JP2023006649A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】良好な記録品位の記録が得られる液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】記録ヘッドに用いる流路部材として、反った流路部材同士を接合することで、記録時の昇温で反る方向とは逆方向に反った流路部材を形成する。【選択図】図５

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

特許文献１には、プリント基板と、発熱体が搭載されたヘッド基板との間の封止樹脂を硬化させる際に、封止樹脂の硬化時の熱収縮によってヘッド基板に凸状の反りを発生させる。そして、印刷時の発熱体による発熱でヘッド基板に生じる凹状の反りによって、凸状の反りを相殺することで、ヘッド基板を直線状にすることが記載されている。

特開２００７－１７５９８１号公報

しかし、液体吐出ヘッドに高剛性の材料を用いる場合、特許文献１の方法で、発熱によって生じた高剛性の材料の反りを相殺しようとしても、封止樹脂の硬化時の熱収縮によって得られる反り量では、高剛性の材料に生じる反りを相殺できない場合が有る。それによって、特許文献１の方法で製造された液体吐出ヘッドでは、良好な印刷品位の印刷結果が得られない虞がある。

よって本発明は、良好な記録品位の記録が得られる液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

そのため本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギを発生する素子と、を備えた素子基板と、複数の前記素子基板を配列して搭載する面と、前記吐出口に液体を供給する流路の一部と、を備えた第１流路部材と、前記第１流路部材と積層されることで、流路を備えた液体供給部材を形成する第２流路部材と、を備え、前記液体供給部材は、液体を吐出時に、第１方向に凸となる反りが生じる液体吐出ヘッドであって、前記液体供給部材を支持する支持部材を更に備え、液体を吐出しない状態において前記第１方向に凹となる反りを有した前記液体供給部材は、前記素子基板が配列された配列方向における両端部を、固定部材と、前記固定部材に組み合わされ前記固定部材が固定する固定対象物を付勢可能な付勢部材と、で前記支持部材に固定されていることを特徴とする。

本発明によれば、良好な記録品位の記録が得られる液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。

液体吐出装置の概略構成を示した斜視図である。 循環経路の一形態である第１の循環経路を示す模式図である。 液体吐出ヘッドを示した斜視図である。 液体吐出ヘッドを構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 図５のVI－VIによる断面図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。 図１２のXIII－XIIIにおける断面図である。 液体吐出ユニット支持部に支持された液体吐出ユニットを示した図である。

（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。

図１は、液体吐出装置１０００の概略構成を示した斜視図である。液体吐出装置１０００は、記録媒体２を搬送する搬送部１と、記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型の液体吐出ヘッド３とを備え、複数の記録媒体２を連続もしくは間欠に搬送しながら連続記録を行うライン型記録装置である。記録媒体２はカット紙に限らず、連続したロール紙であってもよい。液体吐出ヘッド３は、ＣＭＹＫインクによる（シアン：Ｃ、マゼンタ：Ｍ、イエロー：Ｙ、ブラック：Ｋ）フルカラー印刷が可能である。後述するように液体を液体吐出ヘッド３へ供給する供給路である液体供給手段、メインタンクおよびバッファタンク（後述の図２参照）が流体的に接続される。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体経路及び電気信号経路については後述する。

図２は、本実施形態の液体吐出装置１０００に適用される循環経路の一形態である第１の循環経路を示す模式図である。本実施形態では、インク等の液体をバッファタンク１００３と液体吐出ヘッド３との間で循環させる液体吐出装置１０００について説明するが、その他の形態であってもよい。例えばインク等の液体を循環せずに、液体吐出ヘッド上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへインク流すことで、圧力室内のインクを流動させる形態であってもよい。なお図２では、説明を簡略化するためにＣＭＹＫインクの内の一色のインクが流動する経路のみを示している。

液体吐出装置１０００では、液体吐出ヘッド３と、第１循環ポンプ１００２と、バッファタンク１００３とが流体的に接続されている。液体吐出ユニット（液体供給部材）３００には、共通供給経路２１１、共通回収流路２１２、及び各記録素子基板と連通する個別供給流路２１３ａおよび個別回収流路２１３ｂが設けられている。個別供給流路２１３ａは共通供給経路２１１と連通しており、個別回収流路２１３ｂは共通回収流路２１２と連通している。よって、第１循環ポンプ１００２で流す液体の一部は、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して、共通回収流路２１２へと流れる。これは、共通供給流路２１１に接続された圧力調整機構Ｈと、共通回収流路２１２に接続された圧力調整機構Ｌとに圧力差が設けられ、第１循環ポンプ１００２が共通回収流路２１２のみに接続されているからである。

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通回収流路２１２内を通過する液体の流れと、共通供給流路２１１から各記録素子基板１０内を通過して共通回収流路２１２に合流する流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１から共通回収流路２１２への流れで記録素子基板１０の外部へ排出することが出来る。またこのような構成により、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、記録を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることが出来るので、その部位におけるインクの増粘を抑制できる。また増粘したインクやインク中の異物を共通回収流路２１２へと排出することができる。このため、本実施形態の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な印刷が可能となる。

図３は、本実施形態における液体吐出ヘッド３を示した斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つで複数色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線上に１５個、配列方向に配列したライン型の液体吐出ヘッドである。液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０および電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は、液体吐出装置１０００の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号および吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。

記録素子基板１０には、複数の記録素子が搭載されている。記録素子は液体を吐出するためのエネルギを発生する素子であり、本実施形態では記録素子として、発熱する発熱素子を採用しており、発熱素子により液体に気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されている。しかし、記録素子はこれに限定するものでなく、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。

電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子９１および電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、液体吐出装置１０００に対して、液体吐出ヘッド３を組み付ける際、または液体吐出ヘッドの交換の際に、取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。図３（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の片側に設けられた液体接続部１１１は、液体吐出装置１０００の液体供給系と接続される。これによりインクが液体吐出装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが液体吐出装置１０００の供給系へ回収されるようになっている。このように各色のインクは、液体吐出装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路とを介して循環可能に構成されている。

図４は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。液体吐出ヘッド３は、筺体８０に、液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０および電気配線基板９０が取り付けられて構成されている。液体供給ユニット２２０には、液体接続部１１１（図３参照）が設けられると共に、液体供給ユニット２２０の内部に、供給されるインク中の異物を取り除く、各色別（４色分）のフィルタ２２１（図２参照）が設けられている。液体供給ユニット２２０には、バッファタンク１００３から液体が供給され、液体供給ユニット２２０内のフィルタ２２１を通過した液体は、それぞれの色に対応して供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。

負圧制御ユニット２３０は、各色別の圧力調整弁からなるユニットであり、それぞれの内部に弁やバネ部材などが設けられている。これら弁やバネ部材の働きによって、液体の流量変動に伴って生じる液体吐出装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧損変化を大幅に減衰させることができる。それによって、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定範囲内で安定させることができる。各色の負圧制御ユニット２３０内には、各色２つの圧力調整弁が内蔵されている（図２参照）。２つの圧力調整弁がそれぞれ異なる制御圧力に設定され、液体供給ユニット２２０を介して、高圧側圧力調整弁が液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と連通しており、低圧側圧力調整弁が共通回収流路２１２と連通している。

筐体８０は、液体吐出ユニット支持部８１および電気配線基板支持部８２を備えており、液体吐出ユニット３００および電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持しており、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴムを介して液体吐出ユニット３００を構成する流路部材２１０へと導かれる。液体吐出ユニット支持部８１は、アルミ、ステンレス等の金属製の材料で形成されている。

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００、流路部材２１０を備えており、液体吐出ユニット３００の記録媒体側の面には、カバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは、吐出モジュール２００が備える記録素子基板１０（図３参照）および封止材部が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。

図５は、液体吐出ユニット支持部（支持部材）８１に支持された液体吐出ユニット３００を示した図であり、図６は、図５のVI－VIによる断面図である。流路部材（接合部材）２１０は、第１流路部材５０と第２流路部材６０とを積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００へと分配し、また吐出モジュールから還流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻す。

液体吐出ヘッド３では、液体を吐出する複数の吐出口それぞれにインクを供給するために、長尺の流路形成部材を積層して構成することで中空の流路が形成され、この流路形成部材上に吐出モジュールが配置される。前述の中空の液体供給路を構成する方法として、複数の部品に分けて成形し、その後、超音波溶着や接着材による接着等によって組立て、液供給路を形成する方法が一般的である。本実施形態では、吐出モジュール２００を接合する箱状の流路部材５０と、箱状の流路部材５０の蓋となる板状の流路部材６０と、で複数の流路５１を構成している。

本実施形態の液体吐出ヘッド３における流路部材２１０は、成形時の収縮差によって反りが生じた状態に成形される。つまり、液体吐出ユニット３００が反った状態に形成される。反りの方向は、液体吐出ユニット３００が矢印Ｘ方向に凸となる反りであり、矢印Ｘ方向に所定量の凸状に反った状態に成形される。液体吐出ヘッド３は、液体の吐出を繰り返すことで、発熱素子の熱により液体吐出ユニット３００に反りが生じる。この場合の反りは矢印－Ｘ方向に凸となる反りである。そこで、本実施形態の液体吐出ヘッド３は、常温時に矢印Ｘ方向に凸となる反りが生じた液体吐出ユニット３００を備えており、液体吐出時の矢印－Ｘ方向に凸となる液体吐出ユニット３００の反りにより常温時の反りを相殺する。このように、液体吐出ユニット３００の反りを抑制した状態で印刷することで、印刷品位の高い印刷が可能な液体吐出装置を実現する。以下、その方法を詳細に説明する。

箱状の流路部材５０は、吐出モジュール２００の接合面の肉厚ｔ１と、接合面と接する側壁の肉厚ｔ２と、各流路間の壁の肉厚ｔ３とのバランスを調整することで、射出成形時に収縮差で矢印Ｙ方向の中央部に、矢印Ｘ方向に凸状に反った形状を生じさせている。本実施形態では、流路部材５０の部材単体での反りを射出成形時の記録素子基板１０の接合面と側壁との収縮差によって発生させる。そのため、流路部材５０の各壁の肉厚を設定することにより、矢印Ｘ方向に凸状に反った流路部材を安定して形成することができる。また、板状の流路部材６０の場合は、肉厚ｔ４を有しており、表面、裏面の金型に温度差を付けることなどによって反りを生じさせることが可能である。

こうして成形を行った両者を接合し、所望の反り量Ｃを得ることができる。印刷時の反り量は、例えば、流路部材５０に２０℃に温調されたインクが供給、循環され、吐出モジュール２００からの発熱４０℃の場合、液体吐出ユニット３００は矢印Ｙ方向の中央部が矢印－Ｘ方向に約５０μｍの凸状となる反りを発生させる。そのため射出成型には、流路部材５０と流路部材６０との接合も考慮して、接合後、矢印Ｙ方向における吐出モジュール２０の中央部が矢印Ｘ方向に対して約５０μｍ凸状に反るように肉厚ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４のバランスをとり、成形条件を設定する。

具体的には、流路部材５０は、長さ４００ｍｍで、肉厚ｔ１が２．５ｍｍ、肉厚ｔ２が２．５ｍｍ、肉厚ｔ３が２ｍｍとして、射出成形で矢印Ｙ方向の中央部が矢印Ｘ方向に凸状に０．２ｍｍ反らせている。また、流路部材６０は、肉厚ｔ４が３ｍｍで、射出成形で矢印Ｙ方向の中央部が矢印－Ｘ方向に凸状に凸状に０．１ｍｍ反らせている。このように、互いに逆方向に反らせて成形した流路部材５０と流路部材６０との両者をフラットに矯正した状態で接着固定し、最終的に吐出モジュール２０の中央部が矢印Ｘ方向に対して約５０μｍ凸状に反った液体吐出ユニット３００を形成する。

なお、本実施形態では、流路部材５０と流路部材６０とが反対方向の反りを備えている説明をしたが、反りの方向はこれに限定するものではない。つまり、流路部材５０と流路部材６０とを接合することで、吐出による昇温での液体吐出ユニット３００の反りを相殺する方向の反りを備えていればよい。

液体吐出ユニット３００は、流路部材６０の四隅に穴部６１ａが設けられており、四隅は固定部材６２ａが液体吐出ユニット支持部８１に対して所定の高さｈ１で固定され、付勢部材６３ａによって液体吐出ユニット３００を付勢している。よって、流路部材６０の四隅では、液体吐出ユニット支持部８１と流路部材６０とが離間した状態となっている。所定の高さｈ１は、反り量の想定値が例えば、５０μｍであれば５０μｍと、付勢部材６３ａが縮んだ状態における厚みと、流路部材６０の厚みと、を合わせた程度としている。また、付勢部材６３ａによる付勢力は、穴部６１ａと固定部材６２ａの頭とのがたつきを無くす程度であり、液体吐出ユニット３００の反りを矯正するほどの力ではない。

所定の高さに設定した固定部材６２ａと、付勢部材６３ａとにより、液体吐出ユニット３００の反り量のばらつきを吸収して所望の範囲内に収めることができる。また、中央部は流路部材６０に穴部６１ｂが設けられていて、固定部材６２ｂが付勢部材６３ｂをつぶし切って液体吐出ユニット３００を液体吐出ユニット支持部８１に固定している。つまり、中央部では流路部材６０が液体吐出ユニット支持部８１に対して離間不可能に固定されている。

図７は、印刷時の液体吐出ユニット支持部８１に支持された液体吐出ユニット３００を示した図である。印刷時の昇温により液体吐出ユニット３００は、矢印－Ｘ方向に凸状に反る。しかし、矢印Ｙ方向における液体吐出ユニットの中央部を固定部材６２ｂで、液体吐出ユニット支持部８１に固定しているため、液体吐出ユニットの両端部が液体吐出ユニット支持部８１に沿う形となり、付勢部材６３ａが伸びて固定部材６２ａの頭とのがたつきをなくす。液体吐出ユニット３００の常温での反り量と、印刷時の昇温によって発生する反り量とが同じになるように設定しているため、印刷時は、液体吐出ユニット３００が液体吐出ユニット支持部８１と略平行となり、吐出面がフラットに近い状態となる。本発明において、液体吐出ユニットの中央部とは、液体吐出ユニットを矢印Ｙ方向に３等分した場合に、真ん中に位置する領域のことを言う。また、本発明において、液体吐出ユニットの両端部とは、液体吐出ユニットを矢印Ｙ方向に３等分した場合に、両端に位置する領域のことを言う。

本実施形態の方法によれば、成形時の収縮差によって発生させる反りを印刷に係わる昇温によって緩和するため、自然な形で反りを戻すことができる。吐出面がフラットになることでインクの吐出方向が記録媒体に対して真直ぐになり、記録媒体との間隔も一律となるため高品位の印刷を行うことが可能となる。この形態は、液体吐出ユニット３００の位置基準が中央部にあるとき位置変化が少なく特に有効である。

なお、本実施形態では、吐出による昇温で液体吐出ユニット３００が液体の吐出方向に凸状となる場合に、液体吐出ユニット３００を液体の吐出方向とは逆方向に反らせて形成する例を説明したが、これに限定するものではない。つまり、吐出による昇温での液体吐出ユニット３００の反りを、相殺する反りを備えた液体吐出ユニット３００であればよい。

このように、所定方向に凸となる反りを有した液体吐出ユニット３００の、記録素子基板の配列方向における両端部を、固定部材と、固定部材に組み合わされ固定部材が固定する固定対象物を付勢可能な付勢部材と、で液体吐出ユニット支持部８１に固定する。これによって、良好な記録品位の記録が得られる液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。

（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成について説明する。

図８および図９は、本実施形態における液体吐出ユニット支持部８１に支持された液体吐出ユニット３００を示した図である。第１の実施形態では、液体吐出ユニット３００の矢印Ｙ方向における中央部において、固定部材６２ｂが付勢部材６３ｂをつぶし切って液体吐出ユニット３００を液体吐出ユニット支持部８１に固定していた。

印刷時の昇温で液体吐出ユニット３００に矢印－Ｘ方向の凸状の反りが生じた場合、常温時に形成している矢印Ｘ方向に凸状の反りの量を上回ることも考えられる。その際、液体吐出ユニット３００の矢印Ｙ方向における中央部において、第１の実施形態のように固定部材６２ｂで隙間なく固定している場合、液体吐出ユニット３００は、固定部材６２ａと固定部材６２ｂとの間で、矢印－Ｘ方向に凸状の反りが生じる。つまり、固定部材６２ｂを間に挟むように、２つの矢印－Ｘ方向に凸状の反りがＷ字状に生じる。このようなＷ字状の反りが液体吐出ユニット３００に生じた場合、吐出したインクの着弾位置が乱れ、印刷品位に与える影響が大きくなる。その結果、一様な印刷にならない虞がある。

そこで、本実施形態では図８のように、液体吐出ヘッド３は、反った状態の液体吐出ユニット３００を液体吐出ユニット支持部８１に保持する際に、中央部の固定部材６２ｂを端部の固定部材６２ａと同様に所定の高さｈ１で固定している。従って、付勢部材６３ｂは伸びた状態で、液体吐出ユニット３００の中央部を液体吐出ユニット支持部８１に付勢し、がたつきをなくしている。

印刷の際は、図９に示すように、液体吐出ユニット３００の両端部が液体吐出ユニット支持部８１に沿う形となり、付勢部材６３ａが伸びて固定部材６２ａの頭とのがたつきをなくしている。液体吐出ユニット３００の中央部を固定ではなく、付勢力で保持することにより、印刷時の昇温での反り量が、常温時に形成している反り量を上回った場合でも、液体吐出ユニット３００は所定の高さｈ１の範囲内で中央部の付勢部材６３ｂを押し上げる。液体吐出ユニット３００が付勢部材６３ｂを押し上げることで、全体として反りは生じているが、Ｗ字状の反りが発生することはない。Ｗ字状の反りではなく、液体吐出ユニット３００全体として凸状の反りが生じている状態であれば、一様な印刷が可能となり吐出したインクの着弾位置の乱れを抑制することができる。

このように、液体吐出ユニット３００の矢印Ｙ方向における中央部を固定ではなく、付勢力で保持する構成でも、良好な記録品位の記録が得られる液体吐出ヘッドを得ることができる。

（第３の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成について説明する。

図１０および図１１は、本実施形態における液体吐出ユニット支持部８１に支持された液体吐出ユニット３００を示した図である。第２の実施形態では、液体吐出ユニット３００の矢印Ｙ方向における中央部において、付勢部材６３ｂによる付勢力で液体吐出ユニット３００を保持する構成を説明した。本実施形態では、液体吐出ユニット３００の矢印Ｙ方向における中央部では保持することなく、両端に設けられた固定部材６２ａと付勢部材６３ａで液体吐出ユニット３００を保持している。つまり、液体吐出ユニット３００の矢印Ｙ方向における中央部において、液体吐出ユニット３００は液体吐出ユニット支持部８１に対して離間可能に保持されている。

印刷の際は、図１１に示すように、液体吐出ユニット３００の両端部が液体吐出ユニット支持部８１に沿う形となり、付勢部材６３ａが伸びて固定部材６２ａの頭とのがたつきをなくしている。液体吐出ユニット３００の中央部は保持されていないため、印刷時の昇温での反り量が、常温時に形成している反り量を上回った場合でも、液体吐出ユニット３００はＷ字状の反りが発生することはない。従って、第２に実施形態と同様に、一様な印刷が可能となり吐出したインクの着弾位置の乱れを抑制することができる。

（第４の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第４の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成について説明する。

図１２は、本実施形態における液体吐出ユニット支持部８１に支持された液体吐出ユニット３００を示した図であり、図１３は、図１２のXIII－XIIIにおける断面図である。図１４は、印刷時の液体吐出ユニット支持部８１に支持された液体吐出ユニット３００を示した図である。本実施形態の液体吐出ヘッド３は、液体吐出ユニット支持部８１が開口（開口部）８５を有しており、開口８５内に流路部材２１０の一部が入るように構成されている。また、反った液体吐出ユニット３００を液体吐出ユニット支持部８１に保持する際に、一方の端部は、固定部材６２ｃが付勢部材６３ｃをつぶし切って液体吐出ユニット支持部８１に固定している。また他方の端部は、固定部材６２ａと付勢部材６３ａとで、液体吐出ユニット３００を液体吐出ユニット支持部８１に付勢し保持している。開口８５内に流路部材２１０の一部が入る（侵入する）ように構成されていることで、反った液体吐出ユニット３００を変形させることなく保持することができる。

印刷の際は、図１４に示すように、昇温により反りが相殺され液体吐出ユニット３００はフラットな形状となる。この形態は、液体吐出ユニット３００の位置基準が片端側にあるとき、基準側で固定部材６２ｃが付勢部材６３ｃをつぶし切って液体吐出ユニット支持部８１に固定すると位置変化が少なく特に有効である。

１０ 記録素子基板
５０ 流路部材
６０ 流路部材
８１ 液体吐出ユニット支持部
８５ 開口
２００ 吐出モジュール
２１０ 流路部材
２２０ 液体供給ユニット
２３０ 負圧制御ユニット
３００ 液体吐出ユニット

Claims (14)

1. 液体を吐出する複数の吐出口と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギを発生する素子と、を備えた素子基板と、
   複数の前記素子基板を配列して搭載する面と、前記吐出口に液体を供給する流路の一部と、を備えた第１流路部材と、
   前記第１流路部材と積層されることで、流路を備えた液体供給部材を形成する第２流路部材と、を備え、
   前記液体供給部材は、液体を吐出時に、第１方向に凸となる反りが生じる液体吐出ヘッドであって、
   前記液体供給部材を支持する支持部材を更に備え、
   液体を吐出しない状態において前記第１方向に凹となる反りを有した前記液体供給部材は、前記素子基板が配列された配列方向における両端部を、固定部材と、前記固定部材に組み合わされ前記固定部材が固定する固定対象物を付勢可能な付勢部材と、で前記支持部材に固定されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記支持部材はアルミまたはステンレスの金属製の材料で形成され、前記液体供給部材よりも高い剛性を有していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１流路部材と前記第２流路部材とは、射出成形により形成されており、射出成形時の収縮差によって反りが生じていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１流路部材は、部材単体で第１所定量の反りを有しており、前記第２流路部材は、部材単体で第２所定量の反りを有していることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１流路部材の前記第１所定量の反りは、前記第２流路部材の前記第２所定量の反りとは反対の方向の反りであることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１流路部材に前記第２流路部材を積層することで、前記第１方向に凹となる第３所定量の反りが形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記液体供給部材の前記第１方向に凹となる第３所定量の反りは、液体を吐出時の前記第１方向に凸となる反りによって相殺されることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１方向に凹となる第３所定量の反りを有した前記液体供給部材は、前記配列方向における中央部で前記支持部材と当接し、前記両端部で前記支持部材と離間して固定されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記液体供給部材は、前記中央部で前記支持部材と離間不可能な状態で前記固定部材によって固定されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記液体供給部材は、前記中央部で前記支持部材と離間可能な状態で固定されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記液体供給部材は、前記中央部で前記付勢部材による付勢力で固定されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記支持部材は、開口部を有しており、
    前記液体供給部材は、前記配列方向における一方の端部で、前記支持部材と当接し、前記配列方向における他方の端部で、前記支持部材と離間して、前記開口部に前記液体供給部材の一部が侵入して、前記支持部材に固定されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記一方の端部で、前記液体供給部材が前記支持部材と離間不可能な状態に前記固定部材によって固定され、前記他方の端部で、前記付勢部材による付勢力によって固定されていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 液体を吐出する複数の吐出口と、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギを発生する素子と、を備えた素子基板を形成する工程と、
    複数の前記素子基板を配列して搭載する面を備え、前記吐出口に液体を供給する流路の一部を備えた第１流路部材を形成する第１形成工程と、
    前記流路を形成するために前記第１流路部材に積層される第２流路部材を形成する第２形成工程と、を有し、
    液体を吐出時に、第１方向に凸となる反りが生じる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記第１形成工程では、第１所定量の反りを前記第１流路部材に形成し、
    前記第２形成工程では、第２所定量の反りを前記第２流路部材に形成し、
    前記第１形成工程と前記第２形成工程との後に、前記第１流路部材と前記第２流路部材とを積層して接合することで、前記第１方向とは逆の第２方向に、第３所定量の凸状の反りを形成する接合工程、を更に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

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