JP2022540789A - 複数のパターニング放射吸収元素および/または垂直組成勾配を備えたフォトレジスト - Google Patents
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Abstract
Description
本出願の一部として、本明細書と同時にPCT出願願書が提出される。この同時出願されたPCT出願願書に明記され、本出願が利益または優先権を主張する各出願は、参照によりその全体があらゆる目的で本明細書に組み込まれる。
場合によっては、第1の反応剤は、t-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、i-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、n-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、sec-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、i-プロピル(トリス)ジメチルアミノスズ、n-プロピルトリス(ジエチルアミノ)スズ、t-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、i-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、n-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、sec-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、i-プロピル(トリス)t-ブトキシスズ、n-プロピルトリス(t-ブトキシ)スズ、t-ブチルトリクロロスズ、i-ブチルトリクロロスズ、n-ブチルトリクロロスズ、sec-ブチルトリクロロスズ、i-プロピルトリクロロスズ、n-プロピルトリクロロスズ、t-ブチルトリボモスズ、i-ブチルトリボモスズ、n-ブチルトリボモスズ、sec-ブチルトリボモスズ、i-プロピルトリブロモスズ、n-プロピルトリブロモスズ、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含んでもよい。
一般に、記載された方法は、気相堆積反応に耐えることができる各金属原子上に少なくとも1つのアルキル基を含む有機金属前駆体を流すことを伴い、一方、金属に配位する他のリガンドまたはイオンは、対抗反応剤によって置き換えることができる。
適切な有機金属前駆体は、以下の式のものを含む:
M1aR1bL1c (式1)
式中、M1は、Sn、Sb、In、Bi、Te、およびそれらの組み合わせなど、高パターニング放射吸収断面積(例えば、1×107cm2/mol以上)を有する金属であり、R1は、CnH2n+1などのアルキル(またはハロゲン置換アルキル)基であり、好ましくは、n≧3であり、L1は、対抗反応剤と反応するリガンド、イオン、または他の部位であり、a≧1、b≧1、およびc≧1である。
M2aL2c (式2)
式中、M2は、M1と同じであっても異なっていてもよい、高EUV吸収断面積を有する金属であり、L2は、対抗反応剤と反応するリガンド、イオン、または他の部位であり、a≧1およびc≧1である。対抗反応剤は、好ましくは、化学結合を介して少なくとも2つの金属原子を連結するように、反応性部位のリガンドまたはイオン(例えば、上記の式1のL1、および/または式2のL2)を置換する能力を有する。
これらのいずれもフッ素化されてもよい。
様々なアルキル基を有する傾斜Sn系レジストを製造するための1つの例示的なシステムは、対抗反応剤としてテトラキス(ジメチルアミノ)スズおよびイソプロピルトリス(ジメチルアミノ)スズ前駆体ならびに水を使用することを伴う。テトラキス(ジメチルアミノ)スズは、最初は少量から重要な成分として導入され、アルキル基に結合していないSnの比較的高密度の成分(本質的にはSnO2およびSn-OH誘導体)を発生する。テトラキス(ジメチルアミノ)スズ:イソプロピルトリス(ジメチルアミノ)スズ前駆体の比率は、膜が成長するにつれて減少する。これにより、膜の上面に向かって膜中のSn-R結合の量が増加した膜が得られる。(このプロセスによって得られた膜の吸収の増加の一例を、以下に説明する)。このプロセスは、ALDまたはCVD法のいずれかによって実施することができる。
傾斜膜を作成する別の方法は、プラズマを使用して、膜の最初の堆積中に金属中心に結合したアルキル基のいくつかを除去することを伴う。例えば、Sn-アルキル結合は、プラズマの存在下で、VUVまたはプラズマからの電子もしくはイオンの衝撃によって容易に切断される。理想的には、アルキル基を単に除去するが、膜をエッチングしない条件のプラズマが使用される。例えば、O2、Ar、He、またはCO2プラズマを使用することができる。膜が堆積されると、アルキル基を除去するためのプラズマの効率が低下し(すなわち、プラズマの電力が低下し)、最終的にはオフになる。これにより、膜の底部よりも膜の表面に多くのM-アルキル結合を有する傾斜膜が得られる。
堆積および任意選択の塗布後の焼き付けに続いて、勾配膜が曝露される。EUV、193nm、または電子ビームを使用して、膜を曝露することができる。多くの実施形態では、EUVが使用される。また、本開示は、EUVリソグラフィによって例示されるリソグラフィパターニング技法および材料に関するが、他の次世代リソグラフィ技法にも適用可能であることを理解されたい。現在使用および開発されている標準の13.5nm EUV波長を含むEUVに加えて、このようなリソグラフィに最も関連する放射源はDUV(deep-UV)であり、これは一般に、248nmまたは193nmのエキシマレーザ光源、X線(X線範囲の低エネルギー範囲におけるEUVを形式的に含む)、ならびに広いエネルギー範囲をカバーすることができるeビームの使用を指す。特定の方法は、半導体基板および最終的な半導体デバイスで使用される特定の材料および用途に依存する可能性がある。したがって、本出願で説明される方法は、本技術で使用され得る方法および材料の単なる例示である。
曝露および任意選択の焼き付けに続いて、膜が現像される。膜は、湿式現像または乾式現像のいずれかであり得る。選択された膜および化学物質は、曝露されていない膜が曝露された膜の上で選択的に除去され得るように設計することができる。
高EUV吸収元素の導入により、フォトレジスト材料は、Inpriaなどの従来の金属酸化物フォトレジストと比較してより多くのEUV光子を吸収し、より多くの二次電子を放出することができ、これにより線量要件が下がり、したがってEUVリソグラフィのコストを下げることができる。このような膜は、潜在的に、湿式スピンコート法と乾式CVD/ALD法の両方を使用して堆積することが可能である。
図3は、本明細書に記載の説明された乾式堆積および現像の実施形態の実施に適した低圧環境を維持するためのプロセスチャンバ本体302を有するプロセスステーション300の一実施形態の概略図を図示する。複数のプロセスステーション300は、共通の低圧プロセスツール環境に含まれ得る。例えば、図4は、カリフォルニア州フリーモントのLam Research Corporationから入手可能なVECTOR(登録商標)処理ツールなどのマルチステーション処理ツール400の一実施形態を図示する。いくつかの実施形態では、プロセスステーション300の1つまたは複数のハードウェアパラメータ(以下で詳細に説明されるものを含む)は、1つまたは複数のコンピュータコントローラ350によってプログラム的に調整することができる。
適切な電力の例は、最大約500Wである。
金属および/または金属酸化物フォトレジストの乾式現像のための、例えば、EUVパターニングの場面でパターニングマスクを形成するためのプロセスおよび装置が開示される。
[適用例1]
基板上にフォトレジスト材料を堆積する方法であって、
反応チャンバ内に前記基板を提供することと、
第1の反応剤および第2の反応剤を前記反応チャンバに提供し、前記第1の反応剤と前記第2の反応剤との間の反応を開始し、それによって前記基板上に前記フォトレジスト材料を堆積することであって、前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は各々、気相で前記反応チャンバに提供されることと
を含み、
前記第1の反応剤は、M1 a R1 b L1 c の式を有する有機金属前駆体であり、式中、
M1は、高パターニング放射吸収断面積を有する金属であり、
R1は、前記第1の反応剤と前記第2の反応剤の間の前記反応に耐え、パターニング放射に曝露された状態でM1から切断可能な有機基であり、
L1は、前記第2の反応剤と反応するリガンド、イオン、または他の部位であり、
a≧1、
b≧1、および、
c≧1であり、
以下の条件:
(a)前記フォトレジスト材料が高パターニング放射吸収断面積を有する2つ以上の元素を含む、および/または
(b)前記フォトレジスト材料が前記フォトレジスト材料の厚さに沿った組成勾配を含む、
の少なくとも1つが満たされる、
方法。
[適用例2]
適用例1に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、極紫外線(EUV)フォトレジスト材料であり、M1は、高EUV吸収断面積を有する、方法。
[適用例3]
適用例2に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、ヒドロキシル部位を含む、方法。
[適用例4]
適用例3に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、水、過酸化物、ジまたはポリヒドロキシアルコール、フッ素化ジまたはポリヒドロキシアルコール、フッ素化グリコール、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含む、方法。
[適用例5]
適用例2~4のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、硫黄ブリッジおよび/またはテルルブリッジを介して金属原子を架橋することができる材料を含む、方法。
[適用例6]
適用例2~5のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、硫化水素、二硫化水素、ビス(トリメチルシリル)テルル、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含む、方法。
[適用例7]
適用例2~6のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、ヨウ化水素を含む、方法。
[適用例8]
適用例2~7のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、1つまたは複数のL1を置き換え、それによって化学結合を介してM1の2つ以上の原子を架橋する、方法。
[適用例9]
適用例2~8のいずれか一項に記載の方法であって、
M1の前記EUV吸収断面積は、1×10 7 cm 2 /モル以上である、方法。
[適用例10]
適用例2~9のいずれか一項に記載の方法であって、
M1は、Sn、Sb、In、Bi、Te、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される金属を含む、方法。
[適用例11]
適用例2~10のいずれか一項に記載の方法であって、
R1は、アルキル基またはハロゲン置換アルキル基を含む、方法。
[適用例12]
適用例11に記載の方法であって、
前記アルキル基は、3つ以上の炭素原子を含む、方法。
[適用例13]
適用例2~12のいずれか一項に記載の方法であって、
R1は、少なくとも1つのベータ水素またはベータフッ素を含む、方法。
[適用例14]
適用例13に記載の方法であって、
R1は、i-プロピル、n-プロピル、t-ブチル、i-ブチル、n-ブチル、sec-ブチル、n-ペンチル、i-ペンチル、t-ペンチル、sec-ペンチル、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される、方法。
[適用例15]
適用例2~14のいずれか一項に記載の方法であって、
L1は、アミン、アルコキシ、カルボキシレート、ハロゲン、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される部位を含む、方法。
[適用例16]
適用例2~15のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤は、t-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、i-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、n-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、sec-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、i-プロピル(トリス)ジメチルアミノスズ、n-プロピルトリス(ジエチルアミノ)スズ、t-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、i-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、n-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、sec-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、i-プロピル(トリス)t-ブトキシスズ、n-プロピルトリス(t-ブトキシ)スズ、t-ブチルトリクロロスズ、i-ブチルトリクロロスズ、n-ブチルトリクロロスズ、sec-ブチルトリクロロスズ、i-プロピルトリクロロスズ、n-プロピルトリクロロスズ、t-ブチルトリボモスズ、i-ブチルトリボモスズ、n-ブチルトリボモスズ、sec-ブチルトリボモスズ、i-プロピルトリブロモスズ、n-プロピルトリブロモスズ、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含む、方法。
[適用例17]
適用例2~16のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板をプラズマに曝露し、いくつかのM1-L1結合をM1-H結合で置き換えることをさらに含む、方法。
[適用例18]
適用例2~17のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤と前記第2の反応剤との間の前記反応は、化学気相堆積反応、原子層堆積反応、またはそれらの組み合わせである、方法。
[適用例19]
適用例2~18のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は、同時に前記反応チャンバに提供される、方法。
[適用例20]
適用例2~18のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は、同時に前記反応チャンバに送給されない、方法。
[適用例21]
適用例2~20のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板の温度は、前記反応チャンバに送給される際の前記第1および第2の反応剤の温度以下である、方法。
[適用例22]
適用例2~21のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1および第2の反応剤の間の前記反応を開始することは、前記基板をプラズマに曝露することを含む、方法。
[適用例23]
適用例2~21のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1および第2の反応剤の間の前記反応を開始することは、前記基板を熱エネルギーに曝露することを含む、方法。
[適用例24]
適用例2~23のいずれか一項に記載の方法であって、
第3の反応剤を前記反応チャンバに提供し、前記第2の反応剤と前記第3の反応剤との間または前記第3の反応剤と第4の反応剤との間の反応を開始することをさらに含む、方法。
[適用例25]
適用例24に記載の方法であって、
前記第1および第3の反応剤の各々は、Sn、Sb、In、Bi、およびTeからなる群から選択される金属を含み、前記第1の反応剤中の前記金属は、前記第2の反応剤中の前記金属とは異なる、方法。
[適用例26]
適用例2~25のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板上に堆積された前記フォトレジスト材料は、前記フォトレジスト材料の厚さに沿った前記組成勾配を含む、方法。
[適用例27]
適用例26に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、M1に加えてM2を含み、M2は、高EUV吸収断面積を有し、M1とは異なる金属であり、前記フォトレジスト材料における前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で異なる比率のM1:M2を提供する、方法。
[適用例28]
適用例26に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料における前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で異なる比率のM1:R1を提供する、方法。
[適用例29]
適用例28に記載の方法であって、
R1に結合した金属原子の割合は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で変化する、方法。
[適用例30]
適用例26に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料における前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で異なる濃度のIまたはTeを提供する、方法。
[適用例31]
適用例26~30のいずれか一項に記載の方法であって、
前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料の上部と比較して、前記フォトレジスト材料の底部に高密度の高EUV吸収元素を提供し、前記底部は、前記上部の前に堆積される、方法。
[適用例32]
適用例2~31のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤を前記反応チャンバに提供する前に、第3の反応剤を前記反応チャンバに提供し、前記第2の反応剤と前記第3の反応剤との間、または前記第3の反応剤と第4の反応剤との間の反応を開始し、それによって前記フォトレジスト材料の初期部分を堆積することをさらに含み、
前記第3の反応剤は、式M2 a L2 c を有し、式中、
M2は、高EUV吸収断面積を有する金属であり、
L2は、前記第2の反応剤または前記第4の反応剤と反応するリガンド、イオン、または他の部位であり、
a≧1、および
c≧1であり、
それにより前記フォトレジスト材料の前記初期部分がR1を組み込まない、
方法。
[適用例33]
適用例2~32のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板をプラズマに繰り返し曝露し、前記フォトレジスト材料からいくらかのR1を除去することをさらに含み、前記プラズマを生成するために使用される条件は、前記フォトレジスト材料内のM1-R1結合の濃度に勾配があるように時間と共に変化する、方法。
[適用例34]
適用例33に記載の方法であって、
前記プラズマを生成するために使用される電力は、前記フォトレジスト材料の底部近くに比較的低い濃度のM1-R1結合があり、前記フォトレジスト材料の上部近くに比較的高い濃度のM1-R1結合があるように、時間と共に低減される、方法。
[適用例35]
適用例2~34のいずれか一項に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、垂直密度勾配を含む、方法。
[適用例36]
適用例2~35のいずれか一項に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料をEUV放射に曝露し、前記フォトレジスト材料を現像してパターンを形成することをさらに含んでもよく、前記フォトレジスト材料を現像することは、湿式処理または乾式処理によって行われる、方法。
[適用例37]
適用例2~36のいずれか一項に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、深さ依存性のEUV感度を提供する、方法。
[適用例38]
基板上にフォトレジスト材料を堆積する方法であって、
反応チャンバ内に前記基板を提供することと、
第1の反応剤および第2の反応剤を前記反応チャンバに提供して前記第1の反応剤と前記第2の反応剤との間の反応を開始し、それによって前記基板上に前記フォトレジスト材料を堆積することであって、前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は各々、気相で前記反応チャンバに提供され、前記フォトレジスト材料は、複数のパターニング放射吸収種および/またはパターニング放射に対する深さ依存性の感度を提供することと
を含む、方法。
[適用例39]
適用例1~38に記載の方法のいずれかによって形成される、フォトレジスト材料。
[適用例40]
基板上にフォトレジスト材料を堆積するための装置であって、
反応チャンバと、
気相反応剤を導入するための入口と、
前記反応チャンバから材料を除去するための出口と、
前記反応チャンバ内の基板支持体と、
少なくとも1つのプロセッサを有するコントローラであって、前記少なくとも1つのプロセッサは、適用例1~38に記載の方法のいずれかを引き起こすように構成されるコントローラと
を含む、装置。
Claims (40)
- 基板上にフォトレジスト材料を堆積する方法であって、
反応チャンバ内に前記基板を提供することと、
第1の反応剤および第2の反応剤を前記反応チャンバに提供し、前記第1の反応剤と前記第2の反応剤との間の反応を開始し、それによって前記基板上に前記フォトレジスト材料を堆積することであって、前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は各々、気相で前記反応チャンバに提供されることと
を含み、
前記第1の反応剤は、M1aR1bL1cの式を有する有機金属前駆体であり、式中、
M1は、高パターニング放射吸収断面積を有する金属であり、
R1は、前記第1の反応剤と前記第2の反応剤の間の前記反応に耐え、パターニング放射に曝露された状態でM1から切断可能な有機基であり、
L1は、前記第2の反応剤と反応するリガンド、イオン、または他の部位であり、
a≧1、
b≧1、および、
c≧1であり、
以下の条件:
(a)前記フォトレジスト材料が高パターニング放射吸収断面積を有する2つ以上の元素を含む、および/または
(b)前記フォトレジスト材料が前記フォトレジスト材料の厚さに沿った組成勾配を含む、
の少なくとも1つが満たされる、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、極紫外線(EUV)フォトレジスト材料であり、M1は、高EUV吸収断面積を有する、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、ヒドロキシル部位を含む、方法。 - 請求項3に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、水、過酸化物、ジまたはポリヒドロキシアルコール、フッ素化ジまたはポリヒドロキシアルコール、フッ素化グリコール、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含む、方法。 - 請求項2~4のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、硫黄ブリッジおよび/またはテルルブリッジを介して金属原子を架橋することができる材料を含む、方法。 - 請求項2~5のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、硫化水素、二硫化水素、ビス(トリメチルシリル)テルル、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含む、方法。 - 請求項2~6のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、ヨウ化水素を含む、方法。 - 請求項2~7のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第2の反応剤は、1つまたは複数のL1を置き換え、それによって化学結合を介してM1の2つ以上の原子を架橋する、方法。 - 請求項2~8のいずれか一項に記載の方法であって、
M1の前記EUV吸収断面積は、1×107cm2/モル以上である、方法。 - 請求項2~9のいずれか一項に記載の方法であって、
M1は、Sn、Sb、In、Bi、Te、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される金属を含む、方法。 - 請求項2~10のいずれか一項に記載の方法であって、
R1は、アルキル基またはハロゲン置換アルキル基を含む、方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記アルキル基は、3つ以上の炭素原子を含む、方法。 - 請求項2~12のいずれか一項に記載の方法であって、
R1は、少なくとも1つのベータ水素またはベータフッ素を含む、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
R1は、i-プロピル、n-プロピル、t-ブチル、i-ブチル、n-ブチル、sec-ブチル、n-ペンチル、i-ペンチル、t-ペンチル、sec-ペンチル、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される、方法。 - 請求項2~14のいずれか一項に記載の方法であって、
L1は、アミン、アルコキシ、カルボキシレート、ハロゲン、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される部位を含む、方法。 - 請求項2~15のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤は、t-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、i-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、n-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、sec-ブチルトリス(ジメチルアミノ)スズ、i-プロピル(トリス)ジメチルアミノスズ、n-プロピルトリス(ジエチルアミノ)スズ、t-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、i-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、n-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、sec-ブチルトリス(t-ブトキシ)スズ、i-プロピル(トリス)t-ブトキシスズ、n-プロピルトリス(t-ブトキシ)スズ、t-ブチルトリクロロスズ、i-ブチルトリクロロスズ、n-ブチルトリクロロスズ、sec-ブチルトリクロロスズ、i-プロピルトリクロロスズ、n-プロピルトリクロロスズ、t-ブチルトリボモスズ、i-ブチルトリボモスズ、n-ブチルトリボモスズ、sec-ブチルトリボモスズ、i-プロピルトリブロモスズ、n-プロピルトリブロモスズ、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される材料を含む、方法。 - 請求項2~16のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板をプラズマに曝露し、いくつかのM1-L1結合をM1-H結合で置き換えることをさらに含む、方法。 - 請求項2~17のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤と前記第2の反応剤との間の前記反応は、化学気相堆積反応、原子層堆積反応、またはそれらの組み合わせである、方法。 - 請求項2~18のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は、同時に前記反応チャンバに提供される、方法。 - 請求項2~18のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は、同時に前記反応チャンバに送給されない、方法。 - 請求項2~20のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板の温度は、前記反応チャンバに送給される際の前記第1および第2の反応剤の温度以下である、方法。 - 請求項2~21のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1および第2の反応剤の間の前記反応を開始することは、前記基板をプラズマに曝露することを含む、方法。 - 請求項2~21のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1および第2の反応剤の間の前記反応を開始することは、前記基板を熱エネルギーに曝露することを含む、方法。 - 請求項2~23のいずれか一項に記載の方法であって、
第3の反応剤を前記反応チャンバに提供し、前記第2の反応剤と前記第3の反応剤との間または前記第3の反応剤と第4の反応剤との間の反応を開始することをさらに含む、方法。 - 請求項24に記載の方法であって、
前記第1および第3の反応剤の各々は、Sn、Sb、In、Bi、およびTeからなる群から選択される金属を含み、前記第1の反応剤中の前記金属は、前記第2の反応剤中の前記金属とは異なる、方法。 - 請求項2~25のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板上に堆積された前記フォトレジスト材料は、前記フォトレジスト材料の厚さに沿った前記組成勾配を含む、方法。 - 請求項26に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、M1に加えてM2を含み、M2は、高EUV吸収断面積を有し、M1とは異なる金属であり、前記フォトレジスト材料における前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で異なる比率のM1:M2を提供する、方法。 - 請求項26に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料における前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で異なる比率のM1:R1を提供する、方法。 - 請求項28に記載の方法であって、
R1に結合した金属原子の割合は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で変化する、方法。 - 請求項26に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料における前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料内の異なる垂直位置で異なる濃度のIまたはTeを提供する、方法。 - 請求項26~30のいずれか一項に記載の方法であって、
前記組成勾配は、前記フォトレジスト材料の上部と比較して、前記フォトレジスト材料の底部に高密度の高EUV吸収元素を提供し、前記底部は、前記上部の前に堆積される、方法。 - 請求項2~31のいずれか一項に記載の方法であって、
前記第1の反応剤を前記反応チャンバに提供する前に、第3の反応剤を前記反応チャンバに提供し、前記第2の反応剤と前記第3の反応剤との間、または前記第3の反応剤と第4の反応剤との間の反応を開始し、それによって前記フォトレジスト材料の初期部分を堆積することをさらに含み、
前記第3の反応剤は、式M2aL2cを有し、式中、
M2は、高EUV吸収断面積を有する金属であり、
L2は、前記第2の反応剤または前記第4の反応剤と反応するリガンド、イオン、または他の部位であり、
a≧1、および
c≧1であり、
それにより前記フォトレジスト材料の前記初期部分がR1を組み込まない、
方法。 - 請求項2~32のいずれか一項に記載の方法であって、
前記基板をプラズマに繰り返し曝露し、前記フォトレジスト材料からいくらかのR1を除去することをさらに含み、前記プラズマを生成するために使用される条件は、前記フォトレジスト材料内のM1-R1結合の濃度に勾配があるように時間と共に変化する、方法。 - 請求項33に記載の方法であって、
前記プラズマを生成するために使用される電力は、前記フォトレジスト材料の底部近くに比較的低い濃度のM1-R1結合があり、前記フォトレジスト材料の上部近くに比較的高い濃度のM1-R1結合があるように、時間と共に低減される、方法。 - 請求項2~34のいずれか一項に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、垂直密度勾配を含む、方法。 - 請求項2~35のいずれか一項に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料をEUV放射に曝露し、前記フォトレジスト材料を現像してパターンを形成することをさらに含んでもよく、前記フォトレジスト材料を現像することは、湿式処理または乾式処理によって行われる、方法。 - 請求項2~36のいずれか一項に記載の方法であって、
前記フォトレジスト材料は、深さ依存性のEUV感度を提供する、方法。 - 基板上にフォトレジスト材料を堆積する方法であって、
反応チャンバ内に前記基板を提供することと、
第1の反応剤および第2の反応剤を前記反応チャンバに提供して前記第1の反応剤と前記第2の反応剤との間の反応を開始し、それによって前記基板上に前記フォトレジスト材料を堆積することであって、前記第1の反応剤および前記第2の反応剤は各々、気相で前記反応チャンバに提供され、前記フォトレジスト材料は、複数のパターニング放射吸収種および/またはパターニング放射に対する深さ依存性の感度を提供することと
を含む、方法。 - 請求項1~38に記載の方法のいずれかによって形成される、フォトレジスト材料。
- 基板上にフォトレジスト材料を堆積するための装置であって、
反応チャンバと、
気相反応剤を導入するための入口と、
前記反応チャンバから材料を除去するための出口と、
前記反応チャンバ内の基板支持体と、
少なくとも1つのプロセッサを有するコントローラであって、前記少なくとも1つのプロセッサは、請求項1~38に記載の方法のいずれかを引き起こすように構成されるコントローラと
を含む、装置。
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