JP2023015806A - 超音波検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】超音波検査装置において、送信部と受信部との間における被検体の搬送の態様に関わらず、受信部に到達する回折波を低減できるようにする。
【解決手段】超音波検査装置１は、超音波Ｗを送信する送信部１０と、送信部１０に対して間隔をあけて位置し、超音波Ｗを受信する受信部２０と、超音波Ｗを減衰させる減衰部材３０と、を備える。減衰部材３０は、送信部１０と受信部２０との間に位置し、送信部１０と受信部２０との間を通過する被検体１００の縁部１０３に接触する接触部３１を有する。接触部３１は、送信部１０及び受信部２０の配列方向の任意の位置において送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように形成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、超音波検査装置に関する。

従来、被検体に向けて超音波を送信する送信部、及び、被検体を透過した超音波を受信する受信部を有し、受信部に対する超音波の受信状況を解析することで、被検体内部の欠陥を検出する超音波検査装置がある。このような超音波検査装置において、超音波を送信部から被検体のうち縁に近い部分（被検体の縁部）に向けて送信すると、超音波が被検体の縁の外側に回り込んで受信部に到達する回折波が生じることがある。受信部が被検体を透過しない回折波を受信すると、被検体内部の欠陥を正しく検出できないことがある。

これに対し、特許文献１には、回折波を遮蔽するための遮蔽部材（規制部）を、被検体（検査対象物）と送信部との間や、被検体と受信部との間に設けた超音波検査装置が開示されている。特許文献１の超音波検査装置では、遮蔽部材により、受信部に到達する回折波の低減を図っている。

特開２０２０－０２７０１１号公報

ところで、このような超音波検査装置では、送信部と受信部との間において、送信部及び受信部が並ぶ方向（配列方向）に対して交差する方向に被検体を搬送しながら、被検体内部の欠陥を検出することがある。また、被検体の搬送の方法によっては、送信部と受信部との間を通る被検体の搬送の軌跡が、直線状ではなく曲線状となったり、送信部及び受信部の配列方向に対して直交せずに傾斜したりする。このため、被検体が送信部と受信部との間を通過する際に、送信部及び受信部の配列方向における被検体の位置が変化してしまう。このように被検体の位置が変化すると、特許文献１の遮蔽部材を設けても、送信部及び受信部の配列方向における遮蔽部材と被検体との相対的な位置が変化してしまうため、回折波が受信部に届きやすくなってしまう。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、送信部と受信部との間における被検体の搬送の態様に関わらず、受信部に到達する回折波を低減できる超音波検査装置を提供することを目的とする。

本発明の第一の態様は、超音波を送信する送信部と、前記送信部に対して間隔をあけて位置し、前記超音波を受信する受信部と、前記超音波を減衰させる減衰部材と、を備え、前記減衰部材は、前記送信部と前記受信部との間に位置し、前記送信部と前記受信部との間を通過する被検体の縁部に接触する接触部を有し、前記接触部は、前記送信部及び前記受信部の配列方向の任意の位置において前記送信部と前記受信部との間を通る前記被検体の縁部を包み込むように形成されている超音波検査装置である。

本発明によれば、送信部と受信部との間における被検体の搬送の態様に関わらず、受信部に到達する回折波を低減することができる。

第一実施形態に係る超音波検査装置の要部を模式的に示す正面図である。 図１のII－II矢視断面図である。 図１，２の減衰部材における毛のピッチを示す図である。 送信部と受信部との間を通る被検体の搬送の軌跡の一例を示す図である。 送信部と受信部との間を通る被検体の搬送の軌跡の他の例を示す図である。 第二実施形態に係る超音波検査装置の要部を模式的に示す斜視図である。 第三実施形態に係る超音波検査装置の要部を模式的に示す正面図である。 第四実施形態に係る超音波検査装置の要部を模式的に示す正面図である。

〔第一実施形態〕
以下、図１～５を参照して本発明の第一実施形態について説明する。
図１，２に示すように、本実施形態の超音波検査装置１は、超音波Ｗを用いて被検体１００における欠陥の検査を行う。本実施形態の被検体１００は、二つの部材１０１を重ねて接合したものであり、例えば包装容器などを構成する。被検体１００における欠陥は、例えば接合された二つの部材１０１の剥離部分である。

超音波検査装置１は、送信部１０と、受信部２０と、減衰部材３０と、を備える。送信部１０及び受信部２０は、互いに間隔をあけて位置する。送信部１０及び受信部２０は、ベース部５に固定される。これにより、送信部１０と受信部２０との間隔が保持される。
送信部１０は、受信部２０に向けて超音波Ｗを送信する。超音波Ｗは、送信部１０の送信面１０ａから送信される。本実施形態の送信面１０ａは平坦面である。このため、送信部１０の送信面１０ａから送信された超音波Ｗは、収束することなく、被検体１００に向けて伝播する。受信部２０は、送信部１０に対して間隔をあけて位置し、送信部１０から送信された超音波Ｗを受信する。受信部２０は、送信部１０の送信面１０ａに対向し、超音波Ｗを受信する受信面２０ａを有する。本実施形態の受信面２０ａは、平坦面である。

図面では、送信部１０及び受信部２０の配列方向をＸ軸方向で示している。Ｘ軸正方向は、超音波Ｗの主な送信方向を示している。また、送信部１０及び受信部２０の配列方向に直交し、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る主な方向をＹ軸方向で示している。また、これらＸ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向で示している。

被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際、被検体１００を構成する二つの部材１０１は主に送信部１０及び受信部２０の配列方向（Ｘ軸方向）に並ぶ。送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００は、Ｚ軸正方向に向けて延びている。以下の説明では、被検体１００の延長方向（Ｚ軸正方向）の先端部分を、被検体１００の縁部１０３と呼ぶ。

減衰部材３０は、送信部１０から送信された超音波Ｗを減衰させて受信部２０に到達させないようにするための部材である。減衰部材３０は、送信部１０と受信部２０との間に位置する接触部３１を有する。接触部３１は、送信部１０と受信部２０との間を通過する被検体１００の縁部１０３に接触する。接触部３１は、送信部１０及び受信部２０の配列方向の任意の位置において送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように形成されている。本実施形態の接触部３１は、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３が接触部３１の内部に進入するように形成されている。以下、本実施形態の減衰部材３０について、具体的に説明する。

本実施形態の減衰部材３０は、ベース３３と、ベース３３から延びて接触部３１を構成する多数の毛３４と、を備えるブラシである。本実施形態において、減衰部材３０のベース３３は、送信部１０及び受信部２０を固定したベース部５と一体に形成されている。ベース３３は、例えばベース部５と別個に形成されてもよい。多数の毛３４は、ナイロン樹脂等からなり、弾性的に撓み変形可能に形成されている。多数の毛３４は、ベース３３のうち送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域側に向く面３３ａ（以下、ベース面３３ａと呼ぶ）から、当該領域に向けてＸ軸方向に交差する方向に延びている。

ベース面３３ａは、送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域の外側に位置する。多数の毛３４は、ベース面３３ａから主にＺ軸負方向（すなわち被検体１００の延長方向と逆向きの方向）に延び、送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域に入り込んでいる。Ｚ軸方向における多数の毛３４の長さは、Ｚ軸方向における送信面１０ａ及び受信面２０ａの寸法よりも十分に小さい。このため、多数の毛３４は、送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域のうち、Ｚ軸方向におけるベース面３３ａ側の領域にのみ配置される。
本実施形態において、図３に示す多数の毛３４のピッチＰは、送信部１０から送信される超音波Ｗの波長以下となっている。

減衰部材３０の接触部３１は、例えば図２，４，５に示すように、Ｙ軸方向において送信部１０及び受信部２０の両端から外側に張り出していてよい。

以上のように構成される本実施形態の超音波検査装置１では、図１，２に示すように、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を主にＹ軸正方向に通るように搬送される。この際、送信部１０から送信されて被検体１００を透過した超音波Ｗ１（すなわち透過波）を、受信部２０において受信して解析することで、被検体１００における欠陥を検査することができる。

被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、被検体１００の縁部１０３が接触部３１の内部に進入することで、被検体１００の縁部１０３が接触部３１によって包み込まれる。具体的には、被検体１００の縁部１０３が多数の毛３４の間に進入する。このとき、被検体１００に接触した毛３４は、被検体１００に押されて弾性的に撓み変形する。すなわち、被検体１００に接触した毛３４は、これらの毛３４に外力が作用していない基準状態から変形する。一方、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間から抜け出した後には、多数の毛３４が弾性復帰して基準状態に戻る。

以上説明したように、第一実施形態の超音波検査装置１によれば、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、被検体１００の縁部１０３が送信部１０と受信部２０との間に設けられた減衰部材３０の接触部３１によって包み込まれる。このため、図１に示すように、外側を回り込もうとする超音波Ｗ２（すなわち回折波）を減衰部材３０において減衰させて、受信部２０に到達することを抑制できる。

また、第一実施形態の超音波検査装置１では、減衰部材３０の接触部３１は、送信部１０及び受信部２０の配列方向の任意の位置において送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように形成されている。具体的に、接触部３１は、被検体１００の縁部１０３が接触部３１の内部に進入するように形成されていることで、送信部１０及び受信部２０の配列方向の任意の位置において被検体１００の縁部１０３を包み込むことができる。このため、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通過する際に、送信部１０及び受信部２０の配列方向における被検体１００の位置が変化しても、被検体１００の縁部１０３を減衰部材３０の接触部３１によって包み込むことができる。したがって、送信部１０と受信部２０との間における被検体１００の搬送の態様に関わらず、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

ここで、送信部１０と受信部２０との間における被検体１００の搬送の態様の例について、図４，５を参照して説明する。
被検体１００は、例えば図４に示すように、Ｚ軸方向から見て、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の搬送の軌跡Ｔ１が円弧状となるように搬送されることがある。例えば、被検体１００がＺ軸方向を中心軸として回転する搬送装置（ロータリー搬送装置）によって搬送される場合に、被検体１００の搬送の軌跡Ｔ１が図４に示したような円弧状となることがある。また、被検体１００は、例えば図５に示すように、Ｚ軸方向から見て、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の搬送の軌跡Ｔ２がＹ軸方向に対して傾斜するように搬送されることがある。送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の搬送の軌跡Ｔ１，Ｔ２が、円弧状であったり、Ｙ軸方向に対して傾斜したりする場合には、被検体１００が通過する過程において、送信部１０及び受信部２０の配列方向における被検体１００の位置が変化する。

また、図５に例示するように、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の搬送の軌跡Ｔ３がＹ軸方向に平行する場合であっても、被検体１００を搬送する搬送装置の精度が低い場合には、送信部１０及び受信部２０の配列方向における被検体１００の通過位置にバラツキが生じることもある。
本実施形態の超音波検査装置１では、上記した様々な被検体１００の搬送の態様であっても、被検体１００の縁部１０３を減衰部材３０の接触部３１によって包み込むことができるため、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

また、第一実施形態の超音波検査装置１では、減衰部材３０の接触部３１が、多数の毛３４によって構成されている。そして、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３は、送信部１０及び受信部２０の配列方向における任意の位置において多数の毛３４の間に進入することができる。これにより、送信部１０及び受信部２０の配列方向における被検体１００の位置に関わらず、被検体１００の縁部１０３を確実に接触部３１の内部に進入させることができる。すなわち、接触部３１は被検体１００の縁部１０３を確実に包み込むことができる。
また、接触部３１を構成する多数の毛３４によって、被検体１００の縁部１０３の外側を回り込もうとする超音波Ｗ２を散乱させることができる。したがって、当該超音波Ｗ２を減衰させて、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

また、第一実施形態の超音波検査装置１では、多数の毛３４のピッチＰが超音波Ｗの波長以下である。これにより、多数の毛３４の間に進入した被検体１００の縁部１０３の外側を回り込もうとする超音波Ｗ２を、多数の毛３４によってより確実に散乱させることができる。したがって、当該超音波Ｗ２をより効果的に減衰させて、受信部２０に到達する回折波をさらに低減することができる。

〔第二実施形態〕
次に、図６を参照して本発明の第二実施形態について説明する。第二実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。

図６に示すように、第二実施形態の超音波検査装置１Ｄは、第一実施形態と同様に、送信部１０と、受信部２０と、減衰部材３０Ｄと、を備える。本実施形態の減衰部材３０Ｄは、第一実施形態と同様に、送信部１０から送信された超音波Ｗ（図１参照）を減衰させて受信部２０に到達させないようにするための部材である。また、減衰部材３０Ｄは、第一実施形態と同様に、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３が内部に進入するように形成された接触部３１Ｄを有する。

ただし、本実施形態の減衰部材３０Ｄは、ベース３３と、ベース３３から延びて接触部３１Ｄを構成する複数のシート部材３５Ｄを有する。シート部材３５Ｄは、例えば布やフィルムなどのように可撓性を有するシート状の部材である。複数のシート部材３５Ｄは、ベース３３のベース面３３ａから送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域に向けてＺ軸負方向に延びる。具体的に、本実施形態の超音波検査装置１Ｄは、ベース３３のベース面３３ａが下方に向くように配置される。これにより、複数のシート部材３５Ｄは、自重によってベース面３３ａから下方（Ｚ軸負方向）に延びるように吊り下げられている。これにより、複数のシート部材３５Ｄが送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域に入り込んでいる。
図６に例示する構成において、複数のシート部材３５Ｄは、それぞれＹ軸方向に延びるようにベース３３に取り付けられる。また、複数のシート部材３５Ｄは、Ｘ軸方向に間隔をあけて配列されている。

各シート部材３５Ｄには、スリット３５１Ｄが形成されている。スリット３５１Ｄは、各シート部材３５Ｄの延長方向（Ｚ軸負方向）の先端部分に形成されており、シート部材３５Ｄの先端部分を複数に分割する。これにより、各シート部材３５Ｄの複数の先端部分が互いに独立して動いたり撓み変形したりすることができる。
図６に例示する構成では、各シート部材３５Ｄに複数のスリット３５１Ｄが形成されている。これにより、スリット３５１Ｄによって互いに独立して動くことが可能な同一のシート部材３５Ｄの複数の先端部分が、Ｙ軸方向に並んでいる。

本実施形態の超音波検査装置１Ｄでは、第一実施形態と同様に、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を主にＹ軸正方向に通るように搬送される際に、送信部１０から送信された超音波Ｗが被検体１００を透過した上で受信部２０において受信することで、被検体１００における欠陥を検査することができる。

被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、被検体１００の縁部１０３が接触部３１Ｄの内部に進入することで、被検体１００の縁部１０３が接触部３１Ｄによって包み込まれる。具体的には、被検体１００の縁部１０３が複数のシート部材３５Ｄの間や、各シート部材３５Ｄの隣り合う先端部分の間に進入する。このとき、被検体１００に接触したシート部材３５Ｄ（特に先端部分）は、例えば被検体１００に押されて撓み変形する。すなわち、被検体１００に接触したシート部材３５Ｄは、当該シート部材３５Ｄに外力が作用していない基準状態から変形する。一方、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間から抜け出した後には、シート部材３５Ｄが自重によって基準状態に戻る。

以上説明したように、第二実施形態の超音波検査装置１Ｄによれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、第二実施形態の超音波検査装置１Ｄでは、減衰部材３０Ｄの接触部３１Ｄが、ベース３３から吊り下げられた複数のシート部材３５Ｄによって構成されている。また、複数のシート部材３５Ｄは送信部１０及び受信部２０の配列方向に間隔をあけて並んでいる。これにより、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３は、送信部１０及び受信部２０の配列方向における任意の位置において複数のシート部材３５Ｄの間に進入することができる。このため、送信部１０及び受信部２０の配列方向における被検体１００の位置に関わらず、被検体１００の縁部１０３を確実に接触部３１Ｄの内部に進入させることができる。すなわち、接触部３１Ｄは被検体１００の縁部１０３を確実に包み込むことができる。
また、接触部３１Ｄを構成する複数のシート部材３５Ｄによって、被検体１００の縁部１０３の外側を回り込もうとする超音波Ｗ２（図１参照）を反射させたり散乱させたりすることができる。したがって、当該超音波Ｗを減衰させて、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

第二実施形態において、複数のシート部材３５Ｄは、例えばそれぞれＸ軸方向に延びるようにベース３３に取り付けられ、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置されてもよい。

〔第三実施形態〕
次に、図７を参照して本発明の第三実施形態について説明する。第三実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。

図７に示すように、第二実施形態の超音波検査装置１Ｅは、第一実施形態と同様に、送信部１０と、受信部２０と、減衰部材３０Ｅと、を備える。本実施形態の減衰部材３０Ｅは、第一実施形態と同様に、送信部１０から送信された超音波Ｗ（図１参照）を減衰させて受信部２０に到達させないようにするための部材である。また、減衰部材３０Ｅは、第一実施形態と同様に、送信部１０及び受信部２０の配列方向（Ｘ軸方向）の任意の位置において送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように形成された接触部３１Ｅを有する。

ただし、本実施形態の接触部３１Ｅは、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように基準状態から変形し、被検体１００の縁部１０３が送信部１０と受信部２０との間から抜け出した後に基準状態に復帰するように形成されている。接触部３１Ｅの基準状態は、接触部３１Ｅに外力が作用していない状態を意味する。以下、本実施形態の減衰部材３０Ｅについて、具体的に説明する。

本実施形態の減衰部材３０Ｅは、ベース３３と、ベース３３に取り付けられて接触部３１Ｅを構成するシート部材３５Ｅを有する。シート部材３５Ｅは、例えば布やフィルムなどのように可撓性を有するシート状の部材である。シート部材３５Ｅの両端３５Ｅ１は、ベース３３のベース面３３ａに固定されている。図７においては、シート部材３５Ｅの両端３５Ｅ１がＸ軸方向に間隔をあけて並んでいる。ベース面３３ａに固定されたシート部材３５Ｅの両端３５Ｅ１の間隔は、Ｘ軸方向におけるシート部材３５Ｅの長さよりも小さい。このため、シート部材３５Ｅの両端３５Ｅ１の間の部位３５Ｅ２（以下、中間部位３５Ｅ２と呼ぶ）は、弛んだ状態となる。ここで、本実施形態の超音波検査装置１Ｅは、第二実施形態と同様に、ベース３３のベース面３３ａが下方（Ｚ軸負方向）に向くように配置される。これにより、シート部材３５Ｅの中間部位３５Ｅ２は、自重によってベース面３３ａから下方に垂れ下がった状態でＸ軸方向に延び、送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域に入り込んでいる。

本実施形態の超音波検査装置１Ｅでは、第一実施形態と同様に、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を主にＹ軸正方向に通るように搬送される際に、送信部１０から送信された超音波Ｗが被検体１００を透過した上で受信部２０において受信することで、被検体１００における欠陥を検査することができる。

被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、接触部３１Ｅが基準状態から変形することで、被検体１００の縁部１０３が接触部３１Ｅによって包み込まれる。具体的に、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、被検体１００の縁部１０３が弛んでいるシート部材３５Ｅの中間部位３５Ｅ２の一部を上方（Ｚ軸正方向）に押し上げることで、当該中間部位３５Ｅ２の一部が基準状態から変形する。中間部位３５Ｅ２の一部が変形した状態では、中間部位３５Ｅ２のうち被検体１００の縁部１０３の周囲の部分が、自重によって被検体１００の縁部１０３を囲むように被検体１００の上端から下方（Ｚ軸負方向）に垂れ下がる。これにより、被検体１００の縁部１０３がシート部材３５Ｅによって包み込まれる。一方、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間から抜け出した後（すなわち中間部位３５Ｅ２から離れた後）には、押し上げられていた中間部位３５Ｅ２の一部が自重によって下方に下がることで基準状態に復帰する。

以上説明したように、第三実施形態の超音波検査装置１Ｅによれば、減衰部材３０Ｅの接触部３１Ｅが、送信部１０及び受信部２０の配列方向の任意の位置において送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように形成されている。具体的に、接触部３１Ｅは、被検体１００の縁部１０３を包み込むように基準状態から変形し、被検体１００の縁部１０３が接触部３１Ｅから離れたときに基準状態に復帰するように形成されている。これにより、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通過する際に、送信部１０及び受信部２０の配列方向における被検体１００の位置が変化しても、被検体１００の縁部１０３を減衰部材３０Ｅの接触部３１Ｅによって包み込むことができる。したがって、送信部１０と受信部２０との間における被検体１００の搬送の態様に関わらず、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

また、第三実施形態の超音波検査装置１Ｅにおいて、減衰部材３０Ｅの接触部３１Ｅは、中間部位３５Ｅ２が下方に垂れ下がるように両端３５Ｅ１をベース３３に固定したシート部材３５Ｅによって構成されている。このため、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３は、送信部１０及び受信部２０の配列方向における任意の位置においてシート部材３５Ｅの中間部位３５Ｅ２の一部を上方に押し上げることができる。これにより、被検体１００の縁部１０３を接触部３１Ｅによって確実に包み込むことができる。
また、接触部３１Ｅを構成するシート部材３５Ｅによって、被検体１００の縁部１０３の外側を回り込もうとする超音波Ｗ２（図１参照）を反射させたり散乱させたりすることができる。したがって、当該超音波Ｗ２を減衰させて、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

第三実施形態において、ベース３３のベース面３３ａに固定されるシート部材３５Ｅの両端３５Ｅ１は、少なくともベース面３３ａに沿う方向に間隔をあけて並んでいればよく、例えばＹ軸方向に間隔をあけて並んでもよい。

第三実施形態において、減衰部材３０Ｅの接触部３１Ｅは、両端３５Ｅ１がベース３３に固定されたシート部材３５Ｅを複数有してもよい。

〔第四実施形態〕
次に、図８を参照して本発明の第四実施形態について説明する。第四実施形態においては、第三実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。

図８に示すように、第四実施形態の超音波検査装置１Ｆは、第三実施形態と同様に、送信部１０と、受信部２０と、減衰部材３０Ｆと、を備える。本実施形態の減衰部材３０Ｆは、第三実施形態と同様に、送信部１０から送信された超音波Ｗ（図１参照）を減衰させて受信部２０に到達させないようにするための部材である。また、減衰部材３０Ｆは、第三実施形態と同様に、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３を包み込むように基準状態から変形し、被検体１００の縁部１０３が送信部１０と受信部２０との間から抜け出した後に基準状態に復帰するように形成された接触部３１Ｆを有する。

ただし、本実施形態の減衰部材３０Ｆは、ベース３３と、ベース３３に取り付けられて接触部３１Ｆを構成する弾性体３６Ｆを有する。弾性体３６Ｆは、例えばゴムやスポンジなどのように弾性変形可能なブロック状の部材である。弾性体３６Ｆの弾性率は、被検体１００の弾性率よりも小さいことが好ましい。弾性体３６Ｆは、ベース３３のベース面３３ａに固定されている。この状態において、弾性体３６Ｆは、ベース面３３ａからＺ軸負方向に延びて送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域に入り込んでいる。
弾性体３６Ｆは、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３に接触する接触面３６Ｆａを有する。接触面３６Ｆａは、Ｚ軸負方向（すなわち被検体１００の延長方向と逆向きの方向）に向けられている。図８において、接触面３６ＦａはＺ軸方向に直交する平坦面に形成されているが、これに限ることはなく、Ｚ軸方向に対して傾斜してもよいし、曲面に形成されてもよい。

本実施形態の超音波検査装置１Ｆでは、第一実施形態と同様に、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を主にＹ軸正方向に通るように搬送される際に、送信部１０から送信された超音波Ｗが被検体１００を透過した上で受信部２０において受信することで、被検体１００における欠陥を検査することができる。

被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、接触部３１Ｆが基準状態から変形することで、被検体１００の縁部１０３が接触部３１Ｆによって包み込まれる。具体的に、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間を通る際には、被検体１００の縁部１０３が弾性体３６Ｆの接触面３６Ｆａの一部の領域に押し付けられることで、押し付けられた弾性体３６Ｆの部位が基準状態から弾性的に圧縮変形する。該当する弾性体３６Ｆの部位が圧縮変形した状態では、弾性体３６Ｆのうち被検体１００の縁部１０３の周囲に位置する部分が、被検体１００の縁部１０３を囲む。これにより、被検体１００の縁部１０３が弾性体３６Ｆによって包み込まれる。一方、被検体１００が送信部１０と受信部２０との間から抜け出した後（すなわち弾性体３６Ｆから離れた後）には、圧縮変形していた弾性体３６Ｆの部分が弾性体３６Ｆの弾性力によって基準状態に復帰する。

以上説明したように、第四実施形態の超音波検査装置１Ｆによれば、第三実施形態と同様の効果を奏する。
また、第四実施形態の超音波検査装置１Ｆでは、減衰部材３０Ｆの接触部３１Ｆが、弾性体３６Ｆによって構成されている。このため、送信部１０と受信部２０との間を通る被検体１００の縁部１０３は、送信部１０及び受信部２０の配列方向における任意の位置において弾性体３６Ｆの一部に押し付けられることで、当該弾性体３６Ｆの一部を弾性的に圧縮変形させることができる。これにより、被検体１００の縁部１０３を接触部３１Ｆによって確実に包み込むことができる。
また、接触部３１Ｆを構成する弾性体３６Ｆによって、被検体１００の縁部１０３の外側を回り込もうとする超音波Ｗ２（図１参照）を反射させたり散乱させたりすることができる。したがって、当該超音波Ｗ２を減衰させて、受信部２０に到達する回折波を低減することができる。

以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

本発明において、接触部３１，３１Ｄ，３１Ｅ，３１Ｆは、少なくとも送信部１０及び受信部２０の配列方向において送信面１０ａと受信面２０ａとの間に位置していればよい。このため、接触部３１，３１Ｄ，３１Ｅ，３１Ｆは、送信面１０ａと受信面２０ａとの間の領域に配置されることに限らず、例えばＺ軸方向において当該領域の外側に配置されてもよい。

本発明において、送信部１０は、例えば、送信部１０の送信面１０ａから送信される超音波Ｗを点状あるいは線状に収束するように形成されてもよい。この場合、受信部２０は、例えば収束された点状あるいは線状の超音波Ｗを受信してもよいし、収束した後に扇状または球面状に広がった超音波Ｗを受信してもよい。

本発明において、送信部１０は、例えば送信部１０の送信面１０ａから離れるにしたがって扇状、球面状に広がるように超音波Ｗを送信してもよい。

１，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ…超音波検査装置、１０…送信部、２０…受信部、３０，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆ…減衰部材、３１，３１Ｄ，３１Ｅ，３１Ｆ…接触部、３３…ベース、３４…毛、１００…被検体、１０３…縁部、Ｐ…毛３４のピッチ、Ｗ…超音波

Claims (5)

1. 超音波を送信する送信部と、前記送信部に対して間隔をあけて位置し、前記超音波を受信する受信部と、前記超音波を減衰させる減衰部材と、を備え、
   前記減衰部材は、前記送信部と前記受信部との間に位置し、前記送信部と前記受信部との間を通過する被検体の縁部に接触する接触部を有し、
   前記接触部は、前記送信部及び前記受信部の配列方向の任意の位置において前記送信部と前記受信部との間を通る前記被検体の縁部を包み込むように形成されている超音波検査装置。
2. 前記接触部は、前記送信部と前記受信部との間を通る前記被検体の縁部が前記接触部の内部に進入するように形成されている請求項１に記載の超音波検査装置。
3. 前記減衰部材は、ベースと、前記ベースから延びて前記接触部を構成する多数の毛と、を有するブラシであり、
   前記被検体の縁部は、前記多数の毛の間に進入する請求項２に記載の超音波検査装置。
4. 前記多数の毛のピッチは、前記超音波の波長以下である請求項３に記載の超音波検査装置。
5. 前記接触部は、前記送信部と前記受信部との間を通る前記被検体の縁部を包み込むように基準状態から変形し、かつ、前記被検体の縁部が前記送信部と前記受信部との間から抜け出した後に前記基準状態に復帰する請求項１に記載の超音波検査装置。

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