属系粒子像内部のみを通ることができ、このうち1本は金属系粒子内部のみ通り、最も長く引ける直線であるものとする。)、その平均値(以下、この平均値を「接線径平均値」ともいう。)を各金属系粒子の粒径としたときの、選択した6個の金属系粒子についての粒径の平均値である。接線径の定義は上述と同じである。
平均粒径の測定方法についてより具体的に説明すると、まずSEM観察画像は、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて測定する。次いで、得られた観察画像を、アメリカ国立衛生研究所製のフリー画像処理ソフト「ImageJ」を用いて横1280ピクセル×縦960ピクセルで読み込む。次に、Microsoft社製の表計算ソフト「Excel」の乱数発生関数「RANDBETWEEN」を用いて、1~1280から6個の乱数(x1、x2、x3、x4、x5、x6)、1~960から6個の乱数(y1、y2、y3、y4、y5、y6)をそれぞれ得る。得られた各6個の乱数から6組の乱数組み合わせ(x1,y1)、(x2,y2)、(x3,y3)、(x4,y4)、(x5,y5)及び(x6,y6)を得る。1~1280から発生させた乱数の数値をx座標、1~960から発生させた乱数の数値をy座標として、6組の座標点(x1,y1)、(x2,y2)、(x3,y3)、(x4,y4)、(x5,y5)及び(x6,y6)を得る。そして、当該座標点を含む合計6個の金属系粒子像のそれぞれについて上記の接線径平均値を得、次いで当該6個の接線径平均値の平均値として平均粒径を得る。この際、6組の乱数組み合わせである6個の座標点の少なくともいずれか1つが金属系粒子像内に含まれない場合、あるいは同一金属系粒子内に2つ以上の座標点が含まれる場合には、この乱数組み合わせを破棄し、6個の座標点がすべて異なる金属系粒子像内に含まれるまで乱数発生を繰り返す。またこの際、同じ観察画像から、上述した基材である粒子における「縁領域」を取得する。そして、上記6個の金属系粒子のうち、それぞれの金属系粒子が配置される基材である粒子における縁領域に一部でも重なる金属系粒子が存在する場合には、その乱数組み合わせを破棄し、6個の座標点がすべて異なる金属系粒子像内に含まれ、かつ、それぞれの金属系粒子が配置される基材である粒子における縁領域に一部でも重なる金属系粒子が存在しないようになるまで乱数発生を繰り返し、上記と同様にして接線径平均値を取得する。必要に応じて以上を繰り返し、基材である粒子における縁領域と重なることがない金属系粒子6個についての接線径平均値を得る。得られた6個の接線径平均値の平均値を平均粒径とする。
通常、金属系粒子の平均粒径は、それらを担持する基材である粒子の粒径よりも小さい。金属系粒子の平均粒径に対する基材である粒子の粒径の比は、例えば2以上10000以下であり、好ましくは4以上5000以下、より好ましくは6以上1000以下である。
上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、金属系粒子集合体層において複数の金属系粒子は、それぞれ、その隣り合う金属系粒子との平均距離(以下、「平均粒子間距離」ともいう。)が1nm以上150nm以下となるように配置されることが好ましい。このような平均粒子間距離で複数の金属系粒子を配置することにより、強いプラズモン共鳴を得ることができるとともにプラズモン共鳴の作用範囲の伸長の効果を高めることができる。
平均粒子間距離は、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、より好ましくは1nm以上120nm以下、さらに好ましくは1nm以上100nm以下、なおさらに好ましくは1nm以上80nm以下、特に好ましくは1nm以上60nm以下、最も好ましくは1nm以上40nm以下である。平均粒子間距離が1nm未満であると、粒子間でデクスター機構に基づく電子移動が生じ、局在プラズモンの失活の点で不利となる。
平均粒子間距離とは、積層物を付着させた基板(ガラス基板等)の該積層物を含む直上からのSEM観察画像において、無作為に金属系粒子を6個選択し、選択したそれぞれの金属系粒子について、隣り合う金属系粒子との粒子間距離を求めたときの、これら6個の金属系粒子の粒子間距離の平均値である。隣り合う金属系粒子との粒子間距離とは、すべての隣り合う金属系粒子との距離(隣り合う金属系粒子の表面同士間の最小距離)をそれぞれ測定し、これらを平均した値である。
平均粒子間距離の測定方法についてより具体的に説明すると、まずSEM観察画像は、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて測定する。次いで、得られた観察画像を、アメリカ国立衛生研究所製のフリー画像処理ソフト「ImageJ」を用いて横1280ピクセル×縦960ピクセルで読み込む。次に、Microsoft社製の表計算ソフト「Excel」の乱数発生関数「RANDBETWEEN」を用いて、1~1280から6個の乱数(x1~x6)、1~960から6個の乱数(y1~y6)をそれぞれ得る。得られた各6個の乱数から6組の乱数組み合わせ(x1,y1)から(x6,y6)を得る。1~1280から発生させた乱数の数値をx座標、1~960から発生させた乱数の数値をy座標として、6組の座標点(x1,y1)~(x6,y6)を得る。そして、当該座標点を含む合計6個の金属系粒子像のそれぞれについて、当該金属系粒子と隣り合う金属系粒子との粒子間距離を得、次いで当該6個の隣り合う金属系粒子との粒子間距離の平均値として平均粒子間距離を得る。この際、6組の乱数組み合わせである6個の座標点の少なくともいずれか1つが金属系粒子像内に含まれない場合、あるいは同一金属系粒子内に2つ以上の座標点が含まれる場合には、この乱数組み合わせを破棄し、6個の座標点がすべて異なる金属系粒子像内に含まれるまで乱数発生を繰り返す。またこの際、同じ観察画像から、上述した基材である粒子における「縁領域」を取得する。そして、上記6個の金属系粒子のうち、それぞれの金属系粒子が配置される基材である粒子における縁領域に一部でも重なる金属系粒子が存在する場合には、その乱数組み合わせを破棄し、6個の座標点がすべて異なる金属系粒子像内に含まれ、かつ、それぞれの金属系粒子が配置される基材である粒子における縁領域に一部でも重なる金属系粒子が存在しないようになるまで乱数発生を繰り返し、上記と同様にして粒子間距離を取得する。必要に応じて以上を繰り返し、基材である粒子における縁領域と重なることがない金属系粒子6個についての粒子間距離を得る。得られた6個の粒子間距離の平均値を平均粒子間距離とする。
上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、金属系粒子集合体層において複数の金属系粒子は、上記平均粒子間距離の標準偏差が50nm以下となるように配置されることが好ましい。該標準偏差がこの範囲となるように金属系粒子を配置することにより、強いプラズモン共鳴を得ることができるとともにプラズモン共鳴の作用範囲の伸長の効果を高めることができる。
平均粒子間距離の標準偏差は、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、より好ましくは40nm以下、さらに好ましくは30nm以下、なおさらに好ましくは25nm以下、特に好ましくは20nm以下である。平均粒子間距離の標準偏差は、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、好ましくは0.1nm以上であり、より好ましくは0.2nm以上であり、さらに好ましくは0.3nm以上である。
平均粒子間距離の標準偏差は、次のように定義される。積層物を付着させた基板(ガラス基板等)の該積層物を含む直上からのSEM観察画像において、無作為に金属系粒子をまず1個選択し、その金属系粒子について、隣り合う金属系粒子との粒子間距離を求める。隣り合う金属系粒子との粒子間距離とは、すべての隣り合う金属系粒子との距離(表面同士間の最小距離である。)をそれぞれ測定し、これらを平均した値である。上記SEM観察画像において、上記1個とは異なる5個の金属系粒子を無作為に選択し、これらの5個の金属系粒子について、上記と同様にして隣り合う金属系粒子との粒子間距離を求める。このようにして得られた合計6個の金属系粒子についての隣り合う金属系粒子との粒子間距離の標準偏差を、平均粒子間距離の標準偏差と定義する。
平均粒子間距離の標準偏差の測定方法についてより具体的に説明すると、まずSEM観察画像は、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて測定する。次いで、得られた観察画像を、アメリカ国立衛生研究所製のフリー画像処理ソフト「ImageJ」を用いて横1280ピクセル×縦960ピクセルで読み込む。次に、Microsoft社製の表計算ソフト「Excel」の乱数発生関数「RANDBETWEEN」を用いて、1~1280から6個の乱数(x1~x6)、1~960から6個の乱数(y1~y6)をそれぞれ得る。得られた各6個の乱数から6組の乱数組み合わせ(x1,y1)から(x6,y6)を得る。1~1280から発生させた乱数の数値をx座標、1~960から発生させた乱数の数値をy座標として、6組の座標点(x1,y1)~(x6,y6)を得る。そして、当該座標点を含む合計6個の金属系粒子像のそれぞれについて、当該金属系粒子と隣り合う金属系粒子との粒子間距離を得、次いで当該6個の隣り合う金属系粒子との粒子間距離の標準偏差として平均粒子間距離の標準偏差を得る。この際、6組の乱数組み合わせである6個の座標点の少なくともいずれか1つが金属系粒子像内に含まれない場合、あるいは同一金属系粒子内に2つ以上の座標点が含まれる場合には、この乱数組み合わせを破棄し、6個の座標点がすべて異なる金属系粒子像内に含まれるまで乱数発生を繰り返す。またこの際、同じ観察画像から、上述した基材である粒子における「縁領域」を取得する。そして、上記6個の金属系粒子のうち、それぞれの金属系粒子が配置される基材である粒子における縁領域に一部でも重なる金属系粒子が存在する場合には、その乱数組み合わせを破棄し、6個の座標点がすべて異なる金属系粒子像内に含まれ、かつ、それぞれの金属系粒子が配置される基材である粒子における縁領域に一部でも重なる金属系粒子が存在しないようになるまで乱数発生を繰り返し、上記と同様にして粒子間距離を取得する。必要に応じて以上を繰り返し、基材である粒子における縁領域と重なることがない金属系粒子6個についての粒子間距離を得る。当該6個の隣り合う金属系粒子との粒子間距離の標準偏差として平均粒子間距離の標準偏差を得る。
積層物が後述する保護層を有する場合など、SEM観察で金属系粒子集合体層を観察できない場合には、金属系粒子集合体層の平均粒径、平均粒子間距離及びその標準偏差の測定については、TEM(透過型電子顕微鏡)観察で代替してもよい。
金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子の平均高さは、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、好ましくは5nm以上500nm以下、より好ましくは10nm以上300nm以下、さらに好ましくは30nm以上200nm以下、なおさらに好ましくは50nm以上150nm以下、特に好ましくは55nm以上150nm以下である。
上記複数の金属系粒子の平均高さは、次の方法に従って測定される。すなわち、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて、積層物の断面像を取得する。得られた断面像において、基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物(保護層を有しない積層物)の外側輪郭面上の点を無作為に10点選択する。ついで、当該10点のそれぞれから基材の外側表面まで、最短となるように直線を引き、得られた10本の直線の長さの平均値を金属系粒子の平均高さとする。
金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子のアスペクト比は、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、好ましくは1以上8以下、より好ましくは1以上7以下、さらに好ましくは1.5以上7以下、なおさらに好ましくは1.5以上6以下である。
上記アスペクト比は、上記平均高さに対する上記平均粒径の比(平均粒径/平均高さ)で定義される。金属系粒子は真球状であってもよいが、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、アスペクト比が1を超える扁平形状を有していることが好ましい。
上記アスペクト比は、上記平均高さに対する上記平均粒径の比(平均粒径/平均高さ)で定義される。金属系粒子は真球状であってもよいが、上記[a]及び[b]の効果を効果的に得る観点から、アスペクト比が1を超える扁平形状を有していることが好ましい。
金属系粒子は、効果の高いプラズモンを励起する観点から、その表面が滑らかな曲面からなることが好ましく、とりわけ表面が滑らかな曲面からなる扁平形状を有していることがより好ましいが、表面に微小な凹凸(粗さ)を幾分含んでいてもよく、このような意味において金属系粒子は不定形であってもよい。
本発明に係る積層物の製造方法は、平均粒径、平均高さ、アスペクト比、平均粒子間距離及びその標準偏差等が上述の好ましい範囲である金属系粒子集合体層を基材10上に形成するための方法として好適である。
1個の積層物について、金属系粒子集合体層に含まれる金属系粒子の数は、通常6個以上であり、好ましくは30個以上である。金属系粒子を6個以上含む金属系粒子集合体層を形成することにより、金属系粒子の局在プラズモン間の相互作用によって強いプラズモン共鳴及びプラズモン共鳴の作用範囲の伸長が発現しやすい。1個の積層物について、金属系粒子集合体層に含まれる金属系粒子の数は、例えば50個以上、さらには1000個以上、なおさらには10000個以上であってもよい。
金属系粒子の数密度は、強いプラズモン共鳴及びプラズモン共鳴の作用範囲の伸長を発現しやすくする観点から、基材の表面積1μm2あたり、好ましくは7個以上、より好ましくは15個以上である。
金属系粒子の数密度は、強いプラズモン共鳴及びプラズモン共鳴の作用範囲の伸長を発現しやすくする観点から、基材の表面積1μm2あたり、好ましくは7個以上、より好ましくは15個以上である。
基材の表面に金属系粒子集合体層を配置した積層物、及び、該積層物の表面にさらに後述する保護層を配置した積層物は、表面凹凸を有していてもよい。表面凹凸を有する積層物は表面積がより大きい。したがって、該積層物をセンサ素子に適用する場合には、被検出物質を多く積層物の表面に結合させることができる。このことは、センサ素子の検出感度及び検出精度の向上に有利である。
金属系粒子集合体層は、強いプラズモン共鳴及びプラズモン共鳴の作用範囲の伸長を発現しやすくする観点から、層として非導電性であることが好ましい。この観点から、金属系粒子が配置される基材の表面も非導電性であることが好ましい。金属系粒子それ自体は導電性を有していてもよい。
(3)保護層形成工程
積層物の製造方法は、金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する工程を含むことができる。図4は、積層物の他の一例を模式的に示す断面図である。図4に示される積層物2は、立体表面を有する基材10(コア粒子)と、基材10の立体表面の少なくとも一部(好ましくは表面全体)に配置される金属系粒子集合体層と、少なくとも複数の金属系粒子20の表面を覆う保護層30とを含む。保護層は、少なくとも基材表面上の複数の金属系粒子の表面を覆うように形成されることが好ましい。
積層物の製造方法は、金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する工程を含むことができる。図4は、積層物の他の一例を模式的に示す断面図である。図4に示される積層物2は、立体表面を有する基材10(コア粒子)と、基材10の立体表面の少なくとも一部(好ましくは表面全体)に配置される金属系粒子集合体層と、少なくとも複数の金属系粒子20の表面を覆う保護層30とを含む。保護層は、少なくとも基材表面上の複数の金属系粒子の表面を覆うように形成されることが好ましい。
保護層を形成することは、下記の点で有利である。
[A]積層物を、被検出物質を標識する発光体からの発光の強度を増強させるための発光増強要素として用いる場合において、発光体が積層物の金属系粒子に直接接触していると、発光体から金属系粒子への電子トンネリングによる消光が起こる可能性があり、増強効果が低下し得る。金属系粒子上に保護層を設けることにより、発光体と金属系粒子とを確実に離間させることができるため、消光を抑制できる。
[B]積層物(基材及び/又は金属系粒子)の安定性(耐酸化性等)及び耐環境安定性(例えば耐光性、耐湿度性、耐熱性等)を高めることができる。
[A]積層物を、被検出物質を標識する発光体からの発光の強度を増強させるための発光増強要素として用いる場合において、発光体が積層物の金属系粒子に直接接触していると、発光体から金属系粒子への電子トンネリングによる消光が起こる可能性があり、増強効果が低下し得る。金属系粒子上に保護層を設けることにより、発光体と金属系粒子とを確実に離間させることができるため、消光を抑制できる。
[B]積層物(基材及び/又は金属系粒子)の安定性(耐酸化性等)及び耐環境安定性(例えば耐光性、耐湿度性、耐熱性等)を高めることができる。
保護層は、上記[A]の観点からは、少なくとも金属系粒子集合体層を構成する複数の金属系粒子の表面を覆うように形成されていればよいが、図4に示されるように基材表面及び複数の金属系粒子の表面を含む表面全体を覆うように形成されていてもよい。
保護層の材質は、上記[A]の観点からは、非導電性材料、すなわち、絶縁性材料であることが好ましい。絶縁性材料としては、SiO2、SiN、TiO2、Al2O3、Si3N4等の無機絶縁材料;樹脂材料(例えば、ポリスチレン、アクリル系樹脂、エポキシ樹脂等)等の有機絶縁材料が挙げられる。保護層は、2種以上の材料から構成されていてもよい。保護層は、単層構造であってもよく、多層構造であってもよい。
保護層の厚みは特に制限されないが、例えば3nm以上であり、好ましくは10nm以上である。発光体で標識された被検出物質を保護層上に捕捉し、該被検出物質について分析を行うセンサ素子に積層物を発光増強要素として用いる場合、発光体からの発光を効果的に増強させる観点から、保護層の厚みは、例えば300nm以下、好ましくは200nm以下、より好ましくは150nm以下、さらに好ましくは100nm以下、なおさらに好ましくは80nm以下である。
保護層の厚みは、次の方法に従って測定される。日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」又はこれと同等の装置を用いて、積層物の断面像を取得する。得られた断面像において、基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物(保護層を有しない積層物)の外側輪郭面上の点を無作為に10点選択する。当該点は、金属系粒子の表面であって、保護層との界面を形成している表面上の点である。ついで、当該10点のそれぞれから保護層の外側表面まで、最短となるように直線を引き、得られた10本の直線の長さの平均値を保護層の厚みとする。
1つの好ましい実施形態に係る積層物において保護層は、基材及び金属系粒子集合体層からなる粒子(保護層を有しない積層物)の表面全体を被覆している。この実施形態において、保護層の外側表面は、保護層を有しない積層物の表面凹凸(金属系粒子に基づく凹凸)に追随して凹凸を有していてもよいし、凹凸を有しておらず平滑であってもよい。図4は、保護層が表面凹凸を有する例である。積層物をセンサ素子に適用する場合、積層物の表面に結合させる被検出物質の量を増加させる観点から、保護層は表面凹凸を有することが好ましい。
保護層を有しない積層物の表面全体を保護層が被覆している場合において、保護層は、上記表面全体にわたって比較的均一な厚みで形成されていてもよいし、局所において厚く形成されていたり薄く形成されていたりするなど、不均一な厚みで形成されていてもよい。発光体で標識された被検出物質を保護層上に捕捉し、該被検出物質について分析を行うセンサ素子に積層物を発光増強要素として用いる場合、発光体で標識された被検出物質が捕捉される積層物表面の位置によって金属系粒子集合体層から発光体までの距離が変動することをできるだけ抑制する観点から、保護層は、上記表面全体にわたって均一又は比較的均一な厚みで形成されることが好ましい。
金属系粒子集合体層上に保護層を形成する工程を含む積層物の製造方法としては、例えば以下の方法が挙げられる。
〔a〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程を行った後、後述するゾル-ゲル法により保護層を形成する方法。
〔b〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程を行った後、後述するゾル-ゲル法以外の方法(例えば、スパッタリング法(粉体スパッタリングであってもよい。)、蒸着法(粉体蒸着であってもよい)、CVD(粉体CVDであってもよい)等)により保護層を形成する方法。
〔c〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程以外の方法(例えば、スパッタリング法、蒸着法(真空蒸着等)等)により金属系粒子集合体層を形成した後、後述するゾル-ゲル法により保護層を形成する方法。
〔d〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程以外の方法(例えば、スパッタリング法、蒸着法(真空蒸着等)等)により金属系粒子集合体層を形成した後、後述するゾル-ゲル法以外の方法(例えば、スパッタリング法(粉体スパッタリングであってもよい。)、蒸着法(粉体蒸着であってもよい)、CVD(粉体CVDであってもよい)等)により保護層を形成する方法。
〔a〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程を行った後、後述するゾル-ゲル法により保護層を形成する方法。
〔b〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程を行った後、後述するゾル-ゲル法以外の方法(例えば、スパッタリング法(粉体スパッタリングであってもよい。)、蒸着法(粉体蒸着であってもよい)、CVD(粉体CVDであってもよい)等)により保護層を形成する方法。
〔c〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程以外の方法(例えば、スパッタリング法、蒸着法(真空蒸着等)等)により金属系粒子集合体層を形成した後、後述するゾル-ゲル法により保護層を形成する方法。
〔d〕上記(1)で述べた金属系粒子集合体層形成工程以外の方法(例えば、スパッタリング法、蒸着法(真空蒸着等)等)により金属系粒子集合体層を形成した後、後述するゾル-ゲル法以外の方法(例えば、スパッタリング法(粉体スパッタリングであってもよい。)、蒸着法(粉体蒸着であってもよい)、CVD(粉体CVDであってもよい)等)により保護層を形成する方法。
金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する方法の好適な例は、上述のゾル-ゲル法である。ゾル-ゲル法は、原料としての金属アルコキシド等を含む溶液から出発して、加水分解反応及び重合反応を伴って、対応する金属酸化物を得ることができる方法である。ゾル-ゲル法の一例は、Stober法(Stoberのoは、oのウムラウトを意味する。以下同様。)である。この方法によれば、原料としてオルトケイ酸テトラエチルを使用し、エタノール溶媒中、水及び触媒としてのアンモニアの存在下に反応を行って、シリカ(SiO2)を得ることができる。Stober法については、W. Stober and A. Fink, Journal of Colloid and Interface Science 26(1), 62-69 (1968)を参照することができる。
Stober法により、基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物上に保護層としてのSiO2層を形成することができる。具体的には、アルコール等の溶媒、水、及び触媒としてのアンモニアを含む溶液中で、原料としてのオルトケイ酸テトラエチル等の上記反応を、基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の存在下に行うことにより、該積層物上にSiO2層を形成することができる。
上記反応の温度は適宜選択されるが、例えば0℃以上100℃以下であり、好ましくは10℃以上60℃以下である。また、反応中、反応液に対して超音波処理を行うと、保護層によるコーティングが均一になりやすい。
保護層の厚みは、反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物に対する原料(金属アルコキシド等)の量に依存する。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対する原料の体積VG[cm3]の比VG/VL2は、例えば15以下であり、好ましくは9以下、より好ましくは6以下である。上記比は通常、0.1以上である。上記比を大きくするほど、保護層の厚みを大きくできる傾向にある。
ゾル-ゲル法により金属酸化物からなる保護層を形成するために用いることができる原料は、オルトケイ酸テトラエチルに限定されるものではなく、例えばメチルトリメトキシシラン等を用いることもできる。
<センサ素子>
本発明に係る積層物、とりわけプラズモン構造体を備える積層物は、センサ素子用の発光増強要素として好適に用いることができる。センサ素子は、例えば、被検出物質を検出するために用いられるセンサ素子であって、基板と、該基板上に配置される積層物と、該積層物上に配置され、被検出物質と特異的に結合する捕捉物質を有する捕捉部とを含む。積層物は、上述の保護層を含むものであってもよい。
本発明に係る積層物、とりわけプラズモン構造体を備える積層物は、センサ素子用の発光増強要素として好適に用いることができる。センサ素子は、例えば、被検出物質を検出するために用いられるセンサ素子であって、基板と、該基板上に配置される積層物と、該積層物上に配置され、被検出物質と特異的に結合する捕捉物質を有する捕捉部とを含む。積層物は、上述の保護層を含むものであってもよい。
図5は、センサ素子の一例を模式的に示す断面図である。図5に示されるセンサ素子は、窪み71を表面に有する基板70と、基板70上、より具体的には窪み71内に配置される積層物2と、積層物2上に配置され、被検出物質90と特異的に結合する捕捉物質を有する捕捉部80とを含む。図5に示される例において、捕捉部80は積層物2の保護層上に設けられているが、保護層を有しない積層物を用い、その基材上及び/又は金属系粒子集合体層上に捕捉部80を設けてもよい。
図5は、標識(ラベル)された被検出物質90が捕捉部80に捕捉されている状態を模式的に示している。図5の91は、被検出物質90に結合した標識を示している。標識としては発光体が挙げられる。
上記センサ素子は、次のようにして被検出物質90の検出を行う。検出は、定性的又は定量的な検出であってよく、例えば被検出物質90の同定又は定量等を指す。積層物2上の捕捉物質に特異的に結合した標識された被検出物質90に向けて励起光を照射すると発光体である標識が励起される。そして、積層物2の金属系粒子集合体層が励起された発光体と共鳴して、プラズモン発光増強が発現する。励起された発光体からの発光を検出器を用いて検出することにより被検出物質90を定性的又は定量的に検出することができる。例えば、発光強度を測定することにより被検出物質90の存在量を定性的又は定量的に測定することができる。
本発明に係る積層物を備えるセンサ素子によれば、積層物が金属系粒子集合体層を含んでおり、これによりプラズモン発光増強を発現させることができるため、検出感度及び検出精度を高めることができる。例えば、基板70が有する窪み71の底面に金属粒子集合体層を配置し、積層物の代わりに金属粒子集合体層を有しないビーズ(積層物の基材に相当)を窪み71内に配置することも考えられるが、この場合、捕捉部を表面に備えるビーズの粒径が大きい場合(例えばマイクロメートルオーダーの場合)、標識された被検出物質90と金属粒子集合体層とが離れすぎて、プラズモン発光増強効果が得られないおそれがある。これに対して、金属系粒子集合体層を含む積層物を窪み71内に配置するビーズとして用いることにより、標識された被検出物質90と金属粒子集合体層との距離が短くなるため、プラズモン発光増強効果を得ることができる。
また、基材の表面に金属系粒子集合体層を配置した積層物、及び、該積層物の表面にさらに保護層を配置した積層物は、表面凹凸を有しているか又は表面凹凸を有するものとすることができる。表面凹凸を有する積層物は表面積がより大きい。したがって、該積層物を上記ビーズとして用いることにより、捕捉物質、ひいては被検出物質90を多く積層物の表面に結合させることができる。このことも、検出感度及び検出精度を向上させることに寄与する。
被検出物質90は、定性的又は定量的な検出を行う対象の物質であり、捕捉物質に対して特異的に結合する物質である。被検出物質90としては特に制限されず、例えば、ヌクレオシド、ヌクレオチド、核酸、タンパク質、糖類、糖タンパク、レクチン、ウィルス、細胞、抗体、エクソソーム等が挙げられる。被検出物質90が生体由来物質又は生体関連物質であるセンサ素子をバイオセンサ素子ともいう。
核酸は、プリン塩基又はピリミジン塩基と糖がグリコシド結合したヌクレオシドのリン酸エステルの重合体(ヌクレオチド鎖)を意味し、プローブDNAを含むオリゴヌクレオチド、ポリヌクレオチド、プリンヌクレオチドとピリミジンヌクレオチドが重合したDNA(全長あるいはその断片)、RNA、ポリアミドヌクレオチド誘導体(PNA)等を含む。また、ヌクレオシドは、塩基と糖がグリコシド結合した化合物であり、ヌクレオチドはヌクレオシドにリン酸が結合した化合物であり、ヌクレオシド及びヌクレオチドは、塩基を含む化合物である。
「特異的に結合」とは、物質間の非共有結合、共有結合、水素結合を含む化学結合を広く意味し、例えば、タンパク質分子間の相互作用、分子間の静電相互作用等が挙げられる。
捕捉された被検出物質90の検出は、被検出物質90をあらかじめ発光体である標識91で標識しておき、この標識91からの発光を検出することによって行うことができる。標識91は、捕捉物質と被検出物質90との特異的結合により得られる複合体に特異的に結合する標識物質であってもよい。発光体は、励起光による励起エネルギーの注入により発光する物質である。発光体における発光の原理は限定されることはなく、蛍光、りん光、化学発光等が挙げられる。発光体としては、従来公知のものを用いることができる。
捕捉部80を構成する捕捉物質は、被検出物質90と特異的に結合して、これを捕捉するために機能する物質である。捕捉物質は、例えば、積層物の表面に固定される。捕捉物質は、例えば、被検出物質90と特異的に結合できる結合活性基を有する物質である。結合活性基としては、例えば、被検出物質90と静電相互作用できる、カルボキシル基、水酸基等が挙げられる。捕捉物質としては特に制限されず、例えば、ヌクレオシド、ヌクレオチド、核酸、タンパク質、糖類、糖タンパク等が挙げられる。
センサ素子が有する基板70の材質としては、例えば、シリコン、石英、合成石英、ガラス、熱可塑性樹脂等が挙げられる。積層物は、必ずしも基板70の窪み71内に配置されることに限定される訳ではなく、基板70に固定又は収容できる態様で配置されればよい。基板70は、1又は2以上の窪み71を有することができる。基板70の例は、フローセル、マイクロアレイである。
本発明に係る積層物を備えるセンサ素子によれば、局在プラズモン共鳴の作用範囲が広い積層物を含むことができるため、積層物の金属系粒子集合体層から標識91までの距離が10nmを超える長い距離であっても標識91からの発光を増強させることができる。
例えば、被検出物質90となり得るDNAの大きさは数nm~数十nm程度であり得、5nm~15nmであり得る。例えば、ウィルスの大きさは数十nm~百数十nm程度であり得、30nm~120nmであり得る。これらが被検出物質90である場合、これに結合される標識91と金属系粒子集合体層との距離は、例えば数十nm~数百nmになり得る。このような場合においても上記センサ素子によれば、標識91からの発光を増強させることができる。
例えば、被検出物質90となり得るDNAの大きさは数nm~数十nm程度であり得、5nm~15nmであり得る。例えば、ウィルスの大きさは数十nm~百数十nm程度であり得、30nm~120nmであり得る。これらが被検出物質90である場合、これに結合される標識91と金属系粒子集合体層との距離は、例えば数十nm~数百nmになり得る。このような場合においても上記センサ素子によれば、標識91からの発光を増強させることができる。
金属系粒子集合体層から標識91までの距離は、15nm以上、さらには25nm以上、なおさらにはそれ以上の距離であってもよい。該距離は、センサ素子の感度の観点から、好ましくは200nm以下であり、より好ましくは170nm以下であり、さらに好ましくは150nm以下である。
金属系粒子集合体層のプラズモンピークの極大波長は、標識91の発光波長と一致するか又は近いことが好ましい。これにより、プラズモン共鳴による発光増強効果をより効果的に高めることができる。金属系粒子集合体層のプラズモンピークの極大波長は、これを構成する金属系粒子の金属種、平均粒径、平均高さ、アスペクト比、平均粒子間距離及び/又は平均粒子間距離の標準偏差の調整により制御可能である。
上記センサ素子を備えるセンサ装置は通常、センサ素子に加えて、標識91を励起させるための励起光を発する光源、及び、標識91からの発光を検出する検出器を含む。光源と検出器とは、基板70を基準に異なる側に配置されていてもよいし、同じ側に配置されていてもよい。一実施形態において、光源は、基板70の上方(図5における、標識された被検出物質90の上方又は側方)に配置されており、検出器は、基板70の下方(裏側)、すなわち基板70を基準に光源とは反対側、又は、光源と同じ側に配置されている。検出器が基板70の下方(裏側)に配置される場合、基板70は、透光性を有することが好ましく、光学的に透明であることがより好ましい。透光性を有する基板70は、これを透過することとなる光に関して、80%以上の光透過率を有することが好ましく、90%以上の光透過率を有することがより好ましい。
発光を検出する際、励起光が混入するおそれがある場合には、励起光の波長の光をカットする波長カットフィルタを通して発光を検出器に入射させることが好ましい。
センサ装置の例は、例えば、DNAシーケンサ、DNAマイクロアレイ、ウィルスセンサ、イオンセンサ、プレートリーダー(プロテインチップ、糖鎖チップ、レクチンチップ等)、顕微分光装置、グルコースセンサ等のバイオセンサ装置である。
なお、積層物がセンサ用途に使用される場合において、積層物は、基板に固定されることなく使用されてもよい。このような使用方法としては、フローサイトメトリーにおける使用や、液媒体中に積層物を分散させ、分散された積層物に標識された被検出物質90を結合させて分析を行う方法が挙げられる。
以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
<実施例1>
0.047mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液50mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液0.25mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.047mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液50mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液0.25mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.06mol/Lのグルコース水溶液16.6mLとメタノール8.4mLとを混合し、還元剤液Bを得た。槽内に銀イオン液Aを投入し、次いで、基材としてのシリカパウダー(日本電気硝子株式会社製の「ファインスフィアSK-30」、平均粒径3μmの球状粒子群)200mgを槽内へ投入した。次いで、還元剤液Bを槽内に投入後直ちに、槽内の液を攪拌することにより、銀イオン液Aと還元剤液Bとからなるメッキ液への基材の浸漬を行い、基材表面上での銀からなる金属系粒子の成長を開始した。メッキ液の調製及びメッキ液への基材の浸漬は25℃の環境下で行った。25℃で攪拌を継続した。浸漬開始から28分後に、金属系粒子集合体層を有する基材(積層物)を濾別し、次いでこの濾過物をアセトンと超純水の1:1体積比混合液で洗浄した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除いたのち、80℃で乾燥を行って、積層物を得た。
<実施例2>
還元剤の濃度及び還元剤の濃度の飽和濃度に対する比(百分率)が表1に示される値となるように、還元剤液Bの調製に用いたグルコース水溶液のグルコース濃度を変更したこと以外は実施例1と同様にして金属系粒子集合体層形成工程を行い、積層物を得た。
還元剤の濃度及び還元剤の濃度の飽和濃度に対する比(百分率)が表1に示される値となるように、還元剤液Bの調製に用いたグルコース水溶液のグルコース濃度を変更したこと以外は実施例1と同様にして金属系粒子集合体層形成工程を行い、積層物を得た。
<比較例1>
実施例1で用いた基材(シリカパウダー)を比較例1の粒子とした。なお、基材として用いたシリカパウダーの平均粒径(3μm)は上述の粒子群の平均粒径の測定方法に従って求めた。
実施例1で用いた基材(シリカパウダー)を比較例1の粒子とした。なお、基材として用いたシリカパウダーの平均粒径(3μm)は上述の粒子群の平均粒径の測定方法に従って求めた。
実施例1及び実施例2について、メッキ液における銀イオンの濃度、還元剤の種類、還元剤の濃度、還元剤の濃度の飽和濃度に対する比(百分率)、メッキ液への基材の浸漬時間、メッキ液の体積VL[cm3]に対する基材の体積VS[cm3]の比VS/VL、金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度を表1に示す。
球状粒子であるシリカパウダーを基材として用いた実施例1及び実施例2において、上記式から求められるXの値は、いずれも121×10-7であった。
球状粒子であるシリカパウダーを基材として用いた実施例1及び実施例2において、上記式から求められるXの値は、いずれも121×10-7であった。
図6及び図7は、実施例1で得られた積層物のSEM画像(図6:6000倍スケール、図7:35000倍スケール)であり、図8は、実施例2で得られた積層物のSEM画像(20000倍スケール)である。これらのSEM画像を含め本明細書においてSEM画像の取得には、日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡「JSM-5500」を用いた。
SEM画像より、基材を被覆している金属系粒子集合体層を構成する銀粒子の上記定義に基づく平均粒径、平均粒子間距離を求めた。また、STEM断面画像(100000倍スケール)に基づき、銀粒子の上記定義に基づく平均高さを求めた。STEM断面画像の取得には、FEI社製の走査型透過電子顕微鏡「Helios G4 UX」を用いた。得られた平均粒径及び平均高さから銀粒子のアスペクト比を算出した。以上の結果を表1に示す。なお、実施例2の積層物については、SEM画像は取得したが(図8)、平均粒径及び平均粒子間距離を求めることはしなかった。図8に示されるとおり、実施例2の積層物が有する金属系粒子集合体層は、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含んでいるが、実施例1の積層物に比べて、金属系粒子同士が結合して連続膜を形成している部分が多く存在していた。
(蛍光強度の増強効果についての評価)
ガラス基板上にスピンオングラス(SOG)溶液を3000rpmでスピンコートした後、SOGの塗膜の上に実施例1で得られた積層物を置いた。次いで、SOGの塗膜を200℃で乾燥させて、積層物を固定した。SOG溶液には、有機系SOG材料である東京応化工業株式会社製「OCD T-7 5500T」を用いた。
ガラス基板上にスピンオングラス(SOG)溶液を3000rpmでスピンコートした後、SOGの塗膜の上に実施例1で得られた積層物を置いた。次いで、SOGの塗膜を200℃で乾燥させて、積層物を固定した。SOG溶液には、有機系SOG材料である東京応化工業株式会社製「OCD T-7 5500T」を用いた。
次に、積層物が固定されている面にローダミンB溶液を2000rpmで100秒間スピンコートして、積層物の表面に蛍光色素であるローダミンBを担持させた。これを測定サンプル1とする。ローダミンB溶液には、Exciton社製「Rhodamine B」をエタノールに溶解してなる0.15mMのローダミンB溶液を用いた。
別途、上記と同じ方法で比較例1の粒子の表面に蛍光色素であるローダミンBを担持させた。これを測定サンプル2とする。
測定サンプル1及び測定サンプル2について、蛍光顕微鏡(オリンパス社製「FV1000」)を用いて、レーザー光を照射したときに、積層物に担持したローダミンB(測定サンプル1)、シリカ粒子に担持したローダミンB(測定サンプル2)から発せされる蛍光強度を測定した。
蛍光強度の測定条件は次のとおりとした。
レーザー励起波長:559nm
検出条件:Cy5
対物レンズ:40倍
レーザー励起波長:559nm
検出条件:Cy5
対物レンズ:40倍
測定サンプル1の測定によって得られた蛍光画像において、他の積層物と接触していない積層物を無作為に10個選択し、それらの「INT」値の平均値を算出し、この平均値からバックグラウンド値を差し引いた値を蛍光強度1とした。同様にして、測定サンプル2の測定から求められる蛍光強度を蛍光強度2とした。他の積層物と接触していない積層物(測定サンプル1)、及び、他のシリカ粒子と接触していないシリカ粒子(測定サンプル2)を選択したのは、特に透明粒子であるシリカ粒子同士が接触している場合には、それらが励起光や発光を粒子内部で再帰反射し合うことにより、蛍光強度にムラが生じるためである。
バックグラウンド値は、次のようにして求めた。無処理のガラス基板(測定サンプル1及び測定サンプル2で用いたものと同じもの)について、上記と同じ条件で蛍光強度の測定を行って画像を得た。該画像から無作為に10点選択し、それらの「INT」値の平均値を算出し、この平均値をバックグラウンド値とした。
蛍光強度1は、蛍光強度2の19.7倍であった。
図9は測定サンプル1についての蛍光強度測定で得られた画像であり、図10は測定サンプル2についての蛍光強度測定で得られた画像である。
図9は測定サンプル1についての蛍光強度測定で得られた画像であり、図10は測定サンプル2についての蛍光強度測定で得られた画像である。
<実施例3>
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル32.4μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、2.87であった。
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル32.4μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、2.87であった。
図11及び図12は、得られた保護層を含む積層物のSEM画像(図11:7000倍スケール、図12:30000倍スケール)である。該SEM画像より、保護層が実施例1で得られた積層物の表面全体にわたって形成されていることが確認できた。保護層は、金属系粒子集合体層の銀粒子表面上だけではなく、銀粒子間の隙間(コア粒子が露出している部分)にも形成されていることが確認された。また、保護層の表面は、金属系粒子集合体層の凹凸に追随して凹凸を有していることが確認された。
図13は、得られた保護層を含む積層物のSTEM断面画像(100000倍スケール)である。STEM断面画像の取得には、FEI社製の走査型透過電子顕微鏡「Helios G4 UX」を用いた。該画像より、60~70nm程度の厚みを有する保護層が概ね均一に形成されていることが確認された。
<実施例4>
0.047mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液150mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液0.75mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.047mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液150mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液0.75mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.04mol/Lのグルコース水溶液50mLとメタノール25mLとを混合し、還元剤液Bを得た。槽内に銀イオン液Aを投入し、次いで、基材としてのシリカパウダー(日揮触媒化成株式会社製の平均粒径1.1μmの球状粒子群)240mgを槽内へ投入した。次いで、還元剤液Bを槽内に投入後直ちに、槽内の液を攪拌することにより、銀イオン液Aと還元剤液Bとからなるメッキ液への基材の浸漬を行い、基材表面上での銀からなる金属系粒子の成長を開始した。メッキ液の調製及びメッキ液への基材の浸漬は25℃の環境下で行った。25℃で攪拌を継続した。浸漬開始から28分後に、金属系粒子集合体層を有する基材(積層物)を濾別し、次いでこの濾過物をアセトンと超純水の1:1体積比混合液で洗浄した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除いたのち、80℃で乾燥を行って、積層物を得た。
<実施例5>
0.0024mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液666.7mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液5mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.0024mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液666.7mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液5mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.006mol/Lのグルコース水溶液222.2mLとメタノール111.1mLとを混合し、還元剤液Bを得た。槽内に銀イオン液Aを投入し、次いで、基材としてのシリカパウダー(日揮触媒化成株式会社製の平均粒径0.55μmの球状粒子群)46.7mgを槽内へ投入した。次いで、還元剤液Bを槽内に投入後直ちに、槽内の液を攪拌することにより、銀イオン液Aと還元剤液Bとからなるメッキ液への基材の浸漬を行い、基材表面上での銀からなる金属系粒子の成長を開始した。メッキ液の調製及びメッキ液への基材の浸漬は25℃の環境下で行った。25℃で攪拌を継続した。浸漬開始から28分後に、金属系粒子集合体層を有する基材(積層物)を濾別し、次いでこの濾過物をアセトンと超純水の1:1体積比混合液で洗浄した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除いたのち、80℃で乾燥を行って、積層物を得た。
<実施例6>
0.047mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液50mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液0.25mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.047mol/Lの硝酸銀(AgNO3)水溶液50mLに0.05mol/Lの水酸化カリウム(KOH)水溶液0.25mLを滴下した後、攪拌した。水酸化カリウム水溶液の添加により溶液は無色透明から褐色に変色した。この溶液に、3.5mol/Lのエチレンジアミン(NH2CH2CH2NH2)水溶液を攪拌下に50μLずつ滴下し、溶液が無色透明になったところで滴下を止めた。得られた溶液を銀イオン液Aとする。
0.06mol/Lのグルコース水溶液16.6mLとメタノール8.4mLとを混合し、還元剤液Bを得た。槽内に銀イオン液Aを投入し、次いで、基材としてのアルミナパウダー(住友化学株式会社製の「アドバンスアルミナAA-3」、平均粒径3μmの不定形粒子群)362mgを槽内へ投入した。次いで、還元剤液Bを槽内に投入後直ちに、槽内の液を攪拌することにより、銀イオン液Aと還元剤液Bとからなるメッキ液への基材の浸漬を行い、基材表面上での銀からなる金属系粒子の成長を開始した。メッキ液の調製及びメッキ液への基材の浸漬は25℃の環境下で行った。25℃で攪拌を継続した。浸漬開始から28分後に、金属系粒子集合体層を有する基材(積層物)を濾別し、次いでこの濾過物をアセトンと超純水の1:1体積比混合液で洗浄した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除いたのち、80℃で乾燥を行って、積層物を得た。
<実施例7>
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル5.0μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、0.443であった。
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル5.0μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、0.443であった。
実施例3と同様にしてSTEM断面画像を取得した。該画像より、20nm程度の厚みを有する保護層が概ね均一に形成されていることが確認された。
<実施例8>
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル15.0μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、1.33であった。
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル15.0μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、1.33であった。
実施例3と同様にしてSTEM断面画像を取得した。該画像より、85nm程度の厚みを有する保護層が概ね均一に形成されていることが確認された。
<実施例9>
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル32.4μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、2.87であった。
エタノール5000μLに25質量%のアンモニア(NH3)水溶液1188μLを溶解させて溶液を得た。この溶液を50℃まで昇温した後、同温度で、実施例1で得られた積層物24.8mg及びオルトケイ酸テトラエチル32.4μLを攪拌下に添加して反応液とした。反応液に対して超音波処理を行いながら、50℃での反応液の攪拌を4時間継続した後、遠心分離機を用いて上澄みを取り除き、水による洗浄及び80℃での乾燥を順に行って、金属系粒子集合体層の上にSiO2からなる保護層が形成された積層物を得た。反応液における基材及び金属系粒子集合体層からなる積層物の体積VL2[cm3]に対するオルトケイ酸テトラエチルの体積VG[cm3]の比VG/VL2は、2.87であった。
実施例3と同様にしてSTEM断面画像を取得した。該画像より、110nm程度の厚みを有する保護層が概ね均一に形成されていることが確認された。
実施例4~6について、メッキ液における銀イオンの濃度、還元剤の種類、還元剤の濃度、還元剤の濃度の飽和濃度に対する比(百分率)、メッキ液への基材の浸漬時間、メッキ液の体積VL[cm3]に対する基材の体積VS[cm3]の比VS/VL、金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度を表2に示す。
実施例4~6で用いた基材の上記式から求められるXの値は、それぞれ、実施例4について101×10-7、実施例5について41×10-7、実施例6について110×10-7であった。
実施例4~6で用いた基材の上記式から求められるXの値は、それぞれ、実施例4について101×10-7、実施例5について41×10-7、実施例6について110×10-7であった。
図14~図18は、それぞれ、実施例5~9で得られた積層物のSEM画像である。SEM画像より、基材を被覆している金属系粒子集合体層を構成する銀粒子の上記定義に基づく平均粒径、平均粒子間距離を求めた。また、STEM断面画像(100000倍スケール)に基づき、銀粒子の上記定義に基づく平均高さを求めた。STEM断面画像の取得には、FEI社製の走査型透過電子顕微鏡「Helios G4 UX」を用いた。得られた平均粒径及び平均高さから銀粒子のアスペクト比を算出した。以上の結果を表2に示す。
(蛍光強度の増強効果についての評価)
実施例1で得られた積層物と同じ方法で、実施例4、6、7及び9の積層物について、蛍光強度の増強効果を評価した。その結果、実施例4、6、7及び9の積層物の蛍光強度1は、それぞれ、蛍光強度2の4.5倍、1.3倍、18倍、4.6倍であった。蛍光強度2とは、実施例1で得られた積層物についての評価と同じく、各実施例で用いた基材である粒子の表面に蛍光色素であるローダミンBを担持させてなる測定サンプル2から発せされる蛍光強度である。
実施例1で得られた積層物と同じ方法で、実施例4、6、7及び9の積層物について、蛍光強度の増強効果を評価した。その結果、実施例4、6、7及び9の積層物の蛍光強度1は、それぞれ、蛍光強度2の4.5倍、1.3倍、18倍、4.6倍であった。蛍光強度2とは、実施例1で得られた積層物についての評価と同じく、各実施例で用いた基材である粒子の表面に蛍光色素であるローダミンBを担持させてなる測定サンプル2から発せされる蛍光強度である。
1,2 積層物、10 基材、20 金属系粒子、30 保護層、50 槽、60 メッキ液、70 基板、71 窪み、80 捕捉部、90 被検出物質、91 標識。
Claims (15)
- 立体表面を有する基材と、
前記立体表面上に配置される層であって、互いに離間して配置される複数の金属系粒子を含む金属系粒子集合体層と、
を備える積層物の製造方法であって、
前記製造方法は、前記金属系粒子を構成する金属のカチオンを含むメッキ液に前記基材を浸漬した状態で前記カチオンを還元することによって前記金属系粒子集合体層を前記立体表面上に形成する工程を含み、
前記メッキ液の体積VL[cm3]に対する前記基材の体積VS[cm3]の比VS/VLが0.03以下である、製造方法。 - 前記積層物が備える金属系粒子集合体層において、前記複数の金属系粒子の平均粒径が5nm以上1600nm以下である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記積層物が備える金属系粒子集合体層において、前記複数の金属系粒子は、それぞれ、その隣り合う金属系粒子との平均距離が1nm以上150nm以下となるように配置されている、請求項1に記載の製造方法。
- 前記金属系粒子集合体層を形成する工程において、前記立体表面上への前記金属の堆積開始から28分経過時点での金属系粒子の平均高さ成長速度が6nm/分以下である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記基材が粒子である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記金属系粒子集合体層を形成する工程は、下記式(1)を満たす、請求項5に記載の製造方法。
10×10-7≦X≦600×10-7 (1)
[式(1)中、Xは、前記粒子が球状であるとき、下記式で表される。
(式中、aは前記メッキ液の前記カチオンの濃度(mol/L)、Vは前記メッキ液の体積(L)、Dは前記カチオンの還元によって生じる金属(0価)の原子量、Bは前記基材の粒子数(個)、Cは前記カチオンの還元によって生じる金属(0価)の比重(g/cm3)、Rは前記粒子の半径(cm)を表す。)
Xは、前記粒子が不定形であるとき、下記式で表される。
(式中、a、V、D及びCは前記と同じ意味を表す。Sは前記粒子の表面積の総和を表す。)] - 前記メッキ液は、前記カチオンを還元可能な還元剤をさらに含む、請求項1に記載の製造方法。
- 前記還元剤は、標準酸化還元電位が-0.5V以上である、請求項7に記載の製造方法。
- 前記還元剤がグルコースである、請求項7に記載の製造方法。
- 前記メッキ液は、錯化剤をさらに含む、請求項1に記載の製造方法。
- 前記錯化剤がアンモニア又はアミン系錯化剤である、請求項10に記載の製造方法。
- 前記金属系粒子集合体層を形成する工程の後に、前記金属系粒子集合体層上に絶縁性材料から構成される保護層を形成する工程をさらに含む、請求項1~11のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記保護層は、ゾルゲル法により形成される、請求項12に記載の製造方法。
- 前記絶縁性材料がSiO2である、請求項12に記載の製造方法。
- 前記保護層の厚みが300nm以下である、請求項12に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021123210 | 2021-07-28 | ||
JP2021123210 | 2021-07-28 | ||
JP2021209090 | 2021-12-23 | ||
JP2021209090 | 2021-12-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023020955A true JP2023020955A (ja) | 2023-02-09 |
Family
ID=85086793
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022113205A Pending JP2023020955A (ja) | 2021-07-28 | 2022-07-14 | 積層物の製造方法 |
JP2022113204A Pending JP2023020954A (ja) | 2021-07-28 | 2022-07-14 | 複合粒子及びその製造方法、並びにセンサ素子 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022113204A Pending JP2023020954A (ja) | 2021-07-28 | 2022-07-14 | 複合粒子及びその製造方法、並びにセンサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20240149337A1 (ja) |
JP (2) | JP2023020955A (ja) |
TW (2) | TW202307264A (ja) |
WO (2) | WO2023008279A1 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5151097B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2013-02-27 | 株式会社リコー | 複合金属ナノ粒子、複合金属ナノ粒子を含む多光子吸収反応材料と反応生成物、複合金属ナノ粒子を含む多光子吸収反応助剤 |
JP2008168396A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Fujifilm Corp | 微細構造体及びその製造方法、ラマン分光用デバイス、ラマン分光装置 |
WO2011096394A1 (ja) * | 2010-02-02 | 2011-08-11 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | アナライト検出プローブおよびこれを用いたアナライトの検出方法 |
JP5006459B1 (ja) * | 2011-05-17 | 2012-08-22 | 古河電気工業株式会社 | 標識用複合粒子 |
KR102331499B1 (ko) * | 2015-07-11 | 2021-12-01 | 닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤 | 수지-백금 복합체 및 그 이용 |
JPWO2019155924A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2020-12-03 | 三菱マテリアル株式会社 | 銀被覆樹脂粒子 |
-
2022
- 2022-07-14 JP JP2022113205A patent/JP2023020955A/ja active Pending
- 2022-07-14 JP JP2022113204A patent/JP2023020954A/ja active Pending
- 2022-07-20 WO PCT/JP2022/028199 patent/WO2023008279A1/ja active Application Filing
- 2022-07-20 US US18/279,660 patent/US20240149337A1/en active Pending
- 2022-07-20 US US18/281,498 patent/US20240151715A1/en active Pending
- 2022-07-20 WO PCT/JP2022/028198 patent/WO2023008278A1/ja active Application Filing
- 2022-07-25 TW TW111127741A patent/TW202307264A/zh unknown
- 2022-07-25 TW TW111127740A patent/TW202306898A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20240149337A1 (en) | 2024-05-09 |
TW202307264A (zh) | 2023-02-16 |
TW202306898A (zh) | 2023-02-16 |
US20240151715A1 (en) | 2024-05-09 |
JP2023020954A (ja) | 2023-02-09 |
WO2023008279A1 (ja) | 2023-02-02 |
WO2023008278A1 (ja) | 2023-02-02 |
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