JP2023003495A - multilayer printed wiring board - Google Patents

multilayer printed wiring board Download PDF

Info

Publication number
JP2023003495A
JP2023003495A JP2021104603A JP2021104603A JP2023003495A JP 2023003495 A JP2023003495 A JP 2023003495A JP 2021104603 A JP2021104603 A JP 2021104603A JP 2021104603 A JP2021104603 A JP 2021104603A JP 2023003495 A JP2023003495 A JP 2023003495A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barrier layer
wirings
insulator
wiring pattern
multilayer printed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021104603A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
沙織 生田
Saori Ikuta
昌利 砂本
Masatoshi Sunamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2021104603A priority Critical patent/JP2023003495A/en
Publication of JP2023003495A publication Critical patent/JP2023003495A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

To realize suppression of ion migration and high-density arrangement of a plurality of wirings.SOLUTION: A wiring pattern 19A provided on the surface 8a of a substrate 8 includes wirings 9B and 9C adjacent to each other. A multilayer printed wiring board 100 is configured such that a voltage can be applied between the wirings 9B and 9C. An insulator 3zb exists between the wiring 9B and the wiring 9C. A water-impermeable barrier layer 7A covers the insulator 3zb between the wirings 9B and 9C of the wiring pattern 19A.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、互いに隣接する複数の配線を含む多層プリント配線基板に関する。 The present disclosure relates to a multi-layer printed wiring board that includes multiple traces that are adjacent to each other.

パワーエレクトロニクス機器に使用される多層プリント配線基板は、一般的に、イオンマイグレーションの発生を抑制するための構成を有する。当該構成は、例えば、多層プリント配線基板の内層に設けられた、互いに隣接する複数の配線間の距離を伸長することにより、当該複数の配線間の電解強度を下げる構成である。 Multilayer printed wiring boards used in power electronics equipment generally have a configuration for suppressing the occurrence of ion migration. The configuration is, for example, a configuration in which the electric field intensity between the plurality of wirings is reduced by extending the distance between the plurality of mutually adjacent wirings provided in the inner layer of the multilayer printed wiring board.

以下においては、パワーエレクトロニクス機器に使用される多層プリント配線基板を、「パワー多層基板」ともいう。また、以下においては、パワー多層基板の内層に設けられた、互いに隣接する複数の配線間の距離を、「配線間距離」または「絶縁距離」ともいう。 Hereinafter, multilayer printed wiring boards used in power electronics equipment are also referred to as "power multilayer boards". Also, hereinafter, the distance between a plurality of mutually adjacent wirings provided in the inner layer of the power multilayer substrate is also referred to as "interwiring distance" or "insulation distance".

パワー多層基板に対しては、当該パワー多層基板の小型化、当該パワー多層基板の低コスト化等が求められる。パワー多層基板の小型化を実現するためには、例えば、配線間距離を短くして、配線の高密度な配置等が求められる。また、パワー多層基板の低コスト化を実現するためには、例えば、当該パワー多層基板の軽量化等が求められる。 For the power multilayer board, miniaturization of the power multilayer board, cost reduction of the power multilayer board, and the like are required. In order to reduce the size of a power multi-layer board, for example, it is required to shorten the distance between wirings and arrange the wirings at a high density. Further, in order to reduce the cost of the power multilayer board, for example, it is required to reduce the weight of the power multilayer board.

以下においては、金属をイオン化する物質を、「イオン性物質」ともいう。イオン性物質は、例えば、ハロゲンである。 Substances that ionize metals are hereinafter also referred to as “ionic substances”. Ionic substances are, for example, halogens.

イオンマイグレーションは、電界、イオン性物質および水分という3つの要素が存在する状況において発生しやすい現象である。イオンマイグレーションは、以下の事象が発生する現象である。 Ion migration is a phenomenon that tends to occur in the presence of three elements: an electric field, ionic substances, and moisture. Ion migration is a phenomenon in which the following events occur.

例えば、電位の異なる複数の配線間に電解液等の液体が存在する場合、イオン化傾向の高い、配線を構成する金属が、金属イオンとして溶出する。当該金属イオンは、電界によるクーロン力により、当該複数の配線間に存在する絶縁体内を移動して、析出する。これにより、当該複数の配線間に導通路が形成される。 For example, when a liquid such as an electrolytic solution exists between a plurality of wirings having different potentials, metals forming the wirings with a high ionization tendency are eluted as metal ions. The metal ions are deposited by moving within the insulator existing between the plurality of wirings due to the Coulomb force of the electric field. Thereby, a conductive path is formed between the plurality of wirings.

特許文献1には、イオンマイグレーションの発生を抑制するための構成(以下、「関連構成A」ともいう)が開示されている。関連構成Aでは、基板に形成された複数の配線の各々に、直接、マイグレーション抑制層としての膜が形成される。 Patent Literature 1 discloses a configuration for suppressing the occurrence of ion migration (hereinafter also referred to as “related configuration A”). In related configuration A, a film as a migration suppression layer is formed directly on each of a plurality of wirings formed on a substrate.

以下においては、隣合う2個の配線の間の領域を、「配線間領域」ともいう。また、以下においては、配線間領域に面する配線を、「対面配線」ともいう。隣合う2個の配線の各々は、対面配線である。また、以下においては、対面配線が有する、配線間領域に面する領域を、「対面領域」ともいう。対面配線の対面領域は、例えば、当該対面配線の側面である。隣合う2個の配線の各々は、側面としての対面領域を有する。 In the following, the area between two adjacent wirings is also referred to as "inter-wiring area". Moreover, below, the wiring which faces the area|region between wirings is also called "facing wiring." Each of two adjacent wirings is a facing wiring. In the following description, the area of the facing wiring that faces the inter-wiring area is also referred to as the "facing area". The facing area of the facing wiring is, for example, the side surface of the facing wiring. Each of two adjacent wirings has a facing region as a side surface.

関連構成Aにおいて、基板に形成された、互いに隣接する複数の配線の各々は、側面としての対面領域を有する。 In related configuration A, each of a plurality of mutually adjacent wirings formed on a substrate has a facing region as a side surface.

特許第5667927号公報Japanese Patent No. 5667927

イオンマイグレーションの発生を抑制する関連構成Aでは、互いに隣接する複数の配線の各々が有する、側面としての対面領域にも、マイグレーション抑制層としての膜が形成される。そのため、関連構成Aでは、当該複数の配線の間の距離の短縮化が困難である。すなわち、関連構成Aでは、当該複数の配線の高密度な配置を実現することができないという問題がある。 In the related configuration A that suppresses the occurrence of ion migration, a film as a migration suppressing layer is also formed on facing regions as side surfaces of each of a plurality of interconnects that are adjacent to each other. Therefore, in related configuration A, it is difficult to shorten the distance between the plurality of wirings. In other words, the related configuration A has a problem that it is impossible to realize a high-density arrangement of the plurality of wirings.

本開示は、このような問題を解決するためになされたものであり、イオンマイグレーションの発生の抑制と、複数の配線の高密度な配置とを実現することが可能な多層プリント配線基板を提供することを目的とする。 The present disclosure has been made to solve such problems, and provides a multilayer printed wiring board capable of suppressing the occurrence of ion migration and realizing high-density arrangement of a plurality of wirings. The purpose is to

上記目的を達成するために、本開示の一態様に係る多層プリント配線基板は、主面を有する基板と、基板の主面に設けられている配線パターンと、水を通さないバリヤー層とを備え、配線パターンは、互いに隣接する複数の配線を含み、複数の配線の間に電圧を印加可能なように、多層プリント配線基板は構成されており、複数の配線の間には、絶縁体が存在し、バリヤー層は、配線パターンの複数の配線の間の絶縁体を覆う。 To achieve the above object, a multilayer printed wiring board according to one aspect of the present disclosure includes a substrate having a main surface, a wiring pattern provided on the main surface of the substrate, and a barrier layer impermeable to water. , the wiring pattern includes a plurality of wirings adjacent to each other, the multilayer printed wiring board is configured so that a voltage can be applied between the plurality of wirings, and an insulator exists between the plurality of wirings. and the barrier layer covers the insulator between the wires of the wiring pattern.

本開示によれば、基板の主面に設けられている配線パターンは、互いに隣接する複数の配線を含む。複数の配線の間に電圧を印加可能なように、多層プリント配線基板は構成されている。複数の配線の間には、絶縁体が存在する。水を通さないバリヤー層は、配線パターンの複数の配線の間の絶縁体を覆う。 According to the present disclosure, the wiring pattern provided on the main surface of the substrate includes multiple wirings adjacent to each other. A multilayer printed wiring board is configured so that a voltage can be applied between a plurality of wirings. An insulator exists between the plurality of wires. A water impermeable barrier layer covers the insulation between the wires of the wiring pattern.

これにより、互いに隣接する複数の配線の間の絶縁体への水の侵入を抑制することができる。そのため、当該複数の配線の間に電圧が印加される状況において、イオンマイグレーションの発生を抑制することができる。 Accordingly, it is possible to suppress water from entering the insulator between the wirings adjacent to each other. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of ion migration in a situation where a voltage is applied between the plurality of wirings.

また、互いに隣接する複数の配線の間には、絶縁体が存在する。そのため、絶縁体のサイズが小さい当該絶縁体を使用することにより、当該複数の配線の間の距離の短縮化を実現することができる。 Also, an insulator exists between a plurality of wirings adjacent to each other. Therefore, by using an insulator having a small size, it is possible to shorten the distance between the plurality of wirings.

以上により、イオンマイグレーションの発生の抑制と、複数の配線の高密度な配置とを実現することができる。 As described above, suppression of ion migration and high-density arrangement of a plurality of wirings can be realized.

実施の形態1に係る多層プリント配線基板の断面図である。1 is a cross-sectional view of a multilayer printed wiring board according to Embodiment 1; FIG. 多層プリント配線基板の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a multilayer printed wiring board. 図1に示される、バリヤー層の構成を主に示す図である。It is a figure which mainly shows the structure of the barrier layer shown by FIG. 実施の形態1の変形構成Aにおける、バリヤー層の構成を主に示す図である。FIG. 4 is a diagram mainly showing the structure of a barrier layer in Modified Structure A of Embodiment 1; 実施の形態1の変形構成Bにおける、バリヤー層の構成を主に示す図である。FIG. 4 is a diagram mainly showing the structure of a barrier layer in modified structure B of Embodiment 1; バリヤー層構成を有する多層プリント配線基板の断面図である。1 is a cross-sectional view of a multilayer printed wiring board having a barrier layer configuration; FIG. バリヤー層構成を有さない多層プリント配線基板の断面図である。1 is a cross-sectional view of a multilayer printed wiring board without a barrier layer configuration; FIG.

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について説明する。以下の図面では、同一の構成要素には同一の符号を付してある。同一の符号が付されている構成要素の名称および機能は同じである。したがって、同一の符号が付されている構成要素の一部についての詳細な説明を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same components are given the same reference numerals. Components with the same reference numerals have the same names and functions. Therefore, detailed descriptions of some of the components denoted by the same reference numerals may be omitted.

なお、実施の形態において例示される構成要素の寸法、材質、形状、当該構成要素の相対配置などは、基板の構成、各種条件等により適宜変更されてもよい。また、図における構成要素の寸法は、実際の寸法と異なる場合がある。 Note that the dimensions, materials, shapes, and relative arrangement of the components illustrated in the embodiments may be appropriately changed depending on the configuration of the substrate, various conditions, and the like. Also, the dimensions of components in the drawings may differ from the actual dimensions.

<実施の形態1>
図1は、実施の形態1に係る多層プリント配線基板100の断面図である。図1において、X方向、Y方向およびZ方向は、互いに直交する。以下の図に示されるX方向、Y方向およびZ方向も、互いに直交する。以下においては、X方向と、当該X方向の反対の方向(-X方向)とを含む方向を「X軸方向」ともいう。また、以下においては、Y方向と、当該Y方向の反対の方向(-Y方向)とを含む方向を「Y軸方向」ともいう。また、以下においては、Z方向と、当該Z方向の反対の方向(-Z方向)とを含む方向を「Z軸方向」ともいう。
<Embodiment 1>
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer printed wiring board 100 according to Embodiment 1. FIG. In FIG. 1, the X, Y and Z directions are orthogonal to each other. The X, Y and Z directions shown in the following figures are also orthogonal to each other. Hereinafter, the direction including the X direction and the direction opposite to the X direction (−X direction) is also referred to as the “X-axis direction”. Also, hereinafter, the direction including the Y direction and the direction opposite to the Y direction (−Y direction) is also referred to as the “Y-axis direction”. Also, hereinafter, the direction including the Z direction and the direction opposite to the Z direction (−Z direction) is also referred to as the “Z-axis direction”.

また、以下においては、X軸方向およびY軸方向を含む平面を、「XY面」ともいう。また、以下においては、X軸方向およびZ軸方向を含む平面を、「XZ面」ともいう。また、以下においては、Y軸方向およびZ軸方向を含む平面を、「YZ面」ともいう。 Also, hereinafter, a plane including the X-axis direction and the Y-axis direction is also referred to as an "XY plane". Also, hereinafter, a plane including the X-axis direction and the Z-axis direction is also referred to as an "XZ plane". Also, hereinafter, a plane including the Y-axis direction and the Z-axis direction is also referred to as a "YZ plane".

図1に示されるように、多層プリント配線基板100は、基板8と、絶縁層3A,3Bと、導体層である配線パターン層E10A,E10Bと、レジスト層5A,5Bとを備える。 As shown in FIG. 1, the multilayer printed wiring board 100 includes a substrate 8, insulating layers 3A and 3B, wiring pattern layers E10A and E10B which are conductor layers, and resist layers 5A and 5B.

基板8は、例えば、積層板である。基板8は、ハロゲンを含む樹脂材料Aで構成される。樹脂材料Aは、ハロゲンを含むエポキシレジンがガラスクロスに含浸されて得られる材料である。当該ハロゲンは、例えば、臭素である。 The substrate 8 is, for example, a laminated plate. The substrate 8 is made of resin material A containing halogen. The resin material A is a material obtained by impregnating a glass cloth with an epoxy resin containing halogen. The halogen is, for example, bromine.

基板8は、主面としての表面8aと、主面としての裏面8bとを有する。裏面8bは、基板8のうち、表面8aと反対側の面である。表面8aおよび裏面8bの各々は、平面である。 The substrate 8 has a front surface 8a as a principal surface and a back surface 8b as a principal surface. The back surface 8b is the surface of the substrate 8 opposite to the front surface 8a. Each of the front surface 8a and the rear surface 8b is flat.

基板8の表面8aには、絶縁層3A、配線パターン層E10Aおよびレジスト層5Aの順で、当該絶縁層3A、当該配線パターン層E10Aおよび当該レジスト層5Aが積層されている。また、基板8の裏面8bには、絶縁層3B、配線パターン層E10Bおよびレジスト層5Bの順で、当該絶縁層3B、当該配線パターン層E10Bおよび当該レジスト層5Bが積層されている。 On the surface 8a of the substrate 8, the insulating layer 3A, the wiring pattern layer E10A and the resist layer 5A are laminated in the order of the insulating layer 3A, the wiring pattern layer E10A and the resist layer 5A. The insulating layer 3B, the wiring pattern layer E10B and the resist layer 5B are laminated on the rear surface 8b of the substrate 8 in the order of the insulating layer 3B, the wiring pattern layer E10B and the resist layer 5B.

また、基板8の表面8aおよび裏面8bの各々には、配線パターン19が設けられている。配線パターン19は、多層プリント配線基板100の内層に設けられた内層配線パターンである。配線パターン19は、導電性を有する金属で構成されている。導電性を有する金属は、例えば、銅である。配線パターン19は、互いに隣接する複数の配線9を含む。 A wiring pattern 19 is provided on each of the front surface 8a and the back surface 8b of the substrate 8. As shown in FIG. The wiring pattern 19 is an inner layer wiring pattern provided in the inner layer of the multilayer printed wiring board 100 . The wiring pattern 19 is made of a conductive metal. A conductive metal is, for example, copper. The wiring pattern 19 includes a plurality of wirings 9 adjacent to each other.

鉛直方向に沿った、各配線9の断面の形状は、矩形である。そのため、配線9は、上面、側面および底面を有する。なお、鉛直方向に沿った、各配線9の断面の形状は、矩形に限定されない。各配線9の断面の形状は、例えば、楕円であってもよい。各配線9の断面の形状が楕円である状況では、当該配線9の側面は、曲面である。 The shape of the cross section of each wiring 9 along the vertical direction is rectangular. Therefore, the wiring 9 has a top surface, side surfaces and a bottom surface. Note that the cross-sectional shape of each wiring 9 along the vertical direction is not limited to a rectangle. The cross-sectional shape of each wiring 9 may be, for example, an ellipse. In a situation where the shape of the cross section of each wiring 9 is an ellipse, the side surface of the wiring 9 is a curved surface.

配線パターン19の複数の配線9の各々は、金属としての銅で構成されている。当該複数の配線9の各々は、電極である。配線パターン19の複数の配線9が互いに接触しないように、当該複数の配線9は配置されている。配線パターン19の複数の配線9は、隣合う2個の配線9を含む。以下においては、配線パターン19に含まれる、隣合う2個の配線9を、「隣合い配線」ともいう。配線パターン19は、隣合い配線を含む。 Each of the wirings 9 of the wiring pattern 19 is made of copper as a metal. Each of the plurality of wirings 9 is an electrode. The plurality of wirings 9 of the wiring pattern 19 are arranged so that the plurality of wirings 9 do not contact each other. The plurality of wirings 9 of the wiring pattern 19 includes two adjacent wirings 9 . Two adjacent wirings 9 included in the wiring pattern 19 are hereinafter also referred to as "adjacent wirings". The wiring pattern 19 includes adjacent wirings.

以下においては、隣合い配線である2個の配線9の一方の配線9から、隣合い配線である2個の配線9の他方の配線9までの距離を、「配線間距離」または「絶縁距離」ともいう。また、以下においては、隣合い配線である2個の配線9の間の領域を、「配線間領域」または「絶縁領域」ともいう。 In the following, the distance from one wiring 9 of two wirings 9 that are adjacent wirings to the other wiring 9 of two wirings 9 that are adjacent wirings is referred to as "distance between wirings" or "insulation distance." ” is also called. Also, hereinafter, the region between two wirings 9 that are adjacent wirings is also referred to as an “interwiring region” or an “insulating region”.

隣合い配線である2個の配線9の間の配線間領域である絶縁領域には、絶縁体が存在する。以下においては、配線間領域に面する配線9を、「対面配線」ともいう。隣合い配線である2個の配線9の各々は、対面配線である。以下においては、対面配線が有する、配線間領域に面する領域を、「対面領域」ともいう。対面配線の対面領域は、例えば、対面配線の側面である。隣合い配線である2個の配線9の各々は、側面としての対面領域を有する。 An insulator exists in an insulating region, which is an inter-wiring region between two wirings 9 that are adjacent wirings. In the following, the wiring 9 facing the inter-wiring area is also referred to as "facing wiring". Each of the two wirings 9, which are adjacent wirings, are facing wirings. In the following, the area facing the inter-wiring area, which the facing wiring has, is also referred to as the "facing area". The facing area of the facing wiring is, for example, the side surface of the facing wiring. Each of the two wirings 9 that are adjacent wirings has a facing region as a side surface.

以下においては、基板8の表面8aに設けられた配線パターン19を、「配線パターン19A」ともいう。また、以下においては、基板8の裏面8bに設けられた配線パターン19を、「配線パターン19B」ともいう。すなわち、基板8の表面8aおよび裏面8bには、それぞれ、配線パターン19Aおよび配線パターン19Bが設けられている。 Hereinafter, the wiring pattern 19 provided on the surface 8a of the substrate 8 is also referred to as "wiring pattern 19A". In the following, the wiring pattern 19 provided on the back surface 8b of the substrate 8 is also referred to as "wiring pattern 19B". That is, the wiring pattern 19A and the wiring pattern 19B are provided on the front surface 8a and the rear surface 8b of the substrate 8, respectively.

配線パターン19Aは、一例として、4個の配線9を含む。以下においては、配線パターン19Aに含まれる4個の配線9を、配線9A,9B,9C,9Dともいう。例えば、配線9A,9Bは、隣合い配線である。また、例えば、配線9B,9Cは、隣合い配線である。 The wiring pattern 19A includes four wirings 9 as an example. The four wirings 9 included in the wiring pattern 19A are hereinafter also referred to as wirings 9A, 9B, 9C, and 9D. For example, the wirings 9A and 9B are adjacent wirings. Also, for example, the wirings 9B and 9C are adjacent wirings.

隣合い配線である配線9A,9Bの間の領域は、絶縁領域としての配線間領域である。また、隣合い配線である配線9B,9Cの間の領域は、絶縁領域としての配線間領域である。 A region between the wirings 9A and 9B, which are adjacent wirings, is an inter-wiring region as an insulating region. A region between the wirings 9B and 9C, which are adjacent wirings, is an inter-wiring region as an insulating region.

なお、配線パターン19Aに含まれる配線9の数は、4に限定されず、2、3、または、5以上であってもよい。また、配線パターン19Aに含まれる複数の配線9の配置の形態は、図1における配線パターン19Aに含まれる複数の配線9の配置の形態に限定されない。 The number of wirings 9 included in the wiring pattern 19A is not limited to 4, and may be 2, 3, or 5 or more. Further, the arrangement form of the plurality of wirings 9 included in the wiring pattern 19A is not limited to the arrangement form of the plurality of wirings 9 included in the wiring pattern 19A in FIG.

配線パターン19Bは、一例として、2個の配線9を含む。以下においては、配線パターン19Bに含まれる2個の配線9を、配線9E,9Fともいう。配線9E,9Fは、隣合い配線である。なお、配線パターン19Bに含まれる配線9の数は、2に限定されず、3以上であってもよい。また、配線パターン19Bに含まれる複数の配線9の配置の形態は、図1における配線パターン19Bに含まれる複数の配線9の配置の形態に限定されない。例えば、配線9Fは、点線で表現される四角の位置に配置されてもよい。 The wiring pattern 19B includes two wirings 9 as an example. The two wirings 9 included in the wiring pattern 19B are hereinafter also referred to as wirings 9E and 9F. The wirings 9E and 9F are adjacent wirings. The number of wirings 9 included in the wiring pattern 19B is not limited to two, and may be three or more. Further, the arrangement form of the plurality of wirings 9 included in the wiring pattern 19B is not limited to the arrangement form of the plurality of wirings 9 included in the wiring pattern 19B in FIG. For example, the wiring 9F may be arranged at a square position represented by a dotted line.

絶縁層3A,3Bの各々は、シート状の絶縁材である。シート状の絶縁材は、ハロゲンを含む樹脂材料Aである。樹脂材料Aは、ハロゲンを含むエポキシレジンをガラスクロスに含浸して、当該ガラスクロスを乾燥することにより得られる材料である。当該ハロゲンは、例えば、臭素である。絶縁層3A,3Bの各々は、ハロゲンを含む。 Each of the insulating layers 3A and 3B is a sheet-like insulating material. The sheet-shaped insulating material is resin material A containing halogen. The resin material A is a material obtained by impregnating a glass cloth with an epoxy resin containing halogen and drying the glass cloth. The halogen is, for example, bromine. Each of insulating layers 3A and 3B contains halogen.

基板8、配線パターン19Aおよび配線パターン19Bから、コア基材20が構成される。コア基材20は、基板8の表面8aに配線パターン19Aが設けられ、基板8の裏面8bに配線パターン19Bが設けられて、構成される。 A core substrate 20 is composed of the substrate 8, the wiring pattern 19A and the wiring pattern 19B. The core base material 20 is configured such that a wiring pattern 19A is provided on the front surface 8a of the substrate 8 and a wiring pattern 19B is provided on the back surface 8b of the substrate 8. As shown in FIG.

コア基材20の上部には、絶縁層3Aが設けられる。具体的には、絶縁層3Aが基板8の表面8aの配線パターン19Aを覆うように、当該絶縁層3Aは設けられる。また、配線パターン19Aに含まれる隣合い配線である2個の配線9の間の配線間領域に絶縁層3Aである絶縁材が存在するように、当該絶縁層3Aは設けられる。 An insulating layer 3A is provided on the core base material 20 . Specifically, the insulating layer 3A is provided so as to cover the wiring pattern 19A on the surface 8a of the substrate 8. As shown in FIG. Further, the insulating layer 3A is provided so that the insulating material, which is the insulating layer 3A, exists in an inter-wiring region between two wirings 9 that are adjacent wirings included in the wiring pattern 19A.

以下においては、隣合い配線である2個の配線9の間の配線間領域に存在する絶縁材を、「絶縁体3z」ともいう。絶縁体3zは、例えば、ハロゲンを含む絶縁層3Aの一部である。そのため、絶縁体3zは、ハロゲンを含む。 In the following description, the insulating material present in the inter-wiring region between two adjacent wirings 9 is also referred to as "insulator 3z". The insulator 3z is, for example, part of the insulating layer 3A containing halogen. Therefore, the insulator 3z contains halogen.

隣合い配線である2個の配線9の間には、絶縁体3zが存在する。具体的には、隣合い配線である2個の配線9に絶縁体3zが接触するように、当該2個の配線9の間には、絶縁体3zが存在する。絶縁体3zは、隣合い配線である2個の配線9に挟まれる。 An insulator 3z exists between two wirings 9 that are adjacent wirings. Specifically, the insulator 3z exists between the two wirings 9 so that the insulator 3z is in contact with the two wirings 9 that are adjacent wirings. The insulator 3z is sandwiched between two wirings 9 that are adjacent wirings.

ここで、隣合い配線は、配線9B,9Cであると仮定する。この場合、配線9Bと配線9Cとの間の配線間領域には、絶縁体3zが存在する。すなわち、配線9Bおよび配線9Cに絶縁体3zが接触するように、配線9Bと配線9Cとの間には、絶縁体3zが存在する。 Here, it is assumed that adjacent wirings are wirings 9B and 9C. In this case, the insulator 3z exists in the interwiring region between the wiring 9B and the wiring 9C. That is, the insulator 3z exists between the wiring 9B and the wiring 9C so that the insulator 3z is in contact with the wiring 9B and the wiring 9C.

コア基材20の下部には、絶縁層3Bが設けられる。具体的には、絶縁層3Bが基板8の裏面8bの配線パターン19Bを覆うように、当該絶縁層3Bは設けられる。また、配線パターン19Bに含まれる隣合い配線である2個の配線9の間の配線間領域に絶縁層3Bである絶縁材が存在するように、当該絶縁層3Bは設けられる。 An insulating layer 3B is provided under the core base material 20 . Specifically, the insulating layer 3B is provided so as to cover the wiring pattern 19B on the back surface 8b of the substrate 8. As shown in FIG. Further, the insulating layer 3B is provided so that the insulating material, which is the insulating layer 3B, exists in the inter-wiring region between two wirings 9 that are adjacent wirings included in the wiring pattern 19B.

ここで、隣合い配線は、配線9E,9Fであると仮定する。この場合、配線9Eと配線9Fとの間の配線間領域には、絶縁体3zが存在する。すなわち、配線9Eおよび配線9Fに絶縁体3zが接触するように、配線9Eと配線9Fとの間には、絶縁体3zが存在する。 Here, it is assumed that adjacent wirings are wirings 9E and 9F. In this case, the insulator 3z exists in the interwiring region between the wiring 9E and the wiring 9F. That is, the insulator 3z exists between the wiring 9E and the wiring 9F so that the insulator 3z is in contact with the wiring 9E and the wiring 9F.

以下においては、配線9Aと配線9Bとの間に存在する絶縁体3zを、「絶縁体3za」ともいう。また、以下においては、配線9Bと配線9Cとの間に存在する絶縁体3zを、「絶縁体3zb」ともいう。また、以下においては、配線9Cと配線9Dとの間に存在する絶縁体3zを、「絶縁体3zc」ともいう。また、以下においては、配線9Eと配線9Fとの間に存在する絶縁体3zを、「絶縁体3ze」ともいう。 In the following, the insulator 3z present between the wiring 9A and the wiring 9B is also referred to as "insulator 3za". In the following description, the insulator 3z present between the wiring 9B and the wiring 9C is also referred to as "insulator 3zb". In the following description, the insulator 3z present between the wiring 9C and the wiring 9D is also referred to as "insulator 3zc". In the following description, the insulator 3z present between the wiring 9E and the wiring 9F is also referred to as "insulator 3ze".

また、以下においては、水が通過できない部材を、「水非通過部材」ともいう。水は、水非通過部材を通過できない。すなわち、水非通過部材は、水を通さない部材である。水非通過部材は、例えば、銅等の金属である。以下においては、水が通過可能な部材を、「水通過部材」ともいう。水は、水通過部材を通過可能である。 Further, hereinafter, a member through which water cannot pass is also referred to as a "water impermeable member". Water cannot pass through the water impermeable member. That is, the water impermeable member is a member impermeable to water. The water impermeable member is, for example, metal such as copper. Hereinafter, a member through which water can pass is also referred to as a "water passing member". Water can pass through the water passage member.

配線パターン層E10A,E10Bの各々は、多層プリント配線基板100の表層である。配線パターン層E10A,E10Bの各々は、水平方向において、導電性を有する複数の部材を電気的に接続する水平接続構造を有する。 Each of the wiring pattern layers E10A and E10B is a surface layer of the multilayer printed wiring board 100. FIG. Each of the wiring pattern layers E10A and E10B has a horizontal connection structure for electrically connecting a plurality of conductive members in the horizontal direction.

配線パターン層E10A,E10Bの各々は、水非通過部材で構成されている。配線パターン層E10A,E10Bの各々は、導電性を有する金属箔で構成されている。当該金属箔は、例えば、銅箔である。配線パターン層E10Aは、基板8の表面8a側に設けられている。また、配線パターン層E10Bは、基板8の裏面8b側に設けられている。 Each of the wiring pattern layers E10A and E10B is made of a water impermeable member. Each of the wiring pattern layers E10A and E10B is made of a conductive metal foil. The metal foil is, for example, copper foil. The wiring pattern layer E10A is provided on the surface 8a side of the substrate 8 . Further, the wiring pattern layer E10B is provided on the back surface 8b side of the substrate 8. As shown in FIG.

絶縁層3Aは、表面3aを有する。絶縁層3Aの表面3aには、配線パターン19Aを覆う配線パターン層E10Aが設けられている。すなわち、多層プリント配線基板100には、配線パターン層E10Aが存在する。配線パターン層E10Aは、複数の配線パターンE1と、バリヤー層7Aとで構成されている。すなわち、バリヤー層7Aは、配線パターン層E10Aの一部である。 The insulating layer 3A has a surface 3a. A wiring pattern layer E10A covering the wiring pattern 19A is provided on the surface 3a of the insulating layer 3A. That is, the multilayer printed wiring board 100 has the wiring pattern layer E10A. The wiring pattern layer E10A is composed of a plurality of wiring patterns E1 and a barrier layer 7A. That is, the barrier layer 7A is part of the wiring pattern layer E10A.

バリヤー層7Aは、基板8の表面8a側に設けられている。バリヤー層7Aは、基板8の上方に設けられている。また、バリヤー層7Aは、絶縁層3Aの表面3aに設けられている。各配線パターンE1は、銅箔で構成されている。 The barrier layer 7A is provided on the surface 8a side of the substrate 8. As shown in FIG. A barrier layer 7A is provided above the substrate 8 . Also, the barrier layer 7A is provided on the surface 3a of the insulating layer 3A. Each wiring pattern E1 is made of copper foil.

また、絶縁層3Bは、裏面3bを有する。絶縁層3Bの裏面3bには、基板8の裏面8bに設けられた配線パターン19Bを覆う配線パターン層E10Bが設けられている。すなわち、多層プリント配線基板100には、配線パターン層E10Bが存在する。配線パターン層E10Bは、複数の配線パターンE1と、バリヤー層7Bとで構成されている。すなわち、バリヤー層7Bは、配線パターン層E10Bの一部である。 Insulating layer 3B also has back surface 3b. A wiring pattern layer E10B that covers the wiring pattern 19B provided on the back surface 8b of the substrate 8 is provided on the back surface 3b of the insulating layer 3B. That is, the multilayer printed wiring board 100 has the wiring pattern layer E10B. The wiring pattern layer E10B is composed of a plurality of wiring patterns E1 and a barrier layer 7B. That is, the barrier layer 7B is part of the wiring pattern layer E10B.

バリヤー層7Bは、基板8の裏面8b側に設けられている。バリヤー層7Bは、基板8の下方に設けられている。また、バリヤー層7Bは、絶縁層3Bの裏面3bに設けられている。以下においては、配線パターン層E10A,E10Bの各々を、「配線パターン層E10」ともいう。 The barrier layer 7B is provided on the back surface 8b side of the substrate 8 . A barrier layer 7B is provided below the substrate 8 . Also, the barrier layer 7B is provided on the rear surface 3b of the insulating layer 3B. Each of the wiring pattern layers E10A and E10B is hereinafter also referred to as "wiring pattern layer E10".

バリヤー層7A,7Bの各々は、水非通過部材で構成されている。すなわち、バリヤー層7Aは、水を通さない層である。「水を通さない層」という表現は、「水を全く通さない層」という意味と、「微量の水を通す層」という意味とを含む。また、バリヤー層7Bも、水を通さない層である。 Each of the barrier layers 7A, 7B is composed of a water impermeable member. That is, the barrier layer 7A is a layer impermeable to water. The expression "water-impermeable layer" includes the meaning of "a layer impermeable to water at all" and the meaning of "a layer permeable to a small amount of water". The barrier layer 7B is also a water impermeable layer.

バリヤー層7A,7Bの各々は、銅箔で構成されている。バリヤー層7A,7Bの各々の形状は、シート状である。前述したように、バリヤー層7Aは、基板8の表面8a側に設けられている。また、バリヤー層7Bは、基板8の裏面8b側に設けられている。 Each of the barrier layers 7A, 7B is made of copper foil. Each of the barrier layers 7A and 7B has a sheet shape. As described above, the barrier layer 7A is provided on the surface 8a side of the substrate 8. As shown in FIG. Also, the barrier layer 7B is provided on the back surface 8b side of the substrate 8 .

以下においては、バリヤー層7A,7Bの各々を、「バリヤー層7」ともいう。すなわち、バリヤー層7は、基板8の表面8a側および裏面8b側の各々に設けられている。また、バリヤー層7は、基板8の上方、および、当該基板8の下方の各々に設けられている。バリヤー層7Aは、基板8の表面3aに沿って、延在している。バリヤー層7Bは、基板8の裏面3bに沿って、延在している。 Each of the barrier layers 7A and 7B is hereinafter also referred to as "barrier layer 7". In other words, the barrier layer 7 is provided on each of the front surface 8a side and the rear surface 8b side of the substrate 8 . Also, the barrier layer 7 is provided above the substrate 8 and below the substrate 8 . Barrier layer 7 A extends along surface 3 a of substrate 8 . The barrier layer 7B extends along the back surface 3b of the substrate 8. As shown in FIG.

以下においては、バリヤー層7の構成を、「バリヤー層構成」ともいう。バリヤー層構成は、バリヤー層7を使用した構成でもある。多層プリント配線基板100は、バリヤー層構成を有する。 Hereinafter, the configuration of the barrier layer 7 is also referred to as "barrier layer configuration". The barrier layer configuration is also a configuration using the barrier layer 7 . Multilayer printed wiring board 100 has a barrier layer configuration.

レジスト層5A,5Bの各々は、多層プリント配線基板100の表層である。レジスト層5Aは、絶縁層3Aの表面3aに設けられている。レジスト層5Bは、絶縁層3Bの裏面3bに設けられている。レジスト層5A,5Bの各々は、水が通過可能な水通過部材で構成される。 Each of resist layers 5A and 5B is a surface layer of multilayer printed wiring board 100 . The resist layer 5A is provided on the surface 3a of the insulating layer 3A. The resist layer 5B is provided on the rear surface 3b of the insulating layer 3B. Each of the resist layers 5A and 5B is composed of a water passage member through which water can pass.

本実施の形態では、配線パターン19の複数の配線9の間に電圧を印加可能なように、多層プリント配線基板100は構成されている。以下においては、配線パターン19の複数の配線9の間に電圧を印加可能な構成を、「電圧印加構成」ともいう。電圧印加構成は、複数の配線9の間に電圧を印加するための構成である。多層プリント配線基板100は、電圧印加構成を有する。電圧印加構成は、ビアホールとしてのスルーホールH1a,H1bを使用した構成である。 In the present embodiment, multilayer printed wiring board 100 is configured such that a voltage can be applied between multiple wires 9 of wiring pattern 19 . In the following description, the configuration capable of applying voltage between the wirings 9 of the wiring pattern 19 is also referred to as "voltage application configuration". A voltage application configuration is a configuration for applying a voltage between a plurality of wirings 9 . The multilayer printed wiring board 100 has a voltage application configuration. The voltage application configuration is a configuration using through holes H1a and H1b as via holes.

多層プリント配線基板100には、スルーホールH1a,H1bが設けられている。スルーホールH1a,H1bの各々は、多層プリント配線基板100の厚み方向に沿って、延在している。スルーホールH1a,H1bの各々は、絶縁層3A、基板8および絶縁層3Bにわたって設けられている。スルーホールH1a,H1bの各々は、層間接続を行なうための構成要素である。 The multilayer printed wiring board 100 is provided with through holes H1a and H1b. Each of through holes H1a and H1b extends along the thickness direction of multilayer printed wiring board 100 . Each of through holes H1a and H1b is provided over insulating layer 3A, substrate 8 and insulating layer 3B. Each of through holes H1a and H1b is a component for interlayer connection.

電圧印加構成では、スルーホールH1aとスルーホールH1bとの間に電圧を印加可能なように、スルーホールH1a,H1bは構成されている。また、電圧印加構成では、スルーホールH1aとスルーホールH1bとの間に電圧が印加されると、配線パターン19の複数の配線9の間に電圧が印加されるように、スルーホールH1a,H1b、および、当該複数の配線9は構成されている。 In the voltage application configuration, the through holes H1a and H1b are configured such that a voltage can be applied between the through holes H1a and H1b. Further, in the voltage application configuration, the through holes H1a, H1b, And, the plurality of wirings 9 are configured.

絶縁層3Aの表面3aに設けられている複数の配線パターンE1は、スルーホールH1aと電気的に接続されている配線パターンE1を含む。以下においては、スルーホールH1aと電気的に接続されている配線パターンE1を、「配線パターンE1a」ともいう。 A plurality of wiring patterns E1 provided on surface 3a of insulating layer 3A includes wiring patterns E1 electrically connected to through holes H1a. The wiring pattern E1 electrically connected to the through hole H1a is hereinafter also referred to as "wiring pattern E1a".

絶縁層3Bの裏面3bに設けられている複数の配線パターンE1は、スルーホールH1bと電気的に接続されている配線パターンE1を含む。以下においては、スルーホールH1bと電気的に接続されている配線パターンE1を、「配線パターンE1b」ともいう。 A plurality of wiring patterns E1 provided on back surface 3b of insulating layer 3B include wiring patterns E1 electrically connected to through holes H1b. Hereinafter, the wiring pattern E1 electrically connected to the through hole H1b is also referred to as "wiring pattern E1b".

電圧印加構成では、配線パターンE1aと配線パターンE1bとの間に電圧を印加可能なように、当該配線パターンE1aおよび当該配線パターンE1bは構成されている。配線パターンE1aと配線パターンE1bとの間に電圧が印加されることにより、スルーホールH1aとスルーホールH1bとの間に電圧が印加されて、配線パターン19の複数の配線9の間に電圧が印加される。 In the voltage application configuration, the wiring pattern E1a and the wiring pattern E1b are configured so that a voltage can be applied between the wiring pattern E1a and the wiring pattern E1b. By applying a voltage between the wiring pattern E1a and the wiring pattern E1b, a voltage is applied between the through holes H1a and H1b, and a voltage is applied between the wirings 9 of the wiring pattern 19. be done.

以下においては、多層プリント配線基板100に電圧が印加されている状況を、「電圧印加状況」ともいう。また、以下においては、多層プリント配線基板100に電圧が印加されていない状況を、「電圧非印加状況」ともいう。多層プリント配線基板100の状況には、電圧印加状況と、電圧非印加状況とが存在する。 Hereinafter, the state in which voltage is applied to multilayer printed wiring board 100 is also referred to as "voltage application state." Further, hereinafter, the state in which no voltage is applied to the multilayer printed wiring board 100 is also referred to as "no voltage applied state". The status of the multilayer printed wiring board 100 includes a voltage application status and a voltage non-application status.

電圧印加状況は、スルーホールH1aとスルーホールH1bとの間に電圧が印加されている状況である。また、電圧印加状況は、配線パターン19の複数の配線9の間に電圧が印加されている状況でもある。電圧印加状況は、例えば、配線パターンE1a,E1b間に電圧を印加する構成を有する、図示されない外部電源が、当該配線パターンE1a,E1b間に電圧を印加することにより発生する。当該外部電源は、多層プリント配線基板100に含まれない。 A voltage application state is a state in which a voltage is applied between the through hole H1a and the through hole H1b. Also, the voltage application state is a state in which a voltage is applied between the wirings 9 of the wiring pattern 19 . The voltage application state is generated by applying a voltage between the wiring patterns E1a and E1b by an external power supply (not shown) having a configuration for applying a voltage between the wiring patterns E1a and E1b, for example. The external power supply is not included in multilayer printed wiring board 100 .

以下においては、電圧印加状況において、多層プリント配線基板100のうち、イオンマイグレーションが発生する可能性がある部分を、「発生可能部」ともいう。本実施の形態では、発生可能部は、絶縁体3zbであるとして説明する。前述したように、複数の配線9は、銅で構成されている。そのため、配線9に隣接する、発生可能部である絶縁体3zで発生する可能性があるイオンマイグレーションは、銅イオンマイグレーションである。 Hereinafter, a portion of the multilayer printed wiring board 100 where ion migration may occur under voltage application conditions is also referred to as a “probable portion”. In this embodiment, the insulator 3zb is assumed to be the possible portion. As described above, the multiple wirings 9 are made of copper. Therefore, the ion migration that can occur in the insulator 3z, which is the portion that can occur, adjacent to the wiring 9 is copper ion migration.

電圧印加状況では、例えば、配線パターン19Aにおける、配線9A,9B間、配線9B,9C間および配線9C,9D間に電圧が印加される。すなわち、電圧印加状況では、配線パターン19Aの配線9Bと配線9Cとの間に電圧が印加される。また、電圧印加状況では、例えば、配線パターン19Bの配線9Eと配線9Fとの間に電圧が印加される。 In the voltage application state, for example, a voltage is applied between the wirings 9A and 9B, between the wirings 9B and 9C, and between the wirings 9C and 9D in the wiring pattern 19A. That is, in a voltage application state, a voltage is applied between the wiring 9B and the wiring 9C of the wiring pattern 19A. In the voltage application state, for example, voltage is applied between the wiring 9E and the wiring 9F of the wiring pattern 19B.

バリヤー層7Aの電位が特定の電位に固定されないように、当該バリヤー層7Aは構成される。例えば、バリヤー層7Aは、配線パターン19Aから離隔される。具体的には、バリヤー層7Aは、配線パターン19Aの配線9A,9B,9C,9Dと電気的に接続されていない。配線9A,9B,9C,9Dは、電圧を印加可能な配線である。また、バリヤー層7Aは、例えば、表面3aに存在する配線パターンE1と電気的に接続されていない。 The barrier layer 7A is constructed such that the potential of the barrier layer 7A is not fixed at a specific potential. For example, the barrier layer 7A is separated from the wiring pattern 19A. Specifically, the barrier layer 7A is not electrically connected to the wirings 9A, 9B, 9C, 9D of the wiring pattern 19A. The wirings 9A, 9B, 9C, and 9D are wirings to which voltage can be applied. Also, the barrier layer 7A is not electrically connected to, for example, the wiring pattern E1 present on the surface 3a.

また、バリヤー層7Bの電位が特定の電位に固定されないように、当該バリヤー層7Bは構成される。例えば、バリヤー層7Bは、配線パターン19Bから離隔される。具体的には、バリヤー層7Bは、配線パターン19Bの配線9E,9Fと電気的に接続されていない。配線9E,9Fは、電圧を印加可能な配線である。また、バリヤー層7Bは、例えば、裏面3bに存在する配線パターンE1と電気的に接続されていない。 Also, the barrier layer 7B is configured so that the potential of the barrier layer 7B is not fixed at a specific potential. For example, the barrier layer 7B is separated from the wiring pattern 19B. Specifically, the barrier layer 7B is not electrically connected to the wirings 9E and 9F of the wiring pattern 19B. The wirings 9E and 9F are wirings to which a voltage can be applied. Also, the barrier layer 7B is not electrically connected to, for example, the wiring pattern E1 present on the back surface 3b.

本実施の形態では、水分が、水通過部材であるレジスト層5A,5Bから、発生可能部である絶縁体3zbへ侵入することを抑制するように、バリヤー層7A,7Bの各々は、発生可能部である絶縁体3zbを覆う。バリヤー層7Aは、配線パターン19Aを局所的に覆う。 In the present embodiment, each of the barrier layers 7A and 7B is designed to prevent moisture from penetrating from the resist layers 5A and 5B, which are water passage members, into the insulator 3zb, which is the portion where water can be generated. It covers the insulator 3zb which is the part. The barrier layer 7A locally covers the wiring pattern 19A.

具体的には、バリヤー層7Aは、配線パターン19Aの配線9Bと配線9Cとの間の絶縁体3zbを覆う。バリヤー層7Aは、絶縁体3zbから離隔しており、当該バリヤー層7Aは、絶縁体3zbに接触しない。バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上部と、配線9B,9Cの各々の上面とを覆う。 Specifically, the barrier layer 7A covers the insulator 3zb between the wiring 9B and the wiring 9C of the wiring pattern 19A. The barrier layer 7A is separated from the insulator 3zb and does not contact the insulator 3zb. The barrier layer 7A covers the top of the insulator 3zb and the top surfaces of the wirings 9B and 9C.

また、バリヤー層7Aは、配線9Bと配線9Cとの間の領域には存在しない。そのため、バリヤー層7Aは、配線9B,9Cの各々が有する、側面としての対面領域には形成されない。すなわち、バリヤー層7Aは、配線9B,9Cの各々が有する、側面としての対面領域には接触しない。 Also, the barrier layer 7A does not exist in the region between the wiring 9B and the wiring 9C. Therefore, the barrier layer 7A is not formed in the facing regions as side surfaces of the wirings 9B and 9C. That is, the barrier layer 7A does not come into contact with the facing regions as side surfaces of the wirings 9B and 9C.

バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbを覆う。また、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbと、隣合い配線である配線9B,9Cとを覆う。 The barrier layer 7A covers the insulator 3zb from above. Moreover, the barrier layer 7A covers the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C, which are adjacent wirings, from above the insulator 3zb.

以下においては、基板8の主面のうち、発生可能部と、当該発生可能部を挟む2個の配線9とが設けられている領域を、「領域A」ともいう。当該基板8の主面は、表面8aまたは裏面8bである。また、以下においては、基板8の主面のうち、領域Aと異なる領域を「領域B」ともいう。基板8の主面は、領域Aおよび領域Bを有する。 Hereinafter, of the main surface of the substrate 8, the region in which the generatable portion and the two wirings 9 sandwiching the generatable portion are provided is also referred to as "region A". The main surface of the substrate 8 is the front surface 8a or the back surface 8b. Also, hereinafter, a region different from the region A on the main surface of the substrate 8 is also referred to as a “region B”. A main surface of the substrate 8 has a region A and a region B. FIG.

また、以下においては、発生可能部が存在する配線パターン19のうち、当該発生可能部と、当該発生可能部を挟む2個の配線9とが存在しない領域も、「領域B」という。 In addition, hereinafter, of the wiring pattern 19 in which a possible part exists, a region in which the possible part and the two wirings 9 sandwiching the possible part do not exist is also referred to as "area B".

バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbを覆う。バリヤー層7Bは、絶縁体3zbから離隔しており、当該バリヤー層7Bは、絶縁体3zbに接触しない。 A barrier layer 7B covers the insulator 3zb from below. The barrier layer 7B is separated from the insulator 3zb and does not contact the insulator 3zb.

また、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbと、配線9B,9Cとを覆う。具体的には、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbの下部と、配線9B,9Cの各々の下面とを覆う。 Moreover, the barrier layer 7B covers the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C from below the insulator 3zb. Specifically, the barrier layer 7B covers the lower part of the insulator 3zb and the lower surfaces of the wirings 9B and 9C from below the insulator 3zb.

バリヤー層7Bは、配線9Bと配線9Cとの間の領域には存在しない。そのため、バリヤー層7Bは、配線9B,9Cの各々が有する、側面としての対面領域には形成されない。すなわち、バリヤー層7Bは、配線9B,9Cの各々が有する、側面としての対面領域には接触しない。 Barrier layer 7B does not exist in the region between wiring 9B and wiring 9C. Therefore, the barrier layer 7B is not formed in the facing regions as side surfaces of the wirings 9B and 9C. That is, the barrier layer 7B does not come into contact with the facing regions as side surfaces of the wirings 9B and 9C.

図1におけるバリヤー層構成は、以下の状況Stに対応した構成である。状況Stは、発生可能部が、主面としての表面8aに存在する状況である。また、状況Stは、発生可能部が絶縁体3zbである状況である。また、状況Stは、発生可能部を挟む2個の配線9が、配線9B,9Cである状況である。 The barrier layer structure in FIG. 1 corresponds to the following situation St. Situation St is a situation in which the possible part exists on the surface 8a as the main surface. Situation St is a situation in which the possible part is the insulator 3zb. Situation St is a situation in which two wirings 9 sandwiching the possible occurrence part are wirings 9B and 9C.

状況Stに対応した、図1のバリヤー層構成では、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aを局所的に覆う。具体的には、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbおよび配線9B,9Cを覆う。すなわち、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、少なくとも当該絶縁体3zbを覆う。バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、領域Bを覆わない。 In the barrier layer configuration of FIG. 1 corresponding to the situation St, the barrier layer 7A locally covers the wiring pattern 19A in which the insulator 3zb exists from above the insulator 3zb. Specifically, the barrier layer 7A covers the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C from above the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7A covers at least the insulator 3zb from above. Barrier layer 7A does not cover area B from above insulator 3zb.

状況Stにおける当該領域Bは、基板8の表面8aのうち、領域Aと異なる領域である。状況Stにおける当該領域Aは、基板8の表面8aのうち、絶縁体3zbと配線9B,9Cとが設けられている領域である。また、状況Stにおける当該領域Bは、配線パターン19Aのうち、絶縁体3zbと配線9B,9Cとが存在しない領域でもある。 The region B in the situation St is a region different from the region A on the surface 8a of the substrate 8. FIG. The region A in the situation St is a region of the surface 8a of the substrate 8 where the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C are provided. Further, the area B in the situation St is also an area in the wiring pattern 19A in which the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C do not exist.

また、状況Stに対応したバリヤー層構成では、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aを局所的に覆う。具体的には、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbおよび配線9B,9Cを覆う。すなわち、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、少なくとも当該絶縁体3zbを覆う。バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、領域Bを覆わない。 Further, in the barrier layer configuration corresponding to the situation St, the barrier layer 7B locally covers the wiring pattern 19A in which the insulator 3zb exists from below the insulator 3zb. Specifically, the barrier layer 7B covers the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C from below the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7B covers at least the insulator 3zb from below the insulator 3zb. The barrier layer 7B does not cover the area B from below the insulator 3zb.

配線パターン層E10Aは、発生可能部である絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの上方に存在する。前述したように、バリヤー層7Aは、配線パターン層E10Aの一部である。配線パターン層E10Bは、発生可能部である絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの下方に存在する。前述したように、バリヤー層7Bは、配線パターン層E10Bの一部である。 The wiring pattern layer E10A exists above the wiring pattern 19A in which the insulator 3zb, which is a possible part, exists. As described above, the barrier layer 7A is part of the wiring pattern layer E10A. The wiring pattern layer E10B exists below the wiring pattern 19A in which the insulator 3zb, which is a possible part, exists. As mentioned above, the barrier layer 7B is part of the wiring pattern layer E10B.

以下においては、電圧印加状況において、電圧が加わる方向を、「方向D」ともいう。方向Dは、例えば、スルーホールH1aからスルーホールH1bに向かう方向である。例えば、図1における方向Dは、X軸に沿った方向である。 In the following description, the direction in which the voltage is applied is also referred to as "direction D". Direction D is, for example, the direction from through hole H1a to through hole H1b. For example, direction D in FIG. 1 is along the X-axis.

バリヤー層7Aの幅は、配線9B,9Cの配線間距離より長い。具体的には、方向Dにおけるバリヤー層7Aの長さは、配線9B,9Cの配線間距離より長い。また、方向Dにおいて、バリヤー層7Aは、発生可能部である絶縁体3zbの全体と、配線9Bの全体および配線9Cの全体とを覆う。 The width of the barrier layer 7A is longer than the distance between the wirings 9B and 9C. Specifically, the length of the barrier layer 7A in the direction D is longer than the distance between the wires 9B and 9C. In addition, in the direction D, the barrier layer 7A covers the entire insulator 3zb, which can be generated, and the entire wiring 9B and wiring 9C.

また、バリヤー層7Bの幅は、配線9B,9Cの配線間距離より長い。具体的には、方向Dにおけるバリヤー層7Bの長さは、配線9B,9Cの配線間距離より長い。また、方向Dにおいて、バリヤー層7Bは、発生可能部である絶縁体3zbの全体と、配線9Bの全体および配線9Cの全体とを覆う。 Also, the width of the barrier layer 7B is longer than the distance between the wires 9B and 9C. Specifically, the length of the barrier layer 7B in the direction D is longer than the distance between the wires 9B and 9C. In addition, in the direction D, the barrier layer 7B covers the entire insulator 3zb that can be generated, the entire wiring 9B, and the entire wiring 9C.

以下においては、電圧印加状況において電位差が存在する隣合い配線を、「電圧印加隣合い配線」ともいう。電圧印加隣合い配線は、例えば、電圧印加状況における配線9B,9Cである。また、以下においては、電圧印加隣合い配線である2個の配線9の間の電界強度を、「電界強度E」ともいう。 In the following description, an adjacent wiring having a potential difference in a voltage application state is also referred to as a "voltage application adjacent wiring". The voltage application adjacent wirings are, for example, the wirings 9B and 9C in the voltage application state. Also, hereinafter, the electric field strength between two wirings 9 that are adjacent wirings for voltage application is also referred to as "electric field strength E".

ここで、電圧印加隣合い配線である2個の配線9の間に印加される電圧を、「電圧V」と表記する。また、電圧印加隣合い配線である2個の配線9の配線間距離である絶縁距離を、「絶縁距離d」と表記する。 Here, the voltage applied between two wirings 9, which are adjacent wirings for voltage application, is expressed as "voltage V". Also, the insulation distance, which is the distance between two wirings 9 that are adjacent wirings for voltage application, is expressed as "insulation distance d".

この場合、「電界強度E」は、「電圧V/絶縁距離d」で表現される式Aにより求められる。式Aにより、電圧印加隣合い配線の電界強度Eが強いほど、イオンマイグレーションは発生しやすい。また、式Aにより、電圧印加隣合い配線の絶縁距離dが短い程、イオンマイグレーションは発生しやすい。 In this case, the "electric field intensity E" is obtained by the formula A expressed as "voltage V/insulation distance d". According to the formula A, ion migration is more likely to occur as the electric field intensity E of the voltage-applied adjacent wiring is stronger. Further, according to the formula A, the shorter the insulation distance d between adjacent wirings to which a voltage is applied, the more easily ion migration occurs.

電圧印加隣合い配線である配線9B,9Cの絶縁距離dは、電圧印加隣合い配線である配線9A,9Bの絶縁距離dより短い。そのため、電圧印加状況における配線9B,9Cの電界強度Eは、電圧印加状況における配線9A,9Bの電界強度Eより強い。すなわち、電圧印加状況において、配線9Bと配線9Cとの間に存在する絶縁体3zbに加わる電界強度Eは、配線9Aと配線9Bとの間に存在する絶縁体3zaに加わる電界強度Eより強い。 The insulation distance d of the wirings 9B and 9C, which are adjacent voltage application wirings, is shorter than the insulation distance d of the wirings 9A, 9B which are adjacent voltage application wirings. Therefore, the electric field intensity E of the wirings 9B and 9C under the voltage application condition is stronger than the electric field intensity E of the wirings 9A and 9B under the voltage application condition. That is, in the voltage application state, the electric field strength E applied to the insulator 3zb between the wirings 9B and 9C is stronger than the electric field strength E applied to the insulator 3za between the wirings 9A and 9B.

イオンマイグレーションは、電位差が存在する複数の配線間の配線間領域に、水分およびイオン性物質が存在する場合に、発生する可能性がある。すなわち、イオンマイグレーションは、電圧印加隣合い配線の配線間領域に設けられた絶縁体3zに、水分およびイオン性物質が存在する場合に、発生する可能性がある。 Ion migration can occur when moisture and ionic substances are present in inter-wiring regions between multiple wirings where potential differences exist. That is, ion migration may occur when moisture and ionic substances are present in the insulator 3z provided in the inter-wiring region of the voltage application adjacent wiring.

また、イオンマイグレーションは、電圧印加隣合い配線の電界強度Eが強いほど、発生しやすい。前述したように、電圧印加状況において、配線9Bと配線9Cとの間に存在する絶縁体3zbに加わる電界強度Eは、配線9Aと配線9Bとの間に存在する絶縁体3zaに加わる電界強度Eより強い。したがって、絶縁体3zbは、絶縁体3zaよりも、イオンマイグレーションが発生しやすい発生可能部である。 Further, ion migration is more likely to occur as the electric field intensity E of the voltage-applied adjacent wiring is stronger. As described above, in the voltage application state, the electric field strength E applied to the insulator 3zb present between the wirings 9B and 9C is equal to the electric field strength E applied to the insulator 3za present between the wirings 9A and 9B. stronger. Therefore, the insulator 3zb is a portion where ion migration is more likely to occur than the insulator 3za.

そこで、本実施の形態では、水を通さないバリヤー層7Aが、電圧印加隣合い配線である配線9Bおよび配線9Cの間に存在する、発生可能部である絶縁体3zbを覆う。そのため、バリヤー層7Aの存在により、発生可能部である絶縁体3zbへの水分の侵入を抑制することができる。例えば、水通過部材であるレジスト層5Aの上方から、発生可能部である絶縁体3zbに水分が侵入することを抑制することができる。 Therefore, in the present embodiment, the water impermeable barrier layer 7A covers the insulator 3zb, which is the portion that can be generated, between the wiring 9B and the wiring 9C, which are adjacent voltage application wirings. Therefore, the presence of the barrier layer 7A can prevent moisture from entering the insulator 3zb, which can occur. For example, it is possible to prevent moisture from entering the insulator 3zb, which is a possible part, from above the resist layer 5A, which is a water passage member.

また、水を通さないバリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbを覆う。そのため、バリヤー層7Bの存在により、発生可能部である絶縁体3zbへの水分の侵入を抑制することができる。例えば、水通過部材であるレジスト層5Bの下方から、発生可能部である絶縁体3zbに水分が侵入することを抑制することができる。 Also, the water-impermeable barrier layer 7B covers the insulator 3zb from below. Therefore, due to the presence of the barrier layer 7B, penetration of moisture into the insulator 3zb, which can occur, can be suppressed. For example, it is possible to prevent moisture from penetrating from below the resist layer 5B, which is a water passage member, into the insulator 3zb, which is a possible portion.

上記の構成を有する多層プリント配線基板100により、電圧印加状況において、イオンマイグレーションの発生を抑制することができる。 The multilayer printed wiring board 100 having the above structure can suppress the occurrence of ion migration under voltage application conditions.

(製造方法)
次に、図1および図2を用いて、多層プリント配線基板100の製造方法について説明する。図2は、多層プリント配線基板100の製造方法を説明するための図である。以下においては、多層プリント配線基板100の製造方法を、「製造方法Pr」ともいう。
(Production method)
Next, a method for manufacturing the multilayer printed wiring board 100 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. FIG. 2 is a diagram for explaining a method of manufacturing the multilayer printed wiring board 100. FIG. Hereinafter, the method for manufacturing the multilayer printed wiring board 100 is also referred to as “manufacturing method Pr”.

製造方法Prでは、まず、基板8に対し、配線パターン形成工程が行われる。配線パターン形成工程では、基板8の表面8aに内層用導体層が形成される。次に、当該内層用導体層がエッチングされることにより、図2に示される、配線9A,9B,9C,9Dを含む配線パターン19Aが形成される。 In the manufacturing method Pr, first, a wiring pattern forming step is performed on the substrate 8 . In the wiring pattern forming step, an inner conductor layer is formed on the surface 8 a of the substrate 8 . Next, by etching the inner conductor layer, a wiring pattern 19A including wirings 9A, 9B, 9C, and 9D shown in FIG. 2 is formed.

また、基板8の裏面8bに内層用導体層が形成される。次に、当該内層用導体層がエッチングされることにより、配線9E,9Fを含む配線パターン19Bが形成される。これにより、基板8、配線パターン19Aおよび配線パターン19Bで構成されるコア基材20が形成される。 An inner conductor layer is formed on the back surface 8 b of the substrate 8 . Next, the wiring pattern 19B including the wirings 9E and 9F is formed by etching the inner conductor layer. Thereby, the core substrate 20 composed of the substrate 8, the wiring pattern 19A and the wiring pattern 19B is formed.

次に、積層工程が行われる。積層工程では、要約すれば、コア基材20における基板8の表面8aに、絶縁層3Aおよび導体層4Aの順で、当該絶縁層3Aおよび当該導体層4Aが積層される。また、コア基材20における基板8の裏面8bに、絶縁層3Bおよび導体層4Bの順で、当該絶縁層3Bおよび当該導体層4Bが積層される。 Next, a lamination process is performed. In the laminating step, in summary, the insulating layer 3A and the conductor layer 4A are laminated on the surface 8a of the substrate 8 in the core base material 20 in the order of the insulating layer 3A and the conductor layer 4A. Moreover, the insulating layer 3B and the conductor layer 4B are laminated in the order of the insulating layer 3B and the conductor layer 4B on the rear surface 8b of the substrate 8 in the core base material 20 .

具体的には、積層工程では、シート状の絶縁材である絶縁層3Aが、基板8の表面8aの配線パターン19Aを覆うように、当該絶縁層3Aが表面8aに接着される。また、シート状の絶縁材である絶縁層3Bが、基板8の裏面8bの配線パターン19Bを覆うように、当該絶縁層3Bが裏面8bに接着される。 Specifically, in the laminating step, the insulating layer 3A, which is a sheet-like insulating material, is adhered to the surface 8a of the substrate 8 so as to cover the wiring pattern 19A on the surface 8a. Further, the insulating layer 3B, which is a sheet-shaped insulating material, is adhered to the back surface 8b of the substrate 8 so as to cover the wiring pattern 19B on the back surface 8b.

次に、絶縁層3Aの表面3a、および、絶縁層3Bの裏面3bの各々に、金属箔が積層される。当該金属箔は、例えば、銅箔である。そして、表面3aの金属箔、および、裏面3bの金属箔の各々に対し、加熱加圧成型が行なわれる。これにより、導体層4A,4Bが形成される。 Next, metal foil is laminated on each of the front surface 3a of the insulating layer 3A and the rear surface 3b of the insulating layer 3B. The metal foil is, for example, copper foil. Then, the metal foil on the front surface 3a and the metal foil on the back surface 3b are each subjected to heating and pressure molding. Thereby, conductor layers 4A and 4B are formed.

次に、配線パターン層形成工程が行われる。配線パターン層形成工程では、導体層4Aがエッチングされて、図1に示される、複数の配線パターンE1と、バリヤー層7Aとで構成される配線パターン層E10Aが形成される。すなわち、バリヤー層7Aおよび複数の配線パターンE1が同時に形成される。 Next, a wiring pattern layer forming step is performed. In the wiring pattern layer forming step, the conductor layer 4A is etched to form a wiring pattern layer E10A composed of a plurality of wiring patterns E1 and a barrier layer 7A shown in FIG. That is, the barrier layer 7A and the plurality of wiring patterns E1 are formed at the same time.

また、導体層4Bがエッチングされて、複数の配線パターンE1と、バリヤー層7Bとで構成される配線パターン層E10Bが形成される。すなわち、バリヤー層7Bおよび複数の配線パターンE1が同時に形成される。 Also, the conductor layer 4B is etched to form a wiring pattern layer E10B composed of a plurality of wiring patterns E1 and a barrier layer 7B. That is, the barrier layer 7B and the plurality of wiring patterns E1 are formed at the same time.

次に、スルーホール形成工程が行われる。スルーホール形成工程では、穴あけ工程およびめっき工程が行われ、図1に示される、スルーホールH1a,H1bが形成される。めっき工程では、例えば、図1に示される、絶縁層3Aの表面3aに存在する配線パターンE1aと、絶縁層3Bの裏面3bに存在する配線パターンE1aとが電気的に接続されるように、めっきが形成される。スルーホールH1a,H1bにより、多層プリント配線基板100における複数の層が層間接続される。 Next, a through-hole forming step is performed. In the through hole forming step, a boring step and a plating step are performed to form through holes H1a and H1b shown in FIG. In the plating step, for example, plating is performed so that the wiring pattern E1a existing on the front surface 3a of the insulating layer 3A and the wiring pattern E1a existing on the back surface 3b of the insulating layer 3B shown in FIG. 1 are electrically connected. is formed. A plurality of layers in multilayer printed wiring board 100 are connected between layers by through holes H1a and H1b.

次に、レジスト形成工程が行われる。レジスト形成工程では、レジスト層5Aが、絶縁層3Aの表面3aに存在する、図1の複数の配線パターンE1およびバリヤー層7Aを覆うように、当該レジスト層5Aが絶縁層3Aの表面3aに積層される。また、レジスト層5Bが、絶縁層3Bの裏面3bに存在する、図1の複数の配線パターンE1およびバリヤー層7Bを覆うように、当該レジスト層5Bが絶縁層3Bの裏面3bに積層される。以上により、多層プリント配線基板100の製造が完了する。 Next, a resist formation process is performed. In the resist forming step, the resist layer 5A is laminated on the surface 3a of the insulating layer 3A so that the resist layer 5A covers the plurality of wiring patterns E1 and the barrier layer 7A in FIG. be done. Moreover, the resist layer 5B is laminated on the back surface 3b of the insulating layer 3B so that the resist layer 5B covers the plurality of wiring patterns E1 and the barrier layer 7B in FIG. 1 existing on the back surface 3b of the insulating layer 3B. Thus, the manufacturing of the multilayer printed wiring board 100 is completed.

(バリヤー層構成)
本実施の形態におけるバリヤー層構成は、例えば、図3、図4および図5に示されるような様々な構成が考えられる。図3は、図1におけるバリヤー層構成を主に示す図である。図3では、図1の多層プリント配線基板100における、配線パターンE1、スルーホールH1a,H1b等は示されていない。
(Barrier layer configuration)
Various configurations such as those shown in FIGS. 3, 4 and 5 are conceivable for the barrier layer configuration in this embodiment. FIG. 3 is a diagram mainly showing the barrier layer configuration in FIG. FIG. 3 does not show the wiring pattern E1, through holes H1a, H1b, etc. in the multilayer printed wiring board 100 of FIG.

以下においては、図1または図3におけるバリヤー層構成を、「バリヤー層構成N」ともいう。図1の多層プリント配線基板100は、バリヤー層構成Nを有する。バリヤー層構成Nは、要約すれば、バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zと、当該発生可能部を挟む2個の配線9とを覆う構成である。バリヤー層構成Nの詳細な構成は、図1を用いて説明した前述の構成である。 Hereinafter, the barrier layer configuration in FIG. 1 or FIG. 3 is also referred to as "barrier layer configuration N". The multilayer printed wiring board 100 of FIG. 1 has a barrier layer configuration N. As shown in FIG. In summary, the barrier layer configuration N is a configuration in which the barrier layer 7 covers the insulator 3z, which is the portion that can be generated, and the two wirings 9 that sandwich the portion that can be generated. The detailed configuration of the barrier layer configuration N is the configuration described above with reference to FIG.

また、以下においては、図3のバリヤー層構成Nを変形した構成を、「変形構成A」または「変形構成B」ともいう。変形構成Aおよび変形構成Bの各々は、図3のバリヤー層7のサイズを大きくした構成である。 Further, hereinafter, the configuration obtained by modifying the barrier layer configuration N of FIG. 3 will also be referred to as "modified configuration A" or "modified configuration B". Each of variant A and variant B is a configuration in which the size of barrier layer 7 of FIG. 3 is increased.

図4は、実施の形態1の変形構成Aにおける、バリヤー層7の構成を主に示す図である。図4の構成は、図3のバリヤー層構成Nに、変形構成Aが適用された構成である。図5は、実施の形態1の変形構成Bにおける、バリヤー層7の構成を主に示す図である。図5の構成は、図3のバリヤー層構成Nに、変形構成Bが適用された構成である。図4の変形構成Aにおけるバリヤー層7のサイズは、図5の変形構成Bにおけるバリヤー層7のサイズより大きい。 FIG. 4 is a diagram mainly showing the configuration of the barrier layer 7 in the modified configuration A of the first embodiment. The configuration of FIG. 4 is a configuration in which the modified configuration A is applied to the barrier layer configuration N of FIG. FIG. 5 is a diagram mainly showing the structure of the barrier layer 7 in the modified structure B of the first embodiment. The configuration of FIG. 5 is a configuration in which a modified configuration B is applied to the barrier layer configuration N of FIG. The size of the barrier layer 7 in variant A of FIG. 4 is larger than the size of the barrier layer 7 in variant B of FIG.

図3のバリヤー層構成N、図4の変形構成A、および、図5の変形構成Bは、前述の状況Stに対応した構成である。状況Stは、発生可能部が、主面としての表面8aに存在する状況である。また、状況Stは、発生可能部が絶縁体3zbである状況である。また、状況Stは、発生可能部を挟む2個の配線9が、配線9B,9Cである状況である。 The barrier layer configuration N of FIG. 3, the modified configuration A of FIG. 4, and the modified configuration B of FIG. 5 are configurations corresponding to the aforementioned situation St. Situation St is a situation in which the possible part exists on the surface 8a as the main surface. Situation St is a situation in which the possible part is the insulator 3zb. Situation St is a situation in which two wirings 9 sandwiching the possible occurrence part are wirings 9B and 9C.

多層プリント配線基板100は、バリヤー層構成Nの代わりに、図4の変形構成A、または、図5の変形構成Bを有してもよい。 Instead of barrier layer configuration N, multilayer printed wiring board 100 may have variant configuration A of FIG. 4 or variant configuration B of FIG.

前述したように、基板8の主面のうち、当該発生可能部と、当該発生可能部を挟む2個の配線9とが設けられている領域を、「領域A」ともいう。当該基板8の主面は、表面8aまたは裏面8bである。また、前述したように、基板8の主面のうち、領域Aと異なる領域を「領域B」ともいう。また、前述したように、発生可能部が存在する配線パターン19のうち、当該発生可能部と、当該発生可能部を挟む2個の配線9とが存在しない領域も、「領域B」という。 As described above, of the main surface of the substrate 8, the region where the generatable portion and the two wirings 9 sandwiching the generatable portion are provided is also referred to as "region A". The main surface of the substrate 8 is the front surface 8a or the back surface 8b. Moreover, as described above, a region different from the region A on the main surface of the substrate 8 is also called a “region B”. Further, as described above, of the wiring pattern 19 having a possible occurrence portion, a region where the occurrence possible portion and the two wirings 9 sandwiching the occurrence possible portion do not exist is also referred to as “region B”.

まず、前述の状況Stに対応した、図4の変形構成Aについて説明する。変形構成Aでは、バリヤー層7は、配線パターン19が設けられている、基板8の主面の全領域を覆う。当該主面は、表面8aまたは裏面8bである。「バリヤー層7は、基板8の主面の全領域を覆う」という表現は、「バリヤー層7は、基板8の主面のほぼ全領域を覆う」という意味も含む。 First, the modified configuration A of FIG. 4 corresponding to the aforementioned situation St will be described. In variant A, the barrier layer 7 covers the entire area of the main surface of the substrate 8 where the wiring pattern 19 is provided. The main surface is the front surface 8a or the back surface 8b. The expression "the barrier layer 7 covers the entire area of the major surface of the substrate 8" also includes the meaning that "the barrier layer 7 covers substantially the entire area of the major surface of the substrate 8".

具体的には、状況Stに対応した変形構成Aでは、バリヤー層7Aは、基板8の上方から、当該基板8の表面8aの全領域を覆う。バリヤー層7Bは、基板8の下方から、当該基板8の裏面8bの全領域を覆う。 Specifically, in the modified configuration A corresponding to situation St, the barrier layer 7A covers the entire area of the surface 8a of the substrate 8 from above. The barrier layer 7B covers the entire area of the back surface 8b of the substrate 8 from below.

また、変形構成Aでは、バリヤー層7Aは、発生可能部である絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの全領域を覆う。具体的には、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、絶縁体3za,3zb,3zc、配線9A,9B,9C,9D、および、領域Bを覆う。つまり、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、絶縁体3zbおよび配線9B,9Cと、領域Bとを覆う。すなわち、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、少なくとも絶縁体3zbと、領域Bとを覆う。 Further, in the modified configuration A, the barrier layer 7A covers the entire region of the wiring pattern 19A where the insulator 3zb exists from above the insulator 3zb, which is the portion that can be generated. Specifically, the barrier layer 7A covers the insulators 3za, 3zb, 3zc, the wirings 9A, 9B, 9C, 9D, and the region B from above the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7A covers the insulator 3zb, the wirings 9B and 9C, and the region B from above the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7A covers at least the insulator 3zb and the region B from above the insulator 3zb.

状況Stにおける当該領域Bは、基板8の表面8aのうち、領域Aと異なる領域である。状況Stにおける当該領域Aは、基板8の表面8aのうち、絶縁体3zbと配線9B,9Cとが設けられている領域である。また、状況Stにおける当該領域Bは、配線パターン19Aのうち、絶縁体3zbと配線9B,9Cとが存在しない領域でもある。 The region B in the situation St is a region different from the region A on the surface 8a of the substrate 8. FIG. The region A in the situation St is a region of the surface 8a of the substrate 8 where the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C are provided. Further, the area B in the situation St is also an area in the wiring pattern 19A in which the insulator 3zb and the wirings 9B and 9C do not exist.

また、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの全領域を覆う。具体的には、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、絶縁体3za,3zb,3zc、配線9A,9B,9C,9D、および、領域Bを覆う。つまり、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、絶縁体3zbおよび配線9B,9Cと、領域Bとを覆う。すなわち、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、少なくとも絶縁体3zbと、領域Bとを覆う。 Moreover, the barrier layer 7B covers the entire region of the wiring pattern 19A where the insulator 3zb exists from below the insulator 3zb. Specifically, the barrier layer 7B covers the insulators 3za, 3zb, 3zc, the wirings 9A, 9B, 9C, 9D, and the region B from below the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7B covers the insulator 3zb, the wirings 9B and 9C, and the region B from below the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7B covers at least the insulator 3zb and the region B from below the insulator 3zb.

次に、状況Stに対応した、図5の変形構成Bについて説明する。変形構成Bは、図4の変形構成Aと比較して、バリヤー層7A,7Bのサイズが異なる。変形構成Bのそれ以外の構成は、変形構成Aと同様なので詳細な説明は繰り返さない。 Next, a modified configuration B of FIG. 5 corresponding to the situation St will be described. Variant B differs from variant A in FIG. 4 in the size of the barrier layers 7A, 7B. Other configurations of the modified configuration B are the same as those of the modified configuration A, so detailed description thereof will not be repeated.

変形構成Bのバリヤー層7Aのサイズは、図4の変形構成Aのバリヤー層7Aのサイズより小さい。変形構成Bのバリヤー層7Bのサイズは、変形構成Aのバリヤー層7Bのサイズより小さい。図5のバリヤー層7Aは、図2の導体層4Aをエッチングすることにより得られた層である。図5のバリヤー層7Bは、図2の導体層4Bをエッチングすることにより得られた層である。 The size of barrier layer 7A of variant configuration B is smaller than the size of barrier layer 7A of variant configuration A of FIG. The size of the barrier layer 7B of the modified configuration B is smaller than the size of the barrier layer 7B of the modified configuration A. The barrier layer 7A of FIG. 5 is a layer obtained by etching the conductor layer 4A of FIG. The barrier layer 7B in FIG. 5 is a layer obtained by etching the conductor layer 4B in FIG.

状況Stに対応した変形構成Bでは、バリヤー層7は、発生可能部である絶縁体3zbが存在する配線パターン19の全領域を覆う。 In the modified configuration B corresponding to the situation St, the barrier layer 7 covers the entire area of the wiring pattern 19 where the insulator 3zb, which is the possible part, is present.

具体的には、バリヤー層7Aは、発生可能部である絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの全領域を覆う。また、バリヤー層7Aが、絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbを覆うように、当該バリヤー層7Aは、絶縁層3Aの表面3aにおいて局所的に設けられる。バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、絶縁体3za,3zb,3zc、配線9A,9B,9C,9D、および、領域Bを覆う。つまり、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、絶縁体3zbおよび配線9B,9Cと、領域Bとを覆う。すなわち、バリヤー層7Aは、絶縁体3zbの上方から、少なくとも絶縁体3zbと、領域Bとを覆う。 Specifically, the barrier layer 7A covers the entire region of the wiring pattern 19A where the insulator 3zb exists from above the insulator 3zb, which is the portion that can be generated. Also, the barrier layer 7A is locally provided on the surface 3a of the insulating layer 3A so that the barrier layer 7A covers the insulator 3zb from above. The barrier layer 7A covers the insulators 3za, 3zb, 3zc, the wirings 9A, 9B, 9C, 9D, and the region B from above the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7A covers the insulator 3zb, the wirings 9B and 9C, and the region B from above the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7A covers at least the insulator 3zb and the region B from above the insulator 3zb.

また、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの全領域を覆う。また、バリヤー層7Bが、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbを覆うように、当該バリヤー層7Bは、絶縁層3Bの裏面3bにおいて局所的に設けられる。バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、絶縁体3za,3zb,3zc、配線9A,9B,9C,9D、および、領域Bを覆う。つまり、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、絶縁体3zbおよび配線9B,9Cと、領域Bとを覆う。すなわち、バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、少なくとも絶縁体3zbと、領域Bとを覆う。 Moreover, the barrier layer 7B covers the entire region of the wiring pattern 19A where the insulator 3zb exists from below the insulator 3zb. Moreover, the barrier layer 7B is locally provided on the rear surface 3b of the insulating layer 3B so that the barrier layer 7B covers the insulator 3zb from below. The barrier layer 7B covers the insulators 3za, 3zb, 3zc, the wirings 9A, 9B, 9C, 9D, and the region B from below the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7B covers the insulator 3zb, the wirings 9B and 9C, and the region B from below the insulator 3zb. That is, the barrier layer 7B covers at least the insulator 3zb and the region B from below the insulator 3zb.

また、図3のバリヤー層構成Nでも、バリヤー層7Aが、絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbを覆うように、当該バリヤー層7Aは、絶縁層3Aの表面3aにおいて局所的に設けられる。また、バリヤー層7Bが、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbを覆うように、当該バリヤー層7Bは、絶縁層3Bの裏面3bにおいて局所的に設けられる。以下においては、バリヤー層構成Nおよび変形構成Bの各々を、「局所配置構成」ともいう。 Also in the barrier layer structure N of FIG. 3, the barrier layer 7A is locally provided on the surface 3a of the insulating layer 3A so that the barrier layer 7A covers the insulator 3zb from above. . Moreover, the barrier layer 7B is locally provided on the rear surface 3b of the insulating layer 3B so that the barrier layer 7B covers the insulator 3zb from below. In the following, each of the barrier layer configuration N and the modified configuration B is also referred to as a "local arrangement configuration".

以上により、局所配置構成であるバリヤー層構成N、変形構成A、および、局所配置構成である変形構成Bのいずれでも、水通過部材であるレジスト層5A,5Bからの水分が、発生可能部である絶縁体3zbへ侵入することを抑制することができる。 As described above, in any of the barrier layer configuration N, the modified configuration A, and the modified configuration B, which are localized arrangements, moisture from the resist layers 5A and 5B, which are water passage members, can be generated at the portions where water can be generated. Intrusion into a certain insulator 3zb can be suppressed.

(実験)
本開示の発明者らは、バリヤー層7を使用したバリヤー層構成の有効性を確認するための実験(以下、「実験J1」ともいう)を行った。実験J1は、バリヤー層構成により、イオンマイグレーションの発生が抑制されることを確認するための比較実験である。比較実験としての実験J1では、多層プリント配線基板100Aおよび多層プリント配線基板100Nが使用された。
(experiment)
The inventors of the present disclosure conducted an experiment (hereinafter also referred to as "experiment J1") for confirming the effectiveness of the barrier layer configuration using the barrier layer 7. FIG. Experiment J1 is a comparative experiment for confirming that the barrier layer structure suppresses the occurrence of ion migration. In experiment J1 as a comparative experiment, multilayer printed wiring board 100A and multilayer printed wiring board 100N were used.

多層プリント配線基板100Nは、バリヤー層構成を有さない基板である。図7は、バリヤー層構成を有さない多層プリント配線基板100Nの断面図である。図7の多層プリント配線基板100Nは、図1の多層プリント配線基板100と比較して、主に、バリヤー層7A,7Bおよび配線パターン19Bを備えない点と、スルーホールH1a,H1bに接続されていない配線パターンE1を備えない点とが異なる。 The multilayer printed wiring board 100N is a board without a barrier layer structure. FIG. 7 is a cross-sectional view of a multilayer printed wiring board 100N without a barrier layer configuration. The multilayer printed wiring board 100N of FIG. 7 is mainly different from the multilayer printed wiring board 100 of FIG. The difference is that the wiring pattern E1 is not provided.

多層プリント配線基板100Nのそれ以外の構成は、図1の多層プリント配線基板100と同様である。多層プリント配線基板100Nに含まれる構成要素の構成は、多層プリント配線基板100に含まれる構成要素の構成と同様である。例えば、多層プリント配線基板100Nに含まれる絶縁層3Aを構成する材料は、多層プリント配線基板100に含まれる絶縁層3Aを構成する材料と同じである。 Other configurations of the multilayer printed wiring board 100N are the same as those of the multilayer printed wiring board 100 of FIG. The configuration of the components included in multilayer printed wiring board 100N is the same as the configuration of the components included in multilayer printed wiring board 100 . For example, the material forming the insulating layer 3A included in the multilayer printed wiring board 100N is the same as the material forming the insulating layer 3A included in the multilayer printed wiring board 100. FIG.

多層プリント配線基板100Nの配線パターン19Aは、くし形電極である。くし形電極である配線パターン19Aの、平面視における形状は、くし歯状である。くし形電極である配線パターン19Aは、同一の幅を有する6個の配線9を含む。当該6個の配線9は、間隔をあけて配置される。そのため、6個の配線9には、5個の配線間領域が存在する。 The wiring pattern 19A of the multilayer printed wiring board 100N is a comb-shaped electrode. The wiring pattern 19A, which is a comb-shaped electrode, has a comb-like shape in plan view. A wiring pattern 19A, which is a comb-shaped electrode, includes six wirings 9 having the same width. The six wirings 9 are arranged at intervals. Therefore, the six wirings 9 have five inter-wiring regions.

5個の配線間領域に対応する5個の絶縁距離は、同一である。5個の配線間領域には、それぞれ、5個の絶縁体3zが存在する。すなわち、くし形電極である配線パターン19Aには、5個の絶縁体3zが存在する。5個の絶縁体3zの各々のサイズは、図1の絶縁体3zbのサイズと同じである。すなわち、5個の絶縁体3zの各々は、発生可能部である。 The five insulation distances corresponding to the five inter-wiring regions are the same. Five insulators 3z are present in each of the five inter-wiring regions. That is, there are five insulators 3z in the wiring pattern 19A, which is a comb-shaped electrode. The size of each of the five insulators 3z is the same as the size of insulator 3zb in FIG. That is, each of the five insulators 3z is a generatable portion.

多層プリント配線基板100Aは、バリヤー層構成を有する基板である。図6は、バリヤー層構成を有する多層プリント配線基板100Aの断面図である。多層プリント配線基板100Aは、図7の多層プリント配線基板100Nと比較して、バリヤー層7A,7Bをさらに備える点が異なる。多層プリント配線基板100Aのそれ以外の構成は、多層プリント配線基板100Nと同様である。 The multilayer printed wiring board 100A is a board having a barrier layer structure. FIG. 6 is a cross-sectional view of a multilayer printed wiring board 100A having a barrier layer configuration. The multilayer printed wiring board 100A differs from the multilayer printed wiring board 100N in FIG. 7 in that it further includes barrier layers 7A and 7B. Other configurations of the multilayer printed wiring board 100A are the same as those of the multilayer printed wiring board 100N.

多層プリント配線基板100Aにおけるバリヤー層7A,7Bの構成および位置は、例えば、図1の多層プリント配線基板100におけるバリヤー層7A,7Bの構成および位置と同様である。例えば、バリヤー層7Aは、絶縁層3Aの表面3aに設けられる。また、バリヤー層7Bは、絶縁層3Bの裏面3bに設けられる。 The configuration and position of the barrier layers 7A and 7B in the multilayer printed wiring board 100A are similar to the configuration and position of the barrier layers 7A and 7B in the multilayer printed wiring board 100 of FIG. 1, for example. For example, barrier layer 7A is provided on surface 3a of insulating layer 3A. Also, the barrier layer 7B is provided on the back surface 3b of the insulating layer 3B.

バリヤー層7Aは、くし形電極である配線パターン19Aの5個の絶縁体3zの上方から、当該5個の絶縁体3zを覆う。また、バリヤー層7Bは、配線パターン19Aの5個の絶縁体3zの下方から、当該5個の絶縁体3zを覆う。 The barrier layer 7A covers the five insulators 3z of the wiring pattern 19A, which is the comb-shaped electrode, from above the five insulators 3z. Moreover, the barrier layer 7B covers the five insulators 3z of the wiring pattern 19A from below the five insulators 3z.

なお、図6および図7の構成では、配線パターン19の複数の配線9は、基板8の表面8aの代わりに基板8の裏面8bに設けられてもよい。例えば、図6の6個の配線9は、点線で表現される6個の四角の位置に配置されてもよい。 6 and 7, the plurality of wirings 9 of the wiring pattern 19 may be provided on the rear surface 8b of the substrate 8 instead of the front surface 8a of the substrate 8. FIG. For example, the six wirings 9 in FIG. 6 may be arranged at six square positions represented by dotted lines.

実験J1では、対象基板に、直流電圧が印加される。対象基板は、多層プリント配線基板100Nまたは多層プリント配線基板100Aである。以下においては、対象基板に印加される直流電圧を、「印加直流電圧」ともいう。 In Experiment J1, a DC voltage is applied to the target substrate. The target substrate is the multilayer printed wiring board 100N or the multilayer printed wiring board 100A. Hereinafter, the DC voltage applied to the target substrate is also referred to as "applied DC voltage".

具体的には、実験J1では、くし形電極である配線パターン19Aの5個の配線間領域に、スルーホールH1a,H1bおよび配線パターンE1a,E1bを使用して、外部電源から直流電圧が印加される。すなわち、くし形電極である配線パターン19Aに存在する5個の絶縁体3zには、直流電圧が印加される。以下においては、対象基板に含まれる、くし形電極である配線パターン19Aに存在する各絶縁体3zの抵抗値を、「絶縁抵抗値」ともいう。 Specifically, in Experiment J1, a DC voltage was applied from an external power supply to five inter-wiring regions of the wiring pattern 19A, which are comb-shaped electrodes, using through holes H1a and H1b and wiring patterns E1a and E1b. be. That is, a DC voltage is applied to the five insulators 3z present in the wiring pattern 19A, which are comb-shaped electrodes. Hereinafter, the resistance value of each insulator 3z present in the wiring pattern 19A, which is the comb-shaped electrode, included in the target substrate is also referred to as "insulation resistance value".

実験J1では、発明者らが、以下の条件Jkに従って、イオンマイグレーション促進試験を行った。イオンマイグレーション促進試験は、イオンマイグレーションの発生を促進させる試験である。イオンマイグレーション促進試験は、高温高湿バイアス試験である。高温高湿バイアス試験は、高温高湿の状況において、対象基板に直流電圧を印加する試験である。以下においては、イオンマイグレーション促進試験を、「試験Ts」ともいう。 In Experiment J1, the inventors conducted an ion migration accelerated test according to the following conditions Jk. The ion migration promotion test is a test for promoting the occurrence of ion migration. The accelerated ion migration test is a high temperature and high humidity bias test. The high-temperature and high-humidity bias test is a test in which a DC voltage is applied to a target substrate under high-temperature and high-humidity conditions. Hereinafter, the ion migration acceleration test is also referred to as "test Ts".

試験Tsは、箱形状の試験槽に、対象基板を収容した状態で行われた。対象基板は、多層プリント配線基板100Nまたは多層プリント配線基板100Aである。 The test Ts was performed with the target substrate housed in a box-shaped test chamber. The target substrate is the multilayer printed wiring board 100N or the multilayer printed wiring board 100A.

条件Jkでは、試験槽の温度が85[℃]である。また、条件Jkでは、試験槽内の相対湿度が85[%]である。以下においては、試験Tsを継続して行う時間を、「試験時間」ともいう。また、条件Jkでは、試験時間は、1000時間である。また、条件Jkでは、印加直流電圧は、1000[V]である。 Under condition Jk, the temperature of the test chamber is 85 [°C]. Moreover, under condition Jk, the relative humidity in the test chamber is 85[%]. Hereinafter, the time during which the test Ts is continuously performed is also referred to as "test time". Also, under condition Jk, the test time is 1000 hours. Also, under condition Jk, the applied DC voltage is 1000 [V].

実験J1では、試験Tsの継続に伴う、絶縁抵抗値の変化を記録した。以下においては、試験Tsが行われる前の絶縁抵抗値を、「初期抵抗値」ともいう。また、以下においては、試験Tsを実施している期間を、「試験実施期間」ともいう。また、以下においては、イオンマイグレーションの発生により、配線パターン19Aの配線間領域に短絡が発生した状況を示す痕を、「短絡痕」ともいう。 In experiment J1, changes in insulation resistance values were recorded as the test Ts continued. Hereinafter, the insulation resistance value before the test Ts is performed is also referred to as "initial resistance value". Also, hereinafter, the period during which the test Ts is performed is also referred to as the "test period." Further, hereinafter, traces indicating a situation in which a short circuit has occurred in the inter-wiring region of the wiring pattern 19A due to the occurrence of ion migration are also referred to as "short circuit traces".

イオンマイグレーションの発生の判定は、以下のように行った。試験実施期間において、絶縁抵抗値が10[Ω]以下に低下し、試験Tsが終了した後に、当該絶縁抵抗値が初期抵抗値に戻らない場合、イオンマイグレーションが発生したと判定した。また、試験実施期間において絶縁抵抗値が10[Ω]より大きい場合でも、試験Tsが終了した後に、絶縁抵抗値が初期抵抗値に戻らず、短絡痕が確認できた場合、イオンマイグレーションが発生したと判定した。 Determination of the occurrence of ion migration was performed as follows. When the insulation resistance value decreased to 10 6 [Ω] or less during the test implementation period and did not return to the initial resistance value after the test Ts was completed, it was determined that ion migration occurred. In addition, even if the insulation resistance value is greater than 10 6 [Ω] during the test implementation period, if the insulation resistance value does not return to the initial resistance value after the test Ts is completed and short-circuit marks can be confirmed, ion migration occurs. It was determined that

実験J1では、発明者らが、多層プリント配線基板100Nに対し試験Tsを行った場合、試験Tsが開始してから数百時間経過後に、絶縁抵抗値が低下した。また、試験Tsが終了した後の多層プリント配線基板100Nにおいて短絡痕が確認された。 In Experiment J1, when the inventors performed the test Ts on the multilayer printed wiring board 100N, the insulation resistance value decreased several hundred hours after the start of the test Ts. Further, short-circuit traces were confirmed in the multilayer printed wiring board 100N after the test Ts was completed.

一方、発明者らが、多層プリント配線基板100Aに対し試験Tsを行った場合、1000時間経過後も、絶縁抵抗値の低下は確認されなかった。 On the other hand, when the inventors performed the test Ts on the multilayer printed wiring board 100A, no decrease in the insulation resistance value was confirmed even after 1000 hours.

以上の結果により、発明者らは、バリヤー層7A,7Bにより、水通過部材であるレジスト層5A,5Bからの水分が、発生可能部である絶縁体3zへ侵入することが抑制されたことを確認した。すなわち、発明者らは、多層プリント配線基板100Aにおけるバリヤー層構成の有効性を確認した。 From the above results, the inventors found that the barrier layers 7A and 7B inhibited the entry of water from the resist layers 5A and 5B, which are water-permeable members, into the insulator 3z, which is a portion where water can be generated. confirmed. That is, the inventors confirmed the effectiveness of the barrier layer configuration in the multilayer printed wiring board 100A.

(まとめ)
以上説明したように、本実施の形態によれば、基板8の表面8aに設けられている配線パターン19Aは、互いに隣接する配線9B,9Cを含む。配線9B,9Cの間に電圧を印加可能なように、多層プリント配線基板100は構成されている。配線9Bおよび配線9Cの間には、絶縁体3zbが存在する。水を通さないバリヤー層7Aは、配線パターン19Aの配線9Bおよび配線9Cの間の絶縁体3zbを覆う。
(summary)
As described above, according to the present embodiment, the wiring pattern 19A provided on the surface 8a of the substrate 8 includes the wirings 9B and 9C adjacent to each other. The multilayer printed wiring board 100 is configured so that a voltage can be applied between the wirings 9B and 9C. An insulator 3zb exists between the wiring 9B and the wiring 9C. A water-impermeable barrier layer 7A covers the insulator 3zb between the wires 9B and 9C of the wiring pattern 19A.

これにより、複数の配線の間の絶縁体への水の侵入を抑制することができる。そのため、複数の配線の間に電圧が印加される状況において、イオンマイグレーションの発生を抑制することができる。 This can prevent water from entering the insulator between the wirings. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of ion migration in a situation where a voltage is applied between a plurality of wirings.

また、複数の配線の間には、絶縁体が存在する。そのため、絶縁体の幅が小さい当該絶縁体を使用することにより、複数の配線の間の距離の短縮化を実現することができる。 Also, an insulator exists between the plurality of wirings. Therefore, by using an insulator having a small width, it is possible to shorten the distance between a plurality of wirings.

以上により、イオンマイグレーションの発生の抑制と、複数の配線の高密度な配置とを実現することができる。 As described above, suppression of ion migration and high-density arrangement of a plurality of wirings can be achieved.

また、前述したように、イオンマイグレーションは、電界、イオン性物質および水分という3つの要素が存在する状況において発生しやすい現象である。イオン性物質は、金属をイオン化する物質である。イオン性物質は、例えば、ハロゲンである。イオンマイグレーションは、以下の事象が発生する現象である。 In addition, as described above, ion migration is a phenomenon that tends to occur in situations where there are three elements: an electric field, an ionic substance, and moisture. An ionic substance is a substance that ionizes metals. Ionic substances are, for example, halogens. Ion migration is a phenomenon in which the following events occur.

直流電圧が印加される複数の配線間において、水分およびイオン性物質によって電界液が生成された場合、電気化学反応によって、配線を構成する金属が、金属イオンとして溶出する。当該金属イオンは、電界によるクーロン力により、複数の配線間に存在する絶縁体内を移動して、析出する。これにより、複数の配線間に導通路が形成される。 When an electrolytic solution is generated by moisture and an ionic substance between a plurality of wirings to which a DC voltage is applied, metals constituting the wirings are eluted as metal ions due to an electrochemical reaction. The metal ions are deposited by moving within the insulator existing between the wirings due to the Coulomb force of the electric field. Thereby, conductive paths are formed between the plurality of wirings.

以下においては、図1の多層プリント配線基板100においてバリヤー層7A,7Bが除去された当該多層プリント配線基板100を、「多層プリント配線基板N1」ともいう。多層プリント配線基板N1は、図示されていない。また、以下においては、多層プリント配線基板N1のうち、イオンマイグレーションが発生する可能性がある部分を、「発生可能部」ともいう。多層プリント配線基板N1は、発生可能部である絶縁体3zを含む。 Hereinafter, the multilayer printed wiring board 100 of FIG. 1 from which the barrier layers 7A and 7B have been removed is also referred to as a "multilayer printed wiring board N1". The multilayer printed wiring board N1 is not shown. Further, hereinafter, the portion of the multilayer printed wiring board N1 where ion migration may occur is also referred to as a "probable portion". The multilayer printed wiring board N1 includes an insulator 3z that is a possible part.

ここで、多層プリント配線基板N1の配線パターン19において、仮に、イオンマイグレーションが発生したと仮定する。この場合、電位の異なる複数の配線9間に存在する、発生可能部である絶縁体3zにおいて、金属イオンの析出が繰り返され、短絡が発生する可能性がある。 Here, it is assumed that ion migration occurs in the wiring pattern 19 of the multilayer printed wiring board N1. In this case, deposition of metal ions is repeated in the insulator 3z, which is a possible part, and exists between the plurality of wirings 9 having different potentials, and there is a possibility that a short circuit will occur.

そこで、イオンマイグレーションの発生を抑制するために、発生可能部である絶縁体3zにおいて、電界、イオン性物質および水分のいずれか1つの量を低減させることが必要である。以下においては、隣合い配線である2個の配線9の間の絶縁距離である配線間距離を伸長した構成を、「伸長構成」ともいう。伸長構成は、例えば、電圧印加状況における配線間領域の電界強度を弱くするために使用される。 Therefore, in order to suppress the occurrence of ion migration, it is necessary to reduce the amount of any one of the electric field, the ionic substance, and the moisture in the insulator 3z where ion migration can occur. Hereinafter, the configuration in which the inter-wiring distance, which is the insulation distance between two adjacent wirings 9, is extended will also be referred to as an "extended configuration". The elongated configuration is used, for example, to weaken the electric field strength in the inter-wiring region under voltage application conditions.

多層プリント配線基板の小型化を実現するためには、伸長構成を使用することなく、イオンマイグレーションの発生を抑制する必要がある。この場合、複数の配線9間に存在する絶縁体3zに、イオン性物質、水等が侵入しないようにする必要がある。 In order to achieve miniaturization of multilayer printed wiring boards, it is necessary to suppress the occurrence of ion migration without using an elongated configuration. In this case, it is necessary to prevent ionic substances, water, and the like from entering the insulator 3z existing between the plurality of wirings 9 .

基板8および絶縁層3A,3Bは、配線パターン19に接する。前述したように、基板8および絶縁層3A,3Bの各々は、ハロゲンを含む樹脂材料Aで構成される。 Substrate 8 and insulating layers 3A and 3B are in contact with wiring pattern 19 . As described above, each of substrate 8 and insulating layers 3A and 3B is made of resin material A containing halogen.

そこで、本実施の形態では、水通過部材であるレジスト層5A,5Bからの水分が、発生可能部である絶縁体3zbへ侵入することを抑制するように、バリヤー層7A,7Bの各々は配置される。これにより、発生可能部である絶縁体3zbへの水分の侵入を抑制することができる。そのため、電圧印加状況におけるイオンマイグレーションの発生を抑制することができる。したがって、多層プリント配線基板100において十分な絶縁信頼性を確保することができる。 Therefore, in the present embodiment, each of the barrier layers 7A and 7B is arranged so as to prevent the moisture from the resist layers 5A and 5B, which are water passage members, from entering the insulator 3zb, which is a portion where water can be generated. be done. As a result, it is possible to suppress the intrusion of moisture into the insulator 3zb, which can occur. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of ion migration under voltage application conditions. Therefore, sufficient insulation reliability can be ensured in the multilayer printed wiring board 100 .

また、本実施の形態では、方向Dにおけるバリヤー層7A,7Bの長さは、配線9B,9Cの配線間距離より長い。そのため、製造方法Prにおける、バリヤー層7A,7Bを形成する工程において、仮に、バリヤー層7A,7Bの位置ずれ等が生じた場合でも、発生可能部である絶縁体3zbへの水分の侵入を抑制することができる。 Moreover, in the present embodiment, the length of the barrier layers 7A and 7B in the direction D is longer than the distance between the wirings 9B and 9C. Therefore, even if the barrier layers 7A and 7B are misaligned in the step of forming the barrier layers 7A and 7B in the manufacturing method Pr, the intrusion of moisture into the insulator 3zb, which can occur, is suppressed. can do.

また、本実施の形態における、図4の変形構成A、または、図5の変形構成Bでは、バリヤー層7Aは、発生可能部である絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの全領域を覆う。バリヤー層7Bは、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbが存在する配線パターン19Aの全領域を覆う。 In addition, in the modified configuration A of FIG. 4 or the modified configuration B of FIG. 5 in the present embodiment, the barrier layer 7A is formed from above the insulator 3zb, which is the portion that can be generated, from the wiring in which the insulator 3zb exists. It covers the entire area of pattern 19A. The barrier layer 7B covers the entire region of the wiring pattern 19A where the insulator 3zb exists from below the insulator 3zb.

そのため、変形構成Aまたは変形構成Bでは、水通過部材であるレジスト層5A,5Bからの水分が、発生可能部である絶縁体3zbへ侵入することを十分に抑制することができる。変形構成Aまたは変形構成Bでは、電圧印加状況におけるイオンマイグレーションの発生を十分に抑制することができる。 Therefore, in Modified Configuration A or Modified Configuration B, it is possible to sufficiently prevent water from the resist layers 5A and 5B, which are water passage members, from entering the insulator 3zb, which is a possible generation portion. In modified configuration A or modified configuration B, it is possible to sufficiently suppress the occurrence of ion migration under voltage application conditions.

また、本実施の形態における、局所配置構成であるバリヤー層構成Nまたは変形構成Bでは、バリヤー層7Aが、発生可能部である絶縁体3zbの上方から、当該絶縁体3zbを覆うように、当該バリヤー層7Aは、絶縁層3Aの表面3aにおいて局所的に設けられる。バリヤー層7Bが、絶縁体3zbの下方から、当該絶縁体3zbを覆うように、当該バリヤー層7Bは、絶縁層3Bの裏面3bにおいて局所的に設けられる。 In addition, in the barrier layer configuration N or the modified configuration B, which is the local arrangement configuration, in the present embodiment, the barrier layer 7A covers the insulator 3zb, which is the portion that can be generated, from above the insulator 3zb. The barrier layer 7A is locally provided on the surface 3a of the insulating layer 3A. The barrier layer 7B is locally provided on the rear surface 3b of the insulating layer 3B so that the barrier layer 7B covers the insulator 3zb from below.

そのため、局所配置構成であるバリヤー層構成Nまたは変形構成Bにおいても、水通過部材であるレジスト層5A,5Bからの水分が、発生可能部である絶縁体3zbへ侵入することを抑制することができる。したがって、電圧印加状況におけるイオンマイグレーションの発生を抑制することができる。 Therefore, even in the barrier layer configuration N or the modified configuration B, which are local arrangement configurations, it is possible to suppress moisture from the resist layers 5A and 5B, which are water passage members, from entering the insulator 3zb, which is a possible generation portion. can. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of ion migration under voltage application conditions.

また、本実施の形態では、製造方法Prの配線パターン層形成工程においてバリヤー層7および複数の配線パターンE1が同時に形成される。これにより、製造方法Prにおいて、バリヤー層7を形成するための工程を別途追加する必要がない。そのため、例えば、図1の多層プリント配線基板100を構成する層の数は、図7のバリヤー層構成を有さない多層プリント配線基板100Nを構成する層の数と同じである。また、例えば、図1の多層プリント配線基板100の製造のために必要な工程の数は、多層プリント配線基板100Nの製造のために必要な工程の数と同じである。 Further, in the present embodiment, the barrier layer 7 and the plurality of wiring patterns E1 are simultaneously formed in the wiring pattern layer forming step of the manufacturing method Pr. Accordingly, it is not necessary to add a separate step for forming the barrier layer 7 in the manufacturing method Pr. Therefore, for example, the number of layers forming the multilayer printed wiring board 100 in FIG. 1 is the same as the number of layers forming the multilayer printed wiring board 100N having no barrier layer structure in FIG. Also, for example, the number of steps required for manufacturing the multilayer printed wiring board 100 in FIG. 1 is the same as the number of steps required for manufacturing the multilayer printed wiring board 100N.

そのため、多層プリント配線基板を構成する層の数、および、多層プリント配線基板の製造のために必要な工程の数を増やすことなく、イオンマイグレーションの発生を抑制した多層プリント配線基板を提供することができる。したがって、多層プリント配線基板の製造のためのタクトタイムが長くなることを抑制でき、多層プリント配線基板の低コスト化を実現できる。 Therefore, it is possible to provide a multilayer printed wiring board that suppresses the occurrence of ion migration without increasing the number of layers constituting the multilayer printed wiring board and the number of processes required for manufacturing the multilayer printed wiring board. can. Therefore, it is possible to prevent the tact time for manufacturing the multilayer printed wiring board from becoming long, and to realize the cost reduction of the multilayer printed wiring board.

また、本実施の形態では、バリヤー層7Aは、配線パターン層E10Aの一部である。配線パターン層E10Aは、配線パターンE1と、バリヤー層7Aとで構成される。配線パターンE1およびバリヤー層7Aの各々は、銅箔で構成される。すなわち、配線パターンE1を構成する材料は、バリヤー層7Aを構成する材料と同じ材料である。そのため、バリヤー層を作成するための材料を、別途、用意する必要はない。したがって、多層プリント配線基板の製造のためのタクトタイムが長くなることを抑制でき、かつ、多層プリント配線基板の低コスト化を実現できる。また、多層プリント配線基板100において、イオンマイグレーションの発生を抑制するための、十分な耐イオンマイグレーション性能を確保することができる。すなわち、多層プリント配線基板100において十分な絶縁信頼性を確保することができる。 Moreover, in the present embodiment, the barrier layer 7A is part of the wiring pattern layer E10A. The wiring pattern layer E10A is composed of the wiring pattern E1 and the barrier layer 7A. Each of the wiring pattern E1 and the barrier layer 7A is made of copper foil. That is, the material forming the wiring pattern E1 is the same material as the material forming the barrier layer 7A. Therefore, it is not necessary to separately prepare a material for forming the barrier layer. Therefore, it is possible to prevent the takt time for manufacturing the multilayer printed wiring board from becoming longer, and to reduce the cost of the multilayer printed wiring board. Moreover, in the multilayer printed wiring board 100, sufficient ion migration resistance performance for suppressing the occurrence of ion migration can be ensured. That is, sufficient insulation reliability can be ensured in the multilayer printed wiring board 100 .

また、本実施の形態では、発生可能部である絶縁体3zbを覆うバリヤー層7Aは、絶縁層3Aの表面3aにおいて局所的に設けられる。これにより、バリヤー層7Aを含む配線パターン層E10Aにおいて、様々な形態の配線パターンE1を形成することができる。また、多層プリント配線基板100の製造方法Prにおける配線パターン層形成工程において、バリヤー層7Aおよび配線パターンE1を同時に形成することができる。 Moreover, in the present embodiment, the barrier layer 7A covering the insulator 3zb, which is the portion that can be generated, is locally provided on the surface 3a of the insulating layer 3A. As a result, various forms of wiring patterns E1 can be formed in the wiring pattern layer E10A including the barrier layer 7A. Moreover, in the wiring pattern layer forming step in the manufacturing method Pr of the multilayer printed wiring board 100, the barrier layer 7A and the wiring pattern E1 can be formed at the same time.

以上により、本実施の形態では、伸長構成を使用することなく、電圧印加状況におけるイオンマイグレーションの発生を抑制することができる。そのため、発生可能部である絶縁体3zを挟む2個の配線9の間の配線間距離の短縮化を実現することができる。したがって、多層プリント配線基板100の小型化を実現することができる。また、多層プリント配線基板100に対する、電子部品の高密度な実装を実現することができる。 As described above, in the present embodiment, it is possible to suppress the occurrence of ion migration in a voltage application state without using the extended configuration. Therefore, it is possible to shorten the inter-wiring distance between the two wirings 9 sandwiching the insulator 3z, which is the part that can occur. Therefore, miniaturization of the multilayer printed wiring board 100 can be realized. Moreover, high-density mounting of electronic components on the multilayer printed wiring board 100 can be achieved.

ところで、前述のパワー多層基板において、イオンマイグレーションに伴う、金属イオンの析出により、電位の異なる複数の配線間の絶縁が保てなくなると、瞬間的な短絡が発生する。パワー多層基板には、高電圧が印加される。そのため、短絡が瞬間的に発生する状況でも、当該短絡に伴う不具合が発生する可能性が高い。当該不具合は、例えば、当該短絡に伴う発熱により、絶縁体が炭化するという不具合である。したがって、従来のパワー多層基板では、配線間距離の大幅な短縮による、当該パワー多層基板の小型化を実現することは困難であるという問題がある。 By the way, in the aforementioned power multi-layer substrate, a momentary short circuit occurs when insulation between a plurality of wirings having different electric potentials cannot be maintained due to precipitation of metal ions accompanying ion migration. A high voltage is applied to the power multilayer substrate. Therefore, even in a situation where a short circuit occurs momentarily, there is a high possibility that problems associated with the short circuit will occur. The problem is, for example, carbonization of the insulator due to heat generated by the short circuit. Therefore, in the conventional power multilayer board, there is a problem that it is difficult to reduce the size of the power multilayer board by significantly shortening the distance between wirings.

また、関連構成Aでは、基板に形成された複数の配線の各々に、直接、マイグレーション抑制層としての膜が形成される。そのため、関連構成Aでは、多層プリント配線基板であるプリント配線基板の製造において、当該複数の配線を形成する工程に加え、マイグレーション抑制層を形成する工程がさらに追加される。また、マイグレーション抑制層を形成するための材料が別途必要である。 Further, in related configuration A, a film as a migration suppressing layer is formed directly on each of the plurality of wirings formed on the substrate. Therefore, in related configuration A, in manufacturing a printed wiring board that is a multilayer printed wiring board, in addition to the step of forming the plurality of wirings, a step of forming a migration suppression layer is further added. In addition, a separate material is required for forming the migration suppression layer.

以上から、関連構成Aでは、多層プリント配線基板の製造のためのタクトタイムが長くなり、多層プリント配線基板の製造コストが増大するという問題があった。 As described above, in related configuration A, there is a problem that the tact time for manufacturing the multilayer printed wiring board increases, and the manufacturing cost of the multilayer printed wiring board increases.

そこで、本実施の形態の多層プリント配線基板100は、上記の効果を奏するための構成を有する。そのため、本実施の形態の多層プリント配線基板100により、上記の各問題を解決することができる。 Therefore, multilayer printed wiring board 100 of the present embodiment has a configuration for achieving the above effects. Therefore, the multilayer printed wiring board 100 of the present embodiment can solve the above problems.

(変形例)
なお、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
(Modification)
In addition, it is possible to modify or omit the embodiments as appropriate.

例えば、上記の実施の形態では、バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zの上方および下方に設けられるとしたが、これに限定されない。バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zの上方および下方の一方のみに設けられる構成としてもよい。当該構成が適用された多層プリント配線基板は、例えば、図1の多層プリント配線基板100からバリヤー層7Bが除去された当該多層プリント配線基板100である。 For example, in the embodiment described above, the barrier layer 7 is provided above and below the insulator 3z, which is the portion that can be generated, but the present invention is not limited to this. The barrier layer 7 may be provided only above or below the insulator 3z, which is the portion that can be generated. A multilayer printed wiring board to which this configuration is applied is, for example, the multilayer printed wiring board 100 obtained by removing the barrier layer 7B from the multilayer printed wiring board 100 of FIG.

また、例えば、上記の実施の形態では、配線パターン19は、基板8の表面8aおよび裏面8bの各々に設けられるとしたが、これに限定されない。配線パターン19は、基板8の表面8aおよび裏面8bの一方のみに設けられてもよい。 Further, for example, in the above embodiment, the wiring pattern 19 is provided on each of the front surface 8a and the back surface 8b of the substrate 8, but the present invention is not limited to this. The wiring pattern 19 may be provided only on one of the front surface 8a and the rear surface 8b of the substrate 8. FIG.

また、例えば、上記の実施の形態では、発生可能部である絶縁体3zが存在する配線パターン19が、基板8の表面8aに設けられるとしたが、これに限定されない。発生可能部である絶縁体3zが存在する配線パターン19は、基板8の裏面8bに設けられてもよい。 Further, for example, in the above-described embodiment, the wiring pattern 19 having the insulator 3z, which is the portion that can be generated, is provided on the surface 8a of the substrate 8, but the present invention is not limited to this. The wiring pattern 19 in which the insulator 3z, which can be generated, exists may be provided on the back surface 8b of the substrate 8. FIG.

また、例えば、上記の実施の形態では、バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zに接触しない構成としたが、これに限定されない。バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zに接触する構成としてもよい。 Further, for example, in the above-described embodiment, the barrier layer 7 is configured not to contact the insulator 3z, which is the portion that can be generated, but the present invention is not limited to this. The barrier layer 7 may be configured to contact the insulator 3z, which is the portion that can be generated.

また、例えば、上記の実施の形態では、配線パターン19に、発生可能部である1個の絶縁体3zが存在するとしたが、これに限定されない。配線パターン19に存在する、発生可能部である絶縁体3zの数は、2以上であってもよい。 Further, for example, in the above-described embodiment, the wiring pattern 19 has one insulator 3z, which is the portion that can be generated, but the present invention is not limited to this. The number of insulators 3z, which are potential portions, present in the wiring pattern 19 may be two or more.

例えば、図6のように、配線パターン19Aに存在する、発生可能部である絶縁体3zの数が、5である構成としてもよい。当該構成では、バリヤー層7Aが、発生可能部である5個の絶縁体3zの上方から、当該5個の絶縁体3zの全てを覆うように、当該バリヤー層7Aは配置される。また、バリヤー層7Bが、当該5個の絶縁体3zの下方から、当該5個の絶縁体3zの全てを覆うように、当該バリヤー層7Bは配置される。 For example, as shown in FIG. 6, the wiring pattern 19A may have five insulators 3z, which may be generated. In this configuration, the barrier layer 7A is arranged so as to cover all of the five insulators 3z from above the five insulators 3z, which are the portions that can be generated. Also, the barrier layer 7B is arranged so as to cover all the five insulators 3z from below the five insulators 3z.

また、例えば、上記の実施の形態では、バリヤー層7は、多層プリント配線基板100の表層としての導体層である配線パターン層E10に形成されるとしたがこれに限定されない。 Further, for example, in the above-described embodiment, the barrier layer 7 is formed on the wiring pattern layer E10, which is a conductor layer as the surface layer of the multilayer printed wiring board 100, but it is not limited to this.

ここで、多層プリント配線基板100が、以下の構成Cを有すると仮定する。構成Cでは、基板8の主面に、発生可能部が存在する、配線層としての配線パターン19が形成されている。当該基板8の主面は、表面8aまたは裏面8bである。また、構成Cでは、基板8の主面には、複数の層が重なっている。当該複数の層は、絶縁層および導体層が交互に重なって構成される。また、当該複数の層は、複数の絶縁層、および、複数の導体層で構成される。 Now assume that multilayer printed wiring board 100 has configuration C below. In the configuration C, a wiring pattern 19 as a wiring layer is formed on the main surface of the substrate 8 and has a possible portion. The main surface of the substrate 8 is the front surface 8a or the back surface 8b. Further, in configuration C, a plurality of layers overlap on the main surface of the substrate 8 . The plurality of layers are configured by alternately stacking insulating layers and conductive layers. Also, the plurality of layers are composed of a plurality of insulating layers and a plurality of conductor layers.

上記の構成Cを有する多層プリント配線基板100では、当該複数の層のいずれかの層にバリヤー層7が形成されればよい。例えば、バリヤー層7は、当該複数の層に含まれる、多層プリント配線基板の内層としての層に形成されてもよい。 In the multilayer printed wiring board 100 having the configuration C described above, the barrier layer 7 may be formed on any one of the plurality of layers. For example, the barrier layer 7 may be formed in a layer as an inner layer of a multilayer printed wiring board, included in the plurality of layers.

また、例えば、上記の実施の形態では、基板8および絶縁層3A,3Bは、ハロゲンを含む樹脂材料Aで構成されるとしたがこれに限定されない。基板8および絶縁層3A,3Bは、樹脂材料Bまたは樹脂材料Cで構成されてもよい。樹脂材料Bは、ハロゲンを含まないエポキシレジンがガラスクロスに含浸されて得られる材料である。樹脂材料Cは、ハロゲンと異なる難燃成分を含むエポキシレジンがガラスクロスに含浸されて得られる材料である。 Further, for example, in the above embodiments, the substrate 8 and the insulating layers 3A and 3B are made of the resin material A containing halogen, but the present invention is not limited to this. Substrate 8 and insulating layers 3A and 3B may be made of resin material B or resin material C. As shown in FIG. The resin material B is a material obtained by impregnating a glass cloth with an epoxy resin containing no halogen. The resin material C is a material obtained by impregnating a glass cloth with an epoxy resin containing a flame retardant component different from halogen.

また、例えば、上記の実施の形態では、バリヤー層構成として、バリヤー層構成N、変形構成Aおよび変形構成Bを示したが、バリヤー層構成は、これらの構成に限定されない。バリヤー層構成Nは、バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zと、当該発生可能部を挟む2個の配線9とを覆う構成である。変形構成Aおよび変形構成Bは、バリヤー層7が、配線パターン19の全領域を覆う構成である。 Further, for example, in the above-described embodiments, as barrier layer configurations, barrier layer configuration N, modified configuration A, and modified configuration B are shown, but the barrier layer configuration is not limited to these configurations. The barrier layer configuration N is a configuration in which the barrier layer 7 covers the insulator 3z, which is the portion that can be generated, and the two wirings 9 that sandwich the portion that can be generated. The modified configuration A and the modified configuration B are configurations in which the barrier layer 7 covers the entire area of the wiring pattern 19 .

例えば、バリヤー層7が、発生可能部である絶縁体3zのみを覆う構成としてもよい。また、例えば、バリヤー層7が、配線パターン19の一部の領域であって、かつ、発生可能部である絶縁体3zが存在する領域を含む領域のみを覆う構成としてもよい。また、例えば、配線パターン19に複数の絶縁体3zが存在する状況では、複数のバリヤー層7が、それぞれ、当該複数の絶縁体3zのみを覆う構成としてもよい。当該複数の絶縁体3zは、電圧印加状況において、電圧が印加される構成要素である。また、例えば、複数のバリヤー層7が、配線パターン19の一部の領域であって、かつ、当該複数の絶縁体3zを含む領域のみを覆う構成としてもよい。 For example, the barrier layer 7 may be configured to cover only the insulator 3z, which is the portion that can be generated. Further, for example, the barrier layer 7 may be configured to cover only a partial region of the wiring pattern 19 and a region including a region where the insulator 3z, which is a possible portion, exists. Further, for example, in a situation where a plurality of insulators 3z exist in the wiring pattern 19, the plurality of barrier layers 7 may each cover only the plurality of insulators 3z. The plurality of insulators 3z are components to which a voltage is applied in a voltage application state. Further, for example, the plurality of barrier layers 7 may be configured to cover only a partial region of the wiring pattern 19 and the region including the plurality of insulators 3z.

また、例えば、上記の実施の形態では、バリヤー層7が、配線パターンE1と、配線パターン19の複数の配線9と電気的に接続されていないとした。すなわち、バリヤー層7の電位が特定の電位に固定されないように、当該バリヤー層7は構成されるとしたが、これに限定されない。バリヤー層7の電位が特定の電位に固定される構成としてもよい。例えば、バリヤー層7が、配線パターンE1と電気的に接続される構成としてもよい。 Further, for example, the barrier layer 7 is not electrically connected to the wiring pattern E<b>1 and the plurality of wirings 9 of the wiring pattern 19 in the above embodiment. That is, although the barrier layer 7 is configured so that the potential of the barrier layer 7 is not fixed at a specific potential, the present invention is not limited to this. The potential of the barrier layer 7 may be fixed at a specific potential. For example, the barrier layer 7 may be configured to be electrically connected to the wiring pattern E1.

また、例えば、上記の実施の形態では、バリヤー層7が配線パターン19から離隔されるとしたが、これに限定されない。バリヤー層7が、配線パターン19の一部である構成としてもよい。当該構成では、例えば、配線パターン19に存在する発生可能部である絶縁体3zをバリヤー層7が覆うように、当該バリヤー層7は、当該配線パターン19に含まれる配線で構成される。当該配線は、電圧を印加可能な配線である。 Also, for example, in the above embodiment, the barrier layer 7 is separated from the wiring pattern 19, but the invention is not limited to this. The barrier layer 7 may be configured as a part of the wiring pattern 19 . In this configuration, for example, the barrier layer 7 is configured by the wiring included in the wiring pattern 19 so that the barrier layer 7 covers the insulator 3z that is the portion that can be generated in the wiring pattern 19 . The wiring is a wiring to which a voltage can be applied.

また、例えば、バリヤー層7を含む導体層である配線パターン層E10において、当該配線パターン層E10に含まれる配線パターンE1を、信号を伝達する信号線としてもよい。 Further, for example, in the wiring pattern layer E10, which is a conductor layer including the barrier layer 7, the wiring pattern E1 included in the wiring pattern layer E10 may be used as a signal line for transmitting signals.

また、上記の実施の形態では、バリヤー層7が銅箔で構成されるとしたがこれに限定されない。バリヤー層7は、例えば、銅箔と異なる金属材料で構成されてもよい。また、バリヤー層7は、例えば、無機材料で構成されてもよい。また、バリヤー層7は、導電性を有さなくてもよい。 Also, in the above embodiment, the barrier layer 7 is made of copper foil, but the present invention is not limited to this. The barrier layer 7 may be composed of a metallic material other than copper foil, for example. Also, the barrier layer 7 may be composed of, for example, an inorganic material. Also, the barrier layer 7 does not have to be electrically conductive.

3A,3B 絶縁層、3z,3za,3zb,3zc,3ze 絶縁体、4A,4B 導体層、5A,5B レジスト層、7,7A,7B バリヤー層、8 基板、9,9A,9B,9C,9D,9E,9F 配線、19,19A,19B,E1,E1a,E1b 配線パターン、20 コア基材、100,100A,100N,N1 多層プリント配線基板、E10,E10A,E10B 配線パターン層、H1a,H1b スルーホール。 3A, 3B insulating layer, 3z, 3za, 3zb, 3zc, 3ze insulator, 4A, 4B conductor layer, 5A, 5B resist layer, 7, 7A, 7B barrier layer, 8 substrate, 9, 9A, 9B, 9C, 9D , 9E, 9F wiring, 19, 19A, 19B, E1, E1a, E1b wiring pattern, 20 core substrate, 100, 100A, 100N, N1 multilayer printed wiring board, E10, E10A, E10B wiring pattern layer, H1a, H1b through hole.

Claims (9)

多層プリント配線基板であって、
主面を有する基板と、
前記基板の前記主面に設けられている配線パターンと、
水を通さないバリヤー層とを備え、
前記配線パターンは、互いに隣接する複数の配線を含み、
前記複数の配線の間に電圧を印加可能なように、前記多層プリント配線基板は構成されており、
前記複数の配線の間には、絶縁体が存在し、
前記バリヤー層は、前記配線パターンの前記複数の配線の間の前記絶縁体を覆う、
多層プリント配線基板。
A multilayer printed wiring board,
a substrate having a major surface;
a wiring pattern provided on the main surface of the substrate;
and a water impermeable barrier layer,
The wiring pattern includes a plurality of wirings adjacent to each other,
The multilayer printed wiring board is configured so that a voltage can be applied between the plurality of wirings,
An insulator is present between the plurality of wires,
the barrier layer covers the insulator between the plurality of wires of the wiring pattern;
Multilayer printed wiring board.
前記バリヤー層の形状は、シート状である、
請求項1に記載の多層プリント配線基板。
The shape of the barrier layer is sheet-like,
The multilayer printed wiring board according to claim 1.
前記バリヤー層は、銅箔で構成されている、
請求項1または2に記載の多層プリント配線基板。
The barrier layer is made of copper foil,
3. The multilayer printed wiring board according to claim 1 or 2.
前記バリヤー層は、前記電圧を印加可能な前記複数の配線と電気的に接続されていない、
請求項1から3のいずれか1項に記載の多層プリント配線基板。
the barrier layer is not electrically connected to the plurality of wirings to which the voltage can be applied;
The multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 3.
前記基板の前記主面は、
前記絶縁体および前記複数の配線が設けられている第1領域と、
前記主面のうち、前記第1領域と異なる領域である第2領域とを有し、
前記バリヤー層は、少なくとも前記絶縁体と、前記第2領域とを覆う、
請求項1から4のいずれか1項に記載の多層プリント配線基板。
The main surface of the substrate is
a first region in which the insulator and the plurality of wirings are provided;
and a second region that is a different region from the first region on the main surface,
the barrier layer covers at least the insulator and the second region;
The multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 4.
前記基板の前記主面は、
前記絶縁体および前記複数の配線が設けられている第1領域と、
前記主面のうち、前記第1領域と異なる領域である第2領域とを有し、
前記バリヤー層は、少なくとも前記絶縁体を覆い、
前記バリヤー層は、前記第2領域を覆わない、
請求項1から4のいずれか1項に記載の多層プリント配線基板。
The main surface of the substrate is
a first region in which the insulator and the plurality of wirings are provided;
and a second region that is a different region from the first region on the main surface,
the barrier layer covers at least the insulator;
the barrier layer does not cover the second region;
The multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 4.
前記多層プリント配線基板には、前記配線パターンを覆う配線パターン層が存在し、
前記バリヤー層は、前記配線パターン層の一部である、
請求項1から6のいずれか1項に記載の多層プリント配線基板。
The multilayer printed wiring board has a wiring pattern layer covering the wiring pattern,
The barrier layer is part of the wiring pattern layer,
The multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 6.
前記バリヤー層は、前記基板の上方、および、当該基板の下方の各々に設けられており、
前記基板の上方に設けられている前記バリヤー層である第1バリヤー層は、前記絶縁体の上方から、当該絶縁体を覆い、
前記基板の下方に設けられている前記バリヤー層である第2バリヤー層は、前記絶縁体の下方から、当該絶縁体を覆う、
請求項1から6のいずれか1項に記載の多層プリント配線基板。
the barrier layer is provided above the substrate and below the substrate;
a first barrier layer, which is the barrier layer provided above the substrate, covers the insulator from above the insulator;
a second barrier layer, which is the barrier layer provided below the substrate, covers the insulator from below the insulator;
The multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 6.
前記多層プリント配線基板には、前記配線パターンの上方に存在する第1配線パターン層と、当該配線パターンの下方に存在する第2配線パターン層とが存在し、
前記第1バリヤー層は、前記第1配線パターン層の一部であり、
前記第2バリヤー層は、前記第2配線パターン層の一部である、
請求項8に記載の多層プリント配線基板。
The multilayer printed wiring board has a first wiring pattern layer existing above the wiring pattern and a second wiring pattern layer existing below the wiring pattern,
the first barrier layer is part of the first wiring pattern layer;
wherein the second barrier layer is part of the second wiring pattern layer;
The multilayer printed wiring board according to claim 8.
JP2021104603A 2021-06-24 2021-06-24 multilayer printed wiring board Pending JP2023003495A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021104603A JP2023003495A (en) 2021-06-24 2021-06-24 multilayer printed wiring board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021104603A JP2023003495A (en) 2021-06-24 2021-06-24 multilayer printed wiring board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023003495A true JP2023003495A (en) 2023-01-17

Family

ID=85100827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021104603A Pending JP2023003495A (en) 2021-06-24 2021-06-24 multilayer printed wiring board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023003495A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI478642B (en) Printed circuit board with embedded component and method for manufacturing same
JP2009094333A (en) Capacitor-embedded printed wiring board, and method of manufacturing the same
KR102488164B1 (en) Printed circuit boards having profiled conductive layer and methods of manufacturing same
JP2007128929A (en) Metal core substrate, method of manufacturing same, and electrical connection box
JP2007335455A (en) Flexible printed wiring board
US20080296051A1 (en) Printed circuit board
JP2003273525A (en) Wiring board
JP2023003495A (en) multilayer printed wiring board
JP2006344887A (en) Printed-wiring board and manufacturing method therefor
US20160219690A1 (en) Wiring board
WO2021009865A1 (en) High-density multilayer substrate and method for manufacturing same
KR20200023614A (en) Multi-layered Printed Circuit Board and its Fabrication Method
WO2012172890A1 (en) Printed-wiring board, electronic-component mounting structure, and method for manufacturing electronic-component mounting structure
WO2011086796A1 (en) Method of manufacturing substrate with built-in capacitor
KR20160103370A (en) Circuit board and assembly thereof
JP2005026316A (en) Printed circuit board and electronic apparatus
JP2009290044A (en) Wiring substrate
JP2013140930A (en) Circuit board
JP2016225390A (en) Multilayer wiring board of cavity structure and manufacturing method therefor
JP2006186149A (en) Printed circuit board and electronic apparatus
JP2918627B2 (en) Metal-based multilayer wiring board
KR101927479B1 (en) Method for manufacturing pcb and pcb manufactured using the same
JP2001251063A (en) Circuit board and television receiver using the same
US20160219698A1 (en) Wiring board
CN113347809A (en) High-voltage circuit board and manufacturing method thereof