JP2022537886A - 出力光ビーム形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本願は、2019年6月20日出願の「OUTPUT LIGHT BEAM FORMATION APPARATUS」という名称の米国出願第62/863,980号、及び、2019年10月17日出願の「OUTPUT LIGHT BEAM FORMATION APPARATUS」という名称の米国出願第62/916,462号の優先権を主張し、それら両方の全体が参照により本明細書に組み込まれる。
1.ビーム経路上のビームスプリッタであって、深紫外線(DUV)光源から光を受け取るように構成されたビームスプリッタと、
ビーム経路上の第1の複数の反射光学要素と、を備え、
ビームスプリッタは、DUV光源から受け取った光の一部を第1の複数の反射光学要素に向けて誘導するように構成され、
第1の複数の反射光学要素は、回転された光を生成するために光の一部の発散を回転させるように構成され、
ビームスプリッタは、回転された光とDUV光源から受け取った光の一部を、出力ビーム経路上に誘導するように構成される、
装置。
2.ビーム経路上に偏光要素を更に備え、
偏光要素は、出力ビーム経路上で、回転された光がDUV光源から受け取った光と同じ偏光状態を有するように、回転された光の偏光状態を変更するように構成される、条項1に記載の装置。
3.第1の複数の光学要素と偏光要素との間のビーム経路上に、第2の複数の反射光学要素を更に備える、条項2に記載の装置。
4.第1の複数の反射光学要素は、4つのミラーを備える、条項3に記載の装置。
5.第1の複数の反射光学要素は、光の一部の発散を90度回転させるように構成される、条項1に記載の装置。
6.DUV光源から受け取った光は、初期の垂直発散値を有する垂直発散と、初期の水平発散値を有する水平発散と、を有し、
出力ビーム経路上で、回転された光は、初期の垂直発散値に等しい水平発散と、初期の水平発散値に等しい垂直発散と、を有する、条項1に記載の装置。
7.回転された光とDUV光源からの光の別の部分は、出力ビーム経路上を伝搬する出力ビームを形成するために、ビームスプリッタにおいて組み合わせられ、
出力ビームは、回転された光の垂直発散及びDUV光源からの光の他の部分の垂直発散に基づく垂直発散値と、回転された光の水平発散及びDUV光源からの光の他の部分の垂直発散に基づく水平発散値と、を有する、条項6に記載の装置。
8.出力ビームの水平発散値は、初期の水平発散値よりも大きく、
出力ビームの垂直発散値は、初期の垂直発散値よりも小さい、条項7に記載の装置。
9.DUV光源からの光は、少なくとも第1の光のパルスを備え、
回転された光は、第1の光のパルスの第1の部分の反射から形成される回転された光のパルスを備え、
DUV光源からの光の他の部分は、第1の光のパルスの伝送された第2の部分を備え、
出力ビームは、回転された光のパルス及び他の部分の反射に基づく、条項8に記載の装置。
10.第2の複数の反射光学要素は、2つ以上のミラーを備える、条項3に記載の装置。
11.偏光要素は、半波長板又は位相減速ミラーを備える、条項2に記載の装置。
12.ビーム経路は、ビームスプリッタ、第1の複数の反射光学要素、第2の複数の反射光学要素、及び偏光要素によって定義される閉経路である、条項2に記載の装置。
13.深紫外線(DUV)光源であって、
ガス利得媒質を保持するように及びDUV光ビームを生成するように構成された、少なくとも1つの放電チャンバを備える光発生装置と、
出力ビーム形成装置と、を備え、
出力ビーム形成装置は、
ビーム経路上のビームスプリッタであってDUV光ビームを受け取るように構成されたビームスプリッタと、
ビーム経路上の偏光要素と、
ビーム経路上の第1の複数の反射光学要素と、を備え、
ビームスプリッタは、DUV光ビームの一部を第1の複数の反射光学要素に向けて誘導するように構成され、
第1の複数の反射光学要素は、回転された光を生成するために光の一部の発散を回転させるように構成され、
波長板は、出力ビーム経路上で、回転された光がDUV光ビームと同じ偏光状態を有するように、回転された光の偏光状態を変更するように構成され、
ビームスプリッタは、回転された光及びDUV光ビームの一部に基づいて出力ビームを形成するように構成される、深紫外線(DUV)光源。
14.光発生装置は、
第1のガス利得媒質を保持するように及びDUVシード光ビームを生成するように構成された第1の放電チャンバと、
第2のガス利得媒質を保持するように及びシード光ビームを増幅して増幅されたDUV光ビームを形成するように構成された第2の放電チャンバと、
を備える、条項13に記載のDUV光源。
15.出力ビーム形成装置は、第1の放電チャンバと第2の放電チャンバとの間に位置決めされるように構成され、
DUV光は、DUVシード光ビームを備える、条項14に記載のDUV光源。
16.出力ビームを受け取るように構成されたビーム伸張装置を更に備える、条項13に記載のDUV光源。
17.出力ビーム形成装置は、光発生装置とビーム伸張装置との間にある、条項16に記載のDUV光源。
18.偏光要素は、第2の複数の反射光学要素とビームスプリッタとの間にある、条項13に記載のDUV光源。
19.深紫外線(DUV)光源のための方法であって、
DUV光ビームの一部を受け取ることであって、DUV光ビームの一部は、偏光状態、初期垂直発散値の垂直発散、及び初期水平発散値の水平発散を有することと、
回転された光ビームを形成するためにDUV光ビームの一部を回転することであって、回転された光ビームは、初期水平発散値の垂直発散及び初期垂直発散値の水平発散を有することと、
光学遅延を介して回転された光ビームを渡すことと、
回転された光ビーム及びDUV光ビームの別の部分に基づいて、出力ビーム経路上を伝搬する出力光ビームを形成することと、
を含む、方法。
20.回転された光ビーム及びDUV光ビームの別の部分を組み合わせる前に、回転された光ビームを、回転された光ビーム及びDUV光ビームの他の部分が出力ビーム経路上で同じ偏光状態を有するように、偏光要素を介して渡すことを更に含む、条項19に記載の方法。
21.DUV光ビームは、パルスDUV光ビームを備え、
回転された光ビームは、パルスDUV光ビーム内のパルスのうちの第1のパルスの反射を備え、
DUV光ビームの他の部分は、パルスのうちの第1のパルスの一部を備える、条項19に記載の方法。
Claims (21)
- ビーム経路上のビームスプリッタであって深紫外線(DUV)光源から光を受け取るように構成されたビームスプリッタと、
前記ビーム経路上の第1の複数の反射光学要素と、を備え、
前記ビームスプリッタは、前記DUV光源から受け取った前記光の一部を前記第1の複数の反射光学要素に向けて誘導するように構成され、
前記第1の複数の反射光学要素は、回転された光を生成するために前記光の一部の発散を回転させるように構成され、
前記ビームスプリッタは、前記回転された光と前記DUV光源から受け取った前記光の一部を、出力ビーム経路上に誘導するように構成される、
装置。 - 前記ビーム経路上に偏光要素を更に備え、
前記偏光要素は、前記出力ビーム経路上で、前記回転された光が前記DUV光源から受け取った光と同じ偏光状態を有するように、前記回転された光の偏光状態を変更するように構成される、請求項1に記載の装置。 - 前記第1の複数の光学要素と前記偏光要素との間の前記ビーム経路上に、第2の複数の反射光学要素を更に備える、請求項2に記載の装置。
- 前記第1の複数の反射光学要素は、4つのミラーを備える、請求項3に記載の装置。
- 前記第1の複数の反射光学要素は、前記光の前記一部の前記発散を90度回転させるように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記DUV光源から受け取った前記光は、初期の垂直発散値を有する垂直発散と、初期の水平発散値を有する水平発散と、を有し、
前記出力ビーム経路上で、前記回転された光は、前記初期の垂直発散値に等しい水平発散と、前記初期の水平発散値に等しい垂直発散と、を有する、請求項1に記載の装置。 - 前記回転された光と前記DUV光源からの光の別の部分は、前記出力ビーム経路上を伝搬する出力ビームを形成するために、前記ビームスプリッタにおいて組み合わせられ、
前記出力ビームは、前記回転された光の前記垂直発散及び前記DUV光源からの光の前記他の部分の前記垂直発散に基づく垂直発散値と、前記回転された光の前記水平発散及び前記DUV光源からの前記光の前記他の部分の前記垂直発散に基づく水平発散値と、を有する、請求項6に記載の装置。 - 前記出力ビームの前記水平発散値は、前記初期の水平発散値よりも大きく、
前記出力ビームの前記垂直発散値は、前記初期の垂直発散値よりも小さい、請求項7に記載の装置。 - 前記DUV光源からの前記光は、少なくとも第1の光のパルスを備え、
前記回転された光は、前記第1の光のパルスの第1の部分の反射から形成される回転された光のパルスを備え、
前記DUV光源からの前記光の他の部分は、前記第1の光のパルスの伝送された第2の部分を備え、
前記出力ビームは、前記回転された光のパルス及び前記他の部分の反射に基づく、請求項8に記載の装置。 - 前記第2の複数の反射光学要素は、2つ以上のミラーを備える、請求項3に記載の装置。
- 前記偏光要素は、半波長板又は位相減速ミラーを備える、請求項2に記載の装置。
- 前記ビーム経路は、前記ビームスプリッタ、前記第1の複数の反射光学要素、前記第2の複数の反射光学要素、及び偏光要素によって定義される閉経路である、請求項2に記載の装置。
- 深紫外線(DUV)光源であって、
ガス利得媒質を保持するように及びDUV光ビームを生成するように構成された、少なくとも1つの放電チャンバを備える光発生装置と、
出力ビーム形成装置と、を備え、
前記出力ビーム形成装置は、
ビーム経路上のビームスプリッタであって前記DUV光ビームを受け取るように構成されたビームスプリッタと、
前記ビーム経路上の偏光要素と、
前記ビーム経路上の第1の複数の反射光学要素と、を備え、
前記ビームスプリッタは、前記DUV光ビームの一部を前記第1の複数の反射光学要素に向けて誘導するように構成され、
前記第1の複数の反射光学要素は、回転された光を生成するために前記光の一部の発散を回転させるように構成され、
前記波長板は、前記出力ビーム経路上で、前記回転された光が前記DUV光ビームと同じ偏光状態を有するように、前記回転された光の偏光状態を変更するように構成され、
前記ビームスプリッタは、前記回転された光及び前記DUV光ビームの一部に基づいて出力ビームを形成するように構成される、深紫外線(DUV)光源。 - 前記光発生装置は、
第1のガス利得媒質を保持するように及びDUVシード光ビームを生成するように構成された第1の放電チャンバと、
第2のガス利得媒質を保持するように及びシード光ビームを増幅して増幅されたDUV光ビームを形成するように構成された第2の放電チャンバと、
を備える、請求項13に記載のDUV光源。 - 前記出力ビーム形成装置は、前記第1の放電チャンバと前記第2の放電チャンバとの間に位置決めされるように構成され、
前記DUV光は、DUVシード光ビームを備える、請求項14に記載のDUV光源。 - 前記出力ビームを受け取るように構成されたビーム伸張装置を更に備える、請求項13に記載のDUV光源。
- 前記出力ビーム形成装置は、前記光発生装置と前記ビーム伸張装置との間にある、請求項16に記載のDUV光源。
- 前記偏光要素は、第2の複数の反射光学要素と前記ビームスプリッタとの間にある、請求項13に記載のDUV光源。
- 深紫外線(DUV)光源のための方法であって、
DUV光ビームの一部を受け取ることであって、前記DUV光ビームの前記一部は、偏光状態、初期垂直発散値の垂直発散及び初期水平発散値の水平発散を有することと、
回転された光ビームを形成するために前記DUV光ビームの前記一部を回転することであって、前記回転された光ビームは、前記初期水平発散値の垂直発散及び前記初期垂直発散値の水平発散を有することと、
光学遅延を介して前記回転された光ビームを渡すことと、
前記回転された光ビーム及び前記DUV光ビームの別の部分に基づいて、出力ビーム経路上を伝搬する出力光ビームを形成することと、
を含む、方法。 - 前記回転された光ビーム及び前記DUV光ビームの別の部分を組み合わせる前に、前記回転された光ビームを、前記回転された光ビーム及び前記DUV光ビームの前記他の部分が前記出力ビーム経路上で前記同じ偏光状態を有するように、偏光要素を介して渡すことを更に含む、請求項19に記載の方法。
- 前記DUV光ビームは、パルスDUV光ビームを備え、
前記回転された光ビームは、前記パルスDUV光ビーム内の前記パルスのうちの第1のパルスの反射を備え、
前記DUV光ビームの前記他の部分は、前記パルスのうちの前記第1のパルスの一部を備える、請求項19に記載の方法。
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