JP2023016070A - Transportation heating device - Google Patents

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Shikio Hasegawa
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Abstract

To provide a transportation heating device capable of preventing generation of scrap metal and suppressing a variation in the in-plane temperature distribution of a substrate.SOLUTION: A transportation heating device comprises: a heating device which is constituted so that one or more heating furnaces are arranged and a hot blast is blown to an object to be heated by the heating furnace; and a transport conveyor for transporting a substrate to the heating device. The transport conveyor comprises: transporting chains comprising facing link plates, shafts or rollers provided between the link plates, and attachments for mounting the substrate; metal rails each of which has a U-shaped cross section in which an upper surface part, a lower surface part and a side surface part are continuously formed, and in each of which the transporting chain is arranged in a space between the upper surface part and the lower surface part; and a plurality of rod-like lower side resin guides which are made of heat-resistant and non-conductive resin, are inserted in grooves formed in the lower surface parts of the metal rails so as to extend in a transporting direction, and are brought into contact with lower surfaces of the shafts or the rollers.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、チェーンによって被加熱物を搬送するリフロー装置に対して適用される搬送加熱装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conveying/heating apparatus applied to a reflow apparatus that conveys an object to be heated by a chain.

搬送チェーンは、レールによって走行状態が規制される。例えば、搬送チェーンは、リフロー装置において、電子部品またはプリント基板を搬送するために使用されている。リフロー装置は、搬送チェーンによって被加熱物例えばプリント基板が供給されるリフロー炉を備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに対応する複数の加熱炉(炉体)が順に配置された構成とされている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。 The transport chain is regulated in its running state by rails. For example, transport chains are used to transport electronic components or printed circuit boards in reflow machines. A reflow apparatus includes a reflow oven to which an object to be heated, such as a printed circuit board, is supplied by a conveying chain. A reflow furnace is configured, for example, in which a plurality of heating furnaces (furnace bodies) corresponding to a plurality of zones are arranged in order along a transport path from an inlet to an outlet. The multiple zones have roles such as heating zones and cooling zones depending on their functions.

加熱ゾーンでは、基板に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだを溶融させてプリント基板の電気配線回路と電子部品の電極がはんだ付けされる。リフロー装置では、加熱時の温度を所望の温度プロファイルにしたがって制御することによって、所望のはんだ付けがなされる。このようなリフロー装置においては、搬送チェーンとガイドレールの摩擦によって、微小な金属くずが発生することを考慮して金属くずがプリント基板上に付着し、基板上でショートが発生することを未然に防ぐ必要がある。 In the heating zone, hot air is blown against the board to melt the solder and solder the electrical wiring circuit of the printed board and the electrodes of the electronic parts. In a reflow device, desired soldering is achieved by controlling the temperature during heating according to a desired temperature profile. In such a reflow machine, it is necessary to take into account the fact that fine metal scraps are generated due to the friction between the conveying chain and the guide rails, and prevent metal scraps from adhering to the printed circuit board and causing short circuits on the circuit board. must be prevented.

特許文献1には、ポリアミドイミド樹脂を材質とするチェーンレールをチェーンの下部に配置してチェーンを支持することが記載されている。この構成によって耐摩耗性、耐熱性、耐久性を向上できることが記載されている。 Patent Literature 1 describes that a chain rail made of polyamide-imide resin is arranged below the chain to support the chain. It is described that this configuration can improve wear resistance, heat resistance, and durability.

特開平11-79349号公報JP-A-11-79349

上述した特許文献1に記載の装置は、チェーンレール全体をポリアミドイミド樹脂の材質としている。しかしながら、リフロー装置の場合、複数の炉体を順番に配した構成とするので、チェーンレールが数m以上の長さを有するものとなり、樹脂製のチェーンレールでは、強度が不足してチェーンレールが撓んでしまう問題が生じる。 In the device described in Patent Document 1, the entire chain rail is made of polyamide-imide resin. However, in the case of a reflow device, since a plurality of furnace bodies are arranged in order, the chain rail has a length of several meters or more, and the chain rail made of resin lacks the strength and the chain rail does not have sufficient strength. There is a problem of warping.

したがって、本発明の目的は、かかる問題が生じないようにした搬送加熱装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a conveying and heating apparatus in which such problems do not occur.

本発明は、単一乃至複数の加熱炉が配列され、加熱炉によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、加熱装置に対して基板を搬入する搬送コンベアを備え、
搬送コンベアは、
対向するリンクプレートとリンクプレート間に設けられた軸又はローラーと基板を搭載するアタッチメントを備えた搬送チェーンと、
上面部、下面部及び側面部が連続して形成されたコ字状断面を有し、上面部及び下面部の間に搬送チェーンが配置される金属レールと、
耐熱性及び非導電性を有する樹脂からなり、金属レールの下面部に搬送方向に延長して形成された溝内に挿入され、軸又はローラーの下面と接する複数の棒状の下側樹脂ガイドとを備える
搬送加熱装置である。
The present invention comprises a heating device in which a single or a plurality of heating furnaces are arranged and configured to blow hot air onto an object to be heated by the heating furnaces, and a conveyer for carrying substrates into the heating device. ,
The transport conveyor is
a conveying chain comprising shafts or rollers provided between opposing link plates and attachments for mounting substrates;
a metal rail having a U-shaped cross section in which an upper surface portion, a lower surface portion, and a side surface portion are continuously formed, and a conveying chain is arranged between the upper surface portion and the lower surface portion;
A plurality of rod-shaped lower resin guides made of resin having heat resistance and non-conductivity, which are inserted into grooves formed on the lower surface of the metal rail to extend in the conveying direction and are in contact with the lower surface of the shaft or roller. It is a conveying heating device provided.

少なくとも一つの実施形態によれば、金属くずが発生することによる基板の不良を防止でき、また、基板の面内の温度分布のバラツキを抑えて良好にはんだ付けを行うことができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。 According to at least one embodiment, it is possible to prevent the substrate from being defective due to the generation of metal scraps, and it is possible to suppress variations in the temperature distribution in the surface of the substrate and perform good soldering. Note that the effects described here are not necessarily limited, and may be any of the effects described in the present disclosure. Also, the effects illustrated in the following description should not be construed as limiting the content of the present invention.

図1は、本発明を適用できるリフロー装置の一例の概略を示す略線図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an outline of an example of a reflow device to which the present invention can be applied. 図2は、リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing an example of a temperature profile during reflow. 図3は、搬送チェーンの説明に用いる正面図である。FIG. 3 is a front view used for explaining the conveying chain. 図4は、本発明の一実施形態におけるチェーン案内部を説明するための断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the chain guide portion in one embodiment of the present invention. 図5A、図5B及び図5Cは、本発明の一実施形態における上側樹脂ガイド及び下側樹脂ガイドの平面図、側面図及び断面図である。5A, 5B and 5C are a plan view, side view and cross-sectional view of an upper resin guide and a lower resin guide in one embodiment of the present invention. 図6A及び図6Bは、試験用基板を搬送チェーンによって搬送する場合の平面図及び断面図である。6A and 6B are a plan view and a cross-sectional view when the test substrate is transported by the transport chain. 図7は、従来のチェーン案内部を使用して測定した温度変化と、本発明の一実施形態によるチェーン案内部を使用して測定した温度変化を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing temperature changes measured using a conventional chain guide and temperature changes measured using a chain guide according to one embodiment of the present invention.

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and is subject to various technically preferable limitations. It shall not be limited to these embodiments unless there is a description to the effect that the

図1は、本発明を適用できる従来のリフロー装置101の概略的構成を示す。リフロー装置101は、リフロー炉102と、被加熱物例えば両面に表面実装用電子部品が搭載された基板Wをリフロー炉102内で通過させる搬送チェーン103と、搬送チェーン103の移動経路を規定する回転体(アイドラー、スプロケットなど)105a、105b、105c、105dと、外板106とを備える。なお、図1では、平行する2本の搬送チェーンの一方の搬送チェーン103のみが示されている。 FIG. 1 shows a schematic configuration of a conventional reflow device 101 to which the present invention can be applied. The reflow apparatus 101 includes a reflow furnace 102, a carrier chain 103 for passing an object to be heated, for example, a substrate W having surface-mounted electronic components mounted on both sides thereof, through the reflow furnace 102, and a rotating chain that defines the movement path of the carrier chain 103. It comprises bodies (idlers, sprockets, etc.) 105 a, 105 b, 105 c, 105 d and a skin 106 . Note that FIG. 1 shows only one conveying chain 103 of the two parallel conveying chains.

リフロー炉102は、基板Wを上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送チェーン103は、搬送方向に平行して配されている2本の搬送チェーンの一方である。例えば搬送チェーン103として、ローラチェーンが使用されている。外板106は、全体を覆うためのケースである。 The reflow furnace 102 is for heating the substrate W from above and below and cooling it after heating. The conveying chain 103 is one of two conveying chains arranged in parallel with the conveying direction. For example, a roller chain is used as the transport chain 103 . The outer plate 106 is a case for covering the whole.

基板Wは、搬入口107からリフロー炉102内に搬入された後、搬送チェーン103によって所定速度で矢印方向(図1に向かって左から右方向)へ搬送され、最終的に搬出口108から取り出される。図示しないが、搬入口107の前段には、基板Wを搬入するための基板搬入装置が設けられ、搬出口108の後段には、基板Wを外部へ送り出すための基板搬出装置が配置されている。 The substrate W is carried into the reflow furnace 102 from the carry-in port 107, then transported at a predetermined speed in the direction of the arrow (from left to right in FIG. 1) by the transport chain 103, and finally taken out from the carry-out port 108. be Although not shown, a substrate loading device for loading the substrate W is provided in front of the loading port 107, and a substrate unloading device for delivering the substrate W to the outside is arranged in the rear stage of the loading port 108. .

搬入口107から搬出口108に至る搬送経路に沿って、リフロー炉102が例えば9個のゾーンZ1からZ9に順次分割され、これらのゾーンZ1~Z9がインライン状に配列されている。搬入口107側から7個のゾーンZ1~Z7が加熱ゾーンであり、搬出口108側の2個のゾーンZ8およびZ9が冷却ゾーンである。冷却ゾーンZ8およびZ9に関連して強制冷却ユニット(図示しない)が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。複数のゾーンZ1~Z9がリフロー時の温度プロファイルにしたがって基板Wの温度を制御する。加熱ゾーンZ1~Z7のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部加熱ユニットおよび下部加熱ユニットを有する。 The reflow furnace 102 is sequentially divided into nine zones Z1 to Z9, for example, along the transfer path from the carry-in port 107 to the carry-out port 108, and these zones Z1 to Z9 are arranged inline. Seven zones Z1 to Z7 from the inlet 107 side are heating zones, and two zones Z8 and Z9 on the outlet 108 side are cooling zones. Forced cooling units (not shown) are provided in connection with cooling zones Z8 and Z9. Note that the number of zones is an example, and other numbers of zones may be provided. A plurality of zones Z1 to Z9 control the temperature of the substrate W according to the temperature profile during reflow. Each of the heating zones Z1-Z7 has an upper heating unit and a lower heating unit each including a blower.

上述した複数のゾーンZ1~Z9がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図2に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント配線板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部R1であり、次の区間がほぼ一定温度のプリヒート(予熱)部R2であり、次の区間がリフロー(本加熱)部R3であり、最後の区間が冷却部R4である。 The plurality of zones Z1 to Z9 described above control the temperature of the object to be heated according to the temperature profile during reflow. FIG. 2 shows an outline of an example of the temperature profile. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the surface temperature of an object to be heated, such as a printed wiring board on which electronic components are mounted. The first section is a temperature raising section R1 where the temperature rises by heating, the next section is a preheating (preheating) section R2 with a substantially constant temperature, the next section is a reflow (main heating) section R3, and the last section The section is the cooling section R4.

昇温部R1は、常温からプリヒート部R2(例えば150℃~170℃)まで基板を加熱する期間である。プリヒート部R2は、例えば等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント配線板の加熱ムラをなくすための期間である。リフロー部R3(例えばピーク温度で220℃~240℃)は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。リフロー部R3では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。リフロー部R3は、プリヒート部R2を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部R4は、急速にプリント配線板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。なお、鉛フリーはんだの場合では、リフロー部における温度は、より高温(例えば240℃~260℃)となる。 The temperature rising section R1 is a period during which the substrate is heated from room temperature to the preheating section R2 (for example, 150.degree. C. to 170.degree. C.). The preheating part R2 is a period for isothermal heating, for example, to activate the flux, remove oxide films on the surfaces of the electrodes and solder powder, and eliminate uneven heating of the printed wiring board. The reflow portion R3 (eg, 220° C. to 240° C. at peak temperature) is the period during which the solder melts and the joint is completed. In the reflow portion R3, it is necessary to raise the temperature to a temperature exceeding the melting temperature of the solder. Even after passing through the preheating portion R2, the reflow portion R3 has an uneven temperature rise, so heating to a temperature exceeding the melting temperature of the solder is required. The final cooling section R4 is a period during which the printed wiring board is rapidly cooled and the solder composition is formed. In the case of lead-free solder, the temperature in the reflow section is higher (for example, 240° C. to 260° C.).

図2において、曲線1は、鉛フリーはんだの温度プロファイルの一例を示す。Sn-Pb共晶はんだの場合の温度プロファイルの一例は、曲線2で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部R2及びリフロー部R3における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。 In FIG. 2, curve 1 shows an example of the temperature profile of lead-free solder. An example temperature profile for Sn--Pb eutectic solder is shown by curve 2. Since the melting point of lead-free solder is higher than that of eutectic solder, the set temperatures in the preheating section R2 and the reflow section R3 are higher than those of eutectic solder.

図1に示すリフロー装置では、図2における昇温部R1の温度制御を、主としてゾーンZ1及びZ2が受け持つ。プリヒート部R2の温度制御は、主としてゾーンZ3、Z4及びZ5が受け持つ。リフロー部R3の温度制御は、ゾーンZ6及びZ7が受け持つ。冷却部R4の温度制御は、ゾーンZ8及びゾーンZ9が受け持つ。 In the reflow apparatus shown in FIG. 1, the zones Z1 and Z2 mainly take charge of the temperature control of the temperature raising section R1 in FIG. Zones Z3, Z4 and Z5 are mainly responsible for temperature control of the preheating section R2. Zones Z6 and Z7 take charge of temperature control of the reflow section R3. Zones Z8 and Z9 take charge of temperature control of the cooling section R4.

一実施形態における搬送チェーン103の一例について説明する。図3は、搬送チェーン103を構成する単位を示している。図3において、31がピンであり、32a及び32bが内リンクプレートであり、33a及び33bが外リンクプレートであり、34がローラーであり、35がピン付リンクプレートである。ピン付リンクプレート35が基板保持ピン37を有する。ローラー34は、ピン31に対して取り付けられている。ローラー34平行に対向する2枚の内リンクプレート32a及び32b、並びに平行に対向する2枚の外リンクプレート33a及び33bによってピン31が支持されている。なお、ローラーを設けずに、ブッシュ、スリーブ等の軸を内リンクプレート32a及び32b間に有する搬送チェーンを使用してもよい。 An example of the carrier chain 103 in one embodiment will be described. FIG. 3 shows units that constitute the conveying chain 103 . In FIG. 3, 31 is a pin, 32a and 32b are inner link plates, 33a and 33b are outer link plates, 34 are rollers, and 35 is a link plate with pins. A pinned link plate 35 has substrate holding pins 37 . A roller 34 is attached to the pin 31 . The pin 31 is supported by two inner link plates 32a and 32b facing in parallel with the roller 34 and two outer link plates 33a and 33b facing in parallel. A conveying chain having shafts such as bushes or sleeves between the inner link plates 32a and 32b may be used without providing rollers.

ローラー34の外径が内リンクプレート32a,32b及び外リンクプレート33a,33bの幅より小とされている。図3の例では、内リンクプレート32a,32b及び外リンクプレート33a,33bの幅は、等しいものとされ、ピン付リンクプレート35の幅が内リンクプレート及び外リンクプレートの幅よりもやや大とされている。なお、内リンクプレート32a,外リンクプレート33a及びピン付リンクプレート35をアタッチメント付リンクプレート部36aと適宜称し、内リンクプレート32b及び外リンクプレート33bを単にリンクプレート部36bと適宜称することにする。なお、ピン以外のアタッチメントを有するようにしてもよい。 The outer diameter of the roller 34 is made smaller than the width of the inner link plates 32a, 32b and the outer link plates 33a, 33b. In the example of FIG. 3, the widths of the inner link plates 32a, 32b and the outer link plates 33a, 33b are the same, and the width of the pin-equipped link plate 35 is slightly larger than the widths of the inner link plates and the outer link plates. It is The inner link plate 32a, the outer link plate 33a, and the pin-equipped link plate 35 are arbitrarily referred to as an attachment-equipped link plate portion 36a, and the inner link plate 32b and the outer link plate 33b are arbitrarily referred to simply as the link plate portion 36b. In addition, you may make it have attachments other than a pin.

図1に示すリフロー装置101において、搬入口107から搬出口108に至る搬送経路に沿ってチェーン案内部14が設けられている。図4は、チェーン案内部14の断面を示す。例えばアルミ押し出し加工品の金属レール41は、上面部41a、下面部41b及び側面部41cが連続して形成されたコ字状断面を有する。上面部41a及び下面部41cの間の空間に搬送チェーン103が配置される。 In the reflow apparatus 101 shown in FIG. 1, a chain guide portion 14 is provided along the transport path from the carry-in port 107 to the carry-out port 108 . FIG. 4 shows a cross section of the chain guide portion 14 . For example, a metal rail 41 made of aluminum extrusion has a U-shaped cross section in which an upper surface portion 41a, a lower surface portion 41b, and a side surface portion 41c are continuously formed. A conveying chain 103 is arranged in the space between the upper surface portion 41a and the lower surface portion 41c.

金属レール41の上面部41aの内面に搬送方向に延長する溝42aが形成されている。溝42aの長さ方向に延びる開口の幅が溝の幅より小とされている。上面部41aと対向する下面部41bの内面に搬送方向に延長する溝42bが形成されている。溝42bの長さ方向に延びる開口の幅が溝の幅より小とされている。溝42a内に耐熱性及び非導電性の樹脂を材質とする上側樹脂ガイド43aが挿入される。また、溝42b内に耐熱性及び非導電性の樹脂を材質とする下側樹脂ガイド43bが挿入される。 A groove 42a extending in the conveying direction is formed in the inner surface of the upper surface portion 41a of the metal rail 41. As shown in FIG. The width of the opening extending in the longitudinal direction of the groove 42a is made smaller than the width of the groove. A groove 42b extending in the conveying direction is formed in the inner surface of the lower surface portion 41b facing the upper surface portion 41a. The width of the opening extending in the longitudinal direction of the groove 42b is made smaller than the width of the groove. An upper resin guide 43a made of heat-resistant and non-conductive resin is inserted into the groove 42a. A lower resin guide 43b made of heat-resistant and non-conductive resin is inserted into the groove 42b.

図5A、図5B及び図5Cは、上側樹脂ガイド43aの平面図、側面図及び断面図である。上側樹脂ガイド43aは、所定の長さ例えば250(mm)の棒状のものである。上側樹脂ガイド43aは、例えばポリアミドイミド樹脂の成型品である。ポリアミドイミド樹脂は、耐磨耗性、耐熱性、耐久性が優れた性質を有する。また、カーボンを含有せずに導電性を有しないものである。したがって、搬送チェーン103との摩擦によって生じた樹脂くずによって基板上でショートが発生するおそれがない。なお、材質としてポリイミド樹脂を使用してもよい。 5A, 5B and 5C are a plan view, a side view and a sectional view of the upper resin guide 43a. The upper resin guide 43a is rod-shaped with a predetermined length, for example, 250 (mm). The upper resin guide 43a is, for example, a molded product made of polyamide-imide resin. Polyamideimide resins have properties such as abrasion resistance, heat resistance, and durability. Moreover, it does not contain carbon and does not have conductivity. Therefore, there is no risk of short-circuiting on the substrate due to resin waste generated by friction with the conveying chain 103 . In addition, you may use a polyimide resin as a material.

上側樹脂ガイド43aは、板状の基部44aと基部44aより突出されたリブ45aを有する。基部44aの幅及び厚みは、金属レール41の上面部41aの溝42aに挿入可能な値とされ、リブ45aの高さは、溝42aの開口から外方に突出することが可能な値とされている。また、リブ45aの幅は、搬送チェーン103のアタッチメント付リンクプレート部36a及びリンクプレート部36bの対向間隔よりやや小さい値とされている。 The upper resin guide 43a has a plate-shaped base portion 44a and ribs 45a projecting from the base portion 44a. The width and thickness of the base portion 44a are set to a value that allows it to be inserted into the groove 42a of the upper surface portion 41a of the metal rail 41, and the height of the rib 45a is set to a value that allows it to protrude outward from the opening of the groove 42a. ing. The width of the rib 45a is slightly smaller than the distance between the link plate portion 36a and the link plate portion 36b of the transport chain 103 facing each other.

さらに、上側樹脂ガイド43aの両端が面取りされて溝43aに対して挿入することが容易とされている。基部44aの幅が例えば7(mm)とされ、リブ45aの幅が4(mm)、リブ45aの高さが5.25(mm)とされている。なお、上側樹脂ガイド43aの長さ、並びに基部44a及びリブ45aの寸法は、必要とされる強度、加工性を考慮した値の一例である。なお、下側樹脂ガイド43bも上側樹脂ガイド43aと同様の材質で、基部44b及びリブ45bを有する形状とされている。上述した長さの場合では、数十本の上側樹脂ガイド43a及び下側樹脂ガイド43bが使用される。このように、上側樹脂ガイド43a及び下側樹脂ガイド43bをそれぞれ分割していることによって、溝に対する挿入作業が容易とでき、さらに、温度変化による伸縮の影響を軽減することができる。 Furthermore, both ends of the upper resin guide 43a are chamfered to facilitate insertion into the groove 43a. The width of the base portion 44a is, for example, 7 (mm), the width of the rib 45a is 4 (mm), and the height of the rib 45a is 5.25 (mm). Note that the length of the upper resin guide 43a and the dimensions of the base portion 44a and ribs 45a are examples of values that take into account the required strength and workability. The lower resin guide 43b is also made of the same material as the upper resin guide 43a, and has a shape having a base portion 44b and ribs 45b. For the lengths described above, dozens of upper resin guides 43a and lower resin guides 43b are used. By dividing the upper resin guide 43a and the lower resin guide 43b in this way, the insertion work into the groove can be facilitated, and the influence of expansion and contraction due to temperature change can be reduced.

図4に示すように、上側樹脂ガイド43aが金属レール41の上面部41aの溝42a内に挿入され、下側樹脂ガイド43bが金属レール41の下面部41bの溝42b内に挿入される。下側樹脂ガイド43bのリブ45bが溝42bの開口から上方に突出される。リブ45bの上面と搬送チェーン103のローラー34と接して搬送チェーン103を下方から支持する機能を主に有する。上側樹脂ガイド43aのリブ45aが下方に突出してリブ45aの上面が搬送チェーン103のアタッチメント付リンクプレート部36a及びリンクプレート部36bの対向間隔内に位置する。上側樹脂ガイド43aのリブ45aは、ローラー34と接触する場合もあるが、搬送チェーン103の幅方向の位置を規制する機能を主に有する。 As shown in FIG. 4, the upper resin guide 43a is inserted into the groove 42a of the upper surface portion 41a of the metal rail 41, and the lower resin guide 43b is inserted into the groove 42b of the lower surface portion 41b of the metal rail 41. As shown in FIG. A rib 45b of the lower resin guide 43b protrudes upward from the opening of the groove 42b. It mainly has a function of supporting the conveying chain 103 from below by contacting the upper surface of the rib 45b and the roller 34 of the conveying chain 103 . The rib 45a of the upper resin guide 43a protrudes downward, and the upper surface of the rib 45a is located within the space between the link plate portion 36a with attachment and the link plate portion 36b of the transport chain 103 facing each other. The rib 45a of the upper resin guide 43a may come into contact with the roller 34, but mainly has the function of regulating the position of the transport chain 103 in the width direction.

上側樹脂ガイド43a及び下側樹脂ガイド43bの材質であるポリアミドイミド樹脂の熱伝導率は、例えば0.26(W/mK)であり、ステンレスの熱伝導率(15(W/mK))及びアルミの熱伝導率(225(W/mK))と比較して極めて小さい値である。このような上側樹脂ガイド43a及び下側樹脂ガイド43bを設けることによって、基板端面の熱放散を抑えることができる。 The thermal conductivity of polyamide-imide resin, which is the material of the upper resin guide 43a and the lower resin guide 43b, is, for example, 0.26 (W/mK), and the thermal conductivity of stainless steel (15 (W/mK)) and aluminum It is a very small value compared to the thermal conductivity (225 (W/mK)) of By providing such an upper resin guide 43a and a lower resin guide 43b, it is possible to suppress the heat dissipation of the substrate edge surface.

図6Aの平面図及び図6Bの断面図に示すように、平行して配置されている搬送チェーン103のそれぞれの基板保持ピン37上に端面近傍が載せられた状態で基板Wが搬送される。基板Wが所定のプロファイルにしたがって加熱される場合、基板W内の面内の温度分布にバラツキが存在しないことが望ましい。 As shown in the plan view of FIG. 6A and the cross-sectional view of FIG. 6B, the substrate W is transported with the vicinity of the end surface placed on each of the substrate holding pins 37 of the transport chains 103 arranged in parallel. When the substrate W is heated according to a predetermined profile, it is desirable that the in-plane temperature distribution within the substrate W does not vary.

基板保持ピン37を通じて基板Wの熱が搬送チェーン103に放散され、さらに、熱がチェーン案内部14を通じて放散される。従来のように、搬送チェーン103が金属レールに接している場合では、金属の熱伝導率が大きいために基板Wの熱が放散されやすく、基板Wの端面近傍の温度が中央付近の領域の温度に比して低下する。温度差が大きい場合には、端面近傍において半田付けが良好に行うことができないおそれがある。本発明の一実施形態では、熱伝導率が極めて小さい下側樹脂ガイド43bに対して搬送チェーン103が接するので、基板の端面近傍の温度の低下を抑えることができる。 The heat of the substrate W is radiated to the transport chain 103 through the substrate holding pins 37 and furthermore, the heat is radiated through the chain guide portion 14 . Conventionally, when the transport chain 103 is in contact with the metal rail, the heat of the substrate W is easily dissipated due to the high thermal conductivity of the metal. decreases compared to If the temperature difference is large, there is a possibility that good soldering cannot be performed in the vicinity of the end face. In one embodiment of the present invention, since the conveying chain 103 is in contact with the lower resin guide 43b having extremely low thermal conductivity, it is possible to suppress the temperature drop in the vicinity of the edge surface of the substrate.

図6A,図6B及び図7を参照して基板Wの熱放散に関する試験結果について説明する。図6A,図6Bにおける基板Wは、試験用の基板であり、基板W上の端面近傍の基板保持ピン37の直上位置に例えばステンレスの金属板47a及び47bが搭載され、基板Wの中央付近にステンレスの金属板48が搭載されている。金属板47a,47b及び48は、実装される電子部品の模造品である。基板W、金属板47a,47b,48のそれぞれの材質及び寸法の一例を下記に示す。 6A, 6B and 7, test results regarding heat dissipation of the substrate W will be described. The substrate W in FIGS. 6A and 6B is a substrate for testing, and metal plates 47a and 47b made of, for example, stainless steel are mounted at positions directly above the substrate holding pins 37 in the vicinity of the end surface of the substrate W, and near the center of the substrate W. A stainless metal plate 48 is mounted. The metal plates 47a, 47b and 48 are imitations of electronic components to be mounted. Examples of materials and dimensions of the substrate W and the metal plates 47a, 47b, and 48 are shown below.

基板W:SUS304、厚み1.5(mm)、幅×長さ=250×180(mm)
金属板47a,47b:SUS304,直径35(mm)、厚み2.0(mm)
金属板48:SUS304,直径30(mm)、厚み1.5(mm)
Substrate W: SUS304, thickness 1.5 (mm), width x length = 250 x 180 (mm)
Metal plates 47a, 47b: SUS304, diameter 35 (mm), thickness 2.0 (mm)
Metal plate 48: SUS304, diameter 30 (mm), thickness 1.5 (mm)

金属板47a,47bと金属板48の体積を異ならせているのは、端面近傍の熱放散と中央付近の領域の熱放散の差を明確にするためである。このような試験用基板をリフロー装置に投入して各金属板の温度変化を温度検出器例えば熱電対によって測定した結果が図7のグラフである。図7の横軸が時間であり、縦軸が測定温度である。 The reason why the metal plates 47a and 47b and the metal plate 48 have different volumes is to clarify the difference between the heat dissipation in the vicinity of the end faces and the heat dissipation in the region near the center. The graph of FIG. 7 shows the result of measuring the temperature change of each metal plate by putting such a test substrate into a reflow apparatus and measuring it with a temperature detector such as a thermocouple. The horizontal axis of FIG. 7 is time, and the vertical axis is the measured temperature.

図7において、曲線51が従来のリフロー装置の場合の金属板48の測定結果を示し、曲線52a及び52bが従来のリフロー装置の場合の金属板47a及び47bの測定結果を示す。従来のリフロー装置とは、搬送チェーン103が金属のレールによって支持、案内される構成のものである。図7において、曲線53が本発明の一実施形態によるリフロー装置の場合の金属板48の測定結果を示し、曲線54a及び54bが本発明の一実施形態によるリフロー装置の場合の金属板47a及び47bの測定結果を示す。本発明の一実施形態によるリフロー装置とは、上述したように、搬送チェーン103が上側樹脂ガイド43a及び下側樹脂ガイド43bによって支持、案内される構成のものである。なお、測定結果を見やすいものとするために、従来の温度変化のグラフと本発明の一実施形態の温度変化のグラフとの間で時間軸を意図的にシフトしている。 In FIG. 7, curve 51 shows the measurement results of metal plate 48 in the case of the conventional reflow device, and curves 52a and 52b show the measurement results of metal plates 47a and 47b in the case of the conventional reflow device. The conventional reflow device has a structure in which the conveying chain 103 is supported and guided by metal rails. In FIG. 7, curve 53 shows the measurement results of metal plate 48 in the case of the reflow apparatus according to one embodiment of the present invention, and curves 54a and 54b show the measurement results of metal plates 47a and 47b in the case of the reflow apparatus according to one embodiment of the present invention. shows the measurement results of As described above, the reflow device according to one embodiment of the present invention has a structure in which the conveying chain 103 is supported and guided by the upper resin guide 43a and the lower resin guide 43b. It should be noted that the time axis is intentionally shifted between the conventional temperature change graph and the temperature change graph of the embodiment of the present invention in order to make the measurement results easier to see.

図7のグラフにおいて、中央位置の金属板48が他の金属板47a,47bに比較して熱容量が小さいので、曲線51及び曲線53が示すように、温度が最も高くなる。金属板47a,47bの熱容量は、等しいが、基板の幅を調節するために、コンベアレールの一方(炉体の搬送幅方向外側)は固定され、他方(炉体の搬送幅方向中心側)は移動可能とされていることから、搬送経路の炉体中心側のコンベアレール側に近い金属板47bの方が金属板47aより多く熱が与えられることから、金属板47bの温度変化(曲線52b及び54b)が金属板47aの温度変化(曲線52a及び54a)に比して高い温度となっている。 In the graph of FIG. 7, the central metal plate 48 has a smaller heat capacity than the other metal plates 47a and 47b, so the temperature is the highest as indicated by curves 51 and 53. FIG. The metal plates 47a and 47b have the same heat capacity, but in order to adjust the width of the substrate, one of the conveyor rails (the outer side in the conveying width direction of the furnace body) is fixed, and the other (the center side in the conveying width direction of the furnace body) is fixed. Since the metal plate 47b is movable, the metal plate 47b closer to the conveyor rail side on the center side of the furnace body in the conveying path is given more heat than the metal plate 47a. 54b) has a higher temperature than the temperature change of the metal plate 47a (curves 52a and 54a).

従来のリフロー装置では、中央付近の領域の金属板48の温度変化(曲線51)のピーク温度と、端面近傍の金属板47aの温度変化(曲線52a)のピーク温度及び金属板47bの温度変化(曲線52b)のピーク温度の温度差ΔT1が16.5℃であった。一方、本発明の一実施形態のリフロー装置では、中央付近の領域の金属板48の温度変化(曲線53)のピーク温度と、端面近傍の金属板47aの温度変化(曲線54a)のピーク温度及び金属板47bの温度変化(曲線54b)のピーク温度の温度差ΔT2が11.4℃であった。 In the conventional reflow apparatus, the peak temperature of the temperature change (curve 51) of the metal plate 48 near the center, the peak temperature of the temperature change (curve 52a) of the metal plate 47a near the end face, and the temperature change of the metal plate 47b ( The temperature difference ΔT1 of the peak temperature of curve 52b) was 16.5°C. On the other hand, in the reflow apparatus of one embodiment of the present invention, the peak temperature of the temperature change (curve 53) of the metal plate 48 in the region near the center, the peak temperature of the temperature change (curve 54a) of the metal plate 47a near the end surface, and The temperature difference ΔT2 of the peak temperature of the temperature change (curve 54b) of the metal plate 47b was 11.4°C.

中央付近の領域の金属板48の温度変化のピーク値は、従来のリフロー装置と本発明の一実施形態によるリフロー装置の間で等しいので、本発明の一実施形態のリフロー装置は、両端近傍の領域の温度低下が従来のリフロー装置に比して小さいものとできる。したがって、基板の面内の温度バラツキを減少でき、リフロー装置によるはんだ付けの不良が発生するおそれを少なくすることができる。 Since the peak value of the temperature change of the metal plate 48 in the region near the center is the same between the conventional reflow apparatus and the reflow apparatus according to one embodiment of the present invention, the reflow apparatus according to one embodiment of the present invention can The temperature drop in the area can be made smaller than in the conventional reflow equipment. Therefore, the in-plane temperature variation of the substrate can be reduced, and the risk of defective soldering by the reflow device can be reduced.

以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば金属レールの材質は、アルミに限らずステンレスであってもよい。また、本発明は、プリント基板に限らず、フレキシブル基板、リジッド基板とフレキシブル基板とを貼り合わせた基板、これらを組み合わせたリジッドフレキ基板のリフローに対しても適用できる。また、加熱炉が1段(1ゾーン)のリフロー装置に対して本発明を適用できる。さらに、リフロー装置に限らず、樹脂の硬化のための加熱装置等に対しても適用できる。また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。 Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible based on the technical idea of the present invention. For example, the material of the metal rail is not limited to aluminum and may be stainless steel. In addition, the present invention is applicable not only to printed circuit boards, but also to flexible substrates, substrates in which a rigid substrate and a flexible substrate are bonded together, and rigid-flex substrates in which these are combined. Further, the present invention can be applied to a reflow apparatus having a one-stage (one-zone) heating furnace. Furthermore, the present invention can be applied not only to a reflow device but also to a heating device or the like for curing resin. In addition, the configurations, methods, steps, shapes, materials, numerical values, etc. given in the above-described embodiments are merely examples, and different configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, etc. may be used as necessary. may Also, the configurations, methods, steps, shapes, materials, numerical values, etc. of the above-described embodiments can be combined with each other without departing from the gist of the present invention.

101・・・リフロー装置、103・・・搬送チェーン、W・・・基板、
14・・・チェーン案内部、36a・・・アタッチメント付リンクプレート部、
36b・・・リンクプレート部、37・・・基板保持ピン、41・・・金属レール、
41a・・・上面部、41b・・・下面部、41c・・・側面部、
42a,42b・・・溝、43a・・・上側樹脂ガイド、43b・・・下側樹脂ガイド、44a・・・基部、45a・・・リブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101... Reflow apparatus, 103... Conveyance chain, W... Substrate,
14... Chain guide portion, 36a... Link plate portion with attachment,
36b... link plate portion, 37... substrate holding pin, 41... metal rail,
41a ... upper surface portion, 41b ... lower surface portion, 41c ... side surface portion,
42a, 42b... groove, 43a... upper resin guide, 43b... lower resin guide, 44a... base, 45a... rib

Claims (4)

単一乃至複数の加熱炉が配列され、前記加熱炉によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、前記加熱装置に対して基板を搬入する搬送コンベアを備え、
前記搬送コンベアは、
対向するリンクプレートと前記リンクプレート間に設けられた軸又はローラーと基板を搭載するアタッチメントを備えた搬送チェーンと、
上面部、下面部及び側面部が連続して形成されたコ字状断面を有し、前記上面部及び前記下面部の間に搬送チェーンが配置される金属レールと、
耐熱性及び非導電性の樹脂からなり、前記金属レールの前記下面部に搬送方向に延長して形成された溝内に挿入され、前記軸又はローラーの下面と接する複数の棒状の下側樹脂ガイドとを備える
搬送加熱装置。
A heating device in which a single or a plurality of heating furnaces are arranged, and is configured to blow hot air onto an object to be heated by the heating furnace, and a conveyor for carrying the substrate to the heating device,
The transport conveyor is
a conveying chain comprising link plates facing each other, shafts or rollers provided between the link plates, and attachments for mounting substrates;
a metal rail having a U-shaped cross section in which an upper surface portion, a lower surface portion, and a side surface portion are continuously formed, and a conveying chain is arranged between the upper surface portion and the lower surface portion;
A plurality of rod-shaped lower resin guides made of heat-resistant and non-conductive resin, inserted into grooves formed in the lower surface of the metal rail to extend in the conveying direction, and in contact with the lower surface of the shaft or roller. and a conveying heating device.
耐熱性及び非導電性を有する樹脂からなり、前記金属レールの前記上面部に搬送方向に延長して形成された溝内に挿入され、前記軸又はローラーの上面と対向する複数の棒状の上側樹脂ガイドを備える請求項1に記載の搬送加熱装置。 A plurality of rod-shaped upper resins made of resin having heat resistance and non-conductivity, which are inserted into grooves formed in the upper surface of the metal rail so as to extend in the conveying direction and face the upper surface of the shaft or roller. The conveying and heating device according to claim 1, comprising a guide. 前記下側樹脂ガイド及び前記上側樹脂ガイドのそれぞれが前記溝内に挿入される基部と、前記基部より突出され、前記リンクプレートの間隔より小さい幅のリブを有する請求項2に記載の搬送加熱装置。 3. The conveying and heating device according to claim 2, wherein each of said lower resin guide and said upper resin guide has a base inserted into said groove, and a rib projecting from said base and having a width smaller than the interval between said link plates. . 前記下側樹脂ガイド及び前記上側樹脂ガイドのそれぞれの材質がポリアミドイミド樹脂である請求項2及び請求項3に記載の搬送加熱装置。 4. The conveying and heating device according to claim 2, wherein the material of each of said lower resin guide and said upper resin guide is polyamide-imide resin.
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