JP7413332B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、循環する液体を吐出する液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。
循環する液体を吐出する液体吐出ヘッドでは、液体吐出ヘッドの外部から供給口を経て供給された液体は、共通流路を流れ、個別流路を介して記録素子基板の吐出口から吐出される。循環する液体で吐出されなかった液体は、共通流路から排出口を経て液体吐出ヘッドの外へ排出される。
吐出時においては、記録素子基板や駆動素子の発熱が、流路内に流れる液体に伝わり液体を媒介して流路に伝わることで、液体吐出ヘッドの流路部材の排出側では蓄熱される。一方、供給口から供給される液体は、温調された液体が供給されることから、供給側では記録素子基板や駆動素子の発熱の影響はない。そのため、流路部材の排出側では供給側に比べて温度が高くなる。その結果、液体吐出ヘッドで部材の熱変形が生じることで記録する画像品位が劣化する虞があった。
特許文献1には、液体吐出ヘッドにおいて、支持部材の熱変形を防ぐ為に、駆動回路の発熱を放熱するヒートシンクや冷媒を封止したヒートパイプを用いて放熱する構成が開示されている。
特開2017-13514号公報
特許文献1の方法では、ヒートシンクやヒートパイプ等の部品増加によって、液体吐出ヘッドが大型化、高コスト化するといった課題があった。
よって本発明は、放熱用部材を追加することなく、画像品位の劣化を抑制することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することを目的とする。
そのため本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口を備えた素子基板と、素子基板に液体を供給可能な共通流路であって、第1方向に配列された前記素子基板に沿って設けられた前記共通流路と、を有した流路部材と、前記流路部材を支持し、前記共通流路の液体を供給可能な供給口と、前記共通流路から液体を排出可能な排出口と、が設けられた支持部材と、を備え、前記供給口と、前記共通流路と、前記排出口と、を介して液体が循環する液体吐出ヘッドであって、前記支持部材には、一方の端部の近傍に前記供給口が設けられ、他方の端部の近傍に前記排出口が設けられ、前記支持部材は、前記一方の端部の近傍に設けられ、前記一方の端部を装置に固定する第1固定部と、前記他方の端部の近傍に設けられ、前記他方の端部を前記第1方向に移動可能に装置に固定する第2固定部と、を有し、前記流路部材は、前記流路部材の前記第1方向における中心で前記支持部材に支持されていることを特徴とする。
本発明によれば、放熱用部材を追加することなく、画像品位の劣化を抑制することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することができる。
液体吐出装置を示した概略斜視図である。 液体吐出装置に適用される液体の循環経路を示す模式図である。 液体吐出ヘッドを示した斜視図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 液体吐出ユニット支持部と流路部材とを示した図である。 液体吐出ヘッド保持部に固定された液体吐出ヘッドを示した斜視図である。 図5(b)のVII-VIIにおける断面図である。 液体吐出ユニット支持部と流路部材とを示した概略図である。 液体吐出ユニット支持部と流路部材とを示した概略図である。 変形例の循環系を示した図である。 液体吐出ユニット支持部と流路部材とを示した概略図である。
(第1の実施形態)
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態を適用可能な液体吐出装置4を示した概略斜視図である。液体吐出装置4は、搬送部1によって搬送される記録媒体2に、記録媒体2の搬送方向と略直交して配置されるライン型の液体吐出ヘッド3から液体(以下、インクともいう)を吐出して記録が行われる。記録媒体2はカット紙に限らず、連続したロール紙であってもよい。液体吐出装置4では、シアンC、マゼンタM、イエローY、ブラックKの4種類のインクに夫々対応した4つの単色用の液体吐出ヘッド3が記録媒体2の搬送方向に並べられており、フルカラー印刷が行われる。
図2は、本実施形態の液体吐出装置4に適用される液体の循環経路を示す模式図である。なお図2では、液体を循環させるポンプなどを省略して示している。液体吐出ヘッド3は、液体を液体吐出ヘッド3へ供給する供給路である液体供給手段によってバッファタンク1003と流体的に接続されており、バッファタンク1003はメインタンク1006と流体的に接続されている。また、液体吐出ヘッド3には、液体吐出ヘッド3へ電力および吐出制御信号を伝送する不図示の電気制御部が電気的に接続される。
メインタンク1006と接続されるサブタンクとしてのバッファタンク1003は、タンク内部と外部とを連通する不図示の大気連通口を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。インクを吐出して行う記録や吸引回復等、液体吐出ヘッドの吐出口からインクを吐出(排出)することによって液体吐出ヘッド3で液体が消費された際に、消費された分のインクをメインタンク1006からバッファタンク1005へ移送する。
液体吐出ユニット300の駆動時には、不図示のポンプによって、共通流路212内を一定量のインクが流れる。圧力調整ユニット230は、バッファタンク1003と液体吐出ユニット300との間の経路に設けられている。圧力調整ユニット230は、単位面積当たりの記録量の違いによって循環系におけるインクの流量が変動した場合でも、圧力調整ユニット230よりも下流側(即ち液体吐出ユニット300側)の圧力を予め設定した一定圧力に維持する。このように液体吐出ユニット300では、共通流路212内に液体の流れが発生する。
共通流路212から各記録素子基板10へ個別流路215が接続されている。共通流路212を流れるインクの一部が記録素子基板10へと流れて吐出される。このため、各記録素子基板10で発生する熱の一部をインクと共に記録素子基板10の外部へ排出することができる。
図3は、本実施形態を適用可能な液体吐出ヘッド3を示した斜視図である。図3(a)は、記録素子基板10を確認することができる下からの斜視図であり、図3(b)は液体接続部111を確認することができる上からの斜視図である。液体吐出ヘッドは、1つで複数色のインクを吐出可能な記録素子基板10を直線上に15個配列(インラインに配置)されるライン型の液体吐出ヘッドである。図3(a)に示すように、液体吐出ヘッド3には、各記録素子基板10と、フレキシブル配線基板40および電気配線基板90を介して電気的に接続された信号入力端子91と電力供給端子92が設けられている。
信号入力端子91および電力供給端子92は、液体吐出装置4の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号および吐出に必要な電力を記録素子基板10に供給する。電気配線基板90内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子91および電力供給端子92の数を記録素子基板10の数に比べて少なくしている。これにより、液体吐出装置4に対して液体吐出ヘッド3を組み付ける時又は液体吐出ヘッド3の交換時の電気接続部の取り外しを少なくすることができる。
図3(b)に示すように、液体吐出ヘッド3の両側に設けられた液体接続部111は、液体吐出装置4の液体供給系と接続される。これによりインクが液体吐出装置4の供給系から液体吐出ヘッド3に供給され、また液体吐出ヘッド3内を通ったインクが液体吐出装置4の供給系へ回収される。このようにインクは、液体吐出装置4の経路と液体吐出ヘッド3の経路とを介して循環する。
図4は、液体吐出ヘッド3の分解斜視図である。液体吐出ヘッド3は、液体吐出ユニット300、液体供給ユニット220および電気配線基板90が筺体80に取り付けられている。液体供給ユニット220には、液体接続部111(図3参照)が設けられるとともに、液体供給ユニット220の内部には、供給されるインク中の異物を取り除くため、液体接続部111の各開口と連通するフィルタが設けられている。フィルタを通過した液体は、液体供給ユニット220上に配置された圧力調整ユニット230へ供給される。
圧力調整ユニット230は、圧力調整弁を備えており、内部には弁やバネ部材などが設けられている。圧力調整ユニット230は、弁やバネ部材の働きによって、液体の流量の変動に伴って生じる液体吐出装置4の供給系内の圧損変化を減衰させ、圧力調整ユニット230よりも下流側の負圧変化をある一定範囲内で安定化させることができる。圧力調整ユニット230には、液体吐出ユニット300内の共通流路212と、液体供給ユニット220とが連通している。
筺体80は、液体吐出ユニット支持部材81を備えており、液体吐出ユニット支持部材81によって、液体吐出ユニット300および電気配線基板90を支持するとともに、液体吐出ヘッド3の剛性を確保している。液体吐出ユニット支持部材81には、ジョイントゴム100が挿入される開口84が設けられている。液体供給ユニット220から供給される液体は、ジョイントゴム100を介して液体吐出ユニット300の流路部材210へと導かれる。
液体吐出ユニット300は、複数の吐出モジュール200と、流路部材210とを備えており、液体吐出ユニット300の記録媒体と対向する位置には、カバー部材130が取り付けられる。ここで、カバー部材130は、長尺の開口131が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口131からは吐出モジュール200に含まれる記録素子基板10および封止材部110が露出している。開口131の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド3をキャップする不図示のキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口131の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット300の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。
図5(a)は、液体吐出ユニット支持部材81と流路部材210との斜視図であり、図5(b)は、図5(a)におけるA矢視図である。図6は、液体吐出ヘッド保持部1010に固定された、一部部品を省略した液体吐出ヘッド3を示した斜視図である。以下、液体吐出ヘッド3と液体吐出装置4との固定方法について説明する。
液体吐出ヘッド3は、液体吐出ユニット支持部材81の端部を液体吐出装置4に設けられた液体吐出ヘッド保持部1010と固定することで液体吐出装置4に固定される。図5(b)に示す通り、液体吐出ユニット支持部材81は、液体吐出ヘッド保持部1010と固定するための第1係合部811(第1固定部)と第2係合部812(第2固定部)とを有する。第1係合部811は、液体吐出ユニット支持部材81の一方の端部に設けられた円形状の位置固定用の穴であり、第2係合部812は、液体吐出ユニット支持部材81の他方の端部に設けられた、記録媒体幅方向である矢印B方向に延びた長穴形状を備えた穴である。また、図6に示す通り、液体吐出ヘッド3は、液体吐出ユニット支持部材81に設けられた第1係合部811、第2係合部812と液体吐出ヘッド保持部1010に設けられた係合穴を締結部材1011で締結される。
この際、第1係合部811と液体吐出ヘッド保持部1010とは、矢印B方向に関して拘束するように締結されており、液体吐出ヘッド3と記録媒体の矢印B方向における中心とを合わせる基準位置となっている。第2係合部812と液体吐出ヘッド保持部1010とは、液体吐出ユニット支持部材81が矢印B方向に関して移動可能な隙間を持つはめ合いで締結されている。これにより、液体吐出ヘッド3を液体吐出装置4に装着する際の取付が容易になることに加え、液体吐出ヘッド3が熱膨張した際に、矢印B方向への変形を許容しつつ、矢印B方向と直行する方向に反ることを防止することができる。また、液体吐出ヘッド3の矢印B方向における吐出中心は、第1係合部811から配列された記録素子基板10の中心位置となっている。つまり、第1係合部811を基準位置として記録素子基板10の位置が決められている。第1係合部811の近傍には供給口213が設けられており、第2係合部812の近傍には、排出口214が設けられている。ここで、近傍とは、第1係合部811が設けられた液体吐出ユニット支持部材81の一方側端部と同一側の流路部材210の端部に供給口213が設けられていることを意味する。更には、第2係合部812が設けられた液体吐出ユニット支持部材81の他方端部と同一側の流路部材210の端部に排出口214が設けられていることを意味する。供給口213は、流路部材210へ液体を供給可能であり、排出口214は、流路部材210から液体を排出可能に設けられている。
第1係合部811は、矢印B方向において流路部材210よりも外側に位置し、第2係合部812は、矢印B方向において第1係合部811とは反対の外側に位置する構成が好ましい。これにより、液体吐出ヘッド3を液体吐出装置4に取り付けた際に生じる、矢印B方向と直交する記録媒体の搬送方向における第1係合部811と第2係合部812との位置ずれ影響による液体吐出ヘッド3の回転量を小さくすることができる。
図7は、図5(b)のVII-VIIにおける断面図である。図7を用いて流路部材210が液体吐出装置4とインク循環を行うことで生じる液体吐出ユニット支持部材81の熱膨張について説明する。流路部材210は、共通流路212、流路供給口221、流路排出口222、個別流路215を備えている。また、図7の二点鎖線は、配列された記録素子基板10に備わる吐出口の中で、矢印B方向で最も外側となる位置を示している。流路部材210における液体の経路は、液体吐出装置4から供給された液体が供給口213から流路供給口221を経て流路部材210に供給され、共通流路212から流路排出口222を経て排出口214から排出され液体吐出装置4に戻る循環経路である。
また、供給口213は、矢印B方向において配列された記録素子基板10に備わる吐出口の最外位置よりも外側に位置しており、排出口214も矢印B方向において、第1係合部812とは反対側で吐出口の最外位置よりも外側に位置している。これにより、共通流路212が矢印B方向において淀み点を作ることがなく、液体循環における泡抜け性を向上することができる。また、共通流路212から各記録素子基板10(図3(a)、図4参照)に個別流路215を通ってインクが供給される。
液体吐出装置4から供給口213に入る液体は、液体吐出装置4で温度調整された一定温度のインクが供給される。液体吐出ヘッド3がインクを吐出する際、記録素子基板10の駆動熱が発生する。発生した熱は個別流路215を通じて共通流路212内の液体に伝熱する。共通流路212内の液体は、供給口213から排出口214へ流れているため、共通流路212内の液体に伝わった熱は、排出口214側で蓄熱され、共通流路212では、供給口213から排出口214に向かって温度が高くなる。そして、このような共通流路212の温度分布は、液体吐出ユニット支持部材81へと伝熱される。その結果、液体吐出ユニット支持部材81における排出口214側では温度が上昇し熱変形が生じる。
液体吐出ユニット支持部材81の熱変形によって、液体吐出ヘッド3の吐出中心基準と記録媒体2の矢印B方向における中心位置とがずれると、画像形成の品位劣化が発生する虞がある。
そこで本実施形態では、排出口214側に設けた第2係合部812を矢印B方向に延びた長穴形状として液体吐出ユニット支持部材81の熱変形を許容しつつ、液体吐出ユニット支持部材81の固定を行う。これにより、記録素子基板10の駆動熱による各部材の熱変形で生じる記録画像のずれを抑制することができる。
以下、記録素子基板10の駆動熱による各部材の熱変形の詳細について説明する。
図8(a)は、本実施形態における液体吐出ユニット支持部材81と流路部材210とを示した概略図であり、図8(b)は、比較例の液体吐出ユニット支持部材81と流路部材210とを示した概略図である。なお、図8(a)、(b)ともに中心線Dは、液体吐出ヘッド3の吐出中心基準位置であり、中心線Eは、図中左側に基準を有した記録媒体2の中心位置を示している。また、液体吐出ユニット支持部材81の第1係合部811から液体吐出ヘッドの吐出中心までを領域α、液体吐出ヘッドの吐出中心から第2係合部812までを領域βとしている。
本実施形態では、上述の通り、矢印B方向において、第1係合部811と同一側に供給口213が設けられており、第2係合部812と同一側に排出口214が設けられている(図8(a)参照)。領域αは、供給口側なので低温領域となり、領域αにおける熱変形の影響は無視することができる。領域βは、排出口側であり高温領域となり、熱変形が生じる。しかし、領域βに熱変形が生じても液体吐出ヘッドの吐出中心基準位置Dと、記録媒体2の中心線Eとには影響がない。
これに対し、図8(b)のように、矢印B方向において、第1係合部811と同一側に排出口214が設けられ、第2係合部812と同一側に供給口213が設けられている場合、領域αが高温領域となり、熱変形する。そのため液体吐出ヘッドの吐出中心基準位置Dと、記録媒体2の中心線Eとにはずれが生じる。その結果、記録画像の品位劣化が生じる。
本実施形態のように、矢印B方向において、第1係合部811と同一側に供給口213を設け、第2係合部812と同一側に排出口214を設ける。これにより、液体吐出ヘッドの吐出中心基準位置Dと、記録媒体2の中心位置Eとにずれを生じさせることなく記録を行うことができる。
図9は、本実施形態における液体吐出ユニット支持部材81と流路部材210とを示した概略図である。本実施形態では図9のように、流路部材210が矢印B方向における流路部材210の中心で、液体吐出ユニット支持部材81に取り付けられている。流路部材210自体は、記録素子基板10が左右均等に設けられているため、熱変形が生じても矢印B方向において左右均等に変形する。そのため、記録により記録素子基板10の駆動熱で流路部材210に熱変形が生じても、液体吐出ヘッドの吐出中心基準位置Dを中心に左右対称に熱変形が生じることから、液体吐出ヘッド3における吐出中心位置の位置ずれを抑制することができる。
このように、本実施形態の液体吐出ヘッド3の構成によれば、液体吐出ヘッドの吐出中心基準位置Dと、記録媒体2の中心位置Eとのずれ、および液体吐出ヘッド3における吐出中心位置の位置ずれを抑制することができる。その結果、記録する画像における品位劣化を抑制することができる。
なお、本実施形態では、液体吐出ユニット支持部材81の第1係合部811、第2係合部812と、液体吐出ヘッド保持部1010の係合穴と、を締結部材1011で締結していたがこれに限るもではない。例えば、液体吐出ユニットに第1突起部と第2突起部が設けられており、その各突起部に対して第1係合部811と第2係合部812が嵌合されるような構造でもよい。
また、本実施形態では、複数の記録素子基板10が流路部材210に配列された例を説明したが、これに限定するものでなく、単一の記録素子基板でも矢印B方向に駆動素子が配列されたものであればよい。
また、流路部材210の線膨張は、液体吐出ユニット支持部材81の線膨張よりも小さいことが望ましい。流路部材210の線膨張を液体吐出ユニット支持部材81の線膨張よりも小さくする。これにより、流路部材210が液体吐出ユニット支持部材81よりも大きく熱変形することを防ぐことができ、流路部材210が矢印B方向と直交する方向に反ることを抑制することができる。
(変形例)
図10は、本実施形態における変形例の循環系を示した図である。図10に示すように、循環経路とは別に、記録素子基板を通る循環経路を有する循環系でもよい。
このように、循環する液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、排出口214側に設けた第2係合部812を矢印B方向に延びた長穴形状として液体吐出ユニット支持部材81の熱変形を許容可能に支持する。これによって、放熱用部材を追加することなく、画像品位の劣化を抑制することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することができる。
(第2の実施形態)
以下、図面を参照して本発明の第2の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第1の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成について説明する。
図11は、本実施形態を適用可能な液体吐出ユニット支持部材81と流路部材210とを示した概略図である。本実施形態における液体吐出ユニット支持部材81は、矢印B方向における側面に突き当て部814と、被加圧部815とを備える。また、液体吐出ヘッド保持部1010は、被突き当て部1012と加圧部材1013とを備える。液体吐出ヘッド3は、液体吐出ユニット支持部材81の被加圧部815を加圧部材1013によって加圧され、突き当て部814を被突き当て部1012に突き当てることで、矢印B方向に対して拘束されるように固定されている。
この際、液体吐出ヘッド3の矢印B方向における吐出中心は、突き当て部814を基準とした流路部材210の中心位置となっている。また、矢印B方向において、供給口213は突き当て部814と同一側に設けられ、排出口214は被加圧部815と同一側に設けられている。また、液体吐出ユニット支持部材81の突き当て部814から液体吐出ヘッド3の吐出中心までを低温領域である領域α、液体吐出ヘッド3の吐出中心から被加圧部814までを高温領域である領域βとしている。このような構成でも、領域αにおける熱変形を抑制することができ、吐出中心と記録媒体2の中心位置とのずれを抑制することができ、記録する画像の品位劣化を防ぐことができる。
1 搬送部
2 記録媒体
3 液体吐出ヘッド
4 液体吐出装置
81 液体吐出ユニット支持部材
210 流路部材
213 供給口
214 排出口
230 圧力調整ユニット
811 第1係合部
812 第2係合部

Claims (11)

  1. 液体を吐出する複数の吐出口を備えた素子基板と、素子基板に液体を供給可能な共通流路であって、第1方向に配列された前記素子基板に沿って設けられた前記共通流路と、を有した流路部材と、
    前記流路部材を支持し、前記共通流路の液体を供給可能な供給口と、前記共通流路から液体を排出可能な排出口と、が設けられた支持部材と、
    を備え、
    前記供給口と、前記共通流路と、前記排出口と、を介して液体が循環する液体吐出ヘッドであって、
    前記支持部材には、一方の端部の近傍に前記供給口が設けられ、他方の端部の近傍に前記排出口が設けられ、
    前記支持部材は、前記一方の端部の近傍に設けられ、前記一方の端部を装置に固定する第1固定部と、前記他方の端部の近傍に設けられ、前記他方の端部を前記第1方向に移動可能に装置に固定する第2固定部と、を有し
    前記流路部材は、前記流路部材の前記第1方向における中心で前記支持部材に支持されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 前記第2固定部は、前記第1方向に延びた長穴形状を有した穴である請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 前記第2固定部は、締結部材によって締結される請求項に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 前記第2固定部は、突起部と嵌合される請求項に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 液体を吐出する複数の吐出口を備えた素子基板と、素子基板に液体を供給可能な共通流路であって、第1方向に配列された前記素子基板に沿って設けられた前記共通流路と、を有した流路部材と、
    前記流路部材を支持し、前記共通流路の液体を供給可能な供給口と、前記共通流路から液体を排出可能な排出口と、が設けられた支持部材と、
    を備え、
    前記供給口と、前記共通流路と、前記排出口と、を介して液体が循環する液体吐出ヘッドであって、
    前記支持部材には、一方の端部の近傍に前記供給口が設けられ、他方の端部の近傍に前記排出口が設けられ、
    前記支持部材は、前記一方の端部の近傍に設けられ、前記一方の端部を装置に固定する第1固定部と、前記他方の端部の近傍に設けられ、前記他方の端部を前記第1方向に移動可能に装置に固定する第2固定部と、を有し、
    前記第2固定部は、被加圧部を有し、加圧部材によって加圧されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  6. 液体を吐出する複数の吐出口を備えた素子基板と、素子基板に液体を供給可能な共通流路であって、第1方向に配列された前記素子基板に沿って設けられた前記共通流路と、を有した流路部材と、
    前記流路部材を支持し、前記共通流路の液体を供給可能な供給口と、前記共通流路から液体を排出可能な排出口と、が設けられた支持部材と、
    を備え、
    前記供給口と、前記共通流路と、前記排出口と、を介して液体が循環する液体吐出ヘッドであって、
    前記支持部材には、一方の端部の近傍に前記供給口が設けられ、他方の端部の近傍に前記排出口が設けられ、
    前記支持部材は、前記一方の端部の近傍に設けられ、前記一方の端部を装置に固定する第1固定部と、前記他方の端部の近傍に設けられ、前記他方の端部を前記第1方向に移動可能に装置に固定する第2固定部と、を有し、
    前記流路部材は、前記第1固定部と、前記第2固定部との間に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  7. 液体を吐出する複数の吐出口を備えた素子基板と、素子基板に液体を供給可能な共通流路であって、第1方向に配列された前記素子基板に沿って設けられた前記共通流路と、を有した流路部材と、
    前記流路部材を支持し、前記共通流路の液体を供給可能な供給口と、前記共通流路から液体を排出可能な排出口と、が設けられた支持部材と、
    を備え、
    前記供給口と、前記共通流路と、前記排出口と、を介して液体が循環する液体吐出ヘッドであって、
    前記支持部材には、一方の端部の近傍に前記供給口が設けられ、他方の端部の近傍に前記排出口が設けられ、
    前記支持部材は、前記一方の端部の近傍に設けられ、前記一方の端部を装置に固定する第1固定部と、前記他方の端部の近傍に設けられ、前記他方の端部を前記第1方向に移動可能に装置に固定する第2固定部と、を有し、
    複数の前記吐出口は、前記供給口と前記排出口との間に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  8. 前記流路部材は、前記支持部材よりも小さい線膨張を有している請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  9. 前記素子基板を通る循環経路を有する請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  10. 循環する液体の圧力を調整する圧力調整手段を備える請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  11. 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを備えている液体吐出装置。
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